フラットパネルディスプレイ用機能膜付ガラス基板の製造方法
【課題】作業効率を高く維持しつつ、ガラスカレットが機能膜に付着することを確実に防止することが可能なフラットパネルディスプレイ用機能膜付ガラス基板の製造方法を提供する。
【解決手段】フラットパネルディスプレイ用機能膜付ガラス基板の製造方法は、ガラス基板１０に対して導電材料の液滴を吐出することによって導電膜を形成する。このフラットパネルディスプレイ用導電膜付ガラス基板の製造方法は、所望のサイズのパネル状に切断された複数のガラス基板１０を単一のシート状に配列するステップと、複数のガラス基板１０の配列状態に応じた所定パターンで導電材料の液滴を吐出するステップと、を含む。
【解決手段】フラットパネルディスプレイ用機能膜付ガラス基板の製造方法は、ガラス基板１０に対して導電材料の液滴を吐出することによって導電膜を形成する。このフラットパネルディスプレイ用導電膜付ガラス基板の製造方法は、所望のサイズのパネル状に切断された複数のガラス基板１０を単一のシート状に配列するステップと、複数のガラス基板１０の配列状態に応じた所定パターンで導電材料の液滴を吐出するステップと、を含む。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス基板に対して機能膜用の材料の液滴を吐出することによって機能膜を形成するフラットパネルディスプレイ用機能膜付ガラス基板の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、フラットパネルディスプレイ用のガラス基板の表面に導電膜等の機能膜を形成する手法の１つとして、ガラス基板に対して機能膜用の材料の液滴を吐出する手法が広く用いられるようになっている。そのような手法においては、スプレー塗布装置もしくはインクジェット塗布装置、またはスプレー塗布およびインクジェット塗布のいずれにも対応可能な装置が用いられることが多い。
【０００３】
ところが、一般に、所望のサイズのパネル状に切断された単個のガラス基板に対して、スプレー塗布装置やインクジェット塗布装置等で機能膜を形成することは、作業効率が悪いと従来から指摘されていた。
【０００４】
そこで、従来のインクジェット塗布装置の中には、１枚のシート状のガラス基板から複数のパネルを取る多面取りの手法を用いるものがあり、１枚のガラス基板上の複数の領域に機能膜の溶液を所定パターンで塗布する技術を用いるものがあった（例えば、特許文献１参照。）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００８−０６２１２１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、１枚のシート状のガラス基板から複数のパネルを取る多面取りを行う場合、ガラスを所望サイズのパネルに切断する前に機能膜を形成することから、ガラス切断時に発生したガラスカレットが機能膜に付着し、その結果、機能膜が破損したり機能膜の機能が低下したりするという不都合が発生する可能性があった。このため、ガラスカレットが機能膜に付着することを防止する作業を別途行うことを余儀なくされることがあり、作業効率の向上を達成できないことがあった。
【０００７】
この発明の目的は、作業効率を高く維持しつつ、ガラスカレットが機能膜に付着することを確実に防止することが可能なフラットパネルディスプレイ用機能膜付ガラス基板の製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
この発明に係るフラットパネルディスプレイ用機能膜付ガラス基板の製造方法は、ガラス基板に対して機能膜用の材料の液滴を吐出することによって機能膜を形成する。機能膜の例としては、導電膜および配向膜等の機能性薄膜が挙げられる。このフラットパネルディスプレイ用機能膜付ガラス基板の製造方法は、所望のサイズのパネル状に切断された複数のガラス基板を単一のシート状に配列するステップ、および複数のガラス基板の配列状態に応じた所定パターンで機能膜を構成する材料の液滴を吐出するステップを含む。例えば、機能膜が配向膜の場合にはポリイミド溶液等の配向膜材料の液滴、機能膜が導電膜の場合にはＰＥＤＯＴ／ＰＳＳ等の導電材料の液滴の吐出が行われる。
【０００９】
この構成においては、複数のガラス基板を単一のシート状に配列した上で機能膜の成膜を行うため、多面取りを行う場合と同等の高い作業効率を得ることができるため、単個のガラス基板に対して機能膜を成膜する場合に比較して優れた作業効率を得ることが可能になる。一方で、機能膜の成膜の後に、ガラス基板を切断する必要がないため、ガラスカレットが機能膜に付着するといった問題を確実に解消することが可能になる。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、作業効率を高く維持しつつ、ガラスカレットが機能膜に付着することを確実に防止することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の実施形態に係るインクジェット塗布装置の一例を示す図である。
【図２】ガラス基板をインクジェット塗布装置にセットする手法を説明する図である。
【図３】ガラス基板をインクジェット塗布装置にセットする手法を説明する図である。
【図４】本発明の他の実施形態に係るインクジェット塗布装置の一例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、図１〜図４を用いて、本発明のフラットパネルディスプレイ用機能膜付ガラス基板の製造方法の一実施形態を説明する。図１は、本発明の実施形態に係るインクジェット塗布装置の一例を示す図である。図１に示すように、インクジェット塗布装置１００は、駆動ユニットおよび制御ユニット等を内蔵する本体１１２を備える。本体１１２の上面には、直線状に形成されたガイドレール１０６、およびガイドレースに沿ってスライド自在に構成されたステージ１０４が配置される。ステージ１０４の上方には、ステージ１０４上に配置されたガラス基板１０に対して機能膜の材料の液滴を吐出するように構成されたインクジェット塗布ユニット１０２が配置される。
【００１３】
インクジェット塗布ユニット１０２は、本体１１２側のガイドレール１０６に直交する方向に形成されたガイド溝を有するガイドユニット１０８、およびガイドユニット１０８に沿ってスライド自在に構成されたインクジェット塗布ユニット１０２を備える。インクジェット塗布ユニット１０２は、ガラス基板１０に向けて機能膜の材料の液滴を吐出する複数のノズルを有するインクジェット塗布ヘッド部１１０を備える。インクジェット塗布ヘッド部１１０は、駆動回路から供給される駆動電圧に応じて変形する複数の圧電素子を有しており、各圧電素子が変形することによりその圧電素子に対応するノズルから液滴が吐出される。この実施形態では、インクジェット塗布ヘッド部１１０から、ＰＥＤＯＴ（ポリ（３，４−エチレンジオキシチオフェン））を、ＰＳＳ（ポリスチレンスルホン酸）の存在下の水溶液中でコロイド分散液として得られるＰＥＤＯＴ／ＰＳＳ水性分散液が吐出される。また、その際、塗布液の粘度は、例えばＢ型粘度計で測定した２５℃における値が２〜３０ｍＰａ・ｓ程度の範囲におさまることが好ましい。
【００１４】
なお、ここでは、塗布液としてＰＥＤＯＴ／ＰＳＳ等の有機導電材料を用いる例を示したが、塗布液の例はこの実施形態のものには限定されない。例えば、ＩＴＯ等の無機系の導電性透明材料を塗布液として用いることが可能である。また、導電膜を形成する場合でなく、配向膜等の他の機能性薄膜を形成する場合であっても、本実施形態に係る機能膜付ガラス基板の製造方法を用いることが可能である。
【００１５】
続いて、図２を用いて、ガラス基板１０をインクジェット塗布装置にセットする手法について説明する。この実施形態では、６５０ｍｍ×７５０ｍｍ×０．７ｍｍサイズのガラス基板を用いているが、処理するガラス基板のサイズはこれには限定されない。図２に示すように、ガラス基板１０をステージ１０４上にセットする際には、ガラス基板１０を真空吸着可能な治具１２、および複数の治具１２を位置固定しつつ保持可能な固定具１４が用いられる。導電膜を形成すべきガラス基板１０を治具１２の凹部に嵌めた状態で、吸引部１２２を介して吸引することによって、ガラス基板１０が治具１２に真空吸着される。その後、図３（Ａ）に示すように、ガラス基板１０を真空吸着した複数の治具１２を、固定具１４の所定位置に形成された凹部に順次的にセットされる。図３（Ｂ）に示すように、固定具１４の凹部を治具１２によって埋め尽くすと、複数のガラス基板１０が単一のシート状になるように整然と配列されることになる。
【００１６】
このように、複数のガラス基板１０を整然と配列された状態で保持する固定具１４を、ステージ１０４上の所定の位置に配置することにより、インクジェット塗布装置１００に対するガラス基板１０のセットが完了する。インクジェット塗布装置１００は、入力されるガラス基板の配列状態に関するデータに応じてインクジェット塗布パターンデータを作成し、作成したインクジェット塗布パターンデータに基づいて、ステージ１０４条の複数のガラス基板１０に対してインクジェット塗布処理を実行する。
【００１７】
この実施形態では、複数のガラス基板１０を治具１２および固定具１４によって配列することによって、複数のガラス基板１０をステージ１０４上にて、見かけ上、単一シートと同様に取扱うことが可能になる。すなわち、導電膜を塗布するべきガラス基板１０をマトリックス状に配置してインクジェット塗布装置１００で一気に塗ることが可能になる。この結果、単個のガラス基板１０に対するインクジェット塗布処理であるにもかかわらず、１枚のシートから多面取りを行う場合と同等の高い作業効率を得ることができるようになる。このため、通常の単個のガラス基板１０に対して導電膜を成膜する場合に比較して優れた作業効率を得ることが可能になる。一方で、導電膜の成膜の後に、ガラス基板１０を切断する必要がないため、ガラスカレットが導電膜に付着するといった問題を確実に解消することが可能になる。
【００１８】
なお、上述の導電膜の塗布処理を行う際には、テラス（配線部）を避けるように塗布するか、またはテラス（配線部）の部分に保護フィルム等（図示省略）を貼り付けて作業を行うようにすると良い。
【００１９】
上述の実施形態では、ガラス基板１０を２×４のマトリックス状に配置する例を説明したが、作業性および生産性を向上させるためには、なるべく大きなインクジェット塗布装置でなるべく多くのガラス基板１０を一気に処理することが好ましい。ここで、図４は、本発明の他の実施形態に係るインクジェット塗布装置の一例を示す図である。この実施形態では、巨大なステージ２０４を備えたインクジェット塗布装置２００を用いて、２０×２０のマトリックス状に配置されたガラス基板１０に対して導電膜の塗布を一気に行っている。ここでは、２０×２０のマトリックス状に配置されたガラス基板１０を保持可能な巨大な固定具１４２が用いられている。
【００２０】
このように、大量のガラス基板１０を配列することにより、作業性および生産性が向上するため、量産に向く仕様を実現することが可能になる。例えば、図４に示す構成においても、１分間に１００個程度のペースでガラス基板１０に導電膜を塗布することが可能になる。
【００２１】
上述の実施形態では、インクジェット塗布装置１００を用いてフラットパネルディスプレイ用機能膜付ガラス基板を製造する方法を説明したが、スプレー塗布装置（スプレーコーター）等を用いた場合であっても、本発明のフラットパネルディスプレイ用機能膜付ガラス基板の製造方法を実施することが可能である。
【００２２】
上述の実施形態の説明は、すべての点で例示であって、制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上述の実施形態ではなく、特許請求の範囲によって示される。さらに、本発明の範囲には、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【符号の説明】
【００２３】
１０−ガラス基板
１２−治具
１４−固定具
１００−インクジェット塗布装置
１０２−インクジェット塗布ユニット
１０４−ステージ
１０６−ガイドレール
１０８−ガイドユニット
１１０−インクジェットヘッド
１１２−本体
１２２−吸引部
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス基板に対して機能膜用の材料の液滴を吐出することによって機能膜を形成するフラットパネルディスプレイ用機能膜付ガラス基板の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、フラットパネルディスプレイ用のガラス基板の表面に導電膜等の機能膜を形成する手法の１つとして、ガラス基板に対して機能膜用の材料の液滴を吐出する手法が広く用いられるようになっている。そのような手法においては、スプレー塗布装置もしくはインクジェット塗布装置、またはスプレー塗布およびインクジェット塗布のいずれにも対応可能な装置が用いられることが多い。
【０００３】
ところが、一般に、所望のサイズのパネル状に切断された単個のガラス基板に対して、スプレー塗布装置やインクジェット塗布装置等で機能膜を形成することは、作業効率が悪いと従来から指摘されていた。
【０００４】
そこで、従来のインクジェット塗布装置の中には、１枚のシート状のガラス基板から複数のパネルを取る多面取りの手法を用いるものがあり、１枚のガラス基板上の複数の領域に機能膜の溶液を所定パターンで塗布する技術を用いるものがあった（例えば、特許文献１参照。）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００８−０６２１２１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、１枚のシート状のガラス基板から複数のパネルを取る多面取りを行う場合、ガラスを所望サイズのパネルに切断する前に機能膜を形成することから、ガラス切断時に発生したガラスカレットが機能膜に付着し、その結果、機能膜が破損したり機能膜の機能が低下したりするという不都合が発生する可能性があった。このため、ガラスカレットが機能膜に付着することを防止する作業を別途行うことを余儀なくされることがあり、作業効率の向上を達成できないことがあった。
【０００７】
この発明の目的は、作業効率を高く維持しつつ、ガラスカレットが機能膜に付着することを確実に防止することが可能なフラットパネルディスプレイ用機能膜付ガラス基板の製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
この発明に係るフラットパネルディスプレイ用機能膜付ガラス基板の製造方法は、ガラス基板に対して機能膜用の材料の液滴を吐出することによって機能膜を形成する。機能膜の例としては、導電膜および配向膜等の機能性薄膜が挙げられる。このフラットパネルディスプレイ用機能膜付ガラス基板の製造方法は、所望のサイズのパネル状に切断された複数のガラス基板を単一のシート状に配列するステップ、および複数のガラス基板の配列状態に応じた所定パターンで機能膜を構成する材料の液滴を吐出するステップを含む。例えば、機能膜が配向膜の場合にはポリイミド溶液等の配向膜材料の液滴、機能膜が導電膜の場合にはＰＥＤＯＴ／ＰＳＳ等の導電材料の液滴の吐出が行われる。
【０００９】
この構成においては、複数のガラス基板を単一のシート状に配列した上で機能膜の成膜を行うため、多面取りを行う場合と同等の高い作業効率を得ることができるため、単個のガラス基板に対して機能膜を成膜する場合に比較して優れた作業効率を得ることが可能になる。一方で、機能膜の成膜の後に、ガラス基板を切断する必要がないため、ガラスカレットが機能膜に付着するといった問題を確実に解消することが可能になる。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、作業効率を高く維持しつつ、ガラスカレットが機能膜に付着することを確実に防止することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の実施形態に係るインクジェット塗布装置の一例を示す図である。
【図２】ガラス基板をインクジェット塗布装置にセットする手法を説明する図である。
【図３】ガラス基板をインクジェット塗布装置にセットする手法を説明する図である。
【図４】本発明の他の実施形態に係るインクジェット塗布装置の一例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、図１〜図４を用いて、本発明のフラットパネルディスプレイ用機能膜付ガラス基板の製造方法の一実施形態を説明する。図１は、本発明の実施形態に係るインクジェット塗布装置の一例を示す図である。図１に示すように、インクジェット塗布装置１００は、駆動ユニットおよび制御ユニット等を内蔵する本体１１２を備える。本体１１２の上面には、直線状に形成されたガイドレール１０６、およびガイドレースに沿ってスライド自在に構成されたステージ１０４が配置される。ステージ１０４の上方には、ステージ１０４上に配置されたガラス基板１０に対して機能膜の材料の液滴を吐出するように構成されたインクジェット塗布ユニット１０２が配置される。
【００１３】
インクジェット塗布ユニット１０２は、本体１１２側のガイドレール１０６に直交する方向に形成されたガイド溝を有するガイドユニット１０８、およびガイドユニット１０８に沿ってスライド自在に構成されたインクジェット塗布ユニット１０２を備える。インクジェット塗布ユニット１０２は、ガラス基板１０に向けて機能膜の材料の液滴を吐出する複数のノズルを有するインクジェット塗布ヘッド部１１０を備える。インクジェット塗布ヘッド部１１０は、駆動回路から供給される駆動電圧に応じて変形する複数の圧電素子を有しており、各圧電素子が変形することによりその圧電素子に対応するノズルから液滴が吐出される。この実施形態では、インクジェット塗布ヘッド部１１０から、ＰＥＤＯＴ（ポリ（３，４−エチレンジオキシチオフェン））を、ＰＳＳ（ポリスチレンスルホン酸）の存在下の水溶液中でコロイド分散液として得られるＰＥＤＯＴ／ＰＳＳ水性分散液が吐出される。また、その際、塗布液の粘度は、例えばＢ型粘度計で測定した２５℃における値が２〜３０ｍＰａ・ｓ程度の範囲におさまることが好ましい。
【００１４】
なお、ここでは、塗布液としてＰＥＤＯＴ／ＰＳＳ等の有機導電材料を用いる例を示したが、塗布液の例はこの実施形態のものには限定されない。例えば、ＩＴＯ等の無機系の導電性透明材料を塗布液として用いることが可能である。また、導電膜を形成する場合でなく、配向膜等の他の機能性薄膜を形成する場合であっても、本実施形態に係る機能膜付ガラス基板の製造方法を用いることが可能である。
【００１５】
続いて、図２を用いて、ガラス基板１０をインクジェット塗布装置にセットする手法について説明する。この実施形態では、６５０ｍｍ×７５０ｍｍ×０．７ｍｍサイズのガラス基板を用いているが、処理するガラス基板のサイズはこれには限定されない。図２に示すように、ガラス基板１０をステージ１０４上にセットする際には、ガラス基板１０を真空吸着可能な治具１２、および複数の治具１２を位置固定しつつ保持可能な固定具１４が用いられる。導電膜を形成すべきガラス基板１０を治具１２の凹部に嵌めた状態で、吸引部１２２を介して吸引することによって、ガラス基板１０が治具１２に真空吸着される。その後、図３（Ａ）に示すように、ガラス基板１０を真空吸着した複数の治具１２を、固定具１４の所定位置に形成された凹部に順次的にセットされる。図３（Ｂ）に示すように、固定具１４の凹部を治具１２によって埋め尽くすと、複数のガラス基板１０が単一のシート状になるように整然と配列されることになる。
【００１６】
このように、複数のガラス基板１０を整然と配列された状態で保持する固定具１４を、ステージ１０４上の所定の位置に配置することにより、インクジェット塗布装置１００に対するガラス基板１０のセットが完了する。インクジェット塗布装置１００は、入力されるガラス基板の配列状態に関するデータに応じてインクジェット塗布パターンデータを作成し、作成したインクジェット塗布パターンデータに基づいて、ステージ１０４条の複数のガラス基板１０に対してインクジェット塗布処理を実行する。
【００１７】
この実施形態では、複数のガラス基板１０を治具１２および固定具１４によって配列することによって、複数のガラス基板１０をステージ１０４上にて、見かけ上、単一シートと同様に取扱うことが可能になる。すなわち、導電膜を塗布するべきガラス基板１０をマトリックス状に配置してインクジェット塗布装置１００で一気に塗ることが可能になる。この結果、単個のガラス基板１０に対するインクジェット塗布処理であるにもかかわらず、１枚のシートから多面取りを行う場合と同等の高い作業効率を得ることができるようになる。このため、通常の単個のガラス基板１０に対して導電膜を成膜する場合に比較して優れた作業効率を得ることが可能になる。一方で、導電膜の成膜の後に、ガラス基板１０を切断する必要がないため、ガラスカレットが導電膜に付着するといった問題を確実に解消することが可能になる。
【００１８】
なお、上述の導電膜の塗布処理を行う際には、テラス（配線部）を避けるように塗布するか、またはテラス（配線部）の部分に保護フィルム等（図示省略）を貼り付けて作業を行うようにすると良い。
【００１９】
上述の実施形態では、ガラス基板１０を２×４のマトリックス状に配置する例を説明したが、作業性および生産性を向上させるためには、なるべく大きなインクジェット塗布装置でなるべく多くのガラス基板１０を一気に処理することが好ましい。ここで、図４は、本発明の他の実施形態に係るインクジェット塗布装置の一例を示す図である。この実施形態では、巨大なステージ２０４を備えたインクジェット塗布装置２００を用いて、２０×２０のマトリックス状に配置されたガラス基板１０に対して導電膜の塗布を一気に行っている。ここでは、２０×２０のマトリックス状に配置されたガラス基板１０を保持可能な巨大な固定具１４２が用いられている。
【００２０】
このように、大量のガラス基板１０を配列することにより、作業性および生産性が向上するため、量産に向く仕様を実現することが可能になる。例えば、図４に示す構成においても、１分間に１００個程度のペースでガラス基板１０に導電膜を塗布することが可能になる。
【００２１】
上述の実施形態では、インクジェット塗布装置１００を用いてフラットパネルディスプレイ用機能膜付ガラス基板を製造する方法を説明したが、スプレー塗布装置（スプレーコーター）等を用いた場合であっても、本発明のフラットパネルディスプレイ用機能膜付ガラス基板の製造方法を実施することが可能である。
【００２２】
上述の実施形態の説明は、すべての点で例示であって、制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上述の実施形態ではなく、特許請求の範囲によって示される。さらに、本発明の範囲には、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【符号の説明】
【００２３】
１０−ガラス基板
１２−治具
１４−固定具
１００−インクジェット塗布装置
１０２−インクジェット塗布ユニット
１０４−ステージ
１０６−ガイドレール
１０８−ガイドユニット
１１０−インクジェットヘッド
１１２−本体
１２２−吸引部
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス基板に対して機能膜用の材料の液滴を吐出することによって機能膜を形成するフラットパネルディスプレイ用機能膜付ガラス基板の製造方法であって、
所望のサイズのパネル状に切断された複数のガラス基板を単一のシート状に配列するステップと、
前記複数のガラス基板の配列状態に応じた所定パターンで前記機能膜を構成する材料の液滴を吐出するステップと、
を含むフラットパネルディスプレイ用機能膜付ガラス基板の製造方法。
【請求項２】
前記複数のガラス基板は、各ガラス基板をマトリクス状に配列しつつ保持可能な固定具によって位置決めされる請求項１に記載のフラットパネルディスプレイ用機能膜付ガラス基板の製造方法。
【請求項３】
前記機能膜が導電膜であり、前記機能膜付ガラス基板が導電膜付ガラス基板である請求項１または２に記載のフラットパネルディスプレイ用機能膜付ガラス基板の製造方法。
【請求項４】
前記機能膜を構成する材料がＰＥＤＯＴ（ポリ（３，４−エチレンジオキシチオフェン））／ＰＳＳ（ポリスチレンスルホン酸）である請求項３に記載のフラットパネルディスプレイ用機能膜付ガラス基板の製造方法。
【請求項１】
ガラス基板に対して機能膜用の材料の液滴を吐出することによって機能膜を形成するフラットパネルディスプレイ用機能膜付ガラス基板の製造方法であって、
所望のサイズのパネル状に切断された複数のガラス基板を単一のシート状に配列するステップと、
前記複数のガラス基板の配列状態に応じた所定パターンで前記機能膜を構成する材料の液滴を吐出するステップと、
を含むフラットパネルディスプレイ用機能膜付ガラス基板の製造方法。
【請求項２】
前記複数のガラス基板は、各ガラス基板をマトリクス状に配列しつつ保持可能な固定具によって位置決めされる請求項１に記載のフラットパネルディスプレイ用機能膜付ガラス基板の製造方法。
【請求項３】
前記機能膜が導電膜であり、前記機能膜付ガラス基板が導電膜付ガラス基板である請求項１または２に記載のフラットパネルディスプレイ用機能膜付ガラス基板の製造方法。
【請求項４】
前記機能膜を構成する材料がＰＥＤＯＴ（ポリ（３，４−エチレンジオキシチオフェン））／ＰＳＳ（ポリスチレンスルホン酸）である請求項３に記載のフラットパネルディスプレイ用機能膜付ガラス基板の製造方法。
【図４】
【図１】
【図２】
【図３】
【図１】
【図２】
【図３】
【公開番号】特開２０１３−５９７１９（Ｐ２０１３−５９７１９Ａ）
【公開日】平成２５年４月４日（２０１３．４．４）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−１９８９３６（Ｐ２０１１−１９８９３６）
【出願日】平成２３年９月１３日（２０１１．９．１３）
【出願人】（５０９１５４４２０）株式会社ＮＳＣ (10)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２５年４月４日（２０１３．４．４）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年９月１３日（２０１１．９．１３）
【出願人】（５０９１５４４２０）株式会社ＮＳＣ (10)
【Ｆターム（参考）】
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