マスク組立体および有機発光表示装置
【課題】本発明は、蒸着品質を高めることができるマスク組立体およびそれを用いて製造された有機発光表示装置を提供する。
【解決手段】本発明によるマスク組立体は、開口部を形成するフレームと、複数の蒸着用開口部を形成し、長さ方向に沿って引張力が加わった状態で両側端部がフレームに固定される複数の単位マスクとを含む。複数の単位マスクのうちの隣接した少なくとも二つの単位マスクは、互いに向き合う両側面に蒸着用凹部を形成する。単位マスクの幅方向に沿った蒸着用凹部の幅は、単位マスクの幅方向に沿った蒸着用開口部の幅と同一であるか、またはそれよりも大きい。
【解決手段】本発明によるマスク組立体は、開口部を形成するフレームと、複数の蒸着用開口部を形成し、長さ方向に沿って引張力が加わった状態で両側端部がフレームに固定される複数の単位マスクとを含む。複数の単位マスクのうちの隣接した少なくとも二つの単位マスクは、互いに向き合う両側面に蒸着用凹部を形成する。単位マスクの幅方向に沿った蒸着用凹部の幅は、単位マスクの幅方向に沿った蒸着用開口部の幅と同一であるか、またはそれよりも大きい。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、マスク組立体に関し、より詳しくは、薄膜蒸着のためのマスク組立体およびそれを用いて製造された有機発光表示装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
有機発光表示装置は、自発光特性を有し、低い消費電力と高い輝度および速い応答速度などの高品位特性を有する。有機発光表示装置は、画素電極と共通電極の間に有機発光層を配置した構造からなり、副画素（ｓｕｂ−ｐｉｘｅｌ）毎に一つの画素電極と一つの有機発光層が位置する。
【０００３】
有機発光層は、マスク組立体を用いた蒸着法で形成される。マスク組立体は、有機発光層に対応する複数の蒸着用開口部を形成した帯状の単位マスクと、単位マスクを支持するフレームから構成される。単位マスクは、長さ方向に沿って引張力が加わった状態でフレームに固定されて自重による垂れが防止される。このような分割型マスク組立体は、大型有機発光表示装置の製造に有利である。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明は、有機発光層の蒸着品質を高めることができるマスク組立体およびそれを用いて製造された有機発光表示装置を提供することにその目的がある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の一実施形態によるマスク組立体は、開口部を形成するフレームと、複数の蒸着用開口部を形成し、長さ方向の両側端部がフレームに固定される複数の単位マスクとを含む。複数の単位マスクのうちの隣接した少なくとも二つの単位マスクは、互いに向き合う両側面に蒸着用凹部を形成し、単位マスクの幅方向に沿った蒸着用凹部の幅は、単位マスクの幅方向に沿った蒸着用開口部の幅以上である。
【０００６】
複数の蒸着用開口部のそれぞれは、単位マスクの幅方向と平行な長辺と、単位マスクの長さ方向と平行な短辺とを含むことができる。単位マスクの幅方向に沿った蒸着用開口部の間の距離は、単位マスクの長さ方向に沿った蒸着用開口部の間の距離よりも小さく形成されてもよい。
【０００７】
蒸着用凹部は、単位マスクの幅方向に沿って複数の蒸着用開口部と平行に位置してもよい。少なくとも二つの単位マスクに形成された二つの蒸着用凹部は、同一の形状と同一の大きさを有し、単位マスクの幅方向に沿って平行に位置してもよい。
【０００８】
蒸着用開口部と蒸着用凹部は、傾いた側壁で囲まれ、単位マスクの幅方向に沿った蒸着用凹部の一側面の側壁形状は、単位マスクの幅方向に沿った蒸着用開口部の側壁形状と同一であってもよい。
【０００９】
単位マスクは、蒸着ソースと向き合う一面とその反対面を含み、一面で観察される蒸着用開口部および蒸着用凹部の大きさは、反対面で観察される蒸着用開口部および蒸着用凹部の大きさよりも大きく形成されてもよい。
【００１０】
単位マスクの幅方向に沿った蒸着用凹部の幅（ｗ１）は、下記条件を満たすことができる。
【００１１】
ｗ２＜ｗ１≦ｗ２＋ｄ１／２
ここで、ｗ２は、単位マスクの幅方向に沿った蒸着用開口部の幅であり、ｄ１は、単位マスクの幅方向に沿った蒸着用開口部の間の距離である。
【００１２】
複数の蒸着用開口部と蒸着用凹部は、フレームの開口部に対応する領域に位置してもよい。
【００１３】
単位マスクは、第１色と第２色および第３色の副画素に対応する有機発光層蒸着用であり、長さ方向に沿って引張力が加わった状態でフレームに固定され、蒸着過程で引張方向が同一色の副画素の配列方向と直交するように配置されてもよい。複数の蒸着用開口部と蒸着用凹部は、第１色と第２色および第３色の副画素のうちのいずれか一色の副画素に対応して位置してもよい。
【００１４】
本発明の一実施形態による有機発光表示装置は、基板上に位置する画素電極と有機発光層および共通電極を含み、有機発光層は、一つの副画素に対応して位置する第１有機発光層と、二つの副画素にわたって位置する第２有機発光層とを含む。
【００１５】
有機発光層は、互いに異なる複数の色のいずれか一色を具現することができる。第１方向に沿って同一色の有機発光層が一列に位置し、第１方向と直交する第２方向に沿って異なる色の有機発光層が交互に位置してもよい。第２有機発光層は、第１方向に沿って隣接した二つの副画素にわたって位置してもよい。
【００１６】
第１方向に沿った第２有機発光層の長さは、第１方向に沿った第１有機発光層の長さの２倍以上であってもよい。第１方向に沿った第２有機発光層の長さ（Ｌ２）は、下記数式で表されてもよい。
【００１７】
Ｌ２＝２Ｌ１＋ｄ３
ここで、Ｌ１は、第１方向に沿った第１有機発光層の長さであり、ｄ３は、第１方向に沿った第１有機発光層の間の距離である。
【００１８】
第２有機発光層の間の中央で第２方向に沿って薄膜層が位置してもよい。
【発明の効果】
【００１９】
本実施形態のマスク組立体は、蒸着用開口部の側壁と蒸着用凹部の側壁が十分な傾斜角を有するようにすることができ、その結果、有機発光表示装置全体で有機発光層の蒸着品質を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の一実施形態によるマスク組立体の分解斜視図である。
【図２】本発明の一実施形態によるマスク組立体の平面図である。
【図３】図１に示したマスク組立体中の二つの単位マスクと有機発光表示装置の副画素を示す平面図である。
【図４】図３に示した単位マスクの平面図である。
【図５】図４のＡ−Ａ線を基準に切開した単位マスクの断面図である。
【図６】図５の単位マスクを用いた有機発光層の蒸着過程を示す概略図である。
【図７】蒸着用凹部なしに蒸着用開口部のみを備えた比較例の単位マスクを示す部分拡大図である。
【図８】図７のＢ−Ｂ線を基準に切開した単位マスクの断面図である。
【図９】図１のマスク組立体を用いて製造された有機発光表示装置の有機発光層を示す平面図である。
【図１０】図９に示した第２有機発光層を含む有機発光表示装置の概略的な断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、添付図面を参照して本発明の実施形態について本発明が属する技術分野で通常の知識を有する者が容易に実施することができるように詳しく説明する。本発明は、多様な異なる形態で実現することができ、ここで説明する実施形態に限定されない。
【００２２】
図１は、本発明の一実施形態によるマスク組立体の分解斜視図であり、図２は、本発明の一実施形態によるマスク組立体の平面図である。
【００２３】
図１と図２を参照すると、本実施形態のマスク組立体１００は、開口部１５を形成するフレーム１０と、両側端部がフレーム１０に固定される帯状の単位マスク２０とを含む。各単位マスク２０は、複数の蒸着用開口部２１を形成し、長さ方向に沿って引張力が加わった状態でフレーム１０に固定されて自重による垂れが防止される。
【００２４】
フレーム１０は、互いに平行な一対の第１支持部１１と、第１支持部１１と直交する一対の第２支持部１２から構成される。第１支持部１１の長さは、第２支持部１２の長さよりも大きく形成されてもよい。単位マスク２０は、両側端部が第１支持部１１に固定されて第２支持部１２と平行に配置される。単位マスク２０が引張された状態でフレーム１０に固定されるため、フレーム１０は十分な剛性を有さなければならない。
【００２５】
単位マスク２０が集まって蒸着のための一つのマスク２０１を構成する。単位マスク２０中のフレーム１０に固定された両側端部を除いた残りの部分は、フレーム１０の開口部１５上に位置する。したがって、後述する蒸着過程で単位マスク２０は基板と蒸着ソースの間に位置するため、蒸着用開口部２１を用いた有機発光層の蒸着を可能にする。
【００２６】
単位マスク２０は、蒸着用開口部２１以外に、次に説明する蒸着用凹部を共に形成する。図１と図２では、便宜上、蒸着用凹部の図示を省略した。
【００２７】
図３は、図１に示したマスク組立体中の二つの単位マスクと有機発光表示装置の副画素を示す平面図であり、図４は、図３に示した単位マスクの平面図である。
【００２８】
図３と図４を参照すると、有機発光表示装置は、複数の画素を含み、各画素は３色の副画素３０を含む。３色は、赤色（Ｒ）と緑色（Ｇ）および青色（Ｂ）であってもよい。第１方向（図３のｘ軸方向）に沿って同一色の副画素３０が一列に位置し、第１方向と直交する第２方向（図３のｙ軸方向）に沿って異なる色の副画素３０が交互に位置する。
【００２９】
通常の場合、単位マスク２０は、引張方向（長さ方向）が同一色の副画素３０の配列方向と一致するように位置する。ところで、必要によって単位マスク２０は、その反対の場合に配置されてもよい。本実施形態のマスク組立体１００で単位マスク２０は、引張方向（長さ方向）が同一色の副画素３０の配列方向（第１方向）と直交するように位置する。
【００３０】
図３で単位マスク２０の引張方向は、第２方向（ｙ軸方向）であり、同一色の副画素３０の配列方向は、第１方向（ｘ軸方向）である。各単位マスク２０には、３色の副画素３０のうちの一色の副画素３０に対応する蒸着用開口部２１が形成される。
【００３１】
蒸着用開口部２１のそれぞれは、長辺と短辺を有するほぼ長方形で形成されてもよい。蒸着用開口部２１の長辺は、単位マスク２０の幅方向（ｘ軸方向）と一致し、短辺は単位マスク２０の長さ方向（ｙ軸方向）と一致する。そして、第１方向（ｘ軸方向）に沿った蒸着用開口部２１の間の距離（ｄ１）（図４参照）は、第２方向（ｙ軸方向）に沿った蒸着用開口部２１の間の距離（ｄ２）（図４参照）よりも小さい。
【００３２】
複数の単位マスク２０のうちの隣接した少なくとも二つの単位マスク２０は、互いに向き合う両側面に蒸着用凹部２２を形成する。蒸着用凹部２２は、単位マスク２０で完全に囲まれずに単位マスク２０の側面に向かって開放されている。隣接した二つの単位マスク２０の間には、所定の隙が存在してもよい。
【００３３】
蒸着用凹部２２は、第１方向（ｘ軸方向）に沿って蒸着用開口部２１と平行に位置する。そして、一側面の単位マスク２０に形成された蒸着用凹部２２と他側面の単位マスク２０に形成された蒸着用凹部２２とは、同一の形状と同一の大きさで形成され、第１方向（ｘ軸方向）に沿って平行に位置する。
【００３４】
単位マスク２０の幅方向に沿った蒸着用凹部２２の幅（ｗ１）（図４参照）は、単位マスク２０の幅方向に沿った蒸着用開口部２１の幅（ｗ２）（図４参照）と同一であるか、またはそれよりも大きく形成される。この時、隣接した二つの単位マスク２０は、互いに重なることができないため、蒸着用凹部２２の幅（ｗ１）は下記条件１を満たすように設定される。
【００３５】
ｗ２＜ｗ１≦ｗ２＋ｄ１／２ ・・・（１）
ここで、ｄ１は、単位マスク２０の幅方向に沿った蒸着用開口部２１の間の距離を示す。
【００３６】
したがって、蒸着用開口部２１と同様に、一つの蒸着用凹部２２も一つの副画素３０に対応し、この副画素３０に対応する有機発光層を蒸着するための用途で使用される。
【００３７】
二つの単位マスク２０が互いに向き合う両側面にそれぞれの蒸着用凹部２２を形成することによって、これら二つの蒸着用凹部２２を一つの蒸着用開口部として活用し、二つの副画素３０にわたって位置する一つの有機発光層を形成することができる。
【００３８】
つまり、マスク組立体１００は、複数の蒸着用開口部２１を用いて一つの副画素３０に対応する有機発光層と、二つの蒸着用凹部２２を用いて二つの副画素にわたって位置する有機発光層を同時に形成することができる。本実施形態のマスク組立体１００を用いて形成された有機発光層の構造については後述する。
【００３９】
図５は、図４のＡ−Ａ線を基準に切開した単位マスクの断面図であり、図６は、図５の単位マスクを用いた有機発光層の蒸着過程を示す概略図である。
【００４０】
図５と図６を参照すると、単位マスク２０は、蒸着過程で蒸着ソース４１と有機発光層４２が蒸着される基板４３との間に位置する。このような単位マスク２０は、蒸着用開口部２１と蒸着用凹部２２の側壁２３を傾斜して形成し、単位マスク２０の上下面で観察される蒸着用開口部２１および蒸着用凹部２２の大きさが異なるようにする。
【００４１】
具体的に、単位マスク２０の上下面のうち、蒸着ソース４１と向き合う面（図５および図６を基準に下面）で観察される蒸着用開口部２１および蒸着用凹部２２の大きさは、基板４３と向き合う面（図５および図６を基準に上面）で観察される蒸着用開口部２１および蒸着用凹部２２の大きさよりも大きい。
【００４２】
また、第１方向（ｘ軸方向）に沿った単位マスク２０の断面形状を基準に蒸着用凹部２２の一側面の側壁２３形状は、蒸着用開口部２１の側壁２３形状と同一に形成される。つまり、蒸着用開口部２１の側壁２３傾斜角は、蒸着用凹部２２の一側面の側壁２３傾斜角と同一に形成される。
【００４３】
蒸着用開口部２１と蒸着用凹部２２の傾いた側壁２３は、有機発光層４２が不均一な厚さで蒸着されるシャドー効果（ｓｈａｄｏｗ ｅｆｆｅｃｔ）を減らすためのものである。もし、蒸着用開口部２１と蒸着用凹部２２の側壁２３が十分な傾斜角を確保できない場合には、蒸着ソース４１で放出される物質の大部分は、側壁２３にぶつけられて基板４３に均一に蒸着されない。したがって、側壁２３が十分な傾斜角を確保することが重要である。
【００４４】
図７は、蒸着用凹部なしに蒸着用開口部のみを備えた比較例の単位マスクを示す部分拡大図であり、図８は、図７のＢ−Ｂ線を基準に切開した単位マスクの断面図である。
【００４５】
図７と図８を参照すると、比較例の単位マスク２０５は、実施形態の単位マスク２０と同一な条件（単位マスクの引張方向が同一色の副画素の配列方向と直交し、蒸着用開口部の長辺が単位マスクの幅方向と一致）で蒸着用凹部なしに蒸着用開口部２１５、２１５ａのみを形成する。
【００４６】
比較例の単位マスク２０５では、単位マスク２０５の両側面と最外郭蒸着用開口部２１５ａとの間に十分な間隔を確保するのが難しい。その結果、単位マスク２０５の側面に向かった最外郭蒸着用開口部２１５ａの一側面に十分な傾斜角を具現することができない。
【００４７】
図８で単位マスク２０５の側面に向かった最外郭蒸着用開口部２１５ａの一側面の側壁２３５は、垂直に近い傾斜角を具現している。これによって、比較例の単位マスクでは、最外郭蒸着用開口部２１５ａでシャドー現象が発生し、有機発光層４２５の蒸着品質が低下する。図８で有機発光層４２５のうちシャドー現象が発生した部位を黒色線で表示した。
【００４８】
再び図５と図６を参照すると、本実施形態の単位マスク２０は、比較例の最外郭蒸着用開口部２１５ａの代わりに蒸着用凹部２２を形成することによって、比較例で発生したシャドー効果を根本的に遮断することができる。つまり、最外郭蒸着用開口部２１５ａを形成する代わりに、隣接した二つの蒸着用凹部２２を一つの蒸着用開口部として活用することによって、厚さが均一な有機発光層４２を形成することができる。
【００４９】
このように本実施形態の単位マスク２０は、蒸着用開口部２１と蒸着用凹部２２の側壁２３が十分な傾斜角を有するようにすることができ、その結果、有機発光表示装置全体で有機発光層４２の蒸着品質を高めることができる。
【００５０】
図９は、図１のマスク組立体を用いて製造された有機発光表示装置の有機発光層を示す平面図である。
【００５１】
図３と図９を参照すると、マスク組立体１００は、第１位置で第１色と第２色および第３色のうちのいずれか一色の有機発光層４２蒸着に使用され、第２位置に移動した後、第１色と第２色および第３色のうちの他の一色の有機発光層４２蒸着に使用される。また、マスク組立体１００は、第３位置に移動した後、第１色と第２色および第３色のうちの残りの一色の有機発光層４２蒸着に使用される。第１色は赤色（Ｒ）であってもよく、第２色は緑色（Ｇ）であってもよく、第３色は青色（Ｂ）であってもよい。
【００５２】
有機発光表示装置で、同一色の有機発光層４２は、第１方向（ｘ軸方向）に沿って一列に位置し、第２方向（ｙ軸方向）に沿って異なる色の有機発光層４２が交互に位置する。有機発光層４２は、一つの副画素に対応して位置する第１有機発光層４２１と、第１方向に沿って隣接した二つの副画素にわたって位置する第２有機発光層４２２とを含む。
【００５３】
第２有機発光層４２２の長さ（Ｌ２）（図９参照）は、第１有機発光層４２１の長さ（Ｌ１）（図９参照）の２倍以上である。具体的に、第２有機発光層４２２の長さ（Ｌ２）は、（２Ｌ１＋ｄ３）で表されてもよい。ｄ３は、第１有機発光層４２１の間の距離を示し、 この時、長さ（Ｌ１、Ｌ２）と距離（ｄ３）は全て第１方向（ｘ軸方向）を基準とする。第２方向（ｙ軸方向）に沿った第１有機発光層４２１の幅は、第２有機発光層４２２の幅と同一である。
【００５４】
第２有機発光層４２２が隣接した二つの副画素にわたって位置しても、各副画素毎に画素電極（図示せず）と駆動回路部（図示せず）が別個に備わるため、第２有機発光層４２２は、副画素別に独立的に発光することができる。
【００５５】
一方、図３に示した二つの単位マスク２０の間に所定の隙が存在し得るため、この隙を通じて有機発光層４２が蒸着され得る。この隙によりできた薄膜層６０を図９に示した。薄膜層６０は、前述した３色の有機発光層４２が重畳されたものであって、第２有機発光層４２２の間の中央で第２方向（ｙ軸方向）と平行に位置する。
【００５６】
図１０は、図９に示した第２有機発光層を含む有機発光表示装置の概略的な断面図である。
【００５７】
有機発光表示装置２００は、複数の信号線と連結されており、ほぼ行列（ｍａｔｒｉｘ）の形態に配列された複数の副画素を含む。図１０は、複数の副画素のうちの２つの副画素を示したものであり、各副画素は複数の薄膜トランジスターを含むが、ここでは、便宜上、一つの薄膜トランジスター５０のみを示す。
【００５８】
図１０を参照すると、基板４３の上にバッファー層４４が形成され、バッファー層４４の上に半導体層４５が位置する。半導体層４５は、チャンネル領域４５１とソース領域４５２およびドレイン領域４５３を含む。ソース領域４５２とドレイン領域４５３には、ｐ型不純物またはｎ型不純物がドーピングされ得る。
【００５９】
半導体層４５を覆いながら、バッファー層４４の上にゲート絶縁膜４６が形成され、チャンネル領域４５１に対応するゲート絶縁膜４６の上にゲート電極４７が形成される。そして、ゲート電極４７を覆いながらゲート絶縁膜４６の上に層間絶縁膜４８が形成される。
【００６０】
層間絶縁膜４８とゲート絶縁膜４６には、ソース領域４５２とドレイン領域４５３を露出させるコンタクトホールが形成される。層間絶縁膜４８の上には、コンタクトホールを通じてソース領域４５２と連結されるソース電極５１およびコンタクトホールを通じてドレイン領域４５３と連結されるドレイン電極５２が形成される。
【００６１】
ソース電極５１とドレイン電極５２を覆いながら層間絶縁膜４８の上に平坦化膜４９が形成され、平坦化膜４９にはドレイン電極５２を露出させるコンタクトホールが形成される。平坦化膜４９の上にはドレイン電極５２と連結される画素電極５３が形成され、画素電極５３を覆いながら平坦化膜４９の上に画素定義膜５４が形成される。画素定義膜５４には、画素電極５３の一部を露出させる開口部が形成される。
【００６２】
画素定義膜５４の開口部には有機発光層４２２が形成され、有機発光層４２２を覆いながら画素定義膜５４全体に共通電極５５が形成される。図１０に示した有機発光層４２２は、隣接した二つの副画素にわたって位置する第２有機発光層である。画素電極５３と共通電極５５のうちのいずれか一つは電子注入電極として機能し、他の一つは正孔注入電極として機能する。
【００６３】
有機発光層４２２は、赤色と緑色および青色のうちのいずれか一色の光を出す有機物質または有機物質と無機物質の混合物で形成されてもよい。有機発光層４２２の下部および上部には、有機発光層４２２の発光効率を改善するための補助層が形成されてもよい。補助層は、正孔注入層、正孔輸送層、電子注入層、および電子輸送層のうちの少なくとも一つであってもよい。
【００６４】
画素電極５３と共通電極５５のうちのいずれか一つは透明導電膜で形成され、他の一つは反射型導電膜で形成されてもよい。有機発光層４２２で放出された光は反射型導電膜により反射され、透明導電膜を透過して有機発光表示装置の外部に放出される。
【００６５】
一方、前記では有機発光層４２が赤色と緑色および青色を具現することを例に挙げて説明したが、有機発光層４２の発光色は前述した例に限定されない。
【００６６】
以上で本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は、これに限定されるのではなく、特許請求の範囲と発明の詳細な説明および添付図面の範囲内で多様に変形して実施することが可能であり、これも本発明の範囲に属することは当然である。
【符号の説明】
【００６７】
１００…マスク組立体
１０…フレーム
１５…開口部
２０…単位マスク
２１…蒸着用開口部
２２…蒸着用凹部
２３…側壁
３０…副画素
４１…蒸着ソース
４２…有機発光層
４２１…第１有機発光層
４２２…第２有機発光層
４３…基板
４５…半導体層
５０…薄膜トランジスター
【技術分野】
【０００１】
本発明は、マスク組立体に関し、より詳しくは、薄膜蒸着のためのマスク組立体およびそれを用いて製造された有機発光表示装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
有機発光表示装置は、自発光特性を有し、低い消費電力と高い輝度および速い応答速度などの高品位特性を有する。有機発光表示装置は、画素電極と共通電極の間に有機発光層を配置した構造からなり、副画素（ｓｕｂ−ｐｉｘｅｌ）毎に一つの画素電極と一つの有機発光層が位置する。
【０００３】
有機発光層は、マスク組立体を用いた蒸着法で形成される。マスク組立体は、有機発光層に対応する複数の蒸着用開口部を形成した帯状の単位マスクと、単位マスクを支持するフレームから構成される。単位マスクは、長さ方向に沿って引張力が加わった状態でフレームに固定されて自重による垂れが防止される。このような分割型マスク組立体は、大型有機発光表示装置の製造に有利である。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明は、有機発光層の蒸着品質を高めることができるマスク組立体およびそれを用いて製造された有機発光表示装置を提供することにその目的がある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の一実施形態によるマスク組立体は、開口部を形成するフレームと、複数の蒸着用開口部を形成し、長さ方向の両側端部がフレームに固定される複数の単位マスクとを含む。複数の単位マスクのうちの隣接した少なくとも二つの単位マスクは、互いに向き合う両側面に蒸着用凹部を形成し、単位マスクの幅方向に沿った蒸着用凹部の幅は、単位マスクの幅方向に沿った蒸着用開口部の幅以上である。
【０００６】
複数の蒸着用開口部のそれぞれは、単位マスクの幅方向と平行な長辺と、単位マスクの長さ方向と平行な短辺とを含むことができる。単位マスクの幅方向に沿った蒸着用開口部の間の距離は、単位マスクの長さ方向に沿った蒸着用開口部の間の距離よりも小さく形成されてもよい。
【０００７】
蒸着用凹部は、単位マスクの幅方向に沿って複数の蒸着用開口部と平行に位置してもよい。少なくとも二つの単位マスクに形成された二つの蒸着用凹部は、同一の形状と同一の大きさを有し、単位マスクの幅方向に沿って平行に位置してもよい。
【０００８】
蒸着用開口部と蒸着用凹部は、傾いた側壁で囲まれ、単位マスクの幅方向に沿った蒸着用凹部の一側面の側壁形状は、単位マスクの幅方向に沿った蒸着用開口部の側壁形状と同一であってもよい。
【０００９】
単位マスクは、蒸着ソースと向き合う一面とその反対面を含み、一面で観察される蒸着用開口部および蒸着用凹部の大きさは、反対面で観察される蒸着用開口部および蒸着用凹部の大きさよりも大きく形成されてもよい。
【００１０】
単位マスクの幅方向に沿った蒸着用凹部の幅（ｗ１）は、下記条件を満たすことができる。
【００１１】
ｗ２＜ｗ１≦ｗ２＋ｄ１／２
ここで、ｗ２は、単位マスクの幅方向に沿った蒸着用開口部の幅であり、ｄ１は、単位マスクの幅方向に沿った蒸着用開口部の間の距離である。
【００１２】
複数の蒸着用開口部と蒸着用凹部は、フレームの開口部に対応する領域に位置してもよい。
【００１３】
単位マスクは、第１色と第２色および第３色の副画素に対応する有機発光層蒸着用であり、長さ方向に沿って引張力が加わった状態でフレームに固定され、蒸着過程で引張方向が同一色の副画素の配列方向と直交するように配置されてもよい。複数の蒸着用開口部と蒸着用凹部は、第１色と第２色および第３色の副画素のうちのいずれか一色の副画素に対応して位置してもよい。
【００１４】
本発明の一実施形態による有機発光表示装置は、基板上に位置する画素電極と有機発光層および共通電極を含み、有機発光層は、一つの副画素に対応して位置する第１有機発光層と、二つの副画素にわたって位置する第２有機発光層とを含む。
【００１５】
有機発光層は、互いに異なる複数の色のいずれか一色を具現することができる。第１方向に沿って同一色の有機発光層が一列に位置し、第１方向と直交する第２方向に沿って異なる色の有機発光層が交互に位置してもよい。第２有機発光層は、第１方向に沿って隣接した二つの副画素にわたって位置してもよい。
【００１６】
第１方向に沿った第２有機発光層の長さは、第１方向に沿った第１有機発光層の長さの２倍以上であってもよい。第１方向に沿った第２有機発光層の長さ（Ｌ２）は、下記数式で表されてもよい。
【００１７】
Ｌ２＝２Ｌ１＋ｄ３
ここで、Ｌ１は、第１方向に沿った第１有機発光層の長さであり、ｄ３は、第１方向に沿った第１有機発光層の間の距離である。
【００１８】
第２有機発光層の間の中央で第２方向に沿って薄膜層が位置してもよい。
【発明の効果】
【００１９】
本実施形態のマスク組立体は、蒸着用開口部の側壁と蒸着用凹部の側壁が十分な傾斜角を有するようにすることができ、その結果、有機発光表示装置全体で有機発光層の蒸着品質を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の一実施形態によるマスク組立体の分解斜視図である。
【図２】本発明の一実施形態によるマスク組立体の平面図である。
【図３】図１に示したマスク組立体中の二つの単位マスクと有機発光表示装置の副画素を示す平面図である。
【図４】図３に示した単位マスクの平面図である。
【図５】図４のＡ−Ａ線を基準に切開した単位マスクの断面図である。
【図６】図５の単位マスクを用いた有機発光層の蒸着過程を示す概略図である。
【図７】蒸着用凹部なしに蒸着用開口部のみを備えた比較例の単位マスクを示す部分拡大図である。
【図８】図７のＢ−Ｂ線を基準に切開した単位マスクの断面図である。
【図９】図１のマスク組立体を用いて製造された有機発光表示装置の有機発光層を示す平面図である。
【図１０】図９に示した第２有機発光層を含む有機発光表示装置の概略的な断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、添付図面を参照して本発明の実施形態について本発明が属する技術分野で通常の知識を有する者が容易に実施することができるように詳しく説明する。本発明は、多様な異なる形態で実現することができ、ここで説明する実施形態に限定されない。
【００２２】
図１は、本発明の一実施形態によるマスク組立体の分解斜視図であり、図２は、本発明の一実施形態によるマスク組立体の平面図である。
【００２３】
図１と図２を参照すると、本実施形態のマスク組立体１００は、開口部１５を形成するフレーム１０と、両側端部がフレーム１０に固定される帯状の単位マスク２０とを含む。各単位マスク２０は、複数の蒸着用開口部２１を形成し、長さ方向に沿って引張力が加わった状態でフレーム１０に固定されて自重による垂れが防止される。
【００２４】
フレーム１０は、互いに平行な一対の第１支持部１１と、第１支持部１１と直交する一対の第２支持部１２から構成される。第１支持部１１の長さは、第２支持部１２の長さよりも大きく形成されてもよい。単位マスク２０は、両側端部が第１支持部１１に固定されて第２支持部１２と平行に配置される。単位マスク２０が引張された状態でフレーム１０に固定されるため、フレーム１０は十分な剛性を有さなければならない。
【００２５】
単位マスク２０が集まって蒸着のための一つのマスク２０１を構成する。単位マスク２０中のフレーム１０に固定された両側端部を除いた残りの部分は、フレーム１０の開口部１５上に位置する。したがって、後述する蒸着過程で単位マスク２０は基板と蒸着ソースの間に位置するため、蒸着用開口部２１を用いた有機発光層の蒸着を可能にする。
【００２６】
単位マスク２０は、蒸着用開口部２１以外に、次に説明する蒸着用凹部を共に形成する。図１と図２では、便宜上、蒸着用凹部の図示を省略した。
【００２７】
図３は、図１に示したマスク組立体中の二つの単位マスクと有機発光表示装置の副画素を示す平面図であり、図４は、図３に示した単位マスクの平面図である。
【００２８】
図３と図４を参照すると、有機発光表示装置は、複数の画素を含み、各画素は３色の副画素３０を含む。３色は、赤色（Ｒ）と緑色（Ｇ）および青色（Ｂ）であってもよい。第１方向（図３のｘ軸方向）に沿って同一色の副画素３０が一列に位置し、第１方向と直交する第２方向（図３のｙ軸方向）に沿って異なる色の副画素３０が交互に位置する。
【００２９】
通常の場合、単位マスク２０は、引張方向（長さ方向）が同一色の副画素３０の配列方向と一致するように位置する。ところで、必要によって単位マスク２０は、その反対の場合に配置されてもよい。本実施形態のマスク組立体１００で単位マスク２０は、引張方向（長さ方向）が同一色の副画素３０の配列方向（第１方向）と直交するように位置する。
【００３０】
図３で単位マスク２０の引張方向は、第２方向（ｙ軸方向）であり、同一色の副画素３０の配列方向は、第１方向（ｘ軸方向）である。各単位マスク２０には、３色の副画素３０のうちの一色の副画素３０に対応する蒸着用開口部２１が形成される。
【００３１】
蒸着用開口部２１のそれぞれは、長辺と短辺を有するほぼ長方形で形成されてもよい。蒸着用開口部２１の長辺は、単位マスク２０の幅方向（ｘ軸方向）と一致し、短辺は単位マスク２０の長さ方向（ｙ軸方向）と一致する。そして、第１方向（ｘ軸方向）に沿った蒸着用開口部２１の間の距離（ｄ１）（図４参照）は、第２方向（ｙ軸方向）に沿った蒸着用開口部２１の間の距離（ｄ２）（図４参照）よりも小さい。
【００３２】
複数の単位マスク２０のうちの隣接した少なくとも二つの単位マスク２０は、互いに向き合う両側面に蒸着用凹部２２を形成する。蒸着用凹部２２は、単位マスク２０で完全に囲まれずに単位マスク２０の側面に向かって開放されている。隣接した二つの単位マスク２０の間には、所定の隙が存在してもよい。
【００３３】
蒸着用凹部２２は、第１方向（ｘ軸方向）に沿って蒸着用開口部２１と平行に位置する。そして、一側面の単位マスク２０に形成された蒸着用凹部２２と他側面の単位マスク２０に形成された蒸着用凹部２２とは、同一の形状と同一の大きさで形成され、第１方向（ｘ軸方向）に沿って平行に位置する。
【００３４】
単位マスク２０の幅方向に沿った蒸着用凹部２２の幅（ｗ１）（図４参照）は、単位マスク２０の幅方向に沿った蒸着用開口部２１の幅（ｗ２）（図４参照）と同一であるか、またはそれよりも大きく形成される。この時、隣接した二つの単位マスク２０は、互いに重なることができないため、蒸着用凹部２２の幅（ｗ１）は下記条件１を満たすように設定される。
【００３５】
ｗ２＜ｗ１≦ｗ２＋ｄ１／２ ・・・（１）
ここで、ｄ１は、単位マスク２０の幅方向に沿った蒸着用開口部２１の間の距離を示す。
【００３６】
したがって、蒸着用開口部２１と同様に、一つの蒸着用凹部２２も一つの副画素３０に対応し、この副画素３０に対応する有機発光層を蒸着するための用途で使用される。
【００３７】
二つの単位マスク２０が互いに向き合う両側面にそれぞれの蒸着用凹部２２を形成することによって、これら二つの蒸着用凹部２２を一つの蒸着用開口部として活用し、二つの副画素３０にわたって位置する一つの有機発光層を形成することができる。
【００３８】
つまり、マスク組立体１００は、複数の蒸着用開口部２１を用いて一つの副画素３０に対応する有機発光層と、二つの蒸着用凹部２２を用いて二つの副画素にわたって位置する有機発光層を同時に形成することができる。本実施形態のマスク組立体１００を用いて形成された有機発光層の構造については後述する。
【００３９】
図５は、図４のＡ−Ａ線を基準に切開した単位マスクの断面図であり、図６は、図５の単位マスクを用いた有機発光層の蒸着過程を示す概略図である。
【００４０】
図５と図６を参照すると、単位マスク２０は、蒸着過程で蒸着ソース４１と有機発光層４２が蒸着される基板４３との間に位置する。このような単位マスク２０は、蒸着用開口部２１と蒸着用凹部２２の側壁２３を傾斜して形成し、単位マスク２０の上下面で観察される蒸着用開口部２１および蒸着用凹部２２の大きさが異なるようにする。
【００４１】
具体的に、単位マスク２０の上下面のうち、蒸着ソース４１と向き合う面（図５および図６を基準に下面）で観察される蒸着用開口部２１および蒸着用凹部２２の大きさは、基板４３と向き合う面（図５および図６を基準に上面）で観察される蒸着用開口部２１および蒸着用凹部２２の大きさよりも大きい。
【００４２】
また、第１方向（ｘ軸方向）に沿った単位マスク２０の断面形状を基準に蒸着用凹部２２の一側面の側壁２３形状は、蒸着用開口部２１の側壁２３形状と同一に形成される。つまり、蒸着用開口部２１の側壁２３傾斜角は、蒸着用凹部２２の一側面の側壁２３傾斜角と同一に形成される。
【００４３】
蒸着用開口部２１と蒸着用凹部２２の傾いた側壁２３は、有機発光層４２が不均一な厚さで蒸着されるシャドー効果（ｓｈａｄｏｗ ｅｆｆｅｃｔ）を減らすためのものである。もし、蒸着用開口部２１と蒸着用凹部２２の側壁２３が十分な傾斜角を確保できない場合には、蒸着ソース４１で放出される物質の大部分は、側壁２３にぶつけられて基板４３に均一に蒸着されない。したがって、側壁２３が十分な傾斜角を確保することが重要である。
【００４４】
図７は、蒸着用凹部なしに蒸着用開口部のみを備えた比較例の単位マスクを示す部分拡大図であり、図８は、図７のＢ−Ｂ線を基準に切開した単位マスクの断面図である。
【００４５】
図７と図８を参照すると、比較例の単位マスク２０５は、実施形態の単位マスク２０と同一な条件（単位マスクの引張方向が同一色の副画素の配列方向と直交し、蒸着用開口部の長辺が単位マスクの幅方向と一致）で蒸着用凹部なしに蒸着用開口部２１５、２１５ａのみを形成する。
【００４６】
比較例の単位マスク２０５では、単位マスク２０５の両側面と最外郭蒸着用開口部２１５ａとの間に十分な間隔を確保するのが難しい。その結果、単位マスク２０５の側面に向かった最外郭蒸着用開口部２１５ａの一側面に十分な傾斜角を具現することができない。
【００４７】
図８で単位マスク２０５の側面に向かった最外郭蒸着用開口部２１５ａの一側面の側壁２３５は、垂直に近い傾斜角を具現している。これによって、比較例の単位マスクでは、最外郭蒸着用開口部２１５ａでシャドー現象が発生し、有機発光層４２５の蒸着品質が低下する。図８で有機発光層４２５のうちシャドー現象が発生した部位を黒色線で表示した。
【００４８】
再び図５と図６を参照すると、本実施形態の単位マスク２０は、比較例の最外郭蒸着用開口部２１５ａの代わりに蒸着用凹部２２を形成することによって、比較例で発生したシャドー効果を根本的に遮断することができる。つまり、最外郭蒸着用開口部２１５ａを形成する代わりに、隣接した二つの蒸着用凹部２２を一つの蒸着用開口部として活用することによって、厚さが均一な有機発光層４２を形成することができる。
【００４９】
このように本実施形態の単位マスク２０は、蒸着用開口部２１と蒸着用凹部２２の側壁２３が十分な傾斜角を有するようにすることができ、その結果、有機発光表示装置全体で有機発光層４２の蒸着品質を高めることができる。
【００５０】
図９は、図１のマスク組立体を用いて製造された有機発光表示装置の有機発光層を示す平面図である。
【００５１】
図３と図９を参照すると、マスク組立体１００は、第１位置で第１色と第２色および第３色のうちのいずれか一色の有機発光層４２蒸着に使用され、第２位置に移動した後、第１色と第２色および第３色のうちの他の一色の有機発光層４２蒸着に使用される。また、マスク組立体１００は、第３位置に移動した後、第１色と第２色および第３色のうちの残りの一色の有機発光層４２蒸着に使用される。第１色は赤色（Ｒ）であってもよく、第２色は緑色（Ｇ）であってもよく、第３色は青色（Ｂ）であってもよい。
【００５２】
有機発光表示装置で、同一色の有機発光層４２は、第１方向（ｘ軸方向）に沿って一列に位置し、第２方向（ｙ軸方向）に沿って異なる色の有機発光層４２が交互に位置する。有機発光層４２は、一つの副画素に対応して位置する第１有機発光層４２１と、第１方向に沿って隣接した二つの副画素にわたって位置する第２有機発光層４２２とを含む。
【００５３】
第２有機発光層４２２の長さ（Ｌ２）（図９参照）は、第１有機発光層４２１の長さ（Ｌ１）（図９参照）の２倍以上である。具体的に、第２有機発光層４２２の長さ（Ｌ２）は、（２Ｌ１＋ｄ３）で表されてもよい。ｄ３は、第１有機発光層４２１の間の距離を示し、 この時、長さ（Ｌ１、Ｌ２）と距離（ｄ３）は全て第１方向（ｘ軸方向）を基準とする。第２方向（ｙ軸方向）に沿った第１有機発光層４２１の幅は、第２有機発光層４２２の幅と同一である。
【００５４】
第２有機発光層４２２が隣接した二つの副画素にわたって位置しても、各副画素毎に画素電極（図示せず）と駆動回路部（図示せず）が別個に備わるため、第２有機発光層４２２は、副画素別に独立的に発光することができる。
【００５５】
一方、図３に示した二つの単位マスク２０の間に所定の隙が存在し得るため、この隙を通じて有機発光層４２が蒸着され得る。この隙によりできた薄膜層６０を図９に示した。薄膜層６０は、前述した３色の有機発光層４２が重畳されたものであって、第２有機発光層４２２の間の中央で第２方向（ｙ軸方向）と平行に位置する。
【００５６】
図１０は、図９に示した第２有機発光層を含む有機発光表示装置の概略的な断面図である。
【００５７】
有機発光表示装置２００は、複数の信号線と連結されており、ほぼ行列（ｍａｔｒｉｘ）の形態に配列された複数の副画素を含む。図１０は、複数の副画素のうちの２つの副画素を示したものであり、各副画素は複数の薄膜トランジスターを含むが、ここでは、便宜上、一つの薄膜トランジスター５０のみを示す。
【００５８】
図１０を参照すると、基板４３の上にバッファー層４４が形成され、バッファー層４４の上に半導体層４５が位置する。半導体層４５は、チャンネル領域４５１とソース領域４５２およびドレイン領域４５３を含む。ソース領域４５２とドレイン領域４５３には、ｐ型不純物またはｎ型不純物がドーピングされ得る。
【００５９】
半導体層４５を覆いながら、バッファー層４４の上にゲート絶縁膜４６が形成され、チャンネル領域４５１に対応するゲート絶縁膜４６の上にゲート電極４７が形成される。そして、ゲート電極４７を覆いながらゲート絶縁膜４６の上に層間絶縁膜４８が形成される。
【００６０】
層間絶縁膜４８とゲート絶縁膜４６には、ソース領域４５２とドレイン領域４５３を露出させるコンタクトホールが形成される。層間絶縁膜４８の上には、コンタクトホールを通じてソース領域４５２と連結されるソース電極５１およびコンタクトホールを通じてドレイン領域４５３と連結されるドレイン電極５２が形成される。
【００６１】
ソース電極５１とドレイン電極５２を覆いながら層間絶縁膜４８の上に平坦化膜４９が形成され、平坦化膜４９にはドレイン電極５２を露出させるコンタクトホールが形成される。平坦化膜４９の上にはドレイン電極５２と連結される画素電極５３が形成され、画素電極５３を覆いながら平坦化膜４９の上に画素定義膜５４が形成される。画素定義膜５４には、画素電極５３の一部を露出させる開口部が形成される。
【００６２】
画素定義膜５４の開口部には有機発光層４２２が形成され、有機発光層４２２を覆いながら画素定義膜５４全体に共通電極５５が形成される。図１０に示した有機発光層４２２は、隣接した二つの副画素にわたって位置する第２有機発光層である。画素電極５３と共通電極５５のうちのいずれか一つは電子注入電極として機能し、他の一つは正孔注入電極として機能する。
【００６３】
有機発光層４２２は、赤色と緑色および青色のうちのいずれか一色の光を出す有機物質または有機物質と無機物質の混合物で形成されてもよい。有機発光層４２２の下部および上部には、有機発光層４２２の発光効率を改善するための補助層が形成されてもよい。補助層は、正孔注入層、正孔輸送層、電子注入層、および電子輸送層のうちの少なくとも一つであってもよい。
【００６４】
画素電極５３と共通電極５５のうちのいずれか一つは透明導電膜で形成され、他の一つは反射型導電膜で形成されてもよい。有機発光層４２２で放出された光は反射型導電膜により反射され、透明導電膜を透過して有機発光表示装置の外部に放出される。
【００６５】
一方、前記では有機発光層４２が赤色と緑色および青色を具現することを例に挙げて説明したが、有機発光層４２の発光色は前述した例に限定されない。
【００６６】
以上で本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は、これに限定されるのではなく、特許請求の範囲と発明の詳細な説明および添付図面の範囲内で多様に変形して実施することが可能であり、これも本発明の範囲に属することは当然である。
【符号の説明】
【００６７】
１００…マスク組立体
１０…フレーム
１５…開口部
２０…単位マスク
２１…蒸着用開口部
２２…蒸着用凹部
２３…側壁
３０…副画素
４１…蒸着ソース
４２…有機発光層
４２１…第１有機発光層
４２２…第２有機発光層
４３…基板
４５…半導体層
５０…薄膜トランジスター
【特許請求の範囲】
【請求項１】
開口部を形成するフレーム、および
複数の蒸着用開口部を形成し、長さ方向の両側端部が前記フレームに固定される複数の単位マスクを含み、
前記複数の単位マスクのうちの隣接した少なくとも二つの単位マスクは、互いに向き合う両側面に蒸着用凹部を形成し、
前記単位マスクの幅方向に沿った前記蒸着用凹部の幅は、前記単位マスクの幅方向に沿った前記蒸着用開口部の幅以上である、マスク組立体。
【請求項２】
前記複数の蒸着用開口部のそれぞれは、前記単位マスクの幅方向と平行な長辺と、前記単位マスクの長さ方向と平行な短辺とを含む、請求項１に記載のマスク組立体。
【請求項３】
前記単位マスクの幅方向に沿った前記蒸着用開口部の間の距離は、前記単位マスクの長さ方向に沿った前記蒸着用開口部の間の距離よりも小さい、請求項２に記載のマスク組立体。
【請求項４】
前記蒸着用凹部は、前記単位マスクの幅方向に沿って前記複数の蒸着用開口部と平行に位置する、請求項１乃至請求項３のいずれか一項に記載のマスク組立体。
【請求項５】
前記少なくとも二つの単位マスクに形成された前記二つの蒸着用凹部は、同一の形状と同一の大きさを有し、前記単位マスクの幅方向に沿って平行に位置する、請求項４に記載のマスク組立体。
【請求項６】
前記蒸着用開口部と前記蒸着用凹部は、傾いた側壁で囲まれ、
前記単位マスクの幅方向に沿った前記蒸着用凹部の一側面の側壁形状は、前記単位マスクの幅方向に沿った前記蒸着用開口部の側壁形状と同一である、請求項４に記載のマスク組立体。
【請求項７】
前記単位マスクは、蒸着ソースと向き合う一面とその反対面を含み、
前記一面で観察される前記蒸着用開口部および前記蒸着用凹部の大きさは、前記反対面で観察される前記蒸着用開口部および前記蒸着用凹部の大きさよりも大きい、請求項６に記載のマスク組立体。
【請求項８】
前記単位マスクの幅方向に沿った前記蒸着用凹部の幅（ｗ１）は、下記条件を満たす、請求項１に記載のマスク組立体。
ｗ２＜ｗ１≦ｗ２＋ｄ１／２
ここで、ｗ２は、前記単位マスクの幅方向に沿った前記蒸着用開口部の幅であり、ｄ１は、前記単位マスクの幅方向に沿った前記蒸着用開口部の間の距離である。
【請求項９】
前記複数の蒸着用開口部と前記蒸着用凹部は、前記フレームの開口部に対応する領域に位置する、請求項１に記載のマスク組立体。
【請求項１０】
前記単位マスクは、第１色と第２色および第３色の副画素に対応する有機発光層蒸着用であり、長さ方向に沿って引張力が加わった状態で前記フレームに固定され、蒸着過程で引張方向が同一色の副画素の配列方向と直交するように配置される、請求項１に記載のマスク組立体。
【請求項１１】
前記複数の蒸着用開口部と前記蒸着用凹部は、前記第１色と前記第２色および前記第３色の副画素のうちのいずれか一色の副画素に対応して位置する、請求項１０に記載のマスク組立体。
【請求項１２】
基板上に位置する画素電極と有機発光層および共通電極を含む有機発光表示装置において、
前記有機発光層は、
一つの副画素に対応して位置する第１有機発光層、および
二つの副画素にわたって位置する第２有機発光層
を含む、有機発光表示装置。
【請求項１３】
前記有機発光層は、互いに異なる複数の色のいずれか一色に対応し、
第１方向に沿って同一色の有機発光層が一列に位置し、前記第１方向と直交する第２方向に沿って異なる色の有機発光層が交互に位置する、請求項１２に記載の有機発光表示装置。
【請求項１４】
前記第２有機発光層は、前記第１方向に沿って隣接した二つの副画素にわたって位置する、請求項１３に記載の有機発光表示装置。
【請求項１５】
前記第１方向に沿った前記第２有機発光層の長さは、前記第１方向に沿った前記第１有機発光層の長さの２倍以上である、請求項１４に記載の有機発光表示装置。
【請求項１６】
前記第１方向に沿った前記第２有機発光層の長さ（Ｌ２）は、下記数式で表される、請求項１５に記載の有機発光表示装置。
Ｌ２＝２Ｌ１＋ｄ３
ここで、Ｌ１は、前記第１方向に沿った前記第１有機発光層の長さであり、ｄ３は、前記第１方向に沿った前記第１有機発光層の間の距離である。
【請求項１７】
前記第２有機発光層の間の中央で前記第２方向に沿って薄膜層が位置する、請求項１３に記載の有機発光表示装置。
【請求項１】
開口部を形成するフレーム、および
複数の蒸着用開口部を形成し、長さ方向の両側端部が前記フレームに固定される複数の単位マスクを含み、
前記複数の単位マスクのうちの隣接した少なくとも二つの単位マスクは、互いに向き合う両側面に蒸着用凹部を形成し、
前記単位マスクの幅方向に沿った前記蒸着用凹部の幅は、前記単位マスクの幅方向に沿った前記蒸着用開口部の幅以上である、マスク組立体。
【請求項２】
前記複数の蒸着用開口部のそれぞれは、前記単位マスクの幅方向と平行な長辺と、前記単位マスクの長さ方向と平行な短辺とを含む、請求項１に記載のマスク組立体。
【請求項３】
前記単位マスクの幅方向に沿った前記蒸着用開口部の間の距離は、前記単位マスクの長さ方向に沿った前記蒸着用開口部の間の距離よりも小さい、請求項２に記載のマスク組立体。
【請求項４】
前記蒸着用凹部は、前記単位マスクの幅方向に沿って前記複数の蒸着用開口部と平行に位置する、請求項１乃至請求項３のいずれか一項に記載のマスク組立体。
【請求項５】
前記少なくとも二つの単位マスクに形成された前記二つの蒸着用凹部は、同一の形状と同一の大きさを有し、前記単位マスクの幅方向に沿って平行に位置する、請求項４に記載のマスク組立体。
【請求項６】
前記蒸着用開口部と前記蒸着用凹部は、傾いた側壁で囲まれ、
前記単位マスクの幅方向に沿った前記蒸着用凹部の一側面の側壁形状は、前記単位マスクの幅方向に沿った前記蒸着用開口部の側壁形状と同一である、請求項４に記載のマスク組立体。
【請求項７】
前記単位マスクは、蒸着ソースと向き合う一面とその反対面を含み、
前記一面で観察される前記蒸着用開口部および前記蒸着用凹部の大きさは、前記反対面で観察される前記蒸着用開口部および前記蒸着用凹部の大きさよりも大きい、請求項６に記載のマスク組立体。
【請求項８】
前記単位マスクの幅方向に沿った前記蒸着用凹部の幅（ｗ１）は、下記条件を満たす、請求項１に記載のマスク組立体。
ｗ２＜ｗ１≦ｗ２＋ｄ１／２
ここで、ｗ２は、前記単位マスクの幅方向に沿った前記蒸着用開口部の幅であり、ｄ１は、前記単位マスクの幅方向に沿った前記蒸着用開口部の間の距離である。
【請求項９】
前記複数の蒸着用開口部と前記蒸着用凹部は、前記フレームの開口部に対応する領域に位置する、請求項１に記載のマスク組立体。
【請求項１０】
前記単位マスクは、第１色と第２色および第３色の副画素に対応する有機発光層蒸着用であり、長さ方向に沿って引張力が加わった状態で前記フレームに固定され、蒸着過程で引張方向が同一色の副画素の配列方向と直交するように配置される、請求項１に記載のマスク組立体。
【請求項１１】
前記複数の蒸着用開口部と前記蒸着用凹部は、前記第１色と前記第２色および前記第３色の副画素のうちのいずれか一色の副画素に対応して位置する、請求項１０に記載のマスク組立体。
【請求項１２】
基板上に位置する画素電極と有機発光層および共通電極を含む有機発光表示装置において、
前記有機発光層は、
一つの副画素に対応して位置する第１有機発光層、および
二つの副画素にわたって位置する第２有機発光層
を含む、有機発光表示装置。
【請求項１３】
前記有機発光層は、互いに異なる複数の色のいずれか一色に対応し、
第１方向に沿って同一色の有機発光層が一列に位置し、前記第１方向と直交する第２方向に沿って異なる色の有機発光層が交互に位置する、請求項１２に記載の有機発光表示装置。
【請求項１４】
前記第２有機発光層は、前記第１方向に沿って隣接した二つの副画素にわたって位置する、請求項１３に記載の有機発光表示装置。
【請求項１５】
前記第１方向に沿った前記第２有機発光層の長さは、前記第１方向に沿った前記第１有機発光層の長さの２倍以上である、請求項１４に記載の有機発光表示装置。
【請求項１６】
前記第１方向に沿った前記第２有機発光層の長さ（Ｌ２）は、下記数式で表される、請求項１５に記載の有機発光表示装置。
Ｌ２＝２Ｌ１＋ｄ３
ここで、Ｌ１は、前記第１方向に沿った前記第１有機発光層の長さであり、ｄ３は、前記第１方向に沿った前記第１有機発光層の間の距離である。
【請求項１７】
前記第２有機発光層の間の中央で前記第２方向に沿って薄膜層が位置する、請求項１３に記載の有機発光表示装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【公開番号】特開２０１３−１１２８９６（Ｐ２０１３−１１２８９６Ａ）
【公開日】平成２５年６月１０日（２０１３．６．１０）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１２−４５４３７（Ｐ２０１２−４５４３７）
【出願日】平成２４年３月１日（２０１２．３．１）
【出願人】（５１２１８７３４３）三星ディスプレイ株式會社 (73)
【氏名又は名称原語表記】Ｓａｍｓｕｎｇ Ｄｉｓｐｌａｙ Ｃｏ．，Ｌｔｄ．
【住所又は居所原語表記】９５，Ｓａｍｓｕｎｇ ２ Ｒｏ，Ｇｉｈｅｕｎｇ−Ｇｕ，Ｙｏｎｇｉｎ−Ｃｉｔｙ，Ｇｙｅｏｎｇｇｉ−Ｄｏ，Ｋｏｒｅａ
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２５年６月１０日（２０１３．６．１０）
【国際特許分類】
【出願日】平成２４年３月１日（２０１２．３．１）
【出願人】（５１２１８７３４３）三星ディスプレイ株式會社 (73)
【氏名又は名称原語表記】Ｓａｍｓｕｎｇ Ｄｉｓｐｌａｙ Ｃｏ．，Ｌｔｄ．
【住所又は居所原語表記】９５，Ｓａｍｓｕｎｇ ２ Ｒｏ，Ｇｉｈｅｕｎｇ−Ｇｕ，Ｙｏｎｇｉｎ−Ｃｉｔｙ，Ｇｙｅｏｎｇｇｉ−Ｄｏ，Ｋｏｒｅａ
【Ｆターム（参考）】
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