振り子弁組立体
弁座により画成された開口部を有するハウジングと、弁座から非係合状態となった完全に開放した位置と弁座と係合する完全に閉塞した位置との間にてハウジング内で可動の弁胴と、長手方向軸線に沿って長手方向に動き且つ、長手方向軸線の周りにて回転可能なスリーブとを有する弁組立体である。スリーブは弁胴に接続され、弁胴はスリーブと共に回転し且つ、スリーブに対し長手方向に動くことができる。ハウジング及びスリーブの一方はカム面を有し、また、ハウジング及びスリーブの他方はカム面に受け入れられるカム従動子を有している。回転可能な軸はスリーブと螺着係合し、軸の回転によりスリーブはカム従動子に対し回転動作及び長手方向への動きの少なくとも一方を行う。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、全体として、ペンジュラム（ｐｅｎｄｕｌｕｍ）すなわち振り子又は仕切弁組立体、より具体的には、振り子弁組立体のフラッパに対し回転動作及び軸方向動作の双方を提供する新規且つ、改良された構成を含む振り子弁組立体に関する。
【背景技術】
【０００２】
振り子弁組立体は、全体として、振り子弁を収容し且つ、内部空間と、気体状流体が内部空間に入り且つ内部空間から出るときに通る１対の開口部とを有するハウジングを備えている。振り子弁組立体は、半導体の製造過程又はその他の薄膜被覆過程にて使用されるもののような、高純度気体の供給システムにて特に有用である。その名称が意味するように、振り子弁は、開放位置と閉塞位置との間にて枢動し、また、枢動アームにより回転可能な軸に接続された、ディスク又はフラッパとして通常、提供される弁胴を有している。完全に開放した位置において、振り子弁のディスクは、開口部により画成された流路外に動き、このため、流体は、ハウジングの内部空間に入り且つ、内部空間外に出ることができる一方、完全に閉塞した位置において、ディスクは、開口部の１つを取り囲む弁座と密封係合するように動き、このため、流体は内部空間に入ることはできない。
【０００３】
ディスクが動くためには、通常、完全に開放した位置と中間位置との間にて回転（すなわち、枢動又は横方向）動作を必要とし、次に、中間位置からディスクが弁座と密封接触する完全に閉塞した位置まで少なくとも多少の長手方向（すなわち、平行移動、直線状又は軸方向）動作を必要とする。この回転動作と平行移動動作との組み合わせを実現するためには、幾つかの従来の振り子弁は、典型的に、多数のアクチュエータ要素を使用している。
【０００４】
更に、「標準」型の仕切弁又は振り子弁において、ゲートが弁ハウジングの開口部から分離し始めると、気体の流れは急激に増大する。また、一般に、ゲートと開口部との間に重なり部分がある（すなわち、ゲートの直径が開口部よりも大きい）ため、ゲートが最初に動く結果、流れの変化は多少、あるにしても、殆どない。このため、全体的なコンダクタンスは、流れの非常に小さい変化、その後の、流れの極めて急激な変化（ゲートが閉じられるときは、その逆となる）を含み、その結果、弁のこの作動範囲において流れ（コンダクタンス）の制御は不良となる。
【特許文献１】米国特許第６，０８９，５３７号明細書
【特許文献２】米国特許第６，１６１，５７６号明細書
【特許文献３】米国特許第６，３２８，０５１号明細書
【特許文献４】米国特許第６，４０９，１４９号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明の譲渡人に譲渡され且つ、引用して本明細書に含めた、オルムステッド（Ｏｌｍｓｔｅｄ）に対する米国特許第６，０８９，５３７号明細書には、完全に開放した位置と完全に閉塞した位置との間にて弁胴の回転動作及び長手方向への動作を正確に制御する簡単な回転カム機構を使用する改良された振り子弁組立体が開示されている。全て本発明の譲渡人に譲渡され且つ、参考として引用し本明細書に含めた、米国特許第６，１６１，５７６号明細書、米国特許第６，３２８，０５１号明細書、米国特許第６，４０９，１４９号明細書には、改良された振り子弁組立体及びシステムも開示されている。
【０００６】
しかし、閉塞位置と開放位置との間にて弁組立体のディスクの回転動作及び長手方向動作の双方を提供する新規且つ、改良された構成を含む新規且つ、改良された振り子弁組立体が更に望まれる。好ましくは、該構成体の長手方向への動きのレゾリューション（ｒｅｓｏｌｕｔｉｏｎ）すなわち分解能は、回転動作のレゾリューションすなわち分解能と独立的に選ぶことができる。弁が開放し且つ、閉塞する間、弁組立体を通じてコンダクタンスのより制御可能で且つ、一定の変化を提供する新規且つ、改良された振り子弁組立体も望まれる。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、内部空間と、流体が該内部空間に入り且つ、該内部空間から出るときに通ることのできる開口部とを有するハウジングと、流体が開口部を通って流れるのを許容する完全に開放した位置と、流体が開口部を通って流れるのを阻止する完全に閉塞した位置との間にて内部空間内で可動である弁胴と、長手方向軸線に沿って長手方向に動き且つ、長手方向軸線の周りにて回転可能であるスリーブとを備える、新規且つ、改良された弁組立体を提供する。該スリーブは、弁胴に接続され、弁胴がスリーブと共に、長手方向軸線の周りにて、完全に開放した位置と弁胴が開口部と実質的に整合されるが、該開口部から長手方向に隔てられた中間位置との間にて回転することができ、また、弁胴は、中間位置と完全に閉塞した位置との間にてスリーブと共に長手方向に動くことができる。
【０００８】
ハウジング及びスリーブの一方は、カム面を有し、ハウジング及びスリーブの他方は、カム面により受け入れられるカム従動子を有している。該組立体は、スリーブの長手方向軸線に沿って伸び且つ、該長手方向軸線の周りにて回転可能な軸も有しており、該軸は、スリーブと螺着係合し、軸の回転によりスリーブはカム従動子と共に回転動作及び長手方向への動作の一方を行う。
【０００９】
本発明のその他の特徴及び有利な効果の内、弁組立体の弁胴には、閉塞位置と開放位置との間にて回転動作及び長手方向への動きの双方が付与される。本発明の弁組立体は、また、弁胴の回転動作のレゾリューションと独立的に選ぶことのできる長手方向動作のレゾリューションを提供する。更に、本発明は、弁が開放し且つ、閉塞する間、弁組立体を通じてのコンダクタンスのより制御可能で且つ、均一な変化を提供する新規且つ、改良された振り子弁組立体を提供する。
【００１０】
本発明の追加的な特徴及び有利な効果は、本発明を実施するために考えられる最良の形態を単に一例として、本発明の一例としての実施の形態と示す以下の詳細な説明から当該技術分野の当業者に明らかになるであろう。理解されるように、本発明は、その他の且つ、異なる実施の形態が可能であり、その幾つかの詳細は、全て本発明から逸脱せずに、色々な明らかな点にて形態変更を為すことが可能である。従って、図面及び明細書は、性質上、説明のためであり、限定的なものではないとみなすべきである。
【００１１】
全体を通じて同様の要素を同様の参照番号にて表示する添付図面に関して説明する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
図１を参照すると、本発明に従った構造とされた振り子弁組立体１０の一例としての実施の形態は、全体として、振り子弁１６を収容する内部空間１４を画成し且つ、１対の対向する開口部１８、２０を有するハウジング１２を備えており、気体は該１対の開口部１８、２０を通って内部空間に入り且つ、該内部空間から出ることができる。弁座２２、２４は、開口部１８、２０の端縁の周りにてハウジング１２の内部１４に設けられている。図示するように、振り子弁１６は、破線で示すように、流体が開口部１８を通って流れるのを許容する完全に開放した位置と、実線で示すように、流体が開口部１８を通って流れるのを阻止する完全に閉塞した位置との間を動く弁胴２６を有している。
【００１３】
同様に図示するように、振り子弁組立体１０の第一の開口部１８は、例えば、プロセスチャンバに接続し、第二の開口部２０は真空ポンプに接続し、半導体製造過程又は例えば、１３３．２３Ｐａ（１トル）以下程度の圧力のような極めて低圧力（高真空圧）にて行われるその他の薄膜被覆過程にて使用されるもののような、高純度気体の供給システムの一部分を形成することができる。全体として、半導体ウェハのような加工物がチャンバ内に配置される一方、プロセス気体はチャンバ内に導入され、所定の仕方にて加工物と化学的に反応する。化学的反応は、図示するように残留物を発生させることになる。
【００１４】
振り子弁組立体１０は、ディスク２６の位置を完全に開放した位置と完全に閉塞した位置との間にて制御することにより、プロセスチャンバと真空ポンプとの間の気体の流れを制御するのを助ける。閉塞した位置において、ディスク２６は、第一の開口部１８の端縁の周りにて内部空間１４内に設けられた弁座２２と密封接触する。
【００１５】
同様に図２ないし図５を参照すると、本発明は、完全に開放した位置と完全に閉塞した位置との間にて、弁胴２６の回転動作及び長手方向への動きを正確に制御する構成を提供する。特に、図３ないし図５を参照すると、該構成は、長手方向軸線３２に沿って長手方向に動き且つ長手方向軸線３２の周りにて回転可能なスリーブ２８を有している。スリーブ２８は弁胴２６に接続され、このため、弁胴は完全に開放した位置と中間位置との間にて長手方向軸線３２の周りにてスリーブと共に回転することができ、この中間位置では、弁胴２６は開口部１８と実質的に整合されるが、図３に示すように、開口部から長手方向に隔てられる。また、弁胴２６は、中間位置と完全に閉塞した位置との間にてスリーブ２８と共に長手方向に動くことができる。スリーブ２８は、軸線３２に対し実質的に直角に伸びる枢動アーム３０を介して弁胴２６に接続される。
【００１６】
ハウジング１２及びスリーブ２８の一方はカム面３４を有し、ハウジング及びスリーブの他方はカム面によって受け入れられるカム従動子３６を有している。組立体１０はまた、スリーブ２８の長手方向軸線３２に沿って伸び且つ、該長手方向軸線３２の周りにて回転可能な軸３８も有しており、軸はスリーブと螺着係合し、このため、軸の回転により、スリーブはカム従動子３６と共に回転動作及び長手方向への動きの一方を行う。
【００１７】
ディスク２６の位置を制御するため、組立体１０には、図３に示すように、モータ４８と、ハウジング１２に取り付けられた歯車機構とが設けられている。モータ４８は、可逆ステッピングモータであり、また、歯車機構の第一の回転歯車５２に固定され又はその他の方法で該第一の回転歯車が設けられたモータ軸を有することが好ましい。歯車機構はまた、モータ４８が歯車を回転方向に駆動するとき、第一の回転歯車５２の回転動作と反対方向に回転する第二の回転歯車５４も有している。第二の回転歯車５４は、振り子弁１６の長手方向軸３８の一端に固定されている。
【００１８】
軸３８はスリーブ２８に対して長手方向に固定されている。図５に最も良く示すように、カムスリーブ２８には軸３８の外ねじ４２と係合する内ねじ４０が設けられている。図示した一例としての実施の形態において、外ねじ４２は内ねじ４０と直接、接触している。しかし、これと代替的に、外ねじと内ねじとの間に玉軸受が設けられるようにする、すなわちボールースクリューの構成としてもよい。何れの場合でも、軸３８が回転したとき、カムスリーブ２８は通常、軸線３２に沿って長手方向に動く。しかし、カムスリーブ２８は、カム面３４及びカム従動子３６により長手方向に動くのが阻止されるならば、その後、カムスリーブ２８は軸３８と共に回転する。
【００１９】
図３ないし図５に示した一例としての実施の形態において、カム従動子３６は、可動スリーブ２８に対し固定された位置にてハウジング１２に固定され、また、カム面３４はスリーブ２８の外側面に設けられている。図４及び図５に最も良く示すように、カム面３４は、側方向に伸びる第一の部分６０と、長手方向に伸びる第二の部分６２と、第一及び第二の部分を接続する中間部分又は遷移部分６４とを有している。このため、全体として、カム面３４は「Ｌ字形」である。
【００２０】
側方向に伸びる第一の部分６０により、スリーブ２８及びディスク２６は第一の開口部１８に対し平行な面内にて回転し、完全に開放した位置（図１に破線で図示）から図３に示すように、ディスク２６が第一の開口部１８と実質的に整合する中間位置まで回転する。カム面３４の第一の部分６０は軸３８が回転するとき、完全に回転動作にてカム従動子３６に従動するため、ディスク２６は平行な面内にて移動する。スリーブ２８は、第一の部分６０がカム従動子３６の上を動くとき、カム従動子３６により長手方向に動くのが阻止される。
【００２１】
しかし、カム面３４の長手方向へ伸びる第二の部分６２により、スリーブ２８及びディスク２６は、ディスク２６が弁座２２と係合する迄（図１に実線で図示）、スリーブ２８及びディスク２６は、スリーブの軸線３２に対し平行に第一の開口部１８に向けて動く。第二の部分６２がカム従動子３６の上を動くとき、スリーブ２８の回転はカム従動子３６によって阻止される。
【００２２】
カム面３４の遷移部分６４は、長手方向及び側方向の双方に伸びており、このため、該部分によりスリーブ２８及びディスク２６の回転動作及び長手方向へ動きの双方の組み合わせが生じる。図示した一例としての実施の形態において、カム面３４の遷移部分６４には湾曲形状が付与されているが、所望であるならば、直線状の形状を付与してもよい。このようにねじ軸３８、カムスリーブ２８、カム面３４及びカム従動子３６は、振り子弁１６の回転動作及び長手方向への動きを提供する新規且つ、改良され、しかも簡単で且つ、効果的な構成を提供する。本発明の弁組立体１０はまた、カム面３４の第一の部分６０の長さ、カム面の第二の部分６０の長さ、カム面の遷移部分６０の長さ及び曲率又はねじ４０、４２のピッチを変更するだけで、弁胴２６の回転動作におけるレゾリューションすなわち分解能とは独立的に設計するこのできる、弁胴２６の長手方向への動きのレゾリューションすなわち分解能を提供することができる。
【００２３】
図３に示すように、組立体１０は、弁胴が完全に閉塞した位置まで実質的に動いたとき、弁胴２６を第一の開口部１８の弁座２２に対して偏倚させるよう配置されたばね負荷式ピストン７０を更に有することができる。ディスクと弁座２２との間にシールを提供するためＯリング７２がディスク２６に設けられている。
【００２４】
図示しないが、組立体１０は、流体が第二の開口部２０を通るのを許容する完全に開放した位置と、流体が第二の開口部２０を通ることのできない完全に閉塞した位置との間にてハウジング１２内で動くことのできる第二の弁胴を有することができる。かかる構成の一例は、その双方が本発明の譲受人に譲渡され且つ、参考として引用し本明細書に含めた米国特許明細書６，３２８，０５１号及び米国特許明細書６，４０９，１４９号に示されている。組立体１０には、また、環状カバーを設けることもでき、該環状カバーは、該カバーが第二の開口部２０の弁座２４を保護する覆った位置と該カバーが第二の開口部から隔てられ、第二の弁胴が第二の開口部２０の弁座２４と係合することのできる覆わない位置との間にて可動である。かかる構成の一例は、米国特許明細書６，４０９，１４９号に記載されている。
【００２５】
本発明の範囲から逸脱せずに、色々な変更を為すことが可能であることを理解すべきである。例えば、カム面３４がカムスリーブ２８に提供され且つ、カム従動子３６がハウジング１２に固定されるが、この構成は逆にすることができる。
【００２６】
図６は、弁組立体を通じてのコンダクタンスと弁組立体が２００ｍｍ弁に対して開放している百分率とのグラフであり、線「ＩＩ」で示した既存の弁組立体と図１ないし図５に示した弁組立体１０のような、線「Ｉ」で示した本発明に従った構造とされた弁組立体との比較を示す。既存の弁組立体の一例は、スイス国、ハーグのヴァットヴァキュームヴェンタイル・エージー（ＶＡＴ Ｖａｋｕｕｍｖｅｎｔｉｌｅ ＡＧ（ｗｗｗ．ｖａｔｖａｌｖｅ．ｃｏｍ））からのシリーズ６５振り子弁である。図６のグラフの線「ＩＩ」で示すように、シリーズ６５の振り子弁が最初に開放したとき、弁を通る流れは殆んど変化せず、その後、相対的に僅かな角度の変化（４ないし６％の開放）に亙って流れは相対的に急速に変化する状態に遷移する。コンダクタンス曲線の勾配のこの急速な変化の結果、コンダクタンスの制御は不良となる（従って、プロセスチャンバ内の圧力の制御は不良となる）。
【００２７】
図６のグラフにて線「Ｉ」で示すように、本発明に従った構造とされた弁組立体１０の弁胴２６が最初に、完全に閉塞した位置から離れると、流れは、最初に、弁胴２６とハウジング１２の弁座２２との間の空隙を増すことにより、対数線形関係（例えば、最初の３．５ないし４％の弁開放中、約７Ｌ／Ｓ）を考慮して、比較的一定の勾配（コンダクタンス対開放％）にて増大することが許容される。これと同時に、弁胴２６は、回転し、主流れへの遷移（これは、ゲートがハウジングの開口部から分離し始めるときに生ずると考えられる）は滑らかであり且つ、この遷移中、この一定の勾配を維持する。本発明に従った構造とされた弁組立体は、弁胴２６の回転動作のレゾリューションと独立的に設計することのできる弁胴２６の長手方向への動きの精密なレゾリューションを提供するため、振り子弁の流れ特性は、弁の特定の用途による必要条件に合うよう特別に設定することができる。例えば、弁を半導体工業に適用する場合、図６のグラフの線Ｉで示すように、閉塞位置付近にて精密に制御するが、完全に開放した位置にて高コンダクタンス（流れ）を有するようにすることが必要条件とされる。このため、その他の利点及び特徴の内、本発明は、極めて広い制御範囲を有し、また、弁が完全に閉塞した位置から離れ始めるとき、滑らかなコンダクタンス（流れ）曲線を有する弁組立体を提供する。
【００２８】
このように、本発明に従った構造とされた新規且つ、改良された振り子弁組立体１０について説明した。特に、本発明は、振り子弁組立体１０のディスク２６が少なくとも２方向に動く動作を提供する新規且つ、改良され、しかも簡単且つ、効果的な構成を提供する。本明細書に記載した一例としての実施の形態は、限定的ではなく、単に一例として記載したものであり、本発明のそのかなり広い面に亙り且つ特許請求の範囲に記載した本発明の精神又は範囲から逸脱せずに、当該技術分野の当業者によって色々な形態変更、結合及び置換を為すことができる。本明細書に開示した本発明の弁組立体及びその全ての要素は、特許請求の範囲の少なくとも１つの範囲に含まれる。本明細書に開示した弁組立体の何れの要素も権利不要求とするものはない。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】本発明に従った構造とされ且つ、図示するように閉塞位置と開放位置との間にて回転可能であり、また、長手方向に可動である弁胴を有する、振り子弁組立体の一例としての実施の形態を含む、高純度気体の供給システムの一部分を示す概略図である。
【図２】図１の振り子弁組立体の斜視図である。
【図３】図示した弁胴が中間位置にある、図１及び図２の振り子弁組立体の断面図である。
【図４】図１ないし図３の振り子弁組立体のカム従動子、カムスリーブ、ねじ軸の側面図である。
【図５】カムスリーブの一部分を切欠いた、図１ないし図３の振り子弁組立体のカム従動子、カムスリーブ、ねじ軸の分解斜視図である。
【図６】既存の弁組立体と本発明に従った構造とされた弁組立体との比較を示す、弁組立体を通ずるコンダクタンスと弁組立体の開放率とのグラフである。
【技術分野】
【０００１】
本発明は、全体として、ペンジュラム（ｐｅｎｄｕｌｕｍ）すなわち振り子又は仕切弁組立体、より具体的には、振り子弁組立体のフラッパに対し回転動作及び軸方向動作の双方を提供する新規且つ、改良された構成を含む振り子弁組立体に関する。
【背景技術】
【０００２】
振り子弁組立体は、全体として、振り子弁を収容し且つ、内部空間と、気体状流体が内部空間に入り且つ内部空間から出るときに通る１対の開口部とを有するハウジングを備えている。振り子弁組立体は、半導体の製造過程又はその他の薄膜被覆過程にて使用されるもののような、高純度気体の供給システムにて特に有用である。その名称が意味するように、振り子弁は、開放位置と閉塞位置との間にて枢動し、また、枢動アームにより回転可能な軸に接続された、ディスク又はフラッパとして通常、提供される弁胴を有している。完全に開放した位置において、振り子弁のディスクは、開口部により画成された流路外に動き、このため、流体は、ハウジングの内部空間に入り且つ、内部空間外に出ることができる一方、完全に閉塞した位置において、ディスクは、開口部の１つを取り囲む弁座と密封係合するように動き、このため、流体は内部空間に入ることはできない。
【０００３】
ディスクが動くためには、通常、完全に開放した位置と中間位置との間にて回転（すなわち、枢動又は横方向）動作を必要とし、次に、中間位置からディスクが弁座と密封接触する完全に閉塞した位置まで少なくとも多少の長手方向（すなわち、平行移動、直線状又は軸方向）動作を必要とする。この回転動作と平行移動動作との組み合わせを実現するためには、幾つかの従来の振り子弁は、典型的に、多数のアクチュエータ要素を使用している。
【０００４】
更に、「標準」型の仕切弁又は振り子弁において、ゲートが弁ハウジングの開口部から分離し始めると、気体の流れは急激に増大する。また、一般に、ゲートと開口部との間に重なり部分がある（すなわち、ゲートの直径が開口部よりも大きい）ため、ゲートが最初に動く結果、流れの変化は多少、あるにしても、殆どない。このため、全体的なコンダクタンスは、流れの非常に小さい変化、その後の、流れの極めて急激な変化（ゲートが閉じられるときは、その逆となる）を含み、その結果、弁のこの作動範囲において流れ（コンダクタンス）の制御は不良となる。
【特許文献１】米国特許第６，０８９，５３７号明細書
【特許文献２】米国特許第６，１６１，５７６号明細書
【特許文献３】米国特許第６，３２８，０５１号明細書
【特許文献４】米国特許第６，４０９，１４９号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明の譲渡人に譲渡され且つ、引用して本明細書に含めた、オルムステッド（Ｏｌｍｓｔｅｄ）に対する米国特許第６，０８９，５３７号明細書には、完全に開放した位置と完全に閉塞した位置との間にて弁胴の回転動作及び長手方向への動作を正確に制御する簡単な回転カム機構を使用する改良された振り子弁組立体が開示されている。全て本発明の譲渡人に譲渡され且つ、参考として引用し本明細書に含めた、米国特許第６，１６１，５７６号明細書、米国特許第６，３２８，０５１号明細書、米国特許第６，４０９，１４９号明細書には、改良された振り子弁組立体及びシステムも開示されている。
【０００６】
しかし、閉塞位置と開放位置との間にて弁組立体のディスクの回転動作及び長手方向動作の双方を提供する新規且つ、改良された構成を含む新規且つ、改良された振り子弁組立体が更に望まれる。好ましくは、該構成体の長手方向への動きのレゾリューション（ｒｅｓｏｌｕｔｉｏｎ）すなわち分解能は、回転動作のレゾリューションすなわち分解能と独立的に選ぶことができる。弁が開放し且つ、閉塞する間、弁組立体を通じてコンダクタンスのより制御可能で且つ、一定の変化を提供する新規且つ、改良された振り子弁組立体も望まれる。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、内部空間と、流体が該内部空間に入り且つ、該内部空間から出るときに通ることのできる開口部とを有するハウジングと、流体が開口部を通って流れるのを許容する完全に開放した位置と、流体が開口部を通って流れるのを阻止する完全に閉塞した位置との間にて内部空間内で可動である弁胴と、長手方向軸線に沿って長手方向に動き且つ、長手方向軸線の周りにて回転可能であるスリーブとを備える、新規且つ、改良された弁組立体を提供する。該スリーブは、弁胴に接続され、弁胴がスリーブと共に、長手方向軸線の周りにて、完全に開放した位置と弁胴が開口部と実質的に整合されるが、該開口部から長手方向に隔てられた中間位置との間にて回転することができ、また、弁胴は、中間位置と完全に閉塞した位置との間にてスリーブと共に長手方向に動くことができる。
【０００８】
ハウジング及びスリーブの一方は、カム面を有し、ハウジング及びスリーブの他方は、カム面により受け入れられるカム従動子を有している。該組立体は、スリーブの長手方向軸線に沿って伸び且つ、該長手方向軸線の周りにて回転可能な軸も有しており、該軸は、スリーブと螺着係合し、軸の回転によりスリーブはカム従動子と共に回転動作及び長手方向への動作の一方を行う。
【０００９】
本発明のその他の特徴及び有利な効果の内、弁組立体の弁胴には、閉塞位置と開放位置との間にて回転動作及び長手方向への動きの双方が付与される。本発明の弁組立体は、また、弁胴の回転動作のレゾリューションと独立的に選ぶことのできる長手方向動作のレゾリューションを提供する。更に、本発明は、弁が開放し且つ、閉塞する間、弁組立体を通じてのコンダクタンスのより制御可能で且つ、均一な変化を提供する新規且つ、改良された振り子弁組立体を提供する。
【００１０】
本発明の追加的な特徴及び有利な効果は、本発明を実施するために考えられる最良の形態を単に一例として、本発明の一例としての実施の形態と示す以下の詳細な説明から当該技術分野の当業者に明らかになるであろう。理解されるように、本発明は、その他の且つ、異なる実施の形態が可能であり、その幾つかの詳細は、全て本発明から逸脱せずに、色々な明らかな点にて形態変更を為すことが可能である。従って、図面及び明細書は、性質上、説明のためであり、限定的なものではないとみなすべきである。
【００１１】
全体を通じて同様の要素を同様の参照番号にて表示する添付図面に関して説明する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
図１を参照すると、本発明に従った構造とされた振り子弁組立体１０の一例としての実施の形態は、全体として、振り子弁１６を収容する内部空間１４を画成し且つ、１対の対向する開口部１８、２０を有するハウジング１２を備えており、気体は該１対の開口部１８、２０を通って内部空間に入り且つ、該内部空間から出ることができる。弁座２２、２４は、開口部１８、２０の端縁の周りにてハウジング１２の内部１４に設けられている。図示するように、振り子弁１６は、破線で示すように、流体が開口部１８を通って流れるのを許容する完全に開放した位置と、実線で示すように、流体が開口部１８を通って流れるのを阻止する完全に閉塞した位置との間を動く弁胴２６を有している。
【００１３】
同様に図示するように、振り子弁組立体１０の第一の開口部１８は、例えば、プロセスチャンバに接続し、第二の開口部２０は真空ポンプに接続し、半導体製造過程又は例えば、１３３．２３Ｐａ（１トル）以下程度の圧力のような極めて低圧力（高真空圧）にて行われるその他の薄膜被覆過程にて使用されるもののような、高純度気体の供給システムの一部分を形成することができる。全体として、半導体ウェハのような加工物がチャンバ内に配置される一方、プロセス気体はチャンバ内に導入され、所定の仕方にて加工物と化学的に反応する。化学的反応は、図示するように残留物を発生させることになる。
【００１４】
振り子弁組立体１０は、ディスク２６の位置を完全に開放した位置と完全に閉塞した位置との間にて制御することにより、プロセスチャンバと真空ポンプとの間の気体の流れを制御するのを助ける。閉塞した位置において、ディスク２６は、第一の開口部１８の端縁の周りにて内部空間１４内に設けられた弁座２２と密封接触する。
【００１５】
同様に図２ないし図５を参照すると、本発明は、完全に開放した位置と完全に閉塞した位置との間にて、弁胴２６の回転動作及び長手方向への動きを正確に制御する構成を提供する。特に、図３ないし図５を参照すると、該構成は、長手方向軸線３２に沿って長手方向に動き且つ長手方向軸線３２の周りにて回転可能なスリーブ２８を有している。スリーブ２８は弁胴２６に接続され、このため、弁胴は完全に開放した位置と中間位置との間にて長手方向軸線３２の周りにてスリーブと共に回転することができ、この中間位置では、弁胴２６は開口部１８と実質的に整合されるが、図３に示すように、開口部から長手方向に隔てられる。また、弁胴２６は、中間位置と完全に閉塞した位置との間にてスリーブ２８と共に長手方向に動くことができる。スリーブ２８は、軸線３２に対し実質的に直角に伸びる枢動アーム３０を介して弁胴２６に接続される。
【００１６】
ハウジング１２及びスリーブ２８の一方はカム面３４を有し、ハウジング及びスリーブの他方はカム面によって受け入れられるカム従動子３６を有している。組立体１０はまた、スリーブ２８の長手方向軸線３２に沿って伸び且つ、該長手方向軸線３２の周りにて回転可能な軸３８も有しており、軸はスリーブと螺着係合し、このため、軸の回転により、スリーブはカム従動子３６と共に回転動作及び長手方向への動きの一方を行う。
【００１７】
ディスク２６の位置を制御するため、組立体１０には、図３に示すように、モータ４８と、ハウジング１２に取り付けられた歯車機構とが設けられている。モータ４８は、可逆ステッピングモータであり、また、歯車機構の第一の回転歯車５２に固定され又はその他の方法で該第一の回転歯車が設けられたモータ軸を有することが好ましい。歯車機構はまた、モータ４８が歯車を回転方向に駆動するとき、第一の回転歯車５２の回転動作と反対方向に回転する第二の回転歯車５４も有している。第二の回転歯車５４は、振り子弁１６の長手方向軸３８の一端に固定されている。
【００１８】
軸３８はスリーブ２８に対して長手方向に固定されている。図５に最も良く示すように、カムスリーブ２８には軸３８の外ねじ４２と係合する内ねじ４０が設けられている。図示した一例としての実施の形態において、外ねじ４２は内ねじ４０と直接、接触している。しかし、これと代替的に、外ねじと内ねじとの間に玉軸受が設けられるようにする、すなわちボールースクリューの構成としてもよい。何れの場合でも、軸３８が回転したとき、カムスリーブ２８は通常、軸線３２に沿って長手方向に動く。しかし、カムスリーブ２８は、カム面３４及びカム従動子３６により長手方向に動くのが阻止されるならば、その後、カムスリーブ２８は軸３８と共に回転する。
【００１９】
図３ないし図５に示した一例としての実施の形態において、カム従動子３６は、可動スリーブ２８に対し固定された位置にてハウジング１２に固定され、また、カム面３４はスリーブ２８の外側面に設けられている。図４及び図５に最も良く示すように、カム面３４は、側方向に伸びる第一の部分６０と、長手方向に伸びる第二の部分６２と、第一及び第二の部分を接続する中間部分又は遷移部分６４とを有している。このため、全体として、カム面３４は「Ｌ字形」である。
【００２０】
側方向に伸びる第一の部分６０により、スリーブ２８及びディスク２６は第一の開口部１８に対し平行な面内にて回転し、完全に開放した位置（図１に破線で図示）から図３に示すように、ディスク２６が第一の開口部１８と実質的に整合する中間位置まで回転する。カム面３４の第一の部分６０は軸３８が回転するとき、完全に回転動作にてカム従動子３６に従動するため、ディスク２６は平行な面内にて移動する。スリーブ２８は、第一の部分６０がカム従動子３６の上を動くとき、カム従動子３６により長手方向に動くのが阻止される。
【００２１】
しかし、カム面３４の長手方向へ伸びる第二の部分６２により、スリーブ２８及びディスク２６は、ディスク２６が弁座２２と係合する迄（図１に実線で図示）、スリーブ２８及びディスク２６は、スリーブの軸線３２に対し平行に第一の開口部１８に向けて動く。第二の部分６２がカム従動子３６の上を動くとき、スリーブ２８の回転はカム従動子３６によって阻止される。
【００２２】
カム面３４の遷移部分６４は、長手方向及び側方向の双方に伸びており、このため、該部分によりスリーブ２８及びディスク２６の回転動作及び長手方向へ動きの双方の組み合わせが生じる。図示した一例としての実施の形態において、カム面３４の遷移部分６４には湾曲形状が付与されているが、所望であるならば、直線状の形状を付与してもよい。このようにねじ軸３８、カムスリーブ２８、カム面３４及びカム従動子３６は、振り子弁１６の回転動作及び長手方向への動きを提供する新規且つ、改良され、しかも簡単で且つ、効果的な構成を提供する。本発明の弁組立体１０はまた、カム面３４の第一の部分６０の長さ、カム面の第二の部分６０の長さ、カム面の遷移部分６０の長さ及び曲率又はねじ４０、４２のピッチを変更するだけで、弁胴２６の回転動作におけるレゾリューションすなわち分解能とは独立的に設計するこのできる、弁胴２６の長手方向への動きのレゾリューションすなわち分解能を提供することができる。
【００２３】
図３に示すように、組立体１０は、弁胴が完全に閉塞した位置まで実質的に動いたとき、弁胴２６を第一の開口部１８の弁座２２に対して偏倚させるよう配置されたばね負荷式ピストン７０を更に有することができる。ディスクと弁座２２との間にシールを提供するためＯリング７２がディスク２６に設けられている。
【００２４】
図示しないが、組立体１０は、流体が第二の開口部２０を通るのを許容する完全に開放した位置と、流体が第二の開口部２０を通ることのできない完全に閉塞した位置との間にてハウジング１２内で動くことのできる第二の弁胴を有することができる。かかる構成の一例は、その双方が本発明の譲受人に譲渡され且つ、参考として引用し本明細書に含めた米国特許明細書６，３２８，０５１号及び米国特許明細書６，４０９，１４９号に示されている。組立体１０には、また、環状カバーを設けることもでき、該環状カバーは、該カバーが第二の開口部２０の弁座２４を保護する覆った位置と該カバーが第二の開口部から隔てられ、第二の弁胴が第二の開口部２０の弁座２４と係合することのできる覆わない位置との間にて可動である。かかる構成の一例は、米国特許明細書６，４０９，１４９号に記載されている。
【００２５】
本発明の範囲から逸脱せずに、色々な変更を為すことが可能であることを理解すべきである。例えば、カム面３４がカムスリーブ２８に提供され且つ、カム従動子３６がハウジング１２に固定されるが、この構成は逆にすることができる。
【００２６】
図６は、弁組立体を通じてのコンダクタンスと弁組立体が２００ｍｍ弁に対して開放している百分率とのグラフであり、線「ＩＩ」で示した既存の弁組立体と図１ないし図５に示した弁組立体１０のような、線「Ｉ」で示した本発明に従った構造とされた弁組立体との比較を示す。既存の弁組立体の一例は、スイス国、ハーグのヴァットヴァキュームヴェンタイル・エージー（ＶＡＴ Ｖａｋｕｕｍｖｅｎｔｉｌｅ ＡＧ（ｗｗｗ．ｖａｔｖａｌｖｅ．ｃｏｍ））からのシリーズ６５振り子弁である。図６のグラフの線「ＩＩ」で示すように、シリーズ６５の振り子弁が最初に開放したとき、弁を通る流れは殆んど変化せず、その後、相対的に僅かな角度の変化（４ないし６％の開放）に亙って流れは相対的に急速に変化する状態に遷移する。コンダクタンス曲線の勾配のこの急速な変化の結果、コンダクタンスの制御は不良となる（従って、プロセスチャンバ内の圧力の制御は不良となる）。
【００２７】
図６のグラフにて線「Ｉ」で示すように、本発明に従った構造とされた弁組立体１０の弁胴２６が最初に、完全に閉塞した位置から離れると、流れは、最初に、弁胴２６とハウジング１２の弁座２２との間の空隙を増すことにより、対数線形関係（例えば、最初の３．５ないし４％の弁開放中、約７Ｌ／Ｓ）を考慮して、比較的一定の勾配（コンダクタンス対開放％）にて増大することが許容される。これと同時に、弁胴２６は、回転し、主流れへの遷移（これは、ゲートがハウジングの開口部から分離し始めるときに生ずると考えられる）は滑らかであり且つ、この遷移中、この一定の勾配を維持する。本発明に従った構造とされた弁組立体は、弁胴２６の回転動作のレゾリューションと独立的に設計することのできる弁胴２６の長手方向への動きの精密なレゾリューションを提供するため、振り子弁の流れ特性は、弁の特定の用途による必要条件に合うよう特別に設定することができる。例えば、弁を半導体工業に適用する場合、図６のグラフの線Ｉで示すように、閉塞位置付近にて精密に制御するが、完全に開放した位置にて高コンダクタンス（流れ）を有するようにすることが必要条件とされる。このため、その他の利点及び特徴の内、本発明は、極めて広い制御範囲を有し、また、弁が完全に閉塞した位置から離れ始めるとき、滑らかなコンダクタンス（流れ）曲線を有する弁組立体を提供する。
【００２８】
このように、本発明に従った構造とされた新規且つ、改良された振り子弁組立体１０について説明した。特に、本発明は、振り子弁組立体１０のディスク２６が少なくとも２方向に動く動作を提供する新規且つ、改良され、しかも簡単且つ、効果的な構成を提供する。本明細書に記載した一例としての実施の形態は、限定的ではなく、単に一例として記載したものであり、本発明のそのかなり広い面に亙り且つ特許請求の範囲に記載した本発明の精神又は範囲から逸脱せずに、当該技術分野の当業者によって色々な形態変更、結合及び置換を為すことができる。本明細書に開示した本発明の弁組立体及びその全ての要素は、特許請求の範囲の少なくとも１つの範囲に含まれる。本明細書に開示した弁組立体の何れの要素も権利不要求とするものはない。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】本発明に従った構造とされ且つ、図示するように閉塞位置と開放位置との間にて回転可能であり、また、長手方向に可動である弁胴を有する、振り子弁組立体の一例としての実施の形態を含む、高純度気体の供給システムの一部分を示す概略図である。
【図２】図１の振り子弁組立体の斜視図である。
【図３】図示した弁胴が中間位置にある、図１及び図２の振り子弁組立体の断面図である。
【図４】図１ないし図３の振り子弁組立体のカム従動子、カムスリーブ、ねじ軸の側面図である。
【図５】カムスリーブの一部分を切欠いた、図１ないし図３の振り子弁組立体のカム従動子、カムスリーブ、ねじ軸の分解斜視図である。
【図６】既存の弁組立体と本発明に従った構造とされた弁組立体との比較を示す、弁組立体を通ずるコンダクタンスと弁組立体の開放率とのグラフである。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
弁組立体において、
内部空間と、流体が該内部空間に入り且つ該内部空間から出るときに通ることのできる開口部とを有するハウジングと、
流体が開口部を通って流れるのを許容する完全に開放した位置と、流体が開口部を通って流れるのを阻止する完全に閉塞した位置との間にてハウジングの内部空間内で可動である弁胴と、
長手方向軸線に沿って長手方向に動き且つ、長手方向軸線の周りにて回転可能であるスリーブとを備え、該スリーブは、弁胴に接続され、弁胴がスリーブと共に、長手方向軸線の周りにて、完全に開放した位置と弁胴が開口部と実質的に整合されるが、該開口部から長手方向に隔てられた中間位置との間にて回転することができ、また、弁胴は、中間位置と完全に閉塞した位置との間にてスリーブと共に長手方向に動くことができ、
ハウジング及びスリーブの一方は、カム面を有し、ハウジング及びスリーブの他方は、カム面に沿って動き且つ、カム面により案内されるようカム面により受け入れられるカム従動子を有し、
スリーブの長手方向軸線に沿って伸び且つ、該長手方向軸線の周りにて回転可能な軸を有し、該軸は、スリーブと螺着係合し、軸の回転によりスリーブはカム従動子に対し回転動作及び長手方向への動作の少なくとも一方を行うようにした、弁組立体。
【請求項２】
請求項１に記載の弁組立体において、カムスリーブには内ねじが設けられ、軸には外ねじが設けられる、弁組立体。
【請求項３】
請求項１に記載の弁組立体において、カム従動子は、可動のスリーブに対して固定された位置にてハウジングに固定され、カム面は、スリーブの外側面に提供される、弁組立体。
【請求項４】
請求項３に記載の弁組立体において、カム面は、第一の部分と、第二の部分と、該第一の部分及び第二の部分を接続する遷移部分とを有する、弁組立体。
【請求項５】
請求項４に記載の弁組立体において、カム面の第一の部分は、長手方向軸線に対し側方向に伸びる、弁組立体。
【請求項６】
請求項４に記載の弁組立体において、カム面の第二の部分は、長手方向軸線に対し長手方向に伸びる、弁組立体。
【請求項７】
請求項１に記載の弁組立体において、軸を回転させ得るよう軸に連結されたモータを更に有する、弁組立体。
【請求項８】
請求項７に記載の弁組立体において、モータは、歯車機構を介して軸に連結される、弁組立体。
【請求項９】
請求項８に記載の弁組立体において、モータは、駆動軸を有し、歯車機構は、モータの駆動軸に固定された歯車と、軸に固定された歯車とを有する、弁組立体。
【請求項１０】
請求項１に記載の弁組立体において、弁胴は、ディスクを備える、弁組立体。
【請求項１１】
請求項１０に記載の弁組立体において、ディスクは、開口部の周りにてハウジングの内部と密封係合するＯリングを有する、弁組立体。
【請求項１２】
請求項１に記載の弁組立体において、ハウジングは、完全に閉塞した位置にて弁胴を受け入れるため開口部の端縁の周りにてハウジングの内部空間内に配置された弁座を更に有する、弁組立体。
【請求項１３】
請求項１に記載の弁組立体において、弁胴が完全に閉塞した位置まで実質的に動いたとき、弁胴を第一の開口部に対して長手方向に偏倚させるよう配置されたばね負荷式ピストンを更に備える、弁組立体。
【請求項１４】
請求項１に記載の弁組立体において、ハウジングにおける開口部と、流体が第二の開口部を通って流れるのを許容する完全に開放した位置と流体が第二の開口部を通ることのできない完全に閉塞した位置との間にてハウジング内で可動の第二の弁胴とを更に備える、弁組立体。
【請求項１５】
請求項１４に記載の弁組立体において、環状のカバーを更に備え、該カバーは、該カバーが第二の開口部の弁座を保護する覆った位置と、カバーが第二の開口部から隔てられ、第二の弁胴が第二の開口部の弁座と係合することのできる覆わない位置との間にて可動である、弁組立体。
【請求項１６】
請求項１の弁組立体を有する、薄膜被覆過程を実施するために使用されるシステムにおいて、該弁組立体を介してプロセスチャンバに接続された真空ポンプを更に備える、システム。
【請求項１７】
請求項１に記載の弁組立体において、カムスリーブは枢動アームを介して弁胴に接続される、弁組立体。
【請求項１８】
請求項１７に記載の弁組立体において、枢動アームはスリーブの軸線に対し直角に伸びる、弁組立体。
【請求項１９】
請求項１に記載の弁組立体において、開口部は、開口部の軸線がカムスリーブの軸線に対し平行に伸びるように方位決めされる、弁組立体。
【請求項２０】
請求項１に記載の弁組立体において、カムスリーブには内ねじが設けられ、軸には外ねじが設けられ、外ねじは内ねじと直接接触している、弁組立体。
【請求項２１】
請求項１に記載の弁組立体において、軸は長手方向に固定される、弁組立体。
【請求項２２】
請求項１に記載の弁組立体において、カム面は全体としてＬ字形である、弁組立体。
【請求項２３】
請求項４に記載の弁組立体において、カム面の遷移部分は、スリーブの長手方向軸線に対し長手方向に且つ側方向に伸びる、弁組立体。
【請求項２４】
請求項４に記載の弁組立体において、カム面の遷移部分は湾曲している、弁組立体。
【請求項１】
弁組立体において、
内部空間と、流体が該内部空間に入り且つ該内部空間から出るときに通ることのできる開口部とを有するハウジングと、
流体が開口部を通って流れるのを許容する完全に開放した位置と、流体が開口部を通って流れるのを阻止する完全に閉塞した位置との間にてハウジングの内部空間内で可動である弁胴と、
長手方向軸線に沿って長手方向に動き且つ、長手方向軸線の周りにて回転可能であるスリーブとを備え、該スリーブは、弁胴に接続され、弁胴がスリーブと共に、長手方向軸線の周りにて、完全に開放した位置と弁胴が開口部と実質的に整合されるが、該開口部から長手方向に隔てられた中間位置との間にて回転することができ、また、弁胴は、中間位置と完全に閉塞した位置との間にてスリーブと共に長手方向に動くことができ、
ハウジング及びスリーブの一方は、カム面を有し、ハウジング及びスリーブの他方は、カム面に沿って動き且つ、カム面により案内されるようカム面により受け入れられるカム従動子を有し、
スリーブの長手方向軸線に沿って伸び且つ、該長手方向軸線の周りにて回転可能な軸を有し、該軸は、スリーブと螺着係合し、軸の回転によりスリーブはカム従動子に対し回転動作及び長手方向への動作の少なくとも一方を行うようにした、弁組立体。
【請求項２】
請求項１に記載の弁組立体において、カムスリーブには内ねじが設けられ、軸には外ねじが設けられる、弁組立体。
【請求項３】
請求項１に記載の弁組立体において、カム従動子は、可動のスリーブに対して固定された位置にてハウジングに固定され、カム面は、スリーブの外側面に提供される、弁組立体。
【請求項４】
請求項３に記載の弁組立体において、カム面は、第一の部分と、第二の部分と、該第一の部分及び第二の部分を接続する遷移部分とを有する、弁組立体。
【請求項５】
請求項４に記載の弁組立体において、カム面の第一の部分は、長手方向軸線に対し側方向に伸びる、弁組立体。
【請求項６】
請求項４に記載の弁組立体において、カム面の第二の部分は、長手方向軸線に対し長手方向に伸びる、弁組立体。
【請求項７】
請求項１に記載の弁組立体において、軸を回転させ得るよう軸に連結されたモータを更に有する、弁組立体。
【請求項８】
請求項７に記載の弁組立体において、モータは、歯車機構を介して軸に連結される、弁組立体。
【請求項９】
請求項８に記載の弁組立体において、モータは、駆動軸を有し、歯車機構は、モータの駆動軸に固定された歯車と、軸に固定された歯車とを有する、弁組立体。
【請求項１０】
請求項１に記載の弁組立体において、弁胴は、ディスクを備える、弁組立体。
【請求項１１】
請求項１０に記載の弁組立体において、ディスクは、開口部の周りにてハウジングの内部と密封係合するＯリングを有する、弁組立体。
【請求項１２】
請求項１に記載の弁組立体において、ハウジングは、完全に閉塞した位置にて弁胴を受け入れるため開口部の端縁の周りにてハウジングの内部空間内に配置された弁座を更に有する、弁組立体。
【請求項１３】
請求項１に記載の弁組立体において、弁胴が完全に閉塞した位置まで実質的に動いたとき、弁胴を第一の開口部に対して長手方向に偏倚させるよう配置されたばね負荷式ピストンを更に備える、弁組立体。
【請求項１４】
請求項１に記載の弁組立体において、ハウジングにおける開口部と、流体が第二の開口部を通って流れるのを許容する完全に開放した位置と流体が第二の開口部を通ることのできない完全に閉塞した位置との間にてハウジング内で可動の第二の弁胴とを更に備える、弁組立体。
【請求項１５】
請求項１４に記載の弁組立体において、環状のカバーを更に備え、該カバーは、該カバーが第二の開口部の弁座を保護する覆った位置と、カバーが第二の開口部から隔てられ、第二の弁胴が第二の開口部の弁座と係合することのできる覆わない位置との間にて可動である、弁組立体。
【請求項１６】
請求項１の弁組立体を有する、薄膜被覆過程を実施するために使用されるシステムにおいて、該弁組立体を介してプロセスチャンバに接続された真空ポンプを更に備える、システム。
【請求項１７】
請求項１に記載の弁組立体において、カムスリーブは枢動アームを介して弁胴に接続される、弁組立体。
【請求項１８】
請求項１７に記載の弁組立体において、枢動アームはスリーブの軸線に対し直角に伸びる、弁組立体。
【請求項１９】
請求項１に記載の弁組立体において、開口部は、開口部の軸線がカムスリーブの軸線に対し平行に伸びるように方位決めされる、弁組立体。
【請求項２０】
請求項１に記載の弁組立体において、カムスリーブには内ねじが設けられ、軸には外ねじが設けられ、外ねじは内ねじと直接接触している、弁組立体。
【請求項２１】
請求項１に記載の弁組立体において、軸は長手方向に固定される、弁組立体。
【請求項２２】
請求項１に記載の弁組立体において、カム面は全体としてＬ字形である、弁組立体。
【請求項２３】
請求項４に記載の弁組立体において、カム面の遷移部分は、スリーブの長手方向軸線に対し長手方向に且つ側方向に伸びる、弁組立体。
【請求項２４】
請求項４に記載の弁組立体において、カム面の遷移部分は湾曲している、弁組立体。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【公表番号】特表２００６−５１２５４８（Ｐ２００６−５１２５４８Ａ）
【公表日】平成１８年４月１３日（２００６．４．１３）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００４−５６５１４２（Ｐ２００４−５６５１４２）
【出願日】平成１５年１１月２６日（２００３．１１．２６）
【国際出願番号】ＰＣＴ／ＵＳ２００３／０３８００３
【国際公開番号】ＷＯ２００４／０６１３４１
【国際公開日】平成１６年７月２２日（２００４．７．２２）
【出願人】（５９２０５３９６３）エム ケー エス インストルメンツ インコーポレーテッド (114)
【氏名又は名称原語表記】ＭＫＳ ＩＮＳＴＲＵＭＥＮＴＳ，ＩＮＣＯＲＰＯＲＡＴＥＤ
【Ｆターム（参考）】
【公表日】平成１８年４月１３日（２００６．４．１３）
【国際特許分類】
【出願日】平成１５年１１月２６日（２００３．１１．２６）
【国際出願番号】ＰＣＴ／ＵＳ２００３／０３８００３
【国際公開番号】ＷＯ２００４／０６１３４１
【国際公開日】平成１６年７月２２日（２００４．７．２２）
【出願人】（５９２０５３９６３）エム ケー エス インストルメンツ インコーポレーテッド (114)
【氏名又は名称原語表記】ＭＫＳ ＩＮＳＴＲＵＭＥＮＴＳ，ＩＮＣＯＲＰＯＲＡＴＥＤ
【Ｆターム（参考）】
[ Back to top ]