粘着性シート及び保持治具
【課題】基体の特定位置に正確かつ容易に取り付けることができると共に、基体から容易に取り外すことができる粘着性シート及びこの粘着性シートを備えた保持治具の提供。
【解決手段】気体を流通する通気孔２１を有する基体２０に装着されるところの、表面に非粘着部又は弱粘着部及び強粘着部を有し、強粘着部で被粘着物３０を粘着保持し、通気孔２１から気体を圧入又は排気して、非粘着部又は弱粘着部を基体２０から突出させ、又は強粘着部を基体２０側に陥没させることによって、被粘着物３０を分離可能な粘着性シートであって、粘着性シートの端部近傍に、平面における仮想的なＸＹ座標において、基体２０の特定位置に対してＸ方向及びＹ方向に位置決め可能なＸ方向規制部１１及びＹ方向規制部１２を有する粘着性シート１０、及び、この粘着性シート１０と、粘着性シート１０を固定し、気体を流通する通気孔２１を有する基体２０とを備えた保持治具１。
【解決手段】気体を流通する通気孔２１を有する基体２０に装着されるところの、表面に非粘着部又は弱粘着部及び強粘着部を有し、強粘着部で被粘着物３０を粘着保持し、通気孔２１から気体を圧入又は排気して、非粘着部又は弱粘着部を基体２０から突出させ、又は強粘着部を基体２０側に陥没させることによって、被粘着物３０を分離可能な粘着性シートであって、粘着性シートの端部近傍に、平面における仮想的なＸＹ座標において、基体２０の特定位置に対してＸ方向及びＹ方向に位置決め可能なＸ方向規制部１１及びＹ方向規制部１２を有する粘着性シート１０、及び、この粘着性シート１０と、粘着性シート１０を固定し、気体を流通する通気孔２１を有する基体２０とを備えた保持治具１。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、粘着性シート及び保持治具に関し、さらに詳しくは、基体への取り付け作業及び基体からの取り外し作業が容易な粘着性シート及びこの粘着性シートを備えた保持治具に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、シリコンウェハ、フレキシブルプリント基板、大画面表示装置用のガラス板等の薄板状物、セラミックコンデンサ、コイルフィルター等の電子部品等の製造工程、搬送工程等においては、前記薄板状物等は破損しやすく、前記電子部品等は特定位置に固定しにくく転倒しやすいので、一般に、これらの薄板状物又は電子部品等を保持可能な保持治具等が用いられている。このような保持治具としては、例えば、「基板を真空吸着して保持する基板保持チャックにおいて、前記基板を真空吸引する際の負圧を形成する壁体と、前記真空吸引の際の基板の変形を抑制する複数の補助支持体とを備え、前記壁体と前記補助支持体の内少なくとも補助支持体を、ガラス基板表面に突出形成したことを特徴とする基板保持チャック」等が挙げられる（特許文献１参照。）。
【０００３】
しかし、前記基板保持チャックは、基板を真空吸引によって固定するものであるから、製造工程中及び／又は搬送中等には、常に真空吸引する必要があり、特に基板の質量が大きい場合には真空度を高める必要があり、保持具自体の構造、製法が複雑で高価なものであった。さらに、基板を真空吸引によって固定する際に、基板と壁体又は補助支持体とが接触し、前記壁体又は補助支持体によって基板が損傷することもあった。したがって、被粘着物を損傷させることがなく、簡単な構造であっても、十分な保持力で被粘着物を保持すると共に、被粘着物を容易に取り外すこともできる保持治具が求められていた。
【０００４】
【特許文献１】特開２０００−２８６３２９号公報
【０００５】
本出願人は、被粘着物を損傷させることがなく、十分な保持力で被粘着物を保持すると共に、被粘着物を容易に取り外すこともできる、簡単な構造の保持治具として、「上面に少なくとも一つの凸状体を有するベース部と、前記凸状体と隔ててその外側を囲う周壁部と、前記凸状体の頂部及び前記周壁部の頂部と下面で密着固定し、かつ上面に粘着部を有する粘着シート部材と、該粘着シート部材と前記ベース部及び前記周壁部によって形成される空隙部に連通する通気孔を備えた部品保持具であって、前記凸状体の頂部と対応させた前記粘着シート部材の上面部位には、前記粘着部よりも弱い粘着力を有する弱粘着部又は非粘着部を形成されており、前記空隙部内の気体を前記通気孔を介して外部から吸引することで、前記粘着シート部材の前記空隙部に対応する部位が前記ベース部の下面側に弾性変形するようにしたことを特徴とする部品保持具。」を案出している（特願２００４−１４１７６１号明細書参照）。
【０００６】
この部品保持具においては、粘着シート部材の前記空隙部に対応する部位が前記ベース部の下面側に弾性変形するのであるから、粘着シート部材の上面部位に形成された粘着部よりも弱い粘着力を有する弱粘着部又は非粘着部が凸状体の頂部に正確に対応するように、ベース部に粘着シート部材を装着する必要がある。しかし、粘着シート部材はその厚さが薄く設定されるうえ、柔軟性を有しているから、粘着シート部材をベース部の特定の位置に正確に装着するのは難しい。他方、粘着シート部材が破損し、又は、粘着シート部材における粘着性表面の粘着力が低下した部品保持具は、前記薄板状物又は前記電子部品等を確実に粘着保持することができなくなるから、交換する必要がある。しかし、例えば、粘着シート部材を溶剤に浸漬する方法、ベース部と粘着シート部材との装着面にナイフやヘラ等の鋭利な工具を挿入する方法等によっても、ベース部に一旦装着された粘着シート部材を取り外すのは容易ではない。また、前記鋭利な工具によって、ベース部に傷が付くこともある。
【０００７】
なお、特願２００４−１４１７６１号明細書に記載の前記部品保持具は、未だ公開されておらず、本件発明の先行技術となり得る技術ではないが、本件発明の充分な理解を助けるために、ここに引用して説明した。
【０００８】
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
この発明は、基体の特定位置に正確かつ容易に取り付けることができると共に、基体から容易に取り外すことができる粘着性シートを提供することを目的とする。
【００１０】
この発明は、また、粘着性シートを基体の特定位置に正確かつ容易に取り付けることができると共に、粘着性シートを基体から容易に取り外すことができる保持治具を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
前記課題を解決するための手段として、
請求項１は、気体を流通する通気孔を有する基体に装着されるところの、表面に非粘着部又は弱粘着部及び強粘着部を有し、前記強粘着部で被粘着物を粘着保持し、前記通気孔から気体を圧入して、前記非粘着部又は弱粘着部を前記基体から突出させることによって、又は、前記通気孔から気体を排気して、前記強粘着部を前記基体側に陥没させることによって、前記強粘着部に粘着保持された前記被粘着物を分離可能な粘着性シートであって、前記粘着性シートの端部近傍に、平面における仮想的なＸＹ座標において、前記基体の特定位置に対して、Ｘ方向及びＹ方向に位置決め可能なＸ方向規制部及びＹ方向規制部を有することを特徴とする粘着性シートであり、
請求項２は、請求項１に記載の粘着性シートと、前記粘着性シートを固定し、気体を流通する通気孔を有する基体とを備えたことを特徴とする保持治具であり、
請求項３は、前記基体は、さらに、周壁部と、前記周壁部で包囲された内部空間に形成された少なくとも一つの凸状体とを備え、前記通気孔は前記周壁部と前記凸状体との間隙部に連通することを特徴とする請求項２に記載の保持治具であり、
請求項４は、前記基体は、さらに、前記粘着性シートにおける前記Ｘ方向規制部及び前記Ｙ方向規制部と符合する符合部を有することを特徴とする請求項２又は３に記載の保持治具である。
【発明の効果】
【００１２】
この発明に係る粘着性シートによれば、粘着性シートの端部近傍に、平面における仮想的なＸＹ座標において、基体の特定位置に対して、Ｘ方向及びＹ方向に位置決め可能なＸ方向規制部及びＹ方向規制部を有しているから、基体に粘着性シートを取り付ける際に、Ｘ方向規制部及びＹ方向規制部それぞれを基体に当接させることによって、基体に対して粘着性シートがＸ方向及び／又はＹ方向にずれることを防止することができ、基体の特定位置に正確かつ容易に装着することができる。また、この粘着性シートによれば、基体から粘着性シートを取り外す際に、Ｘ方向規制部及び／又はＹ方向規制部を起点として、Ｘ方向規制部及び／又はＹ方向規制部が形成された端部から引き剥がすことによって、基体に傷を付けることなく、容易に取り外すことができる。
【００１３】
また、この発明に係る保持治具によれば、この発明に係る粘着性シートを備えて成るから、粘着性シートを基体の特定位置に正確かつ容易に取り付けることができると共に、粘着性シートを基体から容易に取り外すことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
この発明の一実施例である粘着性シート及び保持治具を、図１〜図５を参照して、説明する。保持治具１Ａは、被粘着物を製造し、搬送する際等に使用され、図３に示されるように、図１に示される基体２０Ａと図２に示される粘着性シート１０Ａとを備えてなる。
【００１５】
前記基体２０Ａは、図１に示されるように、気体を流通する通気孔２１と、周壁部２２と、周壁部２２で包囲された内部空間２３に形成された４つの凸状体２４とを有し、略正方形に形成されている。周壁部２２と凸状体２４とは、共になって、後述する粘着性シート１０Ａを支持し、固定する。
【００１６】
前記通気孔２１は、図１及び図３に示されるように、周壁部２２と凸状体２４との間隙部２９及び基体２０Ａの外部とを連通し、外部に設置された圧縮装置例えばコンプレッサー（図示しない。）等、又は、吸引装置例えば真空ポンプ（図示しない。）等に接続される。通気孔２１の孔径は、高い圧縮効率又は吸引効率と基体２０Ａの強度とを両立することができる孔径に設定される。この通気孔２１は、基体２０Ａの表面から所定の位置まで裏面側に延在し、そこから基体２０Ａの側面まで延在するように形成されているが、基体２０Ａの表面から裏面に貫通するように形成されてもよい。
【００１７】
前記周壁部２２は、基体２０Ａの周縁部に凸状の枠として形成され、その上部には、粘着性シートを支持し、固定する頂上面２５を有する。この周壁部２２及び基体２０Ａの表面によって、上面が開口した内部空間２３が形成される。
【００１８】
前記凸状体２４は、図１に示されるように、内部空間２３内に、周壁部２２から離れて、略均一の間隔を設けて縦横２個ずつ、合計４個が形成されている。４つの凸状体２４は何れも、周壁部２２の高さと略同じ高さを有する略正方形の角柱状に形成されている。このように周壁部２２及び各凸状体２４が略同じ高さに形成されていると、粘着性シートを基体２０Ａに確実に支持し、固定することができる。凸状体２４（その上面）の大きさは、粘着性シートを確実に固定することができ、被粘着物を保持した粘着性シートを支持することができる大きさであればよく、凸状体２４の数、被粘着物、粘着性シートの弱粘着部又は非粘着部及び強粘着部の配列パターン等に応じて決定される。
【００１９】
基体２０Ａは、通気孔２１から、気体が圧入され、又は、気体が排気されても、変形等しない程度の強度を有する材料で形成され、このような材料として、例えば、炭素鋼、ステンレス鋼、アルミニウム合金、ニッケル合金等の金属、多孔質セラミック等の多孔性物質、樹脂、ガラス又はこれらの複合体等が挙げられる。基体２０Ａは、加工性、操作性の観点から、ステンレス鋼又はアルミニウム合金で形成されるのがよい。なお、基体２０Ａを多孔性物質で形成される場合には、前記通気孔２１を特段形成する必要はないが、基体２０Ａの側面及び底面を密閉する必要がある。
【００２０】
基体２０Ａの大きさは、用途、後述する被粘着物に応じて、所望の大きさに設計される。基体２０Ａの厚さは、粘着性シート１０Ａを支持し、固定することができればよく、用途等に応じて適宜決定される。例えば、数ｍｍ程度以上の厚さが選択される。
【００２１】
基体２０Ａは、前記材料により形成することができれば、その製造方法は、特に限定されず、例えば、真空成形、射出成形、金型成形等が挙げられる。通気孔２１は別途掘削してもよい。基体２０Ａは、周壁部２２及び凸状体２４と一体に成形されるのがよいが、それぞれ別々に製造することもできる。
【００２２】
粘着性シート１０Ａは、図２に示されるように、その四隅それぞれに、平面における仮想的なＸＹ座標において、前記基体２０Ａの特定位置に対して、Ｘ方向及びＹ方向に位置決め可能なＸ方向規制部１１Ａ及びＹ方向規制部１２Ａを有する。Ｘ方向規制部１１Ａ及びＹ方向規制部１２Ａは、基体２０Ａに粘着性シート１０Ａを取り付ける際に、平面における仮想的なＸＹ座標において、粘着性シート１０ＡがＸ方向及びＹ方向にずれるのを防止すると共に、基体２０Ａから粘着性シート１０Ａを取り外す際の起点となる。
【００２３】
Ｘ方向規制部１１Ａは、図２に示されるように、粘着性シート１０ＡのＹ方向に延在する側面における両端部それぞれに、柱体又は壁状体の脚として、４個設けられている。Ｙ方向規制部１２Ａは、図２に示されるように、粘着性シート１０ＡのＸ方向に延在する側面における両端部それぞれに、柱体又は壁状体の脚として、４個設けられている。粘着性シート１０Ａの各角部に設けられたＸ方向規制部１１Ａ及びＹ方向規制部１２Ａはその角部において一体になっている。すなわち、Ｘ方向規制部１１Ａ及びＹ方向規制部１２Ａは、粘着性シート１０Ａの角部それぞれに、各角部を覆うように、約９０°の角度を有する鉤型の柱体又は壁状体の脚として、設けられている。なお、Ｘ方向規制部１１Ａ及びＹ方向規制部１２Ａは、基体２０Ａにおける特定位置に粘着性シート１０Ａを装着することができる位置に、設けられる。
【００２４】
Ｘ方向規制部１１Ａ及びＹ方向規制部１２Ａは、粘着性シート１０ＡがＸ方向及びＹ方向にずれるのを防止することができ、粘着性シート１０Ａを取り外す際の起点となりうる大きさであればよく、例えば、図３に示されるように、Ｘ方向規制部１１Ａ及びＹ方向規制部１２Ａの高さ、すなわち、柱体又は壁状体の脚の長さは、粘着性シート１０Ａの厚さよりも長く、かつ、前記基体２０Ａの厚さよりも短く、形成されるのがよい。また、Ｘ方向規制部１１Ａ及びＹ方向規制部１２Ａは、粘着性シート１０Ａを取り外す際の起点となるから、全ての表面が弱粘着部又は非粘着部とされるのがよい。
【００２５】
粘着性シート１０Ａは、図２に示されるように、その表面に、非粘着部又は弱粘着部からなる島部分１３及び強粘着部からなる海部分１４を有する海島構造を表面に有する。粘着性シート１０Ａがその表面に前記海島構造を有していると、後述する被粘着物の粘着保持及び取り外しを容易に行うことができる。ここで、強粘着部は、被粘着物を保持するのに十分な粘着力、例えば、１〜６０（ｇ／ｍｍ２）の粘着力を有する部分である。強粘着部が前記範囲の粘着力を有すると、粘着性シート１０Ａに被粘着物を確実に保持することができる。弱粘着部は、強粘着部の粘着力よりも弱い粘着力、例えば、０（ｇ／ｍｍ２）を超え、１（ｇ／ｍｍ２）未満の粘着力を有する部分である。弱粘着部が前記範囲の粘着力を有すると、前記強粘着部によって粘着性シート１０Ａに保持された被粘着物を容易に取り外すことができる。非粘着部は、実質的に粘着力を有しない部分である。粘着性シートが非粘着部を有していると、前記強粘着部によって粘着性シート１０Ａに保持された被粘着物をきわめて容易に取り外すことができる。
【００２６】
前記強粘着部及び前記弱粘着部における粘着力は、次のようにして求める。まず、粘着性シート１０Ａを水平に固定する吸着固定装置（例えば、商品名：電磁チャック、ＫＥＴ−１５３０Ｂ、カネテック（株）製）又は真空吸引チャックプレート等と、測定部先端に、直径１０ｍｍの円柱をなしたステンレス鋼（ＳＵＳ３０４）製の接触子を取り付けたデジタルフォースゲージ（商品名：ＺＰ−５０Ｎ、（株）イマダ製）とを備えた荷重測定装置を用意する。この試験台上に粘着性シートを固定し、測定環境を２１±１℃、湿度５０±５％に設定する。次いで、２０ｍｍ／ｍｉｎの速度で強粘着部又は前記弱粘着部の被測定部位に接触するまで前記荷重測定装置に取り付けられた前記接触子を下降させ、次いで、この接触子を被測定部位に所定の荷重で被測定部位に対して垂直に３秒間押圧する。ここで、前記所定の荷重を、２５ｇ／ｍｍ２に設定する。次いで、１８０ｍｍ／ｍｉｎの速度で前記接触子を被測定部位から引き離し、このときに前記デジタルフォースゲージにより測定される引き離し荷重を読み取る。この操作を、被測定部位の複数箇所で行い、得られる複数の引き離し荷重を算術平均し、得られる平均値を強粘着部又は前記弱粘着部の粘着力とする。なお、この測定方法は、手動で行ってもよいが、例えば、テストスタンド（例えば、商品名：ＶＥＲＴＩＣＡｌ ＭＯＤＥＬ ＭＯＴＯＲＩＺＥＤ ＳＴＡＮＤ シリーズ、（株）イマダ製）等の機器を用いて、自動で行ってもよい。
【００２７】
前記海島構造は、強粘着部からなる海部分１４に、弱粘着部又は非粘着部からなる島部分１３が碁盤目状に配列された構造とされ、島部分１３を構成する弱粘着部又は非粘着部は、被粘着物を粘着保持させる粘着保持部分の全面積に対する面積率が２０〜９５％に設定されている。弱粘着部又は非粘着部の面積率がこの範囲であると、十分な保持力で被粘着物を粘着性シート１０Ａに保持することができると共に、粘着性シート１０Ａに保持された被粘着物を容易に取り外すことができる。
【００２８】
粘着性シート１０Ａは、その裏面に強粘着部を有している。裏面に強粘着部を有していると、粘着性シート１０Ａを基体２０Ａに容易にかつ強固に装着することができる。
【００２９】
粘着性シート１０Ａは、０．０５〜２ｍｍ程度の厚さを有し、その表面は平滑であるのがよい。粘着性シート１０Ａの厚さが、０．０５ｍｍ未満であると粘着性シート１０Ａ自体の機械的強度が低下し、粘着性シート１０Ａ自体の耐久性が十分でないことがあり、一方、２ｍｍを越えると、粘着性シート１０Ａが弾性変形しにくくなり、被粘着物を粘着性シート１０Ａから容易に取り外すことができなくなることがある。粘着性シート１０Ａの表面が平滑であると、強粘着部又は弱粘着部の粘着力を均一にすることができる。粘着性シート１０Ａは、基体２０Ａと異なる形状及び大きさに設定されてもよいが、通常は、基体２０Ａと同じ形状及びほぼ同じ大きさに設定される。
【００３０】
粘着性シート１０Ａは、強粘着性材料又は弱粘着性材料若しくは非粘着性材料によって形成される。強粘着性材料をとしては、例えば、シリコーンゴム、フッ素系ゴム、ウレタン系エラストマー、天然ゴム、スチレン−ブタジエン共重合エラストマー等の各種エラストマーが挙げられるが、強度、耐候性に優れたシリコーンゴム、フッ素系ゴム等がよい。これらの中でも、５〜６０程度のゴム硬度（ＪＩＳ Ｋ ６２５３［デュロメータＡ］）を有するのが特によい。前記ゴム硬度が、５未満であると粘着力が強くなりすぎることがあり、一方、６０を越えると粘着力が弱くなりすぎることがある。前記シリコーンゴムとしては、例えば、オルガノポリシロキサン、シリカ系充填剤及びパーオキサイド等の硬化剤等を含有するシリコーンゴム組成物が挙げられる。このようなシリコーンゴム組成物としては、例えば、信越化学工業株式会社から商品名「ＫＥ−５２０Ｕ」、「ＫＥ−５３０Ｕ」等が入手可能である。また、前記フッ素系ゴムとしては、例えば、フッ化ビニリデン・六フッ化プロピレン共重合体、カーボン等の充填剤、トリアルイソシアネート等の架橋助剤及びパーオキサイド等の硬化剤等を含有するフッ素系ゴム組成物が挙げられる。このようなフッ素系ゴム組成物としては、例えば、ダイキン工業株式会社から商品名「ＤＣ−２０５０」、「ＤＣ−２２６０」等が入手可能である。弱粘着性材料又は非粘着性材料としては、弱粘着性又は非粘着性のシリコーン樹脂、フッ素樹脂、ウレタン樹脂等が挙げられる。
【００３１】
粘着性シート１０Ａは、Ｘ方向規制部１１Ａ及びＹ方向規制部１２Ａを別に形成し、粘着性シートに接着してもよいが、例えば、射出成形、真空成形、金型成形等の成形方法によって、Ｘ方向規制部１１Ａ及びＹ方向規制部１２Ａを一体に形成するのがよい。粘着性シート１０Ａの表面に海島構造を形成するには、例えば、強粘着性材料を用いてシート状に成形し、（１）所望の配列パターンを有するマスキング部材を前記シート部の表面に載置し、マスキング部材上から照射量を制御して紫外線を照射する方法、（２）弱粘着部又は非粘着部を形成する部分に弱粘着性材料又は非粘着性材料を塗布する方法、（３）弱粘着部又は非粘着部を形成する部分の表面を粗面化する方法、（４）弱粘着性材料又は非粘着性材料を用いてシート状に成形し、強粘着部を形成する部分に強粘着性材料を塗布する方法等が挙げられる。
【００３２】
次に、基体２０Ａに粘着性シート１０Ａを取り付ける方法を説明する。保持治具１Ａは、後述するように、粘着性シート１０Ａにおける強粘着部を基体２０Ａ側に陥没させることによって、粘着性シート１０Ａの強粘着部に粘着保持された被粘着物を分離可能にする保持治具であるから、粘着性シート１０Ａの弱粘着部又は非粘着部が基体２０Ａにおける凸状体２４の上部に正確に対応するような、基体２０ＡにおけるＸ方向及びＹ方向の特定位置に粘着性シート１０Ａを装着する必要がある。粘着性シート１０Ａを基体２０Ａの特定位置に取り付けるには、まず、図４（ａ）に示されるように、粘着性シート１０Ａを上方に反らして、粘着性シート１０Ａに形成されたＸ方向規制部１１Ａ及びＹ方向規制部１２Ａそれぞれ少なくとも１個、好ましくは２個、すなわち、鉤型の柱体又は壁状体の脚の少なくとも１個、好ましくは隣接する２個を、基体２０Ａの角部に符合させる。この符合状態によって、粘着性シート１０Ａが基体２０Ａに対してＸ方向及びＹ方向に位置決めされ、Ｘ方向及びＹ方向にずれることを規制することができる。次いで、図４（ｂ）に示されるように、この符合状態を維持しつつ、上方に反らした粘着性シート１０Ａを少しずつ基体１０Ａ上に置いていき、最後に、粘着性シート１０Ａに形成された残りのＸ方向規制部１１Ａ及びＹ方向規制部１２Ａを、基体２０Ａの角部に符合させる。Ｘ方向規制部１１Ａ及びＹ方向規制部１２Ａは粘着性シート１０Ａの各角部に設けられており、また、前記したように、粘着性シート１０Ａは基体２０Ａとほぼ同じ大きさに形成されているから、この取り付け方法によれば、基体２０Ａの特定位置に粘着性シート１０Ａが装着された保持治具１Ａを容易に準備することができる。したがって、この発明に係る粘着性シート１０Ａによれば、Ｘ方向規制部１１Ａ及びＹ方向規制部１２Ａを有し、基体２０Ａに粘着性シート１０Ａを取り付ける際に、Ｘ方向規制部１１Ａ及びＹ方向規制部１２Ａを基体２０Ａの角部に符合させることによって、基体２０Ａに対して粘着性シート１０Ａが位置決めされ、Ｘ方向及びＹ方向にずれが生じることを規制することができる。故に、基体２０Ａの特定位置に正確かつ容易に粘着性シート１０Ａを装着することができる。
【００３３】
基体２０Ａから粘着性シート１０Ａを取り外す方法を説明する。基体２０Ａから粘着性シート１０Ａを取り外すには、まず、基体２０Ａに装着された粘着性シート１０ＡのＸ方向規制部１１Ａ及びＹ方向規制部１２Ａそれぞれ少なくとも１個、好ましくは２個、すなわち、鉤型の柱体又は壁状体の脚の少なくとも１個、好ましくは隣接する２個を、工具又は手で掴む。Ｘ方向規制部１１Ａ及びＹ方向規制部１２Ａは、図３に示されるように、基体２０Ａから突出しているから、工具又は手で容易かつ確実に掴むことができる。次いで、掴んだＸ方向規制部１１Ａ及びＹ方向規制部１２Ａを起点にして、基体２０Ａから粘着性シート１０Ａを上方に捲り上げて、基体２０Ａから少しずつ引き剥がす。このようにして、基体２０Ａから粘着性シート１０Ａを取り外すことができる。したがって、この発明に係る粘着性シート１０Ａによれば、Ｘ方向規制部１１Ａ及びＹ方向規制部１２Ａを起点にして、Ｘ方向規制部１１Ａ及びＹ方向規制部１２Ａが形成された粘着性シート１０Ａの端部から引き剥がすことによって、基体２０Ａに傷を付けることなく、容易に取り外すことができる。
【００３４】
次に、保持治具１Ａの作用について説明する。保持治具１Ａに粘着保持される被粘着物は、薄板状物、電子部品等の破損又は損傷しやすいもの、小型で取り扱いが困難であるもの等であるのが有利である。薄板状物としては、例えば、シリコンウェハ、フレキシブルプリント基板、大画面表示装置用のガラス板等が挙げられ、電子部品としては、例えば、セラミックコンデンサ、コイルフィルター等が挙げられる。
【００３５】
保持治具１Ａにおいて、製造工程中及び／又は搬送中等に、被粘着物３０を粘着保持する場合には、図３に示される保持治具１Ａの粘着性シート１０Ａ上に被粘着物３０を載置する。この初期状態においては、図５（ａ）に示されるように、被粘着物３０の底面に、粘着性シート１０Ａの強粘着部である海部分１４が密着しているから、被粘着物３０は粘着性シート１０Ａに粘着保持されている。したがって、被粘着物３０は保持治具１Ａに十分な粘着力で粘着保持されており、被粘着物３０を保持治具１Ａと共に製造工程に供給し、又は、搬送等することができる。このように、被粘着物３０は、粘着性シート１０Ａ上に置いただけで保持治具１Ａに粘着保持されるから、保持治具１Ａは、簡単な構成で、小型かつ低エネルギで、被粘着物３０を粘着保持することができる。
【００３６】
一方、保持治具１Ａにおいて、製造工程終了後及び／又は製造工程間の搬送後等に、粘着保持された被粘着物３０を取り外す場合には、図５（ｂ）に示されるように、保持治具１Ａの外部に設置された吸引装置等（図示しない。）を通気孔２１に接続し、基体２０Ａと粘着性シート１０Ａとで形成された閉塞空間２６内の気体を排気し、閉塞空間２６内を減圧又は真空にする。そうすると、弾性を有する粘着性シート１０Ａの強粘着部である海部分１４は、被粘着物３０との粘着力に反して弾性変形し、閉塞空間２６内に陥没する。この排気状態においては、粘着性シート１０Ａの上面における強粘着部である海部分１４が被粘着物３０の底面から引き離されている。その結果、被粘着物３０は、粘着性シート１０Ａの弱粘着部又は非粘着部である島部分１３に接しているだけで、もはや粘着保持されていない。したがって、わずかな力で、保持治具１Ａを傾けるだけで、又は、被粘着物３０の自重で、被粘着物３０を取り外すことができるうえ、被粘着物３０を取り外す際に、被粘着物３０が変形し又は損傷することを確実に防止することができる。
【００３７】
保持治具１Ａにおいては、このように初期状態及び排気状態を繰り返すことによって、被粘着物３０の保持及び取り外しが容易に行われる。
【００３８】
この発明の別の一実施例である粘着性シート及び保持治具を、図６〜図９を参照して、説明する。保持治具１Ｂは、被粘着物を製造し、搬送する際等に使用され、図８に示されるように、図６に示される基体２０Ｂと図７に示される粘着性シート１０Ｂとを備えてなる。
【００３９】
基体２０Ｂは、図６に示されるように、通気孔２１を有する板状体である。この基体２０Ｂは、その表面が平坦に形成されているのがよい。また、基体２０Ｂは、後述する粘着性シート１０ＢにおけるＸ方向規制部１１Ｂ及びＹ方向規制部１２Ｂと符合する符合部２７を有する。符合部２７は、Ｘ方向規制部１１Ｂ及びＹ方向規制部１２Ｂと符合すればよく、Ｘ方向規制部１１Ｂ及びＹ方向規制部１２Ｂの形状、大きさ、数等に応じて、形状、大きさ、数等が決定される。基体２０Ｂにおける符合部２７は、図６に示されるように、Ｘ方向規制部１１Ｂ及びＹ方向規制部１２Ｂに対応する基体２０Ｂの側面に凹設されている。符合部２７が凹設される側面の位置は、符合部２７とＸ方向規制部１１Ｂ及びＹ方向規制部１２Ｂとが符合したときに、後述する基体２０Ｂの特定位置に粘着性シート１０Ｂが装着される位置である。基体２０Ｂの材質等は基本的には基体２０Ａと同様である。
【００４０】
粘着性シート１０Ｂは、図７に示されるように、平面における仮想的なＸＹ座標において、裏面におけるＸ方向に隣接する角部近傍それぞれに、前記基体２０Ｂの特定位置に対してＸ方向に位置決め可能なＹ方向規制部１２Ｂを有し、前記角部におけるＹ方向規制部１２Ｂが形成された側の端部近傍にそれぞれ、前記基体２０Ｂの特定位置に対してＹ方向に位置決め可能なＸ方向規制部１１Ｂを有する。Ｘ方向規制部１１Ｂ及びＹ方向規制部１２Ｂが形成される位置は、粘着性シート１０Ｂの裏面であって、符合部２７とＸ方向規制部１１Ｂ及びＹ方向規制部１２Ｂとが符合したときに、基体２０Ｂにおける特定位置に粘着性シート１０Ｂを装着することができる位置である。Ｘ方向規制部１１Ｂ及びＹ方向規制部１２Ｂは、図７に示されるように、柱体又は壁状体の脚として、それぞれ２個ずつ設けられている。Ｘ方向規制部１１Ｂ及びＹ方向規制部１２Ｂは前記符合部２７と共に、基体２０Ｂに粘着性シート１０Ｂを取り付ける際に、平面における仮想的なＸＹ座標において、粘着性シート１０ＢがＸ方向及びＹ方向にずれるのを防止すると共に、基体２０Ｂから粘着性シート１０Ｂを取り外す際の起点となる。
【００４１】
Ｘ方向規制部１１Ｂ及びＹ方向規制部１２Ｂは、粘着性シート１０ＢがＸ方向及びＹ方向にずれるのを防止することができ、粘着性シート１０Ｂを取り外す際の起点となりうる大きさであればよく、例えば、図８に示されるように、Ｘ方向規制部１１Ｂ及びＹ方向規制部１２Ｂの高さ、すなわち、柱体又は壁状体の脚の長さは、基体２０Ｂの厚さよりも短く形成されるのがよい。また、Ｘ方向規制部１１Ｂ及びＹ方向規制部１２Ｂは、粘着性シート１０Ｂを取り外す際の起点となるから、全ての表面が弱粘着部又は非粘着部とされるのがよい。
【００４２】
粘着性シート１０Ｂは、図７に示されるように、その表面に、非粘着部又は弱粘着部からなる海部分１４及び強粘着部からなる島部分１３を有する海島構造を表面に有する。粘着性シート１０Ｂがその表面に前記海島構造を有していると、後述する被粘着物の粘着保持及び取り外しを容易に行うことができる。ここで、強粘着部、弱粘着部及び非粘着部の粘着力は、粘着性シート１０Ａにおける強粘着部、弱粘着部及び非粘着部の粘着力と同様である。
【００４３】
基体２０Ｂにおける海島構造の配列パターン、弱粘着部又は非粘着部の面積率、厚さ、製造方法等は、前記基体２０Ａと同様である。なお、基体２０Ｂは、前記弱粘着性材料又は非粘着性材料を用いてシート状に成形し、強粘着部を形成する部分に強粘着性材料を塗布する方法等で成形され、その裏面は弱粘着部又は非粘着部であるのがよい。
【００４４】
保持治具１Ｂは、後述するように、基体２０Ｂと粘着性シート１０Ｂとの間に気体を圧入するので、基体２０Ｂと粘着性シート１０Ｂとを強固に固定する接着層２８を、基体２０Ｂと粘着性シート１０Ｂとの間であって、基体２０Ｂの周縁部及び粘着性シート１０Ｂの強粘着部に対応する基体２０Ｂの表面に設けるのがよい。
【００４５】
次に、基体２０Ｂに粘着性シート１０Ｂを取り付ける方法を説明する。保持治具１Ｂは、後述するように、通気孔２１から気体を圧入して、粘着性シート１０Ｂにおける弱粘着部又は非粘着部を基体２０Ｂから突出させることによって、粘着性シート１０Ｂの強粘着部に粘着保持された被粘着物を分離可能にする保持治具であるから、粘着性シート１０Ｂの弱粘着部又は非粘着部が基体２０Ｂに形成された通気孔２１の開口の上部に正確に位置するような、基体２０ＢにおけるＸ方向及びＹ方向の特定位置に粘着性シート１０Ｂを装着する必要がある。粘着性シート１０Ｂを基体２０Ｂの特定位置に取り付けるには、基本的には、基体２０Ａに粘着性シート１０Ａを取り付ける方法と同様にする。まず、粘着性シート１０Ｂを上方に反らして、粘着性シート１０Ｂに形成されたＸ方向規制部１１Ｂ及びＹ方向規制部１２Ｂ、すなわち、柱体又は壁状体の脚を、基体２０Ｂの側面に形成された符合部２７にそれぞれ挿入して、Ｘ方向規制部１１Ｂ及びＹ方向規制部１２Ｂと符合部２７とを符合させる。この符合状態によって、粘着性シート１０Ｂが基体２０Ｂに対してＸ方向及びＹ方向に位置決めされ、Ｘ方向及びＹ方向にずれることを規制することができる。基体２０Ｂには、その周縁部及び粘着性シート１０Ｂの強粘着部に対応する表面に予め接着組成物が塗布されている。次いで、基体２０Ａの場合と同様にして、この符合状態を維持しつつ、上方に反らした粘着性シート１０Ｂを少しずつ基体１０Ｂ上に置いていく。Ｘ方向規制部１１Ｂ及びＹ方向規制部１２Ｂと、粘着性シート１０Ｂの符号部２７とは、前記したように、特定位置に設けられており、また、粘着性シート１０Ｂは基体２０Ｂとほぼ同じ大きさに形成されているから、この取り付け方法によれば、基体２０Ｂの特定位置に粘着性シート１０Ｂが装着された保持治具１Ｂを容易に準備することができる。したがって、この発明に係る粘着性シート１０Ｂによれば、Ｘ方向規制部１１Ｂ及びＹ方向規制部１２Ｂを有し、基体２０Ｂに粘着性シート１０Ｂを取り付ける際に、Ｘ方向規制部１１Ｂ及びＹ方向規制部１２Ｂを基体２０Ｂの符号部２７に符合させることによって、基体２０Ｂに対して粘着性シート１０ＢがＸ方向及びＹ方向に位置決めされ、Ｘ方向及びＹ方向にずれが生じることを規制することができる。故に、基体２０Ｂの特定位置に正確かつ容易に粘着性シート１０Ｂを装着することができる。
【００４６】
基体２０Ｂから粘着性シート１０Ｂを取り外す方法を説明する。基体２０Ｂから粘着性シート１０Ｂを取り外す方法は、基本的には、基体２０Ａから粘着性シート１０Ａを取り外す方法と同様にする。まず、基体２０Ｂに装着された粘着性シート１０ＢのＸ方向規制部１１Ｂ及びＹ方向規制部１２Ｂ、すなわち、柱体又は壁状体の脚における表面を、手で押圧しながら上方に押し上げる。Ｘ方向規制部１１Ｂ及びＹ方向規制部１２Ｂは基体２０Ｂの側面と面一になっているが、Ｘ方向規制部１１Ｂ及びＹ方向規制部１２Ｂは弱粘着部又は非粘着部とされているから、Ｘ方向規制部１１Ｂ及びＹ方向規制部１２Ｂと符合部２７との密着状態はそれほど強くなく、Ｘ方向規制部１１Ｂ及びＹ方向規制部１２Ｂを容易に上方に押し上げることができる。次いで、押し上げたＸ方向規制部１１Ａ及びＹ方向規制部１２Ａを起点にして、基体２０Ｂから粘着性シート１０Ｂを上方に捲り上げて、基体２０Ｂから少しずつ引き剥がす。このようにして、基体２０Ｂから粘着性シート１０Ｂを取り外すことができる。したがって、この発明に係る粘着性シート１０Ｂによれば、Ｘ方向規制部１１Ｂ及びＹ方向規制部１２Ｂを起点にして、Ｘ方向規制部１１Ｂ及びＹ方向規制部１２Ｂが形成された粘着性シート１０Ｂの端部から引き剥がすことによって、基体２０Ｂに傷を付けることなく、容易に取り外すことができる。
【００４７】
次に、保持治具１Ｂの作用について説明する。保持治具１Ｂにおいて、製造工程中及び／又は搬送中等に、被粘着物３０を粘着保持する場合には、図８に示される保持治具１Ｂの粘着性シート１０Ｂ上に被粘着物３０を載置する。この初期状態においては、図９（ａ）に示されるように、被粘着物３０の底面に、粘着性シート１０Ｂの強粘着部である島部分１３が密着しているから、被粘着物３０は粘着性シート１０Ｂに粘着保持されている。したがって、被粘着物３０は保持治具１Ｂに十分な粘着力で粘着保持されており、被粘着物３０を保持治具１Ｂと共に製造工程に供給し、又は、搬送等することができる。このように、保持治具１Ｂは、保持治具１Ａと同様に、簡単な構成で、小型かつ低エネルギで、被粘着物３０を保持することができる。
【００４８】
一方、保持治具１Ｂにおいて、製造工程終了後及び／又は製造工程間の搬送後等に、粘着保持された被粘着物３０を取り外す場合には、図９（ｂ）に示されるように、保持治具１Ｂの外部に設置された圧縮装置等（図示しない。）を通気孔２１に接続し、基体２０Ｂと粘着性シート１０Ｂとの間に気体を圧入する。そうすると、弾性を有する粘着性シート１０Ｂは、接着層２８で接着されていない海部分１４が、被粘着物３０と強粘着部である島部分１３との粘着力に反して弾性変形し、基体２０Ｂの表面から隆起する。この圧入状態においては、粘着性シート１０Ｂの上面における強粘着部である島部分１３が被粘着物３０の底面から引き離されている。その結果、被粘着物３０は、粘着性シート１０Ｂの弱粘着部又は非粘着部１４に接しているだけで、もはや粘着保持されていない。したがって、わずかな力で、保持治具１Ｂを傾けるだけで、又は、被粘着物３０の自重で、被粘着物３０を取り外すことができるうえ、被粘着物３０を取り外す際に、被粘着物３０が変形し又は損傷することを確実に防止することができる。
【００４９】
保持治具１Ｂにおいては、このように初期状態及び圧入状態を繰り返すことによって、被粘着物３０の保持及び取り外しが容易に行われる。
【００５０】
前記Ｘ方向規制部１１Ａ及びＹ方向規制部１２Ａは、粘着性シート１０Ａにおける角部それぞれに形成されているが、この発明においては、Ｘ方向規制部１１Ａ及びＹ方向規制部１２Ａは、少なくとも１つの角部に形成されていればよく、２つ以上の角部に形成されているのが好ましい。例えば、図１０（ａ）に示される粘着性シート１０Ｃが挙げられる。この粘着性シート１０Ｃは、その隣り合う２つの角部それぞれに、粘着性シート１０ＡにおけるＸ方向規制部１１Ａ及びＹ方向規制部１２Ａが形成されている以外は、粘着性シート１０Ａと同様である。
【００５１】
Ｘ方向規制部１１Ａ、１１Ｂ及びＹ方向規制部１２Ａ、１２Ｂは、粘着性シート１０Ａ、１０Ｂの角部近傍に形成されているが、この発明においては、Ｘ方向規制部及びＹ方向規制部が形成される位置は、粘着性シートの端部近傍であれば、その角部近傍でなくてもよい。例えば、図１０（ｂ）に示される粘着性シート１０Ｄが挙げられる。この粘着性シート１０Ｄは、粘着性シート１０Ｃにおける２つのＹ方向規制部１２Ａが連続して、粘着性シート１０ＤにおけるＸ方向に延在する側面全体に延在する１つのＹ方向規制部１２Ｄと、このＹ方向規制部１２Ｄと一体に、２つのＸ方向規制部１１Ａが形成されている以外は、前記粘着性シート１０Ａと同様である。
【００５２】
前記Ｘ方向規制部１１Ａ〜１１Ｄ及びＹ方向規制部１２Ａ〜１２Ｄは何れも、柱体又は壁状体とされているが、この発明においては、Ｘ方向規制部及びＹ方向規制部の形状は特に限定されず、例えば、角柱体、円柱体、棒状体等であってもよい。また、前記Ｘ方向規制部１１Ａ〜１１Ｄ及びＹ方向規制部１２Ａ〜１２Ｄそれぞれは何れも、１つの柱体又は壁状体とされているが、この発明においては、Ｘ方向規制部及びＹ方向規制部それぞれを、複数の柱体又は壁状体が間隔を置いて配置された構成とされてもよい。
【００５３】
前記Ｘ方向規制部１１Ａ及びＹ方向規制部１２Ａ、１２Ｄは何れも、粘着性シートの側面に形成されているが、Ｘ方向規制部１１Ｂ及びＹ方向規制部１２Ｂと同様に、粘着性シートの裏面における端部近傍に形成されていてもよく、逆に、Ｘ方向規制部１１Ｂ及びＹ方向規制部１２Ｂは、Ｘ方向規制部１１Ａ及びＹ方向規制部１２Ａ等と同様に、粘着性シートの側面に形成されていてもよい。
【００５４】
前記粘着性シート１０Ａ〜１０Ｄは何れも、略正方形に形成されているが、この発明においては、粘着性シートの形状は特に限定されず、例えば、四角形、五角形、六角形等の多角形、円形、楕円形、不定形、又は、これらを組み合わせた形状等に形成されてもよい。例えば、円形の粘着性シートとして、図１１に示される粘着性シート１０Ｅ及び１０Ｆが挙げられる。この粘着性シート１０Ｅは、円盤状に形成され、その周縁部に、柱体又は壁状体のＸ方向規制部１１Ｅ及びＹ方向規制部１２Ｅが、Ｘ方向規制部１１Ｅの定点及び円盤の中心点を結ぶ線と、Ｙ方向規制部１２Ｅの定点及び円盤の中心点を結ぶ線とが交わる角度θが約９０°になるように、形成されている。この粘着性シート１０Ｅにおいて、前記交わる角度は、４５〜１３５°程度であればよい。また、粘着性シート１０Ｆは、円盤状に形成され、その周縁部に沿って、この周縁部の約１／４の長さに延在する柱体又は壁状体のＸ方向規制部兼Ｙ方向規制部１５が形成されている。この粘着性シート１０Ｆにおいて、Ｘ方向規制部兼Ｙ方向規制部１５が延在する長さは、周縁部の約１／５〜１／２程度であればよい。なお、前記粘着性シート１０Ｅ及び１０Ｆ等のように粘着性シートが円形に形成される場合に、この発明の目的をよく達成するためには、前記Ｘ方向規制部１１Ｅ若しくは前記Ｙ方向規制部１２Ｅの少なくとも一方の表面（基体と当接する表面）、又は、Ｘ方向規制部兼Ｙ方向規制部１５における基体と当接する表面の一部が粘着性を有しているのがよく、又は、粘着性シートが装着される基体の表面又は周側面等に、粘着性シートが基体の円周方向に移動することを防止する周方向規制部、例えば突起等を設けておくのがよい。
【００５５】
前記粘着性シート１０Ａ〜１０Ｄは何れも、基体２０Ａ及び２０Ｂと同様に、略正方形に形成されているが、この発明においては、基体と同一の形状に形成されなくてもよく、例えば、略正方形の基体に、円形、楕円形等の粘着性シートを取り付けてもよい。
【００５６】
前記粘着性シート１０Ａ及び粘着性シート１０Ｂにおいては、弱粘着部若しくは非粘着部又は強粘着部からなる海部分１４に、強粘着部又は弱粘着部若しくは非粘着部からなる島部分１３が碁盤目状に配列された海島構造を有しているが、この発明においては、海島構造は、これに限定されることなく、弱粘着部若しくは非粘着部又は強粘着部からなる海部分に、強粘着部又は弱粘着部若しくは非粘着部からなる島部分が、棒状に配列された海島構造、放射状又は同心円状に配列された海島構造等であってもよい。また、これらの海島構造における海部分及び島部分は、正方形、長方形、五角形、六角形等の多角形、円形、リング状、楕円、不定形、又は、これらを組み合わせた形状等に形成されてもよい。
【００５７】
前記基体２０Ａは、粘着性シート１０Ａの強粘着部を基体２０Ａ側に陥没させるタイプの保持治具１Ａに用いられているが、この発明において、基体２０Ａは、弱粘着部又は非粘着部を突出させるタイプの保持治具に用いられてもよい。
【００５８】
前記基体２０Ａ及び基体２０Ｂは、略正方形に成形されているが、基体の形状は、被粘着物の形状、その製造工程、取り扱い性等に応じて、例えば、四角形、五角形、六角形等の多角形、円形、楕円形、不定形、又は、これらを組み合わせた形状等に形成されてもよい。
【００５９】
前記基体２０Ａの側面及び基体２０Ｂの側面には、粘着性シートを取り外しやすくするための凹部を設けてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００６０】
【図１】図１は、周壁部及び凸状体を有する基体の一例を示す概略斜視図である。
【図２】図２は、粘着性シートの一例を示す概略斜視図である。
【図３】図３は、図１に示される基体と図２に示される粘着性シートとを備えた保持治具の示す概略斜視図である。
【図４】図４は、基体に粘着性シートを取り付ける方法を説明する説明図であり、図４（ａ）は、Ｘ方向規制部１１Ａ及びＹ方向規制部１２Ａを基体２０に符合させた符合状態を示す図であり、図４（ｂ）は、符合状態を維持しつつ、粘着性シートを基体に装着する状態を示す図である。
【図５】図５は、図３におけるＡ−Ａ線に沿った概略断面図であり、図５（ａ）は保持治具の初期状態を示す概略断面図であり、図５（ｂ）は保持治具の排気状態を示す概略断面図である。
【図６】図６は、平坦面を有する基体の一例を示す概略斜視図である。
【図７】図７は、粘着性シートの一例を示す概略斜視図である。
【図８】図８は、図６に示される基体と図７に示される粘着性シートとを備えた保持治具の示す概略斜視図である。
【図９】図９は、図８におけるＡ−Ａ線に沿った概略断面図であり、図９（ａ）は保持治具の初期状態を示す概略断面図であり、図９（ｂ）は保持治具の圧入状態を示す概略断面図である。
【図１０】図１０は、粘着性シートの変形例を示す概略斜視図である。
【図１１】図１１は、粘着性シートの変形例を示す概略斜視図である。
【符号の説明】
【００６１】
１ 保持治具
１０ 粘着性シート
１１ Ｘ方向規制部
１２ Ｙ方向規制部
１３ 島部分
１４ 海部分
１５ Ｘ方向規制部兼Ｙ方向規制部
２０ 基体
２１ 通気孔
２２ 周壁部
２３ 内部空間
２４ 凸状体
２５ 頂上面
２６ 閉塞空間
２７ 符合部
２８ 接着層
２９ 間隙部
【技術分野】
【０００１】
本発明は、粘着性シート及び保持治具に関し、さらに詳しくは、基体への取り付け作業及び基体からの取り外し作業が容易な粘着性シート及びこの粘着性シートを備えた保持治具に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、シリコンウェハ、フレキシブルプリント基板、大画面表示装置用のガラス板等の薄板状物、セラミックコンデンサ、コイルフィルター等の電子部品等の製造工程、搬送工程等においては、前記薄板状物等は破損しやすく、前記電子部品等は特定位置に固定しにくく転倒しやすいので、一般に、これらの薄板状物又は電子部品等を保持可能な保持治具等が用いられている。このような保持治具としては、例えば、「基板を真空吸着して保持する基板保持チャックにおいて、前記基板を真空吸引する際の負圧を形成する壁体と、前記真空吸引の際の基板の変形を抑制する複数の補助支持体とを備え、前記壁体と前記補助支持体の内少なくとも補助支持体を、ガラス基板表面に突出形成したことを特徴とする基板保持チャック」等が挙げられる（特許文献１参照。）。
【０００３】
しかし、前記基板保持チャックは、基板を真空吸引によって固定するものであるから、製造工程中及び／又は搬送中等には、常に真空吸引する必要があり、特に基板の質量が大きい場合には真空度を高める必要があり、保持具自体の構造、製法が複雑で高価なものであった。さらに、基板を真空吸引によって固定する際に、基板と壁体又は補助支持体とが接触し、前記壁体又は補助支持体によって基板が損傷することもあった。したがって、被粘着物を損傷させることがなく、簡単な構造であっても、十分な保持力で被粘着物を保持すると共に、被粘着物を容易に取り外すこともできる保持治具が求められていた。
【０００４】
【特許文献１】特開２０００−２８６３２９号公報
【０００５】
本出願人は、被粘着物を損傷させることがなく、十分な保持力で被粘着物を保持すると共に、被粘着物を容易に取り外すこともできる、簡単な構造の保持治具として、「上面に少なくとも一つの凸状体を有するベース部と、前記凸状体と隔ててその外側を囲う周壁部と、前記凸状体の頂部及び前記周壁部の頂部と下面で密着固定し、かつ上面に粘着部を有する粘着シート部材と、該粘着シート部材と前記ベース部及び前記周壁部によって形成される空隙部に連通する通気孔を備えた部品保持具であって、前記凸状体の頂部と対応させた前記粘着シート部材の上面部位には、前記粘着部よりも弱い粘着力を有する弱粘着部又は非粘着部を形成されており、前記空隙部内の気体を前記通気孔を介して外部から吸引することで、前記粘着シート部材の前記空隙部に対応する部位が前記ベース部の下面側に弾性変形するようにしたことを特徴とする部品保持具。」を案出している（特願２００４−１４１７６１号明細書参照）。
【０００６】
この部品保持具においては、粘着シート部材の前記空隙部に対応する部位が前記ベース部の下面側に弾性変形するのであるから、粘着シート部材の上面部位に形成された粘着部よりも弱い粘着力を有する弱粘着部又は非粘着部が凸状体の頂部に正確に対応するように、ベース部に粘着シート部材を装着する必要がある。しかし、粘着シート部材はその厚さが薄く設定されるうえ、柔軟性を有しているから、粘着シート部材をベース部の特定の位置に正確に装着するのは難しい。他方、粘着シート部材が破損し、又は、粘着シート部材における粘着性表面の粘着力が低下した部品保持具は、前記薄板状物又は前記電子部品等を確実に粘着保持することができなくなるから、交換する必要がある。しかし、例えば、粘着シート部材を溶剤に浸漬する方法、ベース部と粘着シート部材との装着面にナイフやヘラ等の鋭利な工具を挿入する方法等によっても、ベース部に一旦装着された粘着シート部材を取り外すのは容易ではない。また、前記鋭利な工具によって、ベース部に傷が付くこともある。
【０００７】
なお、特願２００４−１４１７６１号明細書に記載の前記部品保持具は、未だ公開されておらず、本件発明の先行技術となり得る技術ではないが、本件発明の充分な理解を助けるために、ここに引用して説明した。
【０００８】
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
この発明は、基体の特定位置に正確かつ容易に取り付けることができると共に、基体から容易に取り外すことができる粘着性シートを提供することを目的とする。
【００１０】
この発明は、また、粘着性シートを基体の特定位置に正確かつ容易に取り付けることができると共に、粘着性シートを基体から容易に取り外すことができる保持治具を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
前記課題を解決するための手段として、
請求項１は、気体を流通する通気孔を有する基体に装着されるところの、表面に非粘着部又は弱粘着部及び強粘着部を有し、前記強粘着部で被粘着物を粘着保持し、前記通気孔から気体を圧入して、前記非粘着部又は弱粘着部を前記基体から突出させることによって、又は、前記通気孔から気体を排気して、前記強粘着部を前記基体側に陥没させることによって、前記強粘着部に粘着保持された前記被粘着物を分離可能な粘着性シートであって、前記粘着性シートの端部近傍に、平面における仮想的なＸＹ座標において、前記基体の特定位置に対して、Ｘ方向及びＹ方向に位置決め可能なＸ方向規制部及びＹ方向規制部を有することを特徴とする粘着性シートであり、
請求項２は、請求項１に記載の粘着性シートと、前記粘着性シートを固定し、気体を流通する通気孔を有する基体とを備えたことを特徴とする保持治具であり、
請求項３は、前記基体は、さらに、周壁部と、前記周壁部で包囲された内部空間に形成された少なくとも一つの凸状体とを備え、前記通気孔は前記周壁部と前記凸状体との間隙部に連通することを特徴とする請求項２に記載の保持治具であり、
請求項４は、前記基体は、さらに、前記粘着性シートにおける前記Ｘ方向規制部及び前記Ｙ方向規制部と符合する符合部を有することを特徴とする請求項２又は３に記載の保持治具である。
【発明の効果】
【００１２】
この発明に係る粘着性シートによれば、粘着性シートの端部近傍に、平面における仮想的なＸＹ座標において、基体の特定位置に対して、Ｘ方向及びＹ方向に位置決め可能なＸ方向規制部及びＹ方向規制部を有しているから、基体に粘着性シートを取り付ける際に、Ｘ方向規制部及びＹ方向規制部それぞれを基体に当接させることによって、基体に対して粘着性シートがＸ方向及び／又はＹ方向にずれることを防止することができ、基体の特定位置に正確かつ容易に装着することができる。また、この粘着性シートによれば、基体から粘着性シートを取り外す際に、Ｘ方向規制部及び／又はＹ方向規制部を起点として、Ｘ方向規制部及び／又はＹ方向規制部が形成された端部から引き剥がすことによって、基体に傷を付けることなく、容易に取り外すことができる。
【００１３】
また、この発明に係る保持治具によれば、この発明に係る粘着性シートを備えて成るから、粘着性シートを基体の特定位置に正確かつ容易に取り付けることができると共に、粘着性シートを基体から容易に取り外すことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
この発明の一実施例である粘着性シート及び保持治具を、図１〜図５を参照して、説明する。保持治具１Ａは、被粘着物を製造し、搬送する際等に使用され、図３に示されるように、図１に示される基体２０Ａと図２に示される粘着性シート１０Ａとを備えてなる。
【００１５】
前記基体２０Ａは、図１に示されるように、気体を流通する通気孔２１と、周壁部２２と、周壁部２２で包囲された内部空間２３に形成された４つの凸状体２４とを有し、略正方形に形成されている。周壁部２２と凸状体２４とは、共になって、後述する粘着性シート１０Ａを支持し、固定する。
【００１６】
前記通気孔２１は、図１及び図３に示されるように、周壁部２２と凸状体２４との間隙部２９及び基体２０Ａの外部とを連通し、外部に設置された圧縮装置例えばコンプレッサー（図示しない。）等、又は、吸引装置例えば真空ポンプ（図示しない。）等に接続される。通気孔２１の孔径は、高い圧縮効率又は吸引効率と基体２０Ａの強度とを両立することができる孔径に設定される。この通気孔２１は、基体２０Ａの表面から所定の位置まで裏面側に延在し、そこから基体２０Ａの側面まで延在するように形成されているが、基体２０Ａの表面から裏面に貫通するように形成されてもよい。
【００１７】
前記周壁部２２は、基体２０Ａの周縁部に凸状の枠として形成され、その上部には、粘着性シートを支持し、固定する頂上面２５を有する。この周壁部２２及び基体２０Ａの表面によって、上面が開口した内部空間２３が形成される。
【００１８】
前記凸状体２４は、図１に示されるように、内部空間２３内に、周壁部２２から離れて、略均一の間隔を設けて縦横２個ずつ、合計４個が形成されている。４つの凸状体２４は何れも、周壁部２２の高さと略同じ高さを有する略正方形の角柱状に形成されている。このように周壁部２２及び各凸状体２４が略同じ高さに形成されていると、粘着性シートを基体２０Ａに確実に支持し、固定することができる。凸状体２４（その上面）の大きさは、粘着性シートを確実に固定することができ、被粘着物を保持した粘着性シートを支持することができる大きさであればよく、凸状体２４の数、被粘着物、粘着性シートの弱粘着部又は非粘着部及び強粘着部の配列パターン等に応じて決定される。
【００１９】
基体２０Ａは、通気孔２１から、気体が圧入され、又は、気体が排気されても、変形等しない程度の強度を有する材料で形成され、このような材料として、例えば、炭素鋼、ステンレス鋼、アルミニウム合金、ニッケル合金等の金属、多孔質セラミック等の多孔性物質、樹脂、ガラス又はこれらの複合体等が挙げられる。基体２０Ａは、加工性、操作性の観点から、ステンレス鋼又はアルミニウム合金で形成されるのがよい。なお、基体２０Ａを多孔性物質で形成される場合には、前記通気孔２１を特段形成する必要はないが、基体２０Ａの側面及び底面を密閉する必要がある。
【００２０】
基体２０Ａの大きさは、用途、後述する被粘着物に応じて、所望の大きさに設計される。基体２０Ａの厚さは、粘着性シート１０Ａを支持し、固定することができればよく、用途等に応じて適宜決定される。例えば、数ｍｍ程度以上の厚さが選択される。
【００２１】
基体２０Ａは、前記材料により形成することができれば、その製造方法は、特に限定されず、例えば、真空成形、射出成形、金型成形等が挙げられる。通気孔２１は別途掘削してもよい。基体２０Ａは、周壁部２２及び凸状体２４と一体に成形されるのがよいが、それぞれ別々に製造することもできる。
【００２２】
粘着性シート１０Ａは、図２に示されるように、その四隅それぞれに、平面における仮想的なＸＹ座標において、前記基体２０Ａの特定位置に対して、Ｘ方向及びＹ方向に位置決め可能なＸ方向規制部１１Ａ及びＹ方向規制部１２Ａを有する。Ｘ方向規制部１１Ａ及びＹ方向規制部１２Ａは、基体２０Ａに粘着性シート１０Ａを取り付ける際に、平面における仮想的なＸＹ座標において、粘着性シート１０ＡがＸ方向及びＹ方向にずれるのを防止すると共に、基体２０Ａから粘着性シート１０Ａを取り外す際の起点となる。
【００２３】
Ｘ方向規制部１１Ａは、図２に示されるように、粘着性シート１０ＡのＹ方向に延在する側面における両端部それぞれに、柱体又は壁状体の脚として、４個設けられている。Ｙ方向規制部１２Ａは、図２に示されるように、粘着性シート１０ＡのＸ方向に延在する側面における両端部それぞれに、柱体又は壁状体の脚として、４個設けられている。粘着性シート１０Ａの各角部に設けられたＸ方向規制部１１Ａ及びＹ方向規制部１２Ａはその角部において一体になっている。すなわち、Ｘ方向規制部１１Ａ及びＹ方向規制部１２Ａは、粘着性シート１０Ａの角部それぞれに、各角部を覆うように、約９０°の角度を有する鉤型の柱体又は壁状体の脚として、設けられている。なお、Ｘ方向規制部１１Ａ及びＹ方向規制部１２Ａは、基体２０Ａにおける特定位置に粘着性シート１０Ａを装着することができる位置に、設けられる。
【００２４】
Ｘ方向規制部１１Ａ及びＹ方向規制部１２Ａは、粘着性シート１０ＡがＸ方向及びＹ方向にずれるのを防止することができ、粘着性シート１０Ａを取り外す際の起点となりうる大きさであればよく、例えば、図３に示されるように、Ｘ方向規制部１１Ａ及びＹ方向規制部１２Ａの高さ、すなわち、柱体又は壁状体の脚の長さは、粘着性シート１０Ａの厚さよりも長く、かつ、前記基体２０Ａの厚さよりも短く、形成されるのがよい。また、Ｘ方向規制部１１Ａ及びＹ方向規制部１２Ａは、粘着性シート１０Ａを取り外す際の起点となるから、全ての表面が弱粘着部又は非粘着部とされるのがよい。
【００２５】
粘着性シート１０Ａは、図２に示されるように、その表面に、非粘着部又は弱粘着部からなる島部分１３及び強粘着部からなる海部分１４を有する海島構造を表面に有する。粘着性シート１０Ａがその表面に前記海島構造を有していると、後述する被粘着物の粘着保持及び取り外しを容易に行うことができる。ここで、強粘着部は、被粘着物を保持するのに十分な粘着力、例えば、１〜６０（ｇ／ｍｍ２）の粘着力を有する部分である。強粘着部が前記範囲の粘着力を有すると、粘着性シート１０Ａに被粘着物を確実に保持することができる。弱粘着部は、強粘着部の粘着力よりも弱い粘着力、例えば、０（ｇ／ｍｍ２）を超え、１（ｇ／ｍｍ２）未満の粘着力を有する部分である。弱粘着部が前記範囲の粘着力を有すると、前記強粘着部によって粘着性シート１０Ａに保持された被粘着物を容易に取り外すことができる。非粘着部は、実質的に粘着力を有しない部分である。粘着性シートが非粘着部を有していると、前記強粘着部によって粘着性シート１０Ａに保持された被粘着物をきわめて容易に取り外すことができる。
【００２６】
前記強粘着部及び前記弱粘着部における粘着力は、次のようにして求める。まず、粘着性シート１０Ａを水平に固定する吸着固定装置（例えば、商品名：電磁チャック、ＫＥＴ−１５３０Ｂ、カネテック（株）製）又は真空吸引チャックプレート等と、測定部先端に、直径１０ｍｍの円柱をなしたステンレス鋼（ＳＵＳ３０４）製の接触子を取り付けたデジタルフォースゲージ（商品名：ＺＰ−５０Ｎ、（株）イマダ製）とを備えた荷重測定装置を用意する。この試験台上に粘着性シートを固定し、測定環境を２１±１℃、湿度５０±５％に設定する。次いで、２０ｍｍ／ｍｉｎの速度で強粘着部又は前記弱粘着部の被測定部位に接触するまで前記荷重測定装置に取り付けられた前記接触子を下降させ、次いで、この接触子を被測定部位に所定の荷重で被測定部位に対して垂直に３秒間押圧する。ここで、前記所定の荷重を、２５ｇ／ｍｍ２に設定する。次いで、１８０ｍｍ／ｍｉｎの速度で前記接触子を被測定部位から引き離し、このときに前記デジタルフォースゲージにより測定される引き離し荷重を読み取る。この操作を、被測定部位の複数箇所で行い、得られる複数の引き離し荷重を算術平均し、得られる平均値を強粘着部又は前記弱粘着部の粘着力とする。なお、この測定方法は、手動で行ってもよいが、例えば、テストスタンド（例えば、商品名：ＶＥＲＴＩＣＡｌ ＭＯＤＥＬ ＭＯＴＯＲＩＺＥＤ ＳＴＡＮＤ シリーズ、（株）イマダ製）等の機器を用いて、自動で行ってもよい。
【００２７】
前記海島構造は、強粘着部からなる海部分１４に、弱粘着部又は非粘着部からなる島部分１３が碁盤目状に配列された構造とされ、島部分１３を構成する弱粘着部又は非粘着部は、被粘着物を粘着保持させる粘着保持部分の全面積に対する面積率が２０〜９５％に設定されている。弱粘着部又は非粘着部の面積率がこの範囲であると、十分な保持力で被粘着物を粘着性シート１０Ａに保持することができると共に、粘着性シート１０Ａに保持された被粘着物を容易に取り外すことができる。
【００２８】
粘着性シート１０Ａは、その裏面に強粘着部を有している。裏面に強粘着部を有していると、粘着性シート１０Ａを基体２０Ａに容易にかつ強固に装着することができる。
【００２９】
粘着性シート１０Ａは、０．０５〜２ｍｍ程度の厚さを有し、その表面は平滑であるのがよい。粘着性シート１０Ａの厚さが、０．０５ｍｍ未満であると粘着性シート１０Ａ自体の機械的強度が低下し、粘着性シート１０Ａ自体の耐久性が十分でないことがあり、一方、２ｍｍを越えると、粘着性シート１０Ａが弾性変形しにくくなり、被粘着物を粘着性シート１０Ａから容易に取り外すことができなくなることがある。粘着性シート１０Ａの表面が平滑であると、強粘着部又は弱粘着部の粘着力を均一にすることができる。粘着性シート１０Ａは、基体２０Ａと異なる形状及び大きさに設定されてもよいが、通常は、基体２０Ａと同じ形状及びほぼ同じ大きさに設定される。
【００３０】
粘着性シート１０Ａは、強粘着性材料又は弱粘着性材料若しくは非粘着性材料によって形成される。強粘着性材料をとしては、例えば、シリコーンゴム、フッ素系ゴム、ウレタン系エラストマー、天然ゴム、スチレン−ブタジエン共重合エラストマー等の各種エラストマーが挙げられるが、強度、耐候性に優れたシリコーンゴム、フッ素系ゴム等がよい。これらの中でも、５〜６０程度のゴム硬度（ＪＩＳ Ｋ ６２５３［デュロメータＡ］）を有するのが特によい。前記ゴム硬度が、５未満であると粘着力が強くなりすぎることがあり、一方、６０を越えると粘着力が弱くなりすぎることがある。前記シリコーンゴムとしては、例えば、オルガノポリシロキサン、シリカ系充填剤及びパーオキサイド等の硬化剤等を含有するシリコーンゴム組成物が挙げられる。このようなシリコーンゴム組成物としては、例えば、信越化学工業株式会社から商品名「ＫＥ−５２０Ｕ」、「ＫＥ−５３０Ｕ」等が入手可能である。また、前記フッ素系ゴムとしては、例えば、フッ化ビニリデン・六フッ化プロピレン共重合体、カーボン等の充填剤、トリアルイソシアネート等の架橋助剤及びパーオキサイド等の硬化剤等を含有するフッ素系ゴム組成物が挙げられる。このようなフッ素系ゴム組成物としては、例えば、ダイキン工業株式会社から商品名「ＤＣ−２０５０」、「ＤＣ−２２６０」等が入手可能である。弱粘着性材料又は非粘着性材料としては、弱粘着性又は非粘着性のシリコーン樹脂、フッ素樹脂、ウレタン樹脂等が挙げられる。
【００３１】
粘着性シート１０Ａは、Ｘ方向規制部１１Ａ及びＹ方向規制部１２Ａを別に形成し、粘着性シートに接着してもよいが、例えば、射出成形、真空成形、金型成形等の成形方法によって、Ｘ方向規制部１１Ａ及びＹ方向規制部１２Ａを一体に形成するのがよい。粘着性シート１０Ａの表面に海島構造を形成するには、例えば、強粘着性材料を用いてシート状に成形し、（１）所望の配列パターンを有するマスキング部材を前記シート部の表面に載置し、マスキング部材上から照射量を制御して紫外線を照射する方法、（２）弱粘着部又は非粘着部を形成する部分に弱粘着性材料又は非粘着性材料を塗布する方法、（３）弱粘着部又は非粘着部を形成する部分の表面を粗面化する方法、（４）弱粘着性材料又は非粘着性材料を用いてシート状に成形し、強粘着部を形成する部分に強粘着性材料を塗布する方法等が挙げられる。
【００３２】
次に、基体２０Ａに粘着性シート１０Ａを取り付ける方法を説明する。保持治具１Ａは、後述するように、粘着性シート１０Ａにおける強粘着部を基体２０Ａ側に陥没させることによって、粘着性シート１０Ａの強粘着部に粘着保持された被粘着物を分離可能にする保持治具であるから、粘着性シート１０Ａの弱粘着部又は非粘着部が基体２０Ａにおける凸状体２４の上部に正確に対応するような、基体２０ＡにおけるＸ方向及びＹ方向の特定位置に粘着性シート１０Ａを装着する必要がある。粘着性シート１０Ａを基体２０Ａの特定位置に取り付けるには、まず、図４（ａ）に示されるように、粘着性シート１０Ａを上方に反らして、粘着性シート１０Ａに形成されたＸ方向規制部１１Ａ及びＹ方向規制部１２Ａそれぞれ少なくとも１個、好ましくは２個、すなわち、鉤型の柱体又は壁状体の脚の少なくとも１個、好ましくは隣接する２個を、基体２０Ａの角部に符合させる。この符合状態によって、粘着性シート１０Ａが基体２０Ａに対してＸ方向及びＹ方向に位置決めされ、Ｘ方向及びＹ方向にずれることを規制することができる。次いで、図４（ｂ）に示されるように、この符合状態を維持しつつ、上方に反らした粘着性シート１０Ａを少しずつ基体１０Ａ上に置いていき、最後に、粘着性シート１０Ａに形成された残りのＸ方向規制部１１Ａ及びＹ方向規制部１２Ａを、基体２０Ａの角部に符合させる。Ｘ方向規制部１１Ａ及びＹ方向規制部１２Ａは粘着性シート１０Ａの各角部に設けられており、また、前記したように、粘着性シート１０Ａは基体２０Ａとほぼ同じ大きさに形成されているから、この取り付け方法によれば、基体２０Ａの特定位置に粘着性シート１０Ａが装着された保持治具１Ａを容易に準備することができる。したがって、この発明に係る粘着性シート１０Ａによれば、Ｘ方向規制部１１Ａ及びＹ方向規制部１２Ａを有し、基体２０Ａに粘着性シート１０Ａを取り付ける際に、Ｘ方向規制部１１Ａ及びＹ方向規制部１２Ａを基体２０Ａの角部に符合させることによって、基体２０Ａに対して粘着性シート１０Ａが位置決めされ、Ｘ方向及びＹ方向にずれが生じることを規制することができる。故に、基体２０Ａの特定位置に正確かつ容易に粘着性シート１０Ａを装着することができる。
【００３３】
基体２０Ａから粘着性シート１０Ａを取り外す方法を説明する。基体２０Ａから粘着性シート１０Ａを取り外すには、まず、基体２０Ａに装着された粘着性シート１０ＡのＸ方向規制部１１Ａ及びＹ方向規制部１２Ａそれぞれ少なくとも１個、好ましくは２個、すなわち、鉤型の柱体又は壁状体の脚の少なくとも１個、好ましくは隣接する２個を、工具又は手で掴む。Ｘ方向規制部１１Ａ及びＹ方向規制部１２Ａは、図３に示されるように、基体２０Ａから突出しているから、工具又は手で容易かつ確実に掴むことができる。次いで、掴んだＸ方向規制部１１Ａ及びＹ方向規制部１２Ａを起点にして、基体２０Ａから粘着性シート１０Ａを上方に捲り上げて、基体２０Ａから少しずつ引き剥がす。このようにして、基体２０Ａから粘着性シート１０Ａを取り外すことができる。したがって、この発明に係る粘着性シート１０Ａによれば、Ｘ方向規制部１１Ａ及びＹ方向規制部１２Ａを起点にして、Ｘ方向規制部１１Ａ及びＹ方向規制部１２Ａが形成された粘着性シート１０Ａの端部から引き剥がすことによって、基体２０Ａに傷を付けることなく、容易に取り外すことができる。
【００３４】
次に、保持治具１Ａの作用について説明する。保持治具１Ａに粘着保持される被粘着物は、薄板状物、電子部品等の破損又は損傷しやすいもの、小型で取り扱いが困難であるもの等であるのが有利である。薄板状物としては、例えば、シリコンウェハ、フレキシブルプリント基板、大画面表示装置用のガラス板等が挙げられ、電子部品としては、例えば、セラミックコンデンサ、コイルフィルター等が挙げられる。
【００３５】
保持治具１Ａにおいて、製造工程中及び／又は搬送中等に、被粘着物３０を粘着保持する場合には、図３に示される保持治具１Ａの粘着性シート１０Ａ上に被粘着物３０を載置する。この初期状態においては、図５（ａ）に示されるように、被粘着物３０の底面に、粘着性シート１０Ａの強粘着部である海部分１４が密着しているから、被粘着物３０は粘着性シート１０Ａに粘着保持されている。したがって、被粘着物３０は保持治具１Ａに十分な粘着力で粘着保持されており、被粘着物３０を保持治具１Ａと共に製造工程に供給し、又は、搬送等することができる。このように、被粘着物３０は、粘着性シート１０Ａ上に置いただけで保持治具１Ａに粘着保持されるから、保持治具１Ａは、簡単な構成で、小型かつ低エネルギで、被粘着物３０を粘着保持することができる。
【００３６】
一方、保持治具１Ａにおいて、製造工程終了後及び／又は製造工程間の搬送後等に、粘着保持された被粘着物３０を取り外す場合には、図５（ｂ）に示されるように、保持治具１Ａの外部に設置された吸引装置等（図示しない。）を通気孔２１に接続し、基体２０Ａと粘着性シート１０Ａとで形成された閉塞空間２６内の気体を排気し、閉塞空間２６内を減圧又は真空にする。そうすると、弾性を有する粘着性シート１０Ａの強粘着部である海部分１４は、被粘着物３０との粘着力に反して弾性変形し、閉塞空間２６内に陥没する。この排気状態においては、粘着性シート１０Ａの上面における強粘着部である海部分１４が被粘着物３０の底面から引き離されている。その結果、被粘着物３０は、粘着性シート１０Ａの弱粘着部又は非粘着部である島部分１３に接しているだけで、もはや粘着保持されていない。したがって、わずかな力で、保持治具１Ａを傾けるだけで、又は、被粘着物３０の自重で、被粘着物３０を取り外すことができるうえ、被粘着物３０を取り外す際に、被粘着物３０が変形し又は損傷することを確実に防止することができる。
【００３７】
保持治具１Ａにおいては、このように初期状態及び排気状態を繰り返すことによって、被粘着物３０の保持及び取り外しが容易に行われる。
【００３８】
この発明の別の一実施例である粘着性シート及び保持治具を、図６〜図９を参照して、説明する。保持治具１Ｂは、被粘着物を製造し、搬送する際等に使用され、図８に示されるように、図６に示される基体２０Ｂと図７に示される粘着性シート１０Ｂとを備えてなる。
【００３９】
基体２０Ｂは、図６に示されるように、通気孔２１を有する板状体である。この基体２０Ｂは、その表面が平坦に形成されているのがよい。また、基体２０Ｂは、後述する粘着性シート１０ＢにおけるＸ方向規制部１１Ｂ及びＹ方向規制部１２Ｂと符合する符合部２７を有する。符合部２７は、Ｘ方向規制部１１Ｂ及びＹ方向規制部１２Ｂと符合すればよく、Ｘ方向規制部１１Ｂ及びＹ方向規制部１２Ｂの形状、大きさ、数等に応じて、形状、大きさ、数等が決定される。基体２０Ｂにおける符合部２７は、図６に示されるように、Ｘ方向規制部１１Ｂ及びＹ方向規制部１２Ｂに対応する基体２０Ｂの側面に凹設されている。符合部２７が凹設される側面の位置は、符合部２７とＸ方向規制部１１Ｂ及びＹ方向規制部１２Ｂとが符合したときに、後述する基体２０Ｂの特定位置に粘着性シート１０Ｂが装着される位置である。基体２０Ｂの材質等は基本的には基体２０Ａと同様である。
【００４０】
粘着性シート１０Ｂは、図７に示されるように、平面における仮想的なＸＹ座標において、裏面におけるＸ方向に隣接する角部近傍それぞれに、前記基体２０Ｂの特定位置に対してＸ方向に位置決め可能なＹ方向規制部１２Ｂを有し、前記角部におけるＹ方向規制部１２Ｂが形成された側の端部近傍にそれぞれ、前記基体２０Ｂの特定位置に対してＹ方向に位置決め可能なＸ方向規制部１１Ｂを有する。Ｘ方向規制部１１Ｂ及びＹ方向規制部１２Ｂが形成される位置は、粘着性シート１０Ｂの裏面であって、符合部２７とＸ方向規制部１１Ｂ及びＹ方向規制部１２Ｂとが符合したときに、基体２０Ｂにおける特定位置に粘着性シート１０Ｂを装着することができる位置である。Ｘ方向規制部１１Ｂ及びＹ方向規制部１２Ｂは、図７に示されるように、柱体又は壁状体の脚として、それぞれ２個ずつ設けられている。Ｘ方向規制部１１Ｂ及びＹ方向規制部１２Ｂは前記符合部２７と共に、基体２０Ｂに粘着性シート１０Ｂを取り付ける際に、平面における仮想的なＸＹ座標において、粘着性シート１０ＢがＸ方向及びＹ方向にずれるのを防止すると共に、基体２０Ｂから粘着性シート１０Ｂを取り外す際の起点となる。
【００４１】
Ｘ方向規制部１１Ｂ及びＹ方向規制部１２Ｂは、粘着性シート１０ＢがＸ方向及びＹ方向にずれるのを防止することができ、粘着性シート１０Ｂを取り外す際の起点となりうる大きさであればよく、例えば、図８に示されるように、Ｘ方向規制部１１Ｂ及びＹ方向規制部１２Ｂの高さ、すなわち、柱体又は壁状体の脚の長さは、基体２０Ｂの厚さよりも短く形成されるのがよい。また、Ｘ方向規制部１１Ｂ及びＹ方向規制部１２Ｂは、粘着性シート１０Ｂを取り外す際の起点となるから、全ての表面が弱粘着部又は非粘着部とされるのがよい。
【００４２】
粘着性シート１０Ｂは、図７に示されるように、その表面に、非粘着部又は弱粘着部からなる海部分１４及び強粘着部からなる島部分１３を有する海島構造を表面に有する。粘着性シート１０Ｂがその表面に前記海島構造を有していると、後述する被粘着物の粘着保持及び取り外しを容易に行うことができる。ここで、強粘着部、弱粘着部及び非粘着部の粘着力は、粘着性シート１０Ａにおける強粘着部、弱粘着部及び非粘着部の粘着力と同様である。
【００４３】
基体２０Ｂにおける海島構造の配列パターン、弱粘着部又は非粘着部の面積率、厚さ、製造方法等は、前記基体２０Ａと同様である。なお、基体２０Ｂは、前記弱粘着性材料又は非粘着性材料を用いてシート状に成形し、強粘着部を形成する部分に強粘着性材料を塗布する方法等で成形され、その裏面は弱粘着部又は非粘着部であるのがよい。
【００４４】
保持治具１Ｂは、後述するように、基体２０Ｂと粘着性シート１０Ｂとの間に気体を圧入するので、基体２０Ｂと粘着性シート１０Ｂとを強固に固定する接着層２８を、基体２０Ｂと粘着性シート１０Ｂとの間であって、基体２０Ｂの周縁部及び粘着性シート１０Ｂの強粘着部に対応する基体２０Ｂの表面に設けるのがよい。
【００４５】
次に、基体２０Ｂに粘着性シート１０Ｂを取り付ける方法を説明する。保持治具１Ｂは、後述するように、通気孔２１から気体を圧入して、粘着性シート１０Ｂにおける弱粘着部又は非粘着部を基体２０Ｂから突出させることによって、粘着性シート１０Ｂの強粘着部に粘着保持された被粘着物を分離可能にする保持治具であるから、粘着性シート１０Ｂの弱粘着部又は非粘着部が基体２０Ｂに形成された通気孔２１の開口の上部に正確に位置するような、基体２０ＢにおけるＸ方向及びＹ方向の特定位置に粘着性シート１０Ｂを装着する必要がある。粘着性シート１０Ｂを基体２０Ｂの特定位置に取り付けるには、基本的には、基体２０Ａに粘着性シート１０Ａを取り付ける方法と同様にする。まず、粘着性シート１０Ｂを上方に反らして、粘着性シート１０Ｂに形成されたＸ方向規制部１１Ｂ及びＹ方向規制部１２Ｂ、すなわち、柱体又は壁状体の脚を、基体２０Ｂの側面に形成された符合部２７にそれぞれ挿入して、Ｘ方向規制部１１Ｂ及びＹ方向規制部１２Ｂと符合部２７とを符合させる。この符合状態によって、粘着性シート１０Ｂが基体２０Ｂに対してＸ方向及びＹ方向に位置決めされ、Ｘ方向及びＹ方向にずれることを規制することができる。基体２０Ｂには、その周縁部及び粘着性シート１０Ｂの強粘着部に対応する表面に予め接着組成物が塗布されている。次いで、基体２０Ａの場合と同様にして、この符合状態を維持しつつ、上方に反らした粘着性シート１０Ｂを少しずつ基体１０Ｂ上に置いていく。Ｘ方向規制部１１Ｂ及びＹ方向規制部１２Ｂと、粘着性シート１０Ｂの符号部２７とは、前記したように、特定位置に設けられており、また、粘着性シート１０Ｂは基体２０Ｂとほぼ同じ大きさに形成されているから、この取り付け方法によれば、基体２０Ｂの特定位置に粘着性シート１０Ｂが装着された保持治具１Ｂを容易に準備することができる。したがって、この発明に係る粘着性シート１０Ｂによれば、Ｘ方向規制部１１Ｂ及びＹ方向規制部１２Ｂを有し、基体２０Ｂに粘着性シート１０Ｂを取り付ける際に、Ｘ方向規制部１１Ｂ及びＹ方向規制部１２Ｂを基体２０Ｂの符号部２７に符合させることによって、基体２０Ｂに対して粘着性シート１０ＢがＸ方向及びＹ方向に位置決めされ、Ｘ方向及びＹ方向にずれが生じることを規制することができる。故に、基体２０Ｂの特定位置に正確かつ容易に粘着性シート１０Ｂを装着することができる。
【００４６】
基体２０Ｂから粘着性シート１０Ｂを取り外す方法を説明する。基体２０Ｂから粘着性シート１０Ｂを取り外す方法は、基本的には、基体２０Ａから粘着性シート１０Ａを取り外す方法と同様にする。まず、基体２０Ｂに装着された粘着性シート１０ＢのＸ方向規制部１１Ｂ及びＹ方向規制部１２Ｂ、すなわち、柱体又は壁状体の脚における表面を、手で押圧しながら上方に押し上げる。Ｘ方向規制部１１Ｂ及びＹ方向規制部１２Ｂは基体２０Ｂの側面と面一になっているが、Ｘ方向規制部１１Ｂ及びＹ方向規制部１２Ｂは弱粘着部又は非粘着部とされているから、Ｘ方向規制部１１Ｂ及びＹ方向規制部１２Ｂと符合部２７との密着状態はそれほど強くなく、Ｘ方向規制部１１Ｂ及びＹ方向規制部１２Ｂを容易に上方に押し上げることができる。次いで、押し上げたＸ方向規制部１１Ａ及びＹ方向規制部１２Ａを起点にして、基体２０Ｂから粘着性シート１０Ｂを上方に捲り上げて、基体２０Ｂから少しずつ引き剥がす。このようにして、基体２０Ｂから粘着性シート１０Ｂを取り外すことができる。したがって、この発明に係る粘着性シート１０Ｂによれば、Ｘ方向規制部１１Ｂ及びＹ方向規制部１２Ｂを起点にして、Ｘ方向規制部１１Ｂ及びＹ方向規制部１２Ｂが形成された粘着性シート１０Ｂの端部から引き剥がすことによって、基体２０Ｂに傷を付けることなく、容易に取り外すことができる。
【００４７】
次に、保持治具１Ｂの作用について説明する。保持治具１Ｂにおいて、製造工程中及び／又は搬送中等に、被粘着物３０を粘着保持する場合には、図８に示される保持治具１Ｂの粘着性シート１０Ｂ上に被粘着物３０を載置する。この初期状態においては、図９（ａ）に示されるように、被粘着物３０の底面に、粘着性シート１０Ｂの強粘着部である島部分１３が密着しているから、被粘着物３０は粘着性シート１０Ｂに粘着保持されている。したがって、被粘着物３０は保持治具１Ｂに十分な粘着力で粘着保持されており、被粘着物３０を保持治具１Ｂと共に製造工程に供給し、又は、搬送等することができる。このように、保持治具１Ｂは、保持治具１Ａと同様に、簡単な構成で、小型かつ低エネルギで、被粘着物３０を保持することができる。
【００４８】
一方、保持治具１Ｂにおいて、製造工程終了後及び／又は製造工程間の搬送後等に、粘着保持された被粘着物３０を取り外す場合には、図９（ｂ）に示されるように、保持治具１Ｂの外部に設置された圧縮装置等（図示しない。）を通気孔２１に接続し、基体２０Ｂと粘着性シート１０Ｂとの間に気体を圧入する。そうすると、弾性を有する粘着性シート１０Ｂは、接着層２８で接着されていない海部分１４が、被粘着物３０と強粘着部である島部分１３との粘着力に反して弾性変形し、基体２０Ｂの表面から隆起する。この圧入状態においては、粘着性シート１０Ｂの上面における強粘着部である島部分１３が被粘着物３０の底面から引き離されている。その結果、被粘着物３０は、粘着性シート１０Ｂの弱粘着部又は非粘着部１４に接しているだけで、もはや粘着保持されていない。したがって、わずかな力で、保持治具１Ｂを傾けるだけで、又は、被粘着物３０の自重で、被粘着物３０を取り外すことができるうえ、被粘着物３０を取り外す際に、被粘着物３０が変形し又は損傷することを確実に防止することができる。
【００４９】
保持治具１Ｂにおいては、このように初期状態及び圧入状態を繰り返すことによって、被粘着物３０の保持及び取り外しが容易に行われる。
【００５０】
前記Ｘ方向規制部１１Ａ及びＹ方向規制部１２Ａは、粘着性シート１０Ａにおける角部それぞれに形成されているが、この発明においては、Ｘ方向規制部１１Ａ及びＹ方向規制部１２Ａは、少なくとも１つの角部に形成されていればよく、２つ以上の角部に形成されているのが好ましい。例えば、図１０（ａ）に示される粘着性シート１０Ｃが挙げられる。この粘着性シート１０Ｃは、その隣り合う２つの角部それぞれに、粘着性シート１０ＡにおけるＸ方向規制部１１Ａ及びＹ方向規制部１２Ａが形成されている以外は、粘着性シート１０Ａと同様である。
【００５１】
Ｘ方向規制部１１Ａ、１１Ｂ及びＹ方向規制部１２Ａ、１２Ｂは、粘着性シート１０Ａ、１０Ｂの角部近傍に形成されているが、この発明においては、Ｘ方向規制部及びＹ方向規制部が形成される位置は、粘着性シートの端部近傍であれば、その角部近傍でなくてもよい。例えば、図１０（ｂ）に示される粘着性シート１０Ｄが挙げられる。この粘着性シート１０Ｄは、粘着性シート１０Ｃにおける２つのＹ方向規制部１２Ａが連続して、粘着性シート１０ＤにおけるＸ方向に延在する側面全体に延在する１つのＹ方向規制部１２Ｄと、このＹ方向規制部１２Ｄと一体に、２つのＸ方向規制部１１Ａが形成されている以外は、前記粘着性シート１０Ａと同様である。
【００５２】
前記Ｘ方向規制部１１Ａ〜１１Ｄ及びＹ方向規制部１２Ａ〜１２Ｄは何れも、柱体又は壁状体とされているが、この発明においては、Ｘ方向規制部及びＹ方向規制部の形状は特に限定されず、例えば、角柱体、円柱体、棒状体等であってもよい。また、前記Ｘ方向規制部１１Ａ〜１１Ｄ及びＹ方向規制部１２Ａ〜１２Ｄそれぞれは何れも、１つの柱体又は壁状体とされているが、この発明においては、Ｘ方向規制部及びＹ方向規制部それぞれを、複数の柱体又は壁状体が間隔を置いて配置された構成とされてもよい。
【００５３】
前記Ｘ方向規制部１１Ａ及びＹ方向規制部１２Ａ、１２Ｄは何れも、粘着性シートの側面に形成されているが、Ｘ方向規制部１１Ｂ及びＹ方向規制部１２Ｂと同様に、粘着性シートの裏面における端部近傍に形成されていてもよく、逆に、Ｘ方向規制部１１Ｂ及びＹ方向規制部１２Ｂは、Ｘ方向規制部１１Ａ及びＹ方向規制部１２Ａ等と同様に、粘着性シートの側面に形成されていてもよい。
【００５４】
前記粘着性シート１０Ａ〜１０Ｄは何れも、略正方形に形成されているが、この発明においては、粘着性シートの形状は特に限定されず、例えば、四角形、五角形、六角形等の多角形、円形、楕円形、不定形、又は、これらを組み合わせた形状等に形成されてもよい。例えば、円形の粘着性シートとして、図１１に示される粘着性シート１０Ｅ及び１０Ｆが挙げられる。この粘着性シート１０Ｅは、円盤状に形成され、その周縁部に、柱体又は壁状体のＸ方向規制部１１Ｅ及びＹ方向規制部１２Ｅが、Ｘ方向規制部１１Ｅの定点及び円盤の中心点を結ぶ線と、Ｙ方向規制部１２Ｅの定点及び円盤の中心点を結ぶ線とが交わる角度θが約９０°になるように、形成されている。この粘着性シート１０Ｅにおいて、前記交わる角度は、４５〜１３５°程度であればよい。また、粘着性シート１０Ｆは、円盤状に形成され、その周縁部に沿って、この周縁部の約１／４の長さに延在する柱体又は壁状体のＸ方向規制部兼Ｙ方向規制部１５が形成されている。この粘着性シート１０Ｆにおいて、Ｘ方向規制部兼Ｙ方向規制部１５が延在する長さは、周縁部の約１／５〜１／２程度であればよい。なお、前記粘着性シート１０Ｅ及び１０Ｆ等のように粘着性シートが円形に形成される場合に、この発明の目的をよく達成するためには、前記Ｘ方向規制部１１Ｅ若しくは前記Ｙ方向規制部１２Ｅの少なくとも一方の表面（基体と当接する表面）、又は、Ｘ方向規制部兼Ｙ方向規制部１５における基体と当接する表面の一部が粘着性を有しているのがよく、又は、粘着性シートが装着される基体の表面又は周側面等に、粘着性シートが基体の円周方向に移動することを防止する周方向規制部、例えば突起等を設けておくのがよい。
【００５５】
前記粘着性シート１０Ａ〜１０Ｄは何れも、基体２０Ａ及び２０Ｂと同様に、略正方形に形成されているが、この発明においては、基体と同一の形状に形成されなくてもよく、例えば、略正方形の基体に、円形、楕円形等の粘着性シートを取り付けてもよい。
【００５６】
前記粘着性シート１０Ａ及び粘着性シート１０Ｂにおいては、弱粘着部若しくは非粘着部又は強粘着部からなる海部分１４に、強粘着部又は弱粘着部若しくは非粘着部からなる島部分１３が碁盤目状に配列された海島構造を有しているが、この発明においては、海島構造は、これに限定されることなく、弱粘着部若しくは非粘着部又は強粘着部からなる海部分に、強粘着部又は弱粘着部若しくは非粘着部からなる島部分が、棒状に配列された海島構造、放射状又は同心円状に配列された海島構造等であってもよい。また、これらの海島構造における海部分及び島部分は、正方形、長方形、五角形、六角形等の多角形、円形、リング状、楕円、不定形、又は、これらを組み合わせた形状等に形成されてもよい。
【００５７】
前記基体２０Ａは、粘着性シート１０Ａの強粘着部を基体２０Ａ側に陥没させるタイプの保持治具１Ａに用いられているが、この発明において、基体２０Ａは、弱粘着部又は非粘着部を突出させるタイプの保持治具に用いられてもよい。
【００５８】
前記基体２０Ａ及び基体２０Ｂは、略正方形に成形されているが、基体の形状は、被粘着物の形状、その製造工程、取り扱い性等に応じて、例えば、四角形、五角形、六角形等の多角形、円形、楕円形、不定形、又は、これらを組み合わせた形状等に形成されてもよい。
【００５９】
前記基体２０Ａの側面及び基体２０Ｂの側面には、粘着性シートを取り外しやすくするための凹部を設けてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００６０】
【図１】図１は、周壁部及び凸状体を有する基体の一例を示す概略斜視図である。
【図２】図２は、粘着性シートの一例を示す概略斜視図である。
【図３】図３は、図１に示される基体と図２に示される粘着性シートとを備えた保持治具の示す概略斜視図である。
【図４】図４は、基体に粘着性シートを取り付ける方法を説明する説明図であり、図４（ａ）は、Ｘ方向規制部１１Ａ及びＹ方向規制部１２Ａを基体２０に符合させた符合状態を示す図であり、図４（ｂ）は、符合状態を維持しつつ、粘着性シートを基体に装着する状態を示す図である。
【図５】図５は、図３におけるＡ−Ａ線に沿った概略断面図であり、図５（ａ）は保持治具の初期状態を示す概略断面図であり、図５（ｂ）は保持治具の排気状態を示す概略断面図である。
【図６】図６は、平坦面を有する基体の一例を示す概略斜視図である。
【図７】図７は、粘着性シートの一例を示す概略斜視図である。
【図８】図８は、図６に示される基体と図７に示される粘着性シートとを備えた保持治具の示す概略斜視図である。
【図９】図９は、図８におけるＡ−Ａ線に沿った概略断面図であり、図９（ａ）は保持治具の初期状態を示す概略断面図であり、図９（ｂ）は保持治具の圧入状態を示す概略断面図である。
【図１０】図１０は、粘着性シートの変形例を示す概略斜視図である。
【図１１】図１１は、粘着性シートの変形例を示す概略斜視図である。
【符号の説明】
【００６１】
１ 保持治具
１０ 粘着性シート
１１ Ｘ方向規制部
１２ Ｙ方向規制部
１３ 島部分
１４ 海部分
１５ Ｘ方向規制部兼Ｙ方向規制部
２０ 基体
２１ 通気孔
２２ 周壁部
２３ 内部空間
２４ 凸状体
２５ 頂上面
２６ 閉塞空間
２７ 符合部
２８ 接着層
２９ 間隙部
【特許請求の範囲】
【請求項１】
気体を流通する通気孔を有する基体に装着されるところの、表面に非粘着部又は弱粘着部及び強粘着部を有し、前記強粘着部で被粘着物を粘着保持し、前記通気孔から気体を圧入して、前記非粘着部又は弱粘着部を前記基体から突出させることによって、又は、前記通気孔から気体を排気して、前記強粘着部を前記基体側に陥没させることによって、前記強粘着部に粘着保持された前記被粘着物を分離可能な粘着性シートであって、
前記粘着性シートの端部近傍に、平面における仮想的なＸＹ座標において、前記基体の特定位置に対して、Ｘ方向及びＹ方向に位置決め可能なＸ方向規制部及びＹ方向規制部を有することを特徴とする粘着性シート。
【請求項２】
請求項１に記載の粘着性シートと、
前記粘着性シートを固定し、気体を流通する通気孔を有する基体とを備えたことを特徴とする保持治具。
【請求項３】
前記基体は、さらに、周壁部と、前記周壁部で包囲された内部空間に形成された少なくとも一つの凸状体とを備え、前記通気孔は前記周壁部と前記凸状体との間隙部に連通することを特徴とする請求項２に記載の保持治具。
【請求項４】
前記基体は、さらに、前記粘着性シートにおける前記Ｘ方向規制部及び前記Ｙ方向規制部と符合する符合部を有することを特徴とする請求項２又は３に記載の保持治具。
【請求項１】
気体を流通する通気孔を有する基体に装着されるところの、表面に非粘着部又は弱粘着部及び強粘着部を有し、前記強粘着部で被粘着物を粘着保持し、前記通気孔から気体を圧入して、前記非粘着部又は弱粘着部を前記基体から突出させることによって、又は、前記通気孔から気体を排気して、前記強粘着部を前記基体側に陥没させることによって、前記強粘着部に粘着保持された前記被粘着物を分離可能な粘着性シートであって、
前記粘着性シートの端部近傍に、平面における仮想的なＸＹ座標において、前記基体の特定位置に対して、Ｘ方向及びＹ方向に位置決め可能なＸ方向規制部及びＹ方向規制部を有することを特徴とする粘着性シート。
【請求項２】
請求項１に記載の粘着性シートと、
前記粘着性シートを固定し、気体を流通する通気孔を有する基体とを備えたことを特徴とする保持治具。
【請求項３】
前記基体は、さらに、周壁部と、前記周壁部で包囲された内部空間に形成された少なくとも一つの凸状体とを備え、前記通気孔は前記周壁部と前記凸状体との間隙部に連通することを特徴とする請求項２に記載の保持治具。
【請求項４】
前記基体は、さらに、前記粘着性シートにおける前記Ｘ方向規制部及び前記Ｙ方向規制部と符合する符合部を有することを特徴とする請求項２又は３に記載の保持治具。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【公開番号】特開２００７−１５７８２２（Ｐ２００７−１５７８２２Ａ）
【公開日】平成１９年６月２１日（２００７．６．２１）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００５−３４７７７１（Ｐ２００５−３４７７７１）
【出願日】平成１７年１２月１日（２００５．１２．１）
【出願人】（０００１９０１１６）信越ポリマー株式会社 (1,394)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成１９年６月２１日（２００７．６．２１）
【国際特許分類】
【出願日】平成１７年１２月１日（２００５．１２．１）
【出願人】（０００１９０１１６）信越ポリマー株式会社 (1,394)
【Ｆターム（参考）】
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