非接触歯車装置
【目的】この発明の目的は、歯車がいかなる回転数であっても、歯車同士が非接触の状態で係合することの可能な非接触歯車装置を提供することである。
【構成】この発明は、永久磁石よりなる複数の歯の歯先を同じ極性にした駆動側マグネット歯車５および従動側マグネット歯車８を各歯同士の磁気反発力または磁気吸引力によって非接触の状態で係合させて、駆動側マグネット歯車５の回転運動を従動側マグネット歯車８に伝達し、更に、伝達された従動側マグネット歯車８の回転運動を従動軸を介してワークに伝える非接触歯車装置において、上記従動側マグネット歯車のキー溝８ｃの幅より狭い幅のキーを上記従動軸のキー溝１０ａに嵌入することによって、狭い幅のキーと上記従動側マグネット歯車のキー溝８ｃとの間に隙間を形成しながら、上記従動側マグネット歯車８と従動軸１０とをキー結合したことを特徴とするものである。
【構成】この発明は、永久磁石よりなる複数の歯の歯先を同じ極性にした駆動側マグネット歯車５および従動側マグネット歯車８を各歯同士の磁気反発力または磁気吸引力によって非接触の状態で係合させて、駆動側マグネット歯車５の回転運動を従動側マグネット歯車８に伝達し、更に、伝達された従動側マグネット歯車８の回転運動を従動軸を介してワークに伝える非接触歯車装置において、上記従動側マグネット歯車のキー溝８ｃの幅より狭い幅のキーを上記従動軸のキー溝１０ａに嵌入することによって、狭い幅のキーと上記従動側マグネット歯車のキー溝８ｃとの間に隙間を形成しながら、上記従動側マグネット歯車８と従動軸１０とをキー結合したことを特徴とするものである。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は非接触歯車装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の非接触歯車装置の一例が図８および図９に示されており、これらの図において、駆動モータ１の回転軸１ａには駆動軸２が連結され、その駆動軸２はべアリング３を介して軸受部材４に支承されている。駆動軸２の先端部には駆動側マグネット歯車５がボルト７によって取り付けられている。駆動側マグネット歯車５の構成は、所定の厚みをもった円板５ａの外周に永久磁石で出来ている複数の歯５ｂを等ピッチで取り付け、各歯５ｂの歯先を同じ極性にしたものである。
【０００３】駆動側マグネット歯車５には従動側マグネット歯車８が非接触の状態で係合している。従動側マグネット歯車８の構成は、所定の厚みをもった円板８ａの外周に永久磁石で出来ている複数の歯８ｂを等ピッチで取り付け、各歯８ｂの歯先を駆動側マグネット歯車５の歯５ｂと同じ極性にしている。そのため、駆動側マグネット歯車５の歯５ｂと従動側マグネット歯車８の歯８ｂとは磁気反発することによって、非接触の状態で係合している。従動側マグネット歯車８はボルト９によって従動軸１０の先端部に取り付けられている。従動軸１０はベアリング１１を介して軸受部材４に支承され、そして、従動軸１０の後端部にはワーク１２がボルト１３によって固定されている。
【０００３】このような非接触歯車装置においては、駆動モータ１によって駆動軸２を回転させると、駆動側マグネット歯車５が回転する。駆動側マグネット歯車５の回転に伴って、従動側マグネット歯車８も回転するようになるが、その場合、駆動側マグネット歯車５の歯５ｂと従動側マグネット歯車８の歯８ｂとが同じ極性をし、磁気反発するため、これらの歯車５、８は非接触の状態で係合している。従動側マグネット歯車８が回転すると、それをボルト９によって取り付けている従動軸１０と、その先端部に取り付けられたワーク１２とが回転するようになる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来の非接触歯車装置は、上記のように従動側マグネット歯車８がボルト９によって従動軸１０の先端部に取り付けられているので、歯車の回転時に特定の回転数になると発生する固有振動の逃げ場が無くなり、それが原因で駆動側マグネット歯車５と従動側マグネット歯車８とは非接触の状態での係合が出来なくなり、駆動側マグネット歯車５の歯５ｂと従動側マグネット歯車８の歯８ｂとが接触するようになる問題が起きた。
【０００５】この発明の目的は、上記問題を解決して、歯車が如何なる回転数であっても、歯車同士が非接触の状態で係合すること可能な非接触歯車装置を提供するものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するために、この発明は、永久磁石よりなる複数の歯の歯先を同じ極性にした駆動側マグネット歯車および従動側マグネット歯車を各歯同士の磁気反発力または磁気吸引力によって非接触の状態で係合させて、駆動側マグネット歯車の回転運動を従動側マグネット歯車に伝達し、更に、伝達された従動側マグネット歯車の回転運動を従動軸を介してワークに伝える非接触歯車装置において、上記従動側マグネット歯車および従動軸にそれぞれキー溝を作り、上記従動側マグネット歯車のキー溝の幅より狭い幅のキーを上記従動軸のキー溝に嵌入することによって、狭い幅のキーと上記従動側マグネット歯車のキー溝との間に隙間を形成しながら、上記従動側マグネット歯車と従動軸とをキー結合したことを特徴とするものである。
【０００７】
【作用】この発明においては、従動側マグネット歯車および従動軸にそれぞれキー溝を作り、従動側マグネット歯車のキー溝の幅より狭い幅のキーを従動軸のキー溝に嵌入することによって、狭い幅のキーと従動側マグネット歯車のキー溝との間に隙間を形成しながら、従動側マグネット歯車と従動軸とをキー結合しているので、従動側マグネット歯車がキーとキー溝との間に隙間により回転方向に遊びを持ちながら回転する。そのため、固有振動が発生しても、その振動は駆動側マグネット歯車の歯と、従動側マグネット歯車の歯との空間で緩衝することができ、歯同士が接触することなく、如何なる回転数であっても非接触の状態で回転伝達ができるようになる。
【０００８】
【実施例】以下、この発明の実施例について図面を参照しながら説明する。この発明の第１実施例の非接触歯車装置は図１および図２に示されており、これらの図において、駆動モータ１の回転軸１ａには駆動軸２が連結され、その駆動軸２はべアリング３を介して軸受部材４に支承されている。駆動軸２の先端部には駆動側マグネット歯車５がボルト７によって取り付けられている。駆動側マグネット歯車５の構成は、所定の厚みをもった円板５ａの外周に永久磁石で出来ている複数の歯５ｂを等ピッチで取り付け、各歯５ｂの歯先を同じ極性にしたものである。
【０００９】駆動側マグネット歯車５には従動側マグネット歯車８が非接触の状態で係合している。従動側マグネット歯車８の構成は、所定の厚みをもった円板８ａの外周に永久磁石で出来ている複数の歯８ｂを等ピッチで取り付け、各歯８ｂの歯先を駆動側マグネット歯車５の歯５ｂと同じ極性にしている。そのため、駆動側マグネット歯車５の歯５ｂと従動側マグネット歯車８の歯８ｂとは磁気反発することによって、非接触の状態で係合している。従動側マグネット歯車８および従動軸１０にはそれぞれキー溝８ｃ、１０ａが作られ、従動側マグネット歯車８のキー溝８ｃの幅より狭い幅のキー１４を従動軸１０のキー溝１０ａに嵌入することによって、狭い幅のキー１４と従動側マグネット歯車８のキー溝８ｃとの間に隙間ｈ1 を形成しながら、従動側マグネット歯車８と従動軸１０とをキー結合し、そして、従動軸１０をベアリング１１を介して軸受部材４に支承している。従動側マグネット歯車８はその前後に隙間ｈ2 をもって設けられたＣ型止め輪１５ａ、１５ｂで従動軸１０の軸線方向の移動が制約されている。従動軸１０の後端部にはワーク１２がボルト１３によって固定されている。
【００１０】このような第１実施例においては、駆動モータ１によって駆動軸２を回転させると、駆動側マグネット歯車５が回転する。駆動側マグネット歯車５の回転に伴って、従動側マグネット歯車８も回転するようになるが、その場合、駆動側マグネット歯車５の歯５ｂと従動側マグネット歯車８の歯８ｂとが同じ極性をし、磁気反発するため、これらの歯車５、８は非接触の状態で係合している。従動側マグネット歯車８が回転すると、従動軸１０と、その先端部に取り付けられたワーク１２とが回転するようになる。従動側マグネット歯車８が回転するとき、従動側マグネット歯車８のキー溝８ｃとキー１４との間の隙間ｈ1 、および従動側マグネット歯車８とＣ型止め輪１５ａ、１５ｂとの間の隙間ｈ2 により、従動側マグネット歯車８と従動軸１０とが回転方向に遊びながら回転するようになる。
【００１１】次に、第２実施例が図３および図４に示されており、同図において、従動軸１０およびワーク１２にそれぞれキー溝１０ｂ、１２ａを作り、ワーク１２のキー溝１２ａの幅より狭い幅のキー１４を従動軸１０のキー溝１０ｃに嵌入することによって、狭い幅のキー１４とワーク１２のキー溝１２ａとの間に隙間ｈ3 を形成しながら、ワーク１２と従動軸１０とをキー結合している。また、ワーク１２はその前後に隙間ｈ4 をもって設けられたＣ型止め輪１５ａ、１５ｂで従動軸１０の軸線方向の移動が制約されている。
【００１２】その次に、第３実施例は図５に示されており、従動側マグネット歯車８の両側にワーク１２を配置したもので、従動軸１０は従動側マグネット歯車８とキー結合する所で２分割されている。
【００１３】更に、第４実施例の自公転式非接触歯車装置が図３および図６に示されており、同図において、２１は駆動モータ、２２は駆動回転軸、２３は駆動回転アーム、２４は自転歯車、２５は従動軸、２６は外輪歯車、２７はベアリング、２８はキー、２９はワークである。キー２８は上記第１実施例と同様に自転歯車２４のキー溝と隙間をもっている。また、図示していないが、自転歯車２９はＣ型止め輪で従動軸２５の軸線方向の移動が制約されている。
【００１４】ところで、上記各実施例ではキーやＣ型止め輪を用いているが、これらの代わりに、ゴムやスプリング等を用いた機構を用いても良い。
【００１５】
【発明の効果】この発明においては、従動側マグネット歯車および従動軸にそれぞれキー溝を作り、従動側マグネット歯車のキー溝の幅より狭い幅のキーを従動軸のキー溝に嵌入することによって、狭い幅のキーと従動側マグネット歯車のキー溝との間に隙間を形成しながら、従動側マグネット歯車と従動軸とをキー結合しているので、従動側マグネット歯車がキーとキー溝との間に隙間により回転方向に遊びを持ちながら回転する。そのため、固有振動が発生しても、その振動は駆動側マグネット歯車の歯と、従動側マグネット歯車の歯との空間で緩衝することができ、歯同士が接触することなく、如何なる回転数であっても非接触の状態で回転伝達ができるようになる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の第１実施例の一部切欠断面図
【図２】この発明の第１実施例の側面図
【図３】この発明の第２実施例の一部切欠断面図
【図４】この発明の第２実施例の側面図
【図５】この発明の第３実施例の一部切欠断面図
【図６】この発明の第４実施例の一部切欠断面図
【図７】図６のＡ−Ａ矢視図
【図８】従来の非接触歯車装置の一部切欠断面図
【図９】従来の非接触歯車装置の側面図
【符号の説明】
１・・・・・・駆動モータ
１ａ・・・・・駆動モータの回転軸
２・・・・・・駆動軸
３・・・・・・べアリング
４・・・・・・軸受部材
５・・・・・・駆動側マグネット歯車
５ａ・・・・・駆動側マグネット歯車の円板
５ｂ・・・・・駆動側マグネット歯車の歯
７・・・・・・ボルト
８・・・・・・従動側マグネット歯車
８ａ・・・・・従動側マグネット歯車の円板
８ｂ・・・・・従動側マグネット歯車の歯
８ｃ・・・・・従動側マグネット歯車のキー溝
９・・・・・・ボルト
１０・・・・・従動軸
１０ａ・・・・従動軸のキー溝
１１・・・・・ベアリング
１２・・・・・ワーク
１３・・・・・ボルト
１４・・・・・キー
１５ａ・・・・Ｃ型止め輪
１５ｂ・・・・Ｃ型止め輪
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は非接触歯車装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の非接触歯車装置の一例が図８および図９に示されており、これらの図において、駆動モータ１の回転軸１ａには駆動軸２が連結され、その駆動軸２はべアリング３を介して軸受部材４に支承されている。駆動軸２の先端部には駆動側マグネット歯車５がボルト７によって取り付けられている。駆動側マグネット歯車５の構成は、所定の厚みをもった円板５ａの外周に永久磁石で出来ている複数の歯５ｂを等ピッチで取り付け、各歯５ｂの歯先を同じ極性にしたものである。
【０００３】駆動側マグネット歯車５には従動側マグネット歯車８が非接触の状態で係合している。従動側マグネット歯車８の構成は、所定の厚みをもった円板８ａの外周に永久磁石で出来ている複数の歯８ｂを等ピッチで取り付け、各歯８ｂの歯先を駆動側マグネット歯車５の歯５ｂと同じ極性にしている。そのため、駆動側マグネット歯車５の歯５ｂと従動側マグネット歯車８の歯８ｂとは磁気反発することによって、非接触の状態で係合している。従動側マグネット歯車８はボルト９によって従動軸１０の先端部に取り付けられている。従動軸１０はベアリング１１を介して軸受部材４に支承され、そして、従動軸１０の後端部にはワーク１２がボルト１３によって固定されている。
【０００３】このような非接触歯車装置においては、駆動モータ１によって駆動軸２を回転させると、駆動側マグネット歯車５が回転する。駆動側マグネット歯車５の回転に伴って、従動側マグネット歯車８も回転するようになるが、その場合、駆動側マグネット歯車５の歯５ｂと従動側マグネット歯車８の歯８ｂとが同じ極性をし、磁気反発するため、これらの歯車５、８は非接触の状態で係合している。従動側マグネット歯車８が回転すると、それをボルト９によって取り付けている従動軸１０と、その先端部に取り付けられたワーク１２とが回転するようになる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来の非接触歯車装置は、上記のように従動側マグネット歯車８がボルト９によって従動軸１０の先端部に取り付けられているので、歯車の回転時に特定の回転数になると発生する固有振動の逃げ場が無くなり、それが原因で駆動側マグネット歯車５と従動側マグネット歯車８とは非接触の状態での係合が出来なくなり、駆動側マグネット歯車５の歯５ｂと従動側マグネット歯車８の歯８ｂとが接触するようになる問題が起きた。
【０００５】この発明の目的は、上記問題を解決して、歯車が如何なる回転数であっても、歯車同士が非接触の状態で係合すること可能な非接触歯車装置を提供するものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するために、この発明は、永久磁石よりなる複数の歯の歯先を同じ極性にした駆動側マグネット歯車および従動側マグネット歯車を各歯同士の磁気反発力または磁気吸引力によって非接触の状態で係合させて、駆動側マグネット歯車の回転運動を従動側マグネット歯車に伝達し、更に、伝達された従動側マグネット歯車の回転運動を従動軸を介してワークに伝える非接触歯車装置において、上記従動側マグネット歯車および従動軸にそれぞれキー溝を作り、上記従動側マグネット歯車のキー溝の幅より狭い幅のキーを上記従動軸のキー溝に嵌入することによって、狭い幅のキーと上記従動側マグネット歯車のキー溝との間に隙間を形成しながら、上記従動側マグネット歯車と従動軸とをキー結合したことを特徴とするものである。
【０００７】
【作用】この発明においては、従動側マグネット歯車および従動軸にそれぞれキー溝を作り、従動側マグネット歯車のキー溝の幅より狭い幅のキーを従動軸のキー溝に嵌入することによって、狭い幅のキーと従動側マグネット歯車のキー溝との間に隙間を形成しながら、従動側マグネット歯車と従動軸とをキー結合しているので、従動側マグネット歯車がキーとキー溝との間に隙間により回転方向に遊びを持ちながら回転する。そのため、固有振動が発生しても、その振動は駆動側マグネット歯車の歯と、従動側マグネット歯車の歯との空間で緩衝することができ、歯同士が接触することなく、如何なる回転数であっても非接触の状態で回転伝達ができるようになる。
【０００８】
【実施例】以下、この発明の実施例について図面を参照しながら説明する。この発明の第１実施例の非接触歯車装置は図１および図２に示されており、これらの図において、駆動モータ１の回転軸１ａには駆動軸２が連結され、その駆動軸２はべアリング３を介して軸受部材４に支承されている。駆動軸２の先端部には駆動側マグネット歯車５がボルト７によって取り付けられている。駆動側マグネット歯車５の構成は、所定の厚みをもった円板５ａの外周に永久磁石で出来ている複数の歯５ｂを等ピッチで取り付け、各歯５ｂの歯先を同じ極性にしたものである。
【０００９】駆動側マグネット歯車５には従動側マグネット歯車８が非接触の状態で係合している。従動側マグネット歯車８の構成は、所定の厚みをもった円板８ａの外周に永久磁石で出来ている複数の歯８ｂを等ピッチで取り付け、各歯８ｂの歯先を駆動側マグネット歯車５の歯５ｂと同じ極性にしている。そのため、駆動側マグネット歯車５の歯５ｂと従動側マグネット歯車８の歯８ｂとは磁気反発することによって、非接触の状態で係合している。従動側マグネット歯車８および従動軸１０にはそれぞれキー溝８ｃ、１０ａが作られ、従動側マグネット歯車８のキー溝８ｃの幅より狭い幅のキー１４を従動軸１０のキー溝１０ａに嵌入することによって、狭い幅のキー１４と従動側マグネット歯車８のキー溝８ｃとの間に隙間ｈ1 を形成しながら、従動側マグネット歯車８と従動軸１０とをキー結合し、そして、従動軸１０をベアリング１１を介して軸受部材４に支承している。従動側マグネット歯車８はその前後に隙間ｈ2 をもって設けられたＣ型止め輪１５ａ、１５ｂで従動軸１０の軸線方向の移動が制約されている。従動軸１０の後端部にはワーク１２がボルト１３によって固定されている。
【００１０】このような第１実施例においては、駆動モータ１によって駆動軸２を回転させると、駆動側マグネット歯車５が回転する。駆動側マグネット歯車５の回転に伴って、従動側マグネット歯車８も回転するようになるが、その場合、駆動側マグネット歯車５の歯５ｂと従動側マグネット歯車８の歯８ｂとが同じ極性をし、磁気反発するため、これらの歯車５、８は非接触の状態で係合している。従動側マグネット歯車８が回転すると、従動軸１０と、その先端部に取り付けられたワーク１２とが回転するようになる。従動側マグネット歯車８が回転するとき、従動側マグネット歯車８のキー溝８ｃとキー１４との間の隙間ｈ1 、および従動側マグネット歯車８とＣ型止め輪１５ａ、１５ｂとの間の隙間ｈ2 により、従動側マグネット歯車８と従動軸１０とが回転方向に遊びながら回転するようになる。
【００１１】次に、第２実施例が図３および図４に示されており、同図において、従動軸１０およびワーク１２にそれぞれキー溝１０ｂ、１２ａを作り、ワーク１２のキー溝１２ａの幅より狭い幅のキー１４を従動軸１０のキー溝１０ｃに嵌入することによって、狭い幅のキー１４とワーク１２のキー溝１２ａとの間に隙間ｈ3 を形成しながら、ワーク１２と従動軸１０とをキー結合している。また、ワーク１２はその前後に隙間ｈ4 をもって設けられたＣ型止め輪１５ａ、１５ｂで従動軸１０の軸線方向の移動が制約されている。
【００１２】その次に、第３実施例は図５に示されており、従動側マグネット歯車８の両側にワーク１２を配置したもので、従動軸１０は従動側マグネット歯車８とキー結合する所で２分割されている。
【００１３】更に、第４実施例の自公転式非接触歯車装置が図３および図６に示されており、同図において、２１は駆動モータ、２２は駆動回転軸、２３は駆動回転アーム、２４は自転歯車、２５は従動軸、２６は外輪歯車、２７はベアリング、２８はキー、２９はワークである。キー２８は上記第１実施例と同様に自転歯車２４のキー溝と隙間をもっている。また、図示していないが、自転歯車２９はＣ型止め輪で従動軸２５の軸線方向の移動が制約されている。
【００１４】ところで、上記各実施例ではキーやＣ型止め輪を用いているが、これらの代わりに、ゴムやスプリング等を用いた機構を用いても良い。
【００１５】
【発明の効果】この発明においては、従動側マグネット歯車および従動軸にそれぞれキー溝を作り、従動側マグネット歯車のキー溝の幅より狭い幅のキーを従動軸のキー溝に嵌入することによって、狭い幅のキーと従動側マグネット歯車のキー溝との間に隙間を形成しながら、従動側マグネット歯車と従動軸とをキー結合しているので、従動側マグネット歯車がキーとキー溝との間に隙間により回転方向に遊びを持ちながら回転する。そのため、固有振動が発生しても、その振動は駆動側マグネット歯車の歯と、従動側マグネット歯車の歯との空間で緩衝することができ、歯同士が接触することなく、如何なる回転数であっても非接触の状態で回転伝達ができるようになる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の第１実施例の一部切欠断面図
【図２】この発明の第１実施例の側面図
【図３】この発明の第２実施例の一部切欠断面図
【図４】この発明の第２実施例の側面図
【図５】この発明の第３実施例の一部切欠断面図
【図６】この発明の第４実施例の一部切欠断面図
【図７】図６のＡ−Ａ矢視図
【図８】従来の非接触歯車装置の一部切欠断面図
【図９】従来の非接触歯車装置の側面図
【符号の説明】
１・・・・・・駆動モータ
１ａ・・・・・駆動モータの回転軸
２・・・・・・駆動軸
３・・・・・・べアリング
４・・・・・・軸受部材
５・・・・・・駆動側マグネット歯車
５ａ・・・・・駆動側マグネット歯車の円板
５ｂ・・・・・駆動側マグネット歯車の歯
７・・・・・・ボルト
８・・・・・・従動側マグネット歯車
８ａ・・・・・従動側マグネット歯車の円板
８ｂ・・・・・従動側マグネット歯車の歯
８ｃ・・・・・従動側マグネット歯車のキー溝
９・・・・・・ボルト
１０・・・・・従動軸
１０ａ・・・・従動軸のキー溝
１１・・・・・ベアリング
１２・・・・・ワーク
１３・・・・・ボルト
１４・・・・・キー
１５ａ・・・・Ｃ型止め輪
１５ｂ・・・・Ｃ型止め輪
【特許請求の範囲】
【請求項１】永久磁石よりなる複数の歯の歯先を同じ極性にした駆動側マグネット歯車および従動側マグネット歯車を各歯同士の磁気反発力または磁気吸引力によって非接触の状態で係合させて、駆動側マグネット歯車の回転運動を従動側マグネット歯車に伝達し、更に、伝達された従動側マグネット歯車の回転運動を従動軸を介してワークに伝える非接触歯車装置において、上記従動側マグネット歯車および従動軸にそれぞれキー溝を作り、上記従動側マグネット歯車のキー溝の幅より狭い幅のキーを上記従動軸のキー溝に嵌入することによって、狭い幅のキーと上記従動側マグネット歯車のキー溝との間に隙間を形成しながら、上記従動側マグネット歯車と従動軸とをキー結合したことを特徴とする非接触歯車装置。
【請求項１】永久磁石よりなる複数の歯の歯先を同じ極性にした駆動側マグネット歯車および従動側マグネット歯車を各歯同士の磁気反発力または磁気吸引力によって非接触の状態で係合させて、駆動側マグネット歯車の回転運動を従動側マグネット歯車に伝達し、更に、伝達された従動側マグネット歯車の回転運動を従動軸を介してワークに伝える非接触歯車装置において、上記従動側マグネット歯車および従動軸にそれぞれキー溝を作り、上記従動側マグネット歯車のキー溝の幅より狭い幅のキーを上記従動軸のキー溝に嵌入することによって、狭い幅のキーと上記従動側マグネット歯車のキー溝との間に隙間を形成しながら、上記従動側マグネット歯車と従動軸とをキー結合したことを特徴とする非接触歯車装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図５】
【図４】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図２】
【図３】
【図５】
【図４】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【公開番号】特開平６−１４５２４
【公開日】平成６年（１９９４）１月２１日
【国際特許分類】
【出願番号】特願平４−１８６２４６
【出願日】平成４年（１９９２）６月１９日
【出願人】（０００２３１４６４）日本真空技術株式会社 (1,740)
【公開日】平成６年（１９９４）１月２１日
【国際特許分類】
【出願日】平成４年（１９９２）６月１９日
【出願人】（０００２３１４６４）日本真空技術株式会社 (1,740)
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