説明

めっき方法および電解めっき装置

【課題】安定的に所望のめっき膜を形成することができるめっき方法、電解めっき装置を提供すること。
【解決手段】電解めっき装置2は、導電層12に接続される陰極20と、基材1の搬送方向に沿って配置されるとともに、離間配置された複数の陽極21と、陽極21の上方で、基材1の前記絶縁層11の他面を前記陽極21と対向させながら、基材1を搬送する搬送手段と、基材1の絶縁層11の他面と、各陽極21との間に電解めっきを流す電解めっき液供給部23とを備える。当該電解めっき装置2は、電解めっき液供給部23により、絶縁層11の他面と陽極21との間に電解めっき液Lを流すとともに、絶縁層11の他面と、陽極21との間の前記電解めっき液Lを前記絶縁層11の他面よりも下方に排出するように構成される。また、電解めっき装置2は、各陽極21と、陰極20との間に流れる電流量を制御する制御部を備える。

【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、めっき方法およびめっき装置に関する。
【背景技術】
【0002】
従来、電子機器等に搭載される回路基板は、次のようにして製造されている(特許文献1、2参照)。
はじめに、絶縁層と、この絶縁層の一方の面に形成された第一金属膜とを有する基材を用意する。そして、基材の前記絶縁層に、レーザ等で孔を形成する。次に、第一金属膜をマスクで被覆する。その後、基材をめっき液に浸し、電解めっきを行う。これにより、絶縁層の孔中にビアを形成する。
次に、絶縁層の他方の面側に第二金属膜を形成し、第一金属膜、第二金属膜をそれぞれエッチング等で加工することで、回路層を形成する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特開2007−188985号公報
【特許文献2】特開2005−272874号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
このような製造方法では、絶縁層の孔内にめっき法により、ビアを形成する際、第一金属膜の側面が露出していると第一金属膜の側面にめっきが析出してしまう。この場合には、第一金属膜側面の面積が本来めっきを析出させるべき孔面積に比較して非常に大きいためめっきの析出が優先的に進行し、孔内部にめっきがつきにくくなる。特に孔の径が非常に小さいような場合には、このような現象は顕著である。
【課題を解決するための手段】
【0005】
本発明者らは、以上の課題を見出し、貫通孔が形成された絶縁層と、この絶縁層の一面に設けられ、前記貫通孔の一方の開口を塞ぐ導電層とを有する基材を用意する工程と、
前記導電層に陰極を接続するとともに、前記絶縁層の他面が陽極と対向するように、前記陽極の上方に前記基材を配置する工程と、前記絶縁層の他面と前記陽極との間に電解めっき液を流して、前記貫通孔内にめっき膜を形成するとともに、前記絶縁層の他面と前記陽極との間の前記電解めっき液を前記絶縁層の他面よりも下方に排出する工程とを含むめっき方法を発案した。そして、このようなめっき方法においては、搬送方向に沿って、陽極が複数配置されているため、各陽極と陰極との間に流れる電流量を制御することで、所望のめっき膜を形成することができることを見出した。
すなわち、本発明によれば、
貫通孔が形成された絶縁層と、この絶縁層の一面に設けられ、前記貫通孔の一方の開口を塞ぐ導電層とを有する基材を搬送し、前記貫通孔に電解めっき膜を形成するめっき方法であって、
前記基材の搬送方向に沿って配置された複数の陽極の上方で前記基材を搬送するとともに、前記絶縁層の他面と、前記絶縁層の他面と対向する前記陽極との間に電解めっき液を流して、前記貫通孔内にめっき膜を形成する工程と、
前記絶縁層の他面と、前記陽極との間の電解めっき液を前記絶縁層の他面よりも下方に排出する工程を含み、
前記めっき膜を形成する前記工程では、各前記陽極と、前記陰極との間に流れる電流量を制御するめっき方法が提供される。
【0006】
この発明によれば、絶縁層の他面(導電層が設けられた面と反対側の面)と、陽極との間に電解めっき液を流し、貫通孔内にめっき膜を形成している。そして、電解めっき液を絶縁層の他面よりも下方に排出している。
これにより、絶縁層の一面上に設けられた導電層の側面に電解めっき液が付着し、導電層の側面にめっきが析出してしまうことを抑制できる。これにより、孔内部に安定的にめっきを施すことができる。
さらに、めっき膜を形成する前記工程では、各前記陽極と、前記陰極との間に流れる電流量を制御するため、貫通孔内に所望のめっき膜を形成することができる。
【0007】
また、本発明によれば、貫通孔が形成された絶縁層と、この絶縁層の一面に設けられ、前記貫通孔の一方の開口を塞ぐ導電層とを有する基材を搬送しながら、前記貫通孔内に電解めっきを行うための電解めっき装置であって、
前記導電層に接続される陰極と、
前記基材の搬送方向に沿って配置されるとともに、離間配置された複数の陽極と、
前記陽極の上方で、前記基材の前記絶縁層の他面が前記陽極と対向させながら、前記基材を搬送する搬送手段と、
前記基材の前記絶縁層の他面と、前記各陽極との間に電解めっき液を流す電解めっき液供給部とを備え、
当該電解めっき装置は、前記電解めっき液供給部により、前記絶縁層の他面と前記陽極との間に電解めっき液を流すとともに、前記絶縁層の他面と、前記陽極との間の前記電解めっき液を前記絶縁層の他面よりも下方に排出するように構成され、
各前記陽極と、前記陰極との間に流れる電流量を制御する制御部を備える電解めっき装置も提供できる。
【発明の効果】
【0008】
本発明によれば、安定的に所望のめっき膜を形成することができるめっき方法、電解めっき装置が提供される。
【図面の簡単な説明】
【0009】
【図1】本発明の一実施形態にかかる電解めっき装置を示す平面図である。
【図2】図1のII-II方向の断面図である。
【図3】図1のIII-III方向の断面図である。
【図4】電解めっき装置の支持部材を示す図である。
【図5】基材を示す断面図である。
【図6】本発明の変形例にかかる電解めっき装置を示す平面図である。
【図7】本発明の変形例にかかる陽極を示す平面図である。
【図8】本発明の変形例にかかる電解めっき装置の要部を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【0010】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
図1〜図3を参照して、本実施形態のめっき装置2の概要について説明する。
図1は、めっき装置2の平面図であり、図2は、図1のII-II方向の断面図であり、図3は、図1のIII-III方向の断面図である。
本実施形態のめっき装置2は、一方の開口側から他方の開口側に向かって径の大きさが変化する貫通孔111が形成された絶縁層11と、この絶縁層11の一面に設けられ、前記貫通孔111の一方の開口を塞ぐ導電層12とを有する基材1を搬送しながら、前記貫通孔111内に電解めっきを行うための電解めっき装置である。
電解めっき装置2は、導電層12に接続される陰極20と、基材1の搬送方向に沿って配置されるとともに、離間配置された複数の陽極21と、陽極21の上方で、基材1の前記絶縁層11の他面を前記陽極21と対向させながら、基材1を搬送する搬送手段25と、基材1の絶縁層11の他面と、各陽極21との間に電解めっきを流す電解めっき液供給部23とを備える。
当該電解めっき装置2は、電解めっき液供給部23により、絶縁層11の他面と陽極21との間に電解めっき液Lを流すとともに、絶縁層11の他面と、陽極21との間の前記電解めっき液Lを前記絶縁層11の他面よりも下方に排出するように構成される。
また、電解めっき装置2は、各陽極21と、陰極20との間に流れる電流量を制御する制御部27を備える。
【0011】
次に、本実施形態の電解めっき装置2について詳細に説明する。
はじめに、電解めっき装置2のめっき対象となる基材1について説明する。
この基材1は、図5に示すように、貫通孔111が形成された絶縁層11と、導電層12と備える。
基材1は、たとえば、フレキシブル回路基板となるものである。
絶縁層11は、たとえば、ポリイミドフィルムであり、厚みは10μm〜200μm程度である。
絶縁層11には、表裏面を貫通する複数の貫通孔111が形成されている。この貫通孔111は、絶縁層11の表面(一面)側から裏面(他面)側に向かって径が大きくなるように形成されており、断面テーパ形状である。
絶縁層11の一面側には、複数の貫通孔111の開口を塞ぐ導電層12が設けられている。導電層12は、金属膜であり、たとえば、銅膜である。
導電層12の厚みは、たとえば、5〜50μmである。
【0012】
図1〜4に示すように、本実施形態の電解めっき装置2は、上述した陰極20と、陽極21と、電解めっき液供給部23と、搬送手段25と、制御部27と、電解めっき液Lが充填されためっき槽24、支持部材26とを備える。
【0013】
本実施形態の電解めっき装置2は、搬送ローラ25により、めっき槽24上でシート状の基材1を搬送し、連続めっきする装置である。
めっき槽24には、電解めっき液L、たとえば、硫酸銅等の電解めっき液が充填されている。
陽極21は、めっき槽24中の電解めっき液L中に浸漬されておらず、めっき槽24中の電解めっき液Lの液面よりも上方に配置される。
ここで、陽極21は、溶解性の陽極であってもよく、不溶性の陽極であってもよい。
複数の陽極21は、基材1の搬送方向(図1〜3のx方向)に沿って離間配置されている。本実施形態では、10個の陽極21が基材1の搬送方向に沿って離間配置されている。
各陽極21は、複数枚(本実施形態では2枚)の金属板211で構成されている。各陽極21を構成する複数枚の金属板211は、搬送方向と直交する方向(図1〜3のy方向)に離間配置されている。
陽極21は、図4に示すような支持部材26で支持され、基材1の搬送方向に沿って隣り合う金属板211同士、基材1の搬送方向と直交する方向(y方向)に隣り合う金属板211同士は、離間配置されている。
図4(A)は、支持部材26の平面図であり、図4(B)は、図4(A)のIV-IV方向の断面図である。
【0014】
支持部材26は、絶縁性の材料(たとえば、硬質塩化ビニール)で構成され、陽極21の金属板211をはめ込むための凹部261が形成されている。従って、支持部材26に陽極21をはめ込むことで、陽極21間には、絶縁材料が配置されることとなり、陽極21間は絶縁材料により絶縁されることとなる。
また、支持部材26には、中央に、基材1の搬送方向に沿った貫通溝262が形成されている。この貫通溝262は、基材1の搬送方向と直交する方向に隣り合う金属板211間に位置し、この貫通溝262を介して電解めっき液Lが基材1側に供給される。
図1および図2に示すように陽極21の幅W1(本実施形態では、基材1の搬送方向に直交する方向に並んだ2枚の金属板211間の隙間および2枚の金属板211の幅の合計値)は、基材1の幅W2(基材1の搬送方向と直交する方向の長さ)よりも小さい。
さらに、本実施形態では、支持部材26の幅W3(基材搬送方向と直交する方向の長さ)は、基材1の幅W2よりも小さい。
【0015】
また、めっき槽24上部側からの平面視において、基材搬送方向と直交する方向に並んだ金属板211間の隙間、すなわち、貫通溝262は、基材1の搬送方向と直交する方向の幅W2の略中央に位置する。
ここで、図2に示すように、基材1を陽極21上に搬送し、基材1と陽極21とを対向させた状態において、金属板211の直上に位置する基材1の導電層12と、金属板211との間の距離Hは、0.1mm以上、10mm以下であることが好ましい。
0.1mm以上とすることで、基板1の貫通孔111より外にまで析出した銅めっき膜と陽極21の物理的な接触が避けられ、電流集中によるめっき焼けの現象が防止されるという効果があり、10mm以下とすることで、各陽極21と、陰極20との間に流れる電流量を正確に制御できるという効果がある。すなわち、距離Hが大きすぎる場合には、各陽極21と陰極20との間に実際に流れる電流値が、設定した電流値から大きくずれてしまう可能性があるため、距離Hは10mm以下とすることが好ましい。
【0016】
図1,3に示すように、陰極20は、ロール状に形成され、陽極21よりも上方に配置されている。この陰極20は、基材1表面の導電層12に接触するように配置され、基材1を搬送するための搬送ローラとして機能する。
たとえば、陰極20は、基材1の搬送方向基端側および先端側にそれぞれ配置されている。
【0017】
搬送ローラ25は、基材1を陽極21上で搬送するものである。
【0018】
図2に示すように、電解めっき液供給部23は、めっき槽24中の電解めっき液Lをめっき槽24上部に配置される基材1に向かって供給するものである。電解めっき液供給部23は、たとえば、ポンプPおよびポンプPに接続された配管Mで構成される。
【0019】
電解めっき液供給部23から排出された電解めっき液Lは、金属板211間の隙間(すなわち、貫通溝262)を介して、基材1に向かって供給される。
そして、図2に示すように、電解めっき液Lは、基材1の絶縁層11と、金属板211との間を流れ、金属板211の外側の端部(基材1の搬送方向と直交する方向の端部)側から下方に向かって、自重により落下することとなる。
なお、電解めっき液供給部23の配管Mを複数設け、貫通溝262の長手方向全体にわたって、電解めっき液Lが供給される構造としてもよく、また、図8に示すように、貫通溝262の下方に、貫通溝262の長手方向に沿って配置される複数の貫通穴281が形成された板材28を配置し、複数の貫通穴281および貫通溝262を介して、貫通溝262の長手方向全体にわたって、電解めっき液Lが供給される構造としてもよい。
なお、図8は、図4(A)のVIII−VIII方向の断面図に板材28を追加した断面図である。また、図8の矢印は、電解めっき液Lの流れを示す。
【0020】
図3に示す制御部27は、各陽極21と、陰極20との間に流れる電流を制御するためのものである。本実施形態では、制御部27は、各陽極21と、陰極20との間に配置された抵抗である。
なお、本実施形態では、陽極21は、離間配置された2枚の金属板211で構成されるとしているが、各陽極21において、一方の金属板211と陰極20との間に流れる電流値、他方の金属板211と陰極20との間に流れる電流値は同じものとする。
貫通孔111は、一方の開口側(導電層12側の開口)から他方の開口側に向かって拡径するテーパ状である。従って、貫通孔111内部へのめっきが進むにつれて、めっき面積は、大きくなる。そのため、たとえば、基材搬送方向先端側に向かって、各陽極21と陰極20との間に流れる電流量を大きくするように制御部27により制御すれば、被めっき面における電流密度を略均一なものとすることができる。すなわち、貫通孔111は、順次各陽極21と対向するが、貫通孔111がそれぞれの陽極21と対向した各状態において貫通孔111の被めっき面の電流密度が略同じとなる。
具体的には、基材搬送方向先端側の制御部27である抵抗の値を、基材搬送方向基端側の制御部27である抵抗の値よりも小さくする。
これにより、所望のめっき膜を得ることができる。
【0021】
なお、各陽極21と陰極20との間に流れる電流値は、基材搬送方向先端側に向かって大きくなるように設定されるとしたが、これに限られず、めっき膜の成長段階に応じて、所望の電流密度となるように、制御部27としての抵抗の値を制御してもよい。
【0022】
次に、以上のような電解めっき装置2を使用しためっき方法について説明する。
はじめに、本実施形態のめっき方法の概要について説明する。
本実施形態のめっき方法は、基材1を複数の陽極21上で搬送し、貫通孔111に電解めっき膜を形成するめっき方法である。
基材1の搬送方向に沿って配置された複数の陽極21の上方で基材1を搬送するとともに、絶縁層11の他面と、複数の陽極21のうち絶縁層11の他面と対向する陽極21との間に電解めっき液を流して、貫通孔111内にめっき膜を形成する工程と、絶縁層11の他面と、陽極21との間の電解めっき液を絶縁層11の他面よりも下方に排出する工程を含む。
そして、めっき膜を形成する前記工程では、各陽極21と、陰極20との間に流れる電流量を制御する。
【0023】
次に、本実施形態のめっき方法について詳細に説明する。
はじめに、基材1を用意する。
基材1は、ロール状に巻かれており、搬送ローラ25および陰極20を介して、基材1はめっき槽24上に供給される。このとき、陰極20に導電層12が直接接触するように基材1を供給する。
なお、電解めっきの前段では、脱脂が行われる。
基材1がめっき槽24上に供給される前段において、制御部27により、各陽極21と陰極20との間に流れる電流値を調整しておく。たとえば、基材搬送方向基端側から先端側に向かって陰極20と陽極21との間に流れる電流値が大きくなるように制御部27で電流値を調整しておく。
【0024】
基材1は、搬送ローラ25および陰極20により、めっき槽24上で搬送されるが、このとき、めっき槽24中の電解めっき液Lを、陽極21側から、基材1に向かって上方に供給する。電解めっき液Lは、陽極21の基材搬送方向と直交する方向に並ぶ金属板211間に形成された隙間(本実施形態では、貫通溝262)を介して、基材1の絶縁層11の他面と金属板211との間に供給される。この電解めっき液Lは、絶縁層11の貫通孔111内にも供給される。これにより、金属板211と絶縁層11との間の隙間および貫通孔111内は、電解めっき液Lで充填され、電解めっき液Lは、金属板211と、貫通孔111から露出する導電層12とに接触し、貫通孔111内部にめっきが析出することとなる。
なお、基材1がめっき槽24上部を通過する間、貫通溝262からは、連続的に電解めっき液が供給される。従って、基材1がめっき槽24の上部を通過する間は、金属板211と絶縁層11との間の隙間および貫通孔111内が電解めっき液Lで満たされた状態が維持されることとなる。
【0025】
基材1の絶縁層11の他面と金属板211との間に供給された電解めっき液Lは、図2に示すように、金属板211の外側の端部(貫通溝262側と反対側の端部)側から、絶縁層11の他面よりも下方に、自重により落下することとなる。
ここで、前述したように、陽極21の幅W1は、基材1の幅W2よりも小さく、めっき槽24上方からの平面視において、基材1の端部が、陽極21の端部よりも、基材搬送方向と直交する方向(外方)に突出している。さらに、本実施形態では、陽極21を支持する支持部材26の幅W3も、基材1の幅W2よりも小さく、基材1の端部が支持部材26からも外方に突出している。
そのため、基材1の絶縁層11の他面と金属板211との間に供給された電解めっき液Lは、絶縁層11上の導電層12の端部や側面に接触することなく、めっき槽24側に落下し、めっき槽24で回収される。これにより、導電層12に、めっきが析出してしまうことを抑制することができる。
【0026】
なお、めっき槽24で回収した電解めっき液Lは、再度、電解めっき液供給部23により、貫通溝262から、基材1側に向かって流されることとなる。
めっき槽24では、図示しないが、調整手段により、定期的に電解めっき液を分析し、電解めっき液L中の各成分の濃度を調整してもよい。
【0027】
前述したように、制御部27により、各陽極21と陰極20との間に流れる電流値は、調整されている。たとえば、基材搬送方向基端側に最も近い位置に配置された陽極21と陰極20との間には、0.1iの電流が流れるように制御部27で制御されている。基材搬送方向基端側に2番目に近い位置に配置された陽極21と陰極20との間には、0.2iの電流が流れるように制御部27により制御する。そして、基材搬送方向先端側にむかって0.1iづつ電流値が多くなるように制御部27で制御する。
【0028】
本実施形態では、基材1は、停止することなく、陽極21上を通過する。基材1が陽極21上を通過する間に貫通孔111内にめっきが施される。ただし、基材1は、陽極21上で一時停止しながら、複数の陽極21上を通過してもよい。
貫通孔111内部にめっきが施された基材1は、水洗され、貫通孔111内部にめっきが施された基材1が完成する。
その後、必要に応じて、基材1を切断し、基材1の絶縁層11の他面側に金属膜を貼り付ける。その後、導電層12および前記金属膜を選択的に除去して回路層を形成し、回路基板を得る。この回路基板はフレキシブル回路基板(フレキシブルプリント配線板)である。
【0029】
次に、本実施形態の作用効果について説明する。
本実施形態では、絶縁層11の他面と陽極21との間の電解めっき液Lを、絶縁層11の他面よりも下側に流しているので、絶縁層11の一面上に設けられた導電層12の側面に電解めっき液Lが付着し、導電層12の側面にめっきが析出してしまうことを抑制できる。これにより、貫通孔111内部に安定的にめっきを施すことができる。
特に、本実施形態では、基材1と陽極21とを対向させた際に、陽極21の幅W1は、基材1の幅W2よりも小さく、めっき槽24上方からの平面視において、基材1の端部が、陽極21の端部よりも、基材搬送方向と直交する方向(外方)に突出している。さらに、本実施形態では、陽極21を支持する支持部材26の幅W3も、基材1の幅W2よりも小さく、基材1の端部が支持部材26からも外方に突出している。
従って、陽極21と、絶縁層11との間の電解めっき液Lが、絶縁層11の端部に接触せずに、めっき槽24側に排出されることとなるので、導電層12の側面にめっきが析出してしまうことを確実に抑制できる。
【0030】
また、前述したような従来の製造方法では、導電層にめっきが析出してしまうという課題があった。この課題を解決するために、例えば、基材が非連続状形状の場合には、導電層側に樹脂などの絶縁体板を当てたうえで、回路基板の外周を絶縁体の粘着テープなどで封止することにより導電層表面および側面をめっき液から隔離をしてめっきをおこなう方法や、基材が連続状形状の場合には導電層およびその側面すべてを連続状絶縁粘着テープで被覆するなどの方法が考えられる。
しかしながら、これらの方法はいずれも、めっき前に粘着テープの貼り付け、さらにめっき後の引き剥がし作業に多くの手間がかかり生産性が向上しない問題があった。
これに対し、本実施形態では、基材1の絶縁層11の他面(導電層が設けられた面と反対側の面)と、陽極21との間に電解めっき液Lを流し、貫通孔111内にめっき膜を形成している。そして、電解めっき液Lを絶縁層11の他面よりも下方に排出している。
これにより、絶縁層11の一面に設けられた導電層12には、電解めっき液Lが接触しないので、導電層12をマスク等で被覆しなくてもよい。そのため、絶縁層11の貫通孔111内へのめっき処理にかかる手間を省くことができ、効率よくめっきを行うことができる。
【0031】
また、本実施形態では、制御部27により、各陽極21と陰極20との間に流れる電流値を調整している。本実施形態では、基材搬送方向先端側に向かって、各陽極21と陰極20との間に流れる電流量を大きくするように制御部27により制御している。
ここで、基材1の貫通孔111は、一方の開口側(導電層12側の開口)から他方の開口側に向かって拡径するテーパ状である。従って、貫通孔111内部へのめっきが進むにつれて、めっき面積は、大きくなる。そのため、基材搬送方向先端側に向かって、各陽極21と陰極20との間に流れる電流量を大きくするように制御部27により制御すれば、被めっき面における電流密度を略均一なものとすることができる。これにより、所望のめっき膜を得ることができる。
【0032】
さらに、本実施形態では、電解めっき液Lを、陽極21を構成する金属板211間の隙間(本実施形態では貫通溝262)から、基材1側に向かって上方に流している。このようにすることで、基材1の絶縁層11と陽極21との間に電解めっき液を安定的に流すことができる。
たとえば、図6に示すように、基材搬送方向基端側から、基材1と、陽極21との間の隙間に電解めっき液Lを流すことも考えられる(図6の矢印は電解めっき液Lの流れを示す)。しかしながら、めっき槽24上での搬送距離を長くした場合には、基材1の搬送方向基端側から、搬送方向先端側へむけて、電解めっき液Lを非常に勢いよく流さなければならず、基材1と陽極21との間に安定的に電解めっき液Lを供給することが難しくなる。
これに対し、本実施形態では、基材搬送方向と直交する方向に隣り合う一対の金属板211間に隙間を形成し、この隙間から電解めっき液を基材1と陽極21との間に供給しているため、電解めっき液Lを非常に勢いよく流さなくても、基材1の絶縁層11と陽極21との間に電解めっき液Lを安定的に流すことができる。
【0033】
さらに、本実施形態では、陽極21の基材搬送方向と直交する方向に隣り合う金属板211間の隙間の位置(本実施形態では、貫通溝262)が、基材1の幅W2方向の略中心位置にあるので、電解めっき液Lを貫通溝262から、基材1の端部側(基材搬送方向に沿った端部側)に略均等に流すことができ、めっきを安定的に実施することができる。
【0034】
また、本実施形態では、陽極21を絶縁性の支持部材26にはめ込んでいる。これにより、基材搬送方向に隣接する陽極21同士が絶縁されることとなるので、各陽極21と陰極20との間に流れる電流値を所望の電流値とすることができる。
【0035】
なお、本発明は前述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。
たとえば、前記実施形態では、各陽極21を複数枚の金属板211で構成していたが、これに限られるものではない。たとえば、図7に示すように、陽極210を一枚の金属板212で構成してもよい。このようにすることで、めっき装置の構成を簡略化することができる。この場合には、金属板212に貫通孔212Aを形成して、貫通孔212Aから電解めっき液Lを基材1側に供給すればよい。
【0036】
また、前記実施形態では、貫通孔111は断面テーパ状であるとしたが、これに限られず、貫通孔111の一方の開口から、他方の開口に向かって径が均等である形状、たとえば、円柱状としてもよい。
【0037】
さらに、前記実施形態では、各陽極21と陰極20との間に流れる電流値は、基材搬送方向先端側に向かって大きくなるように設定されるとしたが、これに限られない。
たとえば、絶縁層の厚みが非常に厚く、貫通孔の開口径に比べ、貫通孔の深さ寸法が非常に大きい場合、めっき初期においては、めっき液中の金属イオンが貫通孔内部にまで到達しにくくなる。そのため、電流密度が高い場合には、水素等のガスにより、めっき膜中にボイドが形成されてしまうことがある。そこで、めっき初期においては、電流密度を低くする。
貫通孔の開口付近まで、めっき膜が形成されためっき後期においては、被めっき面への金属イオンの供給が円滑になるので、めっき速度をあげるために、電流密度を高くする。
このようにめっき膜の成長段階に応じて、各陽極21、陰極20間に流れる電流値を制御してもよい。
【0038】
また、前記実施形態では、基材1がロール状に巻かれており、基材1がめっき槽24上に連続的に供給される構造であったが、これに限らず、たとえば、基材1がロール状ではなく、一枚の板状であり、この一枚の基材をめっき槽24上で搬送する構成としてもよい。
【符号の説明】
【0039】
1 基材
2 電解めっき装置
11 絶縁層
12 導電層
20 陰極
21 陽極
23 電解めっき液供給部
24 めっき槽
25 搬送ローラ(搬送手段)
26 支持部材
27 制御部
28 板材
111 貫通孔
210 陽極
211 金属板
212A 貫通孔
212 金属板
261 凹部
262 貫通溝
281 貫通穴
H 距離
L 電解めっき液
M 配管
P ポンプ
W1 幅
W2 幅
W3 幅

【特許請求の範囲】
【請求項1】
貫通孔が形成された絶縁層と、この絶縁層の一面に設けられ、前記貫通孔の一方の開口を塞ぐ導電層とを有する基材を複数の陽極上で搬送し、前記貫通孔に電解めっき膜を形成するめっき方法であって、
前記基材の搬送方向に沿って配置された前記複数の陽極の上方で前記基材を搬送するとともに、前記絶縁層の他面と、前記絶縁層の他面と対向する前記陽極との間に電解めっき液を流して、前記貫通孔内にめっき膜を形成する工程と、
前記絶縁層の他面と、前記陽極との間の電解めっき液を前記絶縁層の他面よりも下方に排出する工程を含み、
前記めっき膜を形成する前記工程では、各前記陽極と、前記陰極との間に流れる電流量を制御するめっき方法。
【請求項2】
請求項1に記載のめっき方法において、
前記貫通孔は、一方の開口側から他方の開口側に向かって拡径するテーパー状に形成されており、
前記基材の搬送方向基端側に位置する陽極と、前記陰極との間に流れる電流値は、前記基材の搬送方向先端側に位置する陽極と前記陰極との間に流れる電流値よりも小さいめっき方法。
【請求項3】
請求項1に記載のめっき方法において、
前記貫通孔は、一方の開口側から他方の開口側に向かって径の大きさが変化するように前記絶縁層に形成されており、
前記絶縁層の貫通孔の被めっき面における電流密度が略一定となるように、各前記陽極と、前記陰極との間に流れる電流量を制御するめっき方法。
【請求項4】
請求項1乃至3のいずれかに記載のめっき方法において、
前記各陽極と、前記絶縁層とを対向配置させた際に、前記絶縁層の端部は、前記各陽極の端部よりも外方に突出しており、
前記絶縁層の他面と前記各陽極との間の前記電解めっき液は、前記絶縁層の前記端部に接触せずに、前記絶縁層の他面よりも下方に排出されるめっき方法。
【請求項5】
請求項1乃至4のいずれかに記載のめっき方法において、
前記陽極には、前記めっき液を前記絶縁層側にむかって流す開口が形成され、
前記陽極の開口を介して、前記陽極側から前記絶縁層の他面側に向かって電解めっき液を流し、前記絶縁層の他面と前記陽極との間に電解めっき液を流すめっき方法。
【請求項6】
請求項5に記載のめっき方法において、
前記各陽極は、複数の金属板で構成され、
前記複数の金属板間には、前記開口となる隙間が形成されており、前記電解めっき液を、前記隙間を介して前記陽極側から、前記絶縁層の他面側にむかって流すめっき方法。
【請求項7】
請求項1乃至6のいずれかに記載のめっき方法において、
前記めっき膜を形成する前記工程では、前記基材の導電層と前記基材の直下に位置する陽極との間の距離が、0.1mm以上、10mm以下となるように、前記基材を前記複数の陽極上で搬送するめっき方法。
【請求項8】
請求項1乃至7のいずれかに記載のめっき方法において、
当該基材はフレキシブルプリント配線板用のシートであるめっき方法。
【請求項9】
貫通孔が形成された絶縁層と、この絶縁層の一面に設けられ、前記貫通孔の一方の開口を塞ぐ導電層とを有する基材を搬送しながら、前記貫通孔内に電解めっきを行うための電解めっき装置であって、
前記導電層に接続される陰極と、
前記基材の搬送方向に沿って配置されるとともに、離間配置された複数の陽極と、
前記陽極の上方で、前記基材の前記絶縁層の他面が前記陽極と対向させながら、前記基材を搬送する搬送手段と、
前記基材の前記絶縁層の他面と、前記各陽極との間に電解めっき液を流す電解めっき液供給部とを備え、
当該電解めっき装置は、前記電解めっき液供給部により、前記絶縁層の他面と前記陽極との間に電解めっき液を流すとともに、前記絶縁層の他面と、前記陽極との間の前記電解めっき液を前記絶縁層の他面よりも下方に排出するように構成され、
各前記陽極と、前記陰極との間に流れる電流量を制御する制御部を備える電解めっき装置。
【請求項10】
請求項9に記載の電解めっき装置において、
前記貫通孔は、一方の開口側から他方の開口側に向かって拡径するテーパー状に形成されており、
前記基材の搬送方向基端側に位置する陽極と、前記陰極との間に流れる電流値は、前記基材の搬送方向先端側に位置する陽極と前記陰極との間に流れる電流値よりも小さい電解めっき装置。
【請求項11】
請求項9に記載の電解めっき装置において、
一方の開口側から他方の開口側に向かって径の大きさが変化するように、前記貫通孔は、前記絶縁層に形成されており、
前記制御部は、前記絶縁層の貫通孔の被めっき面における電流密度が略一定となるように、各前記陽極と、前記陰極との間に流れる電流量を制御する電解めっき装置。
【請求項12】
請求項9乃至11のいずれかに記載の電解めっき装置において、
前記陽極には、前記めっき液を前記絶縁層側にむかって流す開口が形成され、
前記陽極の開口を介して、前記陽極側から前記絶縁層の他面側に向かって電解めっき液を流し、前記絶縁層の他面と前記陽極との間に電解めっき液を流す電解めっき装置。
【請求項13】
請求項12に記載の電解めっき装置において、
前記各陽極は、複数の金属板で構成され、
前記複数の金属板間には、前記開口となる隙間が形成されており、
前記隙間から電解めっき液を上方に向かって流すことで、前記絶縁層の他面と前記陽極との間に電解めっき液を流す電解めっき装置。
【請求項14】
請求項9乃至13のいずれかに記載の電解めっき装置において、
隣り合う陽極間には、絶縁体が配置されている電解めっき装置。

【図1】
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【図2】
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【図3】
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【図4】
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【図5】
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【図6】
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【図7】
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【図8】
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【公開番号】特開2011−153335(P2011−153335A)
【公開日】平成23年8月11日(2011.8.11)
【国際特許分類】
【出願番号】特願2010−14144(P2010−14144)
【出願日】平成22年1月26日(2010.1.26)
【出願人】(000002141)住友ベークライト株式会社 (2,927)
【Fターム(参考)】