アナモルフィック光学系を用いる単一パス画像形成システム
【課題】単一パス高解像度高速印刷用途に使用されることが可能な高信頼でしかも高出力である画像形成システムを提供する。
【解決手段】アナモルフィック光学系130Eは、画像形成面162Eから湿し溶液を気化するに足るエネルギーを有するライン画像を発生するために、1つまたは複数の円柱/非円柱レンズ134Eにより全屈折配置に形成される、または円柱/非円柱レンズおよびミラーの組合せによって形成される工程方向サブ光学系137Eを含む。また、本アナモルフィック光学系は、変調光場119Bを工程横断方向に画像化するために1つまたは複数の円柱/非円柱レンズ138Eおよび任意選択の円柱/非円柱視野レンズにより形成される工程横断方向サブ光学系133Eも含む。本アナモルフィック投影光学系は、ライン画像の複数のピクセル画像の同時的発生を容易にし、1200dpi以上での印刷を容易にする。
【解決手段】アナモルフィック光学系130Eは、画像形成面162Eから湿し溶液を気化するに足るエネルギーを有するライン画像を発生するために、1つまたは複数の円柱/非円柱レンズ134Eにより全屈折配置に形成される、または円柱/非円柱レンズおよびミラーの組合せによって形成される工程方向サブ光学系137Eを含む。また、本アナモルフィック光学系は、変調光場119Bを工程横断方向に画像化するために1つまたは複数の円柱/非円柱レンズ138Eおよび任意選択の円柱/非円柱視野レンズにより形成される工程横断方向サブ光学系133Eも含む。本アナモルフィック投影光学系は、ライン画像の複数のピクセル画像の同時的発生を容易にし、1200dpi以上での印刷を容易にする。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、例えば、高速プリンタに利用される画像生成システム、および特にアナモルフィック投影光学系を含む単一パス高速画像生成システムに関する。
【背景技術】
【0002】
レーザ画像形成システムは、電子写真印刷、マスク付きおよびマスクレス・リソグラフィ・パターニング、表面のレーザダル加工およびレーザ切断機などの用途において、画像を発生させるために広範囲に渡って用いられる。レーザプリンタは、ポリゴンスキャナまたはガルボスキャナを利用することによって工程方向と直角にレーザを掃引するラスタ光学スキャナ(ROS:raster optical scanner)をしばしば用い、一方で切断用途に対して、レーザ画像形成システムは、フラットベッド型x−yベクトルスキャニングを用いる。
【0003】
レーザROS手法の制約のうちの1つは、画像解像度とライン画像の横方向の広がりとの間に設計上のトレードオフが存在することである。これらのトレードオフは、ライン画像の両極端における画像面の湾曲等の光学性能の制限から生じる。実際には、単一のガルバノメータまたはポリゴンスキャナを用いて、一列20インチの画像形成幅全体で1200dpiの解像度を達成することは極めて困難である。さらに、単一のレーザヘッドによる電動式x−yフラットベッドアーキテクチャは、広範囲の領域にとっては理想的であるが、最高速の印刷工程にとっては時間がかかりすぎる。
【0004】
こうした理由により、広い幅の電子写真法にとって、最大20インチ幅までのモノリシックの発光ダイオード(LED)アレイには、画像形成上の利点がある。残念ながら、現在のLEDアレイは、ピクセル当たり10ミリワットの出力レベルを提供することができるだけであり、したがって電子写真法などの一部の非熱画像形成用途に役立つだけである。さらに、LEDバーは、経年劣化差および性能差を広げる。単一のLEDが故障すると、LEDバー全体を差し換える必要がある。他の多くの画像形成またはマーキング用途には、より高い出力が必要である。例えば、レーザダル加工、または切断用途は、10W〜100Wの範囲の出力レベルを必要とすることがある。したがって、LEDバーをこれらの高出力用途に用いることはできない。また、ずらして配置された2行以上のヘッドを用いることなくLEDをより高速度または1200dpiを上回る解像度にまで拡張することも困難である。
【0005】
100ミリワット〜100ワットの範囲にある、より高出力の半導体レーザアレイは存在する。ほとんどの場合、これらは全幅で大略1cmのレーザ・ダイオード・バーなどの1Dアレイ形式で存在する。高出力向け光源の別のタイプは、2D面発光VCSELアレイである。しかしながら、これらの高出力レーザ技術のいずれも、最隣接間のレーザピッチを600dpi以上の画像形成解像度に適合可能にはしない。加えて、これらの技術のいずれも、各レーザの個々の高速度制御を可能にはしない。したがって、高出力オーバヘッド投影画像形成システムなどの高出力用途は、Texas Instruments社のDLP(商標)チップまたは液晶アレイなどの空間光変調器と組み合わせたレーザなどの高出力源を用いる場合が多い。
【0006】
先行技術は、画像形成システムが、並んでアレイ構成にされれば重なり合った投影画像を形成すべく使用されることが可能であり、この場合、重なり合いは、複数の画像パターンをつなぎ合わせて1つの途切れのないパターンにするソフトウェアを用いてより大きい画像を形成することができることを示している。このことは、PCボード製造並びにディスプレイシステム用などの、多くのマスクレス・リソグラフィ・システムにおいて示されてきた。従来、高解像度用途向けのこのようなアレイ構成の画像形成システムは、連続的な高解像度画像を互いに繋ぎ合わせるために、2行の画像形成サブシステムまたは二重通過スキャン構成の何れかを用いなければならないように配列されていた。これは、サブ光学系の寸法上、ハードウェアに物理的制約があるためである。画像形成する二重の行構成は、依然として、基板を一方向に移動させる運搬機を用いて途切れなく繋ぎ合されることが可能であるが、このようなシステムは、大量の追加のハードウェア設置場所および各画像形成行間の精度調整を必要とする。
【0007】
マスクレスリソグラフィ用途の場合、画像形成されるフォトレジストの露光と現像との間の時間は決定的に重要とは言えず、したがって単一のラインに沿ってフォトレジストに画像を形成しても、すぐに露光する必要はない。しかしながら、露光と現像との間の時間は、決定的に重要となることがある。例えば、電子写真式レーザ印刷は、時間とともに自然に減衰する電荷を消去することによって感光体に画像を形成することに基づいている。したがって、露光と現像との間の時間は時不変性ではない。このような状況では、露光システムが単一のラインを露光する、または一表面の間隔が狭い幾つかの隣接する高解像度ラインを一度に露光することが望ましい。
【0008】
電子写真式印刷用途に加えて、露光と現像との間の時間が決定的に重要である別のマーキングシステムが存在する。一例は、当初Carleyにより「FOUNTAIN SOLUTION IMAGE APPARATUS FOR ELECTRONIC LITHOGRAPHY(電子リソグラフィ用の湿し水画像装置)」と題する米国特許第3,800,699号明細書において開示された、レーザベースの可変データ・リソグラフィ・マーキング技法である。標準的なオフセットリソグラフィ印刷では、疎水性の画像形成領域および親水性の非画像形成領域を有する静的な画像形成プレートが作成される。水ベースの湿し溶液の薄層はプレートを選択的に湿潤し、かつ油ベースのインクを選択的に拒絶する撥油層を形成する。米国特許第3,800,699号明細書に開示された可変データ・リソグラフィ・マーキングでは、レーザを用いて湿し溶液をパターン切除し、可変画像領域をオン・ザ・フライで形成することができる。このようなシステムでは、湿し溶液の薄層も、周囲空気への圧力の自然な部分的気化が原因で時間とともに厚さが低減する。したがって、画像を形成するレーザ切除ステップのどの時点でも湿し液の膜厚が同じであるように、単一の画像形成パスステップにおいて単一の連続的な高出力レーザ画像形成ラインパターンを形成することも効果的である。しかしながら、大部分のアレイ構成の高出力高解像度画像形成システムの場合、ハードウェアおよび空間光変調器を囲むパッケージングは、通常、途切れのない連続的なラインパターンの画像形成を妨げる。さらに、ダル加工、リソグラフィ、コンピュータ・トゥ・プレート製作、広領域型抜きまたは熱ベース印刷もしくは他の新規な印刷用途などの、レーザ画像形成の多くの領域にとって必要なものは、20インチを越える広い工程幅に渡って拡張可能であると同時に600dpi以上の達成可能解像度、1200dpi以上のピクセルポジショニング解像度またはアドレス可能度を有しかつ単一パスで高解像度、高速度の画像形成を可能にする、1ワットレベルを十分に上回る高い総光パワーを有するレーザベースの画像形成技法である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0009】
【特許文献1】米国特許第3,800,699号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0010】
本発明は、画像形成面上で工程横断(例えば、水平)方向に位置合わせされる略一次元の高輝度ライン画像を形成するために、比較的低輝度の変調光場をアナモルフィックに画像化しかつ集中させるべくアナモルフィック光学系を利用する画像形成システムに関する。変調光場は、ライン画像の各ドット様「ピクセル」(画像部分)が工程(例えば垂直)方向へ拡張される「延伸された」ライン画像を効果的に形成する低輝度の光部分で構成される。アナモルフィック光学系は、画像形成面に一次元ライン画像が投影されるように変調光場を画像化しかつ集中させるべく動作可能式に位置合わせされかつ配置される1つまたは複数の細長い湾曲した光学素子(例えば、円柱/非円柱レンズおよび/または円柱/非円柱鏡)を利用する。即ち、細長い湾曲した(円柱/非円柱)光学素子の動作可能な光学(即ち、反射または屈折)面は、中立軸またはゼロ出力軸沿いを中心とする一定の湾曲した外形を有し、これにより、細長い光学素子によって集中される光は画像形成面上でライン画像の長さ全体に沿って等しく集中される。アナモルフィック光学系を利用して低輝度の変調光場を集中させることにより、高い合計光強度(即ち、約数百ワット/cm2オーダーの束密度)がライン画像の全体長さに沿って同時に発生され、これにより、あらゆるドット様ピクセル画像が同時に発生される(即ち、任意の所定の瞬間にライン画像の1点へ高出力を印加するだけのラスタリング系と対照的)。高輝度のライン画像全体を同時に発生することにより、本発明は、例えば単一パス高解像度高速印刷用途に使用されることが可能な高信頼でしかも高出力である画像形成システムを促進する。
【課題を解決するための手段】
【0011】
本発明の代替実施形態によれば、アナモルフィック光学系は、専ら工程方向の円柱/非円柱屈折光学素子を用いるか、1つまたは複数の工程方向の円柱/非円柱反射(例えば、鏡)光学素子を含む反射屈折光学系を用いるかの何れかによって実装される。全屈折光学系の実施形態では、円柱または非円柱屈折面を有する1つの集束レンズまたは2つの集束レンズの何れかが、画像形成面上へ変調光場を工程方向に集中させるために利用される。反射屈折アナモルフィック光学系の実施形態では、円柱または非円柱反射面を有する1つの集束鏡または2つの集束鏡の何れかが、画像形成面上へ変調光場を工程方向に集中させるために利用される。工程方向の歪に起因して、光場が工程方向よりも工程横断方向へ遙かに広い画像形成システムについては、反射屈折アナモルフィック投影光学系の方が適する。また、反射屈折アナモルフィック光学系アーキテクチャは、工程横断方向沿いに全屈折系のそれより低いレベルの矢状像面湾曲も提供し、これにより、著しくより二次元的な(例えば、正方形または長方形)変調光場の高品質画像形成が促進される。
【0012】
本発明の一実施形態によれば、アナモルフィック光学系は、工程横断サブ光学系および工程方向サブ光学系の双方を含む。工程横断サブ光学系は、入力される二次元光場と工程方向サブ光学系との間に配置され、二次元変調光場を工程横断方向に画像化する1つまたは複数の円柱/非円柱レンズを含む。特有の代替実施形態では、工程方向サブ光学系は、所望される工程横断画像形成を達成するように配列される二重レンズ素子または三重レンズ素子の何れかを含む。この配列は、略無制限の長さのスキャンラインを有する集合体を生成するために隣接する光学系と結合される(重複領域といっしょに「繋ぎ合わされる」または混ぜ合わされる)ことが可能な幅広のスキャンラインを発生することを容易にする。別の実施形態では、工程横断サブ光学系と二次元光場源との間にコリメートする工程横断方向円柱/非円柱視野レンズが配置されかつ二重または三重レンズ素子間に開口ストップを位置決めすることを有効化するように位置合わせされ、これにより、少数の単体レンズを用いる収差の効率的な補正が有効化され、かつ二重/三重レンズ素子のサイズが最小化される。工程サブ光学系は工程横断サブ光学系と画像形成面(即ち、光学系出力)との間に位置決めされ、かつ単体工程方向光学(例えば、鏡またはレンズ)素子または、光場を工程方向へ先に述べた方法に一致する方法で画像化しかつ集中させる働きをする二重工程方向光学(例えば、鏡またはレンズ)素子の何れかを含む。
【0013】
本発明の一実施形態によれば、本画像形成システムは、均質光発生器および空間光変調器を利用してアナモルフィック光学系へ二次元変調光場を投影する。ある特有の実施形態によれば、均質光発生器は、均質な光場を形成するために少なくとも1つの低出力光源と、この光源により発生される光ビームを均質化する光ホモジナイザとを用いる。空間光変調器は、各光変調素子が対応する低輝度均質光部分を受け入れ、かつ受け入れたその均質光部分をアナモルフィック光学系へと方向づける(例えば、通す、または反射する)、または受け入れたその光部分をアナモルフィック光学系へ届かないように妨げる(例えば、阻む、または遠方へ方向づける)、の何れかであるように均質な光場内に位置合わせされる、個々に構成可能な光変調素子の二次元アレイを含む。均質光を、アナモルフィックに投射し、かつ集中させる前にこのようにして変調することにより、本発明は、任意の所定の瞬間にライン画像の1点に高出力を印加するだけのラスタリング系とは対照的に、画像形成領域全体に沿って高出力ライン画像を同時に生成することができる。
【0014】
ある実施形態において、アナモルフィック光学系は、画像形成面にライン画像を形成する集中された光部分が光場を形成する個々の光部分の光強度の少なくとも2倍の光強度を有するように、二次元光場を形成する変調光部分を工程方向へ画像化しかつ集中させる。比較的低出力の均質光は、多数の変調素子上に広がり、かつ単に画像形成面において高輝度を達成するだけであることから、本発明は、デジタル・マイクロミラー・デバイス(DMD)、電子光学回折変調器アレイまたは熱光学吸収体素子アレイ等の低コストである市販の空間光変調デバイスを用いて製造されることが可能である。即ち、ホモジナイザを利用して、拡張された二次元領域に渡って高エネルギレーザ光を広げることにより、所定の領域に亘る(例えば、各変調素子の領域に亘る)光の強度(ワット/cc)は、向上された出力調整ケイパビリティを有する空間光変調器を形成すべく低コストの光学ガラスおよび反射防止コーティングを利用できるように、受け入れ可能なレベルまで低減される。また、光を一様に拡散させることも、点欠陥(例えば、微視的塵粒またはかき傷)の全光透過損失に与える負の画像形成効果を排除する。
【0015】
本発明の一態様によれば、空間光変調器は、二次元アレイに配列される複数の光変調素子と、各変調素子の光変調構造体が予め決められたライン画像データに従って「オン」(第1の)変調状態と「オフ」(第2の)変調状態との間で調整可能であるように、変調素子を個々に制御するためのコントローラとを含む。各光変調構造体は、均質光の関連部分をその変調状態に従って通す、または妨げる/配向し直すように配置される。変調素子のうちの1つが変調「オン」状態にあるとき、変調構造体は、関連するその変調光部分を対応する既定方向へ方向づける(例えば、素子は関連する光部分をアナモルフィック光学系へと通すか、反射する)。逆に、変調素子が変調「オフ」状態にあるとき、受信された関連する光部分は、アナモルフィック光学系へと通ることを妨げられる(例えば、光変調構造体は関連する光部分を吸収/阻止する、または関連する光部分をアナモルフィック光学系から遠方へ反射する)。
【0016】
本発明の一実施形態によれば、空間光変調器の光変調素子は行および列に配列され、アナモルフィック光学系は、各列から受信される光部分を細長いライン画像の関連する画像形成領域(「ピクセル」)上へ集中させるように配置され、即ち、所定の列における(かつ変調「オン」状態にある)全ての光変調素子から受信される集中された変調光部分は、結果的に生じる画像形成「ピクセル」が、「オン」状態にある所定の列における全ての光変調素子からの複合光であるように、アナモルフィック光学系によってライン画像の対応する同じ画像形成領域上へ方向づけられる。本発明の主要な特徴は、各光変調素子により通過される光部分がアナモルフィック光学系によって走査画像へ送達される1ピクセルのバイナリデータを表し、よって、ライン画像を作り上げる各画像形成「ピクセル」の明るさは関連する列内の「オン」状態にある素子の数によって制御される、という理解に存する。したがって、各列内に配置される複数の変調素子を個々に制御することにより、かつ各列によって通過される光を対応する画像形成領域上へ集中させることにより、本発明は、一定の(変調されない)均質光を用いるグレースケール・ケイパビリティを有する画像形成システムを提供する。さらに、各列における「オン」ピクセルグループの位置が列の上下に調整されれば、この配列は、ボウ(即ち、直線の「スマイル」)およびスキューのソフトウェアによる電子補正を容易にする。
【0017】
本発明の特有の一実施形態によれば、空間光変調器は、パッケージされた形態でデジタル光プロセッサと称される、Texas Instruments社のDLP(商標)チップを備える。この半導体チップ自体は、デジタル・マイクロミラー・デバイスまたはDMDと称される場合が多い。このDMDは、基板上に配置される微小電気機械式(MEM)ミラー機構の二次元アレイを含み、各MEMミラー機構は、コントローラにより発生される関連の制御信号に従って、第1および第2の傾斜位置間で移動可能式に支持されるミラーを含む。空間光変調器およびアナモルフィック光学系は、各ミラーが、それが第1の傾斜位置にあるときは、受信されるその関連する光部分をアナモルフィック光学系へと反射し、かつ第2の傾斜位置にあるときは、受信される関連の光部分をアナモルフィック光学系から遠方にビームダンプへ向けて反射するように、折り畳まれた配列で位置合わせされる。任意選択のヒートシンクは、第2の傾斜位置にビームダンプへ向けて配置されたミラーからの光部分を受信するように、空間光変調器に相対して固定的に位置合わせされる。コンポーネントの各々を固定された相対位置に保持するために利用されるフレームは、任意選択である。反射式DMDベースの画像形成システムの利点は、折り畳まれた光路配列が、システム設置面積の小型化を容易にすることにある。
【0018】
本発明による別の特有の実施形態によれば、DMD式空間光変調器上へ方向づけられる光源からの均質光は、画像形成ドラムシリンダ上へ方向づけられ、この場合、ドラムシリンダの外側(画像形成)表面にはダンピング(湿し)溶液がコーティングされ、かつダンピング溶液は、インク供給構造体の下を通過する前にアナモルフィック光学系からの集中された変調光を用いて選択的に気化される。DMD式空間光変調器は、MEMミラー機構の予め決められたグループが(第1の)時間周期の間に関連する画像ピクセルデータ部分のグレースケール値に従って起動され、かつ結果的に生じる変調光が、ドラム外面の細長い走査領域から湿し溶液を除去することによりライン画像を発生させるべく先に述べたようにアナモルフィック光学系によって画像化されかつ集中されるように構成される。続いて、ドラムシリンダが回転して表面領域がインク源の下を通過すると、露出された表面領域上へインク材料が置かれてインクによる外観が形成される。さらなる回転によってインクによる外観が転写ポイントを通過すると、インク材料と表面領域との接着によりインクの外観が印刷媒体へ転写され、印刷媒体上へ印刷されたインク内に「ドット」が生じる。ドラムシリンダがさらに回転すると、表面領域は、後続の露光/印刷サイクル用に表面領域を準備すべく残留インクおよび湿し溶液材料を除去するクリーニング機構の下へ移動する。
【0019】
本発明のこれらの、および他の特徴、態様および優位点は、以下の説明、添付の請求の範囲および添付の図面との関連においてより良く理解されるであろう。
【図面の簡単な説明】
【0020】
【図1】図1は、本発明の例示的な一実施形態による、アナモルフィック光学系を利用する単純な画像形成システムを示す上側面斜視図である。
【図2】図2は、本発明の一実施形態による、画像形成動作の間の図1の画像形成システムを示す略側面図である。
【図3】図3は、本発明の特有の一実施形態による、図1の画像形成システムにより利用されるマルチレンズアナモルフィック光学系を示す略平面図である。
【図4】図4は、図3のマルチレンズアナモルフィック光学系を示す略上側面図である。
【図5】図5は、本発明の特有の一実施形態による、図1の画像形成システムにより利用されるDMD式空間光変調器の一部を示す斜視図である。
【図6】図6は、図5のDMD式空間光変調器に属する光変調素子をさらに詳細に示す分解斜視図である。
【図7A】図7Aは、動作中の図6の光変調素子を示す斜視図である。
【図7B】図7Bは、動作中の図6の光変調素子を示す斜視図である。
【図7C】図7Cは、動作中の図6の光変調素子を示す斜視図である。
【図8】図8は、本発明の別の特有の実施形態による、折り畳まれて配置されたDMD式空間光変調器および全屈折光学系を利用する画像形成システムを示す斜視図である。
【図9】図9は、画像形成動作の間の図8の画像形成システムを示す略側面図である。
【図10A】図10Aは、画像転写動作の間の図9の画像形成システムを示す略側面図である。
【図10B】図10Bは、画像転写動作の間の図9の画像形成システムを示す略側面図である。
【図10C】図10Cは、画像転写動作の間の図9の画像形成システムを示す略側面図である。
【図11】図11は、本発明の別の特有の実施形態による、画像形成システムにより利用される全屈折アナモルフィック光学系を示す略平面図である。
【図12】図12は、図11の全屈折アナモルフィック光学系を示す略側面図である。
【図13】図13は、本発明の別の特有の実施形態による、画像形成システムにより利用される第2の全屈折アナモルフィック光学系を示す略平面図である。
【図14】図14は、図13の全屈折アナモルフィック光学系を示す略側面図である。
【図15】図15は、本発明の別の特有の実施形態による、折り畳まれて配置されたDMD式空間光変調器および反射屈折光学系を利用する画像形成システムを示す斜視図である。
【図16】図16は、本発明の別の特有の実施形態による、画像形成システムにより利用される反射屈折アナモルフィック光学系を示す略平面図である。
【図17】図17は、図16の反射屈折アナモルフィック光学系を示す略側面図である。
【図18】図18は、本発明の別の特有の実施形態による、画像形成システムにより利用される第2の反射屈折アナモルフィック光学系を示す略平面図である。
【図19】図19は、図18の全屈折アナモルフィック光学系を示す略側面図である。
【発明を実施するための形態】
【0021】
本発明は、画像形成システムおよび関連装置(例えば、スキャナおよびプリンタ)の改良に関する。本明細書において、方向を示す「上側」、「最上」、「下側」、「垂直」および「水平」等の用語は、説明を目的として相対位置を規定するためのものであり、絶対的な基準系を指定するためのものではない。本明細書において、他の光学素子「間」に位置決めされる等の光学素子(レンズ、鏡)の位置に関する言及は、別段の指摘のない限り、関連する光学系を介する通常の光路の意味合いにおける指摘を目的とするものである(例えば、レンズおよび鏡を含む光学系の正常動作の間、光が1つの鏡から反射されてレンズを通り、他の鏡へ至る場合、レンズは2つの鏡の「間」にある)。本明細書において、複合語である「円柱/非円柱」は、関連する光学素子が円柱形(即ち、その1つまたは複数の湾曲した光学表面が円柱の一部であって、光学表面の交差部分に平行するラインおよび正接する平面へ画像の焦点を集める円柱レンズまたはミラー)、または非円柱形(即ち、その1つまたは複数の光学表面が円柱形ではないが、なお光学表面の交差部分に平行するラインおよび正接する平面へ画像の焦点を集める細長い湾曲レンズまたはミラー)の何れかであることを意味するためのものである。
【0022】
図1は、アナモルフィック光学系130を用いて画像形成面162上へ二次元画像の略一次元ライン画像を発生させるために利用される単純化された単一パス画像形成システム100を示す。システム100はさらに、均質光発生器110と、均質光発生器110から受信される均質光118Aを変調するようにコントローラ180により制御される空間光変調器120と、変調器120により発生される変調光場119Bを画像化しかつ集中させ、かつ画像形成面162上に略一次元ライン画像SLを発生(投影)させるように位置合わせされるアナモルフィック光学系130とを含む。
【0023】
この例示的な画像形成プロセスは、デジタル画像データ(本明細書では、「画像データファイルID」と称する)を、デジタル画像データにより指定される光パターンより成る対応する二次元画像(例えば、写真または印刷文書)へ変換することを含む。画像形成動作の「画像形成段階」(部分)は、二次元画像の単一ライン(本明細書では便宜的に「ライン画像」と称する)を関連するラインデータ(本明細書では便宜的に「ライン画像データ部分」と称する)に従って発生させることを含む。例示的な画像形成プロセスは、デジタル画像データを光パターンより成る対応する二次元画像へ変換することを含む。このような画像形成において、画像データファイルIDはコントローラ180へ送信され、コントローラ180は、画像データファイルIDを一度に1ラインずつ処理して変調器120へ送信する。画像データファイルIDはLID1からLIDnまでのライン画像データグループを含み、各ライン画像データグループは、二次元画像の関連する一次元ライン画像を集合的に形成する複数のピクセル画像データ部分を含む。例えば、ライン画像データグループLID1は、4つのピクセル画像データ部分PID1からPID3までを含む。各ピクセル画像データ部分(例えば、ピクセル画像データ部分PID1)は、二次元画像の対応部分に関連づけられる対応するピクセル画像の色および/またはグレースケール特性に対応する1ビットまたは複数ビットの画像データを含む。
【0024】
図1および図2において、均質光発生器110は、略均一の二次元均質光場119Aを形成する連続する(例えば、一定の/変調されない)均質光118Aを発生する働きをし、均質光場119Aは、突き出したドット状の長方形の箱として示され(即ち、均質光場119Aは構造体を形成するものではない)、かつ略同一の定エネルギーレベルを有する均質光118Aによって構成される(即ち、均質光場119Aは全ての部分が略同一の束密度を有する)。発生器110は、適切なキャリア111上へ加工される、または別段で配置される発光素子(例えば、1つまたは複数のレーザまたは発光ダイオード)115を含む光源112と、光源112と変調器120との間に配置される光均質化光学系(ホモジナイザ)117とを備える。ホモジナイザ117は、光ビーム116を拡大された二次元領域に渡って均質化することにより均質光118を発生し、かつ光ビーム116の発散を減らす。この配置により、高エネルギーの光ビーム116は、125−11から125−34までの全ての変調素子上へ略等しく配分される分散された、比較的低いエネルギー束の均質光118へ効果的に変換される。光源110は、直線に沿って配置される複数の端面発光レーザダイオードによって、または二次元アレイに配列される複数の垂直キャビティ面発光レーザ(VCSEL)によって実装される。理想的には、このようなレーザ源は、過剰な熱を容易に除去すべく受動水冷または強制気流が使用可能であるように、高い(例えば、50%を超える)プラグ効率を有する。光ホモジナイザ117は、高速軸集光(FAC)レンズをビーム再成形用マイクロレンズアレイと共に用いて、またはライトパイプを用いて実装されることが可能である。
【0025】
変調器120は均質光場119A内に配置され、かつ変調素子アレイ122と、制御回路126とを含む。変調器120は均質光118Aの一部を変調し、これにより変調器120は、光場119Aを、アナモルフィック光学系130を介して画像形成面162の細長い画像形成領域167上へ投射される二次元変調光場119Bへ変換する。変調器は市販されていて、典型的には、光変調素子(ピクセル)が約5〜20ミクロン間隔で存在する1024x768(SVGA解像度)またはこれより高い解像度の二次元(2D)アレイサイズを有する。
【0026】
変調器120のアレイ122は、支持構造体124上で4水平行および3垂直列C1〜C3内に配置される素子125−11から125−34までを含む。素子125−11から125−34までは、光場119A内に、各素子の光変調構造体(例えば、鏡、回折素子または熱光学吸収体素子)が均質光118Aの対応部分を受け入れるように配置され(例えば、変調素子125−11および125−12は各々均質光部分118A−11および118A−12を受け入れる)、かつ受け入れた対応する変調光部分を予め決められた方向に沿ってアナモルフィック光学系130へと選択的に通す、または配向し直すように位置合わせされる。
【0027】
制御回路126は、画像形成動作の各画像形成段階の間に1つのライン画像データ部分(例えば、ライン画像データ部分LIN1)を格納する制御(メモリ)セル128−11から128−34までのアレイを含む。例えば、ある所定の時間において、ライン画像データ部分LIN1は、既知の技法を用いてコントローラ180から制御回路126へ送信され(書き込まれ)、かつライン画像データ部分LIN1は、画像形成面162の細長い画像形成領域167に対応するライン画像SLを発生させるために用いられる。これに続く画像形成段階(不図示)の間、第2のライン画像データ部分が制御回路126へ書き込まれ(即ち、ライン画像データ部分LIN1が上書きされ)、画像形成面162の別の細長い画像形成領域に対応する第2のライン画像(不図示)が発生される。このプロセスでは、ライン画像SLの発生後かつ第2のライン画像が発生される前に、画像形成面162を工程(Y軸)方向へ移動(平行移動)させる必要があることに留意されたい。画像データファイルIDの各走査画像データ部分LIN1〜LINnについてこのような画像形成段階を反復することにより、画像形成面162上に関連する二次元画像が発生される。
【0028】
各メモリセル128−11から128−34は、1つのデータビット(1または0)を格納し、各光変調素子125−11から125−34は各々、(第1の)変調「オン」状態と(第2の)変調「オフ」状態との間を切換すべく関連するメモリセル128−11から128−34に格納されるデータビットによって(例えば、制御信号127によって)個々に制御可能である。所定の変調素子の関連するメモリセルが論理値「1」を格納していれば、この所定の素子は変調「オン」状態に入るように制御され、これにより、この素子は受信される光部分をアナモルフィック光学系130へと方向づけるように作動される。例えば、素子125−11は、メモリセル128−11に格納されている論理「1」に応答して「オン」にされ(例えば、透過性にされ)、これにより、受信される光部分118A−11は変調器120を介してアナモルフィック光学系130へと通される。逆に、素子125−21は、メモリセル128−21に格納されている論理「0」に応答して「オフ」にされ(例えば、不透明にされ)、これにより、受信される光部分118A−21は阻止される。素子125−11から125−34を画像データIDに従って選択的に「オン」または「オフ」にすることにより、変調器120は連続的な均質光118Aの一部を、変調光がアナモルフィック光学系130上へ方向づけられるように変調する(即ち、通過させる、または通過させない)働きをする。
【0029】
空間光変調器120からアナモルフィック光学系130へと通過される、または別段で方向づけられる均質光118Aの一部(例えば、均質光部分118A−24)は、個々には変調光部分と称され、かつ集合的には変調光118Bまたは二次元変調光場119Bと称される。例えば、「オン」にされている光変調素子125−11を通過した後、均質光部分118A−21は変調光部分118B−11になり、変調光場119Bを描いた図の明色領域によって示される光変調素子125−12、125−13、125−14、125−32および125−33を通過した光部分と共にアナモルフィック光学系130へ通される。逆に、所定の変調素子(例えば、変調素子125−21)が変調「オフ」状態にある場合、変調素子は、所定の変調素子の受信された関連する光部分を妨げる(例えば、阻止する、または配向し直す)ように作動され、これにより、変調光場119Bを描いている図面の対応する領域は暗い。
【0030】
アナモルフィック光学系130は、二次元変調光場119Bを画像形成面162の細長い画像形成領域167上へアナモルフィックに画像化しかつ集中させる(焦点を合わせる)働きをする。光学系130は、変調光場119Bの二次元パターンを受け入れるように位置合わせされる光学素子(例えば、レンズおよび/または鏡)を含み、光学素子(例えば、レンズまたは鏡)は、受け入れた光部分を工程横断(X軸)方向よりも工程(Y軸)方向沿いにより高い度合いで集中させるように配列され、これにより、受け入れられた変調光部分は工程横断方向に対して平行に広がる細長いライン画像SLを形成すべくアナモルフィックに集束される。ある実施形態において、アナモルフィック光学系130は、ライン画像SLの工程横断(X軸)方向の幅W2が変調光場119Bの元の幅W1に等しいか大きくなるように、かつライン画像SLの工程(Y軸)方向の高さH2が二次元変調光場119Bの元の高さH1より略(例えば、3倍以上)小さくなるように、変調光を画像化する。アナモルフィック光学系130を通過しているが、画像形成面162にまだ到達していない変調光部分は、被集中変調光部分と称されることに留意されたい(例えば、変調光部分118B−11は、アナモルフィック光学系130と画像形成面162との間で被集中変調光部分118C−11になる)。
【0031】
図3および図4は、変調器120Eとアナモルフィック光学系130Eとを含むシステム100Eの一部を示す。光学系130Eは、工程横断サブ光学系133Eと、工程方向サブ光学系137Eとを含む。サブ光学系133Eは、変調器120Eから変調光場119Bを受け入れるように位置合わせされ、かつ変調光場119BをX軸方向へ画像化するように成形されかつ配列される円柱/非円柱レンズ134Eを含む。サブ光学系133Eからサブ光学系137Eへ通過される処理光は、画像形成光119C1である。サブ光学系137Eは、画像形成面162E上へライン画像SLを発生させるために画像形成光119C1を工程方向へ画像化しかつ集中させるレンズ138を含む。サブ光学系137Eから画像形成面162Eへ通される画像化されかつ集中された(収束する)光は、画像形成集中光119C2である。
【0032】
図3および図4は、サブ光学系133Eおよび137Eの機能を示す点線のレイトレースを含む。図3の平面図は、サブ光学系133Eが変調光場119BをX軸において拡張するように作動することを示し、かつ図4の側面図は、サブ光学系137Eが、画像形成面162E上へライン画像SLを形成するように、画像形成集中光場119C2をY軸に対して垂直方向へ発生させるべく変調器120Eにより通過される変調光部分118Bに作用することを示す。この配置の優位点は、光パワーの強度がシステム100Eの出力に位置決めされるスキャンラインSL上に集中されることを可能にすることにある。素子138Eの集束能力が増加するにつれて、変調器120E上の光強度は、ライン画像SLにおいて発生されるライン画像の強度と相対的に低減される。しかしながら、これは、円柱または非円柱レンズ138Eが、透明な開口がレンズ138Eのエッジぎりぎりまで広がる状態で画像形成面162Eの方へ接近して配置されなければならないことを意味する。
【0033】
光学系130を利用して変調光場119Bを工程(Y軸)方向に集中させることにより、工程横断方向に広がる画像形成面162上に「単一パス」略一次元ライン画像SLが形成される。所定のグループG1の全ての変調素子125−11から125−14を起動することによって所定のピクセル画像部分P1が発生されると、ライン画像SLの所定の点上に高い合計光強度(例えば、束密度約数百ワット/cm2のオーダー)が発生され、これにより、例えば単一パス高解像度高速印刷用途において一次元ライン画像SLの全ての部分を同時に生成するために使用されることが可能な高信頼性の高速画像形成システムが促進される。
【0034】
より低い光学解像度におけるマルチレベル画像露光は、ライン画像SLの各ピクセル画像位置上へ方向づけられる露光レベル(即ち、集中される光の量)を変えることにより(例えば、プリンタにおいて)高品質の画像形成を達成するために利用される。具体的には、ライン画像SLにおける各ピクセル画像(例えば、図1における部分P1、P2およびP3)の露光レベルは、変調器120の起動される光変調素子の数および位置を制御することによって変更され、これにより、各ピクセル画像を発生すべく結合される変調光118Bの量および位置が制御される。この手法は、システム100が、マルチレベル(グレースケール)の画像露光特性を提供すべく高い光学解像度を用いて画像形成面に渡るレーザビームを走査しながら高出力レーザを変調する代わりに、画像形成面162上へ変調光を集束すべく比較的低出力の光源を変調しかつ比較的低い光学解像度の画像形成システムを利用することによりライン画像SLの全ての位置において同時にマルチレベル画像露光を提供することにおいて、従来のレーザROSの動作を凌ぐ著しい改良をもたらす。即ち、拡張された二次元領域に渡って広げられる均質光を利用することにより、所定の領域に渡る(例えば、各変調素子125−11から125−34までの領域に渡る)光の強度(ワット/cm2)は、空間光変調器120を形成すべく低コストの光学ガラスおよび反射防止コーティングを利用できるように、受け入れ可能なレベルまで低減され、よって製造コストが低減される。
【0035】
マルチレベル画像露光は、システム100により、アナモルフィック光学系により画定される工程方向に略位置合わせされる光変調素子のグループを形成し、各変調素子グループを空間光変調器に書き込まれるライン画像データグループの関連するピクセル画像データ部分に従って構成し、次いで、ライン画像SLの高輝度ピクセル画像部分を形成すべく結果的に生じる細長いピクセル画像をアナモルフィック光学系130を利用して工程方向に画像化しかつ集中させることによって達成される。例えば、変調器120は、変調素子列C1からC3が光学系130により画定される工程方向に対して平行に位置合わせされるように配列される。各変調素子グループは、列C1からC3までに配置される素子から成り、この場合、グループG1は列C1の素子125−11から125−14までを含み、グループG2は列C2の素子125−21から125−24までを含みかつグループG3は列C3の素子125−31から125−34までを含む。各グループ/列により効果的に発生される画像は、工程方向へ「延伸された」(長くされた)ピクセル画像を形成する。光学系130は、変調光部分を工程方向に集中させることによってライン画像SLの各ピクセル画像を発生することから、各ピクセル画像のグレースケール特性は、工程(Y軸)方向に位置合わせされる対応する数の変調素子を構成することによって制御されることが可能である。コントローラ180を利用して各ピクセルの画像データ部分のグレースケール値を解明し、かつ対応する制御データをそのピクセル画像データ部分に関連づけられる変調素子グループの制御セルへ書き込むことにより、ライン画像SLの各ピクセル位置に適切なピクセル画像が発生される。
【0036】
図1は、3つの露光レベル、即ち「完全にオン」、「完全にオフ」および「部分的にオン」を用いるマルチレベル画像露光を示す。図1および図2に示されている単純化された例において、ピクセル画像データ部分PID1は(第1の)値「完全にオン」を有し、これにより、コントローラ180は、関連する変調素子グループG1の全ての変調素子125−11から125−14が起動される(即ち、(第1の)変調「オン」状態へと設定される)ように、ピクセル画像データ部分PID1を変調器120の制御回路126へ書き込む。素子125−11から125−14が起動されていることから、光部分118A−11から118A−14は、変調光場119Bの変調光部分118B−11から118B−14が光学系130上へ方向づけられるように、素子125−11から125−14を通過する。同様に、ピクセル画像データ部分PID2は(第2の)値「完全にオフ」を有し、よって素子125−21から125−24は、素子125−21から125−24上へ方向づけられる均質光118Aが光学系130へ到達することを妨げられる(即ち、阻止される、または配向し直される)ように非活性化され、これにより、画像形成面162上の第2の画像形成領域部分167−2に光ピクセル画像P2が最小(暗)画像「スポット」として発生される。最後に、ピクセル画像データ部分PID3のグレースケール値は「部分的にオン」であり、これは、素子125−32および125−33が起動されかつ素子125−31および125−34が非活性化されて均質光部分を素子125−32から125−33を介してのみ通過させ、これにより、画像形成面162の第3の画像形成領域部分167−3にピクセル画像P3が明るい小さな「スポット」として形成されるように素子125−31から125−34を設定することによって達成される。
【0037】
上述のシステムおよび方法を用いる二次元画像の生成は、画像形成面162を周期的または連続的に工程(Y軸)方向に移動させること、および各画像形成段階の後に空間光変調器120を設定し直すことを必要とする。例えば、図1に示されているように、ライン画像データグループLIN1を用いてライン画像SLが発生されると、表面162は上へ移動され、かつ第2の画像形成段階が次の順番のライン画像データグループを変調器120へ書き込むことによって実行され、これにより、第2のライン画像がライン画像SLの下に発生される。光源110は、場合により画像形成段階間でトグルされ、または、画像形成動作の全ての画像形成段階を通じて絶えず「オン」状態に保持される。このプロセスを画像データファイルIDの全てのライン画像データグループLIN1〜LINnについて反復することにより、画像データファイルIDにより表現される二次元画像が画像形成面162上に発生される。
【0038】
本発明の代替実施形態によれば、空間光変調器は、米国テキサス州ダラス所在のTexas Instruments社から入手可能なデジタル光処理(DLP(登録商標))チップ等のデジタル・マイクロミラー・デバイス(DMD)、米国コロラド州ラファイエット所在のBoulder Nonlinear Systems社から入手可能なLinear Array Liquid Crystal Modulator(リニアアレイ液晶変調器)等の電子光学回折変調器アレイ、または二酸化バナジウム反射または吸収鏡素子等の熱光学吸収素子のアレイを含む、市販のデバイスを用いて実装される。今日、多くの印刷/走査用途は、10:1を超える高い画像コントラスト比を有する1200dpi以上の解像度、小さいピクセルサイズおよび30kHzを超える高速表示行指定機構を必要とし、よって、現時点で好ましい空間光変調器は、その最良の総合性能に起因してDLP(商標)チップである。
【0039】
図5は、複数の微小電気機械式(MEM)ミラー機構125Gで構成される変調素子アレイ122Gを含むDMD式空間光変調器(DMD)120Gの一部を示す。変調素子アレイ122Gは、Texas Instruments社によって販売されるDMDと一致し、MEMミラー機構125Gは、半導体基板124G上の長方形アレイ内に配列される。ミラー機構125Gは、ミラー125Gの下に配置される制御回路126Gによって制御される。Texas Instruments社によって販売されるDMDは、典型的にはデバイス当たり数十万個のミラーを含む。
【0040】
図6は、DMDアレイ122Gの例示的なミラー機構125G−11を示す。ミラー機構125G−11は、基板124Gの上面で最上層210と、中央領域220と、下方領域230とに分割される。最上層210は、アルミニウムで製造されかつ典型的には約16マイクロメートル幅である正方形または長方形のミラー(光変調構造体)212を含む。中央領域220は、2つの弾性ねじりヒンジ224によって支持プレート225へ接続されるヨーク222と、1対の高架電極227および228とを含む。下方領域230は、電極プレート231および232と、バイアスプレート235とを含む。ミラー機構125G−11は、制御回路126Gにより発生される制御信号127G−1により2つのデータ状態のうちの何れかを格納するように制御される関連のSRAMメモリセル240によって制御される。
【0041】
下方領域230は、めっき層をエッチングすること、または別段でメモリセル240を覆う基板124G上へ形成されるパッシベーション層上に金属パッドを形成することによって形成される。電極プレート231および232は各々、バイアス制御信号127G−2、または金属バイアによってメモリセル240により格納される相補的なデータ信号DおよびDバーの何れかを受信するように接続される。
【0042】
中央領域220は、MEMS技術を用いて下方領域230の上に配置され、ヨーク222は、弾性ねじりヒンジ224によって支持プレート225により移動可能式(回動可能式)に接続されかつ支持される。支持プレート225は、バイアスプレート235の上に配置され、かつバイアスプレート235の領域236上へ固定的に接続される支持ポスト226によってバイアスプレート235へ電気的に接続される。電極プレート227および228は、同様に、各々電極プレート231および232の上に配置され、かつ電極プレート231および232の領域233上へ固定的に接続される支持ポスト229によって電極プレート231および232へ電気的に接続される。ミラー212は、ヨーク222の中央領域223上へ付着されるミラーポスト214によってヨーク222へ固定的に接続される。
【0043】
図7(A)から図7(C)は、動作中のミラー機構125G−11を示す。図7(A)は、受け入れられる光部分118A−Gが第1の角度θ1でミラー212を去る反射(変調)光部分118B−G1になる、第1の(例えば、「オン」)変調状態におけるミラー機構125G−11を示す。変調「オン」状態を設定するために、SRAMメモリセル240は、出力信号Dが電極プレート231および高架電極227へ送られる高電圧(VDD)を含み、かつ出力信号Dバーが電極プレート232および高架電極228へ送られる低電圧(接地)を含むように、あらかじめ書き込まれたデータ値を格納する。これらの電極は、ミラーの位置を静電気引力によって制御する。電極プレート231および232により形成される電極対はヨーク222へ作用するように位置合わせされ、かつ高架電極227および228により形成される電極対はミラー212に作用するように位置合わせされる。ほとんどの時間、ヨーク222の両側へは等しいバイアス電荷が同時に印加され、バイアス制御信号127G−2が電極プレート227および228および高架電極231および232の双方へ印加される。中央位置へ反転する代わりに、予期されるように、ミラー122と高架電極231/電極プレート227との間の引力はミラー122と高架電極232/電極プレート228との間の引力より大きいことから、この等しいバイアスは実質的にミラー122をその現行の「オン」位置に保持する。
【0044】
ミラー212を「オン」位置から「オフ」位置へ移動させるために、必要とされる画像データビットが、制御信号127G−1によってSRAMメモリセル240へロードされる。図7(A)で示されているように、バイアス制御信号はディアサートされ、これにより、D信号がSRAMセル240から電極プレート231および高架電極227へ送信され、かつDバーがSRAMセル240から電極プレート232および高架電極228へ送信され、これにより、ミラー212は図7(B)に示されている「オフ」位置へ移動され、これにより、光部分118A−Gはミラー212を第2の角度θ2で去る反射光部分118B−G2になる。続いて、バイアス制御信号127G−2が復元されると、図7(C)で示されているように、ミラー212は「オフ」状態に保持され、次の必要な動作のメモリセル240へのロードが可能になる。
【0045】
図7(A)から図7(C)で示されているように、ミラー機構125G−11の回動ねじり軸によって、ミラー212は、対角軸を中心としてDLPチップハウジングのx−y座標に対し相対回転する。この対角的な傾斜により、画像形成システム内の空間光変調器から受け入れられる入射光部分は、光の出射角がDLPチップの表面に対して垂直となるように、各ミラー機構125G上へ合成入射角で投影される必要がある。この要件は、画像形成システムの隣り合わせの配置を複雑にする。
【0046】
図8は、「折り畳まれた」配置のDMD120Hおよび単純化されたアナモルフィック光学系130Hを利用する画像形成システム100Hを示す斜視図である。DMD120Hは、均質光場119Aの入射する均質光部分118Aが、DMD120Hの関連するMEMミラー機構125Hが「オン」である場合に光学系130Hへ向かって反射されるか、関連するMEMミラー機構125Hが「オフ」である場合に光学系130Hから遠方へ(例えば、ヒートシンク上へ)反射されるかのいずれかであるように、均質光発生器110Hおよび光学系130Hに対してある合成角で位置合わせされる。即ち、均質光発生器110Hから空間光変調器120Hの関連するMEMミラー機構125H上へ方向づけられる均質光場119Aの各光部分118Aは、(例えば、図7(A)を参照して先に述べたように)関連のMEMミラー機構125Hが「オン」位置にある場合にのみ、関連のMEMミラー機構125Hからアナモルフィック光学系130へ反射される。逆に、「オフ」位置にある各MEMミラー機構125Hは、関連する光部分118Bを、関連する光部分118Bをアナモルフィック光学系130Hから遠方へ方向づける角度で反射する。
【0047】
システム100Hは、アナモルフィック光学系130Hが、ドラムシリンダ160H上に発生される2つのライン画像の位置および左から右への順序が効果的に「反転される」ように、変調光場119Bを工程方向および工程横断方向の双方へ反転させることによって特徴づけられる。図8の左下部分は、DMD式空間光変調器120Hの正面図を示し、かつ図8の右下部分は、画像形成面162Hの細長い画像形成領域167Hの正面図を示す。左下の図は、変調素子列C1が第1のピクセル画像データ部分PID11により制御される第1の変調素子グループG1を形成することを示す。同様に、残りの光変調素子列は、ライン画像データ部分LIN11の残りのピクセル画像データ部分を実装する対応する変調素子グループを形成する。変調素子グループG1〜G8は、空間光変調器120Hへ「上下逆および逆行」式に書き込まれることに留意されたい。サブ光学系133Hは、ピクセル画像データPID11により構成される光変調素子が細長い画像形成領域167Hの右側にピクセル画像P11を発生し、かつピクセル画像データPID18により構成される光変調素子が細長い画像形成領域167Hの左上側にピクセル画像P18を発生するように、均質光場119Aを反転する。さらに、サブ光学系137Hは、(反転されない)ピクセル画像部分(ピクセル画像データビットPID111を実装する変調素子により発生される)が細長い画像形成領域167Hの左上部分に現出し、かつ(反転されない)ピクセル画像P188(ピクセル画像データビットPID188を実装する変調素子により発生される)が細長い画像形成領域167Hの右下部分に現出するように、変調光場119Aを反転する。
【0048】
マルチレベル画像露光は、工程方向に略位置合わせされるDMD120HのMEMミラー機構グループを、「部分的にオン」のピクセル画像が関連するMEMミラー機構グループの中央領域に配置される連続的なMEMミラー機構を起動することによって実装されるように構成することにより、システム100Hを用いて達成される。例えば、変調素子グループG1は列C1内に配置される素子125Hより成り、グループG1はデータ部分PID11によって、変調素子の全てが「オン」であり、よってピクセル画像P11が最大の明るさを有するように構成される。同様に、変調素子グループG8は列C8内に配置される変調素子125Hより成り、グループG8はデータ部分PID18によって、変調素子の全てが「オフ」であり、よって画像形成面162H上に暗いピクセル画像P18が生成されるように構成される。MEMミラー機構の残りのグループ(列)は、3つの例示的なグレースケール値「部分的にオン」を用いて構成され、グループG2はグレースケール値「ほとんどオン」のピクセル画像データ部分PID12によって構成され、グループG7はグレースケール値「かろうじてオン」を有しかつグループG5はグレースケール値「中位のオン」を有する。
【0049】
図9、図10(A)、図10(B)および図10(C)は、動作中の図8のシステム100Hを示す略側面図である。
【0050】
図9は、DMD120Hの例示的な変調素子グループG2がデータグループPID12によって構成される場合のシステム100H(T1)(即ち、時間T1におけるシステム100H)を示す。具体的には、図9は、MEMミラー機構125H−22から125H−27までが起動されかつMEMミラー機構125H−21および125H−28が非活性化されるようにしてピクセル画像データ部分PID12を用いる変調素子125H−21から125H−28までの構成を描いている。
【0051】
図9の右側を参照すると、画像転写動作を実装するために、システム100Hはさらに、画像形成領域の上流側のあるポイントで画像形成面162H上へ湿し溶液192を塗布する液体源190と、画像形成領域の下流側のあるポイントでインク材料197を塗布するインク源195とを含む。転写機構は、インク材料197を標的である印刷媒体へ転写し、かつクリーニング機構198は、次の露光サイクルのために画像形成面162Hを準備する。
【0052】
MEMミラー機構125H−22から125H−27は、その起動された構成状態に起因して、変調光部分118B−21から118B−27がアナモルフィック光学系130Hを介して方向づけられるように均質光場119Aの一部を反射する。変調光部分118B−21から118B−27は、アナモルフィック光学系130Hによって画像化されかつ集中される変調光場119Bを形成し、これにより、画像形成面162H上の細長い画像形成領域167H−1内にライン画像SL1の一部を形成するピクセル画像P12を生成する画像化されかつ集中された変調光場119C2が発生される。変調光部分118B−21から118B−27によって形成される関連の集中光は、細長い画像形成領域167H−1から湿し溶液192を除去(気化)する。ピクセル画像P21のサイズ(即ち、画像形成面162Hから除去される湿し溶液の量)は、起動されるMEMミラー機構の数によって決定される。
【0053】
図10(A)、図10(B)および図10(C)は、時間T1に続く変調器120Hが非活性化される時間における画像形成システム100Hを示して、表面機能P12が引き続いてどのように利用されるかを示している。時間T2における図10(A)では、ドラムシリンダ160Hが回転し、表面領域162H−1は既に、インク外形TFを形成すべくインク材料197が露光された表面領域162H−1に付着するインク源195の下を通過している。時間T3における図10(B)では、インク外形TFが転写ポイントを通過しつつあり、表面領域162H−1との接着の弱さ、および印刷媒体(不図示)への引力の強さに起因してインク外形TFは印刷媒体へ転写され、結果的に、印刷媒体上へ印刷されるインク内に「ドット」が生じる。時間T4における図10(C)では、表面領域162H−1は、後続の露光/印刷サイクル用に表面領域162H−1を準備するクリーニング機構198の下を回転される。したがって、インク材料は、(湿し溶液192へではなく)先に述べた画像形成プロセスによって露光される画像形成面162Hの一部上へのみ転写し、これにより、インク材料は、集中光に曝されるドラムローラ160Hの一部からのみ印刷媒体へ転写される。したがって、従来のシステムの場合のようなプレートからの不変データではなく、湿し溶液除去からの可変データが転写される。このプロセスの場合、ラスタ化光源(即ち、スキャンラインと交差して前後にラスタ化される光源)を用いて動作するためには、湿し溶液をリアルタイムで除去するに足る単一の超高出力光(例えば、レーザ)源が必要になると思われる。
【0054】
図11から図14および図16から図19を参照して後述する特有の実施形態は各々、先に述べた様々な単一パス画像形成システムにおいて(即ち、単一パス画像形成システムを参照して述べている単純化された光学系の代わりに)利用されてもよい。
【0055】
図11および図12は、全屈折アナモルフィック光学系130Jを示す略平面図および略側面図である。アナモルフィック光学系130Jは、例示的な一用途を示すために、変調器120Jと画像形成面162Jとの間に描かれている。
【0056】
図11および図12を参照すると、アナモルフィック光学系130Jは、視野レンズ132Jと、工程横断サブ光学系133Jと、工程サブ光学系137Jとを含む。サブ光学系133Jは、画像形成面162J上へ変調光場119Bを工程横断方向へ図11に示されているレイトレース(破線)ラインに一致して画像化すべく協働的に成形されかつ配置される二重円柱/非円柱レンズ素子134Jおよび135Jを含む。二重レンズ素子134Jおよび135Jは、工程横断方向に対して平行である中立軸またはゼロ出力軸沿いを中心とする、かつライン画像SLが画像形成面162J上で工程方向に予め決められた長さを有するように分離して位置合わせされる一定の湾曲形状を有する光学表面を有する。任意選択のコリメートする視野レンズ132Jは、二重レンズ素子134Jおよび135J間の1点で光を工程横断方向に収束するように位置合わせされかつレンズ素子134Jと協働的に形成され、よって開口Y停止装置の使用を有効化する工程横断方向の円柱/非円柱レンズである。また、視野レンズ132Jは、空間光変調器120Jの表面から離れて僅かに拡散しつつある光部分をコリメートする働きもする。サブ光学系137Jは、図12におけるレイトレース・ラインにより示されているように、画像形成面162J上へ変調光場119Bを工程方向に画像化しかつ集中させるように協働的に成形されかつ位置合わせされる二重レンズ素子138Jおよび139Jを含む。
【0057】
表1は、光学系130Jの各光学素子の対向する表面の光学処方を示している。以下で記載する全ての表において、光学系入力(光源)に面する各素子の表面は「S1」と称され、かつ光学系出力に面する各素子の表面は「S2」と称される。例えば、「132J:S1」は、空間光変調器120Jに面する視野レンズ132Jの表面を指す。曲率値の単位は1/ミリメートル、かつ厚さの値の単位はミリメートルである。光源(即ち、空間光変調器120Jの表面)および標的表面(即ち、画像形成面162J)は共に、記載された処方に関しては平面であるものとされていることに留意されたい。この光学処方は、光波長980nmも想定している。光学系は結果的に、工程横断方向倍率1.4を有する。
【表1】
【0058】
図13および図14は、全屈折アナモルフィック光学系130Kを示す。アナモルフィック光学系130Kは、視野レンズ132Kと、工程横断サブ光学系133Kと、工程サブ光学系137Kとを含む。サブ光学系133Kは、図13におけるレイトレース・ラインにより示されているようにして画像形成面162K上へ変調光場119Bを工程横断方向に画像化するように協働的に成形されかつ配置されるレンズ素子134K、135Kおよび136Kを含む。視野レンズ132Kは、変調器120Kとレンズ素子134Kとの間に位置合わせされる円柱/非円柱レンズであり、かつ開口Y停止装置のサブ光学系133Kのレンズ素子135Kと136Kとの間の位置決めを有効化するように成形されかつ位置合わせされる。サブ光学系137Kは、図14に示されているように、変調光場119Bを工程方向に画像化しかつ集中させるように成形されかつ配置される円柱/非円柱レンズ素子138Kを含む。表2は、光学系130Kの各光学素子の対向する表面の光学処方を示している。この光学処方は、光波長980nmを想定し、かつ、光学系は結果的に、工程横断方向倍率0.0725を有する。
【表2】
【0059】
図15は、発生器110PおよびDMD120Pを利用する画像形成システム100Pを示す。DMD120Pは、コントローラ180Pから送信される画像データに応答して変調光場119Bを発生するために、光発生器110Pに対してある合成角で位置合わせされる。システム100Pは、ドラムローラ160Pの画像形成面162P上へライン画像SL1を発生するために単純化された反射屈折アナモルフィック光学系130Pを利用することにおいて、これまでの実施形態とは異なる。即ち、先に述べた全屈折アナモルフィック光学系とは異なり、反射屈折アナモルフィック光学系130Pは、1つまたは複数の円柱/非円柱レンズにより形成される工程横断サブ光学系133Pと、1つまたは複数の円柱/非円柱鏡により形成される工程サブ光学系137Qとを含む。工程方向の歪に起因して、二次元光場119Bが工程方向よりも工程横断方向へ遙かに広い画像形成システムについては、反射屈折アナモルフィック投影光学系の方が適する。また、反射屈折アナモルフィック光学系アーキテクチャは、工程横断方向沿いに全屈折系のそれより低いレベルの矢状像面湾曲も提供し、これにより、先に示されかつ記述された正方形または長方形の変調光場の画像形成が促進される。
【0060】
図16および図17は、第1の反射屈折アナモルフィック光学系130Qを示す略平面図および略側面図である。光学系130Qは、変調器120Qと表面162Qとの間に光路を形成するものとして描かれている。アナモルフィック光学系130Qは、視野レンズ132Qと、工程横断サブ光学系133Qと、工程サブ光学系137Qとを含む。サブ光学系133Qは、図16におけるレイトレース・ラインにより示されているように変調光場119Bを工程横断方向に画像化するように協働的に成形されかつ配置されるレンズ素子134Q、135Qおよび136Qを含む。視野レンズ132Qは、レンズ素子135Qと136Qとの間に開口停止装置を位置決めすることを有効化するように成形されかつレンズ素子134Qおよび135Qと共に位置合わせされる工程横断方向の円柱/非円柱レンズである。サブ光学系137Qは、画像形成面162Q上へ変調光場119Bを工程方向に画像化しかつ集中させるように成形されかつ配置される分離された折り畳み(平面)鏡138Qおよび円柱/非円柱鏡139Qを含む。表3は、反射屈折アナモルフィック光学系130Qの各光学素子の対向する表面の光学処方を示している。この光学処方は、光波長980nmを想定し、かつ、光学系は結果的に、工程横断方向倍率0.33を有する。
【表3】
【0061】
図18および図19は、視野レンズ132Rと、工程横断サブ光学系133Rと、工程サブ光学系137Rとを含む第2の反射屈折アナモルフィック光学系130Rを示す。サブ光学系133Rは、図18に示されているように、画像形成面162R上へ変調光場119Bを工程横断方向に画像化するように協働的に成形されかつ配置される円柱/非円柱レンズ素子134R、135Rおよび136Rを含む。視野レンズ132Rは、レンズ素子135Rと136Rとの間に開口停止装置を位置決めすることを有効化するように成形されかつ位置合わせされる工程横断方向の円柱/非円柱レンズである。サブ光学系137Rは、図19に示されているように、画像形成面162R上へ変調光場119Bを工程方向に画像化しかつ集中させるように成形されかつ配置される円柱/非円柱鏡138Qおよび139Qを含む。表4は、反射屈折アナモルフィック光学系130Rの各光学素子の対向する表面の光学処方を示している。この光学処方は、光波長980nmを想定し、かつ、光学系は結果的に、工程横断方向倍率0.44を有する。
【表4】
【0062】
本発明は、線形である光路を有する(図1参照)、または1つの折り畳みを有する(図8参照)ものとして示されているが、当業者には、任意数の任意の光路に沿って折り畳みを含む他の配置が企図されてもよい。さらに、高エネルギーライン画像を発生するための上述の方法は、本明細書に記述されているもの以外のデバイスを用いて達成されてもよい。
【技術分野】
【0001】
本発明は、例えば、高速プリンタに利用される画像生成システム、および特にアナモルフィック投影光学系を含む単一パス高速画像生成システムに関する。
【背景技術】
【0002】
レーザ画像形成システムは、電子写真印刷、マスク付きおよびマスクレス・リソグラフィ・パターニング、表面のレーザダル加工およびレーザ切断機などの用途において、画像を発生させるために広範囲に渡って用いられる。レーザプリンタは、ポリゴンスキャナまたはガルボスキャナを利用することによって工程方向と直角にレーザを掃引するラスタ光学スキャナ(ROS:raster optical scanner)をしばしば用い、一方で切断用途に対して、レーザ画像形成システムは、フラットベッド型x−yベクトルスキャニングを用いる。
【0003】
レーザROS手法の制約のうちの1つは、画像解像度とライン画像の横方向の広がりとの間に設計上のトレードオフが存在することである。これらのトレードオフは、ライン画像の両極端における画像面の湾曲等の光学性能の制限から生じる。実際には、単一のガルバノメータまたはポリゴンスキャナを用いて、一列20インチの画像形成幅全体で1200dpiの解像度を達成することは極めて困難である。さらに、単一のレーザヘッドによる電動式x−yフラットベッドアーキテクチャは、広範囲の領域にとっては理想的であるが、最高速の印刷工程にとっては時間がかかりすぎる。
【0004】
こうした理由により、広い幅の電子写真法にとって、最大20インチ幅までのモノリシックの発光ダイオード(LED)アレイには、画像形成上の利点がある。残念ながら、現在のLEDアレイは、ピクセル当たり10ミリワットの出力レベルを提供することができるだけであり、したがって電子写真法などの一部の非熱画像形成用途に役立つだけである。さらに、LEDバーは、経年劣化差および性能差を広げる。単一のLEDが故障すると、LEDバー全体を差し換える必要がある。他の多くの画像形成またはマーキング用途には、より高い出力が必要である。例えば、レーザダル加工、または切断用途は、10W〜100Wの範囲の出力レベルを必要とすることがある。したがって、LEDバーをこれらの高出力用途に用いることはできない。また、ずらして配置された2行以上のヘッドを用いることなくLEDをより高速度または1200dpiを上回る解像度にまで拡張することも困難である。
【0005】
100ミリワット〜100ワットの範囲にある、より高出力の半導体レーザアレイは存在する。ほとんどの場合、これらは全幅で大略1cmのレーザ・ダイオード・バーなどの1Dアレイ形式で存在する。高出力向け光源の別のタイプは、2D面発光VCSELアレイである。しかしながら、これらの高出力レーザ技術のいずれも、最隣接間のレーザピッチを600dpi以上の画像形成解像度に適合可能にはしない。加えて、これらの技術のいずれも、各レーザの個々の高速度制御を可能にはしない。したがって、高出力オーバヘッド投影画像形成システムなどの高出力用途は、Texas Instruments社のDLP(商標)チップまたは液晶アレイなどの空間光変調器と組み合わせたレーザなどの高出力源を用いる場合が多い。
【0006】
先行技術は、画像形成システムが、並んでアレイ構成にされれば重なり合った投影画像を形成すべく使用されることが可能であり、この場合、重なり合いは、複数の画像パターンをつなぎ合わせて1つの途切れのないパターンにするソフトウェアを用いてより大きい画像を形成することができることを示している。このことは、PCボード製造並びにディスプレイシステム用などの、多くのマスクレス・リソグラフィ・システムにおいて示されてきた。従来、高解像度用途向けのこのようなアレイ構成の画像形成システムは、連続的な高解像度画像を互いに繋ぎ合わせるために、2行の画像形成サブシステムまたは二重通過スキャン構成の何れかを用いなければならないように配列されていた。これは、サブ光学系の寸法上、ハードウェアに物理的制約があるためである。画像形成する二重の行構成は、依然として、基板を一方向に移動させる運搬機を用いて途切れなく繋ぎ合されることが可能であるが、このようなシステムは、大量の追加のハードウェア設置場所および各画像形成行間の精度調整を必要とする。
【0007】
マスクレスリソグラフィ用途の場合、画像形成されるフォトレジストの露光と現像との間の時間は決定的に重要とは言えず、したがって単一のラインに沿ってフォトレジストに画像を形成しても、すぐに露光する必要はない。しかしながら、露光と現像との間の時間は、決定的に重要となることがある。例えば、電子写真式レーザ印刷は、時間とともに自然に減衰する電荷を消去することによって感光体に画像を形成することに基づいている。したがって、露光と現像との間の時間は時不変性ではない。このような状況では、露光システムが単一のラインを露光する、または一表面の間隔が狭い幾つかの隣接する高解像度ラインを一度に露光することが望ましい。
【0008】
電子写真式印刷用途に加えて、露光と現像との間の時間が決定的に重要である別のマーキングシステムが存在する。一例は、当初Carleyにより「FOUNTAIN SOLUTION IMAGE APPARATUS FOR ELECTRONIC LITHOGRAPHY(電子リソグラフィ用の湿し水画像装置)」と題する米国特許第3,800,699号明細書において開示された、レーザベースの可変データ・リソグラフィ・マーキング技法である。標準的なオフセットリソグラフィ印刷では、疎水性の画像形成領域および親水性の非画像形成領域を有する静的な画像形成プレートが作成される。水ベースの湿し溶液の薄層はプレートを選択的に湿潤し、かつ油ベースのインクを選択的に拒絶する撥油層を形成する。米国特許第3,800,699号明細書に開示された可変データ・リソグラフィ・マーキングでは、レーザを用いて湿し溶液をパターン切除し、可変画像領域をオン・ザ・フライで形成することができる。このようなシステムでは、湿し溶液の薄層も、周囲空気への圧力の自然な部分的気化が原因で時間とともに厚さが低減する。したがって、画像を形成するレーザ切除ステップのどの時点でも湿し液の膜厚が同じであるように、単一の画像形成パスステップにおいて単一の連続的な高出力レーザ画像形成ラインパターンを形成することも効果的である。しかしながら、大部分のアレイ構成の高出力高解像度画像形成システムの場合、ハードウェアおよび空間光変調器を囲むパッケージングは、通常、途切れのない連続的なラインパターンの画像形成を妨げる。さらに、ダル加工、リソグラフィ、コンピュータ・トゥ・プレート製作、広領域型抜きまたは熱ベース印刷もしくは他の新規な印刷用途などの、レーザ画像形成の多くの領域にとって必要なものは、20インチを越える広い工程幅に渡って拡張可能であると同時に600dpi以上の達成可能解像度、1200dpi以上のピクセルポジショニング解像度またはアドレス可能度を有しかつ単一パスで高解像度、高速度の画像形成を可能にする、1ワットレベルを十分に上回る高い総光パワーを有するレーザベースの画像形成技法である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0009】
【特許文献1】米国特許第3,800,699号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0010】
本発明は、画像形成面上で工程横断(例えば、水平)方向に位置合わせされる略一次元の高輝度ライン画像を形成するために、比較的低輝度の変調光場をアナモルフィックに画像化しかつ集中させるべくアナモルフィック光学系を利用する画像形成システムに関する。変調光場は、ライン画像の各ドット様「ピクセル」(画像部分)が工程(例えば垂直)方向へ拡張される「延伸された」ライン画像を効果的に形成する低輝度の光部分で構成される。アナモルフィック光学系は、画像形成面に一次元ライン画像が投影されるように変調光場を画像化しかつ集中させるべく動作可能式に位置合わせされかつ配置される1つまたは複数の細長い湾曲した光学素子(例えば、円柱/非円柱レンズおよび/または円柱/非円柱鏡)を利用する。即ち、細長い湾曲した(円柱/非円柱)光学素子の動作可能な光学(即ち、反射または屈折)面は、中立軸またはゼロ出力軸沿いを中心とする一定の湾曲した外形を有し、これにより、細長い光学素子によって集中される光は画像形成面上でライン画像の長さ全体に沿って等しく集中される。アナモルフィック光学系を利用して低輝度の変調光場を集中させることにより、高い合計光強度(即ち、約数百ワット/cm2オーダーの束密度)がライン画像の全体長さに沿って同時に発生され、これにより、あらゆるドット様ピクセル画像が同時に発生される(即ち、任意の所定の瞬間にライン画像の1点へ高出力を印加するだけのラスタリング系と対照的)。高輝度のライン画像全体を同時に発生することにより、本発明は、例えば単一パス高解像度高速印刷用途に使用されることが可能な高信頼でしかも高出力である画像形成システムを促進する。
【課題を解決するための手段】
【0011】
本発明の代替実施形態によれば、アナモルフィック光学系は、専ら工程方向の円柱/非円柱屈折光学素子を用いるか、1つまたは複数の工程方向の円柱/非円柱反射(例えば、鏡)光学素子を含む反射屈折光学系を用いるかの何れかによって実装される。全屈折光学系の実施形態では、円柱または非円柱屈折面を有する1つの集束レンズまたは2つの集束レンズの何れかが、画像形成面上へ変調光場を工程方向に集中させるために利用される。反射屈折アナモルフィック光学系の実施形態では、円柱または非円柱反射面を有する1つの集束鏡または2つの集束鏡の何れかが、画像形成面上へ変調光場を工程方向に集中させるために利用される。工程方向の歪に起因して、光場が工程方向よりも工程横断方向へ遙かに広い画像形成システムについては、反射屈折アナモルフィック投影光学系の方が適する。また、反射屈折アナモルフィック光学系アーキテクチャは、工程横断方向沿いに全屈折系のそれより低いレベルの矢状像面湾曲も提供し、これにより、著しくより二次元的な(例えば、正方形または長方形)変調光場の高品質画像形成が促進される。
【0012】
本発明の一実施形態によれば、アナモルフィック光学系は、工程横断サブ光学系および工程方向サブ光学系の双方を含む。工程横断サブ光学系は、入力される二次元光場と工程方向サブ光学系との間に配置され、二次元変調光場を工程横断方向に画像化する1つまたは複数の円柱/非円柱レンズを含む。特有の代替実施形態では、工程方向サブ光学系は、所望される工程横断画像形成を達成するように配列される二重レンズ素子または三重レンズ素子の何れかを含む。この配列は、略無制限の長さのスキャンラインを有する集合体を生成するために隣接する光学系と結合される(重複領域といっしょに「繋ぎ合わされる」または混ぜ合わされる)ことが可能な幅広のスキャンラインを発生することを容易にする。別の実施形態では、工程横断サブ光学系と二次元光場源との間にコリメートする工程横断方向円柱/非円柱視野レンズが配置されかつ二重または三重レンズ素子間に開口ストップを位置決めすることを有効化するように位置合わせされ、これにより、少数の単体レンズを用いる収差の効率的な補正が有効化され、かつ二重/三重レンズ素子のサイズが最小化される。工程サブ光学系は工程横断サブ光学系と画像形成面(即ち、光学系出力)との間に位置決めされ、かつ単体工程方向光学(例えば、鏡またはレンズ)素子または、光場を工程方向へ先に述べた方法に一致する方法で画像化しかつ集中させる働きをする二重工程方向光学(例えば、鏡またはレンズ)素子の何れかを含む。
【0013】
本発明の一実施形態によれば、本画像形成システムは、均質光発生器および空間光変調器を利用してアナモルフィック光学系へ二次元変調光場を投影する。ある特有の実施形態によれば、均質光発生器は、均質な光場を形成するために少なくとも1つの低出力光源と、この光源により発生される光ビームを均質化する光ホモジナイザとを用いる。空間光変調器は、各光変調素子が対応する低輝度均質光部分を受け入れ、かつ受け入れたその均質光部分をアナモルフィック光学系へと方向づける(例えば、通す、または反射する)、または受け入れたその光部分をアナモルフィック光学系へ届かないように妨げる(例えば、阻む、または遠方へ方向づける)、の何れかであるように均質な光場内に位置合わせされる、個々に構成可能な光変調素子の二次元アレイを含む。均質光を、アナモルフィックに投射し、かつ集中させる前にこのようにして変調することにより、本発明は、任意の所定の瞬間にライン画像の1点に高出力を印加するだけのラスタリング系とは対照的に、画像形成領域全体に沿って高出力ライン画像を同時に生成することができる。
【0014】
ある実施形態において、アナモルフィック光学系は、画像形成面にライン画像を形成する集中された光部分が光場を形成する個々の光部分の光強度の少なくとも2倍の光強度を有するように、二次元光場を形成する変調光部分を工程方向へ画像化しかつ集中させる。比較的低出力の均質光は、多数の変調素子上に広がり、かつ単に画像形成面において高輝度を達成するだけであることから、本発明は、デジタル・マイクロミラー・デバイス(DMD)、電子光学回折変調器アレイまたは熱光学吸収体素子アレイ等の低コストである市販の空間光変調デバイスを用いて製造されることが可能である。即ち、ホモジナイザを利用して、拡張された二次元領域に渡って高エネルギレーザ光を広げることにより、所定の領域に亘る(例えば、各変調素子の領域に亘る)光の強度(ワット/cc)は、向上された出力調整ケイパビリティを有する空間光変調器を形成すべく低コストの光学ガラスおよび反射防止コーティングを利用できるように、受け入れ可能なレベルまで低減される。また、光を一様に拡散させることも、点欠陥(例えば、微視的塵粒またはかき傷)の全光透過損失に与える負の画像形成効果を排除する。
【0015】
本発明の一態様によれば、空間光変調器は、二次元アレイに配列される複数の光変調素子と、各変調素子の光変調構造体が予め決められたライン画像データに従って「オン」(第1の)変調状態と「オフ」(第2の)変調状態との間で調整可能であるように、変調素子を個々に制御するためのコントローラとを含む。各光変調構造体は、均質光の関連部分をその変調状態に従って通す、または妨げる/配向し直すように配置される。変調素子のうちの1つが変調「オン」状態にあるとき、変調構造体は、関連するその変調光部分を対応する既定方向へ方向づける(例えば、素子は関連する光部分をアナモルフィック光学系へと通すか、反射する)。逆に、変調素子が変調「オフ」状態にあるとき、受信された関連する光部分は、アナモルフィック光学系へと通ることを妨げられる(例えば、光変調構造体は関連する光部分を吸収/阻止する、または関連する光部分をアナモルフィック光学系から遠方へ反射する)。
【0016】
本発明の一実施形態によれば、空間光変調器の光変調素子は行および列に配列され、アナモルフィック光学系は、各列から受信される光部分を細長いライン画像の関連する画像形成領域(「ピクセル」)上へ集中させるように配置され、即ち、所定の列における(かつ変調「オン」状態にある)全ての光変調素子から受信される集中された変調光部分は、結果的に生じる画像形成「ピクセル」が、「オン」状態にある所定の列における全ての光変調素子からの複合光であるように、アナモルフィック光学系によってライン画像の対応する同じ画像形成領域上へ方向づけられる。本発明の主要な特徴は、各光変調素子により通過される光部分がアナモルフィック光学系によって走査画像へ送達される1ピクセルのバイナリデータを表し、よって、ライン画像を作り上げる各画像形成「ピクセル」の明るさは関連する列内の「オン」状態にある素子の数によって制御される、という理解に存する。したがって、各列内に配置される複数の変調素子を個々に制御することにより、かつ各列によって通過される光を対応する画像形成領域上へ集中させることにより、本発明は、一定の(変調されない)均質光を用いるグレースケール・ケイパビリティを有する画像形成システムを提供する。さらに、各列における「オン」ピクセルグループの位置が列の上下に調整されれば、この配列は、ボウ(即ち、直線の「スマイル」)およびスキューのソフトウェアによる電子補正を容易にする。
【0017】
本発明の特有の一実施形態によれば、空間光変調器は、パッケージされた形態でデジタル光プロセッサと称される、Texas Instruments社のDLP(商標)チップを備える。この半導体チップ自体は、デジタル・マイクロミラー・デバイスまたはDMDと称される場合が多い。このDMDは、基板上に配置される微小電気機械式(MEM)ミラー機構の二次元アレイを含み、各MEMミラー機構は、コントローラにより発生される関連の制御信号に従って、第1および第2の傾斜位置間で移動可能式に支持されるミラーを含む。空間光変調器およびアナモルフィック光学系は、各ミラーが、それが第1の傾斜位置にあるときは、受信されるその関連する光部分をアナモルフィック光学系へと反射し、かつ第2の傾斜位置にあるときは、受信される関連の光部分をアナモルフィック光学系から遠方にビームダンプへ向けて反射するように、折り畳まれた配列で位置合わせされる。任意選択のヒートシンクは、第2の傾斜位置にビームダンプへ向けて配置されたミラーからの光部分を受信するように、空間光変調器に相対して固定的に位置合わせされる。コンポーネントの各々を固定された相対位置に保持するために利用されるフレームは、任意選択である。反射式DMDベースの画像形成システムの利点は、折り畳まれた光路配列が、システム設置面積の小型化を容易にすることにある。
【0018】
本発明による別の特有の実施形態によれば、DMD式空間光変調器上へ方向づけられる光源からの均質光は、画像形成ドラムシリンダ上へ方向づけられ、この場合、ドラムシリンダの外側(画像形成)表面にはダンピング(湿し)溶液がコーティングされ、かつダンピング溶液は、インク供給構造体の下を通過する前にアナモルフィック光学系からの集中された変調光を用いて選択的に気化される。DMD式空間光変調器は、MEMミラー機構の予め決められたグループが(第1の)時間周期の間に関連する画像ピクセルデータ部分のグレースケール値に従って起動され、かつ結果的に生じる変調光が、ドラム外面の細長い走査領域から湿し溶液を除去することによりライン画像を発生させるべく先に述べたようにアナモルフィック光学系によって画像化されかつ集中されるように構成される。続いて、ドラムシリンダが回転して表面領域がインク源の下を通過すると、露出された表面領域上へインク材料が置かれてインクによる外観が形成される。さらなる回転によってインクによる外観が転写ポイントを通過すると、インク材料と表面領域との接着によりインクの外観が印刷媒体へ転写され、印刷媒体上へ印刷されたインク内に「ドット」が生じる。ドラムシリンダがさらに回転すると、表面領域は、後続の露光/印刷サイクル用に表面領域を準備すべく残留インクおよび湿し溶液材料を除去するクリーニング機構の下へ移動する。
【0019】
本発明のこれらの、および他の特徴、態様および優位点は、以下の説明、添付の請求の範囲および添付の図面との関連においてより良く理解されるであろう。
【図面の簡単な説明】
【0020】
【図1】図1は、本発明の例示的な一実施形態による、アナモルフィック光学系を利用する単純な画像形成システムを示す上側面斜視図である。
【図2】図2は、本発明の一実施形態による、画像形成動作の間の図1の画像形成システムを示す略側面図である。
【図3】図3は、本発明の特有の一実施形態による、図1の画像形成システムにより利用されるマルチレンズアナモルフィック光学系を示す略平面図である。
【図4】図4は、図3のマルチレンズアナモルフィック光学系を示す略上側面図である。
【図5】図5は、本発明の特有の一実施形態による、図1の画像形成システムにより利用されるDMD式空間光変調器の一部を示す斜視図である。
【図6】図6は、図5のDMD式空間光変調器に属する光変調素子をさらに詳細に示す分解斜視図である。
【図7A】図7Aは、動作中の図6の光変調素子を示す斜視図である。
【図7B】図7Bは、動作中の図6の光変調素子を示す斜視図である。
【図7C】図7Cは、動作中の図6の光変調素子を示す斜視図である。
【図8】図8は、本発明の別の特有の実施形態による、折り畳まれて配置されたDMD式空間光変調器および全屈折光学系を利用する画像形成システムを示す斜視図である。
【図9】図9は、画像形成動作の間の図8の画像形成システムを示す略側面図である。
【図10A】図10Aは、画像転写動作の間の図9の画像形成システムを示す略側面図である。
【図10B】図10Bは、画像転写動作の間の図9の画像形成システムを示す略側面図である。
【図10C】図10Cは、画像転写動作の間の図9の画像形成システムを示す略側面図である。
【図11】図11は、本発明の別の特有の実施形態による、画像形成システムにより利用される全屈折アナモルフィック光学系を示す略平面図である。
【図12】図12は、図11の全屈折アナモルフィック光学系を示す略側面図である。
【図13】図13は、本発明の別の特有の実施形態による、画像形成システムにより利用される第2の全屈折アナモルフィック光学系を示す略平面図である。
【図14】図14は、図13の全屈折アナモルフィック光学系を示す略側面図である。
【図15】図15は、本発明の別の特有の実施形態による、折り畳まれて配置されたDMD式空間光変調器および反射屈折光学系を利用する画像形成システムを示す斜視図である。
【図16】図16は、本発明の別の特有の実施形態による、画像形成システムにより利用される反射屈折アナモルフィック光学系を示す略平面図である。
【図17】図17は、図16の反射屈折アナモルフィック光学系を示す略側面図である。
【図18】図18は、本発明の別の特有の実施形態による、画像形成システムにより利用される第2の反射屈折アナモルフィック光学系を示す略平面図である。
【図19】図19は、図18の全屈折アナモルフィック光学系を示す略側面図である。
【発明を実施するための形態】
【0021】
本発明は、画像形成システムおよび関連装置(例えば、スキャナおよびプリンタ)の改良に関する。本明細書において、方向を示す「上側」、「最上」、「下側」、「垂直」および「水平」等の用語は、説明を目的として相対位置を規定するためのものであり、絶対的な基準系を指定するためのものではない。本明細書において、他の光学素子「間」に位置決めされる等の光学素子(レンズ、鏡)の位置に関する言及は、別段の指摘のない限り、関連する光学系を介する通常の光路の意味合いにおける指摘を目的とするものである(例えば、レンズおよび鏡を含む光学系の正常動作の間、光が1つの鏡から反射されてレンズを通り、他の鏡へ至る場合、レンズは2つの鏡の「間」にある)。本明細書において、複合語である「円柱/非円柱」は、関連する光学素子が円柱形(即ち、その1つまたは複数の湾曲した光学表面が円柱の一部であって、光学表面の交差部分に平行するラインおよび正接する平面へ画像の焦点を集める円柱レンズまたはミラー)、または非円柱形(即ち、その1つまたは複数の光学表面が円柱形ではないが、なお光学表面の交差部分に平行するラインおよび正接する平面へ画像の焦点を集める細長い湾曲レンズまたはミラー)の何れかであることを意味するためのものである。
【0022】
図1は、アナモルフィック光学系130を用いて画像形成面162上へ二次元画像の略一次元ライン画像を発生させるために利用される単純化された単一パス画像形成システム100を示す。システム100はさらに、均質光発生器110と、均質光発生器110から受信される均質光118Aを変調するようにコントローラ180により制御される空間光変調器120と、変調器120により発生される変調光場119Bを画像化しかつ集中させ、かつ画像形成面162上に略一次元ライン画像SLを発生(投影)させるように位置合わせされるアナモルフィック光学系130とを含む。
【0023】
この例示的な画像形成プロセスは、デジタル画像データ(本明細書では、「画像データファイルID」と称する)を、デジタル画像データにより指定される光パターンより成る対応する二次元画像(例えば、写真または印刷文書)へ変換することを含む。画像形成動作の「画像形成段階」(部分)は、二次元画像の単一ライン(本明細書では便宜的に「ライン画像」と称する)を関連するラインデータ(本明細書では便宜的に「ライン画像データ部分」と称する)に従って発生させることを含む。例示的な画像形成プロセスは、デジタル画像データを光パターンより成る対応する二次元画像へ変換することを含む。このような画像形成において、画像データファイルIDはコントローラ180へ送信され、コントローラ180は、画像データファイルIDを一度に1ラインずつ処理して変調器120へ送信する。画像データファイルIDはLID1からLIDnまでのライン画像データグループを含み、各ライン画像データグループは、二次元画像の関連する一次元ライン画像を集合的に形成する複数のピクセル画像データ部分を含む。例えば、ライン画像データグループLID1は、4つのピクセル画像データ部分PID1からPID3までを含む。各ピクセル画像データ部分(例えば、ピクセル画像データ部分PID1)は、二次元画像の対応部分に関連づけられる対応するピクセル画像の色および/またはグレースケール特性に対応する1ビットまたは複数ビットの画像データを含む。
【0024】
図1および図2において、均質光発生器110は、略均一の二次元均質光場119Aを形成する連続する(例えば、一定の/変調されない)均質光118Aを発生する働きをし、均質光場119Aは、突き出したドット状の長方形の箱として示され(即ち、均質光場119Aは構造体を形成するものではない)、かつ略同一の定エネルギーレベルを有する均質光118Aによって構成される(即ち、均質光場119Aは全ての部分が略同一の束密度を有する)。発生器110は、適切なキャリア111上へ加工される、または別段で配置される発光素子(例えば、1つまたは複数のレーザまたは発光ダイオード)115を含む光源112と、光源112と変調器120との間に配置される光均質化光学系(ホモジナイザ)117とを備える。ホモジナイザ117は、光ビーム116を拡大された二次元領域に渡って均質化することにより均質光118を発生し、かつ光ビーム116の発散を減らす。この配置により、高エネルギーの光ビーム116は、125−11から125−34までの全ての変調素子上へ略等しく配分される分散された、比較的低いエネルギー束の均質光118へ効果的に変換される。光源110は、直線に沿って配置される複数の端面発光レーザダイオードによって、または二次元アレイに配列される複数の垂直キャビティ面発光レーザ(VCSEL)によって実装される。理想的には、このようなレーザ源は、過剰な熱を容易に除去すべく受動水冷または強制気流が使用可能であるように、高い(例えば、50%を超える)プラグ効率を有する。光ホモジナイザ117は、高速軸集光(FAC)レンズをビーム再成形用マイクロレンズアレイと共に用いて、またはライトパイプを用いて実装されることが可能である。
【0025】
変調器120は均質光場119A内に配置され、かつ変調素子アレイ122と、制御回路126とを含む。変調器120は均質光118Aの一部を変調し、これにより変調器120は、光場119Aを、アナモルフィック光学系130を介して画像形成面162の細長い画像形成領域167上へ投射される二次元変調光場119Bへ変換する。変調器は市販されていて、典型的には、光変調素子(ピクセル)が約5〜20ミクロン間隔で存在する1024x768(SVGA解像度)またはこれより高い解像度の二次元(2D)アレイサイズを有する。
【0026】
変調器120のアレイ122は、支持構造体124上で4水平行および3垂直列C1〜C3内に配置される素子125−11から125−34までを含む。素子125−11から125−34までは、光場119A内に、各素子の光変調構造体(例えば、鏡、回折素子または熱光学吸収体素子)が均質光118Aの対応部分を受け入れるように配置され(例えば、変調素子125−11および125−12は各々均質光部分118A−11および118A−12を受け入れる)、かつ受け入れた対応する変調光部分を予め決められた方向に沿ってアナモルフィック光学系130へと選択的に通す、または配向し直すように位置合わせされる。
【0027】
制御回路126は、画像形成動作の各画像形成段階の間に1つのライン画像データ部分(例えば、ライン画像データ部分LIN1)を格納する制御(メモリ)セル128−11から128−34までのアレイを含む。例えば、ある所定の時間において、ライン画像データ部分LIN1は、既知の技法を用いてコントローラ180から制御回路126へ送信され(書き込まれ)、かつライン画像データ部分LIN1は、画像形成面162の細長い画像形成領域167に対応するライン画像SLを発生させるために用いられる。これに続く画像形成段階(不図示)の間、第2のライン画像データ部分が制御回路126へ書き込まれ(即ち、ライン画像データ部分LIN1が上書きされ)、画像形成面162の別の細長い画像形成領域に対応する第2のライン画像(不図示)が発生される。このプロセスでは、ライン画像SLの発生後かつ第2のライン画像が発生される前に、画像形成面162を工程(Y軸)方向へ移動(平行移動)させる必要があることに留意されたい。画像データファイルIDの各走査画像データ部分LIN1〜LINnについてこのような画像形成段階を反復することにより、画像形成面162上に関連する二次元画像が発生される。
【0028】
各メモリセル128−11から128−34は、1つのデータビット(1または0)を格納し、各光変調素子125−11から125−34は各々、(第1の)変調「オン」状態と(第2の)変調「オフ」状態との間を切換すべく関連するメモリセル128−11から128−34に格納されるデータビットによって(例えば、制御信号127によって)個々に制御可能である。所定の変調素子の関連するメモリセルが論理値「1」を格納していれば、この所定の素子は変調「オン」状態に入るように制御され、これにより、この素子は受信される光部分をアナモルフィック光学系130へと方向づけるように作動される。例えば、素子125−11は、メモリセル128−11に格納されている論理「1」に応答して「オン」にされ(例えば、透過性にされ)、これにより、受信される光部分118A−11は変調器120を介してアナモルフィック光学系130へと通される。逆に、素子125−21は、メモリセル128−21に格納されている論理「0」に応答して「オフ」にされ(例えば、不透明にされ)、これにより、受信される光部分118A−21は阻止される。素子125−11から125−34を画像データIDに従って選択的に「オン」または「オフ」にすることにより、変調器120は連続的な均質光118Aの一部を、変調光がアナモルフィック光学系130上へ方向づけられるように変調する(即ち、通過させる、または通過させない)働きをする。
【0029】
空間光変調器120からアナモルフィック光学系130へと通過される、または別段で方向づけられる均質光118Aの一部(例えば、均質光部分118A−24)は、個々には変調光部分と称され、かつ集合的には変調光118Bまたは二次元変調光場119Bと称される。例えば、「オン」にされている光変調素子125−11を通過した後、均質光部分118A−21は変調光部分118B−11になり、変調光場119Bを描いた図の明色領域によって示される光変調素子125−12、125−13、125−14、125−32および125−33を通過した光部分と共にアナモルフィック光学系130へ通される。逆に、所定の変調素子(例えば、変調素子125−21)が変調「オフ」状態にある場合、変調素子は、所定の変調素子の受信された関連する光部分を妨げる(例えば、阻止する、または配向し直す)ように作動され、これにより、変調光場119Bを描いている図面の対応する領域は暗い。
【0030】
アナモルフィック光学系130は、二次元変調光場119Bを画像形成面162の細長い画像形成領域167上へアナモルフィックに画像化しかつ集中させる(焦点を合わせる)働きをする。光学系130は、変調光場119Bの二次元パターンを受け入れるように位置合わせされる光学素子(例えば、レンズおよび/または鏡)を含み、光学素子(例えば、レンズまたは鏡)は、受け入れた光部分を工程横断(X軸)方向よりも工程(Y軸)方向沿いにより高い度合いで集中させるように配列され、これにより、受け入れられた変調光部分は工程横断方向に対して平行に広がる細長いライン画像SLを形成すべくアナモルフィックに集束される。ある実施形態において、アナモルフィック光学系130は、ライン画像SLの工程横断(X軸)方向の幅W2が変調光場119Bの元の幅W1に等しいか大きくなるように、かつライン画像SLの工程(Y軸)方向の高さH2が二次元変調光場119Bの元の高さH1より略(例えば、3倍以上)小さくなるように、変調光を画像化する。アナモルフィック光学系130を通過しているが、画像形成面162にまだ到達していない変調光部分は、被集中変調光部分と称されることに留意されたい(例えば、変調光部分118B−11は、アナモルフィック光学系130と画像形成面162との間で被集中変調光部分118C−11になる)。
【0031】
図3および図4は、変調器120Eとアナモルフィック光学系130Eとを含むシステム100Eの一部を示す。光学系130Eは、工程横断サブ光学系133Eと、工程方向サブ光学系137Eとを含む。サブ光学系133Eは、変調器120Eから変調光場119Bを受け入れるように位置合わせされ、かつ変調光場119BをX軸方向へ画像化するように成形されかつ配列される円柱/非円柱レンズ134Eを含む。サブ光学系133Eからサブ光学系137Eへ通過される処理光は、画像形成光119C1である。サブ光学系137Eは、画像形成面162E上へライン画像SLを発生させるために画像形成光119C1を工程方向へ画像化しかつ集中させるレンズ138を含む。サブ光学系137Eから画像形成面162Eへ通される画像化されかつ集中された(収束する)光は、画像形成集中光119C2である。
【0032】
図3および図4は、サブ光学系133Eおよび137Eの機能を示す点線のレイトレースを含む。図3の平面図は、サブ光学系133Eが変調光場119BをX軸において拡張するように作動することを示し、かつ図4の側面図は、サブ光学系137Eが、画像形成面162E上へライン画像SLを形成するように、画像形成集中光場119C2をY軸に対して垂直方向へ発生させるべく変調器120Eにより通過される変調光部分118Bに作用することを示す。この配置の優位点は、光パワーの強度がシステム100Eの出力に位置決めされるスキャンラインSL上に集中されることを可能にすることにある。素子138Eの集束能力が増加するにつれて、変調器120E上の光強度は、ライン画像SLにおいて発生されるライン画像の強度と相対的に低減される。しかしながら、これは、円柱または非円柱レンズ138Eが、透明な開口がレンズ138Eのエッジぎりぎりまで広がる状態で画像形成面162Eの方へ接近して配置されなければならないことを意味する。
【0033】
光学系130を利用して変調光場119Bを工程(Y軸)方向に集中させることにより、工程横断方向に広がる画像形成面162上に「単一パス」略一次元ライン画像SLが形成される。所定のグループG1の全ての変調素子125−11から125−14を起動することによって所定のピクセル画像部分P1が発生されると、ライン画像SLの所定の点上に高い合計光強度(例えば、束密度約数百ワット/cm2のオーダー)が発生され、これにより、例えば単一パス高解像度高速印刷用途において一次元ライン画像SLの全ての部分を同時に生成するために使用されることが可能な高信頼性の高速画像形成システムが促進される。
【0034】
より低い光学解像度におけるマルチレベル画像露光は、ライン画像SLの各ピクセル画像位置上へ方向づけられる露光レベル(即ち、集中される光の量)を変えることにより(例えば、プリンタにおいて)高品質の画像形成を達成するために利用される。具体的には、ライン画像SLにおける各ピクセル画像(例えば、図1における部分P1、P2およびP3)の露光レベルは、変調器120の起動される光変調素子の数および位置を制御することによって変更され、これにより、各ピクセル画像を発生すべく結合される変調光118Bの量および位置が制御される。この手法は、システム100が、マルチレベル(グレースケール)の画像露光特性を提供すべく高い光学解像度を用いて画像形成面に渡るレーザビームを走査しながら高出力レーザを変調する代わりに、画像形成面162上へ変調光を集束すべく比較的低出力の光源を変調しかつ比較的低い光学解像度の画像形成システムを利用することによりライン画像SLの全ての位置において同時にマルチレベル画像露光を提供することにおいて、従来のレーザROSの動作を凌ぐ著しい改良をもたらす。即ち、拡張された二次元領域に渡って広げられる均質光を利用することにより、所定の領域に渡る(例えば、各変調素子125−11から125−34までの領域に渡る)光の強度(ワット/cm2)は、空間光変調器120を形成すべく低コストの光学ガラスおよび反射防止コーティングを利用できるように、受け入れ可能なレベルまで低減され、よって製造コストが低減される。
【0035】
マルチレベル画像露光は、システム100により、アナモルフィック光学系により画定される工程方向に略位置合わせされる光変調素子のグループを形成し、各変調素子グループを空間光変調器に書き込まれるライン画像データグループの関連するピクセル画像データ部分に従って構成し、次いで、ライン画像SLの高輝度ピクセル画像部分を形成すべく結果的に生じる細長いピクセル画像をアナモルフィック光学系130を利用して工程方向に画像化しかつ集中させることによって達成される。例えば、変調器120は、変調素子列C1からC3が光学系130により画定される工程方向に対して平行に位置合わせされるように配列される。各変調素子グループは、列C1からC3までに配置される素子から成り、この場合、グループG1は列C1の素子125−11から125−14までを含み、グループG2は列C2の素子125−21から125−24までを含みかつグループG3は列C3の素子125−31から125−34までを含む。各グループ/列により効果的に発生される画像は、工程方向へ「延伸された」(長くされた)ピクセル画像を形成する。光学系130は、変調光部分を工程方向に集中させることによってライン画像SLの各ピクセル画像を発生することから、各ピクセル画像のグレースケール特性は、工程(Y軸)方向に位置合わせされる対応する数の変調素子を構成することによって制御されることが可能である。コントローラ180を利用して各ピクセルの画像データ部分のグレースケール値を解明し、かつ対応する制御データをそのピクセル画像データ部分に関連づけられる変調素子グループの制御セルへ書き込むことにより、ライン画像SLの各ピクセル位置に適切なピクセル画像が発生される。
【0036】
図1は、3つの露光レベル、即ち「完全にオン」、「完全にオフ」および「部分的にオン」を用いるマルチレベル画像露光を示す。図1および図2に示されている単純化された例において、ピクセル画像データ部分PID1は(第1の)値「完全にオン」を有し、これにより、コントローラ180は、関連する変調素子グループG1の全ての変調素子125−11から125−14が起動される(即ち、(第1の)変調「オン」状態へと設定される)ように、ピクセル画像データ部分PID1を変調器120の制御回路126へ書き込む。素子125−11から125−14が起動されていることから、光部分118A−11から118A−14は、変調光場119Bの変調光部分118B−11から118B−14が光学系130上へ方向づけられるように、素子125−11から125−14を通過する。同様に、ピクセル画像データ部分PID2は(第2の)値「完全にオフ」を有し、よって素子125−21から125−24は、素子125−21から125−24上へ方向づけられる均質光118Aが光学系130へ到達することを妨げられる(即ち、阻止される、または配向し直される)ように非活性化され、これにより、画像形成面162上の第2の画像形成領域部分167−2に光ピクセル画像P2が最小(暗)画像「スポット」として発生される。最後に、ピクセル画像データ部分PID3のグレースケール値は「部分的にオン」であり、これは、素子125−32および125−33が起動されかつ素子125−31および125−34が非活性化されて均質光部分を素子125−32から125−33を介してのみ通過させ、これにより、画像形成面162の第3の画像形成領域部分167−3にピクセル画像P3が明るい小さな「スポット」として形成されるように素子125−31から125−34を設定することによって達成される。
【0037】
上述のシステムおよび方法を用いる二次元画像の生成は、画像形成面162を周期的または連続的に工程(Y軸)方向に移動させること、および各画像形成段階の後に空間光変調器120を設定し直すことを必要とする。例えば、図1に示されているように、ライン画像データグループLIN1を用いてライン画像SLが発生されると、表面162は上へ移動され、かつ第2の画像形成段階が次の順番のライン画像データグループを変調器120へ書き込むことによって実行され、これにより、第2のライン画像がライン画像SLの下に発生される。光源110は、場合により画像形成段階間でトグルされ、または、画像形成動作の全ての画像形成段階を通じて絶えず「オン」状態に保持される。このプロセスを画像データファイルIDの全てのライン画像データグループLIN1〜LINnについて反復することにより、画像データファイルIDにより表現される二次元画像が画像形成面162上に発生される。
【0038】
本発明の代替実施形態によれば、空間光変調器は、米国テキサス州ダラス所在のTexas Instruments社から入手可能なデジタル光処理(DLP(登録商標))チップ等のデジタル・マイクロミラー・デバイス(DMD)、米国コロラド州ラファイエット所在のBoulder Nonlinear Systems社から入手可能なLinear Array Liquid Crystal Modulator(リニアアレイ液晶変調器)等の電子光学回折変調器アレイ、または二酸化バナジウム反射または吸収鏡素子等の熱光学吸収素子のアレイを含む、市販のデバイスを用いて実装される。今日、多くの印刷/走査用途は、10:1を超える高い画像コントラスト比を有する1200dpi以上の解像度、小さいピクセルサイズおよび30kHzを超える高速表示行指定機構を必要とし、よって、現時点で好ましい空間光変調器は、その最良の総合性能に起因してDLP(商標)チップである。
【0039】
図5は、複数の微小電気機械式(MEM)ミラー機構125Gで構成される変調素子アレイ122Gを含むDMD式空間光変調器(DMD)120Gの一部を示す。変調素子アレイ122Gは、Texas Instruments社によって販売されるDMDと一致し、MEMミラー機構125Gは、半導体基板124G上の長方形アレイ内に配列される。ミラー機構125Gは、ミラー125Gの下に配置される制御回路126Gによって制御される。Texas Instruments社によって販売されるDMDは、典型的にはデバイス当たり数十万個のミラーを含む。
【0040】
図6は、DMDアレイ122Gの例示的なミラー機構125G−11を示す。ミラー機構125G−11は、基板124Gの上面で最上層210と、中央領域220と、下方領域230とに分割される。最上層210は、アルミニウムで製造されかつ典型的には約16マイクロメートル幅である正方形または長方形のミラー(光変調構造体)212を含む。中央領域220は、2つの弾性ねじりヒンジ224によって支持プレート225へ接続されるヨーク222と、1対の高架電極227および228とを含む。下方領域230は、電極プレート231および232と、バイアスプレート235とを含む。ミラー機構125G−11は、制御回路126Gにより発生される制御信号127G−1により2つのデータ状態のうちの何れかを格納するように制御される関連のSRAMメモリセル240によって制御される。
【0041】
下方領域230は、めっき層をエッチングすること、または別段でメモリセル240を覆う基板124G上へ形成されるパッシベーション層上に金属パッドを形成することによって形成される。電極プレート231および232は各々、バイアス制御信号127G−2、または金属バイアによってメモリセル240により格納される相補的なデータ信号DおよびDバーの何れかを受信するように接続される。
【0042】
中央領域220は、MEMS技術を用いて下方領域230の上に配置され、ヨーク222は、弾性ねじりヒンジ224によって支持プレート225により移動可能式(回動可能式)に接続されかつ支持される。支持プレート225は、バイアスプレート235の上に配置され、かつバイアスプレート235の領域236上へ固定的に接続される支持ポスト226によってバイアスプレート235へ電気的に接続される。電極プレート227および228は、同様に、各々電極プレート231および232の上に配置され、かつ電極プレート231および232の領域233上へ固定的に接続される支持ポスト229によって電極プレート231および232へ電気的に接続される。ミラー212は、ヨーク222の中央領域223上へ付着されるミラーポスト214によってヨーク222へ固定的に接続される。
【0043】
図7(A)から図7(C)は、動作中のミラー機構125G−11を示す。図7(A)は、受け入れられる光部分118A−Gが第1の角度θ1でミラー212を去る反射(変調)光部分118B−G1になる、第1の(例えば、「オン」)変調状態におけるミラー機構125G−11を示す。変調「オン」状態を設定するために、SRAMメモリセル240は、出力信号Dが電極プレート231および高架電極227へ送られる高電圧(VDD)を含み、かつ出力信号Dバーが電極プレート232および高架電極228へ送られる低電圧(接地)を含むように、あらかじめ書き込まれたデータ値を格納する。これらの電極は、ミラーの位置を静電気引力によって制御する。電極プレート231および232により形成される電極対はヨーク222へ作用するように位置合わせされ、かつ高架電極227および228により形成される電極対はミラー212に作用するように位置合わせされる。ほとんどの時間、ヨーク222の両側へは等しいバイアス電荷が同時に印加され、バイアス制御信号127G−2が電極プレート227および228および高架電極231および232の双方へ印加される。中央位置へ反転する代わりに、予期されるように、ミラー122と高架電極231/電極プレート227との間の引力はミラー122と高架電極232/電極プレート228との間の引力より大きいことから、この等しいバイアスは実質的にミラー122をその現行の「オン」位置に保持する。
【0044】
ミラー212を「オン」位置から「オフ」位置へ移動させるために、必要とされる画像データビットが、制御信号127G−1によってSRAMメモリセル240へロードされる。図7(A)で示されているように、バイアス制御信号はディアサートされ、これにより、D信号がSRAMセル240から電極プレート231および高架電極227へ送信され、かつDバーがSRAMセル240から電極プレート232および高架電極228へ送信され、これにより、ミラー212は図7(B)に示されている「オフ」位置へ移動され、これにより、光部分118A−Gはミラー212を第2の角度θ2で去る反射光部分118B−G2になる。続いて、バイアス制御信号127G−2が復元されると、図7(C)で示されているように、ミラー212は「オフ」状態に保持され、次の必要な動作のメモリセル240へのロードが可能になる。
【0045】
図7(A)から図7(C)で示されているように、ミラー機構125G−11の回動ねじり軸によって、ミラー212は、対角軸を中心としてDLPチップハウジングのx−y座標に対し相対回転する。この対角的な傾斜により、画像形成システム内の空間光変調器から受け入れられる入射光部分は、光の出射角がDLPチップの表面に対して垂直となるように、各ミラー機構125G上へ合成入射角で投影される必要がある。この要件は、画像形成システムの隣り合わせの配置を複雑にする。
【0046】
図8は、「折り畳まれた」配置のDMD120Hおよび単純化されたアナモルフィック光学系130Hを利用する画像形成システム100Hを示す斜視図である。DMD120Hは、均質光場119Aの入射する均質光部分118Aが、DMD120Hの関連するMEMミラー機構125Hが「オン」である場合に光学系130Hへ向かって反射されるか、関連するMEMミラー機構125Hが「オフ」である場合に光学系130Hから遠方へ(例えば、ヒートシンク上へ)反射されるかのいずれかであるように、均質光発生器110Hおよび光学系130Hに対してある合成角で位置合わせされる。即ち、均質光発生器110Hから空間光変調器120Hの関連するMEMミラー機構125H上へ方向づけられる均質光場119Aの各光部分118Aは、(例えば、図7(A)を参照して先に述べたように)関連のMEMミラー機構125Hが「オン」位置にある場合にのみ、関連のMEMミラー機構125Hからアナモルフィック光学系130へ反射される。逆に、「オフ」位置にある各MEMミラー機構125Hは、関連する光部分118Bを、関連する光部分118Bをアナモルフィック光学系130Hから遠方へ方向づける角度で反射する。
【0047】
システム100Hは、アナモルフィック光学系130Hが、ドラムシリンダ160H上に発生される2つのライン画像の位置および左から右への順序が効果的に「反転される」ように、変調光場119Bを工程方向および工程横断方向の双方へ反転させることによって特徴づけられる。図8の左下部分は、DMD式空間光変調器120Hの正面図を示し、かつ図8の右下部分は、画像形成面162Hの細長い画像形成領域167Hの正面図を示す。左下の図は、変調素子列C1が第1のピクセル画像データ部分PID11により制御される第1の変調素子グループG1を形成することを示す。同様に、残りの光変調素子列は、ライン画像データ部分LIN11の残りのピクセル画像データ部分を実装する対応する変調素子グループを形成する。変調素子グループG1〜G8は、空間光変調器120Hへ「上下逆および逆行」式に書き込まれることに留意されたい。サブ光学系133Hは、ピクセル画像データPID11により構成される光変調素子が細長い画像形成領域167Hの右側にピクセル画像P11を発生し、かつピクセル画像データPID18により構成される光変調素子が細長い画像形成領域167Hの左上側にピクセル画像P18を発生するように、均質光場119Aを反転する。さらに、サブ光学系137Hは、(反転されない)ピクセル画像部分(ピクセル画像データビットPID111を実装する変調素子により発生される)が細長い画像形成領域167Hの左上部分に現出し、かつ(反転されない)ピクセル画像P188(ピクセル画像データビットPID188を実装する変調素子により発生される)が細長い画像形成領域167Hの右下部分に現出するように、変調光場119Aを反転する。
【0048】
マルチレベル画像露光は、工程方向に略位置合わせされるDMD120HのMEMミラー機構グループを、「部分的にオン」のピクセル画像が関連するMEMミラー機構グループの中央領域に配置される連続的なMEMミラー機構を起動することによって実装されるように構成することにより、システム100Hを用いて達成される。例えば、変調素子グループG1は列C1内に配置される素子125Hより成り、グループG1はデータ部分PID11によって、変調素子の全てが「オン」であり、よってピクセル画像P11が最大の明るさを有するように構成される。同様に、変調素子グループG8は列C8内に配置される変調素子125Hより成り、グループG8はデータ部分PID18によって、変調素子の全てが「オフ」であり、よって画像形成面162H上に暗いピクセル画像P18が生成されるように構成される。MEMミラー機構の残りのグループ(列)は、3つの例示的なグレースケール値「部分的にオン」を用いて構成され、グループG2はグレースケール値「ほとんどオン」のピクセル画像データ部分PID12によって構成され、グループG7はグレースケール値「かろうじてオン」を有しかつグループG5はグレースケール値「中位のオン」を有する。
【0049】
図9、図10(A)、図10(B)および図10(C)は、動作中の図8のシステム100Hを示す略側面図である。
【0050】
図9は、DMD120Hの例示的な変調素子グループG2がデータグループPID12によって構成される場合のシステム100H(T1)(即ち、時間T1におけるシステム100H)を示す。具体的には、図9は、MEMミラー機構125H−22から125H−27までが起動されかつMEMミラー機構125H−21および125H−28が非活性化されるようにしてピクセル画像データ部分PID12を用いる変調素子125H−21から125H−28までの構成を描いている。
【0051】
図9の右側を参照すると、画像転写動作を実装するために、システム100Hはさらに、画像形成領域の上流側のあるポイントで画像形成面162H上へ湿し溶液192を塗布する液体源190と、画像形成領域の下流側のあるポイントでインク材料197を塗布するインク源195とを含む。転写機構は、インク材料197を標的である印刷媒体へ転写し、かつクリーニング機構198は、次の露光サイクルのために画像形成面162Hを準備する。
【0052】
MEMミラー機構125H−22から125H−27は、その起動された構成状態に起因して、変調光部分118B−21から118B−27がアナモルフィック光学系130Hを介して方向づけられるように均質光場119Aの一部を反射する。変調光部分118B−21から118B−27は、アナモルフィック光学系130Hによって画像化されかつ集中される変調光場119Bを形成し、これにより、画像形成面162H上の細長い画像形成領域167H−1内にライン画像SL1の一部を形成するピクセル画像P12を生成する画像化されかつ集中された変調光場119C2が発生される。変調光部分118B−21から118B−27によって形成される関連の集中光は、細長い画像形成領域167H−1から湿し溶液192を除去(気化)する。ピクセル画像P21のサイズ(即ち、画像形成面162Hから除去される湿し溶液の量)は、起動されるMEMミラー機構の数によって決定される。
【0053】
図10(A)、図10(B)および図10(C)は、時間T1に続く変調器120Hが非活性化される時間における画像形成システム100Hを示して、表面機能P12が引き続いてどのように利用されるかを示している。時間T2における図10(A)では、ドラムシリンダ160Hが回転し、表面領域162H−1は既に、インク外形TFを形成すべくインク材料197が露光された表面領域162H−1に付着するインク源195の下を通過している。時間T3における図10(B)では、インク外形TFが転写ポイントを通過しつつあり、表面領域162H−1との接着の弱さ、および印刷媒体(不図示)への引力の強さに起因してインク外形TFは印刷媒体へ転写され、結果的に、印刷媒体上へ印刷されるインク内に「ドット」が生じる。時間T4における図10(C)では、表面領域162H−1は、後続の露光/印刷サイクル用に表面領域162H−1を準備するクリーニング機構198の下を回転される。したがって、インク材料は、(湿し溶液192へではなく)先に述べた画像形成プロセスによって露光される画像形成面162Hの一部上へのみ転写し、これにより、インク材料は、集中光に曝されるドラムローラ160Hの一部からのみ印刷媒体へ転写される。したがって、従来のシステムの場合のようなプレートからの不変データではなく、湿し溶液除去からの可変データが転写される。このプロセスの場合、ラスタ化光源(即ち、スキャンラインと交差して前後にラスタ化される光源)を用いて動作するためには、湿し溶液をリアルタイムで除去するに足る単一の超高出力光(例えば、レーザ)源が必要になると思われる。
【0054】
図11から図14および図16から図19を参照して後述する特有の実施形態は各々、先に述べた様々な単一パス画像形成システムにおいて(即ち、単一パス画像形成システムを参照して述べている単純化された光学系の代わりに)利用されてもよい。
【0055】
図11および図12は、全屈折アナモルフィック光学系130Jを示す略平面図および略側面図である。アナモルフィック光学系130Jは、例示的な一用途を示すために、変調器120Jと画像形成面162Jとの間に描かれている。
【0056】
図11および図12を参照すると、アナモルフィック光学系130Jは、視野レンズ132Jと、工程横断サブ光学系133Jと、工程サブ光学系137Jとを含む。サブ光学系133Jは、画像形成面162J上へ変調光場119Bを工程横断方向へ図11に示されているレイトレース(破線)ラインに一致して画像化すべく協働的に成形されかつ配置される二重円柱/非円柱レンズ素子134Jおよび135Jを含む。二重レンズ素子134Jおよび135Jは、工程横断方向に対して平行である中立軸またはゼロ出力軸沿いを中心とする、かつライン画像SLが画像形成面162J上で工程方向に予め決められた長さを有するように分離して位置合わせされる一定の湾曲形状を有する光学表面を有する。任意選択のコリメートする視野レンズ132Jは、二重レンズ素子134Jおよび135J間の1点で光を工程横断方向に収束するように位置合わせされかつレンズ素子134Jと協働的に形成され、よって開口Y停止装置の使用を有効化する工程横断方向の円柱/非円柱レンズである。また、視野レンズ132Jは、空間光変調器120Jの表面から離れて僅かに拡散しつつある光部分をコリメートする働きもする。サブ光学系137Jは、図12におけるレイトレース・ラインにより示されているように、画像形成面162J上へ変調光場119Bを工程方向に画像化しかつ集中させるように協働的に成形されかつ位置合わせされる二重レンズ素子138Jおよび139Jを含む。
【0057】
表1は、光学系130Jの各光学素子の対向する表面の光学処方を示している。以下で記載する全ての表において、光学系入力(光源)に面する各素子の表面は「S1」と称され、かつ光学系出力に面する各素子の表面は「S2」と称される。例えば、「132J:S1」は、空間光変調器120Jに面する視野レンズ132Jの表面を指す。曲率値の単位は1/ミリメートル、かつ厚さの値の単位はミリメートルである。光源(即ち、空間光変調器120Jの表面)および標的表面(即ち、画像形成面162J)は共に、記載された処方に関しては平面であるものとされていることに留意されたい。この光学処方は、光波長980nmも想定している。光学系は結果的に、工程横断方向倍率1.4を有する。
【表1】
【0058】
図13および図14は、全屈折アナモルフィック光学系130Kを示す。アナモルフィック光学系130Kは、視野レンズ132Kと、工程横断サブ光学系133Kと、工程サブ光学系137Kとを含む。サブ光学系133Kは、図13におけるレイトレース・ラインにより示されているようにして画像形成面162K上へ変調光場119Bを工程横断方向に画像化するように協働的に成形されかつ配置されるレンズ素子134K、135Kおよび136Kを含む。視野レンズ132Kは、変調器120Kとレンズ素子134Kとの間に位置合わせされる円柱/非円柱レンズであり、かつ開口Y停止装置のサブ光学系133Kのレンズ素子135Kと136Kとの間の位置決めを有効化するように成形されかつ位置合わせされる。サブ光学系137Kは、図14に示されているように、変調光場119Bを工程方向に画像化しかつ集中させるように成形されかつ配置される円柱/非円柱レンズ素子138Kを含む。表2は、光学系130Kの各光学素子の対向する表面の光学処方を示している。この光学処方は、光波長980nmを想定し、かつ、光学系は結果的に、工程横断方向倍率0.0725を有する。
【表2】
【0059】
図15は、発生器110PおよびDMD120Pを利用する画像形成システム100Pを示す。DMD120Pは、コントローラ180Pから送信される画像データに応答して変調光場119Bを発生するために、光発生器110Pに対してある合成角で位置合わせされる。システム100Pは、ドラムローラ160Pの画像形成面162P上へライン画像SL1を発生するために単純化された反射屈折アナモルフィック光学系130Pを利用することにおいて、これまでの実施形態とは異なる。即ち、先に述べた全屈折アナモルフィック光学系とは異なり、反射屈折アナモルフィック光学系130Pは、1つまたは複数の円柱/非円柱レンズにより形成される工程横断サブ光学系133Pと、1つまたは複数の円柱/非円柱鏡により形成される工程サブ光学系137Qとを含む。工程方向の歪に起因して、二次元光場119Bが工程方向よりも工程横断方向へ遙かに広い画像形成システムについては、反射屈折アナモルフィック投影光学系の方が適する。また、反射屈折アナモルフィック光学系アーキテクチャは、工程横断方向沿いに全屈折系のそれより低いレベルの矢状像面湾曲も提供し、これにより、先に示されかつ記述された正方形または長方形の変調光場の画像形成が促進される。
【0060】
図16および図17は、第1の反射屈折アナモルフィック光学系130Qを示す略平面図および略側面図である。光学系130Qは、変調器120Qと表面162Qとの間に光路を形成するものとして描かれている。アナモルフィック光学系130Qは、視野レンズ132Qと、工程横断サブ光学系133Qと、工程サブ光学系137Qとを含む。サブ光学系133Qは、図16におけるレイトレース・ラインにより示されているように変調光場119Bを工程横断方向に画像化するように協働的に成形されかつ配置されるレンズ素子134Q、135Qおよび136Qを含む。視野レンズ132Qは、レンズ素子135Qと136Qとの間に開口停止装置を位置決めすることを有効化するように成形されかつレンズ素子134Qおよび135Qと共に位置合わせされる工程横断方向の円柱/非円柱レンズである。サブ光学系137Qは、画像形成面162Q上へ変調光場119Bを工程方向に画像化しかつ集中させるように成形されかつ配置される分離された折り畳み(平面)鏡138Qおよび円柱/非円柱鏡139Qを含む。表3は、反射屈折アナモルフィック光学系130Qの各光学素子の対向する表面の光学処方を示している。この光学処方は、光波長980nmを想定し、かつ、光学系は結果的に、工程横断方向倍率0.33を有する。
【表3】
【0061】
図18および図19は、視野レンズ132Rと、工程横断サブ光学系133Rと、工程サブ光学系137Rとを含む第2の反射屈折アナモルフィック光学系130Rを示す。サブ光学系133Rは、図18に示されているように、画像形成面162R上へ変調光場119Bを工程横断方向に画像化するように協働的に成形されかつ配置される円柱/非円柱レンズ素子134R、135Rおよび136Rを含む。視野レンズ132Rは、レンズ素子135Rと136Rとの間に開口停止装置を位置決めすることを有効化するように成形されかつ位置合わせされる工程横断方向の円柱/非円柱レンズである。サブ光学系137Rは、図19に示されているように、画像形成面162R上へ変調光場119Bを工程方向に画像化しかつ集中させるように成形されかつ配置される円柱/非円柱鏡138Qおよび139Qを含む。表4は、反射屈折アナモルフィック光学系130Rの各光学素子の対向する表面の光学処方を示している。この光学処方は、光波長980nmを想定し、かつ、光学系は結果的に、工程横断方向倍率0.44を有する。
【表4】
【0062】
本発明は、線形である光路を有する(図1参照)、または1つの折り畳みを有する(図8参照)ものとして示されているが、当業者には、任意数の任意の光路に沿って折り畳みを含む他の配置が企図されてもよい。さらに、高エネルギーライン画像を発生するための上述の方法は、本明細書に記述されているもの以外のデバイスを用いて達成されてもよい。
【特許請求の範囲】
【請求項1】
画像形成面上へ工程横断方向に広がる略一次元ライン画像を発生すべく二次元光場をアナモルフィックに画像化しかつ集中させるためのアナモルフィック光学投影系であって、 前記画像形成面上へ前記二次元光場を工程横断方向に画像化するために配置される少なくとも1つの工程横断円柱/非円柱光学素子を含む工程横断サブ光学系であって、前記工程横断方向は前記工程方向に対して垂直である工程横断サブ光学系と、
前記画像形成面上へ前記二次元光場を工程方向に集束するために配置される少なくとも1つの工程方向円柱/非円柱光学素子を含む工程方向サブ光学系とを備えるアナモルフィック光学投影系。
【請求項2】
画像形成面上へ工程横断方向に広がる略一次元ライン画像を発生すべく二次元光場をアナモルフィックに画像化しかつ集中させるためのアナモルフィック光学投影系であって、
コリメート円柱/非円柱視野レンズと、
前記画像形成面上へ前記二次元光場を工程横断方向に画像化するために前記視野レンズと共に協働的に配置される第1及び第2の円柱/非円柱レンズ素子を含む工程横断サブ光学系であって、前記工程横断方向は前記工程方向に対して垂直であり、前記第1の円柱/非円柱レンズ素子は前記第2の円柱/非円柱レンズ素子と前記視野レンズとの間に位置決めされる工程横断サブ光学系と、
前記画像形成面上へ前記二次元光場を工程方向に集束するために配置される円柱/非円柱光学素子を含む工程方向サブ光学系であって、前記円柱/非円柱光学素子は前記第2の円柱/非円柱レンズ素子と前記画像形成面との間に位置決めされる工程方向サブ光学系とを備えるアナモルフィック光学投影系。
【請求項3】
画像形成面上へ工程横断方向に広がる略一次元ライン画像を発生すべく二次元光場をアナモルフィックに画像化しかつ集中させるためのアナモルフィック光学投影系であって、変調光場は前記工程横断方向に第1の幅を有しかつ前記工程方向に第1の高さを有し、前記光学投影系は、
前記略一次元ライン画像が工程横断方向に前記二次元変調光場の前記第1の幅に等しいかそれより大きい第2の幅を有するように、前記画像形成面上へ前記二次元光場を工程横断方向へ画像化するために配置される少なくとも1つの工程横断円柱/非円柱レンズ素子を含む工程横断サブ光学系と、
前記略一次元ライン画像が工程方向に前記二次元変調光場の前記第1の高さの少なくとも3分の1以上小さい第2の高さを有するように、前記工程横断サブ光学系から受信される前記画像化される光を工程方向へ画像化しかつ集束させるために配置される少なくとも1つの工程方向円柱/非円柱レンズ素子を含む工程方向サブ光学系とを備えるアナモルフィック光学投影系。
【請求項1】
画像形成面上へ工程横断方向に広がる略一次元ライン画像を発生すべく二次元光場をアナモルフィックに画像化しかつ集中させるためのアナモルフィック光学投影系であって、 前記画像形成面上へ前記二次元光場を工程横断方向に画像化するために配置される少なくとも1つの工程横断円柱/非円柱光学素子を含む工程横断サブ光学系であって、前記工程横断方向は前記工程方向に対して垂直である工程横断サブ光学系と、
前記画像形成面上へ前記二次元光場を工程方向に集束するために配置される少なくとも1つの工程方向円柱/非円柱光学素子を含む工程方向サブ光学系とを備えるアナモルフィック光学投影系。
【請求項2】
画像形成面上へ工程横断方向に広がる略一次元ライン画像を発生すべく二次元光場をアナモルフィックに画像化しかつ集中させるためのアナモルフィック光学投影系であって、
コリメート円柱/非円柱視野レンズと、
前記画像形成面上へ前記二次元光場を工程横断方向に画像化するために前記視野レンズと共に協働的に配置される第1及び第2の円柱/非円柱レンズ素子を含む工程横断サブ光学系であって、前記工程横断方向は前記工程方向に対して垂直であり、前記第1の円柱/非円柱レンズ素子は前記第2の円柱/非円柱レンズ素子と前記視野レンズとの間に位置決めされる工程横断サブ光学系と、
前記画像形成面上へ前記二次元光場を工程方向に集束するために配置される円柱/非円柱光学素子を含む工程方向サブ光学系であって、前記円柱/非円柱光学素子は前記第2の円柱/非円柱レンズ素子と前記画像形成面との間に位置決めされる工程方向サブ光学系とを備えるアナモルフィック光学投影系。
【請求項3】
画像形成面上へ工程横断方向に広がる略一次元ライン画像を発生すべく二次元光場をアナモルフィックに画像化しかつ集中させるためのアナモルフィック光学投影系であって、変調光場は前記工程横断方向に第1の幅を有しかつ前記工程方向に第1の高さを有し、前記光学投影系は、
前記略一次元ライン画像が工程横断方向に前記二次元変調光場の前記第1の幅に等しいかそれより大きい第2の幅を有するように、前記画像形成面上へ前記二次元光場を工程横断方向へ画像化するために配置される少なくとも1つの工程横断円柱/非円柱レンズ素子を含む工程横断サブ光学系と、
前記略一次元ライン画像が工程方向に前記二次元変調光場の前記第1の高さの少なくとも3分の1以上小さい第2の高さを有するように、前記工程横断サブ光学系から受信される前記画像化される光を工程方向へ画像化しかつ集束させるために配置される少なくとも1つの工程方向円柱/非円柱レンズ素子を含む工程方向サブ光学系とを備えるアナモルフィック光学投影系。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7A】
【図7B】
【図7C】
【図8】
【図9】
【図10A】
【図10B】
【図10C】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17】
【図18】
【図19】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7A】
【図7B】
【図7C】
【図8】
【図9】
【図10A】
【図10B】
【図10C】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17】
【図18】
【図19】
【公開番号】特開2013−45107(P2013−45107A)
【公開日】平成25年3月4日(2013.3.4)
【国際特許分類】
【出願番号】特願2012−170838(P2012−170838)
【出願日】平成24年8月1日(2012.8.1)
【出願人】(502096543)パロ・アルト・リサーチ・センター・インコーポレーテッド (393)
【氏名又は名称原語表記】Palo Alto Research Center Incorporated
【Fターム(参考)】
【公開日】平成25年3月4日(2013.3.4)
【国際特許分類】
【出願日】平成24年8月1日(2012.8.1)
【出願人】(502096543)パロ・アルト・リサーチ・センター・インコーポレーテッド (393)
【氏名又は名称原語表記】Palo Alto Research Center Incorporated
【Fターム(参考)】
[ Back to top ]