イオンガン及びそれに用いるグリッド
【課題】グリッド交換時の出力特性の再現性、温度変化に伴う形状安定性、及び保管性に優れるハーフパイプ型グリッドを備えるイオンガンを提供する。
【解決手段】イオンガンにおいて、内部にプラズマを発生させる本体、本体内部からプラズマを引き出すためのグリッド、及びグリッドを本体との間に挟みこむ枠状の加速電極を備え、本体のグリッドに対向する端面が谷折状の湾曲面を有し、グリッドが平板グリッドからなり、本体とグリッドとの接面において湾曲面に一致する曲面をなすように装着される構成とした。
【解決手段】イオンガンにおいて、内部にプラズマを発生させる本体、本体内部からプラズマを引き出すためのグリッド、及びグリッドを本体との間に挟みこむ枠状の加速電極を備え、本体のグリッドに対向する端面が谷折状の湾曲面を有し、グリッドが平板グリッドからなり、本体とグリッドとの接面において湾曲面に一致する曲面をなすように装着される構成とした。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はイオンガンに関し、特に、プラズマからイオンビームを引き出す加速グリッド及びそれを用いるイオンガンに関する。
【背景技術】
【０００２】
図１１に従来のイオンガン１００の構成を示す。イオンガン１００は、内部にプラズマを発生させる本体１１０、多数のグリッド孔が設けられた遮蔽グリッド１２１及び加速グリッド１２２（これらをまとめてグリッド１２０という）、本体１１０に取り付けられたサポート１１２、並びに加速グリッド１２２をサポート１１２に固定するネジ１４０を備える。電源（不図示）から電圧が印加された加速グリッド１２２が本体１１０内部のプラズマからイオンを引き出し、これによりイオンビーム（矢印）が出射される。このイオンビームは圧電素子（不図示）等に照射され、その圧電素子の周波数調整等に使用される（例えば、特許文献１）。
【０００３】
図１１に示すグリッド１２０は平面状であるが、イオンビームの収束性を高めてハイレート化を目的とするためにグリッド１２０を湾曲させた構成が知られている。例えば、特許文献２には、本体（イオン源５）側に窪むように湾曲されたグリッド（電極８）が開示され、特許文献３にも本体（符号５）側に窪むように湾曲されたグリッド（複数の板７）が開示されている。これらのグリッドをハーフパイプ型グリッドと称す。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第４０４８２５４号
【特許文献２】特開平４−６２７２号公報
【特許文献３】実開昭６３−１８７４６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、従来のハーフパイプ型グリッドを用いるイオンガンには以下の問題点があった。
第１に、特許文献２及び３とも、グリッド製造時に平面グリッド板が一方向に湾曲加工され、その後本体に取り付けられるが、この湾曲加工の精度を確保するのが難しく、その湾曲度に加工ばらつきが発生し易い。イオンガンにおいてグリッドは消耗品であり、比較的頻繁に交換されるものであるが、この湾曲加工ばらつきのために、グリッド交換の度に出射イオンビームの特性が変化してしまうという問題があった。従って、従来のハーフパイプ型グリッドではこの湾曲加工ばらつきのために出射イオンビームの再現性が悪いという問題があった。
【０００６】
第２に、従来のイオンガンの構成では（特許文献２及び３のハーフパイプ型か特許文献１のフラット型かにかかわらず）、加速グリッドの形状安定性が悪く、イオンビーム出射開始後に出力特性が安定するまでに時間を要していた。即ち、イオンビーム出射開始後に加速グリッドの温度が上昇すると、熱膨張による変形によって他の部材に対するグリッド孔の位置が変化してしまうが、この変化が安定するまではイオンガンの使用開始（例えば、圧電素子の周波数調整の作業開始）を待たなくてはならなかった（例えば、特許文献１の場合で１５分程度）。従って、形状安定性の低さから、このイオンビーム出射後安定するまでの間の電力や待ち時間が無駄となるという問題があった。
【０００７】
第３に、上述したようにグリッドは消耗品であるので、イオンガンのユーザにおいて多数のストックを保管しておく必要がある。しかし、特許文献２及び３のような湾曲したグリッドは専有する体積が大きいために、さらに、その湾曲状態を保管時に損なわないためにも多数のグリッドを積載しておくことは好ましくないために広い保管収納場所を要していた。従って、従来のハーフパイプ型グリッドは保管性が悪いという問題もあった。
【０００８】
そこで、本発明は、グリッド交換時の出力特性の再現性、温度変化に伴う形状安定性、及び保管性に優れるハーフパイプ型グリッド、並びにそれを備えるイオンガンを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の第１の側面は、イオンガンであって、内部にプラズマを発生させる本体、本体内部からプラズマを引き出すためのグリッド、及びグリッドを本体との間に挟みこむ枠状の加速電極を備え、本体のグリッドに対向する端面が谷折状の湾曲面を有し、グリッドが、本体とグリッドとの接面において湾曲面に一致する曲面をなすように装着される平板グリッドであるイオンガンである。
【００１０】
本発明の第２の側面は、イオンガンであって、内部にプラズマを発生させる本体、本体内部からプラズマを引き出すためのグリッド、及びグリッドを本体との間に挟みこむ枠状の加速電極を備え、加速電極のグリッドに対向する端面が山折状の湾曲面を有し、グリッドが、加速電極とグリッドとの接面において湾曲面に一致する曲面をなすように装着される平板グリッドであるイオンガンである。
【００１１】
本発明の第３の側面は、イオンガンであって、内部にプラズマを発生させる本体、本体内部からプラズマを引き出すためのグリッド、及びグリッドを本体に固定する固定具を備え、本体のグリッドに対向する端面が谷折状の湾曲面を有し、グリッドが、本体とグリッドとの接面において湾曲面に一致する曲面をなすように装着される平板グリッドであるイオンガンである。
【００１２】
本発明の第４の側面は、グリッド孔をグリッドの一端から対向する他端まで連続して形成し、前記連続形成したグリッド孔に垂直な方向にグリッドを湾曲させるイオンガンである。また、第４の側面のイオンガングリッドはイオンビーム有効エリアのみを開口させる遮蔽板と組み合わせて用いることが望ましい。グリッドは行方向に湾曲させるとよい。
【００１３】
上記第１から第４の側面のイオンガンは、マトリクス状に配列した圧電素子の列方向に平行にグリッドのグリッド孔を配置し、行方向に搬送する圧電素子に列単位でイオンビームを照射して、圧電素子の共振周波数をイオンエッチングすることができる。
【００１４】
上記第１から第４の側面で使用するグリッドは、材質がモリブデンであり、厚みが200μｍ〜20μｍが好適であり、150μｍ〜50μｍであればより好適である。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の第１の実施例を示す鳥瞰図である。
【図２Ａ】本発明の第１の実施例を示す側面図である。
【図２Ｂ】本発明の第１の実施例を示す上面図である。
【図３】本発明の第１の実施例で使用するグリッドを示す図である。
【図４Ａ】本発明の第２の実施例を示す側面図である。
【図４Ｂ】本発明の第２の実施例を示す側面図である。
【図４Ｃ】本発明の第２の実施例を示す側面図である。
【図５】本発明の第３の実施例を示す図である。
【図６Ａ】本発明の第４の実施例を示す側面図である。
【図６Ｂ】本発明の第４の実施例を示す正面図である。
【図６Ｃ】本発明の第４の実施例を示す上面図である。
【図７】本発明の第４の実施例を示す鳥瞰図である。
【図８】本発明の第４の実施例を示す鳥瞰図である。
【図９】本発明の第４の実施例を示す鳥瞰図である。
【図１０Ａ】本発明の第４の実施例を示す平面図である。
【図１０Ｂ】本発明の第４の実施例を示す断面図である。
【図１０Ｃ】従来のイオンガンを示す断面図である。
【図１１】従来のイオンガンの構成を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
実施例１．
図１並びに図２Ａ及び２Ｂに本発明の第１の実施例のイオンガン１を示す。図１はイオンガン１の鳥瞰図、図２Ａは側面図、図２Ｂは上面図である。なお、各図面及び以降の実施例に示す図面は縮尺通りではなく、説明用に強調した態様で示してある。
イオンガン１は内部にプラズマを発生させる本体１０、本体１０の内部からプラズマを引き出すためのグリッド２０、及びグリッド２０を本体１０との間に挟みこむ枠状（環状）の加速電極３０を備え、本体１０のグリッド２０に対向する端面が谷折状の湾曲面を有している。加速グリッド２２は加速電極３０を介して電源５０から電圧を印加され、その多数のグリッド孔によってプラズマからイオンを引き出す。これによりイオンビーム（矢印）が出射される。このイオンビームは圧電素子（不図示）等に照射され、その圧電素子の周波数調整等に使用されるが用途はこれに限られない。
【００１７】
図２Ａに示すように、本体１０のグリッド２０側の端面１１は谷折状に一方向に湾曲し、加速電極３０のグリッド２０側の端面３１は、端面１１と同じ曲率で山折状に一方向に湾曲している。即ち、端面１１と端面３１はグリッド２０を挟んで同一の一方向に湾曲している。なお、図においては、説明の便宜上、端面１１と遮蔽グリッド２１、及び加速グリッド２２と端面３１に隙間をあけて図示してあるが、実際にはこれらは密着配置されている。遮蔽グリッド２１及び本体１０は遮蔽電位に、加速グリッド２２及び加速電極３０は加速電位に維持され、遮蔽グリッド２１と加速グリッド２２は所定間隔離れて配置される。
【００１８】
図２Ｂに示すように、加速電極３０は加速グリッド２２の中央部（グリッド孔２２ａ）を露出させ、その周縁部でグリッド２０を固定するように枠状（環状）の形状を有する。
また、加速電極３０がイオンビームを囲む構成となっているため、加速電極３０が静電レンズとして作用し、イオンビームの収束性を高めることができる。
【００１９】
グリッド２０は複数のグリッドからなり、本体１０側のものを遮蔽グリッド２１、加速電極３０側のものを加速グリッド２２という。ここでは、説明の簡明化のために２枚のグリッド２１及び２２を示すが、さらに多くのグリッドが重ねられてもよい。いずれの場合でも、これらのグリッドをまとめてグリッド２０という。
【００２０】
図３にグリッド２０のうちの１枚のグリッド（装着前）を示す。図２Ａではグリッド２０は一方向に湾曲しているのに対し、図３に示すように装着前のグリッド２０は平面をなしている。即ち、グリッド２０は製造時は平面であるが、本体１０に装着される際に、端面１１に従って一方向に折り曲げられ、加速電極３０によって押さえつけられる。従って、グリッド２０は各特許文献に示したグリッドと同じ材質（例えば、モリブデン）であってもそれらよりも薄い平板であり、例えば、厚みが200μｍ〜20μｍが好ましく、より好適には150μｍ〜50μｍが望ましい。なお、装着前の平面グリッドとは、実質的に平らなグリッドを意味するものであり、グリッドのごく一部が平らでなかったり、全体的にわずかに曲がっていたりするものも含まれる。
【００２１】
上記構成において、グリッド２０を平板グリッドとして製造しておき、本体１０への装着時（例えば、交換時）に本体１０の端面１１に合わせてグリッド２０を湾曲させることにより、グリッド２０の湾曲加工のばらつきという再現性低下要因を排除できる。従って、消耗品であるグリッドを交換しても、その前後で出射イオンビームの再現性を確保することができる。
【００２２】
また、上記構成において、加速グリッド２２が加速電極３０に当接されているので、イオンビーム出射開始後の熱膨張によるグリッド２０の変形は加速電極３０の端面３１に沿う方向のみの変形となる。同様に、遮蔽グリッド２１は本体１０に当接されているので、イオンビーム出射開始後の熱膨張によるグリッド２１の変形は本体１０の端面１１に沿う方向のみの変形となる。従って、温度上昇に対する形状安定性に優れ、イオンビーム出射開始後に出力が安定するまでに要する時間が従来のものに比べて短縮される。具体的には、同じ出力パワーであっても、出力安定に要する時間は特許文献１の例では１５分程度であるのに対し、本発明においては３分程度となることが確認された。
【００２３】
またさらに、本発明のグリッド２０は湾曲板ではなく平板として製造及び保管されるので、装着前のグリッド２０の扱いが容易となる。特に、平板のグリッド２０は保管時に積載することが可能であるから、保管場所が省スペース化され、保管性に優れる。
【００２４】
実施例２．
図４Ａ及び４Ｂは本発明の第２の実施例のイオンガン２を製作工程に従って示すものである。本実施例でも実施例１と同様に、使用するグリッド２０は全て平板グリッドであるが、後述する各固定具等を通すための穴の位置は異なる。
【００２５】
図４Ａにおいて、遮蔽グリッド２１が本体１０の端面１１に固定具（例えばネジ）４１によって固定され、加速グリッド２２が加速電極３０の端面３１に固定具（例えばネジ）４２によって固定される。ここで、本体１０の構成は基本的には実施例１のものと同様であるが、電極サポート１２が本体１０の一部に設けられている点、及びネジ穴の構成が異なる。また、加速電極３０も基本的には実施例１のものと同様であるが、電極サポート１２のための凹部３２が設けられている点、及びネジ穴の構成が異なる。電極サポート１２は本体１０とは電気的に絶縁され、電源５０から電圧印加される。同図では省略してあるが、電極サポート１２は本体１０の周縁に複数本配置され、加速電極３０を上端で支持する。電極サポート１２により、遮蔽グリッド２１と加速グリッド２２はグリッド間距離を保ちながら、電位差をもって配置される。グリッド間距離は電極サポート１２の高さ及び凹部３２の形状により調整すればよい。
【００２６】
図４Ｂにおいて、本体１０及び遮蔽グリッド２１と加速電極３０及び加速グリッド２２とが、電極サポート１２を凹部３２に収斂させるようにして取り付けられ、これらが固定具（例えばネジ）４３で固定される。なお、同図では固定具４１及び４２は図の明瞭化のために省略してある。図４Ｃに示すように、固定具４２を用いてグリッド２０を加速電極３０に直接固定し、加速電極３０と本体１０を固定具４３で固定してもよい。遮蔽グリッド２１と加速グリッド２２の間には絶縁材料からなるスペーサーを配置する。
【００２７】
実施例３．
実施例３では実施例１の変形例として加速電極３０を用いない構成を示す。
図５に本実施例のイオンガン３の側面図を示す。図示するように、グリッド２０が本体１０に固定具４４を用いて直接固定される。固定具４４を適切に配置することにより、加速電極を用いなくてもグリッド２０を本体１０の湾曲に合わせて固定することができる。
この場合、加速グリッド２２に電源５０から電圧を直接印加する構成となる。
【００２８】
上記構成では、加速グリッドによる効果（即ち、優れた形状安定性、静電レンズ作用等）が得られ難くなるものの、実施例１及び２と同様に、消耗品であるグリッドを交換してもその前後で出射イオンビームの再現性が確保され、グリッドの保管性にも優れる。
【００２９】
実施例４．
図６乃至図９に本発明の第４の実施例のイオンガン４を示す。図６Ａは側面図、図６Ｂは正面図、図６Ｃは上面図である。
イオンガン４は、第１の実施例に示すイオンガンであって、本体６０、グリッド７０、及び枠状の加速電極８０が矩形であることを特徴とする。形状及びグリッド７０を除き、その他の構成は第１の実施例に同じであるため説明を省略する。また、イオンガン４は第２の実施例に示すグリッドの固定手段を用いてもよいし、第３の実施例に示すように加速電極８０を省略してもよい。矩形のイオンガンは、直線状に配列した複数の圧電素子を同時に周波数調整する場合に有効であるが、用途はこれに限られない。
【００３０】
図６Ａに示すように、本体６０のグリッド７０側の端面６１は谷折状に一方向（同図では矩形の短辺方向）に湾曲し、加速電極８０のグリッド７０側の端面８１は、端面６１と同じ曲率で山折状に端面６１と同じ方向に湾曲している。また、遮蔽グリッド７１及び加速グリッド７２には、矩形の一辺に沿って複数のグリッド孔７１ａ、７２ａが形成される。同図においてグリッド孔７１ａ、７２ａは、矩形の短辺方向中央部分に、長辺に沿って複数形成され、長辺に平行な帯状のイオンビーム照射エリアを得る。実施例ではグリッド全体でなく短辺方向中央部にのみ孔を形成するため、強度の大きい短辺方向両端部を本体及び加速電極に密着させることができ、グリッド板を本体及び加速電極の曲率を合わせやすい。また、面積の大きい短辺方向両端部が本体及び加速電極に密着するため、熱伝達が大きく、熱膨張による変形が生じ難い。
【００３１】
図７は加速電極８０と加速グリッド７２の鳥瞰図を示す。湾曲形成した本体６０及び加速電極８０の周縁部によりグリッド７０を固定するため、再現性及び形状安定性に優れること、及びイオンビームを囲む加速電極８０が静電レンズとして作用してイオンビームの収束性を高める効果があることは第１の実施例に同じである。
【００３２】
図８はグリッド７０の他の実施例を示す鳥瞰図である。加速グリッド７３はグリッド孔をグリッドの一端から対向する他端まで連続して形成し、グリッドの一端及び他端に平行な方向にグリッドを湾曲させることを特徴とする。図７ではグリッド孔の有る所と無い所で板の強度が異なるため、均一な曲率とならない場合があるが、図８ではグリッド孔をグリッド板の縁まで設け、遮蔽板７５で覆うことによって、板の強度が等しくなり均一な曲率が得やすい。イオンビームの有効エリアは遮蔽板７５の開口形状により決定されるため、開口は所望のエリアのみを露出するよう形成すればよい。遮蔽板７５の開口は加速電極８０の開口より小さく、遮蔽板７５の開口から露出するグリッド孔からのみイオンが引出される。外縁に孔を形成したグリッド板と遮蔽板とをセットで用いることにより、均一な曲率を得ながらもイオンビームが有効エリア外から引き出されることを抑止する。
【００３３】
遮蔽板７５は加速グリッド７３の本体６０側に取付けるが、加速グリッド７３の加速電極８０側に加速グリッドに密着させて取付けてもよい。また、遮蔽板７５は別部材とせず、イオンガン本体６０と一体構造としてもよい。グリッド上いずれの位置においてもグリッド湾曲方向中央部に開口が形成されるため、グリッドの曲率を湾曲方向に垂直な方向の各位置において揃えることができる。これにより図７に示す加速グリッド７２に比べて、加速グリッド７３は板厚を厚くすることができるという利点がある。グリッドの板厚が厚いと、グリッドの長寿命化を図ることができる。また、実施例では方形のグリッドを用いるが、グリッド板の外縁まで孔を形成することは円形、楕円形その他の形状のグリッドであっても有効である。特に円形または楕円形のグリッド板であって中央部にのみ孔が形成される場合、端部における曲げ加工に強い力が必要になるが、端部に孔を形成することにより端部と中央部の差をなくし、均一な曲率を得ることができる。いずれの形状であっても、グリッドの一端から対向する他端まで連続してグリッド孔を形成し、連続形成したグリッド孔に垂直な方向にグリッドを湾曲させればよい。
【００３４】
図９はグリッド７０の他の実施例を示す鳥瞰図である。加速グリッド７４は、遮蔽板７５により遮蔽される部分をスリット状に形成する。均一な曲率を得ることができる効果は図８に同じであるが、イオン引出し孔とスリットを分けることにより、イオンビーム有効エリアと遮蔽領域との境界が明確となり区別し易い。
【００３５】
図６に示す矩形のイオンガン４を用いれば、例えば図１０に示すようなマトリクス状に配列した行方向（同図矢印方向）搬送の圧電素子２００を列単位で順次周波数調整することができる。図１０Ａは平面図、図１０Ｂは断面図を示す。イオンガン４は、マトリクス状の圧電素子２００に対して、長辺が列方向に平行になるように配置する。イオンガン４のグリッド７０は短辺方向に湾曲させる。グリッド孔群の長辺方向の幅及び短辺方向の幅（図８及び図９に示すグリッドを用いる場合は、遮蔽板７５開口の縦方向の幅及び横方向の幅）は、同時調整する圧電素子２００の行列数に合わせて調整すればよい。図１０では圧電素子１列全てに均一なイオンビームを照射するものとする。
【００３６】
図１０Ｃに示すようにイオンガンのグリッドが平面である場合、照射対象であるワーク（圧電素子２００）とイオンガンとの距離ｄ１が大きくなるほどイオンビームが発散してエッチングレートが低下するため、エッチングレートを確保するためには圧電素子２００とイオンガン１００との距離ｄ１を小さくする必要がある。しかし、距離が小さいと、マスク２０２やシャッタ２０１のスパッタ物がイオンガン及びその周辺に堆積、剥離し、スパッタ物によるグリッド間の短絡等の問題が生じる。
【００３７】
これに対して、本発明のイオンガンはグリッドを湾曲させてイオンビームを収束させるために、圧電素子２００とイオンガン４との距離ｄ２を大きくとりながらも同等のレートを得ることができる。距離ｄ２が大きいほど、イオンガン本体へのスパッタ物の堆積率が減少するため、装置の平均故障間隔（ＭＴＢＦ）を長くすることができる。図１０Ａ，Ｂに示す周波数調整装置にイオンガン４を搭載することで、再現性に優れた周波数調整を行うことが可能となる。更に、図８及び図９に示すグリッド７０を用いることで、周波数調整精度がより向上する。
【００３８】
上記各実施例は本発明の最も好適な形態を示すものであるが、上記は以下のように変更可能である。
（１）上記各実施例では、グリッド２０を円板または矩形板としたが、本体１０の端面１１又は加速電極３０の端面３１に沿うように一方向に湾曲してそれらに固定できればよく、例えば、楕円、正方形等であってもよい。
（２）また、本発明において加速電極の形態を表現する「枠状」とは、少なくとも外縁と内縁を有し、その外縁又は内縁が円形、楕円、矩形、他の多角形等である形状を含むものとする。
（３）実施例１及び４では加速電極３０、８０及びグリッド２０、７０を本体１０、６０に固定する手段として固定具４０、９０を用いたが、（各図の通りの上下方向で使用する場合）加速電極３０、８０自体の重量を大きくし、又はその上部にウェイトを置く等して固定具４０を省略することも可能である。
（４）上記実施例１、２及び４では、グリッド２０を本体１０との間に挟むための部材として加速電極３０、８０を示したが、その部材は加速電極３０、８０と同様の形状であれば電極でなくてもよい。なお、この場合、図５の場合と同様に加速グリッド２２に電圧を直接印加する構成が必要となる。
（５）上記実施例２では電極サポートを用いてグリッド間距離を保ったが、絶縁材料よりなるスペーサー等を電極間に挿入して固定してもよい。
【符号の説明】
【００３９】
１、２、３、４．イオンガン
１０、６０．本体
１１、６１．端面
１２．電極サポート
２０、７０．グリッド
２１、７１．遮蔽グリッド
２２、７２〜７４．加速グリッド
７５．遮蔽板
３０、８０．加速電極
３１、８１．端面
３２、８２．凹部
４０〜４４、９０．固定具
【技術分野】
【０００１】
本発明はイオンガンに関し、特に、プラズマからイオンビームを引き出す加速グリッド及びそれを用いるイオンガンに関する。
【背景技術】
【０００２】
図１１に従来のイオンガン１００の構成を示す。イオンガン１００は、内部にプラズマを発生させる本体１１０、多数のグリッド孔が設けられた遮蔽グリッド１２１及び加速グリッド１２２（これらをまとめてグリッド１２０という）、本体１１０に取り付けられたサポート１１２、並びに加速グリッド１２２をサポート１１２に固定するネジ１４０を備える。電源（不図示）から電圧が印加された加速グリッド１２２が本体１１０内部のプラズマからイオンを引き出し、これによりイオンビーム（矢印）が出射される。このイオンビームは圧電素子（不図示）等に照射され、その圧電素子の周波数調整等に使用される（例えば、特許文献１）。
【０００３】
図１１に示すグリッド１２０は平面状であるが、イオンビームの収束性を高めてハイレート化を目的とするためにグリッド１２０を湾曲させた構成が知られている。例えば、特許文献２には、本体（イオン源５）側に窪むように湾曲されたグリッド（電極８）が開示され、特許文献３にも本体（符号５）側に窪むように湾曲されたグリッド（複数の板７）が開示されている。これらのグリッドをハーフパイプ型グリッドと称す。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第４０４８２５４号
【特許文献２】特開平４−６２７２号公報
【特許文献３】実開昭６３−１８７４６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、従来のハーフパイプ型グリッドを用いるイオンガンには以下の問題点があった。
第１に、特許文献２及び３とも、グリッド製造時に平面グリッド板が一方向に湾曲加工され、その後本体に取り付けられるが、この湾曲加工の精度を確保するのが難しく、その湾曲度に加工ばらつきが発生し易い。イオンガンにおいてグリッドは消耗品であり、比較的頻繁に交換されるものであるが、この湾曲加工ばらつきのために、グリッド交換の度に出射イオンビームの特性が変化してしまうという問題があった。従って、従来のハーフパイプ型グリッドではこの湾曲加工ばらつきのために出射イオンビームの再現性が悪いという問題があった。
【０００６】
第２に、従来のイオンガンの構成では（特許文献２及び３のハーフパイプ型か特許文献１のフラット型かにかかわらず）、加速グリッドの形状安定性が悪く、イオンビーム出射開始後に出力特性が安定するまでに時間を要していた。即ち、イオンビーム出射開始後に加速グリッドの温度が上昇すると、熱膨張による変形によって他の部材に対するグリッド孔の位置が変化してしまうが、この変化が安定するまではイオンガンの使用開始（例えば、圧電素子の周波数調整の作業開始）を待たなくてはならなかった（例えば、特許文献１の場合で１５分程度）。従って、形状安定性の低さから、このイオンビーム出射後安定するまでの間の電力や待ち時間が無駄となるという問題があった。
【０００７】
第３に、上述したようにグリッドは消耗品であるので、イオンガンのユーザにおいて多数のストックを保管しておく必要がある。しかし、特許文献２及び３のような湾曲したグリッドは専有する体積が大きいために、さらに、その湾曲状態を保管時に損なわないためにも多数のグリッドを積載しておくことは好ましくないために広い保管収納場所を要していた。従って、従来のハーフパイプ型グリッドは保管性が悪いという問題もあった。
【０００８】
そこで、本発明は、グリッド交換時の出力特性の再現性、温度変化に伴う形状安定性、及び保管性に優れるハーフパイプ型グリッド、並びにそれを備えるイオンガンを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の第１の側面は、イオンガンであって、内部にプラズマを発生させる本体、本体内部からプラズマを引き出すためのグリッド、及びグリッドを本体との間に挟みこむ枠状の加速電極を備え、本体のグリッドに対向する端面が谷折状の湾曲面を有し、グリッドが、本体とグリッドとの接面において湾曲面に一致する曲面をなすように装着される平板グリッドであるイオンガンである。
【００１０】
本発明の第２の側面は、イオンガンであって、内部にプラズマを発生させる本体、本体内部からプラズマを引き出すためのグリッド、及びグリッドを本体との間に挟みこむ枠状の加速電極を備え、加速電極のグリッドに対向する端面が山折状の湾曲面を有し、グリッドが、加速電極とグリッドとの接面において湾曲面に一致する曲面をなすように装着される平板グリッドであるイオンガンである。
【００１１】
本発明の第３の側面は、イオンガンであって、内部にプラズマを発生させる本体、本体内部からプラズマを引き出すためのグリッド、及びグリッドを本体に固定する固定具を備え、本体のグリッドに対向する端面が谷折状の湾曲面を有し、グリッドが、本体とグリッドとの接面において湾曲面に一致する曲面をなすように装着される平板グリッドであるイオンガンである。
【００１２】
本発明の第４の側面は、グリッド孔をグリッドの一端から対向する他端まで連続して形成し、前記連続形成したグリッド孔に垂直な方向にグリッドを湾曲させるイオンガンである。また、第４の側面のイオンガングリッドはイオンビーム有効エリアのみを開口させる遮蔽板と組み合わせて用いることが望ましい。グリッドは行方向に湾曲させるとよい。
【００１３】
上記第１から第４の側面のイオンガンは、マトリクス状に配列した圧電素子の列方向に平行にグリッドのグリッド孔を配置し、行方向に搬送する圧電素子に列単位でイオンビームを照射して、圧電素子の共振周波数をイオンエッチングすることができる。
【００１４】
上記第１から第４の側面で使用するグリッドは、材質がモリブデンであり、厚みが200μｍ〜20μｍが好適であり、150μｍ〜50μｍであればより好適である。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の第１の実施例を示す鳥瞰図である。
【図２Ａ】本発明の第１の実施例を示す側面図である。
【図２Ｂ】本発明の第１の実施例を示す上面図である。
【図３】本発明の第１の実施例で使用するグリッドを示す図である。
【図４Ａ】本発明の第２の実施例を示す側面図である。
【図４Ｂ】本発明の第２の実施例を示す側面図である。
【図４Ｃ】本発明の第２の実施例を示す側面図である。
【図５】本発明の第３の実施例を示す図である。
【図６Ａ】本発明の第４の実施例を示す側面図である。
【図６Ｂ】本発明の第４の実施例を示す正面図である。
【図６Ｃ】本発明の第４の実施例を示す上面図である。
【図７】本発明の第４の実施例を示す鳥瞰図である。
【図８】本発明の第４の実施例を示す鳥瞰図である。
【図９】本発明の第４の実施例を示す鳥瞰図である。
【図１０Ａ】本発明の第４の実施例を示す平面図である。
【図１０Ｂ】本発明の第４の実施例を示す断面図である。
【図１０Ｃ】従来のイオンガンを示す断面図である。
【図１１】従来のイオンガンの構成を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
実施例１．
図１並びに図２Ａ及び２Ｂに本発明の第１の実施例のイオンガン１を示す。図１はイオンガン１の鳥瞰図、図２Ａは側面図、図２Ｂは上面図である。なお、各図面及び以降の実施例に示す図面は縮尺通りではなく、説明用に強調した態様で示してある。
イオンガン１は内部にプラズマを発生させる本体１０、本体１０の内部からプラズマを引き出すためのグリッド２０、及びグリッド２０を本体１０との間に挟みこむ枠状（環状）の加速電極３０を備え、本体１０のグリッド２０に対向する端面が谷折状の湾曲面を有している。加速グリッド２２は加速電極３０を介して電源５０から電圧を印加され、その多数のグリッド孔によってプラズマからイオンを引き出す。これによりイオンビーム（矢印）が出射される。このイオンビームは圧電素子（不図示）等に照射され、その圧電素子の周波数調整等に使用されるが用途はこれに限られない。
【００１７】
図２Ａに示すように、本体１０のグリッド２０側の端面１１は谷折状に一方向に湾曲し、加速電極３０のグリッド２０側の端面３１は、端面１１と同じ曲率で山折状に一方向に湾曲している。即ち、端面１１と端面３１はグリッド２０を挟んで同一の一方向に湾曲している。なお、図においては、説明の便宜上、端面１１と遮蔽グリッド２１、及び加速グリッド２２と端面３１に隙間をあけて図示してあるが、実際にはこれらは密着配置されている。遮蔽グリッド２１及び本体１０は遮蔽電位に、加速グリッド２２及び加速電極３０は加速電位に維持され、遮蔽グリッド２１と加速グリッド２２は所定間隔離れて配置される。
【００１８】
図２Ｂに示すように、加速電極３０は加速グリッド２２の中央部（グリッド孔２２ａ）を露出させ、その周縁部でグリッド２０を固定するように枠状（環状）の形状を有する。
また、加速電極３０がイオンビームを囲む構成となっているため、加速電極３０が静電レンズとして作用し、イオンビームの収束性を高めることができる。
【００１９】
グリッド２０は複数のグリッドからなり、本体１０側のものを遮蔽グリッド２１、加速電極３０側のものを加速グリッド２２という。ここでは、説明の簡明化のために２枚のグリッド２１及び２２を示すが、さらに多くのグリッドが重ねられてもよい。いずれの場合でも、これらのグリッドをまとめてグリッド２０という。
【００２０】
図３にグリッド２０のうちの１枚のグリッド（装着前）を示す。図２Ａではグリッド２０は一方向に湾曲しているのに対し、図３に示すように装着前のグリッド２０は平面をなしている。即ち、グリッド２０は製造時は平面であるが、本体１０に装着される際に、端面１１に従って一方向に折り曲げられ、加速電極３０によって押さえつけられる。従って、グリッド２０は各特許文献に示したグリッドと同じ材質（例えば、モリブデン）であってもそれらよりも薄い平板であり、例えば、厚みが200μｍ〜20μｍが好ましく、より好適には150μｍ〜50μｍが望ましい。なお、装着前の平面グリッドとは、実質的に平らなグリッドを意味するものであり、グリッドのごく一部が平らでなかったり、全体的にわずかに曲がっていたりするものも含まれる。
【００２１】
上記構成において、グリッド２０を平板グリッドとして製造しておき、本体１０への装着時（例えば、交換時）に本体１０の端面１１に合わせてグリッド２０を湾曲させることにより、グリッド２０の湾曲加工のばらつきという再現性低下要因を排除できる。従って、消耗品であるグリッドを交換しても、その前後で出射イオンビームの再現性を確保することができる。
【００２２】
また、上記構成において、加速グリッド２２が加速電極３０に当接されているので、イオンビーム出射開始後の熱膨張によるグリッド２０の変形は加速電極３０の端面３１に沿う方向のみの変形となる。同様に、遮蔽グリッド２１は本体１０に当接されているので、イオンビーム出射開始後の熱膨張によるグリッド２１の変形は本体１０の端面１１に沿う方向のみの変形となる。従って、温度上昇に対する形状安定性に優れ、イオンビーム出射開始後に出力が安定するまでに要する時間が従来のものに比べて短縮される。具体的には、同じ出力パワーであっても、出力安定に要する時間は特許文献１の例では１５分程度であるのに対し、本発明においては３分程度となることが確認された。
【００２３】
またさらに、本発明のグリッド２０は湾曲板ではなく平板として製造及び保管されるので、装着前のグリッド２０の扱いが容易となる。特に、平板のグリッド２０は保管時に積載することが可能であるから、保管場所が省スペース化され、保管性に優れる。
【００２４】
実施例２．
図４Ａ及び４Ｂは本発明の第２の実施例のイオンガン２を製作工程に従って示すものである。本実施例でも実施例１と同様に、使用するグリッド２０は全て平板グリッドであるが、後述する各固定具等を通すための穴の位置は異なる。
【００２５】
図４Ａにおいて、遮蔽グリッド２１が本体１０の端面１１に固定具（例えばネジ）４１によって固定され、加速グリッド２２が加速電極３０の端面３１に固定具（例えばネジ）４２によって固定される。ここで、本体１０の構成は基本的には実施例１のものと同様であるが、電極サポート１２が本体１０の一部に設けられている点、及びネジ穴の構成が異なる。また、加速電極３０も基本的には実施例１のものと同様であるが、電極サポート１２のための凹部３２が設けられている点、及びネジ穴の構成が異なる。電極サポート１２は本体１０とは電気的に絶縁され、電源５０から電圧印加される。同図では省略してあるが、電極サポート１２は本体１０の周縁に複数本配置され、加速電極３０を上端で支持する。電極サポート１２により、遮蔽グリッド２１と加速グリッド２２はグリッド間距離を保ちながら、電位差をもって配置される。グリッド間距離は電極サポート１２の高さ及び凹部３２の形状により調整すればよい。
【００２６】
図４Ｂにおいて、本体１０及び遮蔽グリッド２１と加速電極３０及び加速グリッド２２とが、電極サポート１２を凹部３２に収斂させるようにして取り付けられ、これらが固定具（例えばネジ）４３で固定される。なお、同図では固定具４１及び４２は図の明瞭化のために省略してある。図４Ｃに示すように、固定具４２を用いてグリッド２０を加速電極３０に直接固定し、加速電極３０と本体１０を固定具４３で固定してもよい。遮蔽グリッド２１と加速グリッド２２の間には絶縁材料からなるスペーサーを配置する。
【００２７】
実施例３．
実施例３では実施例１の変形例として加速電極３０を用いない構成を示す。
図５に本実施例のイオンガン３の側面図を示す。図示するように、グリッド２０が本体１０に固定具４４を用いて直接固定される。固定具４４を適切に配置することにより、加速電極を用いなくてもグリッド２０を本体１０の湾曲に合わせて固定することができる。
この場合、加速グリッド２２に電源５０から電圧を直接印加する構成となる。
【００２８】
上記構成では、加速グリッドによる効果（即ち、優れた形状安定性、静電レンズ作用等）が得られ難くなるものの、実施例１及び２と同様に、消耗品であるグリッドを交換してもその前後で出射イオンビームの再現性が確保され、グリッドの保管性にも優れる。
【００２９】
実施例４．
図６乃至図９に本発明の第４の実施例のイオンガン４を示す。図６Ａは側面図、図６Ｂは正面図、図６Ｃは上面図である。
イオンガン４は、第１の実施例に示すイオンガンであって、本体６０、グリッド７０、及び枠状の加速電極８０が矩形であることを特徴とする。形状及びグリッド７０を除き、その他の構成は第１の実施例に同じであるため説明を省略する。また、イオンガン４は第２の実施例に示すグリッドの固定手段を用いてもよいし、第３の実施例に示すように加速電極８０を省略してもよい。矩形のイオンガンは、直線状に配列した複数の圧電素子を同時に周波数調整する場合に有効であるが、用途はこれに限られない。
【００３０】
図６Ａに示すように、本体６０のグリッド７０側の端面６１は谷折状に一方向（同図では矩形の短辺方向）に湾曲し、加速電極８０のグリッド７０側の端面８１は、端面６１と同じ曲率で山折状に端面６１と同じ方向に湾曲している。また、遮蔽グリッド７１及び加速グリッド７２には、矩形の一辺に沿って複数のグリッド孔７１ａ、７２ａが形成される。同図においてグリッド孔７１ａ、７２ａは、矩形の短辺方向中央部分に、長辺に沿って複数形成され、長辺に平行な帯状のイオンビーム照射エリアを得る。実施例ではグリッド全体でなく短辺方向中央部にのみ孔を形成するため、強度の大きい短辺方向両端部を本体及び加速電極に密着させることができ、グリッド板を本体及び加速電極の曲率を合わせやすい。また、面積の大きい短辺方向両端部が本体及び加速電極に密着するため、熱伝達が大きく、熱膨張による変形が生じ難い。
【００３１】
図７は加速電極８０と加速グリッド７２の鳥瞰図を示す。湾曲形成した本体６０及び加速電極８０の周縁部によりグリッド７０を固定するため、再現性及び形状安定性に優れること、及びイオンビームを囲む加速電極８０が静電レンズとして作用してイオンビームの収束性を高める効果があることは第１の実施例に同じである。
【００３２】
図８はグリッド７０の他の実施例を示す鳥瞰図である。加速グリッド７３はグリッド孔をグリッドの一端から対向する他端まで連続して形成し、グリッドの一端及び他端に平行な方向にグリッドを湾曲させることを特徴とする。図７ではグリッド孔の有る所と無い所で板の強度が異なるため、均一な曲率とならない場合があるが、図８ではグリッド孔をグリッド板の縁まで設け、遮蔽板７５で覆うことによって、板の強度が等しくなり均一な曲率が得やすい。イオンビームの有効エリアは遮蔽板７５の開口形状により決定されるため、開口は所望のエリアのみを露出するよう形成すればよい。遮蔽板７５の開口は加速電極８０の開口より小さく、遮蔽板７５の開口から露出するグリッド孔からのみイオンが引出される。外縁に孔を形成したグリッド板と遮蔽板とをセットで用いることにより、均一な曲率を得ながらもイオンビームが有効エリア外から引き出されることを抑止する。
【００３３】
遮蔽板７５は加速グリッド７３の本体６０側に取付けるが、加速グリッド７３の加速電極８０側に加速グリッドに密着させて取付けてもよい。また、遮蔽板７５は別部材とせず、イオンガン本体６０と一体構造としてもよい。グリッド上いずれの位置においてもグリッド湾曲方向中央部に開口が形成されるため、グリッドの曲率を湾曲方向に垂直な方向の各位置において揃えることができる。これにより図７に示す加速グリッド７２に比べて、加速グリッド７３は板厚を厚くすることができるという利点がある。グリッドの板厚が厚いと、グリッドの長寿命化を図ることができる。また、実施例では方形のグリッドを用いるが、グリッド板の外縁まで孔を形成することは円形、楕円形その他の形状のグリッドであっても有効である。特に円形または楕円形のグリッド板であって中央部にのみ孔が形成される場合、端部における曲げ加工に強い力が必要になるが、端部に孔を形成することにより端部と中央部の差をなくし、均一な曲率を得ることができる。いずれの形状であっても、グリッドの一端から対向する他端まで連続してグリッド孔を形成し、連続形成したグリッド孔に垂直な方向にグリッドを湾曲させればよい。
【００３４】
図９はグリッド７０の他の実施例を示す鳥瞰図である。加速グリッド７４は、遮蔽板７５により遮蔽される部分をスリット状に形成する。均一な曲率を得ることができる効果は図８に同じであるが、イオン引出し孔とスリットを分けることにより、イオンビーム有効エリアと遮蔽領域との境界が明確となり区別し易い。
【００３５】
図６に示す矩形のイオンガン４を用いれば、例えば図１０に示すようなマトリクス状に配列した行方向（同図矢印方向）搬送の圧電素子２００を列単位で順次周波数調整することができる。図１０Ａは平面図、図１０Ｂは断面図を示す。イオンガン４は、マトリクス状の圧電素子２００に対して、長辺が列方向に平行になるように配置する。イオンガン４のグリッド７０は短辺方向に湾曲させる。グリッド孔群の長辺方向の幅及び短辺方向の幅（図８及び図９に示すグリッドを用いる場合は、遮蔽板７５開口の縦方向の幅及び横方向の幅）は、同時調整する圧電素子２００の行列数に合わせて調整すればよい。図１０では圧電素子１列全てに均一なイオンビームを照射するものとする。
【００３６】
図１０Ｃに示すようにイオンガンのグリッドが平面である場合、照射対象であるワーク（圧電素子２００）とイオンガンとの距離ｄ１が大きくなるほどイオンビームが発散してエッチングレートが低下するため、エッチングレートを確保するためには圧電素子２００とイオンガン１００との距離ｄ１を小さくする必要がある。しかし、距離が小さいと、マスク２０２やシャッタ２０１のスパッタ物がイオンガン及びその周辺に堆積、剥離し、スパッタ物によるグリッド間の短絡等の問題が生じる。
【００３７】
これに対して、本発明のイオンガンはグリッドを湾曲させてイオンビームを収束させるために、圧電素子２００とイオンガン４との距離ｄ２を大きくとりながらも同等のレートを得ることができる。距離ｄ２が大きいほど、イオンガン本体へのスパッタ物の堆積率が減少するため、装置の平均故障間隔（ＭＴＢＦ）を長くすることができる。図１０Ａ，Ｂに示す周波数調整装置にイオンガン４を搭載することで、再現性に優れた周波数調整を行うことが可能となる。更に、図８及び図９に示すグリッド７０を用いることで、周波数調整精度がより向上する。
【００３８】
上記各実施例は本発明の最も好適な形態を示すものであるが、上記は以下のように変更可能である。
（１）上記各実施例では、グリッド２０を円板または矩形板としたが、本体１０の端面１１又は加速電極３０の端面３１に沿うように一方向に湾曲してそれらに固定できればよく、例えば、楕円、正方形等であってもよい。
（２）また、本発明において加速電極の形態を表現する「枠状」とは、少なくとも外縁と内縁を有し、その外縁又は内縁が円形、楕円、矩形、他の多角形等である形状を含むものとする。
（３）実施例１及び４では加速電極３０、８０及びグリッド２０、７０を本体１０、６０に固定する手段として固定具４０、９０を用いたが、（各図の通りの上下方向で使用する場合）加速電極３０、８０自体の重量を大きくし、又はその上部にウェイトを置く等して固定具４０を省略することも可能である。
（４）上記実施例１、２及び４では、グリッド２０を本体１０との間に挟むための部材として加速電極３０、８０を示したが、その部材は加速電極３０、８０と同様の形状であれば電極でなくてもよい。なお、この場合、図５の場合と同様に加速グリッド２２に電圧を直接印加する構成が必要となる。
（５）上記実施例２では電極サポートを用いてグリッド間距離を保ったが、絶縁材料よりなるスペーサー等を電極間に挿入して固定してもよい。
【符号の説明】
【００３９】
１、２、３、４．イオンガン
１０、６０．本体
１１、６１．端面
１２．電極サポート
２０、７０．グリッド
２１、７１．遮蔽グリッド
２２、７２〜７４．加速グリッド
７５．遮蔽板
３０、８０．加速電極
３１、８１．端面
３２、８２．凹部
４０〜４４、９０．固定具
【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部にプラズマを発生させる本体及び該本体内部からプラズマを引き出すためのグリッドを備えるイオンガンであって、
該グリッドを該本体との間に挟みこむ枠状の加速電極
を備え、
該本体の該グリッドに対向する端面が谷折状の湾曲面を有し、
該グリッドが、該本体と該グリッドとの接面において該湾曲面に一致する曲面をなすように装着される平板グリッドであるイオンガン。
【請求項２】
内部にプラズマを発生させる本体及び該本体内部からプラズマを引き出すためのグリッドを備えるイオンガンであって、
該グリッドを該本体との間に挟みこむ枠状の加速電極
を備え、
該加速電極の該グリッドに対向する端面が山折状の湾曲面を有し、
該グリッドが、該加速電極と該グリッドとの接面において該湾曲面に一致する曲面をなすように装着される平板グリッドであるイオンガン。
【請求項３】
内部にプラズマを発生させる本体及び該本体内部からプラズマを引き出すためのグリッドを備えるイオンガンであって、
該グリッドを該本体に固定する固定具
を備え、
該本体の該グリッドに対向する端面が谷折状の湾曲面を有し、
該グリッドが、該本体と該グリッドとの接面において該湾曲面に一致する曲面をなすように装着される平板グリッドであるイオンガン。
【請求項４】
請求項１から３いずれか一項に記載のイオンガンであって、
グリッド孔が該グリッドの一端から対向する他端まで連続して形成され、
前記連続形成したグリッド孔に垂直な方向に該グリッドが湾曲されたイオンガン。
【請求項５】
請求項４に記載のイオンガンであって、イオンビーム有効エリアのみを開口させる遮蔽板が該グリッドに取付けられたイオンガン。
【請求項６】
請求項１から５いずれか一項に記載のイオンガンであって、該グリッドが方形に形成されたイオンガン。
【請求項７】
請求項１から５いずれか一項に記載のイオンガンであって、
マトリクス状に配列した圧電素子の列方向に平行に該グリッドのグリッド孔が配置され、
行方向に搬送する該圧電素子に列単位でイオンビームを照射して、該圧電素子の共振周波数をイオンエッチングするように構成されたイオンガン。
【請求項８】
請求項７に記載のイオンガンであって、該グリッドが前記行方向に湾曲されたイオンガン。
【請求項９】
請求項１から８いずれか一項に記載のイオンガンで使用されるグリッドであって、モリブデン（材質）からなり、厚さが200μｍ〜20μｍであるグリッド。
【請求項１０】
請求項９のグリッドにおいて、厚さが150μｍ〜50μｍであるグリッド。
【請求項１】
内部にプラズマを発生させる本体及び該本体内部からプラズマを引き出すためのグリッドを備えるイオンガンであって、
該グリッドを該本体との間に挟みこむ枠状の加速電極
を備え、
該本体の該グリッドに対向する端面が谷折状の湾曲面を有し、
該グリッドが、該本体と該グリッドとの接面において該湾曲面に一致する曲面をなすように装着される平板グリッドであるイオンガン。
【請求項２】
内部にプラズマを発生させる本体及び該本体内部からプラズマを引き出すためのグリッドを備えるイオンガンであって、
該グリッドを該本体との間に挟みこむ枠状の加速電極
を備え、
該加速電極の該グリッドに対向する端面が山折状の湾曲面を有し、
該グリッドが、該加速電極と該グリッドとの接面において該湾曲面に一致する曲面をなすように装着される平板グリッドであるイオンガン。
【請求項３】
内部にプラズマを発生させる本体及び該本体内部からプラズマを引き出すためのグリッドを備えるイオンガンであって、
該グリッドを該本体に固定する固定具
を備え、
該本体の該グリッドに対向する端面が谷折状の湾曲面を有し、
該グリッドが、該本体と該グリッドとの接面において該湾曲面に一致する曲面をなすように装着される平板グリッドであるイオンガン。
【請求項４】
請求項１から３いずれか一項に記載のイオンガンであって、
グリッド孔が該グリッドの一端から対向する他端まで連続して形成され、
前記連続形成したグリッド孔に垂直な方向に該グリッドが湾曲されたイオンガン。
【請求項５】
請求項４に記載のイオンガンであって、イオンビーム有効エリアのみを開口させる遮蔽板が該グリッドに取付けられたイオンガン。
【請求項６】
請求項１から５いずれか一項に記載のイオンガンであって、該グリッドが方形に形成されたイオンガン。
【請求項７】
請求項１から５いずれか一項に記載のイオンガンであって、
マトリクス状に配列した圧電素子の列方向に平行に該グリッドのグリッド孔が配置され、
行方向に搬送する該圧電素子に列単位でイオンビームを照射して、該圧電素子の共振周波数をイオンエッチングするように構成されたイオンガン。
【請求項８】
請求項７に記載のイオンガンであって、該グリッドが前記行方向に湾曲されたイオンガン。
【請求項９】
請求項１から８いずれか一項に記載のイオンガンで使用されるグリッドであって、モリブデン（材質）からなり、厚さが200μｍ〜20μｍであるグリッド。
【請求項１０】
請求項９のグリッドにおいて、厚さが150μｍ〜50μｍであるグリッド。
【図１】
【図２Ａ】
【図２Ｂ】
【図３】
【図４Ａ】
【図４Ｂ】
【図４Ｃ】
【図５】
【図６Ａ】
【図６Ｂ】
【図６Ｃ】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０Ａ】
【図１０Ｂ】
【図１０Ｃ】
【図１１】
【図２Ａ】
【図２Ｂ】
【図３】
【図４Ａ】
【図４Ｂ】
【図４Ｃ】
【図５】
【図６Ａ】
【図６Ｂ】
【図６Ｃ】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０Ａ】
【図１０Ｂ】
【図１０Ｃ】
【図１１】
【公開番号】特開２０１１−８２１５２（Ｐ２０１１−８２１５２Ａ）
【公開日】平成２３年４月２１日（２０１１．４．２１）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１０−２００８７４（Ｐ２０１０−２００８７４）
【出願日】平成２２年９月８日（２０１０．９．８）
【出願人】（０００１４６００９）株式会社昭和真空 (72)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２３年４月２１日（２０１１．４．２１）
【国際特許分類】
【出願日】平成２２年９月８日（２０１０．９．８）
【出願人】（０００１４６００９）株式会社昭和真空 (72)
【Ｆターム（参考）】
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