シートガラスの製造方法及びガラス板
【課題】塵、汚れあるいは傷等のないＦＰＤに有用なシートガラスを効率よく製造することができるシートガラスの製造方法及びガラス板を提供する。
【解決手段】シートガラスの製造方法は、成形された薄板状のガラスの縁部に囲まれた、前記ガラスの表面の側領域のうち、直線状に延びる線状領域によって分割される複数の領域に水溶性保護膜を形成する工程と、切断を含む機械加工を前記ガラスの線状領域に沿って行うことにより、シートガラスを製造する工程と、を有する。また、ガラス板の表面には、水溶性保護膜が形成され、前記薄板状のガラスの縁部に囲まれた、前記ガラスの表面の内側領域のうち、直線状に延びる線状領域によって分割される複数の領域に前記水溶性保護膜が形成されている。
【解決手段】シートガラスの製造方法は、成形された薄板状のガラスの縁部に囲まれた、前記ガラスの表面の側領域のうち、直線状に延びる線状領域によって分割される複数の領域に水溶性保護膜を形成する工程と、切断を含む機械加工を前記ガラスの線状領域に沿って行うことにより、シートガラスを製造する工程と、を有する。また、ガラス板の表面には、水溶性保護膜が形成され、前記薄板状のガラスの縁部に囲まれた、前記ガラスの表面の内側領域のうち、直線状に延びる線状領域によって分割される複数の領域に前記水溶性保護膜が形成されている。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、成形された薄板状のガラスを所定の長さに切断したシートガラスの製造方法および水溶性保護膜が形成されたガラス板に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、液晶表示装置用ディスプレイ等のＦＰＤ（Flat Panel Display）には、シートガラスが用いられる。シートガラスには、半導体プロセスにより、ＴＦＴ（Thin Film Transistor）あるいはＣＦ（Color Filter）等の素子を形成するため、塵や汚れのほか、傷が付いていないことが必要となっている。
【０００３】
シートガラスの製造工程では、薄板状で、帯状のガラスが所定の長さに切断された後、
ガラスは積層されて保管される。この後、薄板状のガラスは、ダイヤモンドカッターあるいはレーザ光により切り込み線（スクライブ線）が設けられ、切り込み線に沿って薄板状のガラスが折り曲げられることにより切断される。また、薄板状のガラスはレーザ光による溶断により切断することもできる。このとき、ガラスの切断された端面から数μｍ〜数１００μｍの大きさのガラス微小片が塵となってガラス面に飛散し、塵としてガラス面に付着する。このような塵は、場合によっては、ガラス面との間で化学的接着を起こし、塵の除去が一層難しくなる場合がある。
【０００４】
また、ガラス製造業者は、塵、汚れ、あるいは、傷等がない、所定のサイズに加工されたシートガラスを梱包して出荷する。梱包、出荷時においても、環境によっては、塵、汚れが付着し、また、傷が付く場合もある。
【０００５】
このような背景の下、ガラスシートの製造工程において、摩耗、ガラスチップおよび汚染物により、ガラスシートに掻き傷が付いてしまうのを防ぐ方法が知られている（特許文献１）。
具体的には、当該方法は、ガラスシートの形成後に水と高分子の溶液を該ガラスシートが約２００℃よりも高い温度のときに該シートの少なくとも一つの主要表面上に付着させる工程を含む、掻き傷を付ける摩耗および汚染物からガラスシートを保護する方法である。その際、前記温度が、前記高分子を架橋させ、約２０℃未満の温度の水中ではほぼ不溶性である保護層を形成するのに十分である。
上記方法では、ガラスシートのガラス面に一様に高分子の溶液で保護層を形成することで、掻き傷が付いてしまうのを防ぐことができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０００−８６２９６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかし、上記方法を適用して、所定のサイズのシートガラスとなる前の素板に保護層を形成すると、上記カッターをスクライバとして用いて機械的に切断し、あるいは、レーザ光により切断したとき、保護膜の微小片が飛散して塵となってシートガラスに付着し、また、保護膜の微小片がカッターの表面に付着して、切断性能を低下させる場合がある。
【０００８】
そこで、本発明は、従来の問題点を解消し、塵、汚れあるいは傷等のないＦＰＤに有用なシートガラスを効率よく製造することができるシートガラスの製造方法及びガラス板を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の一態様は、シートガラスの製造方法であって、
成形された薄板状のガラスの縁部に囲まれた、前記ガラスの表面の内側領域のうち、直線状に延びる線状領域によって分割される複数の領域に水溶性保護膜を形成する工程と、
切断を含む機械加工を前記ガラスの線状領域に沿って行うことにより、シートガラスを製造する工程と、を有する。
本発明の他の態様は、薄板状のガラス板であって、
前記薄板状のガラスの表面に水溶性保護膜が形成され、
前記薄板状のガラスの縁部に囲まれた、前記ガラスの表面の内側領域のうち、直線状に延びる線状領域によって分割される複数の領域に前記水溶性保護膜が形成されている、ことを特徴とするガラス板である。
【発明の効果】
【００１０】
上述のシートガラスの製造方法およびガラス板によれば、塵、汚れあるいは傷等のないＦＰＤに有用なシートガラスを効率よく製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本実施形態のシートガラスの製造方法の流れを示すフローチャートである。
【図２】本実施形態で用いる素板に形成される水溶性保護膜を示す図である。
【図３】本実施形態で行われるパレット保管を説明する図である。
【図４】（ａ），（ｂ）は、図１中で示すスクライブおよび端面加工を説明する図である。
【図５】（ａ），（ｂ）は、図１中で示す洗浄を説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明のシートガラスの製造方法及びガラス板について本実施形態に基づいて詳細に説明する。
本実施形態で製造されるシートガラスは、ＦＰＤに用いられる板状ガラスであり、例えば製品厚さが０．３〜０．８ｍｍであり、３００ｍｍ×４００ｍｍ〜３３２０ｍｍ×３０００ｍｍ（縦×横）のサイズの薄板である。また、本発明におけるガラス板の実施形態は、シートガラスを作製する前に後述する水溶性保護膜（第１水溶性保護膜）が形成された薄板状の素板（図２参照）である。
本実施形態で製造されるシートガラスは、表面に半導体素子を形成するため、その表面に塵や汚れ等が付着していない高い清浄度を有することが望まれる液晶表示装置用ディスプレイのガラス基板に好適に用いることができる。この他に、電子機器の表示画面のカバーガラス等に用いることもできる。
【００１３】
本実施形態で製造されるシートガラスの組成は特に限定されないが、例えば、以下の組成比率のガラス板に適用され得る。
（ａ）ＳｉＯ２:５０〜７０質量％、
（ｂ）Ｂ２Ｏ３:５〜１８質量％、
（ｃ）Ａｌ２Ｏ３:１０〜２５質量％、
（ｄ）ＭｇＯ:０〜１０質量％、
（ｅ）ＣａＯ:０〜２０質量％、
（ｆ）ＳｒＯ:０〜２０質量％、
（ｏ）ＢａＯ:０〜１０質量％、
（ｐ）ＲＯ:５〜２０質量％（ただしＲはＭｇ、Ｃａ、ＳｒおよびＢａから選ばれる少なくとも１種である）、
（ｑ）Ｒ’２Ｏ:０．２０質量％を超え２．０質量％以下（ただしＲ’はＬｉ、ＮａおよびＫから選ばれる少なくとも１種である）、
（ｒ）酸化スズ、酸化鉄および酸化セリウムから選ばれる少なくとも１種の金属酸化物を合計で０．０５〜１．５質量％。
【００１４】
図１は、本実施形態のシートガラスの製造方法の流れを示すフローチャートである。
図１に示すように、溶融されたガラスが、所定の方法、例えばダウンドロー法により、所定の厚さの帯状ガラスに成形される（ステップＳ１０）。ダウンドロー法のほかに、フロート法等を用いることもできる。
ダウンドロー法では、溶融ガラスを樋状の流路の両側から溢れさせ、溢れた溶融ガラスを、流路の下側に位置するくさび状の成形体の両側の側面に沿って流して２つの溶融ガラスの流れを作り、成型体の最下端で２つの溶融ガラスの流れを合流させる。合流してできる帯状のガラスは、下方に設けられた引っ張りローラにより引っ張られる。これにより、溶融ガラスは所定の厚さの帯状ガラスに整形される。
【００１５】
次に、成形された帯状ガラスを所定の長さに採板して薄板状の素板を得る（ステップＳ２０）。例えば、採板装置においてカッターで帯状ガラスに切りキズが入れられ、この部分に沿ってクラックを進行させることによって、帯状ガラスはキズに沿ってきれいに折れ、切断される。
【００１６】
次に、薄板状の素板上に水溶性保護膜が形成される（ステップＳ３０）。水溶性保護膜は、例えば、スクリーン印刷法、スプレー法、あるいは、スリットコーター法により、所定のパターン形状になるように形成される。水溶性保護膜は、例えば６０℃の温度で３０分放置することにより乾燥される。水溶性保護膜の厚さは、１０μｍ未満であり、引っかき硬度（ＪＩＳ−Ｋ５６００−５−４）は、７Ｂより硬いことが好ましく、３Ｈ以上の硬度がより好ましい。このような硬度により、水溶性保護膜には傷が付き難く、傷が付いても素板のガラス面に達しない。１０μｍ未満に膜厚を制限するのは、後述する洗浄において、残渣成分が残ることが無いように、水溶性保護膜を効率よく除去するためである。
【００１７】
スクリーン印刷法では、例えば、所定のパターンに孔あけされたマスクを用いて、保護膜用液が孔を通して塗布される。また、スプレー法では、膜を形成しない部分に予めマスキングテープ等を所定のパターンに付着させて、保護膜用液をインクジェットと同様に吐出させて素板上に塗布する。保護膜用液が乾燥した後、マスキングテープを除去することにより、所定のパターンの水溶性保護膜が形成される。
あるいは、スリットコーター法では、素板の縦方向あるいは横方向に沿ってスリットノズルが一定速度で移動しながら素板を塗布するスリットコーターが用いられる。スリットコーターは、スリットノズルから、インクジェットと同様に保護膜用液を吐出して素板上に塗布する。このとき、水溶性保護膜の形成されない領域に対向するノズルからは、保護膜用液が吐出されないようにスリットノズルは制御される。
【００１８】
水溶液保護膜は、後述するシートガラスの洗浄において十分に除去されるように形成される。水溶液保護膜は、水への溶解度が高い、安価で、毒性がないことに加え、素板の表面を薄く均一に、高被覆率をもって覆うものが望ましい。また、水溶液保護膜の水溶性物質としては、リン酸塩、ホウ酸塩、ケイ酸塩、硫酸塩、イオウを含む無機塩、ハロゲン化物、炭酸塩、重炭酸塩、硝酸塩、有機酸塩、前記塩の複塩、有機酸、単糖類、アクリル酸、メタクリル酸、ポリビニルアルコール、ポリエチレン等の水溶性ポリマーおよび多糖類からなる群より選ばれた１種以上を挙げることができる。また、共有結合性が強く、網目構造を有するリン酸塩（例えばトリポリリン酸ナトリウム、メタリン酸ナトリウム）、ホウ酸塩（例えば四ホウ酸ナトリウム）等が好ましい。
【００１９】
図２に示すように、薄板状のガラスである素板１０には、この素板１０の表面における、縁部に囲まれた内側領域のうち、直線状に延びる線状領域１２によって分割される領域１４に４つの水溶性保護膜１６が形成されている。線状領域１２の幅は、例えば２ｍｍであり、１〜３ｍｍであることが好ましい。また、水溶性保護膜１６が素板１０の縁部に形成されていない。水溶性保護膜１６が形成されない縁部の幅は、例えば２ｍｍであり、１〜５ｍｍであることが好ましい。
【００２０】
このように、素板１０の線状領域１２と縁部の領域に水溶性保護膜１６が形成されないのは、後述する素板１０のスクライブと切断、およびシートガラスの端面加工をする際、これらの機械加工を正確に行うためである。これら機械加工の際、水溶性保護膜１６が加工面上にあると、スクライブ線が連続して形成されず、また、水溶性保護膜１６の微小片がスクライバに付着し、この微小片が、スクライブ時、加工面に塵として付着する場合がある。さらに、後述する研削用ホイールによるシートガラスの端面の研削の際、水溶性保護膜１６の微小片が発生して、シートガラスの表面に塵として付着する場合があるからである。
なお、図２に示す例では、水溶性保護膜１６は４分割されるが、この分割形態に制限されず、２分割、３分割、５分割等、それ以上であってもよい。
【００２１】
次に、水溶性保護膜１６が形成された素板１０は、図３に示されるように、複数の素板が積層された積層体１８に、積層されてパレット保管される（ステップＳ４０）。その際、素板１０に形成された水溶性保護膜１６と積層体１８の素板１０のガラス面との間に合紙２０が挟まれるように、素板１０は積層される。合紙２０と第１水溶性保護膜１６とを接触させるのは、合紙２０から染み出る成分が素板１０のガラス面に付着するのを水溶性保護膜１６により保護するためである。水溶性保護膜１６を形成するガラス面は、例えば、ＦＰＤ用シートガラスとして用いるとき、ＴＦＴやＣＦ等の素子が形成される面となる。このため、他方のガラス面に比べて塵、汚れあるいは傷等が無いように十分な管理をする必要がある。勿論、上記他方のガラス面における表面の塵、汚れあるいは傷等に対する要求品質は、水溶性保護膜１６を形成するガラス面に比べて高くないが、上記他方のガラス面にも水溶性保護膜１６を形成してもよい。
また、水溶性保護膜１６が形成された表面に直接他のガラスの素板を積層することによって、合紙２０を緩衝材として使用する必要性も無くなる。
なお、本実施形態では、パレット保管を行うが、パレット保管を行うことなく、水溶性保護膜が形成された素板１０に対して、後述する素板１０のスクライブと切断の加工処理を行ってもよい。
【００２２】
次に、積層体１８として保管された複数の素板１０の中から１枚の素板１０が取り出され、素板１０に対して、スクライブと切断を含む機械加工が施される（ステップＳ５０）。
具体的には、まず、図４（ａ）に示すように、ダイヤモンドカッター２２をスクライバとして用いて溝状の切り込みであるスクライブ線１３が線状領域１２上に設けられる。このスクライブ線１３に沿って、手または機械によって、素板１０が分割切断されて、シートガラス２４が得られる。スクライブ線１３は、第１水溶性保護膜１６が形成されていない線状領域１２に設けられるので、スクライブ線１３を確実に設けることができる。また、ダイヤモンドカッター２２は、第１水溶性保護膜１６が形成されていない線状領域１２に沿ってスクライブ線１３を設けるので、第１水溶性保護膜１６の微小片がダイヤモンドカッター２２に付着して、スクライブの性能を低下させることを防止することができる。
本実施形態では、ダイヤモンドカッター２２を用いて形成されたスクライブ線１３を用いて切断されるが、素板１０は、レーザ光による溶断により切断することもできる。
【００２３】
次に、得られたシートガラス２４の端面加工が行われる（ステップＳ６０）。
シートガラスの端面加工では、研削、研磨およびコーナーカットが行われる。
具体的には、図４（ｂ）に示されるよう、シートガラス２４の互いに対向する一対の端面２６を、ダイヤモンドホイール２８を所定の速度で回転させながら研削を行う。ダイヤモンドホイール２８は、公知のものが用いられ、特に制限されない。ダイヤモンドホイール２８は、例えば、所定の粒径のダイヤモンド砥石を、金属ボンドに一定の含有率で含ませた砥粒層が、円板状の台金の周囲に設けられたものである。
【００２４】
研磨についてもダイヤモンドホイール２８と同様に構成をしたホイールが用いられるが、研磨に用いる砥石の粒径はダイヤモンドホイール２８における粒径に比べて小さい。また、研磨に用いるホイールには、ダイヤモンド砥石ではなく、例えば、ＳｉＣ砥石が樹脂中に分散したものが用いられる。研削における砥石の粒度は、例えば、ＪＩＳ Ｒ６００１で規定されるＦ５００である。
研削および研磨では、シートガラス２４の二対の端面それぞれについて行われる。
この後、ダイヤモンドホイール２８と同様の構成をしたダイヤモンドホイールを用いてシートガラス２４の４つのコーナー部分の端面がカットされる。
【００２５】
研削、研磨およびコーナーカットの際、シートガラス２４の縁部には、水溶性保護膜１６が形成されていないので、これらの加工中、水溶性保護膜１６の微小片が飛び散って、シートガラス２４のガラス面に付着することはない。さらに、ダイヤモンドホイールに水溶性保護膜１６の微小片が付着してダイヤモンドホイールの研削面やホイールの研磨面等を汚すことはなく、その結果、ダイヤモンドホイールの加工性能が低下することもない。
【００２６】
次に、端面加工されたシートガラス２４の洗浄が行われる（ステップＳ７０）。
洗浄では、シートガラス２４に付着した塵や汚れを洗浄する。
【００２７】
洗浄では、図５（ａ）に示されるように、複数の洗浄ブラシ３０がガラスシート２４の幅方向に沿って二列に並んだ洗浄装置が用いられる。洗浄ブラシ３０は円形状をなしており、図５（ｂ）に示すように複数の繊維３２が円板状の基部に植毛されている。洗浄の際、洗浄ブラシ３０は、隣接する洗浄ブラシ３０と互いに反対方向に回転する。また、洗浄装置には、シートガラス２４の幅方向に沿って、洗浄液をシートガラス２４上に供給する供給ノズル３２が複数設けられている。洗浄液は純水、あるいはアルカリ溶液を含んだ洗浄水（アルカリ水溶液）である。このため、水溶性保護膜１６は、洗浄によって除去される。
【００２８】
洗浄されたシートガラス２４に対して製品検査が行われる（ステップＳ８０）。この検査では、シートガラス２４に光を照射してシートガラス２４の透過像あるいは反射像をカメラ等の撮像素子を用いて撮影することで検査装置は透過像あるいは反射像の画像データを得る。検査装置は、この画像データの輝度情報を用いて、シートガラス２４に塵、汚れ、あるいは、傷が無いか否かを検査する。
検査の結果、品質上適合品とされるシートガラスは、納品対象の製品とされる。不適合品は、粉砕されてカレットとして用いられる。
【００２９】
次に、適合品のシートガラス２４に対して、水溶性保護膜１６とは異なる別の水溶性保護膜が形成される（ステップＳ９０）。以降、水溶性保護膜１６は、第１水溶性保護膜１６といい、ステップＳ９０で形成される水溶性保護膜は、第２水溶性保護膜という。
第２水溶性保護膜は、第１水溶性保護膜１６と異なり、シートガラス２４の全面に形成される。第２水溶性保護膜の形成方法は、例えば、スクリーン印刷法、スプレー法、あるいは、スリットコーター法により行われる。
第２水溶性保護膜が形成されるシートガラス２４のガラス面は、第１水溶性保護膜１６が形成されたガラス面と同じ面である。第１水溶性保護膜１６が形成されたガラス面は、ＴＦＴあるいはＣＦ等の素子を形成する面であり、塵、汚れ、および傷等がないことが必要である。このため、このガラス面を保護するために第２水溶性保護膜が形成される。
【００３０】
第２水溶性保護膜は、膜厚およびシートガラス２４のガラス面に対する密着度が第１水溶性保護膜１６と異なる。すなわち、第２水溶性保護膜は、第１水溶性保護膜１６に対して厚さが厚く、１０〜５０μｍである。さらに、第２水溶性保護膜は、第１水溶性保護膜１６に対して、組成成分を変えることにより、ガラス面に対する密着度（ＪＩＳ−Ｋ５６００−５−６）が低くなっている。第２水溶性保護膜を第１水溶性保護膜１６に対して厚さを厚くするのは、シートガラスを搬送のために梱包し搬送するとき、ガラス面に傷がつかない程度にガラス面を保護するためである。搬送するとき、シートガラスは、第１水溶性保護膜を形成して行う機械加工の環境に比べてより大きな傷を受けやすい環境下にある。
また、第２水溶性保護膜のガラス面に対する密着度を、第１水溶性保護膜１６に対して低くするのは、納入先業者において、第２水溶性保護膜を、洗浄の前にフィルムシートのように容易に引き剥がすことを可能とするためである。納入先業者において容易に引き剥がしができない場合、製品の欠陥とされる他、納入先業者において効率のよい作業ができない。
さらに、第２水溶性保護膜を厚くすることにより、フィルムシートのようにより容易に引き剥がすことが可能となる。
また、第２水溶性保護膜の引っかき硬度（ＪＩＳ−Ｋ５６００−５−４）は、９Ｂより硬いことが好ましい。
【００３１】
第２水溶性保護膜は、第１水溶性保護膜と同様に、純水あるいはアルカリ水溶液である洗浄液によって除去可能な材質であり、また、第２水溶液保護膜の水溶性物質としては、リン酸塩、ホウ酸塩、ケイ酸塩、硫酸塩、イオウを含む無機塩、ハロゲン化物、炭酸塩、重炭酸塩、硝酸塩、有機酸塩、前記塩の複塩、有機酸、単糖類、アクリル酸、メタクリル酸、ポリビニルアルコール、ポリエチレン等の水溶性ポリマーおよび多糖類からなる群より選ばれた１種以上を挙げることができる。また、共有結合性が強く、網目構造を有するリン酸塩（例えばトリポリリン酸ナトリウム、メタリン酸ナトリウム）、ホウ酸塩（例えば四ホウ酸ナトリウム）等が好ましい。
【００３２】
なお、第２水溶性保護膜表面の算術平均粗さＲａが０．０５〜３０μｍであることが好ましい。このように、第２水溶性保護膜表面に微小凹凸を設け、算術平均粗さＲａを０．０５以上とするのは、後述するように、シートガラス２４を積層して梱包するが、積層したシートガラス２４同士が密着しないようにするためである。一方、算術平均粗さＲａの上限を３０μｍとするのは、第２水溶性保護膜の形状を保つようにするためである。第２水溶性保護膜の厚さは１０〜５０μｍであるため、算術平均粗さＲａが３０μｍを越えた場合膜としての形状を保つことができない。このような微小凹凸は、第２水溶性保護膜となる保護膜用液に含まれる消泡剤成分を調整する（減らす）ことにより、形成される。作製のし易さの点から、好ましくは、シートガラス２４の表面に第２水溶性保護膜用液体が印刷あるいは塗布された後、固化（乾燥）前に、シートガラス２４の表面で発泡させるとよい。
【００３３】
こうして第２水溶性保護膜が形成されたシートガラス２４は、図３に示すパレット保管と同様に、第２水溶性保護膜と合紙とを接触させた状態で他のシートガラスに積層されて梱包され、納入先業者に出荷される（ステップＳ１００）。
従来は、梱包のためにシートガラスを積層するとき、シートガラスとシートガラスの間に一枚のフィルムを介して積層されていたが、積層された状態が長時間続くと、フィルム成分が接触するガラス面に転写されて、シートガラスの清浄度が低下する。また、フィルム成分が転写されることにより、フィルムとガラス面の密着性が高くなり、納入先業者においてフィルムの剥離が困難になる場合もある。
しかし、本実施形態のように、第２水溶性保護膜を合紙と接触させることで、合紙の成分がガラス面へ転写することを第２水溶性保護膜が阻止するので、シートガラス２４のガラス面の塵や汚れは抑制される。また、第２水溶性保護膜でシートガラスのガラス面は覆われているので、搬送時傷も付き難い。また、第２水溶性保護膜を形成することで、合紙で挟むことなくシートガラス２４を積層することもできる。これにより、合紙からの成分が転写されて汚れを形成することを防止できる。
なお、本実施形態では、第１水溶性保護膜１６及び第２水溶性保護膜を、一方のガラス面に設けるが、これに制限されない。第１水溶性保護膜１６及び第２水溶性保護膜を、両方のガラス面に設けてもよい。
【００３４】
以上のように、本実施形態では、成形された素板１０のガラス面において、素板１０の縁部に囲まれた内側領域のうち、直線状に延びる線状領域１２によって分割される複数の領域に第１水溶性保護膜１６を形成した後、この線状領域１２に沿って、スクライブおよび切断を含む機械加工を行うことにより、シートガラスを製造する。このため、スクライブ線を確実に連続して形成することができ、また、水溶性保護膜１６の微小片がスクライバに付着することはなく、したがって、微小片が、スクライブ時、加工面に塵として付着することもない。さらに、研削用ホイールによるシートガラス２４の端面の研削の際、第１水溶性保護膜１６の微小片が発生して、シートガラス２４の表面に塵として付着することもない。したがって、塵、汚れあるいは傷のないＦＰＤに有用なシートガラスを効率よく製造することができる。
また、図２に示されるような素板１０では、第１水溶性保護膜１６が、素板１０の表面において、素板１０の縁部に囲まれた内側領域のうち、直線状に延びる線状領域１２によって分割される複数の領域に形成されているので、以降のスクライブおよび切断を含む機械加工を線状領域１２に沿って行う際、塵、汚れあるいは傷等が付着しにくい。
【００３５】
以上、本発明のシートガラスの製造方法およびガラス板について詳細に説明したが、本発明は上記実施形態に限定されず、本発明の主旨を逸脱しない範囲において、種々の改良や変更をしてもよいのはもちろんである。
【符号の説明】
【００３６】
１０ 素板
１２ 線状領域
１３ スクライブ線
１４ 領域
１６ 第１水溶性保護膜（水溶性保護膜）
１８ 積層体
２０ 合紙
２２ ダイヤモンドカッター
２４ シートガラス
２６ 端面
２８ ダイヤモンドホイール
３０ 洗浄ブラシ
３２ 繊維
【技術分野】
【０００１】
本発明は、成形された薄板状のガラスを所定の長さに切断したシートガラスの製造方法および水溶性保護膜が形成されたガラス板に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、液晶表示装置用ディスプレイ等のＦＰＤ（Flat Panel Display）には、シートガラスが用いられる。シートガラスには、半導体プロセスにより、ＴＦＴ（Thin Film Transistor）あるいはＣＦ（Color Filter）等の素子を形成するため、塵や汚れのほか、傷が付いていないことが必要となっている。
【０００３】
シートガラスの製造工程では、薄板状で、帯状のガラスが所定の長さに切断された後、
ガラスは積層されて保管される。この後、薄板状のガラスは、ダイヤモンドカッターあるいはレーザ光により切り込み線（スクライブ線）が設けられ、切り込み線に沿って薄板状のガラスが折り曲げられることにより切断される。また、薄板状のガラスはレーザ光による溶断により切断することもできる。このとき、ガラスの切断された端面から数μｍ〜数１００μｍの大きさのガラス微小片が塵となってガラス面に飛散し、塵としてガラス面に付着する。このような塵は、場合によっては、ガラス面との間で化学的接着を起こし、塵の除去が一層難しくなる場合がある。
【０００４】
また、ガラス製造業者は、塵、汚れ、あるいは、傷等がない、所定のサイズに加工されたシートガラスを梱包して出荷する。梱包、出荷時においても、環境によっては、塵、汚れが付着し、また、傷が付く場合もある。
【０００５】
このような背景の下、ガラスシートの製造工程において、摩耗、ガラスチップおよび汚染物により、ガラスシートに掻き傷が付いてしまうのを防ぐ方法が知られている（特許文献１）。
具体的には、当該方法は、ガラスシートの形成後に水と高分子の溶液を該ガラスシートが約２００℃よりも高い温度のときに該シートの少なくとも一つの主要表面上に付着させる工程を含む、掻き傷を付ける摩耗および汚染物からガラスシートを保護する方法である。その際、前記温度が、前記高分子を架橋させ、約２０℃未満の温度の水中ではほぼ不溶性である保護層を形成するのに十分である。
上記方法では、ガラスシートのガラス面に一様に高分子の溶液で保護層を形成することで、掻き傷が付いてしまうのを防ぐことができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０００−８６２９６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかし、上記方法を適用して、所定のサイズのシートガラスとなる前の素板に保護層を形成すると、上記カッターをスクライバとして用いて機械的に切断し、あるいは、レーザ光により切断したとき、保護膜の微小片が飛散して塵となってシートガラスに付着し、また、保護膜の微小片がカッターの表面に付着して、切断性能を低下させる場合がある。
【０００８】
そこで、本発明は、従来の問題点を解消し、塵、汚れあるいは傷等のないＦＰＤに有用なシートガラスを効率よく製造することができるシートガラスの製造方法及びガラス板を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の一態様は、シートガラスの製造方法であって、
成形された薄板状のガラスの縁部に囲まれた、前記ガラスの表面の内側領域のうち、直線状に延びる線状領域によって分割される複数の領域に水溶性保護膜を形成する工程と、
切断を含む機械加工を前記ガラスの線状領域に沿って行うことにより、シートガラスを製造する工程と、を有する。
本発明の他の態様は、薄板状のガラス板であって、
前記薄板状のガラスの表面に水溶性保護膜が形成され、
前記薄板状のガラスの縁部に囲まれた、前記ガラスの表面の内側領域のうち、直線状に延びる線状領域によって分割される複数の領域に前記水溶性保護膜が形成されている、ことを特徴とするガラス板である。
【発明の効果】
【００１０】
上述のシートガラスの製造方法およびガラス板によれば、塵、汚れあるいは傷等のないＦＰＤに有用なシートガラスを効率よく製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本実施形態のシートガラスの製造方法の流れを示すフローチャートである。
【図２】本実施形態で用いる素板に形成される水溶性保護膜を示す図である。
【図３】本実施形態で行われるパレット保管を説明する図である。
【図４】（ａ），（ｂ）は、図１中で示すスクライブおよび端面加工を説明する図である。
【図５】（ａ），（ｂ）は、図１中で示す洗浄を説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明のシートガラスの製造方法及びガラス板について本実施形態に基づいて詳細に説明する。
本実施形態で製造されるシートガラスは、ＦＰＤに用いられる板状ガラスであり、例えば製品厚さが０．３〜０．８ｍｍであり、３００ｍｍ×４００ｍｍ〜３３２０ｍｍ×３０００ｍｍ（縦×横）のサイズの薄板である。また、本発明におけるガラス板の実施形態は、シートガラスを作製する前に後述する水溶性保護膜（第１水溶性保護膜）が形成された薄板状の素板（図２参照）である。
本実施形態で製造されるシートガラスは、表面に半導体素子を形成するため、その表面に塵や汚れ等が付着していない高い清浄度を有することが望まれる液晶表示装置用ディスプレイのガラス基板に好適に用いることができる。この他に、電子機器の表示画面のカバーガラス等に用いることもできる。
【００１３】
本実施形態で製造されるシートガラスの組成は特に限定されないが、例えば、以下の組成比率のガラス板に適用され得る。
（ａ）ＳｉＯ２:５０〜７０質量％、
（ｂ）Ｂ２Ｏ３:５〜１８質量％、
（ｃ）Ａｌ２Ｏ３:１０〜２５質量％、
（ｄ）ＭｇＯ:０〜１０質量％、
（ｅ）ＣａＯ:０〜２０質量％、
（ｆ）ＳｒＯ:０〜２０質量％、
（ｏ）ＢａＯ:０〜１０質量％、
（ｐ）ＲＯ:５〜２０質量％（ただしＲはＭｇ、Ｃａ、ＳｒおよびＢａから選ばれる少なくとも１種である）、
（ｑ）Ｒ’２Ｏ:０．２０質量％を超え２．０質量％以下（ただしＲ’はＬｉ、ＮａおよびＫから選ばれる少なくとも１種である）、
（ｒ）酸化スズ、酸化鉄および酸化セリウムから選ばれる少なくとも１種の金属酸化物を合計で０．０５〜１．５質量％。
【００１４】
図１は、本実施形態のシートガラスの製造方法の流れを示すフローチャートである。
図１に示すように、溶融されたガラスが、所定の方法、例えばダウンドロー法により、所定の厚さの帯状ガラスに成形される（ステップＳ１０）。ダウンドロー法のほかに、フロート法等を用いることもできる。
ダウンドロー法では、溶融ガラスを樋状の流路の両側から溢れさせ、溢れた溶融ガラスを、流路の下側に位置するくさび状の成形体の両側の側面に沿って流して２つの溶融ガラスの流れを作り、成型体の最下端で２つの溶融ガラスの流れを合流させる。合流してできる帯状のガラスは、下方に設けられた引っ張りローラにより引っ張られる。これにより、溶融ガラスは所定の厚さの帯状ガラスに整形される。
【００１５】
次に、成形された帯状ガラスを所定の長さに採板して薄板状の素板を得る（ステップＳ２０）。例えば、採板装置においてカッターで帯状ガラスに切りキズが入れられ、この部分に沿ってクラックを進行させることによって、帯状ガラスはキズに沿ってきれいに折れ、切断される。
【００１６】
次に、薄板状の素板上に水溶性保護膜が形成される（ステップＳ３０）。水溶性保護膜は、例えば、スクリーン印刷法、スプレー法、あるいは、スリットコーター法により、所定のパターン形状になるように形成される。水溶性保護膜は、例えば６０℃の温度で３０分放置することにより乾燥される。水溶性保護膜の厚さは、１０μｍ未満であり、引っかき硬度（ＪＩＳ−Ｋ５６００−５−４）は、７Ｂより硬いことが好ましく、３Ｈ以上の硬度がより好ましい。このような硬度により、水溶性保護膜には傷が付き難く、傷が付いても素板のガラス面に達しない。１０μｍ未満に膜厚を制限するのは、後述する洗浄において、残渣成分が残ることが無いように、水溶性保護膜を効率よく除去するためである。
【００１７】
スクリーン印刷法では、例えば、所定のパターンに孔あけされたマスクを用いて、保護膜用液が孔を通して塗布される。また、スプレー法では、膜を形成しない部分に予めマスキングテープ等を所定のパターンに付着させて、保護膜用液をインクジェットと同様に吐出させて素板上に塗布する。保護膜用液が乾燥した後、マスキングテープを除去することにより、所定のパターンの水溶性保護膜が形成される。
あるいは、スリットコーター法では、素板の縦方向あるいは横方向に沿ってスリットノズルが一定速度で移動しながら素板を塗布するスリットコーターが用いられる。スリットコーターは、スリットノズルから、インクジェットと同様に保護膜用液を吐出して素板上に塗布する。このとき、水溶性保護膜の形成されない領域に対向するノズルからは、保護膜用液が吐出されないようにスリットノズルは制御される。
【００１８】
水溶液保護膜は、後述するシートガラスの洗浄において十分に除去されるように形成される。水溶液保護膜は、水への溶解度が高い、安価で、毒性がないことに加え、素板の表面を薄く均一に、高被覆率をもって覆うものが望ましい。また、水溶液保護膜の水溶性物質としては、リン酸塩、ホウ酸塩、ケイ酸塩、硫酸塩、イオウを含む無機塩、ハロゲン化物、炭酸塩、重炭酸塩、硝酸塩、有機酸塩、前記塩の複塩、有機酸、単糖類、アクリル酸、メタクリル酸、ポリビニルアルコール、ポリエチレン等の水溶性ポリマーおよび多糖類からなる群より選ばれた１種以上を挙げることができる。また、共有結合性が強く、網目構造を有するリン酸塩（例えばトリポリリン酸ナトリウム、メタリン酸ナトリウム）、ホウ酸塩（例えば四ホウ酸ナトリウム）等が好ましい。
【００１９】
図２に示すように、薄板状のガラスである素板１０には、この素板１０の表面における、縁部に囲まれた内側領域のうち、直線状に延びる線状領域１２によって分割される領域１４に４つの水溶性保護膜１６が形成されている。線状領域１２の幅は、例えば２ｍｍであり、１〜３ｍｍであることが好ましい。また、水溶性保護膜１６が素板１０の縁部に形成されていない。水溶性保護膜１６が形成されない縁部の幅は、例えば２ｍｍであり、１〜５ｍｍであることが好ましい。
【００２０】
このように、素板１０の線状領域１２と縁部の領域に水溶性保護膜１６が形成されないのは、後述する素板１０のスクライブと切断、およびシートガラスの端面加工をする際、これらの機械加工を正確に行うためである。これら機械加工の際、水溶性保護膜１６が加工面上にあると、スクライブ線が連続して形成されず、また、水溶性保護膜１６の微小片がスクライバに付着し、この微小片が、スクライブ時、加工面に塵として付着する場合がある。さらに、後述する研削用ホイールによるシートガラスの端面の研削の際、水溶性保護膜１６の微小片が発生して、シートガラスの表面に塵として付着する場合があるからである。
なお、図２に示す例では、水溶性保護膜１６は４分割されるが、この分割形態に制限されず、２分割、３分割、５分割等、それ以上であってもよい。
【００２１】
次に、水溶性保護膜１６が形成された素板１０は、図３に示されるように、複数の素板が積層された積層体１８に、積層されてパレット保管される（ステップＳ４０）。その際、素板１０に形成された水溶性保護膜１６と積層体１８の素板１０のガラス面との間に合紙２０が挟まれるように、素板１０は積層される。合紙２０と第１水溶性保護膜１６とを接触させるのは、合紙２０から染み出る成分が素板１０のガラス面に付着するのを水溶性保護膜１６により保護するためである。水溶性保護膜１６を形成するガラス面は、例えば、ＦＰＤ用シートガラスとして用いるとき、ＴＦＴやＣＦ等の素子が形成される面となる。このため、他方のガラス面に比べて塵、汚れあるいは傷等が無いように十分な管理をする必要がある。勿論、上記他方のガラス面における表面の塵、汚れあるいは傷等に対する要求品質は、水溶性保護膜１６を形成するガラス面に比べて高くないが、上記他方のガラス面にも水溶性保護膜１６を形成してもよい。
また、水溶性保護膜１６が形成された表面に直接他のガラスの素板を積層することによって、合紙２０を緩衝材として使用する必要性も無くなる。
なお、本実施形態では、パレット保管を行うが、パレット保管を行うことなく、水溶性保護膜が形成された素板１０に対して、後述する素板１０のスクライブと切断の加工処理を行ってもよい。
【００２２】
次に、積層体１８として保管された複数の素板１０の中から１枚の素板１０が取り出され、素板１０に対して、スクライブと切断を含む機械加工が施される（ステップＳ５０）。
具体的には、まず、図４（ａ）に示すように、ダイヤモンドカッター２２をスクライバとして用いて溝状の切り込みであるスクライブ線１３が線状領域１２上に設けられる。このスクライブ線１３に沿って、手または機械によって、素板１０が分割切断されて、シートガラス２４が得られる。スクライブ線１３は、第１水溶性保護膜１６が形成されていない線状領域１２に設けられるので、スクライブ線１３を確実に設けることができる。また、ダイヤモンドカッター２２は、第１水溶性保護膜１６が形成されていない線状領域１２に沿ってスクライブ線１３を設けるので、第１水溶性保護膜１６の微小片がダイヤモンドカッター２２に付着して、スクライブの性能を低下させることを防止することができる。
本実施形態では、ダイヤモンドカッター２２を用いて形成されたスクライブ線１３を用いて切断されるが、素板１０は、レーザ光による溶断により切断することもできる。
【００２３】
次に、得られたシートガラス２４の端面加工が行われる（ステップＳ６０）。
シートガラスの端面加工では、研削、研磨およびコーナーカットが行われる。
具体的には、図４（ｂ）に示されるよう、シートガラス２４の互いに対向する一対の端面２６を、ダイヤモンドホイール２８を所定の速度で回転させながら研削を行う。ダイヤモンドホイール２８は、公知のものが用いられ、特に制限されない。ダイヤモンドホイール２８は、例えば、所定の粒径のダイヤモンド砥石を、金属ボンドに一定の含有率で含ませた砥粒層が、円板状の台金の周囲に設けられたものである。
【００２４】
研磨についてもダイヤモンドホイール２８と同様に構成をしたホイールが用いられるが、研磨に用いる砥石の粒径はダイヤモンドホイール２８における粒径に比べて小さい。また、研磨に用いるホイールには、ダイヤモンド砥石ではなく、例えば、ＳｉＣ砥石が樹脂中に分散したものが用いられる。研削における砥石の粒度は、例えば、ＪＩＳ Ｒ６００１で規定されるＦ５００である。
研削および研磨では、シートガラス２４の二対の端面それぞれについて行われる。
この後、ダイヤモンドホイール２８と同様の構成をしたダイヤモンドホイールを用いてシートガラス２４の４つのコーナー部分の端面がカットされる。
【００２５】
研削、研磨およびコーナーカットの際、シートガラス２４の縁部には、水溶性保護膜１６が形成されていないので、これらの加工中、水溶性保護膜１６の微小片が飛び散って、シートガラス２４のガラス面に付着することはない。さらに、ダイヤモンドホイールに水溶性保護膜１６の微小片が付着してダイヤモンドホイールの研削面やホイールの研磨面等を汚すことはなく、その結果、ダイヤモンドホイールの加工性能が低下することもない。
【００２６】
次に、端面加工されたシートガラス２４の洗浄が行われる（ステップＳ７０）。
洗浄では、シートガラス２４に付着した塵や汚れを洗浄する。
【００２７】
洗浄では、図５（ａ）に示されるように、複数の洗浄ブラシ３０がガラスシート２４の幅方向に沿って二列に並んだ洗浄装置が用いられる。洗浄ブラシ３０は円形状をなしており、図５（ｂ）に示すように複数の繊維３２が円板状の基部に植毛されている。洗浄の際、洗浄ブラシ３０は、隣接する洗浄ブラシ３０と互いに反対方向に回転する。また、洗浄装置には、シートガラス２４の幅方向に沿って、洗浄液をシートガラス２４上に供給する供給ノズル３２が複数設けられている。洗浄液は純水、あるいはアルカリ溶液を含んだ洗浄水（アルカリ水溶液）である。このため、水溶性保護膜１６は、洗浄によって除去される。
【００２８】
洗浄されたシートガラス２４に対して製品検査が行われる（ステップＳ８０）。この検査では、シートガラス２４に光を照射してシートガラス２４の透過像あるいは反射像をカメラ等の撮像素子を用いて撮影することで検査装置は透過像あるいは反射像の画像データを得る。検査装置は、この画像データの輝度情報を用いて、シートガラス２４に塵、汚れ、あるいは、傷が無いか否かを検査する。
検査の結果、品質上適合品とされるシートガラスは、納品対象の製品とされる。不適合品は、粉砕されてカレットとして用いられる。
【００２９】
次に、適合品のシートガラス２４に対して、水溶性保護膜１６とは異なる別の水溶性保護膜が形成される（ステップＳ９０）。以降、水溶性保護膜１６は、第１水溶性保護膜１６といい、ステップＳ９０で形成される水溶性保護膜は、第２水溶性保護膜という。
第２水溶性保護膜は、第１水溶性保護膜１６と異なり、シートガラス２４の全面に形成される。第２水溶性保護膜の形成方法は、例えば、スクリーン印刷法、スプレー法、あるいは、スリットコーター法により行われる。
第２水溶性保護膜が形成されるシートガラス２４のガラス面は、第１水溶性保護膜１６が形成されたガラス面と同じ面である。第１水溶性保護膜１６が形成されたガラス面は、ＴＦＴあるいはＣＦ等の素子を形成する面であり、塵、汚れ、および傷等がないことが必要である。このため、このガラス面を保護するために第２水溶性保護膜が形成される。
【００３０】
第２水溶性保護膜は、膜厚およびシートガラス２４のガラス面に対する密着度が第１水溶性保護膜１６と異なる。すなわち、第２水溶性保護膜は、第１水溶性保護膜１６に対して厚さが厚く、１０〜５０μｍである。さらに、第２水溶性保護膜は、第１水溶性保護膜１６に対して、組成成分を変えることにより、ガラス面に対する密着度（ＪＩＳ−Ｋ５６００−５−６）が低くなっている。第２水溶性保護膜を第１水溶性保護膜１６に対して厚さを厚くするのは、シートガラスを搬送のために梱包し搬送するとき、ガラス面に傷がつかない程度にガラス面を保護するためである。搬送するとき、シートガラスは、第１水溶性保護膜を形成して行う機械加工の環境に比べてより大きな傷を受けやすい環境下にある。
また、第２水溶性保護膜のガラス面に対する密着度を、第１水溶性保護膜１６に対して低くするのは、納入先業者において、第２水溶性保護膜を、洗浄の前にフィルムシートのように容易に引き剥がすことを可能とするためである。納入先業者において容易に引き剥がしができない場合、製品の欠陥とされる他、納入先業者において効率のよい作業ができない。
さらに、第２水溶性保護膜を厚くすることにより、フィルムシートのようにより容易に引き剥がすことが可能となる。
また、第２水溶性保護膜の引っかき硬度（ＪＩＳ−Ｋ５６００−５−４）は、９Ｂより硬いことが好ましい。
【００３１】
第２水溶性保護膜は、第１水溶性保護膜と同様に、純水あるいはアルカリ水溶液である洗浄液によって除去可能な材質であり、また、第２水溶液保護膜の水溶性物質としては、リン酸塩、ホウ酸塩、ケイ酸塩、硫酸塩、イオウを含む無機塩、ハロゲン化物、炭酸塩、重炭酸塩、硝酸塩、有機酸塩、前記塩の複塩、有機酸、単糖類、アクリル酸、メタクリル酸、ポリビニルアルコール、ポリエチレン等の水溶性ポリマーおよび多糖類からなる群より選ばれた１種以上を挙げることができる。また、共有結合性が強く、網目構造を有するリン酸塩（例えばトリポリリン酸ナトリウム、メタリン酸ナトリウム）、ホウ酸塩（例えば四ホウ酸ナトリウム）等が好ましい。
【００３２】
なお、第２水溶性保護膜表面の算術平均粗さＲａが０．０５〜３０μｍであることが好ましい。このように、第２水溶性保護膜表面に微小凹凸を設け、算術平均粗さＲａを０．０５以上とするのは、後述するように、シートガラス２４を積層して梱包するが、積層したシートガラス２４同士が密着しないようにするためである。一方、算術平均粗さＲａの上限を３０μｍとするのは、第２水溶性保護膜の形状を保つようにするためである。第２水溶性保護膜の厚さは１０〜５０μｍであるため、算術平均粗さＲａが３０μｍを越えた場合膜としての形状を保つことができない。このような微小凹凸は、第２水溶性保護膜となる保護膜用液に含まれる消泡剤成分を調整する（減らす）ことにより、形成される。作製のし易さの点から、好ましくは、シートガラス２４の表面に第２水溶性保護膜用液体が印刷あるいは塗布された後、固化（乾燥）前に、シートガラス２４の表面で発泡させるとよい。
【００３３】
こうして第２水溶性保護膜が形成されたシートガラス２４は、図３に示すパレット保管と同様に、第２水溶性保護膜と合紙とを接触させた状態で他のシートガラスに積層されて梱包され、納入先業者に出荷される（ステップＳ１００）。
従来は、梱包のためにシートガラスを積層するとき、シートガラスとシートガラスの間に一枚のフィルムを介して積層されていたが、積層された状態が長時間続くと、フィルム成分が接触するガラス面に転写されて、シートガラスの清浄度が低下する。また、フィルム成分が転写されることにより、フィルムとガラス面の密着性が高くなり、納入先業者においてフィルムの剥離が困難になる場合もある。
しかし、本実施形態のように、第２水溶性保護膜を合紙と接触させることで、合紙の成分がガラス面へ転写することを第２水溶性保護膜が阻止するので、シートガラス２４のガラス面の塵や汚れは抑制される。また、第２水溶性保護膜でシートガラスのガラス面は覆われているので、搬送時傷も付き難い。また、第２水溶性保護膜を形成することで、合紙で挟むことなくシートガラス２４を積層することもできる。これにより、合紙からの成分が転写されて汚れを形成することを防止できる。
なお、本実施形態では、第１水溶性保護膜１６及び第２水溶性保護膜を、一方のガラス面に設けるが、これに制限されない。第１水溶性保護膜１６及び第２水溶性保護膜を、両方のガラス面に設けてもよい。
【００３４】
以上のように、本実施形態では、成形された素板１０のガラス面において、素板１０の縁部に囲まれた内側領域のうち、直線状に延びる線状領域１２によって分割される複数の領域に第１水溶性保護膜１６を形成した後、この線状領域１２に沿って、スクライブおよび切断を含む機械加工を行うことにより、シートガラスを製造する。このため、スクライブ線を確実に連続して形成することができ、また、水溶性保護膜１６の微小片がスクライバに付着することはなく、したがって、微小片が、スクライブ時、加工面に塵として付着することもない。さらに、研削用ホイールによるシートガラス２４の端面の研削の際、第１水溶性保護膜１６の微小片が発生して、シートガラス２４の表面に塵として付着することもない。したがって、塵、汚れあるいは傷のないＦＰＤに有用なシートガラスを効率よく製造することができる。
また、図２に示されるような素板１０では、第１水溶性保護膜１６が、素板１０の表面において、素板１０の縁部に囲まれた内側領域のうち、直線状に延びる線状領域１２によって分割される複数の領域に形成されているので、以降のスクライブおよび切断を含む機械加工を線状領域１２に沿って行う際、塵、汚れあるいは傷等が付着しにくい。
【００３５】
以上、本発明のシートガラスの製造方法およびガラス板について詳細に説明したが、本発明は上記実施形態に限定されず、本発明の主旨を逸脱しない範囲において、種々の改良や変更をしてもよいのはもちろんである。
【符号の説明】
【００３６】
１０ 素板
１２ 線状領域
１３ スクライブ線
１４ 領域
１６ 第１水溶性保護膜（水溶性保護膜）
１８ 積層体
２０ 合紙
２２ ダイヤモンドカッター
２４ シートガラス
２６ 端面
２８ ダイヤモンドホイール
３０ 洗浄ブラシ
３２ 繊維
【特許請求の範囲】
【請求項１】
シートガラスの製造方法であって、
成形された薄板状のガラスの縁部に囲まれた、前記ガラスの表面の内側領域のうち、直線状に延びる線状領域によって分割される複数の領域に水溶性保護膜を形成する工程と、
切断を含む機械加工を前記ガラスの線状領域に沿って行うことにより、シートガラスを製造する工程と、を有することを特徴とするシートガラスの製造方法。
【請求項２】
前記水溶性保護膜の厚さは、１０μｍ未満であり、前記水溶性保護膜の引っかき硬度（ＪＩＳ−Ｋ５６００−５−４）は、７Ｂより硬い、請求項１に記載のシートガラスの製造方法。
【請求項３】
前記機械加工は、前記ガラスの線状領域に沿って、前記ガラスの表面に切り込みを入れる加工と、前記切り込みを入れた前記ガラスを前記切り込みに沿って切断する加工とを含み、
さらに、前記ガラスを前記切り込みに沿って切断した後、前記水溶性保護膜を除去する工程を有する、請求項１または２に記載のシートガラスの製造方法。
【請求項４】
前記ガラスを切断した後、前記水溶性保護膜を除去する前に、切断した前記ガラスの端面の研削及び研磨を行う、請求項３に記載のシートガラスの製造方法。
【請求項５】
前記水溶性保護膜を除去するとき、純水またはアルカリ水溶液を用いて除去する、請求項３または４に記載のシートガラスの製造方法。
【請求項６】
前記ガラスに前記水溶性保護膜を形成した後、前記機械加工を行う前に、前記ガラスを、合紙を挟んで、前記水溶性保護膜と前記合紙とが接触するように、ガラス積層体に積層し保管する、請求項１〜５のいずれか１項に記載のシートガラスの製造方法。
【請求項７】
前記シートガラスが、液晶表示装置のガラス基板に用いられる、請求項１〜６のいずれか１項に記載のシートガラスの製造方法
【請求項８】
薄板状のガラス板であって、
前記薄板状のガラスの表面に水溶性保護膜が形成され、
前記薄板状のガラスの縁部に囲まれた、前記ガラスの表面の内側領域のうち、直線状に延びる線状領域によって分割される複数の領域に前記水溶性保護膜が形成されている、ことを特徴とするガラス板。
【請求項９】
前記水溶性保護膜の厚さは、１０μｍ未満であり、前記水溶性保護膜の引っかき硬度（ＪＩＳ−Ｋ５６００−５−４）は、７Ｂより硬い、請求項８に記載のガラス板。
【請求項１】
シートガラスの製造方法であって、
成形された薄板状のガラスの縁部に囲まれた、前記ガラスの表面の内側領域のうち、直線状に延びる線状領域によって分割される複数の領域に水溶性保護膜を形成する工程と、
切断を含む機械加工を前記ガラスの線状領域に沿って行うことにより、シートガラスを製造する工程と、を有することを特徴とするシートガラスの製造方法。
【請求項２】
前記水溶性保護膜の厚さは、１０μｍ未満であり、前記水溶性保護膜の引っかき硬度（ＪＩＳ−Ｋ５６００−５−４）は、７Ｂより硬い、請求項１に記載のシートガラスの製造方法。
【請求項３】
前記機械加工は、前記ガラスの線状領域に沿って、前記ガラスの表面に切り込みを入れる加工と、前記切り込みを入れた前記ガラスを前記切り込みに沿って切断する加工とを含み、
さらに、前記ガラスを前記切り込みに沿って切断した後、前記水溶性保護膜を除去する工程を有する、請求項１または２に記載のシートガラスの製造方法。
【請求項４】
前記ガラスを切断した後、前記水溶性保護膜を除去する前に、切断した前記ガラスの端面の研削及び研磨を行う、請求項３に記載のシートガラスの製造方法。
【請求項５】
前記水溶性保護膜を除去するとき、純水またはアルカリ水溶液を用いて除去する、請求項３または４に記載のシートガラスの製造方法。
【請求項６】
前記ガラスに前記水溶性保護膜を形成した後、前記機械加工を行う前に、前記ガラスを、合紙を挟んで、前記水溶性保護膜と前記合紙とが接触するように、ガラス積層体に積層し保管する、請求項１〜５のいずれか１項に記載のシートガラスの製造方法。
【請求項７】
前記シートガラスが、液晶表示装置のガラス基板に用いられる、請求項１〜６のいずれか１項に記載のシートガラスの製造方法
【請求項８】
薄板状のガラス板であって、
前記薄板状のガラスの表面に水溶性保護膜が形成され、
前記薄板状のガラスの縁部に囲まれた、前記ガラスの表面の内側領域のうち、直線状に延びる線状領域によって分割される複数の領域に前記水溶性保護膜が形成されている、ことを特徴とするガラス板。
【請求項９】
前記水溶性保護膜の厚さは、１０μｍ未満であり、前記水溶性保護膜の引っかき硬度（ＪＩＳ−Ｋ５６００−５−４）は、７Ｂより硬い、請求項８に記載のガラス板。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【公開番号】特開２０１２−７６９４５（Ｐ２０１２−７６９４５Ａ）
【公開日】平成２４年４月１９日（２０１２．４．１９）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１０−２２１７１１（Ｐ２０１０−２２１７１１）
【出願日】平成２２年９月３０日（２０１０．９．３０）
【出願人】（５９８０５５９１０）ＡｖａｎＳｔｒａｔｅ株式会社 (81)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２４年４月１９日（２０１２．４．１９）
【国際特許分類】
【出願日】平成２２年９月３０日（２０１０．９．３０）
【出願人】（５９８０５５９１０）ＡｖａｎＳｔｒａｔｅ株式会社 (81)
【Ｆターム（参考）】
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