シート貼付装置および貼付方法
【課題】装置コストを低減でき、片状体の側面に接着シートを貼付できるシート貼付装置および貼付方法を提供すること。
【解決手段】複数の片状体ＣＰを備えた被着体ＷＦに接着シートＡＳを貼付するシート貼付装置１Ａは、複数の片状体ＣＰにわたって接着シートＡＳが貼付された被着体ＷＦを支持する支持手段２と、支持手段２に支持された被着体ＷＦに貼付された接着シートＡＳを加熱する加熱手段３と、支持手段２に支持された被着体ＷＦに接着シートＡＳ側から気体を吹き付ける吹付手段４とを備え、吹付手段４は、加熱手段３により軟化させた接着シートＡＳに気体を吹き付けることで、各片状体ＣＰの側面ＣＰＸ，ＣＰＹに接着シートＡＳを貼付可能に構成されている。
【解決手段】複数の片状体ＣＰを備えた被着体ＷＦに接着シートＡＳを貼付するシート貼付装置１Ａは、複数の片状体ＣＰにわたって接着シートＡＳが貼付された被着体ＷＦを支持する支持手段２と、支持手段２に支持された被着体ＷＦに貼付された接着シートＡＳを加熱する加熱手段３と、支持手段２に支持された被着体ＷＦに接着シートＡＳ側から気体を吹き付ける吹付手段４とを備え、吹付手段４は、加熱手段３により軟化させた接着シートＡＳに気体を吹き付けることで、各片状体ＣＰの側面ＣＰＸ，ＣＰＹに接着シートＡＳを貼付可能に構成されている。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、接着シートを被着体に貼付するシート貼付装置および貼付方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体製造工程において、いわゆる先ダイシングにより半導体ウェハ（以下、単にウェハという場合がある）の一方の面に形成された片状体としての凸部や、ウェハを所定の形状および所定のサイズに個片化した片状体としての半導体チップ（以下、単にチップという場合がある）に、接着シートを貼付したり、樹脂等を塗布したりして、これら片状体を覆うことが行われている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
特許文献１に記載の装置は、周囲に樹脂が塗付されたチップを、当該チップの形状に合わせた凹部を有するプレス型を用いてプレスすることで、チップの上面および側面を樹脂による被覆層で覆うように構成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００８−１６６０６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に記載されたような従来の装置は、チップ形状に合わせたプレス型を用いてプレスするため、ウェハに形成されたチップの形状ごとに異なるプレス型を用意する必要があり、装置の部品数が増加してしまうという不都合がある。また、プレス型の凹部を浅く、かつ精度よく加工することは困難なため、被覆層の薄型化に限界があるという不都合がある。
【０００６】
本発明の目的は、部品数を削減でき、片状体の側面に接着シートを貼付できるシート貼付装置および貼付方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明のシート貼付装置は、複数の片状体を備えた被着体に接着シートを貼付するシート貼付装置であって、前記複数の片状体にわたって接着シートが貼付された被着体を支持する支持手段と、前記支持手段に支持された被着体に貼付された接着シートを加熱する加熱手段と、前記支持手段に支持された被着体に接着シート側から気体を吹き付ける吹付手段とを備え、前記吹付手段は、前記加熱手段により軟化させた接着シートに気体を吹き付けることで、各片状体の側面に接着シートを貼付可能に構成されていることを特徴とする。
【０００８】
本発明のシート貼付装置は、前記接着シートを前記複数の片状体の間隙に沿って割断する割断手段を備えていることが好ましい。
本発明のシート貼付装置において、前記割断手段は、前記吹付手段によって構成されることが好ましい。
本発明のシート貼付装置において、前記割断手段は、前記複数の片状体の間隙を拡げるエキスパンド手段によって構成されることが好ましい。
【０００９】
本発明のシート貼付方法は、複数の片状体を備えた被着体に接着シートを貼付するシート貼付方法であって、前記複数の片状体にわたって接着シートが貼付された被着体を支持し、支持された被着体に貼付された接着シートを加熱しつつ、加熱により軟化させた接着シートに気体を吹き付けることで、各片状体の側面に接着シートを貼付することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
以上のような本発明によれば、簡易な構成で片状体の側面に接着シートを貼付することができ、装置の部品数を削減することができる。また、接着シートは、基材となるフィルムに接着剤を塗工して構成され、薄型化が容易であるため、このような接着シートを用いることにより、被覆層の薄型化を図ることができる。
【００１１】
また、割断手段を設ければ、接着シートが各片状体の側面に貼付された状態で当該接着シートを割断することができる。
さらに、吹付手段により割断手段を構成すれば、接着シートを割断するための構成を別途設ける必要がなく、装置の部品数をさらに削減することができる。
一方、エキスパンド手段により割断手段を構成すれば、接着シートを割断しつつ、片状体の間隙を拡げることができるので、複数の片状体を他のピックアップ装置に搬送することなく続けて作業することが可能となり、片状体を用いた製品の製造作業効率を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の第１実施形態に係るシート貼付装置の側面図。
【図２】図１のシート貼付装置の動作説明図。
【図３】本発明の第２実施形態に係るシート貼付装置の側面図。
【図４】図３のシート貼付装置の動作説明図。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明の各実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、第２実施形態以降において、次の第１実施形態で説明する構成部材と同じ構成部材および同様な機能を有する構成部材には、第１実施形態の構成部材と同じ符号を付し、それらの説明を省略または簡略化する。また、第１実施形態では図１を、第２実施形態では図３をそれぞれ基準として、左右方向をＸ軸方向とし、同図紙面直交方向をＹ軸方向とし、同図上下方向をＺ軸方向とする。
【００１４】
〔第１実施形態〕
図１において、シート貼付装置１Ａは、表面のＸ軸方向、Ｙ軸方向にダイシングラインが形成され、当該ダイシングラインに沿って片状体としての矩形状の複数のチップＣＰに個片化可能に構成された被着体としてのウェハＷＦに接着シートＡＳが貼付された状態で、接着シートＡＳに気体を吹き付け、当該接着シートＡＳをチップＣＰの表面から連続する側面ＣＰＸ，ＣＰＹに貼付する装置である。ここで、接着シートＡＳは、ウェハＷＦの外形形状と略等しい大きさに形成され、全てのチップＣＰにわたって貼付されている。また、ウェハＷＦの接着シートＡＳが貼付された反対側の面には、保護シートＰＳが貼付されている。
【００１５】
シート貼付装置１Ａは、ウェハＷＦを支持する支持手段２と、支持手段２に支持されたウェハＷＦの接着シートＡＳを加熱する加熱手段３と、ウェハＷＦに接着シートＡＳ側から気体を吹き付ける吹付手段４と、支持手段２と吹付手段４とを相対移動させる移動手段５とを備えている。
【００１６】
支持手段２は、ウェハＷＦを支持するテーブル２１と、このテーブル２１の下方に設けられ、当該テーブル２１をウェハＷＦの面内で回転駆動させる駆動機器としての回動モータ２２とを備えている。なお、テーブル２１は、ウェハＷＦの支持面に開口する図示しない吸引孔を介して、ウェハＷＦを吸着可能に構成されている。
【００１７】
加熱手段３は、テーブル２１内に設けられたヒータ３１からなる。このヒータ３１は、接着シートＡＳが軟化する温度や接着シートＡＳの特性に応じて、温度を適宜設定可能に構成されている。
【００１８】
吹付手段４は、図示しない加圧ポンプや加圧タンク等の気体供給装置等に接続された吹出口４１を備え、当該吹出口４１から接着シートＡＳに気体を吹付可能に構成されている。吹出口４１は、テーブル２１で支持するウェハＷＦの上側に対向配置されるとともに、Ｙ軸方向に向かってウェハＷＦの直径よりも長い直線状かつ細溝状に形成されている。
【００１９】
移動手段５は、吹付手段４を支持したスライダ５１を駆動する駆動機器としての直動モータ５２を備え、当該直動モータ５２によりスライダ５１を図１の左右方向に移動させることで、支持手段２と吹付手段４とを相対移動可能に構成されている。
【００２０】
以上のシート貼付装置１Ａにおいて、チップＣＰの側面ＣＰＸ，ＣＰＹに接着シートＡＳを貼付する手順を説明する。
先ず、図１に示すように、支持手段２は、テーブル２１でウェハＷＦを保護シートＰＳ側から吸着する。また、加熱手段３は、ヒータ３１によりウェハＷＦを加熱することで、当該ウェハＷＦに貼付された接着シートＡＳを軟化させる。
【００２１】
この状態で、吹付手段４は、気体の吹き付けを開始する。そして、図２（Ａ）に示すように、吹出口４１から接着シートＡＳに向けて気体を吹き付けつつ、移動手段５により吹付手段４を同図右方向に移動させる。この時、図２（Ｂ）に示すように、吹出口４１がチップＣＰの間隙上に位置すると、吹出口４１からの気体の吹き付け力により接着シートＡＳが間隙内に入り込み、接着シートＡＳが各チップＣＰのＹ軸方向と平行な側面ＣＰＹに貼付される。そして、接着シートＡＳは、図２（Ｃ）に示すように、間隙内の部分に気体の吹き付け力による応力が集中することで、間隙に沿って割断される。すなわち、本実施形態の割断手段は、吹付手段４によって構成される。
【００２２】
次いで、回動モータ２２の駆動により、テーブル２１をウェハＷＦの面内方向に所定角度（本実施形態の場合は９０度）に回転させた後、移動手段５により吹付手段４を図２中の左方向に移動させることで、Ｘ軸方向と平行な側面ＣＰＸへの貼付動作および割断動作を行うように構成されている。これにより、Ｙ軸方向とは異なる方向（本実施形態の場合はＸ軸方向）に沿って間隙が形成されている場合でも、テーブル２１の回転により吹出口４１の形成方向と間隙の形成方向とを合わせることで、いずれの方向に形成された間隙に対しても当該間隙内に気体が吹き込むようにして、接着シートＡＳの貼付および割断を確実に行っている。
【００２３】
その後、テーブル２１によるウェハＷＦの吸着を停止し、チップＣＰの側面ＣＰＸ，ＣＰＹに接着シートＡＳが貼付されたウェハＷＦは、保護シートＰＳが貼付された状態のまま、図示しない搬送手段によりピックアップ装置等の後工程に搬送される。
【００２４】
本実施形態によれば、次のような効果がある。
すなわち、シート貼付装置１Ａは、加熱手段３により軟化させた接着シートＡＳに気体を吹き付けることで、チップＣＰの側面ＣＰＸ，ＣＰＹに接着シートＡＳを貼付するため、簡易な構成で各チップＣＰの上面および四方の側面ＣＰＸ，ＣＰＹに接着シートＡＳを貼付することができ、シート貼付装置１Ａの部品数を削減することができる。また、接着シートＡＳは、薄型化が容易であるため、このような接着シートＡＳを用いることにより、チップＣＰの被覆層の薄型化を図ることができる。
【００２５】
〔第２実施形態〕
次に、本発明の第２実施形態を図３および図４に基づいて説明する。
本実施形態のシート貼付装置１Ｂは、図３に示すように、エキスパンド手段７を備えた点が前記第１実施形態と相違する。また、本実施形態のウェハＷＦは、当該ウェハＷＦの一方の面に接着シートＡＳが貼付されるとともに、他方の面に貼付されたダイシングシートＤＳを介してリングフレームＲＦと一体化した構成とされている点で前記第１実施形態と相違する。
【００２６】
エキスパンド手段７は、テーブル２１の周囲に固定されたブラケット７５に支持された駆動機器としての複数の直動モータ７１と、この直動モータ７１の出力軸７１Ａに支持された第１当接部７２と、この第１当接部７２に固定された駆動機器としての直動モータ７３と、当該直動モータ７３の出力軸７３Ａに支持され、第１当接部７２とともにリングフレームＲＦ部分を挟持する第２当接部７４とを備えている。
【００２７】
以上のシート貼付装置１Ｂにおいて、チップＣＰの側面ＣＰＸ，ＣＰＹに接着シートＡＳを貼付する手順としては、先ず、図３に示すように、支持手段２にウェハＷＦをダイシングシートＤＳ側から吸着させる。また、直動モータ７１の駆動により第２当接部７４を下降させて、第２当接部７４と第１当接部７２でリングフレームＲＦ部分を挟持させる。
【００２８】
この状態で、シート貼付装置１Ｂは、図３に示すように、加熱手段３により軟化させた接着シートＡＳに気体を吹き付けつつ、吹付手段４を同図の右方向に移動させることで、接着シートＡＳを各チップＣＰの側面ＣＰＹに貼付する。そして、吹付手段４が図の二点鎖線で示す位置に達すると、回動モータ２２の駆動によりテーブル２１をウェハＷＦの面内方向に９０度回転させた後、吹付手段４を同図の左方向に移動させて、側面ＣＰＸへの貼付動作を行う。この時点で、接着シートＡＳは、チップＣＰの間隙内に入り込んだ状態であり、割断されていない場合もある。なお、接着シートＡＳは、塑性変形可能な材料により形成されているため、接着シートＡＳが縮むように作用することはなく、チップＣＰの間隙内の接着シートＡＳがチップＣＰの側面ＣＰＸ，ＣＰＹから剥離するようなことはない。
【００２９】
次いで、エキスパンド手段７は、図４に示すように、直動モータ７１の駆動により各当接部７２，７４を下降させる。これにより、ダイシングシートＤＳが引っ張られて、チップＣＰの間隙が拡げられることで、間隙内の接着シートＡＳが割断される。すなわち、本実施形態の割断手段は、エキスパンド手段７によって構成される。
【００３０】
この際、さらに吹付手段４を同図の左右方向に移動させ、接着シートＡＳの全面に気体を吹き付けることで、接着シートＡＳの割断を補助することができる。すなわち、接着シートＡＳに気体が吹き付けられることで、間隙内の接着シートＡＳが下方に押された状態でチップＣＰの間隙が拡がるため、接着シートＡＳにより大きな張力が付与されて、接着シートＡＳの割断が促進される。
【００３１】
以上の本実施形態によっても、前記第１実施形態と同様の効果を得ることができる。また、エキスパンド手段７により、接着シートＡＳを割断しつつ、チップＣＰの間隙を拡げることができるので、チップＣＰのピックアップ性を向上させることができ、チップＣＰを用いた半導体製品の製造作業効率を向上させることができる。
【００３２】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質等を限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質等の限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
【００３３】
例えば、前記実施形態において、割断手段は、吹付手段４やエキスパンド手段７により構成されたが、これに限らず、例えば、切断刃を備えた切断手段により構成してもよい。
【００３４】
また、エキスパンド手段７は、前記第２実施形態のものに限らず、例えば、第１実施形態のようにウェハＷＦがリングフレームＲＦに支持されていない場合は、接着シートＡＳをＸ軸方向およびＹ軸方向等、ウェハＷＦの外周方向に向かって引張る構成としてもよい。
【００３５】
さらに、エキスパンド手段７は、前記第２実施形態のものに限らず、リングフレームＲＦを固定しておいて、テーブル２１を上昇させてもよいし、リングフレームＲＦとテーブル２１とを両方上昇させてもよい。
【００３６】
また、吹付手段４の溝の長さは、前記実施例のものに限らず、例えば、チップＣＰの１辺の長さとしてもよいし、それ以下でもよい。
【００３７】
前記実施形態では、複数のチップＣＰに個片化されたウェハＷＦに接着シートＡＳが貼付されたものを用いたが、先ダイシングにより、一方の面から切削が施され、他方の面に達することのない溝が形成された片状体としての複数の凸部を有するウェハＷＦに接着シートＡＳが貼付されたものを用いてもよい。
また、前記実施形態では、ウェハＷＦを吸着支持していたが、チャック装置によりウェハＷＦを支持してもよい。
【００３８】
前記実施形態では、加熱手段３はヒータ３１によって構成されていたが、これに限らず、接着シートＡＳを直接的または間接的に加熱することができれば、ヒータ３１のかわりに、温水、放電加熱機、赤外線照射装置、マイクロ波照射装置等を用いてもよい。また、ヒータ３１等の加熱手段をテーブル２１の外部に設け、上方や側方からヒータ３１により接着シートＡＳを加熱してもよいし、接着シートＡＳの上方の雰囲気を加熱するようにしてもよい。
【００３９】
前記実施形態において、移動手段５は、支持手段２を固定して吹付手段４を移動させていたが、吹付手段４を固定して支持手段２を移動させてもよいし、支持手段２と吹付手段４との両方を移動させてもよい。また、移動手段５を設けず、吹付手段４をウェハＷＦの全面に一括して気体を吹き付けるように構成してもよい。
一方、貼付動作を行う際、テーブル２１を固定して吹付手段４を回転させてもよいし、テーブル２１と吹付手段４との両方を回転させてもよい。また、テーブル２１を回転させる所定角度は９０度でなくてよく、例えば３０度や６０度とすることができ、チップＣＰの間隙の形成パターン（形成方向等）によって適宜決定することができる。
【００４０】
本発明における接着シートＡＳの種別や材質などは、特に限定されず、例えば、基材シートと接着剤層との間に中間層を有するものや、他の層を有する等３層以上のものでもよい。また、接着シートＡＳは、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルムなどであってもよい。ウェハＷＦは、シリコン半導体ウェハや化合物半導体ウェハ等が例示でき、このようなウェハＷＦに貼付する接着シートＡＳは、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルムに限らず、その他の任意のシート、フィルム、テープ等、任意の用途、形状の接着シート等が適用できる。さらに、被着体としては、ガラス板、鋼板、樹脂板等や、その他の部材のみならず、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。
【００４１】
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。
【符号の説明】
【００４２】
１ シート貼付装置
２ 支持手段
３ 加熱手段
４ 吹付手段
７ エキスパンド手段
ＡＳ 接着シート
ＣＰ チップ（片状体）
ＷＦ ウェハ（被着体）
【技術分野】
【０００１】
本発明は、接着シートを被着体に貼付するシート貼付装置および貼付方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体製造工程において、いわゆる先ダイシングにより半導体ウェハ（以下、単にウェハという場合がある）の一方の面に形成された片状体としての凸部や、ウェハを所定の形状および所定のサイズに個片化した片状体としての半導体チップ（以下、単にチップという場合がある）に、接着シートを貼付したり、樹脂等を塗布したりして、これら片状体を覆うことが行われている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
特許文献１に記載の装置は、周囲に樹脂が塗付されたチップを、当該チップの形状に合わせた凹部を有するプレス型を用いてプレスすることで、チップの上面および側面を樹脂による被覆層で覆うように構成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００８−１６６０６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に記載されたような従来の装置は、チップ形状に合わせたプレス型を用いてプレスするため、ウェハに形成されたチップの形状ごとに異なるプレス型を用意する必要があり、装置の部品数が増加してしまうという不都合がある。また、プレス型の凹部を浅く、かつ精度よく加工することは困難なため、被覆層の薄型化に限界があるという不都合がある。
【０００６】
本発明の目的は、部品数を削減でき、片状体の側面に接着シートを貼付できるシート貼付装置および貼付方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明のシート貼付装置は、複数の片状体を備えた被着体に接着シートを貼付するシート貼付装置であって、前記複数の片状体にわたって接着シートが貼付された被着体を支持する支持手段と、前記支持手段に支持された被着体に貼付された接着シートを加熱する加熱手段と、前記支持手段に支持された被着体に接着シート側から気体を吹き付ける吹付手段とを備え、前記吹付手段は、前記加熱手段により軟化させた接着シートに気体を吹き付けることで、各片状体の側面に接着シートを貼付可能に構成されていることを特徴とする。
【０００８】
本発明のシート貼付装置は、前記接着シートを前記複数の片状体の間隙に沿って割断する割断手段を備えていることが好ましい。
本発明のシート貼付装置において、前記割断手段は、前記吹付手段によって構成されることが好ましい。
本発明のシート貼付装置において、前記割断手段は、前記複数の片状体の間隙を拡げるエキスパンド手段によって構成されることが好ましい。
【０００９】
本発明のシート貼付方法は、複数の片状体を備えた被着体に接着シートを貼付するシート貼付方法であって、前記複数の片状体にわたって接着シートが貼付された被着体を支持し、支持された被着体に貼付された接着シートを加熱しつつ、加熱により軟化させた接着シートに気体を吹き付けることで、各片状体の側面に接着シートを貼付することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
以上のような本発明によれば、簡易な構成で片状体の側面に接着シートを貼付することができ、装置の部品数を削減することができる。また、接着シートは、基材となるフィルムに接着剤を塗工して構成され、薄型化が容易であるため、このような接着シートを用いることにより、被覆層の薄型化を図ることができる。
【００１１】
また、割断手段を設ければ、接着シートが各片状体の側面に貼付された状態で当該接着シートを割断することができる。
さらに、吹付手段により割断手段を構成すれば、接着シートを割断するための構成を別途設ける必要がなく、装置の部品数をさらに削減することができる。
一方、エキスパンド手段により割断手段を構成すれば、接着シートを割断しつつ、片状体の間隙を拡げることができるので、複数の片状体を他のピックアップ装置に搬送することなく続けて作業することが可能となり、片状体を用いた製品の製造作業効率を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の第１実施形態に係るシート貼付装置の側面図。
【図２】図１のシート貼付装置の動作説明図。
【図３】本発明の第２実施形態に係るシート貼付装置の側面図。
【図４】図３のシート貼付装置の動作説明図。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明の各実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、第２実施形態以降において、次の第１実施形態で説明する構成部材と同じ構成部材および同様な機能を有する構成部材には、第１実施形態の構成部材と同じ符号を付し、それらの説明を省略または簡略化する。また、第１実施形態では図１を、第２実施形態では図３をそれぞれ基準として、左右方向をＸ軸方向とし、同図紙面直交方向をＹ軸方向とし、同図上下方向をＺ軸方向とする。
【００１４】
〔第１実施形態〕
図１において、シート貼付装置１Ａは、表面のＸ軸方向、Ｙ軸方向にダイシングラインが形成され、当該ダイシングラインに沿って片状体としての矩形状の複数のチップＣＰに個片化可能に構成された被着体としてのウェハＷＦに接着シートＡＳが貼付された状態で、接着シートＡＳに気体を吹き付け、当該接着シートＡＳをチップＣＰの表面から連続する側面ＣＰＸ，ＣＰＹに貼付する装置である。ここで、接着シートＡＳは、ウェハＷＦの外形形状と略等しい大きさに形成され、全てのチップＣＰにわたって貼付されている。また、ウェハＷＦの接着シートＡＳが貼付された反対側の面には、保護シートＰＳが貼付されている。
【００１５】
シート貼付装置１Ａは、ウェハＷＦを支持する支持手段２と、支持手段２に支持されたウェハＷＦの接着シートＡＳを加熱する加熱手段３と、ウェハＷＦに接着シートＡＳ側から気体を吹き付ける吹付手段４と、支持手段２と吹付手段４とを相対移動させる移動手段５とを備えている。
【００１６】
支持手段２は、ウェハＷＦを支持するテーブル２１と、このテーブル２１の下方に設けられ、当該テーブル２１をウェハＷＦの面内で回転駆動させる駆動機器としての回動モータ２２とを備えている。なお、テーブル２１は、ウェハＷＦの支持面に開口する図示しない吸引孔を介して、ウェハＷＦを吸着可能に構成されている。
【００１７】
加熱手段３は、テーブル２１内に設けられたヒータ３１からなる。このヒータ３１は、接着シートＡＳが軟化する温度や接着シートＡＳの特性に応じて、温度を適宜設定可能に構成されている。
【００１８】
吹付手段４は、図示しない加圧ポンプや加圧タンク等の気体供給装置等に接続された吹出口４１を備え、当該吹出口４１から接着シートＡＳに気体を吹付可能に構成されている。吹出口４１は、テーブル２１で支持するウェハＷＦの上側に対向配置されるとともに、Ｙ軸方向に向かってウェハＷＦの直径よりも長い直線状かつ細溝状に形成されている。
【００１９】
移動手段５は、吹付手段４を支持したスライダ５１を駆動する駆動機器としての直動モータ５２を備え、当該直動モータ５２によりスライダ５１を図１の左右方向に移動させることで、支持手段２と吹付手段４とを相対移動可能に構成されている。
【００２０】
以上のシート貼付装置１Ａにおいて、チップＣＰの側面ＣＰＸ，ＣＰＹに接着シートＡＳを貼付する手順を説明する。
先ず、図１に示すように、支持手段２は、テーブル２１でウェハＷＦを保護シートＰＳ側から吸着する。また、加熱手段３は、ヒータ３１によりウェハＷＦを加熱することで、当該ウェハＷＦに貼付された接着シートＡＳを軟化させる。
【００２１】
この状態で、吹付手段４は、気体の吹き付けを開始する。そして、図２（Ａ）に示すように、吹出口４１から接着シートＡＳに向けて気体を吹き付けつつ、移動手段５により吹付手段４を同図右方向に移動させる。この時、図２（Ｂ）に示すように、吹出口４１がチップＣＰの間隙上に位置すると、吹出口４１からの気体の吹き付け力により接着シートＡＳが間隙内に入り込み、接着シートＡＳが各チップＣＰのＹ軸方向と平行な側面ＣＰＹに貼付される。そして、接着シートＡＳは、図２（Ｃ）に示すように、間隙内の部分に気体の吹き付け力による応力が集中することで、間隙に沿って割断される。すなわち、本実施形態の割断手段は、吹付手段４によって構成される。
【００２２】
次いで、回動モータ２２の駆動により、テーブル２１をウェハＷＦの面内方向に所定角度（本実施形態の場合は９０度）に回転させた後、移動手段５により吹付手段４を図２中の左方向に移動させることで、Ｘ軸方向と平行な側面ＣＰＸへの貼付動作および割断動作を行うように構成されている。これにより、Ｙ軸方向とは異なる方向（本実施形態の場合はＸ軸方向）に沿って間隙が形成されている場合でも、テーブル２１の回転により吹出口４１の形成方向と間隙の形成方向とを合わせることで、いずれの方向に形成された間隙に対しても当該間隙内に気体が吹き込むようにして、接着シートＡＳの貼付および割断を確実に行っている。
【００２３】
その後、テーブル２１によるウェハＷＦの吸着を停止し、チップＣＰの側面ＣＰＸ，ＣＰＹに接着シートＡＳが貼付されたウェハＷＦは、保護シートＰＳが貼付された状態のまま、図示しない搬送手段によりピックアップ装置等の後工程に搬送される。
【００２４】
本実施形態によれば、次のような効果がある。
すなわち、シート貼付装置１Ａは、加熱手段３により軟化させた接着シートＡＳに気体を吹き付けることで、チップＣＰの側面ＣＰＸ，ＣＰＹに接着シートＡＳを貼付するため、簡易な構成で各チップＣＰの上面および四方の側面ＣＰＸ，ＣＰＹに接着シートＡＳを貼付することができ、シート貼付装置１Ａの部品数を削減することができる。また、接着シートＡＳは、薄型化が容易であるため、このような接着シートＡＳを用いることにより、チップＣＰの被覆層の薄型化を図ることができる。
【００２５】
〔第２実施形態〕
次に、本発明の第２実施形態を図３および図４に基づいて説明する。
本実施形態のシート貼付装置１Ｂは、図３に示すように、エキスパンド手段７を備えた点が前記第１実施形態と相違する。また、本実施形態のウェハＷＦは、当該ウェハＷＦの一方の面に接着シートＡＳが貼付されるとともに、他方の面に貼付されたダイシングシートＤＳを介してリングフレームＲＦと一体化した構成とされている点で前記第１実施形態と相違する。
【００２６】
エキスパンド手段７は、テーブル２１の周囲に固定されたブラケット７５に支持された駆動機器としての複数の直動モータ７１と、この直動モータ７１の出力軸７１Ａに支持された第１当接部７２と、この第１当接部７２に固定された駆動機器としての直動モータ７３と、当該直動モータ７３の出力軸７３Ａに支持され、第１当接部７２とともにリングフレームＲＦ部分を挟持する第２当接部７４とを備えている。
【００２７】
以上のシート貼付装置１Ｂにおいて、チップＣＰの側面ＣＰＸ，ＣＰＹに接着シートＡＳを貼付する手順としては、先ず、図３に示すように、支持手段２にウェハＷＦをダイシングシートＤＳ側から吸着させる。また、直動モータ７１の駆動により第２当接部７４を下降させて、第２当接部７４と第１当接部７２でリングフレームＲＦ部分を挟持させる。
【００２８】
この状態で、シート貼付装置１Ｂは、図３に示すように、加熱手段３により軟化させた接着シートＡＳに気体を吹き付けつつ、吹付手段４を同図の右方向に移動させることで、接着シートＡＳを各チップＣＰの側面ＣＰＹに貼付する。そして、吹付手段４が図の二点鎖線で示す位置に達すると、回動モータ２２の駆動によりテーブル２１をウェハＷＦの面内方向に９０度回転させた後、吹付手段４を同図の左方向に移動させて、側面ＣＰＸへの貼付動作を行う。この時点で、接着シートＡＳは、チップＣＰの間隙内に入り込んだ状態であり、割断されていない場合もある。なお、接着シートＡＳは、塑性変形可能な材料により形成されているため、接着シートＡＳが縮むように作用することはなく、チップＣＰの間隙内の接着シートＡＳがチップＣＰの側面ＣＰＸ，ＣＰＹから剥離するようなことはない。
【００２９】
次いで、エキスパンド手段７は、図４に示すように、直動モータ７１の駆動により各当接部７２，７４を下降させる。これにより、ダイシングシートＤＳが引っ張られて、チップＣＰの間隙が拡げられることで、間隙内の接着シートＡＳが割断される。すなわち、本実施形態の割断手段は、エキスパンド手段７によって構成される。
【００３０】
この際、さらに吹付手段４を同図の左右方向に移動させ、接着シートＡＳの全面に気体を吹き付けることで、接着シートＡＳの割断を補助することができる。すなわち、接着シートＡＳに気体が吹き付けられることで、間隙内の接着シートＡＳが下方に押された状態でチップＣＰの間隙が拡がるため、接着シートＡＳにより大きな張力が付与されて、接着シートＡＳの割断が促進される。
【００３１】
以上の本実施形態によっても、前記第１実施形態と同様の効果を得ることができる。また、エキスパンド手段７により、接着シートＡＳを割断しつつ、チップＣＰの間隙を拡げることができるので、チップＣＰのピックアップ性を向上させることができ、チップＣＰを用いた半導体製品の製造作業効率を向上させることができる。
【００３２】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質等を限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質等の限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
【００３３】
例えば、前記実施形態において、割断手段は、吹付手段４やエキスパンド手段７により構成されたが、これに限らず、例えば、切断刃を備えた切断手段により構成してもよい。
【００３４】
また、エキスパンド手段７は、前記第２実施形態のものに限らず、例えば、第１実施形態のようにウェハＷＦがリングフレームＲＦに支持されていない場合は、接着シートＡＳをＸ軸方向およびＹ軸方向等、ウェハＷＦの外周方向に向かって引張る構成としてもよい。
【００３５】
さらに、エキスパンド手段７は、前記第２実施形態のものに限らず、リングフレームＲＦを固定しておいて、テーブル２１を上昇させてもよいし、リングフレームＲＦとテーブル２１とを両方上昇させてもよい。
【００３６】
また、吹付手段４の溝の長さは、前記実施例のものに限らず、例えば、チップＣＰの１辺の長さとしてもよいし、それ以下でもよい。
【００３７】
前記実施形態では、複数のチップＣＰに個片化されたウェハＷＦに接着シートＡＳが貼付されたものを用いたが、先ダイシングにより、一方の面から切削が施され、他方の面に達することのない溝が形成された片状体としての複数の凸部を有するウェハＷＦに接着シートＡＳが貼付されたものを用いてもよい。
また、前記実施形態では、ウェハＷＦを吸着支持していたが、チャック装置によりウェハＷＦを支持してもよい。
【００３８】
前記実施形態では、加熱手段３はヒータ３１によって構成されていたが、これに限らず、接着シートＡＳを直接的または間接的に加熱することができれば、ヒータ３１のかわりに、温水、放電加熱機、赤外線照射装置、マイクロ波照射装置等を用いてもよい。また、ヒータ３１等の加熱手段をテーブル２１の外部に設け、上方や側方からヒータ３１により接着シートＡＳを加熱してもよいし、接着シートＡＳの上方の雰囲気を加熱するようにしてもよい。
【００３９】
前記実施形態において、移動手段５は、支持手段２を固定して吹付手段４を移動させていたが、吹付手段４を固定して支持手段２を移動させてもよいし、支持手段２と吹付手段４との両方を移動させてもよい。また、移動手段５を設けず、吹付手段４をウェハＷＦの全面に一括して気体を吹き付けるように構成してもよい。
一方、貼付動作を行う際、テーブル２１を固定して吹付手段４を回転させてもよいし、テーブル２１と吹付手段４との両方を回転させてもよい。また、テーブル２１を回転させる所定角度は９０度でなくてよく、例えば３０度や６０度とすることができ、チップＣＰの間隙の形成パターン（形成方向等）によって適宜決定することができる。
【００４０】
本発明における接着シートＡＳの種別や材質などは、特に限定されず、例えば、基材シートと接着剤層との間に中間層を有するものや、他の層を有する等３層以上のものでもよい。また、接着シートＡＳは、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルムなどであってもよい。ウェハＷＦは、シリコン半導体ウェハや化合物半導体ウェハ等が例示でき、このようなウェハＷＦに貼付する接着シートＡＳは、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルムに限らず、その他の任意のシート、フィルム、テープ等、任意の用途、形状の接着シート等が適用できる。さらに、被着体としては、ガラス板、鋼板、樹脂板等や、その他の部材のみならず、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。
【００４１】
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。
【符号の説明】
【００４２】
１ シート貼付装置
２ 支持手段
３ 加熱手段
４ 吹付手段
７ エキスパンド手段
ＡＳ 接着シート
ＣＰ チップ（片状体）
ＷＦ ウェハ（被着体）
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の片状体を備えた被着体に接着シートを貼付するシート貼付装置であって、
前記複数の片状体にわたって接着シートが貼付された被着体を支持する支持手段と、
前記支持手段に支持された被着体に貼付された接着シートを加熱する加熱手段と、
前記支持手段に支持された被着体に接着シート側から気体を吹き付ける吹付手段とを備え、
前記吹付手段は、前記加熱手段により軟化させた接着シートに気体を吹き付けることで、各片状体の側面に接着シートを貼付可能に構成されていることを特徴とするシート貼付装置。
【請求項２】
前記接着シートを前記複数の片状体の間隙に沿って割断する割断手段を備えていることを特徴とする請求項１に記載のシート貼付装置。
【請求項３】
前記割断手段は、前記吹付手段によって構成されることを特徴とする請求項２に記載のシート貼付装置。
【請求項４】
前記割断手段は、前記複数の片状体の間隙を拡げるエキスパンド手段によって構成されることを特徴とする請求項２に記載のシート貼付装置。
【請求項５】
複数の片状体を備えた被着体に接着シートを貼付するシート貼付方法であって、
前記複数の片状体にわたって接着シートが貼付された被着体を支持し、
支持された被着体に貼付された接着シートを加熱しつつ、加熱により軟化させた接着シートに気体を吹き付けることで、各片状体の側面に接着シートを貼付することを特徴とする貼付方法。
【請求項１】
複数の片状体を備えた被着体に接着シートを貼付するシート貼付装置であって、
前記複数の片状体にわたって接着シートが貼付された被着体を支持する支持手段と、
前記支持手段に支持された被着体に貼付された接着シートを加熱する加熱手段と、
前記支持手段に支持された被着体に接着シート側から気体を吹き付ける吹付手段とを備え、
前記吹付手段は、前記加熱手段により軟化させた接着シートに気体を吹き付けることで、各片状体の側面に接着シートを貼付可能に構成されていることを特徴とするシート貼付装置。
【請求項２】
前記接着シートを前記複数の片状体の間隙に沿って割断する割断手段を備えていることを特徴とする請求項１に記載のシート貼付装置。
【請求項３】
前記割断手段は、前記吹付手段によって構成されることを特徴とする請求項２に記載のシート貼付装置。
【請求項４】
前記割断手段は、前記複数の片状体の間隙を拡げるエキスパンド手段によって構成されることを特徴とする請求項２に記載のシート貼付装置。
【請求項５】
複数の片状体を備えた被着体に接着シートを貼付するシート貼付方法であって、
前記複数の片状体にわたって接着シートが貼付された被着体を支持し、
支持された被着体に貼付された接着シートを加熱しつつ、加熱により軟化させた接着シートに気体を吹き付けることで、各片状体の側面に接着シートを貼付することを特徴とする貼付方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図２】
【図３】
【図４】
【公開番号】特開２０１３−１１０２４４（Ｐ２０１３−１１０２４４Ａ）
【公開日】平成２５年６月６日（２０１３．６．６）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−２５３６２１（Ｐ２０１１−２５３６２１）
【出願日】平成２３年１１月２１日（２０１１．１１．２１）
【出願人】（０００１０２９８０）リンテック株式会社 (1,750)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２５年６月６日（２０１３．６．６）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年１１月２１日（２０１１．１１．２１）
【出願人】（０００１０２９８０）リンテック株式会社 (1,750)
【Ｆターム（参考）】
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