シート貼付装置及び貼付方法、並びに、シート製造装置及び製造方法
【課題】不要シートの剥離や、接着シートの貼付を良好に行うことができるようにすること。
【解決手段】帯状シートＷＳが帯状の剥離シートＲＬに仮着された原反ＲＳを繰り出す繰出手段１４と、帯状シートＷＳに切込ＣＵを形成して当該切込ＣＵの内側に接着シートＡＳを形成し、切込ＣＵの外側に不要シートＵＳを形成する切断手段１５と、接着シートＡＳを初期剥離領域（繰出方向先端部）Ｓａから剥離する剥離板１８とを備えてシート貼付装置１０が構成されている。繰出手段１４は、原反ＲＳに付与する張力を増減可能な張力付与手段１７を有し、張力の増加によって初期剥離領域Ｓａの接着シートＡＳ外縁と不要シートＵＳとの間に隙間ＳＰを形成可能に設けられている。
【解決手段】帯状シートＷＳが帯状の剥離シートＲＬに仮着された原反ＲＳを繰り出す繰出手段１４と、帯状シートＷＳに切込ＣＵを形成して当該切込ＣＵの内側に接着シートＡＳを形成し、切込ＣＵの外側に不要シートＵＳを形成する切断手段１５と、接着シートＡＳを初期剥離領域（繰出方向先端部）Ｓａから剥離する剥離板１８とを備えてシート貼付装置１０が構成されている。繰出手段１４は、原反ＲＳに付与する張力を増減可能な張力付与手段１７を有し、張力の増加によって初期剥離領域Ｓａの接着シートＡＳ外縁と不要シートＵＳとの間に隙間ＳＰを形成可能に設けられている。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シート貼付装置及び貼付方法、並びに、シート製造装置及び製造方法に係り、更に詳しくは、帯状シートに切込を形成して接着シートを形成することができるシート貼付装置及び貼付方法、並びに、シート製造装置及び製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」と称する場合がある）等の被着体に接着シートを貼付するシート貼付装置が広く利用されるに至っており、かかるシート貼付装置としては、例えば、特許文献１に開示されている。特許文献１のシート貼付装置は、帯状シートが剥離シートに仮着されてなる原反を繰り出す繰出手段と、この原反を繰り出す過程で円形状の切込を形成する切断刃と、切込の内側に形成された接着シートを剥離シートから剥離するピールプレートと、剥離された接着シートをウエハ及びリングフレームに押圧して貼付可能なプレスローラとを備えている。このようなシート貼付装置では、切込形成後であって、接着シートを剥離シートから剥離する前に、切込の外側に形成された不要シートを剥離シートから剥離して巻き取る巻取手段を有するものが知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００５−１１６９２８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、近時、ウエハにあっては大径化される傾向があり、これに応じて接着シートの径寸法も大きくなる。従って、図４に示されるように、接着シートＡＳは、その繰出方向先端部における当該接着シートＡＳの繰出方向に沿った一定の間隔（以下、「先端縦間隔Ｓｘ」という）に対し、先端縦間隔Ｓｘ進んだ位置での接着シートＡＳの繰出方向に直交する方向に沿った間隔（以下、「先端横間隔Ｓｙ」という）の割合（以下「先端縦横比Ｓｘｙ」という）が大きくなり、微視的に見ると恰も直線であるかのような状態となる。この先端縦横比Ｓｘｙが大きくなると、巻取手段で接着シートＡＳの繰出方向先端部の不要シートを接着シートＡＳから切り離すときに、その切り離しが一挙に広範囲で行われることになる。このような場合、切断手段で形成した切込が不十分で、例えば、接着シートＡＳと不要シートとが完全に分断されていなかったり、接着シートＡＳと不要シートとの接着剤同士が再接着してしまったりしていた場合、接着シートＡＳと不要シートとの切り離しに要する力が接着シートＡＳと剥離シートとの剥離に要する力を上回ってしまう場合があり、当該接着シートＡＳが不要シートと共に巻取手段で巻き取られて接着シートＡＳの貼付が行えなくなる、という不都合が発生する。かかる不都合は、接着シートが方形等に形成され、繰り出し方向前端が直線に形成されて原反の幅方向に長くなる場合にも、同様に発生する。
【０００５】
［発明の目的］
本発明の目的は、接着シートの形状に拘わらず、不要シートの剥離、ひいては、接着シートの貼付を良好に行うことができるシート貼付装置及び貼付方法、並びに、シート製造装置及び製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記目的を達成するため、本発明は、帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出手段と、前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断手段と、前記剥離シートに仮着された前記接着シートを当該接着シートの繰出方向先端部から剥離する剥離手段と、前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧手段とを含むシート貼付装置であって、
前記繰出手段は、前記原反に付与する張力を増減可能な張力付与手段を有し、前記原反に付与する張力を増加させることによって前記接着シートの繰出方向先端部における接着シート外縁と不要シートとの間に隙間を形成可能に設けられる、という構成を採っている。
【０００７】
本発明において、前記張力付与手段は、前記切断手段による切込の位置情報に基づき、原反に付与する張力を調整可能に設けられる、という構成を採ることが好ましい。
【０００８】
また、前記繰出手段は、前記切断手段と連動して１枚の接着シート形成に対し、前記初期剥離領域での切断を複数回行うとよい。
【０００９】
また、前記張力付与手段は、前記張力を段階的に増加可能に設けられる、という構成を採ることができる。
【００１０】
更に、本発明のシート貼付方法は、帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出工程と、
前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断工程と、
前記剥離シートに仮着された前記接着シートを当該接着シートの繰出方向先端部から剥離する剥離工程と、
前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧工程とを備え、
前記繰出工程において、前記原反に付与する張力を増加させることによって前記接着シートの繰出方向先端部における接着シート外縁と不要シートとの間に隙間を形成する、という方法を採っている。
【００１１】
また、本発明のシート製造装置は、帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出手段と、
前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断手段とを含むシート製造装置であって、
前記繰出手段は、前記原反に付与する張力を増減可能な張力付与手段を有し、前記原反に付与する張力を増加させることによって、前記接着シートの繰出方向先端部及び繰出方向後端部の少なくとも一方における接着シート外縁と不要シートとの間に隙間を形成可能に設けられる、という構成を採っている。
【００１２】
また、本発明のシート製造方法は、帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出工程と、
前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断工程とを備え、
前記繰出工程において、前記原反に付与する張力を増加させることによって、前記接着シートの繰出方向先端部及び繰出方向後端部の少なくとも一方における接着シート外縁と不要シートとの間に隙間を形成する、という方法を採っている。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、原反の張力を増加することにより、剥離シートから不要シートを剥離する前に、接着シートの繰出方向先端部における接着シート外縁と不要シートとの間に隙間を形成し、一旦それらが確実に切り離された状態とすることができる。このように、接着シート外縁と不要シートとを一旦切り離すことにより、先端縦横比Ｓｘｙが大きかったり、切断手段で形成された切込が不十分であったりしても、確実に接着シートが不要シートと共に巻き取られることを回避できる。また、それらを一旦切り離すことで隙間ができ易くなり、接着シートＡＳと不要シートとの接着剤同士が再接着し難くなり、従来のように接着シートの貼付が行えなくなるといった不都合を解消することが可能となる。
なお、前記シート製造装置及び製造方法によれば、不要シートと共に接着シートが巻き取られてしまい、部分的に接着シートが仮着されていない原反が生産されてしまうことを防止することができる上、接着シートの繰出方向先端部における接着シート外縁と不要シートとの間に隙間が形成された原反を準備しておき、当該原反をシート貼付装置や貼付方法に用いた場合、従来のように接着シートの貼付が行えなくなるといった不都合を解消することが可能となる。
【００１４】
また、切断手段による切込の位置情報に基づき、張力付与手段が原反に付与する張力を調整可能となるので、接着シートの繰出方向先端部に切込を形成してから不要シートを剥離する前のタイミングで、接着シートの繰出方向先端部における接着シート外縁と不要シートとの間に隙間を形成することができる。
【００１５】
更に、接着シートの繰出方向先端部での切断を複数回行うことで、切込の深さを安定して所定の深さとすることが可能となる。
【００１６】
また、張力付与手段による原反の張力を段階的に増加可能とした場合、隙間の大きさも段階的に調整することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】実施形態に係るシート貼付装置の概略正面図。
【図２】切込形成後の原反の概略斜視図。
【図３】変形例に係るシート貼付装置の部分正面図。
【図４】剥離動作の説明図。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
なお、本明細書において、特に明示しない限り、「左」、「右」、「上」、「下」は、図１を基準として用いる。
【００１９】
図１及び図２において、シート貼付装置１０は、被着体としてのウエハＷＦ及びリングフレームＲＦを吸着支持するテーブル１１と、このテーブル１１を左右方向に移動可能な駆動機器としての直動モータ１２と、帯状の剥離シートＲＬと、その一方の面に仮着された帯状シートＷＳとにより構成された原反ＲＳを繰り出し可能な繰出手段１４と、この繰出手段１４により繰り出された原反ＲＳの帯状シートＷＳに切込ＣＵを形成し、当該切込ＣＵの内側に接着シートＡＳを形成するとともに、当該切込ＣＵの外側に不要シートＵＳを形成する切断手段１５と、不要シートＵＳを巻き取り可能な巻取手段１６と、剥離シートＲＬを折り返して接着シートＡＳを剥離シートＲＬから剥離する剥離手段としての剥離板１８と、この剥離板１８で剥離された接着シートＡＳをリングフレームＲＦ及びウエハＷＦに押圧して貼付する押圧手段としての押圧ローラ１９とを備えて構成されている。帯状シートＷＳは、基材シートＢＳと、この基材シートＢＳの一方の面に積層された接着剤層ＡＤとを備え、当該接着剤層ＡＤを介して剥離シートＲＬに仮着されている。なお、ウエハＷＦの下面には保護シートＰＳが貼付されている。
【００２０】
前記繰出手段１４は、原反ＲＳを支持する支持軸２５と、この支持軸２５から繰り出されて切断手段１５を通過する前の原反ＲＳを挟み込む第１駆動ローラ２７及び第１ピンチローラ２８と、剥離板１８を経た後の剥離シートＲＬを挟み込む第２駆動ローラ３１及び第２ピンチローラ３２と、これらを通過した後の剥離シートＲＬを図示しない駆動機器によって所定のトルクで巻き取る巻取軸３４とを備えている。各駆動ローラ２７、３１は、駆動機器としての回動モータＤＭ１、ＤＭ２を介して回転可能に設けられている。なお、第１駆動ローラ２７、回動モータＤＭ１、第２駆動ローラ３１及び回動モータＤＭ２により張力付与手段１７が構成される。回動モータＤＭ１及び回動モータＤＭ２は、その出力軸の回転方向を正逆回転可能であり、その回転速度や回転トルクを調整可能に設けられ、この調整により、各駆動ローラ２７、３１間の原反ＲＳに張力を付与でき、且つ、当該張力を増減するよう調整可能に設けられている。
【００２１】
前記切断手段１５は、繰り出される原反ＲＳの帯状シートＷＳ側で回転可能に設けられたダイカットローラ３６と、原反ＲＳの剥離シートＲＬ側に配置され、図示しない機構によりダイカットローラ３６と連動して回転可能に設けられたプラテンローラ３７と、ダイカットローラ３６を回転させる駆動機器としての回動モータＤＭ３と、ダイカットローラ３６とプラテンローラ３７との相対間隔を調整する間隔調整手段であって図示しない直動モータ等の駆動機器とを備えている。
【００２２】
前記ダイカットローラ３６は、外周面から突設する閉ループ状の切断刃４０を備え、帯状シートＷＳにリングフレームＲＦの内径寸法よりも大きく、外形寸法よりも小さい略円形の切込ＣＵを形成可能に設けられている。切断刃４０によって形成された接着シートＡＳは、帯状シートＷＳの繰出方向（原反ＲＳが支持軸２５から巻取軸３４に向かう方向）先端領域が剥離板１８によって剥離シートＲＬから最初に剥離される接着シートの繰出方向先端部としての初期剥離領域Ｓａ（図２参照）となる。なお、ダイカットローラ３６の回転位置を検出可能な図示しない位置センサが設けられ、当該センサの検出結果に基づきダイカットローラ３６で形成した切込ＣＵの位置情報を出力可能となっている。この位置センサは、ダイカットローラ３６の外部から切断刃４０の位置をカメラ等の撮像手段や、光学センサで検出するようにしてもよいし、回動モータＤＭ３のパルスから切断刃４０の位置を割り出すように構成してもよい。
【００２３】
ここで、切断手段１５には図示しないエネルギー付与手段が設けられ、このエネルギー付与手段により原反ＲＳにエネルギーを付与しながら切込ＣＵを形成可能となっている。エネルギー付与手段としては、例えば、ダイカットローラ３６及びプラテンローラ３７の少なくとも一方に内蔵されるコイルヒータの他、これらローラ３６、３７から離れた位置から切込ＣＵの形成位置に温風を送風する送風機器や紫外線、赤外線、マイクロ波等のエネルギー線等を照射する照射装置等が例示できる。
【００２４】
前記巻取手段１６は、切断手段１５により切込ＣＵを形成した後の不要シートＵＳに掛け回されて当該不要シートＵＳを剥離シートＲＬから剥離する剥離ローラ５０と、剥離ローラ５０を経た後の不要シートＵＳを巻き取る巻取軸５１とを備えて構成されている。巻取軸５１は、駆動機器としての回動モータＤＭ４を介して回転可能に設けられ、所定のトルクで不要シートＵＳを巻き取り可能となっている。
【００２５】
次に、本実施形態における接着シートＡＳの貼付方法について説明する。
【００２６】
まず、支持軸２５に支持された原反ＲＳを第１駆動ローラ２７と第１ピンチローラ２８との間、及び、ダイカットローラ３６とプラテンローラ３７との間を通過させる。そして、剥離シートＲＬから帯状シートＷＳを剥離し、当該帯状シートＷＳを剥離ローラ５０に掛け回した後、そのリード端を巻取軸５１に固定する。また、剥離シートＲＬは、剥離板１８の先端で折り返して第２駆動ローラ３１と第２ピンチローラ３２との間を通過させ、そのリード端を巻取軸３４に固定する。本実施形態では、図１に示されるように、ダイカットローラ３６の回転方向における切断刃４０が形成されていない領域の中央をダイカットローラ３６のスタート位置Ｓｔとし、当該スタート位置Ｓｔがプラテンローラ３７に再接近した状態で、ダイカットローラ３６の回転を停止させておく。
【００２７】
そして、回動モータＤＭ１〜ＤＭ４を連動させて原反ＲＳを繰り出すと、切断刃４０により基材シートＢＳ側から剥離シートＲＬ側に向かって切込ＣＵが形成され、帯状シートＷＳは、切込ＣＵの内側の接着シートＡＳと、切込ＣＵの外側の不要シートＵＳとに区分される。ここで、図２に示されるように、図示しない位置センサにより、初期剥離領域Ｓａが形成されたことが確認されると、回動モータＤＭ１の回転をロックした状態で、回動モータＤＭ２によって第２駆動ローラ３１を帯状シートＷＳの繰出方向に回転させたり、回動モータＤＭ２の回転をロックした状態で、回動モータＤＭ１によって第１駆動ローラ２７を帯状シートＷＳの繰出方向の反対方向に回転させたり、第１、第２駆動ローラ２７、３１を帯状シートＷＳの繰出方向に回転するとともに、第１駆動ローラ２７の回転速度よりも第２駆動ローラ３１の回転速度を速くさせたり、第２駆動ローラ３１の回転速度よりも第１駆動ローラ２７の回転速度を遅くさせたりして原反ＲＳに付与する張力を増加させる。これにより、剥離シートＲＬと不要シートＵＳとが延出方向に伸展し、初期剥離領域Ｓａの接着シートＡＳ外縁と不要シートＵＳとの間に隙間ＳＰが形成され、一旦それらが確実に切り離された状態となる。この隙間ＳＰの形成により、接着シートＡＳと不要シートＵＳとが剥離シートＲＬに仮着された状態で、当該接着シートＡＳと不要シートＵＳとが初期剥離領域Ｓａで切り離された状態となる。なお、隙間ＳＰの大きさを調整すべく、回動モータＤＭ１、ＤＭ２による原反ＲＳの張力の増加を段階的に行ってもよい。
【００２８】
隙間ＳＰの形成後、回動モータＤＭ１〜ＤＭ４を連動させて原反ＲＳを繰り出すと、剥離ローラ５０で剥離シートＲＬから不要シートＵＳが剥離され、不要シートＵＳが巻取軸５１により不要シートＵＳが巻き取られる。このとき、初期剥離領域Ｓａは、一旦不要シートＵＳと切り離されているので、接着シートＡＳが不要シートＵＳと共に巻取軸５１方向へ共上がりすることはない。次いで、不要シートＵＳが巻き取られた原反ＲＳの接着シートＡＳが剥離板１８の先端から所定量剥離されて抜け出ると、図示しないセンサで当該接着シートＡＳの先端が検出されて停止し、スタンバイ状態となる。なお、スタンバイ状態のとき、ダイカットローラ３６は、図１に示されるように、スタート位置Ｓｔがプラテンローラ３７に対向した状態で、図示しない駆動機器である切込位置調整手段によって、ダイカットローラ３６及びプラテンローラ３７の位置を上下方向に変位できるように構成されている。これによれば各接着シートＡＳの間隔を任意に調整することができる上、接着シートＡＳの繰出方向における長さに応じ、それらの位置を上下方向に変更できる。その後、図示しない搬送手段を介してリングクレームＲＦとウエハＷＦとがテーブル１１上に載置され、吸着保持される。次いで、直動モータ１２を介してテーブル１１が剥離板１８の下方を右側から左側に搬送される。テーブル１１が所定の位置で図示しないセンサによって検知されると、テーブル１１の搬送に同期して第１及び第２駆動ローラ２７、３１が回転して原反ＲＳが繰り出され、剥離板１８の先端で接着シートＡＳが剥離される。そして、剥離された接着シートＡＳが押圧ローラ１９による押圧力を受け、リングクレームＲＦ及びウエハＷＦの各上面に貼付され、接着シートＡＳを介してウエハＷＦとリングクレームＲＦとが一体化される。
【００２９】
従って、このような実施形態によれば、剥離ローラ５０で剥離シートＲＬから不要シートＵＳを剥離する前段階で、接着シートＡＳと不要シートＵＳとを一旦切り離すことで、接着シートＡＳ外縁の曲率等、接着シートＡＳの形状やサイズに拘わらず、切り離しの確実性を高めて接着シートＡＳが不要シートＵＳと共に巻取軸５１方向へ共上がりすること防止することができる。
【００３０】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
従って、上記に開示した形状などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状などの限定の一部若しくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
【００３１】
例えば、前記巻取手段１６を省略し、剥離シートＲＬから不要シートＵＳを剥離せずに、剥離板１８で接着シートＡＳを剥離し、剥離シートＲＬと不要シートＵＳとを巻取軸３４で巻き取るようにしてもよい。このような場合にでも、剥離板１８で初期剥離領域Ｓａが剥離できず、接着シートＡＳが不要シートＵＳと共に第２駆動ローラ３１方向に巻き取れてしまうことを防止することができる。
【００３２】
また、切込ＣＵの形成にあっては、各回動モータＤＭ１〜ＤＭ４を連動させて原反ＲＳを繰り出し方向に往復動させ、１枚の接着シートＡＳ形成に対し、初期剥離領域Ｓａでの切断を複数回行ってもよい。
【００３３】
更に、前記シート貼付装置１０の剥離板１８及び押圧ローラ１９を省略することにより、シート製造装置を構成してもよい。同装置によれば、前記実施形態と同様に切断手段１５によって接着シートＡＳを形成した後、当該接着シートＡＳが剥離シートＲＬに仮着された原反ＲＳが巻取軸３４に巻き取られる。巻取軸３４に巻き取られた原反ＲＳは、別途搬送、保管したり、切断手段を有しないシート貼付装置等で利用したりすることができる。このように、巻取軸３４に巻き取られた原反ＲＳは、繰出手段１４の繰出方向後端部が別途利用されるシート貼付装置等の初期剥離領域Ｓａとなるので、少なくとも接着シートＡＳにおける繰出手段１４の繰出方向後端部が形成された時点で、隙間ＳＰを形成するように構成すればよい。
【００３４】
また、原反ＲＳにおける帯状シートＷＳが予め他の装置等によって、所定の間隔を隔てて所定形状の切込ＣＵが形成されることで当該切込ＣＵの内側に接着シートＡＳが形成されるとともに、当該切込ＣＵの外側に不要シートＵＳが形成されたものの場合、前記シート貼付装置１０の切断手段１５を省略することができる。このような場合にでも、上記実施形態と同様の効果を得ることができる。
【００３５】
また、切断刃４０の平面形状は、多角形状、楕円、長円、菱形、直線と曲線とを組み合わせた形状等、種々の変更が可能である。
【００３６】
更に、前記張力付与手段１７は、前記実施形態と同様に原反ＲＳの張力を増加できる限りにおいて、種々の設計変更が可能である。例えば、第１駆動ローラ２７及び第１ピンチローラ２８を駆動機器により上下動可能に設けたり、原反ＲＳの厚み方向に進退可能な出力軸により原反ＲＳを押圧可能に設け、直線状に繰り出される原反ＲＳを折り曲げるように変形することで原反ＲＳの張力を増加してもよい。また、回動モータＤＭ２を回転速度や回転トルクを調整可能なものにして、回動モータＤＭ２の回転速度や回転トルクを制御して原反ＲＳの張力を増加させたり、各回動モータＤＭ１、ＤＭ２の両方の回転速度や回転トルクを制御して原反ＲＳの張力を増加させたりしてもよい。
また、回動モータＤＭ１〜ＤＭ４を停止させずに、原反ＲＳを繰り出しつつ、回動モータＤＭ１の回転速度を遅めたり、回転を一時停止させたり、回動モータＤＭ２の回転を早めたりすることで原反ＲＳの張力を増加させてもよい。このような場合、張力付与手段１７は、第２駆動ローラ３１、第２ピンチローラ３２及び回動モータＤＭ２も含むことになる。
更に、図３に示されるように、切断手段１５の原反繰出方向下流側に、剥離シートＲＬを掛け回す掛回ローラ６０、６１、６２等の迂回手段を設け、張力付与手段１７として切断手段１５の原反繰出方向下流側に、駆動機器である回動モータＤＭ５で回転される駆動ローラ６３及びピンチローラ６４を配置する構成でもよい。この場合、剥離シートＲＬが伸展しない若しくは伸展し難いものの場合でも、隙間ＳＰを確実に形成できる。なお、駆動ローラ６３には、接着剤が接着しない不接着処理が施されている。
【００３７】
また、切断手段１５は、前記切込ＣＵを形成できる限りにおいて、レーザ光線等の他の切断手段を用いてもよい。
更に、切断刃４０は、エッチング加工により形成されるもの以外に、機械加工によって形成される彫刻刃や、ロータリダイの他、平らな板上に刃が形成された平刃や、トムソン刃等を使用してもよい。
【００３８】
更に、繰出手段１４や剥離板１８、押圧ローラ１９は、前記実施形態と同様の機能を発揮する限りにおいて、種々の設計変更が可能である。
また、間隔調整手段を所謂ベアラで構成してもよいし、間隔調整手段による切断刃４０とプラテンローラ３７との相対間隔は、原反ＲＳの厚みや性質、特に剥離シートＲＳの厚みや性質等を考慮して適宜変更することができる。
更に、原反ＲＳを構成する部材の厚みは、何ら限定されることはない。
また、シート貼付装置１０を移動させる駆動機器を設け、テーブル１１を停止させた状態で、シート貼付装置１０を図１中右方向に移動させたり、テーブル１１を左方向に移動させるとともに、シート貼付装置１０を右方向に移動させたりして接着シートＡＳを被着体に貼付するように構成してもよいし、
【００３９】
更に、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。
【００４０】
また、被着体は、ウエハＷＦやリングフレームＲＦに代えて、ガラス板、鋼板、または、樹脂板等、その他のものも対象とすることができ、半導体ウエハは、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハであってもよい。また、リングフレームＲＦに代えて、Ｃ字状やＵ字状等の別形状のフレームを用いてもよいし、リングフレームＲＦなしで単独の被着体を接着シートＡＳの貼付対象としてもよい。
【符号の説明】
【００４１】
１０ シート貼付装置
１４ 繰出手段
１５ 切断手段
１７ 張力付与手段
１８ 剥離板（剥離手段）
１９ 押圧ローラ（押圧手段）
ＡＤ 接着剤層
ＡＳ 接着シート
ＢＳ 基材シート
ＣＵ 切込
ＲＦ リングフレーム（被着体）
ＲＬ 剥離シート
ＲＳ 原反
Ｓａ 初期剥離領域（接着シートの繰出方向先端部）
ＳＰ 隙間
ＵＳ 不要シート
ＷＦ 半導体ウエハ（被着体）
ＷＳ 帯状シート
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シート貼付装置及び貼付方法、並びに、シート製造装置及び製造方法に係り、更に詳しくは、帯状シートに切込を形成して接着シートを形成することができるシート貼付装置及び貼付方法、並びに、シート製造装置及び製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」と称する場合がある）等の被着体に接着シートを貼付するシート貼付装置が広く利用されるに至っており、かかるシート貼付装置としては、例えば、特許文献１に開示されている。特許文献１のシート貼付装置は、帯状シートが剥離シートに仮着されてなる原反を繰り出す繰出手段と、この原反を繰り出す過程で円形状の切込を形成する切断刃と、切込の内側に形成された接着シートを剥離シートから剥離するピールプレートと、剥離された接着シートをウエハ及びリングフレームに押圧して貼付可能なプレスローラとを備えている。このようなシート貼付装置では、切込形成後であって、接着シートを剥離シートから剥離する前に、切込の外側に形成された不要シートを剥離シートから剥離して巻き取る巻取手段を有するものが知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００５−１１６９２８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、近時、ウエハにあっては大径化される傾向があり、これに応じて接着シートの径寸法も大きくなる。従って、図４に示されるように、接着シートＡＳは、その繰出方向先端部における当該接着シートＡＳの繰出方向に沿った一定の間隔（以下、「先端縦間隔Ｓｘ」という）に対し、先端縦間隔Ｓｘ進んだ位置での接着シートＡＳの繰出方向に直交する方向に沿った間隔（以下、「先端横間隔Ｓｙ」という）の割合（以下「先端縦横比Ｓｘｙ」という）が大きくなり、微視的に見ると恰も直線であるかのような状態となる。この先端縦横比Ｓｘｙが大きくなると、巻取手段で接着シートＡＳの繰出方向先端部の不要シートを接着シートＡＳから切り離すときに、その切り離しが一挙に広範囲で行われることになる。このような場合、切断手段で形成した切込が不十分で、例えば、接着シートＡＳと不要シートとが完全に分断されていなかったり、接着シートＡＳと不要シートとの接着剤同士が再接着してしまったりしていた場合、接着シートＡＳと不要シートとの切り離しに要する力が接着シートＡＳと剥離シートとの剥離に要する力を上回ってしまう場合があり、当該接着シートＡＳが不要シートと共に巻取手段で巻き取られて接着シートＡＳの貼付が行えなくなる、という不都合が発生する。かかる不都合は、接着シートが方形等に形成され、繰り出し方向前端が直線に形成されて原反の幅方向に長くなる場合にも、同様に発生する。
【０００５】
［発明の目的］
本発明の目的は、接着シートの形状に拘わらず、不要シートの剥離、ひいては、接着シートの貼付を良好に行うことができるシート貼付装置及び貼付方法、並びに、シート製造装置及び製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記目的を達成するため、本発明は、帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出手段と、前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断手段と、前記剥離シートに仮着された前記接着シートを当該接着シートの繰出方向先端部から剥離する剥離手段と、前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧手段とを含むシート貼付装置であって、
前記繰出手段は、前記原反に付与する張力を増減可能な張力付与手段を有し、前記原反に付与する張力を増加させることによって前記接着シートの繰出方向先端部における接着シート外縁と不要シートとの間に隙間を形成可能に設けられる、という構成を採っている。
【０００７】
本発明において、前記張力付与手段は、前記切断手段による切込の位置情報に基づき、原反に付与する張力を調整可能に設けられる、という構成を採ることが好ましい。
【０００８】
また、前記繰出手段は、前記切断手段と連動して１枚の接着シート形成に対し、前記初期剥離領域での切断を複数回行うとよい。
【０００９】
また、前記張力付与手段は、前記張力を段階的に増加可能に設けられる、という構成を採ることができる。
【００１０】
更に、本発明のシート貼付方法は、帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出工程と、
前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断工程と、
前記剥離シートに仮着された前記接着シートを当該接着シートの繰出方向先端部から剥離する剥離工程と、
前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧工程とを備え、
前記繰出工程において、前記原反に付与する張力を増加させることによって前記接着シートの繰出方向先端部における接着シート外縁と不要シートとの間に隙間を形成する、という方法を採っている。
【００１１】
また、本発明のシート製造装置は、帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出手段と、
前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断手段とを含むシート製造装置であって、
前記繰出手段は、前記原反に付与する張力を増減可能な張力付与手段を有し、前記原反に付与する張力を増加させることによって、前記接着シートの繰出方向先端部及び繰出方向後端部の少なくとも一方における接着シート外縁と不要シートとの間に隙間を形成可能に設けられる、という構成を採っている。
【００１２】
また、本発明のシート製造方法は、帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出工程と、
前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断工程とを備え、
前記繰出工程において、前記原反に付与する張力を増加させることによって、前記接着シートの繰出方向先端部及び繰出方向後端部の少なくとも一方における接着シート外縁と不要シートとの間に隙間を形成する、という方法を採っている。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、原反の張力を増加することにより、剥離シートから不要シートを剥離する前に、接着シートの繰出方向先端部における接着シート外縁と不要シートとの間に隙間を形成し、一旦それらが確実に切り離された状態とすることができる。このように、接着シート外縁と不要シートとを一旦切り離すことにより、先端縦横比Ｓｘｙが大きかったり、切断手段で形成された切込が不十分であったりしても、確実に接着シートが不要シートと共に巻き取られることを回避できる。また、それらを一旦切り離すことで隙間ができ易くなり、接着シートＡＳと不要シートとの接着剤同士が再接着し難くなり、従来のように接着シートの貼付が行えなくなるといった不都合を解消することが可能となる。
なお、前記シート製造装置及び製造方法によれば、不要シートと共に接着シートが巻き取られてしまい、部分的に接着シートが仮着されていない原反が生産されてしまうことを防止することができる上、接着シートの繰出方向先端部における接着シート外縁と不要シートとの間に隙間が形成された原反を準備しておき、当該原反をシート貼付装置や貼付方法に用いた場合、従来のように接着シートの貼付が行えなくなるといった不都合を解消することが可能となる。
【００１４】
また、切断手段による切込の位置情報に基づき、張力付与手段が原反に付与する張力を調整可能となるので、接着シートの繰出方向先端部に切込を形成してから不要シートを剥離する前のタイミングで、接着シートの繰出方向先端部における接着シート外縁と不要シートとの間に隙間を形成することができる。
【００１５】
更に、接着シートの繰出方向先端部での切断を複数回行うことで、切込の深さを安定して所定の深さとすることが可能となる。
【００１６】
また、張力付与手段による原反の張力を段階的に増加可能とした場合、隙間の大きさも段階的に調整することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】実施形態に係るシート貼付装置の概略正面図。
【図２】切込形成後の原反の概略斜視図。
【図３】変形例に係るシート貼付装置の部分正面図。
【図４】剥離動作の説明図。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
なお、本明細書において、特に明示しない限り、「左」、「右」、「上」、「下」は、図１を基準として用いる。
【００１９】
図１及び図２において、シート貼付装置１０は、被着体としてのウエハＷＦ及びリングフレームＲＦを吸着支持するテーブル１１と、このテーブル１１を左右方向に移動可能な駆動機器としての直動モータ１２と、帯状の剥離シートＲＬと、その一方の面に仮着された帯状シートＷＳとにより構成された原反ＲＳを繰り出し可能な繰出手段１４と、この繰出手段１４により繰り出された原反ＲＳの帯状シートＷＳに切込ＣＵを形成し、当該切込ＣＵの内側に接着シートＡＳを形成するとともに、当該切込ＣＵの外側に不要シートＵＳを形成する切断手段１５と、不要シートＵＳを巻き取り可能な巻取手段１６と、剥離シートＲＬを折り返して接着シートＡＳを剥離シートＲＬから剥離する剥離手段としての剥離板１８と、この剥離板１８で剥離された接着シートＡＳをリングフレームＲＦ及びウエハＷＦに押圧して貼付する押圧手段としての押圧ローラ１９とを備えて構成されている。帯状シートＷＳは、基材シートＢＳと、この基材シートＢＳの一方の面に積層された接着剤層ＡＤとを備え、当該接着剤層ＡＤを介して剥離シートＲＬに仮着されている。なお、ウエハＷＦの下面には保護シートＰＳが貼付されている。
【００２０】
前記繰出手段１４は、原反ＲＳを支持する支持軸２５と、この支持軸２５から繰り出されて切断手段１５を通過する前の原反ＲＳを挟み込む第１駆動ローラ２７及び第１ピンチローラ２８と、剥離板１８を経た後の剥離シートＲＬを挟み込む第２駆動ローラ３１及び第２ピンチローラ３２と、これらを通過した後の剥離シートＲＬを図示しない駆動機器によって所定のトルクで巻き取る巻取軸３４とを備えている。各駆動ローラ２７、３１は、駆動機器としての回動モータＤＭ１、ＤＭ２を介して回転可能に設けられている。なお、第１駆動ローラ２７、回動モータＤＭ１、第２駆動ローラ３１及び回動モータＤＭ２により張力付与手段１７が構成される。回動モータＤＭ１及び回動モータＤＭ２は、その出力軸の回転方向を正逆回転可能であり、その回転速度や回転トルクを調整可能に設けられ、この調整により、各駆動ローラ２７、３１間の原反ＲＳに張力を付与でき、且つ、当該張力を増減するよう調整可能に設けられている。
【００２１】
前記切断手段１５は、繰り出される原反ＲＳの帯状シートＷＳ側で回転可能に設けられたダイカットローラ３６と、原反ＲＳの剥離シートＲＬ側に配置され、図示しない機構によりダイカットローラ３６と連動して回転可能に設けられたプラテンローラ３７と、ダイカットローラ３６を回転させる駆動機器としての回動モータＤＭ３と、ダイカットローラ３６とプラテンローラ３７との相対間隔を調整する間隔調整手段であって図示しない直動モータ等の駆動機器とを備えている。
【００２２】
前記ダイカットローラ３６は、外周面から突設する閉ループ状の切断刃４０を備え、帯状シートＷＳにリングフレームＲＦの内径寸法よりも大きく、外形寸法よりも小さい略円形の切込ＣＵを形成可能に設けられている。切断刃４０によって形成された接着シートＡＳは、帯状シートＷＳの繰出方向（原反ＲＳが支持軸２５から巻取軸３４に向かう方向）先端領域が剥離板１８によって剥離シートＲＬから最初に剥離される接着シートの繰出方向先端部としての初期剥離領域Ｓａ（図２参照）となる。なお、ダイカットローラ３６の回転位置を検出可能な図示しない位置センサが設けられ、当該センサの検出結果に基づきダイカットローラ３６で形成した切込ＣＵの位置情報を出力可能となっている。この位置センサは、ダイカットローラ３６の外部から切断刃４０の位置をカメラ等の撮像手段や、光学センサで検出するようにしてもよいし、回動モータＤＭ３のパルスから切断刃４０の位置を割り出すように構成してもよい。
【００２３】
ここで、切断手段１５には図示しないエネルギー付与手段が設けられ、このエネルギー付与手段により原反ＲＳにエネルギーを付与しながら切込ＣＵを形成可能となっている。エネルギー付与手段としては、例えば、ダイカットローラ３６及びプラテンローラ３７の少なくとも一方に内蔵されるコイルヒータの他、これらローラ３６、３７から離れた位置から切込ＣＵの形成位置に温風を送風する送風機器や紫外線、赤外線、マイクロ波等のエネルギー線等を照射する照射装置等が例示できる。
【００２４】
前記巻取手段１６は、切断手段１５により切込ＣＵを形成した後の不要シートＵＳに掛け回されて当該不要シートＵＳを剥離シートＲＬから剥離する剥離ローラ５０と、剥離ローラ５０を経た後の不要シートＵＳを巻き取る巻取軸５１とを備えて構成されている。巻取軸５１は、駆動機器としての回動モータＤＭ４を介して回転可能に設けられ、所定のトルクで不要シートＵＳを巻き取り可能となっている。
【００２５】
次に、本実施形態における接着シートＡＳの貼付方法について説明する。
【００２６】
まず、支持軸２５に支持された原反ＲＳを第１駆動ローラ２７と第１ピンチローラ２８との間、及び、ダイカットローラ３６とプラテンローラ３７との間を通過させる。そして、剥離シートＲＬから帯状シートＷＳを剥離し、当該帯状シートＷＳを剥離ローラ５０に掛け回した後、そのリード端を巻取軸５１に固定する。また、剥離シートＲＬは、剥離板１８の先端で折り返して第２駆動ローラ３１と第２ピンチローラ３２との間を通過させ、そのリード端を巻取軸３４に固定する。本実施形態では、図１に示されるように、ダイカットローラ３６の回転方向における切断刃４０が形成されていない領域の中央をダイカットローラ３６のスタート位置Ｓｔとし、当該スタート位置Ｓｔがプラテンローラ３７に再接近した状態で、ダイカットローラ３６の回転を停止させておく。
【００２７】
そして、回動モータＤＭ１〜ＤＭ４を連動させて原反ＲＳを繰り出すと、切断刃４０により基材シートＢＳ側から剥離シートＲＬ側に向かって切込ＣＵが形成され、帯状シートＷＳは、切込ＣＵの内側の接着シートＡＳと、切込ＣＵの外側の不要シートＵＳとに区分される。ここで、図２に示されるように、図示しない位置センサにより、初期剥離領域Ｓａが形成されたことが確認されると、回動モータＤＭ１の回転をロックした状態で、回動モータＤＭ２によって第２駆動ローラ３１を帯状シートＷＳの繰出方向に回転させたり、回動モータＤＭ２の回転をロックした状態で、回動モータＤＭ１によって第１駆動ローラ２７を帯状シートＷＳの繰出方向の反対方向に回転させたり、第１、第２駆動ローラ２７、３１を帯状シートＷＳの繰出方向に回転するとともに、第１駆動ローラ２７の回転速度よりも第２駆動ローラ３１の回転速度を速くさせたり、第２駆動ローラ３１の回転速度よりも第１駆動ローラ２７の回転速度を遅くさせたりして原反ＲＳに付与する張力を増加させる。これにより、剥離シートＲＬと不要シートＵＳとが延出方向に伸展し、初期剥離領域Ｓａの接着シートＡＳ外縁と不要シートＵＳとの間に隙間ＳＰが形成され、一旦それらが確実に切り離された状態となる。この隙間ＳＰの形成により、接着シートＡＳと不要シートＵＳとが剥離シートＲＬに仮着された状態で、当該接着シートＡＳと不要シートＵＳとが初期剥離領域Ｓａで切り離された状態となる。なお、隙間ＳＰの大きさを調整すべく、回動モータＤＭ１、ＤＭ２による原反ＲＳの張力の増加を段階的に行ってもよい。
【００２８】
隙間ＳＰの形成後、回動モータＤＭ１〜ＤＭ４を連動させて原反ＲＳを繰り出すと、剥離ローラ５０で剥離シートＲＬから不要シートＵＳが剥離され、不要シートＵＳが巻取軸５１により不要シートＵＳが巻き取られる。このとき、初期剥離領域Ｓａは、一旦不要シートＵＳと切り離されているので、接着シートＡＳが不要シートＵＳと共に巻取軸５１方向へ共上がりすることはない。次いで、不要シートＵＳが巻き取られた原反ＲＳの接着シートＡＳが剥離板１８の先端から所定量剥離されて抜け出ると、図示しないセンサで当該接着シートＡＳの先端が検出されて停止し、スタンバイ状態となる。なお、スタンバイ状態のとき、ダイカットローラ３６は、図１に示されるように、スタート位置Ｓｔがプラテンローラ３７に対向した状態で、図示しない駆動機器である切込位置調整手段によって、ダイカットローラ３６及びプラテンローラ３７の位置を上下方向に変位できるように構成されている。これによれば各接着シートＡＳの間隔を任意に調整することができる上、接着シートＡＳの繰出方向における長さに応じ、それらの位置を上下方向に変更できる。その後、図示しない搬送手段を介してリングクレームＲＦとウエハＷＦとがテーブル１１上に載置され、吸着保持される。次いで、直動モータ１２を介してテーブル１１が剥離板１８の下方を右側から左側に搬送される。テーブル１１が所定の位置で図示しないセンサによって検知されると、テーブル１１の搬送に同期して第１及び第２駆動ローラ２７、３１が回転して原反ＲＳが繰り出され、剥離板１８の先端で接着シートＡＳが剥離される。そして、剥離された接着シートＡＳが押圧ローラ１９による押圧力を受け、リングクレームＲＦ及びウエハＷＦの各上面に貼付され、接着シートＡＳを介してウエハＷＦとリングクレームＲＦとが一体化される。
【００２９】
従って、このような実施形態によれば、剥離ローラ５０で剥離シートＲＬから不要シートＵＳを剥離する前段階で、接着シートＡＳと不要シートＵＳとを一旦切り離すことで、接着シートＡＳ外縁の曲率等、接着シートＡＳの形状やサイズに拘わらず、切り離しの確実性を高めて接着シートＡＳが不要シートＵＳと共に巻取軸５１方向へ共上がりすること防止することができる。
【００３０】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
従って、上記に開示した形状などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状などの限定の一部若しくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
【００３１】
例えば、前記巻取手段１６を省略し、剥離シートＲＬから不要シートＵＳを剥離せずに、剥離板１８で接着シートＡＳを剥離し、剥離シートＲＬと不要シートＵＳとを巻取軸３４で巻き取るようにしてもよい。このような場合にでも、剥離板１８で初期剥離領域Ｓａが剥離できず、接着シートＡＳが不要シートＵＳと共に第２駆動ローラ３１方向に巻き取れてしまうことを防止することができる。
【００３２】
また、切込ＣＵの形成にあっては、各回動モータＤＭ１〜ＤＭ４を連動させて原反ＲＳを繰り出し方向に往復動させ、１枚の接着シートＡＳ形成に対し、初期剥離領域Ｓａでの切断を複数回行ってもよい。
【００３３】
更に、前記シート貼付装置１０の剥離板１８及び押圧ローラ１９を省略することにより、シート製造装置を構成してもよい。同装置によれば、前記実施形態と同様に切断手段１５によって接着シートＡＳを形成した後、当該接着シートＡＳが剥離シートＲＬに仮着された原反ＲＳが巻取軸３４に巻き取られる。巻取軸３４に巻き取られた原反ＲＳは、別途搬送、保管したり、切断手段を有しないシート貼付装置等で利用したりすることができる。このように、巻取軸３４に巻き取られた原反ＲＳは、繰出手段１４の繰出方向後端部が別途利用されるシート貼付装置等の初期剥離領域Ｓａとなるので、少なくとも接着シートＡＳにおける繰出手段１４の繰出方向後端部が形成された時点で、隙間ＳＰを形成するように構成すればよい。
【００３４】
また、原反ＲＳにおける帯状シートＷＳが予め他の装置等によって、所定の間隔を隔てて所定形状の切込ＣＵが形成されることで当該切込ＣＵの内側に接着シートＡＳが形成されるとともに、当該切込ＣＵの外側に不要シートＵＳが形成されたものの場合、前記シート貼付装置１０の切断手段１５を省略することができる。このような場合にでも、上記実施形態と同様の効果を得ることができる。
【００３５】
また、切断刃４０の平面形状は、多角形状、楕円、長円、菱形、直線と曲線とを組み合わせた形状等、種々の変更が可能である。
【００３６】
更に、前記張力付与手段１７は、前記実施形態と同様に原反ＲＳの張力を増加できる限りにおいて、種々の設計変更が可能である。例えば、第１駆動ローラ２７及び第１ピンチローラ２８を駆動機器により上下動可能に設けたり、原反ＲＳの厚み方向に進退可能な出力軸により原反ＲＳを押圧可能に設け、直線状に繰り出される原反ＲＳを折り曲げるように変形することで原反ＲＳの張力を増加してもよい。また、回動モータＤＭ２を回転速度や回転トルクを調整可能なものにして、回動モータＤＭ２の回転速度や回転トルクを制御して原反ＲＳの張力を増加させたり、各回動モータＤＭ１、ＤＭ２の両方の回転速度や回転トルクを制御して原反ＲＳの張力を増加させたりしてもよい。
また、回動モータＤＭ１〜ＤＭ４を停止させずに、原反ＲＳを繰り出しつつ、回動モータＤＭ１の回転速度を遅めたり、回転を一時停止させたり、回動モータＤＭ２の回転を早めたりすることで原反ＲＳの張力を増加させてもよい。このような場合、張力付与手段１７は、第２駆動ローラ３１、第２ピンチローラ３２及び回動モータＤＭ２も含むことになる。
更に、図３に示されるように、切断手段１５の原反繰出方向下流側に、剥離シートＲＬを掛け回す掛回ローラ６０、６１、６２等の迂回手段を設け、張力付与手段１７として切断手段１５の原反繰出方向下流側に、駆動機器である回動モータＤＭ５で回転される駆動ローラ６３及びピンチローラ６４を配置する構成でもよい。この場合、剥離シートＲＬが伸展しない若しくは伸展し難いものの場合でも、隙間ＳＰを確実に形成できる。なお、駆動ローラ６３には、接着剤が接着しない不接着処理が施されている。
【００３７】
また、切断手段１５は、前記切込ＣＵを形成できる限りにおいて、レーザ光線等の他の切断手段を用いてもよい。
更に、切断刃４０は、エッチング加工により形成されるもの以外に、機械加工によって形成される彫刻刃や、ロータリダイの他、平らな板上に刃が形成された平刃や、トムソン刃等を使用してもよい。
【００３８】
更に、繰出手段１４や剥離板１８、押圧ローラ１９は、前記実施形態と同様の機能を発揮する限りにおいて、種々の設計変更が可能である。
また、間隔調整手段を所謂ベアラで構成してもよいし、間隔調整手段による切断刃４０とプラテンローラ３７との相対間隔は、原反ＲＳの厚みや性質、特に剥離シートＲＳの厚みや性質等を考慮して適宜変更することができる。
更に、原反ＲＳを構成する部材の厚みは、何ら限定されることはない。
また、シート貼付装置１０を移動させる駆動機器を設け、テーブル１１を停止させた状態で、シート貼付装置１０を図１中右方向に移動させたり、テーブル１１を左方向に移動させるとともに、シート貼付装置１０を右方向に移動させたりして接着シートＡＳを被着体に貼付するように構成してもよいし、
【００３９】
更に、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。
【００４０】
また、被着体は、ウエハＷＦやリングフレームＲＦに代えて、ガラス板、鋼板、または、樹脂板等、その他のものも対象とすることができ、半導体ウエハは、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハであってもよい。また、リングフレームＲＦに代えて、Ｃ字状やＵ字状等の別形状のフレームを用いてもよいし、リングフレームＲＦなしで単独の被着体を接着シートＡＳの貼付対象としてもよい。
【符号の説明】
【００４１】
１０ シート貼付装置
１４ 繰出手段
１５ 切断手段
１７ 張力付与手段
１８ 剥離板（剥離手段）
１９ 押圧ローラ（押圧手段）
ＡＤ 接着剤層
ＡＳ 接着シート
ＢＳ 基材シート
ＣＵ 切込
ＲＦ リングフレーム（被着体）
ＲＬ 剥離シート
ＲＳ 原反
Ｓａ 初期剥離領域（接着シートの繰出方向先端部）
ＳＰ 隙間
ＵＳ 不要シート
ＷＦ 半導体ウエハ（被着体）
ＷＳ 帯状シート
【特許請求の範囲】
【請求項１】
帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出手段と、前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断手段と、前記剥離シートに仮着された前記接着シートを当該接着シートの繰出方向先端部から剥離する剥離手段と、前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧手段とを含むシート貼付装置であって、
前記繰出手段は、前記原反に付与する張力を増減可能な張力付与手段を有し、前記原反に付与する張力を増加させることによって前記接着シートの繰出方向先端部における接着シート外縁と不要シートとの間に隙間を形成可能に設けられていることを特徴とするシート貼付装置。
【請求項２】
前記張力付与手段は、前記切断手段による切込の位置情報に基づき、原反に付与する張力を調整可能に設けられていることを特徴とする請求項１記載のシート貼付装置。
【請求項３】
前記繰出手段は、前記切断手段と連動して１枚の接着シート形成に対し、前記初期剥離領域での切断を複数回行うことを特徴とする請求項１又は２記載のシート貼付装置。
【請求項４】
前記張力付与手段は、前記張力を段階的に増加可能に設けられていることを特徴とする請求項２記載のシート貼付装置。
【請求項５】
帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出工程と、
前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断工程と、
前記剥離シートに仮着された前記接着シートを当該接着シートの繰出方向先端部から剥離する剥離工程と、
前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧工程とを備え、
前記繰出工程において、前記原反に付与する張力を増加させることによって前記接着シートの繰出方向先端部における接着シート外縁と不要シートとの間に隙間を形成することを特徴とするシート貼付方法。
【請求項６】
帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出手段と、
前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断手段とを含むシート製造装置であって、
前記繰出手段は、前記原反に付与する張力を増減可能な張力付与手段を有し、前記原反に付与する張力を増加させることによって、前記接着シートの繰出方向先端部及び繰出方向後端部の少なくとも一方における接着シート外縁と不要シートとの間に隙間を形成可能に設けられていることを特徴とするシート製造装置。
【請求項７】
帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出工程と、
前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断工程とを備え、
前記繰出工程において、前記原反に付与する張力を増加させることによって、前記接着シートの繰出方向先端部及び繰出方向後端部の少なくとも一方における接着シート外縁と不要シートとの間に隙間を形成することを特徴とするシート製造方法。
【請求項１】
帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出手段と、前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断手段と、前記剥離シートに仮着された前記接着シートを当該接着シートの繰出方向先端部から剥離する剥離手段と、前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧手段とを含むシート貼付装置であって、
前記繰出手段は、前記原反に付与する張力を増減可能な張力付与手段を有し、前記原反に付与する張力を増加させることによって前記接着シートの繰出方向先端部における接着シート外縁と不要シートとの間に隙間を形成可能に設けられていることを特徴とするシート貼付装置。
【請求項２】
前記張力付与手段は、前記切断手段による切込の位置情報に基づき、原反に付与する張力を調整可能に設けられていることを特徴とする請求項１記載のシート貼付装置。
【請求項３】
前記繰出手段は、前記切断手段と連動して１枚の接着シート形成に対し、前記初期剥離領域での切断を複数回行うことを特徴とする請求項１又は２記載のシート貼付装置。
【請求項４】
前記張力付与手段は、前記張力を段階的に増加可能に設けられていることを特徴とする請求項２記載のシート貼付装置。
【請求項５】
帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出工程と、
前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断工程と、
前記剥離シートに仮着された前記接着シートを当該接着シートの繰出方向先端部から剥離する剥離工程と、
前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧工程とを備え、
前記繰出工程において、前記原反に付与する張力を増加させることによって前記接着シートの繰出方向先端部における接着シート外縁と不要シートとの間に隙間を形成することを特徴とするシート貼付方法。
【請求項６】
帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出手段と、
前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断手段とを含むシート製造装置であって、
前記繰出手段は、前記原反に付与する張力を増減可能な張力付与手段を有し、前記原反に付与する張力を増加させることによって、前記接着シートの繰出方向先端部及び繰出方向後端部の少なくとも一方における接着シート外縁と不要シートとの間に隙間を形成可能に設けられていることを特徴とするシート製造装置。
【請求項７】
帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出工程と、
前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断工程とを備え、
前記繰出工程において、前記原反に付与する張力を増加させることによって、前記接着シートの繰出方向先端部及び繰出方向後端部の少なくとも一方における接着シート外縁と不要シートとの間に隙間を形成することを特徴とするシート製造方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図２】
【図３】
【図４】
【公開番号】特開２０１３−７４１０１（Ｐ２０１３−７４１０１Ａ）
【公開日】平成２５年４月２２日（２０１３．４．２２）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−２１１９５２（Ｐ２０１１−２１１９５２）
【出願日】平成２３年９月２８日（２０１１．９．２８）
【出願人】（０００１０２９８０）リンテック株式会社 (1,750)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２５年４月２２日（２０１３．４．２２）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年９月２８日（２０１１．９．２８）
【出願人】（０００１０２９８０）リンテック株式会社 (1,750)
【Ｆターム（参考）】
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