シート貼付装置及び貼付方法、並びに、シート製造装置及び製造方法
【課題】剥離シートが薄厚化した場合でも、接着シートの形成、剥離及び貼付を良好に行えるようにすること。
【解決手段】帯状シートＷＳが帯状の剥離シートＲＬに仮着された原反ＲＳを繰り出す繰出手段１４と、帯状シートＷＳに切込ＣＵを形成して当該切込ＣＵの内側に接着シートＡＳを形成する切断手段１５と、接着シートＡＳを初期剥離領域Ｓａから次期剥離領域Ｓｂに向かって剥離する剥離板１８とを備えてシート貼付装置１０が構成されている。切断手段１５は、ダイカットローラ３６と、プラテンローラ３７と、これらローラ３６、３７の間隔を調整可能な調整手段３８とを備え、切込ＣＵ形成中に前記間隔を調整手段３８が調整することで、初期剥離領域（繰出方向先端部）Ｓａに対応する初期切込ＣＵ１の深さが次期剥離領域（内側領域）Ｓｂに対応する次期切込ＣＵ２の深さに比べて深い切込を形成する。
【解決手段】帯状シートＷＳが帯状の剥離シートＲＬに仮着された原反ＲＳを繰り出す繰出手段１４と、帯状シートＷＳに切込ＣＵを形成して当該切込ＣＵの内側に接着シートＡＳを形成する切断手段１５と、接着シートＡＳを初期剥離領域Ｓａから次期剥離領域Ｓｂに向かって剥離する剥離板１８とを備えてシート貼付装置１０が構成されている。切断手段１５は、ダイカットローラ３６と、プラテンローラ３７と、これらローラ３６、３７の間隔を調整可能な調整手段３８とを備え、切込ＣＵ形成中に前記間隔を調整手段３８が調整することで、初期剥離領域（繰出方向先端部）Ｓａに対応する初期切込ＣＵ１の深さが次期剥離領域（内側領域）Ｓｂに対応する次期切込ＣＵ２の深さに比べて深い切込を形成する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シート貼付装置及び貼付方法、並びに、シート製造装置及び製造方法に係り、更に詳しくは、帯状シートに切込を形成して接着シートを形成することができるシート貼付装置及び貼付方法、並びに、シート製造装置及び製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」と称する場合がある）等の被着体に接着シートを貼付するシート貼付装置が広く利用されるに至っており、かかるシート貼付装置としては、例えば、特許文献１に開示されている。特許文献１のシート貼付装置は、帯状シートが剥離シートに仮着されてなる原反を繰り出す繰出手段と、この原反を繰り出す過程で閉ループ状の切込を形成する切断刃と、切込の内側に形成された接着シートを剥離シートから剥離するピールプレートと、剥離された接着シートをウエハ及びリングフレームに押圧して貼付可能なプレスローラとを備えている。このようなシート貼付装置で切込を形成する場合、図４（Ａ）に示されるように、切断刃ＨＣの刃先が２０μｍ前後剥離シートＲＬに入り込むように、当該切断刃ＨＣとプラテンローラＰＲとの相対間隔が調整される。なお、このような剥離シートＲＬは、通常５０μｍ前後の厚みを有するものが採用される。同図中ＷＳは帯状シート、ＢＳは基材シート、ＡＤは接着剤層、ＲＳは原反を示す。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００５−１１６９２８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、剥離シートＲＬにあっては、材料コストを低減するために、２５μｍ前後の薄手のものが採用される機会が多くなっている。このような薄手の剥離シートＲＬが採用された原反を特許文献１の装置で使用すると、図４（Ｂ）に示されるように、切断刃ＨＣの刃先が剥離シートＲＬに入り込まなくなり、ピールプレートで切込ＣＵの内側に形成された接着シートと、その外側に形成された不要シートとを確実に切り離すことができず、当該接着シートが不要シートと共に巻き取られてしまうことで、接着シートの貼付が行えなくなる、という不都合が発生する。
【０００５】
ここで、図４（Ｂ）において、切断刃ＨＣの刃先が剥離シートＲＬに入り込むように当該切断刃ＨＣとプラテンローラＰＲとの相対間隔を再調整することで、接着シートを確実に不要シートから切り離すようにできる。ところが、この場合、切込ＣＵが形成された位置における剥離シートＲＬの厚みが薄くなり過ぎてしまうので、少しの外力を受けただけで接着シートとそれに対応する剥離シート部分とが原反ＲＳから抜け落ちてしまったり、ピールプレートで接着シートを剥離するときに、当該接着シートと共に対応する剥離シート部分も抜けてしまい、剥離シート部分が付随した状態の接着シートが被着体に貼付されてしまったりするといった接着シートの貼付不良を発生してしまう、という不都合を招来する。
【０００６】
［発明の目的］
本発明の目的は、剥離シートが薄厚化した場合でも、接着シートの形成、剥離及び貼付を良好に行うことができるシート貼付装置及び貼付方法、並びに、シート製造装置及び製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記目的を達成するため、本発明は、帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出手段と、前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断手段と、前記剥離シートに仮着された前記接着シートを当該接着シートの繰出方向先端部から当該接着シートの内側領域に向かって剥離する剥離手段と、前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧手段とを含むシート貼付装置であって、
前記切断手段は、前記原反の帯状シート側に配置されて前記切込を形成可能な切断刃を有するカッター部と、前記原反を間に挟んで前記カッター部と対向配置されて当該カッター部の押圧力を受け止める受圧部と、これらカッター部と受圧部との間隔を調整可能な調整手段とを備え、
前記調整手段は、前記切込の形成中に前記間隔を調整することで、前記接着シートの繰出方向先端部に対応する切込の深さが、前記接着シートの内側領域に対応する切込の深さに比べて深い切込を形成可能に設けられる、という構成を採っている。
【０００８】
本発明において、前記カッター部を変位させて前記接着シートの繰出方向先端部に対応する切込を形成するカッター刃領域を変更可能な変位手段を有する、という構成を採ることが好ましい。
【０００９】
更に、前記繰出手段は、前記切断手段と連動して１枚の接着シート形成に対し、前記接着シートの繰出方向先端部での切断を複数回行うとよい。
【００１０】
また、前記調整手段は、１枚の接着シート形成に対し、前記カッター部と受圧部との離間接近動作を少なくとも１回ずつ行って前記接着シートの繰出方向先端部に対応する切込を形成可能に設けられる、という構成を採ることができる。
【００１１】
更に、本発明のシート貼付方法は、帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出工程と、
所定形状の切込を形成可能な切断刃を有するカッター部と、前記原反を間に挟んで前記カッター刃の押圧力を受け止める受圧部とにより、前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断工程と、
前記剥離シートに仮着された前記接着シートを当該接着シートの繰出方向先端部から当該接着シートの内側領域に向かって剥離する剥離工程と、
前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧工程とを備え、
前記切断工程において、前記カッター部と受圧部との間隔を調整することで、前記接着シートの繰出方向先端部に対応する切込の深さが、前記接着シートの内側領域に対応する切込の深さに比べて深い切込を形成する、という方法を採っている。
【００１２】
また、本発明のシート製造装置は、帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出手段と、
前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断手段とを含むシート製造装置であって、
前記切断手段は、前記原反の帯状シート側に配置されて前記切込を形成可能な切断刃を有するカッター部と、前記原反を間に挟んで前記カッター部と対向配置されて当該カッター部の押圧力を受け止める受圧部と、これらカッター部と受圧部との間隔を調整可能な調整手段とを備え、
前記調整手段は、前記切込の形成中に前記間隔を調整することで、前記接着シートの繰出方向先端部及び繰出方向後端部の少なくとも一方に対応する切込の深さが前記接着シートの内側領域に対応する切込の深さに比べて深い切込を形成可能に設けられる、という構成を採っている。
【００１３】
また、本発明のシート製造方法は、帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出工程と、
所定形状の切込を形成可能な切断刃を有するカッター部と、前記原反を間に挟んで前記カッター刃の押圧力を受け止める受圧部とにより、前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断工程とを備え、
前記切断工程において、前記カッター部と受圧部との間隔を調整することで、前記接着シートの繰出方向先端部及び繰出方向後端部の少なくとも一方に対応する切込の深さが前記接着シートの内側領域に対応する切込の深さに比べて深い切込を形成する、という方法を採っている。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、カッター部と受圧部との間隔を調整することにより、接着シートの繰出方向先端部に対応する切込の深さが接着シートの内側領域に対応する切込の深さより深く形成できるので、接着シートの繰出方向先端部を確実に不要シートから切り離すことができる。これにより、従来のように接着シートが不要シートと共に巻き取られてしまうことで、接着シートの貼付が行えなくなるといった不都合を解消することができる。このとき、接着シートの内側領域に対応する切込の深さは、接着シートの繰出方向先端部に対応する切込に比べて浅く形成されているが、接着シートの繰出方向先端部さえ不要シートと切り離しできれば、接着シートの剥離の進行に伴って当該接着シートは、接着シートの内側領域に対応する切込に沿って不要シートから切り離される。
また、接着シートの内側領域に対応する剥離シートの切込の深さが、接着シートの繰出方向先端部に対応する剥離シートの切込の深さより浅くなっているので、接着シートとそれに対応する剥離シート部分が原反から抜け落ちてしまったり、剥離シート部分が付随した状態の接着シートが被着体に貼付されてしまったりするといった接着シートの貼付不良を抑制することができる。このとき、特許文献１の装置のように、接着シートの繰出方向先端部に対応する剥離シート部分が、ピールプレートで接着シートと一緒に抜けてしまうことがあるが、接着シートの内側領域に対応する剥離シートの切込の深さが浅いので、接着シートと一緒に抜けてしまった剥離シート部分がそれ以上大きくなることはなく、当該剥離シート部分は剥離シートの正規の回収方向に引っ張って回収されるようになる。
なお、前記シート製造装置及び製造方法によれば、前述と同様に切込が形成された原反を準備でき、当該原反をシート貼付装置や貼付方法に用いた場合、前述したように接着シートの剥離及び貼付を難なく行えるようになる。
【００１５】
更に、接着シートの繰出方向先端部に対応する切込を形成するカッター刃領域を変更可能な変位手段を有する構成とした場合、当該カッター刃の一部領域が摩耗等によって劣化しても、他の領域で接着シートの繰出方向先端部に対応する切込を形成することができる。
【００１６】
また、初期剥離領域での切断を複数回行うことで、接着シートの繰出方向先端部をより確実に不要シートから切り離すことができる。
【００１７】
更に、調整手段がカッター部と受圧部との離間接近動作を少なくとも１回ずつ行って接着シートの繰出方向先端部に対応する切込を形成する構成とすれば、接着シートの繰出方向先端部を効果的に不要シートから切り離すことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】実施形態に係るシート貼付装置の概略正面図。
【図２】切込形成後の原反の概略斜視図。
【図３】（Ａ）、（Ｂ）は、切断手段の切断要領を示す説明図。
【図４】（Ａ）及び（Ｂ）は、従来例に係る切断要領を示す説明図。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
なお、本明細書において、特に明示しない限り、「左」、「右」、「上」、「下」は、図１を基準として用いる。
【００２０】
図１〜図３において、シート貼付装置１０は、被着体としてのウエハＷＦ及びリングフレームＲＦを吸着支持するテーブル１１と、このテーブル１１を左右方向に移動可能な駆動機器としての直動モータ１２と、帯状の剥離シートＲＬと、その一方の面に仮着された帯状シートＷＳとにより構成された原反ＲＳを繰り出し可能な繰出手段１４と、この繰出手段１４により繰り出された原反ＲＳの帯状シートＷＳに切込ＣＵを形成し、当該切込ＣＵの内側に接着シートＡＳを形成するとともに、当該切込ＣＵの外側に不要シートＵＳを形成する切断手段１５と、不要シートＵＳを巻き取り可能な巻取手段１６と、剥離シートＲＬを折り返して接着シートＡＳを剥離シートＲＬから剥離する剥離手段としての剥離板１８と、この剥離板１８で剥離された接着シートＡＳをリングフレームＲＦ及びウエハＷＦに押圧して貼付する押圧手段としての押圧ローラ１９とを備えて構成されている。帯状シートＷＳは、基材シートＢＳと、この基材シートＢＳの一方の面に積層された接着剤層ＡＤとを備え、当該接着剤層ＡＤを介して剥離シートＲＬに仮着されている。なお、ウエハＷＦの下面には保護シートＰＳが貼付されている。
【００２１】
前記繰出手段１４は、原反ＲＳを支持する支持軸２５と、この支持軸２５から繰り出されて切断手段１５を通過する前の原反ＲＳを挟み込む第１駆動ローラ２７及び第１ピンチローラ２８と、剥離板１８を経た後の剥離シートＲＬを挟み込む第２駆動ローラ３１及び第２ピンチローラ３２と、これらを通過した後の剥離シートＲＬを図示しない駆動機器によって所定のトルクで巻き取る巻取軸３４とを備えている。各駆動ローラ２７、３１は、駆動機器としての回動モータＤＭ１、ＤＭ２を介して回転可能に設けられている。
【００２２】
前記切断手段１５は、繰り出される原反ＲＳの帯状シートＷＳ側に配置され、駆動機器としての回動モータＤＭ３によって回転可能に設けられたカッター部としてのダイカットローラ３６と、原反ＲＳを間に挟んでダイカットローラ３６と対向配置され、ダイカットローラ３６の押圧力を受け止める受圧部としてのプラテンローラ３７と、ダイカットローラ３６を左右方向に移動させて当該ダイカットローラ３６とプラテンローラ３７との相対間隔を調整可能な調整手段３８とを備えている。なお、プラテンローラ３７は、図示しない機構によりダイカットローラ３６と連動して回転可能に設けられている。
【００２３】
前記ダイカットローラ３６は、回動モータＤＭ３と共にブラケット３９を介して調整手段３８に支持されている。ダイカットローラ３６は、外周面から突設する閉ループ状の切断刃４０を備え、帯状シートＷＳにリングフレームＲＦの内径寸法よりも大きく、外形寸法よりも小さい略円形の切込ＣＵを形成可能に設けられている。また、切断刃４０は、例えば、ダイカットローラ３６の回転方向に２７０°の範囲に亘って設けられ、その高さは、４５０μｍに設定されている。
【００２４】
ここで、切断刃４０によって形成された接着シートＡＳは、帯状シートＷＳの繰出方向（原反ＲＳが支持軸２５から巻取軸３４に向かう方向）先端領域が切断刃４０の先端４０ａにより形成される。この先端４０ａにより形成された接着シートＡＳ部分が、剥離板１８によって剥離シートＲＬから最初に剥離される接着シートの繰出方向先端部としての初期剥離領域Ｓａとなり、この初期剥離領域Ｓａに対応する切込ＣＵ部分が初期切込ＣＵ１とされる。また、初期剥離領域Ｓａの剥離の次に剥離される領域、つまり、接着シートＡＳにおいて初期剥離領域Ｓａ以外の全領域が、接着シートの内側領域としての次期剥離領域Ｓｂとなり、この次期剥離領域Ｓｂに対応する切込ＣＵ部分が次期切込ＣＵ２とされ、接着シートの繰出方向後端部は、切断刃４０の後端４０ｂにより形成される。なお、次期剥離領域Ｓｂは、初期剥離領域Ｓａ以外の全領域に限られず、初期剥離領域Ｓａに隣接して当該初期剥離領域Ｓａの剥離の次に剥離される接着シートＡＳの一部領域としてもよい。
【００２５】
前記調整手段３８は、ブラケット３９に連結された出力軸３８Ａを備え、当該出力軸３８Ａを左右方向に移動可能な駆動機器としての直動モータとしての機能と、図３（Ａ）中矢印Ｒ１方向又は矢印Ｒ１の反対方向に出力軸３８Ａを回転可能な駆動機器としての回動モータとしての機能とを有している。なお、出力軸３８Ａを図３（Ａ）中矢印Ｒ１方向又は矢印Ｒ１の反対方向に回転可能な機能により変位手段が構成され、ダイカットローラ３６を同図中矢印Ｒ１方向又は矢印Ｒ１の反対方向に１８０°回転駆動することで、ダイカットローラ３６の同図中紙面直交方向の向きを反対にすることができる。これにより、初期切込ＣＵ１を形成する領域を切断刃４０の後端４０ｂに変更可能となり、切断刃４０の先端４０ａ及び後端４０ｂの何れでも初期剥離領域Ｓａに対応する初期切込ＣＵ１を形成可能となり、先端４０ａ及び後端４０ｂの劣化状態等に応じ、それらの何れかを選択的に利用することが可能となる。なお、変位手段は、調整手段３８から独立した駆動機器としての回動モータを採用してもよい。
【００２６】
ここで、切断手段１５には図示しないエネルギー付与手段が設けられ、このエネルギー付与手段により原反ＲＳにエネルギーを付与しながら切込ＣＵを形成可能となっている。エネルギー付与手段としては、例えば、ダイカットローラ３６及びプラテンローラ３７の少なくとも一方に内蔵されるコイルヒータの他、これらローラ３６、３７から離れた位置から切込ＣＵの形成位置に温風を送風する送風機器や紫外線、赤外線、マイクロ波等のエネルギー線等を照射する照射装置等が例示できる。
【００２７】
前記巻取手段１６は、切断手段１５により切込ＣＵを形成した後の不要シートＵＳに掛け回されて当該不要シートＵＳを剥離シートＲＬから剥離する剥離ローラ５０と、剥離ローラ５０を経た後の不要シートＵＳを巻き取る巻取軸５１とを備えて構成されている。巻取軸５１は、駆動機器としての回動モータＤＭ４を介して回転可能に設けられ、所定のトルクで不要シートＵＳを巻き取り可能となっている。
【００２８】
次に、本実施形態における接着シートＡＳの貼付方法について説明する。
【００２９】
まず、支持軸２５に支持された原反ＲＳを第１駆動ローラ２７と第１ピンチローラ２８との間、及び、ダイカットローラ３６とプラテンローラ３７との間を通過させる。そして、剥離シートＲＬから帯状シートＷＳを剥離し、当該帯状シートＷＳを剥離ローラ５０に掛け回した後、そのリード端を巻取軸５１に固定する。また、剥離シートＲＬは、剥離板１８の先端で折り返して第２駆動ローラ３１と第２ピンチローラ３２との間を通過させ、そのリード端を巻取軸３４に固定する。なお、本実施形態では、帯状シートＷＳの厚みは１００μｍ、剥離シートＲＬの厚みは２５μｍのものが採用されている。また、調整手段３８によって、ダイカットローラ３６とプラテンローラ３７との相対間隔を調整する。本実施形態では、切断刃４０の先端４０ａが初期切込ＣＵ１を形成する際、当該先端４０ａとプラテンローラ３７との間隔ＣＬ１が５μｍになるように設定され、切断刃４０の先端４０ａ以外が切込ＣＵを形成する際、切断刃４０とプラテンローラ３７との間隔ＣＬ２が２０μｍになるように設定されている。本実施形態では、図１に示されるように、ダイカットローラ３６の回転方向における切断刃４０が形成されていない領域の中央をダイカットローラ３６のスタート位置Ｓｔとし、当該スタート位置Ｓｔがプラテンローラ３７に再接近した状態で、ダイカットローラ３６の回転を停止させておく。
【００３０】
そして、回動モータＤＭ１〜ＤＭ４を連動させて原反ＲＳを繰り出すと、切断刃４０により基材シートＢＳ側から剥離シートＲＬ側に向かって切込ＣＵが形成され、帯状シートＷＳは、切込ＣＵの内側の接着シートＡＳと、切込ＣＵの外側の不要シートＵＳとに区分される。この接着シートＡＳの形成過程では、先ず、ダイカットローラ３６が図３（Ａ）中矢印方向に回転し、スタート位置Ｓｔから４５°回転した時点で初期切込ＣＵ１の形成が開始される。そして、この時点から設定角度α１として例えば５°回転した時点までが間隔ＣＬ１とされて初期切込ＣＵ１が形成される。なお、設定角度α１は、０°〜４５°の範囲で変更してもよい。その後、調整手段３８を作動させて間隔ＣＬ２（図３（Ｂ）参照）が２０μｍになるように調整し、切断刃４０により次期切込ＣＵ２が形成されて次期剥離領域Ｓｂが形成される。よって、初期切込ＣＵ１に対応する剥離シートＲＬには、深さが２０μｍの切込ＣＵが形成されることとなり、初期切込ＣＵ１が確実に剥離シートＲＬに入り込み、これにより、初期剥離領域Ｓａが不要シートＵＳと切り離され易くなる。また、次期切込ＣＵ２に対応する剥離シートＲＬには、深さが５μｍの切込ＣＵが形成されることとなり、これにより、次期剥離領域Ｓｂに対応する剥離シートＲＬ部分は、初期剥離領域Ｓａに対応する剥離シートＲＬ部分に比べて切断され難くなる。切込ＣＵを形成した後、次の切込ＣＵを形成する前に、調整手段３８を作動させ、先端４０ａとプラテンローラ３７との間隔ＣＬ１が５μｍになるように再度調整させる。
【００３１】
切込ＣＵの形成後、繰り出された原反ＲＳは、剥離ローラ５０で剥離シートＲＬから不要シートＵＳが剥離され、不要シートＵＳが巻取軸５１に巻き取られる。このとき、剥離領域Ｓａが不要シートＵＳと切り離され易くなっているので、接着シートＡＳが不要シートＵＳと共に巻取軸５１方向へ共上がりすることはない。次いで、不要シートＵＳが巻き取られた原反ＲＳの接着シートＡＳが剥離板１８の先端から所定量剥離されて抜け出ると、図示しないセンサで当該接着シートＡＳの先端が検出されて停止し、スタンバイ状態となる。このとき、初期切込ＣＵ１が確実に剥離シートＲＬに入り込んでいるので、初期剥離領域Ｓａは確実に剥離シートＲＬから剥離され、剥離シートＲＬと共に第２駆動ローラ３１方向に巻き取られるようなことはない。なお、初期剥離領域Ｓａに対応する剥離シートＲＬ部分も接着シートＡＳと共に剥離板１８から抜け出る場合がある。しかし、次期剥離領域Ｓｂに対応する剥離シートＲＬ部分が切断され難くなっているので、原反ＲＳの繰出に伴って接着シートＡＳと共に抜け出た剥離シート部分がそれ以上大きくなることはなく、この接着シートＡＳと共に抜け出た剥離シート部分に剥離板１８の先端から第２駆動ローラ３１方向に引っ張る力が働き、初期剥離領域Ｓａに対応する剥離シートＲＬ部分を確実に接着シートＡＳから剥離することができる。なお、スタンバイ状態のとき、ダイカットローラ３６は、図１に示されるように、スタート位置Ｓｔがプラテンローラ３７に対向した状態で、図示しない駆動機器である切込位置調整手段によって、ダイカットローラ３６及びプラテンローラ３７の位置を上下方向に変位できるように構成されている。これによれば各接着シートＡＳの間隔を任意に調整することができる上、接着シートＡＳの繰出方向における長さに応じ、それらの位置を上下方向に変更できる。その後、図示しない搬送手段を介してリングクレームＲＦとウエハＷＦとがテーブル１１上に載置され、吸着保持される。次いで、直動モータ１２を介してテーブル１１が剥離板１８の下方を右側から左側に搬送される。テーブル１１が所定の位置で図示しないセンサによって検知されると、テーブル１１の搬送に同期して第１及び第２駆動ローラ２７、３１が回転して原反ＲＳが繰り出され、剥離板１８の先端で接着シートＡＳが剥離される。そして、剥離された接着シートＡＳが押圧ローラ１９による押圧力を受け、リングクレームＲＦ及びウエハＷＦの各上面に貼付され、接着シートＡＳを介してウエハＷＦとリングクレームＲＦとが一体化される。このとき、初期剥離領域Ｓａに対応する剥離シートＲＬ部分が確実に接着シートＡＳから剥離されているので、剥離シートＲＬ部分が付随した状態の接着シートＡＳが被着体に貼付されるようなことはない。
【００３２】
従って、このような実施形態によれば、１の切込ＣＵの形成中に切断刃４０とプラテンローラ３７との間隔を変更することにより、切断刃４０による切断で初期剥離領域Ｓａが次期剥離領域Ｓｂより切込深さを深くできるので、接着シートＡＳが不要シートＵＳと共に剥離され、当該接着シートＡＳが貼付不能となることを防止することが可能となる。しかも、次期剥離領域Ｓｂに対応する剥離シートＲＬ部分への切断刃４０の切込深さが浅いので、切断手段１５を経た後の原反ＲＳから、接着シートＡＳが抜け落ち、当該接着シートＡＳの貼付が行えなくなることを防止できる。このように、前記実施形態によれば、剥離シートＲＬが薄厚化しても、これに対応して接着シートＡＳの形成、剥離及び貼付を良好に行うことができ、当該薄厚化によるコストダウンの要求に応じることが可能となる。
【００３３】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
従って、上記に開示した形状などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状などの限定の一部若しくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
【００３４】
例えば、前記巻取手段１６を省略し、剥離シートＲＬから不要シートＵＳを剥離せずに、剥離板１８で接着シートＡＳを剥離し、剥離シートＲＬと不要シートＵＳとを巻取軸３４で巻き取るようにしてもよい。このような場合にでも、剥離板１８で初期剥離領域Ｓａが剥離できず、接着シートＡＳが不要シートＵＳと共に第２駆動ローラ３１方向に巻き取れてしまうことを防止することができる。
【００３５】
また、切込Ｃの形成にあっては、各回動モータＤＭ１〜ＤＭ４を連動させて原反ＲＳを繰り出し方向に往復動させ、１枚の接着シートＡＳ形成に対し、初期剥離領域Ｓａでの切断を複数回行ってもよい。
更に、上記実施形体において、スタート位置Ｓｔから４５°回転した時点で調整手段３８を作動させ、切込ＣＵから切断刃４０を一旦引き抜き、再度切込ＣＵに切断刃４０を差し込み１枚の接着シートＡＳの形成に対し、切断刃４０とプラテンローラ３７との離間動作と接近動作とを少なくとも１回ずつ行って初期剥離領域Ｓａに対応する切込ＳＵを形成するようにしてもよい。このとき原反ＲＳの繰り出しを停止させてもよい。
【００３６】
また、前記シート貼付装置１０の剥離板１８及び押圧ローラ１９を省略することにより、シート製造装置を構成してもよい。同装置によれば、前記実施形態と同様に切断手段１５によって接着シートＡＳを形成した後、当該接着シートＡＳが剥離シートＲＬに仮着された原反ＲＳが巻取軸３４に巻き取られる。巻取軸３４に巻き取られた原反ＲＳは、別途搬送、保管したり、切断手段を有しないシート貼付装置等で利用したりすることができる。このように、巻取軸３４に巻き取られた原反ＲＳをその状態のまま切断手段を有しないシート貼付装置等で利用する場合、繰出手段１４の繰出方向後端部が当該シート貼付装置等の初期剥離領域Ｓａとなるので、少なくとも接着シートＡＳにおける繰出手段１４の繰出方向後端部の切込ＣＵが他の領域に比べて深くなるように、調整手段３８の設定を変更すればよい。
【００３７】
更に、切断刃４０の平面形状は、帯状シートＷＳに切込ＣＵを形成して当該切込ＣＵの内側を接着シートＡＳとして形成し得る限りにおいて、多角形状、楕円、長円、菱形、直線と曲線とを組み合わせた形状等、種々の変更が可能であり、刃の高さも任意に変更できる。
【００３８】
また、切断刃４０は、エッチング加工の他、機械加工によって形成される彫刻刃や、ロータリダイの他、平らな板上に刃が形成された平刃や、トムソン刃等を使用してもよい。
【００３９】
更に、調整手段３８による切断刃４０とプラテンローラ３７との間隔は、原反ＲＳの厚みや性質、特に剥離シートＲＳの厚みや性質等を考慮して適宜変更することができる。
【００４０】
更に、繰出手段１４や剥離板１８、押圧ローラ１９は、種々の設計変更が可能である。
また、原反ＲＳを構成する部材の厚みは、上記実施形態で例示したものに何ら限定されることはない。
更に、シート貼付装置１０を移動させる駆動機器を設け、テーブル１１を停止させた状態で、シート貼付装置１０を図１中右方向に移動させたり、テーブル１１を左方向に移動させるとともに、シート貼付装置１０を右方向に移動させたりして接着シートＡＳを被着体に貼付するように構成してもよいし、
また、上記実施形態と同様の調整手段３８をプラテンローラ３７側にも設け、ダイカットローラ３６を停止させた状態で、プラテンローラ３７をダイカットローラ３６に対して離間接近させたり、ダイカットローラ３６及びプラテンローラ３７を相互に離間接近させたりして切断刃４０とプラテンローラ３７との間隔を調整するようにしてもよい。
【００４１】
更に、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。
【００４２】
また、被着体は、ウエハＷＦやリングフレームＲＦに代えて、ガラス板、鋼板、または、樹脂板等、その他のものも対象とすることができ、半導体ウエハは、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハであってもよい。また、リングフレームＲＦに代えて、Ｃ字状やＵ字状等の別形状のフレームを用いてもよいし、リングフレームＲＦなしで単独の被着体を接着シートＡＳの貼付対象としてもよい。
【符号の説明】
【００４３】
１０ シート貼付装置
１４ 繰出手段
１５ 切断手段
１８ 剥離板（剥離手段）
１９ 押圧ローラ（押圧手段）
３６ カッター部（ダイカットローラ）
３７ 受圧部（プラテンローラ）
３８ 調整手段
４０ 切断刃
ＡＤ 接着剤層
ＡＳ 接着シート
ＢＳ 基材シート
ＣＵ 切込
ＣＵ１ 初期切込
ＣＵ２ 次期切込
ＲＦ リングフレーム（被着体）
ＲＬ 剥離シート
ＲＳ 原反
Ｓａ 初期剥離領域（接着シートの繰出方向先端部）
Ｓｂ 次期剥離領域（接着シートの内側領域）
ＵＳ 不要シート
ＷＦ 半導体ウエハ（被着体）
ＷＳ 帯状シート
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シート貼付装置及び貼付方法、並びに、シート製造装置及び製造方法に係り、更に詳しくは、帯状シートに切込を形成して接着シートを形成することができるシート貼付装置及び貼付方法、並びに、シート製造装置及び製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」と称する場合がある）等の被着体に接着シートを貼付するシート貼付装置が広く利用されるに至っており、かかるシート貼付装置としては、例えば、特許文献１に開示されている。特許文献１のシート貼付装置は、帯状シートが剥離シートに仮着されてなる原反を繰り出す繰出手段と、この原反を繰り出す過程で閉ループ状の切込を形成する切断刃と、切込の内側に形成された接着シートを剥離シートから剥離するピールプレートと、剥離された接着シートをウエハ及びリングフレームに押圧して貼付可能なプレスローラとを備えている。このようなシート貼付装置で切込を形成する場合、図４（Ａ）に示されるように、切断刃ＨＣの刃先が２０μｍ前後剥離シートＲＬに入り込むように、当該切断刃ＨＣとプラテンローラＰＲとの相対間隔が調整される。なお、このような剥離シートＲＬは、通常５０μｍ前後の厚みを有するものが採用される。同図中ＷＳは帯状シート、ＢＳは基材シート、ＡＤは接着剤層、ＲＳは原反を示す。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００５−１１６９２８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、剥離シートＲＬにあっては、材料コストを低減するために、２５μｍ前後の薄手のものが採用される機会が多くなっている。このような薄手の剥離シートＲＬが採用された原反を特許文献１の装置で使用すると、図４（Ｂ）に示されるように、切断刃ＨＣの刃先が剥離シートＲＬに入り込まなくなり、ピールプレートで切込ＣＵの内側に形成された接着シートと、その外側に形成された不要シートとを確実に切り離すことができず、当該接着シートが不要シートと共に巻き取られてしまうことで、接着シートの貼付が行えなくなる、という不都合が発生する。
【０００５】
ここで、図４（Ｂ）において、切断刃ＨＣの刃先が剥離シートＲＬに入り込むように当該切断刃ＨＣとプラテンローラＰＲとの相対間隔を再調整することで、接着シートを確実に不要シートから切り離すようにできる。ところが、この場合、切込ＣＵが形成された位置における剥離シートＲＬの厚みが薄くなり過ぎてしまうので、少しの外力を受けただけで接着シートとそれに対応する剥離シート部分とが原反ＲＳから抜け落ちてしまったり、ピールプレートで接着シートを剥離するときに、当該接着シートと共に対応する剥離シート部分も抜けてしまい、剥離シート部分が付随した状態の接着シートが被着体に貼付されてしまったりするといった接着シートの貼付不良を発生してしまう、という不都合を招来する。
【０００６】
［発明の目的］
本発明の目的は、剥離シートが薄厚化した場合でも、接着シートの形成、剥離及び貼付を良好に行うことができるシート貼付装置及び貼付方法、並びに、シート製造装置及び製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記目的を達成するため、本発明は、帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出手段と、前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断手段と、前記剥離シートに仮着された前記接着シートを当該接着シートの繰出方向先端部から当該接着シートの内側領域に向かって剥離する剥離手段と、前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧手段とを含むシート貼付装置であって、
前記切断手段は、前記原反の帯状シート側に配置されて前記切込を形成可能な切断刃を有するカッター部と、前記原反を間に挟んで前記カッター部と対向配置されて当該カッター部の押圧力を受け止める受圧部と、これらカッター部と受圧部との間隔を調整可能な調整手段とを備え、
前記調整手段は、前記切込の形成中に前記間隔を調整することで、前記接着シートの繰出方向先端部に対応する切込の深さが、前記接着シートの内側領域に対応する切込の深さに比べて深い切込を形成可能に設けられる、という構成を採っている。
【０００８】
本発明において、前記カッター部を変位させて前記接着シートの繰出方向先端部に対応する切込を形成するカッター刃領域を変更可能な変位手段を有する、という構成を採ることが好ましい。
【０００９】
更に、前記繰出手段は、前記切断手段と連動して１枚の接着シート形成に対し、前記接着シートの繰出方向先端部での切断を複数回行うとよい。
【００１０】
また、前記調整手段は、１枚の接着シート形成に対し、前記カッター部と受圧部との離間接近動作を少なくとも１回ずつ行って前記接着シートの繰出方向先端部に対応する切込を形成可能に設けられる、という構成を採ることができる。
【００１１】
更に、本発明のシート貼付方法は、帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出工程と、
所定形状の切込を形成可能な切断刃を有するカッター部と、前記原反を間に挟んで前記カッター刃の押圧力を受け止める受圧部とにより、前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断工程と、
前記剥離シートに仮着された前記接着シートを当該接着シートの繰出方向先端部から当該接着シートの内側領域に向かって剥離する剥離工程と、
前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧工程とを備え、
前記切断工程において、前記カッター部と受圧部との間隔を調整することで、前記接着シートの繰出方向先端部に対応する切込の深さが、前記接着シートの内側領域に対応する切込の深さに比べて深い切込を形成する、という方法を採っている。
【００１２】
また、本発明のシート製造装置は、帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出手段と、
前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断手段とを含むシート製造装置であって、
前記切断手段は、前記原反の帯状シート側に配置されて前記切込を形成可能な切断刃を有するカッター部と、前記原反を間に挟んで前記カッター部と対向配置されて当該カッター部の押圧力を受け止める受圧部と、これらカッター部と受圧部との間隔を調整可能な調整手段とを備え、
前記調整手段は、前記切込の形成中に前記間隔を調整することで、前記接着シートの繰出方向先端部及び繰出方向後端部の少なくとも一方に対応する切込の深さが前記接着シートの内側領域に対応する切込の深さに比べて深い切込を形成可能に設けられる、という構成を採っている。
【００１３】
また、本発明のシート製造方法は、帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出工程と、
所定形状の切込を形成可能な切断刃を有するカッター部と、前記原反を間に挟んで前記カッター刃の押圧力を受け止める受圧部とにより、前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断工程とを備え、
前記切断工程において、前記カッター部と受圧部との間隔を調整することで、前記接着シートの繰出方向先端部及び繰出方向後端部の少なくとも一方に対応する切込の深さが前記接着シートの内側領域に対応する切込の深さに比べて深い切込を形成する、という方法を採っている。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、カッター部と受圧部との間隔を調整することにより、接着シートの繰出方向先端部に対応する切込の深さが接着シートの内側領域に対応する切込の深さより深く形成できるので、接着シートの繰出方向先端部を確実に不要シートから切り離すことができる。これにより、従来のように接着シートが不要シートと共に巻き取られてしまうことで、接着シートの貼付が行えなくなるといった不都合を解消することができる。このとき、接着シートの内側領域に対応する切込の深さは、接着シートの繰出方向先端部に対応する切込に比べて浅く形成されているが、接着シートの繰出方向先端部さえ不要シートと切り離しできれば、接着シートの剥離の進行に伴って当該接着シートは、接着シートの内側領域に対応する切込に沿って不要シートから切り離される。
また、接着シートの内側領域に対応する剥離シートの切込の深さが、接着シートの繰出方向先端部に対応する剥離シートの切込の深さより浅くなっているので、接着シートとそれに対応する剥離シート部分が原反から抜け落ちてしまったり、剥離シート部分が付随した状態の接着シートが被着体に貼付されてしまったりするといった接着シートの貼付不良を抑制することができる。このとき、特許文献１の装置のように、接着シートの繰出方向先端部に対応する剥離シート部分が、ピールプレートで接着シートと一緒に抜けてしまうことがあるが、接着シートの内側領域に対応する剥離シートの切込の深さが浅いので、接着シートと一緒に抜けてしまった剥離シート部分がそれ以上大きくなることはなく、当該剥離シート部分は剥離シートの正規の回収方向に引っ張って回収されるようになる。
なお、前記シート製造装置及び製造方法によれば、前述と同様に切込が形成された原反を準備でき、当該原反をシート貼付装置や貼付方法に用いた場合、前述したように接着シートの剥離及び貼付を難なく行えるようになる。
【００１５】
更に、接着シートの繰出方向先端部に対応する切込を形成するカッター刃領域を変更可能な変位手段を有する構成とした場合、当該カッター刃の一部領域が摩耗等によって劣化しても、他の領域で接着シートの繰出方向先端部に対応する切込を形成することができる。
【００１６】
また、初期剥離領域での切断を複数回行うことで、接着シートの繰出方向先端部をより確実に不要シートから切り離すことができる。
【００１７】
更に、調整手段がカッター部と受圧部との離間接近動作を少なくとも１回ずつ行って接着シートの繰出方向先端部に対応する切込を形成する構成とすれば、接着シートの繰出方向先端部を効果的に不要シートから切り離すことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】実施形態に係るシート貼付装置の概略正面図。
【図２】切込形成後の原反の概略斜視図。
【図３】（Ａ）、（Ｂ）は、切断手段の切断要領を示す説明図。
【図４】（Ａ）及び（Ｂ）は、従来例に係る切断要領を示す説明図。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
なお、本明細書において、特に明示しない限り、「左」、「右」、「上」、「下」は、図１を基準として用いる。
【００２０】
図１〜図３において、シート貼付装置１０は、被着体としてのウエハＷＦ及びリングフレームＲＦを吸着支持するテーブル１１と、このテーブル１１を左右方向に移動可能な駆動機器としての直動モータ１２と、帯状の剥離シートＲＬと、その一方の面に仮着された帯状シートＷＳとにより構成された原反ＲＳを繰り出し可能な繰出手段１４と、この繰出手段１４により繰り出された原反ＲＳの帯状シートＷＳに切込ＣＵを形成し、当該切込ＣＵの内側に接着シートＡＳを形成するとともに、当該切込ＣＵの外側に不要シートＵＳを形成する切断手段１５と、不要シートＵＳを巻き取り可能な巻取手段１６と、剥離シートＲＬを折り返して接着シートＡＳを剥離シートＲＬから剥離する剥離手段としての剥離板１８と、この剥離板１８で剥離された接着シートＡＳをリングフレームＲＦ及びウエハＷＦに押圧して貼付する押圧手段としての押圧ローラ１９とを備えて構成されている。帯状シートＷＳは、基材シートＢＳと、この基材シートＢＳの一方の面に積層された接着剤層ＡＤとを備え、当該接着剤層ＡＤを介して剥離シートＲＬに仮着されている。なお、ウエハＷＦの下面には保護シートＰＳが貼付されている。
【００２１】
前記繰出手段１４は、原反ＲＳを支持する支持軸２５と、この支持軸２５から繰り出されて切断手段１５を通過する前の原反ＲＳを挟み込む第１駆動ローラ２７及び第１ピンチローラ２８と、剥離板１８を経た後の剥離シートＲＬを挟み込む第２駆動ローラ３１及び第２ピンチローラ３２と、これらを通過した後の剥離シートＲＬを図示しない駆動機器によって所定のトルクで巻き取る巻取軸３４とを備えている。各駆動ローラ２７、３１は、駆動機器としての回動モータＤＭ１、ＤＭ２を介して回転可能に設けられている。
【００２２】
前記切断手段１５は、繰り出される原反ＲＳの帯状シートＷＳ側に配置され、駆動機器としての回動モータＤＭ３によって回転可能に設けられたカッター部としてのダイカットローラ３６と、原反ＲＳを間に挟んでダイカットローラ３６と対向配置され、ダイカットローラ３６の押圧力を受け止める受圧部としてのプラテンローラ３７と、ダイカットローラ３６を左右方向に移動させて当該ダイカットローラ３６とプラテンローラ３７との相対間隔を調整可能な調整手段３８とを備えている。なお、プラテンローラ３７は、図示しない機構によりダイカットローラ３６と連動して回転可能に設けられている。
【００２３】
前記ダイカットローラ３６は、回動モータＤＭ３と共にブラケット３９を介して調整手段３８に支持されている。ダイカットローラ３６は、外周面から突設する閉ループ状の切断刃４０を備え、帯状シートＷＳにリングフレームＲＦの内径寸法よりも大きく、外形寸法よりも小さい略円形の切込ＣＵを形成可能に設けられている。また、切断刃４０は、例えば、ダイカットローラ３６の回転方向に２７０°の範囲に亘って設けられ、その高さは、４５０μｍに設定されている。
【００２４】
ここで、切断刃４０によって形成された接着シートＡＳは、帯状シートＷＳの繰出方向（原反ＲＳが支持軸２５から巻取軸３４に向かう方向）先端領域が切断刃４０の先端４０ａにより形成される。この先端４０ａにより形成された接着シートＡＳ部分が、剥離板１８によって剥離シートＲＬから最初に剥離される接着シートの繰出方向先端部としての初期剥離領域Ｓａとなり、この初期剥離領域Ｓａに対応する切込ＣＵ部分が初期切込ＣＵ１とされる。また、初期剥離領域Ｓａの剥離の次に剥離される領域、つまり、接着シートＡＳにおいて初期剥離領域Ｓａ以外の全領域が、接着シートの内側領域としての次期剥離領域Ｓｂとなり、この次期剥離領域Ｓｂに対応する切込ＣＵ部分が次期切込ＣＵ２とされ、接着シートの繰出方向後端部は、切断刃４０の後端４０ｂにより形成される。なお、次期剥離領域Ｓｂは、初期剥離領域Ｓａ以外の全領域に限られず、初期剥離領域Ｓａに隣接して当該初期剥離領域Ｓａの剥離の次に剥離される接着シートＡＳの一部領域としてもよい。
【００２５】
前記調整手段３８は、ブラケット３９に連結された出力軸３８Ａを備え、当該出力軸３８Ａを左右方向に移動可能な駆動機器としての直動モータとしての機能と、図３（Ａ）中矢印Ｒ１方向又は矢印Ｒ１の反対方向に出力軸３８Ａを回転可能な駆動機器としての回動モータとしての機能とを有している。なお、出力軸３８Ａを図３（Ａ）中矢印Ｒ１方向又は矢印Ｒ１の反対方向に回転可能な機能により変位手段が構成され、ダイカットローラ３６を同図中矢印Ｒ１方向又は矢印Ｒ１の反対方向に１８０°回転駆動することで、ダイカットローラ３６の同図中紙面直交方向の向きを反対にすることができる。これにより、初期切込ＣＵ１を形成する領域を切断刃４０の後端４０ｂに変更可能となり、切断刃４０の先端４０ａ及び後端４０ｂの何れでも初期剥離領域Ｓａに対応する初期切込ＣＵ１を形成可能となり、先端４０ａ及び後端４０ｂの劣化状態等に応じ、それらの何れかを選択的に利用することが可能となる。なお、変位手段は、調整手段３８から独立した駆動機器としての回動モータを採用してもよい。
【００２６】
ここで、切断手段１５には図示しないエネルギー付与手段が設けられ、このエネルギー付与手段により原反ＲＳにエネルギーを付与しながら切込ＣＵを形成可能となっている。エネルギー付与手段としては、例えば、ダイカットローラ３６及びプラテンローラ３７の少なくとも一方に内蔵されるコイルヒータの他、これらローラ３６、３７から離れた位置から切込ＣＵの形成位置に温風を送風する送風機器や紫外線、赤外線、マイクロ波等のエネルギー線等を照射する照射装置等が例示できる。
【００２７】
前記巻取手段１６は、切断手段１５により切込ＣＵを形成した後の不要シートＵＳに掛け回されて当該不要シートＵＳを剥離シートＲＬから剥離する剥離ローラ５０と、剥離ローラ５０を経た後の不要シートＵＳを巻き取る巻取軸５１とを備えて構成されている。巻取軸５１は、駆動機器としての回動モータＤＭ４を介して回転可能に設けられ、所定のトルクで不要シートＵＳを巻き取り可能となっている。
【００２８】
次に、本実施形態における接着シートＡＳの貼付方法について説明する。
【００２９】
まず、支持軸２５に支持された原反ＲＳを第１駆動ローラ２７と第１ピンチローラ２８との間、及び、ダイカットローラ３６とプラテンローラ３７との間を通過させる。そして、剥離シートＲＬから帯状シートＷＳを剥離し、当該帯状シートＷＳを剥離ローラ５０に掛け回した後、そのリード端を巻取軸５１に固定する。また、剥離シートＲＬは、剥離板１８の先端で折り返して第２駆動ローラ３１と第２ピンチローラ３２との間を通過させ、そのリード端を巻取軸３４に固定する。なお、本実施形態では、帯状シートＷＳの厚みは１００μｍ、剥離シートＲＬの厚みは２５μｍのものが採用されている。また、調整手段３８によって、ダイカットローラ３６とプラテンローラ３７との相対間隔を調整する。本実施形態では、切断刃４０の先端４０ａが初期切込ＣＵ１を形成する際、当該先端４０ａとプラテンローラ３７との間隔ＣＬ１が５μｍになるように設定され、切断刃４０の先端４０ａ以外が切込ＣＵを形成する際、切断刃４０とプラテンローラ３７との間隔ＣＬ２が２０μｍになるように設定されている。本実施形態では、図１に示されるように、ダイカットローラ３６の回転方向における切断刃４０が形成されていない領域の中央をダイカットローラ３６のスタート位置Ｓｔとし、当該スタート位置Ｓｔがプラテンローラ３７に再接近した状態で、ダイカットローラ３６の回転を停止させておく。
【００３０】
そして、回動モータＤＭ１〜ＤＭ４を連動させて原反ＲＳを繰り出すと、切断刃４０により基材シートＢＳ側から剥離シートＲＬ側に向かって切込ＣＵが形成され、帯状シートＷＳは、切込ＣＵの内側の接着シートＡＳと、切込ＣＵの外側の不要シートＵＳとに区分される。この接着シートＡＳの形成過程では、先ず、ダイカットローラ３６が図３（Ａ）中矢印方向に回転し、スタート位置Ｓｔから４５°回転した時点で初期切込ＣＵ１の形成が開始される。そして、この時点から設定角度α１として例えば５°回転した時点までが間隔ＣＬ１とされて初期切込ＣＵ１が形成される。なお、設定角度α１は、０°〜４５°の範囲で変更してもよい。その後、調整手段３８を作動させて間隔ＣＬ２（図３（Ｂ）参照）が２０μｍになるように調整し、切断刃４０により次期切込ＣＵ２が形成されて次期剥離領域Ｓｂが形成される。よって、初期切込ＣＵ１に対応する剥離シートＲＬには、深さが２０μｍの切込ＣＵが形成されることとなり、初期切込ＣＵ１が確実に剥離シートＲＬに入り込み、これにより、初期剥離領域Ｓａが不要シートＵＳと切り離され易くなる。また、次期切込ＣＵ２に対応する剥離シートＲＬには、深さが５μｍの切込ＣＵが形成されることとなり、これにより、次期剥離領域Ｓｂに対応する剥離シートＲＬ部分は、初期剥離領域Ｓａに対応する剥離シートＲＬ部分に比べて切断され難くなる。切込ＣＵを形成した後、次の切込ＣＵを形成する前に、調整手段３８を作動させ、先端４０ａとプラテンローラ３７との間隔ＣＬ１が５μｍになるように再度調整させる。
【００３１】
切込ＣＵの形成後、繰り出された原反ＲＳは、剥離ローラ５０で剥離シートＲＬから不要シートＵＳが剥離され、不要シートＵＳが巻取軸５１に巻き取られる。このとき、剥離領域Ｓａが不要シートＵＳと切り離され易くなっているので、接着シートＡＳが不要シートＵＳと共に巻取軸５１方向へ共上がりすることはない。次いで、不要シートＵＳが巻き取られた原反ＲＳの接着シートＡＳが剥離板１８の先端から所定量剥離されて抜け出ると、図示しないセンサで当該接着シートＡＳの先端が検出されて停止し、スタンバイ状態となる。このとき、初期切込ＣＵ１が確実に剥離シートＲＬに入り込んでいるので、初期剥離領域Ｓａは確実に剥離シートＲＬから剥離され、剥離シートＲＬと共に第２駆動ローラ３１方向に巻き取られるようなことはない。なお、初期剥離領域Ｓａに対応する剥離シートＲＬ部分も接着シートＡＳと共に剥離板１８から抜け出る場合がある。しかし、次期剥離領域Ｓｂに対応する剥離シートＲＬ部分が切断され難くなっているので、原反ＲＳの繰出に伴って接着シートＡＳと共に抜け出た剥離シート部分がそれ以上大きくなることはなく、この接着シートＡＳと共に抜け出た剥離シート部分に剥離板１８の先端から第２駆動ローラ３１方向に引っ張る力が働き、初期剥離領域Ｓａに対応する剥離シートＲＬ部分を確実に接着シートＡＳから剥離することができる。なお、スタンバイ状態のとき、ダイカットローラ３６は、図１に示されるように、スタート位置Ｓｔがプラテンローラ３７に対向した状態で、図示しない駆動機器である切込位置調整手段によって、ダイカットローラ３６及びプラテンローラ３７の位置を上下方向に変位できるように構成されている。これによれば各接着シートＡＳの間隔を任意に調整することができる上、接着シートＡＳの繰出方向における長さに応じ、それらの位置を上下方向に変更できる。その後、図示しない搬送手段を介してリングクレームＲＦとウエハＷＦとがテーブル１１上に載置され、吸着保持される。次いで、直動モータ１２を介してテーブル１１が剥離板１８の下方を右側から左側に搬送される。テーブル１１が所定の位置で図示しないセンサによって検知されると、テーブル１１の搬送に同期して第１及び第２駆動ローラ２７、３１が回転して原反ＲＳが繰り出され、剥離板１８の先端で接着シートＡＳが剥離される。そして、剥離された接着シートＡＳが押圧ローラ１９による押圧力を受け、リングクレームＲＦ及びウエハＷＦの各上面に貼付され、接着シートＡＳを介してウエハＷＦとリングクレームＲＦとが一体化される。このとき、初期剥離領域Ｓａに対応する剥離シートＲＬ部分が確実に接着シートＡＳから剥離されているので、剥離シートＲＬ部分が付随した状態の接着シートＡＳが被着体に貼付されるようなことはない。
【００３２】
従って、このような実施形態によれば、１の切込ＣＵの形成中に切断刃４０とプラテンローラ３７との間隔を変更することにより、切断刃４０による切断で初期剥離領域Ｓａが次期剥離領域Ｓｂより切込深さを深くできるので、接着シートＡＳが不要シートＵＳと共に剥離され、当該接着シートＡＳが貼付不能となることを防止することが可能となる。しかも、次期剥離領域Ｓｂに対応する剥離シートＲＬ部分への切断刃４０の切込深さが浅いので、切断手段１５を経た後の原反ＲＳから、接着シートＡＳが抜け落ち、当該接着シートＡＳの貼付が行えなくなることを防止できる。このように、前記実施形態によれば、剥離シートＲＬが薄厚化しても、これに対応して接着シートＡＳの形成、剥離及び貼付を良好に行うことができ、当該薄厚化によるコストダウンの要求に応じることが可能となる。
【００３３】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
従って、上記に開示した形状などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状などの限定の一部若しくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
【００３４】
例えば、前記巻取手段１６を省略し、剥離シートＲＬから不要シートＵＳを剥離せずに、剥離板１８で接着シートＡＳを剥離し、剥離シートＲＬと不要シートＵＳとを巻取軸３４で巻き取るようにしてもよい。このような場合にでも、剥離板１８で初期剥離領域Ｓａが剥離できず、接着シートＡＳが不要シートＵＳと共に第２駆動ローラ３１方向に巻き取れてしまうことを防止することができる。
【００３５】
また、切込Ｃの形成にあっては、各回動モータＤＭ１〜ＤＭ４を連動させて原反ＲＳを繰り出し方向に往復動させ、１枚の接着シートＡＳ形成に対し、初期剥離領域Ｓａでの切断を複数回行ってもよい。
更に、上記実施形体において、スタート位置Ｓｔから４５°回転した時点で調整手段３８を作動させ、切込ＣＵから切断刃４０を一旦引き抜き、再度切込ＣＵに切断刃４０を差し込み１枚の接着シートＡＳの形成に対し、切断刃４０とプラテンローラ３７との離間動作と接近動作とを少なくとも１回ずつ行って初期剥離領域Ｓａに対応する切込ＳＵを形成するようにしてもよい。このとき原反ＲＳの繰り出しを停止させてもよい。
【００３６】
また、前記シート貼付装置１０の剥離板１８及び押圧ローラ１９を省略することにより、シート製造装置を構成してもよい。同装置によれば、前記実施形態と同様に切断手段１５によって接着シートＡＳを形成した後、当該接着シートＡＳが剥離シートＲＬに仮着された原反ＲＳが巻取軸３４に巻き取られる。巻取軸３４に巻き取られた原反ＲＳは、別途搬送、保管したり、切断手段を有しないシート貼付装置等で利用したりすることができる。このように、巻取軸３４に巻き取られた原反ＲＳをその状態のまま切断手段を有しないシート貼付装置等で利用する場合、繰出手段１４の繰出方向後端部が当該シート貼付装置等の初期剥離領域Ｓａとなるので、少なくとも接着シートＡＳにおける繰出手段１４の繰出方向後端部の切込ＣＵが他の領域に比べて深くなるように、調整手段３８の設定を変更すればよい。
【００３７】
更に、切断刃４０の平面形状は、帯状シートＷＳに切込ＣＵを形成して当該切込ＣＵの内側を接着シートＡＳとして形成し得る限りにおいて、多角形状、楕円、長円、菱形、直線と曲線とを組み合わせた形状等、種々の変更が可能であり、刃の高さも任意に変更できる。
【００３８】
また、切断刃４０は、エッチング加工の他、機械加工によって形成される彫刻刃や、ロータリダイの他、平らな板上に刃が形成された平刃や、トムソン刃等を使用してもよい。
【００３９】
更に、調整手段３８による切断刃４０とプラテンローラ３７との間隔は、原反ＲＳの厚みや性質、特に剥離シートＲＳの厚みや性質等を考慮して適宜変更することができる。
【００４０】
更に、繰出手段１４や剥離板１８、押圧ローラ１９は、種々の設計変更が可能である。
また、原反ＲＳを構成する部材の厚みは、上記実施形態で例示したものに何ら限定されることはない。
更に、シート貼付装置１０を移動させる駆動機器を設け、テーブル１１を停止させた状態で、シート貼付装置１０を図１中右方向に移動させたり、テーブル１１を左方向に移動させるとともに、シート貼付装置１０を右方向に移動させたりして接着シートＡＳを被着体に貼付するように構成してもよいし、
また、上記実施形態と同様の調整手段３８をプラテンローラ３７側にも設け、ダイカットローラ３６を停止させた状態で、プラテンローラ３７をダイカットローラ３６に対して離間接近させたり、ダイカットローラ３６及びプラテンローラ３７を相互に離間接近させたりして切断刃４０とプラテンローラ３７との間隔を調整するようにしてもよい。
【００４１】
更に、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。
【００４２】
また、被着体は、ウエハＷＦやリングフレームＲＦに代えて、ガラス板、鋼板、または、樹脂板等、その他のものも対象とすることができ、半導体ウエハは、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハであってもよい。また、リングフレームＲＦに代えて、Ｃ字状やＵ字状等の別形状のフレームを用いてもよいし、リングフレームＲＦなしで単独の被着体を接着シートＡＳの貼付対象としてもよい。
【符号の説明】
【００４３】
１０ シート貼付装置
１４ 繰出手段
１５ 切断手段
１８ 剥離板（剥離手段）
１９ 押圧ローラ（押圧手段）
３６ カッター部（ダイカットローラ）
３７ 受圧部（プラテンローラ）
３８ 調整手段
４０ 切断刃
ＡＤ 接着剤層
ＡＳ 接着シート
ＢＳ 基材シート
ＣＵ 切込
ＣＵ１ 初期切込
ＣＵ２ 次期切込
ＲＦ リングフレーム（被着体）
ＲＬ 剥離シート
ＲＳ 原反
Ｓａ 初期剥離領域（接着シートの繰出方向先端部）
Ｓｂ 次期剥離領域（接着シートの内側領域）
ＵＳ 不要シート
ＷＦ 半導体ウエハ（被着体）
ＷＳ 帯状シート
【特許請求の範囲】
【請求項１】
帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出手段と、前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断手段と、前記剥離シートに仮着された前記接着シートを当該接着シートの繰出方向先端部から当該接着シートの内側領域に向かって剥離する剥離手段と、前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧手段とを含むシート貼付装置であって、
前記切断手段は、前記原反の帯状シート側に配置されて前記切込を形成可能な切断刃を有するカッター部と、前記原反を間に挟んで前記カッター部と対向配置されて当該カッター部の押圧力を受け止める受圧部と、これらカッター部と受圧部との間隔を調整可能な調整手段とを備え、
前記調整手段は、前記切込の形成中に前記間隔を調整することで、前記接着シートの繰出方向先端部に対応する切込の深さが、前記接着シートの内側領域に対応する切込の深さに比べて深い切込を形成可能に設けられていることを特徴とするシート貼付装置。
【請求項２】
前記カッター部を変位させて前記接着シートの繰出方向先端部に対応する切込を形成するカッター刃領域を変更可能な変位手段を有することを特徴とする請求項１記載のシート貼付装置。
【請求項３】
前記繰出手段は、前記切断手段と連動して１枚の接着シート形成に対し、前記接着シートの繰出方向先端部での切断を複数回行うことを特徴とする請求項１又は２記載のシート貼付装置。
【請求項４】
前記調整手段は、１枚の接着シート形成に対し、前記カッター部と受圧部との離間接近動作を少なくとも１回ずつ行って前記接着シートの繰出方向先端部に対応する切込を形成可能に設けられていることを特徴とする請求項１、２又は３記載のシート貼付装置。
【請求項５】
帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出工程と、
所定形状の切込を形成可能な切断刃を有するカッター部と、前記原反を間に挟んで前記カッター刃の押圧力を受け止める受圧部とにより、前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断工程と、
前記剥離シートに仮着された前記接着シートを当該接着シートの繰出方向先端部から当該接着シートの内側領域に向かって剥離する剥離工程と、
前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧工程とを備え、
前記切断工程において、前記カッター部と受圧部との間隔を調整することで、前記接着シートの繰出方向先端部に対応する切込の深さが、前記接着シートの内側領域に対応する切込の深さに比べて深い切込を形成することを特徴とするシート貼付方法。
【請求項６】
帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出手段と、
前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断手段とを含むシート製造装置であって、
前記切断手段は、前記原反の帯状シート側に配置されて前記切込を形成可能な切断刃を有するカッター部と、前記原反を間に挟んで前記カッター部と対向配置されて当該カッター部の押圧力を受け止める受圧部と、これらカッター部と受圧部との間隔を調整可能な調整手段とを備え、
前記調整手段は、前記切込の形成中に前記間隔を調整することで、前記接着シートの繰出方向先端部及び繰出方向後端部の少なくとも一方に対応する切込の深さが前記接着シートの内側領域に対応する切込の深さに比べて深い切込を形成可能に設けられていることを特徴とするシート製造装置。
【請求項７】
帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出工程と、
所定形状の切込を形成可能な切断刃を有するカッター部と、前記原反を間に挟んで前記カッター刃の押圧力を受け止める受圧部とにより、前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断工程とを備え、
前記切断工程において、前記カッター部と受圧部との間隔を調整することで、前記接着シートの繰出方向先端部及び繰出方向後端部の少なくとも一方に対応する切込の深さが前記接着シートの内側領域に対応する切込の深さに比べて深い切込を形成することを特徴とするシート製造方法。
【請求項１】
帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出手段と、前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断手段と、前記剥離シートに仮着された前記接着シートを当該接着シートの繰出方向先端部から当該接着シートの内側領域に向かって剥離する剥離手段と、前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧手段とを含むシート貼付装置であって、
前記切断手段は、前記原反の帯状シート側に配置されて前記切込を形成可能な切断刃を有するカッター部と、前記原反を間に挟んで前記カッター部と対向配置されて当該カッター部の押圧力を受け止める受圧部と、これらカッター部と受圧部との間隔を調整可能な調整手段とを備え、
前記調整手段は、前記切込の形成中に前記間隔を調整することで、前記接着シートの繰出方向先端部に対応する切込の深さが、前記接着シートの内側領域に対応する切込の深さに比べて深い切込を形成可能に設けられていることを特徴とするシート貼付装置。
【請求項２】
前記カッター部を変位させて前記接着シートの繰出方向先端部に対応する切込を形成するカッター刃領域を変更可能な変位手段を有することを特徴とする請求項１記載のシート貼付装置。
【請求項３】
前記繰出手段は、前記切断手段と連動して１枚の接着シート形成に対し、前記接着シートの繰出方向先端部での切断を複数回行うことを特徴とする請求項１又は２記載のシート貼付装置。
【請求項４】
前記調整手段は、１枚の接着シート形成に対し、前記カッター部と受圧部との離間接近動作を少なくとも１回ずつ行って前記接着シートの繰出方向先端部に対応する切込を形成可能に設けられていることを特徴とする請求項１、２又は３記載のシート貼付装置。
【請求項５】
帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出工程と、
所定形状の切込を形成可能な切断刃を有するカッター部と、前記原反を間に挟んで前記カッター刃の押圧力を受け止める受圧部とにより、前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断工程と、
前記剥離シートに仮着された前記接着シートを当該接着シートの繰出方向先端部から当該接着シートの内側領域に向かって剥離する剥離工程と、
前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧工程とを備え、
前記切断工程において、前記カッター部と受圧部との間隔を調整することで、前記接着シートの繰出方向先端部に対応する切込の深さが、前記接着シートの内側領域に対応する切込の深さに比べて深い切込を形成することを特徴とするシート貼付方法。
【請求項６】
帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出手段と、
前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断手段とを含むシート製造装置であって、
前記切断手段は、前記原反の帯状シート側に配置されて前記切込を形成可能な切断刃を有するカッター部と、前記原反を間に挟んで前記カッター部と対向配置されて当該カッター部の押圧力を受け止める受圧部と、これらカッター部と受圧部との間隔を調整可能な調整手段とを備え、
前記調整手段は、前記切込の形成中に前記間隔を調整することで、前記接着シートの繰出方向先端部及び繰出方向後端部の少なくとも一方に対応する切込の深さが前記接着シートの内側領域に対応する切込の深さに比べて深い切込を形成可能に設けられていることを特徴とするシート製造装置。
【請求項７】
帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出工程と、
所定形状の切込を形成可能な切断刃を有するカッター部と、前記原反を間に挟んで前記カッター刃の押圧力を受け止める受圧部とにより、前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断工程とを備え、
前記切断工程において、前記カッター部と受圧部との間隔を調整することで、前記接着シートの繰出方向先端部及び繰出方向後端部の少なくとも一方に対応する切込の深さが前記接着シートの内側領域に対応する切込の深さに比べて深い切込を形成することを特徴とするシート製造方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図２】
【図３】
【図４】
【公開番号】特開２０１３−７４１０３（Ｐ２０１３−７４１０３Ａ）
【公開日】平成２５年４月２２日（２０１３．４．２２）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−２１１９５４（Ｐ２０１１−２１１９５４）
【出願日】平成２３年９月２８日（２０１１．９．２８）
【出願人】（０００１０２９８０）リンテック株式会社 (1,750)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２５年４月２２日（２０１３．４．２２）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年９月２８日（２０１１．９．２８）
【出願人】（０００１０２９８０）リンテック株式会社 (1,750)
【Ｆターム（参考）】
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