シート貼付装置及び貼付方法、並びに、シート製造装置及び製造方法
【課題】不要シートの剥離、接着シートの貼付を良好に行うことができるようにすること。
【解決手段】帯状シートＷＳが帯状の剥離シートＲＬに仮着された原反ＲＳを繰り出す繰出手段１４と、帯状シートＷＳに切込ＣＵを形成して当該切込ＣＵの内側に接着シートＡＳを形成する切断手段１５と、接着シートＡＳを初期剥離領域Ｓａから次期剥離領域Ｓｂに向かって剥離する剥離板１８とを備えてシート貼付装置１０が構成されている。切断手段１５は、ダイカットローラ３６と、プラテンローラ３７と、ダイカットローラ３６を振動可能な振動付与手段としての機能を有する調整手段３８とを備えている。
【解決手段】帯状シートＷＳが帯状の剥離シートＲＬに仮着された原反ＲＳを繰り出す繰出手段１４と、帯状シートＷＳに切込ＣＵを形成して当該切込ＣＵの内側に接着シートＡＳを形成する切断手段１５と、接着シートＡＳを初期剥離領域Ｓａから次期剥離領域Ｓｂに向かって剥離する剥離板１８とを備えてシート貼付装置１０が構成されている。切断手段１５は、ダイカットローラ３６と、プラテンローラ３７と、ダイカットローラ３６を振動可能な振動付与手段としての機能を有する調整手段３８とを備えている。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シート貼付装置及び貼付方法、並びに、シート製造装置及び製造方法に係り、更に詳しくは、帯状シートに切込を形成して接着シートを形成することができるシート貼付装置及び貼付方法、並びに、シート製造装置及び製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」と称する場合がある）等の被着体に接着シートを貼付するシート貼付装置が広く利用されるに至っており、かかるシート貼付装置としては、例えば、特許文献１に開示されている。特許文献１のシート貼付装置は、帯状シートが剥離シートに仮着されてなる原反を繰り出す繰出手段と、この原反を繰り出す過程で閉ループ状の切込を形成する切断刃と、切込の内側に形成された接着シートを剥離シートから剥離するピールプレートと、剥離された接着シートをウエハ及びリングフレームに押圧して貼付可能なプレスローラとを備えている。このようなシート貼付装置では、切込形成後であって、接着シートを剥離シートから剥離する前に、切込の外側に形成された不要シートを剥離シートから剥離して巻き取る巻取手段を有するものが知られている。かかる装置によれば、巻取手段を経て、剥離シートに接着シートだけが仮着された原反をピールプレートに繰り出すことで、接着シートの剥離及び貼付を行えるようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００５−１１６９２８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、近時、ウエハにあっては大径化される傾向があり、これに応じて接着シートの径寸法も大きくなる。従って、図２に示されるように、接着シートＡＳは、その繰出方向先端部における当該接着シートＡＳの繰出方向に沿った一定の間隔（以下、「先端縦間隔Ｓｘ」という）に対し、先端縦間隔Ｓｘ進んだ位置での接着シートＡＳの繰出方向に直交する方向に沿った間隔（以下、「先端横間隔Ｓｙ」という）の割合（以下「先端縦横比Ｓｘｙ」という）が大きくなり、微視的に見ると恰も直線であるかのような状態となる。この先端縦横比Ｓｘｙが大きくなると、巻取手段で接着シートＡＳの繰出方向先端部の不要シートを接着シートＡＳから切り離すときに、その切り離しが一挙に広範囲で行われることになる。この結果、接着シートＡＳと不要シートとの切り離しの切っ掛けが形成され難くなり、当該接着シートＡＳが不要シートと共に巻取手段で巻き取られて接着シートＡＳの貼付が行えなくなる、という不都合が発生する。このような不都合は、切断刃が劣化等で切断能力が劣っているような場合に顕著に現れる。
【０００５】
［発明の目的］
本発明の目的は、接着シートの形状に拘わらず、不要シートの剥離、ひいては、接着シートの貼付を良好に行うことができるシート貼付装置及び貼付方法、並びに、シート製造装置及び製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記目的を達成するため、本発明は、帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出手段と、前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断手段と、前記剥離シートに仮着された前記接着シートを剥離する剥離手段と、前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧手段とを含むシート貼付装置であって、
前記切断手段は、前記原反の帯状シート側に配置されて前記切込を形成可能な切断刃を有するカッター部と、前記原反を間に挟んで前記カッター部と対向配置されて当該カッター部の押圧力を受け止める受圧部と、これらカッター部及び受圧部の少なくとも一方に振動を印加可能な振動付与手段とを備える、という構成を採っている。
【０００７】
本発明において、前記剥離手段は、前記剥離シートに仮着された前記接着シートを当該接着シートの繰出方向先端部から当該接着シートの内側領域に向かって剥離可能に設けられ、
前記切断手段は、前記カッター部と受圧部との間隔を調整可能な調整手段を更に備え、当該調整手段が前記間隔を調整することで、前記接着シートを形成する切込の深さを変更可能に設けられる、という構成を採ることができる。
【０００８】
また、前記カッター部を変位させて前記接着シートの繰出方向先端部に対応する切込を形成するカッター刃領域を変更可能な変位手段を有する、という構成を採ることが好ましい。
【０００９】
更に、前記繰出手段は、前記切断手段と連動して１枚の接着シート形成に対し、前記接着シートの繰出方向先端部での切断を複数回行うとよい。
【００１０】
また、前記調整手段は、１枚の接着シート形成に対し、前記カッター部と受圧部との離間接近動作を少なくとも１回ずつ行って前記接着シートの繰出方向先端部に対応する切込を形成可能に設けられる、という構成を採ることができる。
【００１１】
更に、本発明のシート貼付方法は、帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出工程と、
所定形状の切込を形成可能な切断刃を有するカッター部と、前記原反を間に挟んで前記カッター刃の押圧力を受け止める受圧部とにより、前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断工程と、
前記剥離シートに仮着された前記接着シートを剥離する剥離工程と、
前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧工程とを備え、
前記切断工程において、前記カッター部及び受圧部の少なくとも一方に振動を印加する、という方法を採っている。
【００１２】
また、本発明のシート製造装置は、帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出手段と、
前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断手段とを含むシート製造装置であって、
前記切断手段は、前記原反の帯状シート側に配置されて前記切込を形成可能な切断刃を有するカッター部と、前記原反を間に挟んで前記カッター部と対向配置されて当該カッター部の押圧力を受け止める受圧部と、これらカッター部及び受圧部の少なくとも一方に振動を印加可能な振動付与手段とを備える、という構成を採っている。
【００１３】
また、本発明のシート製造方法は、帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出工程と、
所定形状の切込を形成可能な切断刃を有するカッター部と、前記原反を間に挟んで前記カッター刃の押圧力を受け止める受圧部とにより、前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断工程とを備え、
前記切断工程において、前記カッター部及び受圧部の少なくとも一方に振動を印加する、という方法を採っている。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、カッター部による切込形成中に、カッター刃や受圧部に振動を印加するので、切断刃が劣化等で切断能力が劣っているような場合でも、確実に帯状シートに切込を形成することができる。これにより、先端縦横比Ｓｘｙが大きくても、接着シートと不要シートとの切り離しの切っ掛けを確実に形成することができ、接着シートが不要シートと共に巻取手段で巻き取られることを回避でき、従来のように接着シートの貼付が行えなくなるといった不都合を解消することが可能となる。
なお、前記シート製造装置及び製造方法によれば、不要シートと共に接着シートが巻き取られてしまい、部分的に接着シートが仮着されていない原反が生産されてしまうことを防止することができ、当該原反が切断刃のない特許文献１のような接着シート貼付装置に採用されたときに、接着シートの貼付が行えなくなるといった不都合を解消することが可能となる。
【００１５】
また、カッター部と受圧部との間隔を調整する調整手段を設けた場合、接着シートの繰出方向先端部に対応する切込の深さをその他の領域に対応する切込の深さよりも深く形成できるので、接着シートと不要シートとの切り離しの切っ掛けや、接着シートと剥離シートとの剥離の切っ掛けが形成され易くなり、前述のように貼付不能になることをより良く解消可能となる。
【００１６】
更に、接着シートの繰出方向先端部に対応する切込を形成するカッター刃領域を変更可能な変位手段を有する構成とした場合、当該カッター刃の一部領域が摩耗等によって劣化しても、他の領域で接着シートの繰出方向先端部に対応する切込を形成することができる。
【００１７】
また、初期剥離領域での切断を複数回行うことで、接着シートの繰出方向先端部をより確実に不要シートから切り離すことができる。
【００１８】
更に、調整手段がカッター部と受圧部との離間接近動作を少なくとも１回ずつ行って接着シートの繰出方向先端部に対応する切込を形成する構成とすれば、当該繰出方向先端部に対応する切込を確実に形成でき、接着シートの不要シートからの切り離しを確実に行える。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】実施形態に係るシート貼付装置の概略正面図。
【図２】切込形成後の原反の概略斜視図。
【図３】（Ａ）、（Ｂ）は、切断手段の切断要領を示す説明図。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
なお、本明細書において、特に明示しない限り、「左」、「右」、「上」、「下」は、図１を基準として用いる。
【００２１】
図１〜図３において、シート貼付装置１０は、被着体としてのウエハＷＦ及びリングフレームＲＦを吸着支持するテーブル１１と、このテーブル１１を左右方向に移動可能な駆動機器としての直動モータ１２と、帯状の剥離シートＲＬと、その一方の面に仮着された帯状シートＷＳとにより構成された原反ＲＳを繰り出し可能な繰出手段１４と、この繰出手段１４により繰り出された原反ＲＳの帯状シートＷＳに切込ＣＵを形成し、当該切込ＣＵの内側に接着シートＡＳを形成するとともに、当該切込ＣＵの外側に不要シートＵＳを形成する切断手段１５と、不要シートＵＳを巻き取り可能な巻取手段１６と、剥離シートＲＬを折り返して接着シートＡＳを剥離シートＲＬから剥離する剥離手段としての剥離板１８と、この剥離板１８で剥離された接着シートＡＳをリングフレームＲＦ及びウエハＷＦに押圧して貼付する押圧手段としての押圧ローラ１９とを備えて構成されている。帯状シートＷＳは、基材シートＢＳと、この基材シートＢＳの一方の面に積層された接着剤層ＡＤとを備え、当該接着剤層ＡＤを介して剥離シートＲＬに仮着されている。なお、ウエハＷＦの下面には保護シートＰＳが貼付されている。
【００２２】
前記繰出手段１４は、原反ＲＳを支持する支持軸２５と、この支持軸２５から繰り出されて切断手段１５を通過する前の原反ＲＳを挟み込む第１駆動ローラ２７及び第１ピンチローラ２８と、剥離板１８を経た後の剥離シートＲＬを挟み込む第２駆動ローラ３１及び第２ピンチローラ３２と、これらを通過した後の剥離シートＲＬを図示しない駆動機器によって所定のトルクで巻き取る巻取軸３４とを備えている。各駆動ローラ２７、３１は、駆動機器としての回動モータＤＭ１、ＤＭ２を介して回転可能に設けられている。
【００２３】
前記切断手段１５は、繰り出される原反ＲＳの帯状シートＷＳ側に配置され、駆動機器としての回動モータＤＭ３によって回転可能に設けられたカッター部としてのダイカットローラ３６と、原反ＲＳを間に挟んでダイカットローラ３６と対向配置され、ダイカットローラ３６の押圧力を受け止める受圧部としてのプラテンローラ３７と、ダイカットローラ３６に振動を印加可能な超音波振動子や偏心モータ等の振動付与手段３８とを備えている。なお、プラテンローラ３７は、図示しない機構によりダイカットローラ３６と連動して回転可能に設けられている。
【００２４】
前記ダイカットローラ３６は、回動モータＤＭ３と共にブラケット３９を介して振動付与手段３８に支持されている。ダイカットローラ３６は、外周面から突設する閉ループ状の切断刃４０を備え、帯状シートＷＳにリングフレームＲＦの内径寸法よりも大きく、外形寸法よりも小さい略円形の切込ＣＵを形成可能に設けられている。また、切断刃４０は、例えば、ダイカットローラ３６の回転方向に２７０°の範囲に亘って設けられ、当該回転方向での先端を図３中符号４０ａで示し、後端を同図中符号４０ｂで示す。なお、切断刃４０の高さは、４５０μｍに設定されている。
【００２５】
ここで、切断刃４０によって形成された接着シートＡＳは、帯状シートＷＳの繰出方向（原反ＲＳが支持軸２５から巻取軸３４に向かう方向）先端領域が切断刃４０の先端４０ａにより形成される。この先端４０ａにより形成された接着シートＡＳ部分が、剥離板１８によって剥離シートＲＬから最初に剥離される接着シートの繰出方向先端部としての初期剥離領域Ｓａとなり、この初期剥離領域Ｓａに対応する切込ＣＵ部分が初期切込ＣＵ１とされる。また、初期剥離領域Ｓａの剥離の次に剥離される領域、つまり、接着シートＡＳにおいて初期剥離領域Ｓａ以外の全領域が、接着シートの内側領域としての次期剥離領域Ｓｂとなり、この次期剥離領域Ｓｂに対応する切込ＣＵ部分が次期切込ＣＵ２とされ、接着シートの繰出方向後端部は、切断刃４０の後端４０ｂにより形成される。なお、次期剥離領域Ｓｂは、初期剥離領域Ｓａ以外の全領域に限られず、初期剥離領域Ｓａに隣接して当該初期剥離領域Ｓａの剥離の次に剥離される接着シートＡＳの一部領域としてもよい。
【００２６】
前記振動付与手段３８は、ブラケット３９に連結された出力軸３８Ａを備え、当該出力軸３８Ａに振動を付与可能な機能と、主力軸３８Ａを図３（Ａ）中矢印Ｒ１方向又は矢印Ｒ１の反対方向に出力軸３８Ａを回転可能な駆動機器としての回動モータとしての機能とを有している。なお、出力軸３８Ａを図３（Ａ）中矢印Ｒ１方向又は矢印Ｒ１の反対方向に回転可能な機能により変位手段が構成され、ダイカットローラ３６を同図中矢印Ｒ１方向又は矢印Ｒ１の反対方向に１８０°回転駆動することで、ダイカットローラ３６の同図中紙面直交方向の向きを反対にすることができる。これにより、初期切込ＣＵ１を形成する領域を切断刃４０の後端４０ｂに変更可能となり、切断刃４０の先端４０ａ及び後端４０ｂの何れでも初期剥離領域Ｓａに対応する初期切込ＣＵ１を形成可能となり、先端４０ａ及び後端４０ｂの劣化状態等に応じ、それらの何れかを選択的に利用して初期切込ＣＵ１を形成することが可能となる。なお、変位手段は、振動付与手段３８から独立した駆動機器としての回動モータを採用してもよい。
また、振動付与手段３８の振動数は特に限定されることはないが、５〜２０００００Ｈｚ等の振動数とすることができ、それ以上の振動数でもよいしそれ以下の振動数でもよい。また、振動の方向としては、特に限定されず、左右方向、上下方向、図３中紙面直交方向、矢印Ｒ１方向の少なくとも１方向の成分を含む方向とすることができ、その振幅は、特に限定されることはない。
【００２７】
ここで、切断手段１５には図示しないエネルギー付与手段が設けられ、このエネルギー付与手段により原反ＲＳにエネルギーを付与しながら切込ＣＵを形成可能となっている。エネルギー付与手段としては、例えば、ダイカットローラ３６及びプラテンローラ３７の少なくとも一方に内蔵されるコイルヒータの他、これらローラ３６、３７から離れた位置から切込ＣＵの形成位置に温風を送風する送風機器や紫外線、赤外線、マイクロ波等のエネルギー線等を照射する照射装置等が例示できる。
【００２８】
前記巻取手段１６は、切断手段１５により切込ＣＵを形成した後の不要シートＵＳに掛け回されて当該不要シートＵＳを剥離シートＲＬから剥離する剥離ローラ５０と、剥離ローラ５０を経た後の不要シートＵＳを巻き取る巻取軸５１とを備えて構成されている。巻取軸５１は、駆動機器としての回動モータＤＭ４を介して回転可能に設けられ、所定のトルクで不要シートＵＳを巻き取り可能となっている。
【００２９】
次に、本実施形態における接着シートＡＳの貼付方法について説明する。
【００３０】
まず、支持軸２５に支持された原反ＲＳを第１駆動ローラ２７と第１ピンチローラ２８との間、及び、ダイカットローラ３６とプラテンローラ３７との間を通過させる。そして、剥離シートＲＬから帯状シートＷＳを剥離し、当該帯状シートＷＳを剥離ローラ５０に掛け回した後、そのリード端を巻取軸５１に固定する。また、剥離シートＲＬは、剥離板１８の先端で折り返して第２駆動ローラ３１と第２ピンチローラ３２との間を通過させ、そのリード端を巻取軸３４に固定する。なお、本実施形態では、帯状シートＷＳの厚みは１００μｍ、剥離シートＲＬの厚みは２５μｍのものが採用されている。また、調整手段３８によって、ダイカットローラ３６とプラテンローラ３７との相対間隔を調整する。
本実施形態では、図３（Ａ）に示す位置から、ダイカットローラ３６を同図中左回りに４５°回転した状態、つまり、ダイカットローラ３６の回転方向における切断刃４０が形成されていない９０°の範囲の中央をダイカットローラ３６のスタート位置Ｓｔとし、当該スタート位置Ｓｔがプラテンローラ３７に再接近した状態で、ダイカットローラ３６の回転を停止させておく。
【００３１】
そして、回動モータＤＭ１〜ＤＭ４を連動させて原反ＲＳを繰り出すと、切断刃４０により基材シートＢＳ側から剥離シートＲＬ側に向かって切込ＣＵが形成され、帯状シートＷＳは、切込ＣＵの内側の接着シートＡＳと、切込ＣＵの外側の不要シートＵＳとに区分される。この接着シートＡＳの形成においては、先ず、振動付与手段３８により、ダイカットローラ３６に振動を印加した状態で、ダイカットローラ３６が図３（Ａ）中矢印方向に回転し、スタート位置Ｓｔから４５°回転した時点で初期切込ＣＵ１の形成が開始される。そして、初期切込ＣＵ１の形成が開始されてから、設定角度α１として例えば５°回転した時点で振動付与手段３８による振動の印加を停止させて初期切込ＣＵ１が形成される。その後、切断刃４０により次期切込ＣＵ２が形成されて次期剥離領域Ｓｂが形成される。これにより、初期切込ＣＵ１が確実に形成され、初期剥離領域Ｓａが不要シートＵＳと切り離され易くなる。
【００３２】
切込ＣＵの形成後、繰り出された原反ＲＳは、剥離ローラ５０で剥離シートＲＬから不要シートＵＳが剥離され、不要シートＵＳが巻取軸５１に巻き取られる。このとき、剥離領域Ｓａが不要シートＵＳと切り離され易くなっているので、接着シートＡＳが不要シートＵＳと共に巻取軸５１方向へ共上がりすることはない。次いで、不要シートＵＳが巻き取られた原反ＲＳの接着シートＡＳが剥離板１８の先端から所定量剥離されて抜け出ると、図示しないセンサで当該接着シートＡＳの先端が検出されて停止し、スタンバイ状態となる。このとき、初期切込ＣＵ１が確実に形成されているので、初期剥離領域Ｓａが剥離シートＲＬと共に第２駆動ローラ３１方向に巻き取れてしまうことなく、剥離シートＲＬ部分を確実に接着シートＡＳから剥離することができる。なお、スタンバイ状態のとき、ダイカットローラ３６は、図１に示されるように、スタート位置Ｓｔがプラテンローラ３７に対向した状態で、図示しない駆動機器である切込位置調整手段によって、ダイカットローラ３６及びプラテンローラ３７の位置を上下方向に変位できるように構成されている。これによれば各接着シートＡＳの間隔を任意に調整することができる上、接着シートＡＳの繰出方向における長さに応じ、それらの位置を上下方向に変更できる。その後、図示しない搬送手段を介してリングクレームＲＦとウエハＷＦとがテーブル１１上に載置され、吸着保持される。次いで、直動モータ１２を介してテーブル１１が剥離板１８の下方を右側から左側に搬送される。テーブル１１が所定の位置で図示しないセンサによって検知されると、テーブル１１の搬送に同期して第１及び第２駆動ローラ２７、３１が回転して原反ＲＳが繰り出され、剥離板１８の先端で接着シートＡＳが剥離される。そして、剥離された接着シートＡＳが押圧ローラ１９による押圧力を受け、リングクレームＲＦ及びウエハＷＦの各上面に貼付され、接着シートＡＳを介してウエハＷＦとリングクレームＲＦとが一体化される。このとき、初期剥離領域Ｓａに対応する剥離シートＲＬ部分が確実に接着シートＡＳから剥離されているので、剥離シートＲＬ部分が付随した状態の接着シートＡＳが被着体に貼付されるようなことはない。
【００３３】
従って、このような実施形態によれば、切断刃４０に振動が印加されるので、例えば、切断刃４０が劣化等で切断能力が劣っているような場合でも、確実に帯状シートＷＳに切込ＣＵを形成することができる。
【００３４】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
従って、上記に開示した形状などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状などの限定の一部若しくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
【００３５】
例えば、前記巻取手段１６を省略し、剥離シートＲＬから不要シートＵＳを剥離せずに、剥離板１８で接着シートＡＳを剥離し、剥離シートＲＬと不要シートＵＳとを巻取軸３４で巻き取るようにしてもよい。このような場合にでも、剥離板１８で初期剥離領域Ｓａが剥離できず、接着シートＡＳが不要シートＵＳと共に第２駆動ローラ３１方向に巻き取れてしまうことを防止することができる。
【００３６】
また、切込Ｃの形成にあっては、各回動モータＤＭ１〜ＤＭ４を連動させて原反ＲＳを繰り出し方向に往復動させ、１枚の接着シートＡＳ形成に対し、初期剥離領域Ｓａでの切断を複数回行ってもよい。
更に、上記実施形態において、スタート位置Ｓｔから４５°回転した時点で調整手段３８を作動させ、切込ＣＵから切断刃４０を一旦引き抜き、再度切込ＣＵに切断刃４０を差し込み１枚の接着シートＡＳの形成に対し、切断刃４０とプラテンローラ３７との離間動作と接近動作とを少なくとも１回ずつ行って初期剥離領域Ｓａに対応する切込ＳＵを形成するようにしてもよい。このとき原反ＲＳの繰り出しを停止させてもよい。
また、ダイカットローラ３６とプラテンローラ３７との間隔を調整可能な駆動機器としての直動モータ等の調整手段を設け、当該調整手段が間隔を調整することで、接着シートＡＳ形成する切込ＣＵの深さを部分的又は全体的に変更できるようにしてもよい。これにより、例えば、初期切込ＣＵ１を次期切込ＣＵ２に比べて深く形成すれば、初期剥離領域Ｓａが不要シートＵＳと切り離され易くなる上、剥離シートＲＬから剥離され易くなる。なお、調整手段は、ダイカットローラ３６が左右方向に移動可能なものや、プラテンローラ３７が左右方向に移動可能なものや、それら両方が左右方向に移動可能なものを採用することができる。
更に、プラテンローラ３７にも振動付与手段３８と同様の振動付与手段を取り付け、ダイカットローラ３６とプラテンローラ３７との両方に振動を印加したり、プラテンローラ３７だけに振動を印加したりしてもよい。
また、前記実施形態では、ダイカットローラ３６の外部に振動付与手段を設けたが、ダイカットローラ３６の内部に振動付与手段設けてもよい。
更に、設定角度α１は、０°〜２７０°の範囲で変更してもよい。
【００３７】
また、前記シート貼付装置１０の剥離板１８及び押圧ローラ１９を省略することにより、シート製造装置を構成してもよい。同装置によれば、前記実施形態と同様に切断手段１５によって接着シートＡＳを形成した後、当該接着シートＡＳが剥離シートＲＬに仮着された原反ＲＳが巻取軸３４に巻き取られる。巻取軸３４に巻き取られた原反ＲＳは、別途搬送、保管したり、切断手段を有しないシート貼付装置等で利用したりすることができる。このように、巻取軸３４に巻き取られた原反ＲＳをその状態のまま切断手段を有しないシート貼付装置等で利用する場合、繰出手段１４の繰出方向後端部が当該シート貼付装置等の初期剥離領域Ｓａとなるので、少なくとも接着シートＡＳにおける繰出手段１４の繰出方向後端部の切込ＣＵを形成するときにダイカットローラ３６やプラテンローラ３７に振動を印加するようにすればよい。
【００３８】
更に、切断刃４０の平面形状は、帯状シートＷＳに切込ＣＵを形成して当該切込ＣＵの内側を接着シートＡＳとして形成し得る限りにおいて、多角形状、楕円、長円、菱形、直線と曲線とを組み合わせた形状等、種々の変更が可能であり、刃の高さも任意に変更できる。
【００３９】
また、切断刃４０は、エッチング加工の他、機械加工によって形成される彫刻刃や、ロータリダイの他、平らな板上に刃が形成された平刃や、トムソン刃等を使用してもよい。
【００４０】
更に、繰出手段１４や剥離板１８、押圧ローラ１９は、種々の設計変更が可能である。
また、原反ＲＳを構成する部材の厚みは、上記実施形態で例示したものに何ら限定されることはない。
更に、シート貼付装置１０を移動させる駆動機器を設け、テーブル１１を停止させた状態で、シート貼付装置１０を図１中右方向に移動させたり、テーブル１１を左方向に移動させるとともに、シート貼付装置１０を右方向に移動させたりして接着シートＡＳを被着体に貼付するように構成してもよい。
【００４１】
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。
【００４２】
更に、被着体は、ウエハＷＦやリングフレームＲＦに代えて、ガラス板、鋼板、または、樹脂板等、その他のものも対象とすることができ、半導体ウエハは、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハであってもよい。また、リングフレームＲＦに代えて、Ｃ字状やＵ字状等の別形状のフレームを用いてもよいし、リングフレームＲＦなしで単独の被着体を接着シートＡＳの貼付対象としてもよい。
【符号の説明】
【００４３】
１０ シート貼付装置
１４ 繰出手段
１５ 切断手段
１８ 剥離板（剥離手段）
１９ 押圧ローラ（押圧手段）
３６ カッター部（ダイカットローラ）
３７ 受圧部（プラテンローラ）
３８ 振動付与手段
４０ 切断刃
ＡＤ 接着剤層
ＡＳ 接着シート
ＢＳ 基材シート
ＣＵ 切込
ＲＦ リングフレーム（被着体）
ＲＬ 剥離シート
ＲＳ 原反
Ｓａ 初期剥離領域（接着シートの繰出方向先端部）
Ｓｂ 次期剥離領域（接着シートの内側領域）
ＵＳ 不要シート
ＷＦ 半導体ウエハ（被着体）
ＷＳ 帯状シート
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シート貼付装置及び貼付方法、並びに、シート製造装置及び製造方法に係り、更に詳しくは、帯状シートに切込を形成して接着シートを形成することができるシート貼付装置及び貼付方法、並びに、シート製造装置及び製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」と称する場合がある）等の被着体に接着シートを貼付するシート貼付装置が広く利用されるに至っており、かかるシート貼付装置としては、例えば、特許文献１に開示されている。特許文献１のシート貼付装置は、帯状シートが剥離シートに仮着されてなる原反を繰り出す繰出手段と、この原反を繰り出す過程で閉ループ状の切込を形成する切断刃と、切込の内側に形成された接着シートを剥離シートから剥離するピールプレートと、剥離された接着シートをウエハ及びリングフレームに押圧して貼付可能なプレスローラとを備えている。このようなシート貼付装置では、切込形成後であって、接着シートを剥離シートから剥離する前に、切込の外側に形成された不要シートを剥離シートから剥離して巻き取る巻取手段を有するものが知られている。かかる装置によれば、巻取手段を経て、剥離シートに接着シートだけが仮着された原反をピールプレートに繰り出すことで、接着シートの剥離及び貼付を行えるようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００５−１１６９２８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、近時、ウエハにあっては大径化される傾向があり、これに応じて接着シートの径寸法も大きくなる。従って、図２に示されるように、接着シートＡＳは、その繰出方向先端部における当該接着シートＡＳの繰出方向に沿った一定の間隔（以下、「先端縦間隔Ｓｘ」という）に対し、先端縦間隔Ｓｘ進んだ位置での接着シートＡＳの繰出方向に直交する方向に沿った間隔（以下、「先端横間隔Ｓｙ」という）の割合（以下「先端縦横比Ｓｘｙ」という）が大きくなり、微視的に見ると恰も直線であるかのような状態となる。この先端縦横比Ｓｘｙが大きくなると、巻取手段で接着シートＡＳの繰出方向先端部の不要シートを接着シートＡＳから切り離すときに、その切り離しが一挙に広範囲で行われることになる。この結果、接着シートＡＳと不要シートとの切り離しの切っ掛けが形成され難くなり、当該接着シートＡＳが不要シートと共に巻取手段で巻き取られて接着シートＡＳの貼付が行えなくなる、という不都合が発生する。このような不都合は、切断刃が劣化等で切断能力が劣っているような場合に顕著に現れる。
【０００５】
［発明の目的］
本発明の目的は、接着シートの形状に拘わらず、不要シートの剥離、ひいては、接着シートの貼付を良好に行うことができるシート貼付装置及び貼付方法、並びに、シート製造装置及び製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記目的を達成するため、本発明は、帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出手段と、前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断手段と、前記剥離シートに仮着された前記接着シートを剥離する剥離手段と、前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧手段とを含むシート貼付装置であって、
前記切断手段は、前記原反の帯状シート側に配置されて前記切込を形成可能な切断刃を有するカッター部と、前記原反を間に挟んで前記カッター部と対向配置されて当該カッター部の押圧力を受け止める受圧部と、これらカッター部及び受圧部の少なくとも一方に振動を印加可能な振動付与手段とを備える、という構成を採っている。
【０００７】
本発明において、前記剥離手段は、前記剥離シートに仮着された前記接着シートを当該接着シートの繰出方向先端部から当該接着シートの内側領域に向かって剥離可能に設けられ、
前記切断手段は、前記カッター部と受圧部との間隔を調整可能な調整手段を更に備え、当該調整手段が前記間隔を調整することで、前記接着シートを形成する切込の深さを変更可能に設けられる、という構成を採ることができる。
【０００８】
また、前記カッター部を変位させて前記接着シートの繰出方向先端部に対応する切込を形成するカッター刃領域を変更可能な変位手段を有する、という構成を採ることが好ましい。
【０００９】
更に、前記繰出手段は、前記切断手段と連動して１枚の接着シート形成に対し、前記接着シートの繰出方向先端部での切断を複数回行うとよい。
【００１０】
また、前記調整手段は、１枚の接着シート形成に対し、前記カッター部と受圧部との離間接近動作を少なくとも１回ずつ行って前記接着シートの繰出方向先端部に対応する切込を形成可能に設けられる、という構成を採ることができる。
【００１１】
更に、本発明のシート貼付方法は、帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出工程と、
所定形状の切込を形成可能な切断刃を有するカッター部と、前記原反を間に挟んで前記カッター刃の押圧力を受け止める受圧部とにより、前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断工程と、
前記剥離シートに仮着された前記接着シートを剥離する剥離工程と、
前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧工程とを備え、
前記切断工程において、前記カッター部及び受圧部の少なくとも一方に振動を印加する、という方法を採っている。
【００１２】
また、本発明のシート製造装置は、帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出手段と、
前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断手段とを含むシート製造装置であって、
前記切断手段は、前記原反の帯状シート側に配置されて前記切込を形成可能な切断刃を有するカッター部と、前記原反を間に挟んで前記カッター部と対向配置されて当該カッター部の押圧力を受け止める受圧部と、これらカッター部及び受圧部の少なくとも一方に振動を印加可能な振動付与手段とを備える、という構成を採っている。
【００１３】
また、本発明のシート製造方法は、帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出工程と、
所定形状の切込を形成可能な切断刃を有するカッター部と、前記原反を間に挟んで前記カッター刃の押圧力を受け止める受圧部とにより、前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断工程とを備え、
前記切断工程において、前記カッター部及び受圧部の少なくとも一方に振動を印加する、という方法を採っている。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、カッター部による切込形成中に、カッター刃や受圧部に振動を印加するので、切断刃が劣化等で切断能力が劣っているような場合でも、確実に帯状シートに切込を形成することができる。これにより、先端縦横比Ｓｘｙが大きくても、接着シートと不要シートとの切り離しの切っ掛けを確実に形成することができ、接着シートが不要シートと共に巻取手段で巻き取られることを回避でき、従来のように接着シートの貼付が行えなくなるといった不都合を解消することが可能となる。
なお、前記シート製造装置及び製造方法によれば、不要シートと共に接着シートが巻き取られてしまい、部分的に接着シートが仮着されていない原反が生産されてしまうことを防止することができ、当該原反が切断刃のない特許文献１のような接着シート貼付装置に採用されたときに、接着シートの貼付が行えなくなるといった不都合を解消することが可能となる。
【００１５】
また、カッター部と受圧部との間隔を調整する調整手段を設けた場合、接着シートの繰出方向先端部に対応する切込の深さをその他の領域に対応する切込の深さよりも深く形成できるので、接着シートと不要シートとの切り離しの切っ掛けや、接着シートと剥離シートとの剥離の切っ掛けが形成され易くなり、前述のように貼付不能になることをより良く解消可能となる。
【００１６】
更に、接着シートの繰出方向先端部に対応する切込を形成するカッター刃領域を変更可能な変位手段を有する構成とした場合、当該カッター刃の一部領域が摩耗等によって劣化しても、他の領域で接着シートの繰出方向先端部に対応する切込を形成することができる。
【００１７】
また、初期剥離領域での切断を複数回行うことで、接着シートの繰出方向先端部をより確実に不要シートから切り離すことができる。
【００１８】
更に、調整手段がカッター部と受圧部との離間接近動作を少なくとも１回ずつ行って接着シートの繰出方向先端部に対応する切込を形成する構成とすれば、当該繰出方向先端部に対応する切込を確実に形成でき、接着シートの不要シートからの切り離しを確実に行える。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】実施形態に係るシート貼付装置の概略正面図。
【図２】切込形成後の原反の概略斜視図。
【図３】（Ａ）、（Ｂ）は、切断手段の切断要領を示す説明図。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
なお、本明細書において、特に明示しない限り、「左」、「右」、「上」、「下」は、図１を基準として用いる。
【００２１】
図１〜図３において、シート貼付装置１０は、被着体としてのウエハＷＦ及びリングフレームＲＦを吸着支持するテーブル１１と、このテーブル１１を左右方向に移動可能な駆動機器としての直動モータ１２と、帯状の剥離シートＲＬと、その一方の面に仮着された帯状シートＷＳとにより構成された原反ＲＳを繰り出し可能な繰出手段１４と、この繰出手段１４により繰り出された原反ＲＳの帯状シートＷＳに切込ＣＵを形成し、当該切込ＣＵの内側に接着シートＡＳを形成するとともに、当該切込ＣＵの外側に不要シートＵＳを形成する切断手段１５と、不要シートＵＳを巻き取り可能な巻取手段１６と、剥離シートＲＬを折り返して接着シートＡＳを剥離シートＲＬから剥離する剥離手段としての剥離板１８と、この剥離板１８で剥離された接着シートＡＳをリングフレームＲＦ及びウエハＷＦに押圧して貼付する押圧手段としての押圧ローラ１９とを備えて構成されている。帯状シートＷＳは、基材シートＢＳと、この基材シートＢＳの一方の面に積層された接着剤層ＡＤとを備え、当該接着剤層ＡＤを介して剥離シートＲＬに仮着されている。なお、ウエハＷＦの下面には保護シートＰＳが貼付されている。
【００２２】
前記繰出手段１４は、原反ＲＳを支持する支持軸２５と、この支持軸２５から繰り出されて切断手段１５を通過する前の原反ＲＳを挟み込む第１駆動ローラ２７及び第１ピンチローラ２８と、剥離板１８を経た後の剥離シートＲＬを挟み込む第２駆動ローラ３１及び第２ピンチローラ３２と、これらを通過した後の剥離シートＲＬを図示しない駆動機器によって所定のトルクで巻き取る巻取軸３４とを備えている。各駆動ローラ２７、３１は、駆動機器としての回動モータＤＭ１、ＤＭ２を介して回転可能に設けられている。
【００２３】
前記切断手段１５は、繰り出される原反ＲＳの帯状シートＷＳ側に配置され、駆動機器としての回動モータＤＭ３によって回転可能に設けられたカッター部としてのダイカットローラ３６と、原反ＲＳを間に挟んでダイカットローラ３６と対向配置され、ダイカットローラ３６の押圧力を受け止める受圧部としてのプラテンローラ３７と、ダイカットローラ３６に振動を印加可能な超音波振動子や偏心モータ等の振動付与手段３８とを備えている。なお、プラテンローラ３７は、図示しない機構によりダイカットローラ３６と連動して回転可能に設けられている。
【００２４】
前記ダイカットローラ３６は、回動モータＤＭ３と共にブラケット３９を介して振動付与手段３８に支持されている。ダイカットローラ３６は、外周面から突設する閉ループ状の切断刃４０を備え、帯状シートＷＳにリングフレームＲＦの内径寸法よりも大きく、外形寸法よりも小さい略円形の切込ＣＵを形成可能に設けられている。また、切断刃４０は、例えば、ダイカットローラ３６の回転方向に２７０°の範囲に亘って設けられ、当該回転方向での先端を図３中符号４０ａで示し、後端を同図中符号４０ｂで示す。なお、切断刃４０の高さは、４５０μｍに設定されている。
【００２５】
ここで、切断刃４０によって形成された接着シートＡＳは、帯状シートＷＳの繰出方向（原反ＲＳが支持軸２５から巻取軸３４に向かう方向）先端領域が切断刃４０の先端４０ａにより形成される。この先端４０ａにより形成された接着シートＡＳ部分が、剥離板１８によって剥離シートＲＬから最初に剥離される接着シートの繰出方向先端部としての初期剥離領域Ｓａとなり、この初期剥離領域Ｓａに対応する切込ＣＵ部分が初期切込ＣＵ１とされる。また、初期剥離領域Ｓａの剥離の次に剥離される領域、つまり、接着シートＡＳにおいて初期剥離領域Ｓａ以外の全領域が、接着シートの内側領域としての次期剥離領域Ｓｂとなり、この次期剥離領域Ｓｂに対応する切込ＣＵ部分が次期切込ＣＵ２とされ、接着シートの繰出方向後端部は、切断刃４０の後端４０ｂにより形成される。なお、次期剥離領域Ｓｂは、初期剥離領域Ｓａ以外の全領域に限られず、初期剥離領域Ｓａに隣接して当該初期剥離領域Ｓａの剥離の次に剥離される接着シートＡＳの一部領域としてもよい。
【００２６】
前記振動付与手段３８は、ブラケット３９に連結された出力軸３８Ａを備え、当該出力軸３８Ａに振動を付与可能な機能と、主力軸３８Ａを図３（Ａ）中矢印Ｒ１方向又は矢印Ｒ１の反対方向に出力軸３８Ａを回転可能な駆動機器としての回動モータとしての機能とを有している。なお、出力軸３８Ａを図３（Ａ）中矢印Ｒ１方向又は矢印Ｒ１の反対方向に回転可能な機能により変位手段が構成され、ダイカットローラ３６を同図中矢印Ｒ１方向又は矢印Ｒ１の反対方向に１８０°回転駆動することで、ダイカットローラ３６の同図中紙面直交方向の向きを反対にすることができる。これにより、初期切込ＣＵ１を形成する領域を切断刃４０の後端４０ｂに変更可能となり、切断刃４０の先端４０ａ及び後端４０ｂの何れでも初期剥離領域Ｓａに対応する初期切込ＣＵ１を形成可能となり、先端４０ａ及び後端４０ｂの劣化状態等に応じ、それらの何れかを選択的に利用して初期切込ＣＵ１を形成することが可能となる。なお、変位手段は、振動付与手段３８から独立した駆動機器としての回動モータを採用してもよい。
また、振動付与手段３８の振動数は特に限定されることはないが、５〜２０００００Ｈｚ等の振動数とすることができ、それ以上の振動数でもよいしそれ以下の振動数でもよい。また、振動の方向としては、特に限定されず、左右方向、上下方向、図３中紙面直交方向、矢印Ｒ１方向の少なくとも１方向の成分を含む方向とすることができ、その振幅は、特に限定されることはない。
【００２７】
ここで、切断手段１５には図示しないエネルギー付与手段が設けられ、このエネルギー付与手段により原反ＲＳにエネルギーを付与しながら切込ＣＵを形成可能となっている。エネルギー付与手段としては、例えば、ダイカットローラ３６及びプラテンローラ３７の少なくとも一方に内蔵されるコイルヒータの他、これらローラ３６、３７から離れた位置から切込ＣＵの形成位置に温風を送風する送風機器や紫外線、赤外線、マイクロ波等のエネルギー線等を照射する照射装置等が例示できる。
【００２８】
前記巻取手段１６は、切断手段１５により切込ＣＵを形成した後の不要シートＵＳに掛け回されて当該不要シートＵＳを剥離シートＲＬから剥離する剥離ローラ５０と、剥離ローラ５０を経た後の不要シートＵＳを巻き取る巻取軸５１とを備えて構成されている。巻取軸５１は、駆動機器としての回動モータＤＭ４を介して回転可能に設けられ、所定のトルクで不要シートＵＳを巻き取り可能となっている。
【００２９】
次に、本実施形態における接着シートＡＳの貼付方法について説明する。
【００３０】
まず、支持軸２５に支持された原反ＲＳを第１駆動ローラ２７と第１ピンチローラ２８との間、及び、ダイカットローラ３６とプラテンローラ３７との間を通過させる。そして、剥離シートＲＬから帯状シートＷＳを剥離し、当該帯状シートＷＳを剥離ローラ５０に掛け回した後、そのリード端を巻取軸５１に固定する。また、剥離シートＲＬは、剥離板１８の先端で折り返して第２駆動ローラ３１と第２ピンチローラ３２との間を通過させ、そのリード端を巻取軸３４に固定する。なお、本実施形態では、帯状シートＷＳの厚みは１００μｍ、剥離シートＲＬの厚みは２５μｍのものが採用されている。また、調整手段３８によって、ダイカットローラ３６とプラテンローラ３７との相対間隔を調整する。
本実施形態では、図３（Ａ）に示す位置から、ダイカットローラ３６を同図中左回りに４５°回転した状態、つまり、ダイカットローラ３６の回転方向における切断刃４０が形成されていない９０°の範囲の中央をダイカットローラ３６のスタート位置Ｓｔとし、当該スタート位置Ｓｔがプラテンローラ３７に再接近した状態で、ダイカットローラ３６の回転を停止させておく。
【００３１】
そして、回動モータＤＭ１〜ＤＭ４を連動させて原反ＲＳを繰り出すと、切断刃４０により基材シートＢＳ側から剥離シートＲＬ側に向かって切込ＣＵが形成され、帯状シートＷＳは、切込ＣＵの内側の接着シートＡＳと、切込ＣＵの外側の不要シートＵＳとに区分される。この接着シートＡＳの形成においては、先ず、振動付与手段３８により、ダイカットローラ３６に振動を印加した状態で、ダイカットローラ３６が図３（Ａ）中矢印方向に回転し、スタート位置Ｓｔから４５°回転した時点で初期切込ＣＵ１の形成が開始される。そして、初期切込ＣＵ１の形成が開始されてから、設定角度α１として例えば５°回転した時点で振動付与手段３８による振動の印加を停止させて初期切込ＣＵ１が形成される。その後、切断刃４０により次期切込ＣＵ２が形成されて次期剥離領域Ｓｂが形成される。これにより、初期切込ＣＵ１が確実に形成され、初期剥離領域Ｓａが不要シートＵＳと切り離され易くなる。
【００３２】
切込ＣＵの形成後、繰り出された原反ＲＳは、剥離ローラ５０で剥離シートＲＬから不要シートＵＳが剥離され、不要シートＵＳが巻取軸５１に巻き取られる。このとき、剥離領域Ｓａが不要シートＵＳと切り離され易くなっているので、接着シートＡＳが不要シートＵＳと共に巻取軸５１方向へ共上がりすることはない。次いで、不要シートＵＳが巻き取られた原反ＲＳの接着シートＡＳが剥離板１８の先端から所定量剥離されて抜け出ると、図示しないセンサで当該接着シートＡＳの先端が検出されて停止し、スタンバイ状態となる。このとき、初期切込ＣＵ１が確実に形成されているので、初期剥離領域Ｓａが剥離シートＲＬと共に第２駆動ローラ３１方向に巻き取れてしまうことなく、剥離シートＲＬ部分を確実に接着シートＡＳから剥離することができる。なお、スタンバイ状態のとき、ダイカットローラ３６は、図１に示されるように、スタート位置Ｓｔがプラテンローラ３７に対向した状態で、図示しない駆動機器である切込位置調整手段によって、ダイカットローラ３６及びプラテンローラ３７の位置を上下方向に変位できるように構成されている。これによれば各接着シートＡＳの間隔を任意に調整することができる上、接着シートＡＳの繰出方向における長さに応じ、それらの位置を上下方向に変更できる。その後、図示しない搬送手段を介してリングクレームＲＦとウエハＷＦとがテーブル１１上に載置され、吸着保持される。次いで、直動モータ１２を介してテーブル１１が剥離板１８の下方を右側から左側に搬送される。テーブル１１が所定の位置で図示しないセンサによって検知されると、テーブル１１の搬送に同期して第１及び第２駆動ローラ２７、３１が回転して原反ＲＳが繰り出され、剥離板１８の先端で接着シートＡＳが剥離される。そして、剥離された接着シートＡＳが押圧ローラ１９による押圧力を受け、リングクレームＲＦ及びウエハＷＦの各上面に貼付され、接着シートＡＳを介してウエハＷＦとリングクレームＲＦとが一体化される。このとき、初期剥離領域Ｓａに対応する剥離シートＲＬ部分が確実に接着シートＡＳから剥離されているので、剥離シートＲＬ部分が付随した状態の接着シートＡＳが被着体に貼付されるようなことはない。
【００３３】
従って、このような実施形態によれば、切断刃４０に振動が印加されるので、例えば、切断刃４０が劣化等で切断能力が劣っているような場合でも、確実に帯状シートＷＳに切込ＣＵを形成することができる。
【００３４】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
従って、上記に開示した形状などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状などの限定の一部若しくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
【００３５】
例えば、前記巻取手段１６を省略し、剥離シートＲＬから不要シートＵＳを剥離せずに、剥離板１８で接着シートＡＳを剥離し、剥離シートＲＬと不要シートＵＳとを巻取軸３４で巻き取るようにしてもよい。このような場合にでも、剥離板１８で初期剥離領域Ｓａが剥離できず、接着シートＡＳが不要シートＵＳと共に第２駆動ローラ３１方向に巻き取れてしまうことを防止することができる。
【００３６】
また、切込Ｃの形成にあっては、各回動モータＤＭ１〜ＤＭ４を連動させて原反ＲＳを繰り出し方向に往復動させ、１枚の接着シートＡＳ形成に対し、初期剥離領域Ｓａでの切断を複数回行ってもよい。
更に、上記実施形態において、スタート位置Ｓｔから４５°回転した時点で調整手段３８を作動させ、切込ＣＵから切断刃４０を一旦引き抜き、再度切込ＣＵに切断刃４０を差し込み１枚の接着シートＡＳの形成に対し、切断刃４０とプラテンローラ３７との離間動作と接近動作とを少なくとも１回ずつ行って初期剥離領域Ｓａに対応する切込ＳＵを形成するようにしてもよい。このとき原反ＲＳの繰り出しを停止させてもよい。
また、ダイカットローラ３６とプラテンローラ３７との間隔を調整可能な駆動機器としての直動モータ等の調整手段を設け、当該調整手段が間隔を調整することで、接着シートＡＳ形成する切込ＣＵの深さを部分的又は全体的に変更できるようにしてもよい。これにより、例えば、初期切込ＣＵ１を次期切込ＣＵ２に比べて深く形成すれば、初期剥離領域Ｓａが不要シートＵＳと切り離され易くなる上、剥離シートＲＬから剥離され易くなる。なお、調整手段は、ダイカットローラ３６が左右方向に移動可能なものや、プラテンローラ３７が左右方向に移動可能なものや、それら両方が左右方向に移動可能なものを採用することができる。
更に、プラテンローラ３７にも振動付与手段３８と同様の振動付与手段を取り付け、ダイカットローラ３６とプラテンローラ３７との両方に振動を印加したり、プラテンローラ３７だけに振動を印加したりしてもよい。
また、前記実施形態では、ダイカットローラ３６の外部に振動付与手段を設けたが、ダイカットローラ３６の内部に振動付与手段設けてもよい。
更に、設定角度α１は、０°〜２７０°の範囲で変更してもよい。
【００３７】
また、前記シート貼付装置１０の剥離板１８及び押圧ローラ１９を省略することにより、シート製造装置を構成してもよい。同装置によれば、前記実施形態と同様に切断手段１５によって接着シートＡＳを形成した後、当該接着シートＡＳが剥離シートＲＬに仮着された原反ＲＳが巻取軸３４に巻き取られる。巻取軸３４に巻き取られた原反ＲＳは、別途搬送、保管したり、切断手段を有しないシート貼付装置等で利用したりすることができる。このように、巻取軸３４に巻き取られた原反ＲＳをその状態のまま切断手段を有しないシート貼付装置等で利用する場合、繰出手段１４の繰出方向後端部が当該シート貼付装置等の初期剥離領域Ｓａとなるので、少なくとも接着シートＡＳにおける繰出手段１４の繰出方向後端部の切込ＣＵを形成するときにダイカットローラ３６やプラテンローラ３７に振動を印加するようにすればよい。
【００３８】
更に、切断刃４０の平面形状は、帯状シートＷＳに切込ＣＵを形成して当該切込ＣＵの内側を接着シートＡＳとして形成し得る限りにおいて、多角形状、楕円、長円、菱形、直線と曲線とを組み合わせた形状等、種々の変更が可能であり、刃の高さも任意に変更できる。
【００３９】
また、切断刃４０は、エッチング加工の他、機械加工によって形成される彫刻刃や、ロータリダイの他、平らな板上に刃が形成された平刃や、トムソン刃等を使用してもよい。
【００４０】
更に、繰出手段１４や剥離板１８、押圧ローラ１９は、種々の設計変更が可能である。
また、原反ＲＳを構成する部材の厚みは、上記実施形態で例示したものに何ら限定されることはない。
更に、シート貼付装置１０を移動させる駆動機器を設け、テーブル１１を停止させた状態で、シート貼付装置１０を図１中右方向に移動させたり、テーブル１１を左方向に移動させるとともに、シート貼付装置１０を右方向に移動させたりして接着シートＡＳを被着体に貼付するように構成してもよい。
【００４１】
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。
【００４２】
更に、被着体は、ウエハＷＦやリングフレームＲＦに代えて、ガラス板、鋼板、または、樹脂板等、その他のものも対象とすることができ、半導体ウエハは、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハであってもよい。また、リングフレームＲＦに代えて、Ｃ字状やＵ字状等の別形状のフレームを用いてもよいし、リングフレームＲＦなしで単独の被着体を接着シートＡＳの貼付対象としてもよい。
【符号の説明】
【００４３】
１０ シート貼付装置
１４ 繰出手段
１５ 切断手段
１８ 剥離板（剥離手段）
１９ 押圧ローラ（押圧手段）
３６ カッター部（ダイカットローラ）
３７ 受圧部（プラテンローラ）
３８ 振動付与手段
４０ 切断刃
ＡＤ 接着剤層
ＡＳ 接着シート
ＢＳ 基材シート
ＣＵ 切込
ＲＦ リングフレーム（被着体）
ＲＬ 剥離シート
ＲＳ 原反
Ｓａ 初期剥離領域（接着シートの繰出方向先端部）
Ｓｂ 次期剥離領域（接着シートの内側領域）
ＵＳ 不要シート
ＷＦ 半導体ウエハ（被着体）
ＷＳ 帯状シート
【特許請求の範囲】
【請求項１】
帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出手段と、前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断手段と、前記剥離シートに仮着された前記接着シートを剥離する剥離手段と、前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧手段とを含むシート貼付装置であって、
前記切断手段は、前記原反の帯状シート側に配置されて前記切込を形成可能な切断刃を有するカッター部と、前記原反を間に挟んで前記カッター部と対向配置されて当該カッター部の押圧力を受け止める受圧部と、これらカッター部及び受圧部の少なくとも一方に振動を印加可能な振動付与手段とを備えていることを特徴とするシート貼付装置。
【請求項２】
前記剥離手段は、前記剥離シートに仮着された前記接着シートを当該接着シートの繰出方向先端部から当該接着シートの内側領域に向かって剥離可能に設けられ、
前記切断手段は、前記カッター部と受圧部との間隔を調整可能な調整手段を更に備え、当該調整手段が前記間隔を調整することで、前記接着シートを形成する切込の深さを変更可能に設けられていることを特徴とする請求項１記載のシート貼付装置。
【請求項３】
前記カッター部を変位させて前記接着シートの繰出方向先端部に対応する切込を形成するカッター刃領域を変更可能な変位手段を有することを特徴とする請求項１又は２記載のシート貼付装置。
【請求項４】
前記繰出手段は、前記切断手段と連動して１枚の接着シート形成に対し、前記接着シートの繰出方向先端部での切断を複数回行うことを特徴とする請求項１、２又は３記載のシート貼付装置。
【請求項５】
前記調整手段は、１枚の接着シート形成に対し、前記カッター部と受圧部との離間接近動作を少なくとも１回ずつ行って前記接着シートの繰出方向先端部に対応する切込を形成可能に設けられていることを特徴とする請求項１、２、３又は４記載のシート貼付装置。
【請求項６】
帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出工程と、
所定形状の切込を形成可能な切断刃を有するカッター部と、前記原反を間に挟んで前記カッター刃の押圧力を受け止める受圧部とにより、前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断工程と、
前記剥離シートに仮着された前記接着シートを剥離する剥離工程と、
前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧工程とを備え、
前記切断工程において、前記カッター部及び受圧部の少なくとも一方に振動を印加することを特徴とするシート貼付方法。
【請求項７】
帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出手段と、
前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断手段とを含むシート製造装置であって、
前記切断手段は、前記原反の帯状シート側に配置されて前記切込を形成可能な切断刃を有するカッター部と、前記原反を間に挟んで前記カッター部と対向配置されて当該カッター部の押圧力を受け止める受圧部と、これらカッター部及び受圧部の少なくとも一方に振動を印加可能な振動付与手段とを備えていることを特徴とするシート製造装置。
【請求項８】
帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出工程と、
所定形状の切込を形成可能な切断刃を有するカッター部と、前記原反を間に挟んで前記カッター刃の押圧力を受け止める受圧部とにより、前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断工程とを備え、
前記切断工程において、前記カッター部及び受圧部の少なくとも一方に振動を印加することを特徴とするシート製造方法。
【請求項１】
帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出手段と、前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断手段と、前記剥離シートに仮着された前記接着シートを剥離する剥離手段と、前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧手段とを含むシート貼付装置であって、
前記切断手段は、前記原反の帯状シート側に配置されて前記切込を形成可能な切断刃を有するカッター部と、前記原反を間に挟んで前記カッター部と対向配置されて当該カッター部の押圧力を受け止める受圧部と、これらカッター部及び受圧部の少なくとも一方に振動を印加可能な振動付与手段とを備えていることを特徴とするシート貼付装置。
【請求項２】
前記剥離手段は、前記剥離シートに仮着された前記接着シートを当該接着シートの繰出方向先端部から当該接着シートの内側領域に向かって剥離可能に設けられ、
前記切断手段は、前記カッター部と受圧部との間隔を調整可能な調整手段を更に備え、当該調整手段が前記間隔を調整することで、前記接着シートを形成する切込の深さを変更可能に設けられていることを特徴とする請求項１記載のシート貼付装置。
【請求項３】
前記カッター部を変位させて前記接着シートの繰出方向先端部に対応する切込を形成するカッター刃領域を変更可能な変位手段を有することを特徴とする請求項１又は２記載のシート貼付装置。
【請求項４】
前記繰出手段は、前記切断手段と連動して１枚の接着シート形成に対し、前記接着シートの繰出方向先端部での切断を複数回行うことを特徴とする請求項１、２又は３記載のシート貼付装置。
【請求項５】
前記調整手段は、１枚の接着シート形成に対し、前記カッター部と受圧部との離間接近動作を少なくとも１回ずつ行って前記接着シートの繰出方向先端部に対応する切込を形成可能に設けられていることを特徴とする請求項１、２、３又は４記載のシート貼付装置。
【請求項６】
帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出工程と、
所定形状の切込を形成可能な切断刃を有するカッター部と、前記原反を間に挟んで前記カッター刃の押圧力を受け止める受圧部とにより、前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断工程と、
前記剥離シートに仮着された前記接着シートを剥離する剥離工程と、
前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧工程とを備え、
前記切断工程において、前記カッター部及び受圧部の少なくとも一方に振動を印加することを特徴とするシート貼付方法。
【請求項７】
帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出手段と、
前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断手段とを含むシート製造装置であって、
前記切断手段は、前記原反の帯状シート側に配置されて前記切込を形成可能な切断刃を有するカッター部と、前記原反を間に挟んで前記カッター部と対向配置されて当該カッター部の押圧力を受け止める受圧部と、これらカッター部及び受圧部の少なくとも一方に振動を印加可能な振動付与手段とを備えていることを特徴とするシート製造装置。
【請求項８】
帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出工程と、
所定形状の切込を形成可能な切断刃を有するカッター部と、前記原反を間に挟んで前記カッター刃の押圧力を受け止める受圧部とにより、前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断工程とを備え、
前記切断工程において、前記カッター部及び受圧部の少なくとも一方に振動を印加することを特徴とするシート製造方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図２】
【図３】
【公開番号】特開２０１３−７４１０４（Ｐ２０１３−７４１０４Ａ）
【公開日】平成２５年４月２２日（２０１３．４．２２）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−２１１９５５（Ｐ２０１１−２１１９５５）
【出願日】平成２３年９月２８日（２０１１．９．２８）
【出願人】（０００１０２９８０）リンテック株式会社 (1,750)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２５年４月２２日（２０１３．４．２２）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年９月２８日（２０１１．９．２８）
【出願人】（０００１０２９８０）リンテック株式会社 (1,750)
【Ｆターム（参考）】
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