シールユニット、板状加工装置及び半導体製造装置
【課題】精度良く且つ容易に加工を行うことが出来るにもかかわらず、シール効率を高めることができる、板状物用のシールユニットを提供する。
【解決手段】下側部材３０の上面３１を上側部材２０の下面２４に密着させ、且つ下側部材３０の背面３４を取り付け板１０の表面に密着させて取り付けることで、シールユニットＳＵが組み立てられる。このとき、下側部材３０の凹部３２と、上側部材２０の下面２４とで囲われる空間が、帯金Ｗが通過する開口ＡＰとなる。
【解決手段】下側部材３０の上面３１を上側部材２０の下面２４に密着させ、且つ下側部材３０の背面３４を取り付け板１０の表面に密着させて取り付けることで、シールユニットＳＵが組み立てられる。このとき、下側部材３０の凹部３２と、上側部材２０の下面２４とで囲われる空間が、帯金Ｗが通過する開口ＡＰとなる。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば半導体製造設備における、大気圧より低圧の真空チャンバの内部と外部との間を延在する板状物と、かかる真空チャンバとの間を密封するシールユニットに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造装置などにおいては、真空や特殊ガス雰囲気に維持したプロセス室内で、ワークをステージに載置して移動させて加工処理することが行われている。ここで、プロセス室内に駆動源を含む位置決め装置を設けると、プロセス室外部との密閉性が維持されるため、真空や特殊ガス雰囲気を比較的容易に維持することが可能となる。
【０００３】
ところが、比較的長い板状物のようなワークを加工処理する場合、ワーク全てをプロセス室内に収容しようとすると、プロセス室自体が大きくなり、その内部を所定の気圧にするための時間が長くかかったり、プロセス室内部を満たす特殊ガスを大量に必要としたり、或いは位置決め装置のメンテナンスが困難であったりするなどの問題がある。
【０００４】
これに対して、プロセス室の容積を最小限にすると、上述した問題は解消されるものの、板状物であるワークをプロセス室の外部から供給しなくてはならなくなる。かかる場合、プロセス室を囲う筐体の壁に形成された開口を介して、ワークをプロセス室内部と外部との間で移動する際に、筐体の開口と板状物との間をシールすることにより、プロセス室の雰囲気の破壊を抑制するシールユニットが必要となる。このようなシールユニットの一例が、特許文献１に記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００１−４４１０７号公報
【特許文献２】特開２００５−２４９０７９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ここで、特許文献１において、真空チャンバーに取り付けられたエアースライド軸受が角軸を支持すると共に、シールユニットを兼用しているが、その図２において明らかなように、角軸の周囲を４枚の矩形板材で包み込むようにし、角軸の各側面に対向する内面に差動排気シール（吸引溝）を設けている。しかるに、かかる構成の場合には、４枚の矩形板材をそれぞれ単品にて吸引溝等を精度良く加工した後に、ボルト等で互いに結合しているが、加工精度の問題より板材同士の合わせ面には微小の隙間が残ることがある。加えて、４枚の矩形板材を結合した際に、その端面を揃えて平面度を維持することは極めて困難であり、よって結合した矩形板材を筐体の壁面等に突き当てた場合、隙間が生じることが多い。このような隙間を介して外部から大気が侵入すると、真空チャンバーの雰囲気を破壊する恐れがある。これに対し、接着剤を用いて矩形板材を接着してしまうことも考えられるが、シールユニットを容易に分解できなくなるため、トラブル時やメンテナンス時の作業に支障が生じるという問題が生じる。
【０００７】
一方、特許文献２には、真空チャンバー内に差し込まれた丸軸に対してシールするシールユニットが開示されているが、丸軸に嵌合する円形断面の穴は、一体物のハウジングに対して、比較的高精度に加工することができ、また差動排気シール用の周溝も穴の内周面に比較的精度良く容易に加工できる。ところが、板状物を挿通することを考えた場合、ハウジングを一体物とすると、スリット状の穴加工や、穴内における差動排気シール用の溝加工などを精度良く行うことが困難になるという問題がある。
【０００８】
本発明は、かかる従来技術の問題点に鑑みてなされたものであり、精度良く且つ容易に加工を行うことが出来るにもかかわらず、シール効率を高めることができる、板状物用のシールユニットを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
第１の本発明のシールユニットは、内部が低圧である筐体の開口を介して外部から内部へ或いは内部から外部へと移動する板状物と、前記開口との間をシールするシールユニットであって、
少なくとも前記板状物の表面に対向する第１板シール面に差動排気シールを備えた第１部材と、
少なくとも前記板状物の裏面に対向する第２板シール面と、前記筐体に対向する第２筐体シール面とに、それぞれ差動排気シールを備えた第２部材と、を有し、
前記第１部材と前記第２部材とは分離可能となっていることを特徴とする。
【００１０】
第２の本発明のシールユニットは、内部が低圧である筐体の開口を介して外部から内部へ或いは内部から外部へと移動する板状物と、前記開口との間をシールするシールユニットであって、
前記筐体に取り付けられ、前記板状物が通過する開口を備えた取り付け部材と、
少なくとも前記板状物の表面に対向する第１板シール面と、前記取り付け部材に対向する第２筐体シール面とに、それぞれ差動排気シールを備えた第１部材と、
少なくとも前記板状物の裏面に対向する第２板シール面と、前記取り付け部材に対向する第２筐体シール面とに、それぞれ差動排気シールを備えた第２部材と、を有し、
前記取り付け部材と、前記第１部材と、前記第２部材とは、相互に分離可能となっていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
第１の本発明によれば、前記第１部材と前記第２部材の２つの部品でシールユニットを構成するので、組み付け時における合わせ面の数を減らし、また端面の平面度を向上することにより部品間の隙間を減らし、これによりシール効率を高めることができる。又、前記第１部材と前記第２部材とは分離可能となっているので、それぞれ分解した状態で精度良く且つ容易にシール面に差動排気シールを加工することが出来、また組み付けた状態で、前記板状物の表裏面に対向する前記第１板シール面と前記第２板シール面とにより、前記板状物との間を有効にシールすることができ、前記筐体に対向する前記第２筐体シール面により、前記筐体との間を有効にシールすることができる。
【００１２】
前記第１板シール面は平面状であり、前記第２板シール面は、前記板状物の裏面及び両側面に対向するようにコ字状又はＵ字状となっていると好ましい。
【００１３】
前記第１部材は、前記筐体の一部と一体であると好ましい。
【００１４】
前記第１部材は、前記筐体から分離可能となっており、前記筐体に対向する第１筐体シール面に差動排気シールを備えていると好ましい。
【００１５】
第２の本発明によれば、前記取り付け部材と前記第１部材と前記第２部材の３つの部品でシールユニットを構成するので、組み付け時における合わせ面の数を減らし、また端面の平面度を向上することにより部品間の隙間を減らし、これによりシール効率を高めることができる。又、前記取り付け部材と前記第１部材と前記第２部材とは相互に分離可能となっているので、それぞれ分解した状態で精度良く且つ容易にシール面に差動排気シールを加工することが出来、また組み付けた状態で、前記板状物の表裏面に対向する前記第１板シール面と前記第２板シール面とにより、前記第１部材及び前記第２部材と前記板状物との間を有効にシールすることができ、前記取り付け部材に対向する前記第１筐体シール面と前記第２筐体シール面とにより、前記第１部材及び前記第２部材と前記取り付け部材との間を有効にシールすることができる。
【００１６】
尚、差動排気シールとは、例えば対向する２面間の微小な間隙などの絞りの間にある気体を前記２面間に設けられた差圧室を介して排気することにより、非接触の状態で、対向面を挟む両側の雰囲気（例えば大気圧と高真空）を一定の状態に保つように機能するものをいうが、ここでは特に、吸引される差圧室（例えば溝）を差動排気シールと呼ぶものとする。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】板状物としての帯金を加工する加工装置の外観図である。
【図２】（ａ）は、第１の実施の形態にかかるシールユニットＳＵを筐体ＢＸ側から見た斜視図、（ｂ）は、下側部材３０と帯金Ｗのみの斜視図、（ｃ）は、下側部材３０のみの斜視図である。
【図３】（ａ）は、シールユニットＳＵを外部側から見た斜視図、（ｂ）は、下側部材３０と帯金Ｗのみの斜視図、（ｃ）は、下側部材３０のみの斜視図である。
【図４】シールユニットＳＵを分解した状態で下方から見た斜視図である。
【図５】シールユニットＳＵの正面図である。
【図６】シールユニットＳＵの背面図である。
【図７】シールユニットＳＵの上面図である。
【図８】シールユニットＳＵの下面図である。
【図９】シールユニットＳＵの側面図である。
【図１０】構造体ＳＳの正面図である。
【図１１】構造体ＳＳの上面図である。
【図１２】構造体ＳＳの側面図である。
【図１３】下側部材３０の正面図である。
【図１４】下側部材３０の上面図である。
【図１５】下側部材３０の背面図である。
【図１６】図１４の構成をXVI-XVI線で切断して矢印方向に見た図である。
【図１７】（ａ）は、第２の実施の形態にかかるシールユニットＳＵを筐体ＢＸ側から見た斜視図、（ｂ）は、下側部材３０と角柱Ｗのみの斜視図、（ｃ）は、下側部材３０のみの斜視図である。
【図１８】（ａ）は、シールユニットＳＵを外部側から見た斜視図、（ｂ）は、下側部材３０と角柱Ｗのみの斜視図、（ｃ）は、下側部材３０のみの斜視図である。
【図１９】シールユニットＳＵの正面図である。
【図２０】シールユニットＳＵの背面図である。
【図２１】シールユニットＳＵの上面図である。
【図２２】シールユニットＳＵの下面図である。
【図２３】シールユニットＳＵの側面図である。
【図２４】構造体ＳＳの正面図である。
【図２５】構造体ＳＳの上面図である。
【図２６】構造体ＳＳの側面図である。
【図２７】下側部材３０の正面図である。
【図２８】下側部材３０の上面図である。
【図２９】下側部材３０の背面図である。
【図３０】図２８の構成をXXX-XXX線で切断して矢印方向に見た図である。
【図３１】（ａ）は、第３の実施の形態にかかるシールユニットＳＵを筐体ＢＸ側から見た斜視図、（ｂ）は、下側部材３０と角柱Ｗのみの斜視図、（ｃ）は、下側部材３０のみの斜視図、（ｄ）は、上側部材１２０の背面側から見た斜視図、（ｅ）は、上側部材１２０を天地を逆にした状態で示す斜視図である。
【図３２】シールユニットＳＵの正面図である。
【図３３】シールユニットＳＵの背面図である。
【図３４】シールユニットＳＵの上面図である。
【図３５】シールユニットＳＵの下面図である。
【図３６】シールユニットＳＵの側面図である。
【図３７】変形例にかかるシールユニットの構造体ＳＳの斜視図である。
【図３８】変形例にかかるシールユニットの下側部材の斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。図１は、板状物としての帯金を加工する加工装置の外観図である。図１において、筐体ＢＸ内は高真空に維持されており、高真空環境で処理を行う処理装置（不図示）が配置されている。筐体ＢＸは、図１で左右に開口（不図示）を有しており、かかる開口を遮蔽するようにしてシールユニットＳＵが配置されている。
【００１９】
筐体ＢＸの外部において、供給ローラＩＲから引き出された帯金Ｗが、位置決めローラ対ＰＲ１を通過し、左側のシールユニットＳＵを通して筐体ＢＸ内に進入し、位置決めローラ対ＰＲ２，ＰＲ３間で処理装置により処理された後、右側のシールユニットＳＵより外部へと引き出され、位置決めローラ対ＰＲ４を通過し、巻き取りローラＯＲに巻かれるようになっている。シールユニットＳＵは、帯金Ｗが筐体ＢＸ内に出入りしても、筐体ＢＸ内の真空雰囲気を維持するように機能する。以下、シールユニットＳＵについて説明する。
【００２０】
図２は、第１の実施の形態にかかるシールユニットＳＵを筐体ＢＸ側から見た斜視図及び分解図であり、図３は、シールユニットＳＵを外部側から見た斜視図及び分解図である。図４は、シールユニットＳＵを分解した状態で下方から見た斜視図である。図５は、シールユニットＳＵの正面図（外部側から見た図、以下同じ）、図６は、シールユニットＳＵの背面図（筐体側から見た図、以下同じ）、図７は、シールユニットＳＵの上面図、図８は、シールユニットＳＵの下面図、図９は、シールユニットＳＵの側面図である。図１０は、構造体ＳＳの正面図、図１１は、構造体ＳＳの上面図、図１２は、構造体ＳＳの側面図である。図１３は、下側部材３０の正面図、図１４は、下側部材３０の上面図、図１５は、下側部材３０の背面図、図１６は、図１４の構成をXVI-XVI線で切断して矢印方向に見た図である。
【００２１】
図２〜９に示すように、矩形板状の取り付け板（取り付け部材）１０と、取り付け板１０に一体的に形成された上側部材（第１部材）２０と、取り付け板１０及び上側部材２０に対して分解可能に取り付けられる下側部材（第２部材）３０とを有する。取り付け板１０と上側部材２０とで、構造体ＳＳを構成する。
【００２２】
取り付け板１０は、中央に配置された薄いスリット状の開口１１と、裏面（筐体側）において開口１１の周囲を取り囲むようにして形成されたＯ−リング溝１２とを有する。取り付け板１０は、不図示のボルトにより筐体ＢＸ（図１）の壁面に取り付けられて、その一部を構成するが、Ｏ−リング溝１２内に配置されたＯ−リングＯＲが筐体ＢＸとの間を密封するようになっている。
【００２３】
取り付け板１０の表面（外部側）に、直方体状の上側部材２０が一体で形成されている。上側部材２０は、側面から奥側に向かって平行に形成された２本の袋孔２１ａ，２１ｂと、袋孔２１ａ、２１ｂから平面である下面（第１板シール面）２４に向かって延在する各２本ずつの通孔２２ａ，２２ｂと、下面２４に形成されて通孔２２ａ、２２ｂに連通する細溝状の凹部２３ａ，２３ｂを有している。
【００２４】
下側部材３０は直方体状であり、図２，３、１４に示すように、その上面３１の中央に浅溝状の凹部３２を形成している。凹部３２は、帯金Ｗ（図２，３参照）の幅に等しいか僅かに大きい幅と、帯金Ｗの高さと等しいか僅かに深い深さを有する。帯金Ｗの移動方向に直交する方向に、凹部３２を分断する（すなわち底面３２ａ、両側面３２ｂ、３２ｂを掘り下げる）ようにして、上面から見てコ字状の第１上面溝３３ａと、その周囲に配置された同様にコ字状の第２上面溝３３ｂとが形成されている。凹部３２の底面３２ａと両側面３２ｂ、３２ｂとで、第２板シール面を構成する、
【００２５】
下側部材３０の平面である背面３４（筐体側にある第２筐体シール面）に、コ字状の第１背面溝３５ａと、その周囲に配置されたコ字状の第２背面溝３５ｂとが形成されている。直交する上面３１と背面３４の交差部において、第１背面溝３５ａの両端は、第１上面溝３３ａの両端にそれぞれ連結し、第２背面溝３５ｂの両端は、第２上面溝３３ｂの両端にそれぞれ連結している。
【００２６】
下側部材３０の上面３１を上側部材２０の下面２４に密着させ、且つ下側部材３０の背面３４を取り付け板１０の表面に密着させて取り付けることで、シールユニットＳＵが組み立てられる。このとき、下側部材３０の凹部３２と、上側部材２０の下面２４とで囲われる空間が、帯金Ｗが通過する開口ＡＰとなる。
【００２７】
また、上側部材２０の下面２４における凹部２３ａ、２３ｂは、その全長Δ１が下側部材３０の凹部３２の幅Δ２より大きいので、凹部３２にまたがるようにしてその両側にある下面３１の第１上面溝３３ａと第２上面溝３３ｂの一部に被さるようになる。第１上面溝３３ａと第２上面溝３３ｂの残りは、下面２４により遮蔽される。一方、下側部材３０の背面３４の第１背面溝３５ａと第２背面溝３５ｂは、取り付け板１０の表面により遮蔽される。よって、外部に対して露出するのは、開口ＡＰの内周全周に連なった凹部２３ａ、２３ｂ、第１上面溝３３ａ、第２上面溝３３ｂのみになり、これらが差動排気シールを構成することとなる。
【００２８】
ここで、開口ＡＰに帯金Ｗを挿通した状態で、上側部材２０の袋孔２１ａ，２１ｂを、外部の真空ポンプ（不図示）に接続して吸引すると、通孔２２ａ、２２ｂを介して、凹部２３ａ、２３ｂ、第１上面溝３３ａ、第２上面溝３３ｂが吸引され、差動排気シールの機能を発揮して帯金Ｗの表裏面及び両側面との間の隙間内の気体が吸引され、これにより開口ＡＰと帯金Ｗとの間を介して外部から筐体ＢＸ内部へと空気が侵入することを抑制することができる。同時に、第１上面溝３３ａ、第２上面溝３３ｂが連通した第１背面溝３５ａ、第２背面溝３５ｂも吸引されることとなり、差動排気シールとしての機能を発揮して下側部材３０と取り付け板１０との間の隙間内の気体が吸引され、この隙間を介して、外部から筐体ＢＸ内部へと空気が侵入することを抑制することができる。
【００２９】
本実施の形態によれば、構造体ＳＳと下側部材３０との２部品のみで、帯金Ｗと筐体ＢＸ間のシールを行うシールユニットＳＵを構成することが出来るため、低コストでありながら高機能を発揮できる。又、下側部材３０をシールユニットＳＵから分解できるので、図１４，１５に示すような複雑な形状の溝加工を単品の状態で容易に行うことができる。一方、上側部材２０については、浅溝状の凹部を形成することなく下面２４が平面であって、袋孔２１ａ，２１ｂと、通孔２２ａ，２２ｂと、凹部２３ａ，２３ｂのみであるので、その加工はドリルやフライスを用いて容易に行うことができる。このように、分解する部品を最小限にすることで、部材間の隙間を最小限に抑え、シール効率を高めると共に部品の小型化を図ることができる。又、傷付き等に対して保護する部位も限定されるため、取り扱い性にも優れる。但し、上側部材２０に加工を施した後、取り付け板１０に溶接しても良い。
【００３０】
図１７は、第２の実施の形態にかかるシールユニットＳＵを筐体ＢＸ側から見た斜視図及び分解図であり、図１８は、シールユニットＳＵを外部側から見た斜視図及び分解図である。図１９は、シールユニットＳＵの正面図（外部側から見た図）、図２０は、シールユニットＳＵの背面図（筐体側から見た図）、図２１は、シールユニットＳＵの上面図、図２２は、シールユニットＳＵの下面図、図２３は、シールユニットＳＵの側面図である。図２４は、構造体ＳＳの正面図、図２５は、構造体ＳＳの上面図、図２６は、構造体ＳＳの側面図である。図２７は、下側部材３０の正面図、図２８は、下側部材３０の上面図、図２９は、下側部材３０の背面図、図３０は、図２８の構成をXXX-XXX線で切断して矢印方向に見た図である。
【００３１】
本実施の形態においては、帯金の代わりに、板状物として断面矩形状の角柱Ｗを用いている。よって、下側部材３０の凹部３２の深さは、その分だけ深くなっており、従って凹部３２を分断する第１上面溝３３ａ、第２の上面溝３３ｂも深い位置まで形成されている。それ以外の構成については上述した実施の形態と同様であるため説明を省略する。
【００３２】
図３１は、第３の実施の形態にかかるシールユニットＳＵを筐体ＢＸ側から見た斜視図及び分解図である。図３２は、シールユニットＳＵの正面図（外部側から見た図）、図３３は、シールユニットＳＵの背面図（筐体側から見た図）、図３４は、シールユニットＳＵの上面図、図３５は、シールユニットＳＵの下面図、図３６は、シールユニットＳＵの側面図である。
【００３３】
本実施の形態においては、取り付け板１０から、上側部材（第１部材）１２０を分離可能となっている。これにより、上側部材１２０の穴加工や溝加工が容易になる。より具体的には、直方体状である上側部材１２０は、図３１に示すように、平面である下面１２１に、コ字状の第１下面溝１２２ａと、その周囲に配置されたコ字状の第２下面溝１２２ｂとを形成している。袋孔１２１ａ、１２１ｂは、不図示の通孔１２２ａ、１２２ｂを介して、第１下面溝１２２ａ及び第２下面溝１２２ｂにそれぞれ連通している。
【００３４】
又、上側部材１２０の平面である背面１２３（筐体側にある第１筐体シール面）に、コ字状の第１背面溝１２４ａと、その周囲に配置されたコ字状の第２背面溝１２４ｂとを形成している。直交する下面１２１と背面１２３の交差部において、第１背面溝１２４ａの両端は、第１下面溝１２２ａの両端にそれぞれ連結し、第２背面溝１２４ｂの両端は、第２下面溝１２２ｂの両端にそれぞれ連結している。
【００３５】
上側部材１２０の背面１２３を取り付け板１０の表面に密着させて取り付けることで、上述した実施の形態のごとき構造体が形成され、第１背面溝１２４ａと第２背面溝１２４ｂが社費得される。更に、この構造体に上述したようにして、上述した実施の形態と同様な構成の下側部材３０を組み付けることでシールユニットが形成される。
【００３６】
本実施の形態においては、上側部材１２０の袋孔２１ａ，２１ｂを、外部の真空ポンプ（不図示）に接続して吸引すると、通孔２２ａ、２２ｂを介して、上側部材１２０の第１背面溝１２４ａ、第２背面溝１２４ｂが吸引され、差動排気シールとしての機能を発揮して上側部材１２０と取り付け板１０との間の隙間内の気体が吸引され、この隙間を介して、外部から筐体ＢＸ内部へと空気が侵入することを抑制することができる。又、上述した実施の形態と同様に、下側部材３０と角柱Ｗとの間、及び下側部材３０と取り付け板１０との間の差動排気シールを確立することができる。尚、上側部材１２０の下面１２１は平面であるが、下側部材３０の凹部３２に対向して、凹部を形成してもよい。それにより、凹部３２の深さをより浅くできる。
【００３７】
図３７は、変形例にかかるシールユニットの構造体ＳＳの斜視図であり、図３８は、変形例にかかるシールユニットの下側部材の斜視図である。本変形例においては、図３８に示すように、下側部材３０’を板状物の移動方向に延長し、凹部３２の底面３２ａ及び両側面３２ｂ、３２ｂに、第２上面溝３３ｂに隣接して、静圧軸受用の多孔質パッドＰＤを配置している。一方、図３７に示すように、上側部材２０’の下面には、凹部３２の底面の多孔質パッドＰＤに対向して、同様に静圧軸受用の多孔質パッドＰＤを配置している。
【００３８】
本変形例によれば、不図示の正圧ポンプから圧送された空気を、上側部材２０’および下側部材３０’の多孔質パッドＰＤから吐出させることで、不図示の板状物の表裏面及び両側面に静圧を発生させ、これによりシールユニットに対して非接触状態で板状物を支持することができる。
【００３９】
以上、本発明を実施の形態を参照して説明してきたが、本発明は上記実施の形態に限定して解釈されるべきではなく、適宜変更・改良が可能であることはもちろんである。例えば、板状物はワークに限らず、ガイド等であっても良い。又、本発明のシールユニットは、大気雰囲気と減圧下の筐体内部との間のみならず、異なる環境であって隣接する密閉空間（減圧、ガス雰囲気）の間をシールすることもできる。密閉空間としては、例えばCVDやPVDのための減圧されたガス雰囲気（真空空間）の環境に維持されたものがあるが、かかる環境を維持するためには本発明のシールユニットが好適である。又、差動排気シールに関しては、上述した実施の形態では２段（２つの排気溝を有する）であるが、必要とされるシール性能に応じて、排気溝は１段、あるいは３段以上と適宜変更可能である。
【符号の説明】
【００４０】
１０ 取り付け板
１１ 開口
１２ Ｏ−リング溝
２０ 上側部材
２１ａ、２１ｂ 袋孔
２２ａ、２２ｂ 通孔
２３ａ，２３ｂ 凹部
２４ 下面
３０ 下側部材
３１ 上面
３２ 凹部
３３ａ 第１上面溝
３３ｂ 第２上面溝
３４ 背面
３５ａ 第１背面溝
３５ｂ 第２背面溝
１２０ 上側部材
１２１ 下面
１２１ａ，１２１ｂ 袋孔
１２２ａ 第１下面溝
１２２ｂ 第２下面溝
１２３ 背面
１２４ａ 第１背面溝
１２４ｂ 第２背面溝
ＩＲ 供給ローラ
ＯＲ Ｏ−リング
ＯＲ 巻き取りローラ
ＰＲ１ ローラ対
ＰＲ２，ＰＲ３ ローラ対
ＰＲ４ ローラ対
ＳＵ シールユニット
Ｗ 帯金
Ｗ 角柱
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば半導体製造設備における、大気圧より低圧の真空チャンバの内部と外部との間を延在する板状物と、かかる真空チャンバとの間を密封するシールユニットに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造装置などにおいては、真空や特殊ガス雰囲気に維持したプロセス室内で、ワークをステージに載置して移動させて加工処理することが行われている。ここで、プロセス室内に駆動源を含む位置決め装置を設けると、プロセス室外部との密閉性が維持されるため、真空や特殊ガス雰囲気を比較的容易に維持することが可能となる。
【０００３】
ところが、比較的長い板状物のようなワークを加工処理する場合、ワーク全てをプロセス室内に収容しようとすると、プロセス室自体が大きくなり、その内部を所定の気圧にするための時間が長くかかったり、プロセス室内部を満たす特殊ガスを大量に必要としたり、或いは位置決め装置のメンテナンスが困難であったりするなどの問題がある。
【０００４】
これに対して、プロセス室の容積を最小限にすると、上述した問題は解消されるものの、板状物であるワークをプロセス室の外部から供給しなくてはならなくなる。かかる場合、プロセス室を囲う筐体の壁に形成された開口を介して、ワークをプロセス室内部と外部との間で移動する際に、筐体の開口と板状物との間をシールすることにより、プロセス室の雰囲気の破壊を抑制するシールユニットが必要となる。このようなシールユニットの一例が、特許文献１に記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００１−４４１０７号公報
【特許文献２】特開２００５−２４９０７９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ここで、特許文献１において、真空チャンバーに取り付けられたエアースライド軸受が角軸を支持すると共に、シールユニットを兼用しているが、その図２において明らかなように、角軸の周囲を４枚の矩形板材で包み込むようにし、角軸の各側面に対向する内面に差動排気シール（吸引溝）を設けている。しかるに、かかる構成の場合には、４枚の矩形板材をそれぞれ単品にて吸引溝等を精度良く加工した後に、ボルト等で互いに結合しているが、加工精度の問題より板材同士の合わせ面には微小の隙間が残ることがある。加えて、４枚の矩形板材を結合した際に、その端面を揃えて平面度を維持することは極めて困難であり、よって結合した矩形板材を筐体の壁面等に突き当てた場合、隙間が生じることが多い。このような隙間を介して外部から大気が侵入すると、真空チャンバーの雰囲気を破壊する恐れがある。これに対し、接着剤を用いて矩形板材を接着してしまうことも考えられるが、シールユニットを容易に分解できなくなるため、トラブル時やメンテナンス時の作業に支障が生じるという問題が生じる。
【０００７】
一方、特許文献２には、真空チャンバー内に差し込まれた丸軸に対してシールするシールユニットが開示されているが、丸軸に嵌合する円形断面の穴は、一体物のハウジングに対して、比較的高精度に加工することができ、また差動排気シール用の周溝も穴の内周面に比較的精度良く容易に加工できる。ところが、板状物を挿通することを考えた場合、ハウジングを一体物とすると、スリット状の穴加工や、穴内における差動排気シール用の溝加工などを精度良く行うことが困難になるという問題がある。
【０００８】
本発明は、かかる従来技術の問題点に鑑みてなされたものであり、精度良く且つ容易に加工を行うことが出来るにもかかわらず、シール効率を高めることができる、板状物用のシールユニットを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
第１の本発明のシールユニットは、内部が低圧である筐体の開口を介して外部から内部へ或いは内部から外部へと移動する板状物と、前記開口との間をシールするシールユニットであって、
少なくとも前記板状物の表面に対向する第１板シール面に差動排気シールを備えた第１部材と、
少なくとも前記板状物の裏面に対向する第２板シール面と、前記筐体に対向する第２筐体シール面とに、それぞれ差動排気シールを備えた第２部材と、を有し、
前記第１部材と前記第２部材とは分離可能となっていることを特徴とする。
【００１０】
第２の本発明のシールユニットは、内部が低圧である筐体の開口を介して外部から内部へ或いは内部から外部へと移動する板状物と、前記開口との間をシールするシールユニットであって、
前記筐体に取り付けられ、前記板状物が通過する開口を備えた取り付け部材と、
少なくとも前記板状物の表面に対向する第１板シール面と、前記取り付け部材に対向する第２筐体シール面とに、それぞれ差動排気シールを備えた第１部材と、
少なくとも前記板状物の裏面に対向する第２板シール面と、前記取り付け部材に対向する第２筐体シール面とに、それぞれ差動排気シールを備えた第２部材と、を有し、
前記取り付け部材と、前記第１部材と、前記第２部材とは、相互に分離可能となっていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
第１の本発明によれば、前記第１部材と前記第２部材の２つの部品でシールユニットを構成するので、組み付け時における合わせ面の数を減らし、また端面の平面度を向上することにより部品間の隙間を減らし、これによりシール効率を高めることができる。又、前記第１部材と前記第２部材とは分離可能となっているので、それぞれ分解した状態で精度良く且つ容易にシール面に差動排気シールを加工することが出来、また組み付けた状態で、前記板状物の表裏面に対向する前記第１板シール面と前記第２板シール面とにより、前記板状物との間を有効にシールすることができ、前記筐体に対向する前記第２筐体シール面により、前記筐体との間を有効にシールすることができる。
【００１２】
前記第１板シール面は平面状であり、前記第２板シール面は、前記板状物の裏面及び両側面に対向するようにコ字状又はＵ字状となっていると好ましい。
【００１３】
前記第１部材は、前記筐体の一部と一体であると好ましい。
【００１４】
前記第１部材は、前記筐体から分離可能となっており、前記筐体に対向する第１筐体シール面に差動排気シールを備えていると好ましい。
【００１５】
第２の本発明によれば、前記取り付け部材と前記第１部材と前記第２部材の３つの部品でシールユニットを構成するので、組み付け時における合わせ面の数を減らし、また端面の平面度を向上することにより部品間の隙間を減らし、これによりシール効率を高めることができる。又、前記取り付け部材と前記第１部材と前記第２部材とは相互に分離可能となっているので、それぞれ分解した状態で精度良く且つ容易にシール面に差動排気シールを加工することが出来、また組み付けた状態で、前記板状物の表裏面に対向する前記第１板シール面と前記第２板シール面とにより、前記第１部材及び前記第２部材と前記板状物との間を有効にシールすることができ、前記取り付け部材に対向する前記第１筐体シール面と前記第２筐体シール面とにより、前記第１部材及び前記第２部材と前記取り付け部材との間を有効にシールすることができる。
【００１６】
尚、差動排気シールとは、例えば対向する２面間の微小な間隙などの絞りの間にある気体を前記２面間に設けられた差圧室を介して排気することにより、非接触の状態で、対向面を挟む両側の雰囲気（例えば大気圧と高真空）を一定の状態に保つように機能するものをいうが、ここでは特に、吸引される差圧室（例えば溝）を差動排気シールと呼ぶものとする。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】板状物としての帯金を加工する加工装置の外観図である。
【図２】（ａ）は、第１の実施の形態にかかるシールユニットＳＵを筐体ＢＸ側から見た斜視図、（ｂ）は、下側部材３０と帯金Ｗのみの斜視図、（ｃ）は、下側部材３０のみの斜視図である。
【図３】（ａ）は、シールユニットＳＵを外部側から見た斜視図、（ｂ）は、下側部材３０と帯金Ｗのみの斜視図、（ｃ）は、下側部材３０のみの斜視図である。
【図４】シールユニットＳＵを分解した状態で下方から見た斜視図である。
【図５】シールユニットＳＵの正面図である。
【図６】シールユニットＳＵの背面図である。
【図７】シールユニットＳＵの上面図である。
【図８】シールユニットＳＵの下面図である。
【図９】シールユニットＳＵの側面図である。
【図１０】構造体ＳＳの正面図である。
【図１１】構造体ＳＳの上面図である。
【図１２】構造体ＳＳの側面図である。
【図１３】下側部材３０の正面図である。
【図１４】下側部材３０の上面図である。
【図１５】下側部材３０の背面図である。
【図１６】図１４の構成をXVI-XVI線で切断して矢印方向に見た図である。
【図１７】（ａ）は、第２の実施の形態にかかるシールユニットＳＵを筐体ＢＸ側から見た斜視図、（ｂ）は、下側部材３０と角柱Ｗのみの斜視図、（ｃ）は、下側部材３０のみの斜視図である。
【図１８】（ａ）は、シールユニットＳＵを外部側から見た斜視図、（ｂ）は、下側部材３０と角柱Ｗのみの斜視図、（ｃ）は、下側部材３０のみの斜視図である。
【図１９】シールユニットＳＵの正面図である。
【図２０】シールユニットＳＵの背面図である。
【図２１】シールユニットＳＵの上面図である。
【図２２】シールユニットＳＵの下面図である。
【図２３】シールユニットＳＵの側面図である。
【図２４】構造体ＳＳの正面図である。
【図２５】構造体ＳＳの上面図である。
【図２６】構造体ＳＳの側面図である。
【図２７】下側部材３０の正面図である。
【図２８】下側部材３０の上面図である。
【図２９】下側部材３０の背面図である。
【図３０】図２８の構成をXXX-XXX線で切断して矢印方向に見た図である。
【図３１】（ａ）は、第３の実施の形態にかかるシールユニットＳＵを筐体ＢＸ側から見た斜視図、（ｂ）は、下側部材３０と角柱Ｗのみの斜視図、（ｃ）は、下側部材３０のみの斜視図、（ｄ）は、上側部材１２０の背面側から見た斜視図、（ｅ）は、上側部材１２０を天地を逆にした状態で示す斜視図である。
【図３２】シールユニットＳＵの正面図である。
【図３３】シールユニットＳＵの背面図である。
【図３４】シールユニットＳＵの上面図である。
【図３５】シールユニットＳＵの下面図である。
【図３６】シールユニットＳＵの側面図である。
【図３７】変形例にかかるシールユニットの構造体ＳＳの斜視図である。
【図３８】変形例にかかるシールユニットの下側部材の斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。図１は、板状物としての帯金を加工する加工装置の外観図である。図１において、筐体ＢＸ内は高真空に維持されており、高真空環境で処理を行う処理装置（不図示）が配置されている。筐体ＢＸは、図１で左右に開口（不図示）を有しており、かかる開口を遮蔽するようにしてシールユニットＳＵが配置されている。
【００１９】
筐体ＢＸの外部において、供給ローラＩＲから引き出された帯金Ｗが、位置決めローラ対ＰＲ１を通過し、左側のシールユニットＳＵを通して筐体ＢＸ内に進入し、位置決めローラ対ＰＲ２，ＰＲ３間で処理装置により処理された後、右側のシールユニットＳＵより外部へと引き出され、位置決めローラ対ＰＲ４を通過し、巻き取りローラＯＲに巻かれるようになっている。シールユニットＳＵは、帯金Ｗが筐体ＢＸ内に出入りしても、筐体ＢＸ内の真空雰囲気を維持するように機能する。以下、シールユニットＳＵについて説明する。
【００２０】
図２は、第１の実施の形態にかかるシールユニットＳＵを筐体ＢＸ側から見た斜視図及び分解図であり、図３は、シールユニットＳＵを外部側から見た斜視図及び分解図である。図４は、シールユニットＳＵを分解した状態で下方から見た斜視図である。図５は、シールユニットＳＵの正面図（外部側から見た図、以下同じ）、図６は、シールユニットＳＵの背面図（筐体側から見た図、以下同じ）、図７は、シールユニットＳＵの上面図、図８は、シールユニットＳＵの下面図、図９は、シールユニットＳＵの側面図である。図１０は、構造体ＳＳの正面図、図１１は、構造体ＳＳの上面図、図１２は、構造体ＳＳの側面図である。図１３は、下側部材３０の正面図、図１４は、下側部材３０の上面図、図１５は、下側部材３０の背面図、図１６は、図１４の構成をXVI-XVI線で切断して矢印方向に見た図である。
【００２１】
図２〜９に示すように、矩形板状の取り付け板（取り付け部材）１０と、取り付け板１０に一体的に形成された上側部材（第１部材）２０と、取り付け板１０及び上側部材２０に対して分解可能に取り付けられる下側部材（第２部材）３０とを有する。取り付け板１０と上側部材２０とで、構造体ＳＳを構成する。
【００２２】
取り付け板１０は、中央に配置された薄いスリット状の開口１１と、裏面（筐体側）において開口１１の周囲を取り囲むようにして形成されたＯ−リング溝１２とを有する。取り付け板１０は、不図示のボルトにより筐体ＢＸ（図１）の壁面に取り付けられて、その一部を構成するが、Ｏ−リング溝１２内に配置されたＯ−リングＯＲが筐体ＢＸとの間を密封するようになっている。
【００２３】
取り付け板１０の表面（外部側）に、直方体状の上側部材２０が一体で形成されている。上側部材２０は、側面から奥側に向かって平行に形成された２本の袋孔２１ａ，２１ｂと、袋孔２１ａ、２１ｂから平面である下面（第１板シール面）２４に向かって延在する各２本ずつの通孔２２ａ，２２ｂと、下面２４に形成されて通孔２２ａ、２２ｂに連通する細溝状の凹部２３ａ，２３ｂを有している。
【００２４】
下側部材３０は直方体状であり、図２，３、１４に示すように、その上面３１の中央に浅溝状の凹部３２を形成している。凹部３２は、帯金Ｗ（図２，３参照）の幅に等しいか僅かに大きい幅と、帯金Ｗの高さと等しいか僅かに深い深さを有する。帯金Ｗの移動方向に直交する方向に、凹部３２を分断する（すなわち底面３２ａ、両側面３２ｂ、３２ｂを掘り下げる）ようにして、上面から見てコ字状の第１上面溝３３ａと、その周囲に配置された同様にコ字状の第２上面溝３３ｂとが形成されている。凹部３２の底面３２ａと両側面３２ｂ、３２ｂとで、第２板シール面を構成する、
【００２５】
下側部材３０の平面である背面３４（筐体側にある第２筐体シール面）に、コ字状の第１背面溝３５ａと、その周囲に配置されたコ字状の第２背面溝３５ｂとが形成されている。直交する上面３１と背面３４の交差部において、第１背面溝３５ａの両端は、第１上面溝３３ａの両端にそれぞれ連結し、第２背面溝３５ｂの両端は、第２上面溝３３ｂの両端にそれぞれ連結している。
【００２６】
下側部材３０の上面３１を上側部材２０の下面２４に密着させ、且つ下側部材３０の背面３４を取り付け板１０の表面に密着させて取り付けることで、シールユニットＳＵが組み立てられる。このとき、下側部材３０の凹部３２と、上側部材２０の下面２４とで囲われる空間が、帯金Ｗが通過する開口ＡＰとなる。
【００２７】
また、上側部材２０の下面２４における凹部２３ａ、２３ｂは、その全長Δ１が下側部材３０の凹部３２の幅Δ２より大きいので、凹部３２にまたがるようにしてその両側にある下面３１の第１上面溝３３ａと第２上面溝３３ｂの一部に被さるようになる。第１上面溝３３ａと第２上面溝３３ｂの残りは、下面２４により遮蔽される。一方、下側部材３０の背面３４の第１背面溝３５ａと第２背面溝３５ｂは、取り付け板１０の表面により遮蔽される。よって、外部に対して露出するのは、開口ＡＰの内周全周に連なった凹部２３ａ、２３ｂ、第１上面溝３３ａ、第２上面溝３３ｂのみになり、これらが差動排気シールを構成することとなる。
【００２８】
ここで、開口ＡＰに帯金Ｗを挿通した状態で、上側部材２０の袋孔２１ａ，２１ｂを、外部の真空ポンプ（不図示）に接続して吸引すると、通孔２２ａ、２２ｂを介して、凹部２３ａ、２３ｂ、第１上面溝３３ａ、第２上面溝３３ｂが吸引され、差動排気シールの機能を発揮して帯金Ｗの表裏面及び両側面との間の隙間内の気体が吸引され、これにより開口ＡＰと帯金Ｗとの間を介して外部から筐体ＢＸ内部へと空気が侵入することを抑制することができる。同時に、第１上面溝３３ａ、第２上面溝３３ｂが連通した第１背面溝３５ａ、第２背面溝３５ｂも吸引されることとなり、差動排気シールとしての機能を発揮して下側部材３０と取り付け板１０との間の隙間内の気体が吸引され、この隙間を介して、外部から筐体ＢＸ内部へと空気が侵入することを抑制することができる。
【００２９】
本実施の形態によれば、構造体ＳＳと下側部材３０との２部品のみで、帯金Ｗと筐体ＢＸ間のシールを行うシールユニットＳＵを構成することが出来るため、低コストでありながら高機能を発揮できる。又、下側部材３０をシールユニットＳＵから分解できるので、図１４，１５に示すような複雑な形状の溝加工を単品の状態で容易に行うことができる。一方、上側部材２０については、浅溝状の凹部を形成することなく下面２４が平面であって、袋孔２１ａ，２１ｂと、通孔２２ａ，２２ｂと、凹部２３ａ，２３ｂのみであるので、その加工はドリルやフライスを用いて容易に行うことができる。このように、分解する部品を最小限にすることで、部材間の隙間を最小限に抑え、シール効率を高めると共に部品の小型化を図ることができる。又、傷付き等に対して保護する部位も限定されるため、取り扱い性にも優れる。但し、上側部材２０に加工を施した後、取り付け板１０に溶接しても良い。
【００３０】
図１７は、第２の実施の形態にかかるシールユニットＳＵを筐体ＢＸ側から見た斜視図及び分解図であり、図１８は、シールユニットＳＵを外部側から見た斜視図及び分解図である。図１９は、シールユニットＳＵの正面図（外部側から見た図）、図２０は、シールユニットＳＵの背面図（筐体側から見た図）、図２１は、シールユニットＳＵの上面図、図２２は、シールユニットＳＵの下面図、図２３は、シールユニットＳＵの側面図である。図２４は、構造体ＳＳの正面図、図２５は、構造体ＳＳの上面図、図２６は、構造体ＳＳの側面図である。図２７は、下側部材３０の正面図、図２８は、下側部材３０の上面図、図２９は、下側部材３０の背面図、図３０は、図２８の構成をXXX-XXX線で切断して矢印方向に見た図である。
【００３１】
本実施の形態においては、帯金の代わりに、板状物として断面矩形状の角柱Ｗを用いている。よって、下側部材３０の凹部３２の深さは、その分だけ深くなっており、従って凹部３２を分断する第１上面溝３３ａ、第２の上面溝３３ｂも深い位置まで形成されている。それ以外の構成については上述した実施の形態と同様であるため説明を省略する。
【００３２】
図３１は、第３の実施の形態にかかるシールユニットＳＵを筐体ＢＸ側から見た斜視図及び分解図である。図３２は、シールユニットＳＵの正面図（外部側から見た図）、図３３は、シールユニットＳＵの背面図（筐体側から見た図）、図３４は、シールユニットＳＵの上面図、図３５は、シールユニットＳＵの下面図、図３６は、シールユニットＳＵの側面図である。
【００３３】
本実施の形態においては、取り付け板１０から、上側部材（第１部材）１２０を分離可能となっている。これにより、上側部材１２０の穴加工や溝加工が容易になる。より具体的には、直方体状である上側部材１２０は、図３１に示すように、平面である下面１２１に、コ字状の第１下面溝１２２ａと、その周囲に配置されたコ字状の第２下面溝１２２ｂとを形成している。袋孔１２１ａ、１２１ｂは、不図示の通孔１２２ａ、１２２ｂを介して、第１下面溝１２２ａ及び第２下面溝１２２ｂにそれぞれ連通している。
【００３４】
又、上側部材１２０の平面である背面１２３（筐体側にある第１筐体シール面）に、コ字状の第１背面溝１２４ａと、その周囲に配置されたコ字状の第２背面溝１２４ｂとを形成している。直交する下面１２１と背面１２３の交差部において、第１背面溝１２４ａの両端は、第１下面溝１２２ａの両端にそれぞれ連結し、第２背面溝１２４ｂの両端は、第２下面溝１２２ｂの両端にそれぞれ連結している。
【００３５】
上側部材１２０の背面１２３を取り付け板１０の表面に密着させて取り付けることで、上述した実施の形態のごとき構造体が形成され、第１背面溝１２４ａと第２背面溝１２４ｂが社費得される。更に、この構造体に上述したようにして、上述した実施の形態と同様な構成の下側部材３０を組み付けることでシールユニットが形成される。
【００３６】
本実施の形態においては、上側部材１２０の袋孔２１ａ，２１ｂを、外部の真空ポンプ（不図示）に接続して吸引すると、通孔２２ａ、２２ｂを介して、上側部材１２０の第１背面溝１２４ａ、第２背面溝１２４ｂが吸引され、差動排気シールとしての機能を発揮して上側部材１２０と取り付け板１０との間の隙間内の気体が吸引され、この隙間を介して、外部から筐体ＢＸ内部へと空気が侵入することを抑制することができる。又、上述した実施の形態と同様に、下側部材３０と角柱Ｗとの間、及び下側部材３０と取り付け板１０との間の差動排気シールを確立することができる。尚、上側部材１２０の下面１２１は平面であるが、下側部材３０の凹部３２に対向して、凹部を形成してもよい。それにより、凹部３２の深さをより浅くできる。
【００３７】
図３７は、変形例にかかるシールユニットの構造体ＳＳの斜視図であり、図３８は、変形例にかかるシールユニットの下側部材の斜視図である。本変形例においては、図３８に示すように、下側部材３０’を板状物の移動方向に延長し、凹部３２の底面３２ａ及び両側面３２ｂ、３２ｂに、第２上面溝３３ｂに隣接して、静圧軸受用の多孔質パッドＰＤを配置している。一方、図３７に示すように、上側部材２０’の下面には、凹部３２の底面の多孔質パッドＰＤに対向して、同様に静圧軸受用の多孔質パッドＰＤを配置している。
【００３８】
本変形例によれば、不図示の正圧ポンプから圧送された空気を、上側部材２０’および下側部材３０’の多孔質パッドＰＤから吐出させることで、不図示の板状物の表裏面及び両側面に静圧を発生させ、これによりシールユニットに対して非接触状態で板状物を支持することができる。
【００３９】
以上、本発明を実施の形態を参照して説明してきたが、本発明は上記実施の形態に限定して解釈されるべきではなく、適宜変更・改良が可能であることはもちろんである。例えば、板状物はワークに限らず、ガイド等であっても良い。又、本発明のシールユニットは、大気雰囲気と減圧下の筐体内部との間のみならず、異なる環境であって隣接する密閉空間（減圧、ガス雰囲気）の間をシールすることもできる。密閉空間としては、例えばCVDやPVDのための減圧されたガス雰囲気（真空空間）の環境に維持されたものがあるが、かかる環境を維持するためには本発明のシールユニットが好適である。又、差動排気シールに関しては、上述した実施の形態では２段（２つの排気溝を有する）であるが、必要とされるシール性能に応じて、排気溝は１段、あるいは３段以上と適宜変更可能である。
【符号の説明】
【００４０】
１０ 取り付け板
１１ 開口
１２ Ｏ−リング溝
２０ 上側部材
２１ａ、２１ｂ 袋孔
２２ａ、２２ｂ 通孔
２３ａ，２３ｂ 凹部
２４ 下面
３０ 下側部材
３１ 上面
３２ 凹部
３３ａ 第１上面溝
３３ｂ 第２上面溝
３４ 背面
３５ａ 第１背面溝
３５ｂ 第２背面溝
１２０ 上側部材
１２１ 下面
１２１ａ，１２１ｂ 袋孔
１２２ａ 第１下面溝
１２２ｂ 第２下面溝
１２３ 背面
１２４ａ 第１背面溝
１２４ｂ 第２背面溝
ＩＲ 供給ローラ
ＯＲ Ｏ−リング
ＯＲ 巻き取りローラ
ＰＲ１ ローラ対
ＰＲ２，ＰＲ３ ローラ対
ＰＲ４ ローラ対
ＳＵ シールユニット
Ｗ 帯金
Ｗ 角柱
【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部が低圧である筐体の開口を介して外部から内部へ或いは内部から外部へと移動する板状物と、前記開口との間をシールするシールユニットであって、
少なくとも前記板状物の表面に対向する第１板シール面に差動排気シールを備えた第１部材と、
少なくとも前記板状物の裏面に対向する第２板シール面と、前記筐体に対向する第２筐体シール面とに、それぞれ差動排気シールを備えた第２部材と、を有し、
前記第１部材と前記第２部材とは分離可能となっていることを特徴とするシールユニット。
【請求項２】
前記第１板シール面は平面状であり、前記第２板シール面は、前記板状物の裏面及び両側面に対向するようにコ字状又はＵ字状となっていることを特徴とする請求項１に記載のシールユニット。
【請求項３】
前記第１部材は、前記筐体の一部と一体であることを特徴とする請求項１又は２に記載のシールユニット。
【請求項４】
前記第１部材は、前記筐体から分離可能となっており、前記筐体に対向する第１筐体シール面に差動排気シールを備えていることを特徴とする請求項１又は２に記載のシールユニット。
【請求項５】
内部が低圧である筐体の開口を介して外部から内部へ或いは内部から外部へと移動する板状物と、前記開口との間をシールするシールユニットであって、
前記筐体に取り付けられ、前記板状物が通過する開口を備えた取り付け部材と、
少なくとも前記板状物の表面に対向する第１板シール面と、前記取り付け部材に対向する第２筐体シール面とに、それぞれ差動排気シールを備えた第１部材と、
少なくとも前記板状物の裏面に対向する第２板シール面と、前記取り付け部材に対向する第２筐体シール面とに、それぞれ差動排気シールを備えた第２部材と、を有し、
前記取り付け部材と、前記第１部材と、前記第２部材とは、相互に分離可能となっていることを特徴とするシールユニット。
【請求項１】
内部が低圧である筐体の開口を介して外部から内部へ或いは内部から外部へと移動する板状物と、前記開口との間をシールするシールユニットであって、
少なくとも前記板状物の表面に対向する第１板シール面に差動排気シールを備えた第１部材と、
少なくとも前記板状物の裏面に対向する第２板シール面と、前記筐体に対向する第２筐体シール面とに、それぞれ差動排気シールを備えた第２部材と、を有し、
前記第１部材と前記第２部材とは分離可能となっていることを特徴とするシールユニット。
【請求項２】
前記第１板シール面は平面状であり、前記第２板シール面は、前記板状物の裏面及び両側面に対向するようにコ字状又はＵ字状となっていることを特徴とする請求項１に記載のシールユニット。
【請求項３】
前記第１部材は、前記筐体の一部と一体であることを特徴とする請求項１又は２に記載のシールユニット。
【請求項４】
前記第１部材は、前記筐体から分離可能となっており、前記筐体に対向する第１筐体シール面に差動排気シールを備えていることを特徴とする請求項１又は２に記載のシールユニット。
【請求項５】
内部が低圧である筐体の開口を介して外部から内部へ或いは内部から外部へと移動する板状物と、前記開口との間をシールするシールユニットであって、
前記筐体に取り付けられ、前記板状物が通過する開口を備えた取り付け部材と、
少なくとも前記板状物の表面に対向する第１板シール面と、前記取り付け部材に対向する第２筐体シール面とに、それぞれ差動排気シールを備えた第１部材と、
少なくとも前記板状物の裏面に対向する第２板シール面と、前記取り付け部材に対向する第２筐体シール面とに、それぞれ差動排気シールを備えた第２部材と、を有し、
前記取り付け部材と、前記第１部材と、前記第２部材とは、相互に分離可能となっていることを特徴とするシールユニット。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【図１９】
【図２０】
【図２１】
【図２２】
【図２３】
【図２４】
【図２５】
【図２６】
【図２７】
【図２８】
【図２９】
【図３０】
【図３１】
【図３２】
【図３３】
【図３４】
【図３５】
【図３６】
【図３７】
【図３８】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【図１９】
【図２０】
【図２１】
【図２２】
【図２３】
【図２４】
【図２５】
【図２６】
【図２７】
【図２８】
【図２９】
【図３０】
【図３１】
【図３２】
【図３３】
【図３４】
【図３５】
【図３６】
【図３７】
【図３８】
【公開番号】特開２０１３−５７３９９（Ｐ２０１３−５７３９９Ａ）
【公開日】平成２５年３月２８日（２０１３．３．２８）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１２−２３３５７２（Ｐ２０１２−２３３５７２）
【出願日】平成２４年１０月２３日（２０１２．１０．２３）
【分割の表示】特願２００８−２８３０７５（Ｐ２００８−２８３０７５）の分割
【原出願日】平成２０年１１月４日（２００８．１１．４）
【出願人】（０００００４２０４）日本精工株式会社 (8,378)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２５年３月２８日（２０１３．３．２８）
【国際特許分類】
【出願日】平成２４年１０月２３日（２０１２．１０．２３）
【分割の表示】特願２００８−２８３０７５（Ｐ２００８−２８３０７５）の分割
【原出願日】平成２０年１１月４日（２００８．１１．４）
【出願人】（０００００４２０４）日本精工株式会社 (8,378)
【Ｆターム（参考）】
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