シール材除去工具
【課題】 雄ねじ又は雌ねじの螺旋溝に入り込んだシール材を螺旋溝に傷をつけることなく容易に除去可能なシール材除去工具を提供することである。
【解決手段】 流体を導く流体導管を連結する連結手の雄ねじに付着したシール材を除去するシール材除去工具であって、該雄ねじに螺合する雌ねじを回転軸心方向に切断して該雌ねじの螺旋溝の断面を露出させて断面に切刃を形成したことを特徴とする。
【解決手段】 流体を導く流体導管を連結する連結手の雄ねじに付着したシール材を除去するシール材除去工具であって、該雄ねじに螺合する雌ねじを回転軸心方向に切断して該雌ねじの螺旋溝の断面を露出させて断面に切刃を形成したことを特徴とする。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ねじの螺旋溝に入り込んだシール材を容易に除去可能なシール材除去工具に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＩＣ、ＬＳＩ等の複数のデバイスが分割予定ラインによって区画されて表面に形成された半導体ウエーハは、研削装置によって裏面が研削されて所定の厚みに形成された後、ダイシング装置によって個々のデバイスに分割され、分割されたデバイスは携帯電話、パソコン等の電気機器に利用される。
【０００３】
研削装置はウエーハを吸引保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたウエーハに研削水を供給しながらウエーハを研削する研削手段と、チャックテーブルにウエーハを搬送する搬送手段と、チャックテーブルから研削済みのウエーハを搬出する搬出手段と、搬出されたウエーハに洗浄水を供給して洗浄する洗浄手段とから概ね構成されていて、ウエーハを所望の厚みに加工することができる。
【０００４】
また、ダイシング装置は、ウエーハを吸引保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに吸引保持されたウエーハに切削水を供給しながらウエーハを切削する切削手段と、チャックテーブルにウエーハを搬送する搬送手段と、チャックテーブルから切削済みのウエーハを搬出する搬出手段と、搬出されたウエーハに洗浄水を供給して洗浄する洗浄手段とから概ね形成されていて、ウエーハを個々のデバイスに高精度に分割することができる。
【０００５】
このような研削装置、ダイシング装置等の加工装置には、所要箇所にエアを供給するエア配管、所要箇所に水を供給する水配管、所要箇所に吸引力を伝達する吸引配管等の流体を導く流体導管が張り巡らされている（例えば、特開平１−２０５９５０号公報及び特開昭５５−１１２７６１号公報参照）。
【０００６】
また、流体導管を連結する連結手に形成された雄ねじにはシール材が配設され、シール材を介して雌ねじを螺着させて流体導管を連結手に連結し、水、エア等の漏れを防止している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開平１−２０５９５０号公報
【特許文献２】特開昭５５−１１２７６１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかし、メンテナンス、修理、改良作業等において、連結手の雄ねじから雌ねじを取り外し、雄ねじに付着したシール材を除去する際に、雄ねじの螺旋溝に入り込んだシール材が強固に雄ねじに付着して、釘等で螺旋溝に沿ってシール材を擦っても除去することができず、作業効率が低下するという問題がある。
【０００９】
釘等で螺旋溝を擦ってシール材を除去しようとすると、螺旋溝に傷がつき、エア漏れ、水漏れ等の原因となる。このような問題は、連結手の雌ねじの螺旋溝に入り込んだシール材を除去する場合にも同様に起こることである。
【００１０】
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、雄ねじ又は雌ねじの螺旋溝に入り込んだシール材を螺旋溝に傷をつけることなく容易に除去可能なシール材除去工具を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
請求項１記載の発明によると、流体を導く流体導管を連結する連結手の雄ねじに付着したシール材を除去するシール材除去工具であって、該雄ねじに螺合する雌ねじを回転軸心方向に切断して該雌ねじの螺旋溝の断面を露出させて断面に切刃を形成したことを特徴とするシール材除去工具が提供される。
【００１２】
請求項２記載の発明によると、流体を導く流体導管を連結する連結手の雌ねじに付着したシール材を除去するシール材除去工具であって、該雌ねじに螺合する雄ねじを回転軸心方向に切断して該雄ねじの螺旋溝の断面を露出させて断面に切刃を形成したことを特徴とするシール材除去工具が提供される。
【発明の効果】
【００１３】
請求項１記載の発明によると、雄ねじの螺旋溝にシール材除去工具の螺旋溝の断面を位置付けてシール材除去工具を回転させれば、螺旋溝の断面が切刃となって雄ねじの螺旋溝に固着したシール材を容易に除去することができる。雄ねじに螺合する雌ねじからなるシール材除去工具を回転させるので、雄ねじの螺旋溝に傷をつけることがない。
【００１４】
請求項２記載の発明によると、雌ねじの螺旋溝にシール材除去工具の螺旋溝の断面を位置付けてシール材除去工具を回転させれば、螺旋溝の断面が切刃となって雌ねじの螺旋溝に固着したシール材を容易に除去することができる。雌ねじに螺合する雄ねじからなるシール材除去工具を回転させるので、雌ねじの螺旋溝に傷をつけることがない。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明第１実施形態のシール材除去工具の斜視図である。
【図２】図１に示したシール材除去工具で雄ねじに付着したシール材を除去している様子を示す説明図である。
【図３】本発明第２実施形態のシール材除去工具の斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明の実施形態を図面を参照して詳細に説明する。図１を参照すると、本発明第１実施形態に係るシール材除去工具１０の斜視図が示されている。本実施形態のシール材除去工具１０は、シール材を除去しようとする雄ねじに螺合する雌ねじ１１を回転軸心方向に例えば１／４に切断して、雌ねじ１１の螺旋溝１２の断面を露出させて断面に切刃１４を形成したものである。１０ａは雌ねじ１１の切断面である。シール材除去工具１０は、その断面が扇状に形成されている。
【００１７】
次に、シール材除去工具１０を用いてボルト等の雄ねじ１６の螺旋溝（ねじ溝）に付着したシール材を除去する方法について図２を参照して説明する。まず、ボルト等の雄ねじ１６を一方の手で把持し、他方の手でシール材除去工具１０を把持して雄ねじ１６の螺旋溝１８にシール材除去工具１０の螺旋溝１２を位置づける。
【００１８】
そして、シール材除去工具１０を例えば右方向（時計回り方向）に回転させれば、螺旋溝１２の断面が切刃１４となって雄ねじ１６の螺旋溝１８に固着したシール材２０を容易に除去することができる。
【００１９】
図３を参照すると、本発明第２実施形態のシール材除去工具２２の斜視図が示されている。本実施形態のシール材除去工具２２は、シール材が付着した雌ねじに螺合する雄ねじ２３を回転軸心方向に例えば１／４に切断して、雄ねじ２３の螺旋溝２４の断面を露出させて断面に切刃２６を形成したものである。２２ａは雄ねじ２３の切断面である。シール材除去工具２２は、その断面が扇状に形成されている。
【００２０】
本実施形態のシール材除去工具２２で雌ねじの螺旋溝に付着したシール材を除去するには、シール材を除去すべき雌ねじの螺旋溝にシール材除去工具２２を位置づけてシール材除去工具を回転させる。これにより、シール材除去工具２２の螺旋溝２４の断面が切刃２６となり、雌ねじの螺旋溝に固着したシール材を容易に除去することができる。
【符号の説明】
【００２１】
１０ シール材除去工具
１１ 雌ねじ
１２ 螺旋溝（ねじ溝）
１４ 切刃
１６ 雄ねじ（ボルト）
１８ 螺旋溝（ねじ溝）
２０ シール材
２２ シール材除去工具
２３ 雄ねじ
２４ 螺旋溝（ねじ溝）
２６ 切刃
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ねじの螺旋溝に入り込んだシール材を容易に除去可能なシール材除去工具に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＩＣ、ＬＳＩ等の複数のデバイスが分割予定ラインによって区画されて表面に形成された半導体ウエーハは、研削装置によって裏面が研削されて所定の厚みに形成された後、ダイシング装置によって個々のデバイスに分割され、分割されたデバイスは携帯電話、パソコン等の電気機器に利用される。
【０００３】
研削装置はウエーハを吸引保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたウエーハに研削水を供給しながらウエーハを研削する研削手段と、チャックテーブルにウエーハを搬送する搬送手段と、チャックテーブルから研削済みのウエーハを搬出する搬出手段と、搬出されたウエーハに洗浄水を供給して洗浄する洗浄手段とから概ね構成されていて、ウエーハを所望の厚みに加工することができる。
【０００４】
また、ダイシング装置は、ウエーハを吸引保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに吸引保持されたウエーハに切削水を供給しながらウエーハを切削する切削手段と、チャックテーブルにウエーハを搬送する搬送手段と、チャックテーブルから切削済みのウエーハを搬出する搬出手段と、搬出されたウエーハに洗浄水を供給して洗浄する洗浄手段とから概ね形成されていて、ウエーハを個々のデバイスに高精度に分割することができる。
【０００５】
このような研削装置、ダイシング装置等の加工装置には、所要箇所にエアを供給するエア配管、所要箇所に水を供給する水配管、所要箇所に吸引力を伝達する吸引配管等の流体を導く流体導管が張り巡らされている（例えば、特開平１−２０５９５０号公報及び特開昭５５−１１２７６１号公報参照）。
【０００６】
また、流体導管を連結する連結手に形成された雄ねじにはシール材が配設され、シール材を介して雌ねじを螺着させて流体導管を連結手に連結し、水、エア等の漏れを防止している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開平１−２０５９５０号公報
【特許文献２】特開昭５５−１１２７６１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかし、メンテナンス、修理、改良作業等において、連結手の雄ねじから雌ねじを取り外し、雄ねじに付着したシール材を除去する際に、雄ねじの螺旋溝に入り込んだシール材が強固に雄ねじに付着して、釘等で螺旋溝に沿ってシール材を擦っても除去することができず、作業効率が低下するという問題がある。
【０００９】
釘等で螺旋溝を擦ってシール材を除去しようとすると、螺旋溝に傷がつき、エア漏れ、水漏れ等の原因となる。このような問題は、連結手の雌ねじの螺旋溝に入り込んだシール材を除去する場合にも同様に起こることである。
【００１０】
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、雄ねじ又は雌ねじの螺旋溝に入り込んだシール材を螺旋溝に傷をつけることなく容易に除去可能なシール材除去工具を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
請求項１記載の発明によると、流体を導く流体導管を連結する連結手の雄ねじに付着したシール材を除去するシール材除去工具であって、該雄ねじに螺合する雌ねじを回転軸心方向に切断して該雌ねじの螺旋溝の断面を露出させて断面に切刃を形成したことを特徴とするシール材除去工具が提供される。
【００１２】
請求項２記載の発明によると、流体を導く流体導管を連結する連結手の雌ねじに付着したシール材を除去するシール材除去工具であって、該雌ねじに螺合する雄ねじを回転軸心方向に切断して該雄ねじの螺旋溝の断面を露出させて断面に切刃を形成したことを特徴とするシール材除去工具が提供される。
【発明の効果】
【００１３】
請求項１記載の発明によると、雄ねじの螺旋溝にシール材除去工具の螺旋溝の断面を位置付けてシール材除去工具を回転させれば、螺旋溝の断面が切刃となって雄ねじの螺旋溝に固着したシール材を容易に除去することができる。雄ねじに螺合する雌ねじからなるシール材除去工具を回転させるので、雄ねじの螺旋溝に傷をつけることがない。
【００１４】
請求項２記載の発明によると、雌ねじの螺旋溝にシール材除去工具の螺旋溝の断面を位置付けてシール材除去工具を回転させれば、螺旋溝の断面が切刃となって雌ねじの螺旋溝に固着したシール材を容易に除去することができる。雌ねじに螺合する雄ねじからなるシール材除去工具を回転させるので、雌ねじの螺旋溝に傷をつけることがない。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明第１実施形態のシール材除去工具の斜視図である。
【図２】図１に示したシール材除去工具で雄ねじに付着したシール材を除去している様子を示す説明図である。
【図３】本発明第２実施形態のシール材除去工具の斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明の実施形態を図面を参照して詳細に説明する。図１を参照すると、本発明第１実施形態に係るシール材除去工具１０の斜視図が示されている。本実施形態のシール材除去工具１０は、シール材を除去しようとする雄ねじに螺合する雌ねじ１１を回転軸心方向に例えば１／４に切断して、雌ねじ１１の螺旋溝１２の断面を露出させて断面に切刃１４を形成したものである。１０ａは雌ねじ１１の切断面である。シール材除去工具１０は、その断面が扇状に形成されている。
【００１７】
次に、シール材除去工具１０を用いてボルト等の雄ねじ１６の螺旋溝（ねじ溝）に付着したシール材を除去する方法について図２を参照して説明する。まず、ボルト等の雄ねじ１６を一方の手で把持し、他方の手でシール材除去工具１０を把持して雄ねじ１６の螺旋溝１８にシール材除去工具１０の螺旋溝１２を位置づける。
【００１８】
そして、シール材除去工具１０を例えば右方向（時計回り方向）に回転させれば、螺旋溝１２の断面が切刃１４となって雄ねじ１６の螺旋溝１８に固着したシール材２０を容易に除去することができる。
【００１９】
図３を参照すると、本発明第２実施形態のシール材除去工具２２の斜視図が示されている。本実施形態のシール材除去工具２２は、シール材が付着した雌ねじに螺合する雄ねじ２３を回転軸心方向に例えば１／４に切断して、雄ねじ２３の螺旋溝２４の断面を露出させて断面に切刃２６を形成したものである。２２ａは雄ねじ２３の切断面である。シール材除去工具２２は、その断面が扇状に形成されている。
【００２０】
本実施形態のシール材除去工具２２で雌ねじの螺旋溝に付着したシール材を除去するには、シール材を除去すべき雌ねじの螺旋溝にシール材除去工具２２を位置づけてシール材除去工具を回転させる。これにより、シール材除去工具２２の螺旋溝２４の断面が切刃２６となり、雌ねじの螺旋溝に固着したシール材を容易に除去することができる。
【符号の説明】
【００２１】
１０ シール材除去工具
１１ 雌ねじ
１２ 螺旋溝（ねじ溝）
１４ 切刃
１６ 雄ねじ（ボルト）
１８ 螺旋溝（ねじ溝）
２０ シール材
２２ シール材除去工具
２３ 雄ねじ
２４ 螺旋溝（ねじ溝）
２６ 切刃
【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体を導く流体導管を連結する連結手の雄ねじに付着したシール材を除去するシール材除去工具であって、
該雄ねじに螺合する雌ねじを回転軸心方向に切断して該雌ねじの螺旋溝の断面を露出させて断面に切刃を形成したことを特徴とするシール材除去工具。
【請求項２】
流体を導く流体導管を連結する連結手の雌ねじに付着したシール材を除去するシール材除去工具であって、
該雌ねじに螺合する雄ねじを回転軸心方向に切断して該雄ねじの螺旋溝の断面を露出させて断面に切刃を形成したことを特徴とするシール材除去工具。
【請求項１】
流体を導く流体導管を連結する連結手の雄ねじに付着したシール材を除去するシール材除去工具であって、
該雄ねじに螺合する雌ねじを回転軸心方向に切断して該雌ねじの螺旋溝の断面を露出させて断面に切刃を形成したことを特徴とするシール材除去工具。
【請求項２】
流体を導く流体導管を連結する連結手の雌ねじに付着したシール材を除去するシール材除去工具であって、
該雌ねじに螺合する雄ねじを回転軸心方向に切断して該雄ねじの螺旋溝の断面を露出させて断面に切刃を形成したことを特徴とするシール材除去工具。
【図１】
【図２】
【図３】
【図２】
【図３】
【公開番号】特開２０１１−２４０４１３（Ｐ２０１１−２４０４１３Ａ）
【公開日】平成２３年１２月１日（２０１１．１２．１）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１０−１１１６４１（Ｐ２０１０−１１１６４１）
【出願日】平成２２年５月１４日（２０１０．５．１４）
【出願人】（０００１３４０５１）株式会社ディスコ (2,397)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２３年１２月１日（２０１１．１２．１）
【国際特許分類】
【出願日】平成２２年５月１４日（２０１０．５．１４）
【出願人】（０００１３４０５１）株式会社ディスコ (2,397)
【Ｆターム（参考）】
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