シール部材
【課題】径が異なるハーネス挿通用穴に対応して装着することができるシール部材を提供する。
【解決手段】仕切り板に設けられたハーネス挿通用穴に装着するシール部材であって、可撓性を有する帯状の装着部と、帯状の装着部と接続された可撓性を有する板状のブーツ形成部とからなり、帯状の装着部には表面側に長手方向に連続して形成されハーネス挿通用穴の内周縁部に嵌合する装着溝が形成されている。
【解決手段】仕切り板に設けられたハーネス挿通用穴に装着するシール部材であって、可撓性を有する帯状の装着部と、帯状の装着部と接続された可撓性を有する板状のブーツ形成部とからなり、帯状の装着部には表面側に長手方向に連続して形成されハーネス挿通用穴の内周縁部に嵌合する装着溝が形成されている。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気機器の仕切り板に設けられたハーネス挿通用の穴に装着するシール部材に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、半導体デバイス製造工程においては、略円板形状である半導体ウエーハの表面に格子状に形成されたストリートと呼ばれる分割予定ラインによって区画された多数の領域にＩＣ、ＬＳＩ等のデバイスを形成し、該デバイスが形成された各領域をストリートに沿って分割することにより個々のデバイスを製造している。半導体ウエーハを分割する分割装置としては一般に切削装置が用いられている。この切削装置は、被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ブレードを備えた切削手段と、チャックテーブルや切削手段等を制御する制御手段を具備している。この切削装置に装備される制御手段は、電装品および冷却用ファンとともに電装ボックスに配設されている。電装ボックスの壁板（仕切り板）にはハーネス挿通用の穴が設けられており、このハーネス挿通用の穴を挿通して電装ボックスに収納された制御手段や電装品等とチャックテーブルや切削手段等を接続するハーネスが配設される。
【０００３】
上述した切削装置においては、チャックテーブルに保持された被加工物を切削手段によって切削する際には切削部に切削水が供給されるため、供給された切削水とともに切削によって生ずる切削屑が飛散する。この飛散した切削水および切削屑が電装ボックスの壁板（仕切り板）に設けられたハーネス挿通用の穴を通して内部に侵入し、制御手段および電装品を汚染するという問題がある。従って、仕切り板に設けられたハーネス挿通用の穴をシールする必要がある。
【０００４】
電気機器における仕切り板に設けられたハーネス挿通用の穴をシールする構造としては、仕切り板に設けられたハーネス挿通用の穴の周縁部に嵌合する装着部を備えた筒状のシールが一般に用いられている。（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００１−２３０５６５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
而して、筒状のシールはハーネス挿通用穴の径に対応して専用に製作する必要があり、径が異なるハーネス挿通用穴には装着することができないという問題がある。
【０００６】
本発明は上記事実に鑑みてなされたものであり、その主たる技術的課題は、径が異なるハーネス挿通用穴であっても、ハーネス挿通用穴の径に対応した大きさのシールを形成することができるシール部材を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記主たる技術課題を解決するため、本発明によれば、仕切り板に設けられたハーネス挿通用穴に装着するシール部材であって、
可撓性を有する帯状の装着部と、該帯状の装着部と接続された可撓性を有する板状のブーツ形成部とからなり、該帯状の装着部には表面側に長手方向に連続して形成され該ハーネス挿通用穴の内周縁に嵌合する装着溝が形成されている、
ことを特徴とするシール部材が提供される。
【０００８】
上記帯状の装着部には、表面側から長手方向に所定の間隔で複数の切り込み溝が形成されていることが望ましい。
また、上記板状のブーツ形成部は複数のブーツ形成片からなり、該複数のブーツ形成片は両側部が互いに重合して配設されている。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によるシール部材は可撓性を有する帯状の装着部と、該帯状の装着部と接続された可撓性を有する板状のブーツ形成部とからなり、帯状の装着部には表面側に長手方向に連続して形成されハーネス挿通用穴の内周縁部に嵌合する装着溝が形成されているので、ハーネス挿通用穴の内周長に対応した長さに切断して丸め筒状にすることによりハーネス挿通用穴に装着することができるため、径が異なるハーネス挿通用穴に対応することができる。
また、本発明によるシール部材は上記のように構成され、ハーネスを包囲して丸めることができるので、仕切り板に設けられたハーネス挿通用穴にハーネスを挿通した後にシール部材を仕切り板に設けられたハーネス挿通用穴に装着することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、本発明に従って構成されたシール部材の好適な実施形態について、添付図面を参照して、更に詳細に説明する。
【００１１】
図１には、本発明に従って構成されたシール部材の一実施形態の斜視図が示されている。図１に示すシール部材２は、可撓性を有する帯状の装着部２１と、該帯状の装着部２１と接続して形成された可撓性を有する板状のブーツ形成部２２とからなっている。帯状の装着部２１は、その厚みが板状のブーツ形成部２２の厚みより厚くに形成され、板状のブーツ形成部２２の表面２２aより突出して形成されている。この帯状の装着部２１には、表面２１a側に長手方向に連続して形成された装着溝２１１が設けられている。この装着溝２１１は、後述するように仕切り板に設けられたハーネス挿通用穴の内周縁部に嵌合する幅寸法を有している。また、帯状の装着部２１には、表面２１a側から長手方向に所定の間隔で複数の切り込み溝２１２が形成されている。このように形成された帯状の装着部２１と該帯状の装着部２１と接続して形成された板状のブーツ形成部２２とからなるシール部材２は、図示に実施形態においてはゴム材によって一体成型されている。
【００１２】
図１に示すシール部材２は以上のように構成されており、図２に示す仕切り板３（例えば切削装置を構成する制御手段や電装品および冷却用ファンを収納する電装ボックスの壁板を構成する仕切り板）に設けられたハーネス挿通用穴３１に装着する手順について説明する。
先ず、図１に示すシール部材２をハーネス挿通用穴３１の内周長に対応した長さ、例えば図１において２点鎖線で示す位置で切断する。このように所定の長さに切断したシール部材２は、帯状の装着部２１の表面２１aおよびブーツ形成部２２の表面２２aが外面となるように丸めると、図３に示すように筒状となる。このとき、帯状の装着部２１には表面２１a側に長手方向に所定の間隔で複数の切り込み溝２１２が設けられているので、シール部材２を容易に丸めて筒状にすることができる。このようにシール部材２を筒状にしたならば、図４に示すように帯状の装着部２１に形成された装着溝２１１を仕切り板３に設けられたハーネス挿通用穴３１の内周縁部に嵌合することにより、シール部材２を仕切り板３に設けられたハーネス挿通用穴３１に装着することができる。なお、ハーネス挿通用穴３１の内周縁部に嵌合した帯状の装着部２１の装着溝２１１の側面を接着剤により仕切り板３に接着することにより、シール性を向上することができる。
【００１３】
上述したようにシール部材２を仕切り板３に設けられたハーネス挿通用穴３１に装着したならば、筒状に形成されたシール部材２にハーネス４を挿通する。なお、シール部材２はハーネス４を包囲して丸めることができるので、仕切り板３に設けられたハーネス挿通用穴３１にハーネス４を挿通した後にシール部材２を仕切り板３に設けられたハーネス挿通用穴３１に装着することができる。このようにして、シール部材２を仕切り板３に設けられたハーネス挿通用穴３１に装着したならば、図５に示すようにブーツ形成部２２をバンド５によって結束することによりシール性を向上することができる。従って、シール部材２を用いた上記構成を切削装置に装備される制御手段や電装品および冷却用ファンを収納する電装ボックスの壁板を構成する仕切り板に設けられたハーネス挿通用穴に適用することにより、切削時に飛散した切削水および切削屑が電装ボックスの壁板（仕切り板）に設けられたハーネス挿通用の穴を通して内部に侵入することを確実に防止することができる。
【００１４】
次に、本発明に従って構成されたシール部材の第２の実施形態について、図６乃至図８を参照して説明する。第２の実施形態におけるシール部材６は、可撓性を有する帯状の装着部６１と可撓性を有する板状のブーツ形成部６２が別体で形成されている。帯状の装着部６１には、表面６１a側に長手方向に連続して形成された装着溝６１１が設けられているとともに、表面６１a側から長手方向に所定の間隔で複数の切り込み溝６１２が形成されている。また、帯状の装着部６１には、裏面６１b側の側面にブーツ形成部取り付け片６１３が長手方向に沿って設けられている。板状のブーツ形成部６２は、複数のブーツ形成片６２０からなっている。この複数のブーツ形成片６２０は、両側部が互いに重合した状態で一端部が上記帯状の装着部６１のブーツ形成部取り付け片６１３に取り付けられる。即ち、帯状の装着部６１のブーツ形成部取り付け片６１３の表面に複数のブーツ形成片６２０の一端部を重ね接着剤によって接合するとともに、ミシン縫製６３をすることにより強固に固着する。
【００１５】
以上のように構成された第２の実施形態におけるシール部材６は、上記シール部材２と同様にハーネス挿通用穴３１の内周長に対応した長さに切断して、仕切り板に設けられたハーネス挿通用穴に上記シール部材２と同様に装着する。第２の実施形態におけるシール部材６は、板状のブーツ形成部６２が複数のブーツ形成片６２０からなっているので、図９に示すように複数のハーネス４の一部を両側部が互いに重合されたブーツ形成片６２０の間から取り出すことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明に従って構成されたシール部材の第１の実施形態を示す斜視図。
【図２】シール部材を装着するハーネス挿通用穴を備えた仕切り板の要部斜視図。
【図３】図１に示すシール部材を円筒状に形成した状態を示す斜視図。
【図４】図１に示すシール部材を図２に示す仕切り板のハーネス挿通用穴に装着した状態を示す断面図。
【図５】図１に示すシール部材を図２に示す仕切り板のハーネス挿通用穴に装着した状態を示す斜視図。
【図６】本発明に従って構成されたシール部材の第２の実施形態を示す平面図。
【図７】図６に示すシール部材の正面図。
【図８】図６に示すシール部材の側面図。
【図９】図６に示すシール部材を仕切り板のハーネス挿通用穴に装着した状態を示す斜視図。
【符号の説明】
【００１７】
２：シール部材
２１：帯状の装着部
２１１：装着溝
２１２：切り込み溝
２２：ブーツ形成部
３：仕切り板
３１：ハーネス挿通用穴
４：ハーネス
５：バンド
６：シール部材
６１：帯状の装着部
６１１：装着溝
６１２：切り込み溝
６１３：ブーツ形成部取り付け片
６２：ブーツ形成部
６２０：ブーツ形成片
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気機器の仕切り板に設けられたハーネス挿通用の穴に装着するシール部材に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、半導体デバイス製造工程においては、略円板形状である半導体ウエーハの表面に格子状に形成されたストリートと呼ばれる分割予定ラインによって区画された多数の領域にＩＣ、ＬＳＩ等のデバイスを形成し、該デバイスが形成された各領域をストリートに沿って分割することにより個々のデバイスを製造している。半導体ウエーハを分割する分割装置としては一般に切削装置が用いられている。この切削装置は、被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ブレードを備えた切削手段と、チャックテーブルや切削手段等を制御する制御手段を具備している。この切削装置に装備される制御手段は、電装品および冷却用ファンとともに電装ボックスに配設されている。電装ボックスの壁板（仕切り板）にはハーネス挿通用の穴が設けられており、このハーネス挿通用の穴を挿通して電装ボックスに収納された制御手段や電装品等とチャックテーブルや切削手段等を接続するハーネスが配設される。
【０００３】
上述した切削装置においては、チャックテーブルに保持された被加工物を切削手段によって切削する際には切削部に切削水が供給されるため、供給された切削水とともに切削によって生ずる切削屑が飛散する。この飛散した切削水および切削屑が電装ボックスの壁板（仕切り板）に設けられたハーネス挿通用の穴を通して内部に侵入し、制御手段および電装品を汚染するという問題がある。従って、仕切り板に設けられたハーネス挿通用の穴をシールする必要がある。
【０００４】
電気機器における仕切り板に設けられたハーネス挿通用の穴をシールする構造としては、仕切り板に設けられたハーネス挿通用の穴の周縁部に嵌合する装着部を備えた筒状のシールが一般に用いられている。（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００１−２３０５６５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
而して、筒状のシールはハーネス挿通用穴の径に対応して専用に製作する必要があり、径が異なるハーネス挿通用穴には装着することができないという問題がある。
【０００６】
本発明は上記事実に鑑みてなされたものであり、その主たる技術的課題は、径が異なるハーネス挿通用穴であっても、ハーネス挿通用穴の径に対応した大きさのシールを形成することができるシール部材を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記主たる技術課題を解決するため、本発明によれば、仕切り板に設けられたハーネス挿通用穴に装着するシール部材であって、
可撓性を有する帯状の装着部と、該帯状の装着部と接続された可撓性を有する板状のブーツ形成部とからなり、該帯状の装着部には表面側に長手方向に連続して形成され該ハーネス挿通用穴の内周縁に嵌合する装着溝が形成されている、
ことを特徴とするシール部材が提供される。
【０００８】
上記帯状の装着部には、表面側から長手方向に所定の間隔で複数の切り込み溝が形成されていることが望ましい。
また、上記板状のブーツ形成部は複数のブーツ形成片からなり、該複数のブーツ形成片は両側部が互いに重合して配設されている。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によるシール部材は可撓性を有する帯状の装着部と、該帯状の装着部と接続された可撓性を有する板状のブーツ形成部とからなり、帯状の装着部には表面側に長手方向に連続して形成されハーネス挿通用穴の内周縁部に嵌合する装着溝が形成されているので、ハーネス挿通用穴の内周長に対応した長さに切断して丸め筒状にすることによりハーネス挿通用穴に装着することができるため、径が異なるハーネス挿通用穴に対応することができる。
また、本発明によるシール部材は上記のように構成され、ハーネスを包囲して丸めることができるので、仕切り板に設けられたハーネス挿通用穴にハーネスを挿通した後にシール部材を仕切り板に設けられたハーネス挿通用穴に装着することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、本発明に従って構成されたシール部材の好適な実施形態について、添付図面を参照して、更に詳細に説明する。
【００１１】
図１には、本発明に従って構成されたシール部材の一実施形態の斜視図が示されている。図１に示すシール部材２は、可撓性を有する帯状の装着部２１と、該帯状の装着部２１と接続して形成された可撓性を有する板状のブーツ形成部２２とからなっている。帯状の装着部２１は、その厚みが板状のブーツ形成部２２の厚みより厚くに形成され、板状のブーツ形成部２２の表面２２aより突出して形成されている。この帯状の装着部２１には、表面２１a側に長手方向に連続して形成された装着溝２１１が設けられている。この装着溝２１１は、後述するように仕切り板に設けられたハーネス挿通用穴の内周縁部に嵌合する幅寸法を有している。また、帯状の装着部２１には、表面２１a側から長手方向に所定の間隔で複数の切り込み溝２１２が形成されている。このように形成された帯状の装着部２１と該帯状の装着部２１と接続して形成された板状のブーツ形成部２２とからなるシール部材２は、図示に実施形態においてはゴム材によって一体成型されている。
【００１２】
図１に示すシール部材２は以上のように構成されており、図２に示す仕切り板３（例えば切削装置を構成する制御手段や電装品および冷却用ファンを収納する電装ボックスの壁板を構成する仕切り板）に設けられたハーネス挿通用穴３１に装着する手順について説明する。
先ず、図１に示すシール部材２をハーネス挿通用穴３１の内周長に対応した長さ、例えば図１において２点鎖線で示す位置で切断する。このように所定の長さに切断したシール部材２は、帯状の装着部２１の表面２１aおよびブーツ形成部２２の表面２２aが外面となるように丸めると、図３に示すように筒状となる。このとき、帯状の装着部２１には表面２１a側に長手方向に所定の間隔で複数の切り込み溝２１２が設けられているので、シール部材２を容易に丸めて筒状にすることができる。このようにシール部材２を筒状にしたならば、図４に示すように帯状の装着部２１に形成された装着溝２１１を仕切り板３に設けられたハーネス挿通用穴３１の内周縁部に嵌合することにより、シール部材２を仕切り板３に設けられたハーネス挿通用穴３１に装着することができる。なお、ハーネス挿通用穴３１の内周縁部に嵌合した帯状の装着部２１の装着溝２１１の側面を接着剤により仕切り板３に接着することにより、シール性を向上することができる。
【００１３】
上述したようにシール部材２を仕切り板３に設けられたハーネス挿通用穴３１に装着したならば、筒状に形成されたシール部材２にハーネス４を挿通する。なお、シール部材２はハーネス４を包囲して丸めることができるので、仕切り板３に設けられたハーネス挿通用穴３１にハーネス４を挿通した後にシール部材２を仕切り板３に設けられたハーネス挿通用穴３１に装着することができる。このようにして、シール部材２を仕切り板３に設けられたハーネス挿通用穴３１に装着したならば、図５に示すようにブーツ形成部２２をバンド５によって結束することによりシール性を向上することができる。従って、シール部材２を用いた上記構成を切削装置に装備される制御手段や電装品および冷却用ファンを収納する電装ボックスの壁板を構成する仕切り板に設けられたハーネス挿通用穴に適用することにより、切削時に飛散した切削水および切削屑が電装ボックスの壁板（仕切り板）に設けられたハーネス挿通用の穴を通して内部に侵入することを確実に防止することができる。
【００１４】
次に、本発明に従って構成されたシール部材の第２の実施形態について、図６乃至図８を参照して説明する。第２の実施形態におけるシール部材６は、可撓性を有する帯状の装着部６１と可撓性を有する板状のブーツ形成部６２が別体で形成されている。帯状の装着部６１には、表面６１a側に長手方向に連続して形成された装着溝６１１が設けられているとともに、表面６１a側から長手方向に所定の間隔で複数の切り込み溝６１２が形成されている。また、帯状の装着部６１には、裏面６１b側の側面にブーツ形成部取り付け片６１３が長手方向に沿って設けられている。板状のブーツ形成部６２は、複数のブーツ形成片６２０からなっている。この複数のブーツ形成片６２０は、両側部が互いに重合した状態で一端部が上記帯状の装着部６１のブーツ形成部取り付け片６１３に取り付けられる。即ち、帯状の装着部６１のブーツ形成部取り付け片６１３の表面に複数のブーツ形成片６２０の一端部を重ね接着剤によって接合するとともに、ミシン縫製６３をすることにより強固に固着する。
【００１５】
以上のように構成された第２の実施形態におけるシール部材６は、上記シール部材２と同様にハーネス挿通用穴３１の内周長に対応した長さに切断して、仕切り板に設けられたハーネス挿通用穴に上記シール部材２と同様に装着する。第２の実施形態におけるシール部材６は、板状のブーツ形成部６２が複数のブーツ形成片６２０からなっているので、図９に示すように複数のハーネス４の一部を両側部が互いに重合されたブーツ形成片６２０の間から取り出すことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明に従って構成されたシール部材の第１の実施形態を示す斜視図。
【図２】シール部材を装着するハーネス挿通用穴を備えた仕切り板の要部斜視図。
【図３】図１に示すシール部材を円筒状に形成した状態を示す斜視図。
【図４】図１に示すシール部材を図２に示す仕切り板のハーネス挿通用穴に装着した状態を示す断面図。
【図５】図１に示すシール部材を図２に示す仕切り板のハーネス挿通用穴に装着した状態を示す斜視図。
【図６】本発明に従って構成されたシール部材の第２の実施形態を示す平面図。
【図７】図６に示すシール部材の正面図。
【図８】図６に示すシール部材の側面図。
【図９】図６に示すシール部材を仕切り板のハーネス挿通用穴に装着した状態を示す斜視図。
【符号の説明】
【００１７】
２：シール部材
２１：帯状の装着部
２１１：装着溝
２１２：切り込み溝
２２：ブーツ形成部
３：仕切り板
３１：ハーネス挿通用穴
４：ハーネス
５：バンド
６：シール部材
６１：帯状の装着部
６１１：装着溝
６１２：切り込み溝
６１３：ブーツ形成部取り付け片
６２：ブーツ形成部
６２０：ブーツ形成片
【特許請求の範囲】
【請求項１】
仕切り板に設けられたハーネス挿通用穴に装着するシール部材であって、
可撓性を有する帯状の装着部と、該帯状の装着部と接続された可撓性を有する板状のブーツ形成部とからなり、該帯状の装着部には表面側に長手方向に連続して形成され該ハーネス挿通用穴の内周縁部に嵌合する装着溝が形成されている、
ことを特徴とするシール部材。
【請求項２】
該帯状の装着部には、表面側から長手方向に所定の間隔で複数の切り込み溝が形成されている、請求項１記載のシール部材。
【請求項３】
該板状のブーツ形成部は複数のブーツ形成片からなり、該複数のブーツ形成片は両側部が互いに重合して配設されている、請求項１又は２記載のシール部材。
【請求項１】
仕切り板に設けられたハーネス挿通用穴に装着するシール部材であって、
可撓性を有する帯状の装着部と、該帯状の装着部と接続された可撓性を有する板状のブーツ形成部とからなり、該帯状の装着部には表面側に長手方向に連続して形成され該ハーネス挿通用穴の内周縁部に嵌合する装着溝が形成されている、
ことを特徴とするシール部材。
【請求項２】
該帯状の装着部には、表面側から長手方向に所定の間隔で複数の切り込み溝が形成されている、請求項１記載のシール部材。
【請求項３】
該板状のブーツ形成部は複数のブーツ形成片からなり、該複数のブーツ形成片は両側部が互いに重合して配設されている、請求項１又は２記載のシール部材。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【公開番号】特開２０１０−１４７３７８（Ｐ２０１０−１４７３７８Ａ）
【公開日】平成２２年７月１日（２０１０．７．１）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００８−３２５３３８（Ｐ２００８−３２５３３８）
【出願日】平成２０年１２月２２日（２００８．１２．２２）
【出願人】（０００１３４０５１）株式会社ディスコ (2,397)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２２年７月１日（２０１０．７．１）
【国際特許分類】
【出願日】平成２０年１２月２２日（２００８．１２．２２）
【出願人】（０００１３４０５１）株式会社ディスコ (2,397)
【Ｆターム（参考）】
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