スキージ観察装置及びスキージ観察方法
【課題】基板上にソルダーペーストを印刷するスキージのスキージング中における撓り状態を、精度良く検証することの可能な技術を提供する。
【解決手段】透明な平板材と、平板材の上面に接するようにスキージを保持し、スキージを平板材の上面に沿ってスキージングさせるスキージ駆動手段と、平板材の下方に配置されており、スキージング中のスキージを、平板材を透して撮像する撮像手段と、を備える。スキージのうち、スキージング中の進行方向側に面するスキージ面には、スキージの撓りに応じて変形する所定の模様が設けられている。
【解決手段】透明な平板材と、平板材の上面に接するようにスキージを保持し、スキージを平板材の上面に沿ってスキージングさせるスキージ駆動手段と、平板材の下方に配置されており、スキージング中のスキージを、平板材を透して撮像する撮像手段と、を備える。スキージのうち、スキージング中の進行方向側に面するスキージ面には、スキージの撓りに応じて変形する所定の模様が設けられている。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、スキージ観察装置及びスキージ観察方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子部品の表面実装工程において、基板上にクリーム半田（以下、「ソルダーペースト」ともいう。）を供給する方法として、スクリーン印刷が知られている。この印刷方法は、印刷対象部位に応じて印刷開口が形成されたマスクプレートを基板上に配置し、マスクプレートの上面に沿ってスキージをスキージングさせることで、印刷開口を介して基板上にソルダーペーストを印刷（転写）する。
【０００３】
近年、中・大型電子部品と小型の電子部品とを混載実装するケースが増えている。小型電子部品に対応する印刷開口は版厚に対する開口寸法が相対的に小さくなり易い。その結果、印刷開口にソルダーペーストが適切に充填されず、印刷開口寸法に見合う適切な量のソルダーペーストを充填することが難しい。
【０００４】
また、スキージング動作中のスキージには撓り（しなり）が生じ、この撓りはスキージの長手方向（スキージ方向と直交する方向）において一様とならない場合がある。例えば、スキージの中央部を保持してスキージングさせる場合、スキージの中央部に比べて両端部の撓り度合いが大きくなる傾向がある。このように、スキージの長手方向における撓り状態が異なると、印刷開口へのソルダーペーストの充填量がばらつく要因になる。
【０００５】
一方、スクリーン印刷における印刷条件のパラメータは多種に及ぶため、印刷条件パラメータの条件選定は容易でない。スクリーン印刷を行う際の最適な印刷条件を選定するための観察装置として、被印刷物として透過性を有する基板を使用し、印刷開口に充填されるソルダーペーストの充填過程を撮像カメラによって基板を透して撮像する技術が知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００５−１６７１１１号公報
【特許文献２】特開２００４−１５５４号公報
【特許文献３】特許第２９８２６１７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、印刷開口へのソルダーペーストの充填状態を観察しても、スキージの撓り状態まで把握することは困難である。したがって、スキージの撓り度合いを考慮したソルダーペーストの最適な印刷条件を見出すことが困難であった。本件は、上記の問題点に鑑みてなされたものであり、基板上にソルダーペーストを印刷するスキージのスキージング中における撓り状態を、精度良く検証することの可能な技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本件の一観点によるスキージ観察装置は、透明な平板材と、前記平板材の上面に接するようにスキージを保持し、前記スキージを前記平板材の上面に沿ってスキージングさせるスキージ駆動手段と、前記平板材の下方に配置されており、前記スキージング中の前記スキージを、前記平板材を透して撮像する撮像手段と、を備え、前記スキージのうち、前記
スキージング中の進行方向側に面するスキージ面には、前記スキージの撓りに応じて変形する所定の模様が設けられている。
【発明の効果】
【０００９】
本件によれば、基板上にソルダーペーストを印刷するスキージのスキージング中における撓り状態を、精度良く検証することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】ソルダーペーストのスクリーン印刷を説明する説明図である。
【図２】スキージング中のスキージの状態を説明する説明図である。
【図３】スキージング中におけるスキージ先端側の部分拡大図である。
【図４】スキージング開始前及び開始後におけるスキージの状態を表す図である。
【図５】実施形態１に係るスキージ観察装置の概略構成図である。
【図６】スキージの第１構成例を示す図である。
【図７】第１及び第２カメラとスキージとの相対的な位置関係を模式的に示す図である。
【図８】撓り検証処理における各装置の動作内容を説明する説明図である。
【図９】初期状態とスキージング状態において、スキージ面をガラス基板の下方から眺めた図である。
【図１０】表示装置の画面を例示した図である。
【図１１Ａ】印刷条件パラメータの選定方法に係る手順を示すフローチャートである。
【図１１Ｂ】印刷条件パラメータの選定方法に係る手順を示すフローチャートである。
【図１２】スクリーン印刷において、スキージング後の状況と版離れ後の状況を説明する説明図である。
【図１３】スキージの第２構成例を示す図である。
【図１４】第２構成例に係るスキージのスキージ画像を表示装置に表示させた図である。
【図１５】スキージの第３構成例を示す図である。
【図１６】第３構成例に係るスキージのスキージ画像を表示装置に表示させた図である。
【図１７】スキージの第４構成例を示す図である。
【図１８】第４構成例に係るスキージのスキージ画像を表示装置に表示させた図である。
【図１９】第５構成例に係るスキージ及びバックアッププレートの斜視図である。
【図２０】第５構成例に係るスキージの撓り度合いの検証方法を説明する説明図である。
【図２１】強調平行表示線２１ａの移動量Ｄｔと撓りスキージ角度θｓとの関係を示す図である。
【図２２】実施形態３に係るスキージ観察装置を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、図面を参照して、発明を実施するための形態（以下、実施形態という。）に係るスキージ観察装置、及びスキージ観察方法について例示的に詳しく説明する。
【００１２】
＜実施形態１＞
図１は、ソルダーペーストのスクリーン印刷を説明する説明図である。図２は、スキージング中のスキージの状態を説明する説明図である。スクリーン印刷は、例えば、プリント基板１０１の上面にマスクプレート（印刷版）１０２を配置した状態で行われる。マス
クプレート１０２には、プリント基板１０１の上面に形成されたフットパターン１０１ａに対応する印刷開口１０２ａが形成されており、印刷開口１０２ａを通じてフットパターン１０１ａが露出するようにマスクプレート１０２が位置決めされている。マスクプレート１０２を作製する材料としては、例えばステンレス（ＳＵＳ）、ニッケル（Ｎｉ）等を挙げることができる。
【００１３】
スキージ２は平板状を呈しており、例えば、ステンレス、ウレタン、プラスチック等を材料として用いることができる。スキージ２は、スキージホルダ１０３に着脱自在に装着されている。スキージホルダ１０３は、スキージ２とマスクプレート１０２の上面とがなす角度（以下、「初期スキージ角度」という。）θｉを調整可能に、スキージ２を把持する構造となっている。図中の符号１０４は、バックアッププレートを表す。バックアッププレート１０４は、スキージ２がスキージホルダ１０３から片持ち状態で下方に延出する長さ（以下、「スキージ有効長」という。）Ｌｓを規定する機能を有する。スキージホルダ１０３に対するバックアッププレート１０４の装着位置を変更したり、使用するバックアッププレート１０４そのものを交換することにより、スキージ有効長を変更することができる。その結果、スキージ２の可撓性を調整することが可能となる。
【００１４】
スキージホルダ１０３は、駆動装置（不図示）によってマスクプレート１０２の上面に沿って駆動される。スキージホルダ１０３が駆動されることにより、スキージ２の先端縁部２ａがマスクプレート１０２の上面に当接しつつ、マスクプレート１０２の上面に沿って移動するスキージング動作が行われる。マスクプレート１０２の上面にソルダーペースト１０５を載置した状態でスキージ２をスキージングさせると、ソルダーペースト１０５がスキージ２の先端縁部２ａによって印刷開口１０２ａへと押し込まれる。これにより、プリント基板１０１のフットパターン１０１ａ上にソルダーペースト１０５が転写される。その後、プリント基板１０１からマスクプレート１０２を引き離すことで、ソルダーペースト１０５のスクリーン印刷が完了する。
【００１５】
図１及び図２に示す符号Ｄｓは、スキージング中におけるスキージ２の進行方向（以下、「スキージ方向」という。）を表す。両図から判るように、スキージング中におけるスキージ２は、先端縁部２ａがマスクプレート１０２と当接した状態で移動するため、撓った状態に維持される。図３は、スキージング中におけるスキージ先端側の部分拡大図である。スキージングの際、スキージ２における先端縁部２ａ及びその周辺部は撓るため、先端縁部２ａ及びその周辺部とマスクプレート１０２の上面とがなす角度（以下、「撓りスキージ角度」という。）θｓが、初期スキージ角度θｉよりも小さな角度となる。
【００１６】
スクリーン印刷時において、マスクプレート１０２の印刷開口１０２ａにソルダーペースト１０５を押し込む作用は、スキージ２のしなり強度、及び撓りスキージ角度θｓの寄与する度合いが大きい。スキージ２のしなり強度は、撓った状態の先端縁部２ａを元の状態に復元しようとする復元力であり、スキージング中においてスキージ２をマスクプレート１０２の上面に押し付ける印刷圧（以下、「スキージ圧」という。）の影響を主に受ける。
【００１７】
一方、撓りスキージ角度θｓは、スキージ２の材質や厚さによって適正範囲が定まっている。しかしながら、撓りスキージ角度θｓは、初期スキージ角度θｉ、スキージ２の材質・厚さ、スキージ有効長Ｌｓ、スキージ速度、スキージ圧（印刷圧）等、他種の因子の影響を受けるため、適正度を検証することが難しい。更に、スキージングの際にスキージホルダ１０３を駆動するための機構は、スキージホルダ１０３（スキージ２）の長手方向（図２中、符号Ｄｗで表す。）における特定部位（例として、中央部）に駆動力を作用させる構造が広く採用されている。そうすると、図４に示すように、スキージング中における端部２ｃの撓り量（撓り度合い）が、中央部２ｂに比べて大きくなる傾向がある。
【００１８】
図４において、左図はスキージングの開始前におけるスキージ２の状態を表し、右図はスキージング中におけるスキージ２の状態を表す。何れの図においても、スキージ２を上部から眺めた状態を示している。図４の右図に示すように、スキージ２の長手方向Ｄｗに関して、スキージング中における撓り量が相違すると、印刷開口１０２ａに対するソルダーペースト１０４の充填量（供給量、転写量）のばらつきを招く要因となる。
【００１９】
そこで本実施形態では、スクリーン印刷時におけるソルダーペースト１０５の最適な印刷条件を見出すために、スキージ観察装置１によって、スキージング中におけるスキージ２の撓り状態を観察し、撓りスキージ角度θｓの適正度を検証する。以下、スキージ観察装置１について詳しく説明する。
【００２０】
〈スキージ観察装置の構成〉
図５は、スキージ観察装置１の概略構成図である。スキージ観察装置１は、上方に開口する箱状の印刷台３、印刷台３を昇降駆動する印刷台駆動部４、印刷台３の上方に配設されたスキージヘッド部５を印刷台３と平行に往復駆動するスキージ駆動部６等を有する。
【００２１】
印刷台３の開口部３ａには支持枠３ｂが配設されており、支持枠３ｂに透明な平板状であるガラス基板７が取り付けられている。ガラス基板７は、不図示のクランパを介して支持枠３ｂに固定されている。印刷台駆動部４は、例えば、印刷台３の底部３ｃに接続されたパルスモータ４ａを有しており、このパルスモータ４ａを用いて印刷台３を昇降駆動することができる。尚、支持枠３ｂに取り付ける部材は、ガラス基板７に限定されるものではなく、透明な平板材であれば他の部材を採用しても良い。ガラス基板７は透明な平板材の一例として挙げられる。
【００２２】
スキージ駆動部６は、例えばサーボモータ６ａ、サーボモータ６ａにより回転駆動されるスキージ駆動軸６ｂ、及び、スキージ駆動軸６ｂに嵌装されたスキージ駆動ブロック６ｃ等を有する。スキージ駆動軸６ｂの外周面にはネジ加工が施されており、スキージ駆動ブロック６ｃはスキージ駆動軸６ｂのネジに係合している。サーボモータ６ａによってスキージ駆動軸６ｂが回転駆動されると、スキージ駆動軸６ｂに嵌装されているスキージ駆動ブロック６ｃが、スキージ駆動軸６ｂの軸方向に沿って駆動する。スキージ駆動部６はスキージ駆動手段の一例として挙げられる。
【００２３】
スキージヘッド部５は、スキージ２を保持（把持）するスキージホルダ１０３、バックアッププレート１０４、スキージ駆動ブロック６ｃ及びスキージホルダ１０３の間に介在するスキージ圧駆動機構９等を有する。スキージ２、スキージホルダ１０３、及びバックアッププレート１０４は、図１〜４を参照して説明した通りである。スキージ圧駆動機構９は、例えば空気圧シリンダ機構を有しており、空気圧シリンダ機構の空気圧を調節することにより、スキージ２をガラス基板７に押し付ける圧力であるスキージ圧を調整できる。
【００２４】
また、ガラス基板７の下方（具体的には印刷台３の底部３ｃ）には２台のカメラ（以下、第１カメラ、第２カメラとする。）１０ａ，１０ｂが設置されている。第１及び第２カメラ１０ａ，１０ｂは、スキージホルダ１０３に保持されているスキージ２の長手方向Ｄｗ（図４を参照）に所定の距離だけ離れた状態で並設されている固定式カメラである。第１及び第２カメラ１０ａ，１０ｂは、撮像手段の一例として挙げられる。
【００２５】
更に、スキージ観察装置１は、制御装置１１、表示装置１２、ハードディスク装置等の記録装置１３等を備えている。制御装置１１は、図示しない中央処理装置(ＣＰＵ)、ＲＯＭやＲＡＭ等のメモリを有しており、スキージ観察装置１の全体動作を制御する。制御装
置１１には、印刷台駆動部４のパルスモータ４ａ、スキージ駆動部６のサーボモータ６ａ、スキージ圧駆動機構９、第１カメラ１０ａ、第２カメラ１０ｂ等が電気配線を介して接続されており、各装置が制御装置１１によって制御される。また、制御装置１１には、表示装置１２及び記録装置１３が電気配線を介して接続されている。
【００２６】
〈スキージの第１構成例〉
図６は、本実施形態におけるスキージ２の第１構成例を示す図である。図６は、スキージ２のスキージ面２ｄを正面として眺めた状態を示している。スキージ２のスキージ面２ｄとは、スキージ２を形成する面のうち、スキージング中における進行方向（スキージ方向）に向かって前方に位置する面を指す。ここでいうスキージ２のスキージングとは、後述する撓り検証処理において、スキージ２の先端縁部２ａがガラス基板７の上面に当接しつつ、ガラス基板７の上面に沿って移動する動作を指す。
【００２７】
スキージ２のスキージ面２ｄには、所定の模様（パターン）が付与されている。スキージ面２ｄに設けられた模様は、スキージ２のスキージング中に第１カメラ１０ａ、第２カメラ１０ｂによって撮像される。スキージ２は、スキージングを開始することによって撓るため、スキージ面２ｄに設けた模様も変形することになる。スキージ観察装置１では、第１カメラ１０ａ、第２カメラ１０ｂによって、スキージ面２ｄの変形を捉えることによって、スキージ２の撓り状態の検証や撓りスキージ角度θｓの取得を実現する。
【００２８】
スキージ２のスキージ面２ｄには、所定の模様として、先端縁部２ａと平行な複数の表示線（以下、「平行表示線」という。）２１が設けられている。平行表示線２１は、複数（２本以上）であれば、その本数は何ら限定されない。各平行表示線２１の表示間隔は、等間隔となっている。例えば、図６に示す例では、各平行表示線２１の表示間隔を１ｍｍとしているが、他の値を採用しても良い。また、平行表示線２１の幅は、例えば０．１〜０．２ｍｍ程度としているが、これに限定されるものではない。平行表示線２１をスキージ面２ｄに表示させる手法としては、インク等を用いて平行表示線２１を印刷しても良いし、スキージ面２ｄに傷をつけて平行表示線２１を描くケガキ加工を施しても良い。このケガキ加工においては、加工深さを５０μｍ以下とするのが好ましい。また、平行表示線２１を印刷したシール等をスキージ２のスキージ面２ｄに貼り付けても良い。
【００２９】
〈撓り検証処理〉
以上のように構成されるスキージ観察装置１では、制御装置１１によって撓り検証処理が行われる。この撓り検証処理では、概略、ガラス基板７に沿ってスキージ２をスキージングさせ、スキージング中におけるスキージ２の撮像結果を用いて撓りスキージ角度θｓを検証する。撓り検証処理は、スキージ圧、スキージ速度等が設定されたスキージングプログラムに基づき、制御装置１１が印刷台駆動部４、スキージ駆動部６、スキージ圧駆動機構９等を制御することで実行することができる。撓り検証処理を実行する際、初期スキージ角度θｉの初期値は６０°に設定されている。初期スキージ角度θｉの定義は既述の通りである。但し、スキージ観察装置１でいう初期スキージ角度θｉとは、スキージ２が初期位置にある状態でのスキージ面２ｄとガラス基板７の上面とがなす角度を指す。また、初期スキージ角度θｉの初期値として６０°を採用したのは例示的なものであり、適宜変更しても構わない。
【００３０】
撓り検証処理にあたって、スキージ２の先端縁部２ｄをガラス基板７の上面に押し当てるスキージ圧は、スキージ圧駆動機構９によって調節される。また、スキージ２のスキージ方向Ｄｓに沿ったスキージング動作は、スキージ駆動部６によってスキージ駆動軸６ｂを回転駆動することで実現される。
【００３１】
次に、撓り検証処理において、第１カメラ１０ａ及び第２カメラ１０ｂがスキージ２の
スキージ面２ｄを撮像する態様を説明する。図７は、第１及び第２カメラ１０ａ，１０ｂとスキージ２との相対的な位置関係を模式的に示す図である。図７には、上述したスキージ２の長手方向Ｄｗ及びスキージ方向Ｄｓを示している。また、図７には、スキージ２を上部から眺めた状態が示されており、ガラス基板７の作図は割愛している。
【００３２】
図７に示すように、第１カメラ１０ａは、スキージング中におけるスキージの端部２ｃが、第１カメラ１０ａの上方を通過する位置に配置されている。一方、第２カメラ１０ｂは、スキージング中におけるスキージの中央部２ｂが、当該第２カメラ１０ｂの上方を通過する位置に配置されている。撓り検証処理では、スキージ２のスキージングに際して、スキージ２の端部２ｃを第１カメラ１０ａによって撮像し、スキージ２の中央部２ｂを第２カメラ１０ｂによって撮像する。尚、制御装置１１は、第１カメラ１０ａ及び第２カメラ１０ｂが撮像した画像（以下、「スキージ画像」という。）のデータを受け取り、スキージ画像を表示装置１２に表示させたり、記録装置１３に記録することができる。
【００３３】
図８は、撓り検証処理における各装置の動作内容を説明する説明図である。撓り検証処理が開始されると、制御装置１１は、まず、スキージ方向Ｄｓにおけるスキージ２の位置が初期位置と一致するようにスキージ駆動部６を制御する。この初期位置は、スキージ２のスキージングを開始するスタート位置に相当するものである。ここで、スキージ２が初期位置に配置されている状態を、「初期状態」として定義する（図８中、破線で示す。）。初期状態にあるスキージ２は、先端縁部２ａとガラス基板７の上面との間に僅かなクリアランスが形成されている。
【００３４】
次に、制御装置１１は、印刷台駆動部４を制御することによって、スキージ２の先端縁部２ａがガラス基板７の上面に押し付けられるまで印刷台３を上昇させる。その際、印刷台３の上昇量は、スキージ２のスキージング時において所定のスキージ圧が得られるように調節されている。その後、制御装置１１は、スキージ駆動部６を制御することによって、スキージ２をスキージ方向Ｄｓにスキージングさせる。そして、スキージ２が第１カメラ１０ａ及び第２カメラ１０ｂの真上を通過するスキージ撮像位置に到達した時点で、第１カメラ１０ａ及び第２カメラ１０ｂはスキージ２（スキージ面２ｄ）を撮像する。そして、スキージ方向Ｄｓにおけるスキージ２の位置が所定のスキージング終点位置に到達すると、制御装置１１はスキージ駆動部６の作動を停止させる。その結果、スキージ２のスキージングが停止する。
【００３５】
図９は、初期状態とスキージング状態において、スキージ面２ｄをガラス基板７の下方から眺めた図である。図９中、左図に初期状態のスキージ面２ｄを示し、右図にスキージング状態のスキージ面２ｄを示している。初期状態のスキージ面２ｄを下方から眺めた場合、スキージ面２ｄに正対する方向から眺める場合に比べて、平行表示線２１の間隔が狭く見える。
【００３６】
次に、スキージング中におけるスキージ２の平行表示線２１の見え方について説明する。スキージング中のスキージ２は撓り変形を伴っている。そのため、撓りスキージ角度θｓは初期スキージ角度θｉに比べて小さくなる。また、スキージ２の撓り変形によって、スキージ面２ｄ側が伸びるため、スキージ面２ｄに設けられている平行表示線２１同士の間隔が広がる。その際、スキージ２の撓り度合いが大きいほど、平行表示線２１同士の間隔の広がり方も顕著となる。その結果、スキージング中におけるスキージ面２ｄを下方から眺めた場合には、初期状態のときに比べて、平行表示線２１同士の間隔が広がって視認される。
【００３７】
撓り検証処理では、スキージング中におけるスキージ２のスキージ面２ｄを、ガラス基板７の下方に配置した第１及び第２カメラ１０ａ，１０ｂを用いて撮像する。これによっ
て、スキージ画像を得ることができる。ここで、スキージ２の端部２ｃにおけるスキージ画像を「端部スキージ画像」と称し、スキージ２の中央部２ｂにおけるスキージ画像を「中央部スキージ画像」と称する。制御装置１１は、各カメラ１０ａ，１０ｂから取得した各スキージ画像を表示装置１２に表示させると共に、その画像データを記録装置１３に記録する。
【００３８】
図１０は、表示装置１２の画面１２ａを例示した図である。図示の例では、中央部スキージ画像が画面１２ａに映し出されている。ここで、例えばマウスやキーボードなどの入力装置（図示せず）を介して使用者からの画像切り替え要求を受け付けると、画面１２ａへの出力対象が中央部スキージ画像から端部スキージ画像へと切り替えられる。尚、画面１２ａに、中央部スキージ画像及び端部スキージ画像を並べて表示させても良い。
【００３９】
表示装置１２に表示されるスキージ画像に映った平行表示線２１の間隔を、「画像表示間隔Ｘ１」と定義する。平行表示線２１の画像表示間隔Ｘ１は、スキージ２のスキージ面２ｄに形成された平行表示線２１の実際の間隔（以下、「現実印刷間隔Ｃ」と定義する。）と撓りスキージ角度θｓと相関がある。撓りスキージ角度θｓは、下記数式（１）によって算出することができる。
θｓ＝cos-1（Ｘ１／Ｃ）・・・（１）
【００４０】
ここで、現実印刷間隔Ｃは１ｍｍに設定されている。例えば、スキージ観察装置１の使用者が、スキージ画像から読み出した平行表示線２１の画像表示間隔Ｘ１が０．６ｍｍであったとする。この場合、数式（１）のＣに１、Ｘ１に０．６を代入することで、撓りスキージ角度θｓを５３．１°として算出することができる。尚、表示装置１２の画面１２ａには、スケールが表示されているので、使用者は画像表示間隔Ｘ１を容易に読み取ることができる。
【００４１】
本実施形態では、スキージ観察装置１の使用者が表示装置１２の画面１２ａに表示するスキージ画像から撓りスキージ角度θｓを求める例を説明したが、制御装置１１によって撓りスキージ角度θｓを自動で算出しても良い。この場合、制御装置１１は、例えばカメラ１０ａ，１０ｂから取得したスキージ画像に画像処理を行う。そして、制御装置１１は、スキージ画像に対する画像処理結果に基づき、撓りスキージ角度θｓを算出する。このようにして、制御装置１１が取得した撓りスキージ角度θｓは、表示装置１２の画面１２ａに出力されたり、記録装置１３に記録される。
【００４２】
以上のように、本実施形態に係るスキージ２によれば、スキージ面２ｄに所定の模様を付与し、スキージング中における当該模様を撮像することによって、初期状態からの模様の変形度合いに基づいて撓りスキージ角度θｓを好適に求めることができる。すなわち、第１構成例に係るスキージ２では、スキージ面２ｄの先端縁部側に複数の平行表示線２１を付与（印刷）するようにした。そして、カメラ１０ａ，１０ｂで撮像したスキージ画像において、スキージング中における平行表示線２１の間隔の、初期状態を基準としたときの広がり方（変形）に基づき、撓りスキージ角度θｓを容易に求めることができる。これによって、スキージング中におけるスキージ２の撓り量（撓り度合い）の適正度を検証することができる。
【００４３】
更に、本実施形態のスキージ２によれば、スキージ面２ｄに、平行表示線２１を互いに等間隔で設けるようにした。これによれば、撓りスキージ角度θｓを算出する際の基礎となる現実表示間隔Ｃが何れの箇所においても一定となるため、撓りスキージ角度θｓをより簡単に算出することができる。したがって、本実施形態によれば、プリント基板１０１上にソルダーペースト１０５を印刷するスキージ２のスキージング中における撓り状態を、精度良く検証することが可能である。
【００４４】
そして、撓り検証処理によって求めた撓りスキージ角度θｓが、スクリーン印刷に係る印刷条件パラメータの設定、仕様によって定まる所定の適正範囲に収まっているか否かに基づき、その適正度を検証することができる。印刷条件パラメータとしては、例えば初期スキージ角度θｉ、スキージ速度、スキージ圧等が挙げられる。仮に、撓りスキージ角度θｓが適正範囲から外れていることが判明した場合、印刷条件パラメータを適宜変更した上で撓り検証処理を再実施すると良い。スキージ観察装置１を用いて撓りスキージ角度θｓの適正度を検証し、その検証結果を印刷条件パラメータの選定にフィードバックすることで、ソルダーペーストの最適な印刷条件を見出すことができる。つまり、スキージング中におけるスキージ２の撓り度合いを考慮して、スクリーン印刷における印刷条件パラメータを、適正に選定することができる。
【００４５】
ところで、図１〜４で説明した様に、スキージング中におけるスキージ２は、中央部２ｂに比べて端部２ｃの撓り度合いが大きくなる傾向がある。これに対して、スキージ観察装置１では、中央部スキージ画像及び端部スキージ画像の双方を取得するようにした。これにより、スキージ２の中央部２ｂ及び端部２ｃの双方で撓りスキージ角度θｓが適正範囲となるように、印刷条件パラメータを選定できる。したがって、スキージ２の長手方向Ｄｗの全範囲に亘って、最適な印刷条件下においてスクリーン印刷を実施できる。故に、プリント基板１０１に対するソルダーペースト１０５の供給量のばらつきを抑制することが可能となり、プリント基板１０１に実装する電子部品の品質が担保される。
【００４６】
〈変形例〉
尚、本実施形態に係るスキージ観察装置１では、２台の固定式の第１及び第２カメラ１０ａ，１０ｂをガラス基板７の下方に配置したが、カメラの設置態様は種々の変更を加えることができる。例えば、ガラス基板７の下方であって、第１カメラ１０ａが配置されていない方の端部２ｃが上部を通過する位置に第３カメラ（図示せず）を配置し、当該端部２ｃのスキージ画像を第３カメラによって取得しても良い。これによれば、スキージング中におけるスキージ２の撓り状態を、より一層精度良く検証することができる。
【００４７】
また、ガラス基板７の下方に配置するカメラを平面移動可能なスライド式にしても良い。この場合、スキージ観察装置１は、印刷台３の底部３ｃに沿ってスライド式カメラを移動可能なスライド機構を備えると良い。これによれば、１台のスライド式カメラで、スキージ２の中央部２ｂ及び端部２ｃの双方の撮像が可能となる。この場合、例えば、一回のスキージング動作を行う際に中央部２ｂにおけるスキージ画像を取得し、次回のスキージング動作を行う際に端部２ｃにおけるスキージ画像を取得しても良い。また、１台の固定式カメラをガラス基板７の下方に配置することも可能である。この場合、スキージング中におけるスキージ２の中央部２ｂと端部２ｃが同時にカメラの視野内に収まるように、カメラを設置すると良い。これにより、スキージ２の長手方向Ｄｗの全範囲に亘って、スキージング中におけるスキージ２の撓り状態の適正度を検証することが可能となる。
【００４８】
また、本実施形態に係る撓り検証処理の変形例として、スキージング中におけるスキージ画像に加えて、初期状態におけるスキージ画像（以下、「初期状態スキージ画像」という。）をカメラ１０ａ，１０ｂによって取得しても良い。この場合、スキージ観察装置１は、第１カメラ１０ａ及び第２カメラ１０ｂを、少なくともスキージ方向Ｄｓに移動させるスライド機構を備えることが好ましい。本変形例では、まず第１及び第２カメラ１０ａ，１０ｂを、図８において説明した初期位置に移動させておき、スキージ２の端部２ｃ及び中央部２ｂの夫々において、初期状態におけるスキージ面２ｄを撮像する。その後は、第１及び第２カメラ１０ａ，１０ｂを上記スライド機構によってスキージ撮像位置まで移動させ、スキージング中におけるスキージ画像（以下、「撓り状態スキージ画像」という。）を撮像する。
【００４９】
初期状態スキージ画像に映った平行表示線２１の間隔を、「画像表示間隔Ｘ２」とする。画像表示間隔Ｘ２は、平行表示線２１の現実印刷間隔Ｃ、及び初期スキージ角度θｉと相関があり、これらの関係は下記数式（２）によって規定されている。
Ｘ２＝Ｃ×cosθｉ・・・（２）
【００５０】
本実施形態では、現実印刷間隔Ｃが１ｍｍ、初期スキージ角度θｉが６０°に設定されている。そのため、初期状態スキージ画像から読み取った平行表示線２１の画像表示間隔Ｘ２と現実印刷間隔Ｃを数式（２）に代入すると、理論上は初期スキージ角度θｉが６０°として算出される。但し、スキージ観察装置１の各種構成部材（例えば、スキージホルダ１０３）に製造誤差、組み立て誤差、劣化等の何らかの誤差要因が介在する場合には、数式（２）から算出した初期スキージ角度θｉと、設定値との間に誤差が生じることがある。そのような場合には、当該誤差の影響が相殺されるように、撓り状態スキージ画像から求めた撓りスキージ角度θｓの値を補正しても良い。そうすることで、スキージング中におけるスキージ２の撓りスキージ角度θｓを、より精度良く検証することが可能となる。
【００５１】
〈パラメータ選定方法〉
次に、スクリーン印刷を行う際の印刷条件パラメータを選定する方法について説明する。本実施形態における印刷条件パラメータの選定方法は、撓り検証処理により取得した撓りスキージ角度θｓが適正範囲にあるか否かの判定結果に基づき、図１１Ａ、１１Ｂに示すフローに沿って行われる。図１１Ａ、１１Ｂは、印刷条件パラメータの選定方法に係る手順を示すフローチャートである。
【００５２】
まず、ステップＳ１０１では、撓り検証処理を実施し、スキージ２の中央部２ｂ及び端部２ｃを夫々取得する。ここで、中央部２ｂについて取得したスキージ角度θｓを、中央部スキージ角度θｓｍと定義し、端部２ｃについて取得したスキージ角度θｓを、端部スキージ角度θｓｅと定義する。ステップＳ１０２では、中央部スキージ角度θｓｍ及び端部スキージ角度θｓｅの双方が、適正範囲に含まれているか否かを判定する。
【００５３】
上記の適正範囲は、スキージ２の材質、厚さ、スキージ圧等の仕様に応じて、予め定めておくことができる。例えば、スキージ２の材質がステンレス、厚さが０．２ｍｍ、スキージ圧が０．２５±０．０５（Ｎ）の場合、スキージ角度θｓの適正範囲は５５±３°（５２°〜５８°）として定めておいても良い。また、スキージ２の材質がウレタン、厚さが０．５ｍｍ、スキージ圧が０．４０±０．０５（Ｎ）の場合、スキージ角度θｓの適正範囲は５２±３°（４９°〜５５°）として定めておいても良い。但し、ここで示したスキージ角度θｓの適正範囲は例示的に挙げたものである。
【００５４】
図１２は、スクリーン印刷において、スキージング後の状況と版離れ後の状況を説明する説明図である。スキージ角度θｓが適正範囲の上限値を超える場合、スクリーン印刷時にスキージ２によるソルダーペースト１０５の押し込み不足が起こり易い（図中、左列を参照）。その結果、ソルダーペースト１０５の充填後にマスクプレート１０２をプリント基板１０１から引き離した版離れ後において、カケ・印刷不足等が生じ易くなる。一方、スキージ角度θｓが適正範囲の下限値より小さい場合、スクリーン印刷時にスキージ２がソルダーペースト１０５を強く押し込み過ぎてしまう（図中、中列を参照）。その結果、版離れ後において、ソルダーペースト１０５のニジミ・ダレ等が生じ易くなる。
【００５５】
ステップＳ１０２で肯定判定、すなわち、中央部スキージ角度θｓｍ及び端部スキージ角度θｓｅの双方が適正範囲内に含まれていると判定された場合、長手方向Ｄｗに亘ってスキージ２の撓り状態にばらつきが小さいと判断できる。この場合、撓り検証処理を実施
したときと同一条件にてスクリーン印刷を行えば、印刷開口１０２ａへのソルダーペースト１０５の充填量のばらつきが小さく抑えられる。したがって、本ステップにおいて肯定判定された場合には、特に印刷条件のパラメータを変更せずに、そのまま本フローを終了する。
【００５６】
一方、ステップＳ１０２で否定判定された場合には、中央部スキージ角度θｓｍ及び端部スキージ角度θｓｅの少なくとも何れか一方が、適正範囲から外れている。この場合、ステップＳ１０３にて、中央部スキージ角度θｓｍのみが適正範囲に含まれているか否かを判定する。本ステップで肯定判定された場合、ステップＳ１０４に進む。一方、本ステップで否定判定された場合には、中央部スキージ角度θｓｍのみ、或いは中央部スキージ角度θｓｍ及び端部スキージ角度θｓｅの双方が適正範囲から外れていることになる。その場合には、ステップＳ１１１に進む。
【００５７】
ステップＳ１０４では、スキージ圧の設定値の変更、及び、マスクプレート１０２のクリアランス調整を行う。まず、スキージ圧の設定値の変更について述べる。ここで、端部スキージ角度θｓｅが適正範囲の上限値を超えている場合には、スキージ圧の設定値を高くする。一方、端部スキージ角度θｓｅが適正範囲の下限値よりも小さい場合には、スキージ圧の設定値を低くする。これにより、撓り検証処理を再実施した場合に、端部スキージ角度θｓｅが適正範囲に収まる可能性が高くなる。尚、スキージ圧の設定値を変更する際の増減値は、予め定めておく一定値であっても良いし、現在の設定値に一定比率を乗じて求めた値であっても良い。
【００５８】
更に、本ステップでは、マスクプレート１０２及びプリント基板１０１間のクリアランスが少なくなるように、設定値を変更する。ここで、実際のスクリーン印刷装置においては、マスクプレート１０２の反り等によって、マスクプレート１０２の端部側がプリント基板１０１から僅かに浮き上がる場合がある。そのような場合、スキージング中のスキージ２は、中央部２ｂより端部２ｃの方が大きな抵抗を受け、撓り度合いが大きくなり易い。これに対して、マスクプレート１０２とプリント基板１０１とのクリアランスを減らす方向に調整することで、プリント基板１０１に対するマスクプレート１０２の密着度が高まる。その結果、スキージ２の端部２ｃにおける撓り度合いを、中央部２ｂにおける撓り状態に近づけることが可能となる。尚、本ステップにおいて、クリアランスの設定値の減少量は一定値であっても良いし、現在の設定値に一定比率を乗じて求めた値であっても良い。
【００５９】
尚、スキージ観察装置１においては、プリント基板１０１及びマスクプレート１０２の代わりにガラス基板７が設置されている。そこで、プリント基板１０１に対するマスクプレート１０２の密着度を変更した状態を、スキージ観察装置１において再現するには、支持枠３ｂに対するガラス基板７の固定度、密着度を変更すると良い。具体的には、支持枠３ｂに対してガラス基板７を固定するクランパ（図示せず）の締め付け具合を調整すると良い。
【００６０】
ステップＳ１０４が終了すると、ステップＳ１０５に進み、撓り検証処理を再実施して、中央部スキージ角度θｓｍ及び端部スキージ角度θｓｅを取得する。そして、ステップＳ１０６では、中央部スキージ角度θｓｍ及び端部スキージ角度θｓｅの双方が、適正範囲に含まれているか否かを判定する。ステップＳ１０６で肯定判定された場合、特に印刷条件のパラメータを変更せずに、そのまま本フローを終了する。
【００６１】
一方、ステップＳ１０６で否定判定された場合、ステップＳ１０７においてスキージ速度の設定値を変更する。具体的には、端部スキージ角度θｓｅが適正範囲の上限値を超えている場合には、スキージ速度の設定値を速くする。一方、端部スキージ角度θｓｅが適
正範囲の下限値よりも小さい場合には、スキージ速度の設定値を遅くする。これにより、撓り検証処理を再実施した場合に、端部スキージ角度θｓｅが適正範囲に収まる可能性が高くなる。尚、スキージ速度の設定値を変更する際の増減値は、予め定めておく一定値であっても良いし、現在の設定値に一定比率を乗じて求めた値であっても良い。
【００６２】
ステップＳ１０８では、撓り検証処理を再実施して、中央部スキージ角度θｓｍ及び端部スキージ角度θｓｅを取得する。そして、ステップＳ１０９では、中央部スキージ角度θｓｍ及び端部スキージ角度θｓｅの双方が、適正範囲に含まれているか否かを判定する。ステップＳ１０９で肯定判定された場合、特に印刷条件のパラメータを変更せずに、そのまま本フローを終了する。
【００６３】
一方、ステップＳ１０９で否定判定された場合、ステップＳ１１０においてスキージ仕様（材料、寸法等）を変更する。具体的には、端部スキージ角度θｓｅが適正範囲の上限値を超えている場合には、スキージ２の厚さがより薄くなるように材料寸法を変更したり、曲げ強度がより低くなるように使用材料を変更する。一方、端部スキージ角度θｓｅが適正範囲の下限値よりも小さい場合には、厚さがより厚くなるように材料寸法を変更したり、曲げ強度がより高くなるように使用材料を変更する。本ステップが終了すると、本フローを終了する。
【００６４】
次に、ステップＳ１１１について説明する。ここでは、少なくとも中央部スキージ角度θｓｍが適正範囲から外れている。この場合、スキージ圧の設定値を変更する。中央部スキージ角度θｓｍが適正範囲の上限値を超えている場合には、スキージ圧の設定値を高くする。一方、中央部スキージ角度θｓｍが適正範囲の下限値よりも小さい場合には、スキージ圧の設定値を低くする。これにより、撓り検証処理を再実施した場合に、中央部スキージ角度θｓｍが適正範囲に収まる可能性が高くなる。
【００６５】
ステップＳ１１２では、撓り検証処理を再実施して、中央部スキージ角度θｓｍ及び端部スキージ角度θｓｅを取得する。そして、ステップＳ１１３では、中央部スキージ角度θｓｍ及び端部スキージ角度θｓｅの双方が、適正範囲に含まれているか否かを判定する。ステップＳ１１３で肯定判定された場合、特に印刷条件のパラメータを変更せずに、そのまま本フローを終了する。
【００６６】
一方、ステップＳ１１３で否定判定された場合、ステップＳ１１４においてスキージ速度の設定値を変更する。具体的には、中央部スキージ角度θｓｍが適正範囲の上限値を超えている場合には、スキージ速度の設定値を速くする。一方、中央部スキージ角度θｓｍが適正範囲の下限値よりも小さい場合には、スキージ速度の設定値を遅くする。これにより、撓り検証処理を再実施した場合に、端部スキージ角度θｓｅが適正範囲に収まる可能性が高くなる。尚、スキージ速度の設定値を変更する際の増減値は、予め定めておく一定値であっても良いし、現在の設定値に一定比率を乗じて求めた値であっても良い。
【００６７】
ステップＳ１１５では、撓り検証処理を再実施して、中央部スキージ角度θｓｍ及び端部スキージ角度θｓｅを取得する。そして、ステップＳ１１６では、中央部スキージ角度θｓｍ及び端部スキージ角度θｓｅの双方が、適正範囲に含まれているか否かを判定する。ステップＳ１１６で肯定判定された場合、特に印刷条件のパラメータを変更せずに、そのまま本フローを終了する。
【００６８】
一方、ステップＳ１１６で否定判定された場合、ステップＳ１１７においてスキージ仕様（材料、寸法等）を変更する。具体的には、中央部スキージ角度θｓｍが適正範囲の上限値を超えている場合には、スキージ２の厚さがより薄くなるように材料寸法を変更したり、曲げ強度がより低くなるように使用材料を変更する。一方、中央部スキージ角度θｓ
ｍが適正範囲の下限値よりも小さい場合には、厚さがより厚くなるように材料寸法を変更したり、曲げ強度がより高くなるように使用材料を変更する。本ステップが終了すると、本フローを終了する。
【００６９】
上記フローにて示したように、印刷条件パラメータの設定変更は、例えば、スキージ圧の変更、スキージ速度の変更、スキージ仕様（材料、寸法等）の変更等を挙げることができる。本実施形態では、設定変更を行う印刷条件パラメータに優先順位を設けるようにした。ここで、優先順位の高いパラメータから並べると、スキージ圧、スキージ速度、スキージ仕様の順になる。
【００７０】
スキージ仕様の変更は、スキージ２に用いる材料や寸法の変更を伴うため、手間やコスト等が掛り易い。そのため、スキージ仕様の変更については、スキージ圧やスキージ速度に比べて、その優先順位を低く設定している。次に、スキージ圧の変更とスキージ速度の変更とを比較すると、スキージ速度を変更する方がスキージ２の撓り度合いを微調整することが可能である。但し、スクリーン印刷時におけるスキージ速度を過剰に速くすると、マスクプレート１０２に係る印刷開口１０２ａへのソルダーペースト１０５の充填性が悪化し易くなる。そのため、本実施形態では、スキージ速度よりに比べて、スキージ圧を変更する優先順位を高くすることとした。
【００７１】
以上のように、このパラメータ選定方法によれば、撓り検証処理により取得した撓りスキージ角度θｓが適正範囲にあるか否かの判定結果に基づき、スクリーン印刷に係る最適な印刷条件を見出すことができる。その結果、スクリーン印刷時に、ソルダーペースト１０５をスキージ２によって適正な押し込み力にて押し込むことができる。よって、ソルダーペースト１０５の供給量がばらつくことを抑制できる（図１２、右列を参照）。
【００７２】
尚、上述した印刷条件パラメータの選定方法については、スキージ観察装置１の制御装置１１が、各ステップに係る処理をプログラムに従って実行することで実現されても良い。
【００７３】
また、上記ステップＳ１０６（Ｓ１１６）において否定判定された場合、現在のスキージ圧の設定値を更に変更しても問題ないと判断される場合には、ステップＳ１０４（Ｓ１１１）に戻っても良い。例えば、スキージ圧の設定値と初期値との差が所定の閾値を超えない範囲で、スキージ速度の変更に優先してスキージ圧の設定値の変更を行っても良い。同様に、ステップＳ１０９（Ｓ１１３）において否定判定された場合、現在のスキージ速度の設定値を更に変更しても問題ないと判断される場合には、ステップＳ１０７（Ｓ１１４）に戻っても良い。例えば、スキージ速度の設定値と初期値との差が所定の閾値を超えない範囲で、スキージ仕様の変更に優先してスキージ速度の設定値の変更を行っても良い。
【００７４】
＜実施形態２＞
次に、実施形態２では、主としてスキージの他の構成例について説明する。スキージ観察装置１の基本的なハードウェア構成は実施形態１と同様である。実施形態１と共通する構成については同じ符号を付すことにより、その説明を適宜省略する。実施形態２については、実施形態１の変形例で述べたように、スキージ２のスキージング中のスキージ画像（以下、「スキージング画像」という。）に加えて、初期状態のスキージ画像（以下、「初期状態画像」という。）を取得する。スキージ２の初期状態とは、図８（左図、破線）に示すように、スキージ２がガラス基板７に当接する前の状態を指す。また、実施形態２においても、スキージ観察装置１における初期スキージ角度θｉは、実施形態１と同様、例示的に６０°に設定されている。
【００７５】
〈スキージの第２構成例〉
図１３は、スキージの第２構成例を示す図である。第２構成例に係るスキージを、以下では符号２Ａにて表す。図１３は、スキージ２Ａのスキージ面２ｄを正面として眺めた状態を示している。同図には、スキージ２Ａの先端縁部２ａ側の部分拡大図を併せて示す。図１３に示すスキージ２Ａと、図９に示すスキージ２の相違点は、スキージ面２ｄに設けられた平行表示線２１のうち、一組の平行表示線２１ａが他の平行表示線２１ｂと識別（区別して視認）可能に強調表示された態様で設けられている点にある。
【００７６】
以下では、強調表示された一組の平行表示線２１ａを、特に「強調平行表示線」と称する。また、強調表示されていない平行表示線２１ｂを、特に「一般平行表示線」と称する。図１３に示す例では、強調平行表示線２１ａは、一般平行表示線２１ｂとは異なる色で印刷されている。これによって、強調平行表示線２１ａと一般平行表示線２１ｂとを識別することができる。但し、強調平行表示線２１ａを一般平行表示線２１ｂと識別するための強調表示の方法としては、印刷色を相違させることに限定されない。例えば、強調平行表示線２１ａと一般平行表示線２１ｂとで線種を相違させたり、表示線の太さを相違させる等、種々の方法を採用することができる。
【００７７】
次に、強調平行表示線２１ａの技術的意義について述べる。例えば、スクリーン印刷の際には、スキージ面２ｄの或る特定領域（以下、「撓り検証対象領域」という。）でのスキージ角度θｓを、適正範囲（例えば、５２±３°）に収めたいという要求があるとする。ここでは、撓り検証対象領域を、例えば先端縁部２ａから１０ｍｍの領域として設定する。スキージ面２ｄにおいて、特定の撓り検証対象領域におけるスキージ角度θｓを検証したい場合、撓り検証対象領域の境界（上端、下端）に対応する部分の平行表示線を強調平行表示線２１ａとして設ける。上記条件の場合、撓り検証対象領域の幅は１０ｍｍに設定されているので、強調平行表示線２１ａ同士の間隔（距離）も１０ｍｍに設定されている。尚、各平行表示線２１（強調平行表示線２１ａ、一般平行表示線２１ｂを区別せず）同士の現実印刷間隔Ｃは、第１構成例のスキージ２と同様に、例えば１ｍｍとしている。上記した撓り検証対象領域の幅や平行表示線２１の現実印刷間隔Ｃの数値は、例示的なものである。
【００７８】
図１４は、第２構成例に係るスキージ２Ａのスキージ画像を表示装置１２に表示させた図である。画面１２ａの左側に初期状態スキージ画像を表示し、右側にスキージ２Ａの撓り状態スキージ画像を表示している。尚、図示の例では、画面１２ａに、スキージ２の中央部２ｂと端部２ｃの何れか一方におけるスキージ画像を表示させているが、使用者からの画像切り替え要求を受け付けた場合には、他方のスキージ画像に表示を切り替えても良い。これは、後述する他の構成例についても同様である。
【００７９】
まず、スキージ２Ａが初期状態にあるときの初期状態スキージ画像について説明する。初期状態スキージ画像に映った平行表示線２１（ここでは、強調平行表示線２１ａと一般平行表示線２１ｂを区別せず）の画像表示間隔Ｘ２は、数式（２）によって算出できる。この場合、数式（２）のＣに１、θｉに６０を代入することで、画像表示間隔Ｘ２を０．５ｍｍとして算出できる。図示の例でも、初期状態スキージ画像に映し出されている平行表示線２１の間隔は０．５ｍｍとなっており、また、一組の強調平行表示線２１ａ同士の間隔（図中、Ｘ２´で示す。）は５．０ｍｍとなっている。
【００８０】
次に、画面１２ａの右側に表示する撓り状態スキージ画像について説明する。第１構成例に係るスキージ２の場合と同様、撓り状態スキージ画像から平行表示線２１の画像表示間隔Ｘ１を読み出すことで、数式（１）に基づいて撓りスキージ角度θｓを求めることができる。
【００８１】
次に、第１構成例に係るスキージ２との構成上の差異点がもたらす作用効果を説明する。スキージ２Ａでは、一組の強調平行表示線２１ａを設けるようにしたので、各強調平行表示線２１ａに挟まれた撓り検証対象領域におけるスキージ角度θｓを以下のように容易に求めることができる。すなわち、使用者は、強調平行表示線２１ａ同士の間隔を撓り状態スキージ画像から読み出す。スキージ２Ａの撓り検証対象領域において、撓りスキージ角度θｓの適正範囲が例えば４９〜５５°であるとする。この場合、数式（１）のθｓに４９と５５を、Ｃに１を代入することで、撓りスキージ角度θｓの適正範囲に対応する強調平行表示線２１ａ同士の間隔Ｘ１´を、５．７〜６．６ｍｍとして算出できる。したがって、使用者は、撓り状態スキージ画像から読み出した強調平行表示線２１ａ同士の間隔が、上記適合範囲（上記例では、５．７〜６．６ｍｍ）に含まれているか否かを確認すれば良い。
【００８２】
以上のように、第２構成例に係るスキージ２Ａでは、一組の強調平行表示線２１ａを一般平行表示線２１ｂと識別可能に強調表示したので、撓り検証対象領域に関して、撓り度合いの適正度の検証が一層容易なものとなる。
【００８３】
〈スキージの第３構成例〉
図１５は、スキージの第３構成例を示す図である。第３構成例に係るスキージを符号２Ｂにて表す。図１５は、スキージ２Ｂのスキージ面２ｄを正面として眺めた状態を示している。同図には、スキージ２Ｂの先端縁部２ａ側の部分拡大図を併せて示す。以下、上述までの構成例との相違点を中心に説明する。
【００８４】
図１５に示すように、スキージ面２ｄの先端縁部２ａ側の部位には、先端縁部２ａに対して斜めに伸びる直線状の斜め表示線２２が形成されている。また、スキージ２Ｂにおいては、平行表示線２１が、斜め表示線２２上における異なる少なくとも２箇所から先端縁部２ａに対して平行に伸びている。また、２本の平行表示線２１は何れも、斜め表示線２２の端部ではない中途部に接続されている。また、図１５に示す例では、一の斜め表示線２２に対して２本の平行表示線２１が接続されているが、斜め表示線２２と平行表示線２１は交差していても良い。更に、一の斜め表示線２２に対して、３本以上の平行表示線２１が斜めに接続又は交差する態様であっても良い。
【００８５】
ここで、一の斜め表示線２２と、その斜め表示線２２から互いに平行に伸びる２本の平行表示線２１を模様の一単位として説明する。平行表示線２１が設けられる位置（高さ）は、スキージ２Ａの強調平行表示線２１ａと同様、撓り検証対象領域の上端及び下端の高さに一致させている。
【００８６】
次に、撓り検証処理において、スキージ２Ｂをカメラ１０ａ，１０ｂが撮像して得たスキージ画像について説明する。図１６は、第３構成例に係るスキージ２Ｂのスキージ画像を表示装置１２に表示させた図である。画面１２ａの左側にスキージ２Ｂの初期状態スキージ画像を表示し、右側にスキージ２Ｂの撓り状態スキージ画像を表示している。
【００８７】
初期状態スキージ画像を参照すると、初期状態におけるスキージ２Ｂは撓っていないため、斜め表示線２２の直線性は維持されている。一方、撓り状態スキージ画像を参照すると、斜め表示線２２の直線性が失われているのが判る。これは、スキージング動作によってスキージ２Ｂが撓ることに起因するものである。また、撓り状態スキージ画像に映し出される平行表示線２１の画像表示間隔は、初期状態スキージ画像と比較して、幅が広がっている。
【００８８】
ここで、２本の平行表示線２１によって挟まれる領域は、スキージ２Ｂの撓り検証対象領域に対応する。したがって、本構成例に係るスキージ２Ｂの場合においても、使用者は
、撓り状態スキージ画像から平行表示線２１同士の間隔を読み出すと良い。そして、読み出した平行表示線２１同士の間隔が、撓り検証対象領域に要求される撓りスキージ角度θｓの適正範囲（例えば、４９〜５５°）に対応する数値範囲（この例では、５．７〜６．６ｍｍ）に含まれているか否かを確認すれば良い。これにより、スキージ２Ｂの撓り検証対象領域に関して、スキージング中における撓り量が適正であるかどうかを検証することができる。
【００８９】
また、斜め表示線２２と下方の平行表示線２１とがなす角度θｄが、初期状態スキージ画像に示す角度（以下、「表示線接続角度」という）よりも撓り状態スキージ画像に示す角度の方が大きくなっているのが判る。図示の例では、例えば、初期状態における表示線接続角度θｄが６０°、スキージング中における表示線接続角度θｄが６５．８°となっている。このように、スキージング中における表示線接続角度θｄが初期状態よりも大きくなるのは、スキージ２Ｂが撓ることに起因する。一方、斜め表示線２２に対する各平行表示線２１の接続部同士の水平距離（図中、符号Ｙで表し、以下では「接続部水平距離」という。）は、両図において互いに一致する。
【００９０】
そこで、撓り状態スキージ画像から、表示線接続角度θｄ２と接続部水平距離Ｙを読み出し、双方の読み出し値に基づいて平行表示線２１同士の画像表示間隔Ｘ１を算出しても良い。具体的には、数式（３）に基づいて平行表示線２１同士の画像表示間隔Ｘ１を算出できる。
Ｘ１＝Ｙ×ｔａｎθｄ・・・（３）
【００９１】
例えば、撓り状態スキージ画像から読み出した接続部水平距離Ｙが２．９ｍｍ、表示線接続角度θｄが６５．８°であったとする。この場合、数式（３）にこれらの値を代入することで、平行表示線２１同士の画像表示間隔Ｘ１を６．５ｍｍとして算出することができる。この場合、平行表示線２１同士の間隔Ｘ１が、撓りスキージ角度θｓの適正範囲に対応する数値範囲（この例では、５．７〜６．６ｍｍ）に収まっているため、スキージ２Ｂの撓り状態が適正であると判断できる。もっとも、撓り状態スキージ画像から読み取れる接続部水平距離Ｙの値は、スキージ面２ｄ上における実寸法とも一致する。そのため、接続部水平距離Ｙに関しては、既知の値として予め用意しておけば良く、表示線接続角度θｄだけを画像から読み出しても良い。これにより、スキージング中におけるスキージ２Ｂの撓り度合いの適正度を、より容易に検証できる。
【００９２】
以上のように、第３構成例のスキージ２Ｂによれば、先端縁部２ａに対して斜めに伸びる直線状の斜め表示線２２と、この斜め表示線２２から先端縁部２ａに沿って平行に伸びる２本の平行表示線２１を、スキージ面２ｄに設けた。これによれば、斜め表示線２２の歪み具合に基づいて、スキージ２Ｂの撓り度合いの適正度を検証することができる。
【００９３】
また、撓り状態スキージ画像から平行表示線２１同士の間隔を直接読み取る手法と、表示線接続角度θｄを読み出してから上記間隔を算出する手法の何れを採用しても、スキージ２Ｂの撓り状態の適正度を検証できる。つまり、スキージ２Ｂの撓り状態を検証する手法の選択枝を増やすことができる。また、双方の手法に基づいてスキージ２Ｂの撓り状態の適正度を検証することで、検証結果の信頼性を高めることが可能となる。
【００９４】
〈スキージの第４構成例〉
図１７は、スキージの第４構成例を示す図である。第４構成例に係るスキージを符号２Ｃにて表す。図１７は、スキージ２Ｂのスキージ面２ｄを正面として眺めた状態を示している。同図には、スキージ２Ｃの先端縁部２ａ側の部分拡大図を併せて示す。
【００９５】
スキージ２Ｃのスキージ面２ｄに形成された模様は、第１〜第３構成例を組み合わせた
模様に概ね等価である。すなわち、スキージ面２ｄの先端側には、先端縁部２ａと平行な多数の平行表示線２１が設けられている。また、各平行表示線２１に対して、斜めから交差する複数の斜め表示線２２が設けられている。また、平行表示線２１のうち、スキージ面２ｄにおける撓り検証対象領域の上端と下端に位置する線を強調平行表示線２１ａとし、一般平行表示線２１ｂと識別可能に強調表示している。
【００９６】
図１８は、第４構成例に係るスキージ２Ｃのスキージ画像を表示装置１２に表示させた図である。画面１２ａの左側にスキージ２Ｃの初期状態スキージ画像を表示し、右側にスキージ２Ｂの撓り状態スキージ画像を表示している。スキージング中にスキージ２Ｃが撓ることによって、各平行表示線２１同士の間隔が、初期状態に比べて広がることは既に述べた通りである。したがって、第１構成例において述べたように、撓り状態スキージ画像から平行表示線２１の画像表示間隔Ｘ１を読み取り、数式（１）に基づいて、平行表示線２１の任意箇所毎の撓りスキージ角度θｓを算出することができる。
【００９７】
また、本構成例では、平行表示線２１に加えて、第３構成例で述べた斜め表示線２２をスキージ面２に設けているので、スキージ２Ｃの撓り箇所を判断し易い。これは、スキージ２Ｃが撓っている箇所で、斜め表示線２２の直線性が失われるからである。そして、撓り状態スキージ画像から表示線接続角度θｄを読み取り、数式（３）に表示線接続角度θｄを代入することで、平行表示線２１の任意箇所毎の撓りスキージ角度θｓを算出できる。その際、数式（３）に代入する接続部水平距離Ｙは、読み取った表示線接続角度θｄに対応する一対の平行表示線２１が斜め表示線２２と接続される接続部同士の水平間距離である。
【００９８】
更に、スキージ２Ｃによれば、スキージ面２ｄにおける撓り検証対象領域の上端と下端に位置する線を強調平行表示線２１ａとしている。そのため、使用者は、撓り検証対象領域におけるスキージ角度θｓを、撓り状態スキージ画像から読み取った強調平行表示線２１ａ同士の間隔、或いは、対応する表示線接続角度θｄに基づいて、容易に求めることができる。したがって、スキージ２Ｃにおける撓り検証対象領域での撓り状態を、容易に検証することができる。
【００９９】
〈スキージの第５構成例〉
図１９は、第５構成例に係るスキージ２Ｄ及びバックアッププレート１０４の斜視図である。スキージ２Ｄは、図６に示した第１構成例に係るスキージの構成と概ね同様である。すなわち、スキージ２Ｄのスキージ面２ｄには、所定の模様として、先端縁部２ａと平行な複数の平行表示線２１が設けられている。平行表示線２１は、スキージ面２ｄの幅方向の全範囲に亘って設けられており、また、各平行表示線２１は等間隔に設けられている。図６に示すスキージ２との相違点は、平行表示線のうちの１本（強調平行表示線２１ａ）が、他の平行表示線（一般平行表示線２１ｂ）と識別可能に強調表示された態様で設けられている点にある。ここでは、強調平行表示線２１ａを強調表示する方法として、一般平行表示線２１ｂと異なる色で強調平行表示線２１ａを印刷しているが、双方の線種や線太さを相違させても良い。尚、強調平行表示線２１ａ及び一般平行表示線２１ｂを区別して言及する必要が無い場合には、これらを総称して平行表示線２１と呼ぶ。
【０１００】
次に、バックアッププレート１０４について説明する。バックアッププレート１０４は、スキージ２の背面に位置する本体プレート部１０４Ａと、本体プレート部１０４Ａの両端に配置される側方プレート部１０４Ｂとを有する。本体プレート部１０４Ａの幅は、スキージ２の長手方向の長さと等しい。したがって、本体プレート部１０４Ａの両端部に配置される側方プレート部１０４Ｂは、スキージ２の端部２ｃよりも外側に突出するように配置されている。また、側方プレート部１０４Ｂの下端は、本体プレート部１０４Ａよりも下方に延伸（突出）している。尚、図１９において、スキージホルダ１０３の図示を省
略している。また、図１９において、側方プレート部１０４Ｂを鎖線で表している。
【０１０１】
本構成例においては、図示のスキージ２及びバックアッププレート１０４をスキージホルダ１０３に装着して、撓り検証処理に係るスキージ２のスキージングを行う。図２０は、第５構成例に係るスキージ２の撓り度合いの検証方法を説明する説明図である。図中の左側には、初期状態におけるスキージ２及び初期状態スキージ画像を示す。また、図中の右側には、スキージング中におけるスキージ２及び撓り状態スキージ画像を示す。尚、各画像内における上下方向は、スキージ面２ｄの上下方向に対応している。
【０１０２】
側方プレート部１０４Ｂの底面１１０には、スキージ２の撓り量の適正範囲を示す上限基準線１１１と下限基準線１１２が設けられている。この上限基準線１１１と下限基準線１１２は、初期状態スキージ画像及び撓り状態スキージ画像内に示す。尚、図示の各スキージ画像は、第１カメラ１０ａによってスキージ２の端部２ｃを撮像したものである。尚、底面１１０において、上限基準線１１１と下限基準線１１２に挟まれることで画定される領域を基準範囲１１３と称呼する。この基準範囲１１３は、撓り状態スキージ画像において、スキージ面２ｄに印刷された強調平行表示線２１ａと照合されることで、スキージ２Ｄの撓り量の適正度が判断される。
【０１０３】
側方プレート部１０４Ｂの底面１１０における基準範囲１１３と、スキージ２Ｄのスキージ面２ｄに印刷された強調平行表示線２１ａとの相対関係について説明する。図２０の初期状態スキージ画像に示すように、初期状態においては、スキージ面２ｄの強調平行表示線２１ａが、側方プレート部１０４Ｂの基準範囲１１３に含まれないように、双方の位置関係が設定されている。
【０１０４】
次に、スキージ２Ｄのスキージングが開始されると、スキージ２Ｄが撓る結果、平行表示線２１の間隔が広がる。したがって、初期状態からスキージング状態に移行すると、スキージ面２ｄに印刷された強調平行表示線２１ａは、スキージ画像内の下方に向かって移動する。
【０１０５】
図２１は、強調平行表示線２１ａの移動量Ｄｔと、撓りスキージ角度θｓとの関係を示す図である。強調平行表示線２１ａの移動量Ｄｔとは、初期状態からスキージング状態に移行する際に、スキージ画像内の基準範囲１１３に対する強調平行表示線２１ａの相対移動量を指す。本構成例においても、撓りスキージ角度θｓの適正範囲が例えば４９〜５５°に設定されているとする。図２１中、上記適正範囲の下限値である４９°に対応する強調平行表示線２１ａの移動量Ｄｔは、例えば１．６ｍｍとして読み出すことができる。また、撓りスキージ角度θｓの適正範囲の上限値である５５°に対応する強調平行表示線２１ａの移動量Ｄｔは、例えば０．７ｍｍとして読み出すことができる。ここで、撓りスキージ角度θｓが小さいほど、スキージ２Ｄの撓り量は大きくなり、強調平行表示線２１ａの移動量Ｄｔも大きくなる。また、撓りスキージ角度θｓの適正範囲に対応する強調平行表示線２１ａの移動量Ｄｔを「表示線適正移動量」と称する。
【０１０６】
側方プレート部１０４Ｂの上限基準線１１１は、初期状態スキージ画像内においてスキージ面２ｄに印刷された強調平行表示線２１aとの離間距離（画像内上下方向）が表示線
適正移動量の下限値と一致するように、底面１１０に印刷されている。一方、側方プレート部１０４Ｂの下限基準線１１１は、初期状態スキージ画像内においてスキージ面２ｄに印刷された強調平行表示線２１aとの離間距離が表示線適正移動量の上限値と一致するよ
うに、底面１１０に印刷されている。
【０１０７】
その結果、スキージング中における撓りスキージ角度θｓが適正範囲内であれば、撓り状態スキージ画像内において、強調平行表示線２１aが基準範囲１１３に含まれることに
なる。したがって、撓り状態スキージ画像に基づき、強調平行表示線２１aが基準範囲１
１３に含まれているか否かを確認するだけで、スキージ２Ｄの撓り量が適正であるかどうかを簡単に確認することができる。
【０１０８】
なお、本構成例では、スキージ２Ｄのスキージ面２ｄに、複数の平行表示線２１を設けたので、第１構成例で述べたように、各平行表示線２１の間隔の広がり方に基づいて、スキージ２Ｄの撓り量が適正であるかどうかを併せて検証しても良い。また、スキージ２Ｄにおいては、平行表示線２１をスキージ面２ｄに複数本印刷しなくても構わない。例えば、基準範囲１１３（上限基準線１１１、下限基準線１１２）との位置関係が規定される単一の平行表示線を、スキージ面２ｄに印刷するようにしても良い。また、バックアッププレート１０４の側方プレート部１０４Ｂは、少なくとも本体プレート部１０４Ａの一端に配置すれば良く、必ずしも両端に配置しなくても構わない。この場合、側方プレート部１０４Ｂが配置される側のスキージ２Ｄの端部２ｃに設けられた平行表示線２１と、基準範囲１１３とを照合して、スキージ２Ｄの撓り状態を検証すれば良い。
【０１０９】
＜実施形態３＞
次に、実施形態３を説明する。図２２は、実施形態３に係るスキージ観察装置１を説明するための図である。本実施形態に係るスキージ観察装置１は、プリント基板１０１にソルダーペースト１０５を供給する印刷機構を有する。つまり、実施形態３に係るスキージ観察装置１は、スクリーン印刷装置として捉えることが可能である。尚、上述までの実施形態と共通する装置、部材については同じ符号を付すことで、その詳しい説明を省略する。尚、本実施形態に係るスキージ２は、図６に示すスキージ２と同一である。
【０１１０】
図示のように、プリント基板１０１の上面には、マスクプレート１０２が載置されている。マスクプレート１０２は、プリント基板１０１のフットパターンに対応する位置に形成された印刷開口１０２ａを有しており、印刷開口１０２ａによってフットパターンが露出している。また、マスクプレート１０２のうち、印刷開口１０２ａとは異なる位置に、３個のスキージ観察用開口１１４が形成されている。スキージ観察用開口１１４には、透明なガラス平板１０２ｂが嵌め込まれている。ガラス平板１０２ｂは、透明な平板材の一例として挙げられる。また、スキージ観察用開口１１４に嵌め込む部材は、透明な平板材であれば、ガラス平板とは異なる他の部材を採用しても良い。尚、マスクプレート１０２に形成される印刷開口１０２ａ及びスキージ観察用開口１０２ｂは、何れもマスクプレート１０２を貫通する貫通孔である。また、スキージ観察用開口１１４の詳細については後述する。マスクプレート１０２はマスク部材の一例として挙げられる。
【０１１１】
図２２には図示を省略しているが、実施形態３に係るスキージ観察装置１においても、図５に示すように、印刷台３、印刷台駆動部４、スキージヘッド部５、スキージ駆動部６、カメラ１０、制御装置１１等を備えており、適宜、図５を参照することとする。また、本実施形態におけるカメラ１０は、マスクプレート１０２の下方に配置されており、印刷台３の底部３ｃを平面方向に移動可能なスライド式カメラを採用している。
【０１１２】
実施形態３に係るスキージ観察装置１は、マスクプレート１０２の上面にソルダーペースト１０５を供給するペースト供給装置（図示せず）を備えている。制御装置１１は、スキージ駆動部６を作動させることによって、スキージ２を、図中に示すスキージ方向Ｄｓにスキージングさせる。その際、スキージ２は、マスクプレート１０２の上面に形成されている印刷開口１０２ａにソルダーペースト１０５を充填しつつ移動する。これにより、印刷開口１０２ａを通じて、プリント基板１０１のフットパターン上にソルダーペースト１０５が転写（印刷）される。
【０１１３】
次に、スキージ観察用開口１１４について説明する。各スキージ観察用開口１１４は、
スキージ２の中央部２ｂ及び双方の端部２ｃがスキージング時に通過する位置に、設けられている。図中、１１４ａで表す第１スキージ観察用開口は、スキージ２の中央部２ｂが真上を通過する位置に設けられている。図中、１１４ｂで表す第２スキージ観察用開口は、スキージ２の一方の端部（以下、「右端部」という）２ｃが真上を通過する位置に設けられている。１１４ｃで表す第３スキージ観察用開口は、スキージ２の他方の端部（以下、「左端部」という）２ｃが真上を通過する位置に設けられている。
【０１１４】
以上のように構成されるスキージ観察装置１では、プリント基板１０１にソルダーペースト１０５を印刷しながら、上述までの実施形態で説明した撓り検証処理を行い、スキージング中におけるスキージ２の撓り量の適正度を検証することが可能である。
【０１１５】
スキージ２の中央部２ｂについてスキージング中の撓り量を検証する場合、カメラ１０を第１スキージ観察用開口１１４ａの真下に配置する。これにより、ガラス平板１０２ｂを透して、スキージ２の中央部２ｂにおけるスキージ面２ｄを撮像できるので、中央部２ｂでの撓りスキージ角度θｓを求めることができる。尚、スキージ面２ｄのうち、撓り量を検証したい部位がソルダーペースト１０５によって覆われてしまう場合、プリント基板１０１の上部をスキージ２が通過し終わった時点で、中央部２ｃにおけるソルダーペースト１０５を取り除くと良い。
【０１１６】
同様に、スキージ２の右端部又は左端部２ｃ，２ｃについてスキージ２の撓り量を検証する場合、カメラ１０を第２スキージ観察用開口１１４ｂ、又は第３スキージ観察用開口１１４ｃの真下に移動させる。この状態で、スキージ２をスキージングさせることにより、スキージ２の端部２ｃにおける撓りスキージ角度θｓを求めることができる。また、スキージ２の端部２ｃは、プリント基板１０１の上方を通過しないようになっている。したがって、第２及び第３スキージ観察用開口１１４ｂ，１１４ｃに嵌め込まれたガラス平板１０２ｂを透してスキージ面２ｄを撮像するに当たり、撓り量を検証したい部位がソルダーペースト１０５によって覆われることがない。
【０１１７】
以上のように、本実施形態のスキージ観察装置１によれば、プリント基板１０１に対するソルダーペースト１０５の充填中、すなわち、製品の製造ライン中においても、スキージ２の撓り状態を観察することが可能となる。尚、本実施形態では、マスクプレート１０２に設けるスキージ観察用開口１１４ｂの数を３個としているが、その設置数を増やしても良いし、減らしても良い。また、本実施形態のスキージ観察装置１では、第１構成例に係るスキージ２を適用しているが、他の構成例に係るスキージ２Ａ〜Ｄを適用しても良い。以上の各実施形態は、可能な限りこれらを組み合わせて実施する事ができる。
【符号の説明】
【０１１８】
１ スキージ観察装置
２，２Ａ〜２Ｄ スキージ
２ａ 先端縁部
２ｂ 中央部
２ｃ 端部
２ｄ スキージ面
７ ガラス基板
１０，１０ａ，１０ｂ カメラ
１２ 表示装置
１２ａ 画面
２１ 平行表示線
２１ａ 強調平行表示線
２１ｂ 一般平行表示線
２２ 斜め表示線
１０１ プリント基板
１０２ マスクプレート
１０３ スキージホルダ
１０４ バックアッププレート
１０５ ソルダーペースト
【技術分野】
【０００１】
本発明は、スキージ観察装置及びスキージ観察方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子部品の表面実装工程において、基板上にクリーム半田（以下、「ソルダーペースト」ともいう。）を供給する方法として、スクリーン印刷が知られている。この印刷方法は、印刷対象部位に応じて印刷開口が形成されたマスクプレートを基板上に配置し、マスクプレートの上面に沿ってスキージをスキージングさせることで、印刷開口を介して基板上にソルダーペーストを印刷（転写）する。
【０００３】
近年、中・大型電子部品と小型の電子部品とを混載実装するケースが増えている。小型電子部品に対応する印刷開口は版厚に対する開口寸法が相対的に小さくなり易い。その結果、印刷開口にソルダーペーストが適切に充填されず、印刷開口寸法に見合う適切な量のソルダーペーストを充填することが難しい。
【０００４】
また、スキージング動作中のスキージには撓り（しなり）が生じ、この撓りはスキージの長手方向（スキージ方向と直交する方向）において一様とならない場合がある。例えば、スキージの中央部を保持してスキージングさせる場合、スキージの中央部に比べて両端部の撓り度合いが大きくなる傾向がある。このように、スキージの長手方向における撓り状態が異なると、印刷開口へのソルダーペーストの充填量がばらつく要因になる。
【０００５】
一方、スクリーン印刷における印刷条件のパラメータは多種に及ぶため、印刷条件パラメータの条件選定は容易でない。スクリーン印刷を行う際の最適な印刷条件を選定するための観察装置として、被印刷物として透過性を有する基板を使用し、印刷開口に充填されるソルダーペーストの充填過程を撮像カメラによって基板を透して撮像する技術が知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００５−１６７１１１号公報
【特許文献２】特開２００４−１５５４号公報
【特許文献３】特許第２９８２６１７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、印刷開口へのソルダーペーストの充填状態を観察しても、スキージの撓り状態まで把握することは困難である。したがって、スキージの撓り度合いを考慮したソルダーペーストの最適な印刷条件を見出すことが困難であった。本件は、上記の問題点に鑑みてなされたものであり、基板上にソルダーペーストを印刷するスキージのスキージング中における撓り状態を、精度良く検証することの可能な技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本件の一観点によるスキージ観察装置は、透明な平板材と、前記平板材の上面に接するようにスキージを保持し、前記スキージを前記平板材の上面に沿ってスキージングさせるスキージ駆動手段と、前記平板材の下方に配置されており、前記スキージング中の前記スキージを、前記平板材を透して撮像する撮像手段と、を備え、前記スキージのうち、前記
スキージング中の進行方向側に面するスキージ面には、前記スキージの撓りに応じて変形する所定の模様が設けられている。
【発明の効果】
【０００９】
本件によれば、基板上にソルダーペーストを印刷するスキージのスキージング中における撓り状態を、精度良く検証することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】ソルダーペーストのスクリーン印刷を説明する説明図である。
【図２】スキージング中のスキージの状態を説明する説明図である。
【図３】スキージング中におけるスキージ先端側の部分拡大図である。
【図４】スキージング開始前及び開始後におけるスキージの状態を表す図である。
【図５】実施形態１に係るスキージ観察装置の概略構成図である。
【図６】スキージの第１構成例を示す図である。
【図７】第１及び第２カメラとスキージとの相対的な位置関係を模式的に示す図である。
【図８】撓り検証処理における各装置の動作内容を説明する説明図である。
【図９】初期状態とスキージング状態において、スキージ面をガラス基板の下方から眺めた図である。
【図１０】表示装置の画面を例示した図である。
【図１１Ａ】印刷条件パラメータの選定方法に係る手順を示すフローチャートである。
【図１１Ｂ】印刷条件パラメータの選定方法に係る手順を示すフローチャートである。
【図１２】スクリーン印刷において、スキージング後の状況と版離れ後の状況を説明する説明図である。
【図１３】スキージの第２構成例を示す図である。
【図１４】第２構成例に係るスキージのスキージ画像を表示装置に表示させた図である。
【図１５】スキージの第３構成例を示す図である。
【図１６】第３構成例に係るスキージのスキージ画像を表示装置に表示させた図である。
【図１７】スキージの第４構成例を示す図である。
【図１８】第４構成例に係るスキージのスキージ画像を表示装置に表示させた図である。
【図１９】第５構成例に係るスキージ及びバックアッププレートの斜視図である。
【図２０】第５構成例に係るスキージの撓り度合いの検証方法を説明する説明図である。
【図２１】強調平行表示線２１ａの移動量Ｄｔと撓りスキージ角度θｓとの関係を示す図である。
【図２２】実施形態３に係るスキージ観察装置を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、図面を参照して、発明を実施するための形態（以下、実施形態という。）に係るスキージ観察装置、及びスキージ観察方法について例示的に詳しく説明する。
【００１２】
＜実施形態１＞
図１は、ソルダーペーストのスクリーン印刷を説明する説明図である。図２は、スキージング中のスキージの状態を説明する説明図である。スクリーン印刷は、例えば、プリント基板１０１の上面にマスクプレート（印刷版）１０２を配置した状態で行われる。マス
クプレート１０２には、プリント基板１０１の上面に形成されたフットパターン１０１ａに対応する印刷開口１０２ａが形成されており、印刷開口１０２ａを通じてフットパターン１０１ａが露出するようにマスクプレート１０２が位置決めされている。マスクプレート１０２を作製する材料としては、例えばステンレス（ＳＵＳ）、ニッケル（Ｎｉ）等を挙げることができる。
【００１３】
スキージ２は平板状を呈しており、例えば、ステンレス、ウレタン、プラスチック等を材料として用いることができる。スキージ２は、スキージホルダ１０３に着脱自在に装着されている。スキージホルダ１０３は、スキージ２とマスクプレート１０２の上面とがなす角度（以下、「初期スキージ角度」という。）θｉを調整可能に、スキージ２を把持する構造となっている。図中の符号１０４は、バックアッププレートを表す。バックアッププレート１０４は、スキージ２がスキージホルダ１０３から片持ち状態で下方に延出する長さ（以下、「スキージ有効長」という。）Ｌｓを規定する機能を有する。スキージホルダ１０３に対するバックアッププレート１０４の装着位置を変更したり、使用するバックアッププレート１０４そのものを交換することにより、スキージ有効長を変更することができる。その結果、スキージ２の可撓性を調整することが可能となる。
【００１４】
スキージホルダ１０３は、駆動装置（不図示）によってマスクプレート１０２の上面に沿って駆動される。スキージホルダ１０３が駆動されることにより、スキージ２の先端縁部２ａがマスクプレート１０２の上面に当接しつつ、マスクプレート１０２の上面に沿って移動するスキージング動作が行われる。マスクプレート１０２の上面にソルダーペースト１０５を載置した状態でスキージ２をスキージングさせると、ソルダーペースト１０５がスキージ２の先端縁部２ａによって印刷開口１０２ａへと押し込まれる。これにより、プリント基板１０１のフットパターン１０１ａ上にソルダーペースト１０５が転写される。その後、プリント基板１０１からマスクプレート１０２を引き離すことで、ソルダーペースト１０５のスクリーン印刷が完了する。
【００１５】
図１及び図２に示す符号Ｄｓは、スキージング中におけるスキージ２の進行方向（以下、「スキージ方向」という。）を表す。両図から判るように、スキージング中におけるスキージ２は、先端縁部２ａがマスクプレート１０２と当接した状態で移動するため、撓った状態に維持される。図３は、スキージング中におけるスキージ先端側の部分拡大図である。スキージングの際、スキージ２における先端縁部２ａ及びその周辺部は撓るため、先端縁部２ａ及びその周辺部とマスクプレート１０２の上面とがなす角度（以下、「撓りスキージ角度」という。）θｓが、初期スキージ角度θｉよりも小さな角度となる。
【００１６】
スクリーン印刷時において、マスクプレート１０２の印刷開口１０２ａにソルダーペースト１０５を押し込む作用は、スキージ２のしなり強度、及び撓りスキージ角度θｓの寄与する度合いが大きい。スキージ２のしなり強度は、撓った状態の先端縁部２ａを元の状態に復元しようとする復元力であり、スキージング中においてスキージ２をマスクプレート１０２の上面に押し付ける印刷圧（以下、「スキージ圧」という。）の影響を主に受ける。
【００１７】
一方、撓りスキージ角度θｓは、スキージ２の材質や厚さによって適正範囲が定まっている。しかしながら、撓りスキージ角度θｓは、初期スキージ角度θｉ、スキージ２の材質・厚さ、スキージ有効長Ｌｓ、スキージ速度、スキージ圧（印刷圧）等、他種の因子の影響を受けるため、適正度を検証することが難しい。更に、スキージングの際にスキージホルダ１０３を駆動するための機構は、スキージホルダ１０３（スキージ２）の長手方向（図２中、符号Ｄｗで表す。）における特定部位（例として、中央部）に駆動力を作用させる構造が広く採用されている。そうすると、図４に示すように、スキージング中における端部２ｃの撓り量（撓り度合い）が、中央部２ｂに比べて大きくなる傾向がある。
【００１８】
図４において、左図はスキージングの開始前におけるスキージ２の状態を表し、右図はスキージング中におけるスキージ２の状態を表す。何れの図においても、スキージ２を上部から眺めた状態を示している。図４の右図に示すように、スキージ２の長手方向Ｄｗに関して、スキージング中における撓り量が相違すると、印刷開口１０２ａに対するソルダーペースト１０４の充填量（供給量、転写量）のばらつきを招く要因となる。
【００１９】
そこで本実施形態では、スクリーン印刷時におけるソルダーペースト１０５の最適な印刷条件を見出すために、スキージ観察装置１によって、スキージング中におけるスキージ２の撓り状態を観察し、撓りスキージ角度θｓの適正度を検証する。以下、スキージ観察装置１について詳しく説明する。
【００２０】
〈スキージ観察装置の構成〉
図５は、スキージ観察装置１の概略構成図である。スキージ観察装置１は、上方に開口する箱状の印刷台３、印刷台３を昇降駆動する印刷台駆動部４、印刷台３の上方に配設されたスキージヘッド部５を印刷台３と平行に往復駆動するスキージ駆動部６等を有する。
【００２１】
印刷台３の開口部３ａには支持枠３ｂが配設されており、支持枠３ｂに透明な平板状であるガラス基板７が取り付けられている。ガラス基板７は、不図示のクランパを介して支持枠３ｂに固定されている。印刷台駆動部４は、例えば、印刷台３の底部３ｃに接続されたパルスモータ４ａを有しており、このパルスモータ４ａを用いて印刷台３を昇降駆動することができる。尚、支持枠３ｂに取り付ける部材は、ガラス基板７に限定されるものではなく、透明な平板材であれば他の部材を採用しても良い。ガラス基板７は透明な平板材の一例として挙げられる。
【００２２】
スキージ駆動部６は、例えばサーボモータ６ａ、サーボモータ６ａにより回転駆動されるスキージ駆動軸６ｂ、及び、スキージ駆動軸６ｂに嵌装されたスキージ駆動ブロック６ｃ等を有する。スキージ駆動軸６ｂの外周面にはネジ加工が施されており、スキージ駆動ブロック６ｃはスキージ駆動軸６ｂのネジに係合している。サーボモータ６ａによってスキージ駆動軸６ｂが回転駆動されると、スキージ駆動軸６ｂに嵌装されているスキージ駆動ブロック６ｃが、スキージ駆動軸６ｂの軸方向に沿って駆動する。スキージ駆動部６はスキージ駆動手段の一例として挙げられる。
【００２３】
スキージヘッド部５は、スキージ２を保持（把持）するスキージホルダ１０３、バックアッププレート１０４、スキージ駆動ブロック６ｃ及びスキージホルダ１０３の間に介在するスキージ圧駆動機構９等を有する。スキージ２、スキージホルダ１０３、及びバックアッププレート１０４は、図１〜４を参照して説明した通りである。スキージ圧駆動機構９は、例えば空気圧シリンダ機構を有しており、空気圧シリンダ機構の空気圧を調節することにより、スキージ２をガラス基板７に押し付ける圧力であるスキージ圧を調整できる。
【００２４】
また、ガラス基板７の下方（具体的には印刷台３の底部３ｃ）には２台のカメラ（以下、第１カメラ、第２カメラとする。）１０ａ，１０ｂが設置されている。第１及び第２カメラ１０ａ，１０ｂは、スキージホルダ１０３に保持されているスキージ２の長手方向Ｄｗ（図４を参照）に所定の距離だけ離れた状態で並設されている固定式カメラである。第１及び第２カメラ１０ａ，１０ｂは、撮像手段の一例として挙げられる。
【００２５】
更に、スキージ観察装置１は、制御装置１１、表示装置１２、ハードディスク装置等の記録装置１３等を備えている。制御装置１１は、図示しない中央処理装置(ＣＰＵ)、ＲＯＭやＲＡＭ等のメモリを有しており、スキージ観察装置１の全体動作を制御する。制御装
置１１には、印刷台駆動部４のパルスモータ４ａ、スキージ駆動部６のサーボモータ６ａ、スキージ圧駆動機構９、第１カメラ１０ａ、第２カメラ１０ｂ等が電気配線を介して接続されており、各装置が制御装置１１によって制御される。また、制御装置１１には、表示装置１２及び記録装置１３が電気配線を介して接続されている。
【００２６】
〈スキージの第１構成例〉
図６は、本実施形態におけるスキージ２の第１構成例を示す図である。図６は、スキージ２のスキージ面２ｄを正面として眺めた状態を示している。スキージ２のスキージ面２ｄとは、スキージ２を形成する面のうち、スキージング中における進行方向（スキージ方向）に向かって前方に位置する面を指す。ここでいうスキージ２のスキージングとは、後述する撓り検証処理において、スキージ２の先端縁部２ａがガラス基板７の上面に当接しつつ、ガラス基板７の上面に沿って移動する動作を指す。
【００２７】
スキージ２のスキージ面２ｄには、所定の模様（パターン）が付与されている。スキージ面２ｄに設けられた模様は、スキージ２のスキージング中に第１カメラ１０ａ、第２カメラ１０ｂによって撮像される。スキージ２は、スキージングを開始することによって撓るため、スキージ面２ｄに設けた模様も変形することになる。スキージ観察装置１では、第１カメラ１０ａ、第２カメラ１０ｂによって、スキージ面２ｄの変形を捉えることによって、スキージ２の撓り状態の検証や撓りスキージ角度θｓの取得を実現する。
【００２８】
スキージ２のスキージ面２ｄには、所定の模様として、先端縁部２ａと平行な複数の表示線（以下、「平行表示線」という。）２１が設けられている。平行表示線２１は、複数（２本以上）であれば、その本数は何ら限定されない。各平行表示線２１の表示間隔は、等間隔となっている。例えば、図６に示す例では、各平行表示線２１の表示間隔を１ｍｍとしているが、他の値を採用しても良い。また、平行表示線２１の幅は、例えば０．１〜０．２ｍｍ程度としているが、これに限定されるものではない。平行表示線２１をスキージ面２ｄに表示させる手法としては、インク等を用いて平行表示線２１を印刷しても良いし、スキージ面２ｄに傷をつけて平行表示線２１を描くケガキ加工を施しても良い。このケガキ加工においては、加工深さを５０μｍ以下とするのが好ましい。また、平行表示線２１を印刷したシール等をスキージ２のスキージ面２ｄに貼り付けても良い。
【００２９】
〈撓り検証処理〉
以上のように構成されるスキージ観察装置１では、制御装置１１によって撓り検証処理が行われる。この撓り検証処理では、概略、ガラス基板７に沿ってスキージ２をスキージングさせ、スキージング中におけるスキージ２の撮像結果を用いて撓りスキージ角度θｓを検証する。撓り検証処理は、スキージ圧、スキージ速度等が設定されたスキージングプログラムに基づき、制御装置１１が印刷台駆動部４、スキージ駆動部６、スキージ圧駆動機構９等を制御することで実行することができる。撓り検証処理を実行する際、初期スキージ角度θｉの初期値は６０°に設定されている。初期スキージ角度θｉの定義は既述の通りである。但し、スキージ観察装置１でいう初期スキージ角度θｉとは、スキージ２が初期位置にある状態でのスキージ面２ｄとガラス基板７の上面とがなす角度を指す。また、初期スキージ角度θｉの初期値として６０°を採用したのは例示的なものであり、適宜変更しても構わない。
【００３０】
撓り検証処理にあたって、スキージ２の先端縁部２ｄをガラス基板７の上面に押し当てるスキージ圧は、スキージ圧駆動機構９によって調節される。また、スキージ２のスキージ方向Ｄｓに沿ったスキージング動作は、スキージ駆動部６によってスキージ駆動軸６ｂを回転駆動することで実現される。
【００３１】
次に、撓り検証処理において、第１カメラ１０ａ及び第２カメラ１０ｂがスキージ２の
スキージ面２ｄを撮像する態様を説明する。図７は、第１及び第２カメラ１０ａ，１０ｂとスキージ２との相対的な位置関係を模式的に示す図である。図７には、上述したスキージ２の長手方向Ｄｗ及びスキージ方向Ｄｓを示している。また、図７には、スキージ２を上部から眺めた状態が示されており、ガラス基板７の作図は割愛している。
【００３２】
図７に示すように、第１カメラ１０ａは、スキージング中におけるスキージの端部２ｃが、第１カメラ１０ａの上方を通過する位置に配置されている。一方、第２カメラ１０ｂは、スキージング中におけるスキージの中央部２ｂが、当該第２カメラ１０ｂの上方を通過する位置に配置されている。撓り検証処理では、スキージ２のスキージングに際して、スキージ２の端部２ｃを第１カメラ１０ａによって撮像し、スキージ２の中央部２ｂを第２カメラ１０ｂによって撮像する。尚、制御装置１１は、第１カメラ１０ａ及び第２カメラ１０ｂが撮像した画像（以下、「スキージ画像」という。）のデータを受け取り、スキージ画像を表示装置１２に表示させたり、記録装置１３に記録することができる。
【００３３】
図８は、撓り検証処理における各装置の動作内容を説明する説明図である。撓り検証処理が開始されると、制御装置１１は、まず、スキージ方向Ｄｓにおけるスキージ２の位置が初期位置と一致するようにスキージ駆動部６を制御する。この初期位置は、スキージ２のスキージングを開始するスタート位置に相当するものである。ここで、スキージ２が初期位置に配置されている状態を、「初期状態」として定義する（図８中、破線で示す。）。初期状態にあるスキージ２は、先端縁部２ａとガラス基板７の上面との間に僅かなクリアランスが形成されている。
【００３４】
次に、制御装置１１は、印刷台駆動部４を制御することによって、スキージ２の先端縁部２ａがガラス基板７の上面に押し付けられるまで印刷台３を上昇させる。その際、印刷台３の上昇量は、スキージ２のスキージング時において所定のスキージ圧が得られるように調節されている。その後、制御装置１１は、スキージ駆動部６を制御することによって、スキージ２をスキージ方向Ｄｓにスキージングさせる。そして、スキージ２が第１カメラ１０ａ及び第２カメラ１０ｂの真上を通過するスキージ撮像位置に到達した時点で、第１カメラ１０ａ及び第２カメラ１０ｂはスキージ２（スキージ面２ｄ）を撮像する。そして、スキージ方向Ｄｓにおけるスキージ２の位置が所定のスキージング終点位置に到達すると、制御装置１１はスキージ駆動部６の作動を停止させる。その結果、スキージ２のスキージングが停止する。
【００３５】
図９は、初期状態とスキージング状態において、スキージ面２ｄをガラス基板７の下方から眺めた図である。図９中、左図に初期状態のスキージ面２ｄを示し、右図にスキージング状態のスキージ面２ｄを示している。初期状態のスキージ面２ｄを下方から眺めた場合、スキージ面２ｄに正対する方向から眺める場合に比べて、平行表示線２１の間隔が狭く見える。
【００３６】
次に、スキージング中におけるスキージ２の平行表示線２１の見え方について説明する。スキージング中のスキージ２は撓り変形を伴っている。そのため、撓りスキージ角度θｓは初期スキージ角度θｉに比べて小さくなる。また、スキージ２の撓り変形によって、スキージ面２ｄ側が伸びるため、スキージ面２ｄに設けられている平行表示線２１同士の間隔が広がる。その際、スキージ２の撓り度合いが大きいほど、平行表示線２１同士の間隔の広がり方も顕著となる。その結果、スキージング中におけるスキージ面２ｄを下方から眺めた場合には、初期状態のときに比べて、平行表示線２１同士の間隔が広がって視認される。
【００３７】
撓り検証処理では、スキージング中におけるスキージ２のスキージ面２ｄを、ガラス基板７の下方に配置した第１及び第２カメラ１０ａ，１０ｂを用いて撮像する。これによっ
て、スキージ画像を得ることができる。ここで、スキージ２の端部２ｃにおけるスキージ画像を「端部スキージ画像」と称し、スキージ２の中央部２ｂにおけるスキージ画像を「中央部スキージ画像」と称する。制御装置１１は、各カメラ１０ａ，１０ｂから取得した各スキージ画像を表示装置１２に表示させると共に、その画像データを記録装置１３に記録する。
【００３８】
図１０は、表示装置１２の画面１２ａを例示した図である。図示の例では、中央部スキージ画像が画面１２ａに映し出されている。ここで、例えばマウスやキーボードなどの入力装置（図示せず）を介して使用者からの画像切り替え要求を受け付けると、画面１２ａへの出力対象が中央部スキージ画像から端部スキージ画像へと切り替えられる。尚、画面１２ａに、中央部スキージ画像及び端部スキージ画像を並べて表示させても良い。
【００３９】
表示装置１２に表示されるスキージ画像に映った平行表示線２１の間隔を、「画像表示間隔Ｘ１」と定義する。平行表示線２１の画像表示間隔Ｘ１は、スキージ２のスキージ面２ｄに形成された平行表示線２１の実際の間隔（以下、「現実印刷間隔Ｃ」と定義する。）と撓りスキージ角度θｓと相関がある。撓りスキージ角度θｓは、下記数式（１）によって算出することができる。
θｓ＝cos-1（Ｘ１／Ｃ）・・・（１）
【００４０】
ここで、現実印刷間隔Ｃは１ｍｍに設定されている。例えば、スキージ観察装置１の使用者が、スキージ画像から読み出した平行表示線２１の画像表示間隔Ｘ１が０．６ｍｍであったとする。この場合、数式（１）のＣに１、Ｘ１に０．６を代入することで、撓りスキージ角度θｓを５３．１°として算出することができる。尚、表示装置１２の画面１２ａには、スケールが表示されているので、使用者は画像表示間隔Ｘ１を容易に読み取ることができる。
【００４１】
本実施形態では、スキージ観察装置１の使用者が表示装置１２の画面１２ａに表示するスキージ画像から撓りスキージ角度θｓを求める例を説明したが、制御装置１１によって撓りスキージ角度θｓを自動で算出しても良い。この場合、制御装置１１は、例えばカメラ１０ａ，１０ｂから取得したスキージ画像に画像処理を行う。そして、制御装置１１は、スキージ画像に対する画像処理結果に基づき、撓りスキージ角度θｓを算出する。このようにして、制御装置１１が取得した撓りスキージ角度θｓは、表示装置１２の画面１２ａに出力されたり、記録装置１３に記録される。
【００４２】
以上のように、本実施形態に係るスキージ２によれば、スキージ面２ｄに所定の模様を付与し、スキージング中における当該模様を撮像することによって、初期状態からの模様の変形度合いに基づいて撓りスキージ角度θｓを好適に求めることができる。すなわち、第１構成例に係るスキージ２では、スキージ面２ｄの先端縁部側に複数の平行表示線２１を付与（印刷）するようにした。そして、カメラ１０ａ，１０ｂで撮像したスキージ画像において、スキージング中における平行表示線２１の間隔の、初期状態を基準としたときの広がり方（変形）に基づき、撓りスキージ角度θｓを容易に求めることができる。これによって、スキージング中におけるスキージ２の撓り量（撓り度合い）の適正度を検証することができる。
【００４３】
更に、本実施形態のスキージ２によれば、スキージ面２ｄに、平行表示線２１を互いに等間隔で設けるようにした。これによれば、撓りスキージ角度θｓを算出する際の基礎となる現実表示間隔Ｃが何れの箇所においても一定となるため、撓りスキージ角度θｓをより簡単に算出することができる。したがって、本実施形態によれば、プリント基板１０１上にソルダーペースト１０５を印刷するスキージ２のスキージング中における撓り状態を、精度良く検証することが可能である。
【００４４】
そして、撓り検証処理によって求めた撓りスキージ角度θｓが、スクリーン印刷に係る印刷条件パラメータの設定、仕様によって定まる所定の適正範囲に収まっているか否かに基づき、その適正度を検証することができる。印刷条件パラメータとしては、例えば初期スキージ角度θｉ、スキージ速度、スキージ圧等が挙げられる。仮に、撓りスキージ角度θｓが適正範囲から外れていることが判明した場合、印刷条件パラメータを適宜変更した上で撓り検証処理を再実施すると良い。スキージ観察装置１を用いて撓りスキージ角度θｓの適正度を検証し、その検証結果を印刷条件パラメータの選定にフィードバックすることで、ソルダーペーストの最適な印刷条件を見出すことができる。つまり、スキージング中におけるスキージ２の撓り度合いを考慮して、スクリーン印刷における印刷条件パラメータを、適正に選定することができる。
【００４５】
ところで、図１〜４で説明した様に、スキージング中におけるスキージ２は、中央部２ｂに比べて端部２ｃの撓り度合いが大きくなる傾向がある。これに対して、スキージ観察装置１では、中央部スキージ画像及び端部スキージ画像の双方を取得するようにした。これにより、スキージ２の中央部２ｂ及び端部２ｃの双方で撓りスキージ角度θｓが適正範囲となるように、印刷条件パラメータを選定できる。したがって、スキージ２の長手方向Ｄｗの全範囲に亘って、最適な印刷条件下においてスクリーン印刷を実施できる。故に、プリント基板１０１に対するソルダーペースト１０５の供給量のばらつきを抑制することが可能となり、プリント基板１０１に実装する電子部品の品質が担保される。
【００４６】
〈変形例〉
尚、本実施形態に係るスキージ観察装置１では、２台の固定式の第１及び第２カメラ１０ａ，１０ｂをガラス基板７の下方に配置したが、カメラの設置態様は種々の変更を加えることができる。例えば、ガラス基板７の下方であって、第１カメラ１０ａが配置されていない方の端部２ｃが上部を通過する位置に第３カメラ（図示せず）を配置し、当該端部２ｃのスキージ画像を第３カメラによって取得しても良い。これによれば、スキージング中におけるスキージ２の撓り状態を、より一層精度良く検証することができる。
【００４７】
また、ガラス基板７の下方に配置するカメラを平面移動可能なスライド式にしても良い。この場合、スキージ観察装置１は、印刷台３の底部３ｃに沿ってスライド式カメラを移動可能なスライド機構を備えると良い。これによれば、１台のスライド式カメラで、スキージ２の中央部２ｂ及び端部２ｃの双方の撮像が可能となる。この場合、例えば、一回のスキージング動作を行う際に中央部２ｂにおけるスキージ画像を取得し、次回のスキージング動作を行う際に端部２ｃにおけるスキージ画像を取得しても良い。また、１台の固定式カメラをガラス基板７の下方に配置することも可能である。この場合、スキージング中におけるスキージ２の中央部２ｂと端部２ｃが同時にカメラの視野内に収まるように、カメラを設置すると良い。これにより、スキージ２の長手方向Ｄｗの全範囲に亘って、スキージング中におけるスキージ２の撓り状態の適正度を検証することが可能となる。
【００４８】
また、本実施形態に係る撓り検証処理の変形例として、スキージング中におけるスキージ画像に加えて、初期状態におけるスキージ画像（以下、「初期状態スキージ画像」という。）をカメラ１０ａ，１０ｂによって取得しても良い。この場合、スキージ観察装置１は、第１カメラ１０ａ及び第２カメラ１０ｂを、少なくともスキージ方向Ｄｓに移動させるスライド機構を備えることが好ましい。本変形例では、まず第１及び第２カメラ１０ａ，１０ｂを、図８において説明した初期位置に移動させておき、スキージ２の端部２ｃ及び中央部２ｂの夫々において、初期状態におけるスキージ面２ｄを撮像する。その後は、第１及び第２カメラ１０ａ，１０ｂを上記スライド機構によってスキージ撮像位置まで移動させ、スキージング中におけるスキージ画像（以下、「撓り状態スキージ画像」という。）を撮像する。
【００４９】
初期状態スキージ画像に映った平行表示線２１の間隔を、「画像表示間隔Ｘ２」とする。画像表示間隔Ｘ２は、平行表示線２１の現実印刷間隔Ｃ、及び初期スキージ角度θｉと相関があり、これらの関係は下記数式（２）によって規定されている。
Ｘ２＝Ｃ×cosθｉ・・・（２）
【００５０】
本実施形態では、現実印刷間隔Ｃが１ｍｍ、初期スキージ角度θｉが６０°に設定されている。そのため、初期状態スキージ画像から読み取った平行表示線２１の画像表示間隔Ｘ２と現実印刷間隔Ｃを数式（２）に代入すると、理論上は初期スキージ角度θｉが６０°として算出される。但し、スキージ観察装置１の各種構成部材（例えば、スキージホルダ１０３）に製造誤差、組み立て誤差、劣化等の何らかの誤差要因が介在する場合には、数式（２）から算出した初期スキージ角度θｉと、設定値との間に誤差が生じることがある。そのような場合には、当該誤差の影響が相殺されるように、撓り状態スキージ画像から求めた撓りスキージ角度θｓの値を補正しても良い。そうすることで、スキージング中におけるスキージ２の撓りスキージ角度θｓを、より精度良く検証することが可能となる。
【００５１】
〈パラメータ選定方法〉
次に、スクリーン印刷を行う際の印刷条件パラメータを選定する方法について説明する。本実施形態における印刷条件パラメータの選定方法は、撓り検証処理により取得した撓りスキージ角度θｓが適正範囲にあるか否かの判定結果に基づき、図１１Ａ、１１Ｂに示すフローに沿って行われる。図１１Ａ、１１Ｂは、印刷条件パラメータの選定方法に係る手順を示すフローチャートである。
【００５２】
まず、ステップＳ１０１では、撓り検証処理を実施し、スキージ２の中央部２ｂ及び端部２ｃを夫々取得する。ここで、中央部２ｂについて取得したスキージ角度θｓを、中央部スキージ角度θｓｍと定義し、端部２ｃについて取得したスキージ角度θｓを、端部スキージ角度θｓｅと定義する。ステップＳ１０２では、中央部スキージ角度θｓｍ及び端部スキージ角度θｓｅの双方が、適正範囲に含まれているか否かを判定する。
【００５３】
上記の適正範囲は、スキージ２の材質、厚さ、スキージ圧等の仕様に応じて、予め定めておくことができる。例えば、スキージ２の材質がステンレス、厚さが０．２ｍｍ、スキージ圧が０．２５±０．０５（Ｎ）の場合、スキージ角度θｓの適正範囲は５５±３°（５２°〜５８°）として定めておいても良い。また、スキージ２の材質がウレタン、厚さが０．５ｍｍ、スキージ圧が０．４０±０．０５（Ｎ）の場合、スキージ角度θｓの適正範囲は５２±３°（４９°〜５５°）として定めておいても良い。但し、ここで示したスキージ角度θｓの適正範囲は例示的に挙げたものである。
【００５４】
図１２は、スクリーン印刷において、スキージング後の状況と版離れ後の状況を説明する説明図である。スキージ角度θｓが適正範囲の上限値を超える場合、スクリーン印刷時にスキージ２によるソルダーペースト１０５の押し込み不足が起こり易い（図中、左列を参照）。その結果、ソルダーペースト１０５の充填後にマスクプレート１０２をプリント基板１０１から引き離した版離れ後において、カケ・印刷不足等が生じ易くなる。一方、スキージ角度θｓが適正範囲の下限値より小さい場合、スクリーン印刷時にスキージ２がソルダーペースト１０５を強く押し込み過ぎてしまう（図中、中列を参照）。その結果、版離れ後において、ソルダーペースト１０５のニジミ・ダレ等が生じ易くなる。
【００５５】
ステップＳ１０２で肯定判定、すなわち、中央部スキージ角度θｓｍ及び端部スキージ角度θｓｅの双方が適正範囲内に含まれていると判定された場合、長手方向Ｄｗに亘ってスキージ２の撓り状態にばらつきが小さいと判断できる。この場合、撓り検証処理を実施
したときと同一条件にてスクリーン印刷を行えば、印刷開口１０２ａへのソルダーペースト１０５の充填量のばらつきが小さく抑えられる。したがって、本ステップにおいて肯定判定された場合には、特に印刷条件のパラメータを変更せずに、そのまま本フローを終了する。
【００５６】
一方、ステップＳ１０２で否定判定された場合には、中央部スキージ角度θｓｍ及び端部スキージ角度θｓｅの少なくとも何れか一方が、適正範囲から外れている。この場合、ステップＳ１０３にて、中央部スキージ角度θｓｍのみが適正範囲に含まれているか否かを判定する。本ステップで肯定判定された場合、ステップＳ１０４に進む。一方、本ステップで否定判定された場合には、中央部スキージ角度θｓｍのみ、或いは中央部スキージ角度θｓｍ及び端部スキージ角度θｓｅの双方が適正範囲から外れていることになる。その場合には、ステップＳ１１１に進む。
【００５７】
ステップＳ１０４では、スキージ圧の設定値の変更、及び、マスクプレート１０２のクリアランス調整を行う。まず、スキージ圧の設定値の変更について述べる。ここで、端部スキージ角度θｓｅが適正範囲の上限値を超えている場合には、スキージ圧の設定値を高くする。一方、端部スキージ角度θｓｅが適正範囲の下限値よりも小さい場合には、スキージ圧の設定値を低くする。これにより、撓り検証処理を再実施した場合に、端部スキージ角度θｓｅが適正範囲に収まる可能性が高くなる。尚、スキージ圧の設定値を変更する際の増減値は、予め定めておく一定値であっても良いし、現在の設定値に一定比率を乗じて求めた値であっても良い。
【００５８】
更に、本ステップでは、マスクプレート１０２及びプリント基板１０１間のクリアランスが少なくなるように、設定値を変更する。ここで、実際のスクリーン印刷装置においては、マスクプレート１０２の反り等によって、マスクプレート１０２の端部側がプリント基板１０１から僅かに浮き上がる場合がある。そのような場合、スキージング中のスキージ２は、中央部２ｂより端部２ｃの方が大きな抵抗を受け、撓り度合いが大きくなり易い。これに対して、マスクプレート１０２とプリント基板１０１とのクリアランスを減らす方向に調整することで、プリント基板１０１に対するマスクプレート１０２の密着度が高まる。その結果、スキージ２の端部２ｃにおける撓り度合いを、中央部２ｂにおける撓り状態に近づけることが可能となる。尚、本ステップにおいて、クリアランスの設定値の減少量は一定値であっても良いし、現在の設定値に一定比率を乗じて求めた値であっても良い。
【００５９】
尚、スキージ観察装置１においては、プリント基板１０１及びマスクプレート１０２の代わりにガラス基板７が設置されている。そこで、プリント基板１０１に対するマスクプレート１０２の密着度を変更した状態を、スキージ観察装置１において再現するには、支持枠３ｂに対するガラス基板７の固定度、密着度を変更すると良い。具体的には、支持枠３ｂに対してガラス基板７を固定するクランパ（図示せず）の締め付け具合を調整すると良い。
【００６０】
ステップＳ１０４が終了すると、ステップＳ１０５に進み、撓り検証処理を再実施して、中央部スキージ角度θｓｍ及び端部スキージ角度θｓｅを取得する。そして、ステップＳ１０６では、中央部スキージ角度θｓｍ及び端部スキージ角度θｓｅの双方が、適正範囲に含まれているか否かを判定する。ステップＳ１０６で肯定判定された場合、特に印刷条件のパラメータを変更せずに、そのまま本フローを終了する。
【００６１】
一方、ステップＳ１０６で否定判定された場合、ステップＳ１０７においてスキージ速度の設定値を変更する。具体的には、端部スキージ角度θｓｅが適正範囲の上限値を超えている場合には、スキージ速度の設定値を速くする。一方、端部スキージ角度θｓｅが適
正範囲の下限値よりも小さい場合には、スキージ速度の設定値を遅くする。これにより、撓り検証処理を再実施した場合に、端部スキージ角度θｓｅが適正範囲に収まる可能性が高くなる。尚、スキージ速度の設定値を変更する際の増減値は、予め定めておく一定値であっても良いし、現在の設定値に一定比率を乗じて求めた値であっても良い。
【００６２】
ステップＳ１０８では、撓り検証処理を再実施して、中央部スキージ角度θｓｍ及び端部スキージ角度θｓｅを取得する。そして、ステップＳ１０９では、中央部スキージ角度θｓｍ及び端部スキージ角度θｓｅの双方が、適正範囲に含まれているか否かを判定する。ステップＳ１０９で肯定判定された場合、特に印刷条件のパラメータを変更せずに、そのまま本フローを終了する。
【００６３】
一方、ステップＳ１０９で否定判定された場合、ステップＳ１１０においてスキージ仕様（材料、寸法等）を変更する。具体的には、端部スキージ角度θｓｅが適正範囲の上限値を超えている場合には、スキージ２の厚さがより薄くなるように材料寸法を変更したり、曲げ強度がより低くなるように使用材料を変更する。一方、端部スキージ角度θｓｅが適正範囲の下限値よりも小さい場合には、厚さがより厚くなるように材料寸法を変更したり、曲げ強度がより高くなるように使用材料を変更する。本ステップが終了すると、本フローを終了する。
【００６４】
次に、ステップＳ１１１について説明する。ここでは、少なくとも中央部スキージ角度θｓｍが適正範囲から外れている。この場合、スキージ圧の設定値を変更する。中央部スキージ角度θｓｍが適正範囲の上限値を超えている場合には、スキージ圧の設定値を高くする。一方、中央部スキージ角度θｓｍが適正範囲の下限値よりも小さい場合には、スキージ圧の設定値を低くする。これにより、撓り検証処理を再実施した場合に、中央部スキージ角度θｓｍが適正範囲に収まる可能性が高くなる。
【００６５】
ステップＳ１１２では、撓り検証処理を再実施して、中央部スキージ角度θｓｍ及び端部スキージ角度θｓｅを取得する。そして、ステップＳ１１３では、中央部スキージ角度θｓｍ及び端部スキージ角度θｓｅの双方が、適正範囲に含まれているか否かを判定する。ステップＳ１１３で肯定判定された場合、特に印刷条件のパラメータを変更せずに、そのまま本フローを終了する。
【００６６】
一方、ステップＳ１１３で否定判定された場合、ステップＳ１１４においてスキージ速度の設定値を変更する。具体的には、中央部スキージ角度θｓｍが適正範囲の上限値を超えている場合には、スキージ速度の設定値を速くする。一方、中央部スキージ角度θｓｍが適正範囲の下限値よりも小さい場合には、スキージ速度の設定値を遅くする。これにより、撓り検証処理を再実施した場合に、端部スキージ角度θｓｅが適正範囲に収まる可能性が高くなる。尚、スキージ速度の設定値を変更する際の増減値は、予め定めておく一定値であっても良いし、現在の設定値に一定比率を乗じて求めた値であっても良い。
【００６７】
ステップＳ１１５では、撓り検証処理を再実施して、中央部スキージ角度θｓｍ及び端部スキージ角度θｓｅを取得する。そして、ステップＳ１１６では、中央部スキージ角度θｓｍ及び端部スキージ角度θｓｅの双方が、適正範囲に含まれているか否かを判定する。ステップＳ１１６で肯定判定された場合、特に印刷条件のパラメータを変更せずに、そのまま本フローを終了する。
【００６８】
一方、ステップＳ１１６で否定判定された場合、ステップＳ１１７においてスキージ仕様（材料、寸法等）を変更する。具体的には、中央部スキージ角度θｓｍが適正範囲の上限値を超えている場合には、スキージ２の厚さがより薄くなるように材料寸法を変更したり、曲げ強度がより低くなるように使用材料を変更する。一方、中央部スキージ角度θｓ
ｍが適正範囲の下限値よりも小さい場合には、厚さがより厚くなるように材料寸法を変更したり、曲げ強度がより高くなるように使用材料を変更する。本ステップが終了すると、本フローを終了する。
【００６９】
上記フローにて示したように、印刷条件パラメータの設定変更は、例えば、スキージ圧の変更、スキージ速度の変更、スキージ仕様（材料、寸法等）の変更等を挙げることができる。本実施形態では、設定変更を行う印刷条件パラメータに優先順位を設けるようにした。ここで、優先順位の高いパラメータから並べると、スキージ圧、スキージ速度、スキージ仕様の順になる。
【００７０】
スキージ仕様の変更は、スキージ２に用いる材料や寸法の変更を伴うため、手間やコスト等が掛り易い。そのため、スキージ仕様の変更については、スキージ圧やスキージ速度に比べて、その優先順位を低く設定している。次に、スキージ圧の変更とスキージ速度の変更とを比較すると、スキージ速度を変更する方がスキージ２の撓り度合いを微調整することが可能である。但し、スクリーン印刷時におけるスキージ速度を過剰に速くすると、マスクプレート１０２に係る印刷開口１０２ａへのソルダーペースト１０５の充填性が悪化し易くなる。そのため、本実施形態では、スキージ速度よりに比べて、スキージ圧を変更する優先順位を高くすることとした。
【００７１】
以上のように、このパラメータ選定方法によれば、撓り検証処理により取得した撓りスキージ角度θｓが適正範囲にあるか否かの判定結果に基づき、スクリーン印刷に係る最適な印刷条件を見出すことができる。その結果、スクリーン印刷時に、ソルダーペースト１０５をスキージ２によって適正な押し込み力にて押し込むことができる。よって、ソルダーペースト１０５の供給量がばらつくことを抑制できる（図１２、右列を参照）。
【００７２】
尚、上述した印刷条件パラメータの選定方法については、スキージ観察装置１の制御装置１１が、各ステップに係る処理をプログラムに従って実行することで実現されても良い。
【００７３】
また、上記ステップＳ１０６（Ｓ１１６）において否定判定された場合、現在のスキージ圧の設定値を更に変更しても問題ないと判断される場合には、ステップＳ１０４（Ｓ１１１）に戻っても良い。例えば、スキージ圧の設定値と初期値との差が所定の閾値を超えない範囲で、スキージ速度の変更に優先してスキージ圧の設定値の変更を行っても良い。同様に、ステップＳ１０９（Ｓ１１３）において否定判定された場合、現在のスキージ速度の設定値を更に変更しても問題ないと判断される場合には、ステップＳ１０７（Ｓ１１４）に戻っても良い。例えば、スキージ速度の設定値と初期値との差が所定の閾値を超えない範囲で、スキージ仕様の変更に優先してスキージ速度の設定値の変更を行っても良い。
【００７４】
＜実施形態２＞
次に、実施形態２では、主としてスキージの他の構成例について説明する。スキージ観察装置１の基本的なハードウェア構成は実施形態１と同様である。実施形態１と共通する構成については同じ符号を付すことにより、その説明を適宜省略する。実施形態２については、実施形態１の変形例で述べたように、スキージ２のスキージング中のスキージ画像（以下、「スキージング画像」という。）に加えて、初期状態のスキージ画像（以下、「初期状態画像」という。）を取得する。スキージ２の初期状態とは、図８（左図、破線）に示すように、スキージ２がガラス基板７に当接する前の状態を指す。また、実施形態２においても、スキージ観察装置１における初期スキージ角度θｉは、実施形態１と同様、例示的に６０°に設定されている。
【００７５】
〈スキージの第２構成例〉
図１３は、スキージの第２構成例を示す図である。第２構成例に係るスキージを、以下では符号２Ａにて表す。図１３は、スキージ２Ａのスキージ面２ｄを正面として眺めた状態を示している。同図には、スキージ２Ａの先端縁部２ａ側の部分拡大図を併せて示す。図１３に示すスキージ２Ａと、図９に示すスキージ２の相違点は、スキージ面２ｄに設けられた平行表示線２１のうち、一組の平行表示線２１ａが他の平行表示線２１ｂと識別（区別して視認）可能に強調表示された態様で設けられている点にある。
【００７６】
以下では、強調表示された一組の平行表示線２１ａを、特に「強調平行表示線」と称する。また、強調表示されていない平行表示線２１ｂを、特に「一般平行表示線」と称する。図１３に示す例では、強調平行表示線２１ａは、一般平行表示線２１ｂとは異なる色で印刷されている。これによって、強調平行表示線２１ａと一般平行表示線２１ｂとを識別することができる。但し、強調平行表示線２１ａを一般平行表示線２１ｂと識別するための強調表示の方法としては、印刷色を相違させることに限定されない。例えば、強調平行表示線２１ａと一般平行表示線２１ｂとで線種を相違させたり、表示線の太さを相違させる等、種々の方法を採用することができる。
【００７７】
次に、強調平行表示線２１ａの技術的意義について述べる。例えば、スクリーン印刷の際には、スキージ面２ｄの或る特定領域（以下、「撓り検証対象領域」という。）でのスキージ角度θｓを、適正範囲（例えば、５２±３°）に収めたいという要求があるとする。ここでは、撓り検証対象領域を、例えば先端縁部２ａから１０ｍｍの領域として設定する。スキージ面２ｄにおいて、特定の撓り検証対象領域におけるスキージ角度θｓを検証したい場合、撓り検証対象領域の境界（上端、下端）に対応する部分の平行表示線を強調平行表示線２１ａとして設ける。上記条件の場合、撓り検証対象領域の幅は１０ｍｍに設定されているので、強調平行表示線２１ａ同士の間隔（距離）も１０ｍｍに設定されている。尚、各平行表示線２１（強調平行表示線２１ａ、一般平行表示線２１ｂを区別せず）同士の現実印刷間隔Ｃは、第１構成例のスキージ２と同様に、例えば１ｍｍとしている。上記した撓り検証対象領域の幅や平行表示線２１の現実印刷間隔Ｃの数値は、例示的なものである。
【００７８】
図１４は、第２構成例に係るスキージ２Ａのスキージ画像を表示装置１２に表示させた図である。画面１２ａの左側に初期状態スキージ画像を表示し、右側にスキージ２Ａの撓り状態スキージ画像を表示している。尚、図示の例では、画面１２ａに、スキージ２の中央部２ｂと端部２ｃの何れか一方におけるスキージ画像を表示させているが、使用者からの画像切り替え要求を受け付けた場合には、他方のスキージ画像に表示を切り替えても良い。これは、後述する他の構成例についても同様である。
【００７９】
まず、スキージ２Ａが初期状態にあるときの初期状態スキージ画像について説明する。初期状態スキージ画像に映った平行表示線２１（ここでは、強調平行表示線２１ａと一般平行表示線２１ｂを区別せず）の画像表示間隔Ｘ２は、数式（２）によって算出できる。この場合、数式（２）のＣに１、θｉに６０を代入することで、画像表示間隔Ｘ２を０．５ｍｍとして算出できる。図示の例でも、初期状態スキージ画像に映し出されている平行表示線２１の間隔は０．５ｍｍとなっており、また、一組の強調平行表示線２１ａ同士の間隔（図中、Ｘ２´で示す。）は５．０ｍｍとなっている。
【００８０】
次に、画面１２ａの右側に表示する撓り状態スキージ画像について説明する。第１構成例に係るスキージ２の場合と同様、撓り状態スキージ画像から平行表示線２１の画像表示間隔Ｘ１を読み出すことで、数式（１）に基づいて撓りスキージ角度θｓを求めることができる。
【００８１】
次に、第１構成例に係るスキージ２との構成上の差異点がもたらす作用効果を説明する。スキージ２Ａでは、一組の強調平行表示線２１ａを設けるようにしたので、各強調平行表示線２１ａに挟まれた撓り検証対象領域におけるスキージ角度θｓを以下のように容易に求めることができる。すなわち、使用者は、強調平行表示線２１ａ同士の間隔を撓り状態スキージ画像から読み出す。スキージ２Ａの撓り検証対象領域において、撓りスキージ角度θｓの適正範囲が例えば４９〜５５°であるとする。この場合、数式（１）のθｓに４９と５５を、Ｃに１を代入することで、撓りスキージ角度θｓの適正範囲に対応する強調平行表示線２１ａ同士の間隔Ｘ１´を、５．７〜６．６ｍｍとして算出できる。したがって、使用者は、撓り状態スキージ画像から読み出した強調平行表示線２１ａ同士の間隔が、上記適合範囲（上記例では、５．７〜６．６ｍｍ）に含まれているか否かを確認すれば良い。
【００８２】
以上のように、第２構成例に係るスキージ２Ａでは、一組の強調平行表示線２１ａを一般平行表示線２１ｂと識別可能に強調表示したので、撓り検証対象領域に関して、撓り度合いの適正度の検証が一層容易なものとなる。
【００８３】
〈スキージの第３構成例〉
図１５は、スキージの第３構成例を示す図である。第３構成例に係るスキージを符号２Ｂにて表す。図１５は、スキージ２Ｂのスキージ面２ｄを正面として眺めた状態を示している。同図には、スキージ２Ｂの先端縁部２ａ側の部分拡大図を併せて示す。以下、上述までの構成例との相違点を中心に説明する。
【００８４】
図１５に示すように、スキージ面２ｄの先端縁部２ａ側の部位には、先端縁部２ａに対して斜めに伸びる直線状の斜め表示線２２が形成されている。また、スキージ２Ｂにおいては、平行表示線２１が、斜め表示線２２上における異なる少なくとも２箇所から先端縁部２ａに対して平行に伸びている。また、２本の平行表示線２１は何れも、斜め表示線２２の端部ではない中途部に接続されている。また、図１５に示す例では、一の斜め表示線２２に対して２本の平行表示線２１が接続されているが、斜め表示線２２と平行表示線２１は交差していても良い。更に、一の斜め表示線２２に対して、３本以上の平行表示線２１が斜めに接続又は交差する態様であっても良い。
【００８５】
ここで、一の斜め表示線２２と、その斜め表示線２２から互いに平行に伸びる２本の平行表示線２１を模様の一単位として説明する。平行表示線２１が設けられる位置（高さ）は、スキージ２Ａの強調平行表示線２１ａと同様、撓り検証対象領域の上端及び下端の高さに一致させている。
【００８６】
次に、撓り検証処理において、スキージ２Ｂをカメラ１０ａ，１０ｂが撮像して得たスキージ画像について説明する。図１６は、第３構成例に係るスキージ２Ｂのスキージ画像を表示装置１２に表示させた図である。画面１２ａの左側にスキージ２Ｂの初期状態スキージ画像を表示し、右側にスキージ２Ｂの撓り状態スキージ画像を表示している。
【００８７】
初期状態スキージ画像を参照すると、初期状態におけるスキージ２Ｂは撓っていないため、斜め表示線２２の直線性は維持されている。一方、撓り状態スキージ画像を参照すると、斜め表示線２２の直線性が失われているのが判る。これは、スキージング動作によってスキージ２Ｂが撓ることに起因するものである。また、撓り状態スキージ画像に映し出される平行表示線２１の画像表示間隔は、初期状態スキージ画像と比較して、幅が広がっている。
【００８８】
ここで、２本の平行表示線２１によって挟まれる領域は、スキージ２Ｂの撓り検証対象領域に対応する。したがって、本構成例に係るスキージ２Ｂの場合においても、使用者は
、撓り状態スキージ画像から平行表示線２１同士の間隔を読み出すと良い。そして、読み出した平行表示線２１同士の間隔が、撓り検証対象領域に要求される撓りスキージ角度θｓの適正範囲（例えば、４９〜５５°）に対応する数値範囲（この例では、５．７〜６．６ｍｍ）に含まれているか否かを確認すれば良い。これにより、スキージ２Ｂの撓り検証対象領域に関して、スキージング中における撓り量が適正であるかどうかを検証することができる。
【００８９】
また、斜め表示線２２と下方の平行表示線２１とがなす角度θｄが、初期状態スキージ画像に示す角度（以下、「表示線接続角度」という）よりも撓り状態スキージ画像に示す角度の方が大きくなっているのが判る。図示の例では、例えば、初期状態における表示線接続角度θｄが６０°、スキージング中における表示線接続角度θｄが６５．８°となっている。このように、スキージング中における表示線接続角度θｄが初期状態よりも大きくなるのは、スキージ２Ｂが撓ることに起因する。一方、斜め表示線２２に対する各平行表示線２１の接続部同士の水平距離（図中、符号Ｙで表し、以下では「接続部水平距離」という。）は、両図において互いに一致する。
【００９０】
そこで、撓り状態スキージ画像から、表示線接続角度θｄ２と接続部水平距離Ｙを読み出し、双方の読み出し値に基づいて平行表示線２１同士の画像表示間隔Ｘ１を算出しても良い。具体的には、数式（３）に基づいて平行表示線２１同士の画像表示間隔Ｘ１を算出できる。
Ｘ１＝Ｙ×ｔａｎθｄ・・・（３）
【００９１】
例えば、撓り状態スキージ画像から読み出した接続部水平距離Ｙが２．９ｍｍ、表示線接続角度θｄが６５．８°であったとする。この場合、数式（３）にこれらの値を代入することで、平行表示線２１同士の画像表示間隔Ｘ１を６．５ｍｍとして算出することができる。この場合、平行表示線２１同士の間隔Ｘ１が、撓りスキージ角度θｓの適正範囲に対応する数値範囲（この例では、５．７〜６．６ｍｍ）に収まっているため、スキージ２Ｂの撓り状態が適正であると判断できる。もっとも、撓り状態スキージ画像から読み取れる接続部水平距離Ｙの値は、スキージ面２ｄ上における実寸法とも一致する。そのため、接続部水平距離Ｙに関しては、既知の値として予め用意しておけば良く、表示線接続角度θｄだけを画像から読み出しても良い。これにより、スキージング中におけるスキージ２Ｂの撓り度合いの適正度を、より容易に検証できる。
【００９２】
以上のように、第３構成例のスキージ２Ｂによれば、先端縁部２ａに対して斜めに伸びる直線状の斜め表示線２２と、この斜め表示線２２から先端縁部２ａに沿って平行に伸びる２本の平行表示線２１を、スキージ面２ｄに設けた。これによれば、斜め表示線２２の歪み具合に基づいて、スキージ２Ｂの撓り度合いの適正度を検証することができる。
【００９３】
また、撓り状態スキージ画像から平行表示線２１同士の間隔を直接読み取る手法と、表示線接続角度θｄを読み出してから上記間隔を算出する手法の何れを採用しても、スキージ２Ｂの撓り状態の適正度を検証できる。つまり、スキージ２Ｂの撓り状態を検証する手法の選択枝を増やすことができる。また、双方の手法に基づいてスキージ２Ｂの撓り状態の適正度を検証することで、検証結果の信頼性を高めることが可能となる。
【００９４】
〈スキージの第４構成例〉
図１７は、スキージの第４構成例を示す図である。第４構成例に係るスキージを符号２Ｃにて表す。図１７は、スキージ２Ｂのスキージ面２ｄを正面として眺めた状態を示している。同図には、スキージ２Ｃの先端縁部２ａ側の部分拡大図を併せて示す。
【００９５】
スキージ２Ｃのスキージ面２ｄに形成された模様は、第１〜第３構成例を組み合わせた
模様に概ね等価である。すなわち、スキージ面２ｄの先端側には、先端縁部２ａと平行な多数の平行表示線２１が設けられている。また、各平行表示線２１に対して、斜めから交差する複数の斜め表示線２２が設けられている。また、平行表示線２１のうち、スキージ面２ｄにおける撓り検証対象領域の上端と下端に位置する線を強調平行表示線２１ａとし、一般平行表示線２１ｂと識別可能に強調表示している。
【００９６】
図１８は、第４構成例に係るスキージ２Ｃのスキージ画像を表示装置１２に表示させた図である。画面１２ａの左側にスキージ２Ｃの初期状態スキージ画像を表示し、右側にスキージ２Ｂの撓り状態スキージ画像を表示している。スキージング中にスキージ２Ｃが撓ることによって、各平行表示線２１同士の間隔が、初期状態に比べて広がることは既に述べた通りである。したがって、第１構成例において述べたように、撓り状態スキージ画像から平行表示線２１の画像表示間隔Ｘ１を読み取り、数式（１）に基づいて、平行表示線２１の任意箇所毎の撓りスキージ角度θｓを算出することができる。
【００９７】
また、本構成例では、平行表示線２１に加えて、第３構成例で述べた斜め表示線２２をスキージ面２に設けているので、スキージ２Ｃの撓り箇所を判断し易い。これは、スキージ２Ｃが撓っている箇所で、斜め表示線２２の直線性が失われるからである。そして、撓り状態スキージ画像から表示線接続角度θｄを読み取り、数式（３）に表示線接続角度θｄを代入することで、平行表示線２１の任意箇所毎の撓りスキージ角度θｓを算出できる。その際、数式（３）に代入する接続部水平距離Ｙは、読み取った表示線接続角度θｄに対応する一対の平行表示線２１が斜め表示線２２と接続される接続部同士の水平間距離である。
【００９８】
更に、スキージ２Ｃによれば、スキージ面２ｄにおける撓り検証対象領域の上端と下端に位置する線を強調平行表示線２１ａとしている。そのため、使用者は、撓り検証対象領域におけるスキージ角度θｓを、撓り状態スキージ画像から読み取った強調平行表示線２１ａ同士の間隔、或いは、対応する表示線接続角度θｄに基づいて、容易に求めることができる。したがって、スキージ２Ｃにおける撓り検証対象領域での撓り状態を、容易に検証することができる。
【００９９】
〈スキージの第５構成例〉
図１９は、第５構成例に係るスキージ２Ｄ及びバックアッププレート１０４の斜視図である。スキージ２Ｄは、図６に示した第１構成例に係るスキージの構成と概ね同様である。すなわち、スキージ２Ｄのスキージ面２ｄには、所定の模様として、先端縁部２ａと平行な複数の平行表示線２１が設けられている。平行表示線２１は、スキージ面２ｄの幅方向の全範囲に亘って設けられており、また、各平行表示線２１は等間隔に設けられている。図６に示すスキージ２との相違点は、平行表示線のうちの１本（強調平行表示線２１ａ）が、他の平行表示線（一般平行表示線２１ｂ）と識別可能に強調表示された態様で設けられている点にある。ここでは、強調平行表示線２１ａを強調表示する方法として、一般平行表示線２１ｂと異なる色で強調平行表示線２１ａを印刷しているが、双方の線種や線太さを相違させても良い。尚、強調平行表示線２１ａ及び一般平行表示線２１ｂを区別して言及する必要が無い場合には、これらを総称して平行表示線２１と呼ぶ。
【０１００】
次に、バックアッププレート１０４について説明する。バックアッププレート１０４は、スキージ２の背面に位置する本体プレート部１０４Ａと、本体プレート部１０４Ａの両端に配置される側方プレート部１０４Ｂとを有する。本体プレート部１０４Ａの幅は、スキージ２の長手方向の長さと等しい。したがって、本体プレート部１０４Ａの両端部に配置される側方プレート部１０４Ｂは、スキージ２の端部２ｃよりも外側に突出するように配置されている。また、側方プレート部１０４Ｂの下端は、本体プレート部１０４Ａよりも下方に延伸（突出）している。尚、図１９において、スキージホルダ１０３の図示を省
略している。また、図１９において、側方プレート部１０４Ｂを鎖線で表している。
【０１０１】
本構成例においては、図示のスキージ２及びバックアッププレート１０４をスキージホルダ１０３に装着して、撓り検証処理に係るスキージ２のスキージングを行う。図２０は、第５構成例に係るスキージ２の撓り度合いの検証方法を説明する説明図である。図中の左側には、初期状態におけるスキージ２及び初期状態スキージ画像を示す。また、図中の右側には、スキージング中におけるスキージ２及び撓り状態スキージ画像を示す。尚、各画像内における上下方向は、スキージ面２ｄの上下方向に対応している。
【０１０２】
側方プレート部１０４Ｂの底面１１０には、スキージ２の撓り量の適正範囲を示す上限基準線１１１と下限基準線１１２が設けられている。この上限基準線１１１と下限基準線１１２は、初期状態スキージ画像及び撓り状態スキージ画像内に示す。尚、図示の各スキージ画像は、第１カメラ１０ａによってスキージ２の端部２ｃを撮像したものである。尚、底面１１０において、上限基準線１１１と下限基準線１１２に挟まれることで画定される領域を基準範囲１１３と称呼する。この基準範囲１１３は、撓り状態スキージ画像において、スキージ面２ｄに印刷された強調平行表示線２１ａと照合されることで、スキージ２Ｄの撓り量の適正度が判断される。
【０１０３】
側方プレート部１０４Ｂの底面１１０における基準範囲１１３と、スキージ２Ｄのスキージ面２ｄに印刷された強調平行表示線２１ａとの相対関係について説明する。図２０の初期状態スキージ画像に示すように、初期状態においては、スキージ面２ｄの強調平行表示線２１ａが、側方プレート部１０４Ｂの基準範囲１１３に含まれないように、双方の位置関係が設定されている。
【０１０４】
次に、スキージ２Ｄのスキージングが開始されると、スキージ２Ｄが撓る結果、平行表示線２１の間隔が広がる。したがって、初期状態からスキージング状態に移行すると、スキージ面２ｄに印刷された強調平行表示線２１ａは、スキージ画像内の下方に向かって移動する。
【０１０５】
図２１は、強調平行表示線２１ａの移動量Ｄｔと、撓りスキージ角度θｓとの関係を示す図である。強調平行表示線２１ａの移動量Ｄｔとは、初期状態からスキージング状態に移行する際に、スキージ画像内の基準範囲１１３に対する強調平行表示線２１ａの相対移動量を指す。本構成例においても、撓りスキージ角度θｓの適正範囲が例えば４９〜５５°に設定されているとする。図２１中、上記適正範囲の下限値である４９°に対応する強調平行表示線２１ａの移動量Ｄｔは、例えば１．６ｍｍとして読み出すことができる。また、撓りスキージ角度θｓの適正範囲の上限値である５５°に対応する強調平行表示線２１ａの移動量Ｄｔは、例えば０．７ｍｍとして読み出すことができる。ここで、撓りスキージ角度θｓが小さいほど、スキージ２Ｄの撓り量は大きくなり、強調平行表示線２１ａの移動量Ｄｔも大きくなる。また、撓りスキージ角度θｓの適正範囲に対応する強調平行表示線２１ａの移動量Ｄｔを「表示線適正移動量」と称する。
【０１０６】
側方プレート部１０４Ｂの上限基準線１１１は、初期状態スキージ画像内においてスキージ面２ｄに印刷された強調平行表示線２１aとの離間距離（画像内上下方向）が表示線
適正移動量の下限値と一致するように、底面１１０に印刷されている。一方、側方プレート部１０４Ｂの下限基準線１１１は、初期状態スキージ画像内においてスキージ面２ｄに印刷された強調平行表示線２１aとの離間距離が表示線適正移動量の上限値と一致するよ
うに、底面１１０に印刷されている。
【０１０７】
その結果、スキージング中における撓りスキージ角度θｓが適正範囲内であれば、撓り状態スキージ画像内において、強調平行表示線２１aが基準範囲１１３に含まれることに
なる。したがって、撓り状態スキージ画像に基づき、強調平行表示線２１aが基準範囲１
１３に含まれているか否かを確認するだけで、スキージ２Ｄの撓り量が適正であるかどうかを簡単に確認することができる。
【０１０８】
なお、本構成例では、スキージ２Ｄのスキージ面２ｄに、複数の平行表示線２１を設けたので、第１構成例で述べたように、各平行表示線２１の間隔の広がり方に基づいて、スキージ２Ｄの撓り量が適正であるかどうかを併せて検証しても良い。また、スキージ２Ｄにおいては、平行表示線２１をスキージ面２ｄに複数本印刷しなくても構わない。例えば、基準範囲１１３（上限基準線１１１、下限基準線１１２）との位置関係が規定される単一の平行表示線を、スキージ面２ｄに印刷するようにしても良い。また、バックアッププレート１０４の側方プレート部１０４Ｂは、少なくとも本体プレート部１０４Ａの一端に配置すれば良く、必ずしも両端に配置しなくても構わない。この場合、側方プレート部１０４Ｂが配置される側のスキージ２Ｄの端部２ｃに設けられた平行表示線２１と、基準範囲１１３とを照合して、スキージ２Ｄの撓り状態を検証すれば良い。
【０１０９】
＜実施形態３＞
次に、実施形態３を説明する。図２２は、実施形態３に係るスキージ観察装置１を説明するための図である。本実施形態に係るスキージ観察装置１は、プリント基板１０１にソルダーペースト１０５を供給する印刷機構を有する。つまり、実施形態３に係るスキージ観察装置１は、スクリーン印刷装置として捉えることが可能である。尚、上述までの実施形態と共通する装置、部材については同じ符号を付すことで、その詳しい説明を省略する。尚、本実施形態に係るスキージ２は、図６に示すスキージ２と同一である。
【０１１０】
図示のように、プリント基板１０１の上面には、マスクプレート１０２が載置されている。マスクプレート１０２は、プリント基板１０１のフットパターンに対応する位置に形成された印刷開口１０２ａを有しており、印刷開口１０２ａによってフットパターンが露出している。また、マスクプレート１０２のうち、印刷開口１０２ａとは異なる位置に、３個のスキージ観察用開口１１４が形成されている。スキージ観察用開口１１４には、透明なガラス平板１０２ｂが嵌め込まれている。ガラス平板１０２ｂは、透明な平板材の一例として挙げられる。また、スキージ観察用開口１１４に嵌め込む部材は、透明な平板材であれば、ガラス平板とは異なる他の部材を採用しても良い。尚、マスクプレート１０２に形成される印刷開口１０２ａ及びスキージ観察用開口１０２ｂは、何れもマスクプレート１０２を貫通する貫通孔である。また、スキージ観察用開口１１４の詳細については後述する。マスクプレート１０２はマスク部材の一例として挙げられる。
【０１１１】
図２２には図示を省略しているが、実施形態３に係るスキージ観察装置１においても、図５に示すように、印刷台３、印刷台駆動部４、スキージヘッド部５、スキージ駆動部６、カメラ１０、制御装置１１等を備えており、適宜、図５を参照することとする。また、本実施形態におけるカメラ１０は、マスクプレート１０２の下方に配置されており、印刷台３の底部３ｃを平面方向に移動可能なスライド式カメラを採用している。
【０１１２】
実施形態３に係るスキージ観察装置１は、マスクプレート１０２の上面にソルダーペースト１０５を供給するペースト供給装置（図示せず）を備えている。制御装置１１は、スキージ駆動部６を作動させることによって、スキージ２を、図中に示すスキージ方向Ｄｓにスキージングさせる。その際、スキージ２は、マスクプレート１０２の上面に形成されている印刷開口１０２ａにソルダーペースト１０５を充填しつつ移動する。これにより、印刷開口１０２ａを通じて、プリント基板１０１のフットパターン上にソルダーペースト１０５が転写（印刷）される。
【０１１３】
次に、スキージ観察用開口１１４について説明する。各スキージ観察用開口１１４は、
スキージ２の中央部２ｂ及び双方の端部２ｃがスキージング時に通過する位置に、設けられている。図中、１１４ａで表す第１スキージ観察用開口は、スキージ２の中央部２ｂが真上を通過する位置に設けられている。図中、１１４ｂで表す第２スキージ観察用開口は、スキージ２の一方の端部（以下、「右端部」という）２ｃが真上を通過する位置に設けられている。１１４ｃで表す第３スキージ観察用開口は、スキージ２の他方の端部（以下、「左端部」という）２ｃが真上を通過する位置に設けられている。
【０１１４】
以上のように構成されるスキージ観察装置１では、プリント基板１０１にソルダーペースト１０５を印刷しながら、上述までの実施形態で説明した撓り検証処理を行い、スキージング中におけるスキージ２の撓り量の適正度を検証することが可能である。
【０１１５】
スキージ２の中央部２ｂについてスキージング中の撓り量を検証する場合、カメラ１０を第１スキージ観察用開口１１４ａの真下に配置する。これにより、ガラス平板１０２ｂを透して、スキージ２の中央部２ｂにおけるスキージ面２ｄを撮像できるので、中央部２ｂでの撓りスキージ角度θｓを求めることができる。尚、スキージ面２ｄのうち、撓り量を検証したい部位がソルダーペースト１０５によって覆われてしまう場合、プリント基板１０１の上部をスキージ２が通過し終わった時点で、中央部２ｃにおけるソルダーペースト１０５を取り除くと良い。
【０１１６】
同様に、スキージ２の右端部又は左端部２ｃ，２ｃについてスキージ２の撓り量を検証する場合、カメラ１０を第２スキージ観察用開口１１４ｂ、又は第３スキージ観察用開口１１４ｃの真下に移動させる。この状態で、スキージ２をスキージングさせることにより、スキージ２の端部２ｃにおける撓りスキージ角度θｓを求めることができる。また、スキージ２の端部２ｃは、プリント基板１０１の上方を通過しないようになっている。したがって、第２及び第３スキージ観察用開口１１４ｂ，１１４ｃに嵌め込まれたガラス平板１０２ｂを透してスキージ面２ｄを撮像するに当たり、撓り量を検証したい部位がソルダーペースト１０５によって覆われることがない。
【０１１７】
以上のように、本実施形態のスキージ観察装置１によれば、プリント基板１０１に対するソルダーペースト１０５の充填中、すなわち、製品の製造ライン中においても、スキージ２の撓り状態を観察することが可能となる。尚、本実施形態では、マスクプレート１０２に設けるスキージ観察用開口１１４ｂの数を３個としているが、その設置数を増やしても良いし、減らしても良い。また、本実施形態のスキージ観察装置１では、第１構成例に係るスキージ２を適用しているが、他の構成例に係るスキージ２Ａ〜Ｄを適用しても良い。以上の各実施形態は、可能な限りこれらを組み合わせて実施する事ができる。
【符号の説明】
【０１１８】
１ スキージ観察装置
２，２Ａ〜２Ｄ スキージ
２ａ 先端縁部
２ｂ 中央部
２ｃ 端部
２ｄ スキージ面
７ ガラス基板
１０，１０ａ，１０ｂ カメラ
１２ 表示装置
１２ａ 画面
２１ 平行表示線
２１ａ 強調平行表示線
２１ｂ 一般平行表示線
２２ 斜め表示線
１０１ プリント基板
１０２ マスクプレート
１０３ スキージホルダ
１０４ バックアッププレート
１０５ ソルダーペースト
【特許請求の範囲】
【請求項１】
透明な平板材と、
前記平板材の上面に接するようにスキージを保持し、前記スキージを前記平板材の上面に沿ってスキージングさせるスキージ駆動手段と、
前記平板材の下方に配置されており、前記スキージング中の前記スキージを、前記平板材を透して撮像する撮像手段と、
を備え、
前記スキージのうち、前記スキージング中の進行方向側に面するスキージ面には、前記スキージの撓りに応じて変形する所定の模様が設けられていることを特徴とするスキージ観察装置。
【請求項２】
前記模様は、前記スキージ面の先端縁部と平行に設けられた複数の平行表示線、を有することを特徴とする請求項１に記載のスキージ観察装置。
【請求項３】
前記複数の平行表示線は、他の表示線と識別可能な態様で設けられている一組の表示線を有することを特徴とする請求項２に記載のスキージ観察装置。
【請求項４】
前記模様は、前記スキージ面の先端縁部に対して斜めに伸びる直線状の斜め表示線と、前記斜め表示線上の異なる少なくとも２箇所から前記先端縁部に対して平行に伸びる平行表示線と、を有することを特徴とする請求項１から３の何れか一項に記載のスキージ観察装置。
【請求項５】
前記スキージの背面に配置されたプレート部材と更に備え、
前記模様は、前記スキージ面の先端縁部と平行に設けられた平行表示線を含み、
前記プレート部材の長手方向における少なくとも一方の端部には、前記スキージの端部よりも外側に突出する側方プレート部が設けられており、
前記撮像手段は、前記スキージング中に前記スキージ面と共に前記側方プレート部の底面を撮像し、
前記側方プレート部の前記底面には、前記スキージ面に設けられた前記平行表示線と照合するための基準領域が設けられていることを特徴とする請求項１から４の何れか一項に記載のスキージ観察装置。
【請求項６】
プリント基板と、
前記プリント基板の上面に配置され、前記プリント基板にペーストを供給するために形成された印刷開口、及び、スキージ観察用開口を有するマスク部材と、
を更に備え、
前記スキージ観察用開口には、前記透明な平板材が嵌め込まれ、
前記スキージは、前記マスク部材上に供給されたペーストを、スキージング動作によって前記印刷開口に充填し、
前記印刷開口に前記ペーストを充填している前記スキージの撓り状態を観察することを特徴とする請求項１から５の何れか一項に記載のスキージ観察装置。
【請求項７】
透明な平板材の上面に接するように且つ前記平板材の上面に沿って、スキージをスキージングさせるスキージング工程と、
前記スキージング中の進行方向側に面する前記スキージのスキージ面を、前記平板材の下方から前記平板材を透して撮像する撮像工程と、
を含み、
前記スキージング中の進行方向側に面するスキージ面には、前記スキージの撓りに応じて変形する所定の模様が設けられており、前記スキージング中における前記模様の変形を
観察することを特徴とするスキージ観察方法。
【請求項１】
透明な平板材と、
前記平板材の上面に接するようにスキージを保持し、前記スキージを前記平板材の上面に沿ってスキージングさせるスキージ駆動手段と、
前記平板材の下方に配置されており、前記スキージング中の前記スキージを、前記平板材を透して撮像する撮像手段と、
を備え、
前記スキージのうち、前記スキージング中の進行方向側に面するスキージ面には、前記スキージの撓りに応じて変形する所定の模様が設けられていることを特徴とするスキージ観察装置。
【請求項２】
前記模様は、前記スキージ面の先端縁部と平行に設けられた複数の平行表示線、を有することを特徴とする請求項１に記載のスキージ観察装置。
【請求項３】
前記複数の平行表示線は、他の表示線と識別可能な態様で設けられている一組の表示線を有することを特徴とする請求項２に記載のスキージ観察装置。
【請求項４】
前記模様は、前記スキージ面の先端縁部に対して斜めに伸びる直線状の斜め表示線と、前記斜め表示線上の異なる少なくとも２箇所から前記先端縁部に対して平行に伸びる平行表示線と、を有することを特徴とする請求項１から３の何れか一項に記載のスキージ観察装置。
【請求項５】
前記スキージの背面に配置されたプレート部材と更に備え、
前記模様は、前記スキージ面の先端縁部と平行に設けられた平行表示線を含み、
前記プレート部材の長手方向における少なくとも一方の端部には、前記スキージの端部よりも外側に突出する側方プレート部が設けられており、
前記撮像手段は、前記スキージング中に前記スキージ面と共に前記側方プレート部の底面を撮像し、
前記側方プレート部の前記底面には、前記スキージ面に設けられた前記平行表示線と照合するための基準領域が設けられていることを特徴とする請求項１から４の何れか一項に記載のスキージ観察装置。
【請求項６】
プリント基板と、
前記プリント基板の上面に配置され、前記プリント基板にペーストを供給するために形成された印刷開口、及び、スキージ観察用開口を有するマスク部材と、
を更に備え、
前記スキージ観察用開口には、前記透明な平板材が嵌め込まれ、
前記スキージは、前記マスク部材上に供給されたペーストを、スキージング動作によって前記印刷開口に充填し、
前記印刷開口に前記ペーストを充填している前記スキージの撓り状態を観察することを特徴とする請求項１から５の何れか一項に記載のスキージ観察装置。
【請求項７】
透明な平板材の上面に接するように且つ前記平板材の上面に沿って、スキージをスキージングさせるスキージング工程と、
前記スキージング中の進行方向側に面する前記スキージのスキージ面を、前記平板材の下方から前記平板材を透して撮像する撮像工程と、
を含み、
前記スキージング中の進行方向側に面するスキージ面には、前記スキージの撓りに応じて変形する所定の模様が設けられており、前記スキージング中における前記模様の変形を
観察することを特徴とするスキージ観察方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１Ａ】
【図１１Ｂ】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【図１９】
【図２０】
【図２１】
【図２２】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１Ａ】
【図１１Ｂ】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【図１９】
【図２０】
【図２１】
【図２２】
【公開番号】特開２０１３−７６６８４（Ｐ２０１３−７６６８４Ａ）
【公開日】平成２５年４月２５日（２０１３．４．２５）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−２１８３０３（Ｐ２０１１−２１８３０３）
【出願日】平成２３年９月３０日（２０１１．９．３０）
【出願人】（０００００５２２３）富士通株式会社 (25,993)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２５年４月２５日（２０１３．４．２５）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年９月３０日（２０１１．９．３０）
【出願人】（０００００５２２３）富士通株式会社 (25,993)
【Ｆターム（参考）】
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