スクリーンのための保持装置
【課題】 基板、特にガラス基板をコーティングするための装置のコーティングチャンバ２に少なくとも１つのスクリーン９を装着するための保持装置１２を提供する。
【解決手段】 保持装置１２は、当該保持装置１２によって保持されるスクリーン９が、当該保持装置１２の動きにより少なくともコーティングチャンバ２内における第１の位置から第２の位置に動かされ得るように構成される。保持装置１２は、スクリーン９が第１の位置から第２の位置に移動する途中に障害物を避けることを可能にするような手段１３を有する。特に、第１の位置から第２の位置への移動中に、スクリーン９は保持装置１２上に回転可能に装着される。
【解決手段】 保持装置１２は、当該保持装置１２によって保持されるスクリーン９が、当該保持装置１２の動きにより少なくともコーティングチャンバ２内における第１の位置から第２の位置に動かされ得るように構成される。保持装置１２は、スクリーン９が第１の位置から第２の位置に移動する途中に障害物を避けることを可能にするような手段１３を有する。特に、第１の位置から第２の位置への移動中に、スクリーン９は保持装置１２上に回転可能に装着される。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、基板、特にガラス基板をコーティングするための装置のコーティングチャンバにおいて少なくとも１つのスクリーンを装着するための保持装置に関し、当該保持手段は、保持手段によって保持されるスクリーンが保持装置の動きにより少なくともコーティングチャンバ内における第１の位置から第２の位置へと動かされ得るように構成される。
【背景技術】
【０００２】
コーティングライン、たとえばガラスコーティングラインのコーティングチャンバの内部にスクリーンを装着するのが公知の慣行である。当該スクリーンにより、チャンバの或る区域にシールドが必要となり、また、当該スクリーンはガラス基板を選択的かつ均一にコーティングするのに寄与する。スクリーンは特にガラスコーティングラインのカソードゾーンにおいて用いられる。これは、平面のカソード本体を備えたコーティングラインと、回転するカソード本体を備えたラインとの両方に適用される。
【０００３】
メンテナンスまたは洗浄の目的でコーティングチャンバからスクリーンを取外せるようにするために、アクセス用窓がコーティングチャンバ、通常、カソードの上方における区域に設けられる。カソードはこのアクセス用窓を通じて交換可能である。加えて、当該窓により、必要に応じてコーティングラインの他の構成要素、特にスクリーンにアクセスできるようになる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、アクセス用窓から見ると、スクリーンのうち少なくとも一部分は通常カソードの下、すなわち、カソードと基板との間の空間に位置する。カソードと基板との間の空間に位置するスクリーンは、その上方に装着されたカソードとともに妨害エッジを形成し得る。したがって、フレームに永久的に据付けられるかまたは取付けられるスクリーンは、カソード本体を取外した後にしか当該スクリーンを取外すことができないという不利点を有する。言い換えれば、カソードを部分的に囲むスクリーンには、コーティングチャンバからカソードを取外す時または取外した後にしかアクセスできない。これによりコーティングラインの効率が低下する。というのも、追加の組立工程が必要になり、時間が失われるからである。
【０００５】
いわゆる片持ちばり式のカソードを使用することには特に問題がある。というのも、これらのカソードは受け壁を通って横方向に装着されており、コーティングチャンバが開かれた後にそこに留まるからである。スクリーンを交換する前に目標またはカソードを取外すことが必要なので、この場合特に時間がかかる。
【０００６】
この背景に対し、この発明の目的はコーティングラインからスクリーンを取外すのを容易にすることである。これは、特に、少なくとも部分的にカソードを囲んでいるスクリーンの取外しに適用される。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
この目的は、請求項１の特徴を備えたスクリーン保持装置を設けることによって確立される。
【０００８】
この発明は、基板、特にガラス基板をコーティングするための装置のコーティングチャ
ンバにおいて少なくとも１つのスクリーンを装着するための保持装置に関し、当該保持手段は、保持手段によって保持されるスクリーンが保持装置の動きによって少なくともコーティングチャンバ内における動作位置（第１の位置）から動かされ得るように構成される。スクリーンはコーティングチャンバから当該コーティングチャンバ外の第２の位置へと動かされる。保持装置は、コーティングチャンバ内における当該動作位置からスクリーンを移動させる間、当該スクリーンが障害を避けることを可能にするような手段を有する。
【０００９】
可動式の保持装置により、これに接続されるスクリーンをコーティングチャンバから取外すことが可能となる。保持装置は、典型的には、一部分がアクセス用窓の区域に延在し、かつアクセス用窓を閉じるためのカバーフランジと接続され得るかまたは接続され得ないように構成される。後者の場合、スクリーンは、フランジが開口部から持上げられるとその動作位置から遠ざかる。
【００１０】
スクリーンは通常、基板側、すなわちアクセス用窓とは反対側にも部分的なシールドを備える必要があるので、スクリーンの一部分は、アクセス用窓から見るとカソードの下に位置する。従来の保持装置がチャンバから直線的に引出される場合、スクリーンが動作位置にあるときスクリーンのこの部分はその上方に装着されたカソードによって遮られる、すなわち当該カソードと衝突するだろう。
【００１１】
この発明に従った保持装置を用いることにより、スクリーンをチャンバから取外す際のスクリーンとカソード、チャンバ壁と、ことによるとチャンバに装着される他のコーティングライン構成要素との間の接触がいずれも防止される。こうして、コーティングチャンバからカソードを取外さなくても、スクリーンを引出す際にスクリーンまたはカソードのどちらにも損傷を与えないことを確実にし得る。カソードがスクリーンによって部分的に囲まれているにもかかわらず、スクリーンに損傷を与えたりスクリーンが詰まったりする可能性が排除される。というのも、保持装置により、スクリーンの経路に位置する障害物とスクリーンとの接触が防止されるからである。
【００１２】
スクリーンがコーティングチャンバから取外されると、当該スクリーンは、点検および洗浄を行なう前に対応する支持部から容易に取外すことができる。スクリーンを引出す前に時間のかかるカソードの取外しを行なう必要はない。組立作業および時間を節約すると、コーティングラインがより効率的に使用されることになる。
【００１３】
当該手段は、好ましくは、スクリーンが第１の位置から第２の位置に移動するとき、当該スクリーンが保持装置に対して付加的な動きを少なくとも１回実行し得るように構成される。
【００１４】
スクリーンがコーティングチャンバから引出される際のスクリーンの動きに重なる付加的な動きは回転移動または平行移動であり得る。この付加的な動きにより、スクリーンが、動作位置から窓に移動する途中で、起こり得る障害物を避けることが可能となる。当該障害物はたとえばカソードであり、スクリーンとともにカソードは、動作位置にある場合に妨害エッジを形成する。
【００１５】
特に、当該手段は、スクリーンが第１の位置から第２の位置に移動する途中に、コーティングチャンバにおけるその向きを変えることができるように構成される。これは、スクリーンをそのもとの動作位置に対して傾斜させることができることを意味する。こうして、スクリーンが障害物を通り過ぎる間、スクリーンの向きを制御しつつ選択的に変えることによりこの障害物と接触するのを避けることができる。
【００１６】
当該手段は、特に保持装置に対するスクリーンの回転を可能にするよう構成される。こ
の手段により、たとえばコーティングチャンバから保持装置を引出す間にスクリーンがカソードを通り過ぎるときにスクリーンを傾斜させ、これにより、動作位置にあるスクリーンがカソードに接触せずに当該カソードを通り過ぎる際にカソードの後方に位置する突起部を案内することが可能となる。
【００１７】
当該手段は、たとえばスクリーンを回転させるためのヒンジ継手を含み得る。
【００１８】
当該スクリーンは、特に保持装置の回転可能な部分に取付けることができる。これは、保持装置が２つの回動式の部分から成ることを意味する。一方の部分は窓を閉じるためのカバーフランジと接続可能であり、もう一方の部分にはスクリーンが取付けられている。
【００１９】
代替的には、当該手段は、スクリーンが第１の位置から第２の位置に移動する途中で保持装置に対して横方向に変位し得るように構成され得る。これは、スクリーンが、保持装置上で横方向に、概して第１の位置から第２の位置への移動方向に対して直角に、障害物から離れるように移動することにより障害物を避けることができることを意味する。どの構成が選択されるかは、とりわけ、チャンバにおける構成要素の配置に依存する。
【００２０】
当該手段は、好ましくは、スクリーンの向きおよび／または横方向の変位が、第１の位置から第２の位置に移動する途中のスクリーンの位置に依存するよう構成される。スクリーンの位置と、特に当該スクリーンとアクセス用窓との間の距離（言い換えれば、スクリーンがどのくらいの高さにあるか）と、スクリーンを回転または変位させる程度との間の関係により、第２の位置への移動のすべての段階中に障害物との衝突が防止される。スクリーンの位置はさまざまな方法で決定可能であり、回避手段は適切に調整され得る。
【００２１】
スクリーンの向きの変更および／または当該スクリーンの横方向の変位は、機械的に、たとえば特に重力またはばね力の作用によってもたらされてもよい。たとえば、冷却ユニットの表面などの支持面からスクリーンを単に持上げることにより、スクリーンが回転しつつカソードから遠ざかり得る。このために必要なことは、保持装置が持上げられる際に好適なトルクがスクリーンに作用し、これによりピボットを中心にしてスクリーンを所望の角度だけ回転させるようにスクリーンの重心を選択することである。この構成は、製造および動作の点では特に単純で経済的である。外部からのエネルギおよび制御は不要である。
【００２２】
向きを変えるためのおよび／またはスクリーンを横方向に変位させるための別のオプションは、これを機械的に実施することである。
【００２３】
第１の位置から第２の位置への移動中のスクリーンの向きの変更および／またはスクリーンの横方向の変位は自己作動式に（in self-acting manner）実施されることが好ましい。これは、たとえば、支持面からスクリーンを持上げてこれを重力の作用にさらすか、その途中の或る点でばねを自動的に作動させるか、スクリーンに案内手段を設けるか、スクリーンが特定のゾーンを通過する際にスイッチを自動的に作動させるか、または当業者によく知られている他の方法を用いることによって実現可能である。
【００２４】
スクリーンの向きの変更および／またはスクリーンの横方向の変位は、特にスクリーンが第１の位置から第２の位置に移動することによってもたらされる。スクリーンは、障害物を通り過ぎる際にその動きの自由度が制限される。
【００２５】
第１の位置から第２の位置への移動中のスクリーンの向きの変更および／またはスクリーンの横方向の変位は自動的に（automatically）実施されることが好ましい。この点に関して、「自動的（automatically）」という語は、ユーザ側の介入なしにもたらされる
いかなる変更をも指す。こうして、人為ミスまたは不注意によるシステムのいかなる故障も排除される。
【００２６】
第１の位置は、典型的には、コーティングチャンバ内における動作位置であり、コーティング動作中のスクリーンに対する所期の位置である。
【００２７】
第２の位置は、典型的には、本質的にスクリーンに自由にアクセスできるメンテナンス位置である。これはコーティングチャンバの内部または外部であり得る。第２の位置は、コーティングチャンバのアクセス用窓付近の位置であり得るかまたはコーティングチャンバ外の位置であり得る。
【００２８】
特にスクリーンが第１の位置から第２の位置に移動する間、保持装置は本質的には直線的に移動する。保持装置がたとえば窓を閉じるためのフランジに取付けられる場合、フランジを垂直に持上げて窓を開くことにより、支持部が本質的に直線的に移動することとなる。こうして、妨害エッジが明瞭に規定され、スクリーンは、衝突を防ぐために保持装置に対する正確な移動を自動的に実行し得る。
【００２９】
スクリーンは、第１の位置に位置するとき、コーティングチャンバの内部に装着されるカソードを少なくとも部分的に囲み得る。特に、当該スクリーンはカソードの後ろに突き出て妨害エッジを生じさせるが、この発明の装置において提供される保持装置に対するスクリーンの付加的な動きにより、スクリーンを取外す際に妨害エッジがなくされる。
【００３０】
スクリーンは、第１の位置に装着される場合、好ましくは冷却ユニットと接触する。コーティングプロセス中に生成された熱は適切な冷却ユニットによって放散させることができる。冷却ユニットは典型的には水冷ユニットであるだろう。スクリーンの一部分は、最良の熱的接触をもたらすために冷却面上で支持され得る。この接触は、たとえば蓋の重みによって、またはコーティングラインが排気されている場合には圧力差によって達成され得る。こうして十分な下向きの力が与えられる。比較的均一であり調節することもできる接触圧力を得るために、ばねを付加的に用いてもよい。
【００３１】
スクリーンは、第１の位置から第２の位置に移動する際に、好ましくは冷却ユニットから離れる。論理的には水冷ユニットは永久的にスクリーンと接続されてもよいが、この場合、スクリーンとともにコーティングチャンバから取外されなければならない。しかしながら、冷却ユニットは、スクリーンにしか接触しないのであればコーティングチャンバに残されてもよい。この実施例では、スクリーンは洗浄する目的で極めて迅速に交換することができる。というのも、これらのスクリーンは単純なヒンジピンで固定されるだけでよく、従来の機器におけるように多数のボルトで冷却ユニットに接続されなくてもよいからである。
【００３２】
この発明の付加的な特徴および利点は特定の実施例の以下の記載から明らかとなるだろう。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３３】
図１はコーティングライン１の一部を示す。これは、側壁３と上部壁区域４とを備えたコーティングチャンバ２を有する。上部壁区域はアクセス用窓５によって穿孔されており、これによりコーティングチャンバ２へのアクセスが可能となる。特に、アクセス用窓５は、カソード本体８の交換や、コーティングライン１の他の構成要素、特にスクリーン９に対するメンテナンス作業のためにアクセスできるようにする。
【００３４】
図１に図示のとおり、アクセス用窓５は、コーティングライン１の動作中にカバーフラ
ンジ６で閉じられる。シール７、たとえば、溝に収容される封止リングによって、確実にコーティングライン２が真空気密に閉じられる。
【００３５】
当該実施例においては、回転するカソードとして設計される２つのカソード本体８がコーティングチャンバ２に設けられる。カソード本体８は本質的には円筒形である。しかしながら、明らかに、回転するカソードではなく平面のカソードをコーティングチャンバ２において用いることも可能である。
【００３６】
図示される断面図においては、スクリーン９はｘ−ｙ平面に対して垂直な方向に対して角度が付けられている。スクリーンの一部分９ａはｙ軸に対して平行に延び、隣接する部分９ｂは目標８の方に傾斜し、一部分９ｃは中心線Ｍの方に向かいｘ軸に対して平行に延びる。この構成は、目標８が関連するスクリーン９によって部分的に囲まれていることを意味する。
【００３７】
カソード本体８の各々は、スクリーン９の部分９ａおよび９ｂによってｘ軸に対して平行に横方向に覆われる。加えて、カソード８は、スクリーン９の部分９ｃによって、基板に向かって下方向（すなわちｙ方向）にわずかに覆われている。上方から、すなわちアクセス用窓５から見ると、スクリーン９の末端部分９ｃは動作状態にあるときカソード本体８の後方に位置し、この結果、カソード８の妨害エッジ１１を越えて延在する突き出た端部１０が形成される。妨害エッジ１１はｙ軸に対して平行に延びている。
【００３８】
スクリーン９は、動作位置にある場合、フランジ９ｄを介して水冷ユニット１４と接触する。コーティングプロセス中に生成された熱は冷却ユニット１４によって放散させることができる。強い下向きの圧力のために、スクリーン９と冷却ユニット１４との間に良好な熱的接触が確立される。この接触は、たとえば、フランジ６の重みによって、またはコーティングチャンバ２が排気されている場合には圧力差によって達成可能である。
【００３９】
図２は、カバーフランジ６を取外すことによってコーティングチャンバ２を開く最中のコーティングライン１を示す。カバーフランジ６は矢印Ｂで示される方向に上げたり下げたりすることができる。
【００４０】
支持部１２はカバーフランジ６と接続される。したがって、カバーフランジ６が垂直に持上げられると、それとともに支持部１２が垂直に上昇する。
【００４１】
カバーフランジ６および支持部１２が上方に移動すると、動作位置にある場合に冷却ユニット１４の接触面上に載っているスクリーン９が当該接触面から持上げられ、窓５の方に上昇する。
【００４２】
図１に示されるスクリーン部分９ｃの突き出た端部１０はカソード８の妨害エッジ１１を越えて中心線Ｍに向かって延在しており、カバーフランジ６とスクリーン９との間が全く堅固に接続されている場合、当該突き出た端部１０は上方への移動中にカソード本体８と衝突することとなる。カソード本体８に衝突するかまたは当該カソード本体８と接触するだけでも、コーティングチャンバ２からのスクリーン９の取外しが妨げられ、さらには損傷がもたらされるおそれがある。
【００４３】
このため、保持装置１２は継手、たとえばピボット１３を備える。支持部１２の一方の部分にはその上方端部にフランジ６が接続され、支持部１２のもう一方の部分１２ａにはスクリーン９が堅固に接続される。部分１２ａは、スクリーン９の部分９ａおよび９ｄによって形成される角度に配置される。
【００４４】
保持装置１２の２つの部分はヒンジ継手によってともに接続されているので、相対的に回転可能である。この目的のために、ピボット１３が支持部１２の下方端部に設けられてもよく、これにより、ピボットは支持部１２のもう一方の部分１２ａにおける対応する軸受ブシュ（図示せず）と相互作用する。当該図面においては、ピボットはｘ−ｙ平面に対して垂直に延びる。
【００４５】
カバーフランジ６が持上げられると、上述のとおり、スクリーン９が冷却ユニット１４の接触面から持上げられる。アセンブリは、スクリーン９と支持部１２の部分１２ａとを含む組合せの重心がピボット１３に対して中心線Ｍの方に変位するように設計された。したがって、スクリーンが持上げられると、アセンブリ９、１２ａに作用する重力がピボットに対して横方向に変位し、アセンブリにトルクをかける。結果として、アセンブリ９、１２ａが下方に振動する。図２においては、回転方向は矢印Ｓで示される。こうして、スクリーン９がｘ−ｙ平面において十分に外側に遠く中心線Ｍおよびカソード８から離れて振動して、カソードとの重なり１０をなくす。結果として、スクリーン９はカソード８に接触せずに当該カソード８を通り過ぎ得る。さらに、回転する量は、スクリーン９と部分１２ａとを含むアセンブリが上壁４のエッジ４ａに接触せずに窓５を通って案内され得るように計算される。これらの措置により、最初にカソード本体８を取外さなくてもコーティングチャンバ２からスクリーン９を安全に取外すことが可能となる。
【００４６】
記載される例においては、部分１２ａは重力によって回転させられる。しかしながら、代替的には、ばね力または他の機械的もしくは電子的手段を用いて、支持部１２の上方部分に対してスクリーン９を強制的、自動的または少なくとも自己作動式に動かすことによって、カソード８との衝突を防ぐことができる。たとえば、制御システムが組込まれてもよく、当該制御システムは、スクリーン９がカソード本体８またはコーティングライン１の構成要素と衝突することなくアクセス用窓５に案内され得るような態様で平行移動Ｂの関数として回転移動Ｓを調整する。平行移動Ｂの関数として回転移動Ｓを調整するメカニズムは、たとえば、ピボット１３のｙ座標の関数としてＳを制御することにあり得、特定のｙ座標に特定の回転角を割当てることが好ましい。支持部１２の移動Ｂにより、スクリーン９がピボット１３を中心にして強制的に回転させられる。言い換えれば、回転移動Ｓは移動Ｂによって自動的にもたらされる。これは、コーティングチャンバ２からスクリーン９を取外す最中に人為ミスとコーティングライン１の構成要素への損傷とが殆ど排除されることを意味する。制御システムおよび回転移動自体はともに、機械的かつ電子的に実現可能である。
【００４７】
コーティングプロセス中にスクリーン９において生成される熱は冷却要素１４によって放散させることができる。図２に図示のとおり、水冷ユニット１４は、スクリーン９が取外されてもコーティングチャンバに留まり得る。当該実施例においては、スクリーン９は、冷却ユニット１４の接触面から持上げられると冷却要素から離れる。冷却ユニット１４とスクリーン９との間、特に冷却ユニット１４とスクリーン９の部分９ｄとの間の良好な熱的接触は、バランスのとれた強い下向きの力によって保証される。支持部１２の長さは好ましくは調節可能である。下向きの力を調整するために、支持部１２は、スクリーン部分９ｄ上に均一な圧力を生成するばねを付加的に備えてもよい。
【００４８】
しかしながら、理論的には、水冷ユニット１４をスクリーン９と堅固に接続することも可能であり、この場合、当該水冷ユニット１４はスクリーンとともにコーティングチャンバ２から取外される。
【００４９】
図示のコーティングラインは、洗浄またはメンテナンスのために、特にカソード本体８を取外す必要なしにスクリーン９を迅速に交換する可能性を提供する。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】動作位置にありさまざまな構成要素を備えたコーティングラインの一部を示す縦断面図である。
【図２】コーティングチャンバが開かれるときのコーティングラインを示す図である。
【符号の説明】
【００５１】
１ コーティングライン、２ コーティングチャンバ、３ 側壁、４ 上部壁区域、５
アクセス用窓、６ カバーフランジ、７ シール、８ カソード本体、９ スクリーン、１０ 突き出た端部、１１ 妨害エッジ、１２ 保持装置、１３ ピボット、１４ 冷却ユニット。
【技術分野】
【０００１】
この発明は、基板、特にガラス基板をコーティングするための装置のコーティングチャンバにおいて少なくとも１つのスクリーンを装着するための保持装置に関し、当該保持手段は、保持手段によって保持されるスクリーンが保持装置の動きにより少なくともコーティングチャンバ内における第１の位置から第２の位置へと動かされ得るように構成される。
【背景技術】
【０００２】
コーティングライン、たとえばガラスコーティングラインのコーティングチャンバの内部にスクリーンを装着するのが公知の慣行である。当該スクリーンにより、チャンバの或る区域にシールドが必要となり、また、当該スクリーンはガラス基板を選択的かつ均一にコーティングするのに寄与する。スクリーンは特にガラスコーティングラインのカソードゾーンにおいて用いられる。これは、平面のカソード本体を備えたコーティングラインと、回転するカソード本体を備えたラインとの両方に適用される。
【０００３】
メンテナンスまたは洗浄の目的でコーティングチャンバからスクリーンを取外せるようにするために、アクセス用窓がコーティングチャンバ、通常、カソードの上方における区域に設けられる。カソードはこのアクセス用窓を通じて交換可能である。加えて、当該窓により、必要に応じてコーティングラインの他の構成要素、特にスクリーンにアクセスできるようになる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、アクセス用窓から見ると、スクリーンのうち少なくとも一部分は通常カソードの下、すなわち、カソードと基板との間の空間に位置する。カソードと基板との間の空間に位置するスクリーンは、その上方に装着されたカソードとともに妨害エッジを形成し得る。したがって、フレームに永久的に据付けられるかまたは取付けられるスクリーンは、カソード本体を取外した後にしか当該スクリーンを取外すことができないという不利点を有する。言い換えれば、カソードを部分的に囲むスクリーンには、コーティングチャンバからカソードを取外す時または取外した後にしかアクセスできない。これによりコーティングラインの効率が低下する。というのも、追加の組立工程が必要になり、時間が失われるからである。
【０００５】
いわゆる片持ちばり式のカソードを使用することには特に問題がある。というのも、これらのカソードは受け壁を通って横方向に装着されており、コーティングチャンバが開かれた後にそこに留まるからである。スクリーンを交換する前に目標またはカソードを取外すことが必要なので、この場合特に時間がかかる。
【０００６】
この背景に対し、この発明の目的はコーティングラインからスクリーンを取外すのを容易にすることである。これは、特に、少なくとも部分的にカソードを囲んでいるスクリーンの取外しに適用される。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
この目的は、請求項１の特徴を備えたスクリーン保持装置を設けることによって確立される。
【０００８】
この発明は、基板、特にガラス基板をコーティングするための装置のコーティングチャ
ンバにおいて少なくとも１つのスクリーンを装着するための保持装置に関し、当該保持手段は、保持手段によって保持されるスクリーンが保持装置の動きによって少なくともコーティングチャンバ内における動作位置（第１の位置）から動かされ得るように構成される。スクリーンはコーティングチャンバから当該コーティングチャンバ外の第２の位置へと動かされる。保持装置は、コーティングチャンバ内における当該動作位置からスクリーンを移動させる間、当該スクリーンが障害を避けることを可能にするような手段を有する。
【０００９】
可動式の保持装置により、これに接続されるスクリーンをコーティングチャンバから取外すことが可能となる。保持装置は、典型的には、一部分がアクセス用窓の区域に延在し、かつアクセス用窓を閉じるためのカバーフランジと接続され得るかまたは接続され得ないように構成される。後者の場合、スクリーンは、フランジが開口部から持上げられるとその動作位置から遠ざかる。
【００１０】
スクリーンは通常、基板側、すなわちアクセス用窓とは反対側にも部分的なシールドを備える必要があるので、スクリーンの一部分は、アクセス用窓から見るとカソードの下に位置する。従来の保持装置がチャンバから直線的に引出される場合、スクリーンが動作位置にあるときスクリーンのこの部分はその上方に装着されたカソードによって遮られる、すなわち当該カソードと衝突するだろう。
【００１１】
この発明に従った保持装置を用いることにより、スクリーンをチャンバから取外す際のスクリーンとカソード、チャンバ壁と、ことによるとチャンバに装着される他のコーティングライン構成要素との間の接触がいずれも防止される。こうして、コーティングチャンバからカソードを取外さなくても、スクリーンを引出す際にスクリーンまたはカソードのどちらにも損傷を与えないことを確実にし得る。カソードがスクリーンによって部分的に囲まれているにもかかわらず、スクリーンに損傷を与えたりスクリーンが詰まったりする可能性が排除される。というのも、保持装置により、スクリーンの経路に位置する障害物とスクリーンとの接触が防止されるからである。
【００１２】
スクリーンがコーティングチャンバから取外されると、当該スクリーンは、点検および洗浄を行なう前に対応する支持部から容易に取外すことができる。スクリーンを引出す前に時間のかかるカソードの取外しを行なう必要はない。組立作業および時間を節約すると、コーティングラインがより効率的に使用されることになる。
【００１３】
当該手段は、好ましくは、スクリーンが第１の位置から第２の位置に移動するとき、当該スクリーンが保持装置に対して付加的な動きを少なくとも１回実行し得るように構成される。
【００１４】
スクリーンがコーティングチャンバから引出される際のスクリーンの動きに重なる付加的な動きは回転移動または平行移動であり得る。この付加的な動きにより、スクリーンが、動作位置から窓に移動する途中で、起こり得る障害物を避けることが可能となる。当該障害物はたとえばカソードであり、スクリーンとともにカソードは、動作位置にある場合に妨害エッジを形成する。
【００１５】
特に、当該手段は、スクリーンが第１の位置から第２の位置に移動する途中に、コーティングチャンバにおけるその向きを変えることができるように構成される。これは、スクリーンをそのもとの動作位置に対して傾斜させることができることを意味する。こうして、スクリーンが障害物を通り過ぎる間、スクリーンの向きを制御しつつ選択的に変えることによりこの障害物と接触するのを避けることができる。
【００１６】
当該手段は、特に保持装置に対するスクリーンの回転を可能にするよう構成される。こ
の手段により、たとえばコーティングチャンバから保持装置を引出す間にスクリーンがカソードを通り過ぎるときにスクリーンを傾斜させ、これにより、動作位置にあるスクリーンがカソードに接触せずに当該カソードを通り過ぎる際にカソードの後方に位置する突起部を案内することが可能となる。
【００１７】
当該手段は、たとえばスクリーンを回転させるためのヒンジ継手を含み得る。
【００１８】
当該スクリーンは、特に保持装置の回転可能な部分に取付けることができる。これは、保持装置が２つの回動式の部分から成ることを意味する。一方の部分は窓を閉じるためのカバーフランジと接続可能であり、もう一方の部分にはスクリーンが取付けられている。
【００１９】
代替的には、当該手段は、スクリーンが第１の位置から第２の位置に移動する途中で保持装置に対して横方向に変位し得るように構成され得る。これは、スクリーンが、保持装置上で横方向に、概して第１の位置から第２の位置への移動方向に対して直角に、障害物から離れるように移動することにより障害物を避けることができることを意味する。どの構成が選択されるかは、とりわけ、チャンバにおける構成要素の配置に依存する。
【００２０】
当該手段は、好ましくは、スクリーンの向きおよび／または横方向の変位が、第１の位置から第２の位置に移動する途中のスクリーンの位置に依存するよう構成される。スクリーンの位置と、特に当該スクリーンとアクセス用窓との間の距離（言い換えれば、スクリーンがどのくらいの高さにあるか）と、スクリーンを回転または変位させる程度との間の関係により、第２の位置への移動のすべての段階中に障害物との衝突が防止される。スクリーンの位置はさまざまな方法で決定可能であり、回避手段は適切に調整され得る。
【００２１】
スクリーンの向きの変更および／または当該スクリーンの横方向の変位は、機械的に、たとえば特に重力またはばね力の作用によってもたらされてもよい。たとえば、冷却ユニットの表面などの支持面からスクリーンを単に持上げることにより、スクリーンが回転しつつカソードから遠ざかり得る。このために必要なことは、保持装置が持上げられる際に好適なトルクがスクリーンに作用し、これによりピボットを中心にしてスクリーンを所望の角度だけ回転させるようにスクリーンの重心を選択することである。この構成は、製造および動作の点では特に単純で経済的である。外部からのエネルギおよび制御は不要である。
【００２２】
向きを変えるためのおよび／またはスクリーンを横方向に変位させるための別のオプションは、これを機械的に実施することである。
【００２３】
第１の位置から第２の位置への移動中のスクリーンの向きの変更および／またはスクリーンの横方向の変位は自己作動式に（in self-acting manner）実施されることが好ましい。これは、たとえば、支持面からスクリーンを持上げてこれを重力の作用にさらすか、その途中の或る点でばねを自動的に作動させるか、スクリーンに案内手段を設けるか、スクリーンが特定のゾーンを通過する際にスイッチを自動的に作動させるか、または当業者によく知られている他の方法を用いることによって実現可能である。
【００２４】
スクリーンの向きの変更および／またはスクリーンの横方向の変位は、特にスクリーンが第１の位置から第２の位置に移動することによってもたらされる。スクリーンは、障害物を通り過ぎる際にその動きの自由度が制限される。
【００２５】
第１の位置から第２の位置への移動中のスクリーンの向きの変更および／またはスクリーンの横方向の変位は自動的に（automatically）実施されることが好ましい。この点に関して、「自動的（automatically）」という語は、ユーザ側の介入なしにもたらされる
いかなる変更をも指す。こうして、人為ミスまたは不注意によるシステムのいかなる故障も排除される。
【００２６】
第１の位置は、典型的には、コーティングチャンバ内における動作位置であり、コーティング動作中のスクリーンに対する所期の位置である。
【００２７】
第２の位置は、典型的には、本質的にスクリーンに自由にアクセスできるメンテナンス位置である。これはコーティングチャンバの内部または外部であり得る。第２の位置は、コーティングチャンバのアクセス用窓付近の位置であり得るかまたはコーティングチャンバ外の位置であり得る。
【００２８】
特にスクリーンが第１の位置から第２の位置に移動する間、保持装置は本質的には直線的に移動する。保持装置がたとえば窓を閉じるためのフランジに取付けられる場合、フランジを垂直に持上げて窓を開くことにより、支持部が本質的に直線的に移動することとなる。こうして、妨害エッジが明瞭に規定され、スクリーンは、衝突を防ぐために保持装置に対する正確な移動を自動的に実行し得る。
【００２９】
スクリーンは、第１の位置に位置するとき、コーティングチャンバの内部に装着されるカソードを少なくとも部分的に囲み得る。特に、当該スクリーンはカソードの後ろに突き出て妨害エッジを生じさせるが、この発明の装置において提供される保持装置に対するスクリーンの付加的な動きにより、スクリーンを取外す際に妨害エッジがなくされる。
【００３０】
スクリーンは、第１の位置に装着される場合、好ましくは冷却ユニットと接触する。コーティングプロセス中に生成された熱は適切な冷却ユニットによって放散させることができる。冷却ユニットは典型的には水冷ユニットであるだろう。スクリーンの一部分は、最良の熱的接触をもたらすために冷却面上で支持され得る。この接触は、たとえば蓋の重みによって、またはコーティングラインが排気されている場合には圧力差によって達成され得る。こうして十分な下向きの力が与えられる。比較的均一であり調節することもできる接触圧力を得るために、ばねを付加的に用いてもよい。
【００３１】
スクリーンは、第１の位置から第２の位置に移動する際に、好ましくは冷却ユニットから離れる。論理的には水冷ユニットは永久的にスクリーンと接続されてもよいが、この場合、スクリーンとともにコーティングチャンバから取外されなければならない。しかしながら、冷却ユニットは、スクリーンにしか接触しないのであればコーティングチャンバに残されてもよい。この実施例では、スクリーンは洗浄する目的で極めて迅速に交換することができる。というのも、これらのスクリーンは単純なヒンジピンで固定されるだけでよく、従来の機器におけるように多数のボルトで冷却ユニットに接続されなくてもよいからである。
【００３２】
この発明の付加的な特徴および利点は特定の実施例の以下の記載から明らかとなるだろう。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３３】
図１はコーティングライン１の一部を示す。これは、側壁３と上部壁区域４とを備えたコーティングチャンバ２を有する。上部壁区域はアクセス用窓５によって穿孔されており、これによりコーティングチャンバ２へのアクセスが可能となる。特に、アクセス用窓５は、カソード本体８の交換や、コーティングライン１の他の構成要素、特にスクリーン９に対するメンテナンス作業のためにアクセスできるようにする。
【００３４】
図１に図示のとおり、アクセス用窓５は、コーティングライン１の動作中にカバーフラ
ンジ６で閉じられる。シール７、たとえば、溝に収容される封止リングによって、確実にコーティングライン２が真空気密に閉じられる。
【００３５】
当該実施例においては、回転するカソードとして設計される２つのカソード本体８がコーティングチャンバ２に設けられる。カソード本体８は本質的には円筒形である。しかしながら、明らかに、回転するカソードではなく平面のカソードをコーティングチャンバ２において用いることも可能である。
【００３６】
図示される断面図においては、スクリーン９はｘ−ｙ平面に対して垂直な方向に対して角度が付けられている。スクリーンの一部分９ａはｙ軸に対して平行に延び、隣接する部分９ｂは目標８の方に傾斜し、一部分９ｃは中心線Ｍの方に向かいｘ軸に対して平行に延びる。この構成は、目標８が関連するスクリーン９によって部分的に囲まれていることを意味する。
【００３７】
カソード本体８の各々は、スクリーン９の部分９ａおよび９ｂによってｘ軸に対して平行に横方向に覆われる。加えて、カソード８は、スクリーン９の部分９ｃによって、基板に向かって下方向（すなわちｙ方向）にわずかに覆われている。上方から、すなわちアクセス用窓５から見ると、スクリーン９の末端部分９ｃは動作状態にあるときカソード本体８の後方に位置し、この結果、カソード８の妨害エッジ１１を越えて延在する突き出た端部１０が形成される。妨害エッジ１１はｙ軸に対して平行に延びている。
【００３８】
スクリーン９は、動作位置にある場合、フランジ９ｄを介して水冷ユニット１４と接触する。コーティングプロセス中に生成された熱は冷却ユニット１４によって放散させることができる。強い下向きの圧力のために、スクリーン９と冷却ユニット１４との間に良好な熱的接触が確立される。この接触は、たとえば、フランジ６の重みによって、またはコーティングチャンバ２が排気されている場合には圧力差によって達成可能である。
【００３９】
図２は、カバーフランジ６を取外すことによってコーティングチャンバ２を開く最中のコーティングライン１を示す。カバーフランジ６は矢印Ｂで示される方向に上げたり下げたりすることができる。
【００４０】
支持部１２はカバーフランジ６と接続される。したがって、カバーフランジ６が垂直に持上げられると、それとともに支持部１２が垂直に上昇する。
【００４１】
カバーフランジ６および支持部１２が上方に移動すると、動作位置にある場合に冷却ユニット１４の接触面上に載っているスクリーン９が当該接触面から持上げられ、窓５の方に上昇する。
【００４２】
図１に示されるスクリーン部分９ｃの突き出た端部１０はカソード８の妨害エッジ１１を越えて中心線Ｍに向かって延在しており、カバーフランジ６とスクリーン９との間が全く堅固に接続されている場合、当該突き出た端部１０は上方への移動中にカソード本体８と衝突することとなる。カソード本体８に衝突するかまたは当該カソード本体８と接触するだけでも、コーティングチャンバ２からのスクリーン９の取外しが妨げられ、さらには損傷がもたらされるおそれがある。
【００４３】
このため、保持装置１２は継手、たとえばピボット１３を備える。支持部１２の一方の部分にはその上方端部にフランジ６が接続され、支持部１２のもう一方の部分１２ａにはスクリーン９が堅固に接続される。部分１２ａは、スクリーン９の部分９ａおよび９ｄによって形成される角度に配置される。
【００４４】
保持装置１２の２つの部分はヒンジ継手によってともに接続されているので、相対的に回転可能である。この目的のために、ピボット１３が支持部１２の下方端部に設けられてもよく、これにより、ピボットは支持部１２のもう一方の部分１２ａにおける対応する軸受ブシュ（図示せず）と相互作用する。当該図面においては、ピボットはｘ−ｙ平面に対して垂直に延びる。
【００４５】
カバーフランジ６が持上げられると、上述のとおり、スクリーン９が冷却ユニット１４の接触面から持上げられる。アセンブリは、スクリーン９と支持部１２の部分１２ａとを含む組合せの重心がピボット１３に対して中心線Ｍの方に変位するように設計された。したがって、スクリーンが持上げられると、アセンブリ９、１２ａに作用する重力がピボットに対して横方向に変位し、アセンブリにトルクをかける。結果として、アセンブリ９、１２ａが下方に振動する。図２においては、回転方向は矢印Ｓで示される。こうして、スクリーン９がｘ−ｙ平面において十分に外側に遠く中心線Ｍおよびカソード８から離れて振動して、カソードとの重なり１０をなくす。結果として、スクリーン９はカソード８に接触せずに当該カソード８を通り過ぎ得る。さらに、回転する量は、スクリーン９と部分１２ａとを含むアセンブリが上壁４のエッジ４ａに接触せずに窓５を通って案内され得るように計算される。これらの措置により、最初にカソード本体８を取外さなくてもコーティングチャンバ２からスクリーン９を安全に取外すことが可能となる。
【００４６】
記載される例においては、部分１２ａは重力によって回転させられる。しかしながら、代替的には、ばね力または他の機械的もしくは電子的手段を用いて、支持部１２の上方部分に対してスクリーン９を強制的、自動的または少なくとも自己作動式に動かすことによって、カソード８との衝突を防ぐことができる。たとえば、制御システムが組込まれてもよく、当該制御システムは、スクリーン９がカソード本体８またはコーティングライン１の構成要素と衝突することなくアクセス用窓５に案内され得るような態様で平行移動Ｂの関数として回転移動Ｓを調整する。平行移動Ｂの関数として回転移動Ｓを調整するメカニズムは、たとえば、ピボット１３のｙ座標の関数としてＳを制御することにあり得、特定のｙ座標に特定の回転角を割当てることが好ましい。支持部１２の移動Ｂにより、スクリーン９がピボット１３を中心にして強制的に回転させられる。言い換えれば、回転移動Ｓは移動Ｂによって自動的にもたらされる。これは、コーティングチャンバ２からスクリーン９を取外す最中に人為ミスとコーティングライン１の構成要素への損傷とが殆ど排除されることを意味する。制御システムおよび回転移動自体はともに、機械的かつ電子的に実現可能である。
【００４７】
コーティングプロセス中にスクリーン９において生成される熱は冷却要素１４によって放散させることができる。図２に図示のとおり、水冷ユニット１４は、スクリーン９が取外されてもコーティングチャンバに留まり得る。当該実施例においては、スクリーン９は、冷却ユニット１４の接触面から持上げられると冷却要素から離れる。冷却ユニット１４とスクリーン９との間、特に冷却ユニット１４とスクリーン９の部分９ｄとの間の良好な熱的接触は、バランスのとれた強い下向きの力によって保証される。支持部１２の長さは好ましくは調節可能である。下向きの力を調整するために、支持部１２は、スクリーン部分９ｄ上に均一な圧力を生成するばねを付加的に備えてもよい。
【００４８】
しかしながら、理論的には、水冷ユニット１４をスクリーン９と堅固に接続することも可能であり、この場合、当該水冷ユニット１４はスクリーンとともにコーティングチャンバ２から取外される。
【００４９】
図示のコーティングラインは、洗浄またはメンテナンスのために、特にカソード本体８を取外す必要なしにスクリーン９を迅速に交換する可能性を提供する。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】動作位置にありさまざまな構成要素を備えたコーティングラインの一部を示す縦断面図である。
【図２】コーティングチャンバが開かれるときのコーティングラインを示す図である。
【符号の説明】
【００５１】
１ コーティングライン、２ コーティングチャンバ、３ 側壁、４ 上部壁区域、５
アクセス用窓、６ カバーフランジ、７ シール、８ カソード本体、９ スクリーン、１０ 突き出た端部、１１ 妨害エッジ、１２ 保持装置、１３ ピボット、１４ 冷却ユニット。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板、特にガラス基板をコーティングするための装置のコーティングチャンバ（２）において少なくとも１つのスクリーン（９）を装着するための保持装置（１２）であって、前記保持装置は、保持装置（１２）の動きによりコーティングチャンバ（２）からであって、少なくともコーティングチャンバ（２）内における動作位置からコーティングチャンバ外における位置に、保持装置（１２）によって保持されるスクリーン（９）が動かされ得るように構成され、前記保持装置（１２）は、コーティングチャンバから取外される間にスクリーン（９）が障害物を避けることを可能にするような手段（１３）を有することを特徴とする、保持装置（１２）。
【請求項２】
前記手段（１３）は、スクリーン（９）がコーティングチャンバ（２）内における前記動作位置からコーティングチャンバ外における前記位置に動かされる間に、保持装置（１２）に対して少なくとも１回の付加的な動きを実行し得るように構成されることを特徴とする、請求項１に記載の保持装置（１２）。
【請求項３】
前記手段（１３）は、スクリーン（９）が、コーティングチャンバ（２）内における前記動作位置からコーティングチャンバ外における前記位置に動かされる間に、スクリーン（９）がコーティングチャンバ（２）内において向きを変え得るように構成されることを特徴とする、請求項１または２に記載の保持装置（１２）。
【請求項４】
前記手段（１３）は、保持装置（１２）に対するスクリーン（９）の回転を可能にするよう構成されることを特徴とする、請求項１から３のいずれかに記載の保持装置（１２）。
【請求項５】
前記手段（１３）はスクリーン（９）の回転を可能にするヒンジ継手（１３）を含むことを特徴とする、請求項４に記載の保持装置（１２）。
【請求項６】
前記スクリーン（９）は保持装置（１２）の回転可能な部分（１２ａ）に取付けられることを特徴とする、請求項５に記載の保持装置（１２）。
【請求項７】
前記手段（１２ａ）は、スクリーン（９）がコーティングチャンバ（２）内における前記動作位置からコーティングチャンバ外における前記位置に動かされる間に、保持装置（１２）に対して横方向の変位を実行し得るように構成されることを特徴とする、請求項１から６のいずれかに記載の保持装置（１２）。
【請求項８】
前記手段（１３）は、スクリーンがコーティングチャンバ（２）内における前記動作位置からコーティングチャンバ外における前記位置へと動かされる際にスクリーン（９）の向きおよび／または横方向の変位がコーティングチャンバにおけるスクリーン（９）の位置に依存するように構成されることを特徴とする、請求項１から７のいずれかに記載の保持装置（１２）。
【請求項９】
スクリーン（９）の向きの変更および／または横方向の変位は、機械的に、特に重力またはばね力の作用によってもたらされることを特徴とする、請求項３から８のいずれかに記載の保持装置（１２）。
【請求項１０】
スクリーン（９）の向きの変更および／または横方向の変位が電子的にもたらされることを特徴とする、請求項３から８のいずれかに記載の保持装置（１２）。
【請求項１１】
スクリーン（９）の向きの変更および／または横方向の変位は、スクリーン（９）がコ
ーティングチャンバ（２）における前記動作位置からコーティングチャンバ外における前記位置へと動かされる間に自己作動式にもたらされることを特徴とする、請求項３から１０のいずれかに記載の保持装置（１２）。
【請求項１２】
スクリーン（９）の向きの変更および／または横方向の変位は、スクリーンがコーティングチャンバ（２）における前記動作位置からコーティングチャンバ外における前記位置へと動かされる間に強制的にもたらされることを特徴とする、請求項３から１１のいずれかに記載の保持装置（１２）。
【請求項１３】
スクリーン（９）の向きの変更および／または横方向の変位は、スクリーン（９）がコーティングチャンバ（２）における前記動作位置からコーティングチャンバ外における前記位置へと動かされる間に自動的にもたらされることを特徴とする、請求項３から１２のいずれかに記載の保持装置（１２）。
【請求項１４】
前記動作位置は、コーティングチャンバ（２）内においてコーティング動作中のスクリーン（９）についての所期の位置であることを特徴とする、請求項１から１３のいずれかに記載の保持装置（１２）。
【請求項１５】
コーティングチャンバ外における前記位置は、本質的にスクリーン（９）に自由にアクセスできるメンテナンス位置であることを特徴とする、請求項１から１４のいずれかに記載の保持装置（１２）。
【請求項１６】
前記メンテナンス位置は、コーティングチャンバ（２）のアクセス用窓（５）付近の位置および／またはコーティングチャンバ（２）外における位置であることを特徴とする、請求項１５に記載の保持装置（１２）。
【請求項１７】
前記保持装置（１２）は、スクリーン（９）がコーティングチャンバ（２）内における前記動作位置からコーティングチャンバ外における前記位置へと動かされる間に本質的に直線的な動きを実行することを特徴とする、請求項１から１６のいずれかに記載の保持装置（１２）。
【請求項１８】
スクリーン（９）は、前記動作位置に位置する場合、コーティングチャンバ（２）の内部に装着されるカソード（８）を少なくとも部分的に囲むことを特徴とする、請求項１から１７のいずれかに記載の保持装置（１２）。
【請求項１９】
スクリーン（９）は、前記動作位置に装着される場合、冷却ユニット（１４）と接触することを特徴とする、請求項１から１８のいずれかに記載の保持装置（１２）。
【請求項２０】
スクリーン（９）は、コーティングチャンバ（２）内における前記動作位置からメンテナンス位置に動かされると冷却ユニット（１４）から離れることを特徴とする、請求項１９に記載の保持装置（１２）。
【請求項１】
基板、特にガラス基板をコーティングするための装置のコーティングチャンバ（２）において少なくとも１つのスクリーン（９）を装着するための保持装置（１２）であって、前記保持装置は、保持装置（１２）の動きによりコーティングチャンバ（２）からであって、少なくともコーティングチャンバ（２）内における動作位置からコーティングチャンバ外における位置に、保持装置（１２）によって保持されるスクリーン（９）が動かされ得るように構成され、前記保持装置（１２）は、コーティングチャンバから取外される間にスクリーン（９）が障害物を避けることを可能にするような手段（１３）を有することを特徴とする、保持装置（１２）。
【請求項２】
前記手段（１３）は、スクリーン（９）がコーティングチャンバ（２）内における前記動作位置からコーティングチャンバ外における前記位置に動かされる間に、保持装置（１２）に対して少なくとも１回の付加的な動きを実行し得るように構成されることを特徴とする、請求項１に記載の保持装置（１２）。
【請求項３】
前記手段（１３）は、スクリーン（９）が、コーティングチャンバ（２）内における前記動作位置からコーティングチャンバ外における前記位置に動かされる間に、スクリーン（９）がコーティングチャンバ（２）内において向きを変え得るように構成されることを特徴とする、請求項１または２に記載の保持装置（１２）。
【請求項４】
前記手段（１３）は、保持装置（１２）に対するスクリーン（９）の回転を可能にするよう構成されることを特徴とする、請求項１から３のいずれかに記載の保持装置（１２）。
【請求項５】
前記手段（１３）はスクリーン（９）の回転を可能にするヒンジ継手（１３）を含むことを特徴とする、請求項４に記載の保持装置（１２）。
【請求項６】
前記スクリーン（９）は保持装置（１２）の回転可能な部分（１２ａ）に取付けられることを特徴とする、請求項５に記載の保持装置（１２）。
【請求項７】
前記手段（１２ａ）は、スクリーン（９）がコーティングチャンバ（２）内における前記動作位置からコーティングチャンバ外における前記位置に動かされる間に、保持装置（１２）に対して横方向の変位を実行し得るように構成されることを特徴とする、請求項１から６のいずれかに記載の保持装置（１２）。
【請求項８】
前記手段（１３）は、スクリーンがコーティングチャンバ（２）内における前記動作位置からコーティングチャンバ外における前記位置へと動かされる際にスクリーン（９）の向きおよび／または横方向の変位がコーティングチャンバにおけるスクリーン（９）の位置に依存するように構成されることを特徴とする、請求項１から７のいずれかに記載の保持装置（１２）。
【請求項９】
スクリーン（９）の向きの変更および／または横方向の変位は、機械的に、特に重力またはばね力の作用によってもたらされることを特徴とする、請求項３から８のいずれかに記載の保持装置（１２）。
【請求項１０】
スクリーン（９）の向きの変更および／または横方向の変位が電子的にもたらされることを特徴とする、請求項３から８のいずれかに記載の保持装置（１２）。
【請求項１１】
スクリーン（９）の向きの変更および／または横方向の変位は、スクリーン（９）がコ
ーティングチャンバ（２）における前記動作位置からコーティングチャンバ外における前記位置へと動かされる間に自己作動式にもたらされることを特徴とする、請求項３から１０のいずれかに記載の保持装置（１２）。
【請求項１２】
スクリーン（９）の向きの変更および／または横方向の変位は、スクリーンがコーティングチャンバ（２）における前記動作位置からコーティングチャンバ外における前記位置へと動かされる間に強制的にもたらされることを特徴とする、請求項３から１１のいずれかに記載の保持装置（１２）。
【請求項１３】
スクリーン（９）の向きの変更および／または横方向の変位は、スクリーン（９）がコーティングチャンバ（２）における前記動作位置からコーティングチャンバ外における前記位置へと動かされる間に自動的にもたらされることを特徴とする、請求項３から１２のいずれかに記載の保持装置（１２）。
【請求項１４】
前記動作位置は、コーティングチャンバ（２）内においてコーティング動作中のスクリーン（９）についての所期の位置であることを特徴とする、請求項１から１３のいずれかに記載の保持装置（１２）。
【請求項１５】
コーティングチャンバ外における前記位置は、本質的にスクリーン（９）に自由にアクセスできるメンテナンス位置であることを特徴とする、請求項１から１４のいずれかに記載の保持装置（１２）。
【請求項１６】
前記メンテナンス位置は、コーティングチャンバ（２）のアクセス用窓（５）付近の位置および／またはコーティングチャンバ（２）外における位置であることを特徴とする、請求項１５に記載の保持装置（１２）。
【請求項１７】
前記保持装置（１２）は、スクリーン（９）がコーティングチャンバ（２）内における前記動作位置からコーティングチャンバ外における前記位置へと動かされる間に本質的に直線的な動きを実行することを特徴とする、請求項１から１６のいずれかに記載の保持装置（１２）。
【請求項１８】
スクリーン（９）は、前記動作位置に位置する場合、コーティングチャンバ（２）の内部に装着されるカソード（８）を少なくとも部分的に囲むことを特徴とする、請求項１から１７のいずれかに記載の保持装置（１２）。
【請求項１９】
スクリーン（９）は、前記動作位置に装着される場合、冷却ユニット（１４）と接触することを特徴とする、請求項１から１８のいずれかに記載の保持装置（１２）。
【請求項２０】
スクリーン（９）は、コーティングチャンバ（２）内における前記動作位置からメンテナンス位置に動かされると冷却ユニット（１４）から離れることを特徴とする、請求項１９に記載の保持装置（１２）。
【図１】
【図２】
【図２】
【公開番号】特開２００６−５７１７６（Ｐ２００６−５７１７６Ａ）
【公開日】平成１８年３月２日（２００６．３．２）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００５−１８２１２７（Ｐ２００５−１８２１２７）
【出願日】平成１７年６月２２日（２００５．６．２２）
【出願人】（５０２２０８７２２）アプライド フィルムズ ゲーエムベーハー アンド コンパニー カーゲー (28)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成１８年３月２日（２００６．３．２）
【国際特許分類】
【出願日】平成１７年６月２２日（２００５．６．２２）
【出願人】（５０２２０８７２２）アプライド フィルムズ ゲーエムベーハー アンド コンパニー カーゲー (28)
【Ｆターム（参考）】
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