スクリーン製版の検査装置
【課題】 検査対象のスクリーン製版におけるピンホールなどの欠陥を容易に検出することができるスクリーン製版の検査装置の提供。
【解決手段】 スクリーン製版の検査装置は、被着パターンを形成する樹脂層が網状基材に設けられたスクリーン製版の検査装置であって、検査対象スクリーン製版が垂直面内において移動自在に移動する移動機構と、検査対象スクリーン製版が前記移動機構により移動するよう、垂立状態で保持する可動保持機構と、この可動保持機構に保持された検査対象スクリーン製版に光源よりの光を集光して照射する光照射機構と、検査対象スクリーン製版の少なくとも一部の領域を透過した光による像を拡大して投影する拡大投影機構とを備えることを特徴とする。
【解決手段】 スクリーン製版の検査装置は、被着パターンを形成する樹脂層が網状基材に設けられたスクリーン製版の検査装置であって、検査対象スクリーン製版が垂直面内において移動自在に移動する移動機構と、検査対象スクリーン製版が前記移動機構により移動するよう、垂立状態で保持する可動保持機構と、この可動保持機構に保持された検査対象スクリーン製版に光源よりの光を集光して照射する光照射機構と、検査対象スクリーン製版の少なくとも一部の領域を透過した光による像を拡大して投影する拡大投影機構とを備えることを特徴とする。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、スクリーン製版の検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子機器等の精密回路パターンを印刷法によって形成する際に使用されるスクリーン印刷用の版（以下、「スクリーン製版」という。）は、例えば線材径１５μｍのステンレス線材からなる網状基材の両面に樹脂からなる樹脂層を塗布し、回路パターンが形成されたマスクを介して紫外光で感光させて硬化させ、その後、未硬化の樹脂層を除去して、樹脂硬化部分からなる被着パターンが網状基材に形成されてなるものである。
【０００３】
近年、回路基板上に各種モジュールを実装配置する回路パターンが増加していることから、より精細な回路パターンが必要とされている。このような回路パターンの製造においては、最終的に電気配線として確実な導通状態を得ると共に、短絡状態となる等の問題を発生させないために、確実な被着パターンが形成されたスクリーン製版を用いることが要求される。すなわち、被着パターン中にピンホール等が形成されたスクリーン製版を用いた場合には、電気配線を形成するためのインクがピンホールから流出し、不必要な箇所にインクが付着するために、正確な回路パターンを形成することができない。
【０００４】
従って、ピンホール等の不良の発生を防止するために、被着パターンが形成されたスクリーン製版について、一枚ずつ作業者が検査を行うことが必要である。スクリーン製版は、仮にピンホールや欠損等が検出された場合においても、修復作業を施すことによって、使用可能なものとすることができる。
【０００５】
従来、この検査は、具体的には以下の方法によって行われている。
（１）筐体の下部に蛍光灯からなる光源が設置されたライトテーブルを用い、ライトテーブル上に検査対象となるスクリーン製版を載置し、拡大ルーペを使用して、被着パターンを局所的に目視により検査する方法。
（２）スクリーン製版の撮像映像等を画像処理して検査する方法。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平５−１４７１８７号公報
【特許文献２】特開２００３−２００５５０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上記（１）および（２）の検査方法には、下記のような問題がある。
（１）拡大ルーペによる目視の検査では、作業者間に検査精度のばらつきが生じるという問題がある。また、検査作業においては、目を酷使するため、作業者の身体的な負担が大きいという問題がある。さらに、複数の作業者が同時に見ることが困難なため、作業者は１人に限られ、また、検査精度を安定的に維持するためには熟練者による検査が必要とされる。
（２）画像処理による検査では、作業者の身体的な負担は少なくなるが、欠陥の判別制御が難しいという問題がある。すなわち、スクリーン製版の特徴として、網状基材の両面に樹脂層が塗布形成されるが、ピンホールが樹脂層を完全に貫通しているものであれば、欠陥として判別することができるが、片面のみに形成されたピンホールや樹脂層に形成された盛り上がりなどの欠陥は、画像処理による検査において確実に欠陥と判別されない場合がある。このような欠陥は、目視では判別が可能であっても、画像処理では予め設定された閾値に基づいて判別されるため、検出できないからである。また、光源からの光を照射して得られた映像を解析する作業が行われるが、微妙な光の反射像も検出されてしまうので、全体として検査精度が低いという問題がある。さらに、このような検査装置は一般的に高価であって汎用性に乏しいという問題がある。
【０００８】
本発明は、以上のような事情を考慮してなされたものであって、その目的は、検査対象のスクリーン製版におけるピンホールなどの欠陥を容易に検出することができるスクリーン製版の検査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明のスクリーン製版の検査装置は、被着パターンを形成する樹脂層が網状基材に設けられたスクリーン製版の検査装置であって、
検査対象スクリーン製版を垂立状態で、垂直面内において移動自在に保持する可動保持機構と、
この可動保持機構に保持された検査対象スクリーン製版に光源よりの光を集光して照射する光照射機構と、
検査対象スクリーン製版の少なくとも一部の領域を透過した光による像を拡大して投影する拡大投影機構とを備えることを特徴とする。
【００１０】
本発明のスクリーン製版の検査装置においては、可動保持機構が、検査対象スクリーン製版を垂直面内において移動させるための移動機構を有し、
この移動機構が、光源よりの光に対して検査対象スクリーン製版を、水平な一方向に走査させ、その後、上または下方向に変位したレベルにおいて、前記一方向とは逆の他方向に走査させるものであることが好ましい。
【００１１】
本発明のスクリーン製版の検査装置においては、当該スクリーン製版における選ばれた個所にマークを付するマーキング機構を有することが好ましい。
【００１２】
本発明のスクリーン製版の検査装置においては、前記マーキング機構がスタンプによってマークを付するものであることが好ましい。
【発明の効果】
【００１３】
本発明のスクリーン製版の検査装置によれば、スクリーン製版の一部の領域を透過した光による像を拡大投影する拡大投影機構を有し、映写用スクリーンや壁等に当該領域の拡大投影像を映し出すことにより、欠陥も拡大投影されることから、熟練者ではない作業者が検査を行う場合においても、目視で欠陥を容易に検出することができ、また、作業者間における検査精度のばらつきを抑えることができると共に、片面のみに形成されたピンホールや、樹脂層に形成された盛り上がりなどの欠陥を確実に検出することができる。
さらに、作業者の身体的な負担を軽減することができ、加えて、複数の作業者が同時に検査を行うことができるので、検査精度をより一層向上させることができる。
【００１４】
また、本発明のスクリーン製版の検査装置によれば、マーキング機構を有することにより、拡大投影像で検出された欠陥の個所を容易に特定することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明のスクリーン製版の検査装置におけるスクリーン製版の一例を示す説明用斜視図である。
【図２】図１におけるスクリーン製版に樹脂層が形成された状態を示す説明用断面図である。
【図３】図２における説明用要部拡大図である。
【図４】本発明のスクリーン製版の検査装置の一例における概略を示す説明用斜視図である。
【図５】図４におけるスクリーン製版の検査装置の説明図である。
【図６】スクリーン製版における一部の領域が拡大されて映写用スクリーンに映し出された拡大投影像の一例を示す平面図である。
【図７】本発明のスクリーン製版の検査装置におけるスクリーン製版の説明用平面図である。
【図８】本発明のスクリーン製版の検査装置にマーキング機構が備えられた例を示す説明用上面図である。
【図９】図８におけるスタンプ動作の一例を示す説明用上面図である。
【図１０】マーキング作業におけるスクリーン製版の移動の一例を示す説明図である。
【図１１】スタンプ動作におけるスクリーン製版の一例を示す説明図である。
【図１２】本発明のスクリーン製版の検査装置にマーキング機構が備えられた他の例を示す説明用上面図である。
【図１３】図１２におけるスクリーン製版の説明用平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明の実施形態について具体的に説明する。
【００１７】
図１は、本発明のスクリーン製版の検査装置におけるスクリーン製版の一例を示す説明用斜視図、図２は、図１におけるスクリーン製版に樹脂層が形成された状態を示す説明用断面図、図３は、図２における説明用要部拡大図、図４は、本発明のスクリーン製版の検査装置の一例における概略を示す説明用斜視図、図５は、図４におけるスクリーン製版の検査装置の説明図である。なお、図５においては、可動保持機構は省略されている。
【００１８】
図１〜図３に示すように、スクリーン製版２０は、通常、矩形状に組まれた金属よりなる枠２１と、この枠２１に張設された例えばステンレスよりなる線材２２１で織られた網状基材２２と、網状基材２２の両面に塗布された樹脂からなる樹脂層２３とから構成されている。スクリーン製版２０に形成されるパターンは、樹脂層２３によって形成された被着パターン部分と、樹脂層２３が形成されていない網状基材２２のみからなる部分とにより構成される。
樹脂層２３は、線材２２１間の間隙に充填された状態で樹脂が硬化することにより、網状基材２２に保持されている。
【００１９】
スクリーン製版２０の具体的な寸法例を示すと、スクリーン製版２０の一辺の長さが例えば３００〜１０００ｍｍ、線材２２１径が例えば１０〜３０μｍ、網状基材２２の網目の格子の一辺が例えば３０〜１００μｍ、樹脂層２３の層厚Ｄが例えば２０〜１００μｍである。
線材２２１の材質は、ステンレスの他には、ポリエステル、ナイロンなどが挙げられる。
【００２０】
図４および図５に示すように、本発明のスクリーン製版の検査装置（以下、単に「検査装置」ともいう。）１１は、検査対象のスクリーン製版（以下、単に「スクリーン製版」ともいう。）２０を、垂直面内において移動自在に垂立状態で保持する可動保持機構１９を有する。この可動保持機構１９は、基台１２に設けられた垂直方向移動機構１５と、この垂直方向移動機構１５に支持された水平方向移動機構１４と、この水平方向移動機構１４に支持されたスクリーン保持台１３とにより構成されている。
【００２１】
スクリーン保持台１３は、スクリーン製版２０の枠２１の下辺部を固定し、基台１２に対して垂直方向に当該スクリーン製版２０が垂立した状態で支持するものであり、例えば、多様な大きさのスクリーン製版に対応することができるサイズ調整機能（図示せず）が設けられている。
【００２２】
基台１２には、スクリーン製版２０を挟む両側の領域に、光源装置１０と拡大投影機構１２０とが設けられている。
光源装置１０には、高輝度放電ランプからなる光源ランプ１０２と光照射機構１１０を構成する反射ミラー１０３およびレンズ１０６と、紫外光または赤外光をカットするフィルター１０４と、シャッター１０５とが設けられている。すなわち、光照射方向に対して光源ランプ１０２の後方側には、球面集光鏡からなる反射ミラー１０３が配置され、光照射方向に対して光源ランプ１０２の前方側には、フィルター１０４およびシャッター１０５が配置され、このシャッター１０５の前方側には、光源ランプ１０２および反射ミラー１０３からの光をスクリーン製版２０に向けて集光するレンズ１０６が、筐体１０１の前面に設けられている。
【００２３】
光源ランプ１０２に用いられる高輝度放電ランプとしては、例えばキセノンショートアークランプを挙げることができる。高輝度放電ランプを用いることにより、コントラストが良く明瞭な投影像を映し出すことができる。また、特にキセノンショートアークランプを用いることにより、太陽光に近い可視光を得ることができるため、作業者の身体的な負担を軽減することができる。
【００２４】
拡大投影機構１２０は、スクリーン製版２０の一部の領域を透過した光による像を、例えば、映写用スクリーンＳに向けて拡大投影する投影レンズ１６と、この投影レンズ１６を支持する投影レンズ架台１７とにより構成されている。
【００２５】
垂直方向移動機構１５は、当該スクリーン製版２０を垂直面内で上下方向に移動させるために、水平方向移動機構１４を上下方向に移動させる構成とされ、水平方向移動機構１４は、当該スクリーン製版２０を垂直面内で左右方向に移動させるために、スクリーン保持台１３を左右方向に移動させる構成とされている。
可動保持機構１９は、スクリーン製版２０の移動方向および移動距離を制御するために、制御部（図示せず）によって動作制御される構成とされている。
【００２６】
垂直方向移動機構１５は、少なくとも照射光に対してスクリーン製版２０の下辺から上辺までの範囲を移動する構成とされ、水平方向移動機構１４は、少なくとも照射光に対してスクリーン製版２０の左辺から右辺までの範囲を移動する構成とされる。
【００２７】
図５において、仮想線Ｋは光源ランプ１０２から放射された光の光路を示すものである。シャッター１０５が開いた状態において、光源ランプ１０２より放射された光は、フィルター１０４を透過してレンズ１０６に入射されて、投影レンズ１６上に集光されるので、スクリーン製版２０を透過した光が投影レンズ１６に入射し、スクリーン製版２０の一部の領域の像が拡大されて映写用スクリーンＳに投影される。
【００２８】
本発明の検査装置１１は、図８に示すように、スクリーン製版２０における選ばれた個所にマークを付するマーキング機構４０を備えた構成とすることができる。この例のマーキング機構４０は、光照射方向に対して平行に光源装置１０における筐体１０１の側面に付設されている。このマーキング機構４０には、環状の欠陥マークＭ（図１１参照。）を付するスタンプ面４１Ａ（図９参照。）および待機中にスタンプ面４１Ａを乾燥することから防止するカバー体（図示せず）を備えるスタンプ部４１と、スタンプ面４１Ａをスクリーン製版２０のレベル位置に光照射方向と同一方向に突出させるスタンプ駆動機構（図示せず）とが設けられおり、さらにこのマーキング機構４０を動作させるためのマーキング用スイッチ（図示せず）が設けられている。
【００２９】
検査装置１１における制御部は、マーキング作業開始指令により、水平方向移動機構１４および垂直方向移動機構１５による位置情報から、検査領域Ｐ位置の座標（ｘ，ｙ）を特定し、記憶する機能を有する。
【００３０】
水平方向移動機構１４および垂直方向移動機構１５は、スタンプ動作開始指令により、検査領域Ｐの中心位置とスタンプ面４１Ａの中心位置とが一致する状態となるように、制御部によりスクリーン製版２０の移動量が自動的に制御される構成とされている。
【００３１】
以上のような検査装置１１によれば、次のようにしてスクリーン製版２０の検査が行われる。
図６は、スクリーン製版における一部の領域が拡大されて映写用スクリーンに映し出された拡大投影像の一例を示す平面図、図７は、本発明のスクリーン製版の検査装置におけるスクリーン製版の説明用平面図である。図７において、左右方向を「Ｘ軸方向」、上下方向を「Ｙ軸方向」とする。
【００３２】
（１）まず、検査対象となるスクリーン製版２０をスクリーン保持台１３にセットし、光源装置１０から放射された光をスクリーン製版２０に照射することにより、投影レンズ１６によって拡大投影像が映写用スクリーンＳに映し出される。
【００３３】
（２）映写用スクリーンＳに映し出された検査領域Ｐｎの像は、制御部により、照射光に対して相対的にスクリーン製版２０を垂直方向移動機構１５によりＹ軸方向に、水平方向移動機構１４によりＸ軸方向に移動される。
【００３４】
（３）作業者は、映写用スクリーンＳに映し出された検査領域Ｐｎの拡大投影像を、拡大投影像が停止された状態で目視により観察し検査を行う。
【００３５】
図６において、この検査領域Ｐｎの拡大投影像における中央部は網状基材の像２２Ａであり、左右両側部は樹脂層の像２３Ａである。Ｈ１，Ｈ２は、ピンホールの像である。
【００３６】
検査領域Ｐｎは、例えば一辺が１５〜５０ｍｍの矩形状を有している。
検査領域Ｐｎの大きさ（ａｎ，ｂｎ）が例えば３０×３０ｍｍである場合において、投影レンズ１６によって約１００〜２５０倍に拡大されて投影され、映写用スクリーンＳ上には約３０００〜７５００ｍｍ四方に映し出される。例えば、直径０．１ｍｍ程度のピンホールは、直径数ｃｍの大きさに拡大投影されスクリーン上に映し出される。通常、ピンホールは、直径１０μｍ以上のものが欠陥として処理される。
【００３７】
（４）仮に検査領域Ｐｎにおいて、ピンホール等の欠陥が検出された場合においては、後述するように、その欠陥の個所にマークを付する作業が行われる。
【００３８】
（５）検査領域Ｐｎを次の検査領域Ｐｎ＋１にステップ的に移動させて検査を行う。そして、例えば、図７の矢印に示すようなＰ１からＰｎの経路に従って、スクリーン製版２０を水平な一方向（図７における右方向）に順次ステップ的に移動させ、その後、下方向に変位したレベルにおいて、前記一方向とは逆の他方向（図７における左方向）に移動させて、検査領域がスクリーン製版２０の全領域に及ぶように移動させる。各検査領域において、ピンホール等の欠陥が検出された場合は、上記（４）の作業を行い、その後、次の検査領域の検査を行う。
（６）検査終了後は、マークにより特定された個所の欠陥について、修復作業を行う。
【００３９】
また、マーキング機構４０を備えたスクリーン製版の検査装置１１において、欠陥個所にマークを付する作業は次のとおりである。
【００４０】
（ａ）スクリーン製版２０に光を照射し、検査領域Ｐの像を映写用スクリーンＳ上に拡大投影して検査する。スクリーン製版２０に欠陥Ｈが検出された場合において、作業者がマーキング用スイッチをＯＮすることにより、マーキング作業が開始される。
【００４１】
（ｂ）マーキング作業が開始されると、検査装置１１の制御部においては、水平方向移動機構１４および垂直方向移動機構１５による位置情報から、スクリーン製版２０における現在検査中の検査領域Ｐ位置の座標（ｘｎ，ｙｎ）が特定され、これが記憶される。
【００４２】
（ｃ）作業者は、欠陥Ｈを目視で確認しながら、図１０に示すように、検査領域Ｐの中心に欠陥Ｈが位置するように水平方向移動機構１４および垂直方向移動機構１５によりスクリーン製版２０を移動させる。具体的には、位置調整前のスクリーン製版２０ａ（図１０における破線）の位置から、図１０に示す矢印の方向に、位置調整後のスクリーン製版２０ｂ（図１０における実線）の位置に移動させる。このときの移動は、通常手動操作により行われる。
【００４３】
（ｄ）検査領域Ｐの中心に欠陥Ｈの位置を合わせ、スタンプ動作を開始させる。
具体的には、スクリーン製版２０を検査状態領域からマーキング機構４０によるマーキング領域に、図９における左方向に移動させて、スタンプ駆動機構によりスタンプ面４１Ａをスクリーン製版２０のレベル位置に光照射方向と同一方向に突出させて、スクリーン製版２０に押圧することにより、図１１に示すように、欠陥マークＭが付される。このとき、水平方向移動機構１４および垂直方向移動機構１５は、スクリーン製版２０の移動量が自動的に制御されて、欠陥Ｈの位置する検査領域Ｐの中心位置とスタンプ面４１Ａの中心位置とが一致する状態とされている。すなわち、上記（ｃ）の操作によって、検査領域Ｐの中心に欠陥Ｈが位置するようにスクリーン製版２０位置が調整されているため、欠陥Ｈの位置を中心として欠陥マークＭが付される。
【００４４】
（ｅ）スタンプ動作が終了すると、記憶された座標（ｘｎ，ｙｎ）情報により、マーキング領域からスクリーン製版２０を退避させ、検査領域Ｐの像が映写用スクリーンＳに映し出されるようにスクリーン製版２０を戻して後続の検査が再開される。
【００４５】
（ｆ）同一検査領域Ｐに複数の欠陥Ｈが検出された場合においては、上記（ｃ）〜（ｅ）の作業を繰り返す。
【００４６】
以上の作業においては、欠陥Ｈを中心として欠陥マークＭが付されるようにスクリーン製版２０の位置を調整したが、欠陥Ｈが欠陥マークＭ内のどこかにあればよいという程度の簡易的なマーキングでよい場合においては、上記（ｃ）の操作を省略することもできる。なお、このような場合において、欠陥マークＭの形状を検査領域Ｐの形状にほぼ一致させると、欠陥Ｈの存在する個所の特定が容易になる。
【００４７】
本発明のスクリーン製版の検査装置によれば、スクリーン製版の一部の領域を透過した光による像を拡大投影する拡大投影機構を有し、映写用スクリーンや壁等に当該領域の拡大投影像を映し出すことにより、欠陥も拡大投影されることから、熟練者ではない作業者が検査を行う場合においても、目視で欠陥を容易に検出することができ、また、作業者間における検査精度のばらつきを抑えることができると共に、片面のみに形成されたピンホールや、樹脂層に形成された盛り上がりなどの欠陥を確実に検出することができる。
さらに、作業者の身体的な負担を軽減することができ、加えて、複数の作業者が同時に検査を行うことができるので、検査精度をより一層向上させることができる。
【００４８】
また、本発明のスクリーン製版の検査装置によれば、マーキング機構を有することにより、拡大投影像で検出した欠陥の個所を容易に特定することができる。
【００４９】
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記の実施形態に限定されるものではなく、種々の変更を加えることができる。
【００５０】
例えば、図１２に示すように、本発明のスクリーン製版の検査装置においては、マーキング機構５０が光源装置１０の前面に備えられたレンズ１０６の周囲に設けられた構成とすることもできる。
マーキング機構５０は、レンズ１０６を囲うように光源装置１０の筐体１０１に付設された構成とされている。このマーキング機構５０には、スタンプ面５１Ａを有するスタンプ部５１と、スタンプ面５１Ａをスクリーン製版２０面まで往復移動するスタンプ駆動機構（図示せず）とが設けられている。
【００５１】
前述したマーキング作業（ａ）および（ｂ）と同様の作業を行い、その後、スタンプ駆動機構によりスタンプ面５１Ａを突出させて、図１３に示すように、欠陥マークＭを付し、（ｄ）および（ｅ）の作業を行う。なお、（ｃ）の作業を行い、欠陥Ｈを中心として環状の欠陥マークＭを付することも可能である。
【００５２】
また、検査装置において検出された欠陥の個所にマークを付するものは、シールなどの貼付によるものでもよい。その際、シール脱着等によるマーキング痕跡が残らないものを使用することが好ましい。
【００５３】
さらに、本発明のスクリーン製版の検査装置は、ズーム機構が備えられた構成とすることもできる。このズーム機構により、映写用スクリーンＳに映し出される投影像の大きさを任意の大きさに調整することができる。
【００５４】
さらにまた、本発明のスクリーン製版の検査装置は、複数ヵ所の座標の特定と記憶を制御部により行い、上述した（ｄ）のスタンプ動作を一括で行う構成とすることもできる。
【符号の説明】
【００５５】
１０ 光源装置
１０１ 筐体
１０２ 光源ランプ
１０３ 反射ミラー
１０４ フィルター
１０５ シャッター
１０６ レンズ
１１０ 光照射機構
１２０ 拡大投影機構
１１ スクリーン製版の検査装置
１２ 基台
１３ スクリーン保持台
１４ 水平方向移動機構
１５ 垂直方向移動機構
１６ 投影レンズ
１７ 投影レンズ架台
１９ 可動保持機構
２０ スクリーン製版
２０ａ 位置調整前のスクリーン製版
２０ｂ 位置調整後のスクリーン製版
２１ 枠
２２ 網状基材
２２Ａ 網状基材の像
２２１ 線材
２３ 樹脂層
２３Ａ 樹脂層の像
４０ マーキング機構
４１ スタンプ部
４１Ａ スタンプ面
５０ マーキング機構
５１ スタンプ部
５１Ａ スタンプ面
Ｓ 映写用スクリーン
Ｈ 欠陥
Ｐ 検査領域
Ｐａ 位置調整前の検査領域
Ｐｂ 位置調整後の検査領域
Ｍ 欠陥マーク
Ｈ１，Ｈ２ ピンホールの像
【技術分野】
【０００１】
本発明は、スクリーン製版の検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子機器等の精密回路パターンを印刷法によって形成する際に使用されるスクリーン印刷用の版（以下、「スクリーン製版」という。）は、例えば線材径１５μｍのステンレス線材からなる網状基材の両面に樹脂からなる樹脂層を塗布し、回路パターンが形成されたマスクを介して紫外光で感光させて硬化させ、その後、未硬化の樹脂層を除去して、樹脂硬化部分からなる被着パターンが網状基材に形成されてなるものである。
【０００３】
近年、回路基板上に各種モジュールを実装配置する回路パターンが増加していることから、より精細な回路パターンが必要とされている。このような回路パターンの製造においては、最終的に電気配線として確実な導通状態を得ると共に、短絡状態となる等の問題を発生させないために、確実な被着パターンが形成されたスクリーン製版を用いることが要求される。すなわち、被着パターン中にピンホール等が形成されたスクリーン製版を用いた場合には、電気配線を形成するためのインクがピンホールから流出し、不必要な箇所にインクが付着するために、正確な回路パターンを形成することができない。
【０００４】
従って、ピンホール等の不良の発生を防止するために、被着パターンが形成されたスクリーン製版について、一枚ずつ作業者が検査を行うことが必要である。スクリーン製版は、仮にピンホールや欠損等が検出された場合においても、修復作業を施すことによって、使用可能なものとすることができる。
【０００５】
従来、この検査は、具体的には以下の方法によって行われている。
（１）筐体の下部に蛍光灯からなる光源が設置されたライトテーブルを用い、ライトテーブル上に検査対象となるスクリーン製版を載置し、拡大ルーペを使用して、被着パターンを局所的に目視により検査する方法。
（２）スクリーン製版の撮像映像等を画像処理して検査する方法。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平５−１４７１８７号公報
【特許文献２】特開２００３−２００５５０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上記（１）および（２）の検査方法には、下記のような問題がある。
（１）拡大ルーペによる目視の検査では、作業者間に検査精度のばらつきが生じるという問題がある。また、検査作業においては、目を酷使するため、作業者の身体的な負担が大きいという問題がある。さらに、複数の作業者が同時に見ることが困難なため、作業者は１人に限られ、また、検査精度を安定的に維持するためには熟練者による検査が必要とされる。
（２）画像処理による検査では、作業者の身体的な負担は少なくなるが、欠陥の判別制御が難しいという問題がある。すなわち、スクリーン製版の特徴として、網状基材の両面に樹脂層が塗布形成されるが、ピンホールが樹脂層を完全に貫通しているものであれば、欠陥として判別することができるが、片面のみに形成されたピンホールや樹脂層に形成された盛り上がりなどの欠陥は、画像処理による検査において確実に欠陥と判別されない場合がある。このような欠陥は、目視では判別が可能であっても、画像処理では予め設定された閾値に基づいて判別されるため、検出できないからである。また、光源からの光を照射して得られた映像を解析する作業が行われるが、微妙な光の反射像も検出されてしまうので、全体として検査精度が低いという問題がある。さらに、このような検査装置は一般的に高価であって汎用性に乏しいという問題がある。
【０００８】
本発明は、以上のような事情を考慮してなされたものであって、その目的は、検査対象のスクリーン製版におけるピンホールなどの欠陥を容易に検出することができるスクリーン製版の検査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明のスクリーン製版の検査装置は、被着パターンを形成する樹脂層が網状基材に設けられたスクリーン製版の検査装置であって、
検査対象スクリーン製版を垂立状態で、垂直面内において移動自在に保持する可動保持機構と、
この可動保持機構に保持された検査対象スクリーン製版に光源よりの光を集光して照射する光照射機構と、
検査対象スクリーン製版の少なくとも一部の領域を透過した光による像を拡大して投影する拡大投影機構とを備えることを特徴とする。
【００１０】
本発明のスクリーン製版の検査装置においては、可動保持機構が、検査対象スクリーン製版を垂直面内において移動させるための移動機構を有し、
この移動機構が、光源よりの光に対して検査対象スクリーン製版を、水平な一方向に走査させ、その後、上または下方向に変位したレベルにおいて、前記一方向とは逆の他方向に走査させるものであることが好ましい。
【００１１】
本発明のスクリーン製版の検査装置においては、当該スクリーン製版における選ばれた個所にマークを付するマーキング機構を有することが好ましい。
【００１２】
本発明のスクリーン製版の検査装置においては、前記マーキング機構がスタンプによってマークを付するものであることが好ましい。
【発明の効果】
【００１３】
本発明のスクリーン製版の検査装置によれば、スクリーン製版の一部の領域を透過した光による像を拡大投影する拡大投影機構を有し、映写用スクリーンや壁等に当該領域の拡大投影像を映し出すことにより、欠陥も拡大投影されることから、熟練者ではない作業者が検査を行う場合においても、目視で欠陥を容易に検出することができ、また、作業者間における検査精度のばらつきを抑えることができると共に、片面のみに形成されたピンホールや、樹脂層に形成された盛り上がりなどの欠陥を確実に検出することができる。
さらに、作業者の身体的な負担を軽減することができ、加えて、複数の作業者が同時に検査を行うことができるので、検査精度をより一層向上させることができる。
【００１４】
また、本発明のスクリーン製版の検査装置によれば、マーキング機構を有することにより、拡大投影像で検出された欠陥の個所を容易に特定することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明のスクリーン製版の検査装置におけるスクリーン製版の一例を示す説明用斜視図である。
【図２】図１におけるスクリーン製版に樹脂層が形成された状態を示す説明用断面図である。
【図３】図２における説明用要部拡大図である。
【図４】本発明のスクリーン製版の検査装置の一例における概略を示す説明用斜視図である。
【図５】図４におけるスクリーン製版の検査装置の説明図である。
【図６】スクリーン製版における一部の領域が拡大されて映写用スクリーンに映し出された拡大投影像の一例を示す平面図である。
【図７】本発明のスクリーン製版の検査装置におけるスクリーン製版の説明用平面図である。
【図８】本発明のスクリーン製版の検査装置にマーキング機構が備えられた例を示す説明用上面図である。
【図９】図８におけるスタンプ動作の一例を示す説明用上面図である。
【図１０】マーキング作業におけるスクリーン製版の移動の一例を示す説明図である。
【図１１】スタンプ動作におけるスクリーン製版の一例を示す説明図である。
【図１２】本発明のスクリーン製版の検査装置にマーキング機構が備えられた他の例を示す説明用上面図である。
【図１３】図１２におけるスクリーン製版の説明用平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明の実施形態について具体的に説明する。
【００１７】
図１は、本発明のスクリーン製版の検査装置におけるスクリーン製版の一例を示す説明用斜視図、図２は、図１におけるスクリーン製版に樹脂層が形成された状態を示す説明用断面図、図３は、図２における説明用要部拡大図、図４は、本発明のスクリーン製版の検査装置の一例における概略を示す説明用斜視図、図５は、図４におけるスクリーン製版の検査装置の説明図である。なお、図５においては、可動保持機構は省略されている。
【００１８】
図１〜図３に示すように、スクリーン製版２０は、通常、矩形状に組まれた金属よりなる枠２１と、この枠２１に張設された例えばステンレスよりなる線材２２１で織られた網状基材２２と、網状基材２２の両面に塗布された樹脂からなる樹脂層２３とから構成されている。スクリーン製版２０に形成されるパターンは、樹脂層２３によって形成された被着パターン部分と、樹脂層２３が形成されていない網状基材２２のみからなる部分とにより構成される。
樹脂層２３は、線材２２１間の間隙に充填された状態で樹脂が硬化することにより、網状基材２２に保持されている。
【００１９】
スクリーン製版２０の具体的な寸法例を示すと、スクリーン製版２０の一辺の長さが例えば３００〜１０００ｍｍ、線材２２１径が例えば１０〜３０μｍ、網状基材２２の網目の格子の一辺が例えば３０〜１００μｍ、樹脂層２３の層厚Ｄが例えば２０〜１００μｍである。
線材２２１の材質は、ステンレスの他には、ポリエステル、ナイロンなどが挙げられる。
【００２０】
図４および図５に示すように、本発明のスクリーン製版の検査装置（以下、単に「検査装置」ともいう。）１１は、検査対象のスクリーン製版（以下、単に「スクリーン製版」ともいう。）２０を、垂直面内において移動自在に垂立状態で保持する可動保持機構１９を有する。この可動保持機構１９は、基台１２に設けられた垂直方向移動機構１５と、この垂直方向移動機構１５に支持された水平方向移動機構１４と、この水平方向移動機構１４に支持されたスクリーン保持台１３とにより構成されている。
【００２１】
スクリーン保持台１３は、スクリーン製版２０の枠２１の下辺部を固定し、基台１２に対して垂直方向に当該スクリーン製版２０が垂立した状態で支持するものであり、例えば、多様な大きさのスクリーン製版に対応することができるサイズ調整機能（図示せず）が設けられている。
【００２２】
基台１２には、スクリーン製版２０を挟む両側の領域に、光源装置１０と拡大投影機構１２０とが設けられている。
光源装置１０には、高輝度放電ランプからなる光源ランプ１０２と光照射機構１１０を構成する反射ミラー１０３およびレンズ１０６と、紫外光または赤外光をカットするフィルター１０４と、シャッター１０５とが設けられている。すなわち、光照射方向に対して光源ランプ１０２の後方側には、球面集光鏡からなる反射ミラー１０３が配置され、光照射方向に対して光源ランプ１０２の前方側には、フィルター１０４およびシャッター１０５が配置され、このシャッター１０５の前方側には、光源ランプ１０２および反射ミラー１０３からの光をスクリーン製版２０に向けて集光するレンズ１０６が、筐体１０１の前面に設けられている。
【００２３】
光源ランプ１０２に用いられる高輝度放電ランプとしては、例えばキセノンショートアークランプを挙げることができる。高輝度放電ランプを用いることにより、コントラストが良く明瞭な投影像を映し出すことができる。また、特にキセノンショートアークランプを用いることにより、太陽光に近い可視光を得ることができるため、作業者の身体的な負担を軽減することができる。
【００２４】
拡大投影機構１２０は、スクリーン製版２０の一部の領域を透過した光による像を、例えば、映写用スクリーンＳに向けて拡大投影する投影レンズ１６と、この投影レンズ１６を支持する投影レンズ架台１７とにより構成されている。
【００２５】
垂直方向移動機構１５は、当該スクリーン製版２０を垂直面内で上下方向に移動させるために、水平方向移動機構１４を上下方向に移動させる構成とされ、水平方向移動機構１４は、当該スクリーン製版２０を垂直面内で左右方向に移動させるために、スクリーン保持台１３を左右方向に移動させる構成とされている。
可動保持機構１９は、スクリーン製版２０の移動方向および移動距離を制御するために、制御部（図示せず）によって動作制御される構成とされている。
【００２６】
垂直方向移動機構１５は、少なくとも照射光に対してスクリーン製版２０の下辺から上辺までの範囲を移動する構成とされ、水平方向移動機構１４は、少なくとも照射光に対してスクリーン製版２０の左辺から右辺までの範囲を移動する構成とされる。
【００２７】
図５において、仮想線Ｋは光源ランプ１０２から放射された光の光路を示すものである。シャッター１０５が開いた状態において、光源ランプ１０２より放射された光は、フィルター１０４を透過してレンズ１０６に入射されて、投影レンズ１６上に集光されるので、スクリーン製版２０を透過した光が投影レンズ１６に入射し、スクリーン製版２０の一部の領域の像が拡大されて映写用スクリーンＳに投影される。
【００２８】
本発明の検査装置１１は、図８に示すように、スクリーン製版２０における選ばれた個所にマークを付するマーキング機構４０を備えた構成とすることができる。この例のマーキング機構４０は、光照射方向に対して平行に光源装置１０における筐体１０１の側面に付設されている。このマーキング機構４０には、環状の欠陥マークＭ（図１１参照。）を付するスタンプ面４１Ａ（図９参照。）および待機中にスタンプ面４１Ａを乾燥することから防止するカバー体（図示せず）を備えるスタンプ部４１と、スタンプ面４１Ａをスクリーン製版２０のレベル位置に光照射方向と同一方向に突出させるスタンプ駆動機構（図示せず）とが設けられおり、さらにこのマーキング機構４０を動作させるためのマーキング用スイッチ（図示せず）が設けられている。
【００２９】
検査装置１１における制御部は、マーキング作業開始指令により、水平方向移動機構１４および垂直方向移動機構１５による位置情報から、検査領域Ｐ位置の座標（ｘ，ｙ）を特定し、記憶する機能を有する。
【００３０】
水平方向移動機構１４および垂直方向移動機構１５は、スタンプ動作開始指令により、検査領域Ｐの中心位置とスタンプ面４１Ａの中心位置とが一致する状態となるように、制御部によりスクリーン製版２０の移動量が自動的に制御される構成とされている。
【００３１】
以上のような検査装置１１によれば、次のようにしてスクリーン製版２０の検査が行われる。
図６は、スクリーン製版における一部の領域が拡大されて映写用スクリーンに映し出された拡大投影像の一例を示す平面図、図７は、本発明のスクリーン製版の検査装置におけるスクリーン製版の説明用平面図である。図７において、左右方向を「Ｘ軸方向」、上下方向を「Ｙ軸方向」とする。
【００３２】
（１）まず、検査対象となるスクリーン製版２０をスクリーン保持台１３にセットし、光源装置１０から放射された光をスクリーン製版２０に照射することにより、投影レンズ１６によって拡大投影像が映写用スクリーンＳに映し出される。
【００３３】
（２）映写用スクリーンＳに映し出された検査領域Ｐｎの像は、制御部により、照射光に対して相対的にスクリーン製版２０を垂直方向移動機構１５によりＹ軸方向に、水平方向移動機構１４によりＸ軸方向に移動される。
【００３４】
（３）作業者は、映写用スクリーンＳに映し出された検査領域Ｐｎの拡大投影像を、拡大投影像が停止された状態で目視により観察し検査を行う。
【００３５】
図６において、この検査領域Ｐｎの拡大投影像における中央部は網状基材の像２２Ａであり、左右両側部は樹脂層の像２３Ａである。Ｈ１，Ｈ２は、ピンホールの像である。
【００３６】
検査領域Ｐｎは、例えば一辺が１５〜５０ｍｍの矩形状を有している。
検査領域Ｐｎの大きさ（ａｎ，ｂｎ）が例えば３０×３０ｍｍである場合において、投影レンズ１６によって約１００〜２５０倍に拡大されて投影され、映写用スクリーンＳ上には約３０００〜７５００ｍｍ四方に映し出される。例えば、直径０．１ｍｍ程度のピンホールは、直径数ｃｍの大きさに拡大投影されスクリーン上に映し出される。通常、ピンホールは、直径１０μｍ以上のものが欠陥として処理される。
【００３７】
（４）仮に検査領域Ｐｎにおいて、ピンホール等の欠陥が検出された場合においては、後述するように、その欠陥の個所にマークを付する作業が行われる。
【００３８】
（５）検査領域Ｐｎを次の検査領域Ｐｎ＋１にステップ的に移動させて検査を行う。そして、例えば、図７の矢印に示すようなＰ１からＰｎの経路に従って、スクリーン製版２０を水平な一方向（図７における右方向）に順次ステップ的に移動させ、その後、下方向に変位したレベルにおいて、前記一方向とは逆の他方向（図７における左方向）に移動させて、検査領域がスクリーン製版２０の全領域に及ぶように移動させる。各検査領域において、ピンホール等の欠陥が検出された場合は、上記（４）の作業を行い、その後、次の検査領域の検査を行う。
（６）検査終了後は、マークにより特定された個所の欠陥について、修復作業を行う。
【００３９】
また、マーキング機構４０を備えたスクリーン製版の検査装置１１において、欠陥個所にマークを付する作業は次のとおりである。
【００４０】
（ａ）スクリーン製版２０に光を照射し、検査領域Ｐの像を映写用スクリーンＳ上に拡大投影して検査する。スクリーン製版２０に欠陥Ｈが検出された場合において、作業者がマーキング用スイッチをＯＮすることにより、マーキング作業が開始される。
【００４１】
（ｂ）マーキング作業が開始されると、検査装置１１の制御部においては、水平方向移動機構１４および垂直方向移動機構１５による位置情報から、スクリーン製版２０における現在検査中の検査領域Ｐ位置の座標（ｘｎ，ｙｎ）が特定され、これが記憶される。
【００４２】
（ｃ）作業者は、欠陥Ｈを目視で確認しながら、図１０に示すように、検査領域Ｐの中心に欠陥Ｈが位置するように水平方向移動機構１４および垂直方向移動機構１５によりスクリーン製版２０を移動させる。具体的には、位置調整前のスクリーン製版２０ａ（図１０における破線）の位置から、図１０に示す矢印の方向に、位置調整後のスクリーン製版２０ｂ（図１０における実線）の位置に移動させる。このときの移動は、通常手動操作により行われる。
【００４３】
（ｄ）検査領域Ｐの中心に欠陥Ｈの位置を合わせ、スタンプ動作を開始させる。
具体的には、スクリーン製版２０を検査状態領域からマーキング機構４０によるマーキング領域に、図９における左方向に移動させて、スタンプ駆動機構によりスタンプ面４１Ａをスクリーン製版２０のレベル位置に光照射方向と同一方向に突出させて、スクリーン製版２０に押圧することにより、図１１に示すように、欠陥マークＭが付される。このとき、水平方向移動機構１４および垂直方向移動機構１５は、スクリーン製版２０の移動量が自動的に制御されて、欠陥Ｈの位置する検査領域Ｐの中心位置とスタンプ面４１Ａの中心位置とが一致する状態とされている。すなわち、上記（ｃ）の操作によって、検査領域Ｐの中心に欠陥Ｈが位置するようにスクリーン製版２０位置が調整されているため、欠陥Ｈの位置を中心として欠陥マークＭが付される。
【００４４】
（ｅ）スタンプ動作が終了すると、記憶された座標（ｘｎ，ｙｎ）情報により、マーキング領域からスクリーン製版２０を退避させ、検査領域Ｐの像が映写用スクリーンＳに映し出されるようにスクリーン製版２０を戻して後続の検査が再開される。
【００４５】
（ｆ）同一検査領域Ｐに複数の欠陥Ｈが検出された場合においては、上記（ｃ）〜（ｅ）の作業を繰り返す。
【００４６】
以上の作業においては、欠陥Ｈを中心として欠陥マークＭが付されるようにスクリーン製版２０の位置を調整したが、欠陥Ｈが欠陥マークＭ内のどこかにあればよいという程度の簡易的なマーキングでよい場合においては、上記（ｃ）の操作を省略することもできる。なお、このような場合において、欠陥マークＭの形状を検査領域Ｐの形状にほぼ一致させると、欠陥Ｈの存在する個所の特定が容易になる。
【００４７】
本発明のスクリーン製版の検査装置によれば、スクリーン製版の一部の領域を透過した光による像を拡大投影する拡大投影機構を有し、映写用スクリーンや壁等に当該領域の拡大投影像を映し出すことにより、欠陥も拡大投影されることから、熟練者ではない作業者が検査を行う場合においても、目視で欠陥を容易に検出することができ、また、作業者間における検査精度のばらつきを抑えることができると共に、片面のみに形成されたピンホールや、樹脂層に形成された盛り上がりなどの欠陥を確実に検出することができる。
さらに、作業者の身体的な負担を軽減することができ、加えて、複数の作業者が同時に検査を行うことができるので、検査精度をより一層向上させることができる。
【００４８】
また、本発明のスクリーン製版の検査装置によれば、マーキング機構を有することにより、拡大投影像で検出した欠陥の個所を容易に特定することができる。
【００４９】
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記の実施形態に限定されるものではなく、種々の変更を加えることができる。
【００５０】
例えば、図１２に示すように、本発明のスクリーン製版の検査装置においては、マーキング機構５０が光源装置１０の前面に備えられたレンズ１０６の周囲に設けられた構成とすることもできる。
マーキング機構５０は、レンズ１０６を囲うように光源装置１０の筐体１０１に付設された構成とされている。このマーキング機構５０には、スタンプ面５１Ａを有するスタンプ部５１と、スタンプ面５１Ａをスクリーン製版２０面まで往復移動するスタンプ駆動機構（図示せず）とが設けられている。
【００５１】
前述したマーキング作業（ａ）および（ｂ）と同様の作業を行い、その後、スタンプ駆動機構によりスタンプ面５１Ａを突出させて、図１３に示すように、欠陥マークＭを付し、（ｄ）および（ｅ）の作業を行う。なお、（ｃ）の作業を行い、欠陥Ｈを中心として環状の欠陥マークＭを付することも可能である。
【００５２】
また、検査装置において検出された欠陥の個所にマークを付するものは、シールなどの貼付によるものでもよい。その際、シール脱着等によるマーキング痕跡が残らないものを使用することが好ましい。
【００５３】
さらに、本発明のスクリーン製版の検査装置は、ズーム機構が備えられた構成とすることもできる。このズーム機構により、映写用スクリーンＳに映し出される投影像の大きさを任意の大きさに調整することができる。
【００５４】
さらにまた、本発明のスクリーン製版の検査装置は、複数ヵ所の座標の特定と記憶を制御部により行い、上述した（ｄ）のスタンプ動作を一括で行う構成とすることもできる。
【符号の説明】
【００５５】
１０ 光源装置
１０１ 筐体
１０２ 光源ランプ
１０３ 反射ミラー
１０４ フィルター
１０５ シャッター
１０６ レンズ
１１０ 光照射機構
１２０ 拡大投影機構
１１ スクリーン製版の検査装置
１２ 基台
１３ スクリーン保持台
１４ 水平方向移動機構
１５ 垂直方向移動機構
１６ 投影レンズ
１７ 投影レンズ架台
１９ 可動保持機構
２０ スクリーン製版
２０ａ 位置調整前のスクリーン製版
２０ｂ 位置調整後のスクリーン製版
２１ 枠
２２ 網状基材
２２Ａ 網状基材の像
２２１ 線材
２３ 樹脂層
２３Ａ 樹脂層の像
４０ マーキング機構
４１ スタンプ部
４１Ａ スタンプ面
５０ マーキング機構
５１ スタンプ部
５１Ａ スタンプ面
Ｓ 映写用スクリーン
Ｈ 欠陥
Ｐ 検査領域
Ｐａ 位置調整前の検査領域
Ｐｂ 位置調整後の検査領域
Ｍ 欠陥マーク
Ｈ１，Ｈ２ ピンホールの像
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被着パターンを形成する樹脂層が網状基材に設けられたスクリーン製版の検査装置であって、
検査対象スクリーン製版を垂立状態で、垂直面内において移動自在に保持する可動保持機構と、
この可動保持機構に保持された検査対象スクリーン製版に光源よりの光を集光して照射する光照射機構と、
検査対象スクリーン製版の少なくとも一部の領域を透過した光による像を拡大して投影する拡大投影機構とを備えることを特徴とするスクリーン製版の検査装置。
【請求項２】
可動保持機構が、検査対象スクリーン製版を垂直面内において移動させるための移動機構を有し、
この移動機構が、光源よりの光に対して検査対象スクリーン製版を、水平な一方向に走査させ、その後、上または下方向に変位したレベルにおいて、前記一方向とは逆の他方向に走査させるものであることを特徴とする請求項１に記載のスクリーン製版の検査装置。
【請求項３】
当該スクリーン製版における選ばれた個所にマークを付するマーキング機構を有することを特徴とする請求項１または請求項２に記載のスクリーン製版の検査装置。
【請求項４】
前記マーキング機構がスタンプによってマークを付するものであることを特徴とする請求項３に記載のスクリーン製版の検査装置。
【請求項１】
被着パターンを形成する樹脂層が網状基材に設けられたスクリーン製版の検査装置であって、
検査対象スクリーン製版を垂立状態で、垂直面内において移動自在に保持する可動保持機構と、
この可動保持機構に保持された検査対象スクリーン製版に光源よりの光を集光して照射する光照射機構と、
検査対象スクリーン製版の少なくとも一部の領域を透過した光による像を拡大して投影する拡大投影機構とを備えることを特徴とするスクリーン製版の検査装置。
【請求項２】
可動保持機構が、検査対象スクリーン製版を垂直面内において移動させるための移動機構を有し、
この移動機構が、光源よりの光に対して検査対象スクリーン製版を、水平な一方向に走査させ、その後、上または下方向に変位したレベルにおいて、前記一方向とは逆の他方向に走査させるものであることを特徴とする請求項１に記載のスクリーン製版の検査装置。
【請求項３】
当該スクリーン製版における選ばれた個所にマークを付するマーキング機構を有することを特徴とする請求項１または請求項２に記載のスクリーン製版の検査装置。
【請求項４】
前記マーキング機構がスタンプによってマークを付するものであることを特徴とする請求項３に記載のスクリーン製版の検査装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【公開番号】特開２０１０−１８１２５４（Ｐ２０１０−１８１２５４Ａ）
【公開日】平成２２年８月１９日（２０１０．８．１９）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００９−２４５３８（Ｐ２００９−２４５３８）
【出願日】平成２１年２月５日（２００９．２．５）
【出願人】（０００１０２２１２）ウシオ電機株式会社 (1,414)
【出願人】（５９２０６４１１０）株式会社ウシオスペックス (16)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２２年８月１９日（２０１０．８．１９）
【国際特許分類】
【出願日】平成２１年２月５日（２００９．２．５）
【出願人】（０００１０２２１２）ウシオ電機株式会社 (1,414)
【出願人】（５９２０６４１１０）株式会社ウシオスペックス (16)
【Ｆターム（参考）】
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