ダイ突き上げ動作管理システム
【課題】ダイ供給装置の突き上げポットと突き上げピンの突き上げ高さ位置や突き上げピンのＸＹ方向の位置を自動的に計測できるようにする。
【解決手段】突き上げ高さ検出時に突き上げユニット１８の上方にウエハパレットをセットせずに突き上げ動作を行って、突き上げポット２７を上昇させて該突き上げポット２７の上面から突き上げピンを突出させた状態で、ダイ供給装置のカメラをＸ方向のプリズム３５の上方に移動させて突き上げポット２７と突き上げピンのＸ方向の側面を該プリズム３５を介して該カメラで撮像すると共に、該カメラをＹ方向のプリズム３６の上方に移動させて突き上げポット２７と突き上げピンのＹ方向の側面を該プリズム３６を介して該カメラで撮像し、撮像した突き上げポット２７と突き上げピン２９の側面画像を画像処理して突き上げ動作時の突き上げポット２７の上面の高さ位置と突き上げピン２９の上端の高さ位置を検出する。
【解決手段】突き上げ高さ検出時に突き上げユニット１８の上方にウエハパレットをセットせずに突き上げ動作を行って、突き上げポット２７を上昇させて該突き上げポット２７の上面から突き上げピンを突出させた状態で、ダイ供給装置のカメラをＸ方向のプリズム３５の上方に移動させて突き上げポット２７と突き上げピンのＸ方向の側面を該プリズム３５を介して該カメラで撮像すると共に、該カメラをＹ方向のプリズム３６の上方に移動させて突き上げポット２７と突き上げピンのＹ方向の側面を該プリズム３６を介して該カメラで撮像し、撮像した突き上げポット２７と突き上げピン２９の側面画像を画像処理して突き上げ動作時の突き上げポット２７の上面の高さ位置と突き上げピン２９の上端の高さ位置を検出する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ダイシングされたウエハが貼着された伸縮可能なダイシングシートを張ったウエハパレットを備えたダイ供給装置におけるダイ突き上げ動作を管理するダイ突き上げ動作管理システムに関する発明である。
【背景技術】
【０００２】
近年、特許文献１（特開２０１０−１２９９４９号公報）に記載されているように、ダイを供給するダイ供給装置を部品実装機にセットして、部品実装機でダイを回路基板に実装するようにしたものがある。ダイ供給装置は、複数のダイに分割するようにダイシングされたウエハが貼着された伸縮可能なダイシングシートを張ったウエハパレットと、前記ダイシングシートの下方に配置された突き上げポットとを備え、吸着ノズルを下降させて前記ダイシングシート上のダイを吸着してピックアップする際に、突き上げポットをダイシングシートの下面に接触する所定の吸着位置まで上昇させて該ダイシングシートを該突き上げポットの上面に吸着した状態で、該突き上げポット内の突き上げピンを該突き上げポットの上面から上方に突出させることで、該ダイシングシートのうちの吸着しようとするダイの貼着部分を該突き上げピンで突き上げて該ダイの貼着部分を該ダイシングシートから部分的に剥離させながら、該吸着ノズルに該ダイを吸着して該ダイシングシートからピックアップするようにしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１０−１２９９４９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、吸着ノズルを下降させてダイシングシート上のダイを吸着する際に、突き上げポット（突き上げピン）の突き上げ高さ位置が高くなり過ぎると、吸着ノズルの下端がダイシングシート上のダイに強く当たり過ぎてダイが傷付いたり、割れてしまう可能性があり、反対に、突き上げポット（突き上げピン）の突き上げ高さ位置が低くなり過ぎると、吸着ノズルにダイを安定して吸着できない。従って、吸着ノズルにダイを傷付けずに安定して吸着するためには、突き上げポット（突き上げピン）の突き上げ高さ位置を厳重に管理する必要がある。また、微小なダイを突き上げピンで突き上げる場合は、突き上げピンの水平方向（ＸＹ方向）の位置も厳重に管理する必要がある。
【０００５】
しかし、突き上げポット（突き上げピン）の突き上げ高さ位置や突き上げピンのＸＹ方向の位置は、突き上げユニットの各部品の組付精度や突き上げピンの取り付け具合に影響され、要求される位置精度を確保するのが難しい。そのため、生産開始前に、突き上げポット（突き上げピン）の突き上げ高さ位置や突き上げピンのＸＹ方向の位置を計測して、それらの位置ずれ量が許容範囲を越えていることが判明すれば、部品を組み付け直すなどして再び計測するという作業が必要となるが、その際、作業者が突き上げポット（突き上げピン）の突き上げ高さ位置や突き上げピンのＸＹ方向の位置を手作業で計測するようにしていたため、多くの時間を費やすことがあった。
【０００６】
そこで、本発明が解決しようとする課題は、突き上げポット（突き上げピン）の突き上げ高さ位置や突き上げピンのＸＹ方向の位置を自動的に計測する機能を備えたダイ突き上げ動作管理システムを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、請求項１に係る発明は、複数のダイに分割するようにダイシングされたウエハが貼着された伸縮可能なダイシングシートを張ったウエハパレットと、前記ダイシングシートの下方に配置された突き上げポットを上下動させる突き上げ機構とを備え、吸着ノズルを下降させて前記ダイシングシート上のダイを吸着してピックアップする際に、前記突き上げポットを上昇させて該突き上げポットの上面に前記ダイシングシートを吸着した状態で、該突き上げポット内の突き上げピンを該突き上げポットの上面から上方に突出させることで、該ダイシングシートのうちの吸着しようとするダイの貼着部分を該突き上げピンで突き上げて該ダイの貼着部分を該ダイシングシートから部分的に剥離させながら、該吸着ノズルに該ダイを吸着して該ダイシングシートからピックアップするダイ供給装置に適用され、撮像対象物を上方から撮像するカメラと、前記カメラを移動させるカメラ移動機構と、前記カメラで撮像した画像を処理する画像処理手段と、突き上げ高さ検出時に前記突き上げポットの上方に前記ウエハパレットをセットせずに突き上げ動作を行って該突き上げポットを上昇させた状態で該突き上げポットの側面を撮像するために該突き上げポットの側方に配置された光軸方向転換手段（プリズム、ミラー等）とを備え、前記突き上げ高さ検出時に前記カメラ移動機構により前記カメラを前記光軸方向転換手段の上方に移動させて前記突き上げポットの側面を該光軸方向転換手段を介して該カメラで撮像し、撮像した該突き上げポットの側面画像を前記画像処理手段により画像処理して突き上げ動作時の該突き上げポットの上面の高さ位置を検出するようにしたものである。
【０００８】
この構成によれば、突き上げ動作時の突き上げポットの側面を光軸方向転換手段を介してカメラで撮像し、撮像した突き上げポットの側面画像を画像処理して突き上げポットの突き上げ高さ位置を検出する機能を備えているため、突き上げポットの突き上げ高さ位置を自動的に計測することができる。しかも、突き上げ高さ検出に用いるカメラは、ダイシングシート上のダイを撮像するカメラ等、突き上げ高さ検出以外の用途に使用されていたカメラを兼用できるため、専用のカメラを増設する必要がなく、低コスト化の要求も満たすことができる。
【０００９】
本発明は、光軸方向転換手段をウエハパレットのセット（出し入れ）に邪魔にならない位置に固定して設けた構成としても良いが、ダイ供給装置の構造上、ウエハパレットのセットに邪魔にならない位置に光軸方向転換手段を固定して設けることがスペース的に困難な場合がある。
【００１０】
そこで、請求項２のように、光軸方向転換手段を上下動させる上下動機構を設け、突き上げ高さ検出時に上下動機構により光軸方向転換手段を突き上げポットの側面を撮像する位置へ上昇させ、突き上げ高さ検出終了後に突き上げポットの上方にウエハパレットをセットする前に、該光軸方向転換手段を該ウエハパレットのセットに邪魔にならない位置へ下降させるようにすると良い。このようにすれば、ウエハパレットのセットに邪魔にならない位置に光軸方向転換手段を固定する構成を採用することがスペース的に困難な構造のダイ供給装置であっても、本発明を実施することができる。
【００１１】
また、請求項３のように、突き上げ高さ検出時に突き上げポットの上面から突出した突き上げピンの側面を該突き上げポットの側面と一緒にカメラで撮像し、撮像した該突き上げポットの側面画像及び該突き上げピンの側面画像を画像処理手段により画像処理して突き上げ動作時の該突き上げポットの上面の高さ位置及び該突き上げピンの上端の高さ位置を検出するようにしても良い。このようにすれば、突き上げ高さ検出時に突き上げピンの側面画像を用いて突き上げピンの上端の高さ位置を検出することができ、突き上げピンの突き上げ量（突き上げピンの上端の高さ位置と突き上げポットの上面の高さ位置との差分値）も計測することができる。
【００１２】
本発明は、突き上げポットや突き上げポットの突き上げ高さを検出するだけであれば、光軸方向転換手段を１個のみ設ければ良いが、突き上げピンのＸＹ方向の位置を検出する機能を付加する場合は、光軸方向転換手段を２個設ける構成とすれば良い。
【００１３】
具体的には、請求項４のように、突き上げピンに対してＸ方向とＹ方向の位置にそれぞれ光軸方向転換手段を配置し、突き上げ高さ検出時にカメラ移動機構によりカメラをＸ方向の光軸方向転換手段の上方に移動させて突き上げピンのＸ方向の側面を撮像すると共に、該カメラをＹ方向の光軸方向転換手段の上方に移動させて該突き上げピンのＹ方向の側面を撮像し、撮像した該突き上げピンのＸ方向の側面画像とＹ方向の側面画像を画像処理手段により画像処理して該突き上げピンのＸＹ方向の位置を検出するようにしても良い。このようにすれば、Ｘ方向とＹ方向の２つの側面画像を用いて、突き上げピンのＸＹ方向の位置を自動的に計測することができる。
【００１４】
また、請求項５のように、突き上げピンの側面画像の画像処理結果に基づいて該突き上げピンの破損、曲りの少なくとも一方の有無を判定するようにしても良い。このようにすれば、突き上げピンの側面画像を用いて、突き上げピンの破損や曲りも自動的に検出することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】図１は本発明の実施例１におけるウエハパレットをセットした状態を示す部品供給装置の外観斜視図である。
【図２】図２はウエハパレットをセットする前の状態を示す部品供給装置の外観斜視図である。
【図３】図３は実施例１の突き上げポットとプリズムとの位置関係を示す外観斜視図である。
【図４】図４はウエハパレットの外観斜視図である。
【図５】図５は突き上げ動作時に突き上げポットを吸着位置まで上昇させた状態を示す一部破断拡大図である。
【図６】図６は突き上げ動作時に突き上げポットから突き上げピンを突出させた状態を示す一部破断拡大図である。
【図７】図７は実施例２におけるプリズムを突き上げポットの側面を撮像する位置へ上昇させた状態を示す斜視図である。
【図８】図８は実施例２におけるウエハパレットのセットに邪魔にならない位置へプリズムを下降させた状態を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明を実施するための形態を具体化した２つの実施例１，２を説明する。
【実施例１】
【００１７】
以下、本発明の実施例１を図１乃至図６に基づいて説明する。
まず、部品供給装置１１（ダイ供給装置）の構成を概略的に説明する。
図１に示すように、部品供給装置１１は、マガジン保持部１２（トレイタワー）、パレット引き出しテーブル１３、ＸＹ移動機構１５（カメラ移動機構）、突き上げユニット１８（図３参照）等を備え、部品実装機（図示せず）にパレット引き出しテーブル１３を差し込んだ状態にセットされる。
【００１８】
部品供給装置１１のマガジン保持部１２内に上下動可能に収納されたマガジン（図示せず）には、ダイ２１（ウエハ部品）を載せたウエハパレット２２と、トレイ部品を載せたトレイパレット（図示せず）とを多段に混載できるように構成され、部品実装機の稼働中にマガジンからウエハパレット２２とトレイパレットのいずれか一方のパレットが選択されてパレット引き出しテーブル１３上に引き出されるようになっている。図４に示すように、ウエハパレット２２は、ウエハを碁盤目状にダイシングして形成したダイ２１を貼着した伸縮可能なダイシングシート２４を、円形の開口部を有するウエハ装着板２３にエキスパンドした状態で装着し、該ウエハ装着板２３をパレット本体２５にねじ止め等により取り付けた構成となっている。
【００１９】
突き上げユニット１８（図３参照）は、ウエハパレット２２のダイシングシート２４下方の空間領域をＸＹ方向に移動可能に構成されている。そして、ダイシングシート２４のうちのピックアップ（吸着）しようとするダイ２１の貼着部分をその下方から突き上げポット２７の突き上げピン２９（図５、図６参照）で局所的に突き上げることで、当該ダイ２１の貼着部分をダイシングシート２４から部分的に剥離させてダイ２１をピックアップしやすい状態に浮き上がらせるようにしている。
【００２０】
この突き上げユニット１８は、サーボモータ（図示せず）を駆動源として突き上げユニット１８全体が上下動するように構成されている。ダイピックアップ動作時には、突き上げユニット１８が上昇して突き上げポット２７の上面がウエハパレット２２のダイシングシート２４にほぼ接触する所定のシート吸着位置まで上昇すると、ストッパ機構（図示せず）によって突き上げユニット１８の上昇が止まり、更に上昇動作を続けると、突き上げポット２７の上面から突き上げピン２９（図５、図６参照）が上方に突出して、ダイシングシート２４のうちのピックアップしようとするダイ２１の貼着部分を突き上げるようになっている。この場合、駆動源となるサーボモータの回転量を調整することで、突き上げピン２９の突き上げ高さ位置（突き上げ量）を調整できるようになっている。
【００２１】
図１に示すように、ＸＹ移動機構１５には、吸着ヘッド３１とカメラ３２とが組み付けられ、該ＸＹ移動機構１５によって吸着ヘッド３１とカメラ３２が一体的にＸＹ方向に移動するように構成されている。吸着ヘッド３１には、ダイシングシート２４上のダイ２１を吸着する吸着ノズル３３（図５、図６参照）が上下動するように設けられている。カメラ３２は、ダイシングシート２４上のダイ２１を上方から撮像してその撮像画像を画像処理することで、吸着ノズル３３で吸着するダイ２１の位置を確認できるようになっている。
【００２２】
ところで、吸着ノズル３３でウエハパレット２２のダイシングシート２４上のダイ２１を吸着する際に、突き上げポット２７（突き上げピン２９）の突き上げ高さ位置が高くなり過ぎると、吸着ノズル３３の下端がダイシングシート２４上のダイ２１に強く当たり過ぎてダイ２１が傷付いたり、割れたり、ダイ２１の内部回路が損傷してしまう可能性があり、反対に、突き上げポット２７（突き上げピン２９）の突き上げ高さ位置が低くなり過ぎると、吸着ノズル３３でダイ２１を安定して吸着できない。従って、吸着ノズル３３でダイ２１を傷付けずに安定して吸着するためには、突き上げポット２７（突き上げピン２９）の突き上げ高さ位置を厳重に管理する必要がある。また、微小なダイ２１を突き上げピン２９で突き上げる場合は、突き上げピン２９の水平方向（ＸＹ方向）の位置も厳重に管理する必要がある。
【００２３】
そこで、本実施例１では、突き上げユニット１８に対してＸ方向とＹ方向の位置にそれぞれ光軸方向転換手段であるプリズム３５，３６を配置し、突き上げポット２７の上面から突出した突き上げピン２９のＸ方向の側面画像とＹ方向の側面画像を各プリズム３５，３６を介してカメラ３２で撮像できるようにしている。各プリズム３５，３６は、ウエハパレット２２のセット（出し入れ）に邪魔にならない位置に固定されている。突き上げ高さ検出時に、ＸＹ移動機構１５によりカメラ３２をＸ方向のプリズム３５の上方に移動させて突き上げピン２９のＸ方向の側面を該プリズム３５を介して該カメラ３２で撮像すると共に、該カメラ３２をＹ方向のプリズム３６の上方に移動させて該突き上げピン２９のＹ方向の側面を該プリズム３６を介して該カメラ３２で撮像し、撮像した突き上げピン２９のＸ方向の側面画像とＹ方向の側面画像を画像処理して該突き上げピン２９のＸＹ方向の位置を検出すると共に、該突き上げピン２９の側面画像の画像処理結果に基づいて該突き上げピン２９の破損や曲りの有無を判定するようにしている。
【００２４】
更に、カメラ３２で撮像した突き上げポット２７及び突き上げピン２９のＸ方向又はＹ方向の側面画像を画像処理して突き上げ動作時の突き上げポット２７の上面の高さ位置と突き上げピン２９の上端の高さ位置を検出し、該突き上げピン２９の突き上げ量（突き上げピン２９の上端の高さ位置と突き上げポット２７の上面の高さ位置との差分値）を算出するようにしている。
【００２５】
部品供給装置１１の制御装置（図示せず）は、特許請求の範囲でいう画像処理手段として機能し、生産開始前の突き上げ高さ検出時に、突き上げユニット１８の上方にウエハパレット２２をセットせずに突き上げ動作を行って、突き上げポット２７を上昇させて該突き上げポット２７の上面から突き上げピン２９を突出させた状態で、ＸＹ移動機構１５によりカメラ３２をＸ方向のプリズム３５の上方に移動させて突き上げポット２７と突き上げピン２９のＸ方向の側面を該プリズム３５を介して該カメラ３２で撮像すると共に、該カメラ３２をＹ方向のプリズム３６の上方に移動させて突き上げポット２７と突き上げピン２９のＹ方向の側面を該プリズム３６を介して該カメラ３２で撮像し、該カメラ３２から出力された突き上げポット２７と突き上げピン２９の側面画像を画像処理して突き上げ動作時の突き上げポット２７の上面の高さ位置（突き上げ高さ位置）と突き上げピン２９の上端の高さ位置（突き上げ高さ位置）を検出する。
【００２６】
この際、各カメラ３２の視野内に基準高さ位置を示す指標を撮像対象物と一緒に収めて撮像することで、当該基準高さ位置を基準にして突き上げポット２７の上面の高さ位置や突き上げピン２９の上端の高さ位置を検出するようにしても良いし、或は、カメラ３２の視野の高さ位置を基準にして突き上げポット２７の上面の高さ位置や突き上げピン２９の上端の高さ位置を検出するようにしても良い。尚、高さ位置を検出する場合は、Ｘ方向の側面画像とＹ方向の側面画像から求めた高さ位置を平均して最終的な高さ位置を求めるようにしても良いし、Ｘ方向とＹ方向のいずれか一方向の側面画像のみから高さ位置を求めるようにしても良い。
【００２７】
部品供給装置１１の制御装置は、突き上げ動作時の突き上げポット２７の上面の高さ位置や突き上げピン２９の上端の高さ位置（突き上げ量）の検出結果に基づいて、それらの位置ずれ量が許容範囲を越えているか否かを判定し、それらの位置ずれ量が許容範囲を越えていると判定されれば、表示装置（図示せず）等に警告表示したり、警告音を発生したりして、作業者に警告するようにしている。
【００２８】
また、部品供給装置１１の制御装置は、突き上げピン２９のＸ方向の側面画像とＹ方向の側面画像を画像処理して突き上げピン２９のＸＹ方向の位置を検出すると共に、突き上げピン２９の側面画像の画像処理結果に基づいて該突き上げピン２９の破損、曲りの少なくとも一方の有無を判定し、突き上げピン２９の破損や曲りを検出した場合は、表示装置等に警告表示したり、警告音を発生したりして、作業者に警告するようにしている。
【００２９】
以上説明した本実施例１によれば、突き上げ動作時の突き上げポット２７の側面をプリズム３５又は３６を介してカメラ３２で撮像し、撮像した突き上げポット２７の側面画像を画像処理して突き上げポット２７の突き上げ高さ位置を検出する機能を備えているため、突き上げポット２７の突き上げ高さ位置を自動的に計測することができる。しかも、突き上げ高さ検出に用いるカメラ３２は、ダイシングシート２４上のダイ２１を撮像するカメラ３２等、突き上げ高さ検出以外の用途に使用されていたカメラを兼用できるため、専用のカメラを増設する必要がなく、低コスト化の要求も満たすことができる。
【００３０】
更に、本実施例１では、突き上げ動作時に突き上げポット２７の上面から突出した突き上げピン２９の側面画像を用いて、突き上げ動作時の突き上げピン２９の突き上げ高さ位置を自動的に計測することができる。これにより、突き上げポット２７や突き上げピン２９の突き上げ高さ位置の位置ずれ量が許容範囲を越えているか否かを自動的に判定することが可能となり、突き上げポット２７や突き上げピン２９の突き上げ高さ位置の位置ずれを修正する作業を容易に行うことができる。
【００３１】
しかも、本実施例１では、突き上げピン２９のＸ方向の側面画像とＹ方向の側面画像を画像処理して突き上げピン２９のＸＹ方向の位置を検出するようにしたので、突き上げピン２９のＸＹ方向の位置を自動的に計測することができる。これにより、突き上げピン２９のＸＹ方向の位置ずれ量が許容範囲を越えているか否かを自動的に判定することが可能となり、突き上げピン２９のＸＹ方向の位置ずれを修正する作業を容易に行うことができる。
【００３２】
更に、本実施例１では、突き上げピン２９の側面画像の画像処理結果に基づいて該突き上げピン２９の破損や曲りの有無を判定するようにしたので、突き上げピン２９の破損や曲りも自動的に検出することができる。
【００３３】
尚、本実施例１では、突き上げポット２７の突き上げ高さ位置と突き上げピン２９の突き上げ高さ位置と突き上げピン２９の破損・曲りを全て検出するように構成したが、これらの中から、いずれか１つ又は２つを検出するようにしても良い。
【実施例２】
【００３４】
上記実施例１では、２つのプリズム３５，３６をウエハパレット２２のセット（出し入れ）に邪魔にならない位置に固定して設けた構成としたが、部品供給装置１１の構造上、ウエハパレット２２のセットに邪魔にならない位置にプリズム３５，３６を固定して設けることがスペース的に困難な場合がある。
【００３５】
そこで、本発明の実施例２では、図７及び図８に示すように、２つのプリズム３５，３６を一体的に上下動させる上下動機構３７を設け、突き上げ高さ検出時に上下動機構３７によりプリズム３５，３６を突き上げポット２７の側面を撮像する位置へ上昇させ、突き上げ高さ検出終了後に突き上げポット２７の上方にウエハパレット２２をセットする前に、該ウエハパレット２２のセットに邪魔にならない位置へ該プリズム３５，３６を下降させて退避させるようにしている。上下動機構３７は、プリズム３５，３６を固定したスライド昇降部材３８をモータ（図示せず）等のアクチュエータによって上下動させるように構成されている。その他の構成は、前記実施例１と同じである。
【００３６】
以上のように構成すれば、ウエハパレット２２のセットに邪魔にならない位置にプリズム３５，３６を固定する構成を採用することがスペース的に困難な構造の部品供給装置１１であっても、本発明を実施することができる。
【００３７】
尚、本発明は、部品供給装置１１に装備されたカメラ３２を用いて突き上げポット２７と突き上げピン２９の側面画像を撮像する構成に限定されず、部品実装機に装備されたカメラを用いて突き上げポット２７と突き上げピン２９の側面画像を撮像するようにしても良い。この場合でも、専用のカメラを増設する必要がなく、低コスト化や省スペース化の要求を満たすことができる。
【００３８】
また、突き上げポット２７と突き上げピン２９の側面画像を部品供給装置１１の制御装置で画像処理する構成に限定されず、この画像処理を部品実装機の制御装置で行うようにしても良い。
また、突き上げポット２７の側方に配置する光軸方向転換手段は、プリズム３５，３６に限定されず、ミラー等の他の光軸方向転換手段を用いても良い。
【００３９】
その他、本発明は、ウエハパレット２２とトレイパレットとを混載した部品供給装置１１を部品実装機にセットする構成に限定されず、ウエハパレット２２のみを積載したダイ供給装置を部品実装機にセットした構成としても良い等、要旨を逸脱しない範囲内で種々変更して実施することができる。
【符号の説明】
【００４０】
１１…部品供給装置（ダイ供給装置）、１２…マガジン保持部、１３…パレット引き出しテーブル、１５…ＸＹ移動機構（カメラ移動機構）、１８…突き上げユニット、２１…ダイ、２２…ウエハパレット、２３…ウエハ装着板、２４…ダイシングシート、２５…パレット本体、２７…突き上げポット、２９…突き上げピン、３１…吸着ヘッド、３２…カメラ、３３…吸着ノズル、３５，３６…プリズム（光軸方向転換手段）、３７…上下動機構、３８…スライド昇降部材
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ダイシングされたウエハが貼着された伸縮可能なダイシングシートを張ったウエハパレットを備えたダイ供給装置におけるダイ突き上げ動作を管理するダイ突き上げ動作管理システムに関する発明である。
【背景技術】
【０００２】
近年、特許文献１（特開２０１０−１２９９４９号公報）に記載されているように、ダイを供給するダイ供給装置を部品実装機にセットして、部品実装機でダイを回路基板に実装するようにしたものがある。ダイ供給装置は、複数のダイに分割するようにダイシングされたウエハが貼着された伸縮可能なダイシングシートを張ったウエハパレットと、前記ダイシングシートの下方に配置された突き上げポットとを備え、吸着ノズルを下降させて前記ダイシングシート上のダイを吸着してピックアップする際に、突き上げポットをダイシングシートの下面に接触する所定の吸着位置まで上昇させて該ダイシングシートを該突き上げポットの上面に吸着した状態で、該突き上げポット内の突き上げピンを該突き上げポットの上面から上方に突出させることで、該ダイシングシートのうちの吸着しようとするダイの貼着部分を該突き上げピンで突き上げて該ダイの貼着部分を該ダイシングシートから部分的に剥離させながら、該吸着ノズルに該ダイを吸着して該ダイシングシートからピックアップするようにしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１０−１２９９４９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、吸着ノズルを下降させてダイシングシート上のダイを吸着する際に、突き上げポット（突き上げピン）の突き上げ高さ位置が高くなり過ぎると、吸着ノズルの下端がダイシングシート上のダイに強く当たり過ぎてダイが傷付いたり、割れてしまう可能性があり、反対に、突き上げポット（突き上げピン）の突き上げ高さ位置が低くなり過ぎると、吸着ノズルにダイを安定して吸着できない。従って、吸着ノズルにダイを傷付けずに安定して吸着するためには、突き上げポット（突き上げピン）の突き上げ高さ位置を厳重に管理する必要がある。また、微小なダイを突き上げピンで突き上げる場合は、突き上げピンの水平方向（ＸＹ方向）の位置も厳重に管理する必要がある。
【０００５】
しかし、突き上げポット（突き上げピン）の突き上げ高さ位置や突き上げピンのＸＹ方向の位置は、突き上げユニットの各部品の組付精度や突き上げピンの取り付け具合に影響され、要求される位置精度を確保するのが難しい。そのため、生産開始前に、突き上げポット（突き上げピン）の突き上げ高さ位置や突き上げピンのＸＹ方向の位置を計測して、それらの位置ずれ量が許容範囲を越えていることが判明すれば、部品を組み付け直すなどして再び計測するという作業が必要となるが、その際、作業者が突き上げポット（突き上げピン）の突き上げ高さ位置や突き上げピンのＸＹ方向の位置を手作業で計測するようにしていたため、多くの時間を費やすことがあった。
【０００６】
そこで、本発明が解決しようとする課題は、突き上げポット（突き上げピン）の突き上げ高さ位置や突き上げピンのＸＹ方向の位置を自動的に計測する機能を備えたダイ突き上げ動作管理システムを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、請求項１に係る発明は、複数のダイに分割するようにダイシングされたウエハが貼着された伸縮可能なダイシングシートを張ったウエハパレットと、前記ダイシングシートの下方に配置された突き上げポットを上下動させる突き上げ機構とを備え、吸着ノズルを下降させて前記ダイシングシート上のダイを吸着してピックアップする際に、前記突き上げポットを上昇させて該突き上げポットの上面に前記ダイシングシートを吸着した状態で、該突き上げポット内の突き上げピンを該突き上げポットの上面から上方に突出させることで、該ダイシングシートのうちの吸着しようとするダイの貼着部分を該突き上げピンで突き上げて該ダイの貼着部分を該ダイシングシートから部分的に剥離させながら、該吸着ノズルに該ダイを吸着して該ダイシングシートからピックアップするダイ供給装置に適用され、撮像対象物を上方から撮像するカメラと、前記カメラを移動させるカメラ移動機構と、前記カメラで撮像した画像を処理する画像処理手段と、突き上げ高さ検出時に前記突き上げポットの上方に前記ウエハパレットをセットせずに突き上げ動作を行って該突き上げポットを上昇させた状態で該突き上げポットの側面を撮像するために該突き上げポットの側方に配置された光軸方向転換手段（プリズム、ミラー等）とを備え、前記突き上げ高さ検出時に前記カメラ移動機構により前記カメラを前記光軸方向転換手段の上方に移動させて前記突き上げポットの側面を該光軸方向転換手段を介して該カメラで撮像し、撮像した該突き上げポットの側面画像を前記画像処理手段により画像処理して突き上げ動作時の該突き上げポットの上面の高さ位置を検出するようにしたものである。
【０００８】
この構成によれば、突き上げ動作時の突き上げポットの側面を光軸方向転換手段を介してカメラで撮像し、撮像した突き上げポットの側面画像を画像処理して突き上げポットの突き上げ高さ位置を検出する機能を備えているため、突き上げポットの突き上げ高さ位置を自動的に計測することができる。しかも、突き上げ高さ検出に用いるカメラは、ダイシングシート上のダイを撮像するカメラ等、突き上げ高さ検出以外の用途に使用されていたカメラを兼用できるため、専用のカメラを増設する必要がなく、低コスト化の要求も満たすことができる。
【０００９】
本発明は、光軸方向転換手段をウエハパレットのセット（出し入れ）に邪魔にならない位置に固定して設けた構成としても良いが、ダイ供給装置の構造上、ウエハパレットのセットに邪魔にならない位置に光軸方向転換手段を固定して設けることがスペース的に困難な場合がある。
【００１０】
そこで、請求項２のように、光軸方向転換手段を上下動させる上下動機構を設け、突き上げ高さ検出時に上下動機構により光軸方向転換手段を突き上げポットの側面を撮像する位置へ上昇させ、突き上げ高さ検出終了後に突き上げポットの上方にウエハパレットをセットする前に、該光軸方向転換手段を該ウエハパレットのセットに邪魔にならない位置へ下降させるようにすると良い。このようにすれば、ウエハパレットのセットに邪魔にならない位置に光軸方向転換手段を固定する構成を採用することがスペース的に困難な構造のダイ供給装置であっても、本発明を実施することができる。
【００１１】
また、請求項３のように、突き上げ高さ検出時に突き上げポットの上面から突出した突き上げピンの側面を該突き上げポットの側面と一緒にカメラで撮像し、撮像した該突き上げポットの側面画像及び該突き上げピンの側面画像を画像処理手段により画像処理して突き上げ動作時の該突き上げポットの上面の高さ位置及び該突き上げピンの上端の高さ位置を検出するようにしても良い。このようにすれば、突き上げ高さ検出時に突き上げピンの側面画像を用いて突き上げピンの上端の高さ位置を検出することができ、突き上げピンの突き上げ量（突き上げピンの上端の高さ位置と突き上げポットの上面の高さ位置との差分値）も計測することができる。
【００１２】
本発明は、突き上げポットや突き上げポットの突き上げ高さを検出するだけであれば、光軸方向転換手段を１個のみ設ければ良いが、突き上げピンのＸＹ方向の位置を検出する機能を付加する場合は、光軸方向転換手段を２個設ける構成とすれば良い。
【００１３】
具体的には、請求項４のように、突き上げピンに対してＸ方向とＹ方向の位置にそれぞれ光軸方向転換手段を配置し、突き上げ高さ検出時にカメラ移動機構によりカメラをＸ方向の光軸方向転換手段の上方に移動させて突き上げピンのＸ方向の側面を撮像すると共に、該カメラをＹ方向の光軸方向転換手段の上方に移動させて該突き上げピンのＹ方向の側面を撮像し、撮像した該突き上げピンのＸ方向の側面画像とＹ方向の側面画像を画像処理手段により画像処理して該突き上げピンのＸＹ方向の位置を検出するようにしても良い。このようにすれば、Ｘ方向とＹ方向の２つの側面画像を用いて、突き上げピンのＸＹ方向の位置を自動的に計測することができる。
【００１４】
また、請求項５のように、突き上げピンの側面画像の画像処理結果に基づいて該突き上げピンの破損、曲りの少なくとも一方の有無を判定するようにしても良い。このようにすれば、突き上げピンの側面画像を用いて、突き上げピンの破損や曲りも自動的に検出することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】図１は本発明の実施例１におけるウエハパレットをセットした状態を示す部品供給装置の外観斜視図である。
【図２】図２はウエハパレットをセットする前の状態を示す部品供給装置の外観斜視図である。
【図３】図３は実施例１の突き上げポットとプリズムとの位置関係を示す外観斜視図である。
【図４】図４はウエハパレットの外観斜視図である。
【図５】図５は突き上げ動作時に突き上げポットを吸着位置まで上昇させた状態を示す一部破断拡大図である。
【図６】図６は突き上げ動作時に突き上げポットから突き上げピンを突出させた状態を示す一部破断拡大図である。
【図７】図７は実施例２におけるプリズムを突き上げポットの側面を撮像する位置へ上昇させた状態を示す斜視図である。
【図８】図８は実施例２におけるウエハパレットのセットに邪魔にならない位置へプリズムを下降させた状態を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明を実施するための形態を具体化した２つの実施例１，２を説明する。
【実施例１】
【００１７】
以下、本発明の実施例１を図１乃至図６に基づいて説明する。
まず、部品供給装置１１（ダイ供給装置）の構成を概略的に説明する。
図１に示すように、部品供給装置１１は、マガジン保持部１２（トレイタワー）、パレット引き出しテーブル１３、ＸＹ移動機構１５（カメラ移動機構）、突き上げユニット１８（図３参照）等を備え、部品実装機（図示せず）にパレット引き出しテーブル１３を差し込んだ状態にセットされる。
【００１８】
部品供給装置１１のマガジン保持部１２内に上下動可能に収納されたマガジン（図示せず）には、ダイ２１（ウエハ部品）を載せたウエハパレット２２と、トレイ部品を載せたトレイパレット（図示せず）とを多段に混載できるように構成され、部品実装機の稼働中にマガジンからウエハパレット２２とトレイパレットのいずれか一方のパレットが選択されてパレット引き出しテーブル１３上に引き出されるようになっている。図４に示すように、ウエハパレット２２は、ウエハを碁盤目状にダイシングして形成したダイ２１を貼着した伸縮可能なダイシングシート２４を、円形の開口部を有するウエハ装着板２３にエキスパンドした状態で装着し、該ウエハ装着板２３をパレット本体２５にねじ止め等により取り付けた構成となっている。
【００１９】
突き上げユニット１８（図３参照）は、ウエハパレット２２のダイシングシート２４下方の空間領域をＸＹ方向に移動可能に構成されている。そして、ダイシングシート２４のうちのピックアップ（吸着）しようとするダイ２１の貼着部分をその下方から突き上げポット２７の突き上げピン２９（図５、図６参照）で局所的に突き上げることで、当該ダイ２１の貼着部分をダイシングシート２４から部分的に剥離させてダイ２１をピックアップしやすい状態に浮き上がらせるようにしている。
【００２０】
この突き上げユニット１８は、サーボモータ（図示せず）を駆動源として突き上げユニット１８全体が上下動するように構成されている。ダイピックアップ動作時には、突き上げユニット１８が上昇して突き上げポット２７の上面がウエハパレット２２のダイシングシート２４にほぼ接触する所定のシート吸着位置まで上昇すると、ストッパ機構（図示せず）によって突き上げユニット１８の上昇が止まり、更に上昇動作を続けると、突き上げポット２７の上面から突き上げピン２９（図５、図６参照）が上方に突出して、ダイシングシート２４のうちのピックアップしようとするダイ２１の貼着部分を突き上げるようになっている。この場合、駆動源となるサーボモータの回転量を調整することで、突き上げピン２９の突き上げ高さ位置（突き上げ量）を調整できるようになっている。
【００２１】
図１に示すように、ＸＹ移動機構１５には、吸着ヘッド３１とカメラ３２とが組み付けられ、該ＸＹ移動機構１５によって吸着ヘッド３１とカメラ３２が一体的にＸＹ方向に移動するように構成されている。吸着ヘッド３１には、ダイシングシート２４上のダイ２１を吸着する吸着ノズル３３（図５、図６参照）が上下動するように設けられている。カメラ３２は、ダイシングシート２４上のダイ２１を上方から撮像してその撮像画像を画像処理することで、吸着ノズル３３で吸着するダイ２１の位置を確認できるようになっている。
【００２２】
ところで、吸着ノズル３３でウエハパレット２２のダイシングシート２４上のダイ２１を吸着する際に、突き上げポット２７（突き上げピン２９）の突き上げ高さ位置が高くなり過ぎると、吸着ノズル３３の下端がダイシングシート２４上のダイ２１に強く当たり過ぎてダイ２１が傷付いたり、割れたり、ダイ２１の内部回路が損傷してしまう可能性があり、反対に、突き上げポット２７（突き上げピン２９）の突き上げ高さ位置が低くなり過ぎると、吸着ノズル３３でダイ２１を安定して吸着できない。従って、吸着ノズル３３でダイ２１を傷付けずに安定して吸着するためには、突き上げポット２７（突き上げピン２９）の突き上げ高さ位置を厳重に管理する必要がある。また、微小なダイ２１を突き上げピン２９で突き上げる場合は、突き上げピン２９の水平方向（ＸＹ方向）の位置も厳重に管理する必要がある。
【００２３】
そこで、本実施例１では、突き上げユニット１８に対してＸ方向とＹ方向の位置にそれぞれ光軸方向転換手段であるプリズム３５，３６を配置し、突き上げポット２７の上面から突出した突き上げピン２９のＸ方向の側面画像とＹ方向の側面画像を各プリズム３５，３６を介してカメラ３２で撮像できるようにしている。各プリズム３５，３６は、ウエハパレット２２のセット（出し入れ）に邪魔にならない位置に固定されている。突き上げ高さ検出時に、ＸＹ移動機構１５によりカメラ３２をＸ方向のプリズム３５の上方に移動させて突き上げピン２９のＸ方向の側面を該プリズム３５を介して該カメラ３２で撮像すると共に、該カメラ３２をＹ方向のプリズム３６の上方に移動させて該突き上げピン２９のＹ方向の側面を該プリズム３６を介して該カメラ３２で撮像し、撮像した突き上げピン２９のＸ方向の側面画像とＹ方向の側面画像を画像処理して該突き上げピン２９のＸＹ方向の位置を検出すると共に、該突き上げピン２９の側面画像の画像処理結果に基づいて該突き上げピン２９の破損や曲りの有無を判定するようにしている。
【００２４】
更に、カメラ３２で撮像した突き上げポット２７及び突き上げピン２９のＸ方向又はＹ方向の側面画像を画像処理して突き上げ動作時の突き上げポット２７の上面の高さ位置と突き上げピン２９の上端の高さ位置を検出し、該突き上げピン２９の突き上げ量（突き上げピン２９の上端の高さ位置と突き上げポット２７の上面の高さ位置との差分値）を算出するようにしている。
【００２５】
部品供給装置１１の制御装置（図示せず）は、特許請求の範囲でいう画像処理手段として機能し、生産開始前の突き上げ高さ検出時に、突き上げユニット１８の上方にウエハパレット２２をセットせずに突き上げ動作を行って、突き上げポット２７を上昇させて該突き上げポット２７の上面から突き上げピン２９を突出させた状態で、ＸＹ移動機構１５によりカメラ３２をＸ方向のプリズム３５の上方に移動させて突き上げポット２７と突き上げピン２９のＸ方向の側面を該プリズム３５を介して該カメラ３２で撮像すると共に、該カメラ３２をＹ方向のプリズム３６の上方に移動させて突き上げポット２７と突き上げピン２９のＹ方向の側面を該プリズム３６を介して該カメラ３２で撮像し、該カメラ３２から出力された突き上げポット２７と突き上げピン２９の側面画像を画像処理して突き上げ動作時の突き上げポット２７の上面の高さ位置（突き上げ高さ位置）と突き上げピン２９の上端の高さ位置（突き上げ高さ位置）を検出する。
【００２６】
この際、各カメラ３２の視野内に基準高さ位置を示す指標を撮像対象物と一緒に収めて撮像することで、当該基準高さ位置を基準にして突き上げポット２７の上面の高さ位置や突き上げピン２９の上端の高さ位置を検出するようにしても良いし、或は、カメラ３２の視野の高さ位置を基準にして突き上げポット２７の上面の高さ位置や突き上げピン２９の上端の高さ位置を検出するようにしても良い。尚、高さ位置を検出する場合は、Ｘ方向の側面画像とＹ方向の側面画像から求めた高さ位置を平均して最終的な高さ位置を求めるようにしても良いし、Ｘ方向とＹ方向のいずれか一方向の側面画像のみから高さ位置を求めるようにしても良い。
【００２７】
部品供給装置１１の制御装置は、突き上げ動作時の突き上げポット２７の上面の高さ位置や突き上げピン２９の上端の高さ位置（突き上げ量）の検出結果に基づいて、それらの位置ずれ量が許容範囲を越えているか否かを判定し、それらの位置ずれ量が許容範囲を越えていると判定されれば、表示装置（図示せず）等に警告表示したり、警告音を発生したりして、作業者に警告するようにしている。
【００２８】
また、部品供給装置１１の制御装置は、突き上げピン２９のＸ方向の側面画像とＹ方向の側面画像を画像処理して突き上げピン２９のＸＹ方向の位置を検出すると共に、突き上げピン２９の側面画像の画像処理結果に基づいて該突き上げピン２９の破損、曲りの少なくとも一方の有無を判定し、突き上げピン２９の破損や曲りを検出した場合は、表示装置等に警告表示したり、警告音を発生したりして、作業者に警告するようにしている。
【００２９】
以上説明した本実施例１によれば、突き上げ動作時の突き上げポット２７の側面をプリズム３５又は３６を介してカメラ３２で撮像し、撮像した突き上げポット２７の側面画像を画像処理して突き上げポット２７の突き上げ高さ位置を検出する機能を備えているため、突き上げポット２７の突き上げ高さ位置を自動的に計測することができる。しかも、突き上げ高さ検出に用いるカメラ３２は、ダイシングシート２４上のダイ２１を撮像するカメラ３２等、突き上げ高さ検出以外の用途に使用されていたカメラを兼用できるため、専用のカメラを増設する必要がなく、低コスト化の要求も満たすことができる。
【００３０】
更に、本実施例１では、突き上げ動作時に突き上げポット２７の上面から突出した突き上げピン２９の側面画像を用いて、突き上げ動作時の突き上げピン２９の突き上げ高さ位置を自動的に計測することができる。これにより、突き上げポット２７や突き上げピン２９の突き上げ高さ位置の位置ずれ量が許容範囲を越えているか否かを自動的に判定することが可能となり、突き上げポット２７や突き上げピン２９の突き上げ高さ位置の位置ずれを修正する作業を容易に行うことができる。
【００３１】
しかも、本実施例１では、突き上げピン２９のＸ方向の側面画像とＹ方向の側面画像を画像処理して突き上げピン２９のＸＹ方向の位置を検出するようにしたので、突き上げピン２９のＸＹ方向の位置を自動的に計測することができる。これにより、突き上げピン２９のＸＹ方向の位置ずれ量が許容範囲を越えているか否かを自動的に判定することが可能となり、突き上げピン２９のＸＹ方向の位置ずれを修正する作業を容易に行うことができる。
【００３２】
更に、本実施例１では、突き上げピン２９の側面画像の画像処理結果に基づいて該突き上げピン２９の破損や曲りの有無を判定するようにしたので、突き上げピン２９の破損や曲りも自動的に検出することができる。
【００３３】
尚、本実施例１では、突き上げポット２７の突き上げ高さ位置と突き上げピン２９の突き上げ高さ位置と突き上げピン２９の破損・曲りを全て検出するように構成したが、これらの中から、いずれか１つ又は２つを検出するようにしても良い。
【実施例２】
【００３４】
上記実施例１では、２つのプリズム３５，３６をウエハパレット２２のセット（出し入れ）に邪魔にならない位置に固定して設けた構成としたが、部品供給装置１１の構造上、ウエハパレット２２のセットに邪魔にならない位置にプリズム３５，３６を固定して設けることがスペース的に困難な場合がある。
【００３５】
そこで、本発明の実施例２では、図７及び図８に示すように、２つのプリズム３５，３６を一体的に上下動させる上下動機構３７を設け、突き上げ高さ検出時に上下動機構３７によりプリズム３５，３６を突き上げポット２７の側面を撮像する位置へ上昇させ、突き上げ高さ検出終了後に突き上げポット２７の上方にウエハパレット２２をセットする前に、該ウエハパレット２２のセットに邪魔にならない位置へ該プリズム３５，３６を下降させて退避させるようにしている。上下動機構３７は、プリズム３５，３６を固定したスライド昇降部材３８をモータ（図示せず）等のアクチュエータによって上下動させるように構成されている。その他の構成は、前記実施例１と同じである。
【００３６】
以上のように構成すれば、ウエハパレット２２のセットに邪魔にならない位置にプリズム３５，３６を固定する構成を採用することがスペース的に困難な構造の部品供給装置１１であっても、本発明を実施することができる。
【００３７】
尚、本発明は、部品供給装置１１に装備されたカメラ３２を用いて突き上げポット２７と突き上げピン２９の側面画像を撮像する構成に限定されず、部品実装機に装備されたカメラを用いて突き上げポット２７と突き上げピン２９の側面画像を撮像するようにしても良い。この場合でも、専用のカメラを増設する必要がなく、低コスト化や省スペース化の要求を満たすことができる。
【００３８】
また、突き上げポット２７と突き上げピン２９の側面画像を部品供給装置１１の制御装置で画像処理する構成に限定されず、この画像処理を部品実装機の制御装置で行うようにしても良い。
また、突き上げポット２７の側方に配置する光軸方向転換手段は、プリズム３５，３６に限定されず、ミラー等の他の光軸方向転換手段を用いても良い。
【００３９】
その他、本発明は、ウエハパレット２２とトレイパレットとを混載した部品供給装置１１を部品実装機にセットする構成に限定されず、ウエハパレット２２のみを積載したダイ供給装置を部品実装機にセットした構成としても良い等、要旨を逸脱しない範囲内で種々変更して実施することができる。
【符号の説明】
【００４０】
１１…部品供給装置（ダイ供給装置）、１２…マガジン保持部、１３…パレット引き出しテーブル、１５…ＸＹ移動機構（カメラ移動機構）、１８…突き上げユニット、２１…ダイ、２２…ウエハパレット、２３…ウエハ装着板、２４…ダイシングシート、２５…パレット本体、２７…突き上げポット、２９…突き上げピン、３１…吸着ヘッド、３２…カメラ、３３…吸着ノズル、３５，３６…プリズム（光軸方向転換手段）、３７…上下動機構、３８…スライド昇降部材
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のダイに分割するようにダイシングされたウエハが貼着された伸縮可能なダイシングシートを張ったウエハパレットと、前記ダイシングシートの下方に配置された突き上げポットを上下動させる突き上げ機構とを備え、吸着ノズルを下降させて前記ダイシングシート上のダイを吸着してピックアップする際に、前記突き上げポットを上昇させて該突き上げポットの上面に前記ダイシングシートを吸着した状態で、該突き上げポット内の突き上げピンを該突き上げポットの上面から上方に突出させることで、該ダイシングシートのうちの吸着しようとするダイの貼着部分を該突き上げピンで突き上げて該ダイの貼着部分を該ダイシングシートから部分的に剥離させながら、該吸着ノズルに該ダイを吸着して該ダイシングシートからピックアップするダイ供給装置に適用され、
撮像対象物を上方から撮像するカメラと、
前記カメラを移動させるカメラ移動機構と、
前記カメラで撮像した画像を処理する画像処理手段と、
突き上げ高さ検出時に前記突き上げポットの上方に前記ウエハパレットをセットせずに突き上げ動作を行って該突き上げポットを上昇させた状態で該突き上げポットの側面を撮像するために該突き上げポットの側方に配置された光軸方向転換手段とを備え、
前記突き上げ高さ検出時に前記カメラ移動機構により前記カメラを前記光軸方向転換手段の上方に移動させて前記突き上げポットの側面を該光軸方向転換手段を介して該カメラで撮像し、撮像した該突き上げポットの側面画像を前記画像処理手段により画像処理して突き上げ動作時の該突き上げポットの上面の高さ位置を検出することを特徴とするダイ突き上げ動作管理システム。
【請求項２】
前記光軸方向転換手段を上下動させる上下動機構を備え、前記突き上げ高さ検出時に前記上下動機構により前記光軸方向転換手段を前記突き上げポットの側面を撮像する位置へ上昇させ、前記突き上げポットの上方に前記ウエハパレットをセットする前に、該光軸方向転換手段を該ウエハパレットのセットに邪魔にならない位置へ下降させることを特徴とする請求項１に記載のダイ突き上げ動作管理システム。
【請求項３】
前記突き上げ高さ検出時に前記突き上げポットの上面から突出した前記突き上げピンの側面を該突き上げポットの側面と一緒に前記カメラで撮像し、撮像した該突き上げポットの側面画像及び該突き上げピンの側面画像を前記画像処理手段により画像処理して突き上げ動作時の該突き上げポットの上面の高さ位置及び該突き上げピンの上端の高さ位置を検出することを特徴とする請求項１又は２に記載のダイ突き上げ動作管理システム。
【請求項４】
前記突き上げピンに対してＸ方向とＹ方向の位置にそれぞれ光軸方向転換手段が配置され、
前記突き上げ高さ検出時に前記カメラ移動機構により前記カメラをＸ方向の光軸方向転換手段の上方に移動させて前記突き上げピンのＸ方向の側面を撮像すると共に、該カメラをＹ方向の光軸方向転換手段の上方に移動させて該突き上げピンのＹ方向の側面を撮像し、撮像した該突き上げピンのＸ方向の側面画像とＹ方向の側面画像を前記画像処理手段により画像処理して該突き上げピンのＸＹ方向の位置を検出することを特徴とする請求項３に記載のダイ突き上げ動作管理システム。
【請求項５】
前記画像処理手段による前記突き上げピンの側面画像の画像処理結果に基づいて該突き上げピンの破損、曲りの少なくとも一方の有無を判定する手段を備えていることを特徴とする請求項３又は４に記載のダイ突き上げ動作管理システム。
【請求項１】
複数のダイに分割するようにダイシングされたウエハが貼着された伸縮可能なダイシングシートを張ったウエハパレットと、前記ダイシングシートの下方に配置された突き上げポットを上下動させる突き上げ機構とを備え、吸着ノズルを下降させて前記ダイシングシート上のダイを吸着してピックアップする際に、前記突き上げポットを上昇させて該突き上げポットの上面に前記ダイシングシートを吸着した状態で、該突き上げポット内の突き上げピンを該突き上げポットの上面から上方に突出させることで、該ダイシングシートのうちの吸着しようとするダイの貼着部分を該突き上げピンで突き上げて該ダイの貼着部分を該ダイシングシートから部分的に剥離させながら、該吸着ノズルに該ダイを吸着して該ダイシングシートからピックアップするダイ供給装置に適用され、
撮像対象物を上方から撮像するカメラと、
前記カメラを移動させるカメラ移動機構と、
前記カメラで撮像した画像を処理する画像処理手段と、
突き上げ高さ検出時に前記突き上げポットの上方に前記ウエハパレットをセットせずに突き上げ動作を行って該突き上げポットを上昇させた状態で該突き上げポットの側面を撮像するために該突き上げポットの側方に配置された光軸方向転換手段とを備え、
前記突き上げ高さ検出時に前記カメラ移動機構により前記カメラを前記光軸方向転換手段の上方に移動させて前記突き上げポットの側面を該光軸方向転換手段を介して該カメラで撮像し、撮像した該突き上げポットの側面画像を前記画像処理手段により画像処理して突き上げ動作時の該突き上げポットの上面の高さ位置を検出することを特徴とするダイ突き上げ動作管理システム。
【請求項２】
前記光軸方向転換手段を上下動させる上下動機構を備え、前記突き上げ高さ検出時に前記上下動機構により前記光軸方向転換手段を前記突き上げポットの側面を撮像する位置へ上昇させ、前記突き上げポットの上方に前記ウエハパレットをセットする前に、該光軸方向転換手段を該ウエハパレットのセットに邪魔にならない位置へ下降させることを特徴とする請求項１に記載のダイ突き上げ動作管理システム。
【請求項３】
前記突き上げ高さ検出時に前記突き上げポットの上面から突出した前記突き上げピンの側面を該突き上げポットの側面と一緒に前記カメラで撮像し、撮像した該突き上げポットの側面画像及び該突き上げピンの側面画像を前記画像処理手段により画像処理して突き上げ動作時の該突き上げポットの上面の高さ位置及び該突き上げピンの上端の高さ位置を検出することを特徴とする請求項１又は２に記載のダイ突き上げ動作管理システム。
【請求項４】
前記突き上げピンに対してＸ方向とＹ方向の位置にそれぞれ光軸方向転換手段が配置され、
前記突き上げ高さ検出時に前記カメラ移動機構により前記カメラをＸ方向の光軸方向転換手段の上方に移動させて前記突き上げピンのＸ方向の側面を撮像すると共に、該カメラをＹ方向の光軸方向転換手段の上方に移動させて該突き上げピンのＹ方向の側面を撮像し、撮像した該突き上げピンのＸ方向の側面画像とＹ方向の側面画像を前記画像処理手段により画像処理して該突き上げピンのＸＹ方向の位置を検出することを特徴とする請求項３に記載のダイ突き上げ動作管理システム。
【請求項５】
前記画像処理手段による前記突き上げピンの側面画像の画像処理結果に基づいて該突き上げピンの破損、曲りの少なくとも一方の有無を判定する手段を備えていることを特徴とする請求項３又は４に記載のダイ突き上げ動作管理システム。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【公開番号】特開２０１３−１０５７７３（Ｐ２０１３−１０５７７３Ａ）
【公開日】平成２５年５月３０日（２０１３．５．３０）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−２４６４４０（Ｐ２０１１−２４６４４０）
【出願日】平成２３年１１月１０日（２０１１．１１．１０）
【出願人】（０００２３７２７１）富士機械製造株式会社 (775)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２５年５月３０日（２０１３．５．３０）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年１１月１０日（２０１１．１１．１０）
【出願人】（０００２３７２７１）富士機械製造株式会社 (775)
【Ｆターム（参考）】
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