テーピング装置
【課題】。
【解決手段】照明装置１００を構成する一対の照明装置１００Ａ、１００Ｂの複数のＬＥＤ１０１が収納溝４Ｂ内のチップ部品Ａに光を拡散板１０２を介して均一に照射して、しかもチップ部品Ａに付された丸の部分ＡＡや文字・数字部分ＡＢを形成する刻印の深さに応じて、確実に照射光によって前記刻印の端部により影ができるような傾斜した照射光となるように照射して、印字検査カメラ８５が撮像した画像において、丸の部分ＡＡや文字・数字部分ＡＢとそれ以外の表面部分ＡＣとのコトラストが大きくなって、丸の部分ＡＡや文字・数字部分ＡＢが黒色に、それ以外の表面部分ＡＣは白色に撮像でき、チップ部品Ａの有無、前記チップ部品の表裏、チップ部品Ａの向きを検査することができる。
【解決手段】照明装置１００を構成する一対の照明装置１００Ａ、１００Ｂの複数のＬＥＤ１０１が収納溝４Ｂ内のチップ部品Ａに光を拡散板１０２を介して均一に照射して、しかもチップ部品Ａに付された丸の部分ＡＡや文字・数字部分ＡＢを形成する刻印の深さに応じて、確実に照射光によって前記刻印の端部により影ができるような傾斜した照射光となるように照射して、印字検査カメラ８５が撮像した画像において、丸の部分ＡＡや文字・数字部分ＡＢとそれ以外の表面部分ＡＣとのコトラストが大きくなって、丸の部分ＡＡや文字・数字部分ＡＢが黒色に、それ以外の表面部分ＡＣは白色に撮像でき、チップ部品Ａの有無、前記チップ部品の表裏、チップ部品Ａの向きを検査することができる。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、送り装置により送られる部品収納テープの各収納凹部内にチップ部品を吸着ノズルにより順次装填した後、カバーテープで当該収納凹部の開口部を閉塞する前にこの収納凹部内のチップ部品を認識カメラが撮像し、認識処理装置で認識処理して当該チップ部品を検査するテーピング装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の部品実装装置は、例えば特許文献１などに開示されているが、カバーテープで当該収納凹部の開口部を閉塞する前に、この収納凹部内のチップ部品の表裏、このチップ部品の前記収納凹部内の向き、このチップ部品の有無などを検査している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００６−３０６４５７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、前記チップ部品は表裏や向きがわかるように、このチップ部品に文字や図形などの標章が刻印されているが、この刻印の深さが浅いと、前記収納凹部内のチップ部品を前記認識カメラが撮像しても、その撮像画像を認識処理装置が認識処理しても前記チップ部品の表裏や向きの区別ができない場合が発生することがあった。
【０００５】
そこで本発明は、チップ部品の表裏や向きがわかるように付された刻印の深さが浅くとも、確実に前記収納凹部内のチップ部品の状態を認識できるようにすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
このため第１の発明は、送り装置により送られるテープ本体の各収納凹部内にチップ部品を装填保持具により順次装填した後、カバーテープで前記収納凹部の開口部を閉塞する前にこの収納凹部内に装填された前記チップ部品を認識カメラが撮像し、認識処理装置で認識処理して当該チップ部品の状態を検査するテーピング装置において、前記収納凹部内に装填された前記チップ部品の表面に向けてそれぞれ照射できるように複数の発光体が配設された一対の照明装置を、この一対の照明装置の各発光体群の照射光は向かい合う方向に照射するように前記テープ本体を挟んで対向するように配設すると共に、前記収納凹部内に装填された前記チップ部品に付された標章を形成する刻印への照射光によるこの刻印からの正反射とこの刻印以外のその他の部分への照射光によるその他の部分からの乱反射とにより前記刻印と前記その他の部分との明暗の差ができるように、前記一対の照明装置の各発光体を前記チップ部品に対して傾斜させたことを特徴とする。
【０００７】
第２の発明は、第１の発明において、前記テープ本体の各収納凹部内に前記チップ部品を装填した前記装填保持具が前記一対の照明装置間を通過できるように前記一対の照明装置を配設したことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明は、チップ部品の表裏や向きがわかるように付された刻印の深さが浅くとも、確実に前記収納凹部内のチップ部品の状態を認識できる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】テーピング装置を示す平面図である。
【図２】テーピング装置の正面図である。
【図３】テーピング装置の右側面図である。
【図４】部品取出し機構を説明するための図である。
【図５】部品装填機構を説明するための図である。
【図６】第１及び第２の回転盤の停止状態の平面図である。
【図７】第１及び第２の回転盤の旋回移動中の平面図である。
【図８】搬送レールの正面図である。
【図９】搬送レールの縦断側面図である。
【図１０】本テーピング装置の制御ブロック図である。
【図１１】チップ部品の平面図である。
【図１２】吸着装填ノズルを備えた第２の回転盤、印字検査カメラ、照明装置、チップ部品などの位置関係を示すための簡略した説明図である。
【図１３】照明装置とチップ部品との関係を示す図である。
【図１４】一方の照明装置の平面図である。
【図１５】図１４の縦断面図である。
【図１６】フローチャートを示す図である。
【図１７】収納溝内に装填されたチップ部品の画像を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明の移載装置としてのテーピング装置の実施形態について、図面を参照しながら説明する。先ず、図１のテーピング装置の平面図、図２の同じく正面図、図３の右側面図に基づき、テーピング装置について説明する。１はテーピング装置本体で、この本体１の側壁部に立設されたピン２にキャリアテープ供給リール３が回転可能に係止され、当該テープ供給リール３に巻装されたテープ本体（キャリアテープとも称される。）４Ａの先端が当該テープ本体４Ａに適度なテンションを与えるためのプーリ５、送りプーリ６、７及びテープ本体４Ａなどの搬送路を有する搬送レール８を介して巻取り収納リール９に固定されている。
【００１１】
そして、送り装置を構成する図示しない回転駆動系による巻取り収納リール９の回転に合わせて順次テープ本体４Ａが所定量搬送されて（巻取り収納リール９に巻取られて）いく間で、テープ本体４Ａの収納溝（収納凹部）４Ｂ内に後述するチップ部品Ａが挿入（装填）され、更に所定位置まで搬送されて収納溝４Ｂ上面の開口部をカバーテープ供給リール１０から供給されるカバーテープ４Ｃで被覆した後、前記巻取り収納リール９に巻取られていく。尚、上述したように、所定間隔を存して収納溝４Ｂが設けられたテープ本体４Ａと、その上面に圧着されるカバーテープ（トップテープ）４Ｃとで収納テープ４が形成されるが、前記テープ本体４Ａはいわゆるエンボステープである。
【００１２】
尚、前記送りプーリ６、７、搬送レール８及びカバーテープ供給リール１０などは、取付板１１に設けられている。そして、テーピング装置本体１に固定された固定板１２上にはＹ軸駆動モータ１３により駆動されてガイド１４に案内されてＹ方向に移動するＹテーブル１５が設けられ、このＹテーブル１５上にはＸ軸駆動モータ１６により駆動されてガイド１７に案内されてＸ方向に移動するＸテーブル１８が設けられ、このＸテーブル１８に前記取付板１１が固定されている。
【００１３】
従って、Ｘ軸駆動モータ１６及びＹ軸駆動モータ１３の駆動によりＸテーブル１８及びＹテーブル１５が移動することにより、取付板１１を介して前記搬送レール８及びこの搬送レール８に沿って移動するテープ本体４ＡなどがＸＹ方向に移動できる。
【００１４】
また、テーピング装置本体１の上にはＹ軸駆動モータ２０によりＹ方向に移動可能なＹテーブル２１が設けられ、更に該Ｙテーブル２１の上にはＸ軸駆動モータ２２によりＸ方向に移動可能なＸ移動体２３を介してチップ部品供給テーブル２４が設けられる。該供給テーブル２４上にはシートに貼付されたウエハがダイシングされて個々のダイ（以下、「チップ部品Ａ」という）に分割された状態で且つ端子を有する面を上面とした状態で固定されており、このチップ部品Ａは裏面より突き上げピン（図示せず）により突き上げられながら、後述する吸着取出ノズル２６で吸着されて取出されるものである。
【００１５】
前記テーピング装置本体１に固定された上取付板２５にはチップ部品供給テーブル２４からチップ部品Ａを取出す吸着取出ノズル２６が所定間隔を存して周縁部に、例えば８本配設されて駆動モータ１９Ａの駆動により第１のインデキシングカムユニット３０を介して間欠回転する第１の回転盤２７が設けられ、また上取付板２５にはＸ軸駆動モータ８８及びＹ軸駆動モータ８９によりＸＹ方向に移動するＸＹテーブル（図示せず）を介して前記収納溝４Ｂにチップ部品Ａを装填する吸着装填ノズル２８が所定間隔を存して周縁部に、例えば８本配設されて駆動モータ１９Ｂの駆動により第２のインデキシングカムユニット３１を介して間欠回転する第２の回転盤２９とが設けられる。
【００１６】
この第１の回転盤２７と第２の回転盤２９とは同期して間欠回転するものであり、２つの回転盤２７、２９の吸着取出ノズル２６と吸着装填ノズル２８とを対応させることができ、チップ部品Ａを吸着取出ノズル２６から吸着装填ノズル２８に受け渡すことができる。また、両回転盤の回転半径を同一にすることにより、回転割出し精度（分解能）を同一にすることができる。
【００１７】
次に、部品取出機構３５について、図４に基づき詳述する。前記第１の回転盤２７の周縁部には吸着取出ノズル２６が８本配設されており、各反転装置３６により各吸着取出ノズル２６は上下反転可能に設けられる。即ち、反転駆動モータ３７の駆動によりカップリング３８を介して駆動軸３９が回転すると、駆動軸３９に固定された取付体４０も回転し、前記取出ノズル２６は上下反転される。
【００１８】
また、前記取付体４０に設けられたガイド４１に沿ってガイド４２が上下動可能であるため、このガイド４２に固定されたノズル取付体４３に取付けられた吸着取出ノズル２６は上下動可能となるが、この吸着取出ノズル２６は前記取付体４０の上辺４０Ａとノズル取付体４３の下辺４３Ａとの間に張架されたスプリング４４により常時上方に付勢されていて、ストッパ４５が前記取付体４０の上辺４０Ａに係止されることにより上限は規制される。
【００１９】
また、Ｚ軸駆動モータ４６の駆動によりガイド４７により上下動可能な作動体４８の作動部４８Ａがノズル取付体４３の頭部を押圧することにより前記吸着取出ノズル２６は下降することができ、例えばチップ部品供給テーブル２４上のチップ部品Ａを取出すことができる。
【００２０】
次に、部品装填機構５０について、図５に基づき詳述する。前記第２の回転盤２９の周縁部には吸着装填ノズル２８が８本配設されており、各回転装置５１により吸着装填ノズル２８を偏心した位置に備えたノズル軸体２８Ａが軸芯方向を中心として回転可能に設けられる。即ち、θ軸駆動モータ５２の駆動軸に設けられたプーリ５３と円筒体６２の周囲に固定されたプーリ５４との間に伝達ベルト５５が張架され、円筒体６２はベアリング５６を介して前記第２の回転盤２９に回動可能に設けられる。
【００２１】
また、前記吸着装填ノズル２８は、Ｚ軸駆動モータ５７の駆動によりガイド５８により上下動可能な作動体５９の作動部５９Ａがノズル取付体６０の突部６０Ａに押圧することによりガイド６１に案内されて下降することができ、吸着保持しているチップ部品Ａを搬送レール８上のテープ本体４Ａの収納溝４Ｂ内に装填することができる。即ち、ノズル軸体２８Ａは円筒体６２内で上下に移動可能であり且つ円筒体６２と共にθ回転可能であるので、このノズル軸体２８Ａ下部の偏心した位置に設けられた吸着装填ノズル２８も上下に移動可能でθ回転可能である。
【００２２】
ここで、図１０に基づき、本テーピング装置の制御ブロック図について説明すると、９１はテーピング装置のチップ部品Ａの装填に係る動作を統括制御する制御装置としてのＣＰＵ、９２はチップ部品Ａの種類毎の厚さデータや、各吸着取出ノズル２６毎の高さレベルデータ等を格納するＲＡＭ（ランダム・アクセス・メモリ）及び９３はＲＯＭ（リ−ド・オンリー・メモリ）である。そして、ＣＰＵ９１は前記ＲＡＭ９２に記憶されたデータに基づき、前記ＲＯＭ９３に格納されたプログラムに従い、テーピング装置のチップ部品Ａの装填に係る動作を統括制御する。即ち、ＣＰＵ９１は、駆動回路９４及びインターフェース９５を介して各駆動モータの駆動を制御している。
【００２３】
また、９６はインターフェース９５を介して前記ＣＰＵ９１に接続される認識処理装置で、各認識カメラにより撮像して取込まれた画像の認識処理が該認識処理装置９６にて行われ、ＣＰＵ９１に処理結果が送出される。即ち、ＣＰＵ９１は、各認識カメラに撮像された画像を認識処理（位置ずれ量の算出など）するように指示を認識処理装置９６に出力すると共に、認識処理結果を認識処理装置９６から受取るものである。
【００２４】
次に、図６及び図７に示すように、第１の回転盤２７の１２時に位置するステーションは、チップ部品供給テーブル２４から吸着取出ノズル２６がチップ部品Ａを吸着して取出す吸着取出ステーションである。この吸着取出ステーションでは、第１の回転盤２７の旋回移動中にチップ部品供給テーブル２４上の次に取出すべきチップ部品Ａを部品認識カメラ６３で撮像して、当該チップ部品Ａの位置を認識処理装置９６で認識処理し、ＣＰＵ９１がこの取出すべきチップ部品Ａを移動してくる吸着取出ノズル２６の直下方位置に位置するよう前記Ｙ軸駆動モータ２０及びＸ軸駆動モータ２２を駆動させてチップ部品供給テーブル２４を移動させ、この吸着取出ステーションでチップ部品供給テーブル２４上のチップ部品ＡをＺ軸駆動モータ４６の駆動により吸着取出ノズル２６が下降して吸着して取出す。
【００２５】
次に、駆動モータ１９Ｂの駆動により第２のインデキシングカムユニット３１を介して第２の回転盤２９が時計方向に間欠回転すると共に駆動モータ１９Ａの駆動により第１のインデキシングカムユニット３０を介して第１の回転盤２７を反時計方向に同期間欠回転させる。この第１の回転盤２７の反時計方向に１間欠回転して停止するステーションは、前記反転装置３６により吸着取出ノズル２６に保持されたチップ部品Ａを上下反転させる反転ステーションであり、その次のステーションはこの反転されたチップ部品Ａの位置を部品認識カメラ６５により撮像して認識処理装置９６で認識処理する認識ステーションである。
【００２６】
前記吸着取出ステーションを１番目として反時計方向に回転した６番目が受渡しステーションであり、前記反転装置３６により上下反転された吸着取出ノズル２６のチップ部品Ａを第２の回転盤２９の吸着装填ノズル２８に受け渡す。この第１の回転盤２７の受渡しステーション、言い換えると、第２の回転盤２９の受継ぎステーションでは、吸着取出ノズル２６に吸着保持されたチップ部品Ａを前記部品認識カメラ６５が撮像して認識処理装置９６が認識処理した結果によるＸ方向及びＹ方向のズレが第２の回転盤２９の回転角度補正及び前記ノズル軸体２８Ａの回動による偏心した吸着装填ノズル２８の位置補正により解消される。
【００２７】
即ち、前記部品認識カメラ６５の撮像に基づく認識処理装置９６の認識処理結果に基づいて、ＣＰＵ９１が第２の回転盤２９を回転させる駆動モータ１９Ｂ及び前記ノズル軸体２８Ａを回動させるθ軸駆動モータ５２を制御することにより、前記Ｘ方向及びＹ方向のズレを補正することができる。従って、受け渡される吸着取出ノズル２６に吸着保持されたチップ部品Ａと吸着装填ノズル２８の位置とを極力一致させることにより、第１の回転盤２７に設けられた吸着取出ノズル２６に吸着保持されたチップ部品Ａをこの吸着取出ノズル２６から第２の回転盤２９に設けられた吸着装填ノズル２８に確実に受け渡すことができる。
【００２８】
そして、この第２の回転盤２９の受継ぎステーションで受け継いで、時計方向に第２の回転盤２９が回転して装着ステーション及びリカバリ装填ステーション（受継ぎステーションを１番目として６番目と７番目）において吸着装填ノズル２８が前記テープ４のテープ本体４Ａ上方に位置するように両回転盤２７、２９が配設される。
【００２９】
即ち、２本の吸着装填ノズル２８が前記テープ４のテープ本体４Ａ上方に位置するように第２の回転盤２９を配設すると、両回転盤２７、２９は８分割間欠回転するので、前記装着ステーションにおける第２の回転盤２９の中心と吸着装填ノズル２８と結んだラインとテープ４の走行ラインとで作る角度は６７．５となり、第１の回転盤２７の受渡しステーションと第２の回転盤２９の受継ぎステーションとは２２．５度ずれて受継ぐように両回転盤２７、２９が配設されることとなる。
【００３０】
この第２の回転盤２９の受継ぎステーションの次の次のステーションは、特性検査装置８１によりチップ部品の特性を検査する検査ステーションで、例えばチップ部品に流れる電流値を検査して、その電流値がＲＡＭ９２に格納された所定範囲内にあるかどうかが検査させる。ここで、所定範囲内になければ、ＣＰＵ９１はテープ本体４Ａに装填せずに、後述する専用トレイ（図示せず）内に収納するように制御する。
【００３１】
この検査ステーションの次の認識ステーションには装填部品認識カメラ８３が配設され、吸着装填ノズル２８に吸着保持されたチップ部品Ａをこの装填部品認識カメラ８３で撮像して認識処理装置９６により当該チップ部品Ａのノズルに対する位置が認識されると共に外観検査（バンプが所定数あるか等）がなされる。この外観検査により不良チップ部品とされると、ＣＰＵ９１はテープ本体４Ａに装填せずに、前記専用トレイ内に収納するように制御する。
【００３２】
次の次のステーションは収納テープ４の収納溝４Ｂ内に吸着装填ノズル２８に保持されたチップ部品を装填する装填ステーションで、前記装填部品認識カメラ８３により吸着装填ノズル２８に保持されたチップ部品Ａが撮像される。また、この装填ステーションでは、吸着装填ノズル２８に保持されたチップ部品を装填する前に装填すべき収納溝４Ｂの位置を把握するために、ポケット認識カメラ８２が装填すべき収納溝４Ｂを撮像される。そして、前記装填部品認識カメラ８３及びポケット認識カメラ８２の撮像結果を認識処理装置９６が認識処理し、認識処理された結果に基づき、θ方向（平面方向における角度）及び平面方向（ＸＹ方向）のズレについて補正した状態でチップ部品を装填する。
【００３３】
即ち、ＣＰＵ９１がθ方向のズレについてはθ軸駆動モータ５２を補正制御して円筒体６２及びノズル軸体２８Ａを介してこの軸体２８Ａに偏心した位置に設けられた吸着装填ノズル２８を回動させ、平面方向のズレについては前記Ｘ軸駆動モータ１６及びＹ軸駆動モータ１３を補正制御してＸテーブル１８及びＹテーブル１５を補正移動させて、取付板１１を介して搬送レール８及びこの搬送レール８に沿って移動するテープ本体４ＡをＸ方向に補正移動させる。
【００３４】
この場合、当該装填ステーションに移動した吸着装填ノズル２８が認識ステーションにあったときに、第１の回転盤２７の認識ステーションにあった吸着取出ノズル２６に保持されたチップ部品Ａを次の次の次の受渡しステーションで補正する第２の回転盤２９の回転補正量をも加味して（当該電子部品の認識ステーションでの認識処理結果に加えて）、第２の回転盤２９の装填ステーションにおいてＣＰＵ９１がθ軸駆動モータ５２、前記Ｘ軸駆動モータ１６及びＹ軸駆動モータ１３を補正制御するものである。
【００３５】
このため、収納溝４Ｂ内の適正位置に、Ｚ軸駆動モータ５７の駆動により下降する吸着装填ノズル２８によりチップ部品Ａを装填することができることとなる。従って、テープ本体４Ａ側で平面方向の補正動作を行い、吸着装填ノズル２８側で角度方向（θ）の補正動作を行うから、全てを吸着装填ノズル２８側で行う構造に比べて、可動部が軽量化でき、高速化及び多機能化に対応できる。
【００３６】
この装填ステーションでのチップ部品Ａの装填動作について、説明する。前述したように、Ｚ軸駆動モータ５７の駆動により吸着装填ノズル２８が下降し、チップ部品Ａをテープ本体４Ａの収納溝４Ｂに装填するが、この装填の際、図示しない真空源に真空路を介して連通していた吸着装填ノズル２８は、ソレノイドバルブの切替え動作によりその真空を開放すると共に逆にノズル２８に形成した吸着孔より空気を吹き出すことにより収納溝４Ｂ底面上にチップ部品Ａを落下させて、この収納溝４Ｂ内に装填する。
【００３７】
更に、次のリカバリ装填ステーションには印字検査カメラ８５が設けられ、第２の回転盤２９の旋回移動中にこのステーションに位置する収納溝４Ｂ内に装填されたチップ部品Ａを撮像し、認識処理装置９６で認識処理してテープ本体４Ａに装填されたチップ部品Ａの有無、前記チップ部品の表裏、印字の向き（チップ部品Ａの向き）を検査する。
【００３８】
ここで、図１１に示すように、所定の厚さを有して平面視矩形状を呈するチップ部品Ａは、レーザー加工され、レーザマーキング加工により表面が溶融されて平らになると共に酸化して黒く見え（黒色）、表面の丸の部分（位置決めマーク）ＡＡや、文字・数字部分（シリアル番号）ＡＢは刻印され（凹部が形成されている。）、標章が付された状態となる。また、丸の部分ＡＡや文字・数字部分ＡＢ以外の表面部分ＡＣは研磨痕で若干荒れている状態なので、当った照明光は拡散して印字検査カメラ８５に光が入射する。
【００３９】
従って、図１２に示すように、リカバリ装填ステーションにおいて、前記搬送レール８により搬送されるテープ本体４Ａの収納溝４Ｂ内に装填されたチップ部品Ａを照明装置１００で照射した場合、刻印された丸部分ＡＡや文字・数字部部分ＡＢはそれぞれの部分以外の研磨痕があり若干荒れている表面部分ＡＣより平ら（平滑又は鏡面）なので、斜めからの照明光は上方には反射されず、印字検査カメラ８５による撮像画像は酸化で黒くなったうえに、さらに黒くなる。この結果、丸の部分ＡＡや文字・数字部分ＡＢとそれ以外の表面部分ＡＣとの間で明暗の違いが出る。即ち、前記印字検査カメラ８５で撮像された前記チップ部品Ａの前記表面部分ＡＣは乱反射して、乱反射した光が印字検査カメラ８５に入り、画像が白色となるが、丸の部分ＡＡや文字・数字部分ＡＢは正反射して印字検査カメラ８５に入射しないため、黒色となる。
【００４０】
そして、前記テープ本体４Ａの収納溝４Ｂ内に装填されたチップ部品Ａの撮像画像が図１７の（イ）〜（ホ）に示すような場合には、即ち図１１と比べて、図１７（イ）の場合は左に９０度回転した状態で、図１７（ロ）の場合は右に９０度回転した状態で、図１７（ハ）の場合は右又は左に１８０度回転した状態で、図１７（ニ）の場合はボールＡＤがある裏面が上面の状態で、図１７（ホ）の場合はチップ部品Ａが無い状態であるが、いずれの場合もチップ部品Ａの収納溝４Ｂ内での向きが異常、チップ部品の表裏が異なることによる異常、チップ部品Ａが無いことによる異常であると判定される。
【００４１】
前記照明装置１００は、前記リカバリ装填ステーションにおいて前記搬送レール８に沿って搬送されるテープ本体４Ａを挟んで対向するように配設される一対の照明装置１００Ａ、１００Ｂとから構成され、それぞれ前記搬送レール８に沿って搬送されるテープ本体４Ａの収納溝４Ｂ内に装填されたチップ部品Ａに向けて均一でムラの無い照射光を照射する。しかも、両照明装置１００Ａ、１００Ｂ間を回転する前記第２の回転盤２９に配設された吸着装填ノズル２８がチップ部品Ａを前記収納溝４Ｂ内に装填した後に接触することなく通過できるように、両照明装置１００Ａ、１００Ｂは間隔を存して配設される。
【００４２】
ここで、一方の照明装置１００Ａについて、図１４及び図１５に基づいて、説明する。この照明装置１００Ａは右側面が開口した箱状を呈し、テープ本体４Ａの収納溝４Ｂ内に装填されたチップ部品Ａの表面における所定位置Ｌ（例えば、中心位置）に向けてそれぞれ照射できるように、前記所定位置Ｌから等距離の位置に、即ち前記所定位置Ｌを中心とした円の一部の円周上に複数の発光体であるＬＥＤ１０１が配設される。
【００４３】
従って、一対の照明装置１００Ａ、１００Ｂの各ＬＥＤ１０１群の照射光は向かい合う方向に照射するように、一対の照明装置１００Ａ、１００Ｂはテープ本体４Ａを挟んで対向するように配設される
しかも、前記収納溝４Ｂ内に装填されたチップ部品Ａに付された丸の部分ＡＡや文字・数字部分ＡＢを形成する刻印とそれ以外の表面部分ＡＣとの明暗のコントラスト（差）がはっきりするような傾斜した照射光となるように、前記複数のＬＥＤ１０１は前記チップ部品Ａの表面に対してなるべく、低く傾斜して配設されている。この場合、例えば前記刻印の深さが０．１〜０．３μｍである場合には、照射光の傾斜角度は１０〜１５度程度となるように（図１５参照）、前記複数のＬＥＤ１０１は配設される。
【００４４】
そして、この複数のＬＥＤ１０１の照射方向の側方には平面視円弧状の拡散板１０２が配設され、よりチップ部品Ａに照射される光が均一となるように構成される（図１４参照）。また、照明装置１００Ａ、１００Ｂとテーピング装置本体の部品装填機構等の構造物との干渉を避けるためにも、前記ＬＥＤ１０１を傾斜させて配置し、各照明装置１００Ａ、１００Ｂの高さを極力低く抑えている。
【００４５】
なお、１０４は同軸照明装置で、前記テープ本体４Ａの前記収納溝４Ｂを印字検査カメラ８５が撮像する際に光を照射して使用するものであるが、仮に上方から前記収納溝４Ｂ内の前記チップ部品Ａに光を照射した場合、その反射光はチップ部品Ａの表面状態に大きく左右されて、撮像画像において丸の部分ＡＡや文字・数字部分ＡＢは表面が平らで光は正反射して印字検査カメラ８５に入射するために白く、それ以外の表面部分ＡＣは研磨痕で若干荒れているので丸の部分ＡＡや文字・数字部分ＡＢほどではないものの同様に白色となるので、丸の部分ＡＡや文字・数字部分ＡＢとそれ以外の表面部分ＡＣとのコントラストが小さいので、前述したように、前記照明装置１００の前記複数のＬＥＤ１０１による照射光は前記チップ部品Ａの表面に対してなるべく、低く傾斜して配設することにより、コントラストが大きくなるものである。
【００４６】
また前記リカバリ装填ステーションには、図８及び図９に示すように、テープ本体４Ａを搬送するための一対の搬送レール８の一方の搬送レール８Ａに上下調整可能に支持された吸引又は吹き出し通路形成部材８４が設けられる。即ち、この通路形成部材８４には縦方向に伸びた一対の調整孔８６が開設され、この調整孔８６を介してボルト８７を締め付けることにより、任意の上下位置にて、即ち一対の搬送レール８に支持されたテープ本体４Ａの底面とその上面が一定の間隔を存して通路形成部材８４を一方の搬送レール８Ａに固定することができる。
【００４７】
そして、テープ本体４Ａの各収納溝４Ｂを形成する部品載置面には開口４Ｄが開設されており、リカバリ装填ステーションにおける収納溝４Ｂの開口４Ｄに対応する位置の前記通路形成部材８４にはＬ字形状に延びた連通路９０が形成され、通路形成部材８４の上面には開口４Ｄに対向して開口９０Ａが形成されている。
【００４８】
次に、図１６に示す印字検査に係るフローチャートに基づいて、印字検査及びチップ部品Ａのリカバリについて説明する。先ず、前述したように、装填ステーションで、前記装填部品認識カメラ８３が吸着装填ノズル２８に保持されたチップ部品Ａが撮像すると共にポケット認識カメラ８２が前記テープ本体４Ａの装填すべき収納溝４Ｂを撮像して、両撮像結果を認識処理装置９６が認識処理する（ステップＳ０１）。
【００４９】
そして、前記認識処理装置９６が認識処理した結果に基づき、θ方向（平面方向における角度）及び平面方向（ＸＹ方向）のズレについて補正した状態で、チップ部品Ａを前記収納溝４Ｂ内に装填する（ステップＳ０２）。
【００５０】
次いで、ＣＰＵ９１は印字検査を行うように制御する（ステップＳ０３）。即ち、リカバリ装填ステーションで第２の回転盤２９の旋回移動中にこのステーションに位置する収納溝４Ｂ内に装填されたチップ部品Ａを印字検査カメラ８５が撮像するが、前記通路形成部材８４の連通路９０、開口９０Ａ及び前記収納溝４Ｂの部品載置面に開設された開口４Ｄを介して空気を吸引して部品載置面上に前記チップ部品Ａを吸い付けた状態でチップ部品Ａの姿勢を安定状態にして前記収納溝４Ｂ内のチップ部品Ａを印字検査カメラ８５が撮像する。この撮像された画像に基づき、認識処理装置９６で認識処理してテープ本体４Ａの収納溝４Ｂに装填されたチップ部品Ａの有無、前記チップ部品の表裏、印字の向き（チップ部品Ａの向き）を検査する。
【００５１】
この場合、前記照明装置１００を構成する一対の照明装置１００Ａ、１００Ｂの複数のＬＥＤ１０１が前記収納溝４Ｂ内のチップ部品Ａに光を拡散板１０２を介して均一に照射して、しかもチップ部品Ａに付された丸の部分ＡＡや文字・数字部分ＡＢを形成する刻印とそれ以外の表面部分ＡＣとの明暗のコントラスト（差）がはっきりするような傾斜した照射光となるように照射して、前記印字検査カメラ８５が撮像した画像において、丸の部分ＡＡや文字・数字部分ＡＢとそれ以外の表面部分ＡＣとの明暗のコトラストが大きくなって、丸の部分ＡＡや文字・数字部分ＡＢが黒色に、それ以外の表面部分ＡＣは白色に撮像でき、チップ部品Ａの有無、前記チップ部品の表裏、印字の向き（チップ部品Ａの向き）を検査することができる。
【００５２】
次に、その検査した結果が良好か不良であるかを判定する（ステップＳ０４）。不良である場合には、ＣＰＵ９１は以下のように制御する。即ち、前記吸着装填ノズル２８で前記収納溝４Ｂの上面開口部を覆い、前記通路形成部材８４の連通路９０、開口９０Ａ及び前記収納溝４Ｂの部品載置面に開設された開口４Ｄを介する空気の吸引から吹き出しに変更してチップ部品Ａを揺動させた後、再度前記通路形成部材８４の連通路９０、開口９０Ａ及び前記収納溝４Ｂの部品載置面に開設された開口４Ｄを介して空気を吸引して部品載置面上に前記チップ部品を吸い付け、前記吸着装填ノズル２８のエスケープ（前記収納溝４Ｂの上面開口部より逃げて）後に、再度前記収納溝４Ｂ内のチップ部品Ａを印字検査カメラ８５が撮像して再検査する（ステップＳ０５）。
【００５３】
なお、最初の吸引動作を行っても、収納溝４Ｂ内にチップ部品Ａが斜めに収納されていた場合でも、以上のようにすることにより、チップ部品Ａの姿勢を修正、即ち斜めの状態から水平の状態にすることができ、２度目の検査結果が良好な場合には、最初の検査の誤認によってチップ部品を廃棄することなく、救済して利用することができることとなる。
【００５４】
そして、このようにして再検査してもなお、認識処理装置９６による認識結果によりＣＰＵ９１が不良と判定した場合には、前記装填ステーションで装填を終えた吸着装填ノズル２８がこのリカバリ装填ステーションに位置する収納溝４Ｂよりチップ部品Ａを取出して廃棄し、またこのとき前記装填ステーションで吸着保持していたチップ部品Ａを装填しようとしていた吸着装填ノズル２８は装填せずに待機するように制御されて前記装填部品認識カメラ８３がこの吸着保持されているチップ部品Ａを撮像すると共にポケット認識カメラ８２がチップ部品Ａが取出されて空となったリカバリ装填すべき収納溝４Ｂを撮像して、両撮像結果を認識処理装置９６が認識処理する（ステップＳ０１）。
【００５５】
そして、前記認識処理装置９６が認識処理した結果に基づき、θ方向（平面方向における角度）及び平面方向（ＸＹ方向）のズレについて補正した状態でチップ部品Ａを前記収納溝４Ｂ内に装填し（ステップＳ０９）、ステップＳ０４に戻る。
【００５６】
なお、ＣＰＵ９１が前述したステップＳ０４で印字検査が良好と判定したり、ステップＳ０５の印字再検査で良好と判定した場合には、次に予定した生産個数に達したか否かを判定して（ステップＳ０９）、達していないと判定した場合にはステップＳ０１に戻り、また達したと判定した場合には印字検査が終了したかを判定する（ステップＳ０９）。そして、印字検査が終了していないと判定した場合にはステップＳ０４に戻るが、終了したと判定した場合には終了する。
【００５７】
前述したように、部品装填機構５０によるテープ本体４Ａの収納溝４Ｂ内へチップ部品Ａが挿入された後は、テープ圧着機構８６によりテープ本体４Ａとカバーテープ４Ｃとが圧着され、巻取り収納リール９に巻き取られることとなる。
【００５８】
以上本発明の実施態様について説明したが、上述の説明に基づいて当業者にとって種々の代替例、修正又は変形が可能であり、本発明はその趣旨を逸脱しない範囲で前述の種々の代替例、修正又は変形を包含するものである。
【符号の説明】
【００５９】
４Ａ テープ本体
４Ｂ 収納溝
２８ 吸着装填ノズル
２９ 第２の回転盤
８５ 印字検査カメラ
１００ 照明装置
１００Ａ、１００Ｂ 照明装置
１０１ ＬＥＤ
Ａ チップ部品
【技術分野】
【０００１】
本発明は、送り装置により送られる部品収納テープの各収納凹部内にチップ部品を吸着ノズルにより順次装填した後、カバーテープで当該収納凹部の開口部を閉塞する前にこの収納凹部内のチップ部品を認識カメラが撮像し、認識処理装置で認識処理して当該チップ部品を検査するテーピング装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の部品実装装置は、例えば特許文献１などに開示されているが、カバーテープで当該収納凹部の開口部を閉塞する前に、この収納凹部内のチップ部品の表裏、このチップ部品の前記収納凹部内の向き、このチップ部品の有無などを検査している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００６−３０６４５７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、前記チップ部品は表裏や向きがわかるように、このチップ部品に文字や図形などの標章が刻印されているが、この刻印の深さが浅いと、前記収納凹部内のチップ部品を前記認識カメラが撮像しても、その撮像画像を認識処理装置が認識処理しても前記チップ部品の表裏や向きの区別ができない場合が発生することがあった。
【０００５】
そこで本発明は、チップ部品の表裏や向きがわかるように付された刻印の深さが浅くとも、確実に前記収納凹部内のチップ部品の状態を認識できるようにすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
このため第１の発明は、送り装置により送られるテープ本体の各収納凹部内にチップ部品を装填保持具により順次装填した後、カバーテープで前記収納凹部の開口部を閉塞する前にこの収納凹部内に装填された前記チップ部品を認識カメラが撮像し、認識処理装置で認識処理して当該チップ部品の状態を検査するテーピング装置において、前記収納凹部内に装填された前記チップ部品の表面に向けてそれぞれ照射できるように複数の発光体が配設された一対の照明装置を、この一対の照明装置の各発光体群の照射光は向かい合う方向に照射するように前記テープ本体を挟んで対向するように配設すると共に、前記収納凹部内に装填された前記チップ部品に付された標章を形成する刻印への照射光によるこの刻印からの正反射とこの刻印以外のその他の部分への照射光によるその他の部分からの乱反射とにより前記刻印と前記その他の部分との明暗の差ができるように、前記一対の照明装置の各発光体を前記チップ部品に対して傾斜させたことを特徴とする。
【０００７】
第２の発明は、第１の発明において、前記テープ本体の各収納凹部内に前記チップ部品を装填した前記装填保持具が前記一対の照明装置間を通過できるように前記一対の照明装置を配設したことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明は、チップ部品の表裏や向きがわかるように付された刻印の深さが浅くとも、確実に前記収納凹部内のチップ部品の状態を認識できる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】テーピング装置を示す平面図である。
【図２】テーピング装置の正面図である。
【図３】テーピング装置の右側面図である。
【図４】部品取出し機構を説明するための図である。
【図５】部品装填機構を説明するための図である。
【図６】第１及び第２の回転盤の停止状態の平面図である。
【図７】第１及び第２の回転盤の旋回移動中の平面図である。
【図８】搬送レールの正面図である。
【図９】搬送レールの縦断側面図である。
【図１０】本テーピング装置の制御ブロック図である。
【図１１】チップ部品の平面図である。
【図１２】吸着装填ノズルを備えた第２の回転盤、印字検査カメラ、照明装置、チップ部品などの位置関係を示すための簡略した説明図である。
【図１３】照明装置とチップ部品との関係を示す図である。
【図１４】一方の照明装置の平面図である。
【図１５】図１４の縦断面図である。
【図１６】フローチャートを示す図である。
【図１７】収納溝内に装填されたチップ部品の画像を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明の移載装置としてのテーピング装置の実施形態について、図面を参照しながら説明する。先ず、図１のテーピング装置の平面図、図２の同じく正面図、図３の右側面図に基づき、テーピング装置について説明する。１はテーピング装置本体で、この本体１の側壁部に立設されたピン２にキャリアテープ供給リール３が回転可能に係止され、当該テープ供給リール３に巻装されたテープ本体（キャリアテープとも称される。）４Ａの先端が当該テープ本体４Ａに適度なテンションを与えるためのプーリ５、送りプーリ６、７及びテープ本体４Ａなどの搬送路を有する搬送レール８を介して巻取り収納リール９に固定されている。
【００１１】
そして、送り装置を構成する図示しない回転駆動系による巻取り収納リール９の回転に合わせて順次テープ本体４Ａが所定量搬送されて（巻取り収納リール９に巻取られて）いく間で、テープ本体４Ａの収納溝（収納凹部）４Ｂ内に後述するチップ部品Ａが挿入（装填）され、更に所定位置まで搬送されて収納溝４Ｂ上面の開口部をカバーテープ供給リール１０から供給されるカバーテープ４Ｃで被覆した後、前記巻取り収納リール９に巻取られていく。尚、上述したように、所定間隔を存して収納溝４Ｂが設けられたテープ本体４Ａと、その上面に圧着されるカバーテープ（トップテープ）４Ｃとで収納テープ４が形成されるが、前記テープ本体４Ａはいわゆるエンボステープである。
【００１２】
尚、前記送りプーリ６、７、搬送レール８及びカバーテープ供給リール１０などは、取付板１１に設けられている。そして、テーピング装置本体１に固定された固定板１２上にはＹ軸駆動モータ１３により駆動されてガイド１４に案内されてＹ方向に移動するＹテーブル１５が設けられ、このＹテーブル１５上にはＸ軸駆動モータ１６により駆動されてガイド１７に案内されてＸ方向に移動するＸテーブル１８が設けられ、このＸテーブル１８に前記取付板１１が固定されている。
【００１３】
従って、Ｘ軸駆動モータ１６及びＹ軸駆動モータ１３の駆動によりＸテーブル１８及びＹテーブル１５が移動することにより、取付板１１を介して前記搬送レール８及びこの搬送レール８に沿って移動するテープ本体４ＡなどがＸＹ方向に移動できる。
【００１４】
また、テーピング装置本体１の上にはＹ軸駆動モータ２０によりＹ方向に移動可能なＹテーブル２１が設けられ、更に該Ｙテーブル２１の上にはＸ軸駆動モータ２２によりＸ方向に移動可能なＸ移動体２３を介してチップ部品供給テーブル２４が設けられる。該供給テーブル２４上にはシートに貼付されたウエハがダイシングされて個々のダイ（以下、「チップ部品Ａ」という）に分割された状態で且つ端子を有する面を上面とした状態で固定されており、このチップ部品Ａは裏面より突き上げピン（図示せず）により突き上げられながら、後述する吸着取出ノズル２６で吸着されて取出されるものである。
【００１５】
前記テーピング装置本体１に固定された上取付板２５にはチップ部品供給テーブル２４からチップ部品Ａを取出す吸着取出ノズル２６が所定間隔を存して周縁部に、例えば８本配設されて駆動モータ１９Ａの駆動により第１のインデキシングカムユニット３０を介して間欠回転する第１の回転盤２７が設けられ、また上取付板２５にはＸ軸駆動モータ８８及びＹ軸駆動モータ８９によりＸＹ方向に移動するＸＹテーブル（図示せず）を介して前記収納溝４Ｂにチップ部品Ａを装填する吸着装填ノズル２８が所定間隔を存して周縁部に、例えば８本配設されて駆動モータ１９Ｂの駆動により第２のインデキシングカムユニット３１を介して間欠回転する第２の回転盤２９とが設けられる。
【００１６】
この第１の回転盤２７と第２の回転盤２９とは同期して間欠回転するものであり、２つの回転盤２７、２９の吸着取出ノズル２６と吸着装填ノズル２８とを対応させることができ、チップ部品Ａを吸着取出ノズル２６から吸着装填ノズル２８に受け渡すことができる。また、両回転盤の回転半径を同一にすることにより、回転割出し精度（分解能）を同一にすることができる。
【００１７】
次に、部品取出機構３５について、図４に基づき詳述する。前記第１の回転盤２７の周縁部には吸着取出ノズル２６が８本配設されており、各反転装置３６により各吸着取出ノズル２６は上下反転可能に設けられる。即ち、反転駆動モータ３７の駆動によりカップリング３８を介して駆動軸３９が回転すると、駆動軸３９に固定された取付体４０も回転し、前記取出ノズル２６は上下反転される。
【００１８】
また、前記取付体４０に設けられたガイド４１に沿ってガイド４２が上下動可能であるため、このガイド４２に固定されたノズル取付体４３に取付けられた吸着取出ノズル２６は上下動可能となるが、この吸着取出ノズル２６は前記取付体４０の上辺４０Ａとノズル取付体４３の下辺４３Ａとの間に張架されたスプリング４４により常時上方に付勢されていて、ストッパ４５が前記取付体４０の上辺４０Ａに係止されることにより上限は規制される。
【００１９】
また、Ｚ軸駆動モータ４６の駆動によりガイド４７により上下動可能な作動体４８の作動部４８Ａがノズル取付体４３の頭部を押圧することにより前記吸着取出ノズル２６は下降することができ、例えばチップ部品供給テーブル２４上のチップ部品Ａを取出すことができる。
【００２０】
次に、部品装填機構５０について、図５に基づき詳述する。前記第２の回転盤２９の周縁部には吸着装填ノズル２８が８本配設されており、各回転装置５１により吸着装填ノズル２８を偏心した位置に備えたノズル軸体２８Ａが軸芯方向を中心として回転可能に設けられる。即ち、θ軸駆動モータ５２の駆動軸に設けられたプーリ５３と円筒体６２の周囲に固定されたプーリ５４との間に伝達ベルト５５が張架され、円筒体６２はベアリング５６を介して前記第２の回転盤２９に回動可能に設けられる。
【００２１】
また、前記吸着装填ノズル２８は、Ｚ軸駆動モータ５７の駆動によりガイド５８により上下動可能な作動体５９の作動部５９Ａがノズル取付体６０の突部６０Ａに押圧することによりガイド６１に案内されて下降することができ、吸着保持しているチップ部品Ａを搬送レール８上のテープ本体４Ａの収納溝４Ｂ内に装填することができる。即ち、ノズル軸体２８Ａは円筒体６２内で上下に移動可能であり且つ円筒体６２と共にθ回転可能であるので、このノズル軸体２８Ａ下部の偏心した位置に設けられた吸着装填ノズル２８も上下に移動可能でθ回転可能である。
【００２２】
ここで、図１０に基づき、本テーピング装置の制御ブロック図について説明すると、９１はテーピング装置のチップ部品Ａの装填に係る動作を統括制御する制御装置としてのＣＰＵ、９２はチップ部品Ａの種類毎の厚さデータや、各吸着取出ノズル２６毎の高さレベルデータ等を格納するＲＡＭ（ランダム・アクセス・メモリ）及び９３はＲＯＭ（リ−ド・オンリー・メモリ）である。そして、ＣＰＵ９１は前記ＲＡＭ９２に記憶されたデータに基づき、前記ＲＯＭ９３に格納されたプログラムに従い、テーピング装置のチップ部品Ａの装填に係る動作を統括制御する。即ち、ＣＰＵ９１は、駆動回路９４及びインターフェース９５を介して各駆動モータの駆動を制御している。
【００２３】
また、９６はインターフェース９５を介して前記ＣＰＵ９１に接続される認識処理装置で、各認識カメラにより撮像して取込まれた画像の認識処理が該認識処理装置９６にて行われ、ＣＰＵ９１に処理結果が送出される。即ち、ＣＰＵ９１は、各認識カメラに撮像された画像を認識処理（位置ずれ量の算出など）するように指示を認識処理装置９６に出力すると共に、認識処理結果を認識処理装置９６から受取るものである。
【００２４】
次に、図６及び図７に示すように、第１の回転盤２７の１２時に位置するステーションは、チップ部品供給テーブル２４から吸着取出ノズル２６がチップ部品Ａを吸着して取出す吸着取出ステーションである。この吸着取出ステーションでは、第１の回転盤２７の旋回移動中にチップ部品供給テーブル２４上の次に取出すべきチップ部品Ａを部品認識カメラ６３で撮像して、当該チップ部品Ａの位置を認識処理装置９６で認識処理し、ＣＰＵ９１がこの取出すべきチップ部品Ａを移動してくる吸着取出ノズル２６の直下方位置に位置するよう前記Ｙ軸駆動モータ２０及びＸ軸駆動モータ２２を駆動させてチップ部品供給テーブル２４を移動させ、この吸着取出ステーションでチップ部品供給テーブル２４上のチップ部品ＡをＺ軸駆動モータ４６の駆動により吸着取出ノズル２６が下降して吸着して取出す。
【００２５】
次に、駆動モータ１９Ｂの駆動により第２のインデキシングカムユニット３１を介して第２の回転盤２９が時計方向に間欠回転すると共に駆動モータ１９Ａの駆動により第１のインデキシングカムユニット３０を介して第１の回転盤２７を反時計方向に同期間欠回転させる。この第１の回転盤２７の反時計方向に１間欠回転して停止するステーションは、前記反転装置３６により吸着取出ノズル２６に保持されたチップ部品Ａを上下反転させる反転ステーションであり、その次のステーションはこの反転されたチップ部品Ａの位置を部品認識カメラ６５により撮像して認識処理装置９６で認識処理する認識ステーションである。
【００２６】
前記吸着取出ステーションを１番目として反時計方向に回転した６番目が受渡しステーションであり、前記反転装置３６により上下反転された吸着取出ノズル２６のチップ部品Ａを第２の回転盤２９の吸着装填ノズル２８に受け渡す。この第１の回転盤２７の受渡しステーション、言い換えると、第２の回転盤２９の受継ぎステーションでは、吸着取出ノズル２６に吸着保持されたチップ部品Ａを前記部品認識カメラ６５が撮像して認識処理装置９６が認識処理した結果によるＸ方向及びＹ方向のズレが第２の回転盤２９の回転角度補正及び前記ノズル軸体２８Ａの回動による偏心した吸着装填ノズル２８の位置補正により解消される。
【００２７】
即ち、前記部品認識カメラ６５の撮像に基づく認識処理装置９６の認識処理結果に基づいて、ＣＰＵ９１が第２の回転盤２９を回転させる駆動モータ１９Ｂ及び前記ノズル軸体２８Ａを回動させるθ軸駆動モータ５２を制御することにより、前記Ｘ方向及びＹ方向のズレを補正することができる。従って、受け渡される吸着取出ノズル２６に吸着保持されたチップ部品Ａと吸着装填ノズル２８の位置とを極力一致させることにより、第１の回転盤２７に設けられた吸着取出ノズル２６に吸着保持されたチップ部品Ａをこの吸着取出ノズル２６から第２の回転盤２９に設けられた吸着装填ノズル２８に確実に受け渡すことができる。
【００２８】
そして、この第２の回転盤２９の受継ぎステーションで受け継いで、時計方向に第２の回転盤２９が回転して装着ステーション及びリカバリ装填ステーション（受継ぎステーションを１番目として６番目と７番目）において吸着装填ノズル２８が前記テープ４のテープ本体４Ａ上方に位置するように両回転盤２７、２９が配設される。
【００２９】
即ち、２本の吸着装填ノズル２８が前記テープ４のテープ本体４Ａ上方に位置するように第２の回転盤２９を配設すると、両回転盤２７、２９は８分割間欠回転するので、前記装着ステーションにおける第２の回転盤２９の中心と吸着装填ノズル２８と結んだラインとテープ４の走行ラインとで作る角度は６７．５となり、第１の回転盤２７の受渡しステーションと第２の回転盤２９の受継ぎステーションとは２２．５度ずれて受継ぐように両回転盤２７、２９が配設されることとなる。
【００３０】
この第２の回転盤２９の受継ぎステーションの次の次のステーションは、特性検査装置８１によりチップ部品の特性を検査する検査ステーションで、例えばチップ部品に流れる電流値を検査して、その電流値がＲＡＭ９２に格納された所定範囲内にあるかどうかが検査させる。ここで、所定範囲内になければ、ＣＰＵ９１はテープ本体４Ａに装填せずに、後述する専用トレイ（図示せず）内に収納するように制御する。
【００３１】
この検査ステーションの次の認識ステーションには装填部品認識カメラ８３が配設され、吸着装填ノズル２８に吸着保持されたチップ部品Ａをこの装填部品認識カメラ８３で撮像して認識処理装置９６により当該チップ部品Ａのノズルに対する位置が認識されると共に外観検査（バンプが所定数あるか等）がなされる。この外観検査により不良チップ部品とされると、ＣＰＵ９１はテープ本体４Ａに装填せずに、前記専用トレイ内に収納するように制御する。
【００３２】
次の次のステーションは収納テープ４の収納溝４Ｂ内に吸着装填ノズル２８に保持されたチップ部品を装填する装填ステーションで、前記装填部品認識カメラ８３により吸着装填ノズル２８に保持されたチップ部品Ａが撮像される。また、この装填ステーションでは、吸着装填ノズル２８に保持されたチップ部品を装填する前に装填すべき収納溝４Ｂの位置を把握するために、ポケット認識カメラ８２が装填すべき収納溝４Ｂを撮像される。そして、前記装填部品認識カメラ８３及びポケット認識カメラ８２の撮像結果を認識処理装置９６が認識処理し、認識処理された結果に基づき、θ方向（平面方向における角度）及び平面方向（ＸＹ方向）のズレについて補正した状態でチップ部品を装填する。
【００３３】
即ち、ＣＰＵ９１がθ方向のズレについてはθ軸駆動モータ５２を補正制御して円筒体６２及びノズル軸体２８Ａを介してこの軸体２８Ａに偏心した位置に設けられた吸着装填ノズル２８を回動させ、平面方向のズレについては前記Ｘ軸駆動モータ１６及びＹ軸駆動モータ１３を補正制御してＸテーブル１８及びＹテーブル１５を補正移動させて、取付板１１を介して搬送レール８及びこの搬送レール８に沿って移動するテープ本体４ＡをＸ方向に補正移動させる。
【００３４】
この場合、当該装填ステーションに移動した吸着装填ノズル２８が認識ステーションにあったときに、第１の回転盤２７の認識ステーションにあった吸着取出ノズル２６に保持されたチップ部品Ａを次の次の次の受渡しステーションで補正する第２の回転盤２９の回転補正量をも加味して（当該電子部品の認識ステーションでの認識処理結果に加えて）、第２の回転盤２９の装填ステーションにおいてＣＰＵ９１がθ軸駆動モータ５２、前記Ｘ軸駆動モータ１６及びＹ軸駆動モータ１３を補正制御するものである。
【００３５】
このため、収納溝４Ｂ内の適正位置に、Ｚ軸駆動モータ５７の駆動により下降する吸着装填ノズル２８によりチップ部品Ａを装填することができることとなる。従って、テープ本体４Ａ側で平面方向の補正動作を行い、吸着装填ノズル２８側で角度方向（θ）の補正動作を行うから、全てを吸着装填ノズル２８側で行う構造に比べて、可動部が軽量化でき、高速化及び多機能化に対応できる。
【００３６】
この装填ステーションでのチップ部品Ａの装填動作について、説明する。前述したように、Ｚ軸駆動モータ５７の駆動により吸着装填ノズル２８が下降し、チップ部品Ａをテープ本体４Ａの収納溝４Ｂに装填するが、この装填の際、図示しない真空源に真空路を介して連通していた吸着装填ノズル２８は、ソレノイドバルブの切替え動作によりその真空を開放すると共に逆にノズル２８に形成した吸着孔より空気を吹き出すことにより収納溝４Ｂ底面上にチップ部品Ａを落下させて、この収納溝４Ｂ内に装填する。
【００３７】
更に、次のリカバリ装填ステーションには印字検査カメラ８５が設けられ、第２の回転盤２９の旋回移動中にこのステーションに位置する収納溝４Ｂ内に装填されたチップ部品Ａを撮像し、認識処理装置９６で認識処理してテープ本体４Ａに装填されたチップ部品Ａの有無、前記チップ部品の表裏、印字の向き（チップ部品Ａの向き）を検査する。
【００３８】
ここで、図１１に示すように、所定の厚さを有して平面視矩形状を呈するチップ部品Ａは、レーザー加工され、レーザマーキング加工により表面が溶融されて平らになると共に酸化して黒く見え（黒色）、表面の丸の部分（位置決めマーク）ＡＡや、文字・数字部分（シリアル番号）ＡＢは刻印され（凹部が形成されている。）、標章が付された状態となる。また、丸の部分ＡＡや文字・数字部分ＡＢ以外の表面部分ＡＣは研磨痕で若干荒れている状態なので、当った照明光は拡散して印字検査カメラ８５に光が入射する。
【００３９】
従って、図１２に示すように、リカバリ装填ステーションにおいて、前記搬送レール８により搬送されるテープ本体４Ａの収納溝４Ｂ内に装填されたチップ部品Ａを照明装置１００で照射した場合、刻印された丸部分ＡＡや文字・数字部部分ＡＢはそれぞれの部分以外の研磨痕があり若干荒れている表面部分ＡＣより平ら（平滑又は鏡面）なので、斜めからの照明光は上方には反射されず、印字検査カメラ８５による撮像画像は酸化で黒くなったうえに、さらに黒くなる。この結果、丸の部分ＡＡや文字・数字部分ＡＢとそれ以外の表面部分ＡＣとの間で明暗の違いが出る。即ち、前記印字検査カメラ８５で撮像された前記チップ部品Ａの前記表面部分ＡＣは乱反射して、乱反射した光が印字検査カメラ８５に入り、画像が白色となるが、丸の部分ＡＡや文字・数字部分ＡＢは正反射して印字検査カメラ８５に入射しないため、黒色となる。
【００４０】
そして、前記テープ本体４Ａの収納溝４Ｂ内に装填されたチップ部品Ａの撮像画像が図１７の（イ）〜（ホ）に示すような場合には、即ち図１１と比べて、図１７（イ）の場合は左に９０度回転した状態で、図１７（ロ）の場合は右に９０度回転した状態で、図１７（ハ）の場合は右又は左に１８０度回転した状態で、図１７（ニ）の場合はボールＡＤがある裏面が上面の状態で、図１７（ホ）の場合はチップ部品Ａが無い状態であるが、いずれの場合もチップ部品Ａの収納溝４Ｂ内での向きが異常、チップ部品の表裏が異なることによる異常、チップ部品Ａが無いことによる異常であると判定される。
【００４１】
前記照明装置１００は、前記リカバリ装填ステーションにおいて前記搬送レール８に沿って搬送されるテープ本体４Ａを挟んで対向するように配設される一対の照明装置１００Ａ、１００Ｂとから構成され、それぞれ前記搬送レール８に沿って搬送されるテープ本体４Ａの収納溝４Ｂ内に装填されたチップ部品Ａに向けて均一でムラの無い照射光を照射する。しかも、両照明装置１００Ａ、１００Ｂ間を回転する前記第２の回転盤２９に配設された吸着装填ノズル２８がチップ部品Ａを前記収納溝４Ｂ内に装填した後に接触することなく通過できるように、両照明装置１００Ａ、１００Ｂは間隔を存して配設される。
【００４２】
ここで、一方の照明装置１００Ａについて、図１４及び図１５に基づいて、説明する。この照明装置１００Ａは右側面が開口した箱状を呈し、テープ本体４Ａの収納溝４Ｂ内に装填されたチップ部品Ａの表面における所定位置Ｌ（例えば、中心位置）に向けてそれぞれ照射できるように、前記所定位置Ｌから等距離の位置に、即ち前記所定位置Ｌを中心とした円の一部の円周上に複数の発光体であるＬＥＤ１０１が配設される。
【００４３】
従って、一対の照明装置１００Ａ、１００Ｂの各ＬＥＤ１０１群の照射光は向かい合う方向に照射するように、一対の照明装置１００Ａ、１００Ｂはテープ本体４Ａを挟んで対向するように配設される
しかも、前記収納溝４Ｂ内に装填されたチップ部品Ａに付された丸の部分ＡＡや文字・数字部分ＡＢを形成する刻印とそれ以外の表面部分ＡＣとの明暗のコントラスト（差）がはっきりするような傾斜した照射光となるように、前記複数のＬＥＤ１０１は前記チップ部品Ａの表面に対してなるべく、低く傾斜して配設されている。この場合、例えば前記刻印の深さが０．１〜０．３μｍである場合には、照射光の傾斜角度は１０〜１５度程度となるように（図１５参照）、前記複数のＬＥＤ１０１は配設される。
【００４４】
そして、この複数のＬＥＤ１０１の照射方向の側方には平面視円弧状の拡散板１０２が配設され、よりチップ部品Ａに照射される光が均一となるように構成される（図１４参照）。また、照明装置１００Ａ、１００Ｂとテーピング装置本体の部品装填機構等の構造物との干渉を避けるためにも、前記ＬＥＤ１０１を傾斜させて配置し、各照明装置１００Ａ、１００Ｂの高さを極力低く抑えている。
【００４５】
なお、１０４は同軸照明装置で、前記テープ本体４Ａの前記収納溝４Ｂを印字検査カメラ８５が撮像する際に光を照射して使用するものであるが、仮に上方から前記収納溝４Ｂ内の前記チップ部品Ａに光を照射した場合、その反射光はチップ部品Ａの表面状態に大きく左右されて、撮像画像において丸の部分ＡＡや文字・数字部分ＡＢは表面が平らで光は正反射して印字検査カメラ８５に入射するために白く、それ以外の表面部分ＡＣは研磨痕で若干荒れているので丸の部分ＡＡや文字・数字部分ＡＢほどではないものの同様に白色となるので、丸の部分ＡＡや文字・数字部分ＡＢとそれ以外の表面部分ＡＣとのコントラストが小さいので、前述したように、前記照明装置１００の前記複数のＬＥＤ１０１による照射光は前記チップ部品Ａの表面に対してなるべく、低く傾斜して配設することにより、コントラストが大きくなるものである。
【００４６】
また前記リカバリ装填ステーションには、図８及び図９に示すように、テープ本体４Ａを搬送するための一対の搬送レール８の一方の搬送レール８Ａに上下調整可能に支持された吸引又は吹き出し通路形成部材８４が設けられる。即ち、この通路形成部材８４には縦方向に伸びた一対の調整孔８６が開設され、この調整孔８６を介してボルト８７を締め付けることにより、任意の上下位置にて、即ち一対の搬送レール８に支持されたテープ本体４Ａの底面とその上面が一定の間隔を存して通路形成部材８４を一方の搬送レール８Ａに固定することができる。
【００４７】
そして、テープ本体４Ａの各収納溝４Ｂを形成する部品載置面には開口４Ｄが開設されており、リカバリ装填ステーションにおける収納溝４Ｂの開口４Ｄに対応する位置の前記通路形成部材８４にはＬ字形状に延びた連通路９０が形成され、通路形成部材８４の上面には開口４Ｄに対向して開口９０Ａが形成されている。
【００４８】
次に、図１６に示す印字検査に係るフローチャートに基づいて、印字検査及びチップ部品Ａのリカバリについて説明する。先ず、前述したように、装填ステーションで、前記装填部品認識カメラ８３が吸着装填ノズル２８に保持されたチップ部品Ａが撮像すると共にポケット認識カメラ８２が前記テープ本体４Ａの装填すべき収納溝４Ｂを撮像して、両撮像結果を認識処理装置９６が認識処理する（ステップＳ０１）。
【００４９】
そして、前記認識処理装置９６が認識処理した結果に基づき、θ方向（平面方向における角度）及び平面方向（ＸＹ方向）のズレについて補正した状態で、チップ部品Ａを前記収納溝４Ｂ内に装填する（ステップＳ０２）。
【００５０】
次いで、ＣＰＵ９１は印字検査を行うように制御する（ステップＳ０３）。即ち、リカバリ装填ステーションで第２の回転盤２９の旋回移動中にこのステーションに位置する収納溝４Ｂ内に装填されたチップ部品Ａを印字検査カメラ８５が撮像するが、前記通路形成部材８４の連通路９０、開口９０Ａ及び前記収納溝４Ｂの部品載置面に開設された開口４Ｄを介して空気を吸引して部品載置面上に前記チップ部品Ａを吸い付けた状態でチップ部品Ａの姿勢を安定状態にして前記収納溝４Ｂ内のチップ部品Ａを印字検査カメラ８５が撮像する。この撮像された画像に基づき、認識処理装置９６で認識処理してテープ本体４Ａの収納溝４Ｂに装填されたチップ部品Ａの有無、前記チップ部品の表裏、印字の向き（チップ部品Ａの向き）を検査する。
【００５１】
この場合、前記照明装置１００を構成する一対の照明装置１００Ａ、１００Ｂの複数のＬＥＤ１０１が前記収納溝４Ｂ内のチップ部品Ａに光を拡散板１０２を介して均一に照射して、しかもチップ部品Ａに付された丸の部分ＡＡや文字・数字部分ＡＢを形成する刻印とそれ以外の表面部分ＡＣとの明暗のコントラスト（差）がはっきりするような傾斜した照射光となるように照射して、前記印字検査カメラ８５が撮像した画像において、丸の部分ＡＡや文字・数字部分ＡＢとそれ以外の表面部分ＡＣとの明暗のコトラストが大きくなって、丸の部分ＡＡや文字・数字部分ＡＢが黒色に、それ以外の表面部分ＡＣは白色に撮像でき、チップ部品Ａの有無、前記チップ部品の表裏、印字の向き（チップ部品Ａの向き）を検査することができる。
【００５２】
次に、その検査した結果が良好か不良であるかを判定する（ステップＳ０４）。不良である場合には、ＣＰＵ９１は以下のように制御する。即ち、前記吸着装填ノズル２８で前記収納溝４Ｂの上面開口部を覆い、前記通路形成部材８４の連通路９０、開口９０Ａ及び前記収納溝４Ｂの部品載置面に開設された開口４Ｄを介する空気の吸引から吹き出しに変更してチップ部品Ａを揺動させた後、再度前記通路形成部材８４の連通路９０、開口９０Ａ及び前記収納溝４Ｂの部品載置面に開設された開口４Ｄを介して空気を吸引して部品載置面上に前記チップ部品を吸い付け、前記吸着装填ノズル２８のエスケープ（前記収納溝４Ｂの上面開口部より逃げて）後に、再度前記収納溝４Ｂ内のチップ部品Ａを印字検査カメラ８５が撮像して再検査する（ステップＳ０５）。
【００５３】
なお、最初の吸引動作を行っても、収納溝４Ｂ内にチップ部品Ａが斜めに収納されていた場合でも、以上のようにすることにより、チップ部品Ａの姿勢を修正、即ち斜めの状態から水平の状態にすることができ、２度目の検査結果が良好な場合には、最初の検査の誤認によってチップ部品を廃棄することなく、救済して利用することができることとなる。
【００５４】
そして、このようにして再検査してもなお、認識処理装置９６による認識結果によりＣＰＵ９１が不良と判定した場合には、前記装填ステーションで装填を終えた吸着装填ノズル２８がこのリカバリ装填ステーションに位置する収納溝４Ｂよりチップ部品Ａを取出して廃棄し、またこのとき前記装填ステーションで吸着保持していたチップ部品Ａを装填しようとしていた吸着装填ノズル２８は装填せずに待機するように制御されて前記装填部品認識カメラ８３がこの吸着保持されているチップ部品Ａを撮像すると共にポケット認識カメラ８２がチップ部品Ａが取出されて空となったリカバリ装填すべき収納溝４Ｂを撮像して、両撮像結果を認識処理装置９６が認識処理する（ステップＳ０１）。
【００５５】
そして、前記認識処理装置９６が認識処理した結果に基づき、θ方向（平面方向における角度）及び平面方向（ＸＹ方向）のズレについて補正した状態でチップ部品Ａを前記収納溝４Ｂ内に装填し（ステップＳ０９）、ステップＳ０４に戻る。
【００５６】
なお、ＣＰＵ９１が前述したステップＳ０４で印字検査が良好と判定したり、ステップＳ０５の印字再検査で良好と判定した場合には、次に予定した生産個数に達したか否かを判定して（ステップＳ０９）、達していないと判定した場合にはステップＳ０１に戻り、また達したと判定した場合には印字検査が終了したかを判定する（ステップＳ０９）。そして、印字検査が終了していないと判定した場合にはステップＳ０４に戻るが、終了したと判定した場合には終了する。
【００５７】
前述したように、部品装填機構５０によるテープ本体４Ａの収納溝４Ｂ内へチップ部品Ａが挿入された後は、テープ圧着機構８６によりテープ本体４Ａとカバーテープ４Ｃとが圧着され、巻取り収納リール９に巻き取られることとなる。
【００５８】
以上本発明の実施態様について説明したが、上述の説明に基づいて当業者にとって種々の代替例、修正又は変形が可能であり、本発明はその趣旨を逸脱しない範囲で前述の種々の代替例、修正又は変形を包含するものである。
【符号の説明】
【００５９】
４Ａ テープ本体
４Ｂ 収納溝
２８ 吸着装填ノズル
２９ 第２の回転盤
８５ 印字検査カメラ
１００ 照明装置
１００Ａ、１００Ｂ 照明装置
１０１ ＬＥＤ
Ａ チップ部品
【特許請求の範囲】
【請求項１】
送り装置により送られるテープ本体の各収納凹部内にチップ部品を装填保持具により順次装填した後、カバーテープで前記収納凹部の開口部を閉塞する前にこの収納凹部内に装填された前記チップ部品を認識カメラが撮像し、認識処理装置で認識処理して当該チップ部品の状態を検査するテーピング装置において、前記収納凹部内に装填された前記チップ部品の表面に向けてそれぞれ照射できるように複数の発光体が配設された一対の照明装置を、この一対の照明装置の各発光体群の照射光は向かい合う方向に照射するように前記テープ本体を挟んで対向するように配設すると共に、前記収納凹部内に装填された前記チップ部品に付された標章を形成する刻印への照射光によるこの刻印からの正反射とこの刻印以外のその他の部分への照射光によるその他の部分からの乱反射とにより前記刻印と前記その他の部分との明暗の差ができるように、前記一対の照明装置の各発光体を前記チップ部品に対して傾斜させたことを特徴とするテーピング装置。
【請求項２】
前記テープ本体の各収納凹部内に前記チップ部品を装填した前記装填保持具が前記一対の照明装置間を通過できるように前記一対の照明装置を配設したことを特徴とする請求項１に記載のテーピング装置。
【請求項１】
送り装置により送られるテープ本体の各収納凹部内にチップ部品を装填保持具により順次装填した後、カバーテープで前記収納凹部の開口部を閉塞する前にこの収納凹部内に装填された前記チップ部品を認識カメラが撮像し、認識処理装置で認識処理して当該チップ部品の状態を検査するテーピング装置において、前記収納凹部内に装填された前記チップ部品の表面に向けてそれぞれ照射できるように複数の発光体が配設された一対の照明装置を、この一対の照明装置の各発光体群の照射光は向かい合う方向に照射するように前記テープ本体を挟んで対向するように配設すると共に、前記収納凹部内に装填された前記チップ部品に付された標章を形成する刻印への照射光によるこの刻印からの正反射とこの刻印以外のその他の部分への照射光によるその他の部分からの乱反射とにより前記刻印と前記その他の部分との明暗の差ができるように、前記一対の照明装置の各発光体を前記チップ部品に対して傾斜させたことを特徴とするテーピング装置。
【請求項２】
前記テープ本体の各収納凹部内に前記チップ部品を装填した前記装填保持具が前記一対の照明装置間を通過できるように前記一対の照明装置を配設したことを特徴とする請求項１に記載のテーピング装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【公開番号】特開２０１２−１８４０２９（Ｐ２０１２−１８４０２９Ａ）
【公開日】平成２４年９月２７日（２０１２．９．２７）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−４９６３６（Ｐ２０１１−４９６３６）
【出願日】平成２３年３月７日（２０１１．３．７）
【出願人】（３０００２２５０４）株式会社日立ハイテクインスツルメンツ (607)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２４年９月２７日（２０１２．９．２７）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年３月７日（２０１１．３．７）
【出願人】（３０００２２５０４）株式会社日立ハイテクインスツルメンツ (607)
【Ｆターム（参考）】
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