ディスク端面バニッシュ装置およびディスク端面バニッシュ方法
【課題】 本発明は、本発明は、ハードディスクドライブのディスクに関し、より詳細にはディスクの外周端面に付着した塵埃や汚れ等の付着物を除去するディスク端面バニッシュ装置およびディスク端面バニッシュ方法に関する。
【解決手順】 本発明のディスク端面バニッシュ装置は、ディスクの内周をチャックして回転するスピンドルと、クリーニングテープを走行させるテープ走行機構と、ローラとを備え、スピンドルに装着したディスクを鉛直面で回転し、ディスクの外周端面の最下位置で水平走行する前記クリーニングテープを当接し、クリーニングテープの裏面からローラをディスクの外周端面に押圧付勢してクリーニングテープを接触摺動させ、外周端面に付着した付着物をバニッシュする、よう構成する。
【解決手順】 本発明のディスク端面バニッシュ装置は、ディスクの内周をチャックして回転するスピンドルと、クリーニングテープを走行させるテープ走行機構と、ローラとを備え、スピンドルに装着したディスクを鉛直面で回転し、ディスクの外周端面の最下位置で水平走行する前記クリーニングテープを当接し、クリーニングテープの裏面からローラをディスクの外周端面に押圧付勢してクリーニングテープを接触摺動させ、外周端面に付着した付着物をバニッシュする、よう構成する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ハードディスクドライブのディスクに関し、より詳細にはディスクの外周端面に付着した塵埃や汚れ等の付着物を除去するディスク端面バニッシュ装置およびディスク端面バニッシュ方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ハードディスクドライブの組立工程では、ドライブエンクロージャにヘッドアセンブリや記録媒体であるディスク、制御回路を搭載したプリント基板等の組み込みを行なうが、これらはクリーンルーム等の環境の中で行なわれる。ハードディスクドライブは動作中において磁気ヘッドがディスク面上を数十ｎｍ程度浮上しながら記録および再生を行うためドライブエンクロージャに埃があるとその埃と衝突してヘッドクラッシュを起こすことから、組立作業中のドライブエンクロージャ内に埃の入らぬようクリーンルーム環境での組立作業となる。また、組立工程に供給される部品レベルにおいても、当然のことながらそれらに埃が付着されていることがあってはならない。このため、例えばディスクではそのディスクの製造段階でディスク両面をクリーニングし、密閉した無塵の容器に入れて組立工程に供給される。ディスクのクリーニングは、クリーニングテープをディスクの記録面両面に接触摺動させて塵埃や突起物を取り除くことが行なわれている。
【０００３】
前述した磁気ヘッドとディスク間の浮上量は高密度記録化に伴い、より低浮上化することが求められており、ドライブエンクロージャに組み込まれる部品においても付着する塵埃等は従来以上に清浄性が求められるようになってきている。このようなことから、ディスクにおいても従来の記録面に対するクリーニングに加えてディスク端面に対してもクリーン化に目が向けられるようになってきた。
【０００４】
上記のディスクのクリーニングに関連するものとして、光ディスクの端面をクリーニングする方法が提案されている。この提案は、光ディスクの端面にこの記録層の物質が付着していると（有機色素による記録層形成において付着する）見栄え悪く商品価値に乏しいことから端面に付着した物質を除去することを目的としている。この方法は、長尺のクリーニングベルトを間欠、または連続に送出し、そのクリーニングベルトに記録層である有機物質を溶解する溶剤を供給しながら回転するディスクの端面を接触させ、付着した記録層を拭き取るものである（特許文献１）。
【特許文献１】特開平５−２４２５３４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記に示したように、ハードディスクドライブの高密度記録化に伴い磁気ヘッドのディスク上を浮上する高さはますます低くなる方向にあり、ドライブエンクロージャ内への塵埃の侵入、あるいはドライブエンクロージャ内での塵埃の発生はあってはならない。このため、ドライブエンクロージャに組み込まれる部品の１つであるディスクにおいても高い清浄性が求められ、従来の記録面だけではなくディスク端面に対してもクリーニングすることが必要となってきている。
【０００６】
特許文献１に提案されている方法は、ヘッドクラッシュ防止のための塵埃除去を目的としたものではないがディスク端面をクリーニングする点では同一で効果的な方法と考える。しかしながら、ドライブエンクロージャ内への塵埃の侵入防止の観点からクリーニングを行なう場合には、ディスク端面に接触摺動するテープの当て方や除去した塵埃の再付着等を考慮する必要がある。
【０００７】
本発明は、ディスクの端面に付着する塵埃や汚れを効率良く短時間で取り除き、取り除かれた付着物の再付着の防止を考慮したディスク端面バニッシュ装置およびディスク端面バニッシュ方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明のディスク端面バニッシュ装置およびディスク端面バニッシュ方法は以下のように構成される。
（１）第１の発明
第１の発明のディスク端面バニッシュ装置は、スピンドルとテープ走行機構とローラとから構成する。スピンドルはディスクの内周をチャックして回転し、テープ走行機構はクリーニングテープを走行させるものである。そして、スピンドルを回転することによりスピンドルに装着したディスクを鉛直面で回転し、そのディスクの外周端面の最下位置でテープ走行機構によって水平走行するクリーニングテープを当接し、そのクリーニングテープの裏面からローラをディスクの外周端面に押圧付勢してクリーニングテープを外周端面に接触摺動させ、該外周端面に付着した付着物をバニッシュすることを特徴とする。
【０００９】
即ち、クリーニングテープは鉛直面で回転するディスクの最下点の位置でディスク端面とローラとに挟まれて水平走行し、このクリーニングテープによってディスクの外周端面の付着物を除去するものである。
【００１０】
上記の構成により、ローラで押圧しながらクリーニングテープでディスク端面をバニッシュするため、ディスク端面を傷つけない程度までの押圧力を与えることで付着物の除去を確実に行なうことができる。また、ディスクを鉛直面で回転しその最下点の位置で付着物を除去するため再付着を防止できる。また、クリーニングテープを水平走行させることで、テープ張力に影響されずにローラの押圧力をクリーニングテープを介してディスク端面に与えることができる。
（２）第２の発明
第２の発明は、第１の発明のスピンドルを旋回自在のターレットに上下に２本を配置し、下方のスピンドルに装着したディスクのバニッシュ中に上方のスピンドルに対してディスクの取り外し及び取付けを行い、両スピンドルのそれぞれの作業の終了後にターレットを半回転旋回して再び両スピンドルでそれぞれの作業を行なうことを可能とする、ことを特徴とする。
【００１１】
これにより、一方のスピンドルのディスクのバニッシュ中に他方のスピンドルのディスクの交換（バニッシュ後のディスクのスピンドルから取り外しとバニッシュ前のディスクのスピンドルへの取付け）が可能となり、作業効率を向上させることができる。
（３）第３の発明
第３の発明は、第１と第２の発明のテープ走行機構とローラは昇降機構上に配置され、バニッシュの開始において昇降機構を用いてテープ走行機構とローラとを上方に移動してテープ走行機構によって水平走行するクリーニングテープを回転するディスクの外周端面の最下位置でソフトコンタクトさせ、続いてローラをクリーニングテープの裏面から押圧付勢してバニッシュを行い、バニッシュの終了において昇降機構を用いてテープ走行機構とローラとを下方に移動する、ことを特徴とする。
【００１２】
これにより、クリーニングテープはディスク端面に徐々に接触するため、ディスク端面にスクラッチ等を発生させることを防止できる。また、第１の発明においてディスク交換時にクリーニングテープがディスク端面から離れているため交換が容易となる。
（４）第４の発明
第４の発明は、第１から第３の発明のローラは柔軟性を有する素材で形成され、ローラのディスクへの押圧付勢によってクリーニングテープを変形してディスクの外周端面とその外周端面に形成された面取り部とに接触摺動する、ことを特徴とする。
【００１３】
ローラが柔らかい素材のため押圧によってクリーニングテープを変形させ、ディスク端面とその面取り部とを接触摺動しバニッシュすることができる。
（５）第５の発明
第５の発明は、第１の発明のディスク端面バニッシュ方法である。
【発明の効果】
【００１４】
第１の発明により、クリーニングテープを介してディスク端面に適正な押圧力を与えられるので付着物の除去を確実に行なうことができる、と共に鉛直面で回転するディスクの最下点の位置でバニッシュを行なうため塵埃の再付着が防止可能なディスク端面バニッシュ装置の提供ができる。
【００１５】
第２の発明により、２本のスピンドルを配置したターレット構造としたため、一方のスピンドルでディスクのバニッシュ作業をしながら他方のスピンドルでディスクの取り外し／取付けの作業ができるため、作業効率の高いディスク端面バニッシュ装置の提供ができる。
【００１６】
第３の発明により、クリーニングテープを徐々にディスク端面に接触させるため、ディスク端面にスクラッチ等の発生を防止することができる。
【００１７】
第４の発明では、ローラを柔軟な素材としたため、クリーニングテープの押圧によってクリーニングテープを変形し、ディスク端面と面取り部の付着物を除去できる。
【００１８】
第５の発明により、第１の発明と同様の効果を持つディスク端面バニッシュ方法の提供ができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
（実施形態その１）
本発明の実施例その１について図１を用いて説明する。実施例その１はスピンドルが１つの場合の例で第１の発明のディスク端面バニッシュ装置に対応するものである。
【００２０】
図１において、左の図はディスク端面バニッシュ装置の正面図であり、右の図はその正面図に対する側面図である。バニッシュ対象のディスク１００はその内径をスピンドル１２０でチャックされ、スピンドル１２０はモーター１３０により回転する。図に示すようにディスク１００は鉛直面で回転する。
【００２１】
クリーニングテープ２１０はディスク１００の下方に示しているが、未だディスク１００と接触しておらず、バニッシング前の状態である。このクリーニングテープ２１０は送出リール２４０から送出され、３つのローラを経て水平走行し、更に３つのローラを経て巻き取りリール２５０に巻き取られる。３つのローラの内、下段の高さのローラはクリーニングテープ２１０の張力を保つためのテンションローラである。送出リール２４０と巻き取りリール２５０は、歯車２６０を介してそれぞれモーター２４１およびモーター２５１と結合しそのモーターの駆動力で回転可能である。送出リール２４０、巻き取りリール２５０、モーター２４１、２５１、そして複数のローラを含めた構成がテープ走行機構２００である。このテープ走行機構は、図示しない昇降機構によって上下に移動可能である。
【００２２】
クリーニングテープ２１０の水平走行する箇所の下方に押圧ローラ２２０を配置している。このバニッシング時にはこの押圧ローラ２２０でクリーニングテープ２１０を下方から上方に押圧することになる（詳細は後述する）。押圧ローラ２２０を含めて押圧する機構が押圧ローラモジュール２３０である。図２に押圧ローラモジュール２３０の詳細を示す。左の図はこの押圧ローラモジュール２３０の正面図を示し、右の図がその正面図に対する側面図である。押圧ローラ２２０はローラ支持台２３１上に取り付けられ、そのローラ支持台２３１の下部はエアースライダ２３３の可動部分２３２と接している。また、ローラ支持台２３１はリニアボールスライド２３４を介して押圧モジュール支持台２３５に取り付けている。従って、エアースライダ２３３にエアーが供給されると可動部分２３２は上方に動く力が働き、ローラ支持台２３１はリニアボールスライド２３４上を滑り上昇することになる。即ち、押圧ローラ２２０が押し上げられることになる。また、エアースライダ２３３からエアーを排気すれば押圧ローラ２２０は降下する。
【００２３】
図３は、クリーニングテープ２１０がディスク１００の外周端面に接触摺動して端面にある付着物を除去している状態を示している。即ち、図１の状態から昇降機構によってテープ走行機構２００は上方に移動し、続いてエアースライダ２３３が動作して押圧ローラ２２０が上方に位置するクリーニングテープ２１０を押圧している状態を示している。ディスク１００の回転方向、クリーニングテープ２１０の走行方向、押圧ローラ２２０の回転方向はそれぞれの図の矢印に示す方向である。即ち、ディスク１００の最下点の位置ではディスクの回転方向とクリーニングテープ２１０の走行方向とは互いに異なり、接触摺動する相対的な速度を大きくなるようにしている。例えば、ディスク１００の回転速度は、３，０００ｒｐｍ、クリーニングテープ２１０の走行速度は数ｍｍ〜数十ｍｍ／ｓｅｃである。クリーニングテープ２１０の材質によってはディスクの回転方向とクリーニングテープ２１０の走行方向とを同方向とする場合もある。また、昇降機構によるテープ走行機構の昇降距離は例えば５〜１０ｍｍで、押圧ローラ２２０のエアースライダ２３３による上昇距離は０．５ｍｍである。押圧ローラ２２０を押し上げるエアースライダ２３３は、クリーニングテープ２１０からの反発力に対してエアーバネの役割をも果たしている。
【００２４】
押圧ローラ２２０の材質を柔軟性のあるものを用いることにより、ディスク１００の端面に加えて面取りした部分の付着物の除去も可能である。図４はその実施例を示すもので、押圧ローラ２２０に例えばウレタンゴムやクロロプレンゴムを用い、クリーニングテープ２１０に不織布の研磨テープを用いた例である。押圧ローラ２２０がクリーニングテープ２１０に押圧することによりディスク１００の端面形状に沿って変形し、端面部分と面取り部分にクリーニングテープ２１０を当てることができる。この状態でクリーニングテープ２１０は摺動するので付着物の除去が可能となる。押圧ローラ２２０のクリーニングテープ２１０に対する押圧力は数グラム〜数十グラムである。
（実施例その２）
実施例その２は、第２の発明に対応するもので、２つのスピンドルを用いて交互にバニッシングとディスク交換とを行なうものである。図５はその構成を示し、図１と同様に左の図は正面図を右の図は側面図を示している。ターレット１１０にスピンドル１２０とスピンドル１２１をターレット１１０の中心に対して互いに対向するように配置する。それぞれのスピンドルには回転を与えるためのモータ１３０、１３１と接合し、またターレット１１０も旋回可能とするためにモータ１４０と接合している。ターレット１１０を旋回してスピンドル１２０と１２１とがそれぞれ上下となる位置で、下方のスピンドルに装着したディスク（図５ではスピンドル１２０、ディスク１００）に対してはバニッシングを、上方のスピンドルを装着したディスク（図５ではスピンドル１２１、ディスク１０１）に対してはディスク交換（バニッシングを終わったディスクの取り外し、これからバニッシングを行なうディスクを取り付ける）を行なう。
【００２５】
上方のスピンドル１２１に対するディスク交換は例えば図６に示す機構で行なう。図６（ａ）は、ロード／アンロード機構３００がアンロード用ハンド３１０とロード用ハンド３２０を備え、ロード用ハンド３２０は図示しないディスク収納容器からディスクを取り出し４つの把持ピン３２１を内側に倒してディスクを把持しているものとする。上方のスピンドル１２１に装着されたディスク１０１は既にバニッシングが終了しており、アンロード用ハンド３１０がディスク１０１の位置に位置づけされ、把持ピンを用いてディスク１０１をスピンドル１２１から外す。続いて、ロード／アンロード機構３００を右方向に移動してロード用ハンド３２０を上方のスピンドル１２１の位置に位置付けし、把持しているディスクをスピンドル１２１に装着する。この間に下方のスピンドル１２０ではバニッシングが行なわれている。
【００２６】
それぞれのスピンドルでバニッシングとディスク交換の作業が終了したところでターレット１１０を半回転廻し、再びそれぞれの作業を行なう。このようにすることにより、バニッシングの作業中に次に行なうディスクのセットができるため、作業効率を高くすることができる。
【００２７】
上の実施例に関し、さらに以下の付記を開示する。
（付記１）
ディスクの内周をチャックして回転するスピンドルと、
クリーニングテープを走行させるテープ走行機構と、
ローラとを備え、
前記スピンドルに装着したディスクを鉛直面で回転し、該ディスクの外周端面の最下位置で前記テープ走行機構によって水平走行する前記クリーニングテープを当接し、該クリーニングテープの裏面から前記ローラを該ディスクの外周端面に押圧付勢して該クリーニングテープを該外周端面に接触摺動させ、該外周端面に付着した付着物をバニッシュする
ことを特徴とするディスク端面バニッシュ装置。
（付記２）
前記スピンドルを旋回自在のターレットに上下に２本を配置し、下方のスピンドルに装着したディスクのバニッシュ中に上方のスピンドルに対してディスクの取り外し及び取付けを行い、両スピンドルのそれぞれの作業の終了後に該ターレットを半回転旋回して再び該両スピンドルで該それぞれの作業を行なうことを可能とする
ことを特徴とする付記１に記載のディスク端面バニッシュ装置。
（付記３）
前記テープ走行機構と前記ローラは昇降機構上に配置され、バニッシュの開始において該昇降機構を用いて該テープ走行機構と該ローラとを上方に移動し、該テープ走行機構によって水平走行するクリーニングテープを回転するディスクの外周端面の最下位置に当接し、続いて該ローラを該クリーニングテープの裏面から押圧付勢してバニッシュを行い、該バニッシュの終了において該昇降機構を用いて該テープ走行機構と該ローラとを下方に移動する
ことを特徴とする付記１または付記２に記載のディスク端面バニッシュ装置。
（付記４）
前記ローラは柔軟性を有する素材で形成され、該ローラの前記ディスクへの押圧付勢によって前記クリーニングテープを変形して該ディスクの外周端面と該外周端面に形成された面取り部とを接触摺動する
ことを特徴とする付記１乃至付記３に記載のディスク端面バニッシュ装置。
（付記５）
スピンドルに装着したディスクを鉛直面で回転し、該ディスクの外周端面の最下位置でテープ走行機構によって水平走行するクリーニングテープを当接し、該クリーニングテープの裏面からローラを該ディスクの外周端面に押圧付勢して該クリーニングテープを該外周端面に接触摺動させ、該外周端面に付着した付着物をバニッシュする
ことを特徴とするディスク端面バニッシュ方法。
（付記６）
前記スピンドルに装着されたディスクの回転方向と前記テープ走行機構によって走行するテープの走行方向とは該ディスクの最下位置において互いに異なる方向である
ことを特徴とする付記１または付記２に記載のディスク端面バニッシュ装置。
（付記７）
前記スピンドルに装着されたディスクの回転方向と前記テープ走行機構によって走行するテープの走行方向とは該ディスクの最下位置において同方向である
ことを特徴とする付記１または付記２に記載のディスク端面バニッシュ装置。
（付記８）
前記ローラは、前記クリーニングテープに対してエアースライダにより押圧付勢する
ことを特徴とする付記１または付記２に記載のディスク端面バニッシュ装置。
（付記９）
前記テープ走行機構は、走行するクリーニングテープの張力を調整する機構を有する
ことを特徴とする付記１または付記２に記載のディスク端面バニッシュ装置。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】ディスク端面バニッシュ装置（実施例その１）−バニッシュ前−である。
【図２】押圧ローラモジュールの構造例である。
【図３】ディスク端面バニッシュ装置（実施例その１）−バニッシュ後−である。
【図４】面取り部を含めて端面をバニッシュする例である。
【図５】ディスク端面バニッシュ装置（実施例その２）である。
【図６】ディスクのロード／アンロードの機構例である。
【符号の説明】
【００２９】
１００ ディスク
１０１ ディスク
１１０ ターレット
１２０ スピンドル
１２１ スピンドル
１３０ モーター（スピンドル１２０用）
１３１ モーター（スピンドル１２１用）
１４０ モーター（ターレット１１０用）
２００ テープ走行機構
２１０ クリーニングテープ
２２０ 押圧ローラ
２３０ 押圧ローラモジュール
２３１ 支持台
２３２ 可動部分
２３３ エアースライダ
２３４ リニアボールスライド
２３５ 押圧モジュール支持台
２４０ 送出リール
２４１ モーター（送出リール２４０用）
２５０ 巻き取りリール
２５１ モーター（巻き取りリール２５０用）
２６０ 歯車
３００ ロード／アンロード機構
３１０ アンロード用ハンド
３２０ ロード用ハンド
３２１ 把持ピン
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ハードディスクドライブのディスクに関し、より詳細にはディスクの外周端面に付着した塵埃や汚れ等の付着物を除去するディスク端面バニッシュ装置およびディスク端面バニッシュ方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ハードディスクドライブの組立工程では、ドライブエンクロージャにヘッドアセンブリや記録媒体であるディスク、制御回路を搭載したプリント基板等の組み込みを行なうが、これらはクリーンルーム等の環境の中で行なわれる。ハードディスクドライブは動作中において磁気ヘッドがディスク面上を数十ｎｍ程度浮上しながら記録および再生を行うためドライブエンクロージャに埃があるとその埃と衝突してヘッドクラッシュを起こすことから、組立作業中のドライブエンクロージャ内に埃の入らぬようクリーンルーム環境での組立作業となる。また、組立工程に供給される部品レベルにおいても、当然のことながらそれらに埃が付着されていることがあってはならない。このため、例えばディスクではそのディスクの製造段階でディスク両面をクリーニングし、密閉した無塵の容器に入れて組立工程に供給される。ディスクのクリーニングは、クリーニングテープをディスクの記録面両面に接触摺動させて塵埃や突起物を取り除くことが行なわれている。
【０００３】
前述した磁気ヘッドとディスク間の浮上量は高密度記録化に伴い、より低浮上化することが求められており、ドライブエンクロージャに組み込まれる部品においても付着する塵埃等は従来以上に清浄性が求められるようになってきている。このようなことから、ディスクにおいても従来の記録面に対するクリーニングに加えてディスク端面に対してもクリーン化に目が向けられるようになってきた。
【０００４】
上記のディスクのクリーニングに関連するものとして、光ディスクの端面をクリーニングする方法が提案されている。この提案は、光ディスクの端面にこの記録層の物質が付着していると（有機色素による記録層形成において付着する）見栄え悪く商品価値に乏しいことから端面に付着した物質を除去することを目的としている。この方法は、長尺のクリーニングベルトを間欠、または連続に送出し、そのクリーニングベルトに記録層である有機物質を溶解する溶剤を供給しながら回転するディスクの端面を接触させ、付着した記録層を拭き取るものである（特許文献１）。
【特許文献１】特開平５−２４２５３４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記に示したように、ハードディスクドライブの高密度記録化に伴い磁気ヘッドのディスク上を浮上する高さはますます低くなる方向にあり、ドライブエンクロージャ内への塵埃の侵入、あるいはドライブエンクロージャ内での塵埃の発生はあってはならない。このため、ドライブエンクロージャに組み込まれる部品の１つであるディスクにおいても高い清浄性が求められ、従来の記録面だけではなくディスク端面に対してもクリーニングすることが必要となってきている。
【０００６】
特許文献１に提案されている方法は、ヘッドクラッシュ防止のための塵埃除去を目的としたものではないがディスク端面をクリーニングする点では同一で効果的な方法と考える。しかしながら、ドライブエンクロージャ内への塵埃の侵入防止の観点からクリーニングを行なう場合には、ディスク端面に接触摺動するテープの当て方や除去した塵埃の再付着等を考慮する必要がある。
【０００７】
本発明は、ディスクの端面に付着する塵埃や汚れを効率良く短時間で取り除き、取り除かれた付着物の再付着の防止を考慮したディスク端面バニッシュ装置およびディスク端面バニッシュ方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明のディスク端面バニッシュ装置およびディスク端面バニッシュ方法は以下のように構成される。
（１）第１の発明
第１の発明のディスク端面バニッシュ装置は、スピンドルとテープ走行機構とローラとから構成する。スピンドルはディスクの内周をチャックして回転し、テープ走行機構はクリーニングテープを走行させるものである。そして、スピンドルを回転することによりスピンドルに装着したディスクを鉛直面で回転し、そのディスクの外周端面の最下位置でテープ走行機構によって水平走行するクリーニングテープを当接し、そのクリーニングテープの裏面からローラをディスクの外周端面に押圧付勢してクリーニングテープを外周端面に接触摺動させ、該外周端面に付着した付着物をバニッシュすることを特徴とする。
【０００９】
即ち、クリーニングテープは鉛直面で回転するディスクの最下点の位置でディスク端面とローラとに挟まれて水平走行し、このクリーニングテープによってディスクの外周端面の付着物を除去するものである。
【００１０】
上記の構成により、ローラで押圧しながらクリーニングテープでディスク端面をバニッシュするため、ディスク端面を傷つけない程度までの押圧力を与えることで付着物の除去を確実に行なうことができる。また、ディスクを鉛直面で回転しその最下点の位置で付着物を除去するため再付着を防止できる。また、クリーニングテープを水平走行させることで、テープ張力に影響されずにローラの押圧力をクリーニングテープを介してディスク端面に与えることができる。
（２）第２の発明
第２の発明は、第１の発明のスピンドルを旋回自在のターレットに上下に２本を配置し、下方のスピンドルに装着したディスクのバニッシュ中に上方のスピンドルに対してディスクの取り外し及び取付けを行い、両スピンドルのそれぞれの作業の終了後にターレットを半回転旋回して再び両スピンドルでそれぞれの作業を行なうことを可能とする、ことを特徴とする。
【００１１】
これにより、一方のスピンドルのディスクのバニッシュ中に他方のスピンドルのディスクの交換（バニッシュ後のディスクのスピンドルから取り外しとバニッシュ前のディスクのスピンドルへの取付け）が可能となり、作業効率を向上させることができる。
（３）第３の発明
第３の発明は、第１と第２の発明のテープ走行機構とローラは昇降機構上に配置され、バニッシュの開始において昇降機構を用いてテープ走行機構とローラとを上方に移動してテープ走行機構によって水平走行するクリーニングテープを回転するディスクの外周端面の最下位置でソフトコンタクトさせ、続いてローラをクリーニングテープの裏面から押圧付勢してバニッシュを行い、バニッシュの終了において昇降機構を用いてテープ走行機構とローラとを下方に移動する、ことを特徴とする。
【００１２】
これにより、クリーニングテープはディスク端面に徐々に接触するため、ディスク端面にスクラッチ等を発生させることを防止できる。また、第１の発明においてディスク交換時にクリーニングテープがディスク端面から離れているため交換が容易となる。
（４）第４の発明
第４の発明は、第１から第３の発明のローラは柔軟性を有する素材で形成され、ローラのディスクへの押圧付勢によってクリーニングテープを変形してディスクの外周端面とその外周端面に形成された面取り部とに接触摺動する、ことを特徴とする。
【００１３】
ローラが柔らかい素材のため押圧によってクリーニングテープを変形させ、ディスク端面とその面取り部とを接触摺動しバニッシュすることができる。
（５）第５の発明
第５の発明は、第１の発明のディスク端面バニッシュ方法である。
【発明の効果】
【００１４】
第１の発明により、クリーニングテープを介してディスク端面に適正な押圧力を与えられるので付着物の除去を確実に行なうことができる、と共に鉛直面で回転するディスクの最下点の位置でバニッシュを行なうため塵埃の再付着が防止可能なディスク端面バニッシュ装置の提供ができる。
【００１５】
第２の発明により、２本のスピンドルを配置したターレット構造としたため、一方のスピンドルでディスクのバニッシュ作業をしながら他方のスピンドルでディスクの取り外し／取付けの作業ができるため、作業効率の高いディスク端面バニッシュ装置の提供ができる。
【００１６】
第３の発明により、クリーニングテープを徐々にディスク端面に接触させるため、ディスク端面にスクラッチ等の発生を防止することができる。
【００１７】
第４の発明では、ローラを柔軟な素材としたため、クリーニングテープの押圧によってクリーニングテープを変形し、ディスク端面と面取り部の付着物を除去できる。
【００１８】
第５の発明により、第１の発明と同様の効果を持つディスク端面バニッシュ方法の提供ができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
（実施形態その１）
本発明の実施例その１について図１を用いて説明する。実施例その１はスピンドルが１つの場合の例で第１の発明のディスク端面バニッシュ装置に対応するものである。
【００２０】
図１において、左の図はディスク端面バニッシュ装置の正面図であり、右の図はその正面図に対する側面図である。バニッシュ対象のディスク１００はその内径をスピンドル１２０でチャックされ、スピンドル１２０はモーター１３０により回転する。図に示すようにディスク１００は鉛直面で回転する。
【００２１】
クリーニングテープ２１０はディスク１００の下方に示しているが、未だディスク１００と接触しておらず、バニッシング前の状態である。このクリーニングテープ２１０は送出リール２４０から送出され、３つのローラを経て水平走行し、更に３つのローラを経て巻き取りリール２５０に巻き取られる。３つのローラの内、下段の高さのローラはクリーニングテープ２１０の張力を保つためのテンションローラである。送出リール２４０と巻き取りリール２５０は、歯車２６０を介してそれぞれモーター２４１およびモーター２５１と結合しそのモーターの駆動力で回転可能である。送出リール２４０、巻き取りリール２５０、モーター２４１、２５１、そして複数のローラを含めた構成がテープ走行機構２００である。このテープ走行機構は、図示しない昇降機構によって上下に移動可能である。
【００２２】
クリーニングテープ２１０の水平走行する箇所の下方に押圧ローラ２２０を配置している。このバニッシング時にはこの押圧ローラ２２０でクリーニングテープ２１０を下方から上方に押圧することになる（詳細は後述する）。押圧ローラ２２０を含めて押圧する機構が押圧ローラモジュール２３０である。図２に押圧ローラモジュール２３０の詳細を示す。左の図はこの押圧ローラモジュール２３０の正面図を示し、右の図がその正面図に対する側面図である。押圧ローラ２２０はローラ支持台２３１上に取り付けられ、そのローラ支持台２３１の下部はエアースライダ２３３の可動部分２３２と接している。また、ローラ支持台２３１はリニアボールスライド２３４を介して押圧モジュール支持台２３５に取り付けている。従って、エアースライダ２３３にエアーが供給されると可動部分２３２は上方に動く力が働き、ローラ支持台２３１はリニアボールスライド２３４上を滑り上昇することになる。即ち、押圧ローラ２２０が押し上げられることになる。また、エアースライダ２３３からエアーを排気すれば押圧ローラ２２０は降下する。
【００２３】
図３は、クリーニングテープ２１０がディスク１００の外周端面に接触摺動して端面にある付着物を除去している状態を示している。即ち、図１の状態から昇降機構によってテープ走行機構２００は上方に移動し、続いてエアースライダ２３３が動作して押圧ローラ２２０が上方に位置するクリーニングテープ２１０を押圧している状態を示している。ディスク１００の回転方向、クリーニングテープ２１０の走行方向、押圧ローラ２２０の回転方向はそれぞれの図の矢印に示す方向である。即ち、ディスク１００の最下点の位置ではディスクの回転方向とクリーニングテープ２１０の走行方向とは互いに異なり、接触摺動する相対的な速度を大きくなるようにしている。例えば、ディスク１００の回転速度は、３，０００ｒｐｍ、クリーニングテープ２１０の走行速度は数ｍｍ〜数十ｍｍ／ｓｅｃである。クリーニングテープ２１０の材質によってはディスクの回転方向とクリーニングテープ２１０の走行方向とを同方向とする場合もある。また、昇降機構によるテープ走行機構の昇降距離は例えば５〜１０ｍｍで、押圧ローラ２２０のエアースライダ２３３による上昇距離は０．５ｍｍである。押圧ローラ２２０を押し上げるエアースライダ２３３は、クリーニングテープ２１０からの反発力に対してエアーバネの役割をも果たしている。
【００２４】
押圧ローラ２２０の材質を柔軟性のあるものを用いることにより、ディスク１００の端面に加えて面取りした部分の付着物の除去も可能である。図４はその実施例を示すもので、押圧ローラ２２０に例えばウレタンゴムやクロロプレンゴムを用い、クリーニングテープ２１０に不織布の研磨テープを用いた例である。押圧ローラ２２０がクリーニングテープ２１０に押圧することによりディスク１００の端面形状に沿って変形し、端面部分と面取り部分にクリーニングテープ２１０を当てることができる。この状態でクリーニングテープ２１０は摺動するので付着物の除去が可能となる。押圧ローラ２２０のクリーニングテープ２１０に対する押圧力は数グラム〜数十グラムである。
（実施例その２）
実施例その２は、第２の発明に対応するもので、２つのスピンドルを用いて交互にバニッシングとディスク交換とを行なうものである。図５はその構成を示し、図１と同様に左の図は正面図を右の図は側面図を示している。ターレット１１０にスピンドル１２０とスピンドル１２１をターレット１１０の中心に対して互いに対向するように配置する。それぞれのスピンドルには回転を与えるためのモータ１３０、１３１と接合し、またターレット１１０も旋回可能とするためにモータ１４０と接合している。ターレット１１０を旋回してスピンドル１２０と１２１とがそれぞれ上下となる位置で、下方のスピンドルに装着したディスク（図５ではスピンドル１２０、ディスク１００）に対してはバニッシングを、上方のスピンドルを装着したディスク（図５ではスピンドル１２１、ディスク１０１）に対してはディスク交換（バニッシングを終わったディスクの取り外し、これからバニッシングを行なうディスクを取り付ける）を行なう。
【００２５】
上方のスピンドル１２１に対するディスク交換は例えば図６に示す機構で行なう。図６（ａ）は、ロード／アンロード機構３００がアンロード用ハンド３１０とロード用ハンド３２０を備え、ロード用ハンド３２０は図示しないディスク収納容器からディスクを取り出し４つの把持ピン３２１を内側に倒してディスクを把持しているものとする。上方のスピンドル１２１に装着されたディスク１０１は既にバニッシングが終了しており、アンロード用ハンド３１０がディスク１０１の位置に位置づけされ、把持ピンを用いてディスク１０１をスピンドル１２１から外す。続いて、ロード／アンロード機構３００を右方向に移動してロード用ハンド３２０を上方のスピンドル１２１の位置に位置付けし、把持しているディスクをスピンドル１２１に装着する。この間に下方のスピンドル１２０ではバニッシングが行なわれている。
【００２６】
それぞれのスピンドルでバニッシングとディスク交換の作業が終了したところでターレット１１０を半回転廻し、再びそれぞれの作業を行なう。このようにすることにより、バニッシングの作業中に次に行なうディスクのセットができるため、作業効率を高くすることができる。
【００２７】
上の実施例に関し、さらに以下の付記を開示する。
（付記１）
ディスクの内周をチャックして回転するスピンドルと、
クリーニングテープを走行させるテープ走行機構と、
ローラとを備え、
前記スピンドルに装着したディスクを鉛直面で回転し、該ディスクの外周端面の最下位置で前記テープ走行機構によって水平走行する前記クリーニングテープを当接し、該クリーニングテープの裏面から前記ローラを該ディスクの外周端面に押圧付勢して該クリーニングテープを該外周端面に接触摺動させ、該外周端面に付着した付着物をバニッシュする
ことを特徴とするディスク端面バニッシュ装置。
（付記２）
前記スピンドルを旋回自在のターレットに上下に２本を配置し、下方のスピンドルに装着したディスクのバニッシュ中に上方のスピンドルに対してディスクの取り外し及び取付けを行い、両スピンドルのそれぞれの作業の終了後に該ターレットを半回転旋回して再び該両スピンドルで該それぞれの作業を行なうことを可能とする
ことを特徴とする付記１に記載のディスク端面バニッシュ装置。
（付記３）
前記テープ走行機構と前記ローラは昇降機構上に配置され、バニッシュの開始において該昇降機構を用いて該テープ走行機構と該ローラとを上方に移動し、該テープ走行機構によって水平走行するクリーニングテープを回転するディスクの外周端面の最下位置に当接し、続いて該ローラを該クリーニングテープの裏面から押圧付勢してバニッシュを行い、該バニッシュの終了において該昇降機構を用いて該テープ走行機構と該ローラとを下方に移動する
ことを特徴とする付記１または付記２に記載のディスク端面バニッシュ装置。
（付記４）
前記ローラは柔軟性を有する素材で形成され、該ローラの前記ディスクへの押圧付勢によって前記クリーニングテープを変形して該ディスクの外周端面と該外周端面に形成された面取り部とを接触摺動する
ことを特徴とする付記１乃至付記３に記載のディスク端面バニッシュ装置。
（付記５）
スピンドルに装着したディスクを鉛直面で回転し、該ディスクの外周端面の最下位置でテープ走行機構によって水平走行するクリーニングテープを当接し、該クリーニングテープの裏面からローラを該ディスクの外周端面に押圧付勢して該クリーニングテープを該外周端面に接触摺動させ、該外周端面に付着した付着物をバニッシュする
ことを特徴とするディスク端面バニッシュ方法。
（付記６）
前記スピンドルに装着されたディスクの回転方向と前記テープ走行機構によって走行するテープの走行方向とは該ディスクの最下位置において互いに異なる方向である
ことを特徴とする付記１または付記２に記載のディスク端面バニッシュ装置。
（付記７）
前記スピンドルに装着されたディスクの回転方向と前記テープ走行機構によって走行するテープの走行方向とは該ディスクの最下位置において同方向である
ことを特徴とする付記１または付記２に記載のディスク端面バニッシュ装置。
（付記８）
前記ローラは、前記クリーニングテープに対してエアースライダにより押圧付勢する
ことを特徴とする付記１または付記２に記載のディスク端面バニッシュ装置。
（付記９）
前記テープ走行機構は、走行するクリーニングテープの張力を調整する機構を有する
ことを特徴とする付記１または付記２に記載のディスク端面バニッシュ装置。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】ディスク端面バニッシュ装置（実施例その１）−バニッシュ前−である。
【図２】押圧ローラモジュールの構造例である。
【図３】ディスク端面バニッシュ装置（実施例その１）−バニッシュ後−である。
【図４】面取り部を含めて端面をバニッシュする例である。
【図５】ディスク端面バニッシュ装置（実施例その２）である。
【図６】ディスクのロード／アンロードの機構例である。
【符号の説明】
【００２９】
１００ ディスク
１０１ ディスク
１１０ ターレット
１２０ スピンドル
１２１ スピンドル
１３０ モーター（スピンドル１２０用）
１３１ モーター（スピンドル１２１用）
１４０ モーター（ターレット１１０用）
２００ テープ走行機構
２１０ クリーニングテープ
２２０ 押圧ローラ
２３０ 押圧ローラモジュール
２３１ 支持台
２３２ 可動部分
２３３ エアースライダ
２３４ リニアボールスライド
２３５ 押圧モジュール支持台
２４０ 送出リール
２４１ モーター（送出リール２４０用）
２５０ 巻き取りリール
２５１ モーター（巻き取りリール２５０用）
２６０ 歯車
３００ ロード／アンロード機構
３１０ アンロード用ハンド
３２０ ロード用ハンド
３２１ 把持ピン
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ディスクの内周をチャックして回転するスピンドルと、
クリーニングテープを走行させるテープ走行機構と、
ローラとを備え、
前記スピンドルに装着したディスクを鉛直面で回転し、該ディスクの外周端面の最下位置で前記テープ走行機構によって水平走行する前記クリーニングテープを当接し、該クリーニングテープの裏面から前記ローラを該ディスクの外周端面に押圧付勢して該クリーニングテープを該外周端面に接触摺動させ、該外周端面に付着した付着物をバニッシュする
ことを特徴とするディスク端面バニッシュ装置。
【請求項２】
前記スピンドルを旋回自在のターレットに上下に２本を配置し、下方のスピンドルに装着したディスクのバニッシュ中に上方のスピンドルに対してディスクの取り外し及び取付けを行い、両スピンドルのそれぞれの作業の終了後に該ターレットを半回転旋回して再び該両スピンドルで該それぞれの作業を行なうことを可能とする
ことを特徴とする請求項１に記載のディスク端面バニッシュ装置。
【請求項３】
前記テープ走行機構と前記ローラは昇降機構上に配置され、バニッシュの開始において該昇降機構を用いて該テープ走行機構と該ローラとを上方に移動して該テープ走行機構によって水平走行するクリーニングテープを回転するディスクの外周端面の最下位置でソフトコンタクトさせ、続いて該ローラを該クリーニングテープの裏面から押圧付勢してバニッシュを行い、該バニッシュの終了において該昇降機構を用いて該テープ走行機構と該ローラとを下方に移動する
ことを特徴とする請求項１または請求項２に記載のディスク端面バニッシュ装置。
【請求項４】
前記ローラは柔軟性を有する素材で形成され、該ローラの前記ディスクへの押圧付勢によって前記クリーニングテープを変形して該ディスクの外周端面と該外周端面に形成された面取り部とを接触摺動する
ことを特徴とする請求項１乃至請求項３に記載のディスク端面バニッシュ装置。
【請求項５】
スピンドルに装着したディスクを鉛直面で回転し、該ディスクの外周端面の最下位置でテープ走行機構によって水平走行するクリーニングテープを当接し、該クリーニングテープの裏面からローラを該ディスクの外周端面に押圧付勢して該クリーニングテープを該外周端面に接触摺動させ、該外周端面に付着した付着物をバニッシュする
ことを特徴とするディスク端面バニッシュ方法。
【請求項１】
ディスクの内周をチャックして回転するスピンドルと、
クリーニングテープを走行させるテープ走行機構と、
ローラとを備え、
前記スピンドルに装着したディスクを鉛直面で回転し、該ディスクの外周端面の最下位置で前記テープ走行機構によって水平走行する前記クリーニングテープを当接し、該クリーニングテープの裏面から前記ローラを該ディスクの外周端面に押圧付勢して該クリーニングテープを該外周端面に接触摺動させ、該外周端面に付着した付着物をバニッシュする
ことを特徴とするディスク端面バニッシュ装置。
【請求項２】
前記スピンドルを旋回自在のターレットに上下に２本を配置し、下方のスピンドルに装着したディスクのバニッシュ中に上方のスピンドルに対してディスクの取り外し及び取付けを行い、両スピンドルのそれぞれの作業の終了後に該ターレットを半回転旋回して再び該両スピンドルで該それぞれの作業を行なうことを可能とする
ことを特徴とする請求項１に記載のディスク端面バニッシュ装置。
【請求項３】
前記テープ走行機構と前記ローラは昇降機構上に配置され、バニッシュの開始において該昇降機構を用いて該テープ走行機構と該ローラとを上方に移動して該テープ走行機構によって水平走行するクリーニングテープを回転するディスクの外周端面の最下位置でソフトコンタクトさせ、続いて該ローラを該クリーニングテープの裏面から押圧付勢してバニッシュを行い、該バニッシュの終了において該昇降機構を用いて該テープ走行機構と該ローラとを下方に移動する
ことを特徴とする請求項１または請求項２に記載のディスク端面バニッシュ装置。
【請求項４】
前記ローラは柔軟性を有する素材で形成され、該ローラの前記ディスクへの押圧付勢によって前記クリーニングテープを変形して該ディスクの外周端面と該外周端面に形成された面取り部とを接触摺動する
ことを特徴とする請求項１乃至請求項３に記載のディスク端面バニッシュ装置。
【請求項５】
スピンドルに装着したディスクを鉛直面で回転し、該ディスクの外周端面の最下位置でテープ走行機構によって水平走行するクリーニングテープを当接し、該クリーニングテープの裏面からローラを該ディスクの外周端面に押圧付勢して該クリーニングテープを該外周端面に接触摺動させ、該外周端面に付着した付着物をバニッシュする
ことを特徴とするディスク端面バニッシュ方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【公開番号】特開２００８−１１２４９７（Ｐ２００８−１１２４９７Ａ）
【公開日】平成２０年５月１５日（２００８．５．１５）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００６−２９４１６３（Ｐ２００６−２９４１６３）
【出願日】平成１８年１０月３０日（２００６．１０．３０）
【出願人】（０００００５２２３）富士通株式会社 (25,993)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２０年５月１５日（２００８．５．１５）
【国際特許分類】
【出願日】平成１８年１０月３０日（２００６．１０．３０）
【出願人】（０００００５２２３）富士通株式会社 (25,993)
【Ｆターム（参考）】
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