ノズルプリンティング装置
【課題】スジムラの発生を抑制することが可能なノズルプリンティング装置を提供する。
【解決手段】所定の配列方向に所定の間隔をあけて配置される複数本のノズルを備えるノズルプリンティング装置であって、前記複数本のノズルは、溶媒と溶質とを含むインキを吐出する第１のノズルと、溶質を含まない液体を吐出する第２のノズルとから構成され、前記第１のノズルの本数と、第２のノズルの本数とが同じであるノズルプリンティング装置。
【解決手段】所定の配列方向に所定の間隔をあけて配置される複数本のノズルを備えるノズルプリンティング装置であって、前記複数本のノズルは、溶媒と溶質とを含むインキを吐出する第１のノズルと、溶質を含まない液体を吐出する第２のノズルとから構成され、前記第１のノズルの本数と、第２のノズルの本数とが同じであるノズルプリンティング装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はノズルプリンティング装置およびそれを用いた薄膜形成方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
所定のパターンでインキを塗布するための装置として、ノズルプリンティング装置がある。たとえば図４に示すような、互いに所定の間隔をあけて第１の方向Ｘに延在する複数本の隔壁部材１から構成される隔壁が設けられた支持基板において、各隔壁部材１間にインキを供給する場合に、このノズルプリンティング装置が用いられる。
【０００３】
図４はノズルプリンティング装置を用いてインキを塗布するときの態様を模式的に示す図である。ノズルプリンティング装置は、配列方向に所定の間隔をあけて配置される複数本のノズル２を備える。各ノズル２から所定のインキを吐出しつつ、前記第１の方向Ｘ（以下、走査方向Ｘと記載することがある。）の一方または他方にノズル２を走査することにより、隔壁部材１間にインキが供給され、これが固化することにより帯状の薄膜３が形成される。このノズル２の１回の走査により、当該ノズル２の本数分だけ帯状の薄膜３が形成される。
【０００４】
ノズル２を走査方向の一端から他端まで走査すると、つぎに、走査方向Ｘとは垂直な方向（以下、塗布方向Ｙと記載することがある。）にノズル２を移動する。なお塗布方向Ｙの一方を前方（図４では下方）、塗布方向Ｙの他方を後方（図４では上方）と記載することがある。このノズル２の前方への移動では、ノズルの本数分の行だけノズル２を前方に移動する（図４に示す形態では５行分の距離をノズル２が移動する。）このようなノズル２の走査方向Ｘの移動と、塗布方向Ｙの前方への移動とを交互に繰り返すことにより、全ての隔壁部材１間にインキを塗布することができる。
【０００５】
上記のような塗布方法において、所定の隔壁部材１間にインキが塗布された直後の状態に着目した場合、複数本のインキの塗布膜の中でも、その前方の塗布膜と後方の塗布膜とでは乾燥雰囲気が異なる。すなわち複数本のインキの塗布膜の後方はすでにインキが塗布されているため、雰囲気中のインキの溶媒濃度が高くなり、逆に前方にはインキが塗布されていないため、雰囲気中のインキの溶媒濃度が小さくなる。そのため、複数本のインキの塗布膜においてその後方の塗布膜はインキが乾燥しにくく、その前方の塗布膜はインキが乾燥しやすい状態となり、乾燥状態に違いが生じる。このように、インキの乾燥状態が前方と後方の塗布膜で異なるため、結果として乾燥後の塗布膜の性状まで異なることになり、ノズルの本数に対応する塗布膜ごとに、いわゆるスジムラが生じることになる。
【０００６】
たとえば有機ＥＬ（Electro Luminescence）素子の発光層などをノズルプリンティング装置で塗布形成した場合、上記スジムラが発光状態の違いとしてあらわれ、これが視認されることとなり、表示品位が低下するという問題がある。
【０００７】
このような問題を解決するために、従来の技術ではダミーのノズル２を設けている。すなわち従来の技術では、膜の形成に寄与しない溶媒のみを吐出するダミーのノズル２を、塗布方向Ｙの前方の一端に設けている。
【０００８】
図４を参照してダミーのノズル２を備えるノズルプリンティング装置の動作を説明する。前方の一端に配置されるノズルを第Ｉのノズルとし、後方に配置されるノズルを順次、第ＩＩ、第ＩＩＩ、第ＩＶ、第Ｖのノズルと名前を付与すると、第Ｉのノズルがダミーのノズルである。この第Ｉのノズルは、溶媒のみを吐出する。第ＩＩ〜第Ｖのノズルは、溶媒と溶質からなるインキを吐出する。
【０００９】
このノズルプリンティング装置では、まず走査方向Ｘの一端から他端にノズルを走査する。そうすると、前方の一端には、溶媒のみからなる塗布膜が形成されるとともに、その後方には、溶媒と溶質からなる４本の塗布膜が形成される。つぎに、ノズルを前方に移動するが、そのさいには、移動前に第Ｉのノズルの配置されていた位置に、第Ｖのノズルが重なるようにノズルを全体として移動する。その後、走査方向Ｘの他端から一端にノズルを走査する。そうすると、溶媒のみからなる塗布膜上に、さらに溶媒と溶質からなるインキが塗布されることになり、これによって全ての隔壁部材１間に、溶媒と溶質からなるインキが塗布されることになる。
【００１０】
このように、塗布膜の前方に溶媒のみからなる塗布膜を形成することにより、複数本のインキの塗布膜において、前方と後方の乾燥雰囲気の違いを小さくしている（たとえば特許文献１参照。）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１１】
【特許文献１】特開２００８−２０７０８４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
上記従来のダミーのノズルを備えるノズルプリンティング装置では、たしかに複数本のインキの塗布膜において、前方と後方の塗布膜の乾燥雰囲気の違いを小さくすることはできるが、インキと溶媒とがそれぞれ１度ずつ塗布される行と、インキのみが１度塗布される行とが生じる。そして、インキと溶媒とがそれぞれ１度ずつ塗布される行と、インキのみが１度塗布される行とでは、形成された薄膜の性状に違いが生じ、スジムラが生じる。前述したように、機ＥＬ素子の発光層などをノズルプリンティング装置で塗布形成した場合には、上記スジムラが発光状態の違いとしてあらわれ、これが視認されることとなり、表示品位が低下するという問題がある。
【００１３】
したがって本発明の目的は、スジムラの発生を抑制することが可能なノズルプリンティング装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明は所定の配列方向に所定の間隔をあけて配置される複数本のノズルを備えるノズルプリンティング装置であって、
前記複数本のノズルは、溶媒と溶質とを含むインキを吐出する第１のノズルと、溶質を含まない液体を吐出する第２のノズルとから構成され、
前記第１のノズルの本数と、第２のノズルの本数とが同じであるノズルプリンティング装置に関する。
【００１５】
また本発明は、前記第２のノズルは、第１の群と第２の群との２つの群に分けられ、
前記第１の群に属する第２のノズルは、前記所定の配列方向の一端に配置され、
前記第２の群に属する第２のノズルは、前記所定の配列方向の他端に配置され、
前記第１のノズルは、前記所定の配列方向において、前記第１の群に属する第２のノズルと、前記第２の群に属する第２のノズルとの間に配置される、ノズルプリンティング装置に関する。
【００１６】
前記第１の群に属する第２のノズルの本数をＮ、前記第２の群に属する第２のノズルの本数をＭとすると、
（Ｎ−Ｍ）２≦１
なる関係式を満たす、ノズルプリンティング装置に関する。
【００１７】
また本発明は、互いに所定の間隔をあけて第１の方向に延在する複数本の隔壁部材から構成される隔壁が設けられた支持基板において、隔壁部材間にインキを塗布する工程と、塗布されたインキを固化することにより薄膜を形成する工程とを有する薄膜形成方法であって、
前記インキを塗布する工程では、以下の（Ｉ）と（ＩＩ）の工程を交互に繰り返す、薄膜形成方法。
（Ｉ）前記ノズルプリンティング装置の前記複数本のノズルをそれぞれ隔壁部材間上に配置し、前記ノズルから前記インキを吐出しつつ、前記ノズルを前記第１の方向の一方または他方に移動し、隔壁部材間にインキを供給する工程に関する。
（ＩＩ）前記配列方向の中央で、前記複数のノズルを前方の群と後方の群の２つの群に区分けし、直近の前記（Ｉ）の工程における前方の群に属するノズルの軌跡に、次回の前記（Ｉ）の工程において、後方の群に属するノズルの軌跡が重なるように、支持基板上において前記第１の方向とは垂直な方向に、全てのノズルまたは前記支持基板を移動する工程。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、スジムラの発生を抑制することが可能なノズルプリンティング装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】ノズル１２の配置関係を模式的に示す図である。
【図２】複数本の隔壁部材１１から構成される隔壁が設けられた支持基板の平面図である。
【図３】ノズルプリンティング装置の動作を説明するための図である。
【図４】ノズルプリンティング装置を用いてインキを塗布するときの態様を模式的に示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
本発明のノズルプリンティング装置は、所定の配列方向に所定の間隔をあけて配置される複数本のノズルを備えるノズルプリンティング装置であって、前記複数本のノズルは、溶媒と溶質とを含むインキを吐出する第１のノズルと、前記溶質を含まない液体を吐出する第２のノズルとから構成され、前記第１のノズルの本数と、第２のノズルの本数とが同じであるノズルプリンティング装置である。
【００２１】
図１はノズル１２の配置関係を模式的に示す図である。ノズル１２は所定の配列方向ｔに所定の間隔をあけて配置される。配列方向ｔはノズル１２の配列される方向であり、通常は所定の直線に沿う方向である。なおノズル１２は所定の曲線上や折れ線上に沿って配置されていてもよい。
【００２２】
図１に示す実施形態では６本のノズル１２が配置されており、それぞれ等しい間隔をあけて配置されている。
【００２３】
本実施形態では、複数本のノズル１２は、それぞれ第１のノズル１２ａと、第２のノズル１２ｂとに分けられる。
【００２４】
第１のノズル１２ａは、溶媒と溶質とを含むインキを吐出する。この第１のノズル１２ａから吐出されたインキは、溶媒が気化し、溶質が薄膜化する。たとえば溶質として有機ＥＬ素子の発光材料を用いた場合、このインキを塗布することにより有機ＥＬ素子の発光層が形成される。
【００２５】
第２のノズル１２ｂは、溶質を含まない液体を吐出する。なお第２のノズル１２ｂから吐出される溶質を含まない液体は、６０℃〜３００℃程度の温度で気化する液体であればとくに制限はないが、第１のノズル１２ａから吐出されるインクの溶媒と同じ液体であることが好ましい。なお第２のノズル１２ｂから吐出される液体は、不純物として不可避的に混入される程度の量の溶質を含んでいてもよい。
【００２６】
前記第１のノズル１２ａの本数と、第２のノズル１２ｂの本数とは同じである。図１に示す実施形態では、６本のノズル１２が配置されているが、このうちの３本のノズル１２が第１のノズル１２ａであり、残りの３本のノズル１２が第２のノズル１２ｂである。
【００２７】
第１のノズル１２ａと第２のノズル１２ｂの配置はとくに限定されない。たとえばノズルはつぎの（ｉ）、（ｉｉ）または（ｉｉｉ）のように配置される。
（ｉ）
配列方向ｔの一方に第１のノズル１２ａが配置され、配列方向ｔの他方に第２のノズル１２ｂが配置される。
（ｉｉ）
配列方向ｔにおいて第１のノズル１２ａと第２のノズル１２ｂとが交互に配置される。
（ｉｉｉ）
第２のノズル１２ｂは、第１の群ｇ１と第２の群ｇ２との２つの群に分けられ、前記第１の群ｇ１に属する第２のノズル１２ｂは、前記所定の配列方向ｔの一端に配置され、前記第２の群ｇ２に属する第２のノズル１２ｂは、前記所定の配列方向ｔの他端に配置され、前記第１のノズル１２ａは、前記所定の配列方向ｔにおいて、前記第１の群ｇ１に属する第２のノズル１２ｂと、前記第２の群ｇ２に属する第２のノズル１２ｂとの間に配置される。
【００２８】
これらの中では（ｉｉｉ）の配置が好ましい。さらにこの（ｉｉｉ）の配置のなかでも、前記第１の群に属する第２のノズルの本数をＮ、前記第２の群に属する第２のノズルの本数をＭとすると、
（Ｎ−Ｍ）２≦１
なる関係式を満たすことがより好ましい。すなわち、前記第２の群に属するノズルは、前記第１の群に属するノズルの両端に概ね均等に配置されることが好ましい。これにより、前記第１のノズルから吐出されるインクの溶媒雰囲気を均一にできるため、より効果的にスジムラを抑制できる。
【００２９】
以下、この（ｉｉｉ）の構成について図１に則して説明する。まず第２のノズル１２ｂの本数は３本なので、これを２つの群に分けると、１本の第２のノズル１２ｂからなる群と２本の第２のノズル１２ｂからなる群とに分けられる。たとえば第２のノズル１２ｂのうちの１本の第２のノズル１２ｂが第１の群ｇ１に属し、残りの２本の第２のノズル１２ｂが第２の群ｇ２に属する。この第１の群ｇ１に属する１本の第２のノズル１２ｂが、配列方向ｔの一端に配置され、第２の群ｇ２に属する２本の第２のノズル１２ｂが、配列方向ｔの他端に配置される。そしてこれら第１の群ｇ１の第２のノズル１２ｂと、第２の群ｇ２の第２のノズル１２ｂとの間に、３本の第１のノズル１２ａが連続して配置される。
【００３０】
つぎに、上述のノズル１２を備えるノズルプリンティング装置の動作について説明する。本実施形態では、互いに所定の間隔をあけて第１の方向Ｘに延在する複数本の隔壁部材１１から構成される隔壁が設けられた支持基板に、インキを塗布する形態について説明する。
【００３１】
図２は複数本の隔壁部材１１から構成される隔壁が設けられた支持基板の平面図である。図３はノズルプリンティング装置の動作を説明するための図である。図２に示すように、隔壁は、第１の方向Ｘに延在する複数本の隔壁部材１１から構成される。なお以下では第１の方向Ｘを走査方向Ｘと記載することがある。
【００３２】
本実施形態では隔壁部材１１は、第２の方向Ｙに等しい間隔をあけて配置される。なお第２の方向Ｙは、第１の方向Ｘに垂直な方向であって、かつ支持基板の厚み方向にも垂直な方向である。以下では第２の方向Ｙを塗布方向Ｙと記載することがある。本実施形態ではノズルプリンティング装置を用いて、塗布方向Ｙに隣り合う全ての隔壁部材１１と隔壁部材１１との間にインキを供給する。
【００３３】
以下、塗布方向Ｙに隣り合う隔壁部材１１と隔壁部材１１との間隔を、隔壁部材１１のピッチｐと記載することがある。なお塗布方向Ｙに隣り合う隔壁部材１１と隔壁部材１１との間隔ｐとは、隔壁部材１１の塗布方向Ｙの中心間の距離ｐをあらわす。
【００３４】
ノズル１２の間隔は、隔壁部材１１のピッチｐに対応させて決定される。なおノズル１２の配列方向ｔは、かならずしも塗布方向Ｙに一致させる必要はない。ノズル１２の間隔は、その塗布方向Ｙの間隔が、隔壁部材１１のピッチと一致するように設定される。たとえばノズル１２の配列方向ｔを塗布方向Ｙに一致させる場合には、ノズル１２の配列方向ｔの間隔を隔壁部材１１のピッチｐに合わせればよい（図３参照）。またたとえばノズル１２の間隔が固定されている場合には、その配列方向ｔを塗布方向Ｙから傾かせることによって、ノズル１２の塗布方向Ｙの間隔を調整することができる。このようにして、塗布方向Ｙの間隔を隔壁部材１１のピッチｐに合わせてもよい。
【００３５】
まずノズル１２の塗布方向Ｙの間隔が、隔壁部材１１のピッチと一致するようにノズル１２の間隔を調整する。図３に示す本実施形態ではノズル１２の配列方向ｔを塗布方向Ｙに一致させるため、ノズル１２の配列方向ｔの間隔を隔壁部材１１のピッチｐに合わせる。
【００３６】
つぎに、以下の（Ｉ）、（ＩＩ）の工程を繰り返す。
（Ｉ）ノズルプリンティング装置の前記複数本のノズルをそれぞれ隔壁部材間上に配置し、前記ノズルから前記インキを吐出しつつ、前記ノズルを前記第１の方向の一方または他方に移動し、隔壁部材間にインキを供給する工程。
（ＩＩ）前記配列方向の中央で、前記複数のノズルを前方の群と後方の群の２つの群に区分けし、直近の前記（Ｉ）の工程における前方の群に属するノズルの軌跡に、次回の前記（Ｉ）の工程において、後方の群に属するノズルの軌跡が重なるように、支持基板上において前記第１の方向とは垂直な方向に、全てのノズルまたは前記支持基板を移動する工程。
【００３７】
（Ｉ）の工程では、まずノズル１２を走査方向Ｘに走査したときに、各ノズル１２が、支持基板の厚み方向において、隔壁部材１１と隔壁部材１１との間の鉛直方向の上方を通過するようにノズル１２を配置する。そして、前記ノズルから前記インキを吐出しつつ、前記ノズル１２を前記第１の方向（本実施形態では走査方向Ｘ）の一方または他方に移動し、隔壁部材間にインキを供給する。
【００３８】
この（Ｉ）の工程において、ノズル１２を走査方向の一方に移動する場合には、ノズル１２を走査方向の他端から一端まで移動する。これを工程（Ｉ−Ｉ）と記載する。
【００３９】
（Ｉ）の工程において、ノズル１２を走査方向の他方に移動する場合には、ノズル１２を走査方向の一端から他端まで移動する。これを工程（Ｉ−ＩＩ）と記載する。
【００４０】
本実施形態では、（Ｉ−Ｉ）、（ＩＩ）、（Ｉ−ＩＩ）、（ＩＩ）の工程をこの順で繰り返すことにより、全ての隔壁部材１１間にインキを供給する。
【００４１】
つぎに（ＩＩ）の工程では、前記配列方向の中央で、前記複数のノズルを前方の群と後方の群の２つの群に区分けする。ここで前方とは、当該（ＩＩ）の工程においてノズルが塗布方向に移動する向き（図３では下方）に対応し、後方とは、当該（ＩＩ）の工程においてノズルが塗布方向に移動する向きにとは反対の向き（図３では上方）に対応する。
【００４２】
たとえば図１に示す実施形態では、配列方向ｔの中央で、６本のノズル１２を、３本のノズルからなる前方の群ｇｆと、３本のノズルからなる後方の群ｇｂとに区分けする。すなわち前方の群ｇｆは中央よりも右側に配置される３本のノズル１２からなる群に対応し、後方の群ｇｂは中央よりも左側に配置される３本のノズル１２からなる群に対応する。
【００４３】
つぎにノズル１２を塗布方向Ｙに移動する。このさい、ノズル１２を塗布方向Ｙに移動するのではなく、支持基板を塗布方向Ｙに移動させてもよい。以下ではノズル１２を移動する形態について説明する。
【００４４】
ノズル１２を塗布方向Ｙに移動するさいには、直近の前記（Ｉ）の工程における前方の群に属するノズルの軌跡に、次回の前記（Ｉ）の工程において、後方の群に属するノズルの軌跡が重なるように、支持基板上において前記第１の方向とは垂直な方向（本実施形態では塗布方向Ｙ）に移動する。
【００４５】
すなわち、（Ｉ）の工程が終了した時点のノズル１２の配置から、塗布方向Ｙの一方にノズル１２を移動する。このさい、隔壁部材１１間の間隔をｐとし、ノズルの全本数を２×ｎ（記号「ｎ」は自然数をあらわす。）とすると、ｐ×ｎだけノズルを塗布方向Ｙに移動する。このように移動することにより、直近の前記（Ｉ）の工程における前方の群ｇｆに属するノズルの軌跡に、次回の前記（Ｉ）の工程において、後方の群ｇｂに属するノズルの軌跡が重なる。
【００４６】
図３に示す本実施形態では、３×ｐだけ、ノズル１２を塗布方向Ｙに移動するため、前方の群ｇｆに属するノズルの位置に、後方の群ｇｂに属するノズルが重なる。
【００４７】
以上の動作を図３に則して説明すると、ノズル１２は、まず工程（Ｉ−Ｉ）において、ノズルが右端に配置され、これが左端にまで移動し、工程（ＩＩ）において、３×ｐだけノズル１２を下方に移動し、つぎに工程（Ｉ−ＩＩ）において、ノズル１２が左端から右端まで移動する。これらの工程を繰り返すことにより、すべての隔壁部材１１間において、第１のノズル１２ａから吐出されるインキと、第２のノズル１２ｂから吐出される溶質を含まない液体とが重ねて塗られることになる。
【００４８】
その後、塗布されたインキが固化することにより、薄膜１３が形成される。なおインキの固化は、自然乾燥、加熱乾燥などによっておこなわれる。
【００４９】
従来の技術では、インキと溶媒とがそれぞれ１度ずつ塗布される行と、インキのみが１度塗布される行とが生じているが、上述のように本実施形態では、第１のノズル１２ａと第２のノズル１２ｂの本数を同じにすることにより、すべての隔壁部材１１間において、第１のノズル１２ａから吐出されるインキと、第２のノズル１２ｂから吐出される溶質を含まない液体とが重ねて塗られることになる。これによって、インキが固化したときに、形成された薄膜の性状に違いが生じることを防ぐことができ、従来の装置で形成された薄膜において生じていたスジムラが解消される。
【００５０】
以上のノズルプリンティング装置を用いて、有機ＥＬ素子を画素の光源として用いる表示装置を作製することができる。
【００５１】
たとえば表示装置は、各隔壁部材１１間において、走査方向Ｘに所定の間隔をあけて有機ＥＬ素子を配置されて構成される。各有機ＥＬ素子は、一対の電極と、当該電極間に設けられる発光層とを含んで構成される。なお一対の電極間には、発光層だけでなく、たとえば正孔注入層、正孔輸送層、電子輸送層、電子注入層などが設けられる。これら一対の電極間に設けられる層のうち、塗布法で形成することが可能な層を、上述のノズルプリンティング装置によって形成することができる。各層の材料には公知の材料が用いられる。
【００５２】
前述したように、発光材料を溶質として用いた場合には、発光層がノズルプリンティング装置によって形成される。
【００５３】
なおモノクロの表示装置では、すべての発光層が、同じ色の光を出射するため、全ての隔壁部材１１間に同じインキを塗布すればよいが、カラー表示装置の場合には、たとえば３種類の発光層が設けられるため、隔壁部材１１間ごとにインキを塗り分ける必要がある。
【００５４】
このような塗り分けをおこなうためには、たとえば図１に示す実施形態では、３本の第１のノズル１２ａを用いているが、各第１のノズル１２ａから吐出されるインキの種類をそれぞれ異ならせればよい。具体的には、３本の第１のノズル１２ａのうちの１本は、赤色の光を発する発光材料を含むインキを吐出し、１本は、緑色の光を発する発光材料を含むインキを吐出し、１本は、青色の光を発する発光材料を含むインキを吐出するようにすればよい。このように３種類のインキを吐出することにより、赤色の光を発する発光層、緑色の光を発する発光層、青色の光を発する発光層を、塗布方向Ｙに沿って順次形成することができる。
【００５５】
なお上記では複数種類のインキを一度に塗布する形態について説明したが、複数種類のインキを、複数回に分けて塗布してもよい。この場合、各回の塗布では、１種類のインキが塗布される。たとえば３種類のインキを３回に分けて塗布する場合、各回では、３×ｐの間隔毎にインキを塗布し、これを３回おこなうことにより、全ての隔壁部材１１間に、インキを塗り分けて塗布することができる。なおインキを塗布するさいには、ノズル１２の塗布方向Ｙの間隔を、３×ｐあける必要がある。
【符号の説明】
【００５６】
１ 隔壁部材
２ ノズル
３ 薄膜
１１ 隔壁部材
１２ ノズル
１３ 薄膜
２１ 装置
ｇ１ 第１の群
ｇ２ 第２の群
ｇｆ 前方の群
ｇｂ 後方の群
１２ａ 第１のノズル
１２ｂ 第２のノズル
【技術分野】
【０００１】
本発明はノズルプリンティング装置およびそれを用いた薄膜形成方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
所定のパターンでインキを塗布するための装置として、ノズルプリンティング装置がある。たとえば図４に示すような、互いに所定の間隔をあけて第１の方向Ｘに延在する複数本の隔壁部材１から構成される隔壁が設けられた支持基板において、各隔壁部材１間にインキを供給する場合に、このノズルプリンティング装置が用いられる。
【０００３】
図４はノズルプリンティング装置を用いてインキを塗布するときの態様を模式的に示す図である。ノズルプリンティング装置は、配列方向に所定の間隔をあけて配置される複数本のノズル２を備える。各ノズル２から所定のインキを吐出しつつ、前記第１の方向Ｘ（以下、走査方向Ｘと記載することがある。）の一方または他方にノズル２を走査することにより、隔壁部材１間にインキが供給され、これが固化することにより帯状の薄膜３が形成される。このノズル２の１回の走査により、当該ノズル２の本数分だけ帯状の薄膜３が形成される。
【０００４】
ノズル２を走査方向の一端から他端まで走査すると、つぎに、走査方向Ｘとは垂直な方向（以下、塗布方向Ｙと記載することがある。）にノズル２を移動する。なお塗布方向Ｙの一方を前方（図４では下方）、塗布方向Ｙの他方を後方（図４では上方）と記載することがある。このノズル２の前方への移動では、ノズルの本数分の行だけノズル２を前方に移動する（図４に示す形態では５行分の距離をノズル２が移動する。）このようなノズル２の走査方向Ｘの移動と、塗布方向Ｙの前方への移動とを交互に繰り返すことにより、全ての隔壁部材１間にインキを塗布することができる。
【０００５】
上記のような塗布方法において、所定の隔壁部材１間にインキが塗布された直後の状態に着目した場合、複数本のインキの塗布膜の中でも、その前方の塗布膜と後方の塗布膜とでは乾燥雰囲気が異なる。すなわち複数本のインキの塗布膜の後方はすでにインキが塗布されているため、雰囲気中のインキの溶媒濃度が高くなり、逆に前方にはインキが塗布されていないため、雰囲気中のインキの溶媒濃度が小さくなる。そのため、複数本のインキの塗布膜においてその後方の塗布膜はインキが乾燥しにくく、その前方の塗布膜はインキが乾燥しやすい状態となり、乾燥状態に違いが生じる。このように、インキの乾燥状態が前方と後方の塗布膜で異なるため、結果として乾燥後の塗布膜の性状まで異なることになり、ノズルの本数に対応する塗布膜ごとに、いわゆるスジムラが生じることになる。
【０００６】
たとえば有機ＥＬ（Electro Luminescence）素子の発光層などをノズルプリンティング装置で塗布形成した場合、上記スジムラが発光状態の違いとしてあらわれ、これが視認されることとなり、表示品位が低下するという問題がある。
【０００７】
このような問題を解決するために、従来の技術ではダミーのノズル２を設けている。すなわち従来の技術では、膜の形成に寄与しない溶媒のみを吐出するダミーのノズル２を、塗布方向Ｙの前方の一端に設けている。
【０００８】
図４を参照してダミーのノズル２を備えるノズルプリンティング装置の動作を説明する。前方の一端に配置されるノズルを第Ｉのノズルとし、後方に配置されるノズルを順次、第ＩＩ、第ＩＩＩ、第ＩＶ、第Ｖのノズルと名前を付与すると、第Ｉのノズルがダミーのノズルである。この第Ｉのノズルは、溶媒のみを吐出する。第ＩＩ〜第Ｖのノズルは、溶媒と溶質からなるインキを吐出する。
【０００９】
このノズルプリンティング装置では、まず走査方向Ｘの一端から他端にノズルを走査する。そうすると、前方の一端には、溶媒のみからなる塗布膜が形成されるとともに、その後方には、溶媒と溶質からなる４本の塗布膜が形成される。つぎに、ノズルを前方に移動するが、そのさいには、移動前に第Ｉのノズルの配置されていた位置に、第Ｖのノズルが重なるようにノズルを全体として移動する。その後、走査方向Ｘの他端から一端にノズルを走査する。そうすると、溶媒のみからなる塗布膜上に、さらに溶媒と溶質からなるインキが塗布されることになり、これによって全ての隔壁部材１間に、溶媒と溶質からなるインキが塗布されることになる。
【００１０】
このように、塗布膜の前方に溶媒のみからなる塗布膜を形成することにより、複数本のインキの塗布膜において、前方と後方の乾燥雰囲気の違いを小さくしている（たとえば特許文献１参照。）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１１】
【特許文献１】特開２００８−２０７０８４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
上記従来のダミーのノズルを備えるノズルプリンティング装置では、たしかに複数本のインキの塗布膜において、前方と後方の塗布膜の乾燥雰囲気の違いを小さくすることはできるが、インキと溶媒とがそれぞれ１度ずつ塗布される行と、インキのみが１度塗布される行とが生じる。そして、インキと溶媒とがそれぞれ１度ずつ塗布される行と、インキのみが１度塗布される行とでは、形成された薄膜の性状に違いが生じ、スジムラが生じる。前述したように、機ＥＬ素子の発光層などをノズルプリンティング装置で塗布形成した場合には、上記スジムラが発光状態の違いとしてあらわれ、これが視認されることとなり、表示品位が低下するという問題がある。
【００１３】
したがって本発明の目的は、スジムラの発生を抑制することが可能なノズルプリンティング装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明は所定の配列方向に所定の間隔をあけて配置される複数本のノズルを備えるノズルプリンティング装置であって、
前記複数本のノズルは、溶媒と溶質とを含むインキを吐出する第１のノズルと、溶質を含まない液体を吐出する第２のノズルとから構成され、
前記第１のノズルの本数と、第２のノズルの本数とが同じであるノズルプリンティング装置に関する。
【００１５】
また本発明は、前記第２のノズルは、第１の群と第２の群との２つの群に分けられ、
前記第１の群に属する第２のノズルは、前記所定の配列方向の一端に配置され、
前記第２の群に属する第２のノズルは、前記所定の配列方向の他端に配置され、
前記第１のノズルは、前記所定の配列方向において、前記第１の群に属する第２のノズルと、前記第２の群に属する第２のノズルとの間に配置される、ノズルプリンティング装置に関する。
【００１６】
前記第１の群に属する第２のノズルの本数をＮ、前記第２の群に属する第２のノズルの本数をＭとすると、
（Ｎ−Ｍ）２≦１
なる関係式を満たす、ノズルプリンティング装置に関する。
【００１７】
また本発明は、互いに所定の間隔をあけて第１の方向に延在する複数本の隔壁部材から構成される隔壁が設けられた支持基板において、隔壁部材間にインキを塗布する工程と、塗布されたインキを固化することにより薄膜を形成する工程とを有する薄膜形成方法であって、
前記インキを塗布する工程では、以下の（Ｉ）と（ＩＩ）の工程を交互に繰り返す、薄膜形成方法。
（Ｉ）前記ノズルプリンティング装置の前記複数本のノズルをそれぞれ隔壁部材間上に配置し、前記ノズルから前記インキを吐出しつつ、前記ノズルを前記第１の方向の一方または他方に移動し、隔壁部材間にインキを供給する工程に関する。
（ＩＩ）前記配列方向の中央で、前記複数のノズルを前方の群と後方の群の２つの群に区分けし、直近の前記（Ｉ）の工程における前方の群に属するノズルの軌跡に、次回の前記（Ｉ）の工程において、後方の群に属するノズルの軌跡が重なるように、支持基板上において前記第１の方向とは垂直な方向に、全てのノズルまたは前記支持基板を移動する工程。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、スジムラの発生を抑制することが可能なノズルプリンティング装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】ノズル１２の配置関係を模式的に示す図である。
【図２】複数本の隔壁部材１１から構成される隔壁が設けられた支持基板の平面図である。
【図３】ノズルプリンティング装置の動作を説明するための図である。
【図４】ノズルプリンティング装置を用いてインキを塗布するときの態様を模式的に示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
本発明のノズルプリンティング装置は、所定の配列方向に所定の間隔をあけて配置される複数本のノズルを備えるノズルプリンティング装置であって、前記複数本のノズルは、溶媒と溶質とを含むインキを吐出する第１のノズルと、前記溶質を含まない液体を吐出する第２のノズルとから構成され、前記第１のノズルの本数と、第２のノズルの本数とが同じであるノズルプリンティング装置である。
【００２１】
図１はノズル１２の配置関係を模式的に示す図である。ノズル１２は所定の配列方向ｔに所定の間隔をあけて配置される。配列方向ｔはノズル１２の配列される方向であり、通常は所定の直線に沿う方向である。なおノズル１２は所定の曲線上や折れ線上に沿って配置されていてもよい。
【００２２】
図１に示す実施形態では６本のノズル１２が配置されており、それぞれ等しい間隔をあけて配置されている。
【００２３】
本実施形態では、複数本のノズル１２は、それぞれ第１のノズル１２ａと、第２のノズル１２ｂとに分けられる。
【００２４】
第１のノズル１２ａは、溶媒と溶質とを含むインキを吐出する。この第１のノズル１２ａから吐出されたインキは、溶媒が気化し、溶質が薄膜化する。たとえば溶質として有機ＥＬ素子の発光材料を用いた場合、このインキを塗布することにより有機ＥＬ素子の発光層が形成される。
【００２５】
第２のノズル１２ｂは、溶質を含まない液体を吐出する。なお第２のノズル１２ｂから吐出される溶質を含まない液体は、６０℃〜３００℃程度の温度で気化する液体であればとくに制限はないが、第１のノズル１２ａから吐出されるインクの溶媒と同じ液体であることが好ましい。なお第２のノズル１２ｂから吐出される液体は、不純物として不可避的に混入される程度の量の溶質を含んでいてもよい。
【００２６】
前記第１のノズル１２ａの本数と、第２のノズル１２ｂの本数とは同じである。図１に示す実施形態では、６本のノズル１２が配置されているが、このうちの３本のノズル１２が第１のノズル１２ａであり、残りの３本のノズル１２が第２のノズル１２ｂである。
【００２７】
第１のノズル１２ａと第２のノズル１２ｂの配置はとくに限定されない。たとえばノズルはつぎの（ｉ）、（ｉｉ）または（ｉｉｉ）のように配置される。
（ｉ）
配列方向ｔの一方に第１のノズル１２ａが配置され、配列方向ｔの他方に第２のノズル１２ｂが配置される。
（ｉｉ）
配列方向ｔにおいて第１のノズル１２ａと第２のノズル１２ｂとが交互に配置される。
（ｉｉｉ）
第２のノズル１２ｂは、第１の群ｇ１と第２の群ｇ２との２つの群に分けられ、前記第１の群ｇ１に属する第２のノズル１２ｂは、前記所定の配列方向ｔの一端に配置され、前記第２の群ｇ２に属する第２のノズル１２ｂは、前記所定の配列方向ｔの他端に配置され、前記第１のノズル１２ａは、前記所定の配列方向ｔにおいて、前記第１の群ｇ１に属する第２のノズル１２ｂと、前記第２の群ｇ２に属する第２のノズル１２ｂとの間に配置される。
【００２８】
これらの中では（ｉｉｉ）の配置が好ましい。さらにこの（ｉｉｉ）の配置のなかでも、前記第１の群に属する第２のノズルの本数をＮ、前記第２の群に属する第２のノズルの本数をＭとすると、
（Ｎ−Ｍ）２≦１
なる関係式を満たすことがより好ましい。すなわち、前記第２の群に属するノズルは、前記第１の群に属するノズルの両端に概ね均等に配置されることが好ましい。これにより、前記第１のノズルから吐出されるインクの溶媒雰囲気を均一にできるため、より効果的にスジムラを抑制できる。
【００２９】
以下、この（ｉｉｉ）の構成について図１に則して説明する。まず第２のノズル１２ｂの本数は３本なので、これを２つの群に分けると、１本の第２のノズル１２ｂからなる群と２本の第２のノズル１２ｂからなる群とに分けられる。たとえば第２のノズル１２ｂのうちの１本の第２のノズル１２ｂが第１の群ｇ１に属し、残りの２本の第２のノズル１２ｂが第２の群ｇ２に属する。この第１の群ｇ１に属する１本の第２のノズル１２ｂが、配列方向ｔの一端に配置され、第２の群ｇ２に属する２本の第２のノズル１２ｂが、配列方向ｔの他端に配置される。そしてこれら第１の群ｇ１の第２のノズル１２ｂと、第２の群ｇ２の第２のノズル１２ｂとの間に、３本の第１のノズル１２ａが連続して配置される。
【００３０】
つぎに、上述のノズル１２を備えるノズルプリンティング装置の動作について説明する。本実施形態では、互いに所定の間隔をあけて第１の方向Ｘに延在する複数本の隔壁部材１１から構成される隔壁が設けられた支持基板に、インキを塗布する形態について説明する。
【００３１】
図２は複数本の隔壁部材１１から構成される隔壁が設けられた支持基板の平面図である。図３はノズルプリンティング装置の動作を説明するための図である。図２に示すように、隔壁は、第１の方向Ｘに延在する複数本の隔壁部材１１から構成される。なお以下では第１の方向Ｘを走査方向Ｘと記載することがある。
【００３２】
本実施形態では隔壁部材１１は、第２の方向Ｙに等しい間隔をあけて配置される。なお第２の方向Ｙは、第１の方向Ｘに垂直な方向であって、かつ支持基板の厚み方向にも垂直な方向である。以下では第２の方向Ｙを塗布方向Ｙと記載することがある。本実施形態ではノズルプリンティング装置を用いて、塗布方向Ｙに隣り合う全ての隔壁部材１１と隔壁部材１１との間にインキを供給する。
【００３３】
以下、塗布方向Ｙに隣り合う隔壁部材１１と隔壁部材１１との間隔を、隔壁部材１１のピッチｐと記載することがある。なお塗布方向Ｙに隣り合う隔壁部材１１と隔壁部材１１との間隔ｐとは、隔壁部材１１の塗布方向Ｙの中心間の距離ｐをあらわす。
【００３４】
ノズル１２の間隔は、隔壁部材１１のピッチｐに対応させて決定される。なおノズル１２の配列方向ｔは、かならずしも塗布方向Ｙに一致させる必要はない。ノズル１２の間隔は、その塗布方向Ｙの間隔が、隔壁部材１１のピッチと一致するように設定される。たとえばノズル１２の配列方向ｔを塗布方向Ｙに一致させる場合には、ノズル１２の配列方向ｔの間隔を隔壁部材１１のピッチｐに合わせればよい（図３参照）。またたとえばノズル１２の間隔が固定されている場合には、その配列方向ｔを塗布方向Ｙから傾かせることによって、ノズル１２の塗布方向Ｙの間隔を調整することができる。このようにして、塗布方向Ｙの間隔を隔壁部材１１のピッチｐに合わせてもよい。
【００３５】
まずノズル１２の塗布方向Ｙの間隔が、隔壁部材１１のピッチと一致するようにノズル１２の間隔を調整する。図３に示す本実施形態ではノズル１２の配列方向ｔを塗布方向Ｙに一致させるため、ノズル１２の配列方向ｔの間隔を隔壁部材１１のピッチｐに合わせる。
【００３６】
つぎに、以下の（Ｉ）、（ＩＩ）の工程を繰り返す。
（Ｉ）ノズルプリンティング装置の前記複数本のノズルをそれぞれ隔壁部材間上に配置し、前記ノズルから前記インキを吐出しつつ、前記ノズルを前記第１の方向の一方または他方に移動し、隔壁部材間にインキを供給する工程。
（ＩＩ）前記配列方向の中央で、前記複数のノズルを前方の群と後方の群の２つの群に区分けし、直近の前記（Ｉ）の工程における前方の群に属するノズルの軌跡に、次回の前記（Ｉ）の工程において、後方の群に属するノズルの軌跡が重なるように、支持基板上において前記第１の方向とは垂直な方向に、全てのノズルまたは前記支持基板を移動する工程。
【００３７】
（Ｉ）の工程では、まずノズル１２を走査方向Ｘに走査したときに、各ノズル１２が、支持基板の厚み方向において、隔壁部材１１と隔壁部材１１との間の鉛直方向の上方を通過するようにノズル１２を配置する。そして、前記ノズルから前記インキを吐出しつつ、前記ノズル１２を前記第１の方向（本実施形態では走査方向Ｘ）の一方または他方に移動し、隔壁部材間にインキを供給する。
【００３８】
この（Ｉ）の工程において、ノズル１２を走査方向の一方に移動する場合には、ノズル１２を走査方向の他端から一端まで移動する。これを工程（Ｉ−Ｉ）と記載する。
【００３９】
（Ｉ）の工程において、ノズル１２を走査方向の他方に移動する場合には、ノズル１２を走査方向の一端から他端まで移動する。これを工程（Ｉ−ＩＩ）と記載する。
【００４０】
本実施形態では、（Ｉ−Ｉ）、（ＩＩ）、（Ｉ−ＩＩ）、（ＩＩ）の工程をこの順で繰り返すことにより、全ての隔壁部材１１間にインキを供給する。
【００４１】
つぎに（ＩＩ）の工程では、前記配列方向の中央で、前記複数のノズルを前方の群と後方の群の２つの群に区分けする。ここで前方とは、当該（ＩＩ）の工程においてノズルが塗布方向に移動する向き（図３では下方）に対応し、後方とは、当該（ＩＩ）の工程においてノズルが塗布方向に移動する向きにとは反対の向き（図３では上方）に対応する。
【００４２】
たとえば図１に示す実施形態では、配列方向ｔの中央で、６本のノズル１２を、３本のノズルからなる前方の群ｇｆと、３本のノズルからなる後方の群ｇｂとに区分けする。すなわち前方の群ｇｆは中央よりも右側に配置される３本のノズル１２からなる群に対応し、後方の群ｇｂは中央よりも左側に配置される３本のノズル１２からなる群に対応する。
【００４３】
つぎにノズル１２を塗布方向Ｙに移動する。このさい、ノズル１２を塗布方向Ｙに移動するのではなく、支持基板を塗布方向Ｙに移動させてもよい。以下ではノズル１２を移動する形態について説明する。
【００４４】
ノズル１２を塗布方向Ｙに移動するさいには、直近の前記（Ｉ）の工程における前方の群に属するノズルの軌跡に、次回の前記（Ｉ）の工程において、後方の群に属するノズルの軌跡が重なるように、支持基板上において前記第１の方向とは垂直な方向（本実施形態では塗布方向Ｙ）に移動する。
【００４５】
すなわち、（Ｉ）の工程が終了した時点のノズル１２の配置から、塗布方向Ｙの一方にノズル１２を移動する。このさい、隔壁部材１１間の間隔をｐとし、ノズルの全本数を２×ｎ（記号「ｎ」は自然数をあらわす。）とすると、ｐ×ｎだけノズルを塗布方向Ｙに移動する。このように移動することにより、直近の前記（Ｉ）の工程における前方の群ｇｆに属するノズルの軌跡に、次回の前記（Ｉ）の工程において、後方の群ｇｂに属するノズルの軌跡が重なる。
【００４６】
図３に示す本実施形態では、３×ｐだけ、ノズル１２を塗布方向Ｙに移動するため、前方の群ｇｆに属するノズルの位置に、後方の群ｇｂに属するノズルが重なる。
【００４７】
以上の動作を図３に則して説明すると、ノズル１２は、まず工程（Ｉ−Ｉ）において、ノズルが右端に配置され、これが左端にまで移動し、工程（ＩＩ）において、３×ｐだけノズル１２を下方に移動し、つぎに工程（Ｉ−ＩＩ）において、ノズル１２が左端から右端まで移動する。これらの工程を繰り返すことにより、すべての隔壁部材１１間において、第１のノズル１２ａから吐出されるインキと、第２のノズル１２ｂから吐出される溶質を含まない液体とが重ねて塗られることになる。
【００４８】
その後、塗布されたインキが固化することにより、薄膜１３が形成される。なおインキの固化は、自然乾燥、加熱乾燥などによっておこなわれる。
【００４９】
従来の技術では、インキと溶媒とがそれぞれ１度ずつ塗布される行と、インキのみが１度塗布される行とが生じているが、上述のように本実施形態では、第１のノズル１２ａと第２のノズル１２ｂの本数を同じにすることにより、すべての隔壁部材１１間において、第１のノズル１２ａから吐出されるインキと、第２のノズル１２ｂから吐出される溶質を含まない液体とが重ねて塗られることになる。これによって、インキが固化したときに、形成された薄膜の性状に違いが生じることを防ぐことができ、従来の装置で形成された薄膜において生じていたスジムラが解消される。
【００５０】
以上のノズルプリンティング装置を用いて、有機ＥＬ素子を画素の光源として用いる表示装置を作製することができる。
【００５１】
たとえば表示装置は、各隔壁部材１１間において、走査方向Ｘに所定の間隔をあけて有機ＥＬ素子を配置されて構成される。各有機ＥＬ素子は、一対の電極と、当該電極間に設けられる発光層とを含んで構成される。なお一対の電極間には、発光層だけでなく、たとえば正孔注入層、正孔輸送層、電子輸送層、電子注入層などが設けられる。これら一対の電極間に設けられる層のうち、塗布法で形成することが可能な層を、上述のノズルプリンティング装置によって形成することができる。各層の材料には公知の材料が用いられる。
【００５２】
前述したように、発光材料を溶質として用いた場合には、発光層がノズルプリンティング装置によって形成される。
【００５３】
なおモノクロの表示装置では、すべての発光層が、同じ色の光を出射するため、全ての隔壁部材１１間に同じインキを塗布すればよいが、カラー表示装置の場合には、たとえば３種類の発光層が設けられるため、隔壁部材１１間ごとにインキを塗り分ける必要がある。
【００５４】
このような塗り分けをおこなうためには、たとえば図１に示す実施形態では、３本の第１のノズル１２ａを用いているが、各第１のノズル１２ａから吐出されるインキの種類をそれぞれ異ならせればよい。具体的には、３本の第１のノズル１２ａのうちの１本は、赤色の光を発する発光材料を含むインキを吐出し、１本は、緑色の光を発する発光材料を含むインキを吐出し、１本は、青色の光を発する発光材料を含むインキを吐出するようにすればよい。このように３種類のインキを吐出することにより、赤色の光を発する発光層、緑色の光を発する発光層、青色の光を発する発光層を、塗布方向Ｙに沿って順次形成することができる。
【００５５】
なお上記では複数種類のインキを一度に塗布する形態について説明したが、複数種類のインキを、複数回に分けて塗布してもよい。この場合、各回の塗布では、１種類のインキが塗布される。たとえば３種類のインキを３回に分けて塗布する場合、各回では、３×ｐの間隔毎にインキを塗布し、これを３回おこなうことにより、全ての隔壁部材１１間に、インキを塗り分けて塗布することができる。なおインキを塗布するさいには、ノズル１２の塗布方向Ｙの間隔を、３×ｐあける必要がある。
【符号の説明】
【００５６】
１ 隔壁部材
２ ノズル
３ 薄膜
１１ 隔壁部材
１２ ノズル
１３ 薄膜
２１ 装置
ｇ１ 第１の群
ｇ２ 第２の群
ｇｆ 前方の群
ｇｂ 後方の群
１２ａ 第１のノズル
１２ｂ 第２のノズル
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の配列方向に所定の間隔をあけて配置される複数本のノズルを備えるノズルプリンティング装置であって、
前記複数本のノズルは、溶媒と溶質とを含むインキを吐出する第１のノズルと、溶質を含まない液体を吐出する第２のノズルとから構成され、
前記第１のノズルの本数と、第２のノズルの本数とが同じであるノズルプリンティング装置。
【請求項２】
前記第２のノズルは、第１の群と第２の群との２つの群に分けられ、
前記第１の群に属する第２のノズルは、前記所定の配列方向の一端に配置され、
前記第２の群に属する第２のノズルは、前記所定の配列方向の他端に配置され、
前記第１のノズルは、前記所定の配列方向において、前記第１の群に属する第２のノズルと、前記第２の群に属する第２のノズルとの間に配置される、請求項１記載のノズルプリンティング装置。
【請求項３】
前記第１の群に属する第２のノズルの本数をＮ、前記第２の群に属する第２のノズルの本数をＭとすると、
（Ｎ−Ｍ）２≦１
なる関係式を満たす、請求項２記載のノズルプリンティング装置。
【請求項４】
互いに所定の間隔をあけて第１の方向に延在する複数本の隔壁部材から構成される隔壁が設けられた支持基板において、隔壁部材間にインキを塗布する工程と、塗布されたインキを固化することにより薄膜を形成する工程とを有する薄膜形成方法であって、
前記インキを塗布する工程では、以下の（Ｉ）と（ＩＩ）の工程を交互に繰り返す、薄膜形成方法。
（Ｉ）請求項１から３記載のいずれかに記載のノズルプリンティング装置の前記複数本のノズルをそれぞれ隔壁部材間上に配置し、前記ノズルから前記インキを吐出しつつ、前記ノズルを前記第１の方向の一方または他方に移動し、隔壁部材間にインキを供給する工程。
（ＩＩ）前記配列方向の中央で、前記複数のノズルを前方の群と後方の群の２つの群に区分けし、直近の前記（Ｉ）の工程における前方の群に属するノズルの軌跡に、次回の前記（Ｉ）の工程において、後方の群に属するノズルの軌跡が重なるように、支持基板上において前記第１の方向とは垂直な方向に、全てのノズルまたは前記支持基板を移動する工程。
【請求項１】
所定の配列方向に所定の間隔をあけて配置される複数本のノズルを備えるノズルプリンティング装置であって、
前記複数本のノズルは、溶媒と溶質とを含むインキを吐出する第１のノズルと、溶質を含まない液体を吐出する第２のノズルとから構成され、
前記第１のノズルの本数と、第２のノズルの本数とが同じであるノズルプリンティング装置。
【請求項２】
前記第２のノズルは、第１の群と第２の群との２つの群に分けられ、
前記第１の群に属する第２のノズルは、前記所定の配列方向の一端に配置され、
前記第２の群に属する第２のノズルは、前記所定の配列方向の他端に配置され、
前記第１のノズルは、前記所定の配列方向において、前記第１の群に属する第２のノズルと、前記第２の群に属する第２のノズルとの間に配置される、請求項１記載のノズルプリンティング装置。
【請求項３】
前記第１の群に属する第２のノズルの本数をＮ、前記第２の群に属する第２のノズルの本数をＭとすると、
（Ｎ−Ｍ）２≦１
なる関係式を満たす、請求項２記載のノズルプリンティング装置。
【請求項４】
互いに所定の間隔をあけて第１の方向に延在する複数本の隔壁部材から構成される隔壁が設けられた支持基板において、隔壁部材間にインキを塗布する工程と、塗布されたインキを固化することにより薄膜を形成する工程とを有する薄膜形成方法であって、
前記インキを塗布する工程では、以下の（Ｉ）と（ＩＩ）の工程を交互に繰り返す、薄膜形成方法。
（Ｉ）請求項１から３記載のいずれかに記載のノズルプリンティング装置の前記複数本のノズルをそれぞれ隔壁部材間上に配置し、前記ノズルから前記インキを吐出しつつ、前記ノズルを前記第１の方向の一方または他方に移動し、隔壁部材間にインキを供給する工程。
（ＩＩ）前記配列方向の中央で、前記複数のノズルを前方の群と後方の群の２つの群に区分けし、直近の前記（Ｉ）の工程における前方の群に属するノズルの軌跡に、次回の前記（Ｉ）の工程において、後方の群に属するノズルの軌跡が重なるように、支持基板上において前記第１の方向とは垂直な方向に、全てのノズルまたは前記支持基板を移動する工程。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図２】
【図３】
【図４】
【公開番号】特開２０１３−５２３５１（Ｐ２０１３−５２３５１Ａ）
【公開日】平成２５年３月２１日（２０１３．３．２１）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−１９２４８４（Ｐ２０１１−１９２４８４）
【出願日】平成２３年９月５日（２０１１．９．５）
【出願人】（０００００２０９３）住友化学株式会社 (8,981)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２５年３月２１日（２０１３．３．２１）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年９月５日（２０１１．９．５）
【出願人】（０００００２０９３）住友化学株式会社 (8,981)
【Ｆターム（参考）】
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