ノズルプレートとその製造方法、及び液滴吐出ヘッドとその製造方法並びに液滴吐出装置とその製造方法
【課題】安定した吐出性能を確保する。
【解決手段】プレート１２８の一面１２８ａ側に開口する漏斗状の漏斗部１５１と、同径で延びて漏斗部１５１と連通する同径部とを有するノズルをプレート１２８に形成する。漏斗部１５１に対応する輪郭形状を有するポンチＰでプレート本体１６１の一面を加圧して、漏斗部１５１を形成する第１工程と、プレート本体１６１の他面１２８ｂ側を除去して漏斗部１５１を開口させる第２工程と、プレート本体１６１の他面に感光性樹脂層１６２を設ける第３工程と、感光性樹脂層１６２をパターニングして同径部を形成する第４工程と、を有する。
【解決手段】プレート１２８の一面１２８ａ側に開口する漏斗状の漏斗部１５１と、同径で延びて漏斗部１５１と連通する同径部とを有するノズルをプレート１２８に形成する。漏斗部１５１に対応する輪郭形状を有するポンチＰでプレート本体１６１の一面を加圧して、漏斗部１５１を形成する第１工程と、プレート本体１６１の他面１２８ｂ側を除去して漏斗部１５１を開口させる第２工程と、プレート本体１６１の他面に感光性樹脂層１６２を設ける第３工程と、感光性樹脂層１６２をパターニングして同径部を形成する第４工程と、を有する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ノズルプレートとその製造方法、及び液滴吐出ヘッドとその製造方法並びに液滴吐出装置とその製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液滴吐出方式の液滴吐出ヘッドでは、インク加圧室に連通する流路をノズルプレートにより覆って、インク流路の部分に開口したノズルからインクを吐出させるように構成しており、この構成では、インクがノズルの軸線方向で安定して吐出されるように、メニスカスを安定化させ、圧力波を減衰させる観点から、ノズルプレートに形成されるノズルは通常、吐出側に同径で延びるストレート部が配置され、流路側にストレート部から漸次拡径する漏斗型の拡径部が配置された形状を有している。その様なノズルの形成方法として、例えば特許文献１にはノズルの漏斗形状に見合う形状を持つポンチと、ポンチ先端の細径部より僅かに大きい孔に面取り部を設けたダイとを組み合わせて、ノズルプレートにポンチを貫通させることによって形成することが記載されている。
【０００３】
また、特許文献２には、漏斗形状の細径部の先端が錐状に突出したポンチで突いて、ノズルプレート内部に孔形状を形成した後に、インク吐出側のノズルプレート突出部を研磨して穴を仕上げる技術が開示されている。
【特許文献１】特開平５−２２９１２７号公報
【特許文献２】特開２０００−２８９２１１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上述したような従来技術には、以下のような問題が存在する。
微小液滴を吐出するヘッドにおいては、ノズルにおけるストレート部の長さが吐出性能に大きく影響し、液滴量が変動することが知られている。
そのため、従来、プリンタ用途の液滴量（ピコリットルレベル）では問題とされなかった液滴吐出量のばらつきが、微少量（フェムトリットルレベル）の液滴を吐出し電子デバイス製造に応用する分野では、電子デバイスの性能（抵抗、移動度、発光性能等）に与える影響が無視できなくなっている。
ところが、上述した特許文献１、２に記載された技術では、ストレート部の長さのばらつきが大きく、安定した吐出性能を確保することが困難であった。
【０００５】
本発明は、以上のような点を考慮してなされたもので、安定した吐出性能を確保できるノズルプレートとその製造方法、及び液滴吐出ヘッドとその製造方法並びに液滴吐出装置とその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の目的を達成するために本発明は、以下の構成を採用している。
本発明のノズルプレート製造方法は、プレートの一面側に開口する漏斗状の漏斗部と、同径で延びて前記漏斗部と連通する同径部とを有するノズルをプレートに形成するノズルプレート製造方法であって、前記漏斗部に対応する輪郭形状を有するポンチでプレート本体の一面を加圧して、前記漏斗部を形成する第１工程と、前記プレート本体の他面側を除去して前記漏斗部を開口させる第２工程と、前記プレート本体の他面に感光性樹脂層を設ける第３工程と、前記感光性樹脂層をパターニングして前記同径部を形成する第４工程と、を有することを特徴とするものである。
従って、本発明のノズルプレート製造方法では、同径部の長さが感光性樹脂層の厚さで規定されるため、ポンチ加工条件等によってストレート長さが変動することを防止して、一定の長さとすることができる。そのため、本発明では、微少量の液滴を吐出する場合であっても、安定した吐出性能を確保することができる。
【０００７】
また、本発明では、前記第４工程において前記プレート本体をマスクとして、前記感光性樹脂層の一部を感光させる手順を好適に採用できる。
従って、本発明のノズルプレート製造方法では、感光性樹脂層をパターニングして同径部を形成するためのマスクを別途、用意する必要がなくなり、コストダウン及び生産性の向上に寄与できる。
【０００８】
また、本発明では、前記第３工程において感光性樹脂フィルムを前記プレート本体に貼り付けて前記感光性樹脂層を設ける手順も好適に採用できる。
従って、本発明のノズルプレート製造方法では、感光性樹脂フィルムの厚さで同径部の長さを容易に規定することができ、また、同径部の長さに応じた厚さを有する感光性樹脂フィルムを適宜選択することにより、同径部の長さを複数設定する際にも容易に対応可能である。
【０００９】
また、本発明の液滴吐出ヘッド製造方法は、ノズルプレートを有する液滴吐出ヘッドの製造方法であって、先に記載のノズルプレート製造方法で前記ノズルプレートを製造することを特徴とするものである。
そして、本発明の液滴吐出装置製造方法は、液滴吐出ヘッドを有する液滴吐出装置の製造方法であって、先に記載の液滴吐出ヘッド製造方法で前記液滴吐出ヘッドを製造することを特徴とするものである。
従って、本発明の液滴吐出ヘッド製造方法及び液滴吐出装置製造方法では、ノズルの同径部を所定長さに調整することが可能になるため、微少量の液滴を吐出する場合であっても、安定した吐出性能を確保することができ、描画精度の高い液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置を製造することが可能になる。
【００１０】
一方、本発明のノズルプレートは、プレートの一面側に開口する漏斗状の漏斗部と、同径で延びて前記漏斗部と連通する同径部とを有するノズルが形成されたノズルプレートであって、プレート本体に前記漏斗部が設けられ、前記プレート本体の他面に、前記同径部を有する感光性樹脂層が設けられることを特徴とするものである。
従って、本発明のノズルプレートでは、同径部の長さが感光性樹脂層の厚さで規定されるため、ポンチ加工条件等によってストレート長さが変動することを防止して、一定の長さとすることができる。そのため、本発明では、微少量の液滴を吐出する場合であっても、安定した吐出性能を確保することができる。
【００１１】
前記感光性樹脂層としては、前記プレート本体に貼り付けられた感光性樹脂フィルムで形成される構成を好適に採用できる。
これにより、本発明のノズルプレートでは、感光性樹脂フィルムの厚さで同径部の長さを容易に規定することができ、また、同径部の長さに応じた厚さを有する感光性樹脂フィルムを適宜選択することにより、同径部の長さを複数設定する際にも容易に対応可能である。
【００１２】
また、本発明の液滴吐出ヘッドは、先に記載のノズルプレートを備えることを特徴とするものである。
そして、本発明の液滴吐出装置は、先に記載の液滴吐出ヘッドを備えることを特徴とするものである。
従って、本発明の液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置では、ノズルの同径部を所定長さに調整することが可能になるため、微少量の液滴を吐出する場合であっても、安定した吐出性能を確保することができ、描画精度の高い液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置を得ることが可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明のノズルプレートとその製造方法、及び液滴吐出ヘッドとその製造方法並びに液滴吐出装置とその製造方法の実施の形態を、図１ないし図４を参照して説明する。
なお、以下の説明に用いる各図面では、各部材を認識可能な大きさとするため、各部材の縮尺を適宜変更している。
【００１４】
（液滴吐出装置）
まず、本発明に係るノズルプレート製造方法及び液滴吐出ヘッド製造方法並びに液滴吐出装置製造方法において用いられる液滴吐出装置について図１及び図２を参照して説明する。
図１に示す液滴吐出装置１は、基本的にはインクジェット装置である。より具体的には、液滴吐出装置１は、液状材料１１１を保持するタンク１０１と、チューブ１１０と、グランドステージＧＳと、吐出ヘッド部（液滴吐出ヘッド）１０３と、ステージ１０６と、第１位置制御装置１０４と、第２位置制御装置１０８と、制御部１１２と、光照射装置１４０と、支持部１０４ａと、を備えている。
【００１５】
吐出ヘッド部１０３は、ヘッド１１４（図２参照）を保持している。このヘッド１１４は、制御部１１２からの信号に応じて、液状材料１１１の液滴を吐出する。なお、吐出ヘッド部１０３におけるヘッド１１４は、チューブ１１０によってタンク１０１に連結されており、このため、タンク１０１からヘッド１１４に液状材料１１１が供給される。
ステージ１０６は基板（後述）を固定するための平面を提供している。さらにステージ１０６は、吸引力を用いて基板の位置を固定する機能も有する。
【００１６】
第１位置制御装置１０４は、支持部１０４ａによって、グランドステージＧＳから所定の高さの位置に固定されている。この第１位置制御装置１０４は、制御部１１２からの信号に応じて、吐出ヘッド部１０３をＸ軸方向と、Ｘ軸方向に直交するＺ軸方向と、に沿って移動させる機能を有する。さらに、第１位置制御装置１０４は、Ｚ軸に平行な軸の回りで吐出ヘッド部１０３を回転させる機能も有する。ここで、本実施例では、Ｚ軸方向は、鉛直方向（つまり重力加速度の方向）に平行な方向である。
【００１７】
第２位置制御装置１０８は、制御部１１２からの信号に応じて、ステージ１０６をグランドステージＧＳ上でＹ軸方向に移動させる。ここで、Ｙ軸方向は、Ｘ軸方向およびＺ軸方向の双方と直交する方向である。
【００１８】
上述のように、第１位置制御装置１０４によって、吐出ヘッド部１０３はＸ軸方向に移動する。そして、第２位置制御装置１０８によって、基板はステージ１０６と共にＹ軸方向に移動する。これらの結果、基板に対するヘッド１１４の相対位置が変わる。より具体的には、これらの動作によって、吐出ヘッド部１０３、ヘッド１１４、またはノズル１１８（図２参照）は、基板に対して、Ｚ軸方向に所定の距離を保ちながら、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に相対的に移動、すなわち相対的に走査する。「相対移動」または「相対走査」とは、液状材料１１１を吐出する側と、そこからの吐出物が着弾する側（被吐出部）の少なくとも一方を他方に対して相対移動することを意味する。
【００１９】
制御部１１２は、液状材料１１１の液滴を吐出すべき相対位置を表す吐出データを外部情報処理装置から受け取るように構成されている。制御部１１２は、受け取った吐出データを内部の記憶装置に格納するとともに、格納された吐出データに応じて、第１位置制御装置１０４と、第２位置制御装置１０８と、ヘッド１１４と、を制御する。なお、吐出データとは、基板上に、液状材料１１１を所定パターンで付与するためのデータである。本実施例では、吐出データはビットマップデータの形態を有している。
【００２０】
上記構成を有する液滴吐出装置１は、吐出データに応じて、ヘッド１１４のノズル１１８（図２参照）を基板に対して相対移動させるとともに、被吐出部に向けてノズル１１８から液状材料１１１を吐出する。なお、液滴吐出装置１によるヘッド１１４の相対移動と、ヘッド１１４からの液状材料１１１の吐出とをまとめて「塗布走査」または「吐出走査」と表記することもある。
光照射装置１４０は、基板に付与された液状材料１１１に紫外光を照射する装置である。光照射装置１４０の紫外光の照射のＯＮ・ＯＦＦは制御部１１２によって制御される。
【００２１】
図２（ａ）および（ｂ）に示すように、液滴吐出装置１におけるヘッド１１４は、複数のノズル１１８を有するインクジェットヘッドである。具体的には、ヘッド１１４は、振動板１２６と、複数のノズル１１８と、複数のノズル１１８のそれぞれの開口を規定するノズルプレート（プレート）１２８と、液たまり１２９と、複数の隔壁１２２と、複数のキャビティ１２０と、複数の振動子１２４と、を備えている。
【００２２】
液たまり１２９は、振動板１２６と、ノズルプレート１２８と、の間に位置しており、この液たまり１２９には、図示しない外部タンクから孔１３１を介して供給される液状材料１１１が常に充填される。また、複数の隔壁１２２は、振動板１２６と、ノズルプレート１２８と、の間に位置している。
キャビティ１２０は、振動板１２６と、ノズルプレート１２８と、一対の隔壁１２２と、によって囲まれた部分である。キャビティ１２０はノズル１１８に対応して設けられているため、キャビティ１２０の数とノズル１１８の数とは同じである。キャビティ１２０には、一対の隔壁１２２間に位置する供給口１３０を介して、液たまり１２９から液状材料１１１が供給される。
【００２３】
図２（ｂ）に示すように、ノズルプレート１２８は、例えばステンレスで形成されたプレート本体１６１と、プレート本体１６１の液滴吐出側の面（他面）１２８ｂに設けられた感光性樹脂層１６２とから構成されている。本実施形態では、感光性樹脂層１６２として、所定厚さ（後述）を有する感光性のレジストフィルム（感光性樹脂フィルム）がノズルプレート１２８の面１２８ｂに貼り付けられている。
【００２４】
ノズル１１８は、ノズルプレート１２８のキャビティ１２０側（液たまり１２９側）の面（一面）１２８ａに最大径部が開口する漏斗状の漏斗部１５１と、漏斗部の底部（最小径部）から同径で延びてノズルプレート１２８の液滴吐出側の面１２８ｂ側に開口するストレート部（同径部）１５２とを有している。より詳細には、漏斗部１５１は、プレート本体１６１に形成されており、ストレート部１５２は感光性樹脂層１６２に、漏斗部１５１と同軸で連通するように形成されている。
このストレート部１５２は、例えば直径（ノズル径）１０μｍ、長さが５μｍに設定されており、従って、漏斗部１５１は、直径１０μｍ程度に形成された底部から面１２８ａに向かうに従って漸次拡径するテーパ状に形成されている。
【００２５】
複数の振動子１２４のそれぞれは、それぞれのキャビティ１２０に対応するように振動板１２６上に位置する。複数の振動子１２４のそれぞれは、ピエゾ素子１２４Ｃと、ピエゾ素子１２４Ｃを挟む一対の電極１２４Ａ，１２４Ｂと、を含む。制御部１１２が、この一対の電極１２４Ａ，１２４Ｂの間に駆動電圧を与えることで、対応するノズル１１８から液状材料１１１の液滴Ｄが吐出される。ここで、ノズル１１８から吐出される材料の体積は、例えばフェムトリットルレベルからピコリットルレベルで可変である。なお、上述したように、ノズル１１８からＺ軸方向に液状材料１１１の液滴が吐出されるように、ノズル１１８の形状（特に、ストレート部１５２の長さ）が調整されている。
なお、吐出部１２７は、ピエゾ素子の代わりに電気熱変換素子を有してもよい。つまり、吐出部１２７は、電気熱変換素子による材料の熱膨張を利用して材料を吐出する構成を有していてもよい。
【００２６】
（ノズル形成装置）
続いて、上記ノズルプレート１２８に対してノズル１１８を形成する装置について、図３を参照して説明する。
図３（ａ）に示すノズル形成装置２００は、ノズルプレート１２８を下方から支持する下治具２０１、ポンチＰの基部ＢＰを保持して下治具２０１に対して離間・接近する保持治具２０２、保持治具２０２にバネ２１０を介して連結され、保持治具２０２が下降した際に、下治具２０１との間でバネ２１０の付勢力でノズルプレート１２８を押さえる押さえ治具２０３とから構成される。保持治具２０２、押さえ治具２０３、バネ２１０により上治具が構成される。
下治具２０１には、ポンチＰ（ノズル１１８）の位置に対応して、貫通孔２０１ａが形成されている。
【００２７】
図２（ｂ）は、ポンチＰの先端部を示す部分拡大図である。
この図に示すように、ポンチＰの先端には、ノズル１１８の漏斗部１５１に対応するように、先端部から基端部に向かうに従って漸次拡径する輪郭形状を有する漏斗輪郭部１５１Ｐが設けられている。
【００２８】
（ノズルプレート製造方法）
続いて、上記のノズル形成装置２００を用いてノズルプレート１２８に、図２に示すノズル１１８を形成する手順について図４を参照して説明する。
まず、図３に示すように、下治具２０１に、例えばステンレス材で形成されたノズルプレート１２８のプレート本体１６１を載置した後に、保持治具２０２を下降させることにより、バネ２１０の付勢力でプレート本体１６１を下治具２０１と押さえ治具２０３との間で保持した状態で面１２８ａに対してポンチＰにより衝撃加圧する。
【００２９】
このとき、図４（ａ）に示すように、ポンチＰの漏斗輪郭部１５１Ｐがプレート本体１６１を貫通しないストロークでポンチＰを下降させる。これにより、プレート本体１６１においては、漏斗輪郭部１５１Ｐの輪郭形状に応じた漏斗部１５１、及び面１２８ｂから貫通孔２０１ａに突出する突出部１５３が形成される（第１工程）。
【００３０】
続いて、プレート本体１６１からポンチＰを離脱させ、次いで、図４（ｂ）に示すように、面１２８ｂを研磨加工（研削）により除去して、漏斗部１５１の下端部となる箇所を開口させる（第２工程）。この後、図４（ｃ）に示すように、プレート本体１６１の面１２８ｂにレジストフィルムを感光性樹脂層１６２として貼り付ける（第３工程）。このレジストフィルムとしては、厚さが図３に示したストレート部１５２の長さと同一のものを選択して用いる。
【００３１】
次に、ＵＶランプ１５５によりプレート本体１６１の面１２８ａ側からＵＶ光を照射し、プレート本体１６１をマスクとして、漏斗部１５１から露出する感光性樹脂層１６２を感光させる（露光する）。そして、感光性樹脂層１６２を現像することにより、感光性樹脂層１６２の感光部１６２ａが除去されて（パターニングされて）、図２（ｂ）に示したストレート部１５２が形成される（第４工程）。
これにより、ノズルプレート１２８には、プレート本体１６１及び感光性樹脂層１６２に跨るノズル１１８が形成される。
【００３２】
以上説明したように、本実施形態では、プレート本体１６１に設けた感光性樹脂層１６２にストレート部１５２を形成するため、感光性樹脂層１６２の厚さでストレート部１５２の長さを規定することができる。そのため、本実施形態では、ポンチ加工条件（ポンチ取り付け精度、加圧力、加圧時間、下治具２０１の精度、ノズルプレート１２８の板材特性）に依存することなく、ストレート部１５２の長さを常に一定、且つ高精度に確保することが可能になる。
従って、本実施形態では、吐出ヘッド部１０３からフェムトリットルレベルの微少量の液滴を吐出する場合でも、安定した吐出性能（吐出特性）を確保することができ、描画精度の高い吐出ヘッド部１０３及び液滴吐出装置１を得ることが可能になる。
【００３３】
また、本実施形態では、複数のノズル１１８（ストレート部１５２）を有するノズルプレート１２８を製造する場合でも、同一厚さの感光性樹脂層１６２にストレート部１５２を形成することになるため、同一のストレート長さを有する複数のストレート部１５２を容易に形成することが可能になる。そのため、本実施形態では、吐出ヘッド部１０３における複数のノズル１１８のストレート長さを均一化して、各吐出量を均一化することができ、その結果、液滴吐出装置１を用いて形成される膜の膜厚を高精度に制御することができ、製品の品質向上も図ることも可能になる。
【００３４】
また、本実施形態では、感光性樹脂層１６２をレジストフィルムで形成しているため、ノズル１１８のストレート長さに応じた厚さのフィルムを適宜選択して貼り付ければ、各種ストレート長さを複数設定する際にも容易に対応可能である。
【００３５】
さらに、ノズル形成に用いるポンチを高精度に製作するには、コスト増及び生産性の低下を招く可能性もあるが、本実施形態では、従来のポンチ技術をそのまま利用することが可能である。
特に、本実施形態では、ポンチＰがストレート部１５２に対応する細径の輪郭形状を有さない構成とできるため、ポンチＰを簡素な形状とすることができるとともに、強度も向上させることができ、ポンチＰのコストダウン及び高寿命化、すなわちノズルプレート１２８の製造に係る費用の低減化及び生産性の向上にも寄与できる。
【００３６】
また、本実施形態では、感光性樹脂層１６２を感光させる（露光する）際に、プレート本体１６１をマスクとしているため、別途、ストレート部形成用のマスクを製作・用意する必要がなくなり、さらなるコストダウン及び生産性の向上に寄与できる。加えて、本実施形態では、プレート本体１６１をマスクとすることにより、ストレート部１５２を漏斗部１５１と連続、且つ同径に形成することができ、芯ズレ等が生じて吐出特性が低下することを防止して、高精度な吐出性能を有するノズルプレート１２８を製造することが可能になる。
【００３７】
以上、添付図面を参照しながら本発明に係る好適な実施形態について説明したが、本発明は係る例に限定されないことは言うまでもない。上述した例において示した各構成部材の諸形状や組み合わせ等は一例であって、本発明の主旨から逸脱しない範囲において設計要求等に基づき種々変更可能である。
【００３８】
例えば、上記実施形態では、プレート本体１６１をマスクとして感光性樹脂層１６２を感光させる構成としたが、これに限定されるものではなく、例えばストレート部１５２に対応した開口部を有するマスクを感光性樹脂層１６２の液滴吐出側に設け、このマスクを介して感光性樹脂層１６２を感光させる構成としてもよい。この場合、ＵＶランプ１５５と感光性樹脂層１６２との距離を短くでき、より効率的に感光性樹脂層１６２を感光させることが可能になる。
【００３９】
また、上記実施形態では、感光性樹脂層１６２をレジストフィルムで形成する構成として説明したが、液状の感光性樹脂を液滴吐出法やスピンコート法、印刷法等で塗布して形成する構成としてもよい。この場合、塗布した液状体が漏斗部１５１に流れ込む量を少なくするために、粘度が大きい液状体を用いることが好ましい。
この感光性樹脂としては、溶剤と、溶剤に溶解した樹脂とを含有するもの、それ自体が感光して重合度を上げる樹脂を含有するもの、あるいは、樹脂と、その樹脂の硬化を開始させる光重合開始剤とを含有するもの等を用いることができ、例えば感光性のポリイミド前駆体を含有したポリイミド樹脂や、アクリル系の感光性樹脂を用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】本発明に係る液滴吐出装置の模式図である。
【図２】（ａ）および（ｂ）は液滴吐出装置におけるヘッドの模式図である。
【図３】ノズル形成装置の模式図である。
【図４】ノズルを形成する手順を示す工程図である。
【符号の説明】
【００４１】
Ｐ…ポンチ、 １…液滴吐出装置、 １０３…吐出ヘッド部（液滴吐出ヘッド）、 １１８…ノズル、 １２８…ノズルプレート（プレート）、 １２８ａ…面（一面）、 １２８ｂ…面（他面）、 １５１…漏斗部、 １５２…ストレート部（同径部）、 １６１…プレート本体、 １６２…感光性樹脂層（レジストフィルム）
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ノズルプレートとその製造方法、及び液滴吐出ヘッドとその製造方法並びに液滴吐出装置とその製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液滴吐出方式の液滴吐出ヘッドでは、インク加圧室に連通する流路をノズルプレートにより覆って、インク流路の部分に開口したノズルからインクを吐出させるように構成しており、この構成では、インクがノズルの軸線方向で安定して吐出されるように、メニスカスを安定化させ、圧力波を減衰させる観点から、ノズルプレートに形成されるノズルは通常、吐出側に同径で延びるストレート部が配置され、流路側にストレート部から漸次拡径する漏斗型の拡径部が配置された形状を有している。その様なノズルの形成方法として、例えば特許文献１にはノズルの漏斗形状に見合う形状を持つポンチと、ポンチ先端の細径部より僅かに大きい孔に面取り部を設けたダイとを組み合わせて、ノズルプレートにポンチを貫通させることによって形成することが記載されている。
【０００３】
また、特許文献２には、漏斗形状の細径部の先端が錐状に突出したポンチで突いて、ノズルプレート内部に孔形状を形成した後に、インク吐出側のノズルプレート突出部を研磨して穴を仕上げる技術が開示されている。
【特許文献１】特開平５−２２９１２７号公報
【特許文献２】特開２０００−２８９２１１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上述したような従来技術には、以下のような問題が存在する。
微小液滴を吐出するヘッドにおいては、ノズルにおけるストレート部の長さが吐出性能に大きく影響し、液滴量が変動することが知られている。
そのため、従来、プリンタ用途の液滴量（ピコリットルレベル）では問題とされなかった液滴吐出量のばらつきが、微少量（フェムトリットルレベル）の液滴を吐出し電子デバイス製造に応用する分野では、電子デバイスの性能（抵抗、移動度、発光性能等）に与える影響が無視できなくなっている。
ところが、上述した特許文献１、２に記載された技術では、ストレート部の長さのばらつきが大きく、安定した吐出性能を確保することが困難であった。
【０００５】
本発明は、以上のような点を考慮してなされたもので、安定した吐出性能を確保できるノズルプレートとその製造方法、及び液滴吐出ヘッドとその製造方法並びに液滴吐出装置とその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の目的を達成するために本発明は、以下の構成を採用している。
本発明のノズルプレート製造方法は、プレートの一面側に開口する漏斗状の漏斗部と、同径で延びて前記漏斗部と連通する同径部とを有するノズルをプレートに形成するノズルプレート製造方法であって、前記漏斗部に対応する輪郭形状を有するポンチでプレート本体の一面を加圧して、前記漏斗部を形成する第１工程と、前記プレート本体の他面側を除去して前記漏斗部を開口させる第２工程と、前記プレート本体の他面に感光性樹脂層を設ける第３工程と、前記感光性樹脂層をパターニングして前記同径部を形成する第４工程と、を有することを特徴とするものである。
従って、本発明のノズルプレート製造方法では、同径部の長さが感光性樹脂層の厚さで規定されるため、ポンチ加工条件等によってストレート長さが変動することを防止して、一定の長さとすることができる。そのため、本発明では、微少量の液滴を吐出する場合であっても、安定した吐出性能を確保することができる。
【０００７】
また、本発明では、前記第４工程において前記プレート本体をマスクとして、前記感光性樹脂層の一部を感光させる手順を好適に採用できる。
従って、本発明のノズルプレート製造方法では、感光性樹脂層をパターニングして同径部を形成するためのマスクを別途、用意する必要がなくなり、コストダウン及び生産性の向上に寄与できる。
【０００８】
また、本発明では、前記第３工程において感光性樹脂フィルムを前記プレート本体に貼り付けて前記感光性樹脂層を設ける手順も好適に採用できる。
従って、本発明のノズルプレート製造方法では、感光性樹脂フィルムの厚さで同径部の長さを容易に規定することができ、また、同径部の長さに応じた厚さを有する感光性樹脂フィルムを適宜選択することにより、同径部の長さを複数設定する際にも容易に対応可能である。
【０００９】
また、本発明の液滴吐出ヘッド製造方法は、ノズルプレートを有する液滴吐出ヘッドの製造方法であって、先に記載のノズルプレート製造方法で前記ノズルプレートを製造することを特徴とするものである。
そして、本発明の液滴吐出装置製造方法は、液滴吐出ヘッドを有する液滴吐出装置の製造方法であって、先に記載の液滴吐出ヘッド製造方法で前記液滴吐出ヘッドを製造することを特徴とするものである。
従って、本発明の液滴吐出ヘッド製造方法及び液滴吐出装置製造方法では、ノズルの同径部を所定長さに調整することが可能になるため、微少量の液滴を吐出する場合であっても、安定した吐出性能を確保することができ、描画精度の高い液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置を製造することが可能になる。
【００１０】
一方、本発明のノズルプレートは、プレートの一面側に開口する漏斗状の漏斗部と、同径で延びて前記漏斗部と連通する同径部とを有するノズルが形成されたノズルプレートであって、プレート本体に前記漏斗部が設けられ、前記プレート本体の他面に、前記同径部を有する感光性樹脂層が設けられることを特徴とするものである。
従って、本発明のノズルプレートでは、同径部の長さが感光性樹脂層の厚さで規定されるため、ポンチ加工条件等によってストレート長さが変動することを防止して、一定の長さとすることができる。そのため、本発明では、微少量の液滴を吐出する場合であっても、安定した吐出性能を確保することができる。
【００１１】
前記感光性樹脂層としては、前記プレート本体に貼り付けられた感光性樹脂フィルムで形成される構成を好適に採用できる。
これにより、本発明のノズルプレートでは、感光性樹脂フィルムの厚さで同径部の長さを容易に規定することができ、また、同径部の長さに応じた厚さを有する感光性樹脂フィルムを適宜選択することにより、同径部の長さを複数設定する際にも容易に対応可能である。
【００１２】
また、本発明の液滴吐出ヘッドは、先に記載のノズルプレートを備えることを特徴とするものである。
そして、本発明の液滴吐出装置は、先に記載の液滴吐出ヘッドを備えることを特徴とするものである。
従って、本発明の液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置では、ノズルの同径部を所定長さに調整することが可能になるため、微少量の液滴を吐出する場合であっても、安定した吐出性能を確保することができ、描画精度の高い液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置を得ることが可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明のノズルプレートとその製造方法、及び液滴吐出ヘッドとその製造方法並びに液滴吐出装置とその製造方法の実施の形態を、図１ないし図４を参照して説明する。
なお、以下の説明に用いる各図面では、各部材を認識可能な大きさとするため、各部材の縮尺を適宜変更している。
【００１４】
（液滴吐出装置）
まず、本発明に係るノズルプレート製造方法及び液滴吐出ヘッド製造方法並びに液滴吐出装置製造方法において用いられる液滴吐出装置について図１及び図２を参照して説明する。
図１に示す液滴吐出装置１は、基本的にはインクジェット装置である。より具体的には、液滴吐出装置１は、液状材料１１１を保持するタンク１０１と、チューブ１１０と、グランドステージＧＳと、吐出ヘッド部（液滴吐出ヘッド）１０３と、ステージ１０６と、第１位置制御装置１０４と、第２位置制御装置１０８と、制御部１１２と、光照射装置１４０と、支持部１０４ａと、を備えている。
【００１５】
吐出ヘッド部１０３は、ヘッド１１４（図２参照）を保持している。このヘッド１１４は、制御部１１２からの信号に応じて、液状材料１１１の液滴を吐出する。なお、吐出ヘッド部１０３におけるヘッド１１４は、チューブ１１０によってタンク１０１に連結されており、このため、タンク１０１からヘッド１１４に液状材料１１１が供給される。
ステージ１０６は基板（後述）を固定するための平面を提供している。さらにステージ１０６は、吸引力を用いて基板の位置を固定する機能も有する。
【００１６】
第１位置制御装置１０４は、支持部１０４ａによって、グランドステージＧＳから所定の高さの位置に固定されている。この第１位置制御装置１０４は、制御部１１２からの信号に応じて、吐出ヘッド部１０３をＸ軸方向と、Ｘ軸方向に直交するＺ軸方向と、に沿って移動させる機能を有する。さらに、第１位置制御装置１０４は、Ｚ軸に平行な軸の回りで吐出ヘッド部１０３を回転させる機能も有する。ここで、本実施例では、Ｚ軸方向は、鉛直方向（つまり重力加速度の方向）に平行な方向である。
【００１７】
第２位置制御装置１０８は、制御部１１２からの信号に応じて、ステージ１０６をグランドステージＧＳ上でＹ軸方向に移動させる。ここで、Ｙ軸方向は、Ｘ軸方向およびＺ軸方向の双方と直交する方向である。
【００１８】
上述のように、第１位置制御装置１０４によって、吐出ヘッド部１０３はＸ軸方向に移動する。そして、第２位置制御装置１０８によって、基板はステージ１０６と共にＹ軸方向に移動する。これらの結果、基板に対するヘッド１１４の相対位置が変わる。より具体的には、これらの動作によって、吐出ヘッド部１０３、ヘッド１１４、またはノズル１１８（図２参照）は、基板に対して、Ｚ軸方向に所定の距離を保ちながら、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に相対的に移動、すなわち相対的に走査する。「相対移動」または「相対走査」とは、液状材料１１１を吐出する側と、そこからの吐出物が着弾する側（被吐出部）の少なくとも一方を他方に対して相対移動することを意味する。
【００１９】
制御部１１２は、液状材料１１１の液滴を吐出すべき相対位置を表す吐出データを外部情報処理装置から受け取るように構成されている。制御部１１２は、受け取った吐出データを内部の記憶装置に格納するとともに、格納された吐出データに応じて、第１位置制御装置１０４と、第２位置制御装置１０８と、ヘッド１１４と、を制御する。なお、吐出データとは、基板上に、液状材料１１１を所定パターンで付与するためのデータである。本実施例では、吐出データはビットマップデータの形態を有している。
【００２０】
上記構成を有する液滴吐出装置１は、吐出データに応じて、ヘッド１１４のノズル１１８（図２参照）を基板に対して相対移動させるとともに、被吐出部に向けてノズル１１８から液状材料１１１を吐出する。なお、液滴吐出装置１によるヘッド１１４の相対移動と、ヘッド１１４からの液状材料１１１の吐出とをまとめて「塗布走査」または「吐出走査」と表記することもある。
光照射装置１４０は、基板に付与された液状材料１１１に紫外光を照射する装置である。光照射装置１４０の紫外光の照射のＯＮ・ＯＦＦは制御部１１２によって制御される。
【００２１】
図２（ａ）および（ｂ）に示すように、液滴吐出装置１におけるヘッド１１４は、複数のノズル１１８を有するインクジェットヘッドである。具体的には、ヘッド１１４は、振動板１２６と、複数のノズル１１８と、複数のノズル１１８のそれぞれの開口を規定するノズルプレート（プレート）１２８と、液たまり１２９と、複数の隔壁１２２と、複数のキャビティ１２０と、複数の振動子１２４と、を備えている。
【００２２】
液たまり１２９は、振動板１２６と、ノズルプレート１２８と、の間に位置しており、この液たまり１２９には、図示しない外部タンクから孔１３１を介して供給される液状材料１１１が常に充填される。また、複数の隔壁１２２は、振動板１２６と、ノズルプレート１２８と、の間に位置している。
キャビティ１２０は、振動板１２６と、ノズルプレート１２８と、一対の隔壁１２２と、によって囲まれた部分である。キャビティ１２０はノズル１１８に対応して設けられているため、キャビティ１２０の数とノズル１１８の数とは同じである。キャビティ１２０には、一対の隔壁１２２間に位置する供給口１３０を介して、液たまり１２９から液状材料１１１が供給される。
【００２３】
図２（ｂ）に示すように、ノズルプレート１２８は、例えばステンレスで形成されたプレート本体１６１と、プレート本体１６１の液滴吐出側の面（他面）１２８ｂに設けられた感光性樹脂層１６２とから構成されている。本実施形態では、感光性樹脂層１６２として、所定厚さ（後述）を有する感光性のレジストフィルム（感光性樹脂フィルム）がノズルプレート１２８の面１２８ｂに貼り付けられている。
【００２４】
ノズル１１８は、ノズルプレート１２８のキャビティ１２０側（液たまり１２９側）の面（一面）１２８ａに最大径部が開口する漏斗状の漏斗部１５１と、漏斗部の底部（最小径部）から同径で延びてノズルプレート１２８の液滴吐出側の面１２８ｂ側に開口するストレート部（同径部）１５２とを有している。より詳細には、漏斗部１５１は、プレート本体１６１に形成されており、ストレート部１５２は感光性樹脂層１６２に、漏斗部１５１と同軸で連通するように形成されている。
このストレート部１５２は、例えば直径（ノズル径）１０μｍ、長さが５μｍに設定されており、従って、漏斗部１５１は、直径１０μｍ程度に形成された底部から面１２８ａに向かうに従って漸次拡径するテーパ状に形成されている。
【００２５】
複数の振動子１２４のそれぞれは、それぞれのキャビティ１２０に対応するように振動板１２６上に位置する。複数の振動子１２４のそれぞれは、ピエゾ素子１２４Ｃと、ピエゾ素子１２４Ｃを挟む一対の電極１２４Ａ，１２４Ｂと、を含む。制御部１１２が、この一対の電極１２４Ａ，１２４Ｂの間に駆動電圧を与えることで、対応するノズル１１８から液状材料１１１の液滴Ｄが吐出される。ここで、ノズル１１８から吐出される材料の体積は、例えばフェムトリットルレベルからピコリットルレベルで可変である。なお、上述したように、ノズル１１８からＺ軸方向に液状材料１１１の液滴が吐出されるように、ノズル１１８の形状（特に、ストレート部１５２の長さ）が調整されている。
なお、吐出部１２７は、ピエゾ素子の代わりに電気熱変換素子を有してもよい。つまり、吐出部１２７は、電気熱変換素子による材料の熱膨張を利用して材料を吐出する構成を有していてもよい。
【００２６】
（ノズル形成装置）
続いて、上記ノズルプレート１２８に対してノズル１１８を形成する装置について、図３を参照して説明する。
図３（ａ）に示すノズル形成装置２００は、ノズルプレート１２８を下方から支持する下治具２０１、ポンチＰの基部ＢＰを保持して下治具２０１に対して離間・接近する保持治具２０２、保持治具２０２にバネ２１０を介して連結され、保持治具２０２が下降した際に、下治具２０１との間でバネ２１０の付勢力でノズルプレート１２８を押さえる押さえ治具２０３とから構成される。保持治具２０２、押さえ治具２０３、バネ２１０により上治具が構成される。
下治具２０１には、ポンチＰ（ノズル１１８）の位置に対応して、貫通孔２０１ａが形成されている。
【００２７】
図２（ｂ）は、ポンチＰの先端部を示す部分拡大図である。
この図に示すように、ポンチＰの先端には、ノズル１１８の漏斗部１５１に対応するように、先端部から基端部に向かうに従って漸次拡径する輪郭形状を有する漏斗輪郭部１５１Ｐが設けられている。
【００２８】
（ノズルプレート製造方法）
続いて、上記のノズル形成装置２００を用いてノズルプレート１２８に、図２に示すノズル１１８を形成する手順について図４を参照して説明する。
まず、図３に示すように、下治具２０１に、例えばステンレス材で形成されたノズルプレート１２８のプレート本体１６１を載置した後に、保持治具２０２を下降させることにより、バネ２１０の付勢力でプレート本体１６１を下治具２０１と押さえ治具２０３との間で保持した状態で面１２８ａに対してポンチＰにより衝撃加圧する。
【００２９】
このとき、図４（ａ）に示すように、ポンチＰの漏斗輪郭部１５１Ｐがプレート本体１６１を貫通しないストロークでポンチＰを下降させる。これにより、プレート本体１６１においては、漏斗輪郭部１５１Ｐの輪郭形状に応じた漏斗部１５１、及び面１２８ｂから貫通孔２０１ａに突出する突出部１５３が形成される（第１工程）。
【００３０】
続いて、プレート本体１６１からポンチＰを離脱させ、次いで、図４（ｂ）に示すように、面１２８ｂを研磨加工（研削）により除去して、漏斗部１５１の下端部となる箇所を開口させる（第２工程）。この後、図４（ｃ）に示すように、プレート本体１６１の面１２８ｂにレジストフィルムを感光性樹脂層１６２として貼り付ける（第３工程）。このレジストフィルムとしては、厚さが図３に示したストレート部１５２の長さと同一のものを選択して用いる。
【００３１】
次に、ＵＶランプ１５５によりプレート本体１６１の面１２８ａ側からＵＶ光を照射し、プレート本体１６１をマスクとして、漏斗部１５１から露出する感光性樹脂層１６２を感光させる（露光する）。そして、感光性樹脂層１６２を現像することにより、感光性樹脂層１６２の感光部１６２ａが除去されて（パターニングされて）、図２（ｂ）に示したストレート部１５２が形成される（第４工程）。
これにより、ノズルプレート１２８には、プレート本体１６１及び感光性樹脂層１６２に跨るノズル１１８が形成される。
【００３２】
以上説明したように、本実施形態では、プレート本体１６１に設けた感光性樹脂層１６２にストレート部１５２を形成するため、感光性樹脂層１６２の厚さでストレート部１５２の長さを規定することができる。そのため、本実施形態では、ポンチ加工条件（ポンチ取り付け精度、加圧力、加圧時間、下治具２０１の精度、ノズルプレート１２８の板材特性）に依存することなく、ストレート部１５２の長さを常に一定、且つ高精度に確保することが可能になる。
従って、本実施形態では、吐出ヘッド部１０３からフェムトリットルレベルの微少量の液滴を吐出する場合でも、安定した吐出性能（吐出特性）を確保することができ、描画精度の高い吐出ヘッド部１０３及び液滴吐出装置１を得ることが可能になる。
【００３３】
また、本実施形態では、複数のノズル１１８（ストレート部１５２）を有するノズルプレート１２８を製造する場合でも、同一厚さの感光性樹脂層１６２にストレート部１５２を形成することになるため、同一のストレート長さを有する複数のストレート部１５２を容易に形成することが可能になる。そのため、本実施形態では、吐出ヘッド部１０３における複数のノズル１１８のストレート長さを均一化して、各吐出量を均一化することができ、その結果、液滴吐出装置１を用いて形成される膜の膜厚を高精度に制御することができ、製品の品質向上も図ることも可能になる。
【００３４】
また、本実施形態では、感光性樹脂層１６２をレジストフィルムで形成しているため、ノズル１１８のストレート長さに応じた厚さのフィルムを適宜選択して貼り付ければ、各種ストレート長さを複数設定する際にも容易に対応可能である。
【００３５】
さらに、ノズル形成に用いるポンチを高精度に製作するには、コスト増及び生産性の低下を招く可能性もあるが、本実施形態では、従来のポンチ技術をそのまま利用することが可能である。
特に、本実施形態では、ポンチＰがストレート部１５２に対応する細径の輪郭形状を有さない構成とできるため、ポンチＰを簡素な形状とすることができるとともに、強度も向上させることができ、ポンチＰのコストダウン及び高寿命化、すなわちノズルプレート１２８の製造に係る費用の低減化及び生産性の向上にも寄与できる。
【００３６】
また、本実施形態では、感光性樹脂層１６２を感光させる（露光する）際に、プレート本体１６１をマスクとしているため、別途、ストレート部形成用のマスクを製作・用意する必要がなくなり、さらなるコストダウン及び生産性の向上に寄与できる。加えて、本実施形態では、プレート本体１６１をマスクとすることにより、ストレート部１５２を漏斗部１５１と連続、且つ同径に形成することができ、芯ズレ等が生じて吐出特性が低下することを防止して、高精度な吐出性能を有するノズルプレート１２８を製造することが可能になる。
【００３７】
以上、添付図面を参照しながら本発明に係る好適な実施形態について説明したが、本発明は係る例に限定されないことは言うまでもない。上述した例において示した各構成部材の諸形状や組み合わせ等は一例であって、本発明の主旨から逸脱しない範囲において設計要求等に基づき種々変更可能である。
【００３８】
例えば、上記実施形態では、プレート本体１６１をマスクとして感光性樹脂層１６２を感光させる構成としたが、これに限定されるものではなく、例えばストレート部１５２に対応した開口部を有するマスクを感光性樹脂層１６２の液滴吐出側に設け、このマスクを介して感光性樹脂層１６２を感光させる構成としてもよい。この場合、ＵＶランプ１５５と感光性樹脂層１６２との距離を短くでき、より効率的に感光性樹脂層１６２を感光させることが可能になる。
【００３９】
また、上記実施形態では、感光性樹脂層１６２をレジストフィルムで形成する構成として説明したが、液状の感光性樹脂を液滴吐出法やスピンコート法、印刷法等で塗布して形成する構成としてもよい。この場合、塗布した液状体が漏斗部１５１に流れ込む量を少なくするために、粘度が大きい液状体を用いることが好ましい。
この感光性樹脂としては、溶剤と、溶剤に溶解した樹脂とを含有するもの、それ自体が感光して重合度を上げる樹脂を含有するもの、あるいは、樹脂と、その樹脂の硬化を開始させる光重合開始剤とを含有するもの等を用いることができ、例えば感光性のポリイミド前駆体を含有したポリイミド樹脂や、アクリル系の感光性樹脂を用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】本発明に係る液滴吐出装置の模式図である。
【図２】（ａ）および（ｂ）は液滴吐出装置におけるヘッドの模式図である。
【図３】ノズル形成装置の模式図である。
【図４】ノズルを形成する手順を示す工程図である。
【符号の説明】
【００４１】
Ｐ…ポンチ、 １…液滴吐出装置、 １０３…吐出ヘッド部（液滴吐出ヘッド）、 １１８…ノズル、 １２８…ノズルプレート（プレート）、 １２８ａ…面（一面）、 １２８ｂ…面（他面）、 １５１…漏斗部、 １５２…ストレート部（同径部）、 １６１…プレート本体、 １６２…感光性樹脂層（レジストフィルム）
【特許請求の範囲】
【請求項１】
プレートの一面側に開口する漏斗状の漏斗部と、同径で延びて前記漏斗部と連通する同径部とを有するノズルをプレートに形成するノズルプレート製造方法であって、
前記漏斗部に対応する輪郭形状を有するポンチでプレート本体の一面を加圧して、前記漏斗部を形成する第１工程と、
前記プレート本体の他面側を除去して前記漏斗部を開口させる第２工程と、
前記プレート本体の他面に感光性樹脂層を設ける第３工程と、
前記感光性樹脂層をパターニングして前記同径部を形成する第４工程と、
を有することを特徴とするノズルプレート製造方法。
【請求項２】
請求項１記載のノズルプレート製造方法において、
前記第４工程では、前記プレート本体をマスクとして、前記感光性樹脂層の一部を感光させることを特徴とするノズルプレート製造方法。
【請求項３】
請求項１または２記載のノズルプレート製造方法において、
前記第３工程では、感光性樹脂フィルムを前記プレート本体に貼り付けて前記感光性樹脂層を設けることを特徴とするノズルプレート製造方法。
【請求項４】
ノズルプレートを有する液滴吐出ヘッドの製造方法であって、
請求項１から３のいずれかに記載のノズルプレート製造方法で前記ノズルプレートを製造することを特徴とする液滴吐出ヘッド製造方法。
【請求項５】
液滴吐出ヘッドを有する液滴吐出装置の製造方法であって、
請求項４記載の液滴吐出ヘッド製造方法で前記液滴吐出ヘッドを製造することを特徴とする液滴吐出装置製造方法。
【請求項６】
プレートの一面側に開口する漏斗状の漏斗部と、同径で延びて前記漏斗部と連通する同径部とを有するノズルが形成されたノズルプレートであって、
プレート本体に前記漏斗部が設けられ、
前記プレート本体の他面に、前記同径部を有する感光性樹脂層が設けられることを特徴とするノズルプレート。
【請求項７】
請求項６記載のノズルプレートにおいて、
前記感光性樹脂層は、前記プレート本体に貼り付けられた感光性樹脂フィルムで形成されることを特徴とするノズルプレート。
【請求項８】
請求項６または７記載のノズルプレートを備えることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項９】
請求項８記載の液滴吐出ヘッドを備えることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項１】
プレートの一面側に開口する漏斗状の漏斗部と、同径で延びて前記漏斗部と連通する同径部とを有するノズルをプレートに形成するノズルプレート製造方法であって、
前記漏斗部に対応する輪郭形状を有するポンチでプレート本体の一面を加圧して、前記漏斗部を形成する第１工程と、
前記プレート本体の他面側を除去して前記漏斗部を開口させる第２工程と、
前記プレート本体の他面に感光性樹脂層を設ける第３工程と、
前記感光性樹脂層をパターニングして前記同径部を形成する第４工程と、
を有することを特徴とするノズルプレート製造方法。
【請求項２】
請求項１記載のノズルプレート製造方法において、
前記第４工程では、前記プレート本体をマスクとして、前記感光性樹脂層の一部を感光させることを特徴とするノズルプレート製造方法。
【請求項３】
請求項１または２記載のノズルプレート製造方法において、
前記第３工程では、感光性樹脂フィルムを前記プレート本体に貼り付けて前記感光性樹脂層を設けることを特徴とするノズルプレート製造方法。
【請求項４】
ノズルプレートを有する液滴吐出ヘッドの製造方法であって、
請求項１から３のいずれかに記載のノズルプレート製造方法で前記ノズルプレートを製造することを特徴とする液滴吐出ヘッド製造方法。
【請求項５】
液滴吐出ヘッドを有する液滴吐出装置の製造方法であって、
請求項４記載の液滴吐出ヘッド製造方法で前記液滴吐出ヘッドを製造することを特徴とする液滴吐出装置製造方法。
【請求項６】
プレートの一面側に開口する漏斗状の漏斗部と、同径で延びて前記漏斗部と連通する同径部とを有するノズルが形成されたノズルプレートであって、
プレート本体に前記漏斗部が設けられ、
前記プレート本体の他面に、前記同径部を有する感光性樹脂層が設けられることを特徴とするノズルプレート。
【請求項７】
請求項６記載のノズルプレートにおいて、
前記感光性樹脂層は、前記プレート本体に貼り付けられた感光性樹脂フィルムで形成されることを特徴とするノズルプレート。
【請求項８】
請求項６または７記載のノズルプレートを備えることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項９】
請求項８記載の液滴吐出ヘッドを備えることを特徴とする液滴吐出装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図２】
【図３】
【図４】
【公開番号】特開２００８−１４２９４５（Ｐ２００８−１４２９４５Ａ）
【公開日】平成２０年６月２６日（２００８．６．２６）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００６−３３０１５８（Ｐ２００６−３３０１５８）
【出願日】平成１８年１２月７日（２００６．１２．７）
【出願人】（０００００２３６９）セイコーエプソン株式会社 (51,324)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２０年６月２６日（２００８．６．２６）
【国際特許分類】
【出願日】平成１８年１２月７日（２００６．１２．７）
【出願人】（０００００２３６９）セイコーエプソン株式会社 (51,324)
【Ｆターム（参考）】
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