ノズル装置
【課題】本発明は、特に、流体を真空室に噴射するための、ノズル装置（１）に関する。
【解決手段】ノズル流路の内輪郭は、少なくとも部分的に凹面状に形成されている。
【解決手段】ノズル流路の内輪郭は、少なくとも部分的に凹面状に形成されている。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、請求項１の前提部分に記載の、特に、流体ジェットを真空室に噴射するための、ノズル装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液状の標的材料がノズル装置によって真空室に噴射され、そこで、レーザ照射によって、材料に特有な蛍光Ｘ線が放射されるプラズマ状態へ変えられてなるＸ線源は知られている。ここでは、噴射された流体ジェットが真空室内で出来る限り安定のままであることが重要である。しかし、このことは、知られたノズル装置では、これまで不十分であった。
【０００３】
例えば、US 4 131 236からは、材料を加工するためのノズル装置が公知である。この公報では、このノズル装置は、出口開口部の方にテーパをなしており、凸面状の内輪郭を有するノズル流路を具備する。しかし、流体ジェットを真空室に噴射するための、このタイプのノズル装置の使用は、真空室内の不安定な流体ジェットをもたらす。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従って、真空室への噴射中に出来る限り安定的な流体ジェットを発生させるノズル装置を製造するという課題が、本発明の基礎になっている。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
この課題は、請求項１の前提部分に記載の前記知られたノズル装置を前提として、請求項１の特徴部分によって解決される。
【０００６】
本発明は、真空室に噴射された流体ジェットの安定性が、流体ジェット内の出来る限り層状の流れによって、促進されるという知識を前提とする。
【０００７】
従って、本発明は、ノズル装置を、ノズル装置の出口開口部での流れが出来る限り層状であるように構成するという一般的な技術的教示を含む。
【０００８】
従って、本発明に係わるノズル装置は、少なくとも部分的に凹面状に形成された内輪郭を有するノズル流路を具備する。
【０００９】
本発明の枠内で用いられる、凹面状の内輪郭という概念は、一般的に解釈されることができ、この概念の狭い数学的な意味に限定されない。例えば、本発明に係わるノズル装置の場合では、ノズル流路の内輪郭は単に外側に湾曲されていてよい。
【００１０】
しかし、本発明に係わるノズル装置の好ましい実施の形態では、ノズル流路は、放物線状の内輪郭を有する。このことは特に好都合であることが明らかになった。
【００１１】
この場合、ノズル流路の凹面状のまたは放物線状の内輪郭が、出口開口部から始まって、ジェット方向に、所定の領域に亘って延びていることは好ましい。従って、本発明の枠内では、ノズル流路の凹面状のまたは放物線状の内輪郭が、ノズル装置の全長に亘って延びていることは不要である。
【００１２】
好ましい実施の形態では、ノズル流路はノズル本体に延びている。このノズル本体は、少なくとも部分的に、凸面状の外輪郭を有する。本発明の枠内で用いられる、凸面状の外輪郭という概念も、一般的に解釈されることができ、この概念の狭い数学的な意味に限定されない。例えば、ノズル本体も、只１つの球形のまたは外側に湾曲した外輪郭を有してもよく、外輪郭が出口開口部の方向にテーパをなしていることは好ましい。
【００１３】
しかし、ノズル本体が放物線状の外輪郭を有することは好ましい。このことは、真空室への流体ジェットの噴射中に、特に好都合であることが明らかになった。
【００１４】
この場合、ノズル本体の凸面状のまたは放物線状の外輪郭が、出口開口部から始まってジェット方向に、所定の領域に亘って延びていることは好ましい。従って、本発明の枠内では、ノズル本体の凸面状のまたは放物線状の外輪郭が、ノズル本体の全長に亘って延びていることは不要である。
【００１５】
ノズル本体が、石英、サファイア、ガラスまたは他の誘電体からなることは好ましい。ノズル本体のための、このような材料選択が長い寿命をもたらすことは好都合である。何故ならば、誘電体としてのこれらの材料は電気化学的腐蝕に晒されていないからである。このことは、特に、多くのイオンを発生する、明細書導入部に記載されたＸ線源の場合に、重要である。ノズル本体のための材料としてのガラスの他の利点は、良好な加工性にある。何故ならば、１μｍないし１ｍｍの範囲の内径を有する出口開口部が製造されるからである。
【００１６】
しかし、本発明は、ノズル本体の材料に関して、前記材料に限定されず、例えば、プラスチックのノズル本体によっても実現される。但し、使用されたプラスチックが十分な耐腐食性および滑らかさを有する場合に限る。
【００１７】
本発明の他の変更の実施の形態では、ノズル本体は例えばガラスのような透明な材料からなる。ここでは、ノズル本体の透明性は、ノズル流路中の気泡および汚れが、簡単な肉眼による検査によって検出されることができ、これにより、故障発見が著しく簡単になるという利点を供する。
【００１８】
ノズル装置の出口開口部の直径に関しては、多様な可能性があるが、出口開口部の内径が１μｍないし０．５ｍｍの範囲にあることは好ましい。この場合、任意に多くの中間値が可能である。真空室への流体ジェットの噴射の最中に、５μｍないし０．２５ｍｍの範囲にある出口開口部の内径が特に好都合であることが明らかになった。
【００１９】
更に、ノズル流路内の流体の過冷却または凍結でさえ防止するために、ノズル本体は熱伝導性の材料からなる。このことが好都合であるのは、特に、本発明に係わるノズル装置が、真空室への流体ジェットの噴射のために、用いられる場合である。何故ならば、この場合、真空の故に、流体が蒸発するからである。このことは、蒸発に関連した潜熱が、流体の冷却をもたらす。
【００２０】
本発明の好ましい実施の形態では、ノズル本体は、供給管に接続されており、ノズル本体と供給管との間には、シールが設けられている。この場合、シールは、一方では、供給管とノズル本体との間の移行部をシールする機能を有する。他方では、比較的硬い供給管が同様に比較的硬いノズル本体に直接当たることをシールが防止することが意図される。何故ならば、このことは、かなりの摩耗に結び付けられるだろうからである。従って、シールが、ノズル本体および／または供給管よりも著しく軟らかい材料からなることは好ましい。例えば、シールはナイロンのようなプラスチックからなるが、他の材料も可能である。
【００２１】
この場合、供給管およびシールには、同様に、噴射される流体を供給するための内部流路が延びている。この場合、供給管は０．１ｍｍないし５ｍｍの内径を持つ内部流路を有する。これに対し、シールに設けられた内部流路が０．０１ｍｍないし５ｍｍの範囲の内径を有することは好ましい。
【００２２】
出来る限り安定的な流体ジェットを達成するために、更に、供給管における、シールにおけるおよびノズル流路における内部流路の内径が、２倍未満だけ異なっていることが好都合であることが明らかになった。
【００２３】
本発明の好ましい実施の形態では、更に、供給管、シールおよび／またはノズル流路を互いに接続するために、ねじ込み接続部が設けられている。このようなねじ込み接続部が例えば洗浄の目的のためのノズル装置の容易な分解を可能にすることは好都合である。
【００２４】
このねじ込み接続部が供給管と螺着可能なねじ込みスリーブおよびこのねじ込みスリーブと螺着可能なねじ込みキャップからなることは好ましい。この場合、ねじ込みキャップが、このねじ込みキャップをしっかり締め付けるために、ツール用の肩部を有することは好ましい。
【００２５】
更に述べなければならないことは、本発明に係わるノズル装置が少なくとも１００ｂａｒの圧縮強さを有することが好ましいことである。何故ならば、すべての構成要素が一体的にデザインされており、例えば、全然溶接継目を有しないからである。
【００２６】
更に、本発明は、真空室と、流体ジェットをこの真空室に噴射するための、請求項１ないし２０のいずれか１に記載のノズル装置とを有する装置を具備する。例えば、本発明に係わるノズル装置が、標的材料を、明細書導入部に略述したＸ線源の、光電子分光計のまたは質量分析器の真空室に噴射するために適切であることは好ましい。
【００２７】
真空室での安定的な流体ジェットを達成するためには、流体ジェットが開始されたとき初めて真空室が真空にされることが、好都合であることが明らかになった。
【００２８】
更に、流体蒸気圧を過度に増大させることなく、真空室への流体の噴射の最中に生じる潜熱を補償するために、本発明に係わるノズル装置がサーモスタットで加熱されることは適切であるだろう。
【００２９】
本発明の他の好都合な改善は、従属請求項に特徴づけられている。これらの改善を、本発明の実施の形態の記述と共に、図面を参照して詳述する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３０】
図１Ａに示した、本発明に係わるノズル装置１は、実質的に、供給管２と、シール３と、供給管２に螺着されたねじ込みスリーブ４と、ねじ込みスリーブ４に螺着されたねじ込みキャップ５と、シール３に挿入されたノズル本体６とからなる。ノズル本体は、簡略のために、図１Ａに示されておらず、図１Ｆおよび１Ｇに詳細に示されている。
【００３１】
耐圧式のノズル装置１が流体ジェットを真空室に噴射するために適切であることは特に好都合である。何故ならば、ノズル装置１によって、安定的な流体ジェットが発生されるからである。
【００３２】
供給管２は図１Ｂに詳細に示されており、噴射する流体を供給するための貫通する内部流路７を有する。
【００３３】
供給管２は、自由端に、４ｍｍの外径の頭部８を有する。頭部８は雄ねじを有し、この雄ねじは、取り付けられた状態では、雄ねじに適合しかつねじ込みスリーブ４に設けられた雌ねじ９に係合する。ねじ込みスリーブ４は図１Ｃに詳細に示されている。
【００３４】
更に、供給管２の頭部８は、自由端面に、内部流路７の錐形の拡径部を有する。拡径部のテーパ角度は９０°である。
【００３５】
図１Ｄに詳細に示したシール３は、供給管２に向いた側で、拡径部に対応する錐形のテーパ部１０を有する。このテーパ部１０のテーパ角度は同様に９０°である。図１Ａに示した、取り付けられた状態では、シール３のテーパ部１０は、供給管２の内部流路７の錐形のテーパ部にある。
【００３６】
シール３は、ここでは、ナイロンからなり、従って、金属からなる供給管２よりも著しく軟らかい。一方では、シール３のためのこの材料選択は、良好な密閉作用を引き起こす。他方では、かくして、比較的摩耗しやすい金属・ガラス移行部が生じないようにされる。
【００３７】
シール３は、同様に、貫通する内部流路１１を有する。この内部流路を通って、噴射される流体は先へ送られる。
【００３８】
シール３の内部で、内部流路１１は受入れ室１２に移行する。受入れ室には、取り付けられた状態では、図１Ｆおよび１Ｇに示したノズル本体６が設けられている。ノズル本体６をこれから詳述する。
【００３９】
供給管２から離隔した側で、シール３は、同様に、錐形のテーパ部１３を有する。テーパ部１３のテーパ角度は１５°に過ぎない。
【００４０】
シール３をねじ込みスリーブ４に固定するためには、図１Ｅに詳細に示したねじ込みキャップ５が用いられる。
【００４１】
かくて、ねじ込みキャップ５は、その内側に、雌ねじ１４を有する。雌ねじは、取り付けられた状態では、ねじ込みスリーブ４の外側面に設けられた、対応の雄ねじ１５に係合する。従って、ねじ込みの際に、ねじ込みキャップ５は、シール３を、軸方向に供給管２の方に押圧する。これにより、ねじ込みスリーブ４は、ねじ込みキャップ５およびねじ込みスリーブ４からなるねじ込み接続部を、供給管２に固定する。
【００４２】
この場合、ねじ込みキャップ５には、径方向に貫通する穿孔１６が設けられている。穿孔は、ねじ込みキャップ５をねじ込みスリーブ４にしっかり締め付けることができるために、ねじ込みツール用の肩部として用いられる。
【００４３】
以下、図１Ｆおよび１Ｇに示したノズル本体６を詳述する。
【００４４】
かくて、ノズル本体６は、実質的に、中空シリンダ状のガラス管からなる。このガラス管は透明であり、従って、簡単な肉眼での検査によりノズル管本体６内の泡または汚れの検知を可能にする。
【００４５】
ノズル本体６のための材料としてのガラスの使用の他の利点は、良好な加工性にある。それ故に、ｄＤ＝２０μｍの内径の出口開口部１７が形成される。
【００４６】
この場合、プラスチックからなるシール３の使用が、供給管２へのガラス・金属移行部を生じないようにすることは好都合である。何故ならば、このようなガラス・金属移行部は非常に摩耗し易いからである。
【００４７】
更に、ノズル本体６は、貫通するノズル流路１８を有する。ノズル流路１８は、出口開口部１７に隣接する領域に、凹面状の内部領域１９を有する。ノズル流路１８の凹面状の内部領域１９は、出口開口部１７における層流の発生に寄与し、従って、噴射される流体ジェットの安定性を促進する。
【００４８】
更に、ノズル本体６は、出口開口部１７に隣接する領域に、凸面状の外輪郭２０を有する。これにより、同様に、安定的な流体ジェットが促進される。
【００４９】
本発明に係わるノズル装置１´の、図２Ａないし２Ｅに示した実施の形態は、前記実施の形態に著しく一致している。それ故に、繰返しを避けるために、前の記述を大幅に参照するよう指摘する。以下、互いに対応する構成部材に関しては、区別のためには単にダッシュが付されている同一の参照符号を使用する。
【００５０】
ノズル装置１´の顕著な特徴は、ノズル本体６´が凸面状の外輪郭を有さず、シリンダ状のガラス部分として形成されていることにある。
【００５１】
しかし、この場合、ノズル本体６´に設けられたノズル流路１８´は、出来る限り層状の流れを達成するために、同様に、凹面状の内輪郭１９´を有する。
【００５２】
図３には、本発明に係わるＸ線源の実施の形態が略示されている。
【００５３】
Ｘ線源は、温度調節可能な真空室２２に接続されている標的源２１と、照射手段２３と、収集手段２４とを有する。
【００５４】
標的源２１は、標的材料２６のためのリザーバ２５と、供給管２７と、ノズル装置２８とを有する。ノズル装置は、図１Ａないし１Ｇまたは２Ａないし２Ｅに図示のように形成されている。例えばポンプまたは圧電式の搬送手段を有する作動手段（図示せず）によって、標的材料２６はノズル装置２８に運ばれ、このノズル装置から、流体ジェットの形で放出され、真空室２２へ噴射される。
【００５５】
照射手段２３は放射源２９および照射レンズ３０を有する。照射レンズによって、放射源２９からの放射が標的材料２６へ集束されることができる。放射源２９は例えばレーザである。レーザの光は、場合によっては、反射鏡（図示せず）によって標的材料２６へ向けられる。その代わりに、照射手段２３としては、共に真空室２２に設けられているイオン源または電子源が設けられていてもよい。
【００５６】
収集手段２４は、例えば、漏斗または毛管の形の受け器３１を有する。この受け器は、照射の作用下で蒸発されていない標的材料２６を、真空室２２から除去し、貯蔵タンク３２へ導く。低い蒸気圧を有する液状の標的材料２６の使用の場合に、集められた流体を、更なる措置なしに、貯蔵タンク３２に受け止められることができることは好都合である。場合によっては、集められた標的材料２６の、真空室２２への逆流の危険性を防止するために、冷却手段（図示せず）および／または真空ポンプ（図示せず）による貯蔵タンク３２の冷却を行なうことができる。
【００５７】
真空室２２は、少なくとも第１の窓３３および少なくとも１つの第２の窓３３を有するハウジングを具備する。前者の窓を通って標的材料２６が照射されることができ、後者の窓を通って、発生されたＸ線が出る。第２の窓３３は、発生されたＸ線を所定の使用のために真空室２２から取り出すために、選択的に設けられている。このことが必要でない場合は、第２の窓は省略することができる。更に、真空室２２は、この真空室２２内に低圧を発生させる真空手段３４に接続されている。この低圧が１０−５ｍｂａｒより下にあることは好ましい。照射レンズ３０は、同様に、真空室２２に設けられている。
【００５８】
真空室２２は、１つまたは複数のサーモスタット３５ないし３７を有する加熱手段を具備する。サーモスタット３５ないし３７によって、真空室２２のハウジング、受け器３２および／または照射レンズ３０を温度調節することができる。場合によっては、標的源２１も温度調節することができる。サーモスタットは、例えば、知られた抵抗加熱手段を有する。
【００５９】
加熱手段によって調整された温度は、標的材料２６の蒸気圧が、照射手段２３による標的材料２６への照射によって形成されるガス圧力を上回るように、に選択される。このことによって、本発明では、真空室２２における気相の過飽和が防止される。遊離されたポリマーはガス状のままであり、真空手段３４によってほとんど定量的に排出されることができる。
【００６０】
第２の窓３３は、弱いＸ線に対し透過性のある窓材料、例えばベリリウムからなる。第２の窓３３が設けられているとき、真空可能な加工室３８が続くことができる。この加工室は他の真空手段３９に接続されている。加工室３８では、材料の加工のためにＸ線が対象物に投射されることができる。例えば、半導体基板の表面を照射するＸ線リソグラフィ手段４０が設けられている。真空室２２のＸ線源と、加工室３８のＸ線リソグラフィ手段４０との空間的分離は、加工される材料が、蒸発された標的材料２６の沈殿物に晒されない、という利点を有する。
【００６１】
Ｘ線リソグラフィ手段４０は、例えば、所望のＸ線波長を選択するフィルタ４１と、マスク４２と、照射される基板４３とを有する。追加的に、Ｘ線をＸ線リソグラフィ手段４０に向けるための、投影光学系（例えば鏡）が設けられていてもよい。
【００６２】
本発明は、前記の好ましい実施の形態に限定されない。むしろ、同様に本発明の思想を利用し、従って、保護範囲に含まれる多数の変更の実施の形態が可能である。
【図面の簡単な説明】
【００６３】
【図１Ａ】本発明に係わるノズル装置を横断面図で示す。
【図１Ｂ】図１Ａのノズル装置の供給管を横断面図で示す。
【図１Ｃ】図１Ａのノズル装置のねじ込みスリーブを横断面図で示す。
【図１Ｄ】図１Ａのノズル装置のシールの横断面図を示す。
【図１Ｅ】図１Ａのノズル装置のねじ込みキャップの横断面図を示す。
【図１Ｆ】図１Ａのノズル装置のノズル本体を示す。
【図１Ｇ】出口開口部の領域におけるノズル本体の詳細横断面図を示す。
【図２Ａ】本発明に係わるノズル装置の代替の実施の形態を横断面図で示す。
【図２Ｂ】図２Ａのノズル装置の供給管を横断面図で示す。
【図２Ｃ】図２Ａのノズル装置のシールを横断面図で示す。
【図２Ｄ】図２Ａのノズル装置のねじ込みスリーブを横断面図で示す。
【図２Ｅ】図２Ａのノズル装置のノズル本体の詳細横断面図を示す。
【図３】本発明に係わるノズル装置を有するＸ線源を示す。
【技術分野】
【０００１】
本発明は、請求項１の前提部分に記載の、特に、流体ジェットを真空室に噴射するための、ノズル装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液状の標的材料がノズル装置によって真空室に噴射され、そこで、レーザ照射によって、材料に特有な蛍光Ｘ線が放射されるプラズマ状態へ変えられてなるＸ線源は知られている。ここでは、噴射された流体ジェットが真空室内で出来る限り安定のままであることが重要である。しかし、このことは、知られたノズル装置では、これまで不十分であった。
【０００３】
例えば、US 4 131 236からは、材料を加工するためのノズル装置が公知である。この公報では、このノズル装置は、出口開口部の方にテーパをなしており、凸面状の内輪郭を有するノズル流路を具備する。しかし、流体ジェットを真空室に噴射するための、このタイプのノズル装置の使用は、真空室内の不安定な流体ジェットをもたらす。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従って、真空室への噴射中に出来る限り安定的な流体ジェットを発生させるノズル装置を製造するという課題が、本発明の基礎になっている。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
この課題は、請求項１の前提部分に記載の前記知られたノズル装置を前提として、請求項１の特徴部分によって解決される。
【０００６】
本発明は、真空室に噴射された流体ジェットの安定性が、流体ジェット内の出来る限り層状の流れによって、促進されるという知識を前提とする。
【０００７】
従って、本発明は、ノズル装置を、ノズル装置の出口開口部での流れが出来る限り層状であるように構成するという一般的な技術的教示を含む。
【０００８】
従って、本発明に係わるノズル装置は、少なくとも部分的に凹面状に形成された内輪郭を有するノズル流路を具備する。
【０００９】
本発明の枠内で用いられる、凹面状の内輪郭という概念は、一般的に解釈されることができ、この概念の狭い数学的な意味に限定されない。例えば、本発明に係わるノズル装置の場合では、ノズル流路の内輪郭は単に外側に湾曲されていてよい。
【００１０】
しかし、本発明に係わるノズル装置の好ましい実施の形態では、ノズル流路は、放物線状の内輪郭を有する。このことは特に好都合であることが明らかになった。
【００１１】
この場合、ノズル流路の凹面状のまたは放物線状の内輪郭が、出口開口部から始まって、ジェット方向に、所定の領域に亘って延びていることは好ましい。従って、本発明の枠内では、ノズル流路の凹面状のまたは放物線状の内輪郭が、ノズル装置の全長に亘って延びていることは不要である。
【００１２】
好ましい実施の形態では、ノズル流路はノズル本体に延びている。このノズル本体は、少なくとも部分的に、凸面状の外輪郭を有する。本発明の枠内で用いられる、凸面状の外輪郭という概念も、一般的に解釈されることができ、この概念の狭い数学的な意味に限定されない。例えば、ノズル本体も、只１つの球形のまたは外側に湾曲した外輪郭を有してもよく、外輪郭が出口開口部の方向にテーパをなしていることは好ましい。
【００１３】
しかし、ノズル本体が放物線状の外輪郭を有することは好ましい。このことは、真空室への流体ジェットの噴射中に、特に好都合であることが明らかになった。
【００１４】
この場合、ノズル本体の凸面状のまたは放物線状の外輪郭が、出口開口部から始まってジェット方向に、所定の領域に亘って延びていることは好ましい。従って、本発明の枠内では、ノズル本体の凸面状のまたは放物線状の外輪郭が、ノズル本体の全長に亘って延びていることは不要である。
【００１５】
ノズル本体が、石英、サファイア、ガラスまたは他の誘電体からなることは好ましい。ノズル本体のための、このような材料選択が長い寿命をもたらすことは好都合である。何故ならば、誘電体としてのこれらの材料は電気化学的腐蝕に晒されていないからである。このことは、特に、多くのイオンを発生する、明細書導入部に記載されたＸ線源の場合に、重要である。ノズル本体のための材料としてのガラスの他の利点は、良好な加工性にある。何故ならば、１μｍないし１ｍｍの範囲の内径を有する出口開口部が製造されるからである。
【００１６】
しかし、本発明は、ノズル本体の材料に関して、前記材料に限定されず、例えば、プラスチックのノズル本体によっても実現される。但し、使用されたプラスチックが十分な耐腐食性および滑らかさを有する場合に限る。
【００１７】
本発明の他の変更の実施の形態では、ノズル本体は例えばガラスのような透明な材料からなる。ここでは、ノズル本体の透明性は、ノズル流路中の気泡および汚れが、簡単な肉眼による検査によって検出されることができ、これにより、故障発見が著しく簡単になるという利点を供する。
【００１８】
ノズル装置の出口開口部の直径に関しては、多様な可能性があるが、出口開口部の内径が１μｍないし０．５ｍｍの範囲にあることは好ましい。この場合、任意に多くの中間値が可能である。真空室への流体ジェットの噴射の最中に、５μｍないし０．２５ｍｍの範囲にある出口開口部の内径が特に好都合であることが明らかになった。
【００１９】
更に、ノズル流路内の流体の過冷却または凍結でさえ防止するために、ノズル本体は熱伝導性の材料からなる。このことが好都合であるのは、特に、本発明に係わるノズル装置が、真空室への流体ジェットの噴射のために、用いられる場合である。何故ならば、この場合、真空の故に、流体が蒸発するからである。このことは、蒸発に関連した潜熱が、流体の冷却をもたらす。
【００２０】
本発明の好ましい実施の形態では、ノズル本体は、供給管に接続されており、ノズル本体と供給管との間には、シールが設けられている。この場合、シールは、一方では、供給管とノズル本体との間の移行部をシールする機能を有する。他方では、比較的硬い供給管が同様に比較的硬いノズル本体に直接当たることをシールが防止することが意図される。何故ならば、このことは、かなりの摩耗に結び付けられるだろうからである。従って、シールが、ノズル本体および／または供給管よりも著しく軟らかい材料からなることは好ましい。例えば、シールはナイロンのようなプラスチックからなるが、他の材料も可能である。
【００２１】
この場合、供給管およびシールには、同様に、噴射される流体を供給するための内部流路が延びている。この場合、供給管は０．１ｍｍないし５ｍｍの内径を持つ内部流路を有する。これに対し、シールに設けられた内部流路が０．０１ｍｍないし５ｍｍの範囲の内径を有することは好ましい。
【００２２】
出来る限り安定的な流体ジェットを達成するために、更に、供給管における、シールにおけるおよびノズル流路における内部流路の内径が、２倍未満だけ異なっていることが好都合であることが明らかになった。
【００２３】
本発明の好ましい実施の形態では、更に、供給管、シールおよび／またはノズル流路を互いに接続するために、ねじ込み接続部が設けられている。このようなねじ込み接続部が例えば洗浄の目的のためのノズル装置の容易な分解を可能にすることは好都合である。
【００２４】
このねじ込み接続部が供給管と螺着可能なねじ込みスリーブおよびこのねじ込みスリーブと螺着可能なねじ込みキャップからなることは好ましい。この場合、ねじ込みキャップが、このねじ込みキャップをしっかり締め付けるために、ツール用の肩部を有することは好ましい。
【００２５】
更に述べなければならないことは、本発明に係わるノズル装置が少なくとも１００ｂａｒの圧縮強さを有することが好ましいことである。何故ならば、すべての構成要素が一体的にデザインされており、例えば、全然溶接継目を有しないからである。
【００２６】
更に、本発明は、真空室と、流体ジェットをこの真空室に噴射するための、請求項１ないし２０のいずれか１に記載のノズル装置とを有する装置を具備する。例えば、本発明に係わるノズル装置が、標的材料を、明細書導入部に略述したＸ線源の、光電子分光計のまたは質量分析器の真空室に噴射するために適切であることは好ましい。
【００２７】
真空室での安定的な流体ジェットを達成するためには、流体ジェットが開始されたとき初めて真空室が真空にされることが、好都合であることが明らかになった。
【００２８】
更に、流体蒸気圧を過度に増大させることなく、真空室への流体の噴射の最中に生じる潜熱を補償するために、本発明に係わるノズル装置がサーモスタットで加熱されることは適切であるだろう。
【００２９】
本発明の他の好都合な改善は、従属請求項に特徴づけられている。これらの改善を、本発明の実施の形態の記述と共に、図面を参照して詳述する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３０】
図１Ａに示した、本発明に係わるノズル装置１は、実質的に、供給管２と、シール３と、供給管２に螺着されたねじ込みスリーブ４と、ねじ込みスリーブ４に螺着されたねじ込みキャップ５と、シール３に挿入されたノズル本体６とからなる。ノズル本体は、簡略のために、図１Ａに示されておらず、図１Ｆおよび１Ｇに詳細に示されている。
【００３１】
耐圧式のノズル装置１が流体ジェットを真空室に噴射するために適切であることは特に好都合である。何故ならば、ノズル装置１によって、安定的な流体ジェットが発生されるからである。
【００３２】
供給管２は図１Ｂに詳細に示されており、噴射する流体を供給するための貫通する内部流路７を有する。
【００３３】
供給管２は、自由端に、４ｍｍの外径の頭部８を有する。頭部８は雄ねじを有し、この雄ねじは、取り付けられた状態では、雄ねじに適合しかつねじ込みスリーブ４に設けられた雌ねじ９に係合する。ねじ込みスリーブ４は図１Ｃに詳細に示されている。
【００３４】
更に、供給管２の頭部８は、自由端面に、内部流路７の錐形の拡径部を有する。拡径部のテーパ角度は９０°である。
【００３５】
図１Ｄに詳細に示したシール３は、供給管２に向いた側で、拡径部に対応する錐形のテーパ部１０を有する。このテーパ部１０のテーパ角度は同様に９０°である。図１Ａに示した、取り付けられた状態では、シール３のテーパ部１０は、供給管２の内部流路７の錐形のテーパ部にある。
【００３６】
シール３は、ここでは、ナイロンからなり、従って、金属からなる供給管２よりも著しく軟らかい。一方では、シール３のためのこの材料選択は、良好な密閉作用を引き起こす。他方では、かくして、比較的摩耗しやすい金属・ガラス移行部が生じないようにされる。
【００３７】
シール３は、同様に、貫通する内部流路１１を有する。この内部流路を通って、噴射される流体は先へ送られる。
【００３８】
シール３の内部で、内部流路１１は受入れ室１２に移行する。受入れ室には、取り付けられた状態では、図１Ｆおよび１Ｇに示したノズル本体６が設けられている。ノズル本体６をこれから詳述する。
【００３９】
供給管２から離隔した側で、シール３は、同様に、錐形のテーパ部１３を有する。テーパ部１３のテーパ角度は１５°に過ぎない。
【００４０】
シール３をねじ込みスリーブ４に固定するためには、図１Ｅに詳細に示したねじ込みキャップ５が用いられる。
【００４１】
かくて、ねじ込みキャップ５は、その内側に、雌ねじ１４を有する。雌ねじは、取り付けられた状態では、ねじ込みスリーブ４の外側面に設けられた、対応の雄ねじ１５に係合する。従って、ねじ込みの際に、ねじ込みキャップ５は、シール３を、軸方向に供給管２の方に押圧する。これにより、ねじ込みスリーブ４は、ねじ込みキャップ５およびねじ込みスリーブ４からなるねじ込み接続部を、供給管２に固定する。
【００４２】
この場合、ねじ込みキャップ５には、径方向に貫通する穿孔１６が設けられている。穿孔は、ねじ込みキャップ５をねじ込みスリーブ４にしっかり締め付けることができるために、ねじ込みツール用の肩部として用いられる。
【００４３】
以下、図１Ｆおよび１Ｇに示したノズル本体６を詳述する。
【００４４】
かくて、ノズル本体６は、実質的に、中空シリンダ状のガラス管からなる。このガラス管は透明であり、従って、簡単な肉眼での検査によりノズル管本体６内の泡または汚れの検知を可能にする。
【００４５】
ノズル本体６のための材料としてのガラスの使用の他の利点は、良好な加工性にある。それ故に、ｄＤ＝２０μｍの内径の出口開口部１７が形成される。
【００４６】
この場合、プラスチックからなるシール３の使用が、供給管２へのガラス・金属移行部を生じないようにすることは好都合である。何故ならば、このようなガラス・金属移行部は非常に摩耗し易いからである。
【００４７】
更に、ノズル本体６は、貫通するノズル流路１８を有する。ノズル流路１８は、出口開口部１７に隣接する領域に、凹面状の内部領域１９を有する。ノズル流路１８の凹面状の内部領域１９は、出口開口部１７における層流の発生に寄与し、従って、噴射される流体ジェットの安定性を促進する。
【００４８】
更に、ノズル本体６は、出口開口部１７に隣接する領域に、凸面状の外輪郭２０を有する。これにより、同様に、安定的な流体ジェットが促進される。
【００４９】
本発明に係わるノズル装置１´の、図２Ａないし２Ｅに示した実施の形態は、前記実施の形態に著しく一致している。それ故に、繰返しを避けるために、前の記述を大幅に参照するよう指摘する。以下、互いに対応する構成部材に関しては、区別のためには単にダッシュが付されている同一の参照符号を使用する。
【００５０】
ノズル装置１´の顕著な特徴は、ノズル本体６´が凸面状の外輪郭を有さず、シリンダ状のガラス部分として形成されていることにある。
【００５１】
しかし、この場合、ノズル本体６´に設けられたノズル流路１８´は、出来る限り層状の流れを達成するために、同様に、凹面状の内輪郭１９´を有する。
【００５２】
図３には、本発明に係わるＸ線源の実施の形態が略示されている。
【００５３】
Ｘ線源は、温度調節可能な真空室２２に接続されている標的源２１と、照射手段２３と、収集手段２４とを有する。
【００５４】
標的源２１は、標的材料２６のためのリザーバ２５と、供給管２７と、ノズル装置２８とを有する。ノズル装置は、図１Ａないし１Ｇまたは２Ａないし２Ｅに図示のように形成されている。例えばポンプまたは圧電式の搬送手段を有する作動手段（図示せず）によって、標的材料２６はノズル装置２８に運ばれ、このノズル装置から、流体ジェットの形で放出され、真空室２２へ噴射される。
【００５５】
照射手段２３は放射源２９および照射レンズ３０を有する。照射レンズによって、放射源２９からの放射が標的材料２６へ集束されることができる。放射源２９は例えばレーザである。レーザの光は、場合によっては、反射鏡（図示せず）によって標的材料２６へ向けられる。その代わりに、照射手段２３としては、共に真空室２２に設けられているイオン源または電子源が設けられていてもよい。
【００５６】
収集手段２４は、例えば、漏斗または毛管の形の受け器３１を有する。この受け器は、照射の作用下で蒸発されていない標的材料２６を、真空室２２から除去し、貯蔵タンク３２へ導く。低い蒸気圧を有する液状の標的材料２６の使用の場合に、集められた流体を、更なる措置なしに、貯蔵タンク３２に受け止められることができることは好都合である。場合によっては、集められた標的材料２６の、真空室２２への逆流の危険性を防止するために、冷却手段（図示せず）および／または真空ポンプ（図示せず）による貯蔵タンク３２の冷却を行なうことができる。
【００５７】
真空室２２は、少なくとも第１の窓３３および少なくとも１つの第２の窓３３を有するハウジングを具備する。前者の窓を通って標的材料２６が照射されることができ、後者の窓を通って、発生されたＸ線が出る。第２の窓３３は、発生されたＸ線を所定の使用のために真空室２２から取り出すために、選択的に設けられている。このことが必要でない場合は、第２の窓は省略することができる。更に、真空室２２は、この真空室２２内に低圧を発生させる真空手段３４に接続されている。この低圧が１０−５ｍｂａｒより下にあることは好ましい。照射レンズ３０は、同様に、真空室２２に設けられている。
【００５８】
真空室２２は、１つまたは複数のサーモスタット３５ないし３７を有する加熱手段を具備する。サーモスタット３５ないし３７によって、真空室２２のハウジング、受け器３２および／または照射レンズ３０を温度調節することができる。場合によっては、標的源２１も温度調節することができる。サーモスタットは、例えば、知られた抵抗加熱手段を有する。
【００５９】
加熱手段によって調整された温度は、標的材料２６の蒸気圧が、照射手段２３による標的材料２６への照射によって形成されるガス圧力を上回るように、に選択される。このことによって、本発明では、真空室２２における気相の過飽和が防止される。遊離されたポリマーはガス状のままであり、真空手段３４によってほとんど定量的に排出されることができる。
【００６０】
第２の窓３３は、弱いＸ線に対し透過性のある窓材料、例えばベリリウムからなる。第２の窓３３が設けられているとき、真空可能な加工室３８が続くことができる。この加工室は他の真空手段３９に接続されている。加工室３８では、材料の加工のためにＸ線が対象物に投射されることができる。例えば、半導体基板の表面を照射するＸ線リソグラフィ手段４０が設けられている。真空室２２のＸ線源と、加工室３８のＸ線リソグラフィ手段４０との空間的分離は、加工される材料が、蒸発された標的材料２６の沈殿物に晒されない、という利点を有する。
【００６１】
Ｘ線リソグラフィ手段４０は、例えば、所望のＸ線波長を選択するフィルタ４１と、マスク４２と、照射される基板４３とを有する。追加的に、Ｘ線をＸ線リソグラフィ手段４０に向けるための、投影光学系（例えば鏡）が設けられていてもよい。
【００６２】
本発明は、前記の好ましい実施の形態に限定されない。むしろ、同様に本発明の思想を利用し、従って、保護範囲に含まれる多数の変更の実施の形態が可能である。
【図面の簡単な説明】
【００６３】
【図１Ａ】本発明に係わるノズル装置を横断面図で示す。
【図１Ｂ】図１Ａのノズル装置の供給管を横断面図で示す。
【図１Ｃ】図１Ａのノズル装置のねじ込みスリーブを横断面図で示す。
【図１Ｄ】図１Ａのノズル装置のシールの横断面図を示す。
【図１Ｅ】図１Ａのノズル装置のねじ込みキャップの横断面図を示す。
【図１Ｆ】図１Ａのノズル装置のノズル本体を示す。
【図１Ｇ】出口開口部の領域におけるノズル本体の詳細横断面図を示す。
【図２Ａ】本発明に係わるノズル装置の代替の実施の形態を横断面図で示す。
【図２Ｂ】図２Ａのノズル装置の供給管を横断面図で示す。
【図２Ｃ】図２Ａのノズル装置のシールを横断面図で示す。
【図２Ｄ】図２Ａのノズル装置のねじ込みスリーブを横断面図で示す。
【図２Ｅ】図２Ａのノズル装置のノズル本体の詳細横断面図を示す。
【図３】本発明に係わるノズル装置を有するＸ線源を示す。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
特に、流体を真空室に噴射するための、ノズル装置（１，１´，２８）であって、所定の内輪郭（１９，１９´）を有するノズル流路（１８，１８´）を具備し、このノズル流路（１８，１８´）は、出口開口部（１７，１７´）に通じているノズル装置において、
前記ノズル流路（１８，１８´）の前記内輪郭（１９，１９´）は、少なくとも部分的に凹面状に形成されていることを特徴とするノズル装置（１，１´，２８）。
【請求項２】
前記ノズル流路（１８，１８´）の前記内輪郭（１９，１９´）は、放物線状の形状を有することを特徴とする請求項１に記載のノズル装置（１，１´，２８）。
【請求項３】
前記ノズル流路（１８，１８´）は、前記出口開口部（１７，１７´）に隣接する領域に、凹面状のまたは放物線状の内輪郭（１９，１９´）を有することを特徴とする請求項１または２に記載のノズル装置（１，１´，２８）。
【請求項４】
前記ノズル流路（１８，１８´）は、ノズル本体（６，６´）に延びており、このノズル本体（６，６´）は、少なくとも部分的に、凸面状の外輪郭（２０）を有することを特徴とする前記すべての請求項のいずれか１に記載のノズル装置（１，１´，２８）。
【請求項５】
前記ノズル本体（６，６´）は、放物線状の外輪郭（２０）を有することを特徴とする請求項４に記載のノズル装置（１，１´，２８）。
【請求項６】
前記ノズル本体（６，６´）は、前記出口開口部（１７，１７´）に隣接する領域に、凸面状のまたは放物線状の外輪郭（２０）を有することを特徴とする請求項４または５に記載のノズル装置（１，１´，２８）。
【請求項７】
前記ノズル本体（６，６´）は、石英、サファイアまたはガラスからなることを特徴とする前記すべての請求項のいずれか１に記載のノズル装置（１，１´，２８）。
【請求項８】
前記ノズル本体（６，６´）は、透明な材料からなることを特徴とする前記すべての請求項のいずれか１に記載のノズル装置（１，１´，２８）。
【請求項９】
前記出口開口部（１７，１７´）は、１μｍないし０．５ｍｍの範囲の内径を有することを特徴とする前記すべての請求項のいずれか１に記載のノズル装置（１，１´，２８）。
【請求項１０】
前記ノズル本体（６，６´）は、熱伝導性の材料からなることを特徴とする前記すべての請求項のいずれか１に記載のノズル装置（１，１´，２８）。
【請求項１１】
前記ノズル本体（６，６´）は、供給管（２，２´）に接続されており、前記ノズル本体（６，６´）と前記供給管（２，２´）との間には、シール（３，３´）が設けられていることを特徴とする前記すべての請求項のいずれか１に記載のノズル装置（１，１´，２８）。
【請求項１２】
前記シール（３，３´）は、前記ノズル本体（６，６´）および／または前記供給管（２，２´）よりも著しく軟らかい材料からなることを特徴とする請求項１１に記載のノズル装置（１，１´，２８）。
【請求項１３】
前記シール（３，３´）は、プラスチックからなることを特徴とする請求項１２に記載のノズル装置（１，１´，２８）。
【請求項１４】
前記供給管（２，２´）は、０．１ｍｍないし５ｍｍの範囲の内径を有することを特徴とする請求項１１ないし１３のいずれか１に記載のノズル装置（１，１´，２８）。
【請求項１５】
前記シール（３，３´）は、０．０１ｍｍないし５ｍｍの範囲の内径を有することを特徴とする請求項１１ないし１４のいずれか１に記載のノズル装置（１，１´，２８）。
【請求項１６】
前記供給管（２，２´）と、前記シール（３，３´）と、前記ノズル流路（１８，１８´）との内径は、２倍未満だけ異なっていることを特徴とする請求項１１ないし１５のいずれか１に記載のノズル装置（１，１´，２８）。
【請求項１７】
前記供給管（２，２´）の、前記シール（３，３´）のおよび／または前記ノズル流路（１８，１８´）の接続のために、ねじ込み接続部が設けられていることを特徴とする請求項１１ないし１６のいずれか１に記載のノズル装置（１，１´，２８）。
【請求項１８】
前記ねじ込み接続部は、前記供給管（２，２´）と螺着可能なねじ込みスリーブ（４）およびこのねじ込みスリーブ（４）と螺着可能なねじ込みキャップ（５，５´）からなることを特徴とする請求項１７に記載のノズル装置（１，１´，２８）。
【請求項１９】
前記ねじ込みキャップ（５，５´）は、このねじ込みキャップ（５，５´）をしっかり締め付けるために、ツール用の肩部（１６、１６´）を有することを特徴とする請求項１８に記載のノズル装置（１，１´，２８）。
【請求項２０】
少なくとも１００バールの圧縮強さを有することを特徴とする前記すべての請求項のいずれか１に記載のノズル装置（１，１´，２８）。
【請求項２１】
真空室（２２）と、流体ジェットをこの真空室に噴射するための、前記すべての請求項のいずれか１に記載のノズル装置（２８）とを有する装置。
【請求項２２】
流体ジェットを前記ノズル装置（２８）によって前記真空室（２２）に噴射する工程と、
前記流体ジェットの噴射中または噴射後に前記ノズル装置（２８）を真空にする工程とを有する、請求項２１に記載の装置のための操作方法。
【請求項２３】
前記ノズル装置（２８）を加熱することを特徴とする請求項２１または２２に記載の装置のための操作方法。
【請求項１】
特に、流体を真空室に噴射するための、ノズル装置（１，１´，２８）であって、所定の内輪郭（１９，１９´）を有するノズル流路（１８，１８´）を具備し、このノズル流路（１８，１８´）は、出口開口部（１７，１７´）に通じているノズル装置において、
前記ノズル流路（１８，１８´）の前記内輪郭（１９，１９´）は、少なくとも部分的に凹面状に形成されていることを特徴とするノズル装置（１，１´，２８）。
【請求項２】
前記ノズル流路（１８，１８´）の前記内輪郭（１９，１９´）は、放物線状の形状を有することを特徴とする請求項１に記載のノズル装置（１，１´，２８）。
【請求項３】
前記ノズル流路（１８，１８´）は、前記出口開口部（１７，１７´）に隣接する領域に、凹面状のまたは放物線状の内輪郭（１９，１９´）を有することを特徴とする請求項１または２に記載のノズル装置（１，１´，２８）。
【請求項４】
前記ノズル流路（１８，１８´）は、ノズル本体（６，６´）に延びており、このノズル本体（６，６´）は、少なくとも部分的に、凸面状の外輪郭（２０）を有することを特徴とする前記すべての請求項のいずれか１に記載のノズル装置（１，１´，２８）。
【請求項５】
前記ノズル本体（６，６´）は、放物線状の外輪郭（２０）を有することを特徴とする請求項４に記載のノズル装置（１，１´，２８）。
【請求項６】
前記ノズル本体（６，６´）は、前記出口開口部（１７，１７´）に隣接する領域に、凸面状のまたは放物線状の外輪郭（２０）を有することを特徴とする請求項４または５に記載のノズル装置（１，１´，２８）。
【請求項７】
前記ノズル本体（６，６´）は、石英、サファイアまたはガラスからなることを特徴とする前記すべての請求項のいずれか１に記載のノズル装置（１，１´，２８）。
【請求項８】
前記ノズル本体（６，６´）は、透明な材料からなることを特徴とする前記すべての請求項のいずれか１に記載のノズル装置（１，１´，２８）。
【請求項９】
前記出口開口部（１７，１７´）は、１μｍないし０．５ｍｍの範囲の内径を有することを特徴とする前記すべての請求項のいずれか１に記載のノズル装置（１，１´，２８）。
【請求項１０】
前記ノズル本体（６，６´）は、熱伝導性の材料からなることを特徴とする前記すべての請求項のいずれか１に記載のノズル装置（１，１´，２８）。
【請求項１１】
前記ノズル本体（６，６´）は、供給管（２，２´）に接続されており、前記ノズル本体（６，６´）と前記供給管（２，２´）との間には、シール（３，３´）が設けられていることを特徴とする前記すべての請求項のいずれか１に記載のノズル装置（１，１´，２８）。
【請求項１２】
前記シール（３，３´）は、前記ノズル本体（６，６´）および／または前記供給管（２，２´）よりも著しく軟らかい材料からなることを特徴とする請求項１１に記載のノズル装置（１，１´，２８）。
【請求項１３】
前記シール（３，３´）は、プラスチックからなることを特徴とする請求項１２に記載のノズル装置（１，１´，２８）。
【請求項１４】
前記供給管（２，２´）は、０．１ｍｍないし５ｍｍの範囲の内径を有することを特徴とする請求項１１ないし１３のいずれか１に記載のノズル装置（１，１´，２８）。
【請求項１５】
前記シール（３，３´）は、０．０１ｍｍないし５ｍｍの範囲の内径を有することを特徴とする請求項１１ないし１４のいずれか１に記載のノズル装置（１，１´，２８）。
【請求項１６】
前記供給管（２，２´）と、前記シール（３，３´）と、前記ノズル流路（１８，１８´）との内径は、２倍未満だけ異なっていることを特徴とする請求項１１ないし１５のいずれか１に記載のノズル装置（１，１´，２８）。
【請求項１７】
前記供給管（２，２´）の、前記シール（３，３´）のおよび／または前記ノズル流路（１８，１８´）の接続のために、ねじ込み接続部が設けられていることを特徴とする請求項１１ないし１６のいずれか１に記載のノズル装置（１，１´，２８）。
【請求項１８】
前記ねじ込み接続部は、前記供給管（２，２´）と螺着可能なねじ込みスリーブ（４）およびこのねじ込みスリーブ（４）と螺着可能なねじ込みキャップ（５，５´）からなることを特徴とする請求項１７に記載のノズル装置（１，１´，２８）。
【請求項１９】
前記ねじ込みキャップ（５，５´）は、このねじ込みキャップ（５，５´）をしっかり締め付けるために、ツール用の肩部（１６、１６´）を有することを特徴とする請求項１８に記載のノズル装置（１，１´，２８）。
【請求項２０】
少なくとも１００バールの圧縮強さを有することを特徴とする前記すべての請求項のいずれか１に記載のノズル装置（１，１´，２８）。
【請求項２１】
真空室（２２）と、流体ジェットをこの真空室に噴射するための、前記すべての請求項のいずれか１に記載のノズル装置（２８）とを有する装置。
【請求項２２】
流体ジェットを前記ノズル装置（２８）によって前記真空室（２２）に噴射する工程と、
前記流体ジェットの噴射中または噴射後に前記ノズル装置（２８）を真空にする工程とを有する、請求項２１に記載の装置のための操作方法。
【請求項２３】
前記ノズル装置（２８）を加熱することを特徴とする請求項２１または２２に記載の装置のための操作方法。
【図１Ａ】
【図１Ｂ】
【図１Ｃ】
【図１Ｄ】
【図１Ｅ】
【図１Ｆ】
【図１Ｇ】
【図２Ａ】
【図２Ｂ】
【図２Ｃ】
【図２Ｄ】
【図２Ｅ】
【図３】
【図１Ｂ】
【図１Ｃ】
【図１Ｄ】
【図１Ｅ】
【図１Ｆ】
【図１Ｇ】
【図２Ａ】
【図２Ｂ】
【図２Ｃ】
【図２Ｄ】
【図２Ｅ】
【図３】
【公表番号】特表２００６−５２２９９７（Ｐ２００６−５２２９９７Ａ）
【公表日】平成１８年１０月５日（２００６．１０．５）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００６−５０１９２６（Ｐ２００６−５０１９２６）
【出願日】平成１６年２月２３日（２００４．２．２３）
【国際出願番号】ＰＣＴ／ＥＰ２００４／００１７６１
【国際公開番号】ＷＯ２００４／０７６０７１
【国際公開日】平成１６年９月１０日（２００４．９．１０）
【出願人】（５９４０５６５６８）マツクス−プランク−ゲゼルシャフト ツール フエルデルング デル ヴイツセンシャフテン エー フアウ (13)
【出願人】（５０５３２１０９７）ゲオルグ−アウグスト−ウニベルズィテート・ゲッティンゲン (2)
【Ｆターム（参考）】
【公表日】平成１８年１０月５日（２００６．１０．５）
【国際特許分類】
【出願日】平成１６年２月２３日（２００４．２．２３）
【国際出願番号】ＰＣＴ／ＥＰ２００４／００１７６１
【国際公開番号】ＷＯ２００４／０７６０７１
【国際公開日】平成１６年９月１０日（２００４．９．１０）
【出願人】（５９４０５６５６８）マツクス−プランク−ゲゼルシャフト ツール フエルデルング デル ヴイツセンシャフテン エー フアウ (13)
【出願人】（５０５３２１０９７）ゲオルグ−アウグスト−ウニベルズィテート・ゲッティンゲン (2)
【Ｆターム（参考）】
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