バレルめっき装置及び電子部品の製造方法
【課題】小型化を進めた場合であっても、めっき膜を形成すべき部分に確実に所望の厚みのめっき膜を形成することを可能とするバレルめっき装置を提供する。
【解決手段】バレル２内に、被めっき物としての電子部品素体３１を投入し、バレル２の軸方向を水平方向に対して傾斜させた状態で、めっき液２２内でバレル２を回転させつつ、めっきを施すバレルめっき装置であって、バレル２が、軸方向両端に配置された一対の端面２ｂ，２ｃを有し、一対の端面２ｂ，２ｃの内、少なくとも一方の端面の内側からバレル２内に延ばされており、但し、端面２ｂ，２ｃの内面に沿う方向に延びるように、折り曲げられている給電端子６，１６を備える、バレルめっき装置。
【解決手段】バレル２内に、被めっき物としての電子部品素体３１を投入し、バレル２の軸方向を水平方向に対して傾斜させた状態で、めっき液２２内でバレル２を回転させつつ、めっきを施すバレルめっき装置であって、バレル２が、軸方向両端に配置された一対の端面２ｂ，２ｃを有し、一対の端面２ｂ，２ｃの内、少なくとも一方の端面の内側からバレル２内に延ばされており、但し、端面２ｂ，２ｃの内面に沿う方向に延びるように、折り曲げられている給電端子６，１６を備える、バレルめっき装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば電子部品素体にめっき膜を形成するのに用いられるバレルめっき装置及び該バレルめっき装置を用いた電子部品の製造方法に関し、より詳細には、バレル内においてめっき膜を確実に形成することを可能とする構造が備えられたバレルめっき装置及び該バレルめっき装置を用いた電子部品の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、例えば、積層セラミック電子部品などの外部電極を形成するにあたり、導電ペーストの焼き付けにより下地電極を形成した後、該下地電極上にめっき膜を形成する方法が多用されている。このようなめっき膜の形成に際しては、多数のセラミック電子部品に一度にめっき膜を形成するために、バレルめっき法が用いられている。
【０００３】
下記の特許文献１には、上記のようなバレルめっき法を用いた電子部品の製造方法の一例が開示されている。図８は、特許文献１に記載のバレルめっきに用いられるバレルを示す斜視図である。六角筒状のバレル１０１内に、被めっき物としての電子部品素体と導電性メディアとが投入される。そして、特に図示はしないが、バレル１０１の側面には、多数の貫通孔が形成されており、バレル１０１は、めっき液に浸漬された状態で、その軸方向周りに回転される。そして、バレル１０１を回転しつつ、給電端子１０２，１０３から電界を印加することにより、内部の電子部品素体の外表面にめっき膜が形成される。
【０００４】
なお、上記給電端子１０２，１０３の先端部は給電を果たすために露出されているが、先端部以外の部分は絶縁性材料で被覆されているのが、普通である。
【特許文献１】特開２００４−１１１５３４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
近年、電子部品の小型化が進んでいる。積層セラミック電子部品などにおいても、外部電極が形成されるセラミック焼結体の寸法は、０．６ｍｍ×０．３ｍｍ×０．３ｍｍや、０．４ｍｍ×０．２ｍｍ×０．２ｍｍ程度にまで小さくなってきている。このような小型の電子部品にバレルめっき装置を用いてめっき膜を形成しようとした場合、従来とは異なり、必要な部分にめっき膜が形成されないものがあった。あるいは、必要な部分にめっき膜が形成されたとしても、膜厚が所望の膜厚に達しないものがあった。
【０００６】
すなわち、特許文献１に記載のような従来のバレルめっき装置を用いた場合、電子部品の小型化を進めると、必要な部分に所望の膜厚で確実にめっき膜を形成することができないことがあった。
【０００７】
特許文献１に記載のバレル１０１では、電気めっきに際して電界を印加するために、給電端子１０２，１０３が、バレル１０１内に延ばされている。図９は、特許文献１に記載のバレル１０１を模式的に示す縦断面図である。バレル１０１は、軸方向両端に、第１，第２の端面１０１ａ，１０１ｂを有する。端面１０１ａ，１０１ｂから第１，第２の給電端子１０２，１０３がバレル１０１に延ばされている。第１の給電端子１０２は、端面１０１ａの内面から軸方向に延ばされている引き出し部１０２ａと、引き出し部１０２ａの先端で下方に折り曲げて設けられた下方延長部１０２ｂと、下方延長部１０２ｂの下端からバレル１０１の長さ方向中央に向って延ばされた先端部１０２ｃとを有する。同様に、第２の給電端子１０３も、引き出し部１０３ａ、下方延長部１０３ｂ及び先端部１０３ｃを有する。なお、上記給電端子１０２，１０３では、先端部１０２ｃ，１０３ｃは、給電作用果たすために露出されているが、引き出し部１０２ａ，１０３ａ及び下方延長部１０２ｂ，１０３ｂは絶縁性材料で被覆されている。
【０００８】
バレル１０１では、上記のように、給電端子１０２，１０３がバレル１０１内において、バレル１０１の長さ方向中央まで延ばされているため、バレル１０１を回転させてめっきを行った場合、場合によっては、被めっき物としての電子部品素体１０４においてめっき不良が生じることがあった。すなわち、バレル１０１内には、多数の電子部品素体と図示しない導電性メディアとが投入されており、かつめっきに際しては、めっき液１０５にバレル１０１が浸漬される。
【０００９】
ところが、バレル１０１をめっき液１０５に浸漬するに際しては、めっき液１０５の液面の上方からバレル１０１がめっき液１０５に浸漬される。従って、バレル１０１内に存在していた空気が、バレル１０１内に残存し、バレル１０１の内部の上方で大きな空気溜まり１０６が形成されることがある。この空気溜まり１０６が形成されると、浸漬時に電子部品素体１０４が空気溜まり１０６とめっき液１０５との界面に浮いてしまう。また、この状態で、バレル１０１を回転し、めっきを行った場合、回転を伴って上方に移動した電子部品素体１０４も空気溜まり１０６とめっき液１０５との界面に移動して浮き上がり、その後、矢印Ａで示すように界面から下方に落下することがあった。
【００１０】
この場合、下方に落下した電子部品素体１０４の内、いくつかの電子部品素体１０４が給電端子１０２，１０３の引き出し部１０２ａ，１０３ａ上に載置されることがあった。前述したように、引き出し部１０２ａ，１０３ａは絶縁性材料で被覆されている。そのため、給電端子１０２，１０３の引き出し部１０２ａ，１０３ａと付着している電子部品素体１０４において、該付着部分においてめっき膜が形成されないことがあった。
【００１１】
すなわち、従来の筒状バレルを用いたバレルめっき方法や、該バレルめっき方法を用いた電子部品の製造方法では、多数の被めっき物に確実にめっき膜を形成することができないことがあった。
【００１２】
よって、本発明の目的は、上述した従来技術の欠点を解消し、筒状バレルをめっき液に浸漬した状態で、筒状バレルを回転させつつ、バレルめっきを行うバレルめっき装置であって、被めっき物の外表面にめっき膜を確実に形成することが可能なバレルめっき装置、並びに該めっき装置を用いた電子部品の製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明に係るバレルめっき装置は、内部に複数の被めっき物及び複数の導電性メディアが収納される筒状のバレルと、前記バレルをバレルの軸方向周りに回転させる回転駆動源と、前記バレルの軸方向を水平方向に対して傾斜させた状態で、前記バレルを軸方向周りに回転させるように前記バレルを保持させるバレル保持装置とを備え、前記筒状のバレルが、軸方向両端に配置された一対の端面を有し、前記一対の端面の少なくとも一方の端面の内側からバレル内に延ばされており、但し該端面の内面に沿う方向に延びるように折り曲げられている給電端子をさらに備えることを特徴とする。
【００１４】
本発明に係るバレルめっき装置のある特定の局面では、前記給電端子が、前記端面から内側に延び、かつ折り曲げ部を介して端面の内面に沿う方向に下方に延ばされている先端部を有し、前記端面の内面から折り曲げ部までの距離が、前記被めっき物及び導電性メディアの外形寸法の内の最も大きい寸法よりも大きくされている。
【００１５】
本発明に係るバレルめっき装置の他の特定の局面では、上記給電端子は、上記第１，第２の端面の双方に設けられている。
【００１６】
本発明に係るバレルめっき装置のさらに他の特定局面では、上記給電端子は、第１，第２の内、第１の端面側においてのみ設けられており、前記バレル保持装置により、バレルの第２の端面が第１の端面よりも高い位置となるようにバレルが傾斜されるように構成されている。
【００１７】
本発明に係るバレルめっき装置のさらに別の特定の局面では、前記給電端子の前記端面の内面に固定されている基端部分が、前記端面の回転中心からずらされた位置とされている。
【００１８】
本発明に係る電子部品の製造方法は、本発明に従って構成されたバレルめっき装置を用いることを特徴とし、前記筒状のバレル内に、複数の電子部品素体と、複数の導電性メディアとを収納する工程と、前記バレルをめっき液に浸漬し、該バレルの軸方向が傾斜された状態で、前記回転駆動源によりバレルを回転させ、バレルめっきを行う工程とを備える。
【００１９】
本発明に係る電子部品の製造方法のある特定の局面では、上記バレルの軸方向の水平方向に対する傾斜角度は２°以上、３０°以下の範囲とされる。
【００２０】
本発明に係る電子部品の製造方法の他の特定の局面では、バレルめっきに際し、バレル内にめっき液に浮遊する複数の浮遊体が投入される。
【発明の効果】
【００２１】
本発明に係るバレルめっき装置は、筒状のバレルと、バレルをバレルの軸方向周りに回転させる回転駆動源と、バレルの軸方向を水平方向に対して傾斜させた状態でバレルを軸方向周りに回転させるようにバレルを保持するバレル保持装置とを備える。従って、バレルめっきに際し、めっき液に浸漬された状態で、バレルを水平方向に対して傾斜させた状態で回転駆動源により回転させつつバレルめっきを行うことができる。
【００２２】
この場合、一対の端面の少なくとも一方の端面の内側からバレル内に給電端子が延ばされているが、該給電端子は端面の内面に沿う方向に延びるように折り曲げられているため、バレルの上方から被めっき物が下方に落下してきたとしても、被めっき物が給電端子上に載置し難い。すなわち、給電端子の先端部分が給電端子の端面に取り付けられている基端部分よりも下方に位置している部分よりも、先端部分が内面に沿うように下方に折り曲げられているため、端面の内面に沿うように延ばされている部分では、被めっき物が載置され難い。
【００２３】
なお、給電端子では、先端部が給電作用を果たすために露出されているが、端面から内部に引き出された引き出し部などの他の部分は絶縁性材料で被覆されている。
【００２４】
従って、たとえめっき液に浸漬した状態でバレルの内部上方に空気溜まりが生じ、該空気溜まりとめっき液との界面に被めっき物が移動した後、該界面から下方に被めっき物が落下してきたとしても、上記給電端子の引き出し部上に被めっき物が載置され難い。そのため、被めっき物に給電できないことによるめっき不良が生じ難い。よって、多数の被めっき物に確実にめっき膜を形成することが可能となる。
【００２５】
給電端子が、前記端面から内側に延び、かつ折り曲げ部分を介して端面の内面に沿う方向に延ばされている先端部を有し、端面の内面から折り曲げ部までの距離が、被めっき物及び導電性メディアの外形寸法の内、最大寸法より大きくされている場合には、端面の内面と給電端子の折り曲げ部とによって被めっき物及び導電性メディアの攪拌を阻害することがないので、めっき膜厚のばらつきを抑制することができる。
【００２６】
本発明においては、上記給電端子は、第１，第２の端面の双方において設けられてもよい。その場合には、第１，第２の端面に設けられた給電端子から電界を印加してめっきを行うことができる。
【００２７】
また、給電端子は、第１，第２の端面の内、第１の端面側においてのみ設けられていてもよい。その場合には、好ましくは、バレル保持装置により、バレルの第２の端面が第１の端面よりも高い位置となるように傾斜される。この場合には、めっき液の浸漬状態でバレル内部に上方に空気溜まりが生じしたとしても、空気溜まりは第２の端面側に位置する。そして、第２の端面側においては給電端子は、空気溜まりの下方に存在しないため、空気溜まりとめっき液との界面に漂っていた被めっき物が下方に落下したとしても、下方に給電端子が存在しないため、給電端子と被めっき物との付着によるめっき不良がより一層生じ難い。
【００２８】
また、給電端子の端面の内面に固定されている基端部分が、端面の回転中心からずらされている場合は、給電端子の基端部分に被めっき物が乗り上げた場合であっても、ずらした距離が大きいほど回転によるめっき液の流れにより、被めっき物が給電端子上から落下し易くなる。従って、めっき不良をより一層確実に軽減することができる。なお、基端部分の引き出し位置から端面の回転中心までの距離が大きければ大きいほど（ずらし量が大きければ大きいほど）めっき液の流れが強くなるので、被めっき物が給電端子上からより落下しやすくなる。
【００２９】
本発明に係る電子部品の製造方法では、本発明のバレルめっき装置を用いて、電子部品が製造される。そして、筒状のバレル内に、複数の電子部品素体及び複数の導電性メディアを投入し、バレルをめっき液に浸漬し、バレルの軸方向を水平方向に対して傾斜した状態で、回転駆動源によりバレルを回転させて、バレルめっきが行われる。従って、バレル内上方に空気溜まりが生じたとしても、該空気溜まりとめっき液との界面に捕捉された被めっき物がバレルの回転によるめっき液の流れに伴って下方に落下したとしても、給電端子上に電子部品素体が載置され難いため、電子部品素体と給電端子との接触によるめっき不良を低減することが可能となる。
【００３０】
上記バレルの軸方向の傾斜角度を２°以上、３０°以下の範囲とした場合には、被めっき物と給電端子との付着によるめっき不良をより確実に低減することが可能となる。
【００３１】
バレルめっきに際し、バレル内のめっき液に浮遊する複数の浮遊体を投入した場合には、バレル内部上方に空気溜まりが生じたとしても、該空気溜まりとめっき液との界面に、浮遊体が漂うことになるため、該界面において電子部品素体が捕捉され難い。従って、電子部品素体が下方に確実に落下することなるため、電子部品素体の上記界面における浮遊によるめっき不良を低減することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３２】
以下、図面を参照しつつ、本発明の具体的な実施形態を説明することにより、本発明を明らかにする。
【００３３】
図４は、本発明の一実施形態に係るバレルめっき装置を説明するための略図的正面図である。バレルめっき装置１は、筒状のバレル２を有する。バレル２は、図８に示した従来のバレルめっき装置のバレル１０１と同様に、筒状の形状を有する。本実施形態では、バレル２は、六角筒状の形状を有する。もっとも、バレル２の横断面形状は六角形に限定されず、他の多角形であってもよい。
【００３４】
バレル２の外周側面、すなわち６つの側面には、複数の貫通孔２ａが形成されている。貫通孔２ａは、バレル２の内部とバレル２の外部とを連通させるために設けられている。
【００３５】
なお、貫通孔２ａは、少なくとも側面に形成されておればよい。従って、貫通孔２ａはバレル２の６つの側面の両端に位置している一対の端面にも形成されていてもよい。
【００３６】
他方、バレル２は、支持部材３に回転可能に支持されている。支持部材３は、一対の支持板４，５を有する。支持板４，５は、上下方向に延びるように配置されている。また、支持板４，５には、バレル２を回転可能に支持するために、スリーブ４ａ，５ａが設けられている。スリーブ４ａ，５ａにより、バレル２が回転可能に支持されている。
【００３７】
バレル２は、その軸方向が支持板４，５を結ぶ方向に延びるように配置されている。図４に示すように、初期状態では、支持板４，５は、上下方向に延び、従ってバレル２の軸方向は水平方向に一致している。
【００３８】
他方、スリーブ４ａには、給電端子としての陰極端子６が取り付けられている。陰極端子６は、スリーブ４ａを経てバレル２の端面２ｂからバレル２内に延ばされている。この陰極端子６は、めっきに際し陽極からの電流を通電させるために設けられており、陰極端子６のバレル内に延びている部分が陰極を構成している。
【００３９】
また、スリーブ４ａとは反対側の面にスリーブ５ａが配置されており、スリーブ５ａを介して他方の給電端子としての陰極端子１６がバレル２の他方の端面２ｃからバレル２内に延ばされている。
【００４０】
支持板４とバレル３との間には、歯車７が配置されている。歯車７は、バレル２と一体に回転するようにバレル２に取り付けられており、かつバレル２の軸方向中心を中心にバレル２とともに回転する。また、支持板４，５間には、ロッド８が回転可能に取り付けられている。このロッド８と一体に歯車９が設けられている。歯車９はロッド８とともに回転するように構成されており、かつ前述した歯車７と噛み合わされている。
【００４１】
また、支持板４，５間には、回転駆動源を構成するモーター１１が取り付けられている。モーター１１の回転軸１２に歯車１３が一体に設けられている。歯車１３は、前述した歯車９に噛み合わされている。従って、モーター１１を動作させ、回転軸１２を回転させた場合、それにともなってバレル２が軸方向周りに回転され得る。
【００４２】
なお、バレル２をその軸方向周りに回転するための回転駆動源は上記モーター１１、並びに歯車７，９，１３を組み合わせた構造に限定されるものではない。例えば、モーター１１の回転軸を直接バレル２に連結してもよく、また複数の歯車に代えて、無端ベルトなどの動力伝達機構を用いてモーターとバレル２とを連結してもよい。
【００４３】
図４に示すように、上記支持板４，５の上方には、支持板４，５を連結する連結バー１４が架け渡されている。連結バー１４の上方に保持プレート１５が配置されている。保持プレート１５の下面に脚部１５ａ，１５ｂが一体に設けられている。脚部１５ａが支持板４側に、脚部１５ｂが支持板５側に配置されている。また、連結バー１４は、脚部１５ａ，１５ｂに固定されている。
【００４４】
他方、保持プレート１５は、上下方向に延びる保持ロッド１７にシャフト１５ｃを中心に回転可能に連結されている。保持ロッド１７は、略図的に示す往復駆動源１８に連結されており、往復駆動源１８を駆動することにより、上下方向に移動し得るように構成されている。すなわち、保持ロッド１７及び往復駆動源１８からなるバレル移動装置により、支持部材４，５に支持されたバレル２は、図４に示されている上方に位置している第１の状態と、後述するように下方のめっき液に浸漬された第２の状態との間で移動され得るように構成されている。
【００４５】
往復駆動源１８は、モーターなどの回転駆動源と、回転駆動力を往復駆動力に変化する動力変換機構とを組み合わせたもの、あるいは油圧シリンダーやエアーシリンダーなどの往復駆動源により構成され得る。すなわち、往復駆動源１８の機構は特に限定されるものではない。
【００４６】
また、保持プレート１５の上面には、エアーシリンダー１９のシリンダーロッド１９ａの下端が連結されている。エアーシリンダー１９を駆動することにより、図４に示した初期状態からシリンダーロッド１９ａの一部をシリンダー本体１９ｂ内に引き込んだ状態とすることができる。
【００４７】
図５に示すように、シリンダーロッド１９ａが引き込まれた状態とされると、保持プレート１５がシリンダー本体１９ｂ側に寄せられる。その結果、保持プレート１５が保持ロッド１７に、シャフト１５ｃを介して連結されているので、保持プレート１５が、シリンダーロッド１９ａ側において上方に移動し、保持プレート１５の脚部１５ｂ側が上方に引き上げられる。すなわち、保持ロッド１７は上下方向に延びており、保持プレート１５の主面との間の角度θが９０°よりも小さくなる。これにともなって、支持板４，５もまた傾斜し、支持板４，５間に支持されているバレル２の軸方向は、水平方向と角度α＝（９０°−θ）だけ傾斜されることになる。このバレル２の軸方向と水平方向となす角度αを傾斜角度とする。本実施形態では、この傾斜角度αが０°よりも大きくなるように、すなわちバレル２の軸方向が水平方向に対して傾斜されることにより、後述するようにバレル２内の空気を円滑にかつ確実にバレル外に排出させることができる。なお、好ましくは、後述するように、上記傾斜角度は２°〜３０°の範囲とされる。
【００４８】
なお、図５では、上記筒状のバレル２がめっき液２２内に浸漬された状態で、上記のように傾斜されているが、バレル２の傾斜はめっき液２２への浸漬の前に行われていてもよく、めっき液浸漬後に行われてもよい。また、上記支持板４，５、ロッド１４、保持プレート１５、シャフト１５ｃ、保持ロッド１７及びエアシリンダ１９などにより、本発明におけるバレル保持装置にあたる傾斜装置が形成されている。もっとも、バレル２の軸方向水平方向に対して傾斜させる傾斜装置は図示の構造に限定されるものではない。
【００４９】
上記支持部材３の下方には、めっき槽２１が配置されている。めっき槽２１内には、めっき液２２が注入されている。なお、めっき槽２１内には図示しない陽極が配置されている。めっき液２２の液面の上方が開かれており、該めっき液２２の上方に上記支持部材３が配置されている。
【００５０】
次に、図１（ａ）及び（ｂ）を参照して、上記バレル２の詳細を説明する。図１（ａ）及び（ｂ）は、上記バレル２の内部構造を説明するための模式的縦断面図及び横断面図である。
【００５１】
バレル２は、軸方向両端に第１，第２の端面２ｂ，２ｃを有する。バレル２は、軸方向周りに回転されるが、前述したように、バレル２の軸方向は水平方向から所定の角度傾斜された状態で回転され得るように構成されている。
【００５２】
そして、第１の端面２ｂから第１の陰極端子６が、第２の端面２ｃから第２の陰極端子１６がバレル２の内側に延ばされている。第１の陰極端子６は、その基端６ａが端面２ｂの内面の中心から引き出されている。そして、折り曲げ部分６ｂにおいて端面２ｂの内面に沿う方向に折り曲げられている。すなわち、第１の陰極端子６は、基端６ａと、折り曲げ部分６ｂとの間に位置している内方突出部と、折り曲げ部６ｂから端面２ｂの内面に沿う方向に延ばされた先端部６ｃとを有する。なお、給電端子としての陰極端子６では、上記先端部６ｃが露出されて給電作用を果たすように構成されているが、残りの部分は絶縁性材料で被覆されている。すなわち、上記内方突出部は絶縁性材料で被覆されている。従って、内方突出部上に電子部品素体３１が乗り上げた場合には、電子部品素体３１と内方突出部との付着部分においてめっきが施されない。
【００５３】
第２の陰極端子１６も同様に、基端１６ａが第２の端面２ｃの内面の回転中心から引き出されており、折り曲げ部１６ｂを介して端面２ｃの内面に沿う方向に延びるように折り曲げられている。すなわち、基端１６ａと折り曲げ部１６ｂとの間の内方突出部と、先端部１６ｃとを有する。
【００５４】
次に、図１及び図４と、図２，図３及び図５とを参照して、本実施形態のバレルめっき装置を用いて電子部品を製造する方法を説明する。
【００５５】
本実施形態の電子部品の製造方法では、図２に示す電子部品素体３１にめっき膜を形成する。電子部品素体３１は、積層セラミックコンデンサを構成する焼結体３２を有する。焼結体３２内には、内部電極３３ａ〜３３ｉがセラミック層を介して重なり合うように配置されている。内部電極３３ａ，３３ｃ，３３ｅ，３３ｇ，３３ｉが端面３２ａに引き出されており、内部電極３３ｂ，３３ｄ，３３ｆ，３３ｈが端面３２ｂが引き出されている。端面３２，３２ａを覆うように、Ａｇペーストの焼付けにより形成された下地電極層３４ａ，３５ａが形成されている。
【００５６】
図１（ａ）に示すように、多数の電子部品素体３１が前述したバレル２内に投入される。また、上記電子部品素体３１に加えて複数の導電性メディア２３、例えばスチールボールがバレル２に投入される。他方、電子部品素体３１及び導電性メディアが投入されたバレル２は、初期の第１の状態では、図４に示すように、めっき液２２の上方に配置される。この状態では、支持板４，５は上下方向に延びるように配置されており、バレル２の軸方向の前述した軸角度は０°である。すなわち、バレル２の軸方向は水平方向に延びている。
【００５７】
次に、シリンダー１９を駆動し、シリンダーロッド１９ａの一部を引き込み、保持プレート１５を図１に示すように傾ける。その結果、バレル２の軸角度が０°よりも大きくなるようにバレル２が傾斜される。
【００５８】
次に、往復駆動源１８を駆動し、保持ロッド１７を下方に移動させ、バレル２を下方に移動し、第２の状態とする。
【００５９】
なお、上記バレル２の軸角度を０°よりも大きくなるようにバレル２を傾斜させる工程は、往復駆動源１８によるバレル２の下方への移動に先立って行われている。もっとも、往復駆動源１８によりバレル２を下方に移動させるに際し、同時にシリンダー１８を駆動し、バレル２を傾斜させてもよい。いずれにしても、バレル２がめっき液２２に浸漬された状態で、バレル２の軸角度が変化されておればよい。その結果、図５に示すように、バレル２は傾斜された状態でめっき液２に浸漬される。
【００６０】
傾斜された状態でめっき液２２にバレル２が浸漬されると、バレル２内の空気は上方に移動し、貫通孔２ａから外部に排出される。この場合、バレル２が傾斜されていると、図５に示す位置において、バレル２の内、側面の上方に位置する側面部分２ｂが水平方向に対して傾斜しているため、傾斜している側面部分２ｂの内側を移動し易くなり、側面部分２ｂに開口している貫通孔２ａから速やかに排出される。
【００６１】
すなわち、側面部分２ｂが水平方向に延ばされている場合には、側面部分２ｂの内面に接触している気泡が移動し難くなり、残存するおそれがある。これに対して、側面部分２ｂが傾斜していると、空気が側面部分２ｂの内面を伝って移動し易くなり、貫通孔２ａから外部に容易に排出される。
【００６２】
この状態で、第１，第２の陰極端子６，１６とめっき液に浸漬されている陽極との間に電流を流すことにより、めっきを行うことができる。この場合、貫通孔２ａから内部の空気が容易に排出されるため、空気溜まりが生じ難い。従って、空気溜まりとめっき液との界面に被めっき物としての電子部品素体が捕捉され難く、多数の電子部品素体３１に確実にめっき膜を形成することができる。
【００６３】
加えて、たとえ、空気がバレル２の内部に残存し、図１（ａ）に示すように、空気溜まりＢがバレル２の内部上方に存在したとしても、本実施形態では、電子部品素体３１の外表面にめっき膜を確実に形成することができる。すなわち、空気溜まりＢが存在すると、空気溜まりＢとめっき液２２との界面に、電子部品素体３１が捕捉されやすくなる。そして、回転に伴って、捕捉されていた電子部品素体３１が図１の矢印Ｃで示すように下方に落下することとなる。しかしながら、バレル２の軸方向が前述したように傾斜されており、かつ給電端子としての第１，第２の陰極端子６，１６は、端面２ｂ，２ｃの内面に沿うように下方に折り曲げられている。従って、陰極端子６，１６に、上方から落下してきた電子部品素体３１が載置され難い。
【００６４】
図９に示したように、従来のバレルめっき装置では、給電端子上に、落下してきた電子部品素体が載置し、両者の接触によるめっき不良が生じがちであった。これに対し、本実施形態では、給電端子と電子部品素体３１との接触によるめっき不良を確実に抑制することができる。
【００６５】
従って、たとえ、傾斜されているバレル２内に空気溜まりＢが生じたとしても、確実にめっき不良を低減することが可能となる。
【００６６】
このようにして、図３に示すＮｉめっき膜３４ｂ，３５ｂを形成する。しかる後、めっき液を交換することにより、Ｎｉめっき膜３４ｂ，３５ｂ上に、Ｓｎめっき膜３４ｃ，３５ｃを形成する。従って、図３に示すように、下地電極層３４ａ，３５ａ上に、Ｎｉめっき膜３４ｂ，３５ｂ及びＳｎめっき膜３４ｃ，３５ｃが積層された外部電極３４，３５が形成される。上記のようにして、積層セラミックコンデンサ３７が得られる。
【００６７】
好ましくは、陰極端子６，１６の上記内方突出部の内方突出寸法、すなわち基端６ａ，１６ａから折り曲げ部６ｂ，１６ｂまでに至る寸法Ｘは、被めっき物としての電子部品素体３１及び導電性メディアの外形寸法の内、最大寸法よりも大きいことが望ましく、それによって、内方突出部上への電子部品素体３１の乗り上げをより確実に防止することができる。
【００６８】
図６（ａ）〜（ｃ）は、上記実施形態のバレルめっき装置の変形例を説明するための縦断面図、第１の端面内側部分を模式的に示す斜視図及び横断面図である。
【００６９】
本変形例のバレルめっき装置では、バレル４２は、軸方向両端に第１，第２の端面４２ａ，４２ｂを有する。ここでは、第１の端面４２ａの内面にのみ、給電端子としての第１の陰極端子４６が設けられている。すなわち、第２の端面４２ｂ側には陰極端子は設けられていない。そして、バレル４２は、第２の端面４２ｂ側が第１の端面４２ａ側よりも上方となるように傾斜された状態で回転される。従って、たとえ空気溜まりが生じたとしても、空気溜まりＢは、第２の端面４２ｂ側に位置することになる。よって、空気溜まりＢとめっき液２２との界面に捕捉された電子部品素体３１が下方に落下したとしても、第１の端面４２ａ側には落下しない。よって、給電端子としての陰極端子４６上に電子部品素体３１が載置され難いため、より一層確実にめっき不良を軽減することができる。
【００７０】
また、本変形例では、図６（ｂ）に示されているように、上記陰極端子４６の基端４６ａは、第１の端面４２ａの回転中心からずらされた位置とされている。従って、第１の端面４２ａの回転中心からずらされて陰極端子４６の基端４６ａが第１の端面４２ａから内部に引き出されているため、たとえ内方突出部上に電子部品素体３１が乗り上げたとしても、回転に伴ってめっき液の回転方向への流れが生じ、内方突出部に付着した電子部品素体を落とすため電子部品素体３１と内方突出部との付着によるめっき不良を確実に軽減することができる。
【００７１】
また、前述した実施形態及び図６に示した変形例では、好ましくは、上記バレル２，４２の傾斜角度は、２°〜３０°の範囲とされる。傾斜角度が２°未満では、バレル２，４２内に存在し得る空気を迅速に上部端面側おいて上方に移動させることができず、空気溜まりＢとめっき液２２との界面に捕捉された電子部品素体３１が陰極端子上に落下し易くなるおそれがある。また、上記角度が３０°を超えると、やはり、空気溜まりＢとめっき液２２との界面に捕捉された電子部品素体３１が落下した場合、逆に第１の端面２ｂ，４２ａ側の陰極端子に乗り上げるおそれがある。攪拌性が悪化し、膜厚ばらつき悪化、複めっき物同士のくっつき等の不良が増加するおそれもある。
【００７２】
図７（ａ）及び（ｂ）は、本発明のバレルめっき装置のさらに他の変形例を説明するための横断面及び縦断面図である。本変形例では、バレル４２内において、めっき液２２に浮遊する複数の浮遊体５１が収納されている。その他の点については、バレル４２は図６に示したバレル４２と同様とされている。このように、本発明においては、バレル４２内に、複数の浮遊体５１を浮遊させてもよい。このような浮遊体５１を浮遊させることにより、浮遊体４３は、空気溜まりＢが存在したとしても、空気溜まりＢとめっき液２２との界面に漂うこととなる。従って、電子部品素体３１が上記界面に捕捉されることを確実に抑制することができ、それによってめっき不良を確実に軽減することができる。このような浮遊体５１については、めっき液２２に浮遊し得る限り、特に限定されず、従ってめっき液２２よりも比重の軽い適宜の材料からなる浮遊体を用いればよい。より好ましくは、浮遊体５１は、電子部品素体３１よりも比重の小さいものが望ましく、それによって上記界面への電子部品素体３１の近接をより確実に防止することができる。
【００７３】
なお、上記実施形態では、被めっき物として、上記積層セラミックコンデンサを得るための電子部品素体３１を示したが、本発明に係るバレルめっき装置は、電子部品素体３１に限らず、他の電子部品素体、あるいは電子部品素体以外の被めっき物のめっきにも用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【００７４】
【図１】（ａ）及び（ｂ）は、本発明の一実施形態に用いられる筒状のバレル内を説明するための縦断面図及び横断面図。
【図２】本発明の一実施形態でめっき膜が形成される電子部品素体を説明するための正面断面図。
【図３】本発明の一実施形態においてめっき膜が形成された電子部品としての積層セラミックコンデンサを示す正面断面図。
【図４】本発明の一実施形態に係るバレルめっき装置において、バレルが傾斜される前の状態を示す正面断面図。
【図５】本発明の一実施形態の電子部品の製造方法において、バレルをめっき液に傾斜させた状態で浸漬する工程を説明するための正面断面図。
【図６】（ａ）は、本発明で用いられるバレルの変形例を示す縦断面図、（ｂ）は、第１の端面側の内部構造示す斜視図、（ｃ）は、該バレルの横断面図。
【図７】（ａ）及び（ｂ）は、本発明で用いられるバレルめっき装置におけるバレルめっき方法のさらに他の変形例を説明するための横断面図及び縦断面図。
【図８】従来のバレルめっき装置に用いられる筒状バレルを示す斜視図。
【図９】従来のバレルめっき装置における問題点を説明するための略図的縦断面図。
【符号の説明】
【００７５】
１…バレルめっき装置
２…バレル
２ａ…貫通孔
２ｂ，２ｃ…端面
３…支持部材
４，５…支持板
４ａ，５ａ…スリーブ
６…陰極端子
６ａ…基端部
６ｂ…折り曲げ部
６ｃ…先端部
７…歯車
８…ロッド
９…歯車
１１…モーター
１２…回転軸
１３…歯車
１４…連結バー
１５…保持プレート
１５ａ，１５ｂ…脚部
１５ｃ…シャフト
１６…陰極端子
１６ａ…基端部
１６ｂ…折り曲げ部
１６ｃ…先端部
１７…保持ロッド
１８…移動装置
１９…シリンダー
１９ａ…シリンダーロッド
１９ｂ…シリンダー本体
２１…めっき槽
２２…めっき液
２３…導電性メディア
３１…電子部品素体
３２…セラミック焼結体
３２ａ，３２ｂ…端面
３３ａ〜３３ｉ…内部電極
３４，３５…外部電極
３４ａ，３５ａ…下地電極層
３４ｂ，３５ｂ…Ｎｉめっき膜
３４ｃ，３５ｃ…Ｓｎめっき膜
３７…積層セラミックコンデンサ
４２…バレル
４２ａ，４２ｂ…第１，第２の端面
４６…陰極端子
４６ａ…基端部
４６ｂ…折り曲げ部分
４６ｃ…先端部
５１…浮遊体
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば電子部品素体にめっき膜を形成するのに用いられるバレルめっき装置及び該バレルめっき装置を用いた電子部品の製造方法に関し、より詳細には、バレル内においてめっき膜を確実に形成することを可能とする構造が備えられたバレルめっき装置及び該バレルめっき装置を用いた電子部品の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、例えば、積層セラミック電子部品などの外部電極を形成するにあたり、導電ペーストの焼き付けにより下地電極を形成した後、該下地電極上にめっき膜を形成する方法が多用されている。このようなめっき膜の形成に際しては、多数のセラミック電子部品に一度にめっき膜を形成するために、バレルめっき法が用いられている。
【０００３】
下記の特許文献１には、上記のようなバレルめっき法を用いた電子部品の製造方法の一例が開示されている。図８は、特許文献１に記載のバレルめっきに用いられるバレルを示す斜視図である。六角筒状のバレル１０１内に、被めっき物としての電子部品素体と導電性メディアとが投入される。そして、特に図示はしないが、バレル１０１の側面には、多数の貫通孔が形成されており、バレル１０１は、めっき液に浸漬された状態で、その軸方向周りに回転される。そして、バレル１０１を回転しつつ、給電端子１０２，１０３から電界を印加することにより、内部の電子部品素体の外表面にめっき膜が形成される。
【０００４】
なお、上記給電端子１０２，１０３の先端部は給電を果たすために露出されているが、先端部以外の部分は絶縁性材料で被覆されているのが、普通である。
【特許文献１】特開２００４−１１１５３４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
近年、電子部品の小型化が進んでいる。積層セラミック電子部品などにおいても、外部電極が形成されるセラミック焼結体の寸法は、０．６ｍｍ×０．３ｍｍ×０．３ｍｍや、０．４ｍｍ×０．２ｍｍ×０．２ｍｍ程度にまで小さくなってきている。このような小型の電子部品にバレルめっき装置を用いてめっき膜を形成しようとした場合、従来とは異なり、必要な部分にめっき膜が形成されないものがあった。あるいは、必要な部分にめっき膜が形成されたとしても、膜厚が所望の膜厚に達しないものがあった。
【０００６】
すなわち、特許文献１に記載のような従来のバレルめっき装置を用いた場合、電子部品の小型化を進めると、必要な部分に所望の膜厚で確実にめっき膜を形成することができないことがあった。
【０００７】
特許文献１に記載のバレル１０１では、電気めっきに際して電界を印加するために、給電端子１０２，１０３が、バレル１０１内に延ばされている。図９は、特許文献１に記載のバレル１０１を模式的に示す縦断面図である。バレル１０１は、軸方向両端に、第１，第２の端面１０１ａ，１０１ｂを有する。端面１０１ａ，１０１ｂから第１，第２の給電端子１０２，１０３がバレル１０１に延ばされている。第１の給電端子１０２は、端面１０１ａの内面から軸方向に延ばされている引き出し部１０２ａと、引き出し部１０２ａの先端で下方に折り曲げて設けられた下方延長部１０２ｂと、下方延長部１０２ｂの下端からバレル１０１の長さ方向中央に向って延ばされた先端部１０２ｃとを有する。同様に、第２の給電端子１０３も、引き出し部１０３ａ、下方延長部１０３ｂ及び先端部１０３ｃを有する。なお、上記給電端子１０２，１０３では、先端部１０２ｃ，１０３ｃは、給電作用果たすために露出されているが、引き出し部１０２ａ，１０３ａ及び下方延長部１０２ｂ，１０３ｂは絶縁性材料で被覆されている。
【０００８】
バレル１０１では、上記のように、給電端子１０２，１０３がバレル１０１内において、バレル１０１の長さ方向中央まで延ばされているため、バレル１０１を回転させてめっきを行った場合、場合によっては、被めっき物としての電子部品素体１０４においてめっき不良が生じることがあった。すなわち、バレル１０１内には、多数の電子部品素体と図示しない導電性メディアとが投入されており、かつめっきに際しては、めっき液１０５にバレル１０１が浸漬される。
【０００９】
ところが、バレル１０１をめっき液１０５に浸漬するに際しては、めっき液１０５の液面の上方からバレル１０１がめっき液１０５に浸漬される。従って、バレル１０１内に存在していた空気が、バレル１０１内に残存し、バレル１０１の内部の上方で大きな空気溜まり１０６が形成されることがある。この空気溜まり１０６が形成されると、浸漬時に電子部品素体１０４が空気溜まり１０６とめっき液１０５との界面に浮いてしまう。また、この状態で、バレル１０１を回転し、めっきを行った場合、回転を伴って上方に移動した電子部品素体１０４も空気溜まり１０６とめっき液１０５との界面に移動して浮き上がり、その後、矢印Ａで示すように界面から下方に落下することがあった。
【００１０】
この場合、下方に落下した電子部品素体１０４の内、いくつかの電子部品素体１０４が給電端子１０２，１０３の引き出し部１０２ａ，１０３ａ上に載置されることがあった。前述したように、引き出し部１０２ａ，１０３ａは絶縁性材料で被覆されている。そのため、給電端子１０２，１０３の引き出し部１０２ａ，１０３ａと付着している電子部品素体１０４において、該付着部分においてめっき膜が形成されないことがあった。
【００１１】
すなわち、従来の筒状バレルを用いたバレルめっき方法や、該バレルめっき方法を用いた電子部品の製造方法では、多数の被めっき物に確実にめっき膜を形成することができないことがあった。
【００１２】
よって、本発明の目的は、上述した従来技術の欠点を解消し、筒状バレルをめっき液に浸漬した状態で、筒状バレルを回転させつつ、バレルめっきを行うバレルめっき装置であって、被めっき物の外表面にめっき膜を確実に形成することが可能なバレルめっき装置、並びに該めっき装置を用いた電子部品の製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明に係るバレルめっき装置は、内部に複数の被めっき物及び複数の導電性メディアが収納される筒状のバレルと、前記バレルをバレルの軸方向周りに回転させる回転駆動源と、前記バレルの軸方向を水平方向に対して傾斜させた状態で、前記バレルを軸方向周りに回転させるように前記バレルを保持させるバレル保持装置とを備え、前記筒状のバレルが、軸方向両端に配置された一対の端面を有し、前記一対の端面の少なくとも一方の端面の内側からバレル内に延ばされており、但し該端面の内面に沿う方向に延びるように折り曲げられている給電端子をさらに備えることを特徴とする。
【００１４】
本発明に係るバレルめっき装置のある特定の局面では、前記給電端子が、前記端面から内側に延び、かつ折り曲げ部を介して端面の内面に沿う方向に下方に延ばされている先端部を有し、前記端面の内面から折り曲げ部までの距離が、前記被めっき物及び導電性メディアの外形寸法の内の最も大きい寸法よりも大きくされている。
【００１５】
本発明に係るバレルめっき装置の他の特定の局面では、上記給電端子は、上記第１，第２の端面の双方に設けられている。
【００１６】
本発明に係るバレルめっき装置のさらに他の特定局面では、上記給電端子は、第１，第２の内、第１の端面側においてのみ設けられており、前記バレル保持装置により、バレルの第２の端面が第１の端面よりも高い位置となるようにバレルが傾斜されるように構成されている。
【００１７】
本発明に係るバレルめっき装置のさらに別の特定の局面では、前記給電端子の前記端面の内面に固定されている基端部分が、前記端面の回転中心からずらされた位置とされている。
【００１８】
本発明に係る電子部品の製造方法は、本発明に従って構成されたバレルめっき装置を用いることを特徴とし、前記筒状のバレル内に、複数の電子部品素体と、複数の導電性メディアとを収納する工程と、前記バレルをめっき液に浸漬し、該バレルの軸方向が傾斜された状態で、前記回転駆動源によりバレルを回転させ、バレルめっきを行う工程とを備える。
【００１９】
本発明に係る電子部品の製造方法のある特定の局面では、上記バレルの軸方向の水平方向に対する傾斜角度は２°以上、３０°以下の範囲とされる。
【００２０】
本発明に係る電子部品の製造方法の他の特定の局面では、バレルめっきに際し、バレル内にめっき液に浮遊する複数の浮遊体が投入される。
【発明の効果】
【００２１】
本発明に係るバレルめっき装置は、筒状のバレルと、バレルをバレルの軸方向周りに回転させる回転駆動源と、バレルの軸方向を水平方向に対して傾斜させた状態でバレルを軸方向周りに回転させるようにバレルを保持するバレル保持装置とを備える。従って、バレルめっきに際し、めっき液に浸漬された状態で、バレルを水平方向に対して傾斜させた状態で回転駆動源により回転させつつバレルめっきを行うことができる。
【００２２】
この場合、一対の端面の少なくとも一方の端面の内側からバレル内に給電端子が延ばされているが、該給電端子は端面の内面に沿う方向に延びるように折り曲げられているため、バレルの上方から被めっき物が下方に落下してきたとしても、被めっき物が給電端子上に載置し難い。すなわち、給電端子の先端部分が給電端子の端面に取り付けられている基端部分よりも下方に位置している部分よりも、先端部分が内面に沿うように下方に折り曲げられているため、端面の内面に沿うように延ばされている部分では、被めっき物が載置され難い。
【００２３】
なお、給電端子では、先端部が給電作用を果たすために露出されているが、端面から内部に引き出された引き出し部などの他の部分は絶縁性材料で被覆されている。
【００２４】
従って、たとえめっき液に浸漬した状態でバレルの内部上方に空気溜まりが生じ、該空気溜まりとめっき液との界面に被めっき物が移動した後、該界面から下方に被めっき物が落下してきたとしても、上記給電端子の引き出し部上に被めっき物が載置され難い。そのため、被めっき物に給電できないことによるめっき不良が生じ難い。よって、多数の被めっき物に確実にめっき膜を形成することが可能となる。
【００２５】
給電端子が、前記端面から内側に延び、かつ折り曲げ部分を介して端面の内面に沿う方向に延ばされている先端部を有し、端面の内面から折り曲げ部までの距離が、被めっき物及び導電性メディアの外形寸法の内、最大寸法より大きくされている場合には、端面の内面と給電端子の折り曲げ部とによって被めっき物及び導電性メディアの攪拌を阻害することがないので、めっき膜厚のばらつきを抑制することができる。
【００２６】
本発明においては、上記給電端子は、第１，第２の端面の双方において設けられてもよい。その場合には、第１，第２の端面に設けられた給電端子から電界を印加してめっきを行うことができる。
【００２７】
また、給電端子は、第１，第２の端面の内、第１の端面側においてのみ設けられていてもよい。その場合には、好ましくは、バレル保持装置により、バレルの第２の端面が第１の端面よりも高い位置となるように傾斜される。この場合には、めっき液の浸漬状態でバレル内部に上方に空気溜まりが生じしたとしても、空気溜まりは第２の端面側に位置する。そして、第２の端面側においては給電端子は、空気溜まりの下方に存在しないため、空気溜まりとめっき液との界面に漂っていた被めっき物が下方に落下したとしても、下方に給電端子が存在しないため、給電端子と被めっき物との付着によるめっき不良がより一層生じ難い。
【００２８】
また、給電端子の端面の内面に固定されている基端部分が、端面の回転中心からずらされている場合は、給電端子の基端部分に被めっき物が乗り上げた場合であっても、ずらした距離が大きいほど回転によるめっき液の流れにより、被めっき物が給電端子上から落下し易くなる。従って、めっき不良をより一層確実に軽減することができる。なお、基端部分の引き出し位置から端面の回転中心までの距離が大きければ大きいほど（ずらし量が大きければ大きいほど）めっき液の流れが強くなるので、被めっき物が給電端子上からより落下しやすくなる。
【００２９】
本発明に係る電子部品の製造方法では、本発明のバレルめっき装置を用いて、電子部品が製造される。そして、筒状のバレル内に、複数の電子部品素体及び複数の導電性メディアを投入し、バレルをめっき液に浸漬し、バレルの軸方向を水平方向に対して傾斜した状態で、回転駆動源によりバレルを回転させて、バレルめっきが行われる。従って、バレル内上方に空気溜まりが生じたとしても、該空気溜まりとめっき液との界面に捕捉された被めっき物がバレルの回転によるめっき液の流れに伴って下方に落下したとしても、給電端子上に電子部品素体が載置され難いため、電子部品素体と給電端子との接触によるめっき不良を低減することが可能となる。
【００３０】
上記バレルの軸方向の傾斜角度を２°以上、３０°以下の範囲とした場合には、被めっき物と給電端子との付着によるめっき不良をより確実に低減することが可能となる。
【００３１】
バレルめっきに際し、バレル内のめっき液に浮遊する複数の浮遊体を投入した場合には、バレル内部上方に空気溜まりが生じたとしても、該空気溜まりとめっき液との界面に、浮遊体が漂うことになるため、該界面において電子部品素体が捕捉され難い。従って、電子部品素体が下方に確実に落下することなるため、電子部品素体の上記界面における浮遊によるめっき不良を低減することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３２】
以下、図面を参照しつつ、本発明の具体的な実施形態を説明することにより、本発明を明らかにする。
【００３３】
図４は、本発明の一実施形態に係るバレルめっき装置を説明するための略図的正面図である。バレルめっき装置１は、筒状のバレル２を有する。バレル２は、図８に示した従来のバレルめっき装置のバレル１０１と同様に、筒状の形状を有する。本実施形態では、バレル２は、六角筒状の形状を有する。もっとも、バレル２の横断面形状は六角形に限定されず、他の多角形であってもよい。
【００３４】
バレル２の外周側面、すなわち６つの側面には、複数の貫通孔２ａが形成されている。貫通孔２ａは、バレル２の内部とバレル２の外部とを連通させるために設けられている。
【００３５】
なお、貫通孔２ａは、少なくとも側面に形成されておればよい。従って、貫通孔２ａはバレル２の６つの側面の両端に位置している一対の端面にも形成されていてもよい。
【００３６】
他方、バレル２は、支持部材３に回転可能に支持されている。支持部材３は、一対の支持板４，５を有する。支持板４，５は、上下方向に延びるように配置されている。また、支持板４，５には、バレル２を回転可能に支持するために、スリーブ４ａ，５ａが設けられている。スリーブ４ａ，５ａにより、バレル２が回転可能に支持されている。
【００３７】
バレル２は、その軸方向が支持板４，５を結ぶ方向に延びるように配置されている。図４に示すように、初期状態では、支持板４，５は、上下方向に延び、従ってバレル２の軸方向は水平方向に一致している。
【００３８】
他方、スリーブ４ａには、給電端子としての陰極端子６が取り付けられている。陰極端子６は、スリーブ４ａを経てバレル２の端面２ｂからバレル２内に延ばされている。この陰極端子６は、めっきに際し陽極からの電流を通電させるために設けられており、陰極端子６のバレル内に延びている部分が陰極を構成している。
【００３９】
また、スリーブ４ａとは反対側の面にスリーブ５ａが配置されており、スリーブ５ａを介して他方の給電端子としての陰極端子１６がバレル２の他方の端面２ｃからバレル２内に延ばされている。
【００４０】
支持板４とバレル３との間には、歯車７が配置されている。歯車７は、バレル２と一体に回転するようにバレル２に取り付けられており、かつバレル２の軸方向中心を中心にバレル２とともに回転する。また、支持板４，５間には、ロッド８が回転可能に取り付けられている。このロッド８と一体に歯車９が設けられている。歯車９はロッド８とともに回転するように構成されており、かつ前述した歯車７と噛み合わされている。
【００４１】
また、支持板４，５間には、回転駆動源を構成するモーター１１が取り付けられている。モーター１１の回転軸１２に歯車１３が一体に設けられている。歯車１３は、前述した歯車９に噛み合わされている。従って、モーター１１を動作させ、回転軸１２を回転させた場合、それにともなってバレル２が軸方向周りに回転され得る。
【００４２】
なお、バレル２をその軸方向周りに回転するための回転駆動源は上記モーター１１、並びに歯車７，９，１３を組み合わせた構造に限定されるものではない。例えば、モーター１１の回転軸を直接バレル２に連結してもよく、また複数の歯車に代えて、無端ベルトなどの動力伝達機構を用いてモーターとバレル２とを連結してもよい。
【００４３】
図４に示すように、上記支持板４，５の上方には、支持板４，５を連結する連結バー１４が架け渡されている。連結バー１４の上方に保持プレート１５が配置されている。保持プレート１５の下面に脚部１５ａ，１５ｂが一体に設けられている。脚部１５ａが支持板４側に、脚部１５ｂが支持板５側に配置されている。また、連結バー１４は、脚部１５ａ，１５ｂに固定されている。
【００４４】
他方、保持プレート１５は、上下方向に延びる保持ロッド１７にシャフト１５ｃを中心に回転可能に連結されている。保持ロッド１７は、略図的に示す往復駆動源１８に連結されており、往復駆動源１８を駆動することにより、上下方向に移動し得るように構成されている。すなわち、保持ロッド１７及び往復駆動源１８からなるバレル移動装置により、支持部材４，５に支持されたバレル２は、図４に示されている上方に位置している第１の状態と、後述するように下方のめっき液に浸漬された第２の状態との間で移動され得るように構成されている。
【００４５】
往復駆動源１８は、モーターなどの回転駆動源と、回転駆動力を往復駆動力に変化する動力変換機構とを組み合わせたもの、あるいは油圧シリンダーやエアーシリンダーなどの往復駆動源により構成され得る。すなわち、往復駆動源１８の機構は特に限定されるものではない。
【００４６】
また、保持プレート１５の上面には、エアーシリンダー１９のシリンダーロッド１９ａの下端が連結されている。エアーシリンダー１９を駆動することにより、図４に示した初期状態からシリンダーロッド１９ａの一部をシリンダー本体１９ｂ内に引き込んだ状態とすることができる。
【００４７】
図５に示すように、シリンダーロッド１９ａが引き込まれた状態とされると、保持プレート１５がシリンダー本体１９ｂ側に寄せられる。その結果、保持プレート１５が保持ロッド１７に、シャフト１５ｃを介して連結されているので、保持プレート１５が、シリンダーロッド１９ａ側において上方に移動し、保持プレート１５の脚部１５ｂ側が上方に引き上げられる。すなわち、保持ロッド１７は上下方向に延びており、保持プレート１５の主面との間の角度θが９０°よりも小さくなる。これにともなって、支持板４，５もまた傾斜し、支持板４，５間に支持されているバレル２の軸方向は、水平方向と角度α＝（９０°−θ）だけ傾斜されることになる。このバレル２の軸方向と水平方向となす角度αを傾斜角度とする。本実施形態では、この傾斜角度αが０°よりも大きくなるように、すなわちバレル２の軸方向が水平方向に対して傾斜されることにより、後述するようにバレル２内の空気を円滑にかつ確実にバレル外に排出させることができる。なお、好ましくは、後述するように、上記傾斜角度は２°〜３０°の範囲とされる。
【００４８】
なお、図５では、上記筒状のバレル２がめっき液２２内に浸漬された状態で、上記のように傾斜されているが、バレル２の傾斜はめっき液２２への浸漬の前に行われていてもよく、めっき液浸漬後に行われてもよい。また、上記支持板４，５、ロッド１４、保持プレート１５、シャフト１５ｃ、保持ロッド１７及びエアシリンダ１９などにより、本発明におけるバレル保持装置にあたる傾斜装置が形成されている。もっとも、バレル２の軸方向水平方向に対して傾斜させる傾斜装置は図示の構造に限定されるものではない。
【００４９】
上記支持部材３の下方には、めっき槽２１が配置されている。めっき槽２１内には、めっき液２２が注入されている。なお、めっき槽２１内には図示しない陽極が配置されている。めっき液２２の液面の上方が開かれており、該めっき液２２の上方に上記支持部材３が配置されている。
【００５０】
次に、図１（ａ）及び（ｂ）を参照して、上記バレル２の詳細を説明する。図１（ａ）及び（ｂ）は、上記バレル２の内部構造を説明するための模式的縦断面図及び横断面図である。
【００５１】
バレル２は、軸方向両端に第１，第２の端面２ｂ，２ｃを有する。バレル２は、軸方向周りに回転されるが、前述したように、バレル２の軸方向は水平方向から所定の角度傾斜された状態で回転され得るように構成されている。
【００５２】
そして、第１の端面２ｂから第１の陰極端子６が、第２の端面２ｃから第２の陰極端子１６がバレル２の内側に延ばされている。第１の陰極端子６は、その基端６ａが端面２ｂの内面の中心から引き出されている。そして、折り曲げ部分６ｂにおいて端面２ｂの内面に沿う方向に折り曲げられている。すなわち、第１の陰極端子６は、基端６ａと、折り曲げ部分６ｂとの間に位置している内方突出部と、折り曲げ部６ｂから端面２ｂの内面に沿う方向に延ばされた先端部６ｃとを有する。なお、給電端子としての陰極端子６では、上記先端部６ｃが露出されて給電作用を果たすように構成されているが、残りの部分は絶縁性材料で被覆されている。すなわち、上記内方突出部は絶縁性材料で被覆されている。従って、内方突出部上に電子部品素体３１が乗り上げた場合には、電子部品素体３１と内方突出部との付着部分においてめっきが施されない。
【００５３】
第２の陰極端子１６も同様に、基端１６ａが第２の端面２ｃの内面の回転中心から引き出されており、折り曲げ部１６ｂを介して端面２ｃの内面に沿う方向に延びるように折り曲げられている。すなわち、基端１６ａと折り曲げ部１６ｂとの間の内方突出部と、先端部１６ｃとを有する。
【００５４】
次に、図１及び図４と、図２，図３及び図５とを参照して、本実施形態のバレルめっき装置を用いて電子部品を製造する方法を説明する。
【００５５】
本実施形態の電子部品の製造方法では、図２に示す電子部品素体３１にめっき膜を形成する。電子部品素体３１は、積層セラミックコンデンサを構成する焼結体３２を有する。焼結体３２内には、内部電極３３ａ〜３３ｉがセラミック層を介して重なり合うように配置されている。内部電極３３ａ，３３ｃ，３３ｅ，３３ｇ，３３ｉが端面３２ａに引き出されており、内部電極３３ｂ，３３ｄ，３３ｆ，３３ｈが端面３２ｂが引き出されている。端面３２，３２ａを覆うように、Ａｇペーストの焼付けにより形成された下地電極層３４ａ，３５ａが形成されている。
【００５６】
図１（ａ）に示すように、多数の電子部品素体３１が前述したバレル２内に投入される。また、上記電子部品素体３１に加えて複数の導電性メディア２３、例えばスチールボールがバレル２に投入される。他方、電子部品素体３１及び導電性メディアが投入されたバレル２は、初期の第１の状態では、図４に示すように、めっき液２２の上方に配置される。この状態では、支持板４，５は上下方向に延びるように配置されており、バレル２の軸方向の前述した軸角度は０°である。すなわち、バレル２の軸方向は水平方向に延びている。
【００５７】
次に、シリンダー１９を駆動し、シリンダーロッド１９ａの一部を引き込み、保持プレート１５を図１に示すように傾ける。その結果、バレル２の軸角度が０°よりも大きくなるようにバレル２が傾斜される。
【００５８】
次に、往復駆動源１８を駆動し、保持ロッド１７を下方に移動させ、バレル２を下方に移動し、第２の状態とする。
【００５９】
なお、上記バレル２の軸角度を０°よりも大きくなるようにバレル２を傾斜させる工程は、往復駆動源１８によるバレル２の下方への移動に先立って行われている。もっとも、往復駆動源１８によりバレル２を下方に移動させるに際し、同時にシリンダー１８を駆動し、バレル２を傾斜させてもよい。いずれにしても、バレル２がめっき液２２に浸漬された状態で、バレル２の軸角度が変化されておればよい。その結果、図５に示すように、バレル２は傾斜された状態でめっき液２に浸漬される。
【００６０】
傾斜された状態でめっき液２２にバレル２が浸漬されると、バレル２内の空気は上方に移動し、貫通孔２ａから外部に排出される。この場合、バレル２が傾斜されていると、図５に示す位置において、バレル２の内、側面の上方に位置する側面部分２ｂが水平方向に対して傾斜しているため、傾斜している側面部分２ｂの内側を移動し易くなり、側面部分２ｂに開口している貫通孔２ａから速やかに排出される。
【００６１】
すなわち、側面部分２ｂが水平方向に延ばされている場合には、側面部分２ｂの内面に接触している気泡が移動し難くなり、残存するおそれがある。これに対して、側面部分２ｂが傾斜していると、空気が側面部分２ｂの内面を伝って移動し易くなり、貫通孔２ａから外部に容易に排出される。
【００６２】
この状態で、第１，第２の陰極端子６，１６とめっき液に浸漬されている陽極との間に電流を流すことにより、めっきを行うことができる。この場合、貫通孔２ａから内部の空気が容易に排出されるため、空気溜まりが生じ難い。従って、空気溜まりとめっき液との界面に被めっき物としての電子部品素体が捕捉され難く、多数の電子部品素体３１に確実にめっき膜を形成することができる。
【００６３】
加えて、たとえ、空気がバレル２の内部に残存し、図１（ａ）に示すように、空気溜まりＢがバレル２の内部上方に存在したとしても、本実施形態では、電子部品素体３１の外表面にめっき膜を確実に形成することができる。すなわち、空気溜まりＢが存在すると、空気溜まりＢとめっき液２２との界面に、電子部品素体３１が捕捉されやすくなる。そして、回転に伴って、捕捉されていた電子部品素体３１が図１の矢印Ｃで示すように下方に落下することとなる。しかしながら、バレル２の軸方向が前述したように傾斜されており、かつ給電端子としての第１，第２の陰極端子６，１６は、端面２ｂ，２ｃの内面に沿うように下方に折り曲げられている。従って、陰極端子６，１６に、上方から落下してきた電子部品素体３１が載置され難い。
【００６４】
図９に示したように、従来のバレルめっき装置では、給電端子上に、落下してきた電子部品素体が載置し、両者の接触によるめっき不良が生じがちであった。これに対し、本実施形態では、給電端子と電子部品素体３１との接触によるめっき不良を確実に抑制することができる。
【００６５】
従って、たとえ、傾斜されているバレル２内に空気溜まりＢが生じたとしても、確実にめっき不良を低減することが可能となる。
【００６６】
このようにして、図３に示すＮｉめっき膜３４ｂ，３５ｂを形成する。しかる後、めっき液を交換することにより、Ｎｉめっき膜３４ｂ，３５ｂ上に、Ｓｎめっき膜３４ｃ，３５ｃを形成する。従って、図３に示すように、下地電極層３４ａ，３５ａ上に、Ｎｉめっき膜３４ｂ，３５ｂ及びＳｎめっき膜３４ｃ，３５ｃが積層された外部電極３４，３５が形成される。上記のようにして、積層セラミックコンデンサ３７が得られる。
【００６７】
好ましくは、陰極端子６，１６の上記内方突出部の内方突出寸法、すなわち基端６ａ，１６ａから折り曲げ部６ｂ，１６ｂまでに至る寸法Ｘは、被めっき物としての電子部品素体３１及び導電性メディアの外形寸法の内、最大寸法よりも大きいことが望ましく、それによって、内方突出部上への電子部品素体３１の乗り上げをより確実に防止することができる。
【００６８】
図６（ａ）〜（ｃ）は、上記実施形態のバレルめっき装置の変形例を説明するための縦断面図、第１の端面内側部分を模式的に示す斜視図及び横断面図である。
【００６９】
本変形例のバレルめっき装置では、バレル４２は、軸方向両端に第１，第２の端面４２ａ，４２ｂを有する。ここでは、第１の端面４２ａの内面にのみ、給電端子としての第１の陰極端子４６が設けられている。すなわち、第２の端面４２ｂ側には陰極端子は設けられていない。そして、バレル４２は、第２の端面４２ｂ側が第１の端面４２ａ側よりも上方となるように傾斜された状態で回転される。従って、たとえ空気溜まりが生じたとしても、空気溜まりＢは、第２の端面４２ｂ側に位置することになる。よって、空気溜まりＢとめっき液２２との界面に捕捉された電子部品素体３１が下方に落下したとしても、第１の端面４２ａ側には落下しない。よって、給電端子としての陰極端子４６上に電子部品素体３１が載置され難いため、より一層確実にめっき不良を軽減することができる。
【００７０】
また、本変形例では、図６（ｂ）に示されているように、上記陰極端子４６の基端４６ａは、第１の端面４２ａの回転中心からずらされた位置とされている。従って、第１の端面４２ａの回転中心からずらされて陰極端子４６の基端４６ａが第１の端面４２ａから内部に引き出されているため、たとえ内方突出部上に電子部品素体３１が乗り上げたとしても、回転に伴ってめっき液の回転方向への流れが生じ、内方突出部に付着した電子部品素体を落とすため電子部品素体３１と内方突出部との付着によるめっき不良を確実に軽減することができる。
【００７１】
また、前述した実施形態及び図６に示した変形例では、好ましくは、上記バレル２，４２の傾斜角度は、２°〜３０°の範囲とされる。傾斜角度が２°未満では、バレル２，４２内に存在し得る空気を迅速に上部端面側おいて上方に移動させることができず、空気溜まりＢとめっき液２２との界面に捕捉された電子部品素体３１が陰極端子上に落下し易くなるおそれがある。また、上記角度が３０°を超えると、やはり、空気溜まりＢとめっき液２２との界面に捕捉された電子部品素体３１が落下した場合、逆に第１の端面２ｂ，４２ａ側の陰極端子に乗り上げるおそれがある。攪拌性が悪化し、膜厚ばらつき悪化、複めっき物同士のくっつき等の不良が増加するおそれもある。
【００７２】
図７（ａ）及び（ｂ）は、本発明のバレルめっき装置のさらに他の変形例を説明するための横断面及び縦断面図である。本変形例では、バレル４２内において、めっき液２２に浮遊する複数の浮遊体５１が収納されている。その他の点については、バレル４２は図６に示したバレル４２と同様とされている。このように、本発明においては、バレル４２内に、複数の浮遊体５１を浮遊させてもよい。このような浮遊体５１を浮遊させることにより、浮遊体４３は、空気溜まりＢが存在したとしても、空気溜まりＢとめっき液２２との界面に漂うこととなる。従って、電子部品素体３１が上記界面に捕捉されることを確実に抑制することができ、それによってめっき不良を確実に軽減することができる。このような浮遊体５１については、めっき液２２に浮遊し得る限り、特に限定されず、従ってめっき液２２よりも比重の軽い適宜の材料からなる浮遊体を用いればよい。より好ましくは、浮遊体５１は、電子部品素体３１よりも比重の小さいものが望ましく、それによって上記界面への電子部品素体３１の近接をより確実に防止することができる。
【００７３】
なお、上記実施形態では、被めっき物として、上記積層セラミックコンデンサを得るための電子部品素体３１を示したが、本発明に係るバレルめっき装置は、電子部品素体３１に限らず、他の電子部品素体、あるいは電子部品素体以外の被めっき物のめっきにも用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【００７４】
【図１】（ａ）及び（ｂ）は、本発明の一実施形態に用いられる筒状のバレル内を説明するための縦断面図及び横断面図。
【図２】本発明の一実施形態でめっき膜が形成される電子部品素体を説明するための正面断面図。
【図３】本発明の一実施形態においてめっき膜が形成された電子部品としての積層セラミックコンデンサを示す正面断面図。
【図４】本発明の一実施形態に係るバレルめっき装置において、バレルが傾斜される前の状態を示す正面断面図。
【図５】本発明の一実施形態の電子部品の製造方法において、バレルをめっき液に傾斜させた状態で浸漬する工程を説明するための正面断面図。
【図６】（ａ）は、本発明で用いられるバレルの変形例を示す縦断面図、（ｂ）は、第１の端面側の内部構造示す斜視図、（ｃ）は、該バレルの横断面図。
【図７】（ａ）及び（ｂ）は、本発明で用いられるバレルめっき装置におけるバレルめっき方法のさらに他の変形例を説明するための横断面図及び縦断面図。
【図８】従来のバレルめっき装置に用いられる筒状バレルを示す斜視図。
【図９】従来のバレルめっき装置における問題点を説明するための略図的縦断面図。
【符号の説明】
【００７５】
１…バレルめっき装置
２…バレル
２ａ…貫通孔
２ｂ，２ｃ…端面
３…支持部材
４，５…支持板
４ａ，５ａ…スリーブ
６…陰極端子
６ａ…基端部
６ｂ…折り曲げ部
６ｃ…先端部
７…歯車
８…ロッド
９…歯車
１１…モーター
１２…回転軸
１３…歯車
１４…連結バー
１５…保持プレート
１５ａ，１５ｂ…脚部
１５ｃ…シャフト
１６…陰極端子
１６ａ…基端部
１６ｂ…折り曲げ部
１６ｃ…先端部
１７…保持ロッド
１８…移動装置
１９…シリンダー
１９ａ…シリンダーロッド
１９ｂ…シリンダー本体
２１…めっき槽
２２…めっき液
２３…導電性メディア
３１…電子部品素体
３２…セラミック焼結体
３２ａ，３２ｂ…端面
３３ａ〜３３ｉ…内部電極
３４，３５…外部電極
３４ａ，３５ａ…下地電極層
３４ｂ，３５ｂ…Ｎｉめっき膜
３４ｃ，３５ｃ…Ｓｎめっき膜
３７…積層セラミックコンデンサ
４２…バレル
４２ａ，４２ｂ…第１，第２の端面
４６…陰極端子
４６ａ…基端部
４６ｂ…折り曲げ部分
４６ｃ…先端部
５１…浮遊体
【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部に複数の被めっき物及び複数の導電性メディアが収納される筒状のバレルと、
前記バレルをバレルの軸方向周りに回転させる回転駆動源と、
前記バレルの軸方向を水平方向に対して傾斜させた状態で、前記バレルを軸方向周りに回転させるように前記バレルを保持するバレル保持装置とを備え、
前記筒状のバレルが、軸方向両端に配置された一対の端面を有し、
前記一対の端面の少なくとも一方の端面の内側からバレル内に延ばされており、但し該端面の内面に沿う方向に延びるように折り曲げられている給電端子をさらに備えることを特徴とする、バレルめっき装置。
【請求項２】
前記給電端子が、前記端面から内側に延びる内方突出部と、内方突出部の先端で折り曲げられている折り曲げ部と、折り曲げ部を介して端面の内面に沿う方向に下方に延ばされている先端部とを有し、前記端面の内面から折り曲げ部までの距離が、前記被めっき物及び導電性メディアの外形寸法の内の最大外形寸法よりも大きくされている、請求項１に記載のバレルめっき装置。
【請求項３】
前記給電端子が、前記第１，第２の端面の双方において設けられている、請求項１に記載のバレルめっき装置。
【請求項４】
前記給電端子が、第１，第２の端面の内、第１の端面側においてのみ設けられており、前記バレル保持装置により、前記バレルの第２の端面が第１の端面よりも高い位置となるようにバレルが傾斜されるように構成されている、請求項１に記載のバレルめっき装置。
【請求項５】
前記給電端子の前記端面の内面に固定されている基端部分が、前記端面の回転中心からずらされた位置とされていることを特徴とする、請求項１〜４のいずれか１項に記載のバレルめっき装置。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか１項に記載のバレルめっき装置を用いた電子部品の製造方法であって、
前記筒状のバレル内に、複数の電子部品素体と、複数の導電性メディアとを収納する工程と、
前記バレルをめっき液に浸漬し、該バレルの軸方向が傾斜された状態で、前記回転駆動源によりバレルを回転させ、バレルめっきを行う工程とを備える、電子部品の製造方法。
【請求項７】
前記バレルの軸方向の傾斜角度を２°以上、３０°以下の範囲とする、請求項６に記載の電子部品の製造方法。
【請求項８】
前記バレルめっきに際し、前記バレル内にめっき液に浮遊する複数の浮遊体を投入することを特徴とする、請求項６または７に記載の電子部品の製造方法。
【請求項１】
内部に複数の被めっき物及び複数の導電性メディアが収納される筒状のバレルと、
前記バレルをバレルの軸方向周りに回転させる回転駆動源と、
前記バレルの軸方向を水平方向に対して傾斜させた状態で、前記バレルを軸方向周りに回転させるように前記バレルを保持するバレル保持装置とを備え、
前記筒状のバレルが、軸方向両端に配置された一対の端面を有し、
前記一対の端面の少なくとも一方の端面の内側からバレル内に延ばされており、但し該端面の内面に沿う方向に延びるように折り曲げられている給電端子をさらに備えることを特徴とする、バレルめっき装置。
【請求項２】
前記給電端子が、前記端面から内側に延びる内方突出部と、内方突出部の先端で折り曲げられている折り曲げ部と、折り曲げ部を介して端面の内面に沿う方向に下方に延ばされている先端部とを有し、前記端面の内面から折り曲げ部までの距離が、前記被めっき物及び導電性メディアの外形寸法の内の最大外形寸法よりも大きくされている、請求項１に記載のバレルめっき装置。
【請求項３】
前記給電端子が、前記第１，第２の端面の双方において設けられている、請求項１に記載のバレルめっき装置。
【請求項４】
前記給電端子が、第１，第２の端面の内、第１の端面側においてのみ設けられており、前記バレル保持装置により、前記バレルの第２の端面が第１の端面よりも高い位置となるようにバレルが傾斜されるように構成されている、請求項１に記載のバレルめっき装置。
【請求項５】
前記給電端子の前記端面の内面に固定されている基端部分が、前記端面の回転中心からずらされた位置とされていることを特徴とする、請求項１〜４のいずれか１項に記載のバレルめっき装置。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか１項に記載のバレルめっき装置を用いた電子部品の製造方法であって、
前記筒状のバレル内に、複数の電子部品素体と、複数の導電性メディアとを収納する工程と、
前記バレルをめっき液に浸漬し、該バレルの軸方向が傾斜された状態で、前記回転駆動源によりバレルを回転させ、バレルめっきを行う工程とを備える、電子部品の製造方法。
【請求項７】
前記バレルの軸方向の傾斜角度を２°以上、３０°以下の範囲とする、請求項６に記載の電子部品の製造方法。
【請求項８】
前記バレルめっきに際し、前記バレル内にめっき液に浮遊する複数の浮遊体を投入することを特徴とする、請求項６または７に記載の電子部品の製造方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【公開番号】特開２００６−２７４３５３（Ｐ２００６−２７４３５３Ａ）
【公開日】平成１８年１０月１２日（２００６．１０．１２）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００５−９５３４２（Ｐ２００５−９５３４２）
【出願日】平成１７年３月２９日（２００５．３．２９）
【出願人】（０００００６２３１）株式会社村田製作所 (3,635)
【公開日】平成１８年１０月１２日（２００６．１０．１２）
【国際特許分類】
【出願日】平成１７年３月２９日（２００５．３．２９）
【出願人】（０００００６２３１）株式会社村田製作所 (3,635)
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