パターンドメディアクロック生成方法、パターンドメディア及び情報記録再生装置
【課題】 パターンドメディアクロック生成方法、パターンドメディア及び情報記録再生装置に関し、パターンドメディアに対し、フォーマット効率を極力悪化させないで、データ領域に記録したパターンに対し正確な記録再生クロックを生成する。
【解決手段】 円周方向に各ゾーン２毎に単一のパターン間隔で作られた記録ビット８を設けたパターンドメディア１をドライブに搭載し、サーボ信号よりパターンドメディア１の偏芯量を測定し、測定したその偏芯量に基づいて記録再生のクロックの周波数を増減させる。
【解決手段】 円周方向に各ゾーン２毎に単一のパターン間隔で作られた記録ビット８を設けたパターンドメディア１をドライブに搭載し、サーボ信号よりパターンドメディア１の偏芯量を測定し、測定したその偏芯量に基づいて記録再生のクロックの周波数を増減させる。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はパターンドメディアクロック生成方法、パターンドメディア及び情報記録再生装置に関するものであり、特に、フォーマット効率を悪化させないでパターンに対し正確な記録再生クロックを生成するための構成に特徴のあるパターンドメディアクロック生成方法、パターンドメディア及び情報記録再生装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来の連続媒体へデータを記録・再生する場合は、装置側のクロックで媒体上に記録ピット位置にとらわれずに信号を記録することができ、再生の際には、書かれたピットに対して再生のクロックを同期させれば良かった。
【０００３】
これに対し、パターンドメディアではデータを記録すべき位置がピット単位で媒体上に定義されているため、その位置に合わせてデータを記録しなければ、正確なデータを記録することはできない。
【０００４】
そのために、目的のパターンに記録する方法として、媒体上にクロック同期用のパターンを多数入れる方法が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
また量産可能なパターンドメディアを製造する方法として、ナノインプリントなどの密着させた型を経由する方法が考えられ、この方法によって容易に量産可能になると推定される。
【特許文献１】特開２００３−１５７５０７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、媒体上にクロック同期用のパターンを多数入れた場合には、当然のことながら、フォーマット効率が悪くなるという問題がある。
【０００７】
一方、ナノインプリント法の場合には、メディアとそれに密着させる型の平面度や歪みによって、サブミクロンオーダで半径方向と円周方向で絶対的な位置ズレ、即ち、高次偏芯が生じるメディアとなるため、この時に一定のクロックを使うと、クロックとパターンの間でズレを生じる問題が発生する。
なお、半径方向と円周方向の相対位置精度は保たれる。
【０００８】
したがって、本発明は、パターンドメディアに対し、フォーマット効率を極力悪化させないで、データ領域に記録したパターンに対し正確な記録再生クロックを生成すること目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
図１は本発明の原理的構成図であり、ここで図１を参照して、本発明における課題を解決するための手段を説明する。
なお、図における符号５，６は、それぞれ、クロック同期パターン及びサーボパターンである。
図１参照
上記の課題を解決するために、本発明は、パターンドメディアクロック生成方法において、円周方向に各ゾーン２毎に単一のパターン間隔で作られた記録ピット８を設けたパターンドメディア１をドライブに搭載し、サーボ信号よりパターンドメディア１の偏芯量を測定し、測定したその偏芯量に基づいて記録再生のクロックの周波数を増減させることを特徴とする。
【００１０】
このように、偏芯量により、各ゾーン２毎の記録再生のクロックの周波数を変化させることによって、各ゾーン２毎に単一のパターン間隔で作られたパターンドメディア１の記録ピット８の位置に情報を書き込むことができるとともに、書き込んだ情報を再現性良く読み出すことができる。
【００１１】
また、記録再生のクロックの周波数を増減させる際に、リードヘッドとライトヘッドの円周方向の位置ズレを測定し、測定した位置ズレに対応する遅延量を有するライトクロックを生成することが望ましい。
【００１２】
このように、正確なライトタイミングを決めるには、ヨー角の効果によるリードヘッドとライトヘッドの位置誤差を測定し遅延補正として、ライトクロックに反映させ必要がある。
この場合、ヨー角は半径位置により異なるので、各ゾーン２毎に遅延量を変化させる必要がある。
【００１３】
また、記録再生のクロックの周波数を増減させる際に、トラックの高次偏芯情報をデータの記録再生周波数に反映させることが望ましい。
【００１４】
即ち、ナノインプリント等の加圧起因の媒体の歪み、即ち、高次偏芯は半径方向と円周方向で一定の関係を持つので、半径方向のＲＲＯ（Ｒｅｐｅａｔａｂｌｅ Ｒｕｎ−Ｏｕｔ：繰り返し回転振れ）データを円周方向のクロックの周波数変化に対応させて記録再生周波数に反映させれば良い。
【００１５】
また、パターンドメディア媒体としては、同心円環状に分割された各ゾーン２毎に円周方向に単一のパターン間隔で作られた記録ピット領域を有するとともに、各ゾーン２に設けたサーボ領域部分に繰り返し回転振れ情報７を記録したことを特徴とする。
【００１６】
このように、パターンドメディア媒体においては、各ゾーン２に設けたサーボ領域部分４に繰り返し回転振れ（ＲＲＯ）情報７を記録しておくことによって、各ゾーン２毎の記録再生のクロックの周波数を増減するのが容易になる。
【００１７】
この場合、各ゾーン２の境界３に連続媒体領域を有するとともに、連続媒体領域に、リードヘッドとライトヘッドの円周方向の位置ズレを測定するための孤立パターンを設けることが望ましく、それによって、位置ズレを“０”“１”パターンとして検出することができるので、精度良くヨー角に起因するリードヘッドとライトヘッドの円周方向の位置ズレ量を決定することができる。
【００１８】
上述のパターンドメディア１と、パターンドメディア１を搭載するドライブと、サーボ信号よりパターンドメディア１の偏芯量を測定し、測定した偏芯量に基づいて記録再生のクロックの周波数を増減させるクロック周波数制御機構とを備えることによって、精度の良い再生を行うことができる。
【００１９】
この場合、偏芯量と周波数の関係を各ゾーン２毎の周波数テーブルとして持つことが望ましく、それによって、ＰＬＬ（位相制御回路）による偏芯量に基づいて記録再生のクロックの周波数を増減を容易に行うことができる。
【００２０】
また、測定した一つの偏芯量測定データから、半径方向の係数テーブル、即ち、ヨー角に起因するＲＲＯデータを記載したテーブルと円周方向の係数テーブル、即ち、クロック同期パターンに関するデータを記載したテーブルの２つのテーブルを有するように構成することが望ましく、それによって、ヨー角に起因する半径方向の位置ズレを適正に補正することができる。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、偏芯補正データを記録再生の周波数へフィードバックすることによって、パターンドメディアに形成された記録ピットパターンに対し、周波数ズレがセクタ内で起こることがなく、それによって、長いセクタを実現することでできるため、フォーマット効率が良くなる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
本発明は、円周方向に各ゾーン毎に単一のパターン間隔で作られた記録ピットを設けたパターンドメディアをドライブに搭載し、サーボ信号よりパターンドメディアの偏芯量を測定し、測定した偏芯量に基づいて記録再生のクロックの周波数を増減させる。
【００２３】
その場合、ヨー角効果によるリードヘッドとライトヘッドの円周方向の位置ズレに起因するライトタイミングのズレを補正するために、各ゾーンの境界に設けた連続媒体領域に孤立パターンを書き込み、この孤立パターンを読みだすことによって位置ズレを測定し、測定した位置ズレに対応する遅延量を有するライトクロックを生成する。
【００２４】
また、記録再生のクロックの周波数を増減させる際に、トラックの高次偏芯情報をデータの記録再生周波数に反映させるために、同心円環状に分割された各ゾーン毎に円周方向に単一のパターン間隔で作られた記録ピットを有するとともに、各ゾーンに設けたサーボ領域部分にＲＲＯ情報を記録し、このＲＲＯ情報をデータの記録再生時に、ＲＲＯ・ゾーン周波数変換コントローラに出力し、このデータを基にして周波数を補正する。
【実施例１】
【００２５】
ここで、図２乃至図１０を参照して、本発明の実施例１のパターンドメディアのクロック生成方法を説明する。
図２参照
まず、光ディスクのスタンパの作成工程と同様に、例えば、８インチのシリコンウェーハ１１上に電子線レジストを塗布し、上述の特許文献１に記載されたように正確なクロックに基づくサーボ用パターン１３とパターンドメディア用のピットパターン１４に対応する情報を電子ビーム露光装置により描画し現像することによってレジストパターン１２を形成する。
【００２６】
次いで、レジストパターン１２をマスクとして、例えば、ＳＦ6 ガスを用いた反応性イオンエッチングによって、シリコンウェーハ１１の露出部を例えば、１００ｎｍの深さまでエッチングしてサーボ用パターン１６とパターンドメディア用のピットパターン１７を有するナノインプリント用のマスタ１５を形成する。
【００２７】
一方、ガラス基板２１上に垂直媒体となる基板側から順に裏打層２２、中間層２３、及び、磁気記録層２４からなる磁性膜を製膜した後に、ＰＭＭＡ（ポリメチルメタクリレート）膜２５を塗布し、次いで、ＰＭＭＡ膜２５に上述のマスタ１３を密着させる。
【００２８】
図３参照
次いで、サーボ用パターン２７とパターンドメディア用のピットパターン２８を形成してＰＭＭＡマスク２６としたのち、ＰＭＭＡマスク２６をマスクとして、反応性イオンエッチングによって磁性膜の露出部を少なくとも中間層２３に達するまでエッチングしてサーボ用パターン２９とパターンドメディア用のピットパターン３０を設けたパターンドメディア４０とする。
【００２９】
図４参照
図４は、パターンドメディアにおけるサーボ用パターンとパターンドメディア用のピットパターンの説明図であり、パターンドメディア４０は例えば、１００の同心円環状のゾーン４１に区分けされ、各ゾーン４１の境界には夫々境界領域４２が形成される。
これは、媒体のパターンにクロックを同期させるために分解能が必要となるため、２．５インチディスクでのゾーンは１００以上が望ましくなるためである。
【００３０】
各ゾーン４１i には、夫々クロック同期パターン４４i 、所定のトラックにヘッドを位置決めするためのサーボパターン４５i 、及び、ＲＲＯ（Ｒｅｐｅａｔａｂｌｅ Ｒｕｎ−Ｏｕｔ：繰り返し回転振れ）データを書き込むための連続媒体領域４６i からなるサーボ用パターン２９とパターンドメディア用のピットパターン３０が形成された記録ピット領域４７i によって構成される。
【００３１】
この場合、各ゾーン４１i におけるクロック同期パターン４４i 及びサーボパターン４５i は各ゾーン４１i に共通して一定の周波数としているが、ピットパターン３０は間隔を一定にするが、各ゾーン４１i 毎に間隔を異なるように設定している。
【００３２】
また、各境界領域４２i にも各ゾーン４１i と同じ周波数のクロック同期パターン４８i 及びサーボパターン４９i が形成されているが、それ以外の領域は連続媒体領域５０i になっており、後述するように、この連続媒体領域５０i にリードヘッドとライトヘッドの位置ズレ量を測定するための孤立パターン５１を磁気的に書き込む。
【００３３】
図５参照
次いで、図５に示すように、上述のパターンドメディア４０をスピンドルモータ６１に装着し、ベースアーム６２を介して微動アーム６３の先端に取り付けられたスライダー６４によって、パターンドメディア４０の外周から順にスライダー６４のヘッド位置をアクチュエータ６７によって移動させてシークすることによって偏芯量を検出する。
なお、ここでは、マスタを押しつけた際に発生する歪みが全くなく、したがって、高次偏芯のパターン誤差の無いパターンドメディアであるとする。
なお、図における符号４３，４７，６８，６９は、それぞれ、サーボパターン領域、記録ピット領域、ディスククランプリング及び回転軸である。
【００３４】
図６参照
図６は、パターンドメディアの中心とスピンドルモータの回転中心との位置ズレによる偏芯の説明図であり、例えば、クロック同期パターンと記録ピットが１周に渡り完全に同期しているパターンドメディアを一定回転数で回転させると、パターンドメディアとモータの回転中心が一致している場合、クロックの周波数Ｆは一定値となる。
【００３５】
しかし、パターンドメディアの中心がスピンドルモータの回転中心に対してａだけずれているパターンドメディアを一定回転数で回転させると、ヘッドで再生されるパターンのクロックはＦ±ｂＨｚとなる。
即ち、スピンドルモータの回転中心をＸＹ座標の原点, 偏芯をａ ,クロック同期パターンの半径をｒとすると、その半径位置における左側の１度に対する長さをＬ1 とし、右側の１度に対する長さをＬ2 とした時、
原点からの見たＬ1 に対する角度をθ1 、
原点からの見たＬ2 に対する角度をθ2 とすると、
Ｌ1 ＝（ｒ−ａ）×θ1
Ｌ2 ＝（ｒ＋ａ）×θ2
となる。
【００３６】
ここで、クロック同期パターンに偏芯以外の誤差が無いとすれば、Ｌ1 ＝Ｌ2 であるので、
Ｌ1 ＝（ｒ−ａ）×θ1 ＝（ｒ＋ａ）×θ2 ＝Ｌ2
となり、ａについて整理すると、
ａ＝ｒ（θ1 −θ2 ）／（θ1 ＋θ2 ）
となる。
【００３７】
この時、パターンドメディアが一定回転ωで回転しているとすると、クロックの周波数Ｆとの関係は
Ｆ＝ｒ（Ｆ1 −Ｆ2 ）／（Ｆ1 ＋Ｆ2 ） となる。
したがって偏芯が在る場合で、パターンに正確にクロックを合わせるには偏芯に応じてクロックを変化させる必要がある。
【００３８】
図７参照
図７は偏芯が在る場合の円周方向と周波数の関係の説明図であり、図６におけるＬ1 側ではｒ＋ａの位置における周速度になるため周波数が高くなり、一方、Ｌ2 側ではｒ−ａの位置における周速度になるため周波数が低くなり、図に示すように正弦曲線的な変動を示す。
【００３９】
図８参照
図８は、ヘッド位置と電流との相関関係の説明図であり、磁気ディスク装置では偏芯に追従するため、アクチュエータに電流を流すことになり、その場合のヘッド位置と電流は図のようになる。
そして、位置を１回微分すると速度になり、位置を２回微分すると加速度αとなり、アクチュエータのコイルに流す電流ｉと加速度αは、ｍα＝ＢｉＬの関係により比例することになる。
なお、ｍはヘッドの質量、Ｂはアクチュエータがベースアームを移動させるために発生する磁束、Ｌはコイルの長さである。
【００４０】
また、磁気ディスク装置においては、通常、ライトヘッドとリードヘッドの位置がずれており、且つ、ヨー角βによる位置ズレはタイミングズレになり、ライト時にはその補正を入れる必要があるので、この事情を図９を参照して説明する。
【００４１】
図９参照
図９は、ヨー角βによる位置ズレの説明図であり、スライダー６４に形成されたライトヘッド６５とリードヘッド６６の位置ズレがＤの場合、ディスク上における円周方向における位置ズレｄは、
ｄ＝Ｄｃｏｓβ
となる。
情報を書き込む際には、まず、リードヘッド６６で記録位置を確認したのち、ライトヘッド６５で書き込むことになり、そのままでは、ｄだけライトタイミングがずれることになる。
【００４２】
そこで、サーボ信号のクロックリカバリ領域でクロックを合わせたあとライトクロックの作成にはクロックリカバリ領域でクロックよりもｄ＝Ｄｃｏｓβ分だけタイミングを遅らせる。
また、リードとライトではＤｓｉｎβ分だけ半径方向にもオフセットさせる。
【００４３】
また、リードヘッド６６とライトヘッド６５の中心間の距離Ｄは、ヘッドにより製造バラツキが有るので、各ドライブの中でドライブに装着されているヘッドにおける距離Ｄを実際に測定する必要が生ずる。
【００４４】
そこで、上述の各境界領域４２i に設けた連続媒体領域５０i に、ライトヘッド６５により孤立パターン５１を記録し、この孤立パターン５１をリードヘッド６６により読み出して、再生信号とライトクロックを比較することによって距離Ｄを求める。
【００４５】
また、ヨー角βのために、ライトタイミング遅延量はヨー角βにより変化するので、半径位置ｒに応じてタイミング補正量を算出する必要があり、これらの算出したタイミング補正量をゾーン毎の周波数テーブルとして格納する。
【００４６】
具体的には、まず、各境界領域４２i に設けた連続媒体領域５０i に、ライトヘッド６５により“０”と“１”とを明瞭に区別して識別できる孤立パターン５１を記録し、次にヘッドを半径方向に移動させ、孤立パターン５１からの信号が出力される位置で、リードクロックで再生信号を読み、セクタの先頭からのクロックズレ量を測定し遅延量とする。
【００４７】
図１０参照
図１０は、本発明の実施例１におけるクロック生成回路であり、偏芯補正サーボループ７０とクロック補正部分８０とにより構成される。
偏芯補正サーボループ７０はサーボコントローラ７１、パワーアンプ７２、アクチュエータ７３、及び、フィードバックループにより構成され、あるトラックにオントラックすると、オントラックしたヘッド位置においてサーボパターンを通過した時の再生信号をフィードバックすることによりサーボコントローラ７１から偏芯量が算出され、算出結果に基づいて上述のゾーン毎の周波数テーブル９０を作成して格納する。
【００４８】
一方、クロック補正部分８０自体は、位相比較器（Ｐｈａｓｅ Ｄｅｔｅｃｔｏｒ）８１、ループフィルタ８２、サンプルホールド回路８３、電圧制御発振器８４からなる通常のＰＬＬを備えており、電圧制御発振器８４から出力により遅延量を決定する。
このＰＬＬにゾーン毎の周波数テーブル９０からの偏芯補正情報を加算し、サーボパターンを通過する時には電圧制御発振器８４の出力をホールドするとともに、ライトするときにはライトの遅延量を設定する。
【００４９】
このように、本発明の実施例１においては、偏芯ａに応じてクロックの周波数Ｆを変動させ、また、ヨー角に起因する位置ズレＤによるライトタイミング量を各ゾーン毎に求めるとともに、ヘッドの製造バラツキに起因するＤの変動を実測により求めて周波数テーブルを作成しているので、パターンドメディアに形成された記録ピットパターンに対し、周波数ズレがセクタ内で起こることがなく、それによって、長いセクタを実現することができるため、フォーマット効率が良くなる。
【実施例２】
【００５０】
次に、図１１及び図１２を参照して、本発明の実施例２のパターンドメディアのクロック発生方法を説明する。
なお、パターンドメディアの製造工程は、上記の実施例１と全く同様であるが、実施例２においてはナノインプリント工程でディスク及び密着転写の工程でディスク上に歪みを含んだパターンが形成され、パターンドメディアに高次偏芯が発生した場合のクロック生成方法を説明する。
【００５１】
このパターンドメディアに対して、従来と同様のトラック追従方法でトラッキングを行い、その時のトラックエラー信号から媒体上のＲＲＯ（繰り返し回転振れ）を従来の方法で算出する。
即ち、このパターンドメディアをドライブに組み込み、外周から順にトラッキングサーボを掛け、トラッキングサーボ系の一巡伝達関数を測定する。
【００５２】
図１１参照
図１１は、本発明の実施例２におけるパターンドメディアにおけるサーボ用パターンとパターンドメディア用のピットパターンの説明図であり、上述のように、トラックポジションエラー信号と一巡伝達関数から、ＲＲＯを求め、サーボ情報領域の最後、即ち、各ゾーン４１i のサーボ用パターンを構成する連続媒体領域４６i にＲＲＯデータ５２i をライトヘッド６５により磁気的に書き込んで記録する。
【００５３】
図１２参照
図１２は、本発明の実施例２におけるクロック生成回路であり、偏芯補正サーボループ７０とクロック補正部分８０とにより構成される。
偏芯補正サーボループ７０は実施例１と全く同様に、サーボコントローラ７１、パワーアンプ７２、アクチュエータ７３、及び、フィードバックループにより構成され、あるトラックにオントラックすると、ヘッド位置においてサーボパターンを通過した時の再生信号をフィードバックすることによりサーボコントローラ７１から偏芯量を算出する。
そして、データを記録再生する時にはサーボコントローラ７１はＲＲＯデータとゾーンデータをＲＲＯ・ゾーン周波数変換コントローラ９１に出力する。
【００５４】
一方、クロック補正部分８０も、実施例１と同様に位相比較器８１、ループフィルタ８２、サンプルホールド回路８３、電圧制御発振器８４からなる通常のＰＬＬを備えており、電圧制御発振器８４からの出力により遅延量を決定する。
【００５５】
実施例２においては、このＰＬＬにＲＲＯ・ゾーン周波数変換コントローラ９１からの高次偏芯補正情報を加算し、サーボパターンを通過する時には電圧制御発振器８４の出力をホールドするとともに、ライトするときにはライトの遅延量を設定する。
【００５６】
このように、本発明の実施例２においては、ＲＲＯを実測により測定して、測定したＲＲＯデータをサーボ用パターンとしてパターンドメディアに磁気的に書き込み、記録ビット領域にデータを書き込んだり、書き込んだデータを読み出す際に、ＲＲＯデータを利用してヘッドを駆動しているので、パターンドメディアに高次偏芯が在る場合にも、フォーマット効率を悪化させることなく、長いセクタ領域を実現することができる。
【００５７】
以上、本発明の各実施例を説明してきたが、本発明は各実施例に記載された構成・条件等に限られるものではなく各種の変更が可能であり、例えば、パターンドメディアにおけるゾーン数は２．５インチ当たり１００或いは１００以上に限られるものではなく、１００以下の場合にも適用されるものである。
【００５８】
ここで、再び、図１を参照して本発明の詳細な特徴を改めて説明する。
再び、図１参照
（付記１） 円周方向に各ゾーン２毎に単一のパターン間隔で作られた記録ピット８を設けたパターンドメディア１をドライブに搭載し、サーボ信号より前記パターンドメディア１の偏芯量を測定し、前記測定したその偏芯量に基づいて記録再生のクロックの周波数を増減させることを特徴とするパターンドメディアクロック生成方法。
（付記２） 上記記録再生のクロックの周波数を増減させる際に、リードヘッドとライトヘッドの円周方向の位置ズレを測定し、測定した位置ズレに対応する遅延量を有するライトクロックを生成することを特徴とする付記１記載のパターンドメディアクロック発生方法。
（付記３） 上記記録再生のクロックの周波数を増減させる際に、トラックの高次偏芯情報をデータの記録再生周波数に反映させることを特徴とする付記１または２に記載のパターンドメディアクロック発生方法。
（付記４） 同心円環状に分割された各ゾーン２毎に円周方向に単一のパターン間隔で作られた記録ピット８を有するとともに、前記各ゾーン２に設けたサーボ領域部分４に繰り返し回転振れ情報７を記録したことを特徴とするパターンドメディア。
（付記５） 上記各ゾーン２の境界３に連続媒体領域を有するとともに、前記連続媒体領域に、リードヘッドとライトヘッドの円周方向の位置ズレを測定するための孤立パターンを設けたことを特徴とする付記４記載のパターンドメディア。
（付記６） 付記４または５に記載のパターンドメディア１と、前記パターンドメディア１を搭載するドライブと、サーボ信号より前記パターンドメディア１の偏芯量を測定し、前記測定した偏芯量に基づいて記録再生のクロックの周波数を増減させるクロック周波数制御機構とを備えたことを特徴とする情報記録再生装置。
（付記７） 上記偏芯量と周波数の関係を各ゾーン２毎の周波数テーブルとして持つことを特徴とする付記６記載の情報記録再生装置。
（付記８） 上記測定した一つの偏心量測定データから、半径方向の係数テーブルと円周方向の係数テーブルの２つのテーブルを有することを特徴とする付記６または７に記載の情報記録再生装置。
【産業上の利用可能性】
【００５９】
本発明の活用例としては、ナノインプリント法で作成したパターンドメディアにおけるクロック生成方法が典型的なものであるが、パターンドメディアはナノインプリント法で作成したものに限られるものではなく、通常の電子ビーム露光方法によりパターニングしたパターンドメディアに対しても適用されるものである。
【図面の簡単な説明】
【００６０】
【図１】本発明の原理的構成の説明図である。
【図２】本発明の実施例１のパターンドメディアの途中までの作成工程の説明図である。
【図３】本発明の実施例１のパターンドメディアの図２以降の作成工程の説明図である。
【図４】パターンドメディアにおけるサーボ用パターンとパターンドメディア用のピットパターンの説明図である。
【図５】本発明の実施例１の磁気ディスク装置の概略的平面図である。
【図６】パターンドメディアの中心とスピンドルモータの回転中心との位置ズレによる偏芯の説明図である。
【図７】偏芯がある場合の円周方向と周波数の関係の説明図である。
【図８】ヘッド位置と電流との相関関係の説明図である。
【図９】ヨー角βによる位置ズレの説明図である。
【図１０】本発明の実施例１におけるクロック生成回路である。
【図１１】本発明の実施例２におけるパターンドメディアにおけるサーボ用パターンとパターンドメディア用のピットパターンの説明図である。
【図１２】本発明の実施例２におけるクロック生成回路である。
【符号の説明】
【００６１】
１ パターンドメディア
２ ゾーン
３ 境界
４ サーボ領域部分
５ クロック同期パターン
６ サーボパターン
７ 繰り返し回転振れ情報
８ 記録ピット
９ 連続媒体領域
１０ 孤立パターン
１１ シリコンウェーハ
１２ レジストパターン
１３ サーボ用パターン
１４ ピットパターン
１５ マスタ
１６ サーボ用パターン
１７ ピットパターン
２１ ガラス基板
２２ 裏打層
２３ 中間層
２４ 磁気記録層
２５ ＰＭＭＡ膜
２６ ＰＭＭＡマスク
２７ サーボ用パターン
２８ ピットパターン
２９ サーボ用パターン
３０ ピットパターン
４０ パターンドメディア
４１，４１i ゾーン
４２，４２i 境界領域
４３ サーボパターン領域
４４i クロック同期パターン
４５i サーボパターン
４６i 連続媒体領域
４７，４７i 記録ピット領域
４８i クロック同期パターン
４９i サーボパターン
５０i 連続媒体領域
５１ 孤立パターン
５２i ＲＲＯデータ
６１ スピンドルモータ
６２ ベースアーム
６３ 微動アーム
６４ スライダー
６５ ライトヘッド
６６ リードヘッド
６７ アクチュエータ
６８ ディスククランプリング
６９ 回転軸
７０ 偏芯補正サーボループ
７１ サーボコントローラ
７２ パワーアンプ
７３ アクチュエータ
８０ クロック補正部分
８１ 位相比較器
８２ ループフィルタ
８３ サンプルホールド回路
８４ 電圧制御発振器
９０ ゾーン毎の周波数テーブル
９１ ＲＲＯ・ゾーン周波数変換コントローラ
【技術分野】
【０００１】
本発明はパターンドメディアクロック生成方法、パターンドメディア及び情報記録再生装置に関するものであり、特に、フォーマット効率を悪化させないでパターンに対し正確な記録再生クロックを生成するための構成に特徴のあるパターンドメディアクロック生成方法、パターンドメディア及び情報記録再生装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来の連続媒体へデータを記録・再生する場合は、装置側のクロックで媒体上に記録ピット位置にとらわれずに信号を記録することができ、再生の際には、書かれたピットに対して再生のクロックを同期させれば良かった。
【０００３】
これに対し、パターンドメディアではデータを記録すべき位置がピット単位で媒体上に定義されているため、その位置に合わせてデータを記録しなければ、正確なデータを記録することはできない。
【０００４】
そのために、目的のパターンに記録する方法として、媒体上にクロック同期用のパターンを多数入れる方法が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
また量産可能なパターンドメディアを製造する方法として、ナノインプリントなどの密着させた型を経由する方法が考えられ、この方法によって容易に量産可能になると推定される。
【特許文献１】特開２００３−１５７５０７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、媒体上にクロック同期用のパターンを多数入れた場合には、当然のことながら、フォーマット効率が悪くなるという問題がある。
【０００７】
一方、ナノインプリント法の場合には、メディアとそれに密着させる型の平面度や歪みによって、サブミクロンオーダで半径方向と円周方向で絶対的な位置ズレ、即ち、高次偏芯が生じるメディアとなるため、この時に一定のクロックを使うと、クロックとパターンの間でズレを生じる問題が発生する。
なお、半径方向と円周方向の相対位置精度は保たれる。
【０００８】
したがって、本発明は、パターンドメディアに対し、フォーマット効率を極力悪化させないで、データ領域に記録したパターンに対し正確な記録再生クロックを生成すること目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
図１は本発明の原理的構成図であり、ここで図１を参照して、本発明における課題を解決するための手段を説明する。
なお、図における符号５，６は、それぞれ、クロック同期パターン及びサーボパターンである。
図１参照
上記の課題を解決するために、本発明は、パターンドメディアクロック生成方法において、円周方向に各ゾーン２毎に単一のパターン間隔で作られた記録ピット８を設けたパターンドメディア１をドライブに搭載し、サーボ信号よりパターンドメディア１の偏芯量を測定し、測定したその偏芯量に基づいて記録再生のクロックの周波数を増減させることを特徴とする。
【００１０】
このように、偏芯量により、各ゾーン２毎の記録再生のクロックの周波数を変化させることによって、各ゾーン２毎に単一のパターン間隔で作られたパターンドメディア１の記録ピット８の位置に情報を書き込むことができるとともに、書き込んだ情報を再現性良く読み出すことができる。
【００１１】
また、記録再生のクロックの周波数を増減させる際に、リードヘッドとライトヘッドの円周方向の位置ズレを測定し、測定した位置ズレに対応する遅延量を有するライトクロックを生成することが望ましい。
【００１２】
このように、正確なライトタイミングを決めるには、ヨー角の効果によるリードヘッドとライトヘッドの位置誤差を測定し遅延補正として、ライトクロックに反映させ必要がある。
この場合、ヨー角は半径位置により異なるので、各ゾーン２毎に遅延量を変化させる必要がある。
【００１３】
また、記録再生のクロックの周波数を増減させる際に、トラックの高次偏芯情報をデータの記録再生周波数に反映させることが望ましい。
【００１４】
即ち、ナノインプリント等の加圧起因の媒体の歪み、即ち、高次偏芯は半径方向と円周方向で一定の関係を持つので、半径方向のＲＲＯ（Ｒｅｐｅａｔａｂｌｅ Ｒｕｎ−Ｏｕｔ：繰り返し回転振れ）データを円周方向のクロックの周波数変化に対応させて記録再生周波数に反映させれば良い。
【００１５】
また、パターンドメディア媒体としては、同心円環状に分割された各ゾーン２毎に円周方向に単一のパターン間隔で作られた記録ピット領域を有するとともに、各ゾーン２に設けたサーボ領域部分に繰り返し回転振れ情報７を記録したことを特徴とする。
【００１６】
このように、パターンドメディア媒体においては、各ゾーン２に設けたサーボ領域部分４に繰り返し回転振れ（ＲＲＯ）情報７を記録しておくことによって、各ゾーン２毎の記録再生のクロックの周波数を増減するのが容易になる。
【００１７】
この場合、各ゾーン２の境界３に連続媒体領域を有するとともに、連続媒体領域に、リードヘッドとライトヘッドの円周方向の位置ズレを測定するための孤立パターンを設けることが望ましく、それによって、位置ズレを“０”“１”パターンとして検出することができるので、精度良くヨー角に起因するリードヘッドとライトヘッドの円周方向の位置ズレ量を決定することができる。
【００１８】
上述のパターンドメディア１と、パターンドメディア１を搭載するドライブと、サーボ信号よりパターンドメディア１の偏芯量を測定し、測定した偏芯量に基づいて記録再生のクロックの周波数を増減させるクロック周波数制御機構とを備えることによって、精度の良い再生を行うことができる。
【００１９】
この場合、偏芯量と周波数の関係を各ゾーン２毎の周波数テーブルとして持つことが望ましく、それによって、ＰＬＬ（位相制御回路）による偏芯量に基づいて記録再生のクロックの周波数を増減を容易に行うことができる。
【００２０】
また、測定した一つの偏芯量測定データから、半径方向の係数テーブル、即ち、ヨー角に起因するＲＲＯデータを記載したテーブルと円周方向の係数テーブル、即ち、クロック同期パターンに関するデータを記載したテーブルの２つのテーブルを有するように構成することが望ましく、それによって、ヨー角に起因する半径方向の位置ズレを適正に補正することができる。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、偏芯補正データを記録再生の周波数へフィードバックすることによって、パターンドメディアに形成された記録ピットパターンに対し、周波数ズレがセクタ内で起こることがなく、それによって、長いセクタを実現することでできるため、フォーマット効率が良くなる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
本発明は、円周方向に各ゾーン毎に単一のパターン間隔で作られた記録ピットを設けたパターンドメディアをドライブに搭載し、サーボ信号よりパターンドメディアの偏芯量を測定し、測定した偏芯量に基づいて記録再生のクロックの周波数を増減させる。
【００２３】
その場合、ヨー角効果によるリードヘッドとライトヘッドの円周方向の位置ズレに起因するライトタイミングのズレを補正するために、各ゾーンの境界に設けた連続媒体領域に孤立パターンを書き込み、この孤立パターンを読みだすことによって位置ズレを測定し、測定した位置ズレに対応する遅延量を有するライトクロックを生成する。
【００２４】
また、記録再生のクロックの周波数を増減させる際に、トラックの高次偏芯情報をデータの記録再生周波数に反映させるために、同心円環状に分割された各ゾーン毎に円周方向に単一のパターン間隔で作られた記録ピットを有するとともに、各ゾーンに設けたサーボ領域部分にＲＲＯ情報を記録し、このＲＲＯ情報をデータの記録再生時に、ＲＲＯ・ゾーン周波数変換コントローラに出力し、このデータを基にして周波数を補正する。
【実施例１】
【００２５】
ここで、図２乃至図１０を参照して、本発明の実施例１のパターンドメディアのクロック生成方法を説明する。
図２参照
まず、光ディスクのスタンパの作成工程と同様に、例えば、８インチのシリコンウェーハ１１上に電子線レジストを塗布し、上述の特許文献１に記載されたように正確なクロックに基づくサーボ用パターン１３とパターンドメディア用のピットパターン１４に対応する情報を電子ビーム露光装置により描画し現像することによってレジストパターン１２を形成する。
【００２６】
次いで、レジストパターン１２をマスクとして、例えば、ＳＦ6 ガスを用いた反応性イオンエッチングによって、シリコンウェーハ１１の露出部を例えば、１００ｎｍの深さまでエッチングしてサーボ用パターン１６とパターンドメディア用のピットパターン１７を有するナノインプリント用のマスタ１５を形成する。
【００２７】
一方、ガラス基板２１上に垂直媒体となる基板側から順に裏打層２２、中間層２３、及び、磁気記録層２４からなる磁性膜を製膜した後に、ＰＭＭＡ（ポリメチルメタクリレート）膜２５を塗布し、次いで、ＰＭＭＡ膜２５に上述のマスタ１３を密着させる。
【００２８】
図３参照
次いで、サーボ用パターン２７とパターンドメディア用のピットパターン２８を形成してＰＭＭＡマスク２６としたのち、ＰＭＭＡマスク２６をマスクとして、反応性イオンエッチングによって磁性膜の露出部を少なくとも中間層２３に達するまでエッチングしてサーボ用パターン２９とパターンドメディア用のピットパターン３０を設けたパターンドメディア４０とする。
【００２９】
図４参照
図４は、パターンドメディアにおけるサーボ用パターンとパターンドメディア用のピットパターンの説明図であり、パターンドメディア４０は例えば、１００の同心円環状のゾーン４１に区分けされ、各ゾーン４１の境界には夫々境界領域４２が形成される。
これは、媒体のパターンにクロックを同期させるために分解能が必要となるため、２．５インチディスクでのゾーンは１００以上が望ましくなるためである。
【００３０】
各ゾーン４１i には、夫々クロック同期パターン４４i 、所定のトラックにヘッドを位置決めするためのサーボパターン４５i 、及び、ＲＲＯ（Ｒｅｐｅａｔａｂｌｅ Ｒｕｎ−Ｏｕｔ：繰り返し回転振れ）データを書き込むための連続媒体領域４６i からなるサーボ用パターン２９とパターンドメディア用のピットパターン３０が形成された記録ピット領域４７i によって構成される。
【００３１】
この場合、各ゾーン４１i におけるクロック同期パターン４４i 及びサーボパターン４５i は各ゾーン４１i に共通して一定の周波数としているが、ピットパターン３０は間隔を一定にするが、各ゾーン４１i 毎に間隔を異なるように設定している。
【００３２】
また、各境界領域４２i にも各ゾーン４１i と同じ周波数のクロック同期パターン４８i 及びサーボパターン４９i が形成されているが、それ以外の領域は連続媒体領域５０i になっており、後述するように、この連続媒体領域５０i にリードヘッドとライトヘッドの位置ズレ量を測定するための孤立パターン５１を磁気的に書き込む。
【００３３】
図５参照
次いで、図５に示すように、上述のパターンドメディア４０をスピンドルモータ６１に装着し、ベースアーム６２を介して微動アーム６３の先端に取り付けられたスライダー６４によって、パターンドメディア４０の外周から順にスライダー６４のヘッド位置をアクチュエータ６７によって移動させてシークすることによって偏芯量を検出する。
なお、ここでは、マスタを押しつけた際に発生する歪みが全くなく、したがって、高次偏芯のパターン誤差の無いパターンドメディアであるとする。
なお、図における符号４３，４７，６８，６９は、それぞれ、サーボパターン領域、記録ピット領域、ディスククランプリング及び回転軸である。
【００３４】
図６参照
図６は、パターンドメディアの中心とスピンドルモータの回転中心との位置ズレによる偏芯の説明図であり、例えば、クロック同期パターンと記録ピットが１周に渡り完全に同期しているパターンドメディアを一定回転数で回転させると、パターンドメディアとモータの回転中心が一致している場合、クロックの周波数Ｆは一定値となる。
【００３５】
しかし、パターンドメディアの中心がスピンドルモータの回転中心に対してａだけずれているパターンドメディアを一定回転数で回転させると、ヘッドで再生されるパターンのクロックはＦ±ｂＨｚとなる。
即ち、スピンドルモータの回転中心をＸＹ座標の原点, 偏芯をａ ,クロック同期パターンの半径をｒとすると、その半径位置における左側の１度に対する長さをＬ1 とし、右側の１度に対する長さをＬ2 とした時、
原点からの見たＬ1 に対する角度をθ1 、
原点からの見たＬ2 に対する角度をθ2 とすると、
Ｌ1 ＝（ｒ−ａ）×θ1
Ｌ2 ＝（ｒ＋ａ）×θ2
となる。
【００３６】
ここで、クロック同期パターンに偏芯以外の誤差が無いとすれば、Ｌ1 ＝Ｌ2 であるので、
Ｌ1 ＝（ｒ−ａ）×θ1 ＝（ｒ＋ａ）×θ2 ＝Ｌ2
となり、ａについて整理すると、
ａ＝ｒ（θ1 −θ2 ）／（θ1 ＋θ2 ）
となる。
【００３７】
この時、パターンドメディアが一定回転ωで回転しているとすると、クロックの周波数Ｆとの関係は
Ｆ＝ｒ（Ｆ1 −Ｆ2 ）／（Ｆ1 ＋Ｆ2 ） となる。
したがって偏芯が在る場合で、パターンに正確にクロックを合わせるには偏芯に応じてクロックを変化させる必要がある。
【００３８】
図７参照
図７は偏芯が在る場合の円周方向と周波数の関係の説明図であり、図６におけるＬ1 側ではｒ＋ａの位置における周速度になるため周波数が高くなり、一方、Ｌ2 側ではｒ−ａの位置における周速度になるため周波数が低くなり、図に示すように正弦曲線的な変動を示す。
【００３９】
図８参照
図８は、ヘッド位置と電流との相関関係の説明図であり、磁気ディスク装置では偏芯に追従するため、アクチュエータに電流を流すことになり、その場合のヘッド位置と電流は図のようになる。
そして、位置を１回微分すると速度になり、位置を２回微分すると加速度αとなり、アクチュエータのコイルに流す電流ｉと加速度αは、ｍα＝ＢｉＬの関係により比例することになる。
なお、ｍはヘッドの質量、Ｂはアクチュエータがベースアームを移動させるために発生する磁束、Ｌはコイルの長さである。
【００４０】
また、磁気ディスク装置においては、通常、ライトヘッドとリードヘッドの位置がずれており、且つ、ヨー角βによる位置ズレはタイミングズレになり、ライト時にはその補正を入れる必要があるので、この事情を図９を参照して説明する。
【００４１】
図９参照
図９は、ヨー角βによる位置ズレの説明図であり、スライダー６４に形成されたライトヘッド６５とリードヘッド６６の位置ズレがＤの場合、ディスク上における円周方向における位置ズレｄは、
ｄ＝Ｄｃｏｓβ
となる。
情報を書き込む際には、まず、リードヘッド６６で記録位置を確認したのち、ライトヘッド６５で書き込むことになり、そのままでは、ｄだけライトタイミングがずれることになる。
【００４２】
そこで、サーボ信号のクロックリカバリ領域でクロックを合わせたあとライトクロックの作成にはクロックリカバリ領域でクロックよりもｄ＝Ｄｃｏｓβ分だけタイミングを遅らせる。
また、リードとライトではＤｓｉｎβ分だけ半径方向にもオフセットさせる。
【００４３】
また、リードヘッド６６とライトヘッド６５の中心間の距離Ｄは、ヘッドにより製造バラツキが有るので、各ドライブの中でドライブに装着されているヘッドにおける距離Ｄを実際に測定する必要が生ずる。
【００４４】
そこで、上述の各境界領域４２i に設けた連続媒体領域５０i に、ライトヘッド６５により孤立パターン５１を記録し、この孤立パターン５１をリードヘッド６６により読み出して、再生信号とライトクロックを比較することによって距離Ｄを求める。
【００４５】
また、ヨー角βのために、ライトタイミング遅延量はヨー角βにより変化するので、半径位置ｒに応じてタイミング補正量を算出する必要があり、これらの算出したタイミング補正量をゾーン毎の周波数テーブルとして格納する。
【００４６】
具体的には、まず、各境界領域４２i に設けた連続媒体領域５０i に、ライトヘッド６５により“０”と“１”とを明瞭に区別して識別できる孤立パターン５１を記録し、次にヘッドを半径方向に移動させ、孤立パターン５１からの信号が出力される位置で、リードクロックで再生信号を読み、セクタの先頭からのクロックズレ量を測定し遅延量とする。
【００４７】
図１０参照
図１０は、本発明の実施例１におけるクロック生成回路であり、偏芯補正サーボループ７０とクロック補正部分８０とにより構成される。
偏芯補正サーボループ７０はサーボコントローラ７１、パワーアンプ７２、アクチュエータ７３、及び、フィードバックループにより構成され、あるトラックにオントラックすると、オントラックしたヘッド位置においてサーボパターンを通過した時の再生信号をフィードバックすることによりサーボコントローラ７１から偏芯量が算出され、算出結果に基づいて上述のゾーン毎の周波数テーブル９０を作成して格納する。
【００４８】
一方、クロック補正部分８０自体は、位相比較器（Ｐｈａｓｅ Ｄｅｔｅｃｔｏｒ）８１、ループフィルタ８２、サンプルホールド回路８３、電圧制御発振器８４からなる通常のＰＬＬを備えており、電圧制御発振器８４から出力により遅延量を決定する。
このＰＬＬにゾーン毎の周波数テーブル９０からの偏芯補正情報を加算し、サーボパターンを通過する時には電圧制御発振器８４の出力をホールドするとともに、ライトするときにはライトの遅延量を設定する。
【００４９】
このように、本発明の実施例１においては、偏芯ａに応じてクロックの周波数Ｆを変動させ、また、ヨー角に起因する位置ズレＤによるライトタイミング量を各ゾーン毎に求めるとともに、ヘッドの製造バラツキに起因するＤの変動を実測により求めて周波数テーブルを作成しているので、パターンドメディアに形成された記録ピットパターンに対し、周波数ズレがセクタ内で起こることがなく、それによって、長いセクタを実現することができるため、フォーマット効率が良くなる。
【実施例２】
【００５０】
次に、図１１及び図１２を参照して、本発明の実施例２のパターンドメディアのクロック発生方法を説明する。
なお、パターンドメディアの製造工程は、上記の実施例１と全く同様であるが、実施例２においてはナノインプリント工程でディスク及び密着転写の工程でディスク上に歪みを含んだパターンが形成され、パターンドメディアに高次偏芯が発生した場合のクロック生成方法を説明する。
【００５１】
このパターンドメディアに対して、従来と同様のトラック追従方法でトラッキングを行い、その時のトラックエラー信号から媒体上のＲＲＯ（繰り返し回転振れ）を従来の方法で算出する。
即ち、このパターンドメディアをドライブに組み込み、外周から順にトラッキングサーボを掛け、トラッキングサーボ系の一巡伝達関数を測定する。
【００５２】
図１１参照
図１１は、本発明の実施例２におけるパターンドメディアにおけるサーボ用パターンとパターンドメディア用のピットパターンの説明図であり、上述のように、トラックポジションエラー信号と一巡伝達関数から、ＲＲＯを求め、サーボ情報領域の最後、即ち、各ゾーン４１i のサーボ用パターンを構成する連続媒体領域４６i にＲＲＯデータ５２i をライトヘッド６５により磁気的に書き込んで記録する。
【００５３】
図１２参照
図１２は、本発明の実施例２におけるクロック生成回路であり、偏芯補正サーボループ７０とクロック補正部分８０とにより構成される。
偏芯補正サーボループ７０は実施例１と全く同様に、サーボコントローラ７１、パワーアンプ７２、アクチュエータ７３、及び、フィードバックループにより構成され、あるトラックにオントラックすると、ヘッド位置においてサーボパターンを通過した時の再生信号をフィードバックすることによりサーボコントローラ７１から偏芯量を算出する。
そして、データを記録再生する時にはサーボコントローラ７１はＲＲＯデータとゾーンデータをＲＲＯ・ゾーン周波数変換コントローラ９１に出力する。
【００５４】
一方、クロック補正部分８０も、実施例１と同様に位相比較器８１、ループフィルタ８２、サンプルホールド回路８３、電圧制御発振器８４からなる通常のＰＬＬを備えており、電圧制御発振器８４からの出力により遅延量を決定する。
【００５５】
実施例２においては、このＰＬＬにＲＲＯ・ゾーン周波数変換コントローラ９１からの高次偏芯補正情報を加算し、サーボパターンを通過する時には電圧制御発振器８４の出力をホールドするとともに、ライトするときにはライトの遅延量を設定する。
【００５６】
このように、本発明の実施例２においては、ＲＲＯを実測により測定して、測定したＲＲＯデータをサーボ用パターンとしてパターンドメディアに磁気的に書き込み、記録ビット領域にデータを書き込んだり、書き込んだデータを読み出す際に、ＲＲＯデータを利用してヘッドを駆動しているので、パターンドメディアに高次偏芯が在る場合にも、フォーマット効率を悪化させることなく、長いセクタ領域を実現することができる。
【００５７】
以上、本発明の各実施例を説明してきたが、本発明は各実施例に記載された構成・条件等に限られるものではなく各種の変更が可能であり、例えば、パターンドメディアにおけるゾーン数は２．５インチ当たり１００或いは１００以上に限られるものではなく、１００以下の場合にも適用されるものである。
【００５８】
ここで、再び、図１を参照して本発明の詳細な特徴を改めて説明する。
再び、図１参照
（付記１） 円周方向に各ゾーン２毎に単一のパターン間隔で作られた記録ピット８を設けたパターンドメディア１をドライブに搭載し、サーボ信号より前記パターンドメディア１の偏芯量を測定し、前記測定したその偏芯量に基づいて記録再生のクロックの周波数を増減させることを特徴とするパターンドメディアクロック生成方法。
（付記２） 上記記録再生のクロックの周波数を増減させる際に、リードヘッドとライトヘッドの円周方向の位置ズレを測定し、測定した位置ズレに対応する遅延量を有するライトクロックを生成することを特徴とする付記１記載のパターンドメディアクロック発生方法。
（付記３） 上記記録再生のクロックの周波数を増減させる際に、トラックの高次偏芯情報をデータの記録再生周波数に反映させることを特徴とする付記１または２に記載のパターンドメディアクロック発生方法。
（付記４） 同心円環状に分割された各ゾーン２毎に円周方向に単一のパターン間隔で作られた記録ピット８を有するとともに、前記各ゾーン２に設けたサーボ領域部分４に繰り返し回転振れ情報７を記録したことを特徴とするパターンドメディア。
（付記５） 上記各ゾーン２の境界３に連続媒体領域を有するとともに、前記連続媒体領域に、リードヘッドとライトヘッドの円周方向の位置ズレを測定するための孤立パターンを設けたことを特徴とする付記４記載のパターンドメディア。
（付記６） 付記４または５に記載のパターンドメディア１と、前記パターンドメディア１を搭載するドライブと、サーボ信号より前記パターンドメディア１の偏芯量を測定し、前記測定した偏芯量に基づいて記録再生のクロックの周波数を増減させるクロック周波数制御機構とを備えたことを特徴とする情報記録再生装置。
（付記７） 上記偏芯量と周波数の関係を各ゾーン２毎の周波数テーブルとして持つことを特徴とする付記６記載の情報記録再生装置。
（付記８） 上記測定した一つの偏心量測定データから、半径方向の係数テーブルと円周方向の係数テーブルの２つのテーブルを有することを特徴とする付記６または７に記載の情報記録再生装置。
【産業上の利用可能性】
【００５９】
本発明の活用例としては、ナノインプリント法で作成したパターンドメディアにおけるクロック生成方法が典型的なものであるが、パターンドメディアはナノインプリント法で作成したものに限られるものではなく、通常の電子ビーム露光方法によりパターニングしたパターンドメディアに対しても適用されるものである。
【図面の簡単な説明】
【００６０】
【図１】本発明の原理的構成の説明図である。
【図２】本発明の実施例１のパターンドメディアの途中までの作成工程の説明図である。
【図３】本発明の実施例１のパターンドメディアの図２以降の作成工程の説明図である。
【図４】パターンドメディアにおけるサーボ用パターンとパターンドメディア用のピットパターンの説明図である。
【図５】本発明の実施例１の磁気ディスク装置の概略的平面図である。
【図６】パターンドメディアの中心とスピンドルモータの回転中心との位置ズレによる偏芯の説明図である。
【図７】偏芯がある場合の円周方向と周波数の関係の説明図である。
【図８】ヘッド位置と電流との相関関係の説明図である。
【図９】ヨー角βによる位置ズレの説明図である。
【図１０】本発明の実施例１におけるクロック生成回路である。
【図１１】本発明の実施例２におけるパターンドメディアにおけるサーボ用パターンとパターンドメディア用のピットパターンの説明図である。
【図１２】本発明の実施例２におけるクロック生成回路である。
【符号の説明】
【００６１】
１ パターンドメディア
２ ゾーン
３ 境界
４ サーボ領域部分
５ クロック同期パターン
６ サーボパターン
７ 繰り返し回転振れ情報
８ 記録ピット
９ 連続媒体領域
１０ 孤立パターン
１１ シリコンウェーハ
１２ レジストパターン
１３ サーボ用パターン
１４ ピットパターン
１５ マスタ
１６ サーボ用パターン
１７ ピットパターン
２１ ガラス基板
２２ 裏打層
２３ 中間層
２４ 磁気記録層
２５ ＰＭＭＡ膜
２６ ＰＭＭＡマスク
２７ サーボ用パターン
２８ ピットパターン
２９ サーボ用パターン
３０ ピットパターン
４０ パターンドメディア
４１，４１i ゾーン
４２，４２i 境界領域
４３ サーボパターン領域
４４i クロック同期パターン
４５i サーボパターン
４６i 連続媒体領域
４７，４７i 記録ピット領域
４８i クロック同期パターン
４９i サーボパターン
５０i 連続媒体領域
５１ 孤立パターン
５２i ＲＲＯデータ
６１ スピンドルモータ
６２ ベースアーム
６３ 微動アーム
６４ スライダー
６５ ライトヘッド
６６ リードヘッド
６７ アクチュエータ
６８ ディスククランプリング
６９ 回転軸
７０ 偏芯補正サーボループ
７１ サーボコントローラ
７２ パワーアンプ
７３ アクチュエータ
８０ クロック補正部分
８１ 位相比較器
８２ ループフィルタ
８３ サンプルホールド回路
８４ 電圧制御発振器
９０ ゾーン毎の周波数テーブル
９１ ＲＲＯ・ゾーン周波数変換コントローラ
【特許請求の範囲】
【請求項１】
円周方向に各ゾーン毎に単一のパターン間隔で作られた記録ピットを設けたパターンドメディアをドライブに搭載し、サーボ信号より前記パターンドメディアの偏芯量を測定し、前記測定したその偏芯量に基づいて記録再生のクロックの周波数を増減させることを特徴とするパターンドメディアクロック生成方法。
【請求項２】
上記記録再生のクロックの周波数を増減させる際に、リードヘッドとライトヘッドの円周方向の位置ズレを測定し、測定した位置ズレに対応する遅延量を有するライトクロックを生成することを特徴とする請求項１記載のパターンドメディアクロック発生方法。
【請求項３】
上記記録再生のクロックの周波数を増減させる際に、トラックの高次偏芯情報をデータの記録再生周波数に反映させることを特徴とする請求項１または２に記載のパターンドメディアクロック発生方法。
【請求項４】
同心円環状に分割された各ゾーン毎に円周方向に単一のパターン間隔で作られた記録ピットを有するとともに、前記各ゾーンに設けたサーボ領域部分に繰り返し回転振れ情報を記録したことを特徴とするパターンドメディア。
【請求項５】
上記各ゾーンの境界に連続媒体領域を有するとともに、前記連続媒体領域に、リードヘッドとライトヘッドの円周方向の位置ズレを測定するための孤立パターンを設けたことを特徴とする請求項４記載のパターンドメディア。
【請求項６】
請求項４または５に記載のパターンドメディアと、前記パターンドメディアを搭載するドライブと、サーボ信号より前記パターンドメディアの偏芯量を測定し、前記測定した偏芯量に基づいて記録再生のクロックの周波数を増減させるクロック周波数制御機構とを備えたことを特徴とする情報記録再生装置。
【請求項７】
上記偏芯量と周波数の関係を各ゾーン毎の周波数テーブルとして持つことを特徴とする請求項６記載の情報記録再生装置。
【請求項１】
円周方向に各ゾーン毎に単一のパターン間隔で作られた記録ピットを設けたパターンドメディアをドライブに搭載し、サーボ信号より前記パターンドメディアの偏芯量を測定し、前記測定したその偏芯量に基づいて記録再生のクロックの周波数を増減させることを特徴とするパターンドメディアクロック生成方法。
【請求項２】
上記記録再生のクロックの周波数を増減させる際に、リードヘッドとライトヘッドの円周方向の位置ズレを測定し、測定した位置ズレに対応する遅延量を有するライトクロックを生成することを特徴とする請求項１記載のパターンドメディアクロック発生方法。
【請求項３】
上記記録再生のクロックの周波数を増減させる際に、トラックの高次偏芯情報をデータの記録再生周波数に反映させることを特徴とする請求項１または２に記載のパターンドメディアクロック発生方法。
【請求項４】
同心円環状に分割された各ゾーン毎に円周方向に単一のパターン間隔で作られた記録ピットを有するとともに、前記各ゾーンに設けたサーボ領域部分に繰り返し回転振れ情報を記録したことを特徴とするパターンドメディア。
【請求項５】
上記各ゾーンの境界に連続媒体領域を有するとともに、前記連続媒体領域に、リードヘッドとライトヘッドの円周方向の位置ズレを測定するための孤立パターンを設けたことを特徴とする請求項４記載のパターンドメディア。
【請求項６】
請求項４または５に記載のパターンドメディアと、前記パターンドメディアを搭載するドライブと、サーボ信号より前記パターンドメディアの偏芯量を測定し、前記測定した偏芯量に基づいて記録再生のクロックの周波数を増減させるクロック周波数制御機構とを備えたことを特徴とする情報記録再生装置。
【請求項７】
上記偏芯量と周波数の関係を各ゾーン毎の周波数テーブルとして持つことを特徴とする請求項６記載の情報記録再生装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【公開番号】特開２００８−２４３３２２（Ｐ２００８−２４３３２２Ａ）
【公開日】平成２０年１０月９日（２００８．１０．９）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００７−８４６９７（Ｐ２００７−８４６９７）
【出願日】平成１９年３月２８日（２００７．３．２８）
【出願人】（０００００５２２３）富士通株式会社 (25,993)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２０年１０月９日（２００８．１０．９）
【国際特許分類】
【出願日】平成１９年３月２８日（２００７．３．２８）
【出願人】（０００００５２２３）富士通株式会社 (25,993)
【Ｆターム（参考）】
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