パターンドメディア用検査装置及び検査方法
【課題】 特に、簡単な構成にて、パターンドメディアの量産テストが可能なパターンドメディア用検査装置及び検査方法を提供することを目的としている。
【解決手段】 パターンドメディアには、所定方向に磁化された多数の磁性体８，９が並べられている。前記パターンドメディアのメディア表面に間隔を空けて対向配置して、前記メディア表面からの磁界分布を検出するためのパターンドメディア用検査装置が設けられる。前記検査装置には、外部磁界により電気特性が変化する磁気素子を備えた複数のセンサ部１１が設けられている。前記センサ部１１は、前記対向配置したときの平面視にて、前記パターンドメディアの内周側から外周側にわたって配列されるように支持されている。
【解決手段】 パターンドメディアには、所定方向に磁化された多数の磁性体８，９が並べられている。前記パターンドメディアのメディア表面に間隔を空けて対向配置して、前記メディア表面からの磁界分布を検出するためのパターンドメディア用検査装置が設けられる。前記検査装置には、外部磁界により電気特性が変化する磁気素子を備えた複数のセンサ部１１が設けられている。前記センサ部１１は、前記対向配置したときの平面視にて、前記パターンドメディアの内周側から外周側にわたって配列されるように支持されている。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、パターンドメディアからの磁界分布を検出するためのパターンドメディア用検査装置及び検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
磁気ディスク装置（ＨＤＤ）の面記録密度は年々上昇し続けており、従来のように、磁性粒子をメディア表面全体に敷き詰め、一定領域中の複数の磁性粒子に記録を行う方式では、熱揺らぎ（一度記録した情報が熱で失われる現象）の問題が発生した。
【０００３】
このような問題を解消すべく、人工的に規則正しくナノサイズの磁性体を並べたパターンドメディア（Patterned Media）が開発されている。各磁性体は、予め、所定方向に磁化されている。
【特許文献１】特開２００５−１９０６２４号公報
【特許文献２】特開２００８−２３４７７４号公報
【特許文献３】特開平１１−１２０５０９号公報
【特許文献４】特開２００６−３２３９９２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来では、例えば、ＭＦＭ像にて、各磁性体の磁化状態を観察していた（例えば特許文献１を参照されたい）。
【０００５】
しかしながら、磁気力顕微鏡（ＭＦＭ）等を用いた方法では、パターンドメディアの量産テストを行うのは難しく、また検査費用も高くなる。
【０００６】
このように従来では、パターンドメディアの量産テストが可能な検査装置及び検査方法が無かった。
【０００７】
そこで本発明は、上記従来の課題を解決するためのものであり、特に、簡単な構成にて、パターンドメディアの量産テストが可能なパターンドメディア用検査装置及び検査方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、所定方向に磁化された多数の磁性体が並べられたパターンドメディアのメディア表面に間隔を空けて対向配置して、前記メディア表面からの磁界分布を検出するためのパターンドメディア用検査装置において、
外部磁界により電気特性が変化する磁気素子を備えた複数のセンサ部が設けられており、
前記センサ部は、前記対向配置したときの平面視にて、前記パターンドメディアの内周側から外周側にわたって配列されるように支持されていることを特徴とするものである。
【０００９】
上記構成を備えることで、例えばパターンドメディアを回転させる操作を行うだけで、メディア表面に配列された各磁性体の磁化状態を適切且つ簡単に検査でき、パターンドメディアの量産テストを効率よく行うことが出来る。
【００１０】
本発明では、前記センサ部は、前記パターンドメディアの略半径方向に沿って配列されていることが好ましい。
【００１１】
また本発明では、複数の前記センサ部から成るセンサ列が複数列、周方向あるいはメディア表面垂直方向にずらして設けられるとともに、
異なる前記センサ列に設けられた夫々の前記センサ部の少なくとも一部は、前記周方向、あるいは前記メディア表面垂直方向にて一致しないように、前記パターンドメディアの略半径方向にずらして配置されていることが好ましい。
これにより、より確実に、各磁性体の磁化状態を検査できる。
【００１２】
また本発明では、各センサ部は、前記磁性体に対して一対一で対向していることが好ましい。これにより、各センサ部の出力が各磁性体の磁化状態と一対一で対応するので、前記磁化状態を簡単に検査できる。
【００１３】
また本発明では、前記磁気素子はＴＭＲ素子であることが好ましい。これにより、特に、センサ部と磁性体とを一対一で対応させやすい。
【００１４】
または本発明は、所定方向に磁化された多数の磁性体が並べられたパターンドメディアのメディア表面に間隔を空けて対向配置して、前記メディア表面からの磁界分布を検出するためのパターンドメディア用検査装置において、
外部磁界により電気特性が変化する磁気素子を備えた複数のセンサ部が設けられており、
前記センサ部は、前記磁性体が周方向に向けて所定のパターン配置の繰り返しであるときと同じ前記パターン配置に並べられていることを特徴とするものである。
【００１５】
これにより、例えばパターンドメディアを回転させる操作を行うだけで、メディア表面に配列された各磁性体の磁化状態を適切且つ簡単に検査でき、パターンドメディアの量産テストを効率よく行うことが出来る。
【００１６】
また本発明では、各センサ部は共通の基板に支持されており、前記基板の周囲の少なくとも一部に、信号処理回路が設けられていることが好ましい。信号処理回路は各センサ部と接続されており、信号処理回路にて、各センサ部の磁気素子の電気特性変化に基づき、各磁性体の磁化状態の検知信号を生成することができる。
【００１７】
また本発明は、所定方向に磁化された多数の磁性体が並べられたパターンドメディアのメディア表面にパターンドメディア用検査装置を間隔を空けて対向配置して、前記メディア表面からの磁界分布を検出する検査方法において、
前記パターンドメディア用検査装置は、外部磁界に対して電気特性が変化する磁気素子を備える複数のセンサ部が、前記対向配置したときの平面視にて、前記パターンドメディアの内周側から外周側にわたって配列されるように支持されており、
前記パターンドメディア用検査装置及び前記パターンドメディアのうち、どちらか一方を回転させて、各センサ部を構成する前記磁気素子の電気特性変化に基づき、各磁性体の磁化状態を検査することを特徴とするものである。
【００１８】
本発明によれば、例えば、パターンドメディアを回転させる操作を行うだけで、メディア表面に配列された各磁性体の磁化状態を適切且つ簡単に検査することができ、パターンドメディアの量産テストを効率よく行うことが出来る。
【発明の効果】
【００１９】
本発明のパターンドメディア用検査装置を用いることで、例えばパターンドメディアを回転させる操作を行うだけで、メディア表面に配列された各磁性体の磁化状態を適切且つ簡単に検査でき、パターンドメディアの量産テストを効率よく行うことが出来る。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
図１（ａ）は、パターンドメディアの模式図、図１（ｂ）は本実施形態のパターンドメディア用検査装置の模式図、図２は、パターンドメディア用検査装置の部分平面図、図３は、パターンドメディア用検査装置に搭載されるセンサ部の配置とパターンドメディアの磁性体との関係を示す模式図、図４は、図３と異なる構成の、パターンドメディア用検査装置に搭載されるセンサ部の配置とパターンドメディアの磁性体との関係を示す模式図、である。
【００２１】
図１（ａ）に示すようにディスク状のパターンドメディア１には規則的に並べられた（図１（ａ）では一列のみ表示）多数の磁性体８，９が設けられている。各磁性体８，９は、例えばメディア表面１ａに埋め込まれた単磁区構造のナノ粒子である。図１（ａ）に示す各磁性体８，９は、メディア表面１ａに現れる平面形態を示しており、例えば円形状であるが形状は特に限定されるものでない。各磁性体８，９の直径は数十ｎｍである。また各磁性体８，９間の間隔は数百ｎｍである。図１（ａ）では、磁性体８と磁性体９とでは磁化方向が異なっている。例えば磁性体８，９はメディア表面垂直方向に向いており、一方が上方向、他方が下方向である。図１（ａ）やその他の図面でも磁性体８と磁性体９とが交互に並べられているが、並び方はパターンドメディア１の製造時に決定される事項であり、当然、並び方が限定されているわけでない。
【００２２】
本実施形態のパターンドメディア用検査装置５は、前記磁性体８，９の磁化状態が決められた磁化状態と一致しているか否かを検査するためのものである。
【００２３】
図１（ｂ）に示すパターンドメディア用検査装置５は、ディスク状の基板６（例えばシリコン基板）に形成された複数のセンサ部１１（図２参照）と、信号処理回路７とを有して構成される。例えば前記信号処理回路７は基板６の外周に形成される。
【００２４】
図２は、前記信号処理回路７を除いた基板６の表面６ａを示す。図２に示すように表面６ａには、一列にセンサ部１１が配列されている。図２に示す表面６ａの中心Ｏ１は、パターンドメディア１と、パターンドメディア用検査装置５とを対向配置した時、図１（ａ）のパターンドメディア１の中心Ｏ２と高さ方向にて一致しており、図２に示す各センサ部１１は、前記パターンドメディア１の内周側から外周側にわたる半径方向に沿って配列されている。
【００２５】
検査のとき、図１（ａ）に示すパターンドメディア１の中心Ｏ２と、図１（ｂ）、図２に示すパターンドメディア用検査装置５の中心Ｏ１とを高さ方向にて一致させ、前記パターンドメディア１とパターンドメディア用検査装置５との間に所定の間隔を空けた状態で対向配置する。そして、パターンドメディア１あるいは、パターンドメディア用検査装置５のどちらか一方を回転させる。
【００２６】
図３は、検査時における各センサ部１１と、磁性体８，９との平面視での位置関係を示している。
【００２７】
図３に示す矢印Ａは周方向（回転方向）を示す。よって矢印Ａは円を描くように実際は曲線となるが、ここでは便宜上、直線で示している。
【００２８】
図３に示すように、パターンドメディア１の半径方向に沿って一列に配列された各センサ部１１は、磁性体８，９と一対一で対向している。図３に示す実施形態では、メディア表面１ａに規則的に並べられた多数の磁性体８，９を半径方向に見てみると、複数の磁性体８，９が前記半径方向に所定の間隔を空けて配列されている。そして、図３に示すように、半径方向に配列された磁性体８、９の磁性体列１０が、多数列、周方向（回転方向）（矢印Ａ方向）に間隔を空けて並べられている。さらに、これら異なる磁性体列１０に形成された磁性体８，９同士は、周方向（回転方向）（矢印Ａ方向）に一致する（対向する）位置関係となっている。
【００２９】
各センサ部１１には外部磁界に対して電気特性が変化する磁気素子が設けられている。図３に示すように、各センサ部１１と各磁性体８，９とが高さ方向にて対向する位置関係になると、各磁性体８，９から各センサ部１１に作用する外部磁界により、各センサ部１１の磁気素子の電気特性が変化する。各センサ部１１が磁化方向が異なる磁性体８，９に高さ方向にて対向したとき、磁性体８と対向したセンサ部１１に作用する外部磁界の方向と、磁性体９と対向したセンサ部１１に作用する外部磁界の方向は夫々異なるため、磁性体８と対向配置したセンサ部１１の磁気素子の電気特性と、磁性体９と対向配置したセンサ部１１の磁気素子の電気特性は、夫々異なった変化を示す。各センサ部１１は、図１（ｂ）に示す信号処理回路７に接続されている。そして各センサ部１１からの出力が、前記信号処理回路７にて信号処理されて、各磁性体８，９の磁化状態の検知信号が生成される。検知信号は、センサ部１１が磁性体８に対向したときと、磁性体９に対向したときとで、例えば正負が異なっている。よって検知信号から、各磁性体８，９の磁化状態を検知することができる。
【００３０】
図３の状態から例えばパターンドメディア１が矢印Ａ方向に回転すると、各センサ部１１は、図３の一番下側に図示された磁性体列１０の各磁性体８，９と対向した状態になる。そして、上記したように、各センサ部１１の出力に基づいて、図３の一番下側に図示された各磁性体８，９の磁化状態を検査することができる。図３の形態では、例えばパターンドメディア１を一回転させるだけで、パターンドメディア１に並べられた全ての磁性体８，９の磁化状態を検査することが可能である。
【００３１】
図３に示す実施形態では、各センサ部１１が、パターンドメディア１の略半径方向に一列に整列した形態であったが、図４に示すように、略半径方向に配列された各センサ部のセンサ列１２，１３が２列以上、設けられていてもよい。
【００３２】
図４では、センサ列１２とセンサ列１３とが周方向（矢印Ａ方向）にずらして配置されている。センサ列１２を構成するセンサ部１１は、計６個であるが、センサ列１３を構成するセンサ部１３は計５個であり、センサ列１２を構成するセンサ部１１とセンサ列１３を構成するセンサ部１１は、互いに周方向（矢印Ａ方向）にて一致しないように、半径方向にずらして配置されている。
【００３３】
図１（ａ）に示すメディア表面１ａに形成される磁性体８，９が図３のように半径方向且つ周方向に規則正しく配列されているとは限らない。このため、磁性体８，９の配列状態に応じて、図４のように、センサ列１２，１３を複数列設け、これらセンサ列１２，１３の少なくとも一部のセンサ部１１同士を半径方向にずらして配置することで、メディア表面１ａに形成される磁性体８，９が半径方向且つ周方向に規則正しく配列されていなくても、各磁性体８，９の磁化状態をより確実に検査することが可能である。
【００３４】
あるいは図４では、パターンドメディア１に並べられた多数の磁性体８，９は、周方向（矢印Ａ方向）に向けて所定のパターン配置４０の繰り返しとなっている。
【００３５】
そして換言すれば、図４の実施形態は、複数のセンサ部１１が、前記パターン配置４０と同じパターン配置で並べられた形態となっている。
【００３６】
図５，図６に示す他の実施形態は、図４に示すセンサ列１２，１３をメディア表面垂直方向に立てた状態を示している。図５は、図４の平面視にて、パターンドメディア検査装置５が、半径方向に６個の磁性体８，９が配列された磁性体列と高さ方向にて対向配置した状態、図６は、図５の状態から周方向に移動して、図４の平面視にて、パターンドメディア検査装置５が、半径方向に５個の磁性体８，９が配列された磁性体列と高さ方向にて対向配置した状態である。
【００３７】
図５の状態では、下段にあるセンサ列１２を構成する各センサ部１１にて、パターンドメディア１の磁性体８，９の磁化状態を検査でき、図６の状態では、上段にあるセンサ列１２を構成する各センサ部１１にて、パターンドメディア１の磁性体８，９の磁化状態を検査できる。図５，図６の形態では、センサ列１２とセンサ列１３とではメディア表面１ａからの高さ方向への距離が異なるので、センサ列１２を構成する各センサ部１１の出力値と、センサ列１３を構成する各センサ部１１の出力値とは異なる値になるが、磁性体８，９の磁化状態の検知信号は例えば正負の違いがわかれば足りるため、センサ列１２を構成する各センサ部１１とセンサ列１３を構成する各センサ部１１とで出力値が変わっても検査精度への影響は小さい。また、信号処理回路７にて、センサ列１２を構成する各センサ部１１の出力及び、センサ列１３を構成する各センサ部１１の出力に対して、各磁性体８，９の検知信号を生成する際の基準値を別々に設定することも出来る。
【００３８】
図７にはセンサ部１１に設けられる磁気素子２０の平面形態が示されている。例えば磁気素子２０は、ＴＭＲ素子（トンネル型磁気抵抗効果素子）である。図８のようにＴＭＲ素子から成る磁気素子２０は、例えば下から下地層２１、反強磁性層２２、固定磁性層２３、絶縁障壁層２４、フリー磁性層２５及び保護層２６の順に積層された構成である。
【００３９】
図８では固定磁性層２３は下から第１磁性層２７、非磁性中間層２８及び第２磁性層２９の順に積層された積層フェリ構造である。ただし固定磁性層２３の構成は前記積層フェリ構造以外の構成であってもよい。また、フリー磁性層２５は単層構造であるが、例えば磁性層の積層構造であってもよい。反強磁性層２２は例えばＩｒ−Ｍｎ、第１磁性層２７、第２磁性層２９は例えばＣｏ−Ｆｅ、非磁性中間層２８は例えばＲｕ、絶縁障壁層２４は例えばＡｌ−ＯやＴｉ−Ｏ、フリー磁性層２５は例えばＮｉ−Ｆｅ、下地層２１及び保護層２６は例えばＴａである。
【００４０】
固定磁性層２３は所定の方向に磁化固定されている。この実施形態では、第１磁性層２７と第２磁性層２９とが反平行に磁化固定されている。
【００４１】
また、フリー磁性層２５は磁化固定されておらず外部磁界に対して磁化変動可能である。
【００４２】
磁気素子２０が外部磁界を受けると、前記フリー磁性層２５の磁化が変動し、電気抵抗が変化する。前記磁気素子２０は、磁化方向が異なる磁性体８と磁性体９とに夫々対向したとき、フリー磁性層２５の磁化方向が異なる方向へ変動するため磁気素子２０の電気抵抗変化も異なる。図８のＴＭＲ素子からなる磁気素子２０は、固定磁性層２３（図８の実施形態では第２磁性層２９の磁化方向）と、フリー磁性層２５の磁化方向とが同じ方向になると最小抵抗値になり、固定磁性層２３（図８の実施形態では第２磁性層２９の磁化方向）と、フリー磁性層２５の磁化方向とが反対方向になると最大抵抗値になる。よって、磁性体８に対向したときに磁気素子２０の抵抗値が最大抵抗値に近づけば、磁性体９に対向したときに磁気素子２０の抵抗値が最小抵抗値に近づくように、磁性体８，９に対する磁気素子２０の向き（図８でいえば各膜界面の向き及び固定磁性層２３の固定磁化方向）を規制する。
【００４３】
図９のようにセンサ部１１に２個の磁気素子３０，３１が形成されてもよい。前記磁気素子３０，３１を用いることで差動出力が可能な回路構成を形成できる。
【００４４】
図１０の形態では、センサ部１１に形成される磁気素子３２，３３がミアンダ形状で形成されている。これら磁気素子３２，３３は図７と異なって例えばＣＩＰ−ＧＭＲ素子（巨大磁気抵抗効果素子）である。このＣＩＰ−ＧＭＲ素子では、素子端部に電極が設けられた構成であり、電気抵抗値を大きくするには例えばミアンダ形状のように素子長さを長く形成することが必要である。
【００４５】
一方、ＴＭＲ素子や、あるいは、図８の絶縁障壁層２４を非磁性導電材料で形成したＣＰＰ−ＧＭＲ素子からなる磁気素子２０では、素子上下面に電極が配置された構成であり、図７のように平面形状のアスペクト比を小さくしても（図７のように平面形状を円形状で形成しても）高い素子抵抗を備え、また抵抗変化率を非常に大きくできる。
【００４６】
よってＴＭＲ素子あるいはＣＰＰ−ＧＭＲ素子とした磁気素子２０では、素子面積を小さくできナノオーダーでの形成が可能であり、磁気素子２０と磁性体８，９とを一対一で対向させやすい。
【００４７】
上記の実施形態では、いずれもセンサ部１１と磁性体８，９とが一対一で対向する形態であった。
【００４８】
これに対し図１１の実施形態では、センサ部１１を構成する磁気素子３４に２つの磁性体が対向している。例えば図１１の実施形態における各センサ部１１は、図２のように、パターンドメディア１の半径方向に配列しているが、図１１では、このうち、一つのセンサ部を示している。
【００４９】
図１１では、磁気素子３４に磁化方向が同じ磁性体９，９が対向している。よって磁気素子３４を備えるセンサ部１１からは、正か負かどちらかの出力が得られ、しかもその出力は、１個の磁性体９が対向するときよりも大きい値である。よって、センサ部１１の出力から、センサ部１１が２個の磁性体９，９と対向していると判別できる。磁気素子３４に磁化方向が同じ磁性体８，８が対向したときも同様である。磁気素子３４に磁化方向が異なる磁性体８，９が対向したとき、抵抗変化が相殺されることで、センサ部１１からの出力はほとんど変化しない。よって磁化方向が異なる磁性体８，９と対向していることを判別できるが、この時点では、どちらが磁性体８か磁性体９かの区別まで出来ない。そこで、磁気素子３４に対向する磁性体８，９が１個ずつ周方向（矢印Ａ方向）へ送られていくように移動させ、次々に２個ずつ磁性体の磁化状態を検査していき、各検査結果から算出すれば、全ての磁性体８，９の磁化状態をほぼ確実に検査することが出来る。
【００５０】
なお、本実施形態では磁気素子としてホール素子を選択することも出来る。
本実施形態のパターンドメディア用検査装置５は、複数のセンサ部１１が、前記検査装置５とパターンドメディア１とを対向配置したときの平面視にて、前記パターンドメディア１の内周側から外周側にわたって配列されるように支持されており、好ましくは図２のように各センサ部１１がパターンドメディア１の半径方向に配列された構成である。あるいは、図４で説明したように、複数のセンサ部１１が、磁性体８，９が周方向に向けて所定のパターン配置４０の繰り返しであるときと同じ前記パターン配置４０に並べられた構成である。そして、パターンドメディア用検査装置５あるいはパターンドメディア１の一方を回転させることで（パターンドメディア１を回転させ、パターンドメディア用検査装置５を固定支持しておくほうが機構的に簡単にできる）、各磁性体８，９の磁化状態を簡単且つ適切に検査することが可能である。したがって本実施形態のパターンドメディア用検査装置５を用いることで、パターンドメディア１に対する大量テストを効率よく行うことが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１】（ａ）は、パターンドメディアの模式図、（ｂ）は本実施形態のパターンドメディア用検査装置の模式図、
【図２】パターンドメディア用検査装置の部分平面図、
【図３】パターンドメディア用検査装置に搭載されるセンサ部の配置とパターンドメディアの磁性体との関係を示す模式図（部分平面図）、
【図４】図３と異なる構成の、パターンドメディア用検査装置に搭載されるセンサ部の配置とパターンドメディアの磁性体との関係を示す模式図（部分平面図）、
【図５】図３、図４とは異なる形態の、パターンドメディア用検査装置に搭載されるセンサ部の配置とパターンドメディアの磁性体との関係を示す模式図（部分断面図）、
【図６】図３、図４とは異なる形態の、パターンドメディア用検査装置に搭載されるセンサ部の配置とパターンドメディアの磁性体との関係を示す模式図（部分断面図）、
【図７】本実施形態のセンサ部の平面図、
【図８】磁気素子の部分拡大断面図、
【図９】図７と異なるセンサ部の平面図、
【図１０】図７及び図９と異なるセンサ部の平面図、
【図１１】他の実施形態を示し、磁気素子とパターンドメディアの磁性体との関係を示す模式図（部分拡大平面図）、
【符号の説明】
【００５２】
１ パターンドメディア
５ パターンドメディア用検査装置
６ 基板
７ 信号処理回路
８、９ 磁性体
１１ センサ部
１２、１３ センサ列
２０、３０、３１、３２、３３、３４ 磁気素子
２２ 反強磁性層
２３ 固定磁性層
２４ 絶縁障壁層
２５ フリー磁性層
４０ パターン配置
【技術分野】
【０００１】
本発明は、パターンドメディアからの磁界分布を検出するためのパターンドメディア用検査装置及び検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
磁気ディスク装置（ＨＤＤ）の面記録密度は年々上昇し続けており、従来のように、磁性粒子をメディア表面全体に敷き詰め、一定領域中の複数の磁性粒子に記録を行う方式では、熱揺らぎ（一度記録した情報が熱で失われる現象）の問題が発生した。
【０００３】
このような問題を解消すべく、人工的に規則正しくナノサイズの磁性体を並べたパターンドメディア（Patterned Media）が開発されている。各磁性体は、予め、所定方向に磁化されている。
【特許文献１】特開２００５−１９０６２４号公報
【特許文献２】特開２００８−２３４７７４号公報
【特許文献３】特開平１１−１２０５０９号公報
【特許文献４】特開２００６−３２３９９２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来では、例えば、ＭＦＭ像にて、各磁性体の磁化状態を観察していた（例えば特許文献１を参照されたい）。
【０００５】
しかしながら、磁気力顕微鏡（ＭＦＭ）等を用いた方法では、パターンドメディアの量産テストを行うのは難しく、また検査費用も高くなる。
【０００６】
このように従来では、パターンドメディアの量産テストが可能な検査装置及び検査方法が無かった。
【０００７】
そこで本発明は、上記従来の課題を解決するためのものであり、特に、簡単な構成にて、パターンドメディアの量産テストが可能なパターンドメディア用検査装置及び検査方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、所定方向に磁化された多数の磁性体が並べられたパターンドメディアのメディア表面に間隔を空けて対向配置して、前記メディア表面からの磁界分布を検出するためのパターンドメディア用検査装置において、
外部磁界により電気特性が変化する磁気素子を備えた複数のセンサ部が設けられており、
前記センサ部は、前記対向配置したときの平面視にて、前記パターンドメディアの内周側から外周側にわたって配列されるように支持されていることを特徴とするものである。
【０００９】
上記構成を備えることで、例えばパターンドメディアを回転させる操作を行うだけで、メディア表面に配列された各磁性体の磁化状態を適切且つ簡単に検査でき、パターンドメディアの量産テストを効率よく行うことが出来る。
【００１０】
本発明では、前記センサ部は、前記パターンドメディアの略半径方向に沿って配列されていることが好ましい。
【００１１】
また本発明では、複数の前記センサ部から成るセンサ列が複数列、周方向あるいはメディア表面垂直方向にずらして設けられるとともに、
異なる前記センサ列に設けられた夫々の前記センサ部の少なくとも一部は、前記周方向、あるいは前記メディア表面垂直方向にて一致しないように、前記パターンドメディアの略半径方向にずらして配置されていることが好ましい。
これにより、より確実に、各磁性体の磁化状態を検査できる。
【００１２】
また本発明では、各センサ部は、前記磁性体に対して一対一で対向していることが好ましい。これにより、各センサ部の出力が各磁性体の磁化状態と一対一で対応するので、前記磁化状態を簡単に検査できる。
【００１３】
また本発明では、前記磁気素子はＴＭＲ素子であることが好ましい。これにより、特に、センサ部と磁性体とを一対一で対応させやすい。
【００１４】
または本発明は、所定方向に磁化された多数の磁性体が並べられたパターンドメディアのメディア表面に間隔を空けて対向配置して、前記メディア表面からの磁界分布を検出するためのパターンドメディア用検査装置において、
外部磁界により電気特性が変化する磁気素子を備えた複数のセンサ部が設けられており、
前記センサ部は、前記磁性体が周方向に向けて所定のパターン配置の繰り返しであるときと同じ前記パターン配置に並べられていることを特徴とするものである。
【００１５】
これにより、例えばパターンドメディアを回転させる操作を行うだけで、メディア表面に配列された各磁性体の磁化状態を適切且つ簡単に検査でき、パターンドメディアの量産テストを効率よく行うことが出来る。
【００１６】
また本発明では、各センサ部は共通の基板に支持されており、前記基板の周囲の少なくとも一部に、信号処理回路が設けられていることが好ましい。信号処理回路は各センサ部と接続されており、信号処理回路にて、各センサ部の磁気素子の電気特性変化に基づき、各磁性体の磁化状態の検知信号を生成することができる。
【００１７】
また本発明は、所定方向に磁化された多数の磁性体が並べられたパターンドメディアのメディア表面にパターンドメディア用検査装置を間隔を空けて対向配置して、前記メディア表面からの磁界分布を検出する検査方法において、
前記パターンドメディア用検査装置は、外部磁界に対して電気特性が変化する磁気素子を備える複数のセンサ部が、前記対向配置したときの平面視にて、前記パターンドメディアの内周側から外周側にわたって配列されるように支持されており、
前記パターンドメディア用検査装置及び前記パターンドメディアのうち、どちらか一方を回転させて、各センサ部を構成する前記磁気素子の電気特性変化に基づき、各磁性体の磁化状態を検査することを特徴とするものである。
【００１８】
本発明によれば、例えば、パターンドメディアを回転させる操作を行うだけで、メディア表面に配列された各磁性体の磁化状態を適切且つ簡単に検査することができ、パターンドメディアの量産テストを効率よく行うことが出来る。
【発明の効果】
【００１９】
本発明のパターンドメディア用検査装置を用いることで、例えばパターンドメディアを回転させる操作を行うだけで、メディア表面に配列された各磁性体の磁化状態を適切且つ簡単に検査でき、パターンドメディアの量産テストを効率よく行うことが出来る。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
図１（ａ）は、パターンドメディアの模式図、図１（ｂ）は本実施形態のパターンドメディア用検査装置の模式図、図２は、パターンドメディア用検査装置の部分平面図、図３は、パターンドメディア用検査装置に搭載されるセンサ部の配置とパターンドメディアの磁性体との関係を示す模式図、図４は、図３と異なる構成の、パターンドメディア用検査装置に搭載されるセンサ部の配置とパターンドメディアの磁性体との関係を示す模式図、である。
【００２１】
図１（ａ）に示すようにディスク状のパターンドメディア１には規則的に並べられた（図１（ａ）では一列のみ表示）多数の磁性体８，９が設けられている。各磁性体８，９は、例えばメディア表面１ａに埋め込まれた単磁区構造のナノ粒子である。図１（ａ）に示す各磁性体８，９は、メディア表面１ａに現れる平面形態を示しており、例えば円形状であるが形状は特に限定されるものでない。各磁性体８，９の直径は数十ｎｍである。また各磁性体８，９間の間隔は数百ｎｍである。図１（ａ）では、磁性体８と磁性体９とでは磁化方向が異なっている。例えば磁性体８，９はメディア表面垂直方向に向いており、一方が上方向、他方が下方向である。図１（ａ）やその他の図面でも磁性体８と磁性体９とが交互に並べられているが、並び方はパターンドメディア１の製造時に決定される事項であり、当然、並び方が限定されているわけでない。
【００２２】
本実施形態のパターンドメディア用検査装置５は、前記磁性体８，９の磁化状態が決められた磁化状態と一致しているか否かを検査するためのものである。
【００２３】
図１（ｂ）に示すパターンドメディア用検査装置５は、ディスク状の基板６（例えばシリコン基板）に形成された複数のセンサ部１１（図２参照）と、信号処理回路７とを有して構成される。例えば前記信号処理回路７は基板６の外周に形成される。
【００２４】
図２は、前記信号処理回路７を除いた基板６の表面６ａを示す。図２に示すように表面６ａには、一列にセンサ部１１が配列されている。図２に示す表面６ａの中心Ｏ１は、パターンドメディア１と、パターンドメディア用検査装置５とを対向配置した時、図１（ａ）のパターンドメディア１の中心Ｏ２と高さ方向にて一致しており、図２に示す各センサ部１１は、前記パターンドメディア１の内周側から外周側にわたる半径方向に沿って配列されている。
【００２５】
検査のとき、図１（ａ）に示すパターンドメディア１の中心Ｏ２と、図１（ｂ）、図２に示すパターンドメディア用検査装置５の中心Ｏ１とを高さ方向にて一致させ、前記パターンドメディア１とパターンドメディア用検査装置５との間に所定の間隔を空けた状態で対向配置する。そして、パターンドメディア１あるいは、パターンドメディア用検査装置５のどちらか一方を回転させる。
【００２６】
図３は、検査時における各センサ部１１と、磁性体８，９との平面視での位置関係を示している。
【００２７】
図３に示す矢印Ａは周方向（回転方向）を示す。よって矢印Ａは円を描くように実際は曲線となるが、ここでは便宜上、直線で示している。
【００２８】
図３に示すように、パターンドメディア１の半径方向に沿って一列に配列された各センサ部１１は、磁性体８，９と一対一で対向している。図３に示す実施形態では、メディア表面１ａに規則的に並べられた多数の磁性体８，９を半径方向に見てみると、複数の磁性体８，９が前記半径方向に所定の間隔を空けて配列されている。そして、図３に示すように、半径方向に配列された磁性体８、９の磁性体列１０が、多数列、周方向（回転方向）（矢印Ａ方向）に間隔を空けて並べられている。さらに、これら異なる磁性体列１０に形成された磁性体８，９同士は、周方向（回転方向）（矢印Ａ方向）に一致する（対向する）位置関係となっている。
【００２９】
各センサ部１１には外部磁界に対して電気特性が変化する磁気素子が設けられている。図３に示すように、各センサ部１１と各磁性体８，９とが高さ方向にて対向する位置関係になると、各磁性体８，９から各センサ部１１に作用する外部磁界により、各センサ部１１の磁気素子の電気特性が変化する。各センサ部１１が磁化方向が異なる磁性体８，９に高さ方向にて対向したとき、磁性体８と対向したセンサ部１１に作用する外部磁界の方向と、磁性体９と対向したセンサ部１１に作用する外部磁界の方向は夫々異なるため、磁性体８と対向配置したセンサ部１１の磁気素子の電気特性と、磁性体９と対向配置したセンサ部１１の磁気素子の電気特性は、夫々異なった変化を示す。各センサ部１１は、図１（ｂ）に示す信号処理回路７に接続されている。そして各センサ部１１からの出力が、前記信号処理回路７にて信号処理されて、各磁性体８，９の磁化状態の検知信号が生成される。検知信号は、センサ部１１が磁性体８に対向したときと、磁性体９に対向したときとで、例えば正負が異なっている。よって検知信号から、各磁性体８，９の磁化状態を検知することができる。
【００３０】
図３の状態から例えばパターンドメディア１が矢印Ａ方向に回転すると、各センサ部１１は、図３の一番下側に図示された磁性体列１０の各磁性体８，９と対向した状態になる。そして、上記したように、各センサ部１１の出力に基づいて、図３の一番下側に図示された各磁性体８，９の磁化状態を検査することができる。図３の形態では、例えばパターンドメディア１を一回転させるだけで、パターンドメディア１に並べられた全ての磁性体８，９の磁化状態を検査することが可能である。
【００３１】
図３に示す実施形態では、各センサ部１１が、パターンドメディア１の略半径方向に一列に整列した形態であったが、図４に示すように、略半径方向に配列された各センサ部のセンサ列１２，１３が２列以上、設けられていてもよい。
【００３２】
図４では、センサ列１２とセンサ列１３とが周方向（矢印Ａ方向）にずらして配置されている。センサ列１２を構成するセンサ部１１は、計６個であるが、センサ列１３を構成するセンサ部１３は計５個であり、センサ列１２を構成するセンサ部１１とセンサ列１３を構成するセンサ部１１は、互いに周方向（矢印Ａ方向）にて一致しないように、半径方向にずらして配置されている。
【００３３】
図１（ａ）に示すメディア表面１ａに形成される磁性体８，９が図３のように半径方向且つ周方向に規則正しく配列されているとは限らない。このため、磁性体８，９の配列状態に応じて、図４のように、センサ列１２，１３を複数列設け、これらセンサ列１２，１３の少なくとも一部のセンサ部１１同士を半径方向にずらして配置することで、メディア表面１ａに形成される磁性体８，９が半径方向且つ周方向に規則正しく配列されていなくても、各磁性体８，９の磁化状態をより確実に検査することが可能である。
【００３４】
あるいは図４では、パターンドメディア１に並べられた多数の磁性体８，９は、周方向（矢印Ａ方向）に向けて所定のパターン配置４０の繰り返しとなっている。
【００３５】
そして換言すれば、図４の実施形態は、複数のセンサ部１１が、前記パターン配置４０と同じパターン配置で並べられた形態となっている。
【００３６】
図５，図６に示す他の実施形態は、図４に示すセンサ列１２，１３をメディア表面垂直方向に立てた状態を示している。図５は、図４の平面視にて、パターンドメディア検査装置５が、半径方向に６個の磁性体８，９が配列された磁性体列と高さ方向にて対向配置した状態、図６は、図５の状態から周方向に移動して、図４の平面視にて、パターンドメディア検査装置５が、半径方向に５個の磁性体８，９が配列された磁性体列と高さ方向にて対向配置した状態である。
【００３７】
図５の状態では、下段にあるセンサ列１２を構成する各センサ部１１にて、パターンドメディア１の磁性体８，９の磁化状態を検査でき、図６の状態では、上段にあるセンサ列１２を構成する各センサ部１１にて、パターンドメディア１の磁性体８，９の磁化状態を検査できる。図５，図６の形態では、センサ列１２とセンサ列１３とではメディア表面１ａからの高さ方向への距離が異なるので、センサ列１２を構成する各センサ部１１の出力値と、センサ列１３を構成する各センサ部１１の出力値とは異なる値になるが、磁性体８，９の磁化状態の検知信号は例えば正負の違いがわかれば足りるため、センサ列１２を構成する各センサ部１１とセンサ列１３を構成する各センサ部１１とで出力値が変わっても検査精度への影響は小さい。また、信号処理回路７にて、センサ列１２を構成する各センサ部１１の出力及び、センサ列１３を構成する各センサ部１１の出力に対して、各磁性体８，９の検知信号を生成する際の基準値を別々に設定することも出来る。
【００３８】
図７にはセンサ部１１に設けられる磁気素子２０の平面形態が示されている。例えば磁気素子２０は、ＴＭＲ素子（トンネル型磁気抵抗効果素子）である。図８のようにＴＭＲ素子から成る磁気素子２０は、例えば下から下地層２１、反強磁性層２２、固定磁性層２３、絶縁障壁層２４、フリー磁性層２５及び保護層２６の順に積層された構成である。
【００３９】
図８では固定磁性層２３は下から第１磁性層２７、非磁性中間層２８及び第２磁性層２９の順に積層された積層フェリ構造である。ただし固定磁性層２３の構成は前記積層フェリ構造以外の構成であってもよい。また、フリー磁性層２５は単層構造であるが、例えば磁性層の積層構造であってもよい。反強磁性層２２は例えばＩｒ−Ｍｎ、第１磁性層２７、第２磁性層２９は例えばＣｏ−Ｆｅ、非磁性中間層２８は例えばＲｕ、絶縁障壁層２４は例えばＡｌ−ＯやＴｉ−Ｏ、フリー磁性層２５は例えばＮｉ−Ｆｅ、下地層２１及び保護層２６は例えばＴａである。
【００４０】
固定磁性層２３は所定の方向に磁化固定されている。この実施形態では、第１磁性層２７と第２磁性層２９とが反平行に磁化固定されている。
【００４１】
また、フリー磁性層２５は磁化固定されておらず外部磁界に対して磁化変動可能である。
【００４２】
磁気素子２０が外部磁界を受けると、前記フリー磁性層２５の磁化が変動し、電気抵抗が変化する。前記磁気素子２０は、磁化方向が異なる磁性体８と磁性体９とに夫々対向したとき、フリー磁性層２５の磁化方向が異なる方向へ変動するため磁気素子２０の電気抵抗変化も異なる。図８のＴＭＲ素子からなる磁気素子２０は、固定磁性層２３（図８の実施形態では第２磁性層２９の磁化方向）と、フリー磁性層２５の磁化方向とが同じ方向になると最小抵抗値になり、固定磁性層２３（図８の実施形態では第２磁性層２９の磁化方向）と、フリー磁性層２５の磁化方向とが反対方向になると最大抵抗値になる。よって、磁性体８に対向したときに磁気素子２０の抵抗値が最大抵抗値に近づけば、磁性体９に対向したときに磁気素子２０の抵抗値が最小抵抗値に近づくように、磁性体８，９に対する磁気素子２０の向き（図８でいえば各膜界面の向き及び固定磁性層２３の固定磁化方向）を規制する。
【００４３】
図９のようにセンサ部１１に２個の磁気素子３０，３１が形成されてもよい。前記磁気素子３０，３１を用いることで差動出力が可能な回路構成を形成できる。
【００４４】
図１０の形態では、センサ部１１に形成される磁気素子３２，３３がミアンダ形状で形成されている。これら磁気素子３２，３３は図７と異なって例えばＣＩＰ−ＧＭＲ素子（巨大磁気抵抗効果素子）である。このＣＩＰ−ＧＭＲ素子では、素子端部に電極が設けられた構成であり、電気抵抗値を大きくするには例えばミアンダ形状のように素子長さを長く形成することが必要である。
【００４５】
一方、ＴＭＲ素子や、あるいは、図８の絶縁障壁層２４を非磁性導電材料で形成したＣＰＰ−ＧＭＲ素子からなる磁気素子２０では、素子上下面に電極が配置された構成であり、図７のように平面形状のアスペクト比を小さくしても（図７のように平面形状を円形状で形成しても）高い素子抵抗を備え、また抵抗変化率を非常に大きくできる。
【００４６】
よってＴＭＲ素子あるいはＣＰＰ−ＧＭＲ素子とした磁気素子２０では、素子面積を小さくできナノオーダーでの形成が可能であり、磁気素子２０と磁性体８，９とを一対一で対向させやすい。
【００４７】
上記の実施形態では、いずれもセンサ部１１と磁性体８，９とが一対一で対向する形態であった。
【００４８】
これに対し図１１の実施形態では、センサ部１１を構成する磁気素子３４に２つの磁性体が対向している。例えば図１１の実施形態における各センサ部１１は、図２のように、パターンドメディア１の半径方向に配列しているが、図１１では、このうち、一つのセンサ部を示している。
【００４９】
図１１では、磁気素子３４に磁化方向が同じ磁性体９，９が対向している。よって磁気素子３４を備えるセンサ部１１からは、正か負かどちらかの出力が得られ、しかもその出力は、１個の磁性体９が対向するときよりも大きい値である。よって、センサ部１１の出力から、センサ部１１が２個の磁性体９，９と対向していると判別できる。磁気素子３４に磁化方向が同じ磁性体８，８が対向したときも同様である。磁気素子３４に磁化方向が異なる磁性体８，９が対向したとき、抵抗変化が相殺されることで、センサ部１１からの出力はほとんど変化しない。よって磁化方向が異なる磁性体８，９と対向していることを判別できるが、この時点では、どちらが磁性体８か磁性体９かの区別まで出来ない。そこで、磁気素子３４に対向する磁性体８，９が１個ずつ周方向（矢印Ａ方向）へ送られていくように移動させ、次々に２個ずつ磁性体の磁化状態を検査していき、各検査結果から算出すれば、全ての磁性体８，９の磁化状態をほぼ確実に検査することが出来る。
【００５０】
なお、本実施形態では磁気素子としてホール素子を選択することも出来る。
本実施形態のパターンドメディア用検査装置５は、複数のセンサ部１１が、前記検査装置５とパターンドメディア１とを対向配置したときの平面視にて、前記パターンドメディア１の内周側から外周側にわたって配列されるように支持されており、好ましくは図２のように各センサ部１１がパターンドメディア１の半径方向に配列された構成である。あるいは、図４で説明したように、複数のセンサ部１１が、磁性体８，９が周方向に向けて所定のパターン配置４０の繰り返しであるときと同じ前記パターン配置４０に並べられた構成である。そして、パターンドメディア用検査装置５あるいはパターンドメディア１の一方を回転させることで（パターンドメディア１を回転させ、パターンドメディア用検査装置５を固定支持しておくほうが機構的に簡単にできる）、各磁性体８，９の磁化状態を簡単且つ適切に検査することが可能である。したがって本実施形態のパターンドメディア用検査装置５を用いることで、パターンドメディア１に対する大量テストを効率よく行うことが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１】（ａ）は、パターンドメディアの模式図、（ｂ）は本実施形態のパターンドメディア用検査装置の模式図、
【図２】パターンドメディア用検査装置の部分平面図、
【図３】パターンドメディア用検査装置に搭載されるセンサ部の配置とパターンドメディアの磁性体との関係を示す模式図（部分平面図）、
【図４】図３と異なる構成の、パターンドメディア用検査装置に搭載されるセンサ部の配置とパターンドメディアの磁性体との関係を示す模式図（部分平面図）、
【図５】図３、図４とは異なる形態の、パターンドメディア用検査装置に搭載されるセンサ部の配置とパターンドメディアの磁性体との関係を示す模式図（部分断面図）、
【図６】図３、図４とは異なる形態の、パターンドメディア用検査装置に搭載されるセンサ部の配置とパターンドメディアの磁性体との関係を示す模式図（部分断面図）、
【図７】本実施形態のセンサ部の平面図、
【図８】磁気素子の部分拡大断面図、
【図９】図７と異なるセンサ部の平面図、
【図１０】図７及び図９と異なるセンサ部の平面図、
【図１１】他の実施形態を示し、磁気素子とパターンドメディアの磁性体との関係を示す模式図（部分拡大平面図）、
【符号の説明】
【００５２】
１ パターンドメディア
５ パターンドメディア用検査装置
６ 基板
７ 信号処理回路
８、９ 磁性体
１１ センサ部
１２、１３ センサ列
２０、３０、３１、３２、３３、３４ 磁気素子
２２ 反強磁性層
２３ 固定磁性層
２４ 絶縁障壁層
２５ フリー磁性層
４０ パターン配置
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定方向に磁化された多数の磁性体が並べられたパターンドメディアのメディア表面に間隔を空けて対向配置して、前記メディア表面からの磁界分布を検出するためのパターンドメディア用検査装置において、
外部磁界により電気特性が変化する磁気素子を備えた複数のセンサ部が設けられており、
前記センサ部は、前記対向配置したときの平面視にて、前記パターンドメディアの内周側から外周側にわたって配列されるように支持されていることを特徴とするパターンドメディア用検査装置。
【請求項２】
前記センサ部は、前記パターンドメディアの略半径方向に沿って配列されている請求項１記載のパターンドメディア用検査装置。
【請求項３】
複数の前記センサ部から成るセンサ列が複数列、周方向あるいはメディア表面垂直方向にずらして設けられるとともに、
異なる前記センサ列に設けられた夫々の前記センサ部の少なくとも一部は、前記周方向、あるいは前記メディア表面垂直方向にて一致しないように、前記パターンドメディアの略半径方向にずらして配置されている請求項１又は２に記載のパターンドメディア用検査装置。
【請求項４】
各センサ部は、前記磁性体に対して一対一で対向している請求項１ないし３のいずれかに記載のパターンドメディア用検査装置。
【請求項５】
前記磁気素子はＴＭＲ素子である請求項１ないし４のいずれかに記載のパターンドメディア用検査装置。
【請求項６】
所定方向に磁化された多数の磁性体が並べられたパターンドメディアのメディア表面に間隔を空けて対向配置して、前記メディア表面からの磁界分布を検出するためのパターンドメディア用検査装置において、
外部磁界により電気特性が変化する磁気素子を備えた複数のセンサ部が設けられており、
前記センサ部は、前記磁性体が周方向に向けて所定のパターン配置の繰り返しであるときと同じ前記パターン配置に並べられていることを特徴とするパターンドメディア用検査装置。
【請求項７】
各センサ部は共通の基板に支持されており、前記基板の周囲の少なくとも一部に、信号処理回路が設けられている請求項１ないし６のいずれかに記載のパターンドメディア用検査装置。
【請求項８】
所定方向に磁化された多数の磁性体が並べられたパターンドメディアのメディア表面にパターンドメディア用検査装置を間隔を空けて対向配置して、前記メディア表面からの磁界分布を検出する検査方法において、
前記パターンドメディア用検査装置は、外部磁界に対して電気特性が変化する磁気素子を備える複数のセンサ部が、前記対向配置したときの平面視にて、前記パターンドメディアの内周側から外周側にわたって配列されるように支持されており、
前記パターンドメディア用検査装置及び前記パターンドメディアのうち、どちらか一方を回転させて、各センサ部を構成する前記磁気素子の電気特性変化に基づき、各磁性体の磁化状態を検査することを特徴とする検査方法。
【請求項１】
所定方向に磁化された多数の磁性体が並べられたパターンドメディアのメディア表面に間隔を空けて対向配置して、前記メディア表面からの磁界分布を検出するためのパターンドメディア用検査装置において、
外部磁界により電気特性が変化する磁気素子を備えた複数のセンサ部が設けられており、
前記センサ部は、前記対向配置したときの平面視にて、前記パターンドメディアの内周側から外周側にわたって配列されるように支持されていることを特徴とするパターンドメディア用検査装置。
【請求項２】
前記センサ部は、前記パターンドメディアの略半径方向に沿って配列されている請求項１記載のパターンドメディア用検査装置。
【請求項３】
複数の前記センサ部から成るセンサ列が複数列、周方向あるいはメディア表面垂直方向にずらして設けられるとともに、
異なる前記センサ列に設けられた夫々の前記センサ部の少なくとも一部は、前記周方向、あるいは前記メディア表面垂直方向にて一致しないように、前記パターンドメディアの略半径方向にずらして配置されている請求項１又は２に記載のパターンドメディア用検査装置。
【請求項４】
各センサ部は、前記磁性体に対して一対一で対向している請求項１ないし３のいずれかに記載のパターンドメディア用検査装置。
【請求項５】
前記磁気素子はＴＭＲ素子である請求項１ないし４のいずれかに記載のパターンドメディア用検査装置。
【請求項６】
所定方向に磁化された多数の磁性体が並べられたパターンドメディアのメディア表面に間隔を空けて対向配置して、前記メディア表面からの磁界分布を検出するためのパターンドメディア用検査装置において、
外部磁界により電気特性が変化する磁気素子を備えた複数のセンサ部が設けられており、
前記センサ部は、前記磁性体が周方向に向けて所定のパターン配置の繰り返しであるときと同じ前記パターン配置に並べられていることを特徴とするパターンドメディア用検査装置。
【請求項７】
各センサ部は共通の基板に支持されており、前記基板の周囲の少なくとも一部に、信号処理回路が設けられている請求項１ないし６のいずれかに記載のパターンドメディア用検査装置。
【請求項８】
所定方向に磁化された多数の磁性体が並べられたパターンドメディアのメディア表面にパターンドメディア用検査装置を間隔を空けて対向配置して、前記メディア表面からの磁界分布を検出する検査方法において、
前記パターンドメディア用検査装置は、外部磁界に対して電気特性が変化する磁気素子を備える複数のセンサ部が、前記対向配置したときの平面視にて、前記パターンドメディアの内周側から外周側にわたって配列されるように支持されており、
前記パターンドメディア用検査装置及び前記パターンドメディアのうち、どちらか一方を回転させて、各センサ部を構成する前記磁気素子の電気特性変化に基づき、各磁性体の磁化状態を検査することを特徴とする検査方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【公開番号】特開２０１０−１３４９７２（Ｐ２０１０−１３４９７２Ａ）
【公開日】平成２２年６月１７日（２０１０．６．１７）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００８−３０７０３４（Ｐ２００８−３０７０３４）
【出願日】平成２０年１２月２日（２００８．１２．２）
【出願人】（００００１００９８）アルプス電気株式会社 (4,263)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２２年６月１７日（２０１０．６．１７）
【国際特許分類】
【出願日】平成２０年１２月２日（２００８．１２．２）
【出願人】（００００１００９８）アルプス電気株式会社 (4,263)
【Ｆターム（参考）】
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