ビジョン検査システム及びこれを用いる被検査体の検査方法
本発明は多様な被検査体を検査するためのビジョン検査システム及びこれを用いる被検査体の検査方法を開示する。本発明のシステムは、定盤、第１移送装置、カメラ、第２移送装置及びコンピュータで構成される。第１移送装置は、定盤の上面に設置され、被検査体が置かれるテーブルを持ち、定盤の第１位置と第２位置の間でテーブルを直線運動させる。カメラは、定盤の上方に被検査体の画像を撮影して画像データを獲得するように配置されている。第２移送装置は、定盤の上面に、第１位置と第２位置の間でカメラを直線運動させるように設置されている。コンピュータは、第１移送装置の作動を制御して、第１位置から第２位置にテーブルを移送させるとともに、第２移送装置の作動を制御して、第２位置から第１位置にカメラを移送させる。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はビジョン検査システム及びこれを用いる被検査体の検査方法に係り、より詳しくは多様な被検査体の画像データを獲得して検査するためのビジョン検査システム及びこれを用いる被検査体の検査方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ビジョン検査システムは、多様な物体の画像を撮影して画像データを獲得するカメラと、カメラから入力される画像データを画像処理プログラム（Ｉｍａｇｅ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｐｒｏｇｒａｍ）によって処理するコンピュータとから構成されている。ビジョン検査システムは、物体の識別、検査、測定、良品及び不良品の選別などの多様な分野に応用されている。
【０００３】
アメリカ特許第７０３０３５１号及びアメリカ特許出願公開第２００３／０１９７９２５Ａ１号などの多くの特許文献にビジョン検査システムが開示されている。この特許文献らのビジョン検査システムは、ワークピースステージ（Ｗｏｒｋｐｉｅｃｅ Ｓｔａｇｅ）、カメラステージ、コントローラー、カメラ、及びコンピュータから構成されている。ワークピースステージは、被検査体のローディング（Ｌｏａｄｉｎｇ）、アンローディング（Ｕｎｌｏａｄｉｎｇ）、ポジショニング（Ｐｏｓｉｔｉｏｎｉｎｇ）のために、Ｘ軸及びＹ軸方向に直線運動できるように構成されている。カメラステージはワークピースステージの上方に設置されており、カメラのポジショニングとフォーカシング（Ｆｏｃｕｓｉｎｇ）のために、Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸方向への直線運動とＺ軸を中心とする回転運動ができるように構成されている。コントローラーは、コンピュータと接続され、ワークピースステージとカメラステージの作動を制御する。
【０００４】
しかし、前記特許文献のビジョン検査システムは、被検査体とカメラのなかでいずれか一つを固定し、他の一つを運動させながら画像データを獲得しているため、エラーが大きく発生する問題がある。被検査体が固定されており、カメラが移送と停止を繰り返しながら被検査体の画像を撮影する場合、カメラの移送と停止によってビジョン検査システムの振動が大きく発生し、画像データのエラーが大きくなる。また、固定されている被検査体に対して、カメラが移送と停止を繰り返しながら被検査体を撮影しなければならないため、時間が多大にかかる欠点がある。
【０００５】
一方、カメラが固定されており、固定されているカメラに対して被検査体を移送しながら画像データを獲得する場合には、被検査体の移送時に発生する振動によって画像データの信頼性が大きく低下し、時間が多大にかかる問題がある。特に、ＴＦＴ−ＬＣＤ（Ｔｈｉｎ Ｆｉｌｍ Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ−Ｌｉｑｕｉｄ Ｃｒｙｓｔａｌ Ｄｉｓｐｌａｙ）、ＰＤＰ（Ｐｌａｓｍａ Ｄｉｓｐｌａｙ Ｐａｎｅｌ）、ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｔ）などのフラットディスプレイ（Ｆｌａｔ Ｄｉｓｐｌａｙ）を構成するガラス基板（Ｇｌａｓｓ Ｓｕｂｓｔｒａｔｅ）、セル（Ｃｅｌｌ）、モジュール（Ｍｏｄｕｌｅ）などのように大きな被検査体の精密検査及び測定には適しない問題がある。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は前記のような従来技術の多様な問題点を解決するためになされたもので、本発明の目的は、被検査体とカメラが互いに近付く方向に同時に移送して画像データを獲得することにより、システム全体に作用するトルク（Ｔｏｒｑｕｅ）を最小化して、画像データの信頼性を格段に向上させることができるビジョン検査システム及びこれを用いる被検査体の検査方法を提供することにある。
【０００７】
本発明の他の目的は、被検査体の検査に必要な時間を減らすことができるビジョン検査システム及びこれを用いる被検査体の検査方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の一面によれば、上面両側に第１位置と第２位置がそれぞれ設けられている定盤と；前記定盤の上面に設置され、被検査体が置かれるテーブルを持ち、前記第１位置と第２位置の間で前記テーブルを直線運動させる第１移送手段と；前記定盤の上方に、前記被検査体の画像を撮影して画像データを出力するように配置されるカメラと；前記定盤の上面に設置され、前記第１位置と第２位置の間で前記カメラを直線運動させる第２移送手段と；前記第１移送手段、前記カメラ及び前記第２移送手段と接続され、前記第１移送手段の作動を制御して、前記第１位置から前記第２位置に前記テーブルを移送させるとともに、前記第２移送手段の作動を制御して前記第２位置から前記第１位置に前記カメラを移送させるように構成され、前記カメラから入力される画像データを処理する画像処理プログラムが組み込まれているコンピュータと；を含んでなる、ビジョン検査システムが提供される。
【０００９】
本発明の他の面によれば、上面両側に第１位置と第２位置がそれぞれ設けられている定盤と、前記定盤の上面に設置され、前記第１位置と第２位置の間で直線運動することができるテーブルを持つ第１移送手段と、前記定盤の上方に配置される一つ以上のカメラと、前記定盤の上面に設置され、前記第１位置と第２位置の間で前記カメラを直線運動させることができる第２移送手段と、前記カメラから入力される画像データを処理するコンピュータとを含んでなるビジョン検査システムによって被検査体を検査する方法において、第１移送手段の作動によって前記第１位置に前記テーブルを位置させる段階と；前記第１位置に位置している前記テーブルに前記被検査体をロードする段階と；前記第２移送手段の作動によって前記第２位置に前記カメラを位置させる段階と；前記第１移送手段の作動によって前記第１位置から前記第２位置に前記テーブルを移送させるとともに、前記第２移送手段の作動によって前記第２位置から前記第１位置に前記カメラを移送させる段階と；前記カメラによって前記被検査体の画像を撮影して前記被検査体の画像データを獲得する段階と；前記カメラから入力される画像データを前記コンピュータによって処理する段階とを含んでなる、ビジョン検査システムを用いる被検査体の検査方法が提供される。
【発明の効果】
【００１０】
以上説明した本発明によるビジョン検査システム及びこれを用いる被検査体の検査方法によって、カメラのシステム全体に作用するトルクが最小化し、画像データの信頼性が大きく向上しながらも、被検査体の検査に必要な時間が格段に減少する効果がある。
【００１１】
本発明の前記及び他の目的及び特徴は添付図面を参照する以降の好適な実施例の説明から明らかに理解可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、本発明によるビジョン検査システム及びこれを用いる被検査体の検査方法の好適な実施例を添付図面に基づいて詳細に説明する。
【００１３】
まず、図１及び図２を参照すれば、本発明のビジョン検査システム１０は、フラットディスプレイを構成するガラス基板、セル、モジュールなどの多様な被検査体２の欠陷を検査及び測定することができる。本発明のビジョン検査システム１０は、被検査体２の正確な検査及び測定のために、上面が精密で平滑に仕上げされている定盤２０を備える。定盤２０の上面両側には、第１位置（Ｐ１）と第２位置（Ｐ２）が設けられている。図１及び図２には、第１位置（Ｐ１）と第２位置（Ｐ２）が定盤２０のＸ軸方向に沿って配置されているものが示されているが、第１位置（Ｐ１）と第２位置（Ｐ２）は定盤２０のＹ軸方向に沿って配置されることもできる。定盤２０は、振動及び衝撃を吸収する複数のベースアイソレーター（Ｂａｓｅ Ｉｓｏｌａｔｏｒ）２２によって安定して支持されており、アイソレーター２２はベース（２４）の上面に装着されている。
【００１４】
定盤２０の上面には、第１位置（Ｐ１）と第２位置（Ｐ２）との間で被検査体２を移送させることができる第１移送装置３０が設置されている。第１移送装置３０は、テーブル３２とリニアアクチュエータ（Ｌｉｎｅａｒ Ａｃｔｕａｔｏｒ）３４から構成されている。テーブル３２は、定盤２０の第１位置（Ｐ１）と第２位置（Ｐ２）との間で移動できるように、定盤２０の上方に配置されている。被検査体２はテーブル３２の上面に置かれている。
【００１５】
リニアアクチュエータ３４は、定盤２０の上面とテーブル３２の下面との間に装着されている。テーブル３２は、リニアアクチュエータ３４の作動によって、第１位置（Ｐ１）と第２位置（Ｐ２）との間で直線運動する。リニアアクチュエータ３４は、定盤２０の上面とテーブル３２の下面との間に装着されている一対のリニアモーションガイド（Ｌｉｎｅａｒ Ｍｏｔｉｏｎ Ｇｕｉｄｅ）３６と、リニアモーションガイド３６の間でテーブル３２と連結されるように装着されているリニアモーター（Ｌｉｎｅａｒ Ｍｏｔｏｒ）３８とから構成されている。リニアモーションガイド３６は、定盤２０の上面の第１位置（Ｐ１）と第２位置（Ｐ２）を通して固定されているガイドレール３６ａと、ガイドレール３６ａに沿ってスライドするように装着されており、テーブル３２の下面に固定されている複数のスライダー３６ｂとから構成されている。テーブル３２は、リニアモーター３８の駆動及びリニアモーションガイド３６の案内によって、第１位置（Ｐ１）と第２位置（Ｐ２）の間で直線運動する。
【００１６】
リニアアクチュエータ３４は、サーボモーター（Ｓｅｒｖｏ Ｍｏｔｏｒ）、リードスクリュー（Ｌｅａｄ Ｓｃｒｅｗ）、ボールナット（Ｂａｌｌ Ｎｕｔ）及び一対のリニアモーションガイドから構成されてもよい。第１移送装置３０は、定盤２０のＸ軸及びＹ軸方向に沿ってテーブル３２を直線往復運動させるＸ軸及びＹ軸リニアアクチュエータを持つ直角座標ロボットで構成されてもよい。また、第１移送装置３０は、定盤２０のＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸方向に沿ってテーブル３２を直線往復運動させ、Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸の中でいずれか一つの軸を基準に回転及び傾動（Ｔｉｌｔｉｎｇ）させることができる多軸ロボットで構成されてもよい。直角座標ロボットや多軸ロボットの作動によって、テーブル３２に置かれている被検査体２の正確なポジショニングが可能である。
【００１７】
定盤２０の上部には、第１位置（Ｐ１）と第２位置（Ｐ２）の間で運動する一つ以上のカメラ４０が配置されており、カメラ４０は被検査体２の画像を撮影し、その画像データを出力する。カメラ４０は、ＣＣＤカメラ（Ｃｈａｒｇｅ Ｃｏｕｐｌｅｄ Ｄｅｖｉｃｅ Ｃａｍｅｒａ）で構成できる。図２には五つのカメラ４０が定盤２０のＹ軸方向に沿って配置されているのが示されているが、カメラ４０の数及び位置は必要によって適切に変更することができる。
【００１８】
図１〜図３を参照すれば、本発明のビジョン検査システム１０は、定盤２０の上面に、第２位置（Ｐ２）から第１位置（Ｐ１）に向けてカメラ４０を移送させるように設置されている第２移送装置５０を備えている。第２移送装置５０は、被検査体２の移送方向と反対方向にカメラ４０を移送させることができるリニアアクチュエータ５２で構成されている。リニアアクチュエータ５２は、キャリッジ（Ｃａｒｒｉａｇｅ）５４、一対のリニアモーションガイド５６及びリニアモーター５８で構成されている。
【００１９】
キャリッジ５４は、定盤２０の上部に、第１位置（Ｐ１）と第２位置（Ｐ２）の間で運動できるように配置されており、キャリッジ５４にはカメラ４０が装着されている。リニアモーションガイド５６は、定盤２０の上面とキャリッジ５４の下面との間に互いに平行に装着され、キャリッジ５４の移送を直線運動に案内する。リニアモーター５８は、リニアモーションガイド５６の間でリニアモーションガイド５６らに沿ってキャリッジ５４を移送するように装着されている。リニアモーションガイド５６は、定盤２０の上面に第１位置（Ｐ１）と第２位置（Ｐ２）を通るように固定されているガイドレール５６ａと、ガイドレール５６ａに沿ってスライドするように装着され、キャリッジ５４の下面に固定されている複数のスライダー５６ｂとから構成されている。第２移送装置５０のリニアアクチュエータ５２は、第１移送装置３０のリニアアクチュエータ３４と同様に、直角座標ロボットまたは多軸ロボットで構成可能である。また、カメラ４０は、微細なポジショニングとフォーカシングのために、ステージに装着され、ステージはキャリッジ５４に装着されてもよい。
【００２０】
図１を参照すれば、本発明のビジョン検査システム１０は、第１移送装置３０のリニアモーター３８、カメラ４０、及び第２移送装置５０のリニアモーター５８と接続されているコンピュータ６０を備えている。コンピュータ６０は、第１移送装置３０、カメラ４０及び第２移送装置５０の作動を制御する。コンピュータ６０は、第１移送装置３０の作動を制御して、テーブル３２に搭載されている被検査体２を第１位置（Ｐ１）から第２位置（Ｐ２）に移動させるとともに、第２移送装置５０の作動を制御して、キャリッジ５４に装着されているカメラ４０を第２位置（Ｐ２）から第１位置（Ｐ１）に移送させる。コンピュータ６０は、カメラ４０から入力される画像データを画像処理プログラムによって処理し、その結果として獲得される被検査体２の画像データをモニター６２などの出力装置に出力する。
【００２１】
以下、このような構成を有する本発明のビジョン検査システムによる被検査体の検査方法を図６に基づいて説明する。
【００２２】
図１及び図２を一緒に参照すれば、リニアアクチュエータ３４の作動によって定盤２０の第１位置（Ｐ１）にテーブル３２を位置させ（Ｓ１０）、テーブル３２上に被検査体２をロードする（Ｓ１２）。被検査体２のローディング及びアンローディングはトランスファーフィーダー（Ｔｒａｎｓｆｅｒ Ｆｅｅｄｅｒ）、ハンドラー（Ｈａｎｄｌｅｒ）、コンベヤー（Ｃｏｎｖｅｙｏｒ）などによって実施できる。
【００２３】
ついで、リニアアクチュエータ５２の作動によって定盤２０の第２位置（Ｐ２）にカメラ４０を位置させる（Ｓ１４）。被検査体２のローディングとカメラ４０の位置付けが完了すれば、コンピュータ６０は第１移送装置３０の作動を制御して、第１位置（Ｐ１）から第２位置（Ｐ２）に向けてテーブル３２を移送させる（Ｓ１６）。コンピュータ６０の制御によってリニアアクチュエータ３４のリニアモーター３８が駆動され、リニアモーター３８の駆動によってテーブル３２は第１位置（Ｐ１）から第２位置（Ｐ２）に移送される。リニアモーションガイド３６はテーブル３２の移送を直線運動に案内する。
【００２４】
第１移送装置３０の作動によるテーブル３２の移送と同時に、コンピュータ６０は、第２移送装置５０の作動を制御して、第２位置（Ｐ２）から第１位置（Ｐ１）に向けてキャリッジ５４を移送させる（Ｓ１８）。コンピュータ６０の制御によってリニアアクチュエータ５２のリニアモーター５８が駆動されれば、リニアモーター５８の駆動によって、キャリッジ５４は第２位置（Ｐ２）から第１位置（Ｐ１）に移送される。リニアモーションガイド５６はキャリッジ５４の移送を直線運動に案内する。したがって、カメラ４０は被検査体２の移送方向と反対方向に移送されるので、被検査体２とカメラ４０は互いに接近することになる。
【００２５】
コンピュータ６０は、第１移送装置３０のテーブル３２に置かれている被検査体２と、第２移送装置５０のキャリッジ５４に装着されているカメラ４０とが互いに整列するように、第１移送装置３０と第２移送装置５０の作動を制御する（Ｓ２０）。カメラ４０が被検査体２の検査位置に整列すれば、コンピュータ６０の制御によって、第１移送装置３０のリニアモーター３８と第２移送装置５０のリニアモーター５８が停止される。
【００２６】
図３を参照すれば、定盤２０の上面で移送されてから停止するまで減速するか、あるいは停止した状態から加速するときの第２移送装置５０の質量中心（Ｇ２）に作用する力（Ｆ１）は、
（数学式１）
Ｆ１ ＝ ｍ１ × ａ１
である。ここで、ｍ１は第２移送装置５０の質量、ａ１は第２移送装置５０の加速度である。力（Ｆ１）の反作用によって、ビジョン検査システム１０の質量中心（Ｇ１）に反作用力（Ｆ２）と反作用トルク（Ｔ）が作用する。
【００２７】
定盤２０の回転がベースアイソレーター２２の作動によって起こらないと仮定する場合、第１移送装置３０の作動によって被検査体２が第１位置（Ｐ１）から第２位置（Ｐ２）に移送される。被検査体２の移送と並行し、第２移送装置５０の作動によって被検査体２の移送と反対方向にカメラ４０が移送されれば、第１移送放置３０と第２移送装置５０が互いに反対方向に移送されることによって、ビジョン検査システム１０に作用する反作用力と反作用トルクが相殺される。この結果、ビジョン検査システム１０の質量中心（Ｇ１）に作用する力とトルクが減少する。
【００２８】
ビジョン検査システム１０の質量中心（Ｇ１）に作用するトルクを最小化することができる第２移送装置５０の加速度（ａ１）とテーブル３２の加速度（ａ２）の比は数学式２によって求められる。
【００２９】
（数学式２）
ｍ１×ａ１×ｈ１＝ｍ２×ａ２×ｈ２
【００３０】
ここで、ｈ１はビジョン検査システム１０の質量中心（Ｇ１）から第２移送装置５０の質量中心（Ｇ２）までの高さである。ｍ２はテーブル３２の質量、ｈ２はビジョン検査システム１０の質量中心（Ｇ１）からテーブル３２の質量中心（Ｇ３）までの高さである。テーブル３２の加速度（ａ２）と第２移送装置５０の加速度（ａ１）がａ１：ａ２の比に従えば、ビジョン検査システム１０の質量中心（Ｇ１）に作用するトルクは最小化する。
【００３１】
ビジョン検査システム１０のトルクが、被検査体２の移送方向と反対方向にカメラ４０がａ１：ａ２の比で移送することによって減少するかを調べるために、ビジョン検査システム１０によって、実施例と比較例の実験をそれぞれ実施した。実施例の実験においては、被検査体２とカメラ４０が互いに接近するように、被検査体２の移送方向と反対方向にカメラ４０をａ１：ａ２の比で移送した。比較例の実験は、被検査体２の固定状態でカメラ４０のみを移送した。
【００３２】
実施例と比較例のそれぞれの実験において、テーブル３２とカメラ４０の相対変位はキャパシタンスセンサー（Ｃａｐａｃｉｔａｎｃｅ Ｓｅｎｓｏｒ）で測定し、定盤２０が上下に振動する変位はレーザー変位センサー（Ｌａｓｅｒ Ｄｉｓｐｌａｃｅｍｅｎｔ Ｓｅｎｓｏｒ）で測定した。実施例の実験によって得られる結果は図４のグラフで表し、比較例の実験によって得られる結果は図５のグラフで表した。
【００３３】
図４のグラフを見れば、実施例の実験において、テーブル３２とカメラ４０の相対変位に対する電圧差は０．２Ｖに実測され、定盤２０が上下に振動する変位に対する電圧差は０．４５Ｖに実測された。図５のグラフを見れば、比較例の実験において、テーブル３２とカメラ４０の相対変位に対する電圧差は０．３３Ｖに実測され、定盤２０が上下に振動する変位に対する電圧差は３．３４Ｖに実測された。
【００３４】
実施例の実験は、比較例の実験に比べ、定盤２０が上下に振動する変位の電圧差が２．８９Ｖだけ小さく、テーブル３２とカメラ４０の相対変位に対する電圧差が０．２５Ｖだけ小さいことが分かる。結果として、実施例の実験は、比較例の実験に比べ、定盤２０、テーブル３２及びカメラ４０の振動が大きく減少することが分かる。
【００３５】
一方、被検査体２とカメラ４０が検査位置に停止すれば、カメラ４０は、被検査体２の画像を撮影して被検査体２の画像データを獲得する（Ｓ２２）。本発明のビジョン検査システム１０は、テーブル３２とキャリッジ５４が互いに接近する方向に移送して、定盤２０、テーブル３２及びカメラ４０の振動が減少するので、カメラ４０によって獲得される画像データの信頼性が大きく向上する。また、テーブル３２とキャリッジ５４が互いに接近する方向に移送することによって、キャリッジ５４のみを移送するときより、被検査体２の検査時間が大きく減少する。
【００３６】
最後に、コンピュータ６０は、カメラ４０から入力される被検査体２の画像データを画像処理プログラムによって処理する（Ｓ２４）。コンピュータ６０の画像データの処理によって被検査体２の欠点を検査して、良品と不良品を選別し、モニター６２に被検査体２の検査結果を表示する。被検査体２の検査が完了すれば、コンピュータ６０は、第１移送装置３０と第２移送装置５０の作動を制御してテーブル３２とキャリッジ５４を復帰させる。
【００３７】
以上説明した実施例は本発明の好適な実施例を説明したものに過ぎなく、本発明の権利範囲は前述した実施例に限定されなく、本発明の技術的思想と特許請求範囲内で当業者によって多様な変更、変形または置換が可能であろう。
【産業上の利用可能性】
【００３８】
以上説明したように、本発明によるビジョン検査システム及びこれを用いる被検査体の検査方法によれば、第１移送装置と第２移送装置のそれぞれの作動によって、被検査体とカメラが互いに接近する方向に同時に移送されて画像データを獲得するので、カメラのシステム全体に作用するトルクが最小化して振動の発生が防止され、画像データの信頼性が大きく向上する。また、被検査体の検査に必要な時間が格段に減少する効果がある。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】図１は本発明によるビジョン検査システムの構成を示す正面図である。
【図２】図２は本発明によるビジョン検査システムの構成を示す側面図である。
【図３】図３は本発明によるビジョン検査システムの作動を説明するために概略的に示す正面図である。
【図４】図４は本発明によるビジョン検査システムにおいて、テーブルとカメラを互いに近付く方向に移送させて測定したテーブルとカメラの相対変位と定盤が上下に振動する変位を示すグラフである。
【図５】図５は本発明によるビジョン検査システムにおいて、テーブルを固定したままでカメラを移送して測定したテーブルとカメラの相対変位と定盤が上下に振動する変位を示すグラフである。
【図６】図６は本発明による被検査体の検査方法を説明するために示すフローチャートである。
【技術分野】
【０００１】
本発明はビジョン検査システム及びこれを用いる被検査体の検査方法に係り、より詳しくは多様な被検査体の画像データを獲得して検査するためのビジョン検査システム及びこれを用いる被検査体の検査方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ビジョン検査システムは、多様な物体の画像を撮影して画像データを獲得するカメラと、カメラから入力される画像データを画像処理プログラム（Ｉｍａｇｅ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｐｒｏｇｒａｍ）によって処理するコンピュータとから構成されている。ビジョン検査システムは、物体の識別、検査、測定、良品及び不良品の選別などの多様な分野に応用されている。
【０００３】
アメリカ特許第７０３０３５１号及びアメリカ特許出願公開第２００３／０１９７９２５Ａ１号などの多くの特許文献にビジョン検査システムが開示されている。この特許文献らのビジョン検査システムは、ワークピースステージ（Ｗｏｒｋｐｉｅｃｅ Ｓｔａｇｅ）、カメラステージ、コントローラー、カメラ、及びコンピュータから構成されている。ワークピースステージは、被検査体のローディング（Ｌｏａｄｉｎｇ）、アンローディング（Ｕｎｌｏａｄｉｎｇ）、ポジショニング（Ｐｏｓｉｔｉｏｎｉｎｇ）のために、Ｘ軸及びＹ軸方向に直線運動できるように構成されている。カメラステージはワークピースステージの上方に設置されており、カメラのポジショニングとフォーカシング（Ｆｏｃｕｓｉｎｇ）のために、Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸方向への直線運動とＺ軸を中心とする回転運動ができるように構成されている。コントローラーは、コンピュータと接続され、ワークピースステージとカメラステージの作動を制御する。
【０００４】
しかし、前記特許文献のビジョン検査システムは、被検査体とカメラのなかでいずれか一つを固定し、他の一つを運動させながら画像データを獲得しているため、エラーが大きく発生する問題がある。被検査体が固定されており、カメラが移送と停止を繰り返しながら被検査体の画像を撮影する場合、カメラの移送と停止によってビジョン検査システムの振動が大きく発生し、画像データのエラーが大きくなる。また、固定されている被検査体に対して、カメラが移送と停止を繰り返しながら被検査体を撮影しなければならないため、時間が多大にかかる欠点がある。
【０００５】
一方、カメラが固定されており、固定されているカメラに対して被検査体を移送しながら画像データを獲得する場合には、被検査体の移送時に発生する振動によって画像データの信頼性が大きく低下し、時間が多大にかかる問題がある。特に、ＴＦＴ−ＬＣＤ（Ｔｈｉｎ Ｆｉｌｍ Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ−Ｌｉｑｕｉｄ Ｃｒｙｓｔａｌ Ｄｉｓｐｌａｙ）、ＰＤＰ（Ｐｌａｓｍａ Ｄｉｓｐｌａｙ Ｐａｎｅｌ）、ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｔ）などのフラットディスプレイ（Ｆｌａｔ Ｄｉｓｐｌａｙ）を構成するガラス基板（Ｇｌａｓｓ Ｓｕｂｓｔｒａｔｅ）、セル（Ｃｅｌｌ）、モジュール（Ｍｏｄｕｌｅ）などのように大きな被検査体の精密検査及び測定には適しない問題がある。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は前記のような従来技術の多様な問題点を解決するためになされたもので、本発明の目的は、被検査体とカメラが互いに近付く方向に同時に移送して画像データを獲得することにより、システム全体に作用するトルク（Ｔｏｒｑｕｅ）を最小化して、画像データの信頼性を格段に向上させることができるビジョン検査システム及びこれを用いる被検査体の検査方法を提供することにある。
【０００７】
本発明の他の目的は、被検査体の検査に必要な時間を減らすことができるビジョン検査システム及びこれを用いる被検査体の検査方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の一面によれば、上面両側に第１位置と第２位置がそれぞれ設けられている定盤と；前記定盤の上面に設置され、被検査体が置かれるテーブルを持ち、前記第１位置と第２位置の間で前記テーブルを直線運動させる第１移送手段と；前記定盤の上方に、前記被検査体の画像を撮影して画像データを出力するように配置されるカメラと；前記定盤の上面に設置され、前記第１位置と第２位置の間で前記カメラを直線運動させる第２移送手段と；前記第１移送手段、前記カメラ及び前記第２移送手段と接続され、前記第１移送手段の作動を制御して、前記第１位置から前記第２位置に前記テーブルを移送させるとともに、前記第２移送手段の作動を制御して前記第２位置から前記第１位置に前記カメラを移送させるように構成され、前記カメラから入力される画像データを処理する画像処理プログラムが組み込まれているコンピュータと；を含んでなる、ビジョン検査システムが提供される。
【０００９】
本発明の他の面によれば、上面両側に第１位置と第２位置がそれぞれ設けられている定盤と、前記定盤の上面に設置され、前記第１位置と第２位置の間で直線運動することができるテーブルを持つ第１移送手段と、前記定盤の上方に配置される一つ以上のカメラと、前記定盤の上面に設置され、前記第１位置と第２位置の間で前記カメラを直線運動させることができる第２移送手段と、前記カメラから入力される画像データを処理するコンピュータとを含んでなるビジョン検査システムによって被検査体を検査する方法において、第１移送手段の作動によって前記第１位置に前記テーブルを位置させる段階と；前記第１位置に位置している前記テーブルに前記被検査体をロードする段階と；前記第２移送手段の作動によって前記第２位置に前記カメラを位置させる段階と；前記第１移送手段の作動によって前記第１位置から前記第２位置に前記テーブルを移送させるとともに、前記第２移送手段の作動によって前記第２位置から前記第１位置に前記カメラを移送させる段階と；前記カメラによって前記被検査体の画像を撮影して前記被検査体の画像データを獲得する段階と；前記カメラから入力される画像データを前記コンピュータによって処理する段階とを含んでなる、ビジョン検査システムを用いる被検査体の検査方法が提供される。
【発明の効果】
【００１０】
以上説明した本発明によるビジョン検査システム及びこれを用いる被検査体の検査方法によって、カメラのシステム全体に作用するトルクが最小化し、画像データの信頼性が大きく向上しながらも、被検査体の検査に必要な時間が格段に減少する効果がある。
【００１１】
本発明の前記及び他の目的及び特徴は添付図面を参照する以降の好適な実施例の説明から明らかに理解可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、本発明によるビジョン検査システム及びこれを用いる被検査体の検査方法の好適な実施例を添付図面に基づいて詳細に説明する。
【００１３】
まず、図１及び図２を参照すれば、本発明のビジョン検査システム１０は、フラットディスプレイを構成するガラス基板、セル、モジュールなどの多様な被検査体２の欠陷を検査及び測定することができる。本発明のビジョン検査システム１０は、被検査体２の正確な検査及び測定のために、上面が精密で平滑に仕上げされている定盤２０を備える。定盤２０の上面両側には、第１位置（Ｐ１）と第２位置（Ｐ２）が設けられている。図１及び図２には、第１位置（Ｐ１）と第２位置（Ｐ２）が定盤２０のＸ軸方向に沿って配置されているものが示されているが、第１位置（Ｐ１）と第２位置（Ｐ２）は定盤２０のＹ軸方向に沿って配置されることもできる。定盤２０は、振動及び衝撃を吸収する複数のベースアイソレーター（Ｂａｓｅ Ｉｓｏｌａｔｏｒ）２２によって安定して支持されており、アイソレーター２２はベース（２４）の上面に装着されている。
【００１４】
定盤２０の上面には、第１位置（Ｐ１）と第２位置（Ｐ２）との間で被検査体２を移送させることができる第１移送装置３０が設置されている。第１移送装置３０は、テーブル３２とリニアアクチュエータ（Ｌｉｎｅａｒ Ａｃｔｕａｔｏｒ）３４から構成されている。テーブル３２は、定盤２０の第１位置（Ｐ１）と第２位置（Ｐ２）との間で移動できるように、定盤２０の上方に配置されている。被検査体２はテーブル３２の上面に置かれている。
【００１５】
リニアアクチュエータ３４は、定盤２０の上面とテーブル３２の下面との間に装着されている。テーブル３２は、リニアアクチュエータ３４の作動によって、第１位置（Ｐ１）と第２位置（Ｐ２）との間で直線運動する。リニアアクチュエータ３４は、定盤２０の上面とテーブル３２の下面との間に装着されている一対のリニアモーションガイド（Ｌｉｎｅａｒ Ｍｏｔｉｏｎ Ｇｕｉｄｅ）３６と、リニアモーションガイド３６の間でテーブル３２と連結されるように装着されているリニアモーター（Ｌｉｎｅａｒ Ｍｏｔｏｒ）３８とから構成されている。リニアモーションガイド３６は、定盤２０の上面の第１位置（Ｐ１）と第２位置（Ｐ２）を通して固定されているガイドレール３６ａと、ガイドレール３６ａに沿ってスライドするように装着されており、テーブル３２の下面に固定されている複数のスライダー３６ｂとから構成されている。テーブル３２は、リニアモーター３８の駆動及びリニアモーションガイド３６の案内によって、第１位置（Ｐ１）と第２位置（Ｐ２）の間で直線運動する。
【００１６】
リニアアクチュエータ３４は、サーボモーター（Ｓｅｒｖｏ Ｍｏｔｏｒ）、リードスクリュー（Ｌｅａｄ Ｓｃｒｅｗ）、ボールナット（Ｂａｌｌ Ｎｕｔ）及び一対のリニアモーションガイドから構成されてもよい。第１移送装置３０は、定盤２０のＸ軸及びＹ軸方向に沿ってテーブル３２を直線往復運動させるＸ軸及びＹ軸リニアアクチュエータを持つ直角座標ロボットで構成されてもよい。また、第１移送装置３０は、定盤２０のＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸方向に沿ってテーブル３２を直線往復運動させ、Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸の中でいずれか一つの軸を基準に回転及び傾動（Ｔｉｌｔｉｎｇ）させることができる多軸ロボットで構成されてもよい。直角座標ロボットや多軸ロボットの作動によって、テーブル３２に置かれている被検査体２の正確なポジショニングが可能である。
【００１７】
定盤２０の上部には、第１位置（Ｐ１）と第２位置（Ｐ２）の間で運動する一つ以上のカメラ４０が配置されており、カメラ４０は被検査体２の画像を撮影し、その画像データを出力する。カメラ４０は、ＣＣＤカメラ（Ｃｈａｒｇｅ Ｃｏｕｐｌｅｄ Ｄｅｖｉｃｅ Ｃａｍｅｒａ）で構成できる。図２には五つのカメラ４０が定盤２０のＹ軸方向に沿って配置されているのが示されているが、カメラ４０の数及び位置は必要によって適切に変更することができる。
【００１８】
図１〜図３を参照すれば、本発明のビジョン検査システム１０は、定盤２０の上面に、第２位置（Ｐ２）から第１位置（Ｐ１）に向けてカメラ４０を移送させるように設置されている第２移送装置５０を備えている。第２移送装置５０は、被検査体２の移送方向と反対方向にカメラ４０を移送させることができるリニアアクチュエータ５２で構成されている。リニアアクチュエータ５２は、キャリッジ（Ｃａｒｒｉａｇｅ）５４、一対のリニアモーションガイド５６及びリニアモーター５８で構成されている。
【００１９】
キャリッジ５４は、定盤２０の上部に、第１位置（Ｐ１）と第２位置（Ｐ２）の間で運動できるように配置されており、キャリッジ５４にはカメラ４０が装着されている。リニアモーションガイド５６は、定盤２０の上面とキャリッジ５４の下面との間に互いに平行に装着され、キャリッジ５４の移送を直線運動に案内する。リニアモーター５８は、リニアモーションガイド５６の間でリニアモーションガイド５６らに沿ってキャリッジ５４を移送するように装着されている。リニアモーションガイド５６は、定盤２０の上面に第１位置（Ｐ１）と第２位置（Ｐ２）を通るように固定されているガイドレール５６ａと、ガイドレール５６ａに沿ってスライドするように装着され、キャリッジ５４の下面に固定されている複数のスライダー５６ｂとから構成されている。第２移送装置５０のリニアアクチュエータ５２は、第１移送装置３０のリニアアクチュエータ３４と同様に、直角座標ロボットまたは多軸ロボットで構成可能である。また、カメラ４０は、微細なポジショニングとフォーカシングのために、ステージに装着され、ステージはキャリッジ５４に装着されてもよい。
【００２０】
図１を参照すれば、本発明のビジョン検査システム１０は、第１移送装置３０のリニアモーター３８、カメラ４０、及び第２移送装置５０のリニアモーター５８と接続されているコンピュータ６０を備えている。コンピュータ６０は、第１移送装置３０、カメラ４０及び第２移送装置５０の作動を制御する。コンピュータ６０は、第１移送装置３０の作動を制御して、テーブル３２に搭載されている被検査体２を第１位置（Ｐ１）から第２位置（Ｐ２）に移動させるとともに、第２移送装置５０の作動を制御して、キャリッジ５４に装着されているカメラ４０を第２位置（Ｐ２）から第１位置（Ｐ１）に移送させる。コンピュータ６０は、カメラ４０から入力される画像データを画像処理プログラムによって処理し、その結果として獲得される被検査体２の画像データをモニター６２などの出力装置に出力する。
【００２１】
以下、このような構成を有する本発明のビジョン検査システムによる被検査体の検査方法を図６に基づいて説明する。
【００２２】
図１及び図２を一緒に参照すれば、リニアアクチュエータ３４の作動によって定盤２０の第１位置（Ｐ１）にテーブル３２を位置させ（Ｓ１０）、テーブル３２上に被検査体２をロードする（Ｓ１２）。被検査体２のローディング及びアンローディングはトランスファーフィーダー（Ｔｒａｎｓｆｅｒ Ｆｅｅｄｅｒ）、ハンドラー（Ｈａｎｄｌｅｒ）、コンベヤー（Ｃｏｎｖｅｙｏｒ）などによって実施できる。
【００２３】
ついで、リニアアクチュエータ５２の作動によって定盤２０の第２位置（Ｐ２）にカメラ４０を位置させる（Ｓ１４）。被検査体２のローディングとカメラ４０の位置付けが完了すれば、コンピュータ６０は第１移送装置３０の作動を制御して、第１位置（Ｐ１）から第２位置（Ｐ２）に向けてテーブル３２を移送させる（Ｓ１６）。コンピュータ６０の制御によってリニアアクチュエータ３４のリニアモーター３８が駆動され、リニアモーター３８の駆動によってテーブル３２は第１位置（Ｐ１）から第２位置（Ｐ２）に移送される。リニアモーションガイド３６はテーブル３２の移送を直線運動に案内する。
【００２４】
第１移送装置３０の作動によるテーブル３２の移送と同時に、コンピュータ６０は、第２移送装置５０の作動を制御して、第２位置（Ｐ２）から第１位置（Ｐ１）に向けてキャリッジ５４を移送させる（Ｓ１８）。コンピュータ６０の制御によってリニアアクチュエータ５２のリニアモーター５８が駆動されれば、リニアモーター５８の駆動によって、キャリッジ５４は第２位置（Ｐ２）から第１位置（Ｐ１）に移送される。リニアモーションガイド５６はキャリッジ５４の移送を直線運動に案内する。したがって、カメラ４０は被検査体２の移送方向と反対方向に移送されるので、被検査体２とカメラ４０は互いに接近することになる。
【００２５】
コンピュータ６０は、第１移送装置３０のテーブル３２に置かれている被検査体２と、第２移送装置５０のキャリッジ５４に装着されているカメラ４０とが互いに整列するように、第１移送装置３０と第２移送装置５０の作動を制御する（Ｓ２０）。カメラ４０が被検査体２の検査位置に整列すれば、コンピュータ６０の制御によって、第１移送装置３０のリニアモーター３８と第２移送装置５０のリニアモーター５８が停止される。
【００２６】
図３を参照すれば、定盤２０の上面で移送されてから停止するまで減速するか、あるいは停止した状態から加速するときの第２移送装置５０の質量中心（Ｇ２）に作用する力（Ｆ１）は、
（数学式１）
Ｆ１ ＝ ｍ１ × ａ１
である。ここで、ｍ１は第２移送装置５０の質量、ａ１は第２移送装置５０の加速度である。力（Ｆ１）の反作用によって、ビジョン検査システム１０の質量中心（Ｇ１）に反作用力（Ｆ２）と反作用トルク（Ｔ）が作用する。
【００２７】
定盤２０の回転がベースアイソレーター２２の作動によって起こらないと仮定する場合、第１移送装置３０の作動によって被検査体２が第１位置（Ｐ１）から第２位置（Ｐ２）に移送される。被検査体２の移送と並行し、第２移送装置５０の作動によって被検査体２の移送と反対方向にカメラ４０が移送されれば、第１移送放置３０と第２移送装置５０が互いに反対方向に移送されることによって、ビジョン検査システム１０に作用する反作用力と反作用トルクが相殺される。この結果、ビジョン検査システム１０の質量中心（Ｇ１）に作用する力とトルクが減少する。
【００２８】
ビジョン検査システム１０の質量中心（Ｇ１）に作用するトルクを最小化することができる第２移送装置５０の加速度（ａ１）とテーブル３２の加速度（ａ２）の比は数学式２によって求められる。
【００２９】
（数学式２）
ｍ１×ａ１×ｈ１＝ｍ２×ａ２×ｈ２
【００３０】
ここで、ｈ１はビジョン検査システム１０の質量中心（Ｇ１）から第２移送装置５０の質量中心（Ｇ２）までの高さである。ｍ２はテーブル３２の質量、ｈ２はビジョン検査システム１０の質量中心（Ｇ１）からテーブル３２の質量中心（Ｇ３）までの高さである。テーブル３２の加速度（ａ２）と第２移送装置５０の加速度（ａ１）がａ１：ａ２の比に従えば、ビジョン検査システム１０の質量中心（Ｇ１）に作用するトルクは最小化する。
【００３１】
ビジョン検査システム１０のトルクが、被検査体２の移送方向と反対方向にカメラ４０がａ１：ａ２の比で移送することによって減少するかを調べるために、ビジョン検査システム１０によって、実施例と比較例の実験をそれぞれ実施した。実施例の実験においては、被検査体２とカメラ４０が互いに接近するように、被検査体２の移送方向と反対方向にカメラ４０をａ１：ａ２の比で移送した。比較例の実験は、被検査体２の固定状態でカメラ４０のみを移送した。
【００３２】
実施例と比較例のそれぞれの実験において、テーブル３２とカメラ４０の相対変位はキャパシタンスセンサー（Ｃａｐａｃｉｔａｎｃｅ Ｓｅｎｓｏｒ）で測定し、定盤２０が上下に振動する変位はレーザー変位センサー（Ｌａｓｅｒ Ｄｉｓｐｌａｃｅｍｅｎｔ Ｓｅｎｓｏｒ）で測定した。実施例の実験によって得られる結果は図４のグラフで表し、比較例の実験によって得られる結果は図５のグラフで表した。
【００３３】
図４のグラフを見れば、実施例の実験において、テーブル３２とカメラ４０の相対変位に対する電圧差は０．２Ｖに実測され、定盤２０が上下に振動する変位に対する電圧差は０．４５Ｖに実測された。図５のグラフを見れば、比較例の実験において、テーブル３２とカメラ４０の相対変位に対する電圧差は０．３３Ｖに実測され、定盤２０が上下に振動する変位に対する電圧差は３．３４Ｖに実測された。
【００３４】
実施例の実験は、比較例の実験に比べ、定盤２０が上下に振動する変位の電圧差が２．８９Ｖだけ小さく、テーブル３２とカメラ４０の相対変位に対する電圧差が０．２５Ｖだけ小さいことが分かる。結果として、実施例の実験は、比較例の実験に比べ、定盤２０、テーブル３２及びカメラ４０の振動が大きく減少することが分かる。
【００３５】
一方、被検査体２とカメラ４０が検査位置に停止すれば、カメラ４０は、被検査体２の画像を撮影して被検査体２の画像データを獲得する（Ｓ２２）。本発明のビジョン検査システム１０は、テーブル３２とキャリッジ５４が互いに接近する方向に移送して、定盤２０、テーブル３２及びカメラ４０の振動が減少するので、カメラ４０によって獲得される画像データの信頼性が大きく向上する。また、テーブル３２とキャリッジ５４が互いに接近する方向に移送することによって、キャリッジ５４のみを移送するときより、被検査体２の検査時間が大きく減少する。
【００３６】
最後に、コンピュータ６０は、カメラ４０から入力される被検査体２の画像データを画像処理プログラムによって処理する（Ｓ２４）。コンピュータ６０の画像データの処理によって被検査体２の欠点を検査して、良品と不良品を選別し、モニター６２に被検査体２の検査結果を表示する。被検査体２の検査が完了すれば、コンピュータ６０は、第１移送装置３０と第２移送装置５０の作動を制御してテーブル３２とキャリッジ５４を復帰させる。
【００３７】
以上説明した実施例は本発明の好適な実施例を説明したものに過ぎなく、本発明の権利範囲は前述した実施例に限定されなく、本発明の技術的思想と特許請求範囲内で当業者によって多様な変更、変形または置換が可能であろう。
【産業上の利用可能性】
【００３８】
以上説明したように、本発明によるビジョン検査システム及びこれを用いる被検査体の検査方法によれば、第１移送装置と第２移送装置のそれぞれの作動によって、被検査体とカメラが互いに接近する方向に同時に移送されて画像データを獲得するので、カメラのシステム全体に作用するトルクが最小化して振動の発生が防止され、画像データの信頼性が大きく向上する。また、被検査体の検査に必要な時間が格段に減少する効果がある。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】図１は本発明によるビジョン検査システムの構成を示す正面図である。
【図２】図２は本発明によるビジョン検査システムの構成を示す側面図である。
【図３】図３は本発明によるビジョン検査システムの作動を説明するために概略的に示す正面図である。
【図４】図４は本発明によるビジョン検査システムにおいて、テーブルとカメラを互いに近付く方向に移送させて測定したテーブルとカメラの相対変位と定盤が上下に振動する変位を示すグラフである。
【図５】図５は本発明によるビジョン検査システムにおいて、テーブルを固定したままでカメラを移送して測定したテーブルとカメラの相対変位と定盤が上下に振動する変位を示すグラフである。
【図６】図６は本発明による被検査体の検査方法を説明するために示すフローチャートである。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
上面両側に第１位置と第２位置がそれぞれ設けられている定盤と；
前記定盤の上面に設置され、被検査体が置かれるテーブルを持ち、前記第１位置と第２位置の間で前記テーブルを直線運動させる第１移送手段と；
前記定盤の上方に、前記被検査体の画像を撮影して画像データを出力するように配置されるカメラと；
前記定盤の上面に設置され、前記第１位置と第２位置の間で前記カメラを直線運動させる第２移送手段と；
前記第１移送手段、前記カメラ及び前記第２移送手段と接続され、前記第１移送手段の作動を制御して、前記第１位置から前記第２位置に前記テーブルを移送させるとともに、前記第２移送手段の作動を制御して前記第２位置から前記第１位置に前記カメラを移送させるように構成され、前記カメラから入力される画像データを処理する画像処理プログラムが組み込まれているコンピュータと；を含んでなる、ビジョン検査システム。
【請求項２】
前記第１移送手段は、
前記定盤の上面に、前記第１位置と第２位置の間で、前記テーブルの移送を直線運動に案内するように装着される一対のリニアモーションガイドと；
前記リニアモーションガイドの間に装着され、前記リニアモーションガイドに沿って前記テーブルを移送するように前記テーブルに連結されているリニアモーターと；を含んでなる、請求項１に記載のビジョン検査システム。
【請求項３】
前記第２移送手段は、
前記定盤の上方に、前記第１位置と前記第２位置の間で運動するように配置され、前記カメラが装着されているキャリッジと；
前記定盤の上面に、前記第１位置と第２位置の間で前記キャリッジの移送を直線運動に案内するように装着される一対のリニアモーションガイドと；
前記リニアモーションガイドの間に装着され、前記リニアモーションガイドに沿って前記キャリッジを移送するように前記キャリッジに連結されているリニアモーターと；を含んでなる、請求項２に記載のビジョン検査システム。
【請求項４】
前記定盤を支持する複数のベースアイソレーターをさらに含む、請求項１ないし３のいずれか１項に記載のビジョン検査システム。
【請求項５】
上面両側に第１位置と第２位置がそれぞれ設けられている定盤と、前記定盤の上面に設置され、前記第１位置と第２位置の間で直線運動することができるテーブルを持つ第１移送手段と、前記定盤の上方に配置される一つ以上のカメラと、前記定盤の上面に設置され、前記第１位置と第２位置の間で前記カメラを直線運動させることができる第２移送手段と、前記カメラから入力される画像データを処理するコンピュータとを含んでなるビジョン検査システムによって被検査体を検査する方法において、
第１移送手段の作動によって前記第１位置に前記テーブルを位置させる段階と；
前記第１位置に位置している前記テーブルに前記被検査体をロードする段階と；
前記第２移送手段の作動によって前記第２位置に前記カメラを位置させる段階と；
前記第１移送手段の作動によって前記第１位置から前記第２位置に前記テーブルを移送させるとともに、前記第２移送手段の作動によって前記第２位置から前記第１位置に前記カメラを移送させる段階と；
前記カメラによって前記被検査体の画像を撮影して前記被検査体の画像データを獲得する段階と；
前記カメラから入力される画像データを前記コンピュータによって処理する段階とを含んでなる、ビジョン検査システムを用いる被検査体の検査方法。
【請求項６】
前記被検査体の画像データを獲得する段階において、前記被検査体の画像を前記カメラで撮影するとき、前記被検査体と前記カメラが互いに整列するように停止させる、請求項５に記載のビジョン検査システムを用いる被検査体の検査方法。
【請求項１】
上面両側に第１位置と第２位置がそれぞれ設けられている定盤と；
前記定盤の上面に設置され、被検査体が置かれるテーブルを持ち、前記第１位置と第２位置の間で前記テーブルを直線運動させる第１移送手段と；
前記定盤の上方に、前記被検査体の画像を撮影して画像データを出力するように配置されるカメラと；
前記定盤の上面に設置され、前記第１位置と第２位置の間で前記カメラを直線運動させる第２移送手段と；
前記第１移送手段、前記カメラ及び前記第２移送手段と接続され、前記第１移送手段の作動を制御して、前記第１位置から前記第２位置に前記テーブルを移送させるとともに、前記第２移送手段の作動を制御して前記第２位置から前記第１位置に前記カメラを移送させるように構成され、前記カメラから入力される画像データを処理する画像処理プログラムが組み込まれているコンピュータと；を含んでなる、ビジョン検査システム。
【請求項２】
前記第１移送手段は、
前記定盤の上面に、前記第１位置と第２位置の間で、前記テーブルの移送を直線運動に案内するように装着される一対のリニアモーションガイドと；
前記リニアモーションガイドの間に装着され、前記リニアモーションガイドに沿って前記テーブルを移送するように前記テーブルに連結されているリニアモーターと；を含んでなる、請求項１に記載のビジョン検査システム。
【請求項３】
前記第２移送手段は、
前記定盤の上方に、前記第１位置と前記第２位置の間で運動するように配置され、前記カメラが装着されているキャリッジと；
前記定盤の上面に、前記第１位置と第２位置の間で前記キャリッジの移送を直線運動に案内するように装着される一対のリニアモーションガイドと；
前記リニアモーションガイドの間に装着され、前記リニアモーションガイドに沿って前記キャリッジを移送するように前記キャリッジに連結されているリニアモーターと；を含んでなる、請求項２に記載のビジョン検査システム。
【請求項４】
前記定盤を支持する複数のベースアイソレーターをさらに含む、請求項１ないし３のいずれか１項に記載のビジョン検査システム。
【請求項５】
上面両側に第１位置と第２位置がそれぞれ設けられている定盤と、前記定盤の上面に設置され、前記第１位置と第２位置の間で直線運動することができるテーブルを持つ第１移送手段と、前記定盤の上方に配置される一つ以上のカメラと、前記定盤の上面に設置され、前記第１位置と第２位置の間で前記カメラを直線運動させることができる第２移送手段と、前記カメラから入力される画像データを処理するコンピュータとを含んでなるビジョン検査システムによって被検査体を検査する方法において、
第１移送手段の作動によって前記第１位置に前記テーブルを位置させる段階と；
前記第１位置に位置している前記テーブルに前記被検査体をロードする段階と；
前記第２移送手段の作動によって前記第２位置に前記カメラを位置させる段階と；
前記第１移送手段の作動によって前記第１位置から前記第２位置に前記テーブルを移送させるとともに、前記第２移送手段の作動によって前記第２位置から前記第１位置に前記カメラを移送させる段階と；
前記カメラによって前記被検査体の画像を撮影して前記被検査体の画像データを獲得する段階と；
前記カメラから入力される画像データを前記コンピュータによって処理する段階とを含んでなる、ビジョン検査システムを用いる被検査体の検査方法。
【請求項６】
前記被検査体の画像データを獲得する段階において、前記被検査体の画像を前記カメラで撮影するとき、前記被検査体と前記カメラが互いに整列するように停止させる、請求項５に記載のビジョン検査システムを用いる被検査体の検査方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【公表番号】特表２００９−５３１７１８（Ｐ２００９−５３１７１８Ａ）
【公表日】平成２１年９月３日（２００９．９．３）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００９−５０６４２６（Ｐ２００９−５０６４２６）
【出願日】平成１９年７月１０日（２００７．７．１０）
【国際出願番号】ＰＣＴ／ＫＲ２００７／００３３３７
【国際公開番号】ＷＯ２００８／１１７９０７
【国際公開日】平成２０年１０月２日（２００８．１０．２）
【出願人】（５０７１８５２７７）エスエヌユー プレシジョン カンパニー リミテッド (3)
【Ｆターム（参考）】
【公表日】平成２１年９月３日（２００９．９．３）
【国際特許分類】
【出願日】平成１９年７月１０日（２００７．７．１０）
【国際出願番号】ＰＣＴ／ＫＲ２００７／００３３３７
【国際公開番号】ＷＯ２００８／１１７９０７
【国際公開日】平成２０年１０月２日（２００８．１０．２）
【出願人】（５０７１８５２７７）エスエヌユー プレシジョン カンパニー リミテッド (3)
【Ｆターム（参考）】
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