フィルタ装置
【課題】フィルタの挿入時にフィルタの下流枠体に貼り付けられたガスケットと、フレームの摩擦を防いで、ガスケットを剥がれにくくすることができ、フィルタ締め付けにともなう締付け固定装置の厚さ増大をおさえることができるフィルタ装置を提供することができるフィルタ装置を提供する。
【解決手段】固定部４０は、ケーシング２内でフィルタ３の第１支持部材２５と第２支持部材２６を支えてガスケット２２を内部フレーム９０から離してフィルタ３をスライドして案内でき、フィルタ３がケーシング２内の予め定めた位置まで挿入されると第１支持部材２５と第２支持部材２６を落とし込んで、ガスケット２２を内部フレーム９０に当接させる切欠き部５１Ｒ、５２Ｒを有する第１スライドガイド５１と第２スライドガイド５２と、ガスケットを内部フレームに当接させた状態のフィルタ３を内部フレーム９０に着脱可能に固定する板状の固定部材７１，７２を有する。
【解決手段】固定部４０は、ケーシング２内でフィルタ３の第１支持部材２５と第２支持部材２６を支えてガスケット２２を内部フレーム９０から離してフィルタ３をスライドして案内でき、フィルタ３がケーシング２内の予め定めた位置まで挿入されると第１支持部材２５と第２支持部材２６を落とし込んで、ガスケット２２を内部フレーム９０に当接させる切欠き部５１Ｒ、５２Ｒを有する第１スライドガイド５１と第２スライドガイド５２と、ガスケットを内部フレームに当接させた状態のフィルタ３を内部フレーム９０に着脱可能に固定する板状の固定部材７１，７２を有する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ケミカルフィルタ、塵埃除去フィルタ及びファンからなる半導体製造装置用フィルタ装置に関し、ケミカルフィルタを簡単に締め付けて固定し、容易に交換することができるフィルタ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
フィルタ装置のチャンバーは、フィルタ特性を維持するため、フィルタの保持を確実に行え、しかも内部にかかる風圧力に耐えうる材質、板厚、構造からなる箱体である。フィルタ装置のチャンバー内にはチャンバーとフィルタ結合部からの空気の漏洩を防止するフィルタの締付固定装置が必要である。従来の締付固定装置は、特許文献１と特許文献２に示されている。
特許文献１に開示されている締付固定装置では、空気流路を形成するケーシングと、該ケーシングの空気流路の断面を仕切って設けられた空気の流通開口を有する取付座と、枠体にフィルタを支持させて形成され取付座の流通開口の上側周縁にガスケットを介して載置されるフィルタユニットと、該フィルタユニットの取付座に押圧させて支持するフィルタ押付具を備えている。
このフィルタ押付具は、フィルタユニットよりも上側のケーシングの内側に第１のヒンジ部を介して連結された第１のアームと、該第１のアームと第２のヒンジ部を介して連結された第２のアームとを有し、該第２のアームをフィルタユニットの上側に当接させた状態で、該第２のアームを、フィルタユニットを下方に押し付けるように斜め下方の部位に締結具を介して締め付け固定する。
【０００３】
また、特許文献２に開示された締付固定装置では、案内面は、流通開口の周縁部に対する高さがフィルタユニットの挿入方向で減少する傾斜面を有し、フィルタユニットが設置される所定位置となる流通開口の周縁部に該フィルタユニットが挿入されるまでは流通開口の周縁部からガスケットが浮いた状態で移動し、フィルタユニットが流通開口の周縁部まで挿入されたときにガスケットが流通開口の周縁部と接するように形成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第４２６４６６２号公報
【特許文献２】特許第４２７７２３１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところが、特許文献１では、フィルタ挿入時にフィルタの下流枠体に貼り付けるガスケットとフィルタフレームの摩擦により、ガスケットが剥がれる可能性がある。ヒンジ部を介してフィルタの締め付けを行うために、ヒンジ部の可動代を厚さ方向に確保する必要があるので、締付固定装置が厚くなってしまう。 また、特許文献２では、フィルタユニットは、前進端位置となる流通開口の周縁部に達したとき、ガスケットはベース面と密着し、フィルタユニットの移動が停止する（特許文献２の図３の点線の位置を参照）。フィルタユニットの移動は、例えば専用のストッパを用いて強制的に静止されることが好ましいと記載されているので、フィルタユニットがストッパに達する前に、ガスケットがベース面と密着した摩擦状態で止まってしまう不具合が起こる可能性がある。ガスケットが途中で止まると、ガスケットが所定箇所にこないのでガスケットの位置にずれが生じてしまうことから、空気のリークの危険が生じる。
【０００６】
この理由としては、図３によると、ガイドレールの最も奥の部分が徐々に傾斜しているため、ガスケットが取付け面の長さ分だけベース面上を移動する必要があるためである。尚、ガスケットがベース面と密着した摩擦状態で無理に移動させると、従来のようにガスケットが剥がれる問題が起こる。しかも、図６によると、ヒンジ部を介してフィルタ締め付けを行うために、厚さ方向にヒンジ部の可動代を確保する必要があるために、締付固定装置が厚くなってしまう。
そこで、本発明は、上記課題を解消するために、フィルタの挿入時にフィルタの下流枠体に貼り付けられたガスケットとフレームとの摩擦を防いで、ガスケットを剥がれにくくすることができるフィルタ装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明のフィルタ装置は、本発明のフィルタ装置は、ケーシング内にフィルタが着脱可能に装着されるフィルタ装置であって、前記フィルタは、前記フィルタの一方の面側に固定されたガスケットと、前記フィルタのフィルタ枠と、前記フィルタ枠の一方の側面に設けられた第１支持部材と、前記フィルタ枠の他方の側面に設けられた第２支持部材を有し、 前記ケーシング内において前記フィルタの前記ガスケットを当接させるための内部フレームと、前記内部フレームに対して前記ガスケットを密着させて固定するための固定部を備え、前記固定部は、前記ケーシング内で前記第１支持部材と前記第２支持部材を支えて前記ガスケットを前記内部フレームから離した状態で前記フィルタをスライドして挿入可能であり、前記フィルタが前記ケーシング内の予め定めた位置まで挿入されると前記フィルタの前記第１支持部材と前記第２支持部材を落とし込んで、前記ガスケットを前記内部フレームに当接させる切欠き部をそれぞれ有する第１スライドガイドと第２スライドガイドと前記ガスケットを前記内部フレームに当接させた状態の前記フィルタを、前記内部フレームに対して着脱可能に固定する固定部材と、を有することを特徴とする。
上記構成によれば、フィルタの挿入時にフィルタの一方の面側である下流枠体に貼り付けられたガスケットとフレームとの摩擦を防いで、フィルタのガスケットを剥がれにくくすることができる。すなわち、フィルタを挿入する時に、ガスケットが内部フレームから離れており、フィルタを移動してもガスケットが剥がれるという問題が生じない。
【０００８】
好ましくは、前記フィルタを前記ケーシング内の前記予め定めた位置に停止させるストッパを有し、前記ストッパにより前記フィルタの挿入が停止すると、前記第１支持部材と前記第２支持部材は前記切欠き部に落とし込まれて前記ガスケットを前記内部フレームに当接させることを特徴とする。
上記構成によれば、フィルタの挿入をストッパで停止させるとともに、フィルタを落とし込んで、フィルタのガスケットを内部フレームに確実に当接させることができる。
【０００９】
好ましくは、前記固定部材は差し込み端部と固定端部を有し、前記差し込み端部を差し込んで保持する固定部材受けと、前記固定部材受けに前記差し込み端部を差し込んだ状態で、前記固定端部を前記内部フレームに着脱可能に固定する固定具とを有することを特徴とする。
上記構成によれば、固定部材の差し込み端部を固定部材受けに差し込んで、固定端部は固定具を用いて内部フレームに固定するだけでよく、フィルタを内部フレームに対して固定する際に、固定部材の上下方向の移動距離が最小限となるので、フィルタ装置の厚みを抑えて薄く形成することができる。
好ましくは、前記固定部材受けと前記ストッパは、一体に形成されていることを特徴とする。
上記構成によれば、固定部材受けとストッパを別々に構成するのに比べて、部品点数を減らすことができる。
好ましくは、前記第１スライドガイドと第２スライドガイドは、前記フィルタを挿入する際に該フィルタを載せて案内するレールを有しており、前記フィルタの挿入が停止すると、前記第１支持部材と前記第２支持部材は前記切欠き部に落とし込まれると、これら前記第１支持部材と前記第２支持部材は下方に移動して前記レールから外れる構成としたことを特徴とする。
好ましくは、前記フィルタを挿入後に、該フィルタの上に掛け渡す固定バーを有しており、該固定バーの奥側一端を前記ストッパ側に挿入し、他端をボルト締めすることにより、前記フィルタの前記ガスケットを前記内部フレームに密着させる構成としたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、フィルタの挿入時にフィルタの下流枠体に貼り付けられたガスケットと、フレームの摩擦を防いで、ガスケットを剥がれにくくすることができ、フィルタ締め付けにともなう締付け固定装置の厚さ増大をおさえることができるフィルタ装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明のフィルタ装置の実施形態を示す斜視図である。
【図２】図１に示すフィルタ装置の内部構造を示す斜視図である。
【図３】フィルタが固定バーにより固定されている状態を示す斜視図である。
【図４】ケーシング内にフィルタが挿入された後に固定される様子を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下に、本発明の好ましい実施形態を、図面を参照して詳しく説明する。
図１は、本発明のフィルタ装置の実施形態を示す斜視図である。図２は、図１に示すフィルタ装置の内部構造を示す斜視図である。
図１と図２に示すフィルタ装置１は、好ましくは半導体製造装置用のケミカルフィルタ、塵埃除去フィルタを有する装置である。フィルタ装置１は、直方体形状を有するケーシング２と、フィルタ３と、送風機４を有している。フィルタ３は、例えば長方形状の板状の部材であり、Ｙ１方向に沿ってケーシング２内に挿入して着脱可能に固定される。ケーシング２は、点検扉５により開口部２Ｐを閉めて密閉した際には、フィルタ３以外には、ケーシング２内を通す気流を逃げないような構造を有する。
【００１３】
図１と図２に示すケーシング２の材質としては、例えばガルバニウム鋼板、メッキ鋼板（亜鉛、アルミ合金）、ステンレスを使用し、無溶接でリベット構造とすることで無塗装とすることができる。
図１に示すように、ケーシング２は、正面部２Ａ、背面部２Ｂ、側面部２Ｃ、２Ｄ、上面部２Ｅ、底面部２Ｆ、そして点検扉５を有している。正面部２Ａと背面部２Ｂは対面し、側面部２Ｃと側面部２Ｄは対面している。上面部２Ｅと底面部２Ｆは対面しており、上面部２Ｅは気流の上流側であり、底面部２Ｆは気流の下流側である。送風機４は、ケーシング２内であって、上面部２Ｅの中央位置のフィンガーガード１６に対応して配置されている。従って、送風機４が回転すると、気流はＺ２方向に流れる。
【００１４】
図１と図２に示すように、ケーシング２の形状は、Ｘ方向を一辺とし、Ｙ方向を他辺とし、Ｚ方向は厚み方向である。ケーシング２内にはフィルタ３が着脱可能に配置される。図１に示すように、ケーシング２の底面部２Ｆ側には塵埃除去フィルタ３０が配置されている。この塵埃除去フィルタ３０の下流側には、図示しないが例えば長方形のアルミニウム製のラス網が設けられている。
フィルタ３は例えばケミカルフィルタであり、フィルタ３は有機、酸、アルカリ等を除去する。塵埃除去フィルタ３０がフィルタ３の下部に配置されている。フィルタ３は、この塵埃除去フィルタ３０に対して気流の上流側に配置されている。塵埃除去フィルタ３０は、例えばＵＰＬＡフィルタである。
【００１５】
図１に示すように、ケーシング２の正面部２Ａには、点検扉５がＸ方向に設けられている。これらの点検扉５は、複数の蝶番１９により、長方形状の開口部２Ｐを開閉可能である。開口部２Ｐは、ケーシング２内の収納空間部２７に通じている。
図１において、ケーシング２内の収納空間部２７内には、新たなフィルタ３を、開口部２Ｐを通じてＹ１方向に沿ってスライドして挿入して収容でき、そして使用済みのフィルタ３を新たなフィルタ３に交換する際には、使用済みのフィルタ３を、開口部２Ｐを通じてＹ２方向に沿ってスライドして取り出すことができるようになっている。
【００１６】
図１に示すように、フィルタ３は、金属製のフィルタ枠２０を有している。フィルタ枠２０は、一方の長方形の開口部２０Ａと他方の長方形の開口部２０Ｂを有している。フィルタ枠２０の下流枠体２１には、ガスケット２２が例えば接着材を用いて貼り付けることにより固定されている。このガスケット２２は、開口部を有する長方形の枠状の部材である。
フィルタ枠２０の第１側面部２３には、第１支持部材２５が例えばリベット接合により固定され、第２側面部２４には、第２支持部材２６が例えば溶接により固定されている。これらの第１支持部材２５と第２支持部材２６は、好ましくは断面Ｌ字型を有する金具であり、Ｘ方向に向けて互いに反対方向に突出して形成されている。第１支持部材２５と第２支持部材２６は、好ましくはガスケット２２から離れたフィルタ枠２０の上面寄りの位置に固定されている。フィルタ枠２０の第３側面部２８には取手Ｗが取り付けられている。
【００１７】
次に、図１と図２と図３を参照して、フィルタ３を固定する固定部４０について説明する。図３は、フィルタ３が、固定部３０の２つの固定バー７１，７２により固定されている状態を示す斜視図である。
図２に示すように、固定部４０は、ケーシング２内にフィルタ３を、スライドして挿入後に、図３に示すようにフィルタ取付用の内部フレーム９０に対して締め付けて固定するために設けられている。図１に示すように固定部４０は、ケーシング２の収納空間部２７内に配置されており、固定部４０は図１では破線で示している。下流枠体としての内部フレーム９０は、長方形の開口部９１を有している。この開口部９１は、フィルタ３のガスケット２２の開口部に対応した形状を有している。
【００１８】
図１と図２に示すように、固定部４０は、第１スライドガイド５１と、第２スライドガイド５２と、ストッパ５３と、固定バー受け６１，６２と、図３に示す２本の固定バー７１，７２を有する。第１スライドガイド５１と第２スライドガイド５２とストッパ５３と固定バー受け６１，６２と固定バー７１，７２は、例えば金属製の部材である。
図１に示すように、第１スライドガイド５１は、ケーシング２内の内部フレーム９０の左側にＹ１方向に沿って固定され、第２スライドガイド５２は、ケーシング２内の内部フレーム９０の右側にＹ１方向に沿って右側に固定されている。第１スライドガイド５１と第２スライドガイド５２は平行である。
第１スライドガイドと第２スライドガイドは、同じ構造であり対をなしている。
第１スライドガイド５１を代表させて説明すると、スライドガイドは長尺であり、断面形状は、横向きでしかも内向きのほぼコ字状であり、上辺が後述する第１または第２の支持部材を載せて摺動させることができるレールとなっている。レール部分の内側端部は直角に下方に短く突出した折り曲げられた部分を有する。
第１スライドガイド５１は、第１切欠き部５１Ｒを有し、第２スライドガイド５２は、第２切欠き部５２Ｒを有している。第１切欠き部５１Ｒと第２切欠き部５２Ｒは、向かい合った位置に形成されており、ストッパ５３寄りであってケーシング２の背面部２Ｂ寄りの位置に形成されている。
第１スライドガイド５１は、フィルタ３の第１支持部材２５を支持してスライドさせながらＹ１方向にガイドして、第１支持部材２５を第１切欠き部５１Ｒに落とし込むための要素であり、第２スライドガイド５２は、フィルタ３の第２支持部材２６を支持してスライドさせながらＹ１方向にガイドして、第２支持部材２６を第２切欠き部５２Ｒに落とし込むための要素である。第１および第２の切欠き部から第１および第２の支持部材が落とし込まれた高さでは、各支持部材は、低い位置に移動し、レールとしての各スライドガイドの上辺とは干渉しないので、フィルタ交換時にフィルタ３の取手Ｗを持って手前に引くと、フィルタ３は第１および第２スライドガイドと当たることなく引き出せる。
【００１９】
図１と図２に示すように、ストッパ５３は、ケーシング２の内部であってケーシング２の背面部２Ｂ寄りの位置において、Ｘ方向に沿って内部フレーム９０に固定されている。ストッパ５３は、図３に示すように、フィルタ３が完全に挿入された状態で、フィルタ３の挿入前端部３Ａが当接されることにより、Ｙ１方向についての位置決めを行うことができる。
図２と図３に示すように、固定バー受け６１，６２は、ストッパ５３と一体的に形成されており、固定バー受け６１，６２はストッパ５３からＺ１方向に平行に突出している。このように、固定バー受け６１，６２とストッパ５３を一体的に形成することにより、部品点数の削減が図れる。
【００２０】
図３に示すように、固定バー７１，７２は折り曲げて形成された帯状の部材であり、フィルタ３を内部フレーム９０に対して締め付けて固定するための固定具である。固定バー７１，７２の一端部は固定端部７１Ａ，７２Ａであり、固定バー７１，７２の他端部は固定バー受け６１，６２に差し込まれる差し込み端部７１Ｂ、７２Ｂである。固定端部７１Ａ，７２Ａは、固定部材としての例えばねじ７７を用いて、内部フレーム９０に対して固定されている。固定端部７１Ａ，７２Ａは、固定部材としての例えばねじ７７を用いて内部フレーム９０に固定されている。しかも、固定バー７１，７２の差し込み端部７１Ｂ、７２Ｂが固定バー受け６１，６２にそれぞれ差し込まれた状態では、固定バー７１，７２の折り曲げ部分７１Ｃ、７２Ｃの部分と、差し込み端部７１Ｂ、７２Ｂの位置には、フィルタ３の枠部２０Ｈが介在されている。
【００２１】
次に、図１から図４を参照して、上述したフィルタ装置１のケーシング２内に、フィルタ３を挿入して固定する操作と、さらに使用済みのフィルタ３を新しいフィルタ３に交換する操作について順に説明する。
図４は、ケーシング２内にフィルタ３が挿入された後に、フィルタ３が内部フレーム９０に対して固定される様子を示す図である。
まず、ケーシング２内に、フィルタ３をスライドして挿入して固定する操作を説明する。
作業者が図１の点検扉５を開くと、図１のフィルタ３は開口部２Ｐを通じて図１のケーシング２内に、Ｙ１方向に沿ってスライドしながら挿入して固定できる。すなわち、図２と図４（Ａ）に示すように、作業者がフィルタ３の第１支持部材２５と第２支持部材２６を、それぞれ対応する第１スライドガイド５１と第２スライドガイド５２の上に載せた状態にして、フィルタ３をＹ１方向にスライドさせる。
【００２２】
作業者がフィルタ３をＹ１方向に押すと、図３と図４（Ａ）に示すように、フィルタ３の挿入前端部３Ａがストッパ５３に突き当たることで、フィルタ３のＹ１方向に関する位置決めが行われる。しかも、図２と図４（Ｂ）に示すように、フィルタ３の挿入前端部３Ａがストッパ５３に突き当たると、フィルタ３の第１支持部材２５と第２支持部材２６が、第１スライドガイド５１の第１切欠き部５１Ｒと第２スライドガイド５２の第２切欠き部５２Ｒにそれぞれ落ち込む。これにより、フィルタ３の下面側のガスケット２２は、内部フレーム９０に対して当接され、フィルタ３は内部フレーム９０の開口部９１に対面する。
【００２３】
次に、上述のようにして，ストッパ５３がフィルタ３をＹ１方向に関して位置決めをし、しかも、フィルタ３のガスケット２２が内部フレーム９０に対して当接され、フィルタ３は開口部９１に対面した状態で、図３と図４（Ｃ）に示すように、フィルタ３を２本の固定バー７１，７２を用いて固定する。すなわち、差し込み端部７１Ｂ、７２Ｂが固定バー受け６１，６２に差し込まれた後、固定バー７１，７２の固定端部７１Ａ，７２Ａはそれぞれねじ７７を用いて内部フレーム９０に固定される。これにより、フィルタ３は、内部フレーム９０からＺ１方向に浮かないように、しかもＹ２方向とＸ方向にも移動しないように、内部フレーム９０に対して締め付けて固定することができる。
【００２４】
このようにしてフィルタ３をケーシング２内に挿入して内部フレーム９０に対して締め付けて固定するので、次のような効果がある。
フィルタ３が、フィルタ３の第１支持部材２５と第２支持部材２６を用いて対応する第１スライドガイド５１と第２スライドガイド５２の上に載せた状態にして、作業者がフィルタ３の取手Ｗを持ってフィルタ３をＹ１方向に押す。フィルタ３の挿入前端部３Ａがストッパ５３に突き当たることでフィルタ３のＹ１方向に関する位置決めでき、しかもフィルタ３の第１支持部材２５と第２支持部材２６が、第１スライドガイド５１の第１切欠き部５１Ｒに落ち込むとともに第２スライドガイド５２の第２切欠き部５２Ｒに落ち込むようになっている。
【００２５】
このため、フィルタ３が挿入されるときに、ガスケット２２が内部フレーム９０から離れており、ガスケット２２が内部フレーム９０に触れることが全く無いので、ガスケット２２がフィルタ３から剥がれてしまうことが無い。フィルタ３の挿入時にフィルタ３の下流枠体に貼り付けられたガスケット２２と、フレーム３との摩擦を防いで、フィルタ３のガスケット２２を剥がれなくなる。従って、フィルタ３は簡単にケーシング２内に挿入して位置決めすることができる。
フィルタ３が固定バー７１，７２により締め付けて固定されるので、ガスケット２２は、内部フレーム９０に対して密着して保持でき、仮にガスケット２２が収縮することがあっても、ガスケット２２と内部フレーム９０との間から、気流がリークするのを防ぐことができる。さらに運転時や他の装置からの振動により、ガスケット２２が内部フレーム９０に対して位置ずれしてしまうのを防ぐことができる。
【００２６】
また、固定バー７１，７２は、それぞれケーシング２内へフィルタ３に沿ってＹ１方向に挿入して、差し込み端部７１Ｂ、７２Ｂを固定バー受け６１，６２に差し込み、そして固定端部７１Ａ，７２Ａを、ねじ７７を用いて内部フレーム９０に固定することにより、締付け用の固定バー７１，７２はＹ１方向にフィルタ３に沿って差し込めばよく、Ｚ１、Ｚ２方向に向けて差し込む必要がない。このため、締付け用の固定バー７１，７２の上下方向への移動距離（占有距離）を最小限にすることができるので、ケーシング２のＺ１、Ｚ２方向、すなわち上下方向に関するケーシング２の厚みを最小限に薄くすることができる。締付け用の固定バー７１，７２は薄板状部材であり、固定バー７１，７２の形状は、フィルタ３の外形形状に沿って形成できるので、ケーシング２の上下方向の厚みを最小限にすることができる。すなわち、フィルタ３をケーシング２内で締め付けるための締め付け機構に起因する厚さ方向の寸法増を最小限に抑えることができる。
【００２７】
次に、フィルタ３の交換操作について説明する。
使用済みのフィルタ３を新しいフィルタ３に交換する場合には、ケーシング２内に固定されている使用済みのフィルタ３をケーシング２内から取り出す作業を行う。
作業者が図１に示す点検扉５を開けて、図４（Ｃ）に示すねじ７７を外して２本の固定バー７１，７２をＹ２方向に取り出す。そして、作業者がフィルタ３の取手Ｗを持って、フィルタ３をＹ２方向に沿って手前に取り出すことができる。
【００２８】
本発明のフィルタ装置は、ケーシング内のフィルタが着脱可能に装着されるフィルタ装置であって、フィルタは、フィルタの一方の面側に固定されたガスケットと、フィルタのフィルタ枠と、フィルタ枠の一方の側面に設けられた第１支持部材と、フィルタ枠の他方の側面に設けられた第２支持部材を有し、ケーシング内においてフィルタのガスケットを当接させるための内部フレームと、内部フレームに対してガスケットを密着させて固定するための固定部を備え、この固定部は、ケーシング内で第１支持部材と第２支持部材を支えてガスケットを内部フレームから離した状態でフィルタをスライドして案内可能であり、フィルタがケーシング内の予め定めた位置まで挿入されるとフィルタの第１支持部材と第２支持部材を落とし込んで、ガスケットを内部フレームに当接させる切欠き部を有する第１スライドガイドと第２スライドガイドと、ガスケットを内部フレームに当接させた状態のフィルタを、内部フレームに対して着脱可能に固定する板状の固定部材と、を有する。
これにより、フィルタの挿入時にフィルタの一方の面側である下流枠体に貼り付けられたガスケットと、フレームとの摩擦を防いで、フィルタのガスケットを剥がれにくくすることができる。すなわち、フィルタを挿入する時に、ガスケットが内部フレームから離れており、フィルタを移動してもガスケットが剥がれるという問題が生じない。
【００２９】
本発明の実施形態では、フィルタをケーシング内の予め定めた位置に停止させるストッパを有し、第１支持部材と第２支持部材は、ストッパによりフィルタの挿入が停止すると切欠き部に落とし込んで、ガスケットを内部フレームに当接させるようになっている。
これにより、フィルタの挿入をストッパで停止させるとともに、フィルタを落とし込まれて、フィルタのガスケットを内部フレームに確実に当接させることができる。
【００３０】
また、固定部材は差し込み端部と固定端部を有し、差し込み端部を差し込んで保持する固定部材受けと、固定部材受けに差し込み端部を差し込んだ状態で、固定端部を内部フレームに着脱可能に固定する固定具とを有する。
これにより、固定部材の差し込み端部を固定部材受けに差し込んで、固定端部は固定具を用いて内部フレームに固定するだけでよく、フィルタを内部フレームに対して固定する際に、固定部材の上下方向の移動距離が最小限となるので、フィルタ装置の厚みを抑えて薄く形成することができる。
また、固定部材受けとストッパは、一体に形成されていることを特徴とする。これにより、固定部材受けとストッパを別々に構成するのに比べて、部品点数を減らすことができる。なお、後述の実施形態では、「固定部材」は「帯状」のものとして説明したが、これに限らず、棒状のものでも網目状のもの等、フィルタを固定する機能を発揮するものなら種々の物が使用できる。
【００３１】
本発明のフィルタ装置の実施形態で使用される点検扉５、ケーシング２等の部品の材質としては、例えばガルバニウム鋼板、メッキ鋼板（亜鉛、アルミ合金）、ステンレスを使用し、無溶接でリベット構造とすることで無塗装とすることができる。
【００３２】
次に、本発明を実施するための最良の一形態ついて使用材料を説明する。
本発明は、使用材料に特徴があるわけではないので、記載していないものでも使用することができる。
ケミカルフィルタは、活性炭粒状、活性炭素繊維などの物理吸着による有機系ガス除去フィルタ、添着活性炭粒状、強酸性陽イオン交換樹脂の粒状、繊維状などの化学吸着による酸性ガス除去フィルタ、添着活性炭粒状、弱塩基性陰イオン交換樹脂の粒状、繊維状などの化学吸着によるアルカリガス除去フィルタの一種あるいはその複数を積層したり、平面分割したりした組合せで使用することができる。特に、ケミカルフィルタは、薄型低圧損という観点からすると、活性炭粒状あるいはイオン交換樹脂を不織布でサンドイッチした構造の濾材をジグザグ状に折り畳んだものが好ましい。
【００３３】
塵埃除去フィルタは、ガラス繊維不織布、エレクトレット不織布、ＰＴＦＥ膜等からなる濾材をジグザグ状に折り畳み、セパレータあるいは樹脂リボンで間隔保持して、フィルタ枠にウレタン樹脂等の気密剤で気密固化した塵埃除去フィルタを使用することができる。特に、塵埃除去フィルタは、ボロン、有機ガス等の発生が少ない低発ガスのという観点からするとＰＴＦＥ膜濾材のフィルタが好ましい。
ファンは、軸流ファン、斜流ファン、遠心ファン、シロッコファンなどを使用することができる。特に、薄型、軽量化などの観点からすると、軸流ファンが好ましい。ガスケットは、クロロプレン樹脂、ＥＰＤＭ樹脂などを使用することができる。特に、ガスケットは、発ガス性などの観点からすると、ＥＰＤＭ樹脂が好ましい。
【００３４】
本発明のフィルタ装置の実施形態で使用するガスケットの一例であるガスケットは、通常使用される単独気泡タイプのクロロプレンゴムなど使用できる押し付けの際にはガスケットとフィルタの取り付け枠との間の気密性が確保できる。
【符号の説明】
【００３５】
１・・・フィルタ装置、２・・・ケーシング、３・・・フィルタ、４・・・送風機、５・・・点検扉（扉の一例）、２０…フィルタ枠、２２・・・ガスケット、２５・・・第１支持部材、２６・・・第２支持部材、４０・・・固定部、５１・・・第１スライドガイド、５２・・・第２スライドガイド、６１，６２・・・固定バー受け、７１，７２・・・固定バー（固定部材）、９０・・・内部フレーム
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ケミカルフィルタ、塵埃除去フィルタ及びファンからなる半導体製造装置用フィルタ装置に関し、ケミカルフィルタを簡単に締め付けて固定し、容易に交換することができるフィルタ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
フィルタ装置のチャンバーは、フィルタ特性を維持するため、フィルタの保持を確実に行え、しかも内部にかかる風圧力に耐えうる材質、板厚、構造からなる箱体である。フィルタ装置のチャンバー内にはチャンバーとフィルタ結合部からの空気の漏洩を防止するフィルタの締付固定装置が必要である。従来の締付固定装置は、特許文献１と特許文献２に示されている。
特許文献１に開示されている締付固定装置では、空気流路を形成するケーシングと、該ケーシングの空気流路の断面を仕切って設けられた空気の流通開口を有する取付座と、枠体にフィルタを支持させて形成され取付座の流通開口の上側周縁にガスケットを介して載置されるフィルタユニットと、該フィルタユニットの取付座に押圧させて支持するフィルタ押付具を備えている。
このフィルタ押付具は、フィルタユニットよりも上側のケーシングの内側に第１のヒンジ部を介して連結された第１のアームと、該第１のアームと第２のヒンジ部を介して連結された第２のアームとを有し、該第２のアームをフィルタユニットの上側に当接させた状態で、該第２のアームを、フィルタユニットを下方に押し付けるように斜め下方の部位に締結具を介して締め付け固定する。
【０００３】
また、特許文献２に開示された締付固定装置では、案内面は、流通開口の周縁部に対する高さがフィルタユニットの挿入方向で減少する傾斜面を有し、フィルタユニットが設置される所定位置となる流通開口の周縁部に該フィルタユニットが挿入されるまでは流通開口の周縁部からガスケットが浮いた状態で移動し、フィルタユニットが流通開口の周縁部まで挿入されたときにガスケットが流通開口の周縁部と接するように形成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第４２６４６６２号公報
【特許文献２】特許第４２７７２３１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところが、特許文献１では、フィルタ挿入時にフィルタの下流枠体に貼り付けるガスケットとフィルタフレームの摩擦により、ガスケットが剥がれる可能性がある。ヒンジ部を介してフィルタの締め付けを行うために、ヒンジ部の可動代を厚さ方向に確保する必要があるので、締付固定装置が厚くなってしまう。 また、特許文献２では、フィルタユニットは、前進端位置となる流通開口の周縁部に達したとき、ガスケットはベース面と密着し、フィルタユニットの移動が停止する（特許文献２の図３の点線の位置を参照）。フィルタユニットの移動は、例えば専用のストッパを用いて強制的に静止されることが好ましいと記載されているので、フィルタユニットがストッパに達する前に、ガスケットがベース面と密着した摩擦状態で止まってしまう不具合が起こる可能性がある。ガスケットが途中で止まると、ガスケットが所定箇所にこないのでガスケットの位置にずれが生じてしまうことから、空気のリークの危険が生じる。
【０００６】
この理由としては、図３によると、ガイドレールの最も奥の部分が徐々に傾斜しているため、ガスケットが取付け面の長さ分だけベース面上を移動する必要があるためである。尚、ガスケットがベース面と密着した摩擦状態で無理に移動させると、従来のようにガスケットが剥がれる問題が起こる。しかも、図６によると、ヒンジ部を介してフィルタ締め付けを行うために、厚さ方向にヒンジ部の可動代を確保する必要があるために、締付固定装置が厚くなってしまう。
そこで、本発明は、上記課題を解消するために、フィルタの挿入時にフィルタの下流枠体に貼り付けられたガスケットとフレームとの摩擦を防いで、ガスケットを剥がれにくくすることができるフィルタ装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明のフィルタ装置は、本発明のフィルタ装置は、ケーシング内にフィルタが着脱可能に装着されるフィルタ装置であって、前記フィルタは、前記フィルタの一方の面側に固定されたガスケットと、前記フィルタのフィルタ枠と、前記フィルタ枠の一方の側面に設けられた第１支持部材と、前記フィルタ枠の他方の側面に設けられた第２支持部材を有し、 前記ケーシング内において前記フィルタの前記ガスケットを当接させるための内部フレームと、前記内部フレームに対して前記ガスケットを密着させて固定するための固定部を備え、前記固定部は、前記ケーシング内で前記第１支持部材と前記第２支持部材を支えて前記ガスケットを前記内部フレームから離した状態で前記フィルタをスライドして挿入可能であり、前記フィルタが前記ケーシング内の予め定めた位置まで挿入されると前記フィルタの前記第１支持部材と前記第２支持部材を落とし込んで、前記ガスケットを前記内部フレームに当接させる切欠き部をそれぞれ有する第１スライドガイドと第２スライドガイドと前記ガスケットを前記内部フレームに当接させた状態の前記フィルタを、前記内部フレームに対して着脱可能に固定する固定部材と、を有することを特徴とする。
上記構成によれば、フィルタの挿入時にフィルタの一方の面側である下流枠体に貼り付けられたガスケットとフレームとの摩擦を防いで、フィルタのガスケットを剥がれにくくすることができる。すなわち、フィルタを挿入する時に、ガスケットが内部フレームから離れており、フィルタを移動してもガスケットが剥がれるという問題が生じない。
【０００８】
好ましくは、前記フィルタを前記ケーシング内の前記予め定めた位置に停止させるストッパを有し、前記ストッパにより前記フィルタの挿入が停止すると、前記第１支持部材と前記第２支持部材は前記切欠き部に落とし込まれて前記ガスケットを前記内部フレームに当接させることを特徴とする。
上記構成によれば、フィルタの挿入をストッパで停止させるとともに、フィルタを落とし込んで、フィルタのガスケットを内部フレームに確実に当接させることができる。
【０００９】
好ましくは、前記固定部材は差し込み端部と固定端部を有し、前記差し込み端部を差し込んで保持する固定部材受けと、前記固定部材受けに前記差し込み端部を差し込んだ状態で、前記固定端部を前記内部フレームに着脱可能に固定する固定具とを有することを特徴とする。
上記構成によれば、固定部材の差し込み端部を固定部材受けに差し込んで、固定端部は固定具を用いて内部フレームに固定するだけでよく、フィルタを内部フレームに対して固定する際に、固定部材の上下方向の移動距離が最小限となるので、フィルタ装置の厚みを抑えて薄く形成することができる。
好ましくは、前記固定部材受けと前記ストッパは、一体に形成されていることを特徴とする。
上記構成によれば、固定部材受けとストッパを別々に構成するのに比べて、部品点数を減らすことができる。
好ましくは、前記第１スライドガイドと第２スライドガイドは、前記フィルタを挿入する際に該フィルタを載せて案内するレールを有しており、前記フィルタの挿入が停止すると、前記第１支持部材と前記第２支持部材は前記切欠き部に落とし込まれると、これら前記第１支持部材と前記第２支持部材は下方に移動して前記レールから外れる構成としたことを特徴とする。
好ましくは、前記フィルタを挿入後に、該フィルタの上に掛け渡す固定バーを有しており、該固定バーの奥側一端を前記ストッパ側に挿入し、他端をボルト締めすることにより、前記フィルタの前記ガスケットを前記内部フレームに密着させる構成としたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、フィルタの挿入時にフィルタの下流枠体に貼り付けられたガスケットと、フレームの摩擦を防いで、ガスケットを剥がれにくくすることができ、フィルタ締め付けにともなう締付け固定装置の厚さ増大をおさえることができるフィルタ装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明のフィルタ装置の実施形態を示す斜視図である。
【図２】図１に示すフィルタ装置の内部構造を示す斜視図である。
【図３】フィルタが固定バーにより固定されている状態を示す斜視図である。
【図４】ケーシング内にフィルタが挿入された後に固定される様子を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下に、本発明の好ましい実施形態を、図面を参照して詳しく説明する。
図１は、本発明のフィルタ装置の実施形態を示す斜視図である。図２は、図１に示すフィルタ装置の内部構造を示す斜視図である。
図１と図２に示すフィルタ装置１は、好ましくは半導体製造装置用のケミカルフィルタ、塵埃除去フィルタを有する装置である。フィルタ装置１は、直方体形状を有するケーシング２と、フィルタ３と、送風機４を有している。フィルタ３は、例えば長方形状の板状の部材であり、Ｙ１方向に沿ってケーシング２内に挿入して着脱可能に固定される。ケーシング２は、点検扉５により開口部２Ｐを閉めて密閉した際には、フィルタ３以外には、ケーシング２内を通す気流を逃げないような構造を有する。
【００１３】
図１と図２に示すケーシング２の材質としては、例えばガルバニウム鋼板、メッキ鋼板（亜鉛、アルミ合金）、ステンレスを使用し、無溶接でリベット構造とすることで無塗装とすることができる。
図１に示すように、ケーシング２は、正面部２Ａ、背面部２Ｂ、側面部２Ｃ、２Ｄ、上面部２Ｅ、底面部２Ｆ、そして点検扉５を有している。正面部２Ａと背面部２Ｂは対面し、側面部２Ｃと側面部２Ｄは対面している。上面部２Ｅと底面部２Ｆは対面しており、上面部２Ｅは気流の上流側であり、底面部２Ｆは気流の下流側である。送風機４は、ケーシング２内であって、上面部２Ｅの中央位置のフィンガーガード１６に対応して配置されている。従って、送風機４が回転すると、気流はＺ２方向に流れる。
【００１４】
図１と図２に示すように、ケーシング２の形状は、Ｘ方向を一辺とし、Ｙ方向を他辺とし、Ｚ方向は厚み方向である。ケーシング２内にはフィルタ３が着脱可能に配置される。図１に示すように、ケーシング２の底面部２Ｆ側には塵埃除去フィルタ３０が配置されている。この塵埃除去フィルタ３０の下流側には、図示しないが例えば長方形のアルミニウム製のラス網が設けられている。
フィルタ３は例えばケミカルフィルタであり、フィルタ３は有機、酸、アルカリ等を除去する。塵埃除去フィルタ３０がフィルタ３の下部に配置されている。フィルタ３は、この塵埃除去フィルタ３０に対して気流の上流側に配置されている。塵埃除去フィルタ３０は、例えばＵＰＬＡフィルタである。
【００１５】
図１に示すように、ケーシング２の正面部２Ａには、点検扉５がＸ方向に設けられている。これらの点検扉５は、複数の蝶番１９により、長方形状の開口部２Ｐを開閉可能である。開口部２Ｐは、ケーシング２内の収納空間部２７に通じている。
図１において、ケーシング２内の収納空間部２７内には、新たなフィルタ３を、開口部２Ｐを通じてＹ１方向に沿ってスライドして挿入して収容でき、そして使用済みのフィルタ３を新たなフィルタ３に交換する際には、使用済みのフィルタ３を、開口部２Ｐを通じてＹ２方向に沿ってスライドして取り出すことができるようになっている。
【００１６】
図１に示すように、フィルタ３は、金属製のフィルタ枠２０を有している。フィルタ枠２０は、一方の長方形の開口部２０Ａと他方の長方形の開口部２０Ｂを有している。フィルタ枠２０の下流枠体２１には、ガスケット２２が例えば接着材を用いて貼り付けることにより固定されている。このガスケット２２は、開口部を有する長方形の枠状の部材である。
フィルタ枠２０の第１側面部２３には、第１支持部材２５が例えばリベット接合により固定され、第２側面部２４には、第２支持部材２６が例えば溶接により固定されている。これらの第１支持部材２５と第２支持部材２６は、好ましくは断面Ｌ字型を有する金具であり、Ｘ方向に向けて互いに反対方向に突出して形成されている。第１支持部材２５と第２支持部材２６は、好ましくはガスケット２２から離れたフィルタ枠２０の上面寄りの位置に固定されている。フィルタ枠２０の第３側面部２８には取手Ｗが取り付けられている。
【００１７】
次に、図１と図２と図３を参照して、フィルタ３を固定する固定部４０について説明する。図３は、フィルタ３が、固定部３０の２つの固定バー７１，７２により固定されている状態を示す斜視図である。
図２に示すように、固定部４０は、ケーシング２内にフィルタ３を、スライドして挿入後に、図３に示すようにフィルタ取付用の内部フレーム９０に対して締め付けて固定するために設けられている。図１に示すように固定部４０は、ケーシング２の収納空間部２７内に配置されており、固定部４０は図１では破線で示している。下流枠体としての内部フレーム９０は、長方形の開口部９１を有している。この開口部９１は、フィルタ３のガスケット２２の開口部に対応した形状を有している。
【００１８】
図１と図２に示すように、固定部４０は、第１スライドガイド５１と、第２スライドガイド５２と、ストッパ５３と、固定バー受け６１，６２と、図３に示す２本の固定バー７１，７２を有する。第１スライドガイド５１と第２スライドガイド５２とストッパ５３と固定バー受け６１，６２と固定バー７１，７２は、例えば金属製の部材である。
図１に示すように、第１スライドガイド５１は、ケーシング２内の内部フレーム９０の左側にＹ１方向に沿って固定され、第２スライドガイド５２は、ケーシング２内の内部フレーム９０の右側にＹ１方向に沿って右側に固定されている。第１スライドガイド５１と第２スライドガイド５２は平行である。
第１スライドガイドと第２スライドガイドは、同じ構造であり対をなしている。
第１スライドガイド５１を代表させて説明すると、スライドガイドは長尺であり、断面形状は、横向きでしかも内向きのほぼコ字状であり、上辺が後述する第１または第２の支持部材を載せて摺動させることができるレールとなっている。レール部分の内側端部は直角に下方に短く突出した折り曲げられた部分を有する。
第１スライドガイド５１は、第１切欠き部５１Ｒを有し、第２スライドガイド５２は、第２切欠き部５２Ｒを有している。第１切欠き部５１Ｒと第２切欠き部５２Ｒは、向かい合った位置に形成されており、ストッパ５３寄りであってケーシング２の背面部２Ｂ寄りの位置に形成されている。
第１スライドガイド５１は、フィルタ３の第１支持部材２５を支持してスライドさせながらＹ１方向にガイドして、第１支持部材２５を第１切欠き部５１Ｒに落とし込むための要素であり、第２スライドガイド５２は、フィルタ３の第２支持部材２６を支持してスライドさせながらＹ１方向にガイドして、第２支持部材２６を第２切欠き部５２Ｒに落とし込むための要素である。第１および第２の切欠き部から第１および第２の支持部材が落とし込まれた高さでは、各支持部材は、低い位置に移動し、レールとしての各スライドガイドの上辺とは干渉しないので、フィルタ交換時にフィルタ３の取手Ｗを持って手前に引くと、フィルタ３は第１および第２スライドガイドと当たることなく引き出せる。
【００１９】
図１と図２に示すように、ストッパ５３は、ケーシング２の内部であってケーシング２の背面部２Ｂ寄りの位置において、Ｘ方向に沿って内部フレーム９０に固定されている。ストッパ５３は、図３に示すように、フィルタ３が完全に挿入された状態で、フィルタ３の挿入前端部３Ａが当接されることにより、Ｙ１方向についての位置決めを行うことができる。
図２と図３に示すように、固定バー受け６１，６２は、ストッパ５３と一体的に形成されており、固定バー受け６１，６２はストッパ５３からＺ１方向に平行に突出している。このように、固定バー受け６１，６２とストッパ５３を一体的に形成することにより、部品点数の削減が図れる。
【００２０】
図３に示すように、固定バー７１，７２は折り曲げて形成された帯状の部材であり、フィルタ３を内部フレーム９０に対して締め付けて固定するための固定具である。固定バー７１，７２の一端部は固定端部７１Ａ，７２Ａであり、固定バー７１，７２の他端部は固定バー受け６１，６２に差し込まれる差し込み端部７１Ｂ、７２Ｂである。固定端部７１Ａ，７２Ａは、固定部材としての例えばねじ７７を用いて、内部フレーム９０に対して固定されている。固定端部７１Ａ，７２Ａは、固定部材としての例えばねじ７７を用いて内部フレーム９０に固定されている。しかも、固定バー７１，７２の差し込み端部７１Ｂ、７２Ｂが固定バー受け６１，６２にそれぞれ差し込まれた状態では、固定バー７１，７２の折り曲げ部分７１Ｃ、７２Ｃの部分と、差し込み端部７１Ｂ、７２Ｂの位置には、フィルタ３の枠部２０Ｈが介在されている。
【００２１】
次に、図１から図４を参照して、上述したフィルタ装置１のケーシング２内に、フィルタ３を挿入して固定する操作と、さらに使用済みのフィルタ３を新しいフィルタ３に交換する操作について順に説明する。
図４は、ケーシング２内にフィルタ３が挿入された後に、フィルタ３が内部フレーム９０に対して固定される様子を示す図である。
まず、ケーシング２内に、フィルタ３をスライドして挿入して固定する操作を説明する。
作業者が図１の点検扉５を開くと、図１のフィルタ３は開口部２Ｐを通じて図１のケーシング２内に、Ｙ１方向に沿ってスライドしながら挿入して固定できる。すなわち、図２と図４（Ａ）に示すように、作業者がフィルタ３の第１支持部材２５と第２支持部材２６を、それぞれ対応する第１スライドガイド５１と第２スライドガイド５２の上に載せた状態にして、フィルタ３をＹ１方向にスライドさせる。
【００２２】
作業者がフィルタ３をＹ１方向に押すと、図３と図４（Ａ）に示すように、フィルタ３の挿入前端部３Ａがストッパ５３に突き当たることで、フィルタ３のＹ１方向に関する位置決めが行われる。しかも、図２と図４（Ｂ）に示すように、フィルタ３の挿入前端部３Ａがストッパ５３に突き当たると、フィルタ３の第１支持部材２５と第２支持部材２６が、第１スライドガイド５１の第１切欠き部５１Ｒと第２スライドガイド５２の第２切欠き部５２Ｒにそれぞれ落ち込む。これにより、フィルタ３の下面側のガスケット２２は、内部フレーム９０に対して当接され、フィルタ３は内部フレーム９０の開口部９１に対面する。
【００２３】
次に、上述のようにして，ストッパ５３がフィルタ３をＹ１方向に関して位置決めをし、しかも、フィルタ３のガスケット２２が内部フレーム９０に対して当接され、フィルタ３は開口部９１に対面した状態で、図３と図４（Ｃ）に示すように、フィルタ３を２本の固定バー７１，７２を用いて固定する。すなわち、差し込み端部７１Ｂ、７２Ｂが固定バー受け６１，６２に差し込まれた後、固定バー７１，７２の固定端部７１Ａ，７２Ａはそれぞれねじ７７を用いて内部フレーム９０に固定される。これにより、フィルタ３は、内部フレーム９０からＺ１方向に浮かないように、しかもＹ２方向とＸ方向にも移動しないように、内部フレーム９０に対して締め付けて固定することができる。
【００２４】
このようにしてフィルタ３をケーシング２内に挿入して内部フレーム９０に対して締め付けて固定するので、次のような効果がある。
フィルタ３が、フィルタ３の第１支持部材２５と第２支持部材２６を用いて対応する第１スライドガイド５１と第２スライドガイド５２の上に載せた状態にして、作業者がフィルタ３の取手Ｗを持ってフィルタ３をＹ１方向に押す。フィルタ３の挿入前端部３Ａがストッパ５３に突き当たることでフィルタ３のＹ１方向に関する位置決めでき、しかもフィルタ３の第１支持部材２５と第２支持部材２６が、第１スライドガイド５１の第１切欠き部５１Ｒに落ち込むとともに第２スライドガイド５２の第２切欠き部５２Ｒに落ち込むようになっている。
【００２５】
このため、フィルタ３が挿入されるときに、ガスケット２２が内部フレーム９０から離れており、ガスケット２２が内部フレーム９０に触れることが全く無いので、ガスケット２２がフィルタ３から剥がれてしまうことが無い。フィルタ３の挿入時にフィルタ３の下流枠体に貼り付けられたガスケット２２と、フレーム３との摩擦を防いで、フィルタ３のガスケット２２を剥がれなくなる。従って、フィルタ３は簡単にケーシング２内に挿入して位置決めすることができる。
フィルタ３が固定バー７１，７２により締め付けて固定されるので、ガスケット２２は、内部フレーム９０に対して密着して保持でき、仮にガスケット２２が収縮することがあっても、ガスケット２２と内部フレーム９０との間から、気流がリークするのを防ぐことができる。さらに運転時や他の装置からの振動により、ガスケット２２が内部フレーム９０に対して位置ずれしてしまうのを防ぐことができる。
【００２６】
また、固定バー７１，７２は、それぞれケーシング２内へフィルタ３に沿ってＹ１方向に挿入して、差し込み端部７１Ｂ、７２Ｂを固定バー受け６１，６２に差し込み、そして固定端部７１Ａ，７２Ａを、ねじ７７を用いて内部フレーム９０に固定することにより、締付け用の固定バー７１，７２はＹ１方向にフィルタ３に沿って差し込めばよく、Ｚ１、Ｚ２方向に向けて差し込む必要がない。このため、締付け用の固定バー７１，７２の上下方向への移動距離（占有距離）を最小限にすることができるので、ケーシング２のＺ１、Ｚ２方向、すなわち上下方向に関するケーシング２の厚みを最小限に薄くすることができる。締付け用の固定バー７１，７２は薄板状部材であり、固定バー７１，７２の形状は、フィルタ３の外形形状に沿って形成できるので、ケーシング２の上下方向の厚みを最小限にすることができる。すなわち、フィルタ３をケーシング２内で締め付けるための締め付け機構に起因する厚さ方向の寸法増を最小限に抑えることができる。
【００２７】
次に、フィルタ３の交換操作について説明する。
使用済みのフィルタ３を新しいフィルタ３に交換する場合には、ケーシング２内に固定されている使用済みのフィルタ３をケーシング２内から取り出す作業を行う。
作業者が図１に示す点検扉５を開けて、図４（Ｃ）に示すねじ７７を外して２本の固定バー７１，７２をＹ２方向に取り出す。そして、作業者がフィルタ３の取手Ｗを持って、フィルタ３をＹ２方向に沿って手前に取り出すことができる。
【００２８】
本発明のフィルタ装置は、ケーシング内のフィルタが着脱可能に装着されるフィルタ装置であって、フィルタは、フィルタの一方の面側に固定されたガスケットと、フィルタのフィルタ枠と、フィルタ枠の一方の側面に設けられた第１支持部材と、フィルタ枠の他方の側面に設けられた第２支持部材を有し、ケーシング内においてフィルタのガスケットを当接させるための内部フレームと、内部フレームに対してガスケットを密着させて固定するための固定部を備え、この固定部は、ケーシング内で第１支持部材と第２支持部材を支えてガスケットを内部フレームから離した状態でフィルタをスライドして案内可能であり、フィルタがケーシング内の予め定めた位置まで挿入されるとフィルタの第１支持部材と第２支持部材を落とし込んで、ガスケットを内部フレームに当接させる切欠き部を有する第１スライドガイドと第２スライドガイドと、ガスケットを内部フレームに当接させた状態のフィルタを、内部フレームに対して着脱可能に固定する板状の固定部材と、を有する。
これにより、フィルタの挿入時にフィルタの一方の面側である下流枠体に貼り付けられたガスケットと、フレームとの摩擦を防いで、フィルタのガスケットを剥がれにくくすることができる。すなわち、フィルタを挿入する時に、ガスケットが内部フレームから離れており、フィルタを移動してもガスケットが剥がれるという問題が生じない。
【００２９】
本発明の実施形態では、フィルタをケーシング内の予め定めた位置に停止させるストッパを有し、第１支持部材と第２支持部材は、ストッパによりフィルタの挿入が停止すると切欠き部に落とし込んで、ガスケットを内部フレームに当接させるようになっている。
これにより、フィルタの挿入をストッパで停止させるとともに、フィルタを落とし込まれて、フィルタのガスケットを内部フレームに確実に当接させることができる。
【００３０】
また、固定部材は差し込み端部と固定端部を有し、差し込み端部を差し込んで保持する固定部材受けと、固定部材受けに差し込み端部を差し込んだ状態で、固定端部を内部フレームに着脱可能に固定する固定具とを有する。
これにより、固定部材の差し込み端部を固定部材受けに差し込んで、固定端部は固定具を用いて内部フレームに固定するだけでよく、フィルタを内部フレームに対して固定する際に、固定部材の上下方向の移動距離が最小限となるので、フィルタ装置の厚みを抑えて薄く形成することができる。
また、固定部材受けとストッパは、一体に形成されていることを特徴とする。これにより、固定部材受けとストッパを別々に構成するのに比べて、部品点数を減らすことができる。なお、後述の実施形態では、「固定部材」は「帯状」のものとして説明したが、これに限らず、棒状のものでも網目状のもの等、フィルタを固定する機能を発揮するものなら種々の物が使用できる。
【００３１】
本発明のフィルタ装置の実施形態で使用される点検扉５、ケーシング２等の部品の材質としては、例えばガルバニウム鋼板、メッキ鋼板（亜鉛、アルミ合金）、ステンレスを使用し、無溶接でリベット構造とすることで無塗装とすることができる。
【００３２】
次に、本発明を実施するための最良の一形態ついて使用材料を説明する。
本発明は、使用材料に特徴があるわけではないので、記載していないものでも使用することができる。
ケミカルフィルタは、活性炭粒状、活性炭素繊維などの物理吸着による有機系ガス除去フィルタ、添着活性炭粒状、強酸性陽イオン交換樹脂の粒状、繊維状などの化学吸着による酸性ガス除去フィルタ、添着活性炭粒状、弱塩基性陰イオン交換樹脂の粒状、繊維状などの化学吸着によるアルカリガス除去フィルタの一種あるいはその複数を積層したり、平面分割したりした組合せで使用することができる。特に、ケミカルフィルタは、薄型低圧損という観点からすると、活性炭粒状あるいはイオン交換樹脂を不織布でサンドイッチした構造の濾材をジグザグ状に折り畳んだものが好ましい。
【００３３】
塵埃除去フィルタは、ガラス繊維不織布、エレクトレット不織布、ＰＴＦＥ膜等からなる濾材をジグザグ状に折り畳み、セパレータあるいは樹脂リボンで間隔保持して、フィルタ枠にウレタン樹脂等の気密剤で気密固化した塵埃除去フィルタを使用することができる。特に、塵埃除去フィルタは、ボロン、有機ガス等の発生が少ない低発ガスのという観点からするとＰＴＦＥ膜濾材のフィルタが好ましい。
ファンは、軸流ファン、斜流ファン、遠心ファン、シロッコファンなどを使用することができる。特に、薄型、軽量化などの観点からすると、軸流ファンが好ましい。ガスケットは、クロロプレン樹脂、ＥＰＤＭ樹脂などを使用することができる。特に、ガスケットは、発ガス性などの観点からすると、ＥＰＤＭ樹脂が好ましい。
【００３４】
本発明のフィルタ装置の実施形態で使用するガスケットの一例であるガスケットは、通常使用される単独気泡タイプのクロロプレンゴムなど使用できる押し付けの際にはガスケットとフィルタの取り付け枠との間の気密性が確保できる。
【符号の説明】
【００３５】
１・・・フィルタ装置、２・・・ケーシング、３・・・フィルタ、４・・・送風機、５・・・点検扉（扉の一例）、２０…フィルタ枠、２２・・・ガスケット、２５・・・第１支持部材、２６・・・第２支持部材、４０・・・固定部、５１・・・第１スライドガイド、５２・・・第２スライドガイド、６１，６２・・・固定バー受け、７１，７２・・・固定バー（固定部材）、９０・・・内部フレーム
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ケーシング内にフィルタが着脱可能に装着されるフィルタ装置であって、
前記フィルタは、前記フィルタの一方の面側に固定されたガスケットと、前記フィルタのフィルタ枠と、前記フィルタ枠の一方の側面に設けられた第１支持部材と、前記フィルタ枠の他方の側面に設けられた第２支持部材を有し、
前記ケーシング内において前記フィルタの前記ガスケットを当接させるための内部フレームと、
前記内部フレームに対して前記ガスケットを密着させて固定するための固定部を備え、
前記固定部は、
前記ケーシング内で前記第１支持部材と前記第２支持部材を支えて前記ガスケットを前記内部フレームから離した状態で前記フィルタをスライドして挿入可能であり、前記フィルタが前記ケーシング内の予め定めた位置まで挿入されると前記フィルタの前記第１支持部材と前記第２支持部材を落とし込んで、前記ガスケットを前記内部フレームに当接させる切欠き部をそれぞれ有する第１スライドガイドと第２スライドガイドと、
前記ガスケットを前記内部フレームに当接させた状態の前記フィルタを、前記内部フレームに対して着脱可能に固定する固定部材と、 を有することを特徴とするフィルタ装置。
【請求項２】
前記フィルタを前記ケーシング内の前記予め定めた位置に停止させるストッパを有し、前記ストッパにより前記フィルタの挿入が停止すると、前記第１支持部材と前記第２支持部材は前記切欠き部に落とし込まれて前記ガスケットを前記内部フレームに当接させることを特徴とする請求項１に記載のフィルタ装置。
【請求項３】
前記固定部材は差し込み端部と固定端部を有し、
前記差し込み端部を差し込んで保持する固定部材受けと、
前記固定部材受けに前記差し込み端部を差し込んだ状態で、前記固定端部を前記内部フレームに着脱可能に固定する固定具と
を有することを特徴とする請求項１または請求項２のいずれかに記載のフィルタ装置。
【請求項４】
前記固定部材受けと前記ストッパは、一体に形成されていることを特徴とする請求項３に記載のフィルタ装置。
【請求項５】
前記第１スライドガイドと第２スライドガイドは、前記フィルタを挿入する際に該フィルタを載せて案内するレールを有しており、前記フィルタの挿入が停止すると、前記第１支持部材と前記第２支持部材は前記切欠き部に落とし込まれると、これら前記第１支持部材と前記第２支持部材は下方に移動して前記レールから外れる構成としたことを特徴とする請求項２ないし４のいずれかに記載のフィルタ装置。
【請求項６】
前記フィルタを挿入後に、該フィルタの上に掛け渡す固定バーを有しており、該固定バーの奥側一端を前記ストッパ側に挿入し、他端をボルト締めすることにより、前記フィルタの前記ガスケットを前記内部フレームに密着させる構成としたことを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載のフィルタ装置。
【請求項１】
ケーシング内にフィルタが着脱可能に装着されるフィルタ装置であって、
前記フィルタは、前記フィルタの一方の面側に固定されたガスケットと、前記フィルタのフィルタ枠と、前記フィルタ枠の一方の側面に設けられた第１支持部材と、前記フィルタ枠の他方の側面に設けられた第２支持部材を有し、
前記ケーシング内において前記フィルタの前記ガスケットを当接させるための内部フレームと、
前記内部フレームに対して前記ガスケットを密着させて固定するための固定部を備え、
前記固定部は、
前記ケーシング内で前記第１支持部材と前記第２支持部材を支えて前記ガスケットを前記内部フレームから離した状態で前記フィルタをスライドして挿入可能であり、前記フィルタが前記ケーシング内の予め定めた位置まで挿入されると前記フィルタの前記第１支持部材と前記第２支持部材を落とし込んで、前記ガスケットを前記内部フレームに当接させる切欠き部をそれぞれ有する第１スライドガイドと第２スライドガイドと、
前記ガスケットを前記内部フレームに当接させた状態の前記フィルタを、前記内部フレームに対して着脱可能に固定する固定部材と、 を有することを特徴とするフィルタ装置。
【請求項２】
前記フィルタを前記ケーシング内の前記予め定めた位置に停止させるストッパを有し、前記ストッパにより前記フィルタの挿入が停止すると、前記第１支持部材と前記第２支持部材は前記切欠き部に落とし込まれて前記ガスケットを前記内部フレームに当接させることを特徴とする請求項１に記載のフィルタ装置。
【請求項３】
前記固定部材は差し込み端部と固定端部を有し、
前記差し込み端部を差し込んで保持する固定部材受けと、
前記固定部材受けに前記差し込み端部を差し込んだ状態で、前記固定端部を前記内部フレームに着脱可能に固定する固定具と
を有することを特徴とする請求項１または請求項２のいずれかに記載のフィルタ装置。
【請求項４】
前記固定部材受けと前記ストッパは、一体に形成されていることを特徴とする請求項３に記載のフィルタ装置。
【請求項５】
前記第１スライドガイドと第２スライドガイドは、前記フィルタを挿入する際に該フィルタを載せて案内するレールを有しており、前記フィルタの挿入が停止すると、前記第１支持部材と前記第２支持部材は前記切欠き部に落とし込まれると、これら前記第１支持部材と前記第２支持部材は下方に移動して前記レールから外れる構成としたことを特徴とする請求項２ないし４のいずれかに記載のフィルタ装置。
【請求項６】
前記フィルタを挿入後に、該フィルタの上に掛け渡す固定バーを有しており、該固定バーの奥側一端を前記ストッパ側に挿入し、他端をボルト締めすることにより、前記フィルタの前記ガスケットを前記内部フレームに密着させる構成としたことを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載のフィルタ装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図２】
【図３】
【図４】
【公開番号】特開２０１１−２０６７５２（Ｐ２０１１−２０６７５２Ａ）
【公開日】平成２３年１０月２０日（２０１１．１０．２０）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１０−７９８９７（Ｐ２０１０−７９８９７）
【出願日】平成２２年３月３０日（２０１０．３．３０）
【出願人】（０００２１９９６７）東京エレクトロン株式会社 (5,184)
【出願人】（０００２３２７６０）日本無機株式会社 (104)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２３年１０月２０日（２０１１．１０．２０）
【国際特許分類】
【出願日】平成２２年３月３０日（２０１０．３．３０）
【出願人】（０００２１９９６７）東京エレクトロン株式会社 (5,184)
【出願人】（０００２３２７６０）日本無機株式会社 (104)
【Ｆターム（参考）】
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