フィルムの表面処理方法及び装置並びに偏光板の製造方法
【課題】オレフィン系モノマー重合フィルムの接着性を確実に向上させる。
【解決手段】モノマー供給系２によって、水溶性モノマー及びオレフィン系モノマーを含むモノマー混合ガスをオレフィン系モノマー重合フィルム１１に吹き付け接触させる。上記２種類のモノマーは、好ましくは互いに混合させずにフィルム１１の近傍まで導いて混合する。凝縮手段５６によって、モノマー混合ガス中の水溶性モノマー及びオレフィン系モノマーをフィルム１１の表面上で凝縮させる。凝縮の後、プラズマ照射手段４によってフィルム１１に大気圧近傍プラズマを照射する。上記モノマー混合ガス中のオレフィン系モノマーの体積濃度を水溶性モノマーの体積濃度の１．１倍以上とする。
【解決手段】モノマー供給系２によって、水溶性モノマー及びオレフィン系モノマーを含むモノマー混合ガスをオレフィン系モノマー重合フィルム１１に吹き付け接触させる。上記２種類のモノマーは、好ましくは互いに混合させずにフィルム１１の近傍まで導いて混合する。凝縮手段５６によって、モノマー混合ガス中の水溶性モノマー及びオレフィン系モノマーをフィルム１１の表面上で凝縮させる。凝縮の後、プラズマ照射手段４によってフィルム１１に大気圧近傍プラズマを照射する。上記モノマー混合ガス中のオレフィン系モノマーの体積濃度を水溶性モノマーの体積濃度の１．１倍以上とする。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、樹脂フィルムの表面を処理する方法及び装置、並びに偏光板の製造方法に関し、特に、オレフィン系モノマー重合フィルムに他の樹脂フィルムを接着するに際して上記オレフィン系モノマー重合フィルムに対して行なう表面処理方法等に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、液晶表示装置には、偏光板が組み込まれている。典型的な偏光板は、トリアセテートセルロース（ＴＡＣ）を主成分とするＴＡＣフィルム、ポリビニルアルコール（ＰＶＡ）系の接着剤（以下「ＰＶＡ接着剤」と称す）、ＰＶＡからなる偏光子（以下「ＰＶＡ偏光子」と称す）、ＰＶＡ接着剤、ＴＡＣフィルムの順に積層されている。ＴＡＣフィルムは、保護フィルムとしての機能を有する。
【０００３】
最近では、ポリプロピレン（ＰＰ）、シクロオレフィンポリマー（ＣＯＰ）等からなるオレフィン系モノマー重合フィルム、ＰＶＡ接着剤、ＰＶＡ偏光子、ＰＶＡ接着剤、ＴＡＣフィルムの順に積層された偏光板も登場している。ＰＰフィルムは、廉価タイプの偏光板に用いられている。ＣＯＰフィルムは、光学特性の優れたグレードの偏光板に用いられている。さらに、ＣＯＰフィルムを延伸したＣＯＰ延伸フィルム、ＰＶＡ接着剤、ＰＶＡ偏光子、ＰＶＡ接着剤、ＴＡＣフィルムの順に積層された高機能タイプの偏光板も知られている。ＣＯＰ延伸フィルムは、保護フィルムと位相差フィルムの両方の機能を有する。
【０００４】
ＴＡＣフィルムは、鹸化処理により接着性を改善できる。しかし、ＰＰフィルムやＣＯＰフィルムは、鹸化処理をしても接着性が向上しない。
そこで、特許文献１では、ノルボルネンからなるＣＯＰ延伸フィルムに大気圧プラズマを照射している。
特許文献２では、保護フィルムの表面に重合性モノマーをスプレー塗布して薄膜を形成した後、酸素及び窒素の混合ガス等の雰囲気下で大気圧プラズマを照射している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特許第４０２０６１７号公報
【特許文献２】特開２００９−２５６０４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１では、ＣＯＰ延伸フィルムの親水性が高くなり、接着剤の塗布性が向上しているものと考えられるが、接着性そのものの向上効果は低い。
特許文献２では、重合性モノマーとして水酸基、カルボニル基、カルボキシル基、エポキシ基から選ばれる極性置換基を有する化合物（例えばヒドロキシエチルメタクリレート（ＨＥＭＡ））を用いているが、それだけではＰＰやＣＯＰ等からなるオレフィン系モノマー重合フィルムとの相容性が十分でなく、接着性が向上しない。また、スプレー塗布された重合性モノマーは、均一な薄膜になりにくく、処理の均一性が十分でない。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、オレフィン系モノマー重合フィルムの表面を処理する表面処理方法であって、
水溶性モノマー及びオレフィン系モノマーを含むモノマー混合ガスを前記オレフィン系モノマー重合フィルムに接触させる接触工程と、
前記モノマー混合ガス中の水溶性モノマー及びオレフィン系モノマーを前記オレフィン系モノマー重合フィルムの表面上で凝縮させる凝縮工程と、
前記凝縮工程の後、前記オレフィン系モノマー重合フィルムに大気圧近傍プラズマを照射するプラズマ照射工程と、
を備え、前記モノマー混合ガス中のオレフィン系モノマーの体積濃度が、水溶性モノマーの体積濃度の１．１倍以上であることを特徴とする。
【０００８】
前記接触工程及び凝縮工程によって、オレフィン系モノマー重合フィルムの表面に水溶性モノマー及びオレフィン系モノマーの液化層を形成できる。水溶性モノマー及びオレフィン系モノマーは混合ガス状態から液化されたものであるから、分子レベルで均一に混合されている。モノマー混合ガス中のオレフィン系モノマーの体積濃度を水溶性モノマーの体積濃度の１．１倍以上とすることによって、水溶性モノマーの性質を抑えて液化層のオレフィン系モノマー重合フィルムとの相容性を良好にすることができる。続いて、プラズマ照射工程により、オレフィン系モノマー重合フィルムの表面が活性化されるとともに液化層の水溶性モノマー及びオレフィン系モノマーが活性化され、オレフィン系モノマー重合フィルムの表面に水溶性モノマー及びオレフィン系モノマーがグラフト共重合して接着性促進層が形成される。具体的には、オレフィン系モノマー重合フィルムの表面分子のＣ−Ｈ結合がプラズマガスとの接触やプラズマ光の照射により切断され、この結合切断部に水溶性モノマー及びオレフィン系モノマーがグラフト共重合されるものと考えられる。液化層は水溶性モノマー及びオレフィン系モノマーが分子レベルで均一に混合されているから、共重合反応を効率良く進行させることができる。プラズマ照射を、モノマー混合ガスの吹き付けと同時ではなく凝縮後に行なうことによって、水溶性モノマー及びオレフィン系モノマーの共重合や各モノマーの重合が気相中で開始されるのを防止でき、極性を有するオリゴマー又はポリマーが気相中で形成されるのを防止できる。したがって、オレフィン系モノマー重合フィルムの表面上で水溶性モノマー及びオレフィン系モノマーを確実にグラフト共重合させることができ、オレフィン系モノマー重合フィルムの表面に接着性促進層を確実に形成できる。接着性促進層は、非極性のオレフィン系モノマーの濃度を水溶性モノマーの体積濃度の１．１倍以上としてグラフト共重合させたものであるから、非極性のオレフィン系モノマー重合フィルムとの相容性が高い。かつ接着性促進層は、水溶性モノマーに由来する極性を有し、ＰＶＡ等の極性を有する成分からなる接着剤やフィルム等との相容性が高い。この結果、オレフィン系モノマー重合フィルムの接着性を高めることができる。
【０００９】
モノマー混合ガス中のオレフィン系モノマーの体積濃度の上限は、水溶性モノマーの１０．０倍程度が好ましい。それ以上になると、水溶性モノマーの濃度が低くなりすぎ、偏光子等の接着する相手側との相容性が低下し、結果的に接着力が低下する。モノマー混合ガス中のオレフィン系モノマーの体積濃度のより好ましい範囲は、水溶性モノマーの体積濃度の１．４倍以上４倍未満である。
【００１０】
上記のフィルム表面処理方法が、前記水溶性モノマーをガス状態で前記オレフィン系モノマー重合フィルムの近傍まで導く水溶性モノマー供給工程と、前記オレフィン系モノマーをガス状態で、かつ前記水溶性モノマーと混合させることなく前記オレフィン系モノマー重合フィルムの近傍まで導くオレフィン系モノマー供給工程と、前記水溶性モノマー及び前記オレフィン系モノマーどうしを前記接触工程の直前で互いに混合して前記モノマー混合ガスを得る混合工程と、を更に備えることが好ましい。
【００１１】
異種のモノマーガスどうしを供給途中に混合しないようにすることで、供給配管が閉塞したりモノマーどうしの混合比が変動したりするのを防止でき、接着性を安定させることができる。混合工程における水溶性モノマー及びオレフィン系モノマーはガス状態であるから、分子レベルで均一に混合することができる。続く凝縮工程では、分子レベルで均一に混合した液化層を確実に形成でき、更にプラズマ照射工程では、共重合反応を効率良く進行させることができる。
前記水溶性モノマー供給工程における前記「近傍」の位置から前記オレフィン系モノマー重合フィルムの表面までの距離は、好ましくは０ｍｍ〜１００ｍｍ程度である。前記オレフィン系モノマー供給工程における前記「近傍」の位置から前記オレフィン系モノマー重合フィルムの表面までの距離は、好ましくは０ｍｍ〜１００ｍｍ程度である。前記混合工程における前記「直前」から前記接触工程までの時間は、好ましくは０ｓｅｃ〜５ｓｅｃ程度である。
【００１２】
前記モノマー混合ガス中のオレフィン系モノマーとは、二重結合を有しかつ極性官能基を持たない不飽和炭化水素であり、直鎖状でもよく環状でもよく、二重結合の数は１つでもよく２つ以上でもよい。好ましくは、オレフィン系モノマーとして室温付近で液体であり、かつガス化が容易なものを用いる。オレフィン系モノマーの炭素数は５以上８以下が好ましい。
具体的には、直鎖状のオレフィン系モノマーとしては、１−ペンテン、１−ヘキセン、１−ヘプテン、１−オクテン等が挙げられる。直鎖の末端に二重結合があるものが好ましいが、特にこれに限定されるものではない。
環状のオレフィン系モノマーとしては、１−シクロペンテン、１−シクロヘキセン、１−シクロヘプテン、１−シクロオクテンの他、シクロペンタジエン、ジシクロペンタジエン（ＤＣＰＤ）等の環状ジエンが挙げられる。
前記モノマー混合ガスのオレフィン系モノマーは、好ましくは環状ジエンであり、特にシクロペンタジエン、又はジシクロペンタジエンであることが好ましい。これにより、液化層ひいては接着促進層のオレフィン系モノマー重合フィルムとの相容性を高めることができ、特にシクロオレフィンポリマー（ＣＯＰ）からなるフィルムとの相容性を高めることができる。しかも、環状ジエンは、Ｄｉｅｌｓ−ａｌｄｅｒ反応などにより重合性が高く、水溶性モノマーと共重合しやすい。
【００１３】
前記水溶性モノマーは、アルデヒド基、カルボキシル基、又は水酸基を有するモノマーであることが好ましい。これにより、ＰＶＡ等の極性を有する成分からなる接着剤や、偏光子等の被接着部材との相容性を高めることができる。具体的には、水溶性モノマーとして、アセトアルデヒド、ビニルアルコール、アクリル酸（ＡＡ）、メタクリル酸、スチレンスルホン酸、アクリルアミド、メタクリルアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノプロピルアクリルアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアミド等が挙げられる。特に、水溶性モノマーとしては、アセトアルデヒド、又はアクリル酸が好ましい。 アセトアルデヒドは、ビニルアルコールとケト−エノール互変異性体を構成し、ビニルアルコールと共存する化合物である。したがって、ビニルアルコール系の接着剤や偏光子等との相容性を高くすることができる。
【００１４】
前記オレフィン系モノマー重合フィルムは、オレフィン系モノマーを重合（共重合を含む）させたオレフィン系モノマー重合体を主成分とするフィルムである。前記オレフィン系モノマー重合体として、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリスチレンの他、シクロオレフィンポリマー（ＣＯＰ）が挙げられ、これらの共重合体でもよく、例えばポリエチレンとシクロオレフィンポリマーとの共重合体からなるシクロオレフィンコポリマー（ＣＯＣ）でもよい。光学特性の観点からは、前記オレフィン系モノマー重合フィルムが、シクロオレフィンポリマー（ＣＯＰ）を含むことが好ましい。シクロオレフィンポリマーのフィルムは、例えばシクロペンダジエン等を主成分として含む。したがって、モノマー混合ガス中のオレフィン系モノマーとしてシクロペンダジエン等の環状ジエンを用いることにより、オレフィン系モノマー重合フィルムとモノマー混合ガス中のオレフィン系モノマーとの相容性を高くすることができる。
オレフィン系モノマー重合フィルムの重合体を構成するオレフィン系モノマーとモノマー混合ガス中のオレフィン系モノマーとは、同一のモノマーであってもよく、互いに異なるモノマーであってもよい。
【００１５】
本発明に係る偏光板の製造方法は、上記の表面処理方法にて表面処理したオレフィン系モノマー重合フィルムを保護フィルム又は位相差フィルムとして透明な接着剤を介して偏光子と接着することを特徴とする。
上記表面処理によりオレフィン系モノマー重合フィルムからなる保護フィルム又は位相差フィルムの接着性を高めて偏光子と強固に接着することができ、良品質の偏光板を製造することができる。
【００１６】
本発明に係る表面処理装置は、オレフィン系モノマー重合フィルムの表面を処理する表面処理装置であって、
前記オレフィン系モノマー重合フィルムを支持する支持手段と、
水溶性モノマー及びオレフィン系モノマーを含むモノマー混合ガスを、オレフィン系モノマーの体積濃度が水溶性モノマーの体積濃度の１．１倍以上になるよう調節して前記オレフィン系モノマー重合フィルムに接触させるモノマー供給系と、
前記モノマー混合ガス中の水溶性モノマー及びオレフィン系モノマーを前記オレフィン系モノマー重合フィルムの表面上で凝縮させる凝縮手段と、
前記凝縮手段を経た前記オレフィン系モノマー重合フィルムに大気圧近傍プラズマを照射するプラズマ照射手段と、
を備えたことを特徴とする。
【００１７】
前記モノマー供給系及び凝縮手段によって、オレフィン系モノマー重合フィルムの表面に水溶性モノマー及びオレフィン系モノマーの液化層を形成できる。モノマー混合ガス中のオレフィン系モノマーの体積濃度を水溶性モノマーの体積濃度の１．１倍以上とすることによって、水溶性モノマーの性質を抑え、液化層のオレフィン系モノマー重合フィルムとの相容性を良好にすることができる。プラズマ照射手段により、オレフィン系モノマー重合フィルムの表面を活性化できるとともに液化層の水溶性モノマー及びオレフィン系モノマーを活性化でき、オレフィン系モノマー重合フィルムの表面に水溶性モノマー及びオレフィン系モノマーがグラフト共重合して接着性促進層を形成できる。水溶性モノマー及びオレフィン系モノマーを混合ガス状態から液化させることで、分子レベルで均一に混合でき、共重合反応を効率良く進行させることができる。凝縮手段を経たオレフィン系モノマー重合フィルムにプラズマ照射することによって、水溶性モノマー及びオレフィン系モノマーの共重合や各モノマーの重合が気相中で開始されるのを防止でき、極性を有するオリゴマー又はポリマーが気相中で形成されるのを防止できる。そして、オレフィン系モノマー重合フィルムの表面上で水溶性モノマー及びオレフィン系モノマーを確実にグラフト共重合させることができ、オレフィン系モノマー重合フィルムの表面に接着性促進層を確実に形成できる。接着性促進層は、非極性のオレフィン系モノマーの濃度を水溶性モノマーの体積濃度の１．１倍以上としてグラフト共重合させたものであるから、非極性のオレフィン系モノマー重合フィルムとの相容性が高く、かつ水溶性モノマーに由来する極性を有し、ＰＶＡ等の極性を有する成分からなる接着剤やフィルム等との相容性が高い。この結果、オレフィン系モノマー重合フィルムの接着性を高めることができる。
前記凝縮手段は、例えば前記オレフィン系重合フィルムや処理雰囲気の温調手段を含む。前記オレフィン系重合フィルムの温調手段は、例えば前記オレフィン系重合フィルムの支持手段に設けられた温調媒体流路を含む。前記凝縮手段又は前記温調手段としてヒートポンプ、電気−熱変換素子等を用いてもよい。
【００１８】
ここで、大気圧近傍とは、１．０１３×１０４〜５０．６６３×１０４Ｐａの範囲を言い、圧力調整の容易化や装置構成の簡便化を考慮すると、１．３３３×１０４〜１０．６６４×１０４Ｐａが好ましく、９．３３１×１０４〜１０．３９７×１０４Ｐａがより好ましい。大気圧近傍プラズマの雰囲気ガスは、ＨｅやＡｒなどの希ガス、窒素、酸素または空気であることが好ましい。特に、上記雰囲気ガス成分のほぼ全部をＡｒ又は窒素とすると、オレフィン系重合フィルムのプラズマ処理領域の接着性が均一的に高くなるのでより好ましい。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、オレフィン系モノマー重合フィルムの接着性を確実に向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の第１実施形態に係る表面処理装置を概略的に示す正面図である。
【図２】本発明の第２実施形態に係る表面処理装置を概略的に示す正面図である。
【図３】偏光板の断面図である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、本発明の実施形態を、図面を参照して説明する。
図３は、液晶表示装置等に用いられる偏光板１０を示したものである。偏光板１０は、保護フィルム１１と、接着剤１２と、偏光子１３と、接着剤１４と、保護フィルム１５を順次積層してなる。保護フィルム１１は、オレフィン系モノマーの重合体を主成分とするオレフィン系モノマー重合フィルムにて構成されている。ここでは、オレフィン系モノマー重合体として、シクロオレフィンポリマー（ＣＯＰ）が用いられている。以下、保護フィルム１１を適宜「オレフィン系モノマー重合フィルム１１」又は「ＣＯＰフィルム１１」と表記する。フィルム１１の厚さには、特に限定がなく、例えば数十μｍ〜百数十μｍである。ＣＯＰフィルム１１は、延伸されていてもよい。延伸されたＣＯＰフィルム１１は、保護フィルムとしてだけでなく、位相差フィルムとしても機能する。
【００２２】
フィルム１１を構成するオレフィン系モノマー重合体は、ＣＯＰに限られず、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリスチレンであってもよく、これらの共重合体であってもよい。フィルム１１が、シクロオレフィンコポリマー（ＣＯＣ）を主成分とするＣＯＣフィルムにて構成されていてもよい。
【００２３】
偏光子１３は、ポリビニルアルコール（ＰＶＡ）を主成分とするＰＶＡフィルムにて構成されている。
【００２４】
保護フィルム１５は、トリアセテートセルロース（ＴＡＣ）を主成分とするＴＡＣフィルムにて構成されている。以下、保護フィルム１５を適宜「ＴＡＣフィルム１５」と表記する。ＴＡＣフィルム１５のトリアセテートセルロースの含有量は９０質量％以上である。フィルム１５には、更にリン酸トリフェニル（ＴＰＰ）などのリン酸エステル可塑剤が３〜１０質量％程度含有されていてもよく、紫外線吸収剤が含有されていてもよい。フィルム１５の厚さには、特に限定がなく、例えば数十μｍ〜百数十μｍである。ＴＡＣフィルム１５の製造方法は特に限定がなく、例えばキャスト法で製造される。ＴＡＣフィルム１５は、鹸化処理されている。
【００２５】
保護フィルム１１と偏光子１３が、接着剤１２にて接着されている。偏光子１３と保護フィルム１５が、接着剤１４にて接着されている。接着剤１２及び１４としては、特に限定はないが、偏光板１０等の光学フィルムに適用されることを考慮し、透明な水系接着剤を用いることが好ましい。水系接着剤として、ポリビニルアルコール水溶液、ポリビニルブチラール溶液等を主成分とするポリビニルアルコール系の接着剤液、ブチルアクリレートなどを主成分とするビニル系重合系ラテックス、ポリオレフィン系ポリオール等を主成分とするオレフィン水性接着剤、ポリエーテル系接着剤等が挙げられる。接着剤１２，１４としては、ポリビニルアルコール水溶液を主成分とするポリビニルアルコール系接着剤（ＰＶＡ接着剤）を用いるのがより好ましい。２層の接着剤１２，１４が、互いに同一成分にて構成されていてもよく、互いに異なる成分にて構成されていてもよい。
【００２６】
オレフィン系モノマー重合フィルム１１は、ＰＶＡフィルムからなる偏光子１３に比べて接着剤１２との接着性が低い。そこで、接着に先立って、オレフィン系モノマー重合フィルム１１には接着性向上のための表面処理が施される。
【００２７】
図１は、上記の表面処理に用いるフィルム表面処理装置１の一例を示したものである。フィルム表面処理装置１は、モノマー供給系２と、表面処理部４を備えている。
【００２８】
モノマー供給系２は、２系統のモノマー含有ガス供給系２０，３０を含む。水溶性モノマー含有ガス供給系２０は、水溶性モノマー供給源として気化器２１を備えている。気化器２１の下側部に水溶性モノマーが液体の状態で蓄えられている。気化器２１内の水溶性モノマーの液面より上側の部分には、水溶性モノマー液から気化した水溶性モノマーの飽和蒸気が存在している。気化器２１にはヒータ等の温調手段（図示省略）が組み込まれており、気化器２１内の温度を調節することで水溶性モノマーの気化量を調節することができる。
【００２９】
水溶性モノマーとして、ここではアクリル酸（ＣＨ２＝ＣＨＣＯＯＨ）又はアセトアルデヒド（ＣＨ３ＣＨＯ）が用いられている。なお、水溶性モノマーは、カルボキシル基、アルデヒド基、水酸基等の極性基を有し、水への溶解性が高いモノマーであればよく、アクリル酸又はアセトアルデヒドの他、ビニルアルコール、メタクリル酸、スチレンスルホン酸、アクリルアミド、メタクリルアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノプロピルアクリルアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアミド等であってもよい。
【００３０】
キャリア供給源２２からのキャリア導入路２３が気化器２１に接続されている。キャリア供給源２２のキャリアガスとして窒素（Ｎ２）が用いられている。キャリア導入路２３の先端開口は、気化器２１内の水溶性モノマー液の液面より上側に配置されているが、水溶性モノマーの液中に差し入れられていてもよい。
【００３１】
気化器２１から水溶性モノマー含有ガス供給路２４が表面処理部４へ延びている。図示は省略するが、水溶性モノマー含有ガス供給路２４を構成する管の外周には全長にわたってリボンヒータ（温調手段）が設けられている。
【００３２】
オレフィン系モノマー含有ガス供給系３０は、オレフィン系モノマー供給源として気化器３１を備えている。気化器３１の下側部にオレフィン系モノマーが液体の状態で蓄えられている。気化器３１内のオレフィン系モノマーの液面より上側の部分には、オレフィン系モノマー液から気化したオレフィン系モノマーの飽和蒸気が存在している。気化器３１にはヒータ等の温調手段（図示省略）が組み込まれており、気化器３１内の温度を調節することでオレフィン系モノマーの気化量を調節することができる。
【００３３】
オレフィン系モノマーとして、ここではシクロペンタジエン又はジシクロペンタジエンが用いられている。なお、オレフィン系モノマーは、１又は複数の二重結合を有する不飽和炭化水素であり、かつ極性官能基を持たない不飽和炭化水素であればよく、シクロペンタジエン又はジシクロペンタジエン等の環状ジエンに限られず、１−シクロペンテン、１−シクロヘキセン、１−シクロヘプテン、１−シクロオクテン等の二重結合の数が１つの環状モノマーでもよく、環状モノマーに限られず、１−ペンテン、１−ヘキセン、１−ヘプテン、１−オクテン等の直鎖状モノマーでもよい。
【００３４】
キャリア供給源３２からのキャリア導入路３３が気化器３１に接続されている。キャリア供給源３２のキャリアガスとして窒素（Ｎ２）が用いられている。キャリア供給源２２及びキャリア供給源３２が互いに共通の窒素供給源にて構成されていてもよい。キャリア導入路３３の先端開口は、気化器３１内のオレフィン系モノマー液の液面より上側に配置されているが、オレフィン系モノマーの液中に差し入れられていてもよい。
【００３５】
気化器３１からオレフィン系モノマー含有ガス供給路３４が表面処理部４へ延びている。図示は省略するが、オレフィン系モノマー含有ガス供給路３４を構成する管の外周には全長にわたってリボンヒータ（温調手段）が設けられている。
【００３６】
プラズマ照射手段としての表面処理部４は、上側の処理ヘッド４０と、下側のステージ５０を備えている。処理ヘッド４０の内部には電極４１が収容されている。電極４１は、図１の紙面と直交する方向にフィルム１１の巾寸法以上の長さになるよう延びている。電極４１の下面に固体誘電体４２が設けられている。電極４１に電源４３が接続されている。電源４３は、商用交流電力を直流に整流し、この直流をパルス波状の高周波に変換し、更に昇圧して出力する。電源４３からの出力波は、パルス状に限られず、連続波状であってもよい。
【００３７】
図示は省略するが、電極４１の内部には冷却路が形成されている。この冷却路に冷却水を通すことにより、電極４１を冷却（温度調節）できる。
【００３８】
電極４１の長手方向と直交する方向の一側部（図１において左）にはガス混合噴出部３が設けられている。ガス混合噴出部３は、モノマー供給系２の先端要素を構成する。モノマー供給系２の２系統の供給路２４，３４がガス混合噴出部３に連なっている。図示は省略するが、ガス混合噴出部３には、供給路２４からの水溶性モノマー含有ガスと供給路３４からのオレフィン系モノマー含有ガスを互いに混合しながら、又は混合した後に図１の紙面と直交する方向に均一化する混合整流部が設けられている。混合整流部は、１又は複数のチャンバー、１又は複数のスリット、多数の小孔からなる小孔列等によって構成されている。水溶性モノマー含有ガスとオレフィン系モノマー含有ガスの混合によって、モノマー混合ガスが形成される。モノマー混合ガスは、水溶性モノマーとオレフィン系モノマーとキャリアガス（Ｎ２）を含む。ガス混合噴出部３の下端部には吹き出し口３ａが設けられている。吹き出し口３ａは、図１の紙面と直交する方向にフィルム１１の巾寸法と同程度又はそれより長く延びるスリット状になっているが、図１の紙面と直交する方向に並べられた多数の小孔の列によって構成されていてもよい。上記モノマー混合ガスが、吹き出し口３ａから下方へ均一に吹き出される。ガスの吹き出し方向は、電極４１の側へ向かって斜めになっているが、まっすぐ下方へ吹き出されるようにしてもよい。
【００３９】
さらに、プラズマ生成用ガス供給源６０からのプラズマ生成用ガス供給路６１が噴出部３に連なっている。噴出部３は、プラズマ生成用ガス供給路６１からのプラズマ生成用ガスを下方へ吹き出す。プラズマ生成用ガスとして窒素（Ｎ２）が用いられている。プラズマ生成用ガス供給源６０とキャリア供給源２２，３２とが互いに共通の窒素供給源にて構成されていてもよい。
【００４０】
モノマー供給系２の供給路２４，３４から噴出部３にガスが供給されるときはプラズマ生成用ガス供給路６１が閉じられる。供給路６１からプラズマ生成用ガスが噴出部３に供給されるときは、モノマー供給系２の供給路２４，３４が閉じられる。噴出部３は、モノマー供給系２の２系統のガスの混合及び吹き出し手段としての機能と、プラズマ生成用ガスの吹き出し手段としての機能を兼ねている。
【００４１】
処理ヘッド４０の左右の両側部には、ガスカーテン形成部４４が設けられている。カーテンガス供給源（図示せず）からのガスカーテン路４５が各ガスカーテン形成部４４に連なっている。ガスカーテン形成部４４は、ガスカーテン路４５からのカーテンガスを下方へ吹き出す。これにより、処理ヘッド４０の左右両端部とステージ５０との間にガスカーテンが形成される。カーテンガスとして窒素（Ｎ２）が用いられている。上記カーテンガス供給源が、プラズマ生成用ガス供給源６０及びキャリア供給源２２，３２と共通の窒素供給源にて構成されていてもよい。
【００４２】
図示は省略するが、処理ヘッド４０には搬送機構が接続されている。搬送機構によって、処理ヘッド４０が図１において左右方向に往復移動される。処理ヘッド４０に代えて、ステージ５０が移動されるようになっていてもよい。
【００４３】
ステージ５０は、板状又は盤状をなし、処理ヘッド４０の下側に離れて設置されている。ステージ５０の上面に板状の固体誘電体５２が設けられている。固体誘電体５２の上に処理対象の枚葉状のオレフィン系モノマー重合フィルム１１が配置されている。ステージ５０は、フィルム１１の支持手段を構成する。
【００４４】
ステージ５０は、金属にて構成され、電気的に接地されている。これにより、ステージ５０は、電極４１と対をなす接地電極としても機能している。電界印加電極４１とステージ兼接地電極５０とにより、平行平板電極が構成されている。電源４３からの電圧供給によって、電極４１とステージ兼接地電極５０との間に電界が印加され、固体誘電体４２，５２どうし間の空間４９が大気圧プラズマ空間になる。
【００４５】
ステージ５０の内部に冷却路５６からなる凝縮手段が組み込まれている。冷却路５６に冷却媒体が通される。冷却媒体として例えば水が用いられている。冷却媒体によりステージ５０を冷却でき、ひいては固体誘電体５２を介してオレフィン系モノマー重合フィルム１１を冷却（温度調節）できる。
【００４６】
上記構成のフィルム表面処理装置１を用いて、オレフィン系モノマー重合フィルム１１を表面処理し、更には偏光板１０を製造する方法を説明する。
［水溶性モノマー供給工程］
キャリア供給源２２のキャリアガス（Ｎ２）を、キャリア導入路２３を経て気化器２１に導入する。気化器２１内の水溶性モノマー液より上側の部分において、水溶性モノマーガスとキャリアガスが混合され、水溶性モノマー含有ガスが生成される。水溶性モノマー含有ガスの水溶性モノマー濃度は、キャリアガスの気化器２１への導入流量及び気化器２１内の温度にて調節できる。
【００４７】
水溶性モノマー含有ガス、すなわちキャリアガスにキャリアされた水溶性モノマーガスが、水溶性モノマー含有ガス供給路２４を経てオレフィン系モノマー重合フィルム１１の近傍のガス混合噴出部３へ送られる。このとき、供給路２４を構成する管に設けたリボンヒーターなどの温調手段によって水溶性モノマー含有ガスを温調することにより、水溶性モノマーが供給路２４内で凝縮するのを防止できる。
【００４８】
［オレフィン系モノマー供給工程］
上記の水溶性モノマー供給工程と併行して、キャリア供給源３２のキャリアガス（Ｎ２）を、キャリア導入路３３を経て気化器３１に導入する。気化器３１内のオレフィン系モノマー液より上側の部分において、オレフィン系モノマーガスとキャリアガスが混合され、オレフィン系モノマー含有ガスが生成される。オレフィン系モノマー含有ガスのオレフィン系モノマー濃度は、キャリアガスの気化器３１への導入流量及び気化器３１内の温度にて調節できる。
【００４９】
オレフィン系モノマー含有ガス、すなわちキャリアガスにキャリアされたオレフィン系モノマーガスが、オレフィン系モノマー含有ガス供給路３４を経てオレフィン系モノマー重合フィルム１１の近傍のガス混合噴出部３へ送られる。このとき、供給路３４を構成する管に設けたリボンヒーターなどの温調手段によってオレフィン系モノマー含有ガスを温調することにより、オレフィン系モノマーが供給路３４内で凝縮するのを防止できる。
【００５０】
水溶性モノマーとオレフィン系モノマーは、ガス混合噴出部３に到達するまで互いに混合されることがない。したがって、これら２種類のモノマーガスが、供給途中で共重合反応を起こすのを防止できる。よって、供給路２４，３４が詰まるのを防止できる。かつ、各モノマー含有ガスのモノマー濃度が変動するのを防止でき、モノマー濃度を正確に管理することができる。
【００５１】
［混合工程］
ガス混合噴出部３は、水溶性モノマー含有ガス供給路２４からの水溶性モノマー含有ガスとオレフィン系モノマー含有ガス供給路３４からのオレフィン系モノマー含有ガスとを混合し、水溶性モノマー及びオレフィン系モノマーを含むモノマー混合ガスを生成する。水溶性モノマー及びオレフィン系モノマーはガス状態であるから、分子レベルで均一に混合することができる。水溶性モノマーとオレフィン系モノマーの混合は、後述する接触工程の直前に行なわれる。
【００５２】
モノマー混合ガス中のオレフィン系モノマーの濃度は、体積比で水溶性モノマーの濃度の１．１倍以上であることが好ましい。モノマー混合ガス中の各モノマーの濃度は、気化器２１，３１へのキャリア流量及び気化器２１，３１の温度等により調節することができる。
【００５３】
［接触工程］
ガス混合噴出部３は、モノマー混合ガスを下方へ吹き出す。これにより、モノマー混合ガスがオレフィン系モノマー重合フィルム１１に接触する。水溶性モノマーとオレフィン系モノマーを混合後直ちに吹き出すことで、ガス混合噴出部３内で水溶性モノマーとオレフィン系モノマーが重合反応を起こすのを防止でき、ガス混合噴出部３内が閉塞されるのを防止できる。
【００５４】
［凝縮工程］
冷却水を冷却路５６に通す。これより、ステージ５０及び固体誘電体５２を介してオレフィン系モノマー重合フィルム１１を冷却できる。そのため、モノマー混合ガス中の水溶性モノマー及びオレフィン系モノマーが、オレフィン系モノマー重合フィルム１１に接触したとき冷却されて凝縮する。これにより、オレフィン系モノマー重合フィルム１１の表面に水溶性モノマーとオレフィン系モノマーの混合液からなる液化層が形成される。
【００５５】
水溶性モノマー及びオレフィン系モノマーをガス状態のときに混合するため、水溶性モノマーとオレフィン系モノマーが分子レベルで均一に混ざった液化層を得ることができる。しかも、水溶性モノマーとオレフィン系モノマーを、オレフィン系モノマー重合フィルム１１にスプレー塗布ではなく、ガス状態で吹き付けた後、凝縮させるため、オレフィン系モノマー重合フィルム１１の表面に液化層を万遍なく均一に形成できる。液化層中のオレフィン系モノマーを構成するシクロペンタジエン等の環状ジエンはオレフィン系モノマー重合フィルム１１との相容性が高い。しかも、モノマー混合ガス中のオレフィン系モノマーの濃度を水溶性モノマーの濃度の１．１倍以上にすることで、オレフィン系モノマー重合フィルム１１と液化層との相容性を確実に向上できる。
【００５６】
［液化層形成時搬送工程］
上記の接触工程及び凝縮工程と併行して、吹き出し口３ａがフィルム１１の左右方向の一端に対応する位置と他端に対応する位置との間を移動するよう、処理ヘッド４０を図１において左右方向に往復移動させる。これにより、水溶性モノマー及びオレフィン系モノマーの液化層をオレフィン系モノマー重合フィルム１１の全面に形成でき、かつ液化層の厚さを大きくすることができる。
【００５７】
その後、水溶性モノマー及びオレフィン系モノマーの供給工程を停止し、ひいては混合工程、接触工程、凝縮工程を停止する。
【００５８】
［プラズマ照射工程］
続いて、プラズマ生成用ガス供給源６０のプラズマ生成用ガス（Ｎ２）を、供給路６１を経て噴出部３に導入し、噴出部３から下方のオレフィン系モノマー重合フィルム１１へ吹き出す。併せて、電源４３から電極４１に電力を供給する。これにより、電極４１とステージ５０との間に電界が印加されて大気圧下で放電が生成され、プラズマ空間４９内でプラズマ生成用の窒素ガスがプラズマ化（分解、励起、活性化、ラジカル化、イオン化を含む）される。これにより、オレフィン系モノマー重合フィルム１１におけるプラズマ空間４９内に配置された部分の表面に、窒素プラズマやプラズマ光が照射される。このプラズマ照射により、液化層の水溶性モノマー及びオレフィン系モノマーが活性化されるとともに、オレフィン系モノマー重合フィルム１１の表面分子が活性化され、オレフィン系モノマー重合フィルム１１の表面分子に水溶性モノマー及びオレフィン系モノマーが結合する。具体的には、オレフィン系モノマー重合フィルム１１の表面分子のＣ−Ｈ結合がプラズマガスとの接触やプラズマ光の照射により切断され、この結合切断部に水溶性モノマー及びオレフィン系モノマーがグラフト共重合するものと考えられる。これにより、オレフィン系モノマー重合フィルム１１の表面に水溶性モノマー及びオレフィン系モノマーのグラフト共重合体からなる接着性促進層を形成することができる。水溶性モノマーとオレフィン系モノマーを分子レベルで均一に混合しておくことにより、共重合反応を効率よく進行させることができる。
【００５９】
モノマー混合ガス中のオレフィン系モノマーの濃度を水溶性モノマーの濃度の１．１倍以上にしておくことで、オレフィン系モノマー重合フィルム１１と接着性促進層との相容性を確実に高めることができる。加えて、水溶性モノマー及びオレフィン系モノマーに対しガス状態のときにプラズマ照射するのではなく、液化層にしたうえでプラズマ照射することにより、気相中で水溶性モノマーとオレフィン系モノマーの共重合反応が開始されるのを防止でき、オレフィン系モノマー重合フィルム１１と接着性促進層との相容性を一層高めることができる。
【００６０】
［プラズマ照射時搬送工程］
上記プラズマ照射工程と併行して、吹き出し口３ａがフィルム１１の左右方向の一端に対応する位置と他端に対応する位置との間を移動するよう、処理ヘッド４０を図１において左右方向に移動させる。これにより、接着性促進層をオレフィン系モノマー重合フィルム１１の全面に形成することができる。
【００６１】
［接着工程］
フィルム表面処理装置１による上記表面処理の後、オレフィン系モノマー重合フィルム１１の被処理面にＰＶＡ接着剤１２を塗布し、更にその上にＰＶＡ偏光子１３を重ね、接着剤１２を介してオレフィン系モノマー重合フィルム１１とＰＶＡ偏光子１３を接着する。オレフィン系モノマー重合フィルム１１は非極性であるのに対し、接着性促進層は水溶性モノマーに由来する極性を有し、ＰＶＡとの相容性が高い。よって、極性のＰＶＡ接着剤１２とオレフィン系モノマー重合フィルム１１との接着性を高めることができ、ひいては極性のＰＶＡ偏光子１３とオレフィン系モノマー重合フィルム１１との接着性を高めることができる。更に、接着性促進層は、オレフィン系モノマー重合フィルム１１との相容性が高いオレフィン系モノマーを含んでいる。しかも、上述したように、モノマー混合ガス中のオレフィン系モノマーの濃度を水溶性モノマーの濃度の１．１倍以上にし、かつ液化層の形成後にプラズマ照射することで、オレフィン系モノマー重合フィルム１１と接着促進層との相容性を十分確保することができる。この結果、難接着性のオレフィン系モノマー重合フィルム１１の接着性を十分に高めることができ、接着剤１２を介してオレフィン系モノマー重合フィルム１１をＰＶＡ偏光子１３に強固に接着することができる。
【００６２】
さらに、ＰＶＡ偏光子１３に接着剤１４を介して、鹸化したＴＡＣフィルムからなる保護フィルム１５を接着する。これにより、良品質の偏光板１０を得ることができる。
【００６３】
次に、本発明の他の実施形態に係る表面処理装置について説明する。以下の実施形態において第１の実施形態と重複する構成に関しては、図面に同一符号を付して説明を省略する。
図２は、本発明の第２実施形態を示したものである。第２実施形態に係るフィルム表面処理装置１Ｘは、表面処理部７（プラズマ照射手段）が一対のロール電極７１，７２にて構成されている。ロール電極７１，７２は、軸線を図２と直交する方向に向けた円筒状になっている。各ロール電極７１，７２の外周面の全体には固体誘電体層（図示省略）が設けられている。例えば、右側のロール電極７２が電源４３に接続されている。左側のロール電極７１が電気的に接地されている。勿論、ロール電極７１に電源４３が接続され、ロール電極７２が電気的に接地されていてもよい。電源４３からの電力供給によって、ロール電極７１，７２間の空間の最も狭くなった部分及びその周辺が大気圧近傍のプラズマ空間７９になる。
【００６４】
第２実施形態のオレフィン系モノマー重合フィルム１１は、連続シート状になっている。オレフィン系モノマー重合フィルム１１は、２つのロール電極７１，７２の上側の周面に例えば半周程度掛け回されている。ロール電極７１，７２どうしの間のオレフィン系モノマー重合フィルム１１は、プラズマ空間７９に通されて下方へ延出され、一対のガイドロール７３，７３に掛け回されて折り返されている。ロール電極７１，７２及びガイドロール７３の回転により、オレフィン系モノマー重合フィルム１１が、一方向（右方向）に搬送される。
ロール電極７１，７２及びガイドロール７３は、オレフィン系モノマー重合フィルム１１の支持手段及び移動手段としての機能を有している。
【００６５】
各ロール電極７１，７２の内部に凝縮手段として冷却路７６が設けられている。所定温度の冷却媒体が、冷却路７６を流通する。冷却媒体として例えば水が用いられる。これによって、ロール電極７１，７２の温度を調節でき、更にはオレフィン系モノマー重合フィルム１１のロール電極７１に接する部分の温度を調節することができる。
【００６６】
左側（フィルム１１の搬送方向の上流側）のロール電極７１の上側に、モノマー混合噴出ノズル７４が設けられている。モノマー混合噴出ノズル７４に水溶性モノマー含有ガス供給路２４及びオレフィン系モノマー含有ガス供給路３４の下流端が連なっている。モノマー混合噴出ノズル７４において、水溶性モノマー含有ガス供給路２４からのガスとオレフィン系モノマー含有ガス供給路３４からのガスが混合され、下方へ吹き出される。詳細な図示は省略するが、モノマー混合噴出ノズル７４は、図２の紙面と直交する方向にフィルム１１の幅とほぼ同じかそれより長く延びている。モノマー混合噴出ノズル７４には、上記２種類のガスを混合しながら、又は混合した後、モノマー混合噴出ノズル７４の長手方向（図２の紙面直交方向）に均一に分散させる整流路が形成されている。
【００６７】
ロール電極７１とロール電極７２の間の上側部分にプラズマ生成用ガス噴出ノズル７５が配置されている。ノズル７５にプラズマ生成用ガス供給路６１の下流端が連なっている。詳細な図示は省略するが、プラズマ生成用ガス噴出ノズル７５は、図２の紙面と直交する方向にフィルム１１の幅とほぼ同じかそれより長く延びている。プラズマ生成用ガス噴出ノズル７５には、上記プラズマ生成用ガス供給路６１からのガスをノズル７５の長手方向（図２の紙面直交方向）に均一に分散させる整流路が形成されている。均一化後のガスがノズル７５から下方のプラズマ空間７９へ吹き出される。
【００６８】
フィルム表面処理装置１Ｘでは、ロール電極７１，７２及びガイドロール７３を図２において時計周りに回転させることによって、オレフィン系モノマー重合フィルム１１を右方向に連続的に搬送しながら（搬送工程）、モノマー混合ガスをノズル７４からオレフィン系モノマー重合フィルム１１におけるノズル７４の直下部分に吹き付ける（接触工程）。オレフィン系モノマー重合フィルム１１におけるモノマー混合ガスが吹き付けられる部分は、プラズマ空間７９より搬送方向の上流側に位置している。
【００６９】
併行して、冷却水を冷却路７６に通す。これにより、オレフィン系モノマー重合フィルム１１に接触したモノマー混合ガス中の水溶性モノマー及びオレフィン系モノマーが凝縮し、オレフィン系モノマー重合フィルム１１の表面に液化層が形成される（凝縮工程）。オレフィン系モノマー重合フィルム１１の表面の液化層が形成された部分は、オレフィン系モノマー重合フィルム１１の搬送に伴なって、ロール電極７１の周面に沿ってプラズマ空間７９の側へ伸長していく。
【００７０】
さらに、プラズマ生成用ガス供給源６０のプラズマ生成用ガスを、供給路６１を経てノズル７５からプラズマ空間７９へ導入する。併せて、電源４３からの電圧供給によりロール電極７１，７２間に電界を印加してプラズマ生成用ガスをプラズマ化する。これにより、オレフィン系モノマー重合フィルム１１におけるプラズマ空間７９内の部分にプラズマを照射する（プラズマ照射工程）。このプラズマ照射により、オレフィン系モノマー重合フィルム１１の表面分子に水溶性モノマー及びオレフィン系モノマーをグラフト共重合させ、オレフィン系モノマー重合フィルム１１の表面に接着性促進層を形成できる。この結果、第１実施形態と同様に、オレフィン系モノマー重合フィルム１１の接着性を高めることができ、オレフィン系モノマー重合フィルム１１とＰＶＡ偏光子１３の接着強度を高めることができる。
【００７１】
第２実施形態では、オレフィン系モノマー重合フィルム１１がロール電極７１に沿ってプラズマ空間７９を通過した後、ガイドロール７３にて折り返されて、ロール電極７２に沿ってプラズマ空間７９を再び通過する。したがって、オレフィン系モノマー重合フィルム１１の各部位のプラズマ照射を２回行なうことができる。
【００７２】
本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、その要旨の範囲内において種々の改変をなすことができる。
例えば、キャリア導入路２３から短絡路を分岐させて水溶性モノマー含有ガス供給路２４に接続してもよく、そうすると、キャリアガスの気化器２１への導入流量と、上記短絡路への分流量とを調節することで、水溶性モノマー含有ガスの水溶性モノマー濃度を調節することができる。
キャリア導入路３３から短絡路を分岐させてオレフィン系モノマー含有ガス供給路３４に接続してもよく、そうすると、キャリアガスの気化器３１への導入流量と、上記短絡路への分流量とを調節することで、オレフィン系モノマー含有ガスのオレフィン系モノマー濃度を調節することができる。
気化器２１，３１は、液体の水溶性モノマーや液体のオレフィン系モノマーをスプレー噴霧または超音波で霧化し、霧化したモノマーをキャリアガスと混合させる装置であってもよい。
水溶性モノマー含有ガスとオレフィン系モノマー含有ガスをガス混合噴出部３，７４から互いに別々に吹き出し、吹き出し後に混合されるようにしてもよい。
プラズマ照射手段は、一対の電極間に被処理フィルムを配置する所謂ダイレクト式構造に限られず、一対の電極間で生成したプラズマを電極間から吹き出し、電極間の外部に配置した被処理フィルムに照射する所謂リモート式構造であってもよい。
本発明のフィルム表面処理方法及び表面処理装置は、偏光板の製造に限られず、それ以外の用途に適用してもよい。
【実施例１】
【００７３】
以下に実施例を説明するが、本発明はこれら実施例に限定されるものではない。
実施例１の表面処理条件及び結果を表１に示す。実施例１では、図１に示すフィルム表面処理装置１と実質的に同じ構造の装置を用いた。処理対象のオレフィン系モノマー重合フィルム１１として、ポロプロピレンフィルム（東洋紡製、商品名パイレンフィルム、型式ＣＴ）を用いた。フィルム１１の巾（図１の紙面直交方向に沿う寸法）は、１５０ｍｍであり、フィルム１１の長さ（図１の左右方向に沿う寸法）は、２００ｍｍであった。フィルム１１の厚さは、８０μｍであった。
【００７４】
［液化層形成工程］
水溶性モノマー含有ガス供給系２０の水溶性モノマーとしてアクリル酸（ＡＡ）を用いた。供給系２０のキャリアガス（Ｎ２）の流量は２ｓｌｍとした。気化器２１の温度は５０℃とした。供給路２４の温度は６０℃とした。
【００７５】
オレフィン系モノマー含有ガス供給系３０のオレフィン系モノマーとして、ジシクロペンタジエン（ＤＣＰＤ）を用いた。供給系３０のキャリアガス（Ｎ２）の流量は８ｓｌｍとした。気化器３１の温度は８０℃とした。供給路３４の温度は９０℃とした。
【００７６】
窒素にてキャリアされたアクリル酸ガス及び窒素にてキャリアされたジシクロペンタジエンガスをそれぞれ供給路２４，３４からガス混合噴出部３に導いて混合し、モノマー混合ガスを生成した。モノマー混合ガス中のアクリル酸濃度は０．０８５ｖｏｌ％であり、ジシクロペンタジエン濃度は０．３３９ｖｏｌ％であり、残部は窒素であった。したがって、モノマー混合ガス中のオレフィン系モノマー（ジシクロペンタジエン）の濃度は水溶性モノマー（アクリル酸）の濃度の３．９８８倍であった。表１の「オレフィン系モノマー濃度比」は、水溶性モノマー濃度に対するオレフィン系モノマー濃度の比である（表２〜表４において同じ）。モノマー（アクリル酸及びジシクロペンタジエン）の濃度は、別途、供給系２０，３０にキャリアガス（Ｎ２）を１０ｓｌｍで１０分間流し、各気化器２１，３１内のモノマー液の重量変化（気化量）を測定し、この測定結果から換算した。
【００７７】
このモノマー混合ガスを吹き出し口３ａからフィルム１１に吹き付け、接触させた。温調手段５６によってフィルム１１の温度を２５℃に調節し、フィルム１１の表面にモノマー（アクリル酸及びジシクロペンタジエン）を凝縮させた。なお、カーテンガスの流量は、両側のガスカーテン形成部４４，４４の合計で３０ｓｌｍ（片側１５ｓｌｍ）とした。
【００７８】
上記モノマー混合ガスの吹き付けと併行し、処理ヘッド４０を往復移動させた。処理ヘッド４０の移動速度は、０．５ｍ／ｍｉｎとした。処理ヘッド４０の移動回数は、往方向、復方向の片道移動を１回として、５回とした。処理ヘッド４０の片道１回分の移動距離は４００ｍｍであった。
その後、モノマー供給系２からのガス供給を停止した。
【００７９】
［プラズマ照射工程］
続いて、プラズマ生成用ガスとしての窒素ガスを、供給路６２を経て噴出部３に導入し吹き出し口３ａから吹き出した。プラズマ生成用の窒素ガス流量は１０ｓｌｍとした。これと併行して、電源４３から電極４１に電力を供給した。電源４３におけるパルス変換前の直流電圧は１１０Ｖ、直流電流は３．８Ａ、電力は４１８Ｗであった。電界印加電極４１とステージ兼接地電極５０との間の印加電圧はＶｐｐ＝１６．５ｋＶであった。電極４１の長さ（図１の紙面と直交する方向の寸法）は、２００ｍｍであった。電極４１の下面とステージ兼接地電極５０の上面間の距離は、２．７ｍｍであった。固体誘電体４２，５２の厚さは、共に１ｍｍであった。したがって、放電空間４９の厚さは０．７ｍｍであった。これにより、窒素ガスをプラズマ化し、フィルム１１に窒素プラズマを照射した。プラズマ照射と併行して、処理ヘッド４０を片道１回だけ移動させた。処理ヘッド４０の移動距離は４００ｍｍであり、移動速度は１ｍ／ｍｉｍとした。カーテンガス流量は液相形成時と同じとした。
【００８０】
［接着工程］
表面処理後の被処理フィルム１１に、ＰＶＡ系の接着剤１２を塗布した。接着剤１２として、（Ａ）ＰＶＡ ５ｗｔ％水溶液と、（Ｂ）カルボキシメチルセルロースナトリウム ２ｗｔ％水溶液とを、（Ａ）：（Ｂ）=２０：１で混合した水溶液を用いた。接着剤１
３の乾燥条件は８０℃、５分間とした。この接着剤１２を介してフィルム１１とＰＶＡ偏光子１３を接着した。さらに、ＰＶＡ偏光子１３と鹸化したＴＡＣフィルム１５とをＰＶＡ接着剤１４にて接着し、偏光板１０のサンプルを作成した。
【００８１】
［評価］
上記のサンプルにおける被処理フィルム１１とＰＶＡ偏光子１３との間の接着強度を浮動ローラー法（ＪＩＳ Ｋ６８５４）にて測定した。測定結果は１０．４Ｎ／ｉｎｃｈであり、十分な接着強度が得られた。
【実施例２】
【００８２】
実施例２の表面処理条件及び結果を表１に示す。実施例２では、実施例１と同じ装置（図１）を用い、かつ処理対象のオレフィン系モノマー重合フィルム１１として、シクロオレフィンポリマーフィルム（積水化学工業製、商品名エスシーナ）を用いた。フィルムの大きさは、実施例１と同じとした。
【００８３】
水溶性モノマー含有ガス供給系２０の水溶性モノマーとしては、アセトアルデヒド（ＣＨ３ＣＨＯ）を用いた。水溶性モノマー含有ガス供給系２０のキャリア（Ｎ２）の流量は、０．５ｓｌｍとした。気化器２１の温度は２５℃とした。供給路２４の温度は３０℃とした。
【００８４】
オレフィン系モノマー含有ガス供給系３０のオレフィン系モノマーとしては、ジシクロペンタジエン（ＤＣＰＤ）を用いた。供給系３０のキャリアガス（Ｎ２）の流量は９．５ｓｌｍとした。気化器３１の温度は８０℃とした。供給路３４の温度は９０℃とした。これにより、噴射部３におけるモノマー混合ガス中のアセトアルデヒド濃度は０．１７４ｖｏｌ％になり、ジシクロペンタジエン濃度は０．４０３ｖｏｌ％になった。したがって、モノマー混合ガス中のオレフィン系モノマー（ジシクロペンタジエン）の濃度は水溶性モノマー（アセトアルデヒド）の濃度の２．３１６倍であった。その他の処理条件は、実施例１と同じとした。
【００８５】
さらに、実施例１と同様にして偏光板１０のサンプルを作成した。このサンプルのフィルム１１とＰＶＡ偏光子１３との間の接着強度を実施例１と同一方法で測定したところ、結果は９．２Ｎ／ｉｎｃｈであり、十分な接着強度が得られた。
【実施例３】
【００８６】
実施例３の表面処理条件及び結果を表１に示す。実施例３では、実施例１と同じ装置（図１）を用い、かつ実施例２と同じシクロオレフィンポリマーフィルムを処理対象のオレフィン系モノマー重合フィルム１１とした。
【００８７】
水溶性モノマー含有ガス供給系２０の水溶性モノマーとしては、アクリル酸（ＡＡ）を用いた。水溶性モノマー含有ガス供給系２０のキャリア（Ｎ２）の流量は、４ｓｌｍとした。気化器２１の温度は５０℃とした。供給路２４の温度は６０℃とした。
【００８８】
オレフィン系モノマー含有ガス供給系３０のオレフィン系モノマーとしては、ジシクロペンタジエン（ＤＣＰＤ）を用いた。供給系３０のキャリアガス（Ｎ２）の流量は６ｓｌｍとした。気化器３１の温度は８０℃とした。供給路３４の温度は９０℃とした。これにより、噴射部３におけるモノマー混合ガス中のアクリル酸濃度は０．１７ｖｏｌ％になり、ジシクロペンタジエン濃度は０．２５４ｖｏｌ％になった。したがって、モノマー混合ガス中のオレフィン系モノマー（ジシクロペンタジエン）の濃度は水溶性モノマー（アクリル酸）の濃度の１．４９４倍であった。その他の処理条件は、実施例１と同じとした。
【００８９】
さらに、実施例１と同様にして偏光板１０のサンプルを作成した。このサンプルのフィルム１１とＰＶＡ偏光子１３との間の接着強度を実施例１と同一方法で測定したところ、結果は１０．１Ｎ／ｉｎｃｈであり、十分な接着強度が得られた。
【実施例４】
【００９０】
実施例４の表面処理条件及び結果を表１に示す。実施例４では、実施例１と同じ装置（図１）を用い、かつ実施例２と同じシクロオレフィンポリマーフィルムを処理対象のオレフィン系モノマー重合フィルム１１とした。
【００９１】
水溶性モノマー含有ガス供給系２０の水溶性モノマーとしては、アクリル酸（ＡＡ）を用いた。水溶性モノマー含有ガス供給系２０のキャリア（Ｎ２）の流量は、３ｓｌｍとした。気化器２１の温度は５０℃とした。供給路２４の温度は６０℃とした。
【００９２】
オレフィン系モノマー含有ガス供給系３０のオレフィン系モノマーとしては、ジシクロペンタジエン（ＤＣＰＤ）を用いた。供給系３０のキャリアガス（Ｎ２）の流量は７ｓｌｍとした。気化器３１の温度は８０℃とした。供給路３４の温度は９０℃とした。これにより、噴射部３におけるモノマー混合ガス中のアクリル酸濃度は０．１２７ｖｏｌ％になり、ジシクロペンタジエン濃度は０．２９７ｖｏｌ％になった。したがって、モノマー混合ガス中のオレフィン系モノマー（ジシクロペンタジエン）の濃度は水溶性モノマー（アクリル酸）の濃度の２．３３９倍であった。その他の処理条件は、実施例１と同じとした。
【００９３】
さらに、実施例１と同様にして偏光板１０のサンプルを作成した。このサンプルのフィルム１１とＰＶＡ偏光子１３との間の接着強度を実施例１と同一方法で測定したところ、結果は１０．２Ｎ／ｉｎｃｈであり、十分な接着強度が得られた。
【００９４】
【表１】
【実施例５】
【００９５】
実施例５の表面処理条件及び結果を表２に示す。実施例５では、実施例１と同じ装置（図１）を用い、かつ実施例２と同じシクロオレフィンポリマーフィルムを処理対象のオレフィン系モノマー重合フィルム１１とした。
【００９６】
水溶性モノマー含有ガス供給系２０の水溶性モノマーとしては、アクリル酸（ＡＡ）を用いた。水溶性モノマー含有ガス供給系２０のキャリア（Ｎ２）の流量は、２ｓｌｍとした。気化器２１の温度は５０℃とした。供給路２４の温度は６０℃とした。
【００９７】
オレフィン系モノマー含有ガス供給系３０のオレフィン系モノマーとしては、ジシクロペンタジエン（ＤＣＰＤ）を用いた。供給系３０のキャリアガス（Ｎ２）の流量は８ｓｌｍとした。気化器３１の温度は８０℃とした。供給路３４の温度は９０℃とした。これにより、噴射部３におけるモノマー混合ガス中のアクリル酸濃度は０．０８５ｖｏｌ％になり、ジシクロペンタジエン濃度は０．３３９ｖｏｌ％になった。したがって、モノマー混合ガス中のオレフィン系モノマー（ジシクロペンタジエン）の濃度は水溶性モノマー（アクリル酸）の濃度の３．９８８倍であった。その他の処理条件は、実施例１と同じであった。
【００９８】
さらに、実施例１と同様にして偏光板１０のサンプルを作成した。このサンプルのフィルム１１とＰＶＡ偏光子１３との間の接着強度を実施例１と同一方法で測定したところ、結果は１０．３Ｎ／ｉｎｃｈであり、十分な接着強度が得られた。
【実施例６】
【００９９】
実施例６の表面処理条件及び結果を表２に示す。実施例６では、実施例１と同じ装置（図１）を用い、かつ実施例２と同じシクロオレフィンポリマーフィルムを処理対象のオレフィン系モノマー重合フィルム１１とした。
【０１００】
水溶性モノマー含有ガス供給系２０の水溶性モノマーとしては、アクリル酸（ＡＡ）を用いた。水溶性モノマー含有ガス供給系２０のキャリア（Ｎ２）の流量は、１ｓｌｍとした。気化器２１の温度は５０℃とした。供給路２４の温度は６０℃とした。
【０１０１】
オレフィン系モノマー含有ガス供給系３０のオレフィン系モノマーとしては、ジシクロペンタジエン（ＤＣＰＤ）を用いた。供給系３０のキャリアガス（Ｎ２）の流量は９ｓｌｍとした。気化器３１の温度は８０℃とした。供給路３４の温度は９０℃とした。これにより、噴射部３におけるモノマー混合ガス中のアクリル酸濃度は０．０４２ｖｏｌ％になり、ジシクロペンタジエン濃度は０．３８２ｖｏｌ％になった。したがって、モノマー混合ガス中のオレフィン系モノマー（ジシクロペンタジエン）の濃度は水溶性モノマー（アクリル酸）の濃度の９．０９５倍であった。それ以外の処理条件は、実施例１と同一とした。
【０１０２】
さらに、実施例１と同様にして偏光板１０のサンプルを作成した。このサンプルのフィルム１１とＰＶＡ偏光子１３との間の接着強度を実施例１と同一方法で測定したところ、結果は８．５Ｎ／ｉｎｃｈであり、十分な接着強度が得られた。
【実施例７】
【０１０３】
実施例７の表面処理条件及び結果を表２に示す。実施例７では、実施例１と同じ装置（図１）を用い、かつ処理対象のオレフィン系モノマー重合フィルム１１として、シクロオレフィンポリマーとポリエチレンの共重合体からなるシクロオレフィンコポリマーフィルム（積水化学工業製、商品名エスシーナ）を用いた。フィルムの大きさは、実施例１と同じとした。それ以外の処理条件は、実施例５と同一とした。したがって、モノマー混合ガス中の水溶性モノマー（アクリル酸）の濃度は、０．０８５ｖｏｌ％と算出され、オレフィン系モノマー（ジシクロペンタジエン）の濃度は、水溶性モノマー濃度の３．９８８倍の０．３３９ｖｏｌ％と算出された。
【０１０４】
さらに、実施例１と同様にして偏光板１０のサンプルを作成した。このサンプルのフィルム１１とＰＶＡ偏光子１３との間の接着強度を実施例１と同一方法で測定したところ、結果は１０．２Ｎ／ｉｎｃｈであり、十分な接着強度が得られた。
【０１０５】
【表２】
【実施例８】
【０１０６】
実施例８の表面処理条件及び結果を表３に示す。実施例８では、図２に示すフィルム表面処理装置１と実質的に同じ構造の装置を用いた。実施例２と同じシクロオレフィンポリマーフィルムからなる連続シートを処理対象のオレフィン系モノマー重合フィルム１１とした。フィルム１１の巾（図２の紙面直交方向の寸法）は、１５０ｍｍであった。
【０１０７】
水溶性モノマー含有ガス供給系２０の水溶性モノマーとしては、アクリル酸（ＡＡ）を用いた。水溶性モノマー含有ガス供給系２０のキャリア（Ｎ２）の流量は、４ｓｌｍとした。気化器２１の温度は５０℃とした。供給路２４の温度は６０℃とした。
【０１０８】
オレフィン系モノマー含有ガス供給系３０のオレフィン系モノマーとしては、ジシクロペンタジエン（ＤＣＰＤ）を用いた。供給系３０のキャリアガス（Ｎ２）の流量は１６ｓｌｍとした。気化器３１の温度は８０℃とした。供給路３４の温度は９０℃とした。これにより、噴射部３におけるモノマー混合ガス中のアクリル酸濃度は０．０８５ｖｏｌ％になり、ジシクロペンタジエン濃度は０．３３９ｖｏｌ％になった。したがって、モノマー混合ガス中のオレフィン系モノマー（ジシクロペンタジエン）の濃度は水溶性モノマー（アクリル酸）の濃度の３．９８８倍であった。
【０１０９】
フィルム１１の搬送速度が１０ｍ／ｍｉｎになるよう、ロール電極７１，７２及びガイドロール７３を回転させた。プラズマ生成用ガス噴出ノズル７５からのプラズマ生成用の窒素ガスの吹き出し流量は、１５ｓｌｍとした。電源４３におけるパルス変換前の直流電圧は２８０Ｖ、直流電流は２．５Ａ、電力は７００Ｗであった。ロール電極７１，７２間の印加電圧はＶｐｐ＝１６．５ｋＶであった。ロール電極７１，７２の外周面どうし間の最も狭くなった箇所の距離は、２．７ｍｍであった。各ロール電極７１，７２の外周面には固体誘電体層として厚さ１ｍｍのシリコンゴムを被膜した。したがって、放電空間７９の最も狭い箇所のギャップは、０．７ｍｍであった。
【０１１０】
さらに、実施例１と同様にして偏光板１０のサンプルを作成した。このサンプルのフィルム１１とＰＶＡ偏光子１３との間の接着強度を実施例１と同一方法で測定したところ、結果は１０．２Ｎ／ｉｎｃｈであり、十分な接着強度が得られた。
【０１１１】
【表３】
【０１１２】
［比較例１］
比較例１の表面処理条件及び結果を表４に示す。比較例１では、実施例１と同じ装置（図１）を用い、かつ実施例２と同じシクロオレフィンポリマーフィルムを処理対象のオレフィン系モノマー重合フィルム１１とした。
【０１１３】
水溶性モノマー含有ガス供給系２０を閉じ、オレフィン系モノマー含有ガス供給系３０によってのみモノマー供給を行った。供給系３０のオレフィン系モノマーとしては、ジシクロペンタジエン（ＤＣＰＤ）を用いた。供給系３０のキャリアガス（Ｎ２）の流量は１０ｓｌｍとした。気化器３１の温度は８０℃とした。供給路３４の温度は９０℃とした。供給系３０のみによるモノマー含有ガス中のオレフィン系モノマー（ジシクロペンタジエン）の濃度は０．４２４ｖｏｌ％となった。該モノマー含有ガスの残部は窒素であった。それ以外の処理条件は、実施例１と同一とした。
【０１１４】
さらに、実施例１と同様にして偏光板１０のサンプルを作成した。このサンプルのフィルム１１とＰＶＡ偏光子１３との間の接着強度を実施例１と同一方法で測定したところ、結果は０．８Ｎ／ｉｎｃｈであり、所要の接着強度が得られなかった。
【０１１５】
［比較例２］
比較例２の表面処理条件及び結果を表４に示す。比較例２では、実施例１と同じ装置（図１）を用い、かつ実施例２と同じシクロオレフィンポリマーフィルムを処理対象のオレフィン系モノマー重合フィルム１１とした。
【０１１６】
水溶性モノマー含有ガス供給系２０の水溶性モノマーとしては、アクリル酸（ＡＡ）を用いた。水溶性モノマー含有ガス供給系２０のキャリア（Ｎ２）の流量は、５ｓｌｍとした。気化器２１の温度は５０℃とした。供給路２４の温度は６０℃とした。
【０１１７】
オレフィン系モノマー含有ガス供給系３０のオレフィン系モノマーとしては、ジシクロペンタジエン（ＤＣＰＤ）を用いた。供給系３０のキャリアガス（Ｎ２）の流量は５ｓｌｍとした。気化器３１の温度は８０℃とした。供給路３４の温度は９０℃とした。これにより、噴射部３におけるモノマー混合ガス中のアクリル酸濃度は０．２１２ｖｏｌ％になり、ジシクロペンタジエン濃度は、それと同じ０．２１２ｖｏｌ％になった。すなわち、モノマー混合ガス中のオレフィン系モノマー（ジシクロペンタジエン）の濃度は水溶性モノマー（アクリル酸）の濃度の１．０倍であった。それ以外の処理条件は、実施例１と同一とした。
【０１１８】
さらに、実施例１と同様にして偏光板１０のサンプルを作成した。このサンプルのフィルム１１とＰＶＡ偏光子１３との間の接着強度を実施例１と同一方法で測定したところ、結果は１．１Ｎ／ｉｎｃｈであり、所要の接着強度が得られなかった。
【０１１９】
［比較例３］
比較例３の表面処理条件及び結果を表４に示す。比較例３では、実施例１と同じ装置（図１）を用い、かつ実施例２と同じシクロオレフィンポリマーフィルムを処理対象のオレフィン系モノマー重合フィルム１１とした。
【０１２０】
水溶性モノマー含有ガス供給系２０の水溶性モノマーとしては、アクリル酸（ＡＡ）を用いた。水溶性モノマー含有ガス供給系２０のキャリア（Ｎ２）の流量は、７ｓｌｍとした。気化器２１の温度は５０℃とした。供給路２４の温度は６０℃とした。
【０１２１】
オレフィン系モノマー含有ガス供給系３０のオレフィン系モノマーとしては、ジシクロペンタジエン（ＤＣＰＤ）を用いた。供給系３０のキャリアガス（Ｎ２）の流量は３ｓｌｍとした。気化器３１の温度は８０℃とした。供給路３４の温度は９０℃とした。これにより、噴射部３におけるモノマー混合ガス中のアクリル酸濃度は０．２９７ｖｏｌ％になり、ジシクロペンタジエン濃度は、０．１２７ｖｏｌ％になった。したがって、モノマー混合ガス中のオレフィン系モノマー（ジシクロペンタジエン）の濃度は水溶性モノマー（アクリル酸）の濃度の０．４２８倍であった。それ以外の処理条件は、実施例１と同一とした。
【０１２２】
さらに、実施例１と同様にして偏光板１０のサンプルを作成した。このサンプルのフィルム１１とＰＶＡ偏光子１３との間の接着強度を実施例１と同一方法で測定したところ、結果は１．２Ｎ／ｉｎｃｈであり、所要の接着強度が得られなかった。
【０１２３】
［比較例４］
比較例４の表面処理条件及び結果を表４に示す。比較例４では、実施例１と同じ装置（図１）を用い、かつ実施例２と同じシクロオレフィンポリマーフィルムを処理対象のオレフィン系モノマー重合フィルム１１とした。
【０１２４】
水溶性モノマー含有ガス供給系２０の水溶性モノマーとしては、アクリル酸（ＡＡ）を用いた。水溶性モノマー含有ガス供給系２０のキャリア（Ｎ２）の流量は、９ｓｌｍとした。気化器２１の温度は５０℃とした。供給路２４の温度は６０℃とした。
【０１２５】
オレフィン系モノマー含有ガス供給系３０のオレフィン系モノマーとしては、ジシクロペンタジエン（ＤＣＰＤ）を用いた。供給系３０のキャリアガス（Ｎ２）の流量は１ｓｌｍとした。気化器３１の温度は８０℃とした。供給路３４の温度は９０℃とした。これにより、噴射部３におけるモノマー混合ガス中のアクリル酸濃度は０．３８２ｖｏｌ％になり、ジシクロペンタジエン濃度は、０．０４２ｖｏｌ％になった。したがって、モノマー混合ガス中のオレフィン系モノマー（ジシクロペンタジエン）の濃度は水溶性モノマー（アクリル酸）の濃度の０．１１倍であった。それ以外の処理条件は、実施例１と同一とした。
【０１２６】
さらに、実施例１と同様にして偏光板１０のサンプルを作成した。このサンプルのフィルム１１とＰＶＡ偏光子１３との間の接着強度を実施例１と同一方法で測定したところ、結果は１．４Ｎ／ｉｎｃｈであり、所要の接着強度が得られなかった。
【０１２７】
【表４】
【０１２８】
［比較例５］
比較例５の表面処理条件及び結果を表５に示す。比較例５では、実施例１と同じ装置（図１）を用い、かつモノマー混合ガスの吹き付けによる液化層の形成とプラズマ照射を同時に行った。処理対象のオレフィン系モノマー重合フィルム１１としては、実施例２と同じシクロオレフィンポリマーフィルムを用いた。
【０１２９】
水溶性モノマー含有ガス供給系２０の水溶性モノマーとしては、アクリル酸（ＡＡ）を用いた。水溶性モノマー含有ガス供給系２０のキャリア（Ｎ２）の流量は、２ｓｌｍとした。気化器２１の温度は５０℃とした。供給路２４の温度は６０℃とした。
【０１３０】
オレフィン系モノマー含有ガス供給系３０のオレフィン系モノマーとしては、ジシクロペンタジエン（ＤＣＰＤ）を用いた。供給系３０のキャリアガス（Ｎ２）の流量は８ｓｌｍとした。気化器３１の温度は８０℃とした。供給路３４の温度は９０℃とした。これにより、噴射部３におけるモノマー混合ガス中のアクリル酸濃度は０．０８５ｖｏｌ％になり、ジシクロペンタジエン濃度は、０．３３９ｖｏｌ％になった。したがって、モノマー混合ガス中のオレフィン系モノマー（ジシクロペンタジエン）の濃度は水溶性モノマー（アクリル酸）の濃度の３．９８８倍であった。
【０１３１】
上記モノマー混合ガスのフィルム１１への吹き付けと併行して、電源４３から電極４１へ電力供給を行った。電源４３の出力は実施例１と同じとした。更に併行して、処理ヘッド４０を往復移動させた。処理ヘッド４０の移動速度及び移動回数は、実施例１の液化層形成工程と同じとした。それ以外の処理条件については、実施例１と同一とした。
【０１３２】
さらに、実施例１と同様にして偏光板１０のサンプルを作成した。このサンプルのフィルム１１とＰＶＡ偏光子１３との間の接着強度を実施例１と同一方法で測定したところ、結果は０．８Ｎ／ｉｎｃｈであり、所要の接着強度が得られなかった。このことから、モノマー混合ガス中のオレフィン系モノマー濃度が水溶性モノマー濃度より大きくても、モノマー混合ガスの吹き付けと同時にプラズマ照射すると、接着性の向上効果が小さいことが確認された。これは、モノマー混合ガスが気相中でプラズマ照射を受け、水溶性モノマー及びオレフィン系モノマーが気相中で活性化して互いに共重合したり各モノマーが重合したりすることにより、オリゴマーやポリマーが気相中で形成され、オレフィン系モノマー重合フィルムとのグラフト共重合反応が起きにくくなるためと推察される。
【０１３３】
【表５】
【産業上の利用可能性】
【０１３４】
本発明は、例えば液晶表示パネルの偏光板の製造に適用可能である。
【符号の説明】
【０１３５】
１ 表面処理装置
１０ 偏光板
１１ 保護フィルム（オレフィン系モノマー重合フィルム）
１２ 接着剤
１３ 偏光子
１４ 接着剤
１５ 保護フィルム（ＴＡＣフィルム）
２ モノマー供給系
２０ 水溶性モノマー含有ガス供給系
２１ 気化器（水溶性モノマー供給源）
２２ キャリア供給源
２３ キャリア導入路
２４ 水溶性モノマー含有ガス供給路
３０ オレフィン系モノマー含有ガス供給系
３１ 気化器（オレフィン系モノマー供給源）
３２ キャリア供給源
３３ キャリア導入路
３４ オレフィン系モノマー含有ガス供給路
３ ガス混合噴出部
４ 表面処理部（プラズマ照射手段）
４３ 電源
４０ 処理ヘッド
４１ 電極
４２ 固体誘電体
４４ ガスカーテン形成部
４５ カーテンガス路
４９ 大気圧プラズマ空間
５０ ステージ（支持手段）
５２ 固体誘電体
５６ 冷却路（凝縮手段）
６０ プラズマ生成用ガス供給源
６１ プラズマ生成用ガス供給路
７ 表面処理部（プラズマ照射手段）
７１ ロール電極（支持手段）
７２ ロール電極（支持手段）
７３ ガイドロール（支持手段）
７４ モノマー混合噴出ノズル
７５ プラズマ生成用ガス噴出ノズル
７６ 冷却路（凝縮手段）
７９ 大気圧プラズマ空間
【技術分野】
【０００１】
この発明は、樹脂フィルムの表面を処理する方法及び装置、並びに偏光板の製造方法に関し、特に、オレフィン系モノマー重合フィルムに他の樹脂フィルムを接着するに際して上記オレフィン系モノマー重合フィルムに対して行なう表面処理方法等に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、液晶表示装置には、偏光板が組み込まれている。典型的な偏光板は、トリアセテートセルロース（ＴＡＣ）を主成分とするＴＡＣフィルム、ポリビニルアルコール（ＰＶＡ）系の接着剤（以下「ＰＶＡ接着剤」と称す）、ＰＶＡからなる偏光子（以下「ＰＶＡ偏光子」と称す）、ＰＶＡ接着剤、ＴＡＣフィルムの順に積層されている。ＴＡＣフィルムは、保護フィルムとしての機能を有する。
【０００３】
最近では、ポリプロピレン（ＰＰ）、シクロオレフィンポリマー（ＣＯＰ）等からなるオレフィン系モノマー重合フィルム、ＰＶＡ接着剤、ＰＶＡ偏光子、ＰＶＡ接着剤、ＴＡＣフィルムの順に積層された偏光板も登場している。ＰＰフィルムは、廉価タイプの偏光板に用いられている。ＣＯＰフィルムは、光学特性の優れたグレードの偏光板に用いられている。さらに、ＣＯＰフィルムを延伸したＣＯＰ延伸フィルム、ＰＶＡ接着剤、ＰＶＡ偏光子、ＰＶＡ接着剤、ＴＡＣフィルムの順に積層された高機能タイプの偏光板も知られている。ＣＯＰ延伸フィルムは、保護フィルムと位相差フィルムの両方の機能を有する。
【０００４】
ＴＡＣフィルムは、鹸化処理により接着性を改善できる。しかし、ＰＰフィルムやＣＯＰフィルムは、鹸化処理をしても接着性が向上しない。
そこで、特許文献１では、ノルボルネンからなるＣＯＰ延伸フィルムに大気圧プラズマを照射している。
特許文献２では、保護フィルムの表面に重合性モノマーをスプレー塗布して薄膜を形成した後、酸素及び窒素の混合ガス等の雰囲気下で大気圧プラズマを照射している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特許第４０２０６１７号公報
【特許文献２】特開２００９−２５６０４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１では、ＣＯＰ延伸フィルムの親水性が高くなり、接着剤の塗布性が向上しているものと考えられるが、接着性そのものの向上効果は低い。
特許文献２では、重合性モノマーとして水酸基、カルボニル基、カルボキシル基、エポキシ基から選ばれる極性置換基を有する化合物（例えばヒドロキシエチルメタクリレート（ＨＥＭＡ））を用いているが、それだけではＰＰやＣＯＰ等からなるオレフィン系モノマー重合フィルムとの相容性が十分でなく、接着性が向上しない。また、スプレー塗布された重合性モノマーは、均一な薄膜になりにくく、処理の均一性が十分でない。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、オレフィン系モノマー重合フィルムの表面を処理する表面処理方法であって、
水溶性モノマー及びオレフィン系モノマーを含むモノマー混合ガスを前記オレフィン系モノマー重合フィルムに接触させる接触工程と、
前記モノマー混合ガス中の水溶性モノマー及びオレフィン系モノマーを前記オレフィン系モノマー重合フィルムの表面上で凝縮させる凝縮工程と、
前記凝縮工程の後、前記オレフィン系モノマー重合フィルムに大気圧近傍プラズマを照射するプラズマ照射工程と、
を備え、前記モノマー混合ガス中のオレフィン系モノマーの体積濃度が、水溶性モノマーの体積濃度の１．１倍以上であることを特徴とする。
【０００８】
前記接触工程及び凝縮工程によって、オレフィン系モノマー重合フィルムの表面に水溶性モノマー及びオレフィン系モノマーの液化層を形成できる。水溶性モノマー及びオレフィン系モノマーは混合ガス状態から液化されたものであるから、分子レベルで均一に混合されている。モノマー混合ガス中のオレフィン系モノマーの体積濃度を水溶性モノマーの体積濃度の１．１倍以上とすることによって、水溶性モノマーの性質を抑えて液化層のオレフィン系モノマー重合フィルムとの相容性を良好にすることができる。続いて、プラズマ照射工程により、オレフィン系モノマー重合フィルムの表面が活性化されるとともに液化層の水溶性モノマー及びオレフィン系モノマーが活性化され、オレフィン系モノマー重合フィルムの表面に水溶性モノマー及びオレフィン系モノマーがグラフト共重合して接着性促進層が形成される。具体的には、オレフィン系モノマー重合フィルムの表面分子のＣ−Ｈ結合がプラズマガスとの接触やプラズマ光の照射により切断され、この結合切断部に水溶性モノマー及びオレフィン系モノマーがグラフト共重合されるものと考えられる。液化層は水溶性モノマー及びオレフィン系モノマーが分子レベルで均一に混合されているから、共重合反応を効率良く進行させることができる。プラズマ照射を、モノマー混合ガスの吹き付けと同時ではなく凝縮後に行なうことによって、水溶性モノマー及びオレフィン系モノマーの共重合や各モノマーの重合が気相中で開始されるのを防止でき、極性を有するオリゴマー又はポリマーが気相中で形成されるのを防止できる。したがって、オレフィン系モノマー重合フィルムの表面上で水溶性モノマー及びオレフィン系モノマーを確実にグラフト共重合させることができ、オレフィン系モノマー重合フィルムの表面に接着性促進層を確実に形成できる。接着性促進層は、非極性のオレフィン系モノマーの濃度を水溶性モノマーの体積濃度の１．１倍以上としてグラフト共重合させたものであるから、非極性のオレフィン系モノマー重合フィルムとの相容性が高い。かつ接着性促進層は、水溶性モノマーに由来する極性を有し、ＰＶＡ等の極性を有する成分からなる接着剤やフィルム等との相容性が高い。この結果、オレフィン系モノマー重合フィルムの接着性を高めることができる。
【０００９】
モノマー混合ガス中のオレフィン系モノマーの体積濃度の上限は、水溶性モノマーの１０．０倍程度が好ましい。それ以上になると、水溶性モノマーの濃度が低くなりすぎ、偏光子等の接着する相手側との相容性が低下し、結果的に接着力が低下する。モノマー混合ガス中のオレフィン系モノマーの体積濃度のより好ましい範囲は、水溶性モノマーの体積濃度の１．４倍以上４倍未満である。
【００１０】
上記のフィルム表面処理方法が、前記水溶性モノマーをガス状態で前記オレフィン系モノマー重合フィルムの近傍まで導く水溶性モノマー供給工程と、前記オレフィン系モノマーをガス状態で、かつ前記水溶性モノマーと混合させることなく前記オレフィン系モノマー重合フィルムの近傍まで導くオレフィン系モノマー供給工程と、前記水溶性モノマー及び前記オレフィン系モノマーどうしを前記接触工程の直前で互いに混合して前記モノマー混合ガスを得る混合工程と、を更に備えることが好ましい。
【００１１】
異種のモノマーガスどうしを供給途中に混合しないようにすることで、供給配管が閉塞したりモノマーどうしの混合比が変動したりするのを防止でき、接着性を安定させることができる。混合工程における水溶性モノマー及びオレフィン系モノマーはガス状態であるから、分子レベルで均一に混合することができる。続く凝縮工程では、分子レベルで均一に混合した液化層を確実に形成でき、更にプラズマ照射工程では、共重合反応を効率良く進行させることができる。
前記水溶性モノマー供給工程における前記「近傍」の位置から前記オレフィン系モノマー重合フィルムの表面までの距離は、好ましくは０ｍｍ〜１００ｍｍ程度である。前記オレフィン系モノマー供給工程における前記「近傍」の位置から前記オレフィン系モノマー重合フィルムの表面までの距離は、好ましくは０ｍｍ〜１００ｍｍ程度である。前記混合工程における前記「直前」から前記接触工程までの時間は、好ましくは０ｓｅｃ〜５ｓｅｃ程度である。
【００１２】
前記モノマー混合ガス中のオレフィン系モノマーとは、二重結合を有しかつ極性官能基を持たない不飽和炭化水素であり、直鎖状でもよく環状でもよく、二重結合の数は１つでもよく２つ以上でもよい。好ましくは、オレフィン系モノマーとして室温付近で液体であり、かつガス化が容易なものを用いる。オレフィン系モノマーの炭素数は５以上８以下が好ましい。
具体的には、直鎖状のオレフィン系モノマーとしては、１−ペンテン、１−ヘキセン、１−ヘプテン、１−オクテン等が挙げられる。直鎖の末端に二重結合があるものが好ましいが、特にこれに限定されるものではない。
環状のオレフィン系モノマーとしては、１−シクロペンテン、１−シクロヘキセン、１−シクロヘプテン、１−シクロオクテンの他、シクロペンタジエン、ジシクロペンタジエン（ＤＣＰＤ）等の環状ジエンが挙げられる。
前記モノマー混合ガスのオレフィン系モノマーは、好ましくは環状ジエンであり、特にシクロペンタジエン、又はジシクロペンタジエンであることが好ましい。これにより、液化層ひいては接着促進層のオレフィン系モノマー重合フィルムとの相容性を高めることができ、特にシクロオレフィンポリマー（ＣＯＰ）からなるフィルムとの相容性を高めることができる。しかも、環状ジエンは、Ｄｉｅｌｓ−ａｌｄｅｒ反応などにより重合性が高く、水溶性モノマーと共重合しやすい。
【００１３】
前記水溶性モノマーは、アルデヒド基、カルボキシル基、又は水酸基を有するモノマーであることが好ましい。これにより、ＰＶＡ等の極性を有する成分からなる接着剤や、偏光子等の被接着部材との相容性を高めることができる。具体的には、水溶性モノマーとして、アセトアルデヒド、ビニルアルコール、アクリル酸（ＡＡ）、メタクリル酸、スチレンスルホン酸、アクリルアミド、メタクリルアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノプロピルアクリルアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアミド等が挙げられる。特に、水溶性モノマーとしては、アセトアルデヒド、又はアクリル酸が好ましい。 アセトアルデヒドは、ビニルアルコールとケト−エノール互変異性体を構成し、ビニルアルコールと共存する化合物である。したがって、ビニルアルコール系の接着剤や偏光子等との相容性を高くすることができる。
【００１４】
前記オレフィン系モノマー重合フィルムは、オレフィン系モノマーを重合（共重合を含む）させたオレフィン系モノマー重合体を主成分とするフィルムである。前記オレフィン系モノマー重合体として、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリスチレンの他、シクロオレフィンポリマー（ＣＯＰ）が挙げられ、これらの共重合体でもよく、例えばポリエチレンとシクロオレフィンポリマーとの共重合体からなるシクロオレフィンコポリマー（ＣＯＣ）でもよい。光学特性の観点からは、前記オレフィン系モノマー重合フィルムが、シクロオレフィンポリマー（ＣＯＰ）を含むことが好ましい。シクロオレフィンポリマーのフィルムは、例えばシクロペンダジエン等を主成分として含む。したがって、モノマー混合ガス中のオレフィン系モノマーとしてシクロペンダジエン等の環状ジエンを用いることにより、オレフィン系モノマー重合フィルムとモノマー混合ガス中のオレフィン系モノマーとの相容性を高くすることができる。
オレフィン系モノマー重合フィルムの重合体を構成するオレフィン系モノマーとモノマー混合ガス中のオレフィン系モノマーとは、同一のモノマーであってもよく、互いに異なるモノマーであってもよい。
【００１５】
本発明に係る偏光板の製造方法は、上記の表面処理方法にて表面処理したオレフィン系モノマー重合フィルムを保護フィルム又は位相差フィルムとして透明な接着剤を介して偏光子と接着することを特徴とする。
上記表面処理によりオレフィン系モノマー重合フィルムからなる保護フィルム又は位相差フィルムの接着性を高めて偏光子と強固に接着することができ、良品質の偏光板を製造することができる。
【００１６】
本発明に係る表面処理装置は、オレフィン系モノマー重合フィルムの表面を処理する表面処理装置であって、
前記オレフィン系モノマー重合フィルムを支持する支持手段と、
水溶性モノマー及びオレフィン系モノマーを含むモノマー混合ガスを、オレフィン系モノマーの体積濃度が水溶性モノマーの体積濃度の１．１倍以上になるよう調節して前記オレフィン系モノマー重合フィルムに接触させるモノマー供給系と、
前記モノマー混合ガス中の水溶性モノマー及びオレフィン系モノマーを前記オレフィン系モノマー重合フィルムの表面上で凝縮させる凝縮手段と、
前記凝縮手段を経た前記オレフィン系モノマー重合フィルムに大気圧近傍プラズマを照射するプラズマ照射手段と、
を備えたことを特徴とする。
【００１７】
前記モノマー供給系及び凝縮手段によって、オレフィン系モノマー重合フィルムの表面に水溶性モノマー及びオレフィン系モノマーの液化層を形成できる。モノマー混合ガス中のオレフィン系モノマーの体積濃度を水溶性モノマーの体積濃度の１．１倍以上とすることによって、水溶性モノマーの性質を抑え、液化層のオレフィン系モノマー重合フィルムとの相容性を良好にすることができる。プラズマ照射手段により、オレフィン系モノマー重合フィルムの表面を活性化できるとともに液化層の水溶性モノマー及びオレフィン系モノマーを活性化でき、オレフィン系モノマー重合フィルムの表面に水溶性モノマー及びオレフィン系モノマーがグラフト共重合して接着性促進層を形成できる。水溶性モノマー及びオレフィン系モノマーを混合ガス状態から液化させることで、分子レベルで均一に混合でき、共重合反応を効率良く進行させることができる。凝縮手段を経たオレフィン系モノマー重合フィルムにプラズマ照射することによって、水溶性モノマー及びオレフィン系モノマーの共重合や各モノマーの重合が気相中で開始されるのを防止でき、極性を有するオリゴマー又はポリマーが気相中で形成されるのを防止できる。そして、オレフィン系モノマー重合フィルムの表面上で水溶性モノマー及びオレフィン系モノマーを確実にグラフト共重合させることができ、オレフィン系モノマー重合フィルムの表面に接着性促進層を確実に形成できる。接着性促進層は、非極性のオレフィン系モノマーの濃度を水溶性モノマーの体積濃度の１．１倍以上としてグラフト共重合させたものであるから、非極性のオレフィン系モノマー重合フィルムとの相容性が高く、かつ水溶性モノマーに由来する極性を有し、ＰＶＡ等の極性を有する成分からなる接着剤やフィルム等との相容性が高い。この結果、オレフィン系モノマー重合フィルムの接着性を高めることができる。
前記凝縮手段は、例えば前記オレフィン系重合フィルムや処理雰囲気の温調手段を含む。前記オレフィン系重合フィルムの温調手段は、例えば前記オレフィン系重合フィルムの支持手段に設けられた温調媒体流路を含む。前記凝縮手段又は前記温調手段としてヒートポンプ、電気−熱変換素子等を用いてもよい。
【００１８】
ここで、大気圧近傍とは、１．０１３×１０４〜５０．６６３×１０４Ｐａの範囲を言い、圧力調整の容易化や装置構成の簡便化を考慮すると、１．３３３×１０４〜１０．６６４×１０４Ｐａが好ましく、９．３３１×１０４〜１０．３９７×１０４Ｐａがより好ましい。大気圧近傍プラズマの雰囲気ガスは、ＨｅやＡｒなどの希ガス、窒素、酸素または空気であることが好ましい。特に、上記雰囲気ガス成分のほぼ全部をＡｒ又は窒素とすると、オレフィン系重合フィルムのプラズマ処理領域の接着性が均一的に高くなるのでより好ましい。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、オレフィン系モノマー重合フィルムの接着性を確実に向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の第１実施形態に係る表面処理装置を概略的に示す正面図である。
【図２】本発明の第２実施形態に係る表面処理装置を概略的に示す正面図である。
【図３】偏光板の断面図である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、本発明の実施形態を、図面を参照して説明する。
図３は、液晶表示装置等に用いられる偏光板１０を示したものである。偏光板１０は、保護フィルム１１と、接着剤１２と、偏光子１３と、接着剤１４と、保護フィルム１５を順次積層してなる。保護フィルム１１は、オレフィン系モノマーの重合体を主成分とするオレフィン系モノマー重合フィルムにて構成されている。ここでは、オレフィン系モノマー重合体として、シクロオレフィンポリマー（ＣＯＰ）が用いられている。以下、保護フィルム１１を適宜「オレフィン系モノマー重合フィルム１１」又は「ＣＯＰフィルム１１」と表記する。フィルム１１の厚さには、特に限定がなく、例えば数十μｍ〜百数十μｍである。ＣＯＰフィルム１１は、延伸されていてもよい。延伸されたＣＯＰフィルム１１は、保護フィルムとしてだけでなく、位相差フィルムとしても機能する。
【００２２】
フィルム１１を構成するオレフィン系モノマー重合体は、ＣＯＰに限られず、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリスチレンであってもよく、これらの共重合体であってもよい。フィルム１１が、シクロオレフィンコポリマー（ＣＯＣ）を主成分とするＣＯＣフィルムにて構成されていてもよい。
【００２３】
偏光子１３は、ポリビニルアルコール（ＰＶＡ）を主成分とするＰＶＡフィルムにて構成されている。
【００２４】
保護フィルム１５は、トリアセテートセルロース（ＴＡＣ）を主成分とするＴＡＣフィルムにて構成されている。以下、保護フィルム１５を適宜「ＴＡＣフィルム１５」と表記する。ＴＡＣフィルム１５のトリアセテートセルロースの含有量は９０質量％以上である。フィルム１５には、更にリン酸トリフェニル（ＴＰＰ）などのリン酸エステル可塑剤が３〜１０質量％程度含有されていてもよく、紫外線吸収剤が含有されていてもよい。フィルム１５の厚さには、特に限定がなく、例えば数十μｍ〜百数十μｍである。ＴＡＣフィルム１５の製造方法は特に限定がなく、例えばキャスト法で製造される。ＴＡＣフィルム１５は、鹸化処理されている。
【００２５】
保護フィルム１１と偏光子１３が、接着剤１２にて接着されている。偏光子１３と保護フィルム１５が、接着剤１４にて接着されている。接着剤１２及び１４としては、特に限定はないが、偏光板１０等の光学フィルムに適用されることを考慮し、透明な水系接着剤を用いることが好ましい。水系接着剤として、ポリビニルアルコール水溶液、ポリビニルブチラール溶液等を主成分とするポリビニルアルコール系の接着剤液、ブチルアクリレートなどを主成分とするビニル系重合系ラテックス、ポリオレフィン系ポリオール等を主成分とするオレフィン水性接着剤、ポリエーテル系接着剤等が挙げられる。接着剤１２，１４としては、ポリビニルアルコール水溶液を主成分とするポリビニルアルコール系接着剤（ＰＶＡ接着剤）を用いるのがより好ましい。２層の接着剤１２，１４が、互いに同一成分にて構成されていてもよく、互いに異なる成分にて構成されていてもよい。
【００２６】
オレフィン系モノマー重合フィルム１１は、ＰＶＡフィルムからなる偏光子１３に比べて接着剤１２との接着性が低い。そこで、接着に先立って、オレフィン系モノマー重合フィルム１１には接着性向上のための表面処理が施される。
【００２７】
図１は、上記の表面処理に用いるフィルム表面処理装置１の一例を示したものである。フィルム表面処理装置１は、モノマー供給系２と、表面処理部４を備えている。
【００２８】
モノマー供給系２は、２系統のモノマー含有ガス供給系２０，３０を含む。水溶性モノマー含有ガス供給系２０は、水溶性モノマー供給源として気化器２１を備えている。気化器２１の下側部に水溶性モノマーが液体の状態で蓄えられている。気化器２１内の水溶性モノマーの液面より上側の部分には、水溶性モノマー液から気化した水溶性モノマーの飽和蒸気が存在している。気化器２１にはヒータ等の温調手段（図示省略）が組み込まれており、気化器２１内の温度を調節することで水溶性モノマーの気化量を調節することができる。
【００２９】
水溶性モノマーとして、ここではアクリル酸（ＣＨ２＝ＣＨＣＯＯＨ）又はアセトアルデヒド（ＣＨ３ＣＨＯ）が用いられている。なお、水溶性モノマーは、カルボキシル基、アルデヒド基、水酸基等の極性基を有し、水への溶解性が高いモノマーであればよく、アクリル酸又はアセトアルデヒドの他、ビニルアルコール、メタクリル酸、スチレンスルホン酸、アクリルアミド、メタクリルアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノプロピルアクリルアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアミド等であってもよい。
【００３０】
キャリア供給源２２からのキャリア導入路２３が気化器２１に接続されている。キャリア供給源２２のキャリアガスとして窒素（Ｎ２）が用いられている。キャリア導入路２３の先端開口は、気化器２１内の水溶性モノマー液の液面より上側に配置されているが、水溶性モノマーの液中に差し入れられていてもよい。
【００３１】
気化器２１から水溶性モノマー含有ガス供給路２４が表面処理部４へ延びている。図示は省略するが、水溶性モノマー含有ガス供給路２４を構成する管の外周には全長にわたってリボンヒータ（温調手段）が設けられている。
【００３２】
オレフィン系モノマー含有ガス供給系３０は、オレフィン系モノマー供給源として気化器３１を備えている。気化器３１の下側部にオレフィン系モノマーが液体の状態で蓄えられている。気化器３１内のオレフィン系モノマーの液面より上側の部分には、オレフィン系モノマー液から気化したオレフィン系モノマーの飽和蒸気が存在している。気化器３１にはヒータ等の温調手段（図示省略）が組み込まれており、気化器３１内の温度を調節することでオレフィン系モノマーの気化量を調節することができる。
【００３３】
オレフィン系モノマーとして、ここではシクロペンタジエン又はジシクロペンタジエンが用いられている。なお、オレフィン系モノマーは、１又は複数の二重結合を有する不飽和炭化水素であり、かつ極性官能基を持たない不飽和炭化水素であればよく、シクロペンタジエン又はジシクロペンタジエン等の環状ジエンに限られず、１−シクロペンテン、１−シクロヘキセン、１−シクロヘプテン、１−シクロオクテン等の二重結合の数が１つの環状モノマーでもよく、環状モノマーに限られず、１−ペンテン、１−ヘキセン、１−ヘプテン、１−オクテン等の直鎖状モノマーでもよい。
【００３４】
キャリア供給源３２からのキャリア導入路３３が気化器３１に接続されている。キャリア供給源３２のキャリアガスとして窒素（Ｎ２）が用いられている。キャリア供給源２２及びキャリア供給源３２が互いに共通の窒素供給源にて構成されていてもよい。キャリア導入路３３の先端開口は、気化器３１内のオレフィン系モノマー液の液面より上側に配置されているが、オレフィン系モノマーの液中に差し入れられていてもよい。
【００３５】
気化器３１からオレフィン系モノマー含有ガス供給路３４が表面処理部４へ延びている。図示は省略するが、オレフィン系モノマー含有ガス供給路３４を構成する管の外周には全長にわたってリボンヒータ（温調手段）が設けられている。
【００３６】
プラズマ照射手段としての表面処理部４は、上側の処理ヘッド４０と、下側のステージ５０を備えている。処理ヘッド４０の内部には電極４１が収容されている。電極４１は、図１の紙面と直交する方向にフィルム１１の巾寸法以上の長さになるよう延びている。電極４１の下面に固体誘電体４２が設けられている。電極４１に電源４３が接続されている。電源４３は、商用交流電力を直流に整流し、この直流をパルス波状の高周波に変換し、更に昇圧して出力する。電源４３からの出力波は、パルス状に限られず、連続波状であってもよい。
【００３７】
図示は省略するが、電極４１の内部には冷却路が形成されている。この冷却路に冷却水を通すことにより、電極４１を冷却（温度調節）できる。
【００３８】
電極４１の長手方向と直交する方向の一側部（図１において左）にはガス混合噴出部３が設けられている。ガス混合噴出部３は、モノマー供給系２の先端要素を構成する。モノマー供給系２の２系統の供給路２４，３４がガス混合噴出部３に連なっている。図示は省略するが、ガス混合噴出部３には、供給路２４からの水溶性モノマー含有ガスと供給路３４からのオレフィン系モノマー含有ガスを互いに混合しながら、又は混合した後に図１の紙面と直交する方向に均一化する混合整流部が設けられている。混合整流部は、１又は複数のチャンバー、１又は複数のスリット、多数の小孔からなる小孔列等によって構成されている。水溶性モノマー含有ガスとオレフィン系モノマー含有ガスの混合によって、モノマー混合ガスが形成される。モノマー混合ガスは、水溶性モノマーとオレフィン系モノマーとキャリアガス（Ｎ２）を含む。ガス混合噴出部３の下端部には吹き出し口３ａが設けられている。吹き出し口３ａは、図１の紙面と直交する方向にフィルム１１の巾寸法と同程度又はそれより長く延びるスリット状になっているが、図１の紙面と直交する方向に並べられた多数の小孔の列によって構成されていてもよい。上記モノマー混合ガスが、吹き出し口３ａから下方へ均一に吹き出される。ガスの吹き出し方向は、電極４１の側へ向かって斜めになっているが、まっすぐ下方へ吹き出されるようにしてもよい。
【００３９】
さらに、プラズマ生成用ガス供給源６０からのプラズマ生成用ガス供給路６１が噴出部３に連なっている。噴出部３は、プラズマ生成用ガス供給路６１からのプラズマ生成用ガスを下方へ吹き出す。プラズマ生成用ガスとして窒素（Ｎ２）が用いられている。プラズマ生成用ガス供給源６０とキャリア供給源２２，３２とが互いに共通の窒素供給源にて構成されていてもよい。
【００４０】
モノマー供給系２の供給路２４，３４から噴出部３にガスが供給されるときはプラズマ生成用ガス供給路６１が閉じられる。供給路６１からプラズマ生成用ガスが噴出部３に供給されるときは、モノマー供給系２の供給路２４，３４が閉じられる。噴出部３は、モノマー供給系２の２系統のガスの混合及び吹き出し手段としての機能と、プラズマ生成用ガスの吹き出し手段としての機能を兼ねている。
【００４１】
処理ヘッド４０の左右の両側部には、ガスカーテン形成部４４が設けられている。カーテンガス供給源（図示せず）からのガスカーテン路４５が各ガスカーテン形成部４４に連なっている。ガスカーテン形成部４４は、ガスカーテン路４５からのカーテンガスを下方へ吹き出す。これにより、処理ヘッド４０の左右両端部とステージ５０との間にガスカーテンが形成される。カーテンガスとして窒素（Ｎ２）が用いられている。上記カーテンガス供給源が、プラズマ生成用ガス供給源６０及びキャリア供給源２２，３２と共通の窒素供給源にて構成されていてもよい。
【００４２】
図示は省略するが、処理ヘッド４０には搬送機構が接続されている。搬送機構によって、処理ヘッド４０が図１において左右方向に往復移動される。処理ヘッド４０に代えて、ステージ５０が移動されるようになっていてもよい。
【００４３】
ステージ５０は、板状又は盤状をなし、処理ヘッド４０の下側に離れて設置されている。ステージ５０の上面に板状の固体誘電体５２が設けられている。固体誘電体５２の上に処理対象の枚葉状のオレフィン系モノマー重合フィルム１１が配置されている。ステージ５０は、フィルム１１の支持手段を構成する。
【００４４】
ステージ５０は、金属にて構成され、電気的に接地されている。これにより、ステージ５０は、電極４１と対をなす接地電極としても機能している。電界印加電極４１とステージ兼接地電極５０とにより、平行平板電極が構成されている。電源４３からの電圧供給によって、電極４１とステージ兼接地電極５０との間に電界が印加され、固体誘電体４２，５２どうし間の空間４９が大気圧プラズマ空間になる。
【００４５】
ステージ５０の内部に冷却路５６からなる凝縮手段が組み込まれている。冷却路５６に冷却媒体が通される。冷却媒体として例えば水が用いられている。冷却媒体によりステージ５０を冷却でき、ひいては固体誘電体５２を介してオレフィン系モノマー重合フィルム１１を冷却（温度調節）できる。
【００４６】
上記構成のフィルム表面処理装置１を用いて、オレフィン系モノマー重合フィルム１１を表面処理し、更には偏光板１０を製造する方法を説明する。
［水溶性モノマー供給工程］
キャリア供給源２２のキャリアガス（Ｎ２）を、キャリア導入路２３を経て気化器２１に導入する。気化器２１内の水溶性モノマー液より上側の部分において、水溶性モノマーガスとキャリアガスが混合され、水溶性モノマー含有ガスが生成される。水溶性モノマー含有ガスの水溶性モノマー濃度は、キャリアガスの気化器２１への導入流量及び気化器２１内の温度にて調節できる。
【００４７】
水溶性モノマー含有ガス、すなわちキャリアガスにキャリアされた水溶性モノマーガスが、水溶性モノマー含有ガス供給路２４を経てオレフィン系モノマー重合フィルム１１の近傍のガス混合噴出部３へ送られる。このとき、供給路２４を構成する管に設けたリボンヒーターなどの温調手段によって水溶性モノマー含有ガスを温調することにより、水溶性モノマーが供給路２４内で凝縮するのを防止できる。
【００４８】
［オレフィン系モノマー供給工程］
上記の水溶性モノマー供給工程と併行して、キャリア供給源３２のキャリアガス（Ｎ２）を、キャリア導入路３３を経て気化器３１に導入する。気化器３１内のオレフィン系モノマー液より上側の部分において、オレフィン系モノマーガスとキャリアガスが混合され、オレフィン系モノマー含有ガスが生成される。オレフィン系モノマー含有ガスのオレフィン系モノマー濃度は、キャリアガスの気化器３１への導入流量及び気化器３１内の温度にて調節できる。
【００４９】
オレフィン系モノマー含有ガス、すなわちキャリアガスにキャリアされたオレフィン系モノマーガスが、オレフィン系モノマー含有ガス供給路３４を経てオレフィン系モノマー重合フィルム１１の近傍のガス混合噴出部３へ送られる。このとき、供給路３４を構成する管に設けたリボンヒーターなどの温調手段によってオレフィン系モノマー含有ガスを温調することにより、オレフィン系モノマーが供給路３４内で凝縮するのを防止できる。
【００５０】
水溶性モノマーとオレフィン系モノマーは、ガス混合噴出部３に到達するまで互いに混合されることがない。したがって、これら２種類のモノマーガスが、供給途中で共重合反応を起こすのを防止できる。よって、供給路２４，３４が詰まるのを防止できる。かつ、各モノマー含有ガスのモノマー濃度が変動するのを防止でき、モノマー濃度を正確に管理することができる。
【００５１】
［混合工程］
ガス混合噴出部３は、水溶性モノマー含有ガス供給路２４からの水溶性モノマー含有ガスとオレフィン系モノマー含有ガス供給路３４からのオレフィン系モノマー含有ガスとを混合し、水溶性モノマー及びオレフィン系モノマーを含むモノマー混合ガスを生成する。水溶性モノマー及びオレフィン系モノマーはガス状態であるから、分子レベルで均一に混合することができる。水溶性モノマーとオレフィン系モノマーの混合は、後述する接触工程の直前に行なわれる。
【００５２】
モノマー混合ガス中のオレフィン系モノマーの濃度は、体積比で水溶性モノマーの濃度の１．１倍以上であることが好ましい。モノマー混合ガス中の各モノマーの濃度は、気化器２１，３１へのキャリア流量及び気化器２１，３１の温度等により調節することができる。
【００５３】
［接触工程］
ガス混合噴出部３は、モノマー混合ガスを下方へ吹き出す。これにより、モノマー混合ガスがオレフィン系モノマー重合フィルム１１に接触する。水溶性モノマーとオレフィン系モノマーを混合後直ちに吹き出すことで、ガス混合噴出部３内で水溶性モノマーとオレフィン系モノマーが重合反応を起こすのを防止でき、ガス混合噴出部３内が閉塞されるのを防止できる。
【００５４】
［凝縮工程］
冷却水を冷却路５６に通す。これより、ステージ５０及び固体誘電体５２を介してオレフィン系モノマー重合フィルム１１を冷却できる。そのため、モノマー混合ガス中の水溶性モノマー及びオレフィン系モノマーが、オレフィン系モノマー重合フィルム１１に接触したとき冷却されて凝縮する。これにより、オレフィン系モノマー重合フィルム１１の表面に水溶性モノマーとオレフィン系モノマーの混合液からなる液化層が形成される。
【００５５】
水溶性モノマー及びオレフィン系モノマーをガス状態のときに混合するため、水溶性モノマーとオレフィン系モノマーが分子レベルで均一に混ざった液化層を得ることができる。しかも、水溶性モノマーとオレフィン系モノマーを、オレフィン系モノマー重合フィルム１１にスプレー塗布ではなく、ガス状態で吹き付けた後、凝縮させるため、オレフィン系モノマー重合フィルム１１の表面に液化層を万遍なく均一に形成できる。液化層中のオレフィン系モノマーを構成するシクロペンタジエン等の環状ジエンはオレフィン系モノマー重合フィルム１１との相容性が高い。しかも、モノマー混合ガス中のオレフィン系モノマーの濃度を水溶性モノマーの濃度の１．１倍以上にすることで、オレフィン系モノマー重合フィルム１１と液化層との相容性を確実に向上できる。
【００５６】
［液化層形成時搬送工程］
上記の接触工程及び凝縮工程と併行して、吹き出し口３ａがフィルム１１の左右方向の一端に対応する位置と他端に対応する位置との間を移動するよう、処理ヘッド４０を図１において左右方向に往復移動させる。これにより、水溶性モノマー及びオレフィン系モノマーの液化層をオレフィン系モノマー重合フィルム１１の全面に形成でき、かつ液化層の厚さを大きくすることができる。
【００５７】
その後、水溶性モノマー及びオレフィン系モノマーの供給工程を停止し、ひいては混合工程、接触工程、凝縮工程を停止する。
【００５８】
［プラズマ照射工程］
続いて、プラズマ生成用ガス供給源６０のプラズマ生成用ガス（Ｎ２）を、供給路６１を経て噴出部３に導入し、噴出部３から下方のオレフィン系モノマー重合フィルム１１へ吹き出す。併せて、電源４３から電極４１に電力を供給する。これにより、電極４１とステージ５０との間に電界が印加されて大気圧下で放電が生成され、プラズマ空間４９内でプラズマ生成用の窒素ガスがプラズマ化（分解、励起、活性化、ラジカル化、イオン化を含む）される。これにより、オレフィン系モノマー重合フィルム１１におけるプラズマ空間４９内に配置された部分の表面に、窒素プラズマやプラズマ光が照射される。このプラズマ照射により、液化層の水溶性モノマー及びオレフィン系モノマーが活性化されるとともに、オレフィン系モノマー重合フィルム１１の表面分子が活性化され、オレフィン系モノマー重合フィルム１１の表面分子に水溶性モノマー及びオレフィン系モノマーが結合する。具体的には、オレフィン系モノマー重合フィルム１１の表面分子のＣ−Ｈ結合がプラズマガスとの接触やプラズマ光の照射により切断され、この結合切断部に水溶性モノマー及びオレフィン系モノマーがグラフト共重合するものと考えられる。これにより、オレフィン系モノマー重合フィルム１１の表面に水溶性モノマー及びオレフィン系モノマーのグラフト共重合体からなる接着性促進層を形成することができる。水溶性モノマーとオレフィン系モノマーを分子レベルで均一に混合しておくことにより、共重合反応を効率よく進行させることができる。
【００５９】
モノマー混合ガス中のオレフィン系モノマーの濃度を水溶性モノマーの濃度の１．１倍以上にしておくことで、オレフィン系モノマー重合フィルム１１と接着性促進層との相容性を確実に高めることができる。加えて、水溶性モノマー及びオレフィン系モノマーに対しガス状態のときにプラズマ照射するのではなく、液化層にしたうえでプラズマ照射することにより、気相中で水溶性モノマーとオレフィン系モノマーの共重合反応が開始されるのを防止でき、オレフィン系モノマー重合フィルム１１と接着性促進層との相容性を一層高めることができる。
【００６０】
［プラズマ照射時搬送工程］
上記プラズマ照射工程と併行して、吹き出し口３ａがフィルム１１の左右方向の一端に対応する位置と他端に対応する位置との間を移動するよう、処理ヘッド４０を図１において左右方向に移動させる。これにより、接着性促進層をオレフィン系モノマー重合フィルム１１の全面に形成することができる。
【００６１】
［接着工程］
フィルム表面処理装置１による上記表面処理の後、オレフィン系モノマー重合フィルム１１の被処理面にＰＶＡ接着剤１２を塗布し、更にその上にＰＶＡ偏光子１３を重ね、接着剤１２を介してオレフィン系モノマー重合フィルム１１とＰＶＡ偏光子１３を接着する。オレフィン系モノマー重合フィルム１１は非極性であるのに対し、接着性促進層は水溶性モノマーに由来する極性を有し、ＰＶＡとの相容性が高い。よって、極性のＰＶＡ接着剤１２とオレフィン系モノマー重合フィルム１１との接着性を高めることができ、ひいては極性のＰＶＡ偏光子１３とオレフィン系モノマー重合フィルム１１との接着性を高めることができる。更に、接着性促進層は、オレフィン系モノマー重合フィルム１１との相容性が高いオレフィン系モノマーを含んでいる。しかも、上述したように、モノマー混合ガス中のオレフィン系モノマーの濃度を水溶性モノマーの濃度の１．１倍以上にし、かつ液化層の形成後にプラズマ照射することで、オレフィン系モノマー重合フィルム１１と接着促進層との相容性を十分確保することができる。この結果、難接着性のオレフィン系モノマー重合フィルム１１の接着性を十分に高めることができ、接着剤１２を介してオレフィン系モノマー重合フィルム１１をＰＶＡ偏光子１３に強固に接着することができる。
【００６２】
さらに、ＰＶＡ偏光子１３に接着剤１４を介して、鹸化したＴＡＣフィルムからなる保護フィルム１５を接着する。これにより、良品質の偏光板１０を得ることができる。
【００６３】
次に、本発明の他の実施形態に係る表面処理装置について説明する。以下の実施形態において第１の実施形態と重複する構成に関しては、図面に同一符号を付して説明を省略する。
図２は、本発明の第２実施形態を示したものである。第２実施形態に係るフィルム表面処理装置１Ｘは、表面処理部７（プラズマ照射手段）が一対のロール電極７１，７２にて構成されている。ロール電極７１，７２は、軸線を図２と直交する方向に向けた円筒状になっている。各ロール電極７１，７２の外周面の全体には固体誘電体層（図示省略）が設けられている。例えば、右側のロール電極７２が電源４３に接続されている。左側のロール電極７１が電気的に接地されている。勿論、ロール電極７１に電源４３が接続され、ロール電極７２が電気的に接地されていてもよい。電源４３からの電力供給によって、ロール電極７１，７２間の空間の最も狭くなった部分及びその周辺が大気圧近傍のプラズマ空間７９になる。
【００６４】
第２実施形態のオレフィン系モノマー重合フィルム１１は、連続シート状になっている。オレフィン系モノマー重合フィルム１１は、２つのロール電極７１，７２の上側の周面に例えば半周程度掛け回されている。ロール電極７１，７２どうしの間のオレフィン系モノマー重合フィルム１１は、プラズマ空間７９に通されて下方へ延出され、一対のガイドロール７３，７３に掛け回されて折り返されている。ロール電極７１，７２及びガイドロール７３の回転により、オレフィン系モノマー重合フィルム１１が、一方向（右方向）に搬送される。
ロール電極７１，７２及びガイドロール７３は、オレフィン系モノマー重合フィルム１１の支持手段及び移動手段としての機能を有している。
【００６５】
各ロール電極７１，７２の内部に凝縮手段として冷却路７６が設けられている。所定温度の冷却媒体が、冷却路７６を流通する。冷却媒体として例えば水が用いられる。これによって、ロール電極７１，７２の温度を調節でき、更にはオレフィン系モノマー重合フィルム１１のロール電極７１に接する部分の温度を調節することができる。
【００６６】
左側（フィルム１１の搬送方向の上流側）のロール電極７１の上側に、モノマー混合噴出ノズル７４が設けられている。モノマー混合噴出ノズル７４に水溶性モノマー含有ガス供給路２４及びオレフィン系モノマー含有ガス供給路３４の下流端が連なっている。モノマー混合噴出ノズル７４において、水溶性モノマー含有ガス供給路２４からのガスとオレフィン系モノマー含有ガス供給路３４からのガスが混合され、下方へ吹き出される。詳細な図示は省略するが、モノマー混合噴出ノズル７４は、図２の紙面と直交する方向にフィルム１１の幅とほぼ同じかそれより長く延びている。モノマー混合噴出ノズル７４には、上記２種類のガスを混合しながら、又は混合した後、モノマー混合噴出ノズル７４の長手方向（図２の紙面直交方向）に均一に分散させる整流路が形成されている。
【００６７】
ロール電極７１とロール電極７２の間の上側部分にプラズマ生成用ガス噴出ノズル７５が配置されている。ノズル７５にプラズマ生成用ガス供給路６１の下流端が連なっている。詳細な図示は省略するが、プラズマ生成用ガス噴出ノズル７５は、図２の紙面と直交する方向にフィルム１１の幅とほぼ同じかそれより長く延びている。プラズマ生成用ガス噴出ノズル７５には、上記プラズマ生成用ガス供給路６１からのガスをノズル７５の長手方向（図２の紙面直交方向）に均一に分散させる整流路が形成されている。均一化後のガスがノズル７５から下方のプラズマ空間７９へ吹き出される。
【００６８】
フィルム表面処理装置１Ｘでは、ロール電極７１，７２及びガイドロール７３を図２において時計周りに回転させることによって、オレフィン系モノマー重合フィルム１１を右方向に連続的に搬送しながら（搬送工程）、モノマー混合ガスをノズル７４からオレフィン系モノマー重合フィルム１１におけるノズル７４の直下部分に吹き付ける（接触工程）。オレフィン系モノマー重合フィルム１１におけるモノマー混合ガスが吹き付けられる部分は、プラズマ空間７９より搬送方向の上流側に位置している。
【００６９】
併行して、冷却水を冷却路７６に通す。これにより、オレフィン系モノマー重合フィルム１１に接触したモノマー混合ガス中の水溶性モノマー及びオレフィン系モノマーが凝縮し、オレフィン系モノマー重合フィルム１１の表面に液化層が形成される（凝縮工程）。オレフィン系モノマー重合フィルム１１の表面の液化層が形成された部分は、オレフィン系モノマー重合フィルム１１の搬送に伴なって、ロール電極７１の周面に沿ってプラズマ空間７９の側へ伸長していく。
【００７０】
さらに、プラズマ生成用ガス供給源６０のプラズマ生成用ガスを、供給路６１を経てノズル７５からプラズマ空間７９へ導入する。併せて、電源４３からの電圧供給によりロール電極７１，７２間に電界を印加してプラズマ生成用ガスをプラズマ化する。これにより、オレフィン系モノマー重合フィルム１１におけるプラズマ空間７９内の部分にプラズマを照射する（プラズマ照射工程）。このプラズマ照射により、オレフィン系モノマー重合フィルム１１の表面分子に水溶性モノマー及びオレフィン系モノマーをグラフト共重合させ、オレフィン系モノマー重合フィルム１１の表面に接着性促進層を形成できる。この結果、第１実施形態と同様に、オレフィン系モノマー重合フィルム１１の接着性を高めることができ、オレフィン系モノマー重合フィルム１１とＰＶＡ偏光子１３の接着強度を高めることができる。
【００７１】
第２実施形態では、オレフィン系モノマー重合フィルム１１がロール電極７１に沿ってプラズマ空間７９を通過した後、ガイドロール７３にて折り返されて、ロール電極７２に沿ってプラズマ空間７９を再び通過する。したがって、オレフィン系モノマー重合フィルム１１の各部位のプラズマ照射を２回行なうことができる。
【００７２】
本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、その要旨の範囲内において種々の改変をなすことができる。
例えば、キャリア導入路２３から短絡路を分岐させて水溶性モノマー含有ガス供給路２４に接続してもよく、そうすると、キャリアガスの気化器２１への導入流量と、上記短絡路への分流量とを調節することで、水溶性モノマー含有ガスの水溶性モノマー濃度を調節することができる。
キャリア導入路３３から短絡路を分岐させてオレフィン系モノマー含有ガス供給路３４に接続してもよく、そうすると、キャリアガスの気化器３１への導入流量と、上記短絡路への分流量とを調節することで、オレフィン系モノマー含有ガスのオレフィン系モノマー濃度を調節することができる。
気化器２１，３１は、液体の水溶性モノマーや液体のオレフィン系モノマーをスプレー噴霧または超音波で霧化し、霧化したモノマーをキャリアガスと混合させる装置であってもよい。
水溶性モノマー含有ガスとオレフィン系モノマー含有ガスをガス混合噴出部３，７４から互いに別々に吹き出し、吹き出し後に混合されるようにしてもよい。
プラズマ照射手段は、一対の電極間に被処理フィルムを配置する所謂ダイレクト式構造に限られず、一対の電極間で生成したプラズマを電極間から吹き出し、電極間の外部に配置した被処理フィルムに照射する所謂リモート式構造であってもよい。
本発明のフィルム表面処理方法及び表面処理装置は、偏光板の製造に限られず、それ以外の用途に適用してもよい。
【実施例１】
【００７３】
以下に実施例を説明するが、本発明はこれら実施例に限定されるものではない。
実施例１の表面処理条件及び結果を表１に示す。実施例１では、図１に示すフィルム表面処理装置１と実質的に同じ構造の装置を用いた。処理対象のオレフィン系モノマー重合フィルム１１として、ポロプロピレンフィルム（東洋紡製、商品名パイレンフィルム、型式ＣＴ）を用いた。フィルム１１の巾（図１の紙面直交方向に沿う寸法）は、１５０ｍｍであり、フィルム１１の長さ（図１の左右方向に沿う寸法）は、２００ｍｍであった。フィルム１１の厚さは、８０μｍであった。
【００７４】
［液化層形成工程］
水溶性モノマー含有ガス供給系２０の水溶性モノマーとしてアクリル酸（ＡＡ）を用いた。供給系２０のキャリアガス（Ｎ２）の流量は２ｓｌｍとした。気化器２１の温度は５０℃とした。供給路２４の温度は６０℃とした。
【００７５】
オレフィン系モノマー含有ガス供給系３０のオレフィン系モノマーとして、ジシクロペンタジエン（ＤＣＰＤ）を用いた。供給系３０のキャリアガス（Ｎ２）の流量は８ｓｌｍとした。気化器３１の温度は８０℃とした。供給路３４の温度は９０℃とした。
【００７６】
窒素にてキャリアされたアクリル酸ガス及び窒素にてキャリアされたジシクロペンタジエンガスをそれぞれ供給路２４，３４からガス混合噴出部３に導いて混合し、モノマー混合ガスを生成した。モノマー混合ガス中のアクリル酸濃度は０．０８５ｖｏｌ％であり、ジシクロペンタジエン濃度は０．３３９ｖｏｌ％であり、残部は窒素であった。したがって、モノマー混合ガス中のオレフィン系モノマー（ジシクロペンタジエン）の濃度は水溶性モノマー（アクリル酸）の濃度の３．９８８倍であった。表１の「オレフィン系モノマー濃度比」は、水溶性モノマー濃度に対するオレフィン系モノマー濃度の比である（表２〜表４において同じ）。モノマー（アクリル酸及びジシクロペンタジエン）の濃度は、別途、供給系２０，３０にキャリアガス（Ｎ２）を１０ｓｌｍで１０分間流し、各気化器２１，３１内のモノマー液の重量変化（気化量）を測定し、この測定結果から換算した。
【００７７】
このモノマー混合ガスを吹き出し口３ａからフィルム１１に吹き付け、接触させた。温調手段５６によってフィルム１１の温度を２５℃に調節し、フィルム１１の表面にモノマー（アクリル酸及びジシクロペンタジエン）を凝縮させた。なお、カーテンガスの流量は、両側のガスカーテン形成部４４，４４の合計で３０ｓｌｍ（片側１５ｓｌｍ）とした。
【００７８】
上記モノマー混合ガスの吹き付けと併行し、処理ヘッド４０を往復移動させた。処理ヘッド４０の移動速度は、０．５ｍ／ｍｉｎとした。処理ヘッド４０の移動回数は、往方向、復方向の片道移動を１回として、５回とした。処理ヘッド４０の片道１回分の移動距離は４００ｍｍであった。
その後、モノマー供給系２からのガス供給を停止した。
【００７９】
［プラズマ照射工程］
続いて、プラズマ生成用ガスとしての窒素ガスを、供給路６２を経て噴出部３に導入し吹き出し口３ａから吹き出した。プラズマ生成用の窒素ガス流量は１０ｓｌｍとした。これと併行して、電源４３から電極４１に電力を供給した。電源４３におけるパルス変換前の直流電圧は１１０Ｖ、直流電流は３．８Ａ、電力は４１８Ｗであった。電界印加電極４１とステージ兼接地電極５０との間の印加電圧はＶｐｐ＝１６．５ｋＶであった。電極４１の長さ（図１の紙面と直交する方向の寸法）は、２００ｍｍであった。電極４１の下面とステージ兼接地電極５０の上面間の距離は、２．７ｍｍであった。固体誘電体４２，５２の厚さは、共に１ｍｍであった。したがって、放電空間４９の厚さは０．７ｍｍであった。これにより、窒素ガスをプラズマ化し、フィルム１１に窒素プラズマを照射した。プラズマ照射と併行して、処理ヘッド４０を片道１回だけ移動させた。処理ヘッド４０の移動距離は４００ｍｍであり、移動速度は１ｍ／ｍｉｍとした。カーテンガス流量は液相形成時と同じとした。
【００８０】
［接着工程］
表面処理後の被処理フィルム１１に、ＰＶＡ系の接着剤１２を塗布した。接着剤１２として、（Ａ）ＰＶＡ ５ｗｔ％水溶液と、（Ｂ）カルボキシメチルセルロースナトリウム ２ｗｔ％水溶液とを、（Ａ）：（Ｂ）=２０：１で混合した水溶液を用いた。接着剤１
３の乾燥条件は８０℃、５分間とした。この接着剤１２を介してフィルム１１とＰＶＡ偏光子１３を接着した。さらに、ＰＶＡ偏光子１３と鹸化したＴＡＣフィルム１５とをＰＶＡ接着剤１４にて接着し、偏光板１０のサンプルを作成した。
【００８１】
［評価］
上記のサンプルにおける被処理フィルム１１とＰＶＡ偏光子１３との間の接着強度を浮動ローラー法（ＪＩＳ Ｋ６８５４）にて測定した。測定結果は１０．４Ｎ／ｉｎｃｈであり、十分な接着強度が得られた。
【実施例２】
【００８２】
実施例２の表面処理条件及び結果を表１に示す。実施例２では、実施例１と同じ装置（図１）を用い、かつ処理対象のオレフィン系モノマー重合フィルム１１として、シクロオレフィンポリマーフィルム（積水化学工業製、商品名エスシーナ）を用いた。フィルムの大きさは、実施例１と同じとした。
【００８３】
水溶性モノマー含有ガス供給系２０の水溶性モノマーとしては、アセトアルデヒド（ＣＨ３ＣＨＯ）を用いた。水溶性モノマー含有ガス供給系２０のキャリア（Ｎ２）の流量は、０．５ｓｌｍとした。気化器２１の温度は２５℃とした。供給路２４の温度は３０℃とした。
【００８４】
オレフィン系モノマー含有ガス供給系３０のオレフィン系モノマーとしては、ジシクロペンタジエン（ＤＣＰＤ）を用いた。供給系３０のキャリアガス（Ｎ２）の流量は９．５ｓｌｍとした。気化器３１の温度は８０℃とした。供給路３４の温度は９０℃とした。これにより、噴射部３におけるモノマー混合ガス中のアセトアルデヒド濃度は０．１７４ｖｏｌ％になり、ジシクロペンタジエン濃度は０．４０３ｖｏｌ％になった。したがって、モノマー混合ガス中のオレフィン系モノマー（ジシクロペンタジエン）の濃度は水溶性モノマー（アセトアルデヒド）の濃度の２．３１６倍であった。その他の処理条件は、実施例１と同じとした。
【００８５】
さらに、実施例１と同様にして偏光板１０のサンプルを作成した。このサンプルのフィルム１１とＰＶＡ偏光子１３との間の接着強度を実施例１と同一方法で測定したところ、結果は９．２Ｎ／ｉｎｃｈであり、十分な接着強度が得られた。
【実施例３】
【００８６】
実施例３の表面処理条件及び結果を表１に示す。実施例３では、実施例１と同じ装置（図１）を用い、かつ実施例２と同じシクロオレフィンポリマーフィルムを処理対象のオレフィン系モノマー重合フィルム１１とした。
【００８７】
水溶性モノマー含有ガス供給系２０の水溶性モノマーとしては、アクリル酸（ＡＡ）を用いた。水溶性モノマー含有ガス供給系２０のキャリア（Ｎ２）の流量は、４ｓｌｍとした。気化器２１の温度は５０℃とした。供給路２４の温度は６０℃とした。
【００８８】
オレフィン系モノマー含有ガス供給系３０のオレフィン系モノマーとしては、ジシクロペンタジエン（ＤＣＰＤ）を用いた。供給系３０のキャリアガス（Ｎ２）の流量は６ｓｌｍとした。気化器３１の温度は８０℃とした。供給路３４の温度は９０℃とした。これにより、噴射部３におけるモノマー混合ガス中のアクリル酸濃度は０．１７ｖｏｌ％になり、ジシクロペンタジエン濃度は０．２５４ｖｏｌ％になった。したがって、モノマー混合ガス中のオレフィン系モノマー（ジシクロペンタジエン）の濃度は水溶性モノマー（アクリル酸）の濃度の１．４９４倍であった。その他の処理条件は、実施例１と同じとした。
【００８９】
さらに、実施例１と同様にして偏光板１０のサンプルを作成した。このサンプルのフィルム１１とＰＶＡ偏光子１３との間の接着強度を実施例１と同一方法で測定したところ、結果は１０．１Ｎ／ｉｎｃｈであり、十分な接着強度が得られた。
【実施例４】
【００９０】
実施例４の表面処理条件及び結果を表１に示す。実施例４では、実施例１と同じ装置（図１）を用い、かつ実施例２と同じシクロオレフィンポリマーフィルムを処理対象のオレフィン系モノマー重合フィルム１１とした。
【００９１】
水溶性モノマー含有ガス供給系２０の水溶性モノマーとしては、アクリル酸（ＡＡ）を用いた。水溶性モノマー含有ガス供給系２０のキャリア（Ｎ２）の流量は、３ｓｌｍとした。気化器２１の温度は５０℃とした。供給路２４の温度は６０℃とした。
【００９２】
オレフィン系モノマー含有ガス供給系３０のオレフィン系モノマーとしては、ジシクロペンタジエン（ＤＣＰＤ）を用いた。供給系３０のキャリアガス（Ｎ２）の流量は７ｓｌｍとした。気化器３１の温度は８０℃とした。供給路３４の温度は９０℃とした。これにより、噴射部３におけるモノマー混合ガス中のアクリル酸濃度は０．１２７ｖｏｌ％になり、ジシクロペンタジエン濃度は０．２９７ｖｏｌ％になった。したがって、モノマー混合ガス中のオレフィン系モノマー（ジシクロペンタジエン）の濃度は水溶性モノマー（アクリル酸）の濃度の２．３３９倍であった。その他の処理条件は、実施例１と同じとした。
【００９３】
さらに、実施例１と同様にして偏光板１０のサンプルを作成した。このサンプルのフィルム１１とＰＶＡ偏光子１３との間の接着強度を実施例１と同一方法で測定したところ、結果は１０．２Ｎ／ｉｎｃｈであり、十分な接着強度が得られた。
【００９４】
【表１】
【実施例５】
【００９５】
実施例５の表面処理条件及び結果を表２に示す。実施例５では、実施例１と同じ装置（図１）を用い、かつ実施例２と同じシクロオレフィンポリマーフィルムを処理対象のオレフィン系モノマー重合フィルム１１とした。
【００９６】
水溶性モノマー含有ガス供給系２０の水溶性モノマーとしては、アクリル酸（ＡＡ）を用いた。水溶性モノマー含有ガス供給系２０のキャリア（Ｎ２）の流量は、２ｓｌｍとした。気化器２１の温度は５０℃とした。供給路２４の温度は６０℃とした。
【００９７】
オレフィン系モノマー含有ガス供給系３０のオレフィン系モノマーとしては、ジシクロペンタジエン（ＤＣＰＤ）を用いた。供給系３０のキャリアガス（Ｎ２）の流量は８ｓｌｍとした。気化器３１の温度は８０℃とした。供給路３４の温度は９０℃とした。これにより、噴射部３におけるモノマー混合ガス中のアクリル酸濃度は０．０８５ｖｏｌ％になり、ジシクロペンタジエン濃度は０．３３９ｖｏｌ％になった。したがって、モノマー混合ガス中のオレフィン系モノマー（ジシクロペンタジエン）の濃度は水溶性モノマー（アクリル酸）の濃度の３．９８８倍であった。その他の処理条件は、実施例１と同じであった。
【００９８】
さらに、実施例１と同様にして偏光板１０のサンプルを作成した。このサンプルのフィルム１１とＰＶＡ偏光子１３との間の接着強度を実施例１と同一方法で測定したところ、結果は１０．３Ｎ／ｉｎｃｈであり、十分な接着強度が得られた。
【実施例６】
【００９９】
実施例６の表面処理条件及び結果を表２に示す。実施例６では、実施例１と同じ装置（図１）を用い、かつ実施例２と同じシクロオレフィンポリマーフィルムを処理対象のオレフィン系モノマー重合フィルム１１とした。
【０１００】
水溶性モノマー含有ガス供給系２０の水溶性モノマーとしては、アクリル酸（ＡＡ）を用いた。水溶性モノマー含有ガス供給系２０のキャリア（Ｎ２）の流量は、１ｓｌｍとした。気化器２１の温度は５０℃とした。供給路２４の温度は６０℃とした。
【０１０１】
オレフィン系モノマー含有ガス供給系３０のオレフィン系モノマーとしては、ジシクロペンタジエン（ＤＣＰＤ）を用いた。供給系３０のキャリアガス（Ｎ２）の流量は９ｓｌｍとした。気化器３１の温度は８０℃とした。供給路３４の温度は９０℃とした。これにより、噴射部３におけるモノマー混合ガス中のアクリル酸濃度は０．０４２ｖｏｌ％になり、ジシクロペンタジエン濃度は０．３８２ｖｏｌ％になった。したがって、モノマー混合ガス中のオレフィン系モノマー（ジシクロペンタジエン）の濃度は水溶性モノマー（アクリル酸）の濃度の９．０９５倍であった。それ以外の処理条件は、実施例１と同一とした。
【０１０２】
さらに、実施例１と同様にして偏光板１０のサンプルを作成した。このサンプルのフィルム１１とＰＶＡ偏光子１３との間の接着強度を実施例１と同一方法で測定したところ、結果は８．５Ｎ／ｉｎｃｈであり、十分な接着強度が得られた。
【実施例７】
【０１０３】
実施例７の表面処理条件及び結果を表２に示す。実施例７では、実施例１と同じ装置（図１）を用い、かつ処理対象のオレフィン系モノマー重合フィルム１１として、シクロオレフィンポリマーとポリエチレンの共重合体からなるシクロオレフィンコポリマーフィルム（積水化学工業製、商品名エスシーナ）を用いた。フィルムの大きさは、実施例１と同じとした。それ以外の処理条件は、実施例５と同一とした。したがって、モノマー混合ガス中の水溶性モノマー（アクリル酸）の濃度は、０．０８５ｖｏｌ％と算出され、オレフィン系モノマー（ジシクロペンタジエン）の濃度は、水溶性モノマー濃度の３．９８８倍の０．３３９ｖｏｌ％と算出された。
【０１０４】
さらに、実施例１と同様にして偏光板１０のサンプルを作成した。このサンプルのフィルム１１とＰＶＡ偏光子１３との間の接着強度を実施例１と同一方法で測定したところ、結果は１０．２Ｎ／ｉｎｃｈであり、十分な接着強度が得られた。
【０１０５】
【表２】
【実施例８】
【０１０６】
実施例８の表面処理条件及び結果を表３に示す。実施例８では、図２に示すフィルム表面処理装置１と実質的に同じ構造の装置を用いた。実施例２と同じシクロオレフィンポリマーフィルムからなる連続シートを処理対象のオレフィン系モノマー重合フィルム１１とした。フィルム１１の巾（図２の紙面直交方向の寸法）は、１５０ｍｍであった。
【０１０７】
水溶性モノマー含有ガス供給系２０の水溶性モノマーとしては、アクリル酸（ＡＡ）を用いた。水溶性モノマー含有ガス供給系２０のキャリア（Ｎ２）の流量は、４ｓｌｍとした。気化器２１の温度は５０℃とした。供給路２４の温度は６０℃とした。
【０１０８】
オレフィン系モノマー含有ガス供給系３０のオレフィン系モノマーとしては、ジシクロペンタジエン（ＤＣＰＤ）を用いた。供給系３０のキャリアガス（Ｎ２）の流量は１６ｓｌｍとした。気化器３１の温度は８０℃とした。供給路３４の温度は９０℃とした。これにより、噴射部３におけるモノマー混合ガス中のアクリル酸濃度は０．０８５ｖｏｌ％になり、ジシクロペンタジエン濃度は０．３３９ｖｏｌ％になった。したがって、モノマー混合ガス中のオレフィン系モノマー（ジシクロペンタジエン）の濃度は水溶性モノマー（アクリル酸）の濃度の３．９８８倍であった。
【０１０９】
フィルム１１の搬送速度が１０ｍ／ｍｉｎになるよう、ロール電極７１，７２及びガイドロール７３を回転させた。プラズマ生成用ガス噴出ノズル７５からのプラズマ生成用の窒素ガスの吹き出し流量は、１５ｓｌｍとした。電源４３におけるパルス変換前の直流電圧は２８０Ｖ、直流電流は２．５Ａ、電力は７００Ｗであった。ロール電極７１，７２間の印加電圧はＶｐｐ＝１６．５ｋＶであった。ロール電極７１，７２の外周面どうし間の最も狭くなった箇所の距離は、２．７ｍｍであった。各ロール電極７１，７２の外周面には固体誘電体層として厚さ１ｍｍのシリコンゴムを被膜した。したがって、放電空間７９の最も狭い箇所のギャップは、０．７ｍｍであった。
【０１１０】
さらに、実施例１と同様にして偏光板１０のサンプルを作成した。このサンプルのフィルム１１とＰＶＡ偏光子１３との間の接着強度を実施例１と同一方法で測定したところ、結果は１０．２Ｎ／ｉｎｃｈであり、十分な接着強度が得られた。
【０１１１】
【表３】
【０１１２】
［比較例１］
比較例１の表面処理条件及び結果を表４に示す。比較例１では、実施例１と同じ装置（図１）を用い、かつ実施例２と同じシクロオレフィンポリマーフィルムを処理対象のオレフィン系モノマー重合フィルム１１とした。
【０１１３】
水溶性モノマー含有ガス供給系２０を閉じ、オレフィン系モノマー含有ガス供給系３０によってのみモノマー供給を行った。供給系３０のオレフィン系モノマーとしては、ジシクロペンタジエン（ＤＣＰＤ）を用いた。供給系３０のキャリアガス（Ｎ２）の流量は１０ｓｌｍとした。気化器３１の温度は８０℃とした。供給路３４の温度は９０℃とした。供給系３０のみによるモノマー含有ガス中のオレフィン系モノマー（ジシクロペンタジエン）の濃度は０．４２４ｖｏｌ％となった。該モノマー含有ガスの残部は窒素であった。それ以外の処理条件は、実施例１と同一とした。
【０１１４】
さらに、実施例１と同様にして偏光板１０のサンプルを作成した。このサンプルのフィルム１１とＰＶＡ偏光子１３との間の接着強度を実施例１と同一方法で測定したところ、結果は０．８Ｎ／ｉｎｃｈであり、所要の接着強度が得られなかった。
【０１１５】
［比較例２］
比較例２の表面処理条件及び結果を表４に示す。比較例２では、実施例１と同じ装置（図１）を用い、かつ実施例２と同じシクロオレフィンポリマーフィルムを処理対象のオレフィン系モノマー重合フィルム１１とした。
【０１１６】
水溶性モノマー含有ガス供給系２０の水溶性モノマーとしては、アクリル酸（ＡＡ）を用いた。水溶性モノマー含有ガス供給系２０のキャリア（Ｎ２）の流量は、５ｓｌｍとした。気化器２１の温度は５０℃とした。供給路２４の温度は６０℃とした。
【０１１７】
オレフィン系モノマー含有ガス供給系３０のオレフィン系モノマーとしては、ジシクロペンタジエン（ＤＣＰＤ）を用いた。供給系３０のキャリアガス（Ｎ２）の流量は５ｓｌｍとした。気化器３１の温度は８０℃とした。供給路３４の温度は９０℃とした。これにより、噴射部３におけるモノマー混合ガス中のアクリル酸濃度は０．２１２ｖｏｌ％になり、ジシクロペンタジエン濃度は、それと同じ０．２１２ｖｏｌ％になった。すなわち、モノマー混合ガス中のオレフィン系モノマー（ジシクロペンタジエン）の濃度は水溶性モノマー（アクリル酸）の濃度の１．０倍であった。それ以外の処理条件は、実施例１と同一とした。
【０１１８】
さらに、実施例１と同様にして偏光板１０のサンプルを作成した。このサンプルのフィルム１１とＰＶＡ偏光子１３との間の接着強度を実施例１と同一方法で測定したところ、結果は１．１Ｎ／ｉｎｃｈであり、所要の接着強度が得られなかった。
【０１１９】
［比較例３］
比較例３の表面処理条件及び結果を表４に示す。比較例３では、実施例１と同じ装置（図１）を用い、かつ実施例２と同じシクロオレフィンポリマーフィルムを処理対象のオレフィン系モノマー重合フィルム１１とした。
【０１２０】
水溶性モノマー含有ガス供給系２０の水溶性モノマーとしては、アクリル酸（ＡＡ）を用いた。水溶性モノマー含有ガス供給系２０のキャリア（Ｎ２）の流量は、７ｓｌｍとした。気化器２１の温度は５０℃とした。供給路２４の温度は６０℃とした。
【０１２１】
オレフィン系モノマー含有ガス供給系３０のオレフィン系モノマーとしては、ジシクロペンタジエン（ＤＣＰＤ）を用いた。供給系３０のキャリアガス（Ｎ２）の流量は３ｓｌｍとした。気化器３１の温度は８０℃とした。供給路３４の温度は９０℃とした。これにより、噴射部３におけるモノマー混合ガス中のアクリル酸濃度は０．２９７ｖｏｌ％になり、ジシクロペンタジエン濃度は、０．１２７ｖｏｌ％になった。したがって、モノマー混合ガス中のオレフィン系モノマー（ジシクロペンタジエン）の濃度は水溶性モノマー（アクリル酸）の濃度の０．４２８倍であった。それ以外の処理条件は、実施例１と同一とした。
【０１２２】
さらに、実施例１と同様にして偏光板１０のサンプルを作成した。このサンプルのフィルム１１とＰＶＡ偏光子１３との間の接着強度を実施例１と同一方法で測定したところ、結果は１．２Ｎ／ｉｎｃｈであり、所要の接着強度が得られなかった。
【０１２３】
［比較例４］
比較例４の表面処理条件及び結果を表４に示す。比較例４では、実施例１と同じ装置（図１）を用い、かつ実施例２と同じシクロオレフィンポリマーフィルムを処理対象のオレフィン系モノマー重合フィルム１１とした。
【０１２４】
水溶性モノマー含有ガス供給系２０の水溶性モノマーとしては、アクリル酸（ＡＡ）を用いた。水溶性モノマー含有ガス供給系２０のキャリア（Ｎ２）の流量は、９ｓｌｍとした。気化器２１の温度は５０℃とした。供給路２４の温度は６０℃とした。
【０１２５】
オレフィン系モノマー含有ガス供給系３０のオレフィン系モノマーとしては、ジシクロペンタジエン（ＤＣＰＤ）を用いた。供給系３０のキャリアガス（Ｎ２）の流量は１ｓｌｍとした。気化器３１の温度は８０℃とした。供給路３４の温度は９０℃とした。これにより、噴射部３におけるモノマー混合ガス中のアクリル酸濃度は０．３８２ｖｏｌ％になり、ジシクロペンタジエン濃度は、０．０４２ｖｏｌ％になった。したがって、モノマー混合ガス中のオレフィン系モノマー（ジシクロペンタジエン）の濃度は水溶性モノマー（アクリル酸）の濃度の０．１１倍であった。それ以外の処理条件は、実施例１と同一とした。
【０１２６】
さらに、実施例１と同様にして偏光板１０のサンプルを作成した。このサンプルのフィルム１１とＰＶＡ偏光子１３との間の接着強度を実施例１と同一方法で測定したところ、結果は１．４Ｎ／ｉｎｃｈであり、所要の接着強度が得られなかった。
【０１２７】
【表４】
【０１２８】
［比較例５］
比較例５の表面処理条件及び結果を表５に示す。比較例５では、実施例１と同じ装置（図１）を用い、かつモノマー混合ガスの吹き付けによる液化層の形成とプラズマ照射を同時に行った。処理対象のオレフィン系モノマー重合フィルム１１としては、実施例２と同じシクロオレフィンポリマーフィルムを用いた。
【０１２９】
水溶性モノマー含有ガス供給系２０の水溶性モノマーとしては、アクリル酸（ＡＡ）を用いた。水溶性モノマー含有ガス供給系２０のキャリア（Ｎ２）の流量は、２ｓｌｍとした。気化器２１の温度は５０℃とした。供給路２４の温度は６０℃とした。
【０１３０】
オレフィン系モノマー含有ガス供給系３０のオレフィン系モノマーとしては、ジシクロペンタジエン（ＤＣＰＤ）を用いた。供給系３０のキャリアガス（Ｎ２）の流量は８ｓｌｍとした。気化器３１の温度は８０℃とした。供給路３４の温度は９０℃とした。これにより、噴射部３におけるモノマー混合ガス中のアクリル酸濃度は０．０８５ｖｏｌ％になり、ジシクロペンタジエン濃度は、０．３３９ｖｏｌ％になった。したがって、モノマー混合ガス中のオレフィン系モノマー（ジシクロペンタジエン）の濃度は水溶性モノマー（アクリル酸）の濃度の３．９８８倍であった。
【０１３１】
上記モノマー混合ガスのフィルム１１への吹き付けと併行して、電源４３から電極４１へ電力供給を行った。電源４３の出力は実施例１と同じとした。更に併行して、処理ヘッド４０を往復移動させた。処理ヘッド４０の移動速度及び移動回数は、実施例１の液化層形成工程と同じとした。それ以外の処理条件については、実施例１と同一とした。
【０１３２】
さらに、実施例１と同様にして偏光板１０のサンプルを作成した。このサンプルのフィルム１１とＰＶＡ偏光子１３との間の接着強度を実施例１と同一方法で測定したところ、結果は０．８Ｎ／ｉｎｃｈであり、所要の接着強度が得られなかった。このことから、モノマー混合ガス中のオレフィン系モノマー濃度が水溶性モノマー濃度より大きくても、モノマー混合ガスの吹き付けと同時にプラズマ照射すると、接着性の向上効果が小さいことが確認された。これは、モノマー混合ガスが気相中でプラズマ照射を受け、水溶性モノマー及びオレフィン系モノマーが気相中で活性化して互いに共重合したり各モノマーが重合したりすることにより、オリゴマーやポリマーが気相中で形成され、オレフィン系モノマー重合フィルムとのグラフト共重合反応が起きにくくなるためと推察される。
【０１３３】
【表５】
【産業上の利用可能性】
【０１３４】
本発明は、例えば液晶表示パネルの偏光板の製造に適用可能である。
【符号の説明】
【０１３５】
１ 表面処理装置
１０ 偏光板
１１ 保護フィルム（オレフィン系モノマー重合フィルム）
１２ 接着剤
１３ 偏光子
１４ 接着剤
１５ 保護フィルム（ＴＡＣフィルム）
２ モノマー供給系
２０ 水溶性モノマー含有ガス供給系
２１ 気化器（水溶性モノマー供給源）
２２ キャリア供給源
２３ キャリア導入路
２４ 水溶性モノマー含有ガス供給路
３０ オレフィン系モノマー含有ガス供給系
３１ 気化器（オレフィン系モノマー供給源）
３２ キャリア供給源
３３ キャリア導入路
３４ オレフィン系モノマー含有ガス供給路
３ ガス混合噴出部
４ 表面処理部（プラズマ照射手段）
４３ 電源
４０ 処理ヘッド
４１ 電極
４２ 固体誘電体
４４ ガスカーテン形成部
４５ カーテンガス路
４９ 大気圧プラズマ空間
５０ ステージ（支持手段）
５２ 固体誘電体
５６ 冷却路（凝縮手段）
６０ プラズマ生成用ガス供給源
６１ プラズマ生成用ガス供給路
７ 表面処理部（プラズマ照射手段）
７１ ロール電極（支持手段）
７２ ロール電極（支持手段）
７３ ガイドロール（支持手段）
７４ モノマー混合噴出ノズル
７５ プラズマ生成用ガス噴出ノズル
７６ 冷却路（凝縮手段）
７９ 大気圧プラズマ空間
【特許請求の範囲】
【請求項１】
オレフィン系モノマー重合フィルムの表面を処理する表面処理方法であって、
水溶性モノマー及びオレフィン系モノマーを含むモノマー混合ガスを前記オレフィン系モノマー重合フィルムに接触させる接触工程と、
前記モノマー混合ガス中の水溶性モノマー及びオレフィン系モノマーを前記オレフィン系モノマー重合フィルムの表面上で凝縮させる凝縮工程と、
前記凝縮工程の後、前記オレフィン系モノマー重合フィルムに大気圧近傍プラズマを照射するプラズマ照射工程と、
を備え、前記モノマー混合ガス中のオレフィン系モノマーの体積濃度が、水溶性モノマーの体積濃度の１．１倍以上であることを特徴とする表面処理方法。
【請求項２】
前記水溶性モノマーをガス状態で前記オレフィン系モノマー重合フィルムの近傍まで導く水溶性モノマー供給工程と、
前記オレフィン系モノマーをガス状態で、かつ前記水溶性モノマーと混合させることなく前記オレフィン系モノマー重合フィルムの近傍まで導くオレフィン系モノマー供給工程と、
前記水溶性モノマー及び前記オレフィン系モノマーどうしを前記接触工程の直前で互いに混合して前記モノマー混合ガスを得る混合工程と、
を更に備えたことを特徴とする請求項１に記載のフィルム表面処理方法。
【請求項３】
前記モノマー混合ガスのオレフィン系モノマーが、環状ジエンであることを特徴とする請求項１又は２に記載の表面処理方法。
【請求項４】
前記モノマー混合ガスのオレフィン系モノマーが、シクロペンタジエン、又はジシクロペンタジエンであることを特徴とする請求項１〜３の何れか１項に記載の表面処理方法。
【請求項５】
前記水溶性モノマーが、アルデヒド基、カルボキシル基、又は水酸基を有するモノマーであることを特徴とする請求項１〜４の何れか１項に記載の表面処理方法。
【請求項６】
前記水溶性モノマーが、アセトアルデヒド、又はアクリル酸であることを特徴とする請求項１〜５の何れか１項に記載の表面処理方法。
【請求項７】
前記オレフィン系モノマー重合フィルムが、シクロオレフィンポリマーを含むことを特徴とする請求項１〜６の何れか１項に記載の表面処理方法。
【請求項８】
請求項１〜７の何れか１項に記載の表面処理方法にて表面処理したオレフィン系モノマー重合フィルムを保護フィルム又は位相差フィルムとして透明な接着剤を介して偏光子と接着することを特徴とする偏光板の製造方法。
【請求項９】
オレフィン系モノマー重合フィルムの表面を処理する表面処理装置であって、
前記オレフィン系モノマー重合フィルムを支持する支持手段と、
水溶性モノマー及びオレフィン系モノマーを含むモノマー混合ガスを、オレフィン系モノマーの体積濃度が水溶性モノマーの体積濃度の１．１倍以上になるよう調節して前記オレフィン系モノマー重合フィルムに接触させるモノマー供給系と、
前記モノマー混合ガス中の水溶性モノマー及びオレフィン系モノマーを前記オレフィン系モノマー重合フィルムの表面上で凝縮させる凝縮手段と、
前記凝縮手段を経た前記オレフィン系モノマー重合フィルムに大気圧近傍プラズマを照射するプラズマ照射手段と、
を備えたことを特徴とする表面処理装置。
【請求項１】
オレフィン系モノマー重合フィルムの表面を処理する表面処理方法であって、
水溶性モノマー及びオレフィン系モノマーを含むモノマー混合ガスを前記オレフィン系モノマー重合フィルムに接触させる接触工程と、
前記モノマー混合ガス中の水溶性モノマー及びオレフィン系モノマーを前記オレフィン系モノマー重合フィルムの表面上で凝縮させる凝縮工程と、
前記凝縮工程の後、前記オレフィン系モノマー重合フィルムに大気圧近傍プラズマを照射するプラズマ照射工程と、
を備え、前記モノマー混合ガス中のオレフィン系モノマーの体積濃度が、水溶性モノマーの体積濃度の１．１倍以上であることを特徴とする表面処理方法。
【請求項２】
前記水溶性モノマーをガス状態で前記オレフィン系モノマー重合フィルムの近傍まで導く水溶性モノマー供給工程と、
前記オレフィン系モノマーをガス状態で、かつ前記水溶性モノマーと混合させることなく前記オレフィン系モノマー重合フィルムの近傍まで導くオレフィン系モノマー供給工程と、
前記水溶性モノマー及び前記オレフィン系モノマーどうしを前記接触工程の直前で互いに混合して前記モノマー混合ガスを得る混合工程と、
を更に備えたことを特徴とする請求項１に記載のフィルム表面処理方法。
【請求項３】
前記モノマー混合ガスのオレフィン系モノマーが、環状ジエンであることを特徴とする請求項１又は２に記載の表面処理方法。
【請求項４】
前記モノマー混合ガスのオレフィン系モノマーが、シクロペンタジエン、又はジシクロペンタジエンであることを特徴とする請求項１〜３の何れか１項に記載の表面処理方法。
【請求項５】
前記水溶性モノマーが、アルデヒド基、カルボキシル基、又は水酸基を有するモノマーであることを特徴とする請求項１〜４の何れか１項に記載の表面処理方法。
【請求項６】
前記水溶性モノマーが、アセトアルデヒド、又はアクリル酸であることを特徴とする請求項１〜５の何れか１項に記載の表面処理方法。
【請求項７】
前記オレフィン系モノマー重合フィルムが、シクロオレフィンポリマーを含むことを特徴とする請求項１〜６の何れか１項に記載の表面処理方法。
【請求項８】
請求項１〜７の何れか１項に記載の表面処理方法にて表面処理したオレフィン系モノマー重合フィルムを保護フィルム又は位相差フィルムとして透明な接着剤を介して偏光子と接着することを特徴とする偏光板の製造方法。
【請求項９】
オレフィン系モノマー重合フィルムの表面を処理する表面処理装置であって、
前記オレフィン系モノマー重合フィルムを支持する支持手段と、
水溶性モノマー及びオレフィン系モノマーを含むモノマー混合ガスを、オレフィン系モノマーの体積濃度が水溶性モノマーの体積濃度の１．１倍以上になるよう調節して前記オレフィン系モノマー重合フィルムに接触させるモノマー供給系と、
前記モノマー混合ガス中の水溶性モノマー及びオレフィン系モノマーを前記オレフィン系モノマー重合フィルムの表面上で凝縮させる凝縮手段と、
前記凝縮手段を経た前記オレフィン系モノマー重合フィルムに大気圧近傍プラズマを照射するプラズマ照射手段と、
を備えたことを特徴とする表面処理装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図２】
【図３】
【公開番号】特開２０１１−７４３６２（Ｐ２０１１−７４３６２Ａ）
【公開日】平成２３年４月１４日（２０１１．４．１４）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１０−１８７０３８（Ｐ２０１０−１８７０３８）
【出願日】平成２２年８月２４日（２０１０．８．２４）
【出願人】（０００００２１７４）積水化学工業株式会社 (5,781)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２３年４月１４日（２０１１．４．１４）
【国際特許分類】
【出願日】平成２２年８月２４日（２０１０．８．２４）
【出願人】（０００００２１７４）積水化学工業株式会社 (5,781)
【Ｆターム（参考）】
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