プラズマ生成用誘導装置
トーチにおいてプラズマを維持するための装置が提供される。ある実施例では、装置は、電源に連結するように構成されてトーチの半径面に沿ってループ電流を流すように構成配置された第１の電極を備える。いくつかの実施例では、トーチの半径面はトーチ長手方向軸に実質的と直交する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
ある実施例はプラズマを生成するのに使用される装置および方法、および、かかる装置により生成されるプラズマにおいて導入されるサンプルを分析するための方法および装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
背景
多くの誘導結合プラズマ発光分析（ＩＣＰ−ＯＥＳ）システム、誘導結合プラズマ原子吸光分光学（ＩＣＰ−ＡＡＳ）システム、および誘導結合プラズマ質量分析（ＩＣＰ−ＭＳ）システムは、プラズマを形成するためにＲＦ電流を受け入れるソレノイドを使用する。しかしながら、磁界により生成された誘導電流は歪められて、ソレノイドの螺旋構造のために、ソレノイドの内部の長さに亘って非均一である。この非均一性は、プラズマ内に可変温度分布を生じ、これはプラズマにおけるサンプル励起およびイオンの軌跡に影響を与え得る。加えて、ソレノイドは単一素子であり、磁界およびプラズマ／サンプル励起により形成される、関連付けられた誘導電流を制御する際の柔軟性に欠けている。
【発明の開示】
【課題を解決するための手段】
【０００３】
要旨
第１の態様によると、プラズマを生成するのに使用する装置が提供される。ある実施例においては、トーチの作動時にガス流が導入される長手方向軸を有し、トーチの長手方向軸と実質的に直交する半径面を有するトーチにおいてプラズマを生成するための装置が開示される。あるいくつかの実施例では、装置は、電源に連結するように構成されてトーチの半径面に沿ってループ電流を流すように構成配置された第１の電極を含む。ある実施例では、装置は、電源に連結するように構成されてトーチの半径面に沿ってループ電流を流すように構成配置された第２の電極をさらに含む。いくつかの実施例では、第１および第２の電極のそれぞれは、対称的な内側断面、例えば円形の内側断面を含むプレートを含む。ある実施例では、少なくとも１つのスペーサが第１の電極および第２の電極を分離する。他の実施例では、本明細書に記載されるように、第１の電極はトーチにおいて対称プラズマまたは実質的対称プラズマを維持するように構成される。ある実施例では、第１の電極、第２の電極またはその両方は、その電極の１つ以上にＲＦ電力を供給するように構成される無線周波数源と電気的に連通し得る。いくつかの実施例では、第１の電極および第２の電極はそれぞれ自分の無線周波数源を有する。ある実施例では、第１の電極、第２の電極またはその両方は、接地プレートに電気的に連通する。装置は、誘導結合プラズマ発光スペクトロメータ、誘導結合プラズマ原子吸収スペクトロメータ、誘導結合プラズマ質量スペクトロメータまたは他の適切な機器において使用されるように構成され得る。
【０００４】
別の態様によると、トーチの作動時にガス流が導入される長手方向軸を有し、トーチの長手方向軸と実質的に直交する半径面を有するトーチにおいてプラズマを生成するための装置が開示される。ある実施例では、装置はトーチの半径面に沿ってループ電流を流すための手段を含む。いくつかの実施例では、手段は電極またはトーチの半径面に沿って無線周波数電流を流すことが可能な同等の構造であり得る。ある実施例では、本明細書に記載されるように、手段はプレート電極であり得る。
【０００５】
さらなる態様によると、長手方向軸を有し、トーチの長手方向軸と実質的に直交する半径面を有するトーチにおいてプラズマを維持する方法が提供される。ある実施例では、方法は、トーチの長手方向軸に沿ってガス流を流す工程と、トーチにおいてガス流を点火す
る工程と、半径面に沿ってループ電流を流し、トーチにおいてプラズマを維持する工程とを含む。いくつかの実施例において、方法は実質的対称プラズマになるようにプラズマを構成する工程をさらに含む。
【０００６】
別の態様によると、実質的対称プラズマが開示される。ある実施例では、実質的対称プラズマは、トーチにおいてガス流を点火し、トーチの長手方向軸と実質的に直交する半径面に沿ってループ電流を流して実質的対称プラズマを維持することにより生成され得る。
【０００７】
本開示の利点を鑑みると、さらなる態様および実施例は当業者に認識され、ある態様および実施例はより詳細に以下に説明される。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
詳細な説明
ある実施例は添付図を参照して下記に説明される。
【０００９】
本開示の利点を鑑みると、図に示される模範的誘導装置および他の装置は一定の縮尺ではないこともあり得ることは、当業者により認識されるであろう。誘導装置、トーチなどのある特徴または寸法は、本明細書に開示される態様および実施例のより十分な理解を促すために他の特徴に対して拡大、縮小または変形されていることもあり得る。
【００１０】
本明細書に開示される誘導装置技術の多くの用途および使用の一部を例示するために、ある実施例が以下に説明される。本開示の利点を鑑みると、これらおよび他の使用は当業者により容易に選択されるであろう。それ以外に文脈から明らかでなければ、同一番号は異なる図における同様の構造を示す。
【００１１】
ある実施例によると、対称または実質的対称プラズマを生成する装置が開示される。本明細書において使用されるように、「対称プラズマ」とは、プラズマの中心から半径方向に延びる、選択された半径面に対して対称的温度プロファイルを有するプラズマを示す。例えば、プラズマの半径方向スライスは、半径方向スライスに関連付けられたライフセーバ形状トーラス放電を有するであろう。トーラスの中心から任意の所定半径に対して、温度はその半径の中心回りの任意の所定角度の測定に対してかなり均一である。本明細書で使用されるように、「実質的対称プラズマ」とは、プラズマの中心から半径方向に延びる、選択される半径面に対して、同様の温度プロファイルを有するが、温度プロファイルはトーラス放電の中心から任意の所定半径に対して約５％まで可変し得るプラズマを示す。対称プラズマまたは実質的対称プラズマの使用は、トーチに蓄積するよりカーボン、より少ないトーチメンテナンス、トーチの軸方向すなわち長手方向軸に実質的に平行なイオン軌跡、およびプラズマの中心へのより効率的なサンプルトランスファを含むが、これらに限定されない重要な利点を提供し得、また冷却ガスの量を低減するか冷却ガスを全く使用しないかが可能となり得る。また、本明細書で使用されるように、「実質的に直交」とは、約５度以内で直行することを示す。本開示の利点を鑑みると、トーチはその長手方向軸と直交する多数の半径面を含み、本明細書における半径面に沿ったループ電流の言及は、トーチの長手方向軸に沿った任意の１つの特定位置にループ電流を位置付けることを暗示または提案するものでないことは、当業者により認識されるであろう。
【００１２】
図１を参照すると、模範的誘導結合プラズマ発光スペクトロメータ（ＩＣＰ−ＯＥＳ）１００の概略図が示される。ある実施例において、ＩＣＰ−ＯＥＳ１００は概ね、キャリアガス１０２をトーチ１１４に導き、そこでキャリアガス１０２をイオン化してホットプラズマ１１６（例えば、５，０００〜１０，０００Ｋ以上）を形成するためのシステムを含む。いくつかの実施例では、プラズマ１１６は予熱ゾーン１９０、誘導ゾーン１９２、初期放射ゾーン１９４、分析ゾーン１９６およびプラズマテイル１９８（図３参照）を含
む。原子化サンプル１０４はポンプ１０６、ネブライザ１０８および噴霧室１６２を介してプラズマ１１６に導かれ得る。図１に示される例示的構成では、ＲＦ電源１１０は誘導装置１１２を経てＲＦ電力をプラズマ１１６に供給する。プラズマ１１６では、励起された原子がより低い状態に減衰するにつれて、励起されたサンプル原子１０４は光１３４を発光する。発光された光１３４は集光光学１１８により集光されて、スペクトル分解するスペクトロメータ１２０に導かれる。検出器１２２はスペクトル分解された光１３４を検出して、信号１３８、１４０をマイクロプロセッサ１２２および分析用コンピュータネットワーク１２４に与えるように作動し得る。種が発光しない実施例では、誘導結合原子吸収スペクトロメータが使用されて光を原子化された種に供給し、検出器を使用して原子化された種による吸光を検出し得る。例示的原子吸収スペクトロメータはＰｅｒｋｉｎＥｌｍｅｒ，Ｉｎｃ．から入手可能であり、模範的原子吸収スペクトロメータは、例えば、実質的に開示全体が本明細書に参照により組み込まれた、２００５年３月１１日に出願された、“Ｐｌａｓｍａｓ ａｎｄ Ｄｅｖｉｃｅｓ Ｕｓｉｎｇ Ｔｈｅｍ”と称された、共同所有された米国仮出願第６０／６６１，０９５号に記載される。
【００１３】
図１では、プラズマ１１６をプラズマ１１６の長手方向軸に対して直角の方向から見る、すなわち、半径方向に見るか、または半径方向軸に沿って見たものである。但し、本開示の利点を鑑みると、プラズマ１１６の見方は、プラズマ１１６の長手方向軸１２６に沿った方向から、すなわち軸方向からも行い得ることは当業者に理解されるであろう。軸方向における発光の検出は、大幅な信号対ノイズ利点を提供する。
【００１４】
また、本開示の利点を鑑みると、誘導結合プラズマを、図２に見られるような誘導結合プラズマ質量スペクトロメータ（ＩＣＰ−ＭＳ）１００における四重極質量分析器などの質量スペクトロメータ（ＭＳ）１８０と共に使用し得ることも当業者には理解されるであろう。ＲＦ電源１１０は、概ね約１〜５００ＭＨｚ、詳細には２０〜５０ＭＨｚ、例えば、２７〜４０ＭＨｚの範囲で動作し、約１００ワットから約１０キロワットの電力が電極に供給され磁界を生成する。例示的質量スペクトロメータはＰｅｒｋｉｎＥｌｍｅｒ，Ｉｎｃ．より市販され、模範的質量スペクトロメータは、例えば、２００５年３月１１に出願された、“Ｐｌａｓｍａｓ ａｎｄ Ｄｅｖｉｃｅｓ Ｕｓｉｎｇ Ｔｈｅｍ”と称された、共同所有された米国仮出願第６０／６６１，０９５号に記載される。
【００１５】
図３は図１および図２のプラズマ１１６のより詳細な概略を示す。トーチ１１４は３個の同軸チューブ１１４、１５０および、１４８を含む。最内部チューブ１４８はサンプルの原子化されたフロー１４６をプラズマ１１６内に供給する。真中のチューブ１５０は、補助ガス流１４４をプラズマ１１６に供給する。最外部チューブ１１４はプラズマを維持するためのキャリアガス流１２８を供給する。キャリアガス流１２８は真中のチューブ１５０の回りの層流でプラズマ１１６に導かれ得る。補助ガス流１４４は真中のチューブ１５０内でプラズマ１１６に導かれ得、原子化されたサンプルフロー１４６は、噴霧室１６２から最内部チューブ１４８に沿ってプラズマ１１６に導かれ得る。負荷コイル１１２におけるＲＦ電流１３０および１３２は、負荷コイル１１２内に磁界を形成して、その中にプラズマ１１６を閉じ込め得る。
【００１６】
図１〜図３に示される、また本明細書に記載されるある他の図に示されるプラズマは、多数の異なる電極構造を使用して生成可能である。図４〜図１１は電極１５２、１５６、１５８の種々の構造を示す。図４では、電極１５２は互いに距離‘Ｌ’に位置付けられた２つの実質的に平行なプレート１５２ａ，１５２ｂを含む。ある実施例では、実質的に平行なプレートは約２０ｍｍから約２００ｍｍ、例えば約４０ｍｍの幅と、約３０ｍｍから約９０ｍｍ、例えば約７０ｍｍの長さを有する。平行なプレート１５２ａ，１５２ｂはそれぞれアパーチャ１５４を含み、これを通ってトーチ１１４、最内部チューブ１４８、真中のチューブ１５０およびアパーチャ１５４が軸１２６に沿って整列するようにトーチ１
１４が位置付けされ得る。アパーチャの正確な寸法および形状は様々であり、トーチを受け入れることが可能な任意の適切な寸法および形状であり得る。例えば、アパーチャは概ね円形で約１０ｍｍから約６０ｍｍの直径を有し得るか、正方形もしくは矩形形状であり、幅約２０ｍｍから約６０ｍｍで長さ約２０ｍｍから約１００ｍｍの寸法を有し得るか、または三角形、長円形、卵形、もしくは他の適切な形状であり得る。「低フロー」トーチなどの小径のトーチが使用される場合、トーチを収容するのに比例してアパーチャの直径は低減可能である。ある実施例では、アパーチャはトーチよりも約０〜５０％または典型的には約３％大きくなるような大きさであり得るが、他の実施例では、トーチはプレートに接触し得、例えば、実質的に動作上の問題なくトーチのある部分がプレートの表面に接触し得る。実質的に平行なプレート１５２ａ，１５２ｂは‘ｔ’の厚さを有する。いくつかの実施例では、各プレート１５２ａおよび１５２ｂは同じ厚さを有するが、他の実施例ではプレート１５２ａおよび１５２ｂは異なる厚さを有し得る。ある実施例では、プレートの厚さは約０．０２５ｍｍ（例えば、絶縁体上に金属化メッキのような、この一例としてはセラミック基板上の銅、ニッケル、銀または金メッキ）から約２０ｍｍであり、より詳細には約０．５ｍｍから約５ｍｍであるか、またはこれらの模範的範囲内の任意の特定厚さであり得る。電極１５２のアパーチャ１５４はまた、アパーチャ１５４がその周囲と連通するように、幅‘ｗ’のスロット１６４を含み得る。スロットの幅は、約０．５ｍｍから約２０ｍｍ、より詳細には約１ｍｍから約３ｍｍ、例えば約１ｍｍから約２ｍｍで変化し得る。
【００１７】
ある実施例によると、電極は同一または異なる材料で構成され得る。ある実施例では、電極は、例えばアルミニウム、金、銅、真ちゅう、スチール、ステンレススチール、導電性セラミックならびにその混合物および合金などの導電性材料から構成され得る。他の実施例では、電極は１つ以上の導電性材料のメッキまたはコーティングを含む非導電性材料から構成され得る。いくつかの実施例では、電極は、プラズマを生成するのに必要な高還流に晒される際の高温および融解に耐えることができる材料から構成され得る。本開示の利点を鑑みると、電極を構成するためのこれらおよび他の適切な材料は当業者により容易に選択されるであろう。
【００１８】
図４および図５を参照すると、電極１５２は概ね四角または矩形の平面形状で構成され得るが、図１２に見られるようにワイヤであり得る。ある実施例では、平面電極に供給されたＲＦ電流は平面ループ電流１７２ａを生じ、この電流はアパーチャ１５４を通ってトロイダル磁界１８２を生成する（図１２参照）。平面電流ループは実質的に半径面と平行であり得、トーチの長手方向軸と実質的に直交している。トロイダル磁界は図３に示されるトーチ１１４などのトーチ内にプラズマを生成および維持するように働き得る。典型的なプラズマでは、アルゴンガスが１分間に約１５〜２０リットルの流速でトーチ内に導入され得る。プラズマは、アルゴンガスを点火するのにスパークまたはアークを使用して生成され得る。トロイダル磁界はアルゴン原子およびイオンを衝突させて、プラズマを形成する、例えば約５，０００から１０，０００Ｋ以上の超加熱環境を生じる。
【００１９】
図６および図７を参照すると、電極１５６はＤ１の外径とＤ２のアパーチャ内径を有する丸い種類であり得る。いくつかの実施例では、外径は約１０ｍｍから約２０ｃｍ、より詳細には約２５ｍｍから約１０ｃｍ、例えば約３０ｍｍから約５０ｍｍの範囲で、内径は約１０ｍｍから約１５ｃｍ、より詳細には約５ｍｍから約５ｃｍ、例えば約２０ｍｍから約２４ｍｍの範囲である。ある実施例では、図４〜図７の電極１５２、１５６は、ＲＦ電流１７２が独立して供給され、典型的には異極性（異極性は動作には必須ではないが）の別個の素子であり得る。他の実施例では、図４〜図７の電極１５２、１５６は、電気的に連通した素子であり得、それぞれ所望の極性を提供して磁界を生成するように適切に設計され得る。
【００２０】
ある実施例によると、電極１５２の一方の部分１７６にはＲＦ電力が供給され、電極１５２の第２の部分１７８は接地１７４に繋がられる。いくつかの実施例では、電極は機器シャーシに接地され得るが、他の実施例では、電極は接地プレートに搭載されて接地され得、それ自身適切な方法で接地され得る。プラズマ１１６のアーク点火時に、点火アークが電極１５２と接触しても、電極１５２においてセットアップされたいかなる不必要な電流も接地ポイント１７４に導かれ得、ＲＦ電力供給１１０まで導かれない。各電極１５２に供給されたＲＦ電力および周波数は最適性能に独立して制御され、可変され得る。例えば、各電極１５２はプラズマ発光および励起を最適化するために異なる周波数で作動され得る。加えて、一方の電極（または両電極）が継続電力モードで作動され得、他方の電極は変調可能である（例えば、パルス状またはゲート型）。ある実施例では、電極１５２が互いに接続されていないので、電極１５２間の距離‘Ｌ’は調節され得、これによりプラズマ１１６内の電力分布の調節を生じ得る。さらに、アパーチャ１５４の直径Ｄ２は、ＲＦ電源１１０とプラズマ１１６との間の結合特性を調節するために独立して調節され得る。
【００２１】
ある実施例によると、電極間の距離を制御するためにスペーサが電極間のある部分に設置され得る。ある実施例では、スペーサは電極を構成するのに使用されるのと同じ材料を使用して構成される。いくつかの実施例では、スペーサは電極材料と実質的に同じ熱膨張率を有する材料から作られるので、電極が異なる温度で膨縮するにつれて、スペーサはほぼ同じ率で膨縮する。いくつかの実施例では、スペーサはステンレススチールワッシャ、真ちゅうワッシャ、銅ワッシャまたは他の適切な導電性材料から作られたワッシャである。ある実施例では、スペーサは電極を接続するボルトまたはナットを受けるのに適した大きさのワッシャである。１つ以上のスペーサを用いて、電極間の距離が容易に再生および／または変更され得る。本開示の利点を鑑みると、本明細書に開示される電極と共に使用するスペーサの適切な材料および形状を選択することは、当業者の能力内であろう。
【００２２】
図８〜図１１を参照すると、誘導装置１５８は、共通の電気接地１７０に接続された２つの電極１６６、１６８を含むように示される。誘導コイル１５８は、電極１６６および１６８が互いに電気的に連通した状態で螺旋状コイルとして構成され得る。ＲＦ電流１７２が誘導装置１５８に供給されると、ループ電流１７２ａが生成され、トロイダル磁界を生じる。ループ電流１７２ａは電極１６６および１６８の平らな表面に実質的に平行であり、トーチの長手方向軸と実質的に直交することになろう。誘導コイル１５８は共通電気接地１７０（図１０を参照）において接地されて、電極１６６および１６８の溶解を生じ得る不必要なアーク放電を防止し得る。ある実施例では、電極１６６および１６８は互いに距離Ｌで離間される（図８および図１０を参照）。電極１６６および１６８間の正確な距離は様々であり得、模範的な距離は約１ｍｍから約５ｃｍ、より詳細には約２ｍｍから約２ｃｍ、例えば約５ｍｍから約１５ｍｍを含むが、これらに限定されない。ある実施例では、電極１６６および１６８は搭載面と実質的に直交して配置される。他の実施例では、電極１６６および１６８はトーチの軸方向寸法および電極の半径方向寸法が実質的に直交するような角度で傾斜され得る。いくつかの実施例では、各電極１６６および１６８は、同じ方向に角度を付けられ得るが、他の実施例では、電極１６６および１６８は反対方向に角度付けられ得る。本開示の利点を鑑みると、当業者は本明細書で開示される例示的誘導装置の電極に対して適切な構成および角度を選択することができるであろう。
【００２３】
ある実施例によると、トーチを囲む誘導装置の模範的構成が図１３に示される。誘導装置１１２は同軸流体管１１４、１５０および１４８を囲み得る。キャリアガス流１２８はトーチに導入されて、誘導装置１１２を使用したプラズマ生成用ガスを供給し得る。補助ガス流１４４は同軸チューブ１５０に導入されて、インジェクタ１４８に対するプラズマ位置を制御するためのガスを供給し得る。サンプルフロー１４６はエアロゾール管１４８に入り得、そこで誘導装置１１２により生成されるプラズマに噴霧される。種々のガス種
の正確な流速は様々であり得る。例えば、キャリアガスは典型的に約１０Ｌ／分から約２０Ｌ／分の流速、例えば約１５〜１６Ｌ／分で導入される。補助ガスは典型的には約０Ｌ／分から約２Ｌ／分の流速で導入される。サンプルは、サンプルの脱溶媒和および／または原子化を提供するのに適した流速で導入可能である。いくつかの実施例では、サンプルは約０．１Ｌ／分から約２Ｌ／分の流速で導入される。本開示の利点を鑑みると、キャリアガス、補助ガスおよびサンプルのさらなる流速は当業者により容易に選択されるであろう。
【００２４】
図１４を参照すると、単一のＲＦ電流源１１０から生成される複数のループ電流１８４ａ，１８４ｂが示される。図示の明確さのために、電極は図１４では省略されている。ループ電流１８４ａ，１８４ｂは反対の極性の電流を並置する電極に印加することにより生成される。ループ電流１８４ａ，１８４ｂは、正弦波交流電流の交流半サイクルの間に第１のループ電流１８４ａにおける交流電流１７２ａが第２のループ電流１８４ｂにおける交流電流１７２ｂと同じ方向に流れるように、適切な方法で互いに対して方向付けられ得る。この構成により、複数のループ電流１８４ａ，１８４ｂが単一の電源１１０から駆動されて、同じ空間的配向性を有する磁界１８２ａ，１８２ｂを生成することが可能となる。この一例は、図１７および図１８に見ることができ、各コイル１００２および１００４の対角線上に並置した脚は、すぐ下に位置する単一ＲＦ源から駆動されて、やはり対角線上に並置される残りの２本の脚も接地プレート１００６に共通に接続される。ループ電流１８４ａ，１８４ｂの平面もまた、トーチの長手方向軸１２６と実質的に直交し、トーチの半径面に実質的に平行している。ある実施例では、装置は磁界を生成して対称または実質的対称プラズマを維持するように構成配置された２つ以上の電極を含む。ある模範的電極は図１〜図１４を参照して上記で述べられ、他の模範的電極は下記で述べられる。
【００２５】
ある実施例によると、トーチの長手方向軸と実質的に直交する半径面に沿って第１のループ電流が流されるように構成配置される第１の電極を含む、プラズマを生成するための装置が開示される。図１５Ａおよび１５Ｂを参照すると、装置４００は電極４０２を含み、電極４０２は、スロット４０４およびトーチ４１０を受けるためのアパーチャ４０６を有する。電極４０２は実質的に対称である円形の内側断面を有する。ある実施例では、内側断面の直径は約１０ｍｍから約６０ｍｍ、より詳細には約２０ｍｍから約３０ｍｍ、例えば約２０ｍｍから約２３ｍｍである。いくつかの実施例では、内側断面の直径は、約１ｍｍの距離でトーチ４１０の外面と電極４０２の内側部分を分離させるように選択される。電極４０２は、トーチ４１０の長手方向軸（図１５Ｂでは点線として示される）と実質的に直交するように位置付けられ得る。電極４０２のスロット４０４は、電極４０２に流される電流が図１５Ｂに示すようなループ電流４１２などのループの形状を取ることになるように構成され得る。いくつかの実施例では、ループ電流４１２はトーチ４１０の長手方向軸と実質的に直交する、すなわちループ電流の平面がトーチ４１０の長手方向軸と実質的に直交する。実質的に直交するループ電流の使用により、螺旋状負荷コイルを使用して生成されたプラズマよりも、選択された半径面に対してより対称的な温度分布を有するプラズマを生成および／または維持し得る。ある実施例では、対称プラズマまたは実質的対称プラズマは電極４０２など、トーチ４１０の長手方向軸と実質的に直交して位置付けられた電極を使用して維持される。ある実施例では、電極の選択された全体形状は様々であり得る。例えば、および図１５Ａに示すように、電極４０２は全体矩形形状で構成される。しかしながら、円形、三角形、リング、楕円、トロイドなど他の適切な形状も使用され得る。第１の電極は本明細書に説明されるように接地プレートに搭載され得る。
【００２６】
ある実施例では、図１５Ａの電極４０２と同様の第２の電極も、半径面に平行に構成配置され得、それはトーチ４１０の長手方向軸と実質的に直交する。他の実施例では、第２のループ電流の平面は第１のループ電流の平面に実質的に平行であり得る。いくつかの実施例では、第１および第２のループ電流は同じ方向に流れ得、他の実施例では、第１およ
び第２のループ電流は反対方向に流れ得る。１つ以上の電極が使用される実施例では、図１５Ａに示されるＲＦ源４２０のような単一のＲＦ源が第１および第２電極のそれぞれにＲＦ電力を供給し得るか、または別個のＲＦ源が第１および第２の電極にＲＦ電力を供給し得る。いくつかの実施例では、第１および第２の電極を分離するのにスペーサが使用される。第１および第２の電極にＲＦ電力を供給するのに単一ＲＦ源が使用されて、かつスペーサが使用される実施例では、スペーサは例えば、銅、真ちゅう、金などの導電性材料で作られ得る。第１および第２の電極にＲＦ電力を供給するのに別個のＲＦ源が使用されて、かつスペーサが使用される実施例では、第１電極から第２の電極への電流の流れを防止するために、スペーサは非導電性材料、例えばガラス、プラスチックなどによって作られ得る。
【００２７】
ある実施例では、第１の電極、第２の電極またはその両者は接地プレートに接地され得る。例えば、図１６Ａおよび図１６Ｂを参照すると、誘導装置５００は、それぞれ接地プレート５０６に搭載された第１の電極５０２および第２の電極５０４を含み得る。図１６Ａおよび１６Ｂに示される例では、電極５０２および５０４はそれぞれ支持５０３および５０５を使用して接地プレート５０６に搭載され得る。ある実施例では、各電極５０２および５０４の対角線上に並置された脚は、すぐ下に位置する単一ＲＦ源から駆動され、やはり対角線上に並列する残りの２本の脚は接地プレート５０６に共通に接続され得、すべての構成要素は、５０３および５０５として典型的に識別される４つの同一の取り付け具を介して電気的に接続され得る。支持５０３および５０５は、電極５０２および５０４と接地プレート５０６の間の電気的連通を提供し得、プラズマのアーク点火の際に点火アークが電極５０２、５０４に接触しても、電極５０２、５０４にセットアップされたいかなる不必要な電流も接地プレート５０６に導かれて、電極５０２および５０４と電気的に連通するＲＦ電源（図示せず）まで流れないようにされ得る。接地プレート５０６と共に電極５０２および５０４の使用することにより、螺旋状負荷コイルを使用して生成されるプラズマより対称的なプラズマが提供され得、これはある種の検出制限を改善することができる（本明細書の実施例においてより詳細に述べられる）。例えば、既存の螺旋状負荷コイルを使用すると、負荷コイルの螺旋に従うというプラズマの傾向により非均一プラズマ放電が生じるために、温度が下がり、脱溶媒和および／または原子化において効率が悪いプラズマの領域が存在し得る。本明細書で開示される誘導装置の実施例を使用すると、選択された半径面に対してより対称的な温度分布を有するプラズマが生成され、これはより均一な脱溶媒和および原子化を提供することができ、その結果性能を向上させ、トーチ寿命を延ばし、有機物と共に使用される際の炭素の蓄積を少なくする。
【００２８】
ある実施例では、本明細書に開示されるような誘導装置は、従来の螺旋状負荷コイルよりもずっと低い電力で作動され得る。例えば、約８００ワットから１２５０ワット、例えば約９００ワットから約１０５０ワットの電力を本発明に開示される誘導装置で使用して、例えば化学分析用の機器において使用するのに適したプラズマを維持し得る。単に比較の目的で、典型的な従来の螺旋状負荷コイルは約１４５０ワット以上の電力を使用して化学的分析に適したプラズマを維持する。いくつかの実施例では、本明細書で提供される誘導装置は、螺旋状負荷コイルよりも約１０〜２０％低い電力を使用するように構成される。
【００２９】
ある実施例によると、電極および接地プレートの正確な厚さは、例えば、装置の意図された使用、プラズマの所望の形状などに依存して様々であり得る。ある実施例では、電極は約０．０５〜１０ｍｍの厚さ、より詳細には約１〜７ｍｍの厚さ、例えば約１，２，３，４，５もしくは６ｍｍの厚さ、またはこれらの例示的厚さ間の任意の寸法であり得る。同様に、接地プレートの正確な寸法および厚さも様々であり得る。例えば、接地プレートは約５ｍｍから約５００ｍｍの幅から、約５ｍｍから約５００ｍｍの長さであり得るか、または全機器シャーシそのものと同じ大きさが可能であり、約０．０２５ｍｍの厚さから
約２０ｍｍの厚さを有し得る。本開示の利点を鑑みると、所望のプラズマ形状を提供するために適切な電極および接地プレート寸法および厚さを選択することは当業者の能力の範囲内であろう。
【００３０】
ある実施例によると、誘導装置の各電極は個々に調整されるか制御され得る。図１６Ｃを参照すると、誘導装置６００は、それぞれ支持６０３および６０５を介して接地プレート６０６と電気的に連通する電極６０２および６０４を含む。接地プレート６０６は電極６０２、６０４の溶解を生じ得る、不必要なアーク放電を防止するように構成され得る。ある構成において、接地プレート６０６はそれ自身が機器シャーシに接地され得る。ＲＦ源６１０は電流を電極６０２に流すように構成され得、ＲＦ源６２０は電流を電極６０４に流すように構成され得る。電極６０２および６０４に供給される電流は同じであり得るか、または異なり得る。電流はまた、プラズマの作動時に変更または変化させて、プラズマの形状および／または温度を変化させ得る。他の実施例では、単一ＲＦ源は両電極６０２、６０４に電流を流すように構成され得る。例えば、かつ図１６Ｄを参照して、誘導装置６５０はそれぞれ支持６０３および６０５を介して接地プレート６０６と電気的に連通した電極６０２および６０４を含む。ＲＦ源６６０は、電極６０２および６０４のそれぞれに電流を流すように構成され得る。単一のＲＦ源が使用されて、電流を電極６０２および６０４に流し得るとしても、各電極に提供される電流は同じであり得るか、または同じではないこともあり得る。例えば、適切な電子回路が実装されて、異なる電流を電極の一方に提供し得る。本開示の利点を鑑みると、当業者は１つ以上のＲＦ源を使用して適切な誘導装置を設計することができるであろう。
【００３１】
ある実施例によると、トーチの作動時にガス流が導入される長手方向軸を有し、トーチの長手方向軸と実質的に直交する半径面を有するトーチにおいてプラズマを維持するための装置が提供される。ある実施例では、装置はトーチの半径面に沿ってループ電流を流すための手段を含む。適切な手段は、本明細書に開示される任意の１つ以上の電極、または半径面に沿ってループ電流を流すことができる他の適切な装置を含むが、これに限定されない。
【００３２】
ある実施例によると、長手方向軸を有し、トーチの長手方向軸と実質的に直交する半径面を有するトーチにおいてプラズマを維持する方法が開示される。ある実施例では、トーチの長手方向軸に沿ってガス流を流すことと、トーチにおいてガス流を点火することと、半径面に沿ってループ電流を流してトーチにおいてプラズマを維持することを含む。ループ電流は、本明細書で開示される電極の任意の１つ以上または半径面に沿ってループ電流を流し得る他の適切な電極構成を使用して流し得る。ある実施例では、本明細書に記載される方法を使用して維持されるプラズマは実質的対称プラズマである。
【００３３】
ある実施例によると、プラズマからの信号は誘導装置の２つ以上の電極間でモニタされ得る。いくつかの実施例では、電極間または電極の上での励起された種の発光の半径方向検出は、標準光学検出器を使用して行われ得る。他の実施例では、軸方向検出を使用して、プラズマからの信号またはプラズマにおける種をモニタし得る。
【００３４】
本開示の利点を鑑みると、電極に電流を流すのに適した電子的構成要素は当業者により容易に選択されるであろう。例えば、例示的ＲＦ源およびオシレータは、開示全体が実質的に参照により本明細書に組み込まれた米国特許第６，３２９，７５７号に見つけられ得る。
【００３５】
ある特定実施例について以下により詳細に述べ、さらに技術の態様および実施例を例示する。
【００３６】
実施例１−プレート誘導コイル
誘導装置１０００は２つの電極１００２および１００４を備えて組立てられて、そのそれぞれは接地プレート１００６に接地された（図１７および１８参照）。電極１００２および１００４はそれぞれ、５０−５２シートアルミニウムから加工された２ｍｍの厚さのプレートとした。変形されたフェースプレートをインストールし、ＰｅｒｋｉｎＥｌｍｅｒ，Ｉｎｃ．から入手可能なＯｐｔｉｍａ２０００およびＯｐｔｉｍａ４０００機器で評価した。図１７および図１８に示されるこのフェースプレートは、螺旋状負荷コイルを接地プレート１００６、インダクタ１００２および１００４ならびに取り付け具に置き換えることを含む。ボルト固定取り付けブロックに対して必要とされる場合は、クリアランス穴を含むように非常に微細な変形がフェースプレートに必要であった。生成器には機能的変更は行われなかった。変形された機器は約１５Ｌ／分の流速で機器仕様のすべてを確実に満たすようにテストされた（図１９（溶接ガラスを通して見る）および図２０に示すプラズマを参照）。オシレータヒートシンクの温度は、同じ入力電力に対して、螺旋状負荷コイルを使用したときよりも低かった。示されるオシレータヒートシンク温度が低ければ低いほど、プラズマにはより多くの電力が到達していた。プラズマはまた、従来の螺旋状負荷コイル（約１４５０ワット）で使用された電力よりも低い電力（約１２５０ワット）で維持可能であった。加えて、機器が１４５０ワットで操作されると、誘導装置は同じ電力設定で螺旋状コイルよりも良好にサンプルローディングを取扱うことができた。
【００３７】
実施例２−対称プラズマ放電
誘電装置は、図２１に示すような実質的対称プラズマ放電を生成するように構成された。図２２および図２３を参照すると、誘電装置１１０２（３枚のプレート）および１１０４（２枚のプレート）をそれぞれ使用して実質的対称プラズマ放電を生成し、従来の螺旋状負荷コイル１１０６（３ターン）および１１０８（２ターン）を比較目的で示す。オシレータに螺旋状負荷コイルを搭載するのに使用するブロックはまた、ブロックをフェースプレートに保持する既存のハードウェア（ネジ）を含む。これらのネジを使用して、螺旋状コイルが取り除かれた後誘導装置脚をブロックに接続した。さらなる変形は必要でなかった。従来の螺旋状負荷コイルに関しては、放電電流およびその結果生じるプラズマ温度は負荷コイルの螺旋に従う傾向があり、それにより非均一なプラズマ放電が生じる。この非均一放電は、歪んだイオン軌跡、サンプルの非均一加熱、プラズマの非平坦ボトムに起因したプラズマの外部周辺へのサンプルの漏れ、およびイオン化の不十分な規定領域を含む多くの不都合を有する。螺旋状負荷コイルにおいて巻かれた銅管の代わりに本明細書に開示される誘導装置を使用することにより、プラズマにおける温度勾配をより良好に制御してより対称的なプラズマを提供することが可能である。誘電装置のプレート間のスペーシングを変化させることにより、本明細書に開示される誘導装置を使用してさらなる調整が提供され得る。例えば、誘導装置のプレート間のスペーシングをずらすことは有益であり得る。負荷コイルターン間のスペーシングを増加させることによりスペーシング変更が従来のコイルで試みられる場合、プラズマはより非対称となる傾向がある。
【００３８】
本明細書に開示される誘導装置の使用により、特に低質量範囲（５〜６０原子質量単位（ＡＭＵ））、低減された酸素物割合および低減された作業圧力において、感度が向上することが分かった。例えば、対称プラズマはまた、プラズマの側方周辺にサンプルの漏れを有することなく揮発性サンプルを流すことが可能となり、より十分に規定されたイオン化領域を提供し、プラズマプルームの最上部において負荷コイルが剥がれる高い背景スパイクを除去する。図２４は、ＰｅｒｋｉｎＥｌｍｅｒ，Ｉｎｃ．から入手可能なＥｌａｎ６０００ＩＣＰ質量スペクトロメータでテストされた模範的プレート誘導装置７００を示す。誘導装置７００は、チューブおよび固体ＲＦ生成器の両者と共に、かつＩＣＰ質量スペクトロメータおよびＩＣＰ−ＯＥＳ生成器の両者上で作動した。
【００３９】
実施例３−スペーサ組み合わせ
ＩＣＰ質量分析を使用して異なるターン数および異なるスペーサを有する種々の誘導装置がテストされた。標準Ｅｌａｎ生成器は１／８銅管からなり、スウェージロック取り付け具を使用して生成器に電気的に接続された３ターン負荷コイルを使用する。誘電装置が使用される場合は、それらはスウェージロック取り付け具の代わりに直接既存の電極にボルトで留められた。各誘導装置に対して、ユニット（ＰｅｒｋｉｎＥｌｍｅｒ，Ｉｎｃ．から市販されるＥＬＡＮ６０００）は最適化されて、その後、マグネシウム（Ｍｇ）、ロジウム（Ｒｈ）、鉛（Ｐｂ），セリウム（Ｃｅ）、酸化セリウム（ＣｅＯ）、バリウム（Ｂａ）、バリウム＋２（Ｂａ＋＋）、および背景信号（ＢＧ２２０）を含む、異なる吸引種に対してデータが集められた。データは最大感度信号に正規化されて、図２５〜図３１に示す結果でプロットされた。種々の感度は、螺旋状負荷コイル（３ターンを備えた１／８インチ径銅管）を有する標準ＥＬＡＮ６０００を使用して検出された最大信号に正規化された。テストされた誘導装置の組み合わせは、標準５ターンＬ２誘導装置、４ターンＬ２インダクタおよび、プレート間に異なる数のスペーサを備えた０．８７５径プレート誘導装置の混合であった。本明細書では省略形で使用される用語「Ｌ２インダクタ」は、ＲＦ生成器内部に位置する内部インピーダンス整合コイルの一部を表す。通常動作電力（別途特定されていない場合）は１０００ワットであった。各スペーサは６３２真ちゅうワッシャであった。テストされた誘導装置の組み合わせを下記に一覧した。省略形は図２５〜図３１に参照される。
【００４０】
１．標準５ターンＬ２インダクタを備えた標準負荷コイル
２．１Ｓ５Ｔ−プレート誘導装置、プレート間に１つのスペーサ、および標準５ターンＬ２インダクタ
３．１Ｓ４Ｔ−プレート誘導装置、プレート間に１つのスペーサ、および４ターンＬ２インダクタ
４．１−２Ｓ４Ｔ−プレート誘導装置、１つのリアスペーサ、２つのフロントスペーサ、および４ターンＬ２インダクタ
５．１−２Ｓ５Ｔ−プレート誘導装置、１つのリアスペーサ、２つのフロントスペーサ、および５ターン標準Ｌ２インダクタ
６．２Ｓ５Ｔ−プレート誘導装置、プレート間に２つのスペーサ、および５ターン標準Ｌ２インダクタ
７．２Ｓ４Ｔ−プレート誘導装置、プレート間に２つのスペーサ、および４ターンＬ２インダクタ
８．３Ｓ４Ｔ−プレート誘導装置、プレート間に３つのスペーサ、および４ターンＬ２インダクタ
９．３Ｓ５Ｔ−プレート誘導装置、プレート間に３つのスペーサ、および５ターン標準Ｌ２インダクタ
データがプロットされると、プレート誘導装置および標準５ターンＬ２インダクタで測定されたデータは、ピンチが存在することを示す２重の山を有した。ピンチはプラズマプルームとサンプリングインターフェース間の２次的放電を指す。ピンチ放電はインターフェースコーンにおいて起こり得るプラズマを最小限にすることにより排除できる。
【００４１】
図２５は標準ＥＬＡＮ６０００質量スペクトロメータを使用して検出されたサンプル毎のプロットであり、すべての測定が比較された。左軸は正規化された強度を表し、ｘ軸はＬ／分のネブライザ流量を表し、右軸はカウント／分（ＢＧ２２０測定に対して）か、または酸化物の比率（ＣｅＯ／ＣｅおよびＢａ＋＋／Ｂａ測定に対して）の何れかを表す。異なる素子の最大感度ピークは異なるネブライザ流速で発生する。感度の理由から、酸化物が他の種の測定に干渉する傾向があるので、素子の最大感度は、酸化セリウムなどの酸化物の最大感度を観察するのに使用される流速よりも低い流速で発生することが好適である。
【００４２】
図２６を参照すると、４ターンＬ２内部インピーダンス整合インダクタおよび構成（１Ｓ４Ｔ）をテストした結果が示される。１Ｓ４Ｔ装置を使用すると、異なる素子（Ｍｇ、Ｒｈ，Ｐｂ）の最大感度ピークは同じネブライザ流量（約０．８４）で発生した。シングルスペーサは、最も高い中間質量感度（中間質量とは典型的には、６０〜１８０ＡＭＵの間の原子質量単位を有する種を指し、高質量とは１８０から２３８ＡＭＵの原子質量単位を有する種を指す）を発揮した。
【００４３】
図２７を参照すると、ダブルフロントシングルリアスペーサ４ターンＬ２インダクタ（１−２Ｓ４Ｔ）をテストした結果が示される。１−２Ｓ４Ｔ装置を使用すると、マグネシウム、ロジウムおよび鉛信号をＣｅ／ＣｅＯと共に観察される酸化物の山の頂上（ＴＯＭ）から分離させることが可能であった。
【００４４】
図２８を参照すると、酸化セリウム／セリウム信号と比較して、ロジウム感度に対して種々の負荷コイルをテストした。テストされた装置は、標準螺旋状負荷コイルと、１つのリアスペーサ、２つのフロントスペーサおよび４ターンＬ２インダクタを有するプレート誘導装置（１−２Ｓ４Ｔ）とを含んだ。１−２Ｓ４Ｔ装置を使用すると、ロジウムの最大感度ピークはより低い流速にずれて、酸化セリウム／セリウムの最大感度ピークから離れており、これは１−２Ｓ４Ｔ装置が標準コイルよりも良好なロジウム感度を提供することを示した。
【００４５】
図２９を参照すると、ロジウム信号はＥＬＡＮ６０００からの最大標準信号に対して正規化された。１Ｓ４Ｔ装置の使用により、標準螺旋状負荷コイルと比較すると、３０％の信号増加が提供された。１−２Ｓ４Ｔ装置を使用すると、標準コイルで観察された酸化物の山が分離した。
【００４６】
図３０を参照すると、マグネシウムを使用して種々の装置の性能を測定した。１−２Ｓ４Ｔ装置は、テストされた全装置の中で最も良好な低質量性能を示した。
【００４７】
図３１を参照すると、鉛を使用して種々の装置の高質量性能を測定した。プレート誘導装置はすべて、約０．９６より大きいネブライザ流速において標準ＥＬＡＮ６０００に比べると芳しくない高質量性能を発揮した。しかし、より低いネブライザ流速ではプレート誘導装置はすべて標準ＥＬＡＮ６０００よりも良好な高質量性能を発揮し、低減された量のサンプルを使用して、高質量種の検出を可能とし得る。
【００４８】
実施例４−プレート誘導コイルを使用した発光検出制限
発光スペクトロメータ（ＰｅｒｋｉｎＥｌｍｅｒ，Ｉｎｃ．から得たＯｐｔｉｍａ３０００）に螺旋状負荷コイルまたはプレート誘導装置の何れかを装着して、ヒ素（Ａｓ）、カドミウム（Ｃｄ）、クロム（Ｃｒ）、マンガン（Ｍｎ）、鉛（Ｐｂ）およびセレン（Ｓｅ）に対する検出制限を測定した。螺旋状負荷コイルは標準３／１６”径銅コイルであった。プレート誘導装置は、それぞれトーチを受けるためのアパーチャを有する２つの円形電極を含んだ。比較の目的でのみ、螺旋状負荷コイルとプレート誘導装置を使用した検出制限が下記の表１にて示される。
【００４９】
【表１】
【００５０】
より新しい機器に関する検出制限は上記の表１で挙げられるものよりも良好であり得るが、検出制限の相対比較では、プレート誘導装置を使用した検出制限は一貫して螺旋状負荷コイルを使用して得られた検出制限よりも低いことが分かる。
【００５１】
本明細書に開示される実施例の素子を紹介する際に、冠詞“ａ”、“ａｎ”、“ｔｈｅ”および“ｓａｉｄ”はその素子が１つ以上があることを意味するように意図される。用語「備える（ｃｏｍｐｒｉｓｉｎｇ）」「含む（ｉｎｃｌｕｄｉｎｇ）」「有する（ｈａｖｉｎｇ）」は制約がなく、挙げられた素子以外のさらなる素子があり得ることを意味するように意図される。本開示の利点を鑑みると、実施例の種々の構成要素は他の実施例の種々の構成要素と置き換え、または代替されることが可能であることは当業者に認識されるであろう。万が一参照により本明細書に組み込まれる特許、特許出願または公報の何れかの用語の意味が本開示において使用される用語の意味と矛盾する場合、本開示の用語の意味が統括するように意図される。
【００５２】
ある態様、実施例および実施形態について上記に記載されたが、本開示の利点を鑑みると、開示された例示的態様、実施例および実施形態の追加、代替、変形および変更が可能であることは当業者により認識されるであろう。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】ある実施例による誘導結合プラズマ発光スペクトロメータ（ＩＣＰ−ＯＥＳ）の概略図である。
【図２】ある実施例による誘導結合プラズマ質量スペクトロメータ（ＩＣＰ−ＭＳ）の概略図である。
【図３】ある実施例によるＩＣＰトーチおよびプラズマの図である。
【図４】ある実施例による２つの電極、ＩＣＰトーチおよびプラズマの側面図である。
【図５】ある実施例による、プラズマを維持するための第１の電極であり、電極はアパーチャを含む正面図である。
【図６】ある実施例による、プラズマを維持するための第２の電極であり、電極はアパーチャを含む正面図である。
【図７】ある実施例による図６の電極の側面図である。
【図８】ある実施例による単一電極の斜視図である。
【図９】ある実施例による図８の電極の正面図である。
【図１０】ある実施例による図８の電極の側面図である。
【図１１】ある実施例による図８の電極の上面図である。
【図１２】ある実施例による、ループ電流から生成される磁界の斜視図である。
【図１３】ある実施例による、螺旋状種類のソレノイドを示すＩＣＰトーチの図である。
【図１４】ある実施例による、正弦波交流電流の交流半サイクルの間に、単一ＲＦ電源により駆動される複数のループ電流の図である。
【図１５Ａ】ある実施例による、電流ループを生成するように構成されたトーチおよび誘導装置を示す図である。
【図１５Ｂ】ある実施例による、電流ループを生成するように構成されたトーチおよび誘導装置を示す図である。
【図１６Ａ】ある実施例による誘導装置の図である。
【図１６Ｂ】ある実施例による誘導装置の図である。
【図１６Ｃ】ある実施例による誘導装置の図である。
【図１６Ｄ】ある実施例による誘導装置の図である。
【図１７】ある実施例による誘導装置の軸方向図である。
【図１８】ある実施例による図１７の誘導装置の半径方向図である。
【図１９】ある実施例による、１枚の溶接ガラスを介して見た、図１７および図１８の誘導装置を使用して生成されたプラズマの図である。
【図２０】ある実施例による、図１７および図１８の誘導装置を使用して生成されたプラズマの図である。
【図２１】ある実施例による、プレート電極を備えた誘導装置を使用して生成された対称プラズマの例を示す図である。
【図２２】ある実施例による、プレート電極を備えた誘導装置の半径方向図および標準螺旋状負荷コイルの半径方向図を示す図である。
【図２３】ある実施例による、図２２のプレート電極を備えた誘導装置の軸方向図および図２２の標準螺旋状負荷コイルの半径方向図を示す図である。
【図２４】ある実施例による３ターン誘導装置の図である。
【図２５】ある実施例による、背景および種々の金属種に対する標準螺旋状負荷コイルの性能を示すグラフである。
【図２６】ある実施例による、背景および種々の金属種に対する、標準螺旋状負荷コイルの性能を使用して正規化された、１Ｓ４Ｔ誘導装置（１つのスペーサ、４ターン）の性能を示すグラフである。
【図２７】ある実施例による、背景および種々の金属種に対する、標準螺旋状負荷コイルの性能を使用して正規化された、１−２Ｓ４Ｔ誘導装置（２つのスペーサ、４ターン）の性能を示すグラフである。
【図２８】ある実施例による、酸化物およびロジウムサンプルに対する種々の誘導装置の性能を比較するグラフである。
【図２９】ある実施例による、種々の誘導装置からのロジウム信号を比較するグラフである。
【図３０】ある実施例による、マグネシウムサンプルに対する種々の負荷コイルの性能を比較するグラフである。
【図３１】ある実施例による、種々の負荷コイルの高質量性能を比較するグラフである。
【技術分野】
【０００１】
ある実施例はプラズマを生成するのに使用される装置および方法、および、かかる装置により生成されるプラズマにおいて導入されるサンプルを分析するための方法および装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
背景
多くの誘導結合プラズマ発光分析（ＩＣＰ−ＯＥＳ）システム、誘導結合プラズマ原子吸光分光学（ＩＣＰ−ＡＡＳ）システム、および誘導結合プラズマ質量分析（ＩＣＰ−ＭＳ）システムは、プラズマを形成するためにＲＦ電流を受け入れるソレノイドを使用する。しかしながら、磁界により生成された誘導電流は歪められて、ソレノイドの螺旋構造のために、ソレノイドの内部の長さに亘って非均一である。この非均一性は、プラズマ内に可変温度分布を生じ、これはプラズマにおけるサンプル励起およびイオンの軌跡に影響を与え得る。加えて、ソレノイドは単一素子であり、磁界およびプラズマ／サンプル励起により形成される、関連付けられた誘導電流を制御する際の柔軟性に欠けている。
【発明の開示】
【課題を解決するための手段】
【０００３】
要旨
第１の態様によると、プラズマを生成するのに使用する装置が提供される。ある実施例においては、トーチの作動時にガス流が導入される長手方向軸を有し、トーチの長手方向軸と実質的に直交する半径面を有するトーチにおいてプラズマを生成するための装置が開示される。あるいくつかの実施例では、装置は、電源に連結するように構成されてトーチの半径面に沿ってループ電流を流すように構成配置された第１の電極を含む。ある実施例では、装置は、電源に連結するように構成されてトーチの半径面に沿ってループ電流を流すように構成配置された第２の電極をさらに含む。いくつかの実施例では、第１および第２の電極のそれぞれは、対称的な内側断面、例えば円形の内側断面を含むプレートを含む。ある実施例では、少なくとも１つのスペーサが第１の電極および第２の電極を分離する。他の実施例では、本明細書に記載されるように、第１の電極はトーチにおいて対称プラズマまたは実質的対称プラズマを維持するように構成される。ある実施例では、第１の電極、第２の電極またはその両方は、その電極の１つ以上にＲＦ電力を供給するように構成される無線周波数源と電気的に連通し得る。いくつかの実施例では、第１の電極および第２の電極はそれぞれ自分の無線周波数源を有する。ある実施例では、第１の電極、第２の電極またはその両方は、接地プレートに電気的に連通する。装置は、誘導結合プラズマ発光スペクトロメータ、誘導結合プラズマ原子吸収スペクトロメータ、誘導結合プラズマ質量スペクトロメータまたは他の適切な機器において使用されるように構成され得る。
【０００４】
別の態様によると、トーチの作動時にガス流が導入される長手方向軸を有し、トーチの長手方向軸と実質的に直交する半径面を有するトーチにおいてプラズマを生成するための装置が開示される。ある実施例では、装置はトーチの半径面に沿ってループ電流を流すための手段を含む。いくつかの実施例では、手段は電極またはトーチの半径面に沿って無線周波数電流を流すことが可能な同等の構造であり得る。ある実施例では、本明細書に記載されるように、手段はプレート電極であり得る。
【０００５】
さらなる態様によると、長手方向軸を有し、トーチの長手方向軸と実質的に直交する半径面を有するトーチにおいてプラズマを維持する方法が提供される。ある実施例では、方法は、トーチの長手方向軸に沿ってガス流を流す工程と、トーチにおいてガス流を点火す
る工程と、半径面に沿ってループ電流を流し、トーチにおいてプラズマを維持する工程とを含む。いくつかの実施例において、方法は実質的対称プラズマになるようにプラズマを構成する工程をさらに含む。
【０００６】
別の態様によると、実質的対称プラズマが開示される。ある実施例では、実質的対称プラズマは、トーチにおいてガス流を点火し、トーチの長手方向軸と実質的に直交する半径面に沿ってループ電流を流して実質的対称プラズマを維持することにより生成され得る。
【０００７】
本開示の利点を鑑みると、さらなる態様および実施例は当業者に認識され、ある態様および実施例はより詳細に以下に説明される。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
詳細な説明
ある実施例は添付図を参照して下記に説明される。
【０００９】
本開示の利点を鑑みると、図に示される模範的誘導装置および他の装置は一定の縮尺ではないこともあり得ることは、当業者により認識されるであろう。誘導装置、トーチなどのある特徴または寸法は、本明細書に開示される態様および実施例のより十分な理解を促すために他の特徴に対して拡大、縮小または変形されていることもあり得る。
【００１０】
本明細書に開示される誘導装置技術の多くの用途および使用の一部を例示するために、ある実施例が以下に説明される。本開示の利点を鑑みると、これらおよび他の使用は当業者により容易に選択されるであろう。それ以外に文脈から明らかでなければ、同一番号は異なる図における同様の構造を示す。
【００１１】
ある実施例によると、対称または実質的対称プラズマを生成する装置が開示される。本明細書において使用されるように、「対称プラズマ」とは、プラズマの中心から半径方向に延びる、選択された半径面に対して対称的温度プロファイルを有するプラズマを示す。例えば、プラズマの半径方向スライスは、半径方向スライスに関連付けられたライフセーバ形状トーラス放電を有するであろう。トーラスの中心から任意の所定半径に対して、温度はその半径の中心回りの任意の所定角度の測定に対してかなり均一である。本明細書で使用されるように、「実質的対称プラズマ」とは、プラズマの中心から半径方向に延びる、選択される半径面に対して、同様の温度プロファイルを有するが、温度プロファイルはトーラス放電の中心から任意の所定半径に対して約５％まで可変し得るプラズマを示す。対称プラズマまたは実質的対称プラズマの使用は、トーチに蓄積するよりカーボン、より少ないトーチメンテナンス、トーチの軸方向すなわち長手方向軸に実質的に平行なイオン軌跡、およびプラズマの中心へのより効率的なサンプルトランスファを含むが、これらに限定されない重要な利点を提供し得、また冷却ガスの量を低減するか冷却ガスを全く使用しないかが可能となり得る。また、本明細書で使用されるように、「実質的に直交」とは、約５度以内で直行することを示す。本開示の利点を鑑みると、トーチはその長手方向軸と直交する多数の半径面を含み、本明細書における半径面に沿ったループ電流の言及は、トーチの長手方向軸に沿った任意の１つの特定位置にループ電流を位置付けることを暗示または提案するものでないことは、当業者により認識されるであろう。
【００１２】
図１を参照すると、模範的誘導結合プラズマ発光スペクトロメータ（ＩＣＰ−ＯＥＳ）１００の概略図が示される。ある実施例において、ＩＣＰ−ＯＥＳ１００は概ね、キャリアガス１０２をトーチ１１４に導き、そこでキャリアガス１０２をイオン化してホットプラズマ１１６（例えば、５，０００〜１０，０００Ｋ以上）を形成するためのシステムを含む。いくつかの実施例では、プラズマ１１６は予熱ゾーン１９０、誘導ゾーン１９２、初期放射ゾーン１９４、分析ゾーン１９６およびプラズマテイル１９８（図３参照）を含
む。原子化サンプル１０４はポンプ１０６、ネブライザ１０８および噴霧室１６２を介してプラズマ１１６に導かれ得る。図１に示される例示的構成では、ＲＦ電源１１０は誘導装置１１２を経てＲＦ電力をプラズマ１１６に供給する。プラズマ１１６では、励起された原子がより低い状態に減衰するにつれて、励起されたサンプル原子１０４は光１３４を発光する。発光された光１３４は集光光学１１８により集光されて、スペクトル分解するスペクトロメータ１２０に導かれる。検出器１２２はスペクトル分解された光１３４を検出して、信号１３８、１４０をマイクロプロセッサ１２２および分析用コンピュータネットワーク１２４に与えるように作動し得る。種が発光しない実施例では、誘導結合原子吸収スペクトロメータが使用されて光を原子化された種に供給し、検出器を使用して原子化された種による吸光を検出し得る。例示的原子吸収スペクトロメータはＰｅｒｋｉｎＥｌｍｅｒ，Ｉｎｃ．から入手可能であり、模範的原子吸収スペクトロメータは、例えば、実質的に開示全体が本明細書に参照により組み込まれた、２００５年３月１１日に出願された、“Ｐｌａｓｍａｓ ａｎｄ Ｄｅｖｉｃｅｓ Ｕｓｉｎｇ Ｔｈｅｍ”と称された、共同所有された米国仮出願第６０／６６１，０９５号に記載される。
【００１３】
図１では、プラズマ１１６をプラズマ１１６の長手方向軸に対して直角の方向から見る、すなわち、半径方向に見るか、または半径方向軸に沿って見たものである。但し、本開示の利点を鑑みると、プラズマ１１６の見方は、プラズマ１１６の長手方向軸１２６に沿った方向から、すなわち軸方向からも行い得ることは当業者に理解されるであろう。軸方向における発光の検出は、大幅な信号対ノイズ利点を提供する。
【００１４】
また、本開示の利点を鑑みると、誘導結合プラズマを、図２に見られるような誘導結合プラズマ質量スペクトロメータ（ＩＣＰ−ＭＳ）１００における四重極質量分析器などの質量スペクトロメータ（ＭＳ）１８０と共に使用し得ることも当業者には理解されるであろう。ＲＦ電源１１０は、概ね約１〜５００ＭＨｚ、詳細には２０〜５０ＭＨｚ、例えば、２７〜４０ＭＨｚの範囲で動作し、約１００ワットから約１０キロワットの電力が電極に供給され磁界を生成する。例示的質量スペクトロメータはＰｅｒｋｉｎＥｌｍｅｒ，Ｉｎｃ．より市販され、模範的質量スペクトロメータは、例えば、２００５年３月１１に出願された、“Ｐｌａｓｍａｓ ａｎｄ Ｄｅｖｉｃｅｓ Ｕｓｉｎｇ Ｔｈｅｍ”と称された、共同所有された米国仮出願第６０／６６１，０９５号に記載される。
【００１５】
図３は図１および図２のプラズマ１１６のより詳細な概略を示す。トーチ１１４は３個の同軸チューブ１１４、１５０および、１４８を含む。最内部チューブ１４８はサンプルの原子化されたフロー１４６をプラズマ１１６内に供給する。真中のチューブ１５０は、補助ガス流１４４をプラズマ１１６に供給する。最外部チューブ１１４はプラズマを維持するためのキャリアガス流１２８を供給する。キャリアガス流１２８は真中のチューブ１５０の回りの層流でプラズマ１１６に導かれ得る。補助ガス流１４４は真中のチューブ１５０内でプラズマ１１６に導かれ得、原子化されたサンプルフロー１４６は、噴霧室１６２から最内部チューブ１４８に沿ってプラズマ１１６に導かれ得る。負荷コイル１１２におけるＲＦ電流１３０および１３２は、負荷コイル１１２内に磁界を形成して、その中にプラズマ１１６を閉じ込め得る。
【００１６】
図１〜図３に示される、また本明細書に記載されるある他の図に示されるプラズマは、多数の異なる電極構造を使用して生成可能である。図４〜図１１は電極１５２、１５６、１５８の種々の構造を示す。図４では、電極１５２は互いに距離‘Ｌ’に位置付けられた２つの実質的に平行なプレート１５２ａ，１５２ｂを含む。ある実施例では、実質的に平行なプレートは約２０ｍｍから約２００ｍｍ、例えば約４０ｍｍの幅と、約３０ｍｍから約９０ｍｍ、例えば約７０ｍｍの長さを有する。平行なプレート１５２ａ，１５２ｂはそれぞれアパーチャ１５４を含み、これを通ってトーチ１１４、最内部チューブ１４８、真中のチューブ１５０およびアパーチャ１５４が軸１２６に沿って整列するようにトーチ１
１４が位置付けされ得る。アパーチャの正確な寸法および形状は様々であり、トーチを受け入れることが可能な任意の適切な寸法および形状であり得る。例えば、アパーチャは概ね円形で約１０ｍｍから約６０ｍｍの直径を有し得るか、正方形もしくは矩形形状であり、幅約２０ｍｍから約６０ｍｍで長さ約２０ｍｍから約１００ｍｍの寸法を有し得るか、または三角形、長円形、卵形、もしくは他の適切な形状であり得る。「低フロー」トーチなどの小径のトーチが使用される場合、トーチを収容するのに比例してアパーチャの直径は低減可能である。ある実施例では、アパーチャはトーチよりも約０〜５０％または典型的には約３％大きくなるような大きさであり得るが、他の実施例では、トーチはプレートに接触し得、例えば、実質的に動作上の問題なくトーチのある部分がプレートの表面に接触し得る。実質的に平行なプレート１５２ａ，１５２ｂは‘ｔ’の厚さを有する。いくつかの実施例では、各プレート１５２ａおよび１５２ｂは同じ厚さを有するが、他の実施例ではプレート１５２ａおよび１５２ｂは異なる厚さを有し得る。ある実施例では、プレートの厚さは約０．０２５ｍｍ（例えば、絶縁体上に金属化メッキのような、この一例としてはセラミック基板上の銅、ニッケル、銀または金メッキ）から約２０ｍｍであり、より詳細には約０．５ｍｍから約５ｍｍであるか、またはこれらの模範的範囲内の任意の特定厚さであり得る。電極１５２のアパーチャ１５４はまた、アパーチャ１５４がその周囲と連通するように、幅‘ｗ’のスロット１６４を含み得る。スロットの幅は、約０．５ｍｍから約２０ｍｍ、より詳細には約１ｍｍから約３ｍｍ、例えば約１ｍｍから約２ｍｍで変化し得る。
【００１７】
ある実施例によると、電極は同一または異なる材料で構成され得る。ある実施例では、電極は、例えばアルミニウム、金、銅、真ちゅう、スチール、ステンレススチール、導電性セラミックならびにその混合物および合金などの導電性材料から構成され得る。他の実施例では、電極は１つ以上の導電性材料のメッキまたはコーティングを含む非導電性材料から構成され得る。いくつかの実施例では、電極は、プラズマを生成するのに必要な高還流に晒される際の高温および融解に耐えることができる材料から構成され得る。本開示の利点を鑑みると、電極を構成するためのこれらおよび他の適切な材料は当業者により容易に選択されるであろう。
【００１８】
図４および図５を参照すると、電極１５２は概ね四角または矩形の平面形状で構成され得るが、図１２に見られるようにワイヤであり得る。ある実施例では、平面電極に供給されたＲＦ電流は平面ループ電流１７２ａを生じ、この電流はアパーチャ１５４を通ってトロイダル磁界１８２を生成する（図１２参照）。平面電流ループは実質的に半径面と平行であり得、トーチの長手方向軸と実質的に直交している。トロイダル磁界は図３に示されるトーチ１１４などのトーチ内にプラズマを生成および維持するように働き得る。典型的なプラズマでは、アルゴンガスが１分間に約１５〜２０リットルの流速でトーチ内に導入され得る。プラズマは、アルゴンガスを点火するのにスパークまたはアークを使用して生成され得る。トロイダル磁界はアルゴン原子およびイオンを衝突させて、プラズマを形成する、例えば約５，０００から１０，０００Ｋ以上の超加熱環境を生じる。
【００１９】
図６および図７を参照すると、電極１５６はＤ１の外径とＤ２のアパーチャ内径を有する丸い種類であり得る。いくつかの実施例では、外径は約１０ｍｍから約２０ｃｍ、より詳細には約２５ｍｍから約１０ｃｍ、例えば約３０ｍｍから約５０ｍｍの範囲で、内径は約１０ｍｍから約１５ｃｍ、より詳細には約５ｍｍから約５ｃｍ、例えば約２０ｍｍから約２４ｍｍの範囲である。ある実施例では、図４〜図７の電極１５２、１５６は、ＲＦ電流１７２が独立して供給され、典型的には異極性（異極性は動作には必須ではないが）の別個の素子であり得る。他の実施例では、図４〜図７の電極１５２、１５６は、電気的に連通した素子であり得、それぞれ所望の極性を提供して磁界を生成するように適切に設計され得る。
【００２０】
ある実施例によると、電極１５２の一方の部分１７６にはＲＦ電力が供給され、電極１５２の第２の部分１７８は接地１７４に繋がられる。いくつかの実施例では、電極は機器シャーシに接地され得るが、他の実施例では、電極は接地プレートに搭載されて接地され得、それ自身適切な方法で接地され得る。プラズマ１１６のアーク点火時に、点火アークが電極１５２と接触しても、電極１５２においてセットアップされたいかなる不必要な電流も接地ポイント１７４に導かれ得、ＲＦ電力供給１１０まで導かれない。各電極１５２に供給されたＲＦ電力および周波数は最適性能に独立して制御され、可変され得る。例えば、各電極１５２はプラズマ発光および励起を最適化するために異なる周波数で作動され得る。加えて、一方の電極（または両電極）が継続電力モードで作動され得、他方の電極は変調可能である（例えば、パルス状またはゲート型）。ある実施例では、電極１５２が互いに接続されていないので、電極１５２間の距離‘Ｌ’は調節され得、これによりプラズマ１１６内の電力分布の調節を生じ得る。さらに、アパーチャ１５４の直径Ｄ２は、ＲＦ電源１１０とプラズマ１１６との間の結合特性を調節するために独立して調節され得る。
【００２１】
ある実施例によると、電極間の距離を制御するためにスペーサが電極間のある部分に設置され得る。ある実施例では、スペーサは電極を構成するのに使用されるのと同じ材料を使用して構成される。いくつかの実施例では、スペーサは電極材料と実質的に同じ熱膨張率を有する材料から作られるので、電極が異なる温度で膨縮するにつれて、スペーサはほぼ同じ率で膨縮する。いくつかの実施例では、スペーサはステンレススチールワッシャ、真ちゅうワッシャ、銅ワッシャまたは他の適切な導電性材料から作られたワッシャである。ある実施例では、スペーサは電極を接続するボルトまたはナットを受けるのに適した大きさのワッシャである。１つ以上のスペーサを用いて、電極間の距離が容易に再生および／または変更され得る。本開示の利点を鑑みると、本明細書に開示される電極と共に使用するスペーサの適切な材料および形状を選択することは、当業者の能力内であろう。
【００２２】
図８〜図１１を参照すると、誘導装置１５８は、共通の電気接地１７０に接続された２つの電極１６６、１６８を含むように示される。誘導コイル１５８は、電極１６６および１６８が互いに電気的に連通した状態で螺旋状コイルとして構成され得る。ＲＦ電流１７２が誘導装置１５８に供給されると、ループ電流１７２ａが生成され、トロイダル磁界を生じる。ループ電流１７２ａは電極１６６および１６８の平らな表面に実質的に平行であり、トーチの長手方向軸と実質的に直交することになろう。誘導コイル１５８は共通電気接地１７０（図１０を参照）において接地されて、電極１６６および１６８の溶解を生じ得る不必要なアーク放電を防止し得る。ある実施例では、電極１６６および１６８は互いに距離Ｌで離間される（図８および図１０を参照）。電極１６６および１６８間の正確な距離は様々であり得、模範的な距離は約１ｍｍから約５ｃｍ、より詳細には約２ｍｍから約２ｃｍ、例えば約５ｍｍから約１５ｍｍを含むが、これらに限定されない。ある実施例では、電極１６６および１６８は搭載面と実質的に直交して配置される。他の実施例では、電極１６６および１６８はトーチの軸方向寸法および電極の半径方向寸法が実質的に直交するような角度で傾斜され得る。いくつかの実施例では、各電極１６６および１６８は、同じ方向に角度を付けられ得るが、他の実施例では、電極１６６および１６８は反対方向に角度付けられ得る。本開示の利点を鑑みると、当業者は本明細書で開示される例示的誘導装置の電極に対して適切な構成および角度を選択することができるであろう。
【００２３】
ある実施例によると、トーチを囲む誘導装置の模範的構成が図１３に示される。誘導装置１１２は同軸流体管１１４、１５０および１４８を囲み得る。キャリアガス流１２８はトーチに導入されて、誘導装置１１２を使用したプラズマ生成用ガスを供給し得る。補助ガス流１４４は同軸チューブ１５０に導入されて、インジェクタ１４８に対するプラズマ位置を制御するためのガスを供給し得る。サンプルフロー１４６はエアロゾール管１４８に入り得、そこで誘導装置１１２により生成されるプラズマに噴霧される。種々のガス種
の正確な流速は様々であり得る。例えば、キャリアガスは典型的に約１０Ｌ／分から約２０Ｌ／分の流速、例えば約１５〜１６Ｌ／分で導入される。補助ガスは典型的には約０Ｌ／分から約２Ｌ／分の流速で導入される。サンプルは、サンプルの脱溶媒和および／または原子化を提供するのに適した流速で導入可能である。いくつかの実施例では、サンプルは約０．１Ｌ／分から約２Ｌ／分の流速で導入される。本開示の利点を鑑みると、キャリアガス、補助ガスおよびサンプルのさらなる流速は当業者により容易に選択されるであろう。
【００２４】
図１４を参照すると、単一のＲＦ電流源１１０から生成される複数のループ電流１８４ａ，１８４ｂが示される。図示の明確さのために、電極は図１４では省略されている。ループ電流１８４ａ，１８４ｂは反対の極性の電流を並置する電極に印加することにより生成される。ループ電流１８４ａ，１８４ｂは、正弦波交流電流の交流半サイクルの間に第１のループ電流１８４ａにおける交流電流１７２ａが第２のループ電流１８４ｂにおける交流電流１７２ｂと同じ方向に流れるように、適切な方法で互いに対して方向付けられ得る。この構成により、複数のループ電流１８４ａ，１８４ｂが単一の電源１１０から駆動されて、同じ空間的配向性を有する磁界１８２ａ，１８２ｂを生成することが可能となる。この一例は、図１７および図１８に見ることができ、各コイル１００２および１００４の対角線上に並置した脚は、すぐ下に位置する単一ＲＦ源から駆動されて、やはり対角線上に並置される残りの２本の脚も接地プレート１００６に共通に接続される。ループ電流１８４ａ，１８４ｂの平面もまた、トーチの長手方向軸１２６と実質的に直交し、トーチの半径面に実質的に平行している。ある実施例では、装置は磁界を生成して対称または実質的対称プラズマを維持するように構成配置された２つ以上の電極を含む。ある模範的電極は図１〜図１４を参照して上記で述べられ、他の模範的電極は下記で述べられる。
【００２５】
ある実施例によると、トーチの長手方向軸と実質的に直交する半径面に沿って第１のループ電流が流されるように構成配置される第１の電極を含む、プラズマを生成するための装置が開示される。図１５Ａおよび１５Ｂを参照すると、装置４００は電極４０２を含み、電極４０２は、スロット４０４およびトーチ４１０を受けるためのアパーチャ４０６を有する。電極４０２は実質的に対称である円形の内側断面を有する。ある実施例では、内側断面の直径は約１０ｍｍから約６０ｍｍ、より詳細には約２０ｍｍから約３０ｍｍ、例えば約２０ｍｍから約２３ｍｍである。いくつかの実施例では、内側断面の直径は、約１ｍｍの距離でトーチ４１０の外面と電極４０２の内側部分を分離させるように選択される。電極４０２は、トーチ４１０の長手方向軸（図１５Ｂでは点線として示される）と実質的に直交するように位置付けられ得る。電極４０２のスロット４０４は、電極４０２に流される電流が図１５Ｂに示すようなループ電流４１２などのループの形状を取ることになるように構成され得る。いくつかの実施例では、ループ電流４１２はトーチ４１０の長手方向軸と実質的に直交する、すなわちループ電流の平面がトーチ４１０の長手方向軸と実質的に直交する。実質的に直交するループ電流の使用により、螺旋状負荷コイルを使用して生成されたプラズマよりも、選択された半径面に対してより対称的な温度分布を有するプラズマを生成および／または維持し得る。ある実施例では、対称プラズマまたは実質的対称プラズマは電極４０２など、トーチ４１０の長手方向軸と実質的に直交して位置付けられた電極を使用して維持される。ある実施例では、電極の選択された全体形状は様々であり得る。例えば、および図１５Ａに示すように、電極４０２は全体矩形形状で構成される。しかしながら、円形、三角形、リング、楕円、トロイドなど他の適切な形状も使用され得る。第１の電極は本明細書に説明されるように接地プレートに搭載され得る。
【００２６】
ある実施例では、図１５Ａの電極４０２と同様の第２の電極も、半径面に平行に構成配置され得、それはトーチ４１０の長手方向軸と実質的に直交する。他の実施例では、第２のループ電流の平面は第１のループ電流の平面に実質的に平行であり得る。いくつかの実施例では、第１および第２のループ電流は同じ方向に流れ得、他の実施例では、第１およ
び第２のループ電流は反対方向に流れ得る。１つ以上の電極が使用される実施例では、図１５Ａに示されるＲＦ源４２０のような単一のＲＦ源が第１および第２電極のそれぞれにＲＦ電力を供給し得るか、または別個のＲＦ源が第１および第２の電極にＲＦ電力を供給し得る。いくつかの実施例では、第１および第２の電極を分離するのにスペーサが使用される。第１および第２の電極にＲＦ電力を供給するのに単一ＲＦ源が使用されて、かつスペーサが使用される実施例では、スペーサは例えば、銅、真ちゅう、金などの導電性材料で作られ得る。第１および第２の電極にＲＦ電力を供給するのに別個のＲＦ源が使用されて、かつスペーサが使用される実施例では、第１電極から第２の電極への電流の流れを防止するために、スペーサは非導電性材料、例えばガラス、プラスチックなどによって作られ得る。
【００２７】
ある実施例では、第１の電極、第２の電極またはその両者は接地プレートに接地され得る。例えば、図１６Ａおよび図１６Ｂを参照すると、誘導装置５００は、それぞれ接地プレート５０６に搭載された第１の電極５０２および第２の電極５０４を含み得る。図１６Ａおよび１６Ｂに示される例では、電極５０２および５０４はそれぞれ支持５０３および５０５を使用して接地プレート５０６に搭載され得る。ある実施例では、各電極５０２および５０４の対角線上に並置された脚は、すぐ下に位置する単一ＲＦ源から駆動され、やはり対角線上に並列する残りの２本の脚は接地プレート５０６に共通に接続され得、すべての構成要素は、５０３および５０５として典型的に識別される４つの同一の取り付け具を介して電気的に接続され得る。支持５０３および５０５は、電極５０２および５０４と接地プレート５０６の間の電気的連通を提供し得、プラズマのアーク点火の際に点火アークが電極５０２、５０４に接触しても、電極５０２、５０４にセットアップされたいかなる不必要な電流も接地プレート５０６に導かれて、電極５０２および５０４と電気的に連通するＲＦ電源（図示せず）まで流れないようにされ得る。接地プレート５０６と共に電極５０２および５０４の使用することにより、螺旋状負荷コイルを使用して生成されるプラズマより対称的なプラズマが提供され得、これはある種の検出制限を改善することができる（本明細書の実施例においてより詳細に述べられる）。例えば、既存の螺旋状負荷コイルを使用すると、負荷コイルの螺旋に従うというプラズマの傾向により非均一プラズマ放電が生じるために、温度が下がり、脱溶媒和および／または原子化において効率が悪いプラズマの領域が存在し得る。本明細書で開示される誘導装置の実施例を使用すると、選択された半径面に対してより対称的な温度分布を有するプラズマが生成され、これはより均一な脱溶媒和および原子化を提供することができ、その結果性能を向上させ、トーチ寿命を延ばし、有機物と共に使用される際の炭素の蓄積を少なくする。
【００２８】
ある実施例では、本明細書に開示されるような誘導装置は、従来の螺旋状負荷コイルよりもずっと低い電力で作動され得る。例えば、約８００ワットから１２５０ワット、例えば約９００ワットから約１０５０ワットの電力を本発明に開示される誘導装置で使用して、例えば化学分析用の機器において使用するのに適したプラズマを維持し得る。単に比較の目的で、典型的な従来の螺旋状負荷コイルは約１４５０ワット以上の電力を使用して化学的分析に適したプラズマを維持する。いくつかの実施例では、本明細書で提供される誘導装置は、螺旋状負荷コイルよりも約１０〜２０％低い電力を使用するように構成される。
【００２９】
ある実施例によると、電極および接地プレートの正確な厚さは、例えば、装置の意図された使用、プラズマの所望の形状などに依存して様々であり得る。ある実施例では、電極は約０．０５〜１０ｍｍの厚さ、より詳細には約１〜７ｍｍの厚さ、例えば約１，２，３，４，５もしくは６ｍｍの厚さ、またはこれらの例示的厚さ間の任意の寸法であり得る。同様に、接地プレートの正確な寸法および厚さも様々であり得る。例えば、接地プレートは約５ｍｍから約５００ｍｍの幅から、約５ｍｍから約５００ｍｍの長さであり得るか、または全機器シャーシそのものと同じ大きさが可能であり、約０．０２５ｍｍの厚さから
約２０ｍｍの厚さを有し得る。本開示の利点を鑑みると、所望のプラズマ形状を提供するために適切な電極および接地プレート寸法および厚さを選択することは当業者の能力の範囲内であろう。
【００３０】
ある実施例によると、誘導装置の各電極は個々に調整されるか制御され得る。図１６Ｃを参照すると、誘導装置６００は、それぞれ支持６０３および６０５を介して接地プレート６０６と電気的に連通する電極６０２および６０４を含む。接地プレート６０６は電極６０２、６０４の溶解を生じ得る、不必要なアーク放電を防止するように構成され得る。ある構成において、接地プレート６０６はそれ自身が機器シャーシに接地され得る。ＲＦ源６１０は電流を電極６０２に流すように構成され得、ＲＦ源６２０は電流を電極６０４に流すように構成され得る。電極６０２および６０４に供給される電流は同じであり得るか、または異なり得る。電流はまた、プラズマの作動時に変更または変化させて、プラズマの形状および／または温度を変化させ得る。他の実施例では、単一ＲＦ源は両電極６０２、６０４に電流を流すように構成され得る。例えば、かつ図１６Ｄを参照して、誘導装置６５０はそれぞれ支持６０３および６０５を介して接地プレート６０６と電気的に連通した電極６０２および６０４を含む。ＲＦ源６６０は、電極６０２および６０４のそれぞれに電流を流すように構成され得る。単一のＲＦ源が使用されて、電流を電極６０２および６０４に流し得るとしても、各電極に提供される電流は同じであり得るか、または同じではないこともあり得る。例えば、適切な電子回路が実装されて、異なる電流を電極の一方に提供し得る。本開示の利点を鑑みると、当業者は１つ以上のＲＦ源を使用して適切な誘導装置を設計することができるであろう。
【００３１】
ある実施例によると、トーチの作動時にガス流が導入される長手方向軸を有し、トーチの長手方向軸と実質的に直交する半径面を有するトーチにおいてプラズマを維持するための装置が提供される。ある実施例では、装置はトーチの半径面に沿ってループ電流を流すための手段を含む。適切な手段は、本明細書に開示される任意の１つ以上の電極、または半径面に沿ってループ電流を流すことができる他の適切な装置を含むが、これに限定されない。
【００３２】
ある実施例によると、長手方向軸を有し、トーチの長手方向軸と実質的に直交する半径面を有するトーチにおいてプラズマを維持する方法が開示される。ある実施例では、トーチの長手方向軸に沿ってガス流を流すことと、トーチにおいてガス流を点火することと、半径面に沿ってループ電流を流してトーチにおいてプラズマを維持することを含む。ループ電流は、本明細書で開示される電極の任意の１つ以上または半径面に沿ってループ電流を流し得る他の適切な電極構成を使用して流し得る。ある実施例では、本明細書に記載される方法を使用して維持されるプラズマは実質的対称プラズマである。
【００３３】
ある実施例によると、プラズマからの信号は誘導装置の２つ以上の電極間でモニタされ得る。いくつかの実施例では、電極間または電極の上での励起された種の発光の半径方向検出は、標準光学検出器を使用して行われ得る。他の実施例では、軸方向検出を使用して、プラズマからの信号またはプラズマにおける種をモニタし得る。
【００３４】
本開示の利点を鑑みると、電極に電流を流すのに適した電子的構成要素は当業者により容易に選択されるであろう。例えば、例示的ＲＦ源およびオシレータは、開示全体が実質的に参照により本明細書に組み込まれた米国特許第６，３２９，７５７号に見つけられ得る。
【００３５】
ある特定実施例について以下により詳細に述べ、さらに技術の態様および実施例を例示する。
【００３６】
実施例１−プレート誘導コイル
誘導装置１０００は２つの電極１００２および１００４を備えて組立てられて、そのそれぞれは接地プレート１００６に接地された（図１７および１８参照）。電極１００２および１００４はそれぞれ、５０−５２シートアルミニウムから加工された２ｍｍの厚さのプレートとした。変形されたフェースプレートをインストールし、ＰｅｒｋｉｎＥｌｍｅｒ，Ｉｎｃ．から入手可能なＯｐｔｉｍａ２０００およびＯｐｔｉｍａ４０００機器で評価した。図１７および図１８に示されるこのフェースプレートは、螺旋状負荷コイルを接地プレート１００６、インダクタ１００２および１００４ならびに取り付け具に置き換えることを含む。ボルト固定取り付けブロックに対して必要とされる場合は、クリアランス穴を含むように非常に微細な変形がフェースプレートに必要であった。生成器には機能的変更は行われなかった。変形された機器は約１５Ｌ／分の流速で機器仕様のすべてを確実に満たすようにテストされた（図１９（溶接ガラスを通して見る）および図２０に示すプラズマを参照）。オシレータヒートシンクの温度は、同じ入力電力に対して、螺旋状負荷コイルを使用したときよりも低かった。示されるオシレータヒートシンク温度が低ければ低いほど、プラズマにはより多くの電力が到達していた。プラズマはまた、従来の螺旋状負荷コイル（約１４５０ワット）で使用された電力よりも低い電力（約１２５０ワット）で維持可能であった。加えて、機器が１４５０ワットで操作されると、誘導装置は同じ電力設定で螺旋状コイルよりも良好にサンプルローディングを取扱うことができた。
【００３７】
実施例２−対称プラズマ放電
誘電装置は、図２１に示すような実質的対称プラズマ放電を生成するように構成された。図２２および図２３を参照すると、誘電装置１１０２（３枚のプレート）および１１０４（２枚のプレート）をそれぞれ使用して実質的対称プラズマ放電を生成し、従来の螺旋状負荷コイル１１０６（３ターン）および１１０８（２ターン）を比較目的で示す。オシレータに螺旋状負荷コイルを搭載するのに使用するブロックはまた、ブロックをフェースプレートに保持する既存のハードウェア（ネジ）を含む。これらのネジを使用して、螺旋状コイルが取り除かれた後誘導装置脚をブロックに接続した。さらなる変形は必要でなかった。従来の螺旋状負荷コイルに関しては、放電電流およびその結果生じるプラズマ温度は負荷コイルの螺旋に従う傾向があり、それにより非均一なプラズマ放電が生じる。この非均一放電は、歪んだイオン軌跡、サンプルの非均一加熱、プラズマの非平坦ボトムに起因したプラズマの外部周辺へのサンプルの漏れ、およびイオン化の不十分な規定領域を含む多くの不都合を有する。螺旋状負荷コイルにおいて巻かれた銅管の代わりに本明細書に開示される誘導装置を使用することにより、プラズマにおける温度勾配をより良好に制御してより対称的なプラズマを提供することが可能である。誘電装置のプレート間のスペーシングを変化させることにより、本明細書に開示される誘導装置を使用してさらなる調整が提供され得る。例えば、誘導装置のプレート間のスペーシングをずらすことは有益であり得る。負荷コイルターン間のスペーシングを増加させることによりスペーシング変更が従来のコイルで試みられる場合、プラズマはより非対称となる傾向がある。
【００３８】
本明細書に開示される誘導装置の使用により、特に低質量範囲（５〜６０原子質量単位（ＡＭＵ））、低減された酸素物割合および低減された作業圧力において、感度が向上することが分かった。例えば、対称プラズマはまた、プラズマの側方周辺にサンプルの漏れを有することなく揮発性サンプルを流すことが可能となり、より十分に規定されたイオン化領域を提供し、プラズマプルームの最上部において負荷コイルが剥がれる高い背景スパイクを除去する。図２４は、ＰｅｒｋｉｎＥｌｍｅｒ，Ｉｎｃ．から入手可能なＥｌａｎ６０００ＩＣＰ質量スペクトロメータでテストされた模範的プレート誘導装置７００を示す。誘導装置７００は、チューブおよび固体ＲＦ生成器の両者と共に、かつＩＣＰ質量スペクトロメータおよびＩＣＰ−ＯＥＳ生成器の両者上で作動した。
【００３９】
実施例３−スペーサ組み合わせ
ＩＣＰ質量分析を使用して異なるターン数および異なるスペーサを有する種々の誘導装置がテストされた。標準Ｅｌａｎ生成器は１／８銅管からなり、スウェージロック取り付け具を使用して生成器に電気的に接続された３ターン負荷コイルを使用する。誘電装置が使用される場合は、それらはスウェージロック取り付け具の代わりに直接既存の電極にボルトで留められた。各誘導装置に対して、ユニット（ＰｅｒｋｉｎＥｌｍｅｒ，Ｉｎｃ．から市販されるＥＬＡＮ６０００）は最適化されて、その後、マグネシウム（Ｍｇ）、ロジウム（Ｒｈ）、鉛（Ｐｂ），セリウム（Ｃｅ）、酸化セリウム（ＣｅＯ）、バリウム（Ｂａ）、バリウム＋２（Ｂａ＋＋）、および背景信号（ＢＧ２２０）を含む、異なる吸引種に対してデータが集められた。データは最大感度信号に正規化されて、図２５〜図３１に示す結果でプロットされた。種々の感度は、螺旋状負荷コイル（３ターンを備えた１／８インチ径銅管）を有する標準ＥＬＡＮ６０００を使用して検出された最大信号に正規化された。テストされた誘導装置の組み合わせは、標準５ターンＬ２誘導装置、４ターンＬ２インダクタおよび、プレート間に異なる数のスペーサを備えた０．８７５径プレート誘導装置の混合であった。本明細書では省略形で使用される用語「Ｌ２インダクタ」は、ＲＦ生成器内部に位置する内部インピーダンス整合コイルの一部を表す。通常動作電力（別途特定されていない場合）は１０００ワットであった。各スペーサは６３２真ちゅうワッシャであった。テストされた誘導装置の組み合わせを下記に一覧した。省略形は図２５〜図３１に参照される。
【００４０】
１．標準５ターンＬ２インダクタを備えた標準負荷コイル
２．１Ｓ５Ｔ−プレート誘導装置、プレート間に１つのスペーサ、および標準５ターンＬ２インダクタ
３．１Ｓ４Ｔ−プレート誘導装置、プレート間に１つのスペーサ、および４ターンＬ２インダクタ
４．１−２Ｓ４Ｔ−プレート誘導装置、１つのリアスペーサ、２つのフロントスペーサ、および４ターンＬ２インダクタ
５．１−２Ｓ５Ｔ−プレート誘導装置、１つのリアスペーサ、２つのフロントスペーサ、および５ターン標準Ｌ２インダクタ
６．２Ｓ５Ｔ−プレート誘導装置、プレート間に２つのスペーサ、および５ターン標準Ｌ２インダクタ
７．２Ｓ４Ｔ−プレート誘導装置、プレート間に２つのスペーサ、および４ターンＬ２インダクタ
８．３Ｓ４Ｔ−プレート誘導装置、プレート間に３つのスペーサ、および４ターンＬ２インダクタ
９．３Ｓ５Ｔ−プレート誘導装置、プレート間に３つのスペーサ、および５ターン標準Ｌ２インダクタ
データがプロットされると、プレート誘導装置および標準５ターンＬ２インダクタで測定されたデータは、ピンチが存在することを示す２重の山を有した。ピンチはプラズマプルームとサンプリングインターフェース間の２次的放電を指す。ピンチ放電はインターフェースコーンにおいて起こり得るプラズマを最小限にすることにより排除できる。
【００４１】
図２５は標準ＥＬＡＮ６０００質量スペクトロメータを使用して検出されたサンプル毎のプロットであり、すべての測定が比較された。左軸は正規化された強度を表し、ｘ軸はＬ／分のネブライザ流量を表し、右軸はカウント／分（ＢＧ２２０測定に対して）か、または酸化物の比率（ＣｅＯ／ＣｅおよびＢａ＋＋／Ｂａ測定に対して）の何れかを表す。異なる素子の最大感度ピークは異なるネブライザ流速で発生する。感度の理由から、酸化物が他の種の測定に干渉する傾向があるので、素子の最大感度は、酸化セリウムなどの酸化物の最大感度を観察するのに使用される流速よりも低い流速で発生することが好適である。
【００４２】
図２６を参照すると、４ターンＬ２内部インピーダンス整合インダクタおよび構成（１Ｓ４Ｔ）をテストした結果が示される。１Ｓ４Ｔ装置を使用すると、異なる素子（Ｍｇ、Ｒｈ，Ｐｂ）の最大感度ピークは同じネブライザ流量（約０．８４）で発生した。シングルスペーサは、最も高い中間質量感度（中間質量とは典型的には、６０〜１８０ＡＭＵの間の原子質量単位を有する種を指し、高質量とは１８０から２３８ＡＭＵの原子質量単位を有する種を指す）を発揮した。
【００４３】
図２７を参照すると、ダブルフロントシングルリアスペーサ４ターンＬ２インダクタ（１−２Ｓ４Ｔ）をテストした結果が示される。１−２Ｓ４Ｔ装置を使用すると、マグネシウム、ロジウムおよび鉛信号をＣｅ／ＣｅＯと共に観察される酸化物の山の頂上（ＴＯＭ）から分離させることが可能であった。
【００４４】
図２８を参照すると、酸化セリウム／セリウム信号と比較して、ロジウム感度に対して種々の負荷コイルをテストした。テストされた装置は、標準螺旋状負荷コイルと、１つのリアスペーサ、２つのフロントスペーサおよび４ターンＬ２インダクタを有するプレート誘導装置（１−２Ｓ４Ｔ）とを含んだ。１−２Ｓ４Ｔ装置を使用すると、ロジウムの最大感度ピークはより低い流速にずれて、酸化セリウム／セリウムの最大感度ピークから離れており、これは１−２Ｓ４Ｔ装置が標準コイルよりも良好なロジウム感度を提供することを示した。
【００４５】
図２９を参照すると、ロジウム信号はＥＬＡＮ６０００からの最大標準信号に対して正規化された。１Ｓ４Ｔ装置の使用により、標準螺旋状負荷コイルと比較すると、３０％の信号増加が提供された。１−２Ｓ４Ｔ装置を使用すると、標準コイルで観察された酸化物の山が分離した。
【００４６】
図３０を参照すると、マグネシウムを使用して種々の装置の性能を測定した。１−２Ｓ４Ｔ装置は、テストされた全装置の中で最も良好な低質量性能を示した。
【００４７】
図３１を参照すると、鉛を使用して種々の装置の高質量性能を測定した。プレート誘導装置はすべて、約０．９６より大きいネブライザ流速において標準ＥＬＡＮ６０００に比べると芳しくない高質量性能を発揮した。しかし、より低いネブライザ流速ではプレート誘導装置はすべて標準ＥＬＡＮ６０００よりも良好な高質量性能を発揮し、低減された量のサンプルを使用して、高質量種の検出を可能とし得る。
【００４８】
実施例４−プレート誘導コイルを使用した発光検出制限
発光スペクトロメータ（ＰｅｒｋｉｎＥｌｍｅｒ，Ｉｎｃ．から得たＯｐｔｉｍａ３０００）に螺旋状負荷コイルまたはプレート誘導装置の何れかを装着して、ヒ素（Ａｓ）、カドミウム（Ｃｄ）、クロム（Ｃｒ）、マンガン（Ｍｎ）、鉛（Ｐｂ）およびセレン（Ｓｅ）に対する検出制限を測定した。螺旋状負荷コイルは標準３／１６”径銅コイルであった。プレート誘導装置は、それぞれトーチを受けるためのアパーチャを有する２つの円形電極を含んだ。比較の目的でのみ、螺旋状負荷コイルとプレート誘導装置を使用した検出制限が下記の表１にて示される。
【００４９】
【表１】
【００５０】
より新しい機器に関する検出制限は上記の表１で挙げられるものよりも良好であり得るが、検出制限の相対比較では、プレート誘導装置を使用した検出制限は一貫して螺旋状負荷コイルを使用して得られた検出制限よりも低いことが分かる。
【００５１】
本明細書に開示される実施例の素子を紹介する際に、冠詞“ａ”、“ａｎ”、“ｔｈｅ”および“ｓａｉｄ”はその素子が１つ以上があることを意味するように意図される。用語「備える（ｃｏｍｐｒｉｓｉｎｇ）」「含む（ｉｎｃｌｕｄｉｎｇ）」「有する（ｈａｖｉｎｇ）」は制約がなく、挙げられた素子以外のさらなる素子があり得ることを意味するように意図される。本開示の利点を鑑みると、実施例の種々の構成要素は他の実施例の種々の構成要素と置き換え、または代替されることが可能であることは当業者に認識されるであろう。万が一参照により本明細書に組み込まれる特許、特許出願または公報の何れかの用語の意味が本開示において使用される用語の意味と矛盾する場合、本開示の用語の意味が統括するように意図される。
【００５２】
ある態様、実施例および実施形態について上記に記載されたが、本開示の利点を鑑みると、開示された例示的態様、実施例および実施形態の追加、代替、変形および変更が可能であることは当業者により認識されるであろう。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】ある実施例による誘導結合プラズマ発光スペクトロメータ（ＩＣＰ−ＯＥＳ）の概略図である。
【図２】ある実施例による誘導結合プラズマ質量スペクトロメータ（ＩＣＰ−ＭＳ）の概略図である。
【図３】ある実施例によるＩＣＰトーチおよびプラズマの図である。
【図４】ある実施例による２つの電極、ＩＣＰトーチおよびプラズマの側面図である。
【図５】ある実施例による、プラズマを維持するための第１の電極であり、電極はアパーチャを含む正面図である。
【図６】ある実施例による、プラズマを維持するための第２の電極であり、電極はアパーチャを含む正面図である。
【図７】ある実施例による図６の電極の側面図である。
【図８】ある実施例による単一電極の斜視図である。
【図９】ある実施例による図８の電極の正面図である。
【図１０】ある実施例による図８の電極の側面図である。
【図１１】ある実施例による図８の電極の上面図である。
【図１２】ある実施例による、ループ電流から生成される磁界の斜視図である。
【図１３】ある実施例による、螺旋状種類のソレノイドを示すＩＣＰトーチの図である。
【図１４】ある実施例による、正弦波交流電流の交流半サイクルの間に、単一ＲＦ電源により駆動される複数のループ電流の図である。
【図１５Ａ】ある実施例による、電流ループを生成するように構成されたトーチおよび誘導装置を示す図である。
【図１５Ｂ】ある実施例による、電流ループを生成するように構成されたトーチおよび誘導装置を示す図である。
【図１６Ａ】ある実施例による誘導装置の図である。
【図１６Ｂ】ある実施例による誘導装置の図である。
【図１６Ｃ】ある実施例による誘導装置の図である。
【図１６Ｄ】ある実施例による誘導装置の図である。
【図１７】ある実施例による誘導装置の軸方向図である。
【図１８】ある実施例による図１７の誘導装置の半径方向図である。
【図１９】ある実施例による、１枚の溶接ガラスを介して見た、図１７および図１８の誘導装置を使用して生成されたプラズマの図である。
【図２０】ある実施例による、図１７および図１８の誘導装置を使用して生成されたプラズマの図である。
【図２１】ある実施例による、プレート電極を備えた誘導装置を使用して生成された対称プラズマの例を示す図である。
【図２２】ある実施例による、プレート電極を備えた誘導装置の半径方向図および標準螺旋状負荷コイルの半径方向図を示す図である。
【図２３】ある実施例による、図２２のプレート電極を備えた誘導装置の軸方向図および図２２の標準螺旋状負荷コイルの半径方向図を示す図である。
【図２４】ある実施例による３ターン誘導装置の図である。
【図２５】ある実施例による、背景および種々の金属種に対する標準螺旋状負荷コイルの性能を示すグラフである。
【図２６】ある実施例による、背景および種々の金属種に対する、標準螺旋状負荷コイルの性能を使用して正規化された、１Ｓ４Ｔ誘導装置（１つのスペーサ、４ターン）の性能を示すグラフである。
【図２７】ある実施例による、背景および種々の金属種に対する、標準螺旋状負荷コイルの性能を使用して正規化された、１−２Ｓ４Ｔ誘導装置（２つのスペーサ、４ターン）の性能を示すグラフである。
【図２８】ある実施例による、酸化物およびロジウムサンプルに対する種々の誘導装置の性能を比較するグラフである。
【図２９】ある実施例による、種々の誘導装置からのロジウム信号を比較するグラフである。
【図３０】ある実施例による、マグネシウムサンプルに対する種々の負荷コイルの性能を比較するグラフである。
【図３１】ある実施例による、種々の負荷コイルの高質量性能を比較するグラフである。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
トーチの作動時にガス流が導入される長手方向軸を有し、前記トーチの前記長手方向軸と実質的に直交する半径面を有する前記トーチにおいてプラズマを生成するための装置であって、電源に連結するように構成されて前記トーチの前記半径面に沿ってループ電流を流すように構成配置された第１の電極を備える装置。
【請求項２】
電源に連結するように構成され、前記トーチの前記半径面に沿ってループ電流を流すように構成配置された第２の電極をさらに備える、請求項１の装置。
【請求項３】
前記第１および第２の電極のそれぞれは、対称的な内側断面を有するプレートを含む、請求項２に記載の装置。
【請求項４】
前記対称的な内側断面は円形である、請求項３に記載の装置。
【請求項５】
前記第１の電極および前記第２の電極を分離する少なくとも１つのスペーサをさらに備える、請求項２に記載の装置。
【請求項６】
前記第１の電極は、前記トーチにおいて対称プラズマまたは実質的対称プラズマを維持するように構成される、請求項１に記載の装置。
【請求項７】
前記第１の電極と電気的に連通する無線周波数源をさらに備える、請求項１に記載の装置。
【請求項８】
前記無線周波数源は、約１０ワットから約１０，０００ワットの電力で約１ＭＨｚから約１０００ＭＨｚまでの無線周波数を供給するように構成される、請求項７に記載の装置。
【請求項９】
前記第２の電極と電気的に連通する第２の無線周波数源をさらに備える、請求項７に記載の装置。
【請求項１０】
前記第１の電極および前記第２の電極と電気的に連通する無線周波数源をさらに備える、請求項２に記載の装置。
【請求項１１】
前記無線周波数源は、約１０ワットから約１０，０００ワットの電力で、約１ＭＨｚから約１，０００ＭＨｚの無線周波数を供給するように構成される、請求項１０に記載の装置。
【請求項１２】
前記第１の電極および前記第２の電極と電気的に連通する接地プレートをさらに備える、請求項２に記載の装置。
【請求項１３】
前記第１の電極と前記第２の電極と前記接地プレートは、誘導結合プラズマ発光スペクトロメータにおいて使用されるように構成される、請求項１２に記載の装置。
【請求項１４】
前記第１の電極と前記第２の電極と前記接地プレートは、誘導結合プラズマ原子吸収スペクトロメータにおいて使用されるように構成される、請求項１２に記載の装置。
【請求項１５】
前記第１の電極と前記第２の電極と前記接地プレートは、誘導結合プラズマ質量スペクトロメータにおいて使用されるように構成される、請求項１２に記載の装置。
【請求項１６】
トーチの作動時にガス流が導入される長手方向軸を有し、前記トーチの前記長手方向軸と実質的に直交する半径面を有する前記トーチにおいてプラズマを生成するための装置であって、前記トーチの前記半径面に沿ってループ電流を流すための手段を備える、装置。
【請求項１７】
前記半径面に沿ってループ電流を流すための前記手段は少なくとも１つの電極を含む、請求項１６に記載の装置。
【請求項１８】
前記半径面に沿ってループ電流を流すための前記手段は無線周波数源を含む、請求項１７に記載の装置。
【請求項１９】
少なくとも１つの電極はプレート電極を含む、請求項１７に記載の装置。
【請求項２０】
長手方向軸を有し、トーチの前記長手方向軸と実質的に直交する半径面を有する前記トーチにおいてプラズマを生成する方法であって、
前記トーチの前記長手方向軸に沿ってガス流を流す工程と、
前記トーチにおいて前記ガス流を点火する工程と、
前記半径面に沿ってループ電流を流し、前記トーチにおいてプラズマを維持する工程と、
を含む方法。
【請求項２１】
実質的対称プラズマになるように前記プラズマを構成する工程をさらに含む、請求項２０に記載の方法。
【請求項２２】
トーチにおいてガス流を点火し、前記トーチの長手方向軸と実質的に直交する半径面に沿ってループ電流を流して実質的対称プラズマを維持することにより生成される実質的対称プラズマ。
【請求項１】
トーチの作動時にガス流が導入される長手方向軸を有し、前記トーチの前記長手方向軸と実質的に直交する半径面を有する前記トーチにおいてプラズマを生成するための装置であって、電源に連結するように構成されて前記トーチの前記半径面に沿ってループ電流を流すように構成配置された第１の電極を備える装置。
【請求項２】
電源に連結するように構成され、前記トーチの前記半径面に沿ってループ電流を流すように構成配置された第２の電極をさらに備える、請求項１の装置。
【請求項３】
前記第１および第２の電極のそれぞれは、対称的な内側断面を有するプレートを含む、請求項２に記載の装置。
【請求項４】
前記対称的な内側断面は円形である、請求項３に記載の装置。
【請求項５】
前記第１の電極および前記第２の電極を分離する少なくとも１つのスペーサをさらに備える、請求項２に記載の装置。
【請求項６】
前記第１の電極は、前記トーチにおいて対称プラズマまたは実質的対称プラズマを維持するように構成される、請求項１に記載の装置。
【請求項７】
前記第１の電極と電気的に連通する無線周波数源をさらに備える、請求項１に記載の装置。
【請求項８】
前記無線周波数源は、約１０ワットから約１０，０００ワットの電力で約１ＭＨｚから約１０００ＭＨｚまでの無線周波数を供給するように構成される、請求項７に記載の装置。
【請求項９】
前記第２の電極と電気的に連通する第２の無線周波数源をさらに備える、請求項７に記載の装置。
【請求項１０】
前記第１の電極および前記第２の電極と電気的に連通する無線周波数源をさらに備える、請求項２に記載の装置。
【請求項１１】
前記無線周波数源は、約１０ワットから約１０，０００ワットの電力で、約１ＭＨｚから約１，０００ＭＨｚの無線周波数を供給するように構成される、請求項１０に記載の装置。
【請求項１２】
前記第１の電極および前記第２の電極と電気的に連通する接地プレートをさらに備える、請求項２に記載の装置。
【請求項１３】
前記第１の電極と前記第２の電極と前記接地プレートは、誘導結合プラズマ発光スペクトロメータにおいて使用されるように構成される、請求項１２に記載の装置。
【請求項１４】
前記第１の電極と前記第２の電極と前記接地プレートは、誘導結合プラズマ原子吸収スペクトロメータにおいて使用されるように構成される、請求項１２に記載の装置。
【請求項１５】
前記第１の電極と前記第２の電極と前記接地プレートは、誘導結合プラズマ質量スペクトロメータにおいて使用されるように構成される、請求項１２に記載の装置。
【請求項１６】
トーチの作動時にガス流が導入される長手方向軸を有し、前記トーチの前記長手方向軸と実質的に直交する半径面を有する前記トーチにおいてプラズマを生成するための装置であって、前記トーチの前記半径面に沿ってループ電流を流すための手段を備える、装置。
【請求項１７】
前記半径面に沿ってループ電流を流すための前記手段は少なくとも１つの電極を含む、請求項１６に記載の装置。
【請求項１８】
前記半径面に沿ってループ電流を流すための前記手段は無線周波数源を含む、請求項１７に記載の装置。
【請求項１９】
少なくとも１つの電極はプレート電極を含む、請求項１７に記載の装置。
【請求項２０】
長手方向軸を有し、トーチの前記長手方向軸と実質的に直交する半径面を有する前記トーチにおいてプラズマを生成する方法であって、
前記トーチの前記長手方向軸に沿ってガス流を流す工程と、
前記トーチにおいて前記ガス流を点火する工程と、
前記半径面に沿ってループ電流を流し、前記トーチにおいてプラズマを維持する工程と、
を含む方法。
【請求項２１】
実質的対称プラズマになるように前記プラズマを構成する工程をさらに含む、請求項２０に記載の方法。
【請求項２２】
トーチにおいてガス流を点火し、前記トーチの長手方向軸と実質的に直交する半径面に沿ってループ電流を流して実質的対称プラズマを維持することにより生成される実質的対称プラズマ。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５Ａ】
【図１５Ｂ】
【図１６Ａ】
【図１６Ｂ】
【図１６Ｃ】
【図１６Ｄ】
【図１７】
【図１８】
【図１９】
【図２０】
【図２１】
【図２２】
【図２３】
【図２４】
【図２５】
【図２６】
【図２７】
【図２８】
【図２９】
【図３０】
【図３１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５Ａ】
【図１５Ｂ】
【図１６Ａ】
【図１６Ｂ】
【図１６Ｃ】
【図１６Ｄ】
【図１７】
【図１８】
【図１９】
【図２０】
【図２１】
【図２２】
【図２３】
【図２４】
【図２５】
【図２６】
【図２７】
【図２８】
【図２９】
【図３０】
【図３１】
【公表番号】特表２００９−５１０６７０（Ｐ２００９−５１０６７０Ａ）
【公表日】平成２１年３月１２日（２００９．３．１２）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００８−５２９２３６（Ｐ２００８−５２９２３６）
【出願日】平成１８年８月３０日（２００６．８．３０）
【国際出願番号】ＰＣＴ／ＵＳ２００６／０３３８７９
【国際公開番号】ＷＯ２００７／０２７７８４
【国際公開日】平成１９年３月８日（２００７．３．８）
【出願人】（５０７３０２０５８）パーキンエルマー・インコーポレイテッド (5)
【氏名又は名称原語表記】ＰＥＲＫＩＮＥＬＭＥＲ，ＩＮＣ．
【Ｆターム（参考）】
【公表日】平成２１年３月１２日（２００９．３．１２）
【国際特許分類】
【出願日】平成１８年８月３０日（２００６．８．３０）
【国際出願番号】ＰＣＴ／ＵＳ２００６／０３３８７９
【国際公開番号】ＷＯ２００７／０２７７８４
【国際公開日】平成１９年３月８日（２００７．３．８）
【出願人】（５０７３０２０５８）パーキンエルマー・インコーポレイテッド (5)
【氏名又は名称原語表記】ＰＥＲＫＩＮＥＬＭＥＲ，ＩＮＣ．
【Ｆターム（参考）】
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