説明

プレーナ型アクチュエータの取付けユニット

【課題】 2つのプレーナ型アクチュエータを適正に設置することができ、保持部材の干渉が生じることがなく、さらに配線の取り回しを容易に行うことのできるプレーナ型プレーナ型アクチュエータの取付けユニットを提供する。
【解決手段】 一次側アクチュエータ支持枠9と二次側アクチュエータ支持枠10とを備えた取付けフレーム8を、一次側アクチュエータ支持枠9と二次側アクチュエータ支持枠10とのなす内角が所定の角度に保持されるように一体化した。

【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明はプレーナ型アクチュエータの取付けユニットに係り、特に、枠状の固定部に平板状の可動部を揺動可能に軸支してなるプレーナ型アクチュエータを取付けて固定するためのプレーナ型アクチュエータの取付けユニットに関するものである。
【背景技術】
【0002】
従来から、枠状の固定部に平板状の可動部を揺動可能に軸支する構造のアクチュエータとして、例えば半導体製造技術を利用し、シリコン基板を異方性エッチングし、枠状の固定部と平板状の可動部と固定部に可動部を軸支するトーションバーとを一体に形成し、可動部に駆動コイルを設け、可動部の駆動コイルに静磁界を付与する例えば永久磁石のような静磁界発生手段を設け、通電により駆動コイルに発生する磁界と静磁界発生手段による静磁界との相互作用により発生するローレンツ力を利用して可動部を揺動させる電磁駆動タイプのプレーナ型アクチュエータがある(例えば、特許文献1参照)。
そして、このようなアクチュエータは、例えば、可動部にミラーを設けることで光ビームを偏向走査する光スキャナなどに適用される。
【0003】
このようなアクチュエータをスキャナなどに適用した場合、従来から、2つのアクチュエータを用い、各アクチュエータの可動部を互いに直交する方向に揺動させることにより、二次元走査をすることが行われている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【特許文献1】特許第2722314号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
しかしながら、前記従来の技術においては、2つのアクチュエータを所定の角度に設置するために、所定の角度を調整するための治具を用い、各アクチュエータを1つずつ位置合わせする必要があることから、調整作業が極めて困難であるという問題を有している。また、各アクチュエータを設置した場合に、各アクチュエータを保持するための部材が干渉してしまうおそれがあり、適正な設置を行うことができないという問題を有している。さらに、各アクチュエータを設置した場合に、各アクチュエータへの電気配線を行う場合に、配線の引き回しが極めて困難であるとともに大型化してしまうという問題をも有している。
【0006】
本発明は前記した点に鑑みてなされたものであり、2つのアクチュエータを適正に設置することができ、保持部材の干渉が生じることがなく、さらに配線の取り回しを容易に行うことができ、さらに小型化を図ることができるプレーナ型アクチュエータの取付けユニットを提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【0007】
本発明は前記目的を達成するために、請求項1の発明に係るプレーナ型アクチュエータの取付けユニットは、一次側プレーナ型アクチュエータを取付けるための一次側アクチュエータ支持枠と、二次側プレーナ型アクチュエータを取付けるための二次側アクチュエータ支持枠とを備えた取付けフレームと、を備え、前記各アクチュエータの可動部を揺動させることにより二次元走査をするように前記各アクチュエータを設置可能なプレーナ型アクチュエータの取付けユニットであって、
前記取付けフレームは、前記一次側アクチュエータ支持枠と前記二次側アクチュエータ支持枠とのなす内角を所定の角度に保持するように一体化されていることを特徴とする。
【0008】
請求項2に係る発明は、請求項1において、前記取付けフレームには、前記一次側アクチュエータ支持枠と前記二次側アクチュエータ支持枠とのなす内角を所定の角度に保持する保持部材が設けられていることを特徴とする。
【0009】
請求項3に係る発明は、請求項1または請求項2において、前記一次側アクチュエータ支持枠と前記二次側アクチュエータ支持枠に設けられ前記一次側プレーナ型アクチュエータおよび前記二次側プレーナ型アクチュエータのアクチュエータ側端子部に電気的に接続される支持枠側端子部と、
前記支持枠側端子部から前記一次側アクチュエータ支持枠、前記二次側アクチュエータ支持枠および前記側板の少なくともいずれかの表面を引き回されて接続端子部に接続される配線パターンと、
を備えていることを特徴とする。
【0010】
請求項4に係る発明は、請求項1から請求項3のいずれか一項において、前記支持枠側端子部は、端子形成部に設けられており、前記端子形成部には、上方に突出する液だれ防止部が形成されていることを特徴とする。
【0011】
請求項5に係る発明は、請求項1から請求項4のいずれか一項において、前記一次側アクチュエータ支持枠および前記二次側アクチュエータ支持枠には、前記一次側プレーナ型アクチュエータおよび前記二次側プレーナ型アクチュエータのヨークを支持するためのヨーク支持凹部または凸部が形成されていることを特徴とする。
【0012】
請求項6に係る発明は、請求項1から請求項5のいずれか一項において、前記一次側アクチュエータ支持枠および前記二次側アクチュエータ支持枠の下面は、前記一次側プレーナ型アクチュエータおよび前記二次側プレーナ型アクチュエータを搭載する際に、前記取付けフレームを保持するための設置面とされていることを特徴とする。
【0013】
請求項7に係る発明は、請求項1から請求項6のいずれか一項において、前記取付けフレームは、射出成型により一体的に形成されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【0014】
請求項1に係る発明によれば、取付けフレームを、一次側アクチュエータ支持枠と二次側アクチュエータ支持枠とのなす内角を所定の角度に保持するように一体化し、各一次側アクチュエータ支持枠および二次側アクチュエータ支持枠にそれぞれ一次側プレーナ型アクチュエータおよび二次側プレーナ型アクチュエータを搭載するようにしているので、各プレーナ型アクチュエータの角度を調整するための治具が不要であり、しかも、開き角の精度が高く、調整作業を不要とすることができる。
【0015】
請求項2に係る発明によれば、取付けフレームに、一次側アクチュエータ支持枠と二次側アクチュエータ支持枠とのなす内角を所定の角度に保持する保持部材を設けるようにしているので、この側板により、一次側アクチュエータ支持枠と二次側アクチュエータ支持枠とのなす内角が所定の角度に確実に保持されるように補強することが可能となる。
【0016】
請求項3に係る発明によれば、一次側アクチュエータ支持枠から引き回された配線パターンと、二次側アクチュエータ支持枠から引き回された配線パターンとを、一次側アクチュエータ支持枠、二次側アクチュエータ支持枠および保持部材のいずれかの表面に引き回して接続端子部に接続するようにしているので、配線パターンの引き回しスペースを大きく確保することができ、配線パターンの引き回しを容易に行うことができる。
【0017】
請求項4に係る発明によれば、支持枠側端子部を設ける端子形成部に、上方に突出する液だれ防止部を形成するようにしているので、支持枠側端子部とアクチュエータ側端子部とを電気的に接続する際に、ワイヤーボンディングなどにより接続した後、アクチュエータ側端子部と支持枠側端子部とを腐食および外的要因による断線などから保護するためのポッティングなどが不要な部分に流出してしまうことを防止することができる。
【0018】
請求項5に係る発明によれば、一次側アクチュエータ支持枠および二次側アクチュエータ支持枠に、一次側プレーナ型アクチュエータおよび二次側プレーナ型アクチュエータのヨークを支持するためのヨーク支持凹部を形成するようにしているので、ヨークをヨーク支持凹部または凸部に接着することにより、ヨークの接着面積を増大させるとともに、ヨークの位置決めを容易にすることができ、ヨーク部分を確実にかつ精度よく固定することができる。
【0019】
請求項6に係る発明によれば、一次側アクチュエータ支持枠および二次側アクチュエータ支持枠の下面を、一次側プレーナ型アクチュエータおよび二次側プレーナ型アクチュエータを搭載する際に、取付けフレームを保持するための設置面としているので、この設置面により一次側アクチュエータ支持枠および二次側アクチュエータ支持枠を適正に保持させることができ、一次側プレーナ型アクチュエータおよび二次側プレーナ型アクチュエータの搭載作業を容易に行うことができる。
【0020】
請求項7に係る発明によれば、取付けフレームを射出成型により一体的に形成するよう取付けフレームを容易に製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【0021】
【図1】本発明に係るプレーナ型アクチュエータの取付けユニットに搭載されるプレーナ型アクチュエータの実施形態を示す概略図である。
【図2】本発明に係るプレーナ型アクチュエータの取付けユニットの実施形態を示す断面図である。
【図3】本発明に係るプレーナ型アクチュエータの取付けユニットの実施形態を示す斜視図である。
【図4】本発明に係るプレーナ型アクチュエータの取付けユニットの実施形態を示す側面図である。
【図5】本発明に係るプレーナ型アクチュエータの取付けユニットの実施形態を示す一次側アクチュエータ支持枠部分の斜視図である。
【図6】本発明に係るプレーナ型アクチュエータの取付けユニットの実施形態を示す一次側アクチュエータ支持枠部分の平面図である。
【図7】本発明に係るプレーナ型アクチュエータの取付けユニットの実施形態を示す二次側アクチュエータ支持枠部分の斜視図である。
【図8】本発明に係るプレーナ型アクチュエータの取付けユニットの実施形態を示す二次側アクチュエータ支持枠部分の平面図である。
【発明を実施するための形態】
【0022】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
【0023】
図1は本発明に係る取付けユニットに装着されるプレーナ型アクチュエータの実施形態を示す概略図である。
【0024】
図1に示すように、本実施形態のプレーナ型アクチュエータ1は、枠状の固定部2を備えており、この固定部2の内側には、一対のトーションバー3,3を介して平板状の可動部4が揺動自在に支持されている。
【0025】
可動部4上には、可動部4を駆動するための駆動コイル(図示せず)が設けられており、固定部2の上面には、可動部4を挟んで互いに反対磁極を対向させて配置される一対の静磁界発生部材5が配置されている。また、固定部2上面には、静磁界発生部材5を囲むようにヨーク6が配置されている。
【0026】
また、図2から図6は本発明に係るプレーナ型アクチュエータの取付けユニットの実施形態を示したものであり、本実施形態においては、取付けユニット7は、取付けフレーム8を備えている。この取付けフレーム8は、一次側プレーナ型アクチュエータ1aを取付けるための一次側アクチュエータ支持枠9と、二次側プレーナ型アクチュエータ1bを取付けるための二次側アクチュエータ支持枠10とを備えている。これら一次側アクチュエータ支持枠9および二次側アクチュエータ支持枠10は、これら一次側アクチュエータ支持枠9と、二次側アクチュエータ支持枠10とのなす内角が所定の角度に保持されるように、互いにほぼ平行に配置された一対の保持部材11a,11bの間に一体的に固定されている。本実施形態における取付けユニット7は、射出成型により一体成型されている。なお、射出成型に代えてレーザ等による三次元成型(三次元の機械加工など)により成型してもよい。
【0027】
一次側アクチュエータ支持枠9には、一次側プレーナ型アクチュエータ1aが搭載されており、一次側プレーナ型アクチュエータ1aは、そのトーションバー3が一次側アクチュエータ支持枠9の長手方向に沿うように配置されている。一次側プレーナ型アクチュエータ1aの固定部2の両端部には、所定の配線を行うための複数のアクチュエータ側端子部12aが所定間隔ごとに配列されており、一次側アクチュエータ支持枠9の一次側プレーナ型アクチュエータ1aの両端部に対応する位置には、端子形成部13aが一次側プレーナ型アクチュエータ1aの端縁に沿って形成されている。端子形成部13aのアクチュエータ側端子部12aに対応する位置には、複数の支持枠側端子部14aが所定間隔ごとに配列されており、端子形成部13aの一次側プレーナ型アクチュエータ1aから離れた位置には、上方に突出する液だれ防止部15aが形成されている。支持枠側端子部14aには、配線パターン16が接続されており、この配線パターン16は、一次側アクチュエータ支持枠9の両端部から側板11bに引き回されている。
【0028】
さらに、一次側アクチュエータ支持枠9の両側部には、一次側プレーナ型アクチュエータ1a側のヨーク6の下面および側面を支持するためのヨーク支持凹部17aが形成されており、このヨーク支持凹部17aの上面は、一次側プレーナ型アクチュエータ1aの固定部2の上面とほぼ同様の高さとなるように形成されている。また、一次側アクチュエータ支持枠9の下面は、一次側プレーナ型アクチュエータ1aを搭載するための搭載装置(図示せず)に取付けフレーム8を設置する際に、取付けフレーム8の一次側アクチュエータ支持枠9を水平に保持することができるように、一次側プレーナ型アクチュエータ1aの搭載面と平行な一次側設置面18aとされている。
【0029】
また、二次側アクチュエータ支持枠10には、二次側プレーナ型アクチュエータ1bが搭載されており、二次側プレーナ型アクチュエータ1bは、そのトーションバー3が二次側アクチュエータ支持枠10の幅方向に沿うように配置されている。すなわち、一次側プレーナ型アクチュエータ1aと二次側プレーナ型アクチュエータ1bとは、互いに直交する方向に可動できるように配置されている。
【0030】
二次側プレーナ型アクチュエータ1bの固定部2の一端部には、所定の配線を行うための複数のアクチュエータ側端子部12bが所定間隔ごとに配列されており、二次側アクチュエータ支持枠10の二次側プレーナ型アクチュエータ1bの一端部に対応する位置には、端子形成部13bが二次側プレーナ型アクチュエータ1bの端縁に沿って形成されている。端子形成部13bのアクチュエータ側端子部12bに対応する位置には、複数の支持枠側端子部14bが所定間隔ごとに配列されており、端子形成部13bの二次側プレーナ型アクチュエータ1bから離れた位置には、上方に突出する液だれ防止部15bが形成されている。支持枠側端子部14bには、配線パターン16が接続されており、この配線パターン16は、二次側アクチュエータ支持枠10の側部から保持部材11bに引き回されている。さらに、二次側アクチュエータ支持枠10の両側部には、二次側プレーナ型アクチュエータ1bのヨーク6の下面を支持するためのヨーク支持凹部17bが形成されており、このヨーク支持凹部17bの上面は、二次側プレーナ型アクチュエータ1bの固定部2の上面とほぼ同様の高さとなるように形成されている。さらに、ヨーク支持凹部17bの一側縁には、ヨーク6を搭載する際に位置決めを行うための位置決め凸部19が形成されている。なお、二次側プレーナ型アクチュエータ1b側のヨーク6の位置決め凸部19に対応する部分は、位置決め凸部19と嵌合可能なように凹部が形成されている。
【0031】
また、二次側アクチュエータ支持枠10の下面は、二次側プレーナ型アクチュエータ1bを搭載するための搭載装置(図示せず)に取付けフレーム8を設置する際に、取付けフレーム8の二次側アクチュエータ支持枠10を水平に保持することができるように、二次側プレーナ型アクチュエータ1bの搭載面と平行な二次側設置面18bとされている。
【0032】
また、保持部材11bには、図示しない制御装置に電気的に接続される複数の接続端子部20,20…が形成されており、この接続端子部20には、一次側アクチュエータ支持枠9から引き回された配線パターン16と、二次側アクチュエータ支持枠10から引き回された配線パターン16とがそれぞれ接続されている。一方、本実施形態の保持部材11aは取付けユニット7を水平に保持するための面として構成されており、本実施形態においては、配線パターン16は、形成されていないが、配線パターン16等を形成するようにしてもよい。これら保持部材11a,11bは、一次側アクチュエータ支持枠9と、二次側アクチュエータ支持枠10とのなす内角が所定の角度に確実に保持されるように補強する機能を有しているが、必ずしも面状に限られず、梁状等であってもよい。また、取付けフレーム8のみで強度が確保されるのであれば、必ずしも必要でない。
【0033】
なお、支持枠側端子部14a、14b、配線パターン16および接続端子部20は、取付けユニット7上に表面配線により一体的に形成されるものであり、配線パターン16の引き回し経路は、任意に設定することが可能であり、また接続端子部20も任意の位置に形成してもよい。
【0034】
次に、本実施形態の作用について説明する。
【0035】
まず、一次側プレーナ型アクチュエータ1aおよび二次側プレーナ型アクチュエータ1bを取付けフレーム8に搭載する方法について説明する。
【0036】
最初に、取付けフレーム8の一次側設置面18aを所定の搭載装置に設置して一次側アクチュエータ支持枠9を水平に保持させる。このように一次側設置面18aを設け、この一次側設置面18aにより、一次側アクチュエータ支持枠9を適正に保持させることができ、一次側プレーナ型アクチュエータ1aの搭載作業を容易に行うことができるものである。
【0037】
この状態で、取付けフレーム8の一次側アクチュエータ支持枠9に一次側プレーナ型アクチュエータ1aを搭載する。この際、ヨーク支持凹部17aの立ち上がり部分に一次側プレーナ型アクチュエータ1aのヨーク6を当接させて位置決めをし、一次側プレーナ型アクチュエータ1aを一次側アクチュエータ支持枠9に接着するとともに、ヨーク6をヨーク支持凹部17aに接着する。このとき、ヨーク6をヨーク支持凹部17aの底面のみに接着するだけでなく、ヨーク支持凹部17aの立ち上がり部分にも接着することで、ヨーク6を2面(2方向)で固定できるためヨーク6部分を確実に固定することが可能となる。
【0038】
次に、一次側アクチュエータ支持枠9の支持枠側端子部14aと一次側プレーナ型アクチュエータ1aのアクチュエータ側端子部12aとをワイヤーボンディングなどにより電気的に接続した後、ポッティングなどよりアクチュエータ側端子部12aと支持枠側端子部14aとを腐食および外的要因による断線などから保護する。このとき、本実施形態においては、端子形成部13aの一次側プレーナ型アクチュエータ1aから離れた位置に上方に突出する液だれ防止部15aを形成するようにしているので、ポッティングなどの際に、ポッティング樹脂等が配線パターン16側にたれてしまうことによる接続端子部20の接続不良などを確実に防止することができるものである。
【0039】
また、同様に、取付けフレーム8の二次側設置面18bを所定の搭載装置に設置して二次側アクチュエータ支持枠10を水平に保持した状態で、取付けフレーム8の二次側アクチュエータ支持枠10に二次側プレーナ型アクチュエータ1bを搭載する。この際、二次側プレーナ型アクチュエータ1bのヨーク6の切欠部と位置決め凸部19と嵌合させて位置決めをするとともに、二次側プレーナ型アクチュエータ1bを二次側アクチュエータ支持枠10に接着するとともに、ヨーク6をヨーク支持凹部17bおよび位置決め凸部19に接着する。このとき、ヨーク6をヨーク支持凹部17bの底面と立ち上がり部分および位置決め凸部19に接着することで、ヨーク6部分を確実に固定することが可能となる。
【0040】
次に、二次側アクチュエータ支持枠10の支持枠側端子部14bと二次側プレーナ型アクチュエータ1bのアクチュエータ側端子部12bとをワイヤーボンディングなどにより電気的に接続する。その後、ポッティングなどよりアクチュエータ側端子部12bを腐食等から保護する。
【0041】
このように一次側プレーナ型アクチュエータ1aおよび二次側プレーナ型アクチュエータ1bが搭載された取付けフレーム8を、所定の光学装置および制御装置が設けられた装置の所定の位置に設置した後、側板11bの接続端子部20を制御装置側に接続することにより、取付けフレーム8の装着が完了する。
【0042】
そして、この状態で、一次側プレーナ型アクチュエータ1aの可動部4および二次側プレーナ型アクチュエータ1bの可動部4を互いに直交する方向に揺動させることにより、光学装置から照射させる光の二次元走査が可能となる。このプレーナ型アクチュエータの可動部4をねじれモードで振動させるときの駆動原理は、例えば、特許第2722314号公報等で詳述されているので、以下、簡単に説明する。
【0043】
すなわち、可動部4の駆動コイルに電流を流すと、静磁界発生手段による静磁界との相互作用によりローレンツ力が発生し、トーションバー3の軸方向と平行な可動部4の対辺部分に互いに逆方向の回転力が発生し、可動部4が揺動する。可動部4を揺動させるための回転力は、駆動コイルに流す駆動電流値に比例するので、駆動コイルに供給する駆動電流値を制御することで、可動部4の揺動角度を制御することができる。
【0044】
そのため、光学装置から所定の光を一次側プレーナ型アクチュエータ1aの可動部4に入射させると、一次側プレーナ型アクチュエータ1aの可動部4の揺動動作により光学装置からの入射光を一次元方向に走査させて二次側プレーナ型アクチュエータ1bの可動部4に向けて反射させる。そして、二次側プレーナ型アクチュエータ1bの可動部4の揺動動作により、一次側プレーナ型アクチュエータ1aからの反射光を一次側プレーナ型アクチュエータ1aによる走査方向と直交する方向に走査させ、所定の出力部に反射させる。これにより、光学装置からの光を二次元で操作させることが可能となる。
【0045】
以上述べたように、本実施形態においては、取付けフレーム8に、所定の角度に保持された一次側アクチュエータ支持枠9および二次側アクチュエータ支持枠10を設け、これら各一次側アクチュエータ支持枠9および二次側アクチュエータ支持枠10にそれぞれ一次側プレーナ型アクチュエータ1aおよび二次側プレーナ型アクチュエータ1bを搭載するようにしているので、各アクチュエータの角度調整が不要となり、二次元アクチュエータを得ることができる。また、一次側アクチュエータ支持枠9から引き回された配線パターン16と、二次側アクチュエータ支持枠10から引き回された配線パターン16とを保持部材11に配置し、この配線パターン16を接続端子部20に接続するようにしているので、配線パターン16の引き回しスペースを大きく確保することができ、配線パターン16の引き回しを容易に行うことができる。
【0046】
なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨に基づいて種々の変形が可能である。
【符号の説明】
【0047】
1a 一次側プレーナ型アクチュエータ
1b 二次側プレーナ型アクチュエータ
2 固定部
3 トーションバー
4 可動部
5 静磁界発生部材
6 ヨーク
7 取付けユニット
8 取付けフレーム
9 一次側アクチュエータ支持枠
10 二次側アクチュエータ支持枠
11a,11b 保持部材
12a,12b アクチュエータ側端子部
13a,13b 端子形成部
14a,14b 支持枠側端子部
15a,15b 液だれ防止部
16 配線パターン
17a,17b ヨーク支持凹部
18a 一次側設置面
18b 二次側設置面
19 位置決め凸部
20 接続端子部

【特許請求の範囲】
【請求項1】
一次側プレーナ型アクチュエータを取付けるための一次側アクチュエータ支持枠と、二次側プレーナ型アクチュエータを取付けるための二次側アクチュエータ支持枠とを備えた取付けフレームと、を備え、前記各アクチュエータの可動部を揺動させることにより二次元走査をするように前記各アクチュエータを設置可能なプレーナ型アクチュエータの取付けユニットであって、
前記取付けフレームは、前記一次側アクチュエータ支持枠と前記二次側アクチュエータ支持枠とのなす内角を所定の角度に保持するように一体化されていることを特徴とするプレーナ型アクチュエータの取付けユニット。
【請求項2】
前記取付けフレームには、前記一次側アクチュエータ支持枠と前記二次側アクチュエータ支持枠とのなす内角を所定の角度に保持する保持部材が設けられていることを特徴とする請求項1に記載のプレーナ型アクチュエータの取付けユニット。
【請求項3】
前記一次側アクチュエータ支持枠と前記二次側アクチュエータ支持枠に設けられ前記一次側プレーナ型アクチュエータおよび前記二次側プレーナ型アクチュエータのアクチュエータ側端子部に電気的に接続される支持枠側端子部と、
前記支持枠側端子部から前記一次側アクチュエータ支持枠、前記二次側アクチュエータ支持枠および前記保持部材の少なくともいずれかの表面を引き回されて接続端子部に接続される配線パターンと、
を備えていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のプレーナ型アクチュエータの取付けユニット。
【請求項4】
前記支持枠側端子部は、端子形成部に設けられており、前記端子形成部には、上方に突出する液だれ防止部が形成されていることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか一項に記載のプレーナ型アクチュエータの取付けユニット。
【請求項5】
前記一次側アクチュエータ支持枠および前記二次側アクチュエータ支持枠には、前記一次側プレーナ型アクチュエータおよび前記二次側プレーナ型アクチュエータのヨークを支持するためのヨーク支持凹部または凸部が形成されていることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか一項に記載のプレーナ型アクチュエータの取付けユニット。
【請求項6】
前記一次側アクチュエータ支持枠および前記二次側アクチュエータ支持枠の下面は、前記一次側プレーナ型アクチュエータおよび前記二次側プレーナ型アクチュエータを搭載する際に、前記取付けフレームを保持するための設置面とされていることを特徴とする請求項1から請求項5のいずれか一項に記載のプレーナ型アクチュエータの取付けユニット。
【請求項7】
前記取付けフレームは、射出成型により一体的に形成されていることを特徴とする請求項1から請求項6のいずれか一項に記載のプレーナ型アクチュエータの取付けユニット。

【図1】
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【図2】
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【図3】
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【図4】
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【図5】
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【図6】
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【図7】
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【図8】
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【公開番号】特開2011−28095(P2011−28095A)
【公開日】平成23年2月10日(2011.2.10)
【国際特許分類】
【出願番号】特願2009−175341(P2009−175341)
【出願日】平成21年7月28日(2009.7.28)
【出願人】(000004651)日本信号株式会社 (720)
【出願人】(000166948)シチズンファインテックミヨタ株式会社 (438)
【Fターム(参考)】