プローブ・アレイ作製装置用の液体吐出ユニットとその製造方法
【課題】製造コストを増大させることなく、各吐出口間の間隔が大きくても各吐出口の配置を比較的自由に行うことができ、所望のプローブ・アレイを容易に製造できる液体吐出ユニットを提供する。
【解決手段】１つの吐出口１０３と、流路１０８を介して吐出口１０３に連通する１つの供給口１０４と、流路１０８内のヒーターとを有する液体吐出チップ１０１が、１つのチッププレート１０２に４×４の２次元アレイ状に接合されている。これによって、１６個の吐出口１０３および供給口１０４を有する液体吐出ユニットが構成されている。プローブ溶液が供給口１０４から供給された状態でヒーターが駆動されると、発泡圧によってプローブ溶液が吐出口１０３から外部に吐出する。互いに種類の異なるプローブ溶液が吐出口１０３からそれぞれ吐出して固相基板に付着することによって、所望のプローブ・アレイが製造できる。
【解決手段】１つの吐出口１０３と、流路１０８を介して吐出口１０３に連通する１つの供給口１０４と、流路１０８内のヒーターとを有する液体吐出チップ１０１が、１つのチッププレート１０２に４×４の２次元アレイ状に接合されている。これによって、１６個の吐出口１０３および供給口１０４を有する液体吐出ユニットが構成されている。プローブ溶液が供給口１０４から供給された状態でヒーターが駆動されると、発泡圧によってプローブ溶液が吐出口１０３から外部に吐出する。互いに種類の異なるプローブ溶液が吐出口１０３からそれぞれ吐出して固相基板に付着することによって、所望のプローブ・アレイが製造できる。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、互いに種類の異なる複数のプローブを基板上に２次元アレイ状に固定するためのプローブ・アレイ作製装置用の液体吐出ユニットおよびその製造方法と、プローブ・アレイ作製装置およびプローブ・アレイ作製方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
検体であるＤＮＡ（デオキシリボ核酸）の塩基配列を解析するために、また、検体であるＤＮＡに対して同時に多項目の検査を高精度に行うために、複数のＤＮＡプローブを用いる方法がある。具体的には、互いに異なる塩基配列を有する多数の核酸を固相基板に固定してＤＮＡプローブとし、これらのＤＮＡプローブに接するように検体を含むＤＮＡ溶液を注入する。この場合、蛍光物質等の標識物質を担持した標識化核酸等を用い、検体のＤＮＡと一部のＤＮＡプローブとの間でハイブリダイゼーション反応を生じさせ、ハイブリダイズされた二本鎖の核酸を検出する。そして、ＤＮＡプローブに捕捉されたＤＮＡの標識物質を検出することによって、いかなる種類のＤＮＡプローブとの間でハイブリダイゼーション反応を生じたかを検知し、それによって検体のＤＮＡの解析を行う。このように検体のＤＮＡを解析するために、互いに種類の異なる多数のＤＮＡプローブがコンパクトに２次元アレイ状に並べられたプローブ・アレイ（ＤＮＡマイクロチップ）が用いられるようになってきている。
【０００３】
従来、固相基板上に、互いに種類の異なる多数のＤＮＡプローブをアレイ状に固定するための種々の方法が存在する。例えば、プローブ用のＤＮＡを予め合成および精製し、場合によってはその塩基長を確認した上で、各ＤＮＡを、マイクロディスペンサーのようなデバイスにより基板上に供給し、プローブ・アレイを作製する手法がある。特許文献１には、プローブ溶液（プローブ用のＤＮＡを含む液体）を、サーマル液体吐出ユニットにより液滴として吐出して固相基板に付着させて、プローブを、固相基板上にスポット状に形成する方法が開示されている。ただし、この方法では、使用されている液体吐出ユニットが一般のプリンタ用のヘッドであるため、その液体吐出ユニットはプローブ・アレイを作製するにあたり最適な構造とは言い難い。
【０００４】
これに対して、吐出口が２次元アレイ状に配列されている液体吐出チップと、各吐出口とそれぞれ対向する供給部が２次元アレイ状に配列された液体供給プレートとによって構成された液体吐出ユニットを用いる方法が提案されている。特許文献２には、１つの液体収納部から１つの吐出口に液体が供給され、簡単な構造でプローブ溶液の供給を行うことができる構成が開示されている。
【０００５】
このような構成において、液体吐出ユニットに搭載されている、複数の吐出口および供給口を備えている液体吐出チップは、以下のようにして得られる。すなわち、Ｓｉ単結晶のウェハー上に電気配線と回路が形成され、その上に、吐出口を形成するオリフィスプレートが積層されるとともに、ウェハーには、それを貫通する供給口が設けられる。通常、複数の吐出口および供給口を含む構造が、１つのウェハー上に多数高密度に配置される。これらの構造は、半導体製造プロセスと同様な方法で、１つのウェハーに一括して作製される。このウェハーを、所定の数の吐出口および供給口を含む構造毎に切り分けることによって、個々の液体吐出チップが得られる。１枚のウェハーから得られる液体吐出チップの個数が多いほど、液体吐出チップの単価を下げることができるため、液体吐出チップをより小面積にすることが好ましい。
【０００６】
この製法においては、全ての吐出口を一括して作成するため、吐出口の位置精度を確保することが容易である。また、吐出口の配置の自由度が高いという特徴がある。
【０００７】
図６は、従来の液体吐出ユニットの一部分を示す概略図である。この液体吐出ユニットの液体吐出チップ４０１は、裏面側に、プローブ溶液が供給される供給口（図示せず）を有し、表面側にそのプローブ溶液を吐出する吐出口４０１ａを有している。さらに、この液体吐出チップ４０１は、吐出エネルギーを印加するヒーター（図示せず）を内包している。この液体吐出チップ４０１が積層されているチッププレート４０２は、液体吐出チップ４０１を他の部品（例えば液体吐出ユニットの筐体４０３）に接合するときの熱膨張差を吸収する。液体吐出チップ４０１には、筐体４０３およびチッププレート４０２を介して液体が供給されるとともに、液体吐出信号が伝えられる。この液体吐出ユニットの各吐出口４０１ａ間の間隔を各供給口間の間隔と同一にすると、構造を簡略化できる。
【特許文献１】特開平１１−１８７９００号公報
【特許文献２】特開２００２−２８１９６８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
前記した液体吐出ユニットにおいて、液体供給構造により各吐出口４０１ａ間の間隔を大きく取ることが望まれる場合がある。各吐出口４０１ａ間の間隔が大きくなると、ウェハー上の空きスペース（未使用領域）が増大し、ウェハーの使用効率が低くなりコストアップの原因となってしまう。図７は、１つのウェハー４０５から、従来の液体吐出ユニットに用いられる複数の液体吐出チップ４０１を製造する工程を説明するための模式図である。液体吐出チップ４０１の面積が大きいと、１つのウェハー４０５から製造できる液体吐出チップ４０１の数が少なくなり、ウェハー４０５内の未使用領域４０６が広くなっている。
【０００９】
この液体吐出ユニットは、１枚の液体吐出チップ４０１に多数の吐出口４０１ａおよびヒーターを有し、多数の吐出口４０１ａおよびヒーターのうちの１つでも不良であると、その液体吐出チップが不良品とみなされるので、歩留まりが悪い。
【００１０】
液体供給の効率向上などのために供給口の径を大きくすると、各吐出口４０１ａ間の間隔が大きくなり、液体吐出チップ４０１の大型化を招く。また、プローブ・アレイにおいて検査対象を増やしたり検査精度を向上させるためにプローブ数を増加させたい場合には、そのプローブ・アレイを製造するための液体吐出ユニットの吐出口４０１ａの数を増やすことが求められる。吐出口４０１ａの数を増やすと、当然液体吐出チップ４０１は大型化する。液体吐出チップ４０１が大型化すると、１枚のウェハー４０５から得られる液体吐出チップ４０１の数を減らさざるを得ない場合があり、その場合には製造コストが増大する。あるいは、ウェハー４０５のサイズを大きくする必要があり、その場合には、ウェハー４０５のサイズに対応した半導体製造装置が新たに必要になる。液体吐出チップ４０１の大きさはウェハー４０５のサイズにより制限されるため、当然のことながら、現在使用されている最大のウェハーよりも大きな液体吐出チップは作製できない。
【００１１】
本発明の目的は、製造コストを増大させることなく、各吐出口間の間隔が大きくても各吐出口の配置を比較的自由に行うことができ、所望のプローブ・アレイを容易に製造できる液体吐出ユニットおよびその製造方法と、プローブ・アレイ作製装置およびプローブ・アレイ作製方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明は、互いに種類の異なる複数のプローブを基板上に２次元アレイ状に固定するための、プローブ・アレイ作製装置用の液体吐出ユニットにおいて、各プローブを形成するためのプローブ溶液が供給される供給口と、プローブ溶液を吐出する吐出口とが設けられた液体吐出チップが、共通の支持体上に複数並べて配置されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によると、プローブ溶液を吐出するための吐出口と供給口とを有する液体吐出チップを必要最小限の面積にして、１つのウェハーから多数の液体吐出チップを作製することが可能になる。また、小型の液体吐出チップの配置を適宜に変更することにより、様々な形状のプローブ・アレイの作製に対応することが容易にできる。さらに、吐出口の詰まり等の不良が発生した場合に、複数の液体吐出チップのうちの不良の生じたもののみを排除・交換できるので、液体吐出ユニットの歩留まりの向上につながる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
【００１５】
（第１の実施形態）
図１（ａ）は、本発明の第１の実施形態の液体吐出ユニットの要部の斜視図である。この液体吐出ユニットは、複数の液体吐出チップ１０１と１つのチッププレート１０２とが接合された構成である。図１（ｂ）は、この液体吐出ユニットの液体吐出チップ１０１の拡大図である。各液体吐出チップ１０１は、オリフィスプレート１０１ａとＳｉ単結晶基板１０１ｂが積層された構成である。そしてこの液体吐出チップ１０１は、液体を吐出するための１つの吐出口１０３を表面側に有し、液体を供給するための１つの供給口１０４を裏面側に備えている。吐出口１０３と供給口１０４は、流路１０８を介して連通している。図示しないが、流路１０８内には、液体に吐出エネルギーを付与する記録素子であるヒーター（発熱素子）が配設されている。チッププレート１０２は、各液体吐出チップ１０１の供給口１０４に液体を供給するための穴（図示せず）を有している。
【００１６】
本実施形態では、液体吐出チップ１０１が４×４の２次元アレイ状に配列され、１つのチッププレート１０２にそれぞれフリップチップ接合されている。従って、本実施形態の液体吐出ユニットは、１６個の吐出口１０３および供給口１０４を有する構成である。
【００１７】
液体吐出チップ１０１の吐出口１０３と対向する位置にヒーターが配置されている。図示しないが、ヒーターに接続されている配線パターンは、液体吐出チップ１０１を貫通する穴を通って裏面に延び、接続用のバンプ（電気接続部）に接続されている。チッププレート１０２上には、バンプに当接するパッドが配置されており、このパッドは、チッププレート１０２の表面に印刷された配線パターンに接続されている。従って、外部から入力される信号は、チッププレート１０２の表面の配線パターンから、パッドおよびバンプを介して液体吐出チップ１０１の配線パターンに伝わり、さらに、ヒーターに伝達される。プローブ用のＤＮＡを含む液体（プローブ溶液）が供給口１０４から供給された状態で、外部からの信号がヒーターに伝達されることによってヒーターが発熱すると、プローブ溶液が発泡する。この発泡圧によって、プローブ溶液を吐出口１０３から外部に吐出することができる。
【００１８】
この液体吐出ユニットを用いて、ガラス基板等の固相基板の表面にプローブ用のＤＮＡを付着させることによって、多数（本実施形態では１６個）のＤＮＡプローブ１０５を実質的に同時に形成できる。従って、図２に示すプローブ・アレイ（ＤＮＡマイクロチップ）１０６を容易に製造できる。特に、各液体吐出チップ１０１の供給口１０４にそれぞれ異なるＤＮＡを含む溶液を供給することにより、１つのプローブ・アレイ１０６に、互いに種類の異なる多数のＤＮＡプローブ１０５を容易に形成できる。
【００１９】
なお、ＤＮＡプローブ１０５の数がもっと多いプローブ・アレイ１０６を製造したい場合には、チッププレート１０２に接合する液体吐出チップ１０１の数を増やせばよい。また、ＤＮＡプローブ１０５の数がもっと少ないプローブ・アレイ１０６を製造したい場合には、チッププレート１０２に接合する液体吐出チップ１０１の数を減らせばよい。本実施形態では、ＤＮＡプローブ１０５を形成するための吐出口１０３の数を１個単位で増減できるので、所望の数のＤＮＡプローブ１０５を容易に製造できる。
【００２０】
また、本実施形態によると、個々の液体吐出チップ１０１ごとに電気的な不良や吐出口の形状不良を判定して排除することができる。従って、液体吐出ユニットを組み立てた段階で、不良の液体吐出チップ１０１が含まれることが防げ、液体吐出チップ１０１の歩留まりが液体吐出ユニットの歩留まりに直結することはない。また、従来のように吐出口およびヒーター等が１つでも不良であると液体吐出ユニット全体が不良となるのではなく、多数の液体吐出チップ１０１のうち、不良と判定されたもののみを交換すればよいので無駄が生じない。
【００２１】
次に、この液体吐出ユニットの液体吐出チップ１０１を製造する方法について説明する。
【００２２】
図３は、１枚のＳｉ単結晶のウェハー１０７から、多数の液体吐出チップ１０１を得る方法を示す概略図である。本実施形態では、個々の液体吐出チップ１０１の面積が小さいため、１枚のウェハー１０７上における液体吐出チップ１０１のレイアウトがかなり自由に行える。そして、それぞれの液体吐出チップ１０１を切断して分離させることによって、多数の液体吐出チップ１０１を得ることができる。それに伴って、ウェハー１０７の未使用領域１０７ａが小さくて済み、製造コストが低く抑えられる。液体吐出チップ１０１の大きさは、液体吐出ユニット内の吐出口１０３の配列にあまり影響されない。
【００２３】
具体例としては、直径６インチ（約１５２ｍｍ）の略円形のウェハー１０７上に、吐出口が２．８８ｍｍピッチで３２行×３２列の２次元アレイ状に配置された液体吐出チップを得る場合を考察する。この場合には、１つのウェハー１０７から１枚の液体吐出チップしか得ることができない。これに対し、２．８８ｍｍ×２．８８ｍｍの大きさであり１つの吐出口１０３のみを備えた本実施形態の液体吐出チップ１０１を１枚のウェハー１０７上にレイアウトすると、１７１６個の液体吐出チップ１０１が得られる。前者の場合、１枚のウェハー１０７から３２×３２＝１０２４個の吐出口が形成されることになるが、後者（本実施形態）の場合、１枚のウェハー１０７から１７１６個の吐出口が形成でき、約１．７倍の使用効率になる。なお、この液体吐出チップ１０１の大きさは、ダイシング時の切り代を含んでいるが、液体吐出チップ１０１の大きさをさらに小さくして、ウェハー１０７の使用効率をより高めることもできる。例えば、１つの液体吐出チップ１０１の大きさを２．５０ｍｍ×２．５０ｍｍ（ダイシング時の切り代を含む）にすると、約２３００個の液体吐出チップ１０１が１つのウェハー１０７から得られる。
【００２４】
こうして得られた複数の液体吐出チップ１０１を、１つのチッププレート１０２の同一平面上に、平面的に２次元アレイ状に並べて配置して接合するとともに、図示しない配線パターン（またはボンディングワイヤー）等を用いて、ヒーターの電気接続を行う。このようにして、図１（ａ）に示す液体吐出ユニットが製造できる。
【００２５】
さらに、この液体吐出ユニットを、図示しない保持装置に取り付けることによって、プローブ・アレイ作製装置が構成される。このプローブ・アレイ作製装置の各供給口１０４に、互いに種類の異なる様々なプローブ溶液をそれぞれ供給し、ヒーターを駆動して各プローブ溶液を各吐出口１０３から固相基板に吐出して付着させることができる。こうして、所望のプローブ・アレイを製造することができる。
【００２６】
なお、本実施形態の液体吐出チップ１０１では、吐出口１０３と供給口１０４が１対１で対応している。しかし、１つの供給口１０４に対して、同様な吐出口１０３を複数個設けておくと、仮に１つの吐出口１０３が異物により詰まった場合でも、他の吐出口１０３を代替として使用して、液体の吐出を滞りなく行うことができる。すなわち、他の吐出口を予備の吐出口として用いることができる。
【００２７】
（第２の実施形態）
図４（ａ）は、本発明の第２の実施形態の液体吐出ユニットの要部の斜視図であり、図４（ｂ）は、この液体吐出ユニットの液体吐出チップ２０１の拡大図である。本実施形態の液体吐出チップ２０１は、オリフィスプレート２０１ａとＳｉ単結晶基板２０１ｂが積層された構成であり、表面側に４つの吐出口２０３を有し、裏面側に４つの供給口２０４を備えている。各吐出口２０３と各供給口２０４は、それぞれ１対１に対応しており、流路２０８を介して連通している。流路２０８内にはヒーターが配設されている。そして、４つの吐出口２０３および供給口２０４を有する液体吐出チップ２０１が、３×３の２次元アレイ状に配列され、１つのチッププレート１０２にそれぞれフリップチップ接合されている。従って、本実施形態の液体吐出ユニットは、３６個の吐出口２０３および供給口２０４を有する構成である。
【００２８】
本実施形態の液体吐出ユニットは、図６に示す従来の液体吐出ユニットと、図１に示す第１の実施形態の液体吐出ユニットの中間的な構成である。すなわち、第１の実施形態のように１つの吐出口１０３と１つの供給口１０４のみを有する液体吐出チップ１０１を大量に用いる構成では、組み立て工程が非常に煩雑になる場合がある。そこで、本実施形態では、少数（例えば４つ）の吐出口２０３および供給口２０４を有する液体吐出チップ２０１を用いることによって、第１の実施形態に比べると組み立て工程が簡単になる。しかも、従来の構成に比べると、液体吐出チップ２０１が小型でウェハーの使用効率を向上できるとともに、不良品の排除や交換が容易に、かつ無駄を少なくして行える。
【００２９】
この液体吐出チップ２０１を用いる場合、例えば、１つの液体吐出チップ２０１の４つの供給口２０４に、アデニン、グアニン、シトシン、およびチミンの４種類の塩基（Ａ，Ｔ，Ｃ，Ｇ）をそれぞれ供給してもよい。その場合、各吐出口２０３からそれぞれの塩基を吐出すると、吐出された塩基の逐次伸長反応によりＤＮＡを合成することができる。全ての液体吐出チップ２０１において、これらの４つの塩基を各供給口２０４にそれぞれ供給するようにしてもよい。
【００３０】
なお、１つの液体吐出チップ２０１に設けられる供給口２０４および吐出口２０３の数は４つに限られず、必要に応じて任意の数の供給口２０４および吐出口２０３の数を有するように設計することが可能である。
【００３１】
以上説明した内容以外の構成および方法については、第１の実施形態と同様であるので説明を省略する。
【００３２】
（第３の実施形態）
図５は、本発明の第３の実施形態の液体吐出ユニットの要部の斜視図である。本実施形態の液体吐出チップ３０１は、大型の液体吐出チップ３０１Ａと小型の液体吐出チップ３０１Ｂとを含んでいる。液体吐出チップ３０１Ａ，３０１Ｂのいずれも１つの吐出口３０３および１つの供給口（図示せず）を有しているが、液滴吐出量が異なっている。図示しないが、液滴吐出量が互いに異なるためそれらの液体消費量に合わせて、供給口のサイズは、液体吐出チップ３０１Ａと３０１Ｂで互いに異なっている。
【００３３】
本実施形態では、液滴吐出量の大きい液体吐出チップ３０１Ａが、チッププレート１０２の外周４辺に沿って、各辺に４つずつの矩形状に配列されている。そして、この液体吐出チップ３０１Ａが構成する矩形の内側に、液滴吐出量の小さい液体吐出チップ３０１Ｂが、５×４の２次元アレイ状に配列されている。
【００３４】
従来の液体吐出ユニットでは、全ての吐出口を一体的に作成するため、厚さ方向の寸法を吐出口毎に変更することは製法上困難であった。本実施形態では、液滴吐出量の大きい液体吐出チップと液滴吐出量の小さい液体吐出チップとを個別に作成した後に組み合わせるため、１つの液体吐出ユニットの中に、液滴吐出量の大きい吐出口３０３と液滴吐出量の小さい吐出口３０３とを混在させることができる。しかも、液滴吐出量の大きい吐出口３０３と液滴吐出量の小さい吐出口３０３とのそれぞれの配置を、比較的自由に設定することができる。
【００３５】
例えば、位置読み取り検出用のマークを、プローブ・アレイの外周部に、プローブ溶液と同様に液滴吐出によって形成する場合がある。その場合、マークの読み取りを確実に行うためには、大液滴により大きなマークを形成する必要がある。このような場合に、本実施形態の構成は特に有効である。また、反応性の低いプローブ溶液を用いてＤＮＡプローブを形成する場合には、液滴吐出量が大きくなければならないことがある。このような場合にも、本実施形態の構成は有効である。本実施形態によると、液滴吐出量の異なる液体吐出チップを任意に配置することができるので、使用目的に合わせた液体吐出ユニットを製造することが容易にできる。
【００３６】
以上説明した内容以外の構成および方法については、第１，２の実施形態と同様であるので説明を省略する。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】（ａ）は本発明の第１の実施形態の液体吐出ユニットの斜視図、（ｂ）はその液体吐出チップの拡大斜視図である。
【図２】図１に示す液体吐出ユニットにより形成されたプローブ・アレイの斜視図である。
【図３】１枚のウェハーにおける、図２に示す液体吐出チップのレイアウトを示す模式図である。
【図４】（ａ）は本発明の第２の実施形態の液体吐出ユニットの斜視図、（ｂ）はその液体吐出チップの拡大斜視図である。
【図５】本発明の第３の実施形態の液体吐出ユニットの斜視図である。
【図６】従来の液体吐出ユニットの斜視図である。
【図７】１枚のウェハーにおける、図６に示す従来の液体吐出ユニットの液体吐出チップのレイアウトを示す模式図である。
【符号の説明】
【００３８】
１０１，２０１，３０１Ａ，３０１Ｂ 液体吐出チップ
１０２ チッププレート
１０３，２０３，３０３ 吐出口
１０４，２０４ 供給口
１０５ ＤＮＡプローブ
１０６ プローブ・アレイ（ＤＮＡマイクロチップ）
１０７ ウェハー
１０８，２０８ 流路
【技術分野】
【０００１】
本発明は、互いに種類の異なる複数のプローブを基板上に２次元アレイ状に固定するためのプローブ・アレイ作製装置用の液体吐出ユニットおよびその製造方法と、プローブ・アレイ作製装置およびプローブ・アレイ作製方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
検体であるＤＮＡ（デオキシリボ核酸）の塩基配列を解析するために、また、検体であるＤＮＡに対して同時に多項目の検査を高精度に行うために、複数のＤＮＡプローブを用いる方法がある。具体的には、互いに異なる塩基配列を有する多数の核酸を固相基板に固定してＤＮＡプローブとし、これらのＤＮＡプローブに接するように検体を含むＤＮＡ溶液を注入する。この場合、蛍光物質等の標識物質を担持した標識化核酸等を用い、検体のＤＮＡと一部のＤＮＡプローブとの間でハイブリダイゼーション反応を生じさせ、ハイブリダイズされた二本鎖の核酸を検出する。そして、ＤＮＡプローブに捕捉されたＤＮＡの標識物質を検出することによって、いかなる種類のＤＮＡプローブとの間でハイブリダイゼーション反応を生じたかを検知し、それによって検体のＤＮＡの解析を行う。このように検体のＤＮＡを解析するために、互いに種類の異なる多数のＤＮＡプローブがコンパクトに２次元アレイ状に並べられたプローブ・アレイ（ＤＮＡマイクロチップ）が用いられるようになってきている。
【０００３】
従来、固相基板上に、互いに種類の異なる多数のＤＮＡプローブをアレイ状に固定するための種々の方法が存在する。例えば、プローブ用のＤＮＡを予め合成および精製し、場合によってはその塩基長を確認した上で、各ＤＮＡを、マイクロディスペンサーのようなデバイスにより基板上に供給し、プローブ・アレイを作製する手法がある。特許文献１には、プローブ溶液（プローブ用のＤＮＡを含む液体）を、サーマル液体吐出ユニットにより液滴として吐出して固相基板に付着させて、プローブを、固相基板上にスポット状に形成する方法が開示されている。ただし、この方法では、使用されている液体吐出ユニットが一般のプリンタ用のヘッドであるため、その液体吐出ユニットはプローブ・アレイを作製するにあたり最適な構造とは言い難い。
【０００４】
これに対して、吐出口が２次元アレイ状に配列されている液体吐出チップと、各吐出口とそれぞれ対向する供給部が２次元アレイ状に配列された液体供給プレートとによって構成された液体吐出ユニットを用いる方法が提案されている。特許文献２には、１つの液体収納部から１つの吐出口に液体が供給され、簡単な構造でプローブ溶液の供給を行うことができる構成が開示されている。
【０００５】
このような構成において、液体吐出ユニットに搭載されている、複数の吐出口および供給口を備えている液体吐出チップは、以下のようにして得られる。すなわち、Ｓｉ単結晶のウェハー上に電気配線と回路が形成され、その上に、吐出口を形成するオリフィスプレートが積層されるとともに、ウェハーには、それを貫通する供給口が設けられる。通常、複数の吐出口および供給口を含む構造が、１つのウェハー上に多数高密度に配置される。これらの構造は、半導体製造プロセスと同様な方法で、１つのウェハーに一括して作製される。このウェハーを、所定の数の吐出口および供給口を含む構造毎に切り分けることによって、個々の液体吐出チップが得られる。１枚のウェハーから得られる液体吐出チップの個数が多いほど、液体吐出チップの単価を下げることができるため、液体吐出チップをより小面積にすることが好ましい。
【０００６】
この製法においては、全ての吐出口を一括して作成するため、吐出口の位置精度を確保することが容易である。また、吐出口の配置の自由度が高いという特徴がある。
【０００７】
図６は、従来の液体吐出ユニットの一部分を示す概略図である。この液体吐出ユニットの液体吐出チップ４０１は、裏面側に、プローブ溶液が供給される供給口（図示せず）を有し、表面側にそのプローブ溶液を吐出する吐出口４０１ａを有している。さらに、この液体吐出チップ４０１は、吐出エネルギーを印加するヒーター（図示せず）を内包している。この液体吐出チップ４０１が積層されているチッププレート４０２は、液体吐出チップ４０１を他の部品（例えば液体吐出ユニットの筐体４０３）に接合するときの熱膨張差を吸収する。液体吐出チップ４０１には、筐体４０３およびチッププレート４０２を介して液体が供給されるとともに、液体吐出信号が伝えられる。この液体吐出ユニットの各吐出口４０１ａ間の間隔を各供給口間の間隔と同一にすると、構造を簡略化できる。
【特許文献１】特開平１１−１８７９００号公報
【特許文献２】特開２００２−２８１９６８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
前記した液体吐出ユニットにおいて、液体供給構造により各吐出口４０１ａ間の間隔を大きく取ることが望まれる場合がある。各吐出口４０１ａ間の間隔が大きくなると、ウェハー上の空きスペース（未使用領域）が増大し、ウェハーの使用効率が低くなりコストアップの原因となってしまう。図７は、１つのウェハー４０５から、従来の液体吐出ユニットに用いられる複数の液体吐出チップ４０１を製造する工程を説明するための模式図である。液体吐出チップ４０１の面積が大きいと、１つのウェハー４０５から製造できる液体吐出チップ４０１の数が少なくなり、ウェハー４０５内の未使用領域４０６が広くなっている。
【０００９】
この液体吐出ユニットは、１枚の液体吐出チップ４０１に多数の吐出口４０１ａおよびヒーターを有し、多数の吐出口４０１ａおよびヒーターのうちの１つでも不良であると、その液体吐出チップが不良品とみなされるので、歩留まりが悪い。
【００１０】
液体供給の効率向上などのために供給口の径を大きくすると、各吐出口４０１ａ間の間隔が大きくなり、液体吐出チップ４０１の大型化を招く。また、プローブ・アレイにおいて検査対象を増やしたり検査精度を向上させるためにプローブ数を増加させたい場合には、そのプローブ・アレイを製造するための液体吐出ユニットの吐出口４０１ａの数を増やすことが求められる。吐出口４０１ａの数を増やすと、当然液体吐出チップ４０１は大型化する。液体吐出チップ４０１が大型化すると、１枚のウェハー４０５から得られる液体吐出チップ４０１の数を減らさざるを得ない場合があり、その場合には製造コストが増大する。あるいは、ウェハー４０５のサイズを大きくする必要があり、その場合には、ウェハー４０５のサイズに対応した半導体製造装置が新たに必要になる。液体吐出チップ４０１の大きさはウェハー４０５のサイズにより制限されるため、当然のことながら、現在使用されている最大のウェハーよりも大きな液体吐出チップは作製できない。
【００１１】
本発明の目的は、製造コストを増大させることなく、各吐出口間の間隔が大きくても各吐出口の配置を比較的自由に行うことができ、所望のプローブ・アレイを容易に製造できる液体吐出ユニットおよびその製造方法と、プローブ・アレイ作製装置およびプローブ・アレイ作製方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明は、互いに種類の異なる複数のプローブを基板上に２次元アレイ状に固定するための、プローブ・アレイ作製装置用の液体吐出ユニットにおいて、各プローブを形成するためのプローブ溶液が供給される供給口と、プローブ溶液を吐出する吐出口とが設けられた液体吐出チップが、共通の支持体上に複数並べて配置されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によると、プローブ溶液を吐出するための吐出口と供給口とを有する液体吐出チップを必要最小限の面積にして、１つのウェハーから多数の液体吐出チップを作製することが可能になる。また、小型の液体吐出チップの配置を適宜に変更することにより、様々な形状のプローブ・アレイの作製に対応することが容易にできる。さらに、吐出口の詰まり等の不良が発生した場合に、複数の液体吐出チップのうちの不良の生じたもののみを排除・交換できるので、液体吐出ユニットの歩留まりの向上につながる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
【００１５】
（第１の実施形態）
図１（ａ）は、本発明の第１の実施形態の液体吐出ユニットの要部の斜視図である。この液体吐出ユニットは、複数の液体吐出チップ１０１と１つのチッププレート１０２とが接合された構成である。図１（ｂ）は、この液体吐出ユニットの液体吐出チップ１０１の拡大図である。各液体吐出チップ１０１は、オリフィスプレート１０１ａとＳｉ単結晶基板１０１ｂが積層された構成である。そしてこの液体吐出チップ１０１は、液体を吐出するための１つの吐出口１０３を表面側に有し、液体を供給するための１つの供給口１０４を裏面側に備えている。吐出口１０３と供給口１０４は、流路１０８を介して連通している。図示しないが、流路１０８内には、液体に吐出エネルギーを付与する記録素子であるヒーター（発熱素子）が配設されている。チッププレート１０２は、各液体吐出チップ１０１の供給口１０４に液体を供給するための穴（図示せず）を有している。
【００１６】
本実施形態では、液体吐出チップ１０１が４×４の２次元アレイ状に配列され、１つのチッププレート１０２にそれぞれフリップチップ接合されている。従って、本実施形態の液体吐出ユニットは、１６個の吐出口１０３および供給口１０４を有する構成である。
【００１７】
液体吐出チップ１０１の吐出口１０３と対向する位置にヒーターが配置されている。図示しないが、ヒーターに接続されている配線パターンは、液体吐出チップ１０１を貫通する穴を通って裏面に延び、接続用のバンプ（電気接続部）に接続されている。チッププレート１０２上には、バンプに当接するパッドが配置されており、このパッドは、チッププレート１０２の表面に印刷された配線パターンに接続されている。従って、外部から入力される信号は、チッププレート１０２の表面の配線パターンから、パッドおよびバンプを介して液体吐出チップ１０１の配線パターンに伝わり、さらに、ヒーターに伝達される。プローブ用のＤＮＡを含む液体（プローブ溶液）が供給口１０４から供給された状態で、外部からの信号がヒーターに伝達されることによってヒーターが発熱すると、プローブ溶液が発泡する。この発泡圧によって、プローブ溶液を吐出口１０３から外部に吐出することができる。
【００１８】
この液体吐出ユニットを用いて、ガラス基板等の固相基板の表面にプローブ用のＤＮＡを付着させることによって、多数（本実施形態では１６個）のＤＮＡプローブ１０５を実質的に同時に形成できる。従って、図２に示すプローブ・アレイ（ＤＮＡマイクロチップ）１０６を容易に製造できる。特に、各液体吐出チップ１０１の供給口１０４にそれぞれ異なるＤＮＡを含む溶液を供給することにより、１つのプローブ・アレイ１０６に、互いに種類の異なる多数のＤＮＡプローブ１０５を容易に形成できる。
【００１９】
なお、ＤＮＡプローブ１０５の数がもっと多いプローブ・アレイ１０６を製造したい場合には、チッププレート１０２に接合する液体吐出チップ１０１の数を増やせばよい。また、ＤＮＡプローブ１０５の数がもっと少ないプローブ・アレイ１０６を製造したい場合には、チッププレート１０２に接合する液体吐出チップ１０１の数を減らせばよい。本実施形態では、ＤＮＡプローブ１０５を形成するための吐出口１０３の数を１個単位で増減できるので、所望の数のＤＮＡプローブ１０５を容易に製造できる。
【００２０】
また、本実施形態によると、個々の液体吐出チップ１０１ごとに電気的な不良や吐出口の形状不良を判定して排除することができる。従って、液体吐出ユニットを組み立てた段階で、不良の液体吐出チップ１０１が含まれることが防げ、液体吐出チップ１０１の歩留まりが液体吐出ユニットの歩留まりに直結することはない。また、従来のように吐出口およびヒーター等が１つでも不良であると液体吐出ユニット全体が不良となるのではなく、多数の液体吐出チップ１０１のうち、不良と判定されたもののみを交換すればよいので無駄が生じない。
【００２１】
次に、この液体吐出ユニットの液体吐出チップ１０１を製造する方法について説明する。
【００２２】
図３は、１枚のＳｉ単結晶のウェハー１０７から、多数の液体吐出チップ１０１を得る方法を示す概略図である。本実施形態では、個々の液体吐出チップ１０１の面積が小さいため、１枚のウェハー１０７上における液体吐出チップ１０１のレイアウトがかなり自由に行える。そして、それぞれの液体吐出チップ１０１を切断して分離させることによって、多数の液体吐出チップ１０１を得ることができる。それに伴って、ウェハー１０７の未使用領域１０７ａが小さくて済み、製造コストが低く抑えられる。液体吐出チップ１０１の大きさは、液体吐出ユニット内の吐出口１０３の配列にあまり影響されない。
【００２３】
具体例としては、直径６インチ（約１５２ｍｍ）の略円形のウェハー１０７上に、吐出口が２．８８ｍｍピッチで３２行×３２列の２次元アレイ状に配置された液体吐出チップを得る場合を考察する。この場合には、１つのウェハー１０７から１枚の液体吐出チップしか得ることができない。これに対し、２．８８ｍｍ×２．８８ｍｍの大きさであり１つの吐出口１０３のみを備えた本実施形態の液体吐出チップ１０１を１枚のウェハー１０７上にレイアウトすると、１７１６個の液体吐出チップ１０１が得られる。前者の場合、１枚のウェハー１０７から３２×３２＝１０２４個の吐出口が形成されることになるが、後者（本実施形態）の場合、１枚のウェハー１０７から１７１６個の吐出口が形成でき、約１．７倍の使用効率になる。なお、この液体吐出チップ１０１の大きさは、ダイシング時の切り代を含んでいるが、液体吐出チップ１０１の大きさをさらに小さくして、ウェハー１０７の使用効率をより高めることもできる。例えば、１つの液体吐出チップ１０１の大きさを２．５０ｍｍ×２．５０ｍｍ（ダイシング時の切り代を含む）にすると、約２３００個の液体吐出チップ１０１が１つのウェハー１０７から得られる。
【００２４】
こうして得られた複数の液体吐出チップ１０１を、１つのチッププレート１０２の同一平面上に、平面的に２次元アレイ状に並べて配置して接合するとともに、図示しない配線パターン（またはボンディングワイヤー）等を用いて、ヒーターの電気接続を行う。このようにして、図１（ａ）に示す液体吐出ユニットが製造できる。
【００２５】
さらに、この液体吐出ユニットを、図示しない保持装置に取り付けることによって、プローブ・アレイ作製装置が構成される。このプローブ・アレイ作製装置の各供給口１０４に、互いに種類の異なる様々なプローブ溶液をそれぞれ供給し、ヒーターを駆動して各プローブ溶液を各吐出口１０３から固相基板に吐出して付着させることができる。こうして、所望のプローブ・アレイを製造することができる。
【００２６】
なお、本実施形態の液体吐出チップ１０１では、吐出口１０３と供給口１０４が１対１で対応している。しかし、１つの供給口１０４に対して、同様な吐出口１０３を複数個設けておくと、仮に１つの吐出口１０３が異物により詰まった場合でも、他の吐出口１０３を代替として使用して、液体の吐出を滞りなく行うことができる。すなわち、他の吐出口を予備の吐出口として用いることができる。
【００２７】
（第２の実施形態）
図４（ａ）は、本発明の第２の実施形態の液体吐出ユニットの要部の斜視図であり、図４（ｂ）は、この液体吐出ユニットの液体吐出チップ２０１の拡大図である。本実施形態の液体吐出チップ２０１は、オリフィスプレート２０１ａとＳｉ単結晶基板２０１ｂが積層された構成であり、表面側に４つの吐出口２０３を有し、裏面側に４つの供給口２０４を備えている。各吐出口２０３と各供給口２０４は、それぞれ１対１に対応しており、流路２０８を介して連通している。流路２０８内にはヒーターが配設されている。そして、４つの吐出口２０３および供給口２０４を有する液体吐出チップ２０１が、３×３の２次元アレイ状に配列され、１つのチッププレート１０２にそれぞれフリップチップ接合されている。従って、本実施形態の液体吐出ユニットは、３６個の吐出口２０３および供給口２０４を有する構成である。
【００２８】
本実施形態の液体吐出ユニットは、図６に示す従来の液体吐出ユニットと、図１に示す第１の実施形態の液体吐出ユニットの中間的な構成である。すなわち、第１の実施形態のように１つの吐出口１０３と１つの供給口１０４のみを有する液体吐出チップ１０１を大量に用いる構成では、組み立て工程が非常に煩雑になる場合がある。そこで、本実施形態では、少数（例えば４つ）の吐出口２０３および供給口２０４を有する液体吐出チップ２０１を用いることによって、第１の実施形態に比べると組み立て工程が簡単になる。しかも、従来の構成に比べると、液体吐出チップ２０１が小型でウェハーの使用効率を向上できるとともに、不良品の排除や交換が容易に、かつ無駄を少なくして行える。
【００２９】
この液体吐出チップ２０１を用いる場合、例えば、１つの液体吐出チップ２０１の４つの供給口２０４に、アデニン、グアニン、シトシン、およびチミンの４種類の塩基（Ａ，Ｔ，Ｃ，Ｇ）をそれぞれ供給してもよい。その場合、各吐出口２０３からそれぞれの塩基を吐出すると、吐出された塩基の逐次伸長反応によりＤＮＡを合成することができる。全ての液体吐出チップ２０１において、これらの４つの塩基を各供給口２０４にそれぞれ供給するようにしてもよい。
【００３０】
なお、１つの液体吐出チップ２０１に設けられる供給口２０４および吐出口２０３の数は４つに限られず、必要に応じて任意の数の供給口２０４および吐出口２０３の数を有するように設計することが可能である。
【００３１】
以上説明した内容以外の構成および方法については、第１の実施形態と同様であるので説明を省略する。
【００３２】
（第３の実施形態）
図５は、本発明の第３の実施形態の液体吐出ユニットの要部の斜視図である。本実施形態の液体吐出チップ３０１は、大型の液体吐出チップ３０１Ａと小型の液体吐出チップ３０１Ｂとを含んでいる。液体吐出チップ３０１Ａ，３０１Ｂのいずれも１つの吐出口３０３および１つの供給口（図示せず）を有しているが、液滴吐出量が異なっている。図示しないが、液滴吐出量が互いに異なるためそれらの液体消費量に合わせて、供給口のサイズは、液体吐出チップ３０１Ａと３０１Ｂで互いに異なっている。
【００３３】
本実施形態では、液滴吐出量の大きい液体吐出チップ３０１Ａが、チッププレート１０２の外周４辺に沿って、各辺に４つずつの矩形状に配列されている。そして、この液体吐出チップ３０１Ａが構成する矩形の内側に、液滴吐出量の小さい液体吐出チップ３０１Ｂが、５×４の２次元アレイ状に配列されている。
【００３４】
従来の液体吐出ユニットでは、全ての吐出口を一体的に作成するため、厚さ方向の寸法を吐出口毎に変更することは製法上困難であった。本実施形態では、液滴吐出量の大きい液体吐出チップと液滴吐出量の小さい液体吐出チップとを個別に作成した後に組み合わせるため、１つの液体吐出ユニットの中に、液滴吐出量の大きい吐出口３０３と液滴吐出量の小さい吐出口３０３とを混在させることができる。しかも、液滴吐出量の大きい吐出口３０３と液滴吐出量の小さい吐出口３０３とのそれぞれの配置を、比較的自由に設定することができる。
【００３５】
例えば、位置読み取り検出用のマークを、プローブ・アレイの外周部に、プローブ溶液と同様に液滴吐出によって形成する場合がある。その場合、マークの読み取りを確実に行うためには、大液滴により大きなマークを形成する必要がある。このような場合に、本実施形態の構成は特に有効である。また、反応性の低いプローブ溶液を用いてＤＮＡプローブを形成する場合には、液滴吐出量が大きくなければならないことがある。このような場合にも、本実施形態の構成は有効である。本実施形態によると、液滴吐出量の異なる液体吐出チップを任意に配置することができるので、使用目的に合わせた液体吐出ユニットを製造することが容易にできる。
【００３６】
以上説明した内容以外の構成および方法については、第１，２の実施形態と同様であるので説明を省略する。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】（ａ）は本発明の第１の実施形態の液体吐出ユニットの斜視図、（ｂ）はその液体吐出チップの拡大斜視図である。
【図２】図１に示す液体吐出ユニットにより形成されたプローブ・アレイの斜視図である。
【図３】１枚のウェハーにおける、図２に示す液体吐出チップのレイアウトを示す模式図である。
【図４】（ａ）は本発明の第２の実施形態の液体吐出ユニットの斜視図、（ｂ）はその液体吐出チップの拡大斜視図である。
【図５】本発明の第３の実施形態の液体吐出ユニットの斜視図である。
【図６】従来の液体吐出ユニットの斜視図である。
【図７】１枚のウェハーにおける、図６に示す従来の液体吐出ユニットの液体吐出チップのレイアウトを示す模式図である。
【符号の説明】
【００３８】
１０１，２０１，３０１Ａ，３０１Ｂ 液体吐出チップ
１０２ チッププレート
１０３，２０３，３０３ 吐出口
１０４，２０４ 供給口
１０５ ＤＮＡプローブ
１０６ プローブ・アレイ（ＤＮＡマイクロチップ）
１０７ ウェハー
１０８，２０８ 流路
【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに種類の異なる複数のプローブを基板上に２次元アレイ状に固定するための、プローブ・アレイ作製装置用の液体吐出ユニットであって、
各プローブを形成するためのプローブ溶液が供給される供給口と、前記プローブ溶液を吐出する吐出口とが設けられた液体吐出チップが、共通の支持体上に複数並べて配置されている、液体吐出ユニット。
【請求項２】
１つの前記液体吐出チップに、１つの前記吐出口と１つの前記供給口が設けられている、請求項１に記載の液体吐出ユニット。
【請求項３】
１つの前記液体吐出チップに、複数の前記吐出口と、該吐出口と同数の前記供給口が設けられており、前記各吐出口と前記各供給口は、互いに独立した流路によってそれぞれ連通している、請求項１に記載の液体吐出ユニット。
【請求項４】
１つの前記液体吐出チップに、少なくとも１つの前記供給口と、該供給口よりも多い前記吐出口が設けられており、複数の前記吐出口のうちの一部は予備の吐出口である、請求項１に記載の液体吐出ユニット。
【請求項５】
複数の前記液体吐出チップは、液滴吐出量が多い液体吐出チップと、液滴吐出量が少ない液体吐出チップとを含んでいる、請求項１から４のいずれか１項に記載の液体吐出ユニット。
【請求項６】
前記液体吐出チップの各々は、前記プローブ溶液に吐出エネルギーを付与する記録素子を有している、請求項１から５のいずれか１項に記載の液体吐出ユニット。
【請求項７】
前記液体吐出チップは、前記吐出口の形成面の反対側の面に設けられた電気接続部と、前記記録素子と前記電気接続部とを接続する配線パターンとを有する、請求項６に記載の液体吐出ユニット。
【請求項８】
請求項１から７のいずれか１項に記載の液体吐出ユニットを有する、プローブ・アレイ作製装置。
【請求項９】
互いに種類の異なる複数のプローブを基板上に２次元アレイ状に固定するための、プローブ・アレイ作製装置用の液体吐出ユニットの製造方法であって、
液体吐出チップに、各プローブを形成するためのプローブ溶液が供給される供給口と、前記プローブ溶液を吐出する吐出口とを形成する工程と、
複数の前記液体吐出チップを、共通の支持体上に並べて接合する工程と、
を含む、液体吐出ユニットの製造方法。
【請求項１０】
互いに種類の異なる複数のプローブを固相基板上に２次元アレイ状に固定するプローブ・アレイ作製方法であって、
請求項８に記載のプローブ・アレイ作製装置の前記液体吐出ユニットの前記吐出口に対向する位置に前記固相基板を保持し、前記液体吐出チップから前記固相基板に前記プローブ溶液を吐出して付着させる、プローブ・アレイ作製方法。
【請求項１１】
前記複数の液体吐出チップの前記供給口に、互いに異なる種類の前記プローブ溶液を供給する、請求項１０に記載のプローブ・アレイ作製方法。
【請求項１２】
１つの前記液体吐出チップに、複数の前記吐出口と複数の前記供給口を設けておき、該複数の前記供給口にはそれぞれ種類の異なる前記プローブ溶液を供給し、
前記液体吐出チップの複数の前記供給口にそれぞれ供給する前記プローブ溶液の種類の組み合わせを、全ての前記液体吐出チップにおいて同一の組み合わせにする、請求項１０に記載のプローブ・アレイ作製方法。
【請求項１】
互いに種類の異なる複数のプローブを基板上に２次元アレイ状に固定するための、プローブ・アレイ作製装置用の液体吐出ユニットであって、
各プローブを形成するためのプローブ溶液が供給される供給口と、前記プローブ溶液を吐出する吐出口とが設けられた液体吐出チップが、共通の支持体上に複数並べて配置されている、液体吐出ユニット。
【請求項２】
１つの前記液体吐出チップに、１つの前記吐出口と１つの前記供給口が設けられている、請求項１に記載の液体吐出ユニット。
【請求項３】
１つの前記液体吐出チップに、複数の前記吐出口と、該吐出口と同数の前記供給口が設けられており、前記各吐出口と前記各供給口は、互いに独立した流路によってそれぞれ連通している、請求項１に記載の液体吐出ユニット。
【請求項４】
１つの前記液体吐出チップに、少なくとも１つの前記供給口と、該供給口よりも多い前記吐出口が設けられており、複数の前記吐出口のうちの一部は予備の吐出口である、請求項１に記載の液体吐出ユニット。
【請求項５】
複数の前記液体吐出チップは、液滴吐出量が多い液体吐出チップと、液滴吐出量が少ない液体吐出チップとを含んでいる、請求項１から４のいずれか１項に記載の液体吐出ユニット。
【請求項６】
前記液体吐出チップの各々は、前記プローブ溶液に吐出エネルギーを付与する記録素子を有している、請求項１から５のいずれか１項に記載の液体吐出ユニット。
【請求項７】
前記液体吐出チップは、前記吐出口の形成面の反対側の面に設けられた電気接続部と、前記記録素子と前記電気接続部とを接続する配線パターンとを有する、請求項６に記載の液体吐出ユニット。
【請求項８】
請求項１から７のいずれか１項に記載の液体吐出ユニットを有する、プローブ・アレイ作製装置。
【請求項９】
互いに種類の異なる複数のプローブを基板上に２次元アレイ状に固定するための、プローブ・アレイ作製装置用の液体吐出ユニットの製造方法であって、
液体吐出チップに、各プローブを形成するためのプローブ溶液が供給される供給口と、前記プローブ溶液を吐出する吐出口とを形成する工程と、
複数の前記液体吐出チップを、共通の支持体上に並べて接合する工程と、
を含む、液体吐出ユニットの製造方法。
【請求項１０】
互いに種類の異なる複数のプローブを固相基板上に２次元アレイ状に固定するプローブ・アレイ作製方法であって、
請求項８に記載のプローブ・アレイ作製装置の前記液体吐出ユニットの前記吐出口に対向する位置に前記固相基板を保持し、前記液体吐出チップから前記固相基板に前記プローブ溶液を吐出して付着させる、プローブ・アレイ作製方法。
【請求項１１】
前記複数の液体吐出チップの前記供給口に、互いに異なる種類の前記プローブ溶液を供給する、請求項１０に記載のプローブ・アレイ作製方法。
【請求項１２】
１つの前記液体吐出チップに、複数の前記吐出口と複数の前記供給口を設けておき、該複数の前記供給口にはそれぞれ種類の異なる前記プローブ溶液を供給し、
前記液体吐出チップの複数の前記供給口にそれぞれ供給する前記プローブ溶液の種類の組み合わせを、全ての前記液体吐出チップにおいて同一の組み合わせにする、請求項１０に記載のプローブ・アレイ作製方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【公開番号】特開２００８−１４５２４３（Ｐ２００８−１４５２４３Ａ）
【公開日】平成２０年６月２６日（２００８．６．２６）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００６−３３２１３８（Ｐ２００６−３３２１３８）
【出願日】平成１８年１２月８日（２００６．１２．８）
【出願人】（０００００１００７）キヤノン株式会社 (59,756)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２０年６月２６日（２００８．６．２６）
【国際特許分類】
【出願日】平成１８年１２月８日（２００６．１２．８）
【出願人】（０００００１００７）キヤノン株式会社 (59,756)
【Ｆターム（参考）】
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