ペースト吐出装置、ペースト塗布装置及びペースト塗布方法
【課題】線塗布及び点塗布のどちらの塗布でも精度良く塗布を行う。
【解決手段】ペースト吐出装置４は、上端が開口する断面円形の液室１２ａ及びこの液室１２ａ内のペーストを吐出するノズルＮを有する本体１２と、液室１２ａに供給するペーストを貯留するシリンジ１１と、そのシリンジ１１内に加圧気体を供給する気体供給部１１ａとを備える。本体１２は、回転駆動によってペーストをノズルＮへと送るスクリュー１３を液室１２ａ内に着脱可能に構成されると共に、そのスクリュー１３を離脱させた状態において液室１２ａの開口を塞ぐ蓋部材を着脱可能に構成されている。
【解決手段】ペースト吐出装置４は、上端が開口する断面円形の液室１２ａ及びこの液室１２ａ内のペーストを吐出するノズルＮを有する本体１２と、液室１２ａに供給するペーストを貯留するシリンジ１１と、そのシリンジ１１内に加圧気体を供給する気体供給部１１ａとを備える。本体１２は、回転駆動によってペーストをノズルＮへと送るスクリュー１３を液室１２ａ内に着脱可能に構成されると共に、そのスクリュー１３を離脱させた状態において液室１２ａの開口を塞ぐ蓋部材を着脱可能に構成されている。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、ペースト吐出装置、ペースト塗布装置及びペースト塗布方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ペースト塗布装置は、液晶表示装置や半導体装置などの様々な電気機器を製造するために用いられており、このペースト塗布装置は、塗布対象物に対して流動性材料であるペーストを吐出するペースト吐出装置（例えば、ディスペンサなど）を備えており、そのペースト吐出装置と塗布対象物とを相対移動させ、塗布対象物上にペーストを塗布して所定の塗布パターン（ペーストパターン）を形成する。
【０００３】
ここで、粘性の高い液体材料を定量に吐出する方法としては、一般的にスクリュー方式のペースト吐出装置が用いられている（例えば、特許文献１参照）。このスクリュー方式のペースト吐出装置は、ペーストを吐出するノズルと、そのノズルに連通してペーストを収容する液室と、その液室内に回転可能に設けられたスクリューと、そのスクリューを回転させるモータとを備えている。このペースト吐出装置は、スクリューの回転によりノズルから塗布対象物に向け、スクリューの回転量に応じた量のペーストを吐出する。
【０００４】
通常、液晶表示装置などの製造工程では、二種類の塗布が要求されている。そのうちの一つの塗布は、基板の外周あるいは基板に形成された表示領域の外周に沿って接着剤を塗布し、閉ループ（例えば、長方形状の閉ループ）のパターンを形成する線塗布（ライン塗布）である。また、他の一つの塗布は、ＴＦＴ基板とカラーフィルタ間において導通を取るため、導電性材料を塗布してドットパターンを形成する点塗布（ドット塗布）である。
【０００５】
ここで、前者の線塗布では、線状パターンの描画中、所定の吐出量を安定して維持することが要求される。このような線塗布にスクリュー方式のペースト吐出装置を用いる場合、スクリューと液室との隙間をある程度広げることが好ましい。一方、後者の点塗布では、少量の塗布で精度の高い均一な円形のドットパターンが要求される。このような点塗布にスクリュー方式のペースト吐出装置を用いる場合には、液体材料を安定的に吐出するため、スクリューと液室との隙間を極力狭くすることが好ましい。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平４−４９１０８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
このように、線塗布と点塗布とではスクリュー方式のペースト吐出装置に求められる構造が相反するため、単一のペースト吐出装置で線塗布と点塗布を精度良く行うことは困難であった。
【０００８】
本発明が解決しようとする課題は、線塗布及び点塗布のどちらの塗布でも精度良く塗布を行うことができるペースト吐出装置、ペースト塗布装置及びペースト塗布方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の実施形態に係るペースト吐出装置は、上端が開口する断面円形の液室及びこの液室内のペーストを吐出するノズルを有する本体と、液室に供給するペーストを貯留するシリンジと、シリンジ内に加圧気体を供給する気体供給部とを備え、本体は、回転駆動によってペーストをノズルへと送るスクリューを液室内に着脱可能に構成されると共に、スクリューを離脱させた状態において液室の開口を塞ぐ蓋部材を着脱可能に構成されている。
【００１０】
本発明の実施形態に係るペースト塗布装置は、ノズルからペーストを吐出させて塗布対象物上に塗布するペースト塗布装置であって、ノズル及びこのノズルに連通して上端が開口する断面円形の液室を有する本体と、液室に供給するペーストを貯留するシリンジと、シリンジ内に加圧気体を供給する気体供給部と、液室内に挿設可能に設けられ、回転駆動によって液室内のペーストをノズルへと送るスクリューと、スクリューに連結されるモータと、気体供給部及びモータを制御可能な制御装置とを備え、本体は、スクリューを液室内に着脱可能に構成されると共に、スクリューを離脱させた状態において液室の開口を塞ぐ蓋部材を着脱可能に構成されており、制御装置は、液室にスクリューが挿設されたときには、モータを制御してスクリューの回転駆動による送り出しによってノズルからペーストを吐出させ、液室からスクリューが取り外されて液室の開口が蓋部材によって塞がれたときには、気体供給部を制御して加圧気体の供給による押し出しによってノズルからペーストを吐出させる。
【００１１】
本発明の実施形態に係るペースト塗布方法は、ノズルからペーストを吐出させて塗布対象物上に塗布するペースト塗布方法であって、塗布対象物上に線状のパターンでペーストを塗布するときには、スクリューの回転駆動による送り出しによってノズルからペーストを吐出させ、塗布対象物上に点状のパターンでペーストを塗布するときには、スクリューを取り外し、加圧気体の供給による押し出しによってノズルからペーストを吐出させる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、線塗布及び点塗布のどちらの塗布でも精度良く塗布を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の実施の一形態に係るペースト塗布装置の概略構成を示す外観斜視図である。
【図２】図１に示すペースト塗布装置が備えるスクリュー方式のペースト吐出装置の概略構成を示す図である。
【図３】図２に示すペースト吐出装置が備える本体と支持部材とを示す分解斜視図である。
【図４】図２に示すペースト吐出装置が備える本体と蓋部材とを示す分解斜視図である。
【図５】図１に示すペースト塗布装置が備えるエアー方式のペースト吐出装置の概略構成を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
本発明の実施の一形態について図面を参照して説明する。
【００１５】
図１に示すように、本実施形態に係るペースト塗布装置１は、基板などの塗布対象物Ｗが載置されるステージ２と、そのステージ２を保持してＸ軸方向及びＹ軸方向に移動させるステージ移動装置３と、ステージ２上の塗布対象物Ｗにペーストを塗布する複数（図１では、二個）のペースト吐出装置（塗布ヘッド）４と、それらのペースト吐出装置４をＸ軸方向及びＺ軸方向に移動させるヘッド移動装置５と、そのヘッド移動装置５と共に各ペースト吐出装置４を支持するヘッド支持部６と、ステージ移動装置３やヘッド支持部６を支持する架台７と、各部を制御する制御装置８とを備えている。
【００１６】
ステージ２は、塗布対象物Ｗが載置される載置面を有しており、ステージ移動装置３上に設けられている。このステージ２には、塗布対象物Ｗを自重により載置しているが、これに限るものではなく、例えば、その塗布対象物Ｗを保持するために静電チャックや吸着チャックなどの機構を設けても良い。なお、塗布対象物Ｗが基板である場合には、その基板は水平状態（図１中、Ｘ軸方向とそれに直交するＹ軸方向に沿う状態）でステージ２上に載置される。
【００１７】
ステージ移動装置３は、ステージ２を保持してＸ軸方向に移動させるステージＸ軸移動機構３ａと、そのステージＸ軸移動機構３ａと共にステージ２をＹ軸方向に移動させるステージＹ軸移動機構３ｂとを有しており、架台７の上面に固定されている。このステージ移動装置３は制御装置８に電気的に接続されており、その駆動が制御装置８により制御される。ステージＸ軸移動機構３ａやステージＹ軸移動機構３ｂとしては、例えば、サーボモータを駆動源とする送りねじ式の移動機構やリニアモータを駆動源とするリニアモータ式の移動機構などを用いることが可能である。
【００１８】
各ペースト吐出装置４は、ステージ２上の塗布対象物Ｗに向けてペーストを吐出するノズルＮを備える（詳しくは、後述する）。これらのペースト吐出装置４はヘッド移動装置５に取り付けられ、制御装置８に電気的に接続されており、その駆動が制御装置８により制御される。
【００１９】
ここで、ペーストとしては、例えば、接着剤や導電性材料などの液体材料（液体状の材料）を用いることが可能である。特に、ＴＦＴ基板とカラーフィルタとの貼り合わせのための線塗布を行う場合には、接着性とシール性を備えたシール剤を用いる。また、ＴＦＴ基板とカラーフィルタとの導通を取るための点塗布を行う場合には、銀ペーストなどの導電性材料を用いたりする。
【００２０】
ヘッド移動装置５は、各ペースト吐出装置４をＺ軸方向にそれぞれ移動可能に支持する複数（図１では、二個）のヘッドＺ軸移動機構５ａと、それらのヘッドＺ軸移動機構５ａをＸ軸方向に個別に移動させるヘッドＸ軸移動機構５ｂとを有する。このヘッドＸ軸移動機構５ｂは、ヘッド支持部６のステージ２側の面（前面）に設けられている。このヘッド移動装置５は制御装置８に電気的に接続されており、その駆動が制御装置８により制御される。ヘッドＺ軸移動機構５ａやヘッドＸ軸移動機構５ｂとしては、例えば、サーボモータを駆動源とする送りねじ式の移動機構やリニアモータを駆動源とするリニアモータ式の移動機構などを用いることが可能である。
【００２１】
ヘッド支持部６は、Ｘ軸方向に長尺な門型の形状に形成されており、架台７上のステージ移動装置３を跨ぐように架台７の上面に設けられている。このヘッド支持部６の梁部はＸ軸方向に平行にステージ２の載置面に対して水平にされ、ヘッド支持部６の脚部は架台７の上面に固定されている。
【００２２】
架台７は、床面上に設置され、ステージ移動装置３やヘッド支持部６などを床面から所定の高さ位置に支持する支持台である。架台７の上面は平面に形成されており、この架台７の上面にステージ移動装置３やヘッド支持部６などが設けられている。また、架台７の内部には、制御装置８が設けられている。
【００２３】
制御装置８は、各部を集中的に制御する制御部、各種情報や各種プログラムなどを記憶する記憶部、さらに、操作者からの入力操作を受け付ける操作部（いずれも図示せず）などを備えている。前述の各種情報には塗布情報が含まれている。この塗布情報としては、線塗布用の塗布パターンや点塗布用の塗布パターン、描画速度（ステージ２の移動速度）などに関する情報があり、それらの情報はあらかじめ記憶部に記憶されている。なお、記憶部としては、メモリやハードディスクドライブ（ＨＤＤ）などを用いることが可能である。
【００２４】
この制御装置８は、各種情報や各種プログラムに基づいてステージ移動装置３や各ペースト吐出装置４、ヘッド移動装置５などを制御し、各ペースト吐出装置４のノズルＮとステージ２上の塗布対象物Ｗとをその塗布対象物Ｗの表面に沿って平行に相対移動させ、線塗布あるいは点塗布を行う。なお、ペースト吐出装置４のノズルＮには、レーザ変位計などの距離測定器（図示せず）が一体的に設けられている。この距離測定器は、ステージ２上の塗布対象物Ｗの表面までの離間距離を測定するものであり、制御装置８は、その距離測定器により測定された離間距離に応じたフィードバック制御を行うことによって、ノズルＮと塗布対象物Ｗの表面とのギャップを所定値に維持する（ギャップ制御）。
【００２５】
次に、前述のペースト吐出装置４について図２ないし図５を参照して詳しく説明する。なお、図２及び図５では、ペースト吐出装置４の一部の内部構造を視認可能にするため、その一部を切り欠いている。
【００２６】
図２に示すように、ペースト吐出装置４は、ペーストを貯留するシリンジ１１と、そのシリンジ１１に貯留されたペーストが供給される本体１２と、その本体１２内のペーストを吐出するノズルＮと、本体１２に回転可能に設けられたスクリュー１３と、そのスクリュー１３を回転させるモータ１４と、スクリュー１３とモータ１４とを連結する軸継手１５と、シリンジ１１の内部と本体１２の内部とを接続する接続管１６とを備えている。
【００２７】
シリンジ１１は、本体１２と並列に設けられており、ペーストを貯留する貯留部として機能する。このシリンジ１１の上端部には、気体供給用の気体供給口Ｈ１が形成されており、シリンジ１１の下部には、ペースト供給用のペースト供給口Ｈ２が形成されている。気体供給口Ｈ１には、気体（例えば、窒素などの圧縮気体）を供給する気体供給部１１ａにつながるチューブなどの配管１１ｂの一端が接続されている。また、ペースト供給口Ｈ２には、接続管１６の一端が接続されている。
【００２８】
本体１２は、前述のシリンジ１１からペーストが供給される円筒状（断面円形）の液室１２ａを有している。この液室１２ａの上端部は本体１２の上面で開口しており、その下端部は、ノズルＮに連通する縮径部となっている。なお、液室１２ａの軸心とノズルＮの軸心とは一致している。本体１２のシリンジ１１側の側壁には、ペースト供給用のペースト流入口Ｈ３が形成されている。このペースト流入口Ｈ３は液室１２ａに連通する貫通孔であり、このペースト流入口Ｈ３に前述の接続管１６のもう一端が接続されている。このような本体１２は、支持部材として機能するＺテーブル２１に着脱可能に設けられている（詳しくは、後述する）。このＺテーブル２１は本体１２を支持するものであり、ヘッドＺ軸移動機構５ａによりＺ軸方向に移動するテーブルである。
【００２９】
スクリュー１３は、棒状の軸１３ａと、その軸１３ａの外周に沿って螺旋状の凸条が形成されて構成されたネジ部１３ｂと、帽子のつば状に形成されたフランジ部１３ｄとを有している。また、軸１３ａには軸受１３ｃが嵌め込まれており、この軸受１３ｃはフランジ部１３ｄに当接して軸方向の位置が定められている。この軸受１３ｃを液室１２ａの上端開口部に形成された大径凹部（軸受挿設孔）１２ｄに嵌め込むことで、軸１３ａはその軸心が液室１２ａの軸心に一致するように液室１２ａ内に位置付けられるとともに、液室１２ａに対する高さ方向の位置決めがなされる。このスクリュー１３が液室１２ａ内に回転可能に設けられ、さらに、軸継手１５に連結されている。
【００３０】
モータ１４は、液室１２ａの開口に向かってその液室１２ａの長手方向に延びる回転可能な回転軸１４ａを有している。このモータ１４は、Ｚテーブル２１に取り付けられた支持板２２に、回転軸１４ａを液室１２ａに向けて固定されて設けられている。すなわち、モータ１４は、回転軸１４ａの回転軸心と液室１２ａ（Ｚテーブル２１に固定された本体１２の液室１２ａ）の軸心とが一致するように支持板２２に固定される。モータ１４は制御装置８に電気的に接続されており、その駆動が制御装置８により制御される。このモータ１４が回転すると、回転軸１４ａ及び軸継手１５を介してスクリュー１３も回転する。
【００３１】
軸継手１５は、回転軸１４ａの液室１２ａ側の端部に設けられている。この軸継手はカップリングと呼ばれるものであり、ねじを締め付けることによってスクリュー１３の軸１３ａを固定し、ねじを緩めることによってスクリュー１３の軸１３ａの固定を解除することが可能になっている。なお、スクリュー１３の軸１３ａにおける軸継手１５との結合部において、軸１３ａ側には軸方向に沿う凸条が設けられており、軸継手１５側には凸条に合わせて溝が設けられている。これらの凸条と溝との嵌め合いによって軸１３ａの回転方向へのすべりを防止することができる。
【００３２】
このようなスクリュー方式のペースト吐出装置４では、閉ループ（例えば、長方形状の閉ループ）のパターンを形成する線塗布（ライン塗布）が行われるが、最初に、予備吐出動作が行われ、その後、本吐出動作が行われる。なお、本体１２の液室１２ａの壁面とスクリュー１３との間には、ペーストが充満される螺旋状の隙間が形成されており、この隙間にペーストを充填するための動作が予備吐出動作である。
【００３３】
この予備吐出動作では、気体供給部１１ａから配管１１ｂを介してシリンジ１１内に気体が供給される。このとき、モータ１４が回転し、そのモータ１４の回転に応じて液室１２ａ内のスクリュー１３が回転する。このスクリュー１３の回転はペーストが螺旋状の隙間に充満するまで持続され、さらに、ペーストがノズルＮから吐出された後も所定時間だけ持続される。このようにして、螺旋状の隙間内に空気を残留させることなく、ペーストを充満させることができる。
【００３４】
この予備吐出動作後、本吐出動作では、モータ１４が回転し、そのモータ１４の回転に応じてスクリュー１３が回転すると、前述の螺旋状の隙間に充填されたペーストがノズルＮから吐出される。このとき、スクリュー１３の回転量に応じた量のペーストがノズルＮから吐出されることになる。例えば、スクリュー１３が一回転すると、そのスクリュー１３のネジ部１３ｂのピッチ相当分のペーストがノズルＮから吐出される。このようにしてペースト吐出装置４はスクリュー１３の回転により機械的にペーストを連続的に押し出し、閉ループのパターンを形成する線塗布を行う。
【００３５】
なお、ペーストの単位時間当たりの吐出量は、モータ１４の回転速度（単位時間当たりの回転量）、すなわちスクリュー１３の回転速度に比例するので、スクリュー１３の回転速度を変えることによりノズルＮからのペーストの単位時間当たりの吐出量を調整することが可能である。このように、ペースト吐出装置４はスクリュー１３により機械的にペーストを押し出すことから、スクリュー１３の回転速度（回転量）に比例した吐出量を得ることができる。
【００３６】
次いで、前述のペースト吐出装置４の本体１２の着脱構造について詳しく説明する。
【００３７】
図３に示すように、Ｚテーブル２１におけるヘッドＺ軸移動機構５ａとは反対側に位置する面（上下方向に沿う面）は本体１２の取り付け面Ｍ１として形成される。そして、この取り付け面Ｍ１には、上下方向に沿って二本の凸条２１ａ、２１ｂが形成されている。また、本体１２におけるＺテーブル２１との当接面Ｍ２には、Ｚテーブル２１の各凸条２１ａ、２１ｂに対応する位置に二本の溝１２ｂ、１２ｃが形成されている。各溝１２ｂ、１２ｃの上端は、本体１２の上端に達しており、その下端は本体１２の下端に達していない。
【００３８】
Ｚテーブル２１に本体１２を取り付けるときには、Ｚテーブル２１の各凸条２１ａ、２１ｂに対して本体１２の各溝１２ｂ、１２ｃを合わせて、本体１２を下から上へスライドさせる。このとき、本体１２にスクリュー１３が取り付けられている場合には、この上側へのスライド移動によって、モータ１４の回転軸１４ａに取り付けられた軸継手１５にスクリュー１３の軸１３ａが嵌り込む。
【００３９】
ここで、Ｚテーブル２１の各凸条２１ａ、２１ｂの下端部と本体１２の各溝１２ｂ、１２ｃの下端部とが当接することで、Ｚテーブル２１に対する本体１２の上下方向の位置決めがなされる。さらに、横方向の位置決めは、各凸条２１ａ、２１ｂの側壁と各溝１２ｂ、１２ｃの側壁によってなされる。なお、本体１２の各溝１２ｂ、１２ｃは、Ｚテーブル２１に沿って移動する本体１２を液室１２ａの長手方向に案内して所定位置で停止させるための案内停止構造として機能するものである。このような凸条２１ａ、２１ｂと溝１２ｂ、１２ｃは、Ｚテーブル２１に対して本体１２を位置決めするための位置決め部材となる。
【００４０】
さらに、本体１２には、ボルトＢ１用の挿通孔Ｈ４が、スクリュー１３の挿設孔である液室１２ａを挟んで両側に設けられている。また、Ｚテーブル２１には、前述のボルトＢ１をねじ付けるためのねじ孔Ｈ５が二つの凸条２１ａ、２１ｂを挟んで両側に設けられている。なお、ボルトＢ１用の挿通孔Ｈ４とねじ孔Ｈ５とは、Ｚテーブル２１に対して本体１２が上下方向に位置決めされた状態でそれらの位置が一致するように設けられている。このＺテーブル２１に対する本体１２の位置決めがなされた状態で、ボルトＢ１のねじ付けによりＺテーブル２１に対して本体１２が固定される。
【００４１】
また、本体１２に対するスクリュー１３の上下方向の位置決めは、軸受１３ｃの下部が大径凹部（軸受挿設孔）１２ｄの底部に当接することでなされる。さらに、本体１２がＺテーブル２１にボルトＢ１で上下方向に固定された状態で、軸継手１５に対してスクリュー１３の軸１３ａを不図示のねじの締め付けによって固定することで、軸１３ａは上下方向に固定される。このようにして、本体１２に対してスクリュー１３の上下方向位置が固定される。
【００４２】
一方、図３に示すように、Ｚテーブル２１から本体１２が取り外された状態において、スクリュー１３が本体１２から引き抜かれると、そのスクリュー１３に固定された軸受１３ｃはスクリュー１３と一緒に本体１２からはずれる。つまり、軸受１３ｃの内周部はスクリュー１３の軸１３ａと固く嵌り合っており、軸受１３ｃの外周部は本体１２における液室１２ａの上端の大径凹部（軸受挿設孔）１２ｄに緩く嵌り合っている。
【００４３】
なお、前述の説明では、Ｚテーブル２１に凸条２１ａ、２１ｂを設けた例を説明したが、要は、本体１２を横方向と上下方向に位置決めできれば良いので、凸条２１ａ、２１ｂにかえて上下方向に二本のピンを設けるようにしても良い。例えば、ピンを凸条２１ａ、２１ｂの下端位置に一本、凸条２１ａ、２１ｂの上端位置に一本設け、下側のピンで上下方向の位置決めを行う。これ以外でも、Ｚテーブル２１に、本体１２の当接面Ｍ２がちょうど嵌り込む大きさの下向きコの字形状の凹部を形成し、この凹部内に本体１２を嵌め込むようにしても良い。また、Ｚテーブル２１に溝を形成し、本体１２に凸条を形成するようにしても良く、この場合には、Ｚテーブル２１の溝はそのＺテーブルの下端まで達する。
【００４４】
ここで、線塗布を行う場合には、前述のスクリュー方式のペースト吐出装置４が用いられるが、点塗布を行う場合には、そのペースト吐出装置４がエアー方式に変更される。このとき、スクリュー方式でもエアー方式でも、ボディである本体１２は共通して用いられる。
【００４５】
まず、接続管１６が本体１２のペースト流入口Ｈ３から抜かれ、次に、本体１２がスクリュー１３と共にＺテーブル２１から取り外される。さらに、スクリュー１３が本体１２から取り外される。このとき、スクリュー１３と一緒に軸受１３ｃも本体１２から外れる。一方、シリンジ１１は、その気体供給口Ｈ１から配管１１ｂが取り外され、線塗布用のシリンジから点塗布用のシリンジに交換される。
【００４６】
その後、図４に示すように、蓋部材３１が液室１２ａの開口を塞ぐように本体１２に取り付けられる。この蓋部材３１には、液室１２ａ内を密閉するためのＯリングなどの環状の封止部材３２が設けられている。この封止部材３２により、蓋部材３１が本体１２に取り付けられると、液室１２ａ内の気密性及び液密性などの密封性が確保される。
【００４７】
蓋部材３１は、本体１２に対してボルトＢ２で複数個所（図４では、二箇所）固定される。この蓋部材３１には、ボルトＢ２用の挿通孔Ｈ６が二つ設けられており、本体１２には、前述のボルトＢ２をねじ付けるためのねじ孔Ｈ７が液室１２ａの開口を挟んで二つ設けられている。ただし、蓋部材３１に設けた環状の封止部材３２と液室１２ａの壁面との間の摩擦によって蓋部材３１を充分に固定することが可能であれば、ボルトＢ２での固定を不要とすることができる。
【００４８】
このような蓋部材３１が取り付けられた本体１２がＺテーブル２１に取り付けられる。このとき、Ｚテーブル２１の各凸条２１ａ、２１ｂに対して本体１２の各溝１２ｂ、１２ｃが合わされ、本体１２が下から上へスライドさせられる（図３参照）。その後、Ｚテーブル２１に対する本体１２の位置決めがなされ、その状態でボルトＢ１をねじ付けることでＺテーブル２１に対して本体１２が固定される。最後に、点塗布用のシリンジ１１に接続された接続管１６が本体１２のペースト流入口Ｈ３に取り付けられるとともに、シリンジ１１の気体供給口Ｈ１に配管１１ｂが取り付けられる。これにより、エアー方式のペースト吐出装置４への切り換えが完成する（図５参照）。
【００４９】
なお、この切り換えに際し、本体１２には、線塗布用のペーストが付着しているので、Ｚテーブル２１に再び取り付けられる前に、液室１２ａなどに付着して残留するペーストの洗浄除去が行われる。また、スクリュー１３についても、次の線塗布に備えて、付着して残留するペーストが同様にして洗浄除去される。
【００５０】
ここで、蓋部材３１は、図５に示すように、その下端位置がシリンジ１１からの接続管１６の上端部、すなわちペースト流入口Ｈ３の上端部とほぼ一致する高さとなるように形成されている。この蓋部材３１の下端をペースト流入口Ｈ３の上端と一致する高さとすることは、液室１２ａ内においてペーストが貯留される空間の容積を極力小さくするためである。ペーストには弾性を有するものがあり、このようなペーストを用いた場合には、ペーストが貯留される容積が小さいほうが吐出の応答性をより良くすることが可能である。
【００５１】
なお、前述の蓋部材３１の変形例としては、蓋部材３１に上下に貫通する貫通孔を設けても良く、この場合には、シリンジ１１内への圧力気体の供給、停止及び負圧の供給と並行して、蓋部材３１の貫通孔からも圧縮気体の供給、停止及び負圧の供給を行うようにする。また、蓋部材３１の貫通孔にシリンジ１１からのペースト供給用の接続管１６の一端を接続し、蓋部材３１の貫通孔からペーストを供給するようにしても良い。この場合には、元のペースト流入口Ｈ３（スクリュー装着時の流入口）は、別の蓋部材で塞ぐようにする。
【００５２】
このようなエアー方式のペースト吐出装置４では、気体供給部１１ａから配管１１ｂを介してシリンジ１１内に気体が供給されると、その気体による圧によって液室１２ａ内のペーストがノズルＮから吐出する。ただし、図５では、シリンジ１１は、線塗布に用いたペースト（例えば、接着剤など）と異なる種類のペースト（例えば、銀ペーストなど）を有するシリンジに交換されている。この交換後には、シリンジ１１内に対する気体供給によりシリンジ１１内のペーストが液室１２ａ内に供給され、その液室１２ａ内にはペーストが充満している。
【００５３】
ここで、線塗布では、本体１２の液室１２ａに対するペースト供給のため、シリンジ１１内に送る気体の圧力が一定になるように制御され、塗布対象物Ｗに対するペースト塗布のため、モータ１４が所定の回転速度になるように制御される。一方、点塗布では、塗布対象物Ｗに対するペースト塗布のため、シリンジ１１内に送る気体の圧力が点塗布用に制御される。このとき、モータ１４は使用されないため、その回転は禁止されている。
【００５４】
この気体圧力制御のため、気体供給部１１ａは、スクリュー方式用の圧力気体（所定の一定圧）とエアー方式用の圧力気体（所定の吐出圧）との二種類の圧力の気体を供給する機能を備えている。この気体圧力の切り換えは、後述の制御モードの切り替えと連動して制御装置８によって行われる。なお、前述の点塗布では、エアーによるサックバック制御が行われるようにしても良い。この場合には、気体供給部１１ａは加圧気体の供給のみならず、負圧を供給する機能を備えることになる。
【００５５】
制御装置８の制御モードは、線塗布モード（モータ制御による塗布）と点塗布モード（気体圧制御による塗布）のどちらかに切り替えられる。この制御モードの切り替えは、操作部に対する操作者の入力操作（例えば、切替ボタンの押下）に応じて行われる。このような制御モードの切り替えに連動して気体圧力の切り換えが行われる。
【００５６】
この気体圧力の切り換えでは、気体供給部１１ａが備える圧力調整器（図示せず）によりシリンジ１１内のペーストに加わる気体圧力が調整される。この圧力調整器は制御装置８に電気的に接続されており、その駆動が制御装置８により制御される。圧力調整器としては、例えば、電空レギュレータなどの圧力調整器を用いることが可能である。
【００５７】
以上説明したように、本実施形態によれば、本体１２は、その本体１２が取り付けられるＺテーブル２１に対して着脱可能に形成されており、かつ、液室１２ａ内に位置するスクリュー１３の着脱が可能に形成されており、さらに、液室１２ａの開口を塞ぐ蓋部材３１の着脱が可能に形成されている。このため、スクリュー方式からエアー方式にペースト吐出装置４を変更する場合には、まず、シリンジ１１が本体１２から取り外され、スクリュー１３が装着された本体１２がＺテーブル２１から取り外される。次に、本体１２からスクリュー１３が軸受１３ｃと共に取り外され、その後、蓋部材３１が液室１２ａの開口を塞ぐように本体１２に取り付けられる。この状態の本体１２がＺテーブル２１に取り付けられ、最後に、今回の塗布に用いるペーストが収容されたシリンジ１１が本体１２に取り付けられる。
【００５８】
このようにして、スクリュー１３が液室１２ａ内から取り外され、蓋部材３１が装着された本体１２が再びＺテーブル２１に取り付けられて用いられるので、変更後のエアー方式のペースト吐出装置４では、スクリュー１３が液室１２ａ内に存在しなくなる。このため、エアーによるサックバック制御が良好に機能することになり、点塗布の精度安定性の低下やサックバック時の応答遅れが抑止されるので、均一な点形状を得ることができる。したがって、線塗布及び点塗布のどちらの塗布でも精度が高く安定した塗布を行うことができる。
【００５９】
また、スクリュー１３を取り外すため、スクリュー１３と共に本体１２も一緒に取り外すことで、モータ１４を取り外す必要が無くなる。通常、モータ１４は電気的に制御装置８に接続されているため、モータ１４と制御装置８とを電気的に接続する配線が存在している。このため、モータ１４の着脱を繰り返すことにより断線が生じる恐れがある。また、モータ１４は駆動源であるため、そのモータ１４による振動が発生する。このため、モータ１４は支持板２２にきつく締結されているため、モータ１４の取り外しには手間がかかる。これらの問題をスクリュー１３と共に本体１２を外すことで解決することができる。ただし、モータ１４を取り外しても問題がない場合には、モータ１４や軸継手１５、支持板２２などを取り外し、Ｚテーブル２１に固定された本体１２からスクリュー１３を取り外し、その後、本体１２に蓋部材３１を取り付けても良い。この場合には、支持板２２はＺテーブル２１に対して着脱可能に形成されている。
【００６０】
また、モータ１４は、該モータ１４の回転軸１４ａの軸心が、支持部材であるＺテーブル２１に前述の位置決め部材（例えば、前述の凸条２１ａ、２１ｂ及び溝１２ｂ、１２ｃ）により位置決めされた状態で取り付けられた本体１２の液室１２ａの軸心と一致するように支持板２２に固定されている。これにより、本体１２をＺテーブル２１に取り付けるときに、モータ１４の回転軸１４ａに対して、液室１２ａに挿設されたスクリュー１３の位置決めを容易に行うことができる。なお、液室１２ａにスクリュー１３が挿設されていない場合には、モータ１４の回転軸１４ａに対して液室１２ａの軸心を容易に位置合わせすることができる。
【００６１】
また、作業者のための補助機構として、本体１２に対するスクリュー１３装着の有無を検出する検出部やその有無を報知する報知部を設けるようにしても良い。検出部及び報知部は制御装置８に電気的に接続されており、検出部はスクリュー１３の有無を示す検出信号を制御装置８に出力する。制御装置８はその検出信号に応じて報知部に報知指示を出力する。報知部は制御装置８からの報知指示に応じてスクリュー１３の有無を表示や点灯、音声などにより報知する。報知部としては、例えば、表示部やランプ、音声出力器などを用いることが可能である。また、検出部としては、例えば、反射型光センサなどを用いることが可能であり、例えば、投光方向を軸継手１５の直下の位置に向けてＺテーブル２１に固定される。
【００６２】
このような報知により、作業者は直接の視認以外でもスクリュー１３の有無を把握することが可能となる。例えば、制御モードが線塗布モードであり、スクリュー１３が無い場合には、スクリュー１３が無い旨を示す警告が報知されたり、あるいは、制御モードを点塗布モードに自動的に切り替えたりする。また、制御モードが点塗布モードであり、スクリュー１３が有る場合には、スクリュー１３が有る旨を示す警告が報知されたり、あるいは、制御モードを線塗布モードに自動的に切り替えたりする。このようにして作業性を向上させることができる。また、スクリュー１３が無い場合には、モータ１４の回転を禁止し、モータ１４の空転による故障を防止することもできる。
【００６３】
また、上述の実施形態において、ペースト吐出装置４をスクリュー方式に切り換えて線塗布を行い、エアー方式に切り換えて点塗布を行うものとし説明したが、これに限られるものではなく、エアー方式で線塗布を行い、スクリュー方式で点塗布を行うようにすることも可能である。
【００６４】
以上、本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
【符号の説明】
【００６５】
１ ペースト塗布装置
４ ペースト吐出装置
８ 制御装置
１１ シリンジ
１１ａ 気体供給部
１２ 本体
１２ａ 液室
１２ｂ 溝
１２ｃ 溝
１３ スクリュー
１４ モータ
１４ａ 回転軸
２１ Ｚテーブル
２１ａ 凸条
２１ｂ 凸条
２２ 支持板
３１ 蓋部材
Ｍ１ 取り付け面
Ｍ２ 当接面
Ｎ ノズル
Ｗ 塗布対象物
【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、ペースト吐出装置、ペースト塗布装置及びペースト塗布方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ペースト塗布装置は、液晶表示装置や半導体装置などの様々な電気機器を製造するために用いられており、このペースト塗布装置は、塗布対象物に対して流動性材料であるペーストを吐出するペースト吐出装置（例えば、ディスペンサなど）を備えており、そのペースト吐出装置と塗布対象物とを相対移動させ、塗布対象物上にペーストを塗布して所定の塗布パターン（ペーストパターン）を形成する。
【０００３】
ここで、粘性の高い液体材料を定量に吐出する方法としては、一般的にスクリュー方式のペースト吐出装置が用いられている（例えば、特許文献１参照）。このスクリュー方式のペースト吐出装置は、ペーストを吐出するノズルと、そのノズルに連通してペーストを収容する液室と、その液室内に回転可能に設けられたスクリューと、そのスクリューを回転させるモータとを備えている。このペースト吐出装置は、スクリューの回転によりノズルから塗布対象物に向け、スクリューの回転量に応じた量のペーストを吐出する。
【０００４】
通常、液晶表示装置などの製造工程では、二種類の塗布が要求されている。そのうちの一つの塗布は、基板の外周あるいは基板に形成された表示領域の外周に沿って接着剤を塗布し、閉ループ（例えば、長方形状の閉ループ）のパターンを形成する線塗布（ライン塗布）である。また、他の一つの塗布は、ＴＦＴ基板とカラーフィルタ間において導通を取るため、導電性材料を塗布してドットパターンを形成する点塗布（ドット塗布）である。
【０００５】
ここで、前者の線塗布では、線状パターンの描画中、所定の吐出量を安定して維持することが要求される。このような線塗布にスクリュー方式のペースト吐出装置を用いる場合、スクリューと液室との隙間をある程度広げることが好ましい。一方、後者の点塗布では、少量の塗布で精度の高い均一な円形のドットパターンが要求される。このような点塗布にスクリュー方式のペースト吐出装置を用いる場合には、液体材料を安定的に吐出するため、スクリューと液室との隙間を極力狭くすることが好ましい。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平４−４９１０８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
このように、線塗布と点塗布とではスクリュー方式のペースト吐出装置に求められる構造が相反するため、単一のペースト吐出装置で線塗布と点塗布を精度良く行うことは困難であった。
【０００８】
本発明が解決しようとする課題は、線塗布及び点塗布のどちらの塗布でも精度良く塗布を行うことができるペースト吐出装置、ペースト塗布装置及びペースト塗布方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の実施形態に係るペースト吐出装置は、上端が開口する断面円形の液室及びこの液室内のペーストを吐出するノズルを有する本体と、液室に供給するペーストを貯留するシリンジと、シリンジ内に加圧気体を供給する気体供給部とを備え、本体は、回転駆動によってペーストをノズルへと送るスクリューを液室内に着脱可能に構成されると共に、スクリューを離脱させた状態において液室の開口を塞ぐ蓋部材を着脱可能に構成されている。
【００１０】
本発明の実施形態に係るペースト塗布装置は、ノズルからペーストを吐出させて塗布対象物上に塗布するペースト塗布装置であって、ノズル及びこのノズルに連通して上端が開口する断面円形の液室を有する本体と、液室に供給するペーストを貯留するシリンジと、シリンジ内に加圧気体を供給する気体供給部と、液室内に挿設可能に設けられ、回転駆動によって液室内のペーストをノズルへと送るスクリューと、スクリューに連結されるモータと、気体供給部及びモータを制御可能な制御装置とを備え、本体は、スクリューを液室内に着脱可能に構成されると共に、スクリューを離脱させた状態において液室の開口を塞ぐ蓋部材を着脱可能に構成されており、制御装置は、液室にスクリューが挿設されたときには、モータを制御してスクリューの回転駆動による送り出しによってノズルからペーストを吐出させ、液室からスクリューが取り外されて液室の開口が蓋部材によって塞がれたときには、気体供給部を制御して加圧気体の供給による押し出しによってノズルからペーストを吐出させる。
【００１１】
本発明の実施形態に係るペースト塗布方法は、ノズルからペーストを吐出させて塗布対象物上に塗布するペースト塗布方法であって、塗布対象物上に線状のパターンでペーストを塗布するときには、スクリューの回転駆動による送り出しによってノズルからペーストを吐出させ、塗布対象物上に点状のパターンでペーストを塗布するときには、スクリューを取り外し、加圧気体の供給による押し出しによってノズルからペーストを吐出させる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、線塗布及び点塗布のどちらの塗布でも精度良く塗布を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の実施の一形態に係るペースト塗布装置の概略構成を示す外観斜視図である。
【図２】図１に示すペースト塗布装置が備えるスクリュー方式のペースト吐出装置の概略構成を示す図である。
【図３】図２に示すペースト吐出装置が備える本体と支持部材とを示す分解斜視図である。
【図４】図２に示すペースト吐出装置が備える本体と蓋部材とを示す分解斜視図である。
【図５】図１に示すペースト塗布装置が備えるエアー方式のペースト吐出装置の概略構成を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
本発明の実施の一形態について図面を参照して説明する。
【００１５】
図１に示すように、本実施形態に係るペースト塗布装置１は、基板などの塗布対象物Ｗが載置されるステージ２と、そのステージ２を保持してＸ軸方向及びＹ軸方向に移動させるステージ移動装置３と、ステージ２上の塗布対象物Ｗにペーストを塗布する複数（図１では、二個）のペースト吐出装置（塗布ヘッド）４と、それらのペースト吐出装置４をＸ軸方向及びＺ軸方向に移動させるヘッド移動装置５と、そのヘッド移動装置５と共に各ペースト吐出装置４を支持するヘッド支持部６と、ステージ移動装置３やヘッド支持部６を支持する架台７と、各部を制御する制御装置８とを備えている。
【００１６】
ステージ２は、塗布対象物Ｗが載置される載置面を有しており、ステージ移動装置３上に設けられている。このステージ２には、塗布対象物Ｗを自重により載置しているが、これに限るものではなく、例えば、その塗布対象物Ｗを保持するために静電チャックや吸着チャックなどの機構を設けても良い。なお、塗布対象物Ｗが基板である場合には、その基板は水平状態（図１中、Ｘ軸方向とそれに直交するＹ軸方向に沿う状態）でステージ２上に載置される。
【００１７】
ステージ移動装置３は、ステージ２を保持してＸ軸方向に移動させるステージＸ軸移動機構３ａと、そのステージＸ軸移動機構３ａと共にステージ２をＹ軸方向に移動させるステージＹ軸移動機構３ｂとを有しており、架台７の上面に固定されている。このステージ移動装置３は制御装置８に電気的に接続されており、その駆動が制御装置８により制御される。ステージＸ軸移動機構３ａやステージＹ軸移動機構３ｂとしては、例えば、サーボモータを駆動源とする送りねじ式の移動機構やリニアモータを駆動源とするリニアモータ式の移動機構などを用いることが可能である。
【００１８】
各ペースト吐出装置４は、ステージ２上の塗布対象物Ｗに向けてペーストを吐出するノズルＮを備える（詳しくは、後述する）。これらのペースト吐出装置４はヘッド移動装置５に取り付けられ、制御装置８に電気的に接続されており、その駆動が制御装置８により制御される。
【００１９】
ここで、ペーストとしては、例えば、接着剤や導電性材料などの液体材料（液体状の材料）を用いることが可能である。特に、ＴＦＴ基板とカラーフィルタとの貼り合わせのための線塗布を行う場合には、接着性とシール性を備えたシール剤を用いる。また、ＴＦＴ基板とカラーフィルタとの導通を取るための点塗布を行う場合には、銀ペーストなどの導電性材料を用いたりする。
【００２０】
ヘッド移動装置５は、各ペースト吐出装置４をＺ軸方向にそれぞれ移動可能に支持する複数（図１では、二個）のヘッドＺ軸移動機構５ａと、それらのヘッドＺ軸移動機構５ａをＸ軸方向に個別に移動させるヘッドＸ軸移動機構５ｂとを有する。このヘッドＸ軸移動機構５ｂは、ヘッド支持部６のステージ２側の面（前面）に設けられている。このヘッド移動装置５は制御装置８に電気的に接続されており、その駆動が制御装置８により制御される。ヘッドＺ軸移動機構５ａやヘッドＸ軸移動機構５ｂとしては、例えば、サーボモータを駆動源とする送りねじ式の移動機構やリニアモータを駆動源とするリニアモータ式の移動機構などを用いることが可能である。
【００２１】
ヘッド支持部６は、Ｘ軸方向に長尺な門型の形状に形成されており、架台７上のステージ移動装置３を跨ぐように架台７の上面に設けられている。このヘッド支持部６の梁部はＸ軸方向に平行にステージ２の載置面に対して水平にされ、ヘッド支持部６の脚部は架台７の上面に固定されている。
【００２２】
架台７は、床面上に設置され、ステージ移動装置３やヘッド支持部６などを床面から所定の高さ位置に支持する支持台である。架台７の上面は平面に形成されており、この架台７の上面にステージ移動装置３やヘッド支持部６などが設けられている。また、架台７の内部には、制御装置８が設けられている。
【００２３】
制御装置８は、各部を集中的に制御する制御部、各種情報や各種プログラムなどを記憶する記憶部、さらに、操作者からの入力操作を受け付ける操作部（いずれも図示せず）などを備えている。前述の各種情報には塗布情報が含まれている。この塗布情報としては、線塗布用の塗布パターンや点塗布用の塗布パターン、描画速度（ステージ２の移動速度）などに関する情報があり、それらの情報はあらかじめ記憶部に記憶されている。なお、記憶部としては、メモリやハードディスクドライブ（ＨＤＤ）などを用いることが可能である。
【００２４】
この制御装置８は、各種情報や各種プログラムに基づいてステージ移動装置３や各ペースト吐出装置４、ヘッド移動装置５などを制御し、各ペースト吐出装置４のノズルＮとステージ２上の塗布対象物Ｗとをその塗布対象物Ｗの表面に沿って平行に相対移動させ、線塗布あるいは点塗布を行う。なお、ペースト吐出装置４のノズルＮには、レーザ変位計などの距離測定器（図示せず）が一体的に設けられている。この距離測定器は、ステージ２上の塗布対象物Ｗの表面までの離間距離を測定するものであり、制御装置８は、その距離測定器により測定された離間距離に応じたフィードバック制御を行うことによって、ノズルＮと塗布対象物Ｗの表面とのギャップを所定値に維持する（ギャップ制御）。
【００２５】
次に、前述のペースト吐出装置４について図２ないし図５を参照して詳しく説明する。なお、図２及び図５では、ペースト吐出装置４の一部の内部構造を視認可能にするため、その一部を切り欠いている。
【００２６】
図２に示すように、ペースト吐出装置４は、ペーストを貯留するシリンジ１１と、そのシリンジ１１に貯留されたペーストが供給される本体１２と、その本体１２内のペーストを吐出するノズルＮと、本体１２に回転可能に設けられたスクリュー１３と、そのスクリュー１３を回転させるモータ１４と、スクリュー１３とモータ１４とを連結する軸継手１５と、シリンジ１１の内部と本体１２の内部とを接続する接続管１６とを備えている。
【００２７】
シリンジ１１は、本体１２と並列に設けられており、ペーストを貯留する貯留部として機能する。このシリンジ１１の上端部には、気体供給用の気体供給口Ｈ１が形成されており、シリンジ１１の下部には、ペースト供給用のペースト供給口Ｈ２が形成されている。気体供給口Ｈ１には、気体（例えば、窒素などの圧縮気体）を供給する気体供給部１１ａにつながるチューブなどの配管１１ｂの一端が接続されている。また、ペースト供給口Ｈ２には、接続管１６の一端が接続されている。
【００２８】
本体１２は、前述のシリンジ１１からペーストが供給される円筒状（断面円形）の液室１２ａを有している。この液室１２ａの上端部は本体１２の上面で開口しており、その下端部は、ノズルＮに連通する縮径部となっている。なお、液室１２ａの軸心とノズルＮの軸心とは一致している。本体１２のシリンジ１１側の側壁には、ペースト供給用のペースト流入口Ｈ３が形成されている。このペースト流入口Ｈ３は液室１２ａに連通する貫通孔であり、このペースト流入口Ｈ３に前述の接続管１６のもう一端が接続されている。このような本体１２は、支持部材として機能するＺテーブル２１に着脱可能に設けられている（詳しくは、後述する）。このＺテーブル２１は本体１２を支持するものであり、ヘッドＺ軸移動機構５ａによりＺ軸方向に移動するテーブルである。
【００２９】
スクリュー１３は、棒状の軸１３ａと、その軸１３ａの外周に沿って螺旋状の凸条が形成されて構成されたネジ部１３ｂと、帽子のつば状に形成されたフランジ部１３ｄとを有している。また、軸１３ａには軸受１３ｃが嵌め込まれており、この軸受１３ｃはフランジ部１３ｄに当接して軸方向の位置が定められている。この軸受１３ｃを液室１２ａの上端開口部に形成された大径凹部（軸受挿設孔）１２ｄに嵌め込むことで、軸１３ａはその軸心が液室１２ａの軸心に一致するように液室１２ａ内に位置付けられるとともに、液室１２ａに対する高さ方向の位置決めがなされる。このスクリュー１３が液室１２ａ内に回転可能に設けられ、さらに、軸継手１５に連結されている。
【００３０】
モータ１４は、液室１２ａの開口に向かってその液室１２ａの長手方向に延びる回転可能な回転軸１４ａを有している。このモータ１４は、Ｚテーブル２１に取り付けられた支持板２２に、回転軸１４ａを液室１２ａに向けて固定されて設けられている。すなわち、モータ１４は、回転軸１４ａの回転軸心と液室１２ａ（Ｚテーブル２１に固定された本体１２の液室１２ａ）の軸心とが一致するように支持板２２に固定される。モータ１４は制御装置８に電気的に接続されており、その駆動が制御装置８により制御される。このモータ１４が回転すると、回転軸１４ａ及び軸継手１５を介してスクリュー１３も回転する。
【００３１】
軸継手１５は、回転軸１４ａの液室１２ａ側の端部に設けられている。この軸継手はカップリングと呼ばれるものであり、ねじを締め付けることによってスクリュー１３の軸１３ａを固定し、ねじを緩めることによってスクリュー１３の軸１３ａの固定を解除することが可能になっている。なお、スクリュー１３の軸１３ａにおける軸継手１５との結合部において、軸１３ａ側には軸方向に沿う凸条が設けられており、軸継手１５側には凸条に合わせて溝が設けられている。これらの凸条と溝との嵌め合いによって軸１３ａの回転方向へのすべりを防止することができる。
【００３２】
このようなスクリュー方式のペースト吐出装置４では、閉ループ（例えば、長方形状の閉ループ）のパターンを形成する線塗布（ライン塗布）が行われるが、最初に、予備吐出動作が行われ、その後、本吐出動作が行われる。なお、本体１２の液室１２ａの壁面とスクリュー１３との間には、ペーストが充満される螺旋状の隙間が形成されており、この隙間にペーストを充填するための動作が予備吐出動作である。
【００３３】
この予備吐出動作では、気体供給部１１ａから配管１１ｂを介してシリンジ１１内に気体が供給される。このとき、モータ１４が回転し、そのモータ１４の回転に応じて液室１２ａ内のスクリュー１３が回転する。このスクリュー１３の回転はペーストが螺旋状の隙間に充満するまで持続され、さらに、ペーストがノズルＮから吐出された後も所定時間だけ持続される。このようにして、螺旋状の隙間内に空気を残留させることなく、ペーストを充満させることができる。
【００３４】
この予備吐出動作後、本吐出動作では、モータ１４が回転し、そのモータ１４の回転に応じてスクリュー１３が回転すると、前述の螺旋状の隙間に充填されたペーストがノズルＮから吐出される。このとき、スクリュー１３の回転量に応じた量のペーストがノズルＮから吐出されることになる。例えば、スクリュー１３が一回転すると、そのスクリュー１３のネジ部１３ｂのピッチ相当分のペーストがノズルＮから吐出される。このようにしてペースト吐出装置４はスクリュー１３の回転により機械的にペーストを連続的に押し出し、閉ループのパターンを形成する線塗布を行う。
【００３５】
なお、ペーストの単位時間当たりの吐出量は、モータ１４の回転速度（単位時間当たりの回転量）、すなわちスクリュー１３の回転速度に比例するので、スクリュー１３の回転速度を変えることによりノズルＮからのペーストの単位時間当たりの吐出量を調整することが可能である。このように、ペースト吐出装置４はスクリュー１３により機械的にペーストを押し出すことから、スクリュー１３の回転速度（回転量）に比例した吐出量を得ることができる。
【００３６】
次いで、前述のペースト吐出装置４の本体１２の着脱構造について詳しく説明する。
【００３７】
図３に示すように、Ｚテーブル２１におけるヘッドＺ軸移動機構５ａとは反対側に位置する面（上下方向に沿う面）は本体１２の取り付け面Ｍ１として形成される。そして、この取り付け面Ｍ１には、上下方向に沿って二本の凸条２１ａ、２１ｂが形成されている。また、本体１２におけるＺテーブル２１との当接面Ｍ２には、Ｚテーブル２１の各凸条２１ａ、２１ｂに対応する位置に二本の溝１２ｂ、１２ｃが形成されている。各溝１２ｂ、１２ｃの上端は、本体１２の上端に達しており、その下端は本体１２の下端に達していない。
【００３８】
Ｚテーブル２１に本体１２を取り付けるときには、Ｚテーブル２１の各凸条２１ａ、２１ｂに対して本体１２の各溝１２ｂ、１２ｃを合わせて、本体１２を下から上へスライドさせる。このとき、本体１２にスクリュー１３が取り付けられている場合には、この上側へのスライド移動によって、モータ１４の回転軸１４ａに取り付けられた軸継手１５にスクリュー１３の軸１３ａが嵌り込む。
【００３９】
ここで、Ｚテーブル２１の各凸条２１ａ、２１ｂの下端部と本体１２の各溝１２ｂ、１２ｃの下端部とが当接することで、Ｚテーブル２１に対する本体１２の上下方向の位置決めがなされる。さらに、横方向の位置決めは、各凸条２１ａ、２１ｂの側壁と各溝１２ｂ、１２ｃの側壁によってなされる。なお、本体１２の各溝１２ｂ、１２ｃは、Ｚテーブル２１に沿って移動する本体１２を液室１２ａの長手方向に案内して所定位置で停止させるための案内停止構造として機能するものである。このような凸条２１ａ、２１ｂと溝１２ｂ、１２ｃは、Ｚテーブル２１に対して本体１２を位置決めするための位置決め部材となる。
【００４０】
さらに、本体１２には、ボルトＢ１用の挿通孔Ｈ４が、スクリュー１３の挿設孔である液室１２ａを挟んで両側に設けられている。また、Ｚテーブル２１には、前述のボルトＢ１をねじ付けるためのねじ孔Ｈ５が二つの凸条２１ａ、２１ｂを挟んで両側に設けられている。なお、ボルトＢ１用の挿通孔Ｈ４とねじ孔Ｈ５とは、Ｚテーブル２１に対して本体１２が上下方向に位置決めされた状態でそれらの位置が一致するように設けられている。このＺテーブル２１に対する本体１２の位置決めがなされた状態で、ボルトＢ１のねじ付けによりＺテーブル２１に対して本体１２が固定される。
【００４１】
また、本体１２に対するスクリュー１３の上下方向の位置決めは、軸受１３ｃの下部が大径凹部（軸受挿設孔）１２ｄの底部に当接することでなされる。さらに、本体１２がＺテーブル２１にボルトＢ１で上下方向に固定された状態で、軸継手１５に対してスクリュー１３の軸１３ａを不図示のねじの締め付けによって固定することで、軸１３ａは上下方向に固定される。このようにして、本体１２に対してスクリュー１３の上下方向位置が固定される。
【００４２】
一方、図３に示すように、Ｚテーブル２１から本体１２が取り外された状態において、スクリュー１３が本体１２から引き抜かれると、そのスクリュー１３に固定された軸受１３ｃはスクリュー１３と一緒に本体１２からはずれる。つまり、軸受１３ｃの内周部はスクリュー１３の軸１３ａと固く嵌り合っており、軸受１３ｃの外周部は本体１２における液室１２ａの上端の大径凹部（軸受挿設孔）１２ｄに緩く嵌り合っている。
【００４３】
なお、前述の説明では、Ｚテーブル２１に凸条２１ａ、２１ｂを設けた例を説明したが、要は、本体１２を横方向と上下方向に位置決めできれば良いので、凸条２１ａ、２１ｂにかえて上下方向に二本のピンを設けるようにしても良い。例えば、ピンを凸条２１ａ、２１ｂの下端位置に一本、凸条２１ａ、２１ｂの上端位置に一本設け、下側のピンで上下方向の位置決めを行う。これ以外でも、Ｚテーブル２１に、本体１２の当接面Ｍ２がちょうど嵌り込む大きさの下向きコの字形状の凹部を形成し、この凹部内に本体１２を嵌め込むようにしても良い。また、Ｚテーブル２１に溝を形成し、本体１２に凸条を形成するようにしても良く、この場合には、Ｚテーブル２１の溝はそのＺテーブルの下端まで達する。
【００４４】
ここで、線塗布を行う場合には、前述のスクリュー方式のペースト吐出装置４が用いられるが、点塗布を行う場合には、そのペースト吐出装置４がエアー方式に変更される。このとき、スクリュー方式でもエアー方式でも、ボディである本体１２は共通して用いられる。
【００４５】
まず、接続管１６が本体１２のペースト流入口Ｈ３から抜かれ、次に、本体１２がスクリュー１３と共にＺテーブル２１から取り外される。さらに、スクリュー１３が本体１２から取り外される。このとき、スクリュー１３と一緒に軸受１３ｃも本体１２から外れる。一方、シリンジ１１は、その気体供給口Ｈ１から配管１１ｂが取り外され、線塗布用のシリンジから点塗布用のシリンジに交換される。
【００４６】
その後、図４に示すように、蓋部材３１が液室１２ａの開口を塞ぐように本体１２に取り付けられる。この蓋部材３１には、液室１２ａ内を密閉するためのＯリングなどの環状の封止部材３２が設けられている。この封止部材３２により、蓋部材３１が本体１２に取り付けられると、液室１２ａ内の気密性及び液密性などの密封性が確保される。
【００４７】
蓋部材３１は、本体１２に対してボルトＢ２で複数個所（図４では、二箇所）固定される。この蓋部材３１には、ボルトＢ２用の挿通孔Ｈ６が二つ設けられており、本体１２には、前述のボルトＢ２をねじ付けるためのねじ孔Ｈ７が液室１２ａの開口を挟んで二つ設けられている。ただし、蓋部材３１に設けた環状の封止部材３２と液室１２ａの壁面との間の摩擦によって蓋部材３１を充分に固定することが可能であれば、ボルトＢ２での固定を不要とすることができる。
【００４８】
このような蓋部材３１が取り付けられた本体１２がＺテーブル２１に取り付けられる。このとき、Ｚテーブル２１の各凸条２１ａ、２１ｂに対して本体１２の各溝１２ｂ、１２ｃが合わされ、本体１２が下から上へスライドさせられる（図３参照）。その後、Ｚテーブル２１に対する本体１２の位置決めがなされ、その状態でボルトＢ１をねじ付けることでＺテーブル２１に対して本体１２が固定される。最後に、点塗布用のシリンジ１１に接続された接続管１６が本体１２のペースト流入口Ｈ３に取り付けられるとともに、シリンジ１１の気体供給口Ｈ１に配管１１ｂが取り付けられる。これにより、エアー方式のペースト吐出装置４への切り換えが完成する（図５参照）。
【００４９】
なお、この切り換えに際し、本体１２には、線塗布用のペーストが付着しているので、Ｚテーブル２１に再び取り付けられる前に、液室１２ａなどに付着して残留するペーストの洗浄除去が行われる。また、スクリュー１３についても、次の線塗布に備えて、付着して残留するペーストが同様にして洗浄除去される。
【００５０】
ここで、蓋部材３１は、図５に示すように、その下端位置がシリンジ１１からの接続管１６の上端部、すなわちペースト流入口Ｈ３の上端部とほぼ一致する高さとなるように形成されている。この蓋部材３１の下端をペースト流入口Ｈ３の上端と一致する高さとすることは、液室１２ａ内においてペーストが貯留される空間の容積を極力小さくするためである。ペーストには弾性を有するものがあり、このようなペーストを用いた場合には、ペーストが貯留される容積が小さいほうが吐出の応答性をより良くすることが可能である。
【００５１】
なお、前述の蓋部材３１の変形例としては、蓋部材３１に上下に貫通する貫通孔を設けても良く、この場合には、シリンジ１１内への圧力気体の供給、停止及び負圧の供給と並行して、蓋部材３１の貫通孔からも圧縮気体の供給、停止及び負圧の供給を行うようにする。また、蓋部材３１の貫通孔にシリンジ１１からのペースト供給用の接続管１６の一端を接続し、蓋部材３１の貫通孔からペーストを供給するようにしても良い。この場合には、元のペースト流入口Ｈ３（スクリュー装着時の流入口）は、別の蓋部材で塞ぐようにする。
【００５２】
このようなエアー方式のペースト吐出装置４では、気体供給部１１ａから配管１１ｂを介してシリンジ１１内に気体が供給されると、その気体による圧によって液室１２ａ内のペーストがノズルＮから吐出する。ただし、図５では、シリンジ１１は、線塗布に用いたペースト（例えば、接着剤など）と異なる種類のペースト（例えば、銀ペーストなど）を有するシリンジに交換されている。この交換後には、シリンジ１１内に対する気体供給によりシリンジ１１内のペーストが液室１２ａ内に供給され、その液室１２ａ内にはペーストが充満している。
【００５３】
ここで、線塗布では、本体１２の液室１２ａに対するペースト供給のため、シリンジ１１内に送る気体の圧力が一定になるように制御され、塗布対象物Ｗに対するペースト塗布のため、モータ１４が所定の回転速度になるように制御される。一方、点塗布では、塗布対象物Ｗに対するペースト塗布のため、シリンジ１１内に送る気体の圧力が点塗布用に制御される。このとき、モータ１４は使用されないため、その回転は禁止されている。
【００５４】
この気体圧力制御のため、気体供給部１１ａは、スクリュー方式用の圧力気体（所定の一定圧）とエアー方式用の圧力気体（所定の吐出圧）との二種類の圧力の気体を供給する機能を備えている。この気体圧力の切り換えは、後述の制御モードの切り替えと連動して制御装置８によって行われる。なお、前述の点塗布では、エアーによるサックバック制御が行われるようにしても良い。この場合には、気体供給部１１ａは加圧気体の供給のみならず、負圧を供給する機能を備えることになる。
【００５５】
制御装置８の制御モードは、線塗布モード（モータ制御による塗布）と点塗布モード（気体圧制御による塗布）のどちらかに切り替えられる。この制御モードの切り替えは、操作部に対する操作者の入力操作（例えば、切替ボタンの押下）に応じて行われる。このような制御モードの切り替えに連動して気体圧力の切り換えが行われる。
【００５６】
この気体圧力の切り換えでは、気体供給部１１ａが備える圧力調整器（図示せず）によりシリンジ１１内のペーストに加わる気体圧力が調整される。この圧力調整器は制御装置８に電気的に接続されており、その駆動が制御装置８により制御される。圧力調整器としては、例えば、電空レギュレータなどの圧力調整器を用いることが可能である。
【００５７】
以上説明したように、本実施形態によれば、本体１２は、その本体１２が取り付けられるＺテーブル２１に対して着脱可能に形成されており、かつ、液室１２ａ内に位置するスクリュー１３の着脱が可能に形成されており、さらに、液室１２ａの開口を塞ぐ蓋部材３１の着脱が可能に形成されている。このため、スクリュー方式からエアー方式にペースト吐出装置４を変更する場合には、まず、シリンジ１１が本体１２から取り外され、スクリュー１３が装着された本体１２がＺテーブル２１から取り外される。次に、本体１２からスクリュー１３が軸受１３ｃと共に取り外され、その後、蓋部材３１が液室１２ａの開口を塞ぐように本体１２に取り付けられる。この状態の本体１２がＺテーブル２１に取り付けられ、最後に、今回の塗布に用いるペーストが収容されたシリンジ１１が本体１２に取り付けられる。
【００５８】
このようにして、スクリュー１３が液室１２ａ内から取り外され、蓋部材３１が装着された本体１２が再びＺテーブル２１に取り付けられて用いられるので、変更後のエアー方式のペースト吐出装置４では、スクリュー１３が液室１２ａ内に存在しなくなる。このため、エアーによるサックバック制御が良好に機能することになり、点塗布の精度安定性の低下やサックバック時の応答遅れが抑止されるので、均一な点形状を得ることができる。したがって、線塗布及び点塗布のどちらの塗布でも精度が高く安定した塗布を行うことができる。
【００５９】
また、スクリュー１３を取り外すため、スクリュー１３と共に本体１２も一緒に取り外すことで、モータ１４を取り外す必要が無くなる。通常、モータ１４は電気的に制御装置８に接続されているため、モータ１４と制御装置８とを電気的に接続する配線が存在している。このため、モータ１４の着脱を繰り返すことにより断線が生じる恐れがある。また、モータ１４は駆動源であるため、そのモータ１４による振動が発生する。このため、モータ１４は支持板２２にきつく締結されているため、モータ１４の取り外しには手間がかかる。これらの問題をスクリュー１３と共に本体１２を外すことで解決することができる。ただし、モータ１４を取り外しても問題がない場合には、モータ１４や軸継手１５、支持板２２などを取り外し、Ｚテーブル２１に固定された本体１２からスクリュー１３を取り外し、その後、本体１２に蓋部材３１を取り付けても良い。この場合には、支持板２２はＺテーブル２１に対して着脱可能に形成されている。
【００６０】
また、モータ１４は、該モータ１４の回転軸１４ａの軸心が、支持部材であるＺテーブル２１に前述の位置決め部材（例えば、前述の凸条２１ａ、２１ｂ及び溝１２ｂ、１２ｃ）により位置決めされた状態で取り付けられた本体１２の液室１２ａの軸心と一致するように支持板２２に固定されている。これにより、本体１２をＺテーブル２１に取り付けるときに、モータ１４の回転軸１４ａに対して、液室１２ａに挿設されたスクリュー１３の位置決めを容易に行うことができる。なお、液室１２ａにスクリュー１３が挿設されていない場合には、モータ１４の回転軸１４ａに対して液室１２ａの軸心を容易に位置合わせすることができる。
【００６１】
また、作業者のための補助機構として、本体１２に対するスクリュー１３装着の有無を検出する検出部やその有無を報知する報知部を設けるようにしても良い。検出部及び報知部は制御装置８に電気的に接続されており、検出部はスクリュー１３の有無を示す検出信号を制御装置８に出力する。制御装置８はその検出信号に応じて報知部に報知指示を出力する。報知部は制御装置８からの報知指示に応じてスクリュー１３の有無を表示や点灯、音声などにより報知する。報知部としては、例えば、表示部やランプ、音声出力器などを用いることが可能である。また、検出部としては、例えば、反射型光センサなどを用いることが可能であり、例えば、投光方向を軸継手１５の直下の位置に向けてＺテーブル２１に固定される。
【００６２】
このような報知により、作業者は直接の視認以外でもスクリュー１３の有無を把握することが可能となる。例えば、制御モードが線塗布モードであり、スクリュー１３が無い場合には、スクリュー１３が無い旨を示す警告が報知されたり、あるいは、制御モードを点塗布モードに自動的に切り替えたりする。また、制御モードが点塗布モードであり、スクリュー１３が有る場合には、スクリュー１３が有る旨を示す警告が報知されたり、あるいは、制御モードを線塗布モードに自動的に切り替えたりする。このようにして作業性を向上させることができる。また、スクリュー１３が無い場合には、モータ１４の回転を禁止し、モータ１４の空転による故障を防止することもできる。
【００６３】
また、上述の実施形態において、ペースト吐出装置４をスクリュー方式に切り換えて線塗布を行い、エアー方式に切り換えて点塗布を行うものとし説明したが、これに限られるものではなく、エアー方式で線塗布を行い、スクリュー方式で点塗布を行うようにすることも可能である。
【００６４】
以上、本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
【符号の説明】
【００６５】
１ ペースト塗布装置
４ ペースト吐出装置
８ 制御装置
１１ シリンジ
１１ａ 気体供給部
１２ 本体
１２ａ 液室
１２ｂ 溝
１２ｃ 溝
１３ スクリュー
１４ モータ
１４ａ 回転軸
２１ Ｚテーブル
２１ａ 凸条
２１ｂ 凸条
２２ 支持板
３１ 蓋部材
Ｍ１ 取り付け面
Ｍ２ 当接面
Ｎ ノズル
Ｗ 塗布対象物
【特許請求の範囲】
【請求項１】
上端が開口する断面円形の液室及びこの液室内のペーストを吐出するノズルを有する本体と、
前記液室に供給するペーストを貯留するシリンジと、
前記シリンジ内に加圧気体を供給する気体供給部と、
を備え、
前記本体は、回転駆動によって前記ペーストを前記ノズルへと送るスクリューを前記液室内に着脱可能に構成されると共に、前記スクリューを離脱させた状態において前記液室の開口を塞ぐ蓋部材を着脱可能に構成されていることを特徴とするペースト吐出装置。
【請求項２】
前記液室内に設けられた前記スクリューを備えることを特徴とする請求項１記載のペースト吐出装置。
【請求項３】
前記本体に設けられた前記蓋部材を備えることを特徴とする請求項１記載のペースト吐出装置。
【請求項４】
ノズルからペーストを吐出させて塗布対象物上に塗布するペースト塗布装置であって、
前記ノズル及びこのノズルに連通して上端が開口する断面円形の液室を有する本体と、
前記液室に供給するペーストを貯留するシリンジと、
前記シリンジ内に加圧気体を供給する気体供給部と、
前記液室内に挿設可能に設けられ、回転駆動によって前記液室内の前記ペーストを前記ノズルへと送るスクリューと、
前記スクリューに連結されるモータと、
前記気体供給部及び前記モータを制御可能な制御装置と、
を備え、
前記本体は、前記スクリューを前記液室内に着脱可能に構成されると共に、前記スクリューを離脱させた状態において前記液室の開口を塞ぐ蓋部材を着脱可能に構成されており、
前記制御装置は、前記液室に前記スクリューが挿設されたときには、前記モータを制御して前記スクリューの回転駆動による送り出しによって前記ノズルからペーストを吐出させ、前記液室から前記スクリューが取り外されて前記液室の開口が前記蓋部材によって塞がれたときには、前記気体供給部を制御して加圧気体の供給による押し出しによって前記ノズルから前記ペーストを吐出させることを特徴とするペースト塗布装置。
【請求項５】
上下方向に沿って前記本体の取り付け面が形成された支持部材と、
前記取り付け面と前記本体における前記取り付け面との当接面とに設けられ、前記支持部材に対して前記本体を位置決めする位置決め部材と、
前記支持部材に固定され、前記モータを支持する支持板と、
を有し、
前記モータは、該モータの回転軸の軸心が、前記支持部材に前記位置決め部材により位置決めされた状態で取り付けられた前記本体の前記液室の軸心と一致するように前記支持板に固定されていることを特徴とする請求項４記載のペースト塗布装置。
【請求項６】
前記位置決め部材は、
前記当接面と前記取り付け面のうち一方に設けられた凸条と、
前記当接面と前記取り付け面のうち他方に設けられ、前記凸条が嵌め合わされる溝と、
を有していることを特徴とする請求項５記載のペースト塗布装置。
【請求項７】
前記凸条は、前記回転軸の軸心の延在方向に沿って前記取り付け面に設けられており、
前記溝は、一端が前記本体における前記開口が存在する面に達し他端が終端部となるように、前記液室の軸心の延在方向に沿って前記当接面に形成されており、
前記本体は、前記凸条を前記溝に嵌め合わせ、前記凸条の下端を前記溝の終端部に当接させることで、前記支持部材に位置決めされていることを特徴とする請求項６記載のペースト塗布装置。
【請求項８】
ノズルからペーストを吐出させて塗布対象物上に塗布するペースト塗布方法であって、
前記塗布対象物上に線状のパターンで前記ペーストを塗布するときには、スクリューの回転駆動による送り出しによって前記ノズルからペーストを吐出させ、
前記塗布対象物上に点状のパターンで前記ペーストを塗布するときには、前記スクリューを取り外し、加圧気体の供給による押し出しによって前記ノズルからペーストを吐出させることを特徴とするペースト塗布方法。
【請求項１】
上端が開口する断面円形の液室及びこの液室内のペーストを吐出するノズルを有する本体と、
前記液室に供給するペーストを貯留するシリンジと、
前記シリンジ内に加圧気体を供給する気体供給部と、
を備え、
前記本体は、回転駆動によって前記ペーストを前記ノズルへと送るスクリューを前記液室内に着脱可能に構成されると共に、前記スクリューを離脱させた状態において前記液室の開口を塞ぐ蓋部材を着脱可能に構成されていることを特徴とするペースト吐出装置。
【請求項２】
前記液室内に設けられた前記スクリューを備えることを特徴とする請求項１記載のペースト吐出装置。
【請求項３】
前記本体に設けられた前記蓋部材を備えることを特徴とする請求項１記載のペースト吐出装置。
【請求項４】
ノズルからペーストを吐出させて塗布対象物上に塗布するペースト塗布装置であって、
前記ノズル及びこのノズルに連通して上端が開口する断面円形の液室を有する本体と、
前記液室に供給するペーストを貯留するシリンジと、
前記シリンジ内に加圧気体を供給する気体供給部と、
前記液室内に挿設可能に設けられ、回転駆動によって前記液室内の前記ペーストを前記ノズルへと送るスクリューと、
前記スクリューに連結されるモータと、
前記気体供給部及び前記モータを制御可能な制御装置と、
を備え、
前記本体は、前記スクリューを前記液室内に着脱可能に構成されると共に、前記スクリューを離脱させた状態において前記液室の開口を塞ぐ蓋部材を着脱可能に構成されており、
前記制御装置は、前記液室に前記スクリューが挿設されたときには、前記モータを制御して前記スクリューの回転駆動による送り出しによって前記ノズルからペーストを吐出させ、前記液室から前記スクリューが取り外されて前記液室の開口が前記蓋部材によって塞がれたときには、前記気体供給部を制御して加圧気体の供給による押し出しによって前記ノズルから前記ペーストを吐出させることを特徴とするペースト塗布装置。
【請求項５】
上下方向に沿って前記本体の取り付け面が形成された支持部材と、
前記取り付け面と前記本体における前記取り付け面との当接面とに設けられ、前記支持部材に対して前記本体を位置決めする位置決め部材と、
前記支持部材に固定され、前記モータを支持する支持板と、
を有し、
前記モータは、該モータの回転軸の軸心が、前記支持部材に前記位置決め部材により位置決めされた状態で取り付けられた前記本体の前記液室の軸心と一致するように前記支持板に固定されていることを特徴とする請求項４記載のペースト塗布装置。
【請求項６】
前記位置決め部材は、
前記当接面と前記取り付け面のうち一方に設けられた凸条と、
前記当接面と前記取り付け面のうち他方に設けられ、前記凸条が嵌め合わされる溝と、
を有していることを特徴とする請求項５記載のペースト塗布装置。
【請求項７】
前記凸条は、前記回転軸の軸心の延在方向に沿って前記取り付け面に設けられており、
前記溝は、一端が前記本体における前記開口が存在する面に達し他端が終端部となるように、前記液室の軸心の延在方向に沿って前記当接面に形成されており、
前記本体は、前記凸条を前記溝に嵌め合わせ、前記凸条の下端を前記溝の終端部に当接させることで、前記支持部材に位置決めされていることを特徴とする請求項６記載のペースト塗布装置。
【請求項８】
ノズルからペーストを吐出させて塗布対象物上に塗布するペースト塗布方法であって、
前記塗布対象物上に線状のパターンで前記ペーストを塗布するときには、スクリューの回転駆動による送り出しによって前記ノズルからペーストを吐出させ、
前記塗布対象物上に点状のパターンで前記ペーストを塗布するときには、前記スクリューを取り外し、加圧気体の供給による押し出しによって前記ノズルからペーストを吐出させることを特徴とするペースト塗布方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【公開番号】特開２０１３−５２３５０（Ｐ２０１３−５２３５０Ａ）
【公開日】平成２５年３月２１日（２０１３．３．２１）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−１９２４２３（Ｐ２０１１−１９２４２３）
【出願日】平成２３年９月５日（２０１１．９．５）
【出願人】（０００００２４２８）芝浦メカトロニクス株式会社 (907)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２５年３月２１日（２０１３．３．２１）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年９月５日（２０１１．９．５）
【出願人】（０００００２４２８）芝浦メカトロニクス株式会社 (907)
【Ｆターム（参考）】
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