ペースト塗布装置
【課題】シリンジのネジ締結部の緩みを排除して、ペーストの漏れを防止することができるペースト塗布装置を提供することを目的とする。
【解決手段】シリンジ１６の下端部に設けられたペースト送給口１６ｅがねじ締結部を介して着脱自在に接続される回転部材３２を軸線ＡＺ廻りに回転自在に保持し、この回転部材３２の下部に設けられた吐出ネジ部３２ｂが嵌合する吐出空間３１ｂが形成され、吐出ネジ部３２ｂを吐出空間３１ｂ内で軸線ＡＺ廻りに回転させることによりペーストを圧送するためのポンプ機構１８を形成するケーシング部３１と、回転部材３２をケーシング部３１に対して所定方向に相対回転させることによりポンプ機構１８を作動させてペーストを吐出口１７ａから吐出させる吐出用回転駆動機構とを備えた構成において、回転部材３２のペースト吐出時の回転方向をねじ締結部による締結時の回転方向と逆方向に設定する。
【解決手段】シリンジ１６の下端部に設けられたペースト送給口１６ｅがねじ締結部を介して着脱自在に接続される回転部材３２を軸線ＡＺ廻りに回転自在に保持し、この回転部材３２の下部に設けられた吐出ネジ部３２ｂが嵌合する吐出空間３１ｂが形成され、吐出ネジ部３２ｂを吐出空間３１ｂ内で軸線ＡＺ廻りに回転させることによりペーストを圧送するためのポンプ機構１８を形成するケーシング部３１と、回転部材３２をケーシング部３１に対して所定方向に相対回転させることによりポンプ機構１８を作動させてペーストを吐出口１７ａから吐出させる吐出用回転駆動機構とを備えた構成において、回転部材３２のペースト吐出時の回転方向をねじ締結部による締結時の回転方向と逆方向に設定する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シリンジ内に貯留されたペーストを吐出させて塗布対象物に塗布するペースト塗布装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置製造のダイボンディング工程では、リードフレームなどの基板に半導体チップを接着するためのペーストが塗布される。従来よりこのペースト塗布はディスペンサによってペーストを吐出することによって行われ、ディスペンサとして、シリンジ内に貯留されたペーストを空圧によって押し出し、ペースト吐出ネジによって吐出口から吐出させる構成のものが知られている（例えば特許文献１参照）。この特許文献に示す先行技術においては、ペーストを収容するシリンジをペースト吐出ネジを用いたポンプ機構の上方に直列にねじ締結によって結合し、空圧によってシリンジからポンプ機構にペーストを供給するようにしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００９−１３６８２６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら上述構成の先行技術には、シリンジをねじ締結によってポンプ機構に接続する構成に起因して、以下のような不都合が生じていた。すなわち、先行技術の構成では、シリンジはポンプ機構のペースト吐出ネジとともに回転するようになっており、中間位置において回転支持部によって回転自在に軸支されている。ところがこの回転支持部において、シリンジの装着姿勢の傾きなど何らかの理由によってシリンジの回転を円滑に軸支できないいわゆるカジリ現象が発生する場合がある。このような場合には、シリンジの回転が阻害された状態でポンプ機構のペースト吐出ネジのみが回転駆動されるため、シリンジを接続するネジ締結部に緩みが生じ、ペーストの漏れなどの不具合を生じる。
【０００５】
そこで本発明は、シリンジのネジ締結部の緩みを排除して、ペーストの漏れを防止することができるペースト塗布装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明のペースト塗布装置は、シリンジ内に収容されたペーストを塗布対象物に塗布するペースト塗布装置であって、円筒形状の前記シリンジの軸線と同軸位置に軸線を合わせて配置され、前記シリンジの下端部に設けられたペースト送給口がねじ締結部を介して着脱自在に接続される回転部材と、前記回転部材を前記軸線廻りに回転自在に保持し、この回転部材の下部に設けられた吐出ネジ部が嵌合する吐出空間が形成され、前記吐出ネジ部を前記吐出空間内で前記軸線廻りに回転させることにより前記ペーストを圧送するためのポンプ機構を形成するケーシング部と、前記ケーシング部の端部に前記吐出空間と連通して設けられた吐出口と、前記回転部材を軸方向に貫通し、前記ペースト送給口と前記吐出ネジ部に開孔して設けられたペースト導出孔を連通させて形成され、前記シリンジから前記ポンプ機構にペーストを送給するためのペースト送給路と、前記シリンジの内部にこのシリンジの軸線廻りの回転を許容する状態で空圧を供給することにより、前記シリンジ内のペーストを前記ペースト送給路を介して前記ポンプ機構に送給する空圧供給手段と、前記回転部材を前記ケーシング部に対して所定方向に相対回転させることにより、前記ポンプ機構を作動させて前記送給されたペーストを前記吐出口から吐出させる吐出用回転駆動機構とを備え、前記回転部材のペースト吐出時の回転方向が、前記ねじ締結部による締結時の回転方向と逆方向に設定されている。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、シリンジの下端部に設けられたペースト送給口がねじ締結部を介して着脱自在に接続される回転部材を軸線廻りに回転自在に保持し、この回転部材の下部に設けられた吐出ネジ部が嵌合する吐出空間が形成され、吐出ネジ部を吐出空間内で軸線廻りに回転させることによりペーストを圧送するためのポンプ機構を形成するケーシング部と、回転部材をケーシング部に対して所定方向に相対回転させることにより、ポンプ機構を作動させて送給されたペーストを吐出口から吐出させる吐出用回転駆動機構とを備えた構成において、回転部材のペースト吐出時の回転方向をねじ締結部による締結時の回転方向と逆方向に設定することにより、シリンジの回転時のネジ締結部の緩みを排除して、ペーストの漏れを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の一実施の形態のダイボンディング装置の斜視図
【図２】本発明の一実施の形態のペースト塗布装置の側面図
【図３】本発明の一実施の形態のペースト塗布装置の部分断面図
【図４】本発明の一実施の形態のペースト塗布装置のポンプ機構の説明図
【図５】本発明の一実施の形態のペースト塗布装置におけるペースト塗布動作の説明図
【図６】本発明の一実施の形態のペースト塗布装置におけるペースト塗布動作の説明図
【図７】本発明の一実施の形態のペースト塗布装置における回転部材のペースト吐出時の回転方向とねじ締結部による締結時の回転方向との関係を示す図
【発明を実施するための形態】
【０００９】
まず図１を参照してダイボンディング装置の構造を説明する。図１においてチップ供給部１にはウェハシート２が保持テーブル（図示省略）によって保持されている。ウェハシート２には複数の半導体チップ３が格子配列で貼着されている。チップ供給部１の側方には搬送路５が配設されており、搬送路５はリードフレーム６を搬送しペースト塗布位置およびボンディング位置にリードフレーム６を位置決めする。チップ供給部１の上方にはボンディングヘッド４が配設されており、ボンディングヘッド４は、ヘッド移動機構（図示省略）により水平移動および上下動する。
【００１０】
搬送路５の側方にはペースト塗布部９が配設されている。ペースト塗布部９は、移動テーブル１０に、略円筒形状の容器であるシリンジ１６内のペースト７を吐出して塗布する機能を有するペースト塗布ユニット１５を装着して構成されている。移動テーブル１０は、Ｙ軸テーブル１１上にＸ軸テーブル１２を段積みし、さらにその上にＬ型ブラケット１３を介してＺ軸テーブル１４を垂直方向に結合して構成されている。Ｙ軸テーブル１１、Ｘ軸テーブル１２、Ｚ軸テーブル１４は、それぞれＹ軸モータ１１ａ、Ｘ軸モータ１２ａ、Ｚ軸モータ１４ａを備えている。Ｘ軸モータ１２ａ、Ｙ軸モータ１１ａおよびＺ軸モータ１４ａを駆動することによりペースト塗布ユニット１５はリードフレーム６上で水平方向および上下方向に移動する。
【００１１】
ペースト塗布ユニット１５に装着されたシリンジ１６の内部には、半導体チップ３をリードフレーム６に接着するペースト７が貯溜されている。シリンジ１６内のペースト７はチューブ１９から供給される空圧によって送給され、さらにペースト塗布ユニット１５に備えられたポンプ機構１８（図２参照）によってペースト７は下端部に設けられた塗布ノズル１７から吐出される。リードフレーム６上面の半導体チップ３がボンディングされるチップボンディング部位は、ペーストが塗布される塗布エリア６ａであり、塗布ノズル１７の吐出口を塗布エリア６ａ内に位置させ、塗布ノズル１７からペースト７を吐出させながらペースト塗布ユニット１５を移動させることにより、リードフレーム６の表面のチップ搭載位置に設定された塗布エリア６ａ内には所定の塗布パターンでペースト７が塗布される。ペースト塗布後、リードフレーム６は搬送路５上をボンディング位置８に送られ、位置決めされる。そして塗布エリア６ａ内に塗布されたペースト７上に、ボンディングヘッド４のノズル４ａによってチップ供給部１からピックアップされた半導体チップ３がボンディングされる。
【００１２】
次に図２、図３、図４を参照して、ペースト塗布ユニット１５の構造を説明する。図３（ａ）、（ｂ）、（ｃ）はそれぞれ図２におけるＡ−Ａ断面、Ｂ−Ｂ断面およびＣ−Ｃ断面を示している。ペースト塗布ユニット１５は、シリンジ１６内に収容されたペースト７を塗布対象物であるリードフレーム６に塗布するペースト塗布装置となっている。図２において、垂直に配設されたＺ軸テーブル１４の側面には昇降部材２０が装着されている、昇降部材２０の上部および下部には、保持ブロック２１およびモータブラケット２２がＹ方向に延出して設けられている。モータブラケット２２には、モータ２３Ａ、２３Ｂが垂直姿勢で配設されており、モータ２３Ａ、２３Ｂは、制御部４１によって回転制御される。
【００１３】
図３（ａ）に示すように、モータ２３Ａ、２３Ｂは、シリンジ１６の中心線（矢印ｂ）に関して対称位置に配置されている。カップリング２４を介してモータ２３Ａ、２３Ｂにそれぞれ連結された駆動シャフト２５Ａ、２５Ｂの下端部には、駆動ギア２６Ａ、２６Ｂが結合されている。駆動ギア２６Ａ、２６Ｂは、それぞれ従動ギア２７Ａ、２７Ｂと噛合している。
【００１４】
保持ブロック２１には、略円筒形状のケーシング部３１がベアリング３０を介して垂直姿勢で軸支されている。ケーシング部３１の内部には垂直な軸線ＡＺに沿って嵌合孔３１ａが形成されており、ケーシング部３１の下端部には、ペースト吐出のための吐出口１７ａ（図４（ｂ）参照）が形成された塗布ノズル１７が突出して設けられている。嵌合孔３１ａには、中心軸に沿って内部孔３２ａが形成された回転部材３２が嵌合しており、回転部材３２はケーシング部３１に嵌着されたベアリング３５を介して垂直姿勢で軸支されて、ケーシング部３１に対して回転自在となっている。
【００１５】
回転部材３２の上端部には円板形状のシリンジ装着板３３が結合されており、シリンジ装着板３３にはシリンジ１６の下端部に設けられた装着部１６ｂが着脱自在に装着される。シリンジ１６は、保持ブロック２１によって位置保持された回転支持部２８によって、その中間位置を回転自在に軸支されている（図１も参照）。シリンジ装着板３３の上面には、外周に雄ねじが形成された装着雄ねじ部３３ａが上方に突出して設けられており、装着部１６ｂには装着雄ねじ部３３ａと螺合する雌ねじが形成された装着雌ねじ部１６ｄが設けられている。これらのねじ部は、時計回り方向の回転によって締結される右ねじ形式で設けられている。装着雌ねじ部１６ｄを装着雄ねじ部３３ａに螺合させて締結したシリンジ装着状態では、シリンジ１６は垂直な軸線ＡＺを回転部材３２の軸線ＡＺと一致させた同軸位置にある。
【００１６】
このシリンジ装着状態において、装着雌ねじ部１６ｄ内に下方に突出して設けられたペースト送給突部１６ｃは、シリンジ装着板３３を貫通して設けられた嵌合孔３３ｂ内に嵌合する。ペースト送給突部１６ｃにはシリンジ１６内部と連通するペースト送給口１６ｅが設けられており、シリンジ１６の内部はペースト送給口１６ｅを介して内部孔３２ａと連通する。上記構成において、回転部材３２は、略円筒形状のシリンジ１６の軸線ＡＺと同軸位置に軸線を合わせて配置され、シリンジ１６の下端部に設けられたペースト送給口１６ｅが着脱自在に接続されるようになっている。そしてケーシング部３１は、回転部材３２をベアリング３５を介して軸線ＡＺ廻りに回転自在に保持する。
【００１７】
装着雌ねじ部１６ｄおよび装着雄ねじ部３３ａは、シリンジ１６の下端部に設けられたペースト送給口１６ｅを回転部材３２に着脱自在に接続するネジ締結部を構成する。図２の部分拡大図に示すように、シリンジ１６のシリンジ装着板３３への装着状態において、装着雌ねじ部１６ｄの下面１６ｆはシリンジ装着板３３の上面３３ｃに当接している。このため、装着雌ねじ部１６ｄに装着雄ねじ部３３ａを螺合させる螺合代をこの状態よりも大きくすることができない。すなわち、装着雌ねじ部１６ｄの下面１６ｆおよびシリンジ装着板３３の上面３３ｃは、装着雌ねじ部１６ｄおよび装着雄ねじ部３３ａより成るねじ締結部における螺合代の上限を規制する螺合規制手段となっている。
【００１８】
シリンジ１６の上端部には側方に延出したフランジ部１６ａが設けられており、フランジ部１６ａにはシリンジ１６の上面の開口を閉塞するための蓋部材３７が装着されている。蓋部材３７に設けられたエア供給孔３７ａには、回転継手３９を介してチューブ１９（図１も参照）が接続されており、さらにチューブ１９はエア供給源３８に接続されている。エア供給源３８を作動させることにより、チューブ１９、エア供給孔３７ａを介してシリンジ１６の内部に空圧が供給される。空圧の供給は、空圧制御弁を制御部４１によって制御する形態の空圧制御部（図示省略）によってオン・オフおよび強弱が制御される。
【００１９】
シリンジ１６の内部にはピストン４０が装着されており、供給された空圧によってピストン４０には下方に押し下げる力（矢印ａ）が作用する。この押し下げ力によって、シリンジ１６内に貯留されたペースト７は下方に押し下げられ、ペースト送給口１６ｅを介して回転部材３２の内部孔３２ａ内に送給される。エア供給源３８、チューブ１９は、シリンジ１６の内部にこのシリンジ１６の軸線ＡＺ廻りの回転を許容する状態で空圧を供給することにより、シリンジ１６内のペースト７をペースト送給路である内部孔３２ａを介してポンプ機構１８に送給する空圧供給手段を構成する。
【００２０】
シリンジ装着板３３は結合部材３４を介して従動ギア２７Ｂに結合されている。従動ギア２７Ｂはベアリング３６を介してケーシング部３１の外周に嵌着されて、ケーシング部３１に対して回転自在に軸支されている。図３（ｂ）に示すように、従動ギア２７Ｂは駆動ギア２６Ｂと噛合しており、モータ２３Ｂを駆動して、駆動シャフト２５Ｂを介して駆動ギア２６Ｂを回転（矢印ｃ）させることにより従動ギア２７Ｂが回転し、この回転は結合部材３４、シリンジ装着板３３を介して、回転部材３２に伝達される（矢印ｄ）。そして回転部材３２が回転することにより、以下に説明するポンプ機構１８によってペースト７が吐出される。ケーシング部３１の外周には、従動ギア２７Ａが結合されている。従動ギア２７Ａは駆動ギア２６Ａと噛合しており、モータ２３Ａを駆動して、駆動シャフト２５Ａを介して駆動ギア２６Ａを回転（矢印ｅ）させることにより従動ギア２７Ａが回転し、これによりケーシング部３１が回転する（矢印ｆ）。
【００２１】
図４を参照して、ポンプ機構１８について説明する。図４（ａ）に示すように、回転部材３２の下部には、ペースト７を軸方向下方に移送するスクリュー溝が形成された吐出ネジ部３２ｂが設けられており、吐出ネジ部３２ｂは嵌合孔３１ａの下部の吐出空間３１ｂに嵌合する。吐出ネジ部３２ｂには内部孔３２ａの下端部と連通したペースト導出孔３２ｃが開孔している。したがって、シリンジ１６から内部孔３２ａを介して送られたペースト７は、吐出空間３１ｂ内に送給される。
【００２２】
モータ２３Ｂを駆動して回転部材３２を回転させ、吐出ネジ部３２ｂを吐出空間３１ｂ内でペースト送り方向（図４に示す矢印ｈ方向）に回転させることにより、ペースト導出孔３２ｃから吐出空間３１ｂ内に送給されたペースト７は、吐出ネジ部３２ｂの回転により軸方向下方に圧送される。ここでは、吐出ネジ部３２ｂは反時計回り方向の回転によって吐出が行われる左ネジ形式で設けられている。吐出空間３１ｂが設けられたケーシング部３１および吐出ネジ部３２ｂが設けられた回転部材３２は、吐出ネジ部３２ｂを吐出空間３１ｂ内で軸線ＡＺ廻りに回転させることによりペースト７を圧送するポンプ機構１８を形成する。
【００２３】
ポンプ機構１８によって圧送されたペースト７は、吐出口１７ａから吐出される。吐出口１７ａは、ケーシング部３１の端部に吐出空間３１ｂと連通して設けられている。上記構成において、内部孔３２ａは、回転部材３２を軸方向に貫通し、ペースト送給口１６ｅと吐出ネジ部３２ｂに開孔して設けられたペースト導出孔３２ｃを連通させて形成され、シリンジ１６からポンプ機構１８にペーストを送給するためのペースト送給路となっている。そしてモータ２３Ｂ、駆動ギア２６Ｂ、従動ギア２７Ｂは、回転部材３２をケーシング部３１に対して所定方向に相対回転させることにより、ポンプ機構１８を作動させて送給されたペースト７を吐出口１７ａから吐出させる吐出用回転駆動機構を構成する。
【００２４】
図４（ｂ）のＤ矢視に示すように、塗布ノズル１７には複数（ここでは２つ）の吐出口１７ａが設けられており、これにより、塗布ノズル１７からペースト７を吐出させてリードフレーム６の塗布エリア６ａに塗布するペースト塗布動作において、複数の塗布点に同時にペースト７を塗布することが可能となっている。塗布ノズル１７には、複数の吐出口１７ａの配列における方向基準線（矢印ｇ）が設定されており、ここでは２つの吐出口１７ａを結ぶ方向が方向基準線と合致している。ペースト塗布動作においては、リードフレーム６の塗布エリア６ａにおける所定の方向にこの方向基準線を合わせる方向合わせ動作を行う。
【００２５】
すなわち制御部４１によってモータ２３Ａを制御して、図５（ａ）に示すように、ケーシング部３１を回転駆動（矢印ｉ）することにより、吐出口１７ａの方向基準線を塗布対象の塗布エリア６ａにおける塗布方向に合わせる。図５（ｂ）、（ｃ）は、図４（ｂ）に示す方向基準線（矢印ｇ）を塗布エリア６ａにおける塗布方向に合わせて、吐出口１７ａからペースト７を吐出させて塗布エリア６ａに塗布した例を示している。上記構成において、モータ２３Ａ、駆動ギア２６Ａ、従動ギア２７Ａは、軸線ＡＺ廻りに回転自在に設けられたケーシング部３１を回転させることにより、複数の吐出口１７ａの配列における方向基準線を所望の回転位置に位置決めするケーシング部回転駆動機構を構成する。
【００２６】
なおモータ２３Ａを駆動してケーシング部３１を回転させる際には、制御部４１によってモータ２３Ａ、２３Ｂを制御することにより、モータ２３Ａ、２３Ｂを同時に駆動して、回転部材３２をケーシング部３１と同期して回転させ（矢印ｊ）、回転部材３２がケーシング部３１に対して相対回転しないようにする。これにより、ケーシング部３１の回転動作においてペースト７が不必要に吐出されることを防止することができる。
【００２７】
前述のペースト塗布動作においてポンプ機構１８を作動させる際や、吐出口１７ａの方向合わせのためのケーシング部回転動作においては、シリンジ１６も一体に回転する（図６に示す矢印ｋ参照）。このとき図６に示すように、シリンジ１６内に空圧を供給するチューブ１９は回転継手３９を介して接続されていることから、シリンジ１６の回転時においてもチューブ１９は固定状態にある。したがってシリンジを吐出ユニットと並列に配置していた従来技術において発生していたチューブの屈曲の問題が生じない。すなわちチューブ１９にはシリンジ１６の回転に伴う屈曲が作用せず、従ってチューブ１９の材質が劣化することがなく、この劣化により、予期しないタイミングにてチューブが破損してペーストの漏洩など、装置停止を必要とする不具合が生じることがない。またポンプ機構１８とシリンジ１６とを同軸に配置していることから、ペースト塗布装置の専有スペースを減少させることが可能となっている。
【００２８】
次に図７を参照して、装着雌ねじ部１６ｄに装着雄ねじ部３３ａを螺合締結する際の回転方向と、回転部材３２のペースト吐出時の回転方向との関係について説明する。図７（ａ）に示すように、シリンジ装着板３３にシリンジ１６を装着するためには、装着部１６ｂを時計回り方向（矢印ｌ）に回転させる。そして吐出口１７ａからペーストを吐出するには、回転部材３２を反時計回り方向（矢印ｍ）に回転させる。すなわち本実施の形態においては、回転部材３２のペースト吐出時の回転方向が、シリンジ１６を回転部材３２に装着するためのねじ締結部による締結時の回転方向と逆方向に設定されている。
【００２９】
これにより、シリンジ１６の中間位置を回転支持部２８によって回転自在に軸支する構成において、シリンジ１６の装着姿勢の傾きなど何らかの理由によって回転支持部２８がシリンジ１６の回転を円滑に軸支できないいわゆるカジリ現象が発生したような場合にあっても、シリンジ１６を回転部材３２に装着するためのねじ締結部の緩みが発生しない。すなわちこのような場合には、シリンジ１６の回転が阻害された状態で回転部材３２のみが回転駆動されるが、この回転部材３２の回転（矢印ｍ）は、ネジ締結部においては装着部１６ｂを締結方向（矢印ｌ）に相対回転させるように作用する。
【００３０】
そして前述のように、シリンジ１６のシリンジ装着板３３への装着状態において、装着雌ねじ部１６ｄの下面１６ｆはシリンジ装着板３３の上面３３ｃに当接して、螺合代の上限が規制されていることから、ねじ締結部の締結状態はこの状態で保たれる。したがって、シリンジ１６の回転が阻害された状態にあっても、ねじ締結部の緩みに起因するペーストの漏れなどの不具合が発生しない。
【００３１】
さらに上記構成において、制御部４１によってモータ２３Ａ、２３Ｂを制御することにより、シリンジ１６を任意の回転動作パターンによって回転させることができる。すなわちポンプ機構１８を機能させることなく、シリンジ１６のみを回転させることが可能となっており、このシリンジ１６の回転により、内部に貯留されたペースト７を、粘性によってシリンジ１６の回転に伴って回転方向に流動させることができる。このペースト７の連れ廻りにおいてシリンジ１６の回転動作のパターン、すなわち回転方向の反転や加減速を組み合わせることにより、ペースト７の塗布のための吐出に先立って、シリンジ１６内のペースト７の粘度の調整を目的とする撹拌・混練り動作を、各種のパターンで行わせることが可能となっている。
【産業上の利用可能性】
【００３２】
本発明のペースト塗布装置は、シリンジのネジ締結部の緩みを排除して、ペーストの漏れを防止することができるという効果を有し、ダイボンディング用のペースト塗布など、電子機器製造分野における接合用のペースト塗布分野に有用である。
【符号の説明】
【００３３】
３ 半導体チップ
６ リードフレーム
６ａ 塗布エリア
７ ペースト
９ ペースト塗布部
１０ 移動テーブル
１５ ペースト塗布ユニット
１６ シリンジ
１６ｄ 装着雌ねじ部
１６ｅ ペースト送給口
１７ 塗布ノズル
１７ａ 吐出口
１８ ポンプ機構
１９ チューブ
２３Ａ，２３Ｂ モータ
２６Ａ，２６Ｂ 駆動ギア
２７Ａ，２７Ｂ 従動ギア
２８ 回転支持部
３１ ケーシング部
３１ｂ 吐出空間
３２ 回転部材
３２ａ 内部孔
３２ｂ 吐出ネジ部
３２ｃ ペースト導出孔
３３ シリンジ装着板
３３ａ 装着雄ねじ部
３９ 回転継手
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シリンジ内に貯留されたペーストを吐出させて塗布対象物に塗布するペースト塗布装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置製造のダイボンディング工程では、リードフレームなどの基板に半導体チップを接着するためのペーストが塗布される。従来よりこのペースト塗布はディスペンサによってペーストを吐出することによって行われ、ディスペンサとして、シリンジ内に貯留されたペーストを空圧によって押し出し、ペースト吐出ネジによって吐出口から吐出させる構成のものが知られている（例えば特許文献１参照）。この特許文献に示す先行技術においては、ペーストを収容するシリンジをペースト吐出ネジを用いたポンプ機構の上方に直列にねじ締結によって結合し、空圧によってシリンジからポンプ機構にペーストを供給するようにしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００９−１３６８２６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら上述構成の先行技術には、シリンジをねじ締結によってポンプ機構に接続する構成に起因して、以下のような不都合が生じていた。すなわち、先行技術の構成では、シリンジはポンプ機構のペースト吐出ネジとともに回転するようになっており、中間位置において回転支持部によって回転自在に軸支されている。ところがこの回転支持部において、シリンジの装着姿勢の傾きなど何らかの理由によってシリンジの回転を円滑に軸支できないいわゆるカジリ現象が発生する場合がある。このような場合には、シリンジの回転が阻害された状態でポンプ機構のペースト吐出ネジのみが回転駆動されるため、シリンジを接続するネジ締結部に緩みが生じ、ペーストの漏れなどの不具合を生じる。
【０００５】
そこで本発明は、シリンジのネジ締結部の緩みを排除して、ペーストの漏れを防止することができるペースト塗布装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明のペースト塗布装置は、シリンジ内に収容されたペーストを塗布対象物に塗布するペースト塗布装置であって、円筒形状の前記シリンジの軸線と同軸位置に軸線を合わせて配置され、前記シリンジの下端部に設けられたペースト送給口がねじ締結部を介して着脱自在に接続される回転部材と、前記回転部材を前記軸線廻りに回転自在に保持し、この回転部材の下部に設けられた吐出ネジ部が嵌合する吐出空間が形成され、前記吐出ネジ部を前記吐出空間内で前記軸線廻りに回転させることにより前記ペーストを圧送するためのポンプ機構を形成するケーシング部と、前記ケーシング部の端部に前記吐出空間と連通して設けられた吐出口と、前記回転部材を軸方向に貫通し、前記ペースト送給口と前記吐出ネジ部に開孔して設けられたペースト導出孔を連通させて形成され、前記シリンジから前記ポンプ機構にペーストを送給するためのペースト送給路と、前記シリンジの内部にこのシリンジの軸線廻りの回転を許容する状態で空圧を供給することにより、前記シリンジ内のペーストを前記ペースト送給路を介して前記ポンプ機構に送給する空圧供給手段と、前記回転部材を前記ケーシング部に対して所定方向に相対回転させることにより、前記ポンプ機構を作動させて前記送給されたペーストを前記吐出口から吐出させる吐出用回転駆動機構とを備え、前記回転部材のペースト吐出時の回転方向が、前記ねじ締結部による締結時の回転方向と逆方向に設定されている。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、シリンジの下端部に設けられたペースト送給口がねじ締結部を介して着脱自在に接続される回転部材を軸線廻りに回転自在に保持し、この回転部材の下部に設けられた吐出ネジ部が嵌合する吐出空間が形成され、吐出ネジ部を吐出空間内で軸線廻りに回転させることによりペーストを圧送するためのポンプ機構を形成するケーシング部と、回転部材をケーシング部に対して所定方向に相対回転させることにより、ポンプ機構を作動させて送給されたペーストを吐出口から吐出させる吐出用回転駆動機構とを備えた構成において、回転部材のペースト吐出時の回転方向をねじ締結部による締結時の回転方向と逆方向に設定することにより、シリンジの回転時のネジ締結部の緩みを排除して、ペーストの漏れを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の一実施の形態のダイボンディング装置の斜視図
【図２】本発明の一実施の形態のペースト塗布装置の側面図
【図３】本発明の一実施の形態のペースト塗布装置の部分断面図
【図４】本発明の一実施の形態のペースト塗布装置のポンプ機構の説明図
【図５】本発明の一実施の形態のペースト塗布装置におけるペースト塗布動作の説明図
【図６】本発明の一実施の形態のペースト塗布装置におけるペースト塗布動作の説明図
【図７】本発明の一実施の形態のペースト塗布装置における回転部材のペースト吐出時の回転方向とねじ締結部による締結時の回転方向との関係を示す図
【発明を実施するための形態】
【０００９】
まず図１を参照してダイボンディング装置の構造を説明する。図１においてチップ供給部１にはウェハシート２が保持テーブル（図示省略）によって保持されている。ウェハシート２には複数の半導体チップ３が格子配列で貼着されている。チップ供給部１の側方には搬送路５が配設されており、搬送路５はリードフレーム６を搬送しペースト塗布位置およびボンディング位置にリードフレーム６を位置決めする。チップ供給部１の上方にはボンディングヘッド４が配設されており、ボンディングヘッド４は、ヘッド移動機構（図示省略）により水平移動および上下動する。
【００１０】
搬送路５の側方にはペースト塗布部９が配設されている。ペースト塗布部９は、移動テーブル１０に、略円筒形状の容器であるシリンジ１６内のペースト７を吐出して塗布する機能を有するペースト塗布ユニット１５を装着して構成されている。移動テーブル１０は、Ｙ軸テーブル１１上にＸ軸テーブル１２を段積みし、さらにその上にＬ型ブラケット１３を介してＺ軸テーブル１４を垂直方向に結合して構成されている。Ｙ軸テーブル１１、Ｘ軸テーブル１２、Ｚ軸テーブル１４は、それぞれＹ軸モータ１１ａ、Ｘ軸モータ１２ａ、Ｚ軸モータ１４ａを備えている。Ｘ軸モータ１２ａ、Ｙ軸モータ１１ａおよびＺ軸モータ１４ａを駆動することによりペースト塗布ユニット１５はリードフレーム６上で水平方向および上下方向に移動する。
【００１１】
ペースト塗布ユニット１５に装着されたシリンジ１６の内部には、半導体チップ３をリードフレーム６に接着するペースト７が貯溜されている。シリンジ１６内のペースト７はチューブ１９から供給される空圧によって送給され、さらにペースト塗布ユニット１５に備えられたポンプ機構１８（図２参照）によってペースト７は下端部に設けられた塗布ノズル１７から吐出される。リードフレーム６上面の半導体チップ３がボンディングされるチップボンディング部位は、ペーストが塗布される塗布エリア６ａであり、塗布ノズル１７の吐出口を塗布エリア６ａ内に位置させ、塗布ノズル１７からペースト７を吐出させながらペースト塗布ユニット１５を移動させることにより、リードフレーム６の表面のチップ搭載位置に設定された塗布エリア６ａ内には所定の塗布パターンでペースト７が塗布される。ペースト塗布後、リードフレーム６は搬送路５上をボンディング位置８に送られ、位置決めされる。そして塗布エリア６ａ内に塗布されたペースト７上に、ボンディングヘッド４のノズル４ａによってチップ供給部１からピックアップされた半導体チップ３がボンディングされる。
【００１２】
次に図２、図３、図４を参照して、ペースト塗布ユニット１５の構造を説明する。図３（ａ）、（ｂ）、（ｃ）はそれぞれ図２におけるＡ−Ａ断面、Ｂ−Ｂ断面およびＣ−Ｃ断面を示している。ペースト塗布ユニット１５は、シリンジ１６内に収容されたペースト７を塗布対象物であるリードフレーム６に塗布するペースト塗布装置となっている。図２において、垂直に配設されたＺ軸テーブル１４の側面には昇降部材２０が装着されている、昇降部材２０の上部および下部には、保持ブロック２１およびモータブラケット２２がＹ方向に延出して設けられている。モータブラケット２２には、モータ２３Ａ、２３Ｂが垂直姿勢で配設されており、モータ２３Ａ、２３Ｂは、制御部４１によって回転制御される。
【００１３】
図３（ａ）に示すように、モータ２３Ａ、２３Ｂは、シリンジ１６の中心線（矢印ｂ）に関して対称位置に配置されている。カップリング２４を介してモータ２３Ａ、２３Ｂにそれぞれ連結された駆動シャフト２５Ａ、２５Ｂの下端部には、駆動ギア２６Ａ、２６Ｂが結合されている。駆動ギア２６Ａ、２６Ｂは、それぞれ従動ギア２７Ａ、２７Ｂと噛合している。
【００１４】
保持ブロック２１には、略円筒形状のケーシング部３１がベアリング３０を介して垂直姿勢で軸支されている。ケーシング部３１の内部には垂直な軸線ＡＺに沿って嵌合孔３１ａが形成されており、ケーシング部３１の下端部には、ペースト吐出のための吐出口１７ａ（図４（ｂ）参照）が形成された塗布ノズル１７が突出して設けられている。嵌合孔３１ａには、中心軸に沿って内部孔３２ａが形成された回転部材３２が嵌合しており、回転部材３２はケーシング部３１に嵌着されたベアリング３５を介して垂直姿勢で軸支されて、ケーシング部３１に対して回転自在となっている。
【００１５】
回転部材３２の上端部には円板形状のシリンジ装着板３３が結合されており、シリンジ装着板３３にはシリンジ１６の下端部に設けられた装着部１６ｂが着脱自在に装着される。シリンジ１６は、保持ブロック２１によって位置保持された回転支持部２８によって、その中間位置を回転自在に軸支されている（図１も参照）。シリンジ装着板３３の上面には、外周に雄ねじが形成された装着雄ねじ部３３ａが上方に突出して設けられており、装着部１６ｂには装着雄ねじ部３３ａと螺合する雌ねじが形成された装着雌ねじ部１６ｄが設けられている。これらのねじ部は、時計回り方向の回転によって締結される右ねじ形式で設けられている。装着雌ねじ部１６ｄを装着雄ねじ部３３ａに螺合させて締結したシリンジ装着状態では、シリンジ１６は垂直な軸線ＡＺを回転部材３２の軸線ＡＺと一致させた同軸位置にある。
【００１６】
このシリンジ装着状態において、装着雌ねじ部１６ｄ内に下方に突出して設けられたペースト送給突部１６ｃは、シリンジ装着板３３を貫通して設けられた嵌合孔３３ｂ内に嵌合する。ペースト送給突部１６ｃにはシリンジ１６内部と連通するペースト送給口１６ｅが設けられており、シリンジ１６の内部はペースト送給口１６ｅを介して内部孔３２ａと連通する。上記構成において、回転部材３２は、略円筒形状のシリンジ１６の軸線ＡＺと同軸位置に軸線を合わせて配置され、シリンジ１６の下端部に設けられたペースト送給口１６ｅが着脱自在に接続されるようになっている。そしてケーシング部３１は、回転部材３２をベアリング３５を介して軸線ＡＺ廻りに回転自在に保持する。
【００１７】
装着雌ねじ部１６ｄおよび装着雄ねじ部３３ａは、シリンジ１６の下端部に設けられたペースト送給口１６ｅを回転部材３２に着脱自在に接続するネジ締結部を構成する。図２の部分拡大図に示すように、シリンジ１６のシリンジ装着板３３への装着状態において、装着雌ねじ部１６ｄの下面１６ｆはシリンジ装着板３３の上面３３ｃに当接している。このため、装着雌ねじ部１６ｄに装着雄ねじ部３３ａを螺合させる螺合代をこの状態よりも大きくすることができない。すなわち、装着雌ねじ部１６ｄの下面１６ｆおよびシリンジ装着板３３の上面３３ｃは、装着雌ねじ部１６ｄおよび装着雄ねじ部３３ａより成るねじ締結部における螺合代の上限を規制する螺合規制手段となっている。
【００１８】
シリンジ１６の上端部には側方に延出したフランジ部１６ａが設けられており、フランジ部１６ａにはシリンジ１６の上面の開口を閉塞するための蓋部材３７が装着されている。蓋部材３７に設けられたエア供給孔３７ａには、回転継手３９を介してチューブ１９（図１も参照）が接続されており、さらにチューブ１９はエア供給源３８に接続されている。エア供給源３８を作動させることにより、チューブ１９、エア供給孔３７ａを介してシリンジ１６の内部に空圧が供給される。空圧の供給は、空圧制御弁を制御部４１によって制御する形態の空圧制御部（図示省略）によってオン・オフおよび強弱が制御される。
【００１９】
シリンジ１６の内部にはピストン４０が装着されており、供給された空圧によってピストン４０には下方に押し下げる力（矢印ａ）が作用する。この押し下げ力によって、シリンジ１６内に貯留されたペースト７は下方に押し下げられ、ペースト送給口１６ｅを介して回転部材３２の内部孔３２ａ内に送給される。エア供給源３８、チューブ１９は、シリンジ１６の内部にこのシリンジ１６の軸線ＡＺ廻りの回転を許容する状態で空圧を供給することにより、シリンジ１６内のペースト７をペースト送給路である内部孔３２ａを介してポンプ機構１８に送給する空圧供給手段を構成する。
【００２０】
シリンジ装着板３３は結合部材３４を介して従動ギア２７Ｂに結合されている。従動ギア２７Ｂはベアリング３６を介してケーシング部３１の外周に嵌着されて、ケーシング部３１に対して回転自在に軸支されている。図３（ｂ）に示すように、従動ギア２７Ｂは駆動ギア２６Ｂと噛合しており、モータ２３Ｂを駆動して、駆動シャフト２５Ｂを介して駆動ギア２６Ｂを回転（矢印ｃ）させることにより従動ギア２７Ｂが回転し、この回転は結合部材３４、シリンジ装着板３３を介して、回転部材３２に伝達される（矢印ｄ）。そして回転部材３２が回転することにより、以下に説明するポンプ機構１８によってペースト７が吐出される。ケーシング部３１の外周には、従動ギア２７Ａが結合されている。従動ギア２７Ａは駆動ギア２６Ａと噛合しており、モータ２３Ａを駆動して、駆動シャフト２５Ａを介して駆動ギア２６Ａを回転（矢印ｅ）させることにより従動ギア２７Ａが回転し、これによりケーシング部３１が回転する（矢印ｆ）。
【００２１】
図４を参照して、ポンプ機構１８について説明する。図４（ａ）に示すように、回転部材３２の下部には、ペースト７を軸方向下方に移送するスクリュー溝が形成された吐出ネジ部３２ｂが設けられており、吐出ネジ部３２ｂは嵌合孔３１ａの下部の吐出空間３１ｂに嵌合する。吐出ネジ部３２ｂには内部孔３２ａの下端部と連通したペースト導出孔３２ｃが開孔している。したがって、シリンジ１６から内部孔３２ａを介して送られたペースト７は、吐出空間３１ｂ内に送給される。
【００２２】
モータ２３Ｂを駆動して回転部材３２を回転させ、吐出ネジ部３２ｂを吐出空間３１ｂ内でペースト送り方向（図４に示す矢印ｈ方向）に回転させることにより、ペースト導出孔３２ｃから吐出空間３１ｂ内に送給されたペースト７は、吐出ネジ部３２ｂの回転により軸方向下方に圧送される。ここでは、吐出ネジ部３２ｂは反時計回り方向の回転によって吐出が行われる左ネジ形式で設けられている。吐出空間３１ｂが設けられたケーシング部３１および吐出ネジ部３２ｂが設けられた回転部材３２は、吐出ネジ部３２ｂを吐出空間３１ｂ内で軸線ＡＺ廻りに回転させることによりペースト７を圧送するポンプ機構１８を形成する。
【００２３】
ポンプ機構１８によって圧送されたペースト７は、吐出口１７ａから吐出される。吐出口１７ａは、ケーシング部３１の端部に吐出空間３１ｂと連通して設けられている。上記構成において、内部孔３２ａは、回転部材３２を軸方向に貫通し、ペースト送給口１６ｅと吐出ネジ部３２ｂに開孔して設けられたペースト導出孔３２ｃを連通させて形成され、シリンジ１６からポンプ機構１８にペーストを送給するためのペースト送給路となっている。そしてモータ２３Ｂ、駆動ギア２６Ｂ、従動ギア２７Ｂは、回転部材３２をケーシング部３１に対して所定方向に相対回転させることにより、ポンプ機構１８を作動させて送給されたペースト７を吐出口１７ａから吐出させる吐出用回転駆動機構を構成する。
【００２４】
図４（ｂ）のＤ矢視に示すように、塗布ノズル１７には複数（ここでは２つ）の吐出口１７ａが設けられており、これにより、塗布ノズル１７からペースト７を吐出させてリードフレーム６の塗布エリア６ａに塗布するペースト塗布動作において、複数の塗布点に同時にペースト７を塗布することが可能となっている。塗布ノズル１７には、複数の吐出口１７ａの配列における方向基準線（矢印ｇ）が設定されており、ここでは２つの吐出口１７ａを結ぶ方向が方向基準線と合致している。ペースト塗布動作においては、リードフレーム６の塗布エリア６ａにおける所定の方向にこの方向基準線を合わせる方向合わせ動作を行う。
【００２５】
すなわち制御部４１によってモータ２３Ａを制御して、図５（ａ）に示すように、ケーシング部３１を回転駆動（矢印ｉ）することにより、吐出口１７ａの方向基準線を塗布対象の塗布エリア６ａにおける塗布方向に合わせる。図５（ｂ）、（ｃ）は、図４（ｂ）に示す方向基準線（矢印ｇ）を塗布エリア６ａにおける塗布方向に合わせて、吐出口１７ａからペースト７を吐出させて塗布エリア６ａに塗布した例を示している。上記構成において、モータ２３Ａ、駆動ギア２６Ａ、従動ギア２７Ａは、軸線ＡＺ廻りに回転自在に設けられたケーシング部３１を回転させることにより、複数の吐出口１７ａの配列における方向基準線を所望の回転位置に位置決めするケーシング部回転駆動機構を構成する。
【００２６】
なおモータ２３Ａを駆動してケーシング部３１を回転させる際には、制御部４１によってモータ２３Ａ、２３Ｂを制御することにより、モータ２３Ａ、２３Ｂを同時に駆動して、回転部材３２をケーシング部３１と同期して回転させ（矢印ｊ）、回転部材３２がケーシング部３１に対して相対回転しないようにする。これにより、ケーシング部３１の回転動作においてペースト７が不必要に吐出されることを防止することができる。
【００２７】
前述のペースト塗布動作においてポンプ機構１８を作動させる際や、吐出口１７ａの方向合わせのためのケーシング部回転動作においては、シリンジ１６も一体に回転する（図６に示す矢印ｋ参照）。このとき図６に示すように、シリンジ１６内に空圧を供給するチューブ１９は回転継手３９を介して接続されていることから、シリンジ１６の回転時においてもチューブ１９は固定状態にある。したがってシリンジを吐出ユニットと並列に配置していた従来技術において発生していたチューブの屈曲の問題が生じない。すなわちチューブ１９にはシリンジ１６の回転に伴う屈曲が作用せず、従ってチューブ１９の材質が劣化することがなく、この劣化により、予期しないタイミングにてチューブが破損してペーストの漏洩など、装置停止を必要とする不具合が生じることがない。またポンプ機構１８とシリンジ１６とを同軸に配置していることから、ペースト塗布装置の専有スペースを減少させることが可能となっている。
【００２８】
次に図７を参照して、装着雌ねじ部１６ｄに装着雄ねじ部３３ａを螺合締結する際の回転方向と、回転部材３２のペースト吐出時の回転方向との関係について説明する。図７（ａ）に示すように、シリンジ装着板３３にシリンジ１６を装着するためには、装着部１６ｂを時計回り方向（矢印ｌ）に回転させる。そして吐出口１７ａからペーストを吐出するには、回転部材３２を反時計回り方向（矢印ｍ）に回転させる。すなわち本実施の形態においては、回転部材３２のペースト吐出時の回転方向が、シリンジ１６を回転部材３２に装着するためのねじ締結部による締結時の回転方向と逆方向に設定されている。
【００２９】
これにより、シリンジ１６の中間位置を回転支持部２８によって回転自在に軸支する構成において、シリンジ１６の装着姿勢の傾きなど何らかの理由によって回転支持部２８がシリンジ１６の回転を円滑に軸支できないいわゆるカジリ現象が発生したような場合にあっても、シリンジ１６を回転部材３２に装着するためのねじ締結部の緩みが発生しない。すなわちこのような場合には、シリンジ１６の回転が阻害された状態で回転部材３２のみが回転駆動されるが、この回転部材３２の回転（矢印ｍ）は、ネジ締結部においては装着部１６ｂを締結方向（矢印ｌ）に相対回転させるように作用する。
【００３０】
そして前述のように、シリンジ１６のシリンジ装着板３３への装着状態において、装着雌ねじ部１６ｄの下面１６ｆはシリンジ装着板３３の上面３３ｃに当接して、螺合代の上限が規制されていることから、ねじ締結部の締結状態はこの状態で保たれる。したがって、シリンジ１６の回転が阻害された状態にあっても、ねじ締結部の緩みに起因するペーストの漏れなどの不具合が発生しない。
【００３１】
さらに上記構成において、制御部４１によってモータ２３Ａ、２３Ｂを制御することにより、シリンジ１６を任意の回転動作パターンによって回転させることができる。すなわちポンプ機構１８を機能させることなく、シリンジ１６のみを回転させることが可能となっており、このシリンジ１６の回転により、内部に貯留されたペースト７を、粘性によってシリンジ１６の回転に伴って回転方向に流動させることができる。このペースト７の連れ廻りにおいてシリンジ１６の回転動作のパターン、すなわち回転方向の反転や加減速を組み合わせることにより、ペースト７の塗布のための吐出に先立って、シリンジ１６内のペースト７の粘度の調整を目的とする撹拌・混練り動作を、各種のパターンで行わせることが可能となっている。
【産業上の利用可能性】
【００３２】
本発明のペースト塗布装置は、シリンジのネジ締結部の緩みを排除して、ペーストの漏れを防止することができるという効果を有し、ダイボンディング用のペースト塗布など、電子機器製造分野における接合用のペースト塗布分野に有用である。
【符号の説明】
【００３３】
３ 半導体チップ
６ リードフレーム
６ａ 塗布エリア
７ ペースト
９ ペースト塗布部
１０ 移動テーブル
１５ ペースト塗布ユニット
１６ シリンジ
１６ｄ 装着雌ねじ部
１６ｅ ペースト送給口
１７ 塗布ノズル
１７ａ 吐出口
１８ ポンプ機構
１９ チューブ
２３Ａ，２３Ｂ モータ
２６Ａ，２６Ｂ 駆動ギア
２７Ａ，２７Ｂ 従動ギア
２８ 回転支持部
３１ ケーシング部
３１ｂ 吐出空間
３２ 回転部材
３２ａ 内部孔
３２ｂ 吐出ネジ部
３２ｃ ペースト導出孔
３３ シリンジ装着板
３３ａ 装着雄ねじ部
３９ 回転継手
【特許請求の範囲】
【請求項１】
シリンジ内に収容されたペーストを塗布対象物に塗布するペースト塗布装置であって、
円筒形状の前記シリンジの軸線と同軸位置に軸線を合わせて配置され、前記シリンジの下端部に設けられたペースト送給口がねじ締結部を介して着脱自在に接続される回転部材と、
前記回転部材を前記軸線廻りに回転自在に保持し、この回転部材の下部に設けられた吐出ネジ部が嵌合する吐出空間が形成され、前記吐出ネジ部を前記吐出空間内で前記軸線廻りに回転させることにより前記ペーストを圧送するためのポンプ機構を形成するケーシング部と、前記ケーシング部の端部に前記吐出空間と連通して設けられた吐出口と、
前記回転部材を軸方向に貫通し、前記ペースト送給口と前記吐出ネジ部に開孔して設けられたペースト導出孔を連通させて形成され、前記シリンジから前記ポンプ機構にペーストを送給するためのペースト送給路と、
前記シリンジの内部にこのシリンジの軸線廻りの回転を許容する状態で空圧を供給することにより、前記シリンジ内のペーストを前記ペースト送給路を介して前記ポンプ機構に送給する空圧供給手段と、
前記回転部材を前記ケーシング部に対して所定方向に相対回転させることにより、前記ポンプ機構を作動させて前記送給されたペーストを前記吐出口から吐出させる吐出用回転駆動機構とを備え、
前記回転部材のペースト吐出時の回転方向が、前記ねじ締結部による締結時の回転方向と逆方向に設定されていることを特徴とするペースト塗布装置。
【請求項２】
前記ねじ締結部における螺合代の上限を規制する螺合規制手段を備えたことを特徴とする請求項１記載のペースト塗布装置。
【請求項１】
シリンジ内に収容されたペーストを塗布対象物に塗布するペースト塗布装置であって、
円筒形状の前記シリンジの軸線と同軸位置に軸線を合わせて配置され、前記シリンジの下端部に設けられたペースト送給口がねじ締結部を介して着脱自在に接続される回転部材と、
前記回転部材を前記軸線廻りに回転自在に保持し、この回転部材の下部に設けられた吐出ネジ部が嵌合する吐出空間が形成され、前記吐出ネジ部を前記吐出空間内で前記軸線廻りに回転させることにより前記ペーストを圧送するためのポンプ機構を形成するケーシング部と、前記ケーシング部の端部に前記吐出空間と連通して設けられた吐出口と、
前記回転部材を軸方向に貫通し、前記ペースト送給口と前記吐出ネジ部に開孔して設けられたペースト導出孔を連通させて形成され、前記シリンジから前記ポンプ機構にペーストを送給するためのペースト送給路と、
前記シリンジの内部にこのシリンジの軸線廻りの回転を許容する状態で空圧を供給することにより、前記シリンジ内のペーストを前記ペースト送給路を介して前記ポンプ機構に送給する空圧供給手段と、
前記回転部材を前記ケーシング部に対して所定方向に相対回転させることにより、前記ポンプ機構を作動させて前記送給されたペーストを前記吐出口から吐出させる吐出用回転駆動機構とを備え、
前記回転部材のペースト吐出時の回転方向が、前記ねじ締結部による締結時の回転方向と逆方向に設定されていることを特徴とするペースト塗布装置。
【請求項２】
前記ねじ締結部における螺合代の上限を規制する螺合規制手段を備えたことを特徴とする請求項１記載のペースト塗布装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【公開番号】特開２０１３−５５０９６（Ｐ２０１３−５５０９６Ａ）
【公開日】平成２５年３月２１日（２０１３．３．２１）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−１９０３１３（Ｐ２０１１−１９０３１３）
【出願日】平成２３年９月１日（２０１１．９．１）
【出願人】（０００００５８２１）パナソニック株式会社 (73,050)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２５年３月２１日（２０１３．３．２１）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年９月１日（２０１１．９．１）
【出願人】（０００００５８２１）パナソニック株式会社 (73,050)
【Ｆターム（参考）】
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