説明

ポジションセンサ

【課題】対象物の変位に対する検出コイルのインダクタンスの変化の直線性を向上させることのできるポジションセンサを提供する。
【解決手段】各誘電体基板1,2の表面に印刷形成された検出コイルCoと、検出コイルCoと対向して配置されるとともに対象物の変位と連動して検出コイルCoに対して円周軌道上を変位する検出体30a,30bと、検出体30a,30bの変位に応じて変化する検出コイルCoのインダクタンスに基づいて対象物の変位を検出する検出部とを備え、検出コイルCo又は検出体30a,30bのうち少なくとも何れか一方を、検出体30a,30bの変位に対する検出コイルCoのインダクタンスの変化率が一定となる形状に形成した。

【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、対象物の変位を検出するポジションセンサに関する。
【背景技術】
【0002】
従来から、対象物の変位(例えば、回転する対象物の回転量や回転角度、あるいは回転位置)を検出するポジションセンサが種々提供されており、例えば特許文献1に開示されているようなものがある。この特許文献1に記載の変位センサ(ポジションセンサ)は、非磁性体から成る筒状のコアに巻き回された検出コイルと、検出コイルの内側又は外側近傍に配置されて検出コイルの軸方向に変位可能な筒状の導電体とを備える。そして、検出コイルと導電体との間の距離に応じて変化する検出コイルのインダクタンスに対応した周波数の発振信号を発振回路から出力し、当該発振信号に基づいて導電体の変位を検出する。而して、対象物と連動する導電体の変位を検出コイルのインダクタンス変化として検出することで、対象物の変位を検出することができるようになっている。
【0003】
しかしながら、特許文献1に記載のポジションセンサでは、導電体にコアを挿入しなければならないため、導電体とコアとを収納するケースの厚み寸法が大きくなってしまい、薄型化が困難であるという問題があった。そこで、上記の問題点を解決することのできるポジションセンサが近年、考えられている。以下、このポジションセンサについて図面を用いて説明する。尚、以下の説明では、図6における上下を上下方向と定めるものとする。
【0004】
このポジションセンサは、図6に示すように、上面に1対の検出コイル100aが印刷形成された第1の絶縁基板100と、下面に1対の検出コイル(図示せず)が印刷形成された第2の絶縁基板101とを備える。また、非磁性材料から扇形に形成された1対の検出体102aと、各検出体102aを保持する保持体103とを有するロータブロック104を備える。これら第1及び第2の絶縁基板100,101とロータブロック104とは、一面を開口した箱体のボディ105aの開口面をカバー105bで閉塞して成るケース105の内部に収納される。尚、検出体102aの形状は厳密に言えば扇形ではなく、扇形から一回り小さい相似形の扇形を切り取った残りの図形に等しい形状である。したがって、以降の説明では、「扇形」は全て「扇形から一回り小さい相似形の扇形を切り取った残りの図形」を指すものとする。
【0005】
以下、上記ポジションセンサの動作について簡単に説明する。対象物(図示せず)の変位に伴って、対象物と連動するロータブロック104の保持体103が回動すると、保持体103と連動して各検出体102aが互いに180度ずれて円周軌道上を変位する。そして、特許文献1に記載されている従来例と同様に、各検出体102aと2組の検出コイルとの相対位置に応じて変化する各検出コイルのインダクタンスに対応した周波数の発振信号を発振回路から出力する。この発振信号に基づいて各検出体102aの変位を検出することで、各検出体102aと検出コイルとの相対位置情報、即ち、ロータブロック104と連動する対象物の回転量を検出することができる。尚、具体的な検出方法については特許文献1に開示されているように従来周知であるので、ここでは詳細な説明は省略する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0006】
【特許文献1】特開2008−292376号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0007】
ところで、上記のようなポジションセンサでは、対象物の変位に対する検出コイルのインダクタンスの変化率が一定である、即ち、対象物の変位に対して検出コイルのインダクタンスが線形に変化することが好ましい。しかしながら、上記後者の従来例では、各検出体102aを流れる渦電流の経路が各検出体102aの変位に伴って変化し、その電流密度も場所によって異なることから、検出コイルのインダクタンスが各検出体102aの変位に対して非線形に変化する。このため、対象物の変位に対しても検出コイルのインダクタンスが非線形に変化するため、十分な直線性を得ることができないという問題があった。
【0008】
本発明は、上記の点に鑑みて為されたもので、対象物の変位に対する検出コイルのインダクタンスの変化の直線性を向上させることのできるポジションセンサを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0009】
本発明のポジションセンサは、誘電体から成る基板の表面に印刷形成された検出コイルと、前記検出コイルと対向して配置されるとともに対象物の変位と連動して前記検出コイルに対して所定の軌道上を変位する検出体と、前記検出体の変位に応じて変化する前記検出コイルのインダクタンスに基づいて前記対象物の変位を検出する検出部とを備え、前記検出コイル又は前記検出体のうち少なくとも何れか一方は、前記検出体の変位に対する前記検出コイルのインダクタンスの変化率が一定となる形状に形成されたことを特徴とする。
【0010】
このポジションセンサにおいて、前記検出体は、その径方向における幅寸法が自身の変位する方向に沿って変化する形状に形成されることが好ましい。
【0011】
このポジションセンサにおいて、前記検出コイルは、その径方向における幅寸法が前記検出体の変位する方向に沿って変化する形状に形成されることが好ましい。
【0012】
このポジションセンサにおいて、前記検出体は、自身と前記検出コイルとの間の距離が自身の変位する方向に沿って変化する形状に形成されることが好ましい。
【発明の効果】
【0013】
本発明は、検出コイル又は検出体のうち少なくとも何れか一方が、検出体の変位に対する検出コイルのインダクタンスの変化率が一定となる形状に形成されているので、検出体の変位に対して検出コイルのインダクタンスを線形に変化させることができる。したがって、検出体の変位と連動する対象物の変位に対しても検出コイルのインダクタンスの変化の直線性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【0014】
【図1】本発明に係るポジションセンサの実施形態を示す図で、(a)は分解斜視図で、(b)はロータブロックの上面図である。
【図2】同上の対象物の回転角度に対するインダクタンスの変化の特性を示す相関図である。
【図3】同上の検出コイルの他の構成を示す第1の誘電体基板の上面図である。
【図4】同上の検出体の他の構成を示す図で、(a)は検出体の一端部を折曲した場合の要部断面図で、(b)は検出体の一端部の厚み寸法を変更した場合の要部断面図である。
【図5】同上の直動型のポジションセンサの構成を示す図で、(a)は概略図で、(b)は検出体の変位方向に沿って一様に巻き回した検出コイルの平面図で、(c)は検出体の変位方向に沿って非一様に巻き回した検出コイルの平面図である。
【図6】従来のポジションセンサを示す分解斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【0015】
以下、本発明に係るポジションセンサの実施形態について図面を用いて説明する。尚、以下の説明では、図1(a)において上下左右及び前後の向きを定義する。また、以下の説明では、「検出コイルCo」と呼ぶ場合には、後述する第1の誘電体基板1の各検出コイル10a,10b、及び第2の誘電体基板2の各検出コイルの全てを指すものとする。本実施形態は、図1(a)に示すように、上面に1対の検出コイル10a,10bが印刷形成された第1の誘電体基板1と、下面に1対の検出コイル(図示せず)が印刷形成された第2の誘電体基板2とを備える。また、非磁性材料(例えばアルミ板)から扇形に形成された1対の検出体30a,30bと、各検出体30a,30bを保持する保持体31とを有するロータブロック3を備える。これら第1及び第2の誘電体基板1,2とロータブロック3とは、上面を開口した箱体のボディ4の開口面をカバー5で閉塞して成るケース6の内部に収納される。
【0016】
第1の誘電体基板1は円盤状に形成され、その中央部には厚み方向に貫通する円形状の貫通孔11が設けられている。そして、1対の検出コイル10a,10bは、第1の誘電体基板1の上面において貫通孔11を挟んで対向する位置に印刷形成されている。尚、これら1対の検出コイル10a,10bは、その外形が扇形となるようにパターニングされている。また、第1の誘電体基板1の外周縁には、相対的に幅が狭い複数(図示では4つ)の切り欠き12と、相対的に幅が太い複数(図示では3つ)の切り欠き13とがそれぞれ等間隔且つ互い違いに設けられている。更に、第1の誘電体基板1の後端部には、4つのスルーホール14が周方向に沿って並設されている。これらスルーホール14の開口端には、第1の誘電体基板1の下面において、各検出コイル10a,10bのコイル端末と電気的に接続されたランド(図示せず)が印刷形成されている。
【0017】
第2の誘電体基板2は、円盤状に形成され且つ中央部に厚み方向に貫通する円形状の貫通孔21が設けられた主片20と、主片21後側の外周縁から突出する矩形状の端子片22とが一体に形成されて成る。そして、第2の誘電体基板2の下面には、貫通孔21を挟んで対向する位置に1対の検出コイルが印刷形成されている。尚、図示は省略しているが、これら1対の検出コイルは第1の誘電体基板1の検出コイル10a,10bと同形状及び同寸法に形成されている。また、第2の誘電体基板2の外周縁には、幅細の複数(図示では3つ)の切り欠き23が等間隔に設けられている。更に、主片20の後端部(端子片22との連結部分)には、4つのスルーホール24が周方向に沿って並設され、端子片22にも4つのスルーホール25が左右方向に沿って並設されている。第2の誘電体基板2の上面においては、下面の各検出コイルのコイル端末と電気的に接続されたランド(図示せず)が各スルーホール24の開口端に印刷形成されている。そして、図示しない導電パターンによって当該4つのランドと各々電気的に接続された4つのランド(図示せず)が端子片22の各スルーホール25の開口端に印刷形成されている。
【0018】
ここで、第1の誘電体基板1に形成されている一方の検出コイル10aと第2の誘電体基板2に形成されている一方(上下方向において検出コイル10aと対向する方)の検出コイルとは、端子ブロック7を介して電気的に接続されている。同様に、第1の誘電体基板1に形成されている他方の検出コイル10bと第2の誘電体基板2に形成されている他方(上下方向において検出コイル10bと対向する方)の検出コイルとは、端子ブロック7を介して電気的に接続されている。端子ブロック7は、4本の端子ピン70と、各端子ピン70を中央部分で保持する絶縁体71とから成る。そして、第1の誘電体基板1の4つのスルーホール14にそれぞれ端子ピン70の下端部分が挿入されて第1の誘電体基板1の下面のランドに半田付けされている。また、第2の誘電体基板2の4つのスルーホール24にそれぞれ端子ピン70の上端部分が挿入されて第2の誘電体基板2の上面のランドに半田付けされている。つまり、4本の端子ピン70を介して第1の誘電体基板1側の検出コイル10a,10bのコイル端末と、第2の誘電体基板2側の検出コイルのコイル端末とが電気的に接続されている。
【0019】
また、第2の誘電体基板2には、各検出体30a,30bの変位に応じて変化する検出コイルCoのインダクタンスに基づいて対象物(図示せず)の変位を検出する検出部(図示せず)を構成する各回路が設けられている。検出部は、検出コイルCoのインダクタンスに対応した周波数の発振信号を出力する発振回路と、発振回路から出力された発振信号の周期に対応する信号を出力する発振周期計測回路とから構成される。また、検出部は、発振周期計測回路から出力される信号の二乗値を演算出力する二乗回路と、二乗回路で演算される二乗値の温度変動を補償する温度補償回路と、温度補償回路からの出力信号を基に各検出体30a,30bの変位を検出する信号処理回路とを備える。これらの回路は、特許文献1に開示されているように従来周知であるので、ここでは詳細な説明を省略する。
【0020】
尚、本実施形態では、各誘電体基板1,2は1層基板で構成されているが、何れも多層基板(例えば、4層基板)で構成してもよい。この場合、各誘電体基板1,2の各層にそれぞれ1対の検出コイルを印刷形成することができる。
【0021】
ロータブロック3の保持体31は、合成樹脂材料によって上面が開口する有底円筒形状に形成されており、1対の検出体30a,30bを同時成形によって周面から左右方向に突出するように保持している。また、保持部31の内側には、金属材料により円筒形状に形成されて保持体31と一体に回動する中間体32が圧入又は同時成形などの適宜の方法で固定されている。中間体32は、対象物と連動する軸体(図示せず)に固定されるものであり、その外周面には固定用のDカット加工が施されている。ここで、中間体32の上端面には、その径方向に沿って目印32aが刻印されている。この目印32aと、後述するカバー5の主部50上面に形成されている目印50aとによって円周軌道上における各検出体30a,30bの位置がカバー5の外から視認できるようになっている。
【0022】
ボディ4は、合成樹脂成形品から成り、上面が開口する扁平な有底円筒形状に形成された収納部40と、収納部40周面の後端側より後方に突設された矩形筒状のコネクタハウジング部41とを備える。また、収納部40周面の前端側には、前方に突設された三角形状のフランジ部42が設けられている。尚、収納部40にはアルミ板等の非磁性材料から扁平な有底筒形状に形成された磁気シールド体43が同時成形されており、収納部40の内側に磁気シールド体43が露出している。
【0023】
収納部40の内周面には、内底面からの高さ寸法が互いに異なる2種類のリブ40a,40bが突設されており、これら2種類のリブ40a,40bの上面にはそれぞれリブ40a,40bよりも小型のリブ40c,40dが上向きに突設されている。高さ寸法の低いリブ40a上面に突設されているリブ40cは、第1の誘電体基板1の幅細の切り欠き12に嵌め合わされる。一方、高さ寸法の高いリブ40bは、同じく第1の誘電体基板1の幅広の切り欠き13に嵌め合わされる。また、高さ寸法の高いリブ40b上面に突設されているリブ40dは、第2の誘電体基板2の幅細の切り欠き23に嵌め合わされる。而して、高さ寸法の低いリブ40aの上面に第1の誘電体基板1が固定され、高さ寸法の高いリブ40bの上面に第2の誘電体基板2が固定される。
【0024】
コネクタハウジング部41は、有底角筒形状に形成されており、その内底部に4本のコンタクト46が左右方向に沿って等間隔に並ぶように同時成形されている。また、コネクタハウジング部41の前端部(収納部40との連結部分)は上面が開口しており、当該前端部内に第2の誘電体基板2の端子片22が収納される。各コンタクト46は、棒状の金属材料を鈎形に折り曲げて成り、その上端部が第2の誘電体基板2の端子片22に設けられている各スルーホール25に挿入され、各スルーホール25の開口端に印刷形成されたランドに半田付けされる。
【0025】
カバー5は、円盤形状の主部50と、主部50の後端縁より後方に突出する矩形板状の端子カバー部51とが合成樹脂成形品として一体に形成されて成る。カバー5は、ボディ4の収納部40上面を主部50で閉塞するとともに、コネクタハウジング41の前端部上面を端子カバー部51で閉塞するようにボディ4上面に取り付けられる。尚、主部50には、アルミ板等の非磁性材料から円環状に形成された磁気シールド体(図示せず)が同時成形されており、主部50の下面側に磁気シールド体が露出している。
【0026】
ボディ4及びカバー5には、ロータブロック3のスラスト荷重を受けるためのスラスト軸受部44,52と、ロータブロック3のラジアル荷重を受けるためのラジアル軸受部45,53とがそれぞれ設けられている。
【0027】
ボディ1側のスラスト軸受部44は、収納部40の底面中央から上向きに突出する円筒形状に形成され、その上端面においてロータブロック3の保持部31下面を支持することでスラスト荷重を受けている。また、ボディ1側のラジアル軸受部45は、ボディ1下面中央に開口する円形状の貫通孔の周縁部から成り、スラスト軸受部44の内側に挿入される中間体32の下端部外周面を支持することでラジアル荷重を受けている。
【0028】
カバー5側のスラスト軸受部52は、カバー5の下面中央から下向きに突出する円筒形状に形成され、その下端面においてロータブロック3の保持体31上面を支持することでスラスト荷重を受けている。また、カバー5上面中央に開口する円形状の貫通孔の周縁部から成り、スラスト軸受部52の内側に挿入される中間体32の上端部外周面を支持することでラジアル加重を受けている。
【0029】
而して、対象物と連動する軸体を中間体32に挿入して両者を固定すれば、軸体と一体に中間体32、即ち、ロータブロック3が回動するため、各検出体30a,30bが円周軌道上を回動することになる。
【0030】
以下、本実施形態の動作について簡単に説明する。対象物の変位に伴って、対象物と連動するロータブロック3の中間体32が回動すると、中間体32と連動して各検出体30a,30bが互いに180度ずれて円周軌道上を変位する。そして、特許文献1に記載されている従来例と同様に、各検出体30a,30bと2組の検出コイルとの相対位置に応じて変化する検出コイルCoのインダクタンスに対応した周波数の発振信号を発振回路から出力する。この発振信号に基づいて各検出体30a,30bの変位を検出することで、各検出体30a,30bと検出コイルCoとの相対位置情報、即ち、中間体32と連動する対象物の回転量(回転角度)を検出することができる。尚、具体的な検出方法については特許文献1に開示されているように従来周知であるので、ここでは詳細な説明は省略する。
【0031】
ここで、本実施形態では、図1(b)に示すように、各検出体30a,30bは、自身の変位する方向(円周軌道)に沿って径方向における幅寸法が非線形に変化するように形成されている。具体的には、各検出体30a,30bが反時計回りに回動する場合、各検出体30a,30bは、それぞれ検出コイルCoと上下方向において重なり合う面積(以下、「対向面積」と呼ぶ)が大きくなるほど径方向の幅寸法が小さくなるように形成されている。したがって、対向面積が小さい場合には、対象物の回転の単位角度当たりの検出コイルCoのインダクタンスの変化が大きくなり、対向面積が大きい場合には、対象物の回転の単位角度当たりの検出コイルCoのインダクタンスの変化が小さくなる。即ち、検出体30a,30bの変位に対する検出コイルCoのインダクタンスの変化率が一定となるような形状に各検出体30a,30bを形成している。
【0032】
例えば、従来のように、各検出体30a,30bをその径方向の幅寸法が円周軌道に沿って一定となるように形成した場合には、図2の破線アに示すように、対象物の回転角度に対する検出コイルCoのインダクタンスの変化が非線形となる。尚、同図では、従来の形状の検出体30a,30bを採用した場合における対象物の回転角度が0°の状態(各検出体30a,30bと検出コイルCoとが上下方向において重なり合っていない状態)の検出コイルCoのインダクタンスを100%としている。一方、本実施形態の形状の検出体30a,30bを採用した場合には、図2の実線イに示すように、対象物の回転角度に対する検出コイルCoのインダクタンスの変化がほぼ直線となる。
【0033】
上述のように、本実施形態の各検出体30a,30bは、自身の変位に対する検出コイルCoのインダクタンスの変化率が一定となる形状に形成されている。このため、各検出体30a,30bの変位に対して検出コイルCoのインダクタンスを線形に変化させることができる。したがって、各検出体30a,30bの変位と連動する対象物の変位に対しても検出コイルCoのインダクタンスの変化の直線性を向上させることができる。また、図2に示す対象物の回転角度に対するインダクタンスの変化の特性では、対象物の回転角度90度付近において非線形となっているが、当該部分について直線性を向上させる場合にも、上記と同様に各検出体30a,30bの形状を変更することが有効である。
【0034】
尚、本実施形態では、各検出体30a,30bを非磁性材料で形成しているが、高い透磁率を有する磁性材料で形成してもよい。この場合には、対象物の回転角度に対するインダクタンスの変化の特性は、各検出体30a,30bを非磁性材料で形成した場合の逆の特性を示す。即ち、対象物の回転角度が大きくなるにつれて検出コイルCoのインダクタンスが増大する特性を示す。この場合でも、上記と同様に対象物の回転角度に対するインダクタンスの変化の特性の直線性を向上させることができる。
【0035】
ところで、上記の説明では各検出体30a,30bの形状を非線形にしているが、図3に示すように、各誘電体基板1,2の各検出コイルの形状を非線形にしてもよい(同図では、第1の誘電体基板1のみを図示)。即ち、各検出体30a,30bの形状を非線形にした場合と同様に、各誘電体基板1,2の各検出コイルをそれぞれ対向面積が大きくなるほど径方向の幅寸法が小さくなるように形成する。このように各誘電体基板1,2の各検出コイルの形状を非線形にした場合でも、上記と同様の効果を奏することができる。
【0036】
ここで、特許文献1に記載の従来例において、コアの軸方向に沿って検出コイルの巻数を変化させることで、上記と同様の効果を奏することも可能である。しかしながら、コアに検出コイルを巻き回す巻線加工では、加工時にばらつきが生じ易いという問題がある。一方、本実施形態のように検出コイルを誘電体基板に印刷形成する、所謂パターンコイルを加工する場合には、エッチングの露光パターンによって検出コイルの形状にばらつきが生じ難いため、好ましい。
【0037】
また、各検出体30a,30bを、自身と各誘電体基板1,2の各検出コイルとの間の距離が自身の変位する方向に沿って変化する形状に形成してもよい。例えば、図4(a)に示すように、対向面積が大きくなるにつれて各検出体30a,30bが各検出コイル10a,10bに近付くように各検出体30a,30bを下向きに折り曲げる。また、図4(b)に示すように、対向面積が大きくなるにつれて各検出体30a,30bが各検出コイル10a,10bに近付くように各検出体30a,30bの厚み寸法を大きくする。何れの場合においても、上記と同様の効果を奏することができる。尚、図4(a),(b)では、第1の誘電体基板1の各検出コイル10a,10bとの間の距離を変更するように各検出体30a,30bの形状を変更しているが、第2の誘電体基板2の各検出コイルとの間の距離を変更するものであってもよい。
【0038】
ここで、特許文献1に記載の従来例において、導電体と検出コイルとの間の距離を導電体の軸方向に沿って変化させることで、上記と同様の効果を奏することも可能である。しかしながら、導電体は筒状であって加工し難いため、加工時にばらつきが生じ易いという問題がある。一方、本実施形態のように各検出体30a,30bを加工する場合には、板金の抜き金型の形状によって形状のばらつきが生じ難いため、好ましい。
【0039】
ところで、本実施形態では、各検出体30a,30bが円周軌道上を変位する回動型のポジションセンサについて説明しているが、検出体が直線軌道上を変位する直動型のポジションセンサであってもよい。以下、この直動型のポジションセンサの実施形態について図面を用いて説明する。この実施形態は、図5(a)に示すように、上面に矩形状の検出コイルBが印刷形成された矩形板状の誘電体基板Aと、非磁性材料(例えばアルミ板)から矩形状に形成された検出体Cとを備える。また、検出体Cは、自身を誘電体基板Aの長手方向に沿って変位可能に保持する可動体Dに設けられている。この可動体Dは、対象物に連動して変位するように対象物に設けられている。また、図示しないが、誘電体基板Aには検出体Cの変位に応じて変化する検出コイルBのインダクタンスに基づいて対象物の変位を検出する検出部を構成する各回路が設けられている。
【0040】
以下、この実施形態の動作について簡単に説明する。対象物の変位に伴って、対象物と連動する可動体Dが変位すると、可動体Dと連動して検出体Cが直線軌道上を変位する。そして、回動型のポジションセンサの実施形態と同様に、検出体Cと検出コイルBとの相対位置に応じて変化する検出コイルBのインダクタンスに対応した周波数の発振信号を発振回路から出力する。この発振信号に基づいて検出体Cの変位を検出することで、検出体Cと検出コイルBとの相対位置情報、即ち、可動体Dと連動する対象物の変位量を検出することができる。
【0041】
ここで、検出コイルBは、図5(c)に示すように、その短手方向に沿った幅寸法が検出体Cの変位方向に沿って変化するように形成されている。即ち、検出体Cと検出コイルBとの対向面積が大きくなるほど幅寸法が小さくなるように検出コイルBを形成している。而して、図5(b)に示す幅寸法が一定の検出コイルBを用いる場合と比較して、検出体Cの変位に対する検出コイルBのインダクタンスを線形に変化させることができる。したがって、検出体Cの変位と連動する対象物の変位に対しても検出コイルBのインダクタンスの変化の直線性を向上させることができる。
【0042】
尚、上記の説明では検出コイルBの幅寸法を検出体Cの変位方向に沿って変化させているが、検出体Cの幅寸法を変化させるようにしてもよい。即ち、検出体Cと検出コイルBとの対向面積が大きくなるほど幅寸法が小さくなるように検出体Cを形成する。この場合でも、上記と同様の効果を奏することができる。また、検出体Cと検出コイルBとの間の距離を検出体Cの変位方向に沿って変化させるように構成してもよい。例えば、図4(a)に示す場合と同様に、対向面積が大きくなるにつれて検出体Cが検出コイルBに近付くように検出体Cを下向きに折り曲げる。また、図4(b)に示す場合と同様に、対向面積が大きくなるにつれて検出体Cが検出コイルBに近付くように検出体Cの厚み寸法を大きくする。何れの場合においても、上記と同様の効果を奏することができる。
【符号の説明】
【0043】
1 第1の誘電体基板(基板)
10a,10b 検出コイル
2 第2の誘電体基板(基板)
30a,30b 検出体


【特許請求の範囲】
【請求項1】
誘電体から成る基板の表面に印刷形成された検出コイルと、前記検出コイルと対向して配置されるとともに対象物の変位と連動して前記検出コイルに対して所定の軌道上を変位する検出体と、前記検出体の変位に応じて変化する前記検出コイルのインダクタンスに基づいて前記対象物の変位を検出する検出部とを備え、前記検出コイル又は前記検出体のうち少なくとも何れか一方は、前記検出体の変位に対する前記検出コイルのインダクタンスの変化率が一定となる形状に形成されたことを特徴とするポジションセンサ。
【請求項2】
前記検出体は、その径方向における幅寸法が自身の変位する方向に沿って変化する形状に形成されたことを特徴とする請求項1記載のポジションセンサ。
【請求項3】
前記検出コイルは、その径方向における幅寸法が前記検出体の変位する方向に沿って変化する形状に形成されたことを特徴とする請求項1記載のポジションセンサ。
【請求項4】
前記検出体は、自身と前記検出コイルとの間の距離が自身の変位する方向に沿って変化する形状に形成されたことを特徴とする請求項1記載のポジションセンサ。


【図1】
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【図2】
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【図3】
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【図4】
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【図5】
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【図6】
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【公開番号】特開2011−257308(P2011−257308A)
【公開日】平成23年12月22日(2011.12.22)
【国際特許分類】
【出願番号】特願2010−133222(P2010−133222)
【出願日】平成22年6月10日(2010.6.10)
【出願人】(000005832)パナソニック電工株式会社 (17,916)
【Fターム(参考)】