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マスフローコントローラにおける弁クラッキング電流を更新するためのシステム及び方法
説明

マスフローコントローラにおける弁クラッキング電流を更新するためのシステム及び方法

流体の流量を制御するマスフローコントローラのための弁システムが開示される。弁システムは流体の流量を所望の設定点に調整するように開位置と閉位置との間を移動できる弁と、弁コントローラとを含む。弁コントローラは、流体の実際の測定された流量が所望の設定点に実質上等しくなるまで、流体の流量を調整するように弁を通る弁電流を送る。弁コントローラは、弁電流、及び、弁が閉位置へ移動しているときの流量を監視し、流体がほぼゼロの流量を有するときの弁電流の値を決定し、更新される弁クラッキング電流をほぼゼロの流量での弁電流の値に設定することにより、次の運転のための弁クラッキング電流を更新する。

【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明はマスフローコントローラにおける弁クラッキング電流を更新するためのシステム及び方法に関する。
【背景技術】
【0002】
マスフローコントローラ(MFC)は装置を通って流れる流体の速度及び量を設定し、測定し、制御する装置である。流体は、これらに限定されないが、例としてガス、蒸気又は液体を含む、任意の形式のものとすることができる。このような装置は典型的には流量の所定の範囲内で流体の流れを極めて精確に制御するように設計され、較正される。半導体製造のようなある製造プロセスは、プロセス室又は工具に送給されている流体流れの速度及びガスや蒸気の量(質量)の精確な制御を必要とする。
【0003】
MFCの用途は、これらに限定されないが、加工片上への引き続きの蒸着、材料を除去するためのドライエッチング、半導体及び製薬工業で使用されるイオン及びプラズマビーム等のための、プロセス室内へ流れる精確な量のガス及び蒸気の定量供給を含む。これらの用途の多くにおいては、流体流量及び流体質量の精度は最適な結果を保証するために重要である。
【0004】
制御弁はMFCにおける重要な素子である。この弁は、MFCにより設定される制御コマンドに従って弁の開度又は開き量を変更することにより、流体のマスフロー量を規制する。弁プラグの開放を生じさせる弁アクチュエータ内の最小電流は一般に弁クラッキング電流又は弁しきい電流として参照される。
【0005】
弁クラッキング電流を更新するため、圧力情報を必要とする、即ち、作動状態を監視するためにMFC内に埋め込まれた圧力センサを必要とする方法が使用されてきた。しかし、すべてのMFCが埋設された圧力センサを含んでいるとは限らず、このような方法を使用した場合に、このようなMFCが弁クラッキング電流を更新するのを困難にする。また、このような方法は、弁がドリフトした場合、弁クラッキング電流を正確に予測できないことがある。
【0006】
圧力情報を必要とすることなく弁クラッキング電流の正確な決定及び更新を許容し、異なる圧力においてMFCの制御性能を改善するシステム及び方法が望ましい。
【発明の概要】
【課題を解決するための手段】
【0007】
マスフローコントローラのための弁システムは圧力情報を必要とせずにマスフローコントローラの弁クラッキング電流の更新を許容するように形状づけられる。弁システムは流体の流量を所望の設定点に調整するように開位置と閉位置との間で移動できる弁を含む。
【0008】
弁システムはさらに、流体の実際の測定された流量が所望の設定点に実質上等しくなるまで、流体の流量を調整するために弁を制御するように形状づけられた弁コントローラを含む。弁コントローラは:弁が閉位置に移動している間に弁電流及び流体の流量を監視し;流体がほぼゼロの流量になったときの弁電圧の値を測定し;更新される弁クラッキング電流をほぼゼロの流量での弁電流の測定された値に設定することにより、マスフローコントローラの次の運転のための弁クラッキング電流を更新するように形状づけられる。
【図面の簡単な説明】
【0009】
【図1】図1はマスフローコントローラに使用されるソレノイド弁を概略的に示す。
【図2】図2は応答を迅速化するために弁クラッキング電流を使用するマスフローコントローラのためのフィードバック制御線図を概略的に示す。
【図3】図3は、この開示の1つの実施の形態に係る、弁クラッキング電流を更新するための方法を概略的に示す。
【図4】図4は、この開示の1つの実施の形態に係る、弁クラッキング電流を更新するための方法を概略的に示す。
【図5】図5は、この開示の1つの実施の形態に係る、圧力情報を必要とせずに弁クラッキング電流を更新するように形状づけられたMFCを概略的に示す。
【発明を実施するための形態】
【0010】
この開示においては、圧力情報を必要とせずにMFCの弁クラッキング電流を更新し、それによって異なる圧力でのMFCの制御性能を改善するためのシステム及び方法を説明する。
【0011】
図1はMFCのための制御弁の1つの例を示す。図1に示すように、MFC内の制御弁はオリフィス170を備えた弁座180と、弁座180のオリフィス170に対してシールを行うようにバネ150により押されるプラグ160とを含むことができる。図1に示す制御弁においては、プラグ160と弁座180との間のギャップは、弁の開度を決定する。プラグは普通、弁の開度を変更するために弁アクチュエータに取り付けられる。
【0012】
図1に示す図示の制御弁はソレノイドアクチュエータを使用し、ソレノイドアクチュエータは、強磁性材料で作られ、プラグ160に取り付けられたアーマチュア140と、ワイヤコイル120とを含む。ソレノイドアクチュエータはさらに、共に強磁性材料で作られた弁コア110及び弁囲いを含む。一つのソレノイドアクチュエータを図1に示すが、多くの他の形式の弁アクチュエータを使用することができる。
【0013】
電流がワイヤコア120に適用されたとき、電磁場が弁アクチュエータ内に形成され、アーマチュア140は磁力により固定の弁コア110へ引きつけられる。アーマチュア140上の磁力が予め負荷されたバネ力とオリフィスを横切る圧力差により生じる力との合計よりも大きい場合、プラグ160は弁座180から離れるように移動し始め、したがって、弁の開度即ち開き量を変化させる。
【0014】
弁プラグを開かせ始めるために弁アクチュエータを流れなければならない最小電流は弁クラッキング電流として参照される。換言すれば、弁電流が弁クラッキング電流に実質上等しい値に達したときに、弁プラグ160は弁座180から離れるように移動を開始し、弁が移動し始める。
【0015】
多くのMFCにおいては、弁クラッキング電流は図2に示す閉ループフィードバック制御システムにおける弁バイアス電流として利用される。図2に示すように、ゼロから最終値への弁電流の漸増(ramping up)及びプロセスにおける時間の消費の代わりに、MFCは、最初に弁クラッキング電流を適用し、次いで弁を最終位置へ駆動するためにフィードバック制御ループを使用することにより、弁に対する初期の開位置へのコマンドを直接行うことができる。このようにして、弁クラッキング電流は、ゼロからゼロではない値への流れ設定点の変更に対する弁の応答性を迅速化する。
【0016】
しかし、弁クラッキング電流の設定が低過ぎる場合、遅鈍な応答が予期される。一方、弁クラッキング電流の設定が高過ぎる場合は、オーバーシュートが生じる。MFCにおける良好な制御性能を達成するためには、弁クラッキング電流を正確に設定することが重要である。
【0017】
弁クラッキング電流は、これらに限定されないが、弁オリフィスを横切る圧力差、弁オリフィスの寸法及び予め負荷されるバネ力を含む、因子の関数である。MFCの製造においては、初期の弁クラッキング電流は、たとえば弁オリフィスを横切る圧力差のような既知の条件を使用して較正及び/又はチューニング手順中に決定することができる。エンドユーザーにより使用される圧力値が較正及び/又はチューニング中に使用される圧力値とは異なる場合、MFCは、作動状態の変化を知り、それに従って弁クラッキング電流を調整する高性能なMFCであるのが望ましい。
【0018】
図2は、MFC内の弁210及びフィードバックコントローラ220、ならびに、ゼロでない流れ設定点の変化に対する弁の応答を迅速化するために弁バイアス電流としてコントローラ220により弁210へ送られる弁クラッキング電流Iemd-minを概略的に示す。図2に示すフィードバックループ240においては、流れ設定点Qsp(即ち流体の流量のための所望の設定点)がコントローラ120に対して提供される。たとえば、流れ設定点Qspはユーザーにより入力することができるが、流れ設定点Qspはまた他の方法で入力することができる。次いで、実際の出力流量QがMFC内の流れセンサ230により測定される。
【0019】
弁を通る出力流量Qは多くのパラメータに依存する。1つのパラメータは弁の開度即ち開き量である。この開度は、弁電流即ちコントローラ220から出力され、弁210へ流れる制御電流により決定される。図2に示すように、流量Qはまた流体圧力P及び分子量や比熱率のような流体のガス特性により決定される。実際の応用においては、流体及び上流の圧力は予め決定される。MFCは弁の開度即ち開き量を調整することにより流量のみを変化させることができ、開度は弁電流を調整することにより達成される。
【0020】
流れ設定点Qspと実際の測定された流量Qmeasとの間の違い即ち差に基づき、コントローラ220は弁コマンド電流を発生させ、この電流は、受け取った設定点Qspでの流量を維持するために、弁の開度即ち開き量を制御するように、弁210へ送られる。
【0021】
図2における記号Iemd-minはコントローラ220の出力に対するバイアス又は付加的な弁電流として作用する弁クラッキング電流を表す。弁電流の大きさが増大すると、電磁力の大きさが増大する。弁電流の値が弁クラッキング電流の値に達したとき、電磁力は予め負荷されたバネ力と弁を横切る圧力差との合計に等しくなる。この時点で、弁が開き始める。
【0022】
弁クラッキング電流の大きさ即ち弁を開くために必要な弁電流の最小量は、弁上の予め負荷されたバネ力に関係する。弁上にたくさんの予め負荷されたバネ力がある場合、一層小さな予め負荷されたバネ力が存在するような状況に比べて、弁を開くために一層大きな弁クラッキング電流が必要となる。弁クラッキング電流Iemd-minの値はまた弁のオリフィスを横切る圧力差に依存する。多くの応用においては、MFCの下流側の圧力は真空に近く、そのため、弁のオリフィスを横切る圧力差は弁の上流側の圧力即ち入口流体圧力Pに近似することができる。それゆえ、弁クラッキング電流は次のような上流側圧力Pの関数として表現することができる:
【0023】
【数1】

【0024】
図2に示すように、弁クラッキング電流の値に関連するコマンド(単数又は複数)はコントローラ220により発される制御コマンドに付加することができる。換言すれば、弁クラッキング電流は基本的にはコントローラ220に対するバイアス電流即ちオフセット電流として作用する。不適切な弁クラッキング電流はオーバーシュート又は低応答のいずれかを生じさせる。オーバーシュートの場合、初期の弁クラッキング電流はかなり高く設定される。弁が高い初期破壊電流へ急激に飛躍した場合、弁は開き過ぎ、多量の流れがそこを通過し、オーバーシュートを生じさせる。一方、弁クラッキング電流があまりにも低く設定された場合、コントローラは、弁が開くまで、電流を漸増させねばならず、時間を消費させ、アンダーシュートを生じさせる。
【0025】
図3はこの開示の1つの実施の形態に係る、弁クラッキング電流を更新する提案された方法を概略的に示す。基本的な着想は、弁が閉じている間に、弁電流I及び流量Qの双方を監視することである。弁閉鎖期間中、電流Iは、急激に無くなる代わりに、ゆっくり減少(又は漸減)する。電流が漸減するときに、流量Qが監視される。次いで、ほぼゼロの流れに対応する電流の値が習得されて、弁クラッキング電流の新たな即ち更新された値がその値に設定される。
【0026】
弁が開いているとき、一層大きな弁クラッキング電流が一般に必要とされ、一方、弁が閉じているときには、一層小さな弁クラッキング電流が一般に必要とされる。この挙動は普通ソレノイドアクチュエータのヒステレシスと呼ばれ、これを図3にも示す。新たな弁クラッキング電流を控えめに選択することにより、すなわち、弁が閉じているときにほぼゼロの流れにおける電流の値を選択することにより、ゼロからゼロでない値までの受け取った流れ設定点Qspで、MFCの次の運転時におけるオーバーシュートの問題を阻止することができる。
【0027】
ほぼゼロの流れは、精確なゼロ流れではなく、新たな弁クラッキング電流を習得するための時点として選択される。その理由は、数ある中でも、MFCが典型的には、弁電流がゼロの場合でさえMFCが精確なゼロ流れを有することを阻止するようなゼロのドリフト又は漏洩を有するからである。この理由のため、全規模(full scale)の流れのある小さな百分率を、ほぼゼロの流れ状態のために選択することができる。たとえば、全規模の流れの約50%は、ほんの一例として、新たな弁クラッキング電流が習得されるような状態として選択することができる。
【0028】
正確な弁クラッキング電流を習得するために、MFCは、最初に、弁が閉位置に移動するように設定点が非ゼロからゼロに変化したか否かを決定しなければならず;次いで、MFCは、先のゼロでない設定点が全規模の値の所定の百分率であることを決定しなければならず;最後に、MFCは、実際の流量が先のゼロでない設定点に対して達成されたか否かを決定しなければならない。すべてのこのような状態が満たされた場合にのみ、新たな弁クラッキング電流が習得され、次の運転のために更新される。
【0029】
図4は図3に示す方法に含まれる工程又は行為を設定する概略フローチャートである。図4に示すように、この開示の1つの実施の形態に係る、弁クラッキング電流を更新する方法400は、流体の流量、及び、弁が閉位置の方へ移動している間に弁を通して弁コントローラにより送られる弁電流を監視する行為410を含むことができる。方法400はさらに、流体がほぼゼロの流量を有する場合の弁電流の値を決定し、記録する行為420を含むことができる。方法400はさらに、マスフローコントローラの次の運転のための弁クラッキング電流をほぼゼロの流量での弁電流の値に設定することにより、弁クラッキング電流を更新する行為430を含むことができる。
【0030】
上述の方法はコンピュータで履行することができ、この場合、方法は、その中に記憶されたコンピュータで読み取り可能なインストラクションを有するコンピュータで読み取り可能な媒体を含む処理システムを使用して、遂行される。処理システムにより読み取られて履行された場合、このようなインストラクションは、プロセッサに対して、マスフローコントローラ内の流体の流量、及び、弁が閉位置の方へ移動しているときのマスフローコントローラの弁を通る弁電流を監視させ;流体がほぼゼロの流量を有するときの弁電流の値を決定させ;マスフローコントローラの次の運転のための弁クラッキング電流をほぼゼロの流量での弁電流の値に設定することにより、弁クラッキング電流を更新させる。コンピュータで読み取り可能な媒体は、これらに限定されないが、ハードディスク、フロッピーディスク、CD−ROM、フラッシュメモリー及び光学記憶装置を含む、当業界で既知の任意の形式のものとすることができる。上述のコンピュータで読み取り可能なインストラクションはインターネットを通して配布されるソフトウエアを介して提供することができる。
【0031】
図5はこの開示の1つの実施の形態に係る、弁クラッキング電流を更新するように形状づけられたMFC500を概略的に示す。従来のMFCと同様に、MFC500は流れ本体510と、マスフローセンサ540とを含む。MFC500はまた弁システムを有し、このシステムは弁550と、弁550を制御する弁コントローラ(又はマイクロコントローラ)560とを含む。流れ本体510はその入口520において流体を受け取り、入口520と出口530との間で流体のための流れ経路を提供する。マスフローセンサ540は、流体がMFC500の入口520から出口530へ流れるときの流体の流量を測定する。弁550は流体の流れを所望の流量に規制する。弁550を開閉することにより、流れ経路を通って流れる流体のマスフロー量を所望通りに調整することができる。弁550は典型的には弁アクチュエータにより移動又は作動させられ、弁アクチュエータの例は、これらに限定されないが、ソレノイドアクチュエータ、圧電アクチュエータ及びステップモータアクチュエータを含む。
【0032】
弁コントローラ560は弁550の作動を制御する。弁コントローラ560内の制御電子機器は、所望する流体のマスフロー量を表示する流れ設定点に基づいて、弁550の位置を制御する。マスフローセンサ540は流体の実際の測定されたマスフロー量を表示するフィードバック信号を送ることができる。伝統的なフィードバック制御方法がMFC内の流体の流れを制御するために使用される。このようなフィードバック制御方法においては、制御又はコマンド信号は、流れ設定点とマスフローセンサにより感知された実際のマスフロー量を表示するフィードバック信号との間の差から由来する誤差信号に基づいて、コントローラにより発生される。
【0033】
従来のMFCにおけるように、弁550は流体の流量を所望の設定点に調整するように全開位置と全閉位置との間を移動できる。上述のように、弁を通る弁電流が弁クラッキング電流に実質上等しくなったときに、弁550は移動し始める。弁コントローラ560は、流体の実際の測定された流量が所望の設定点と実質上等しくなるまで、流体の流量を調整するように弁550を制御する。
【0034】
この開示においては、弁コントローラ560はさらに、弁が閉位置へ移動しているときに、弁電流及び流体の流量を監視するように形状づけられる。弁コントローラ560はさらに、流体がほぼゼロの流量を有するときの弁電流を決定し、更新される弁クラッキング電流をほぼゼロの流量での弁電流の値に設定することにより、マスフローコントローラの次の運転のための弁クラッキング電流を更新するように形状づけられる。
【0035】
弁コントローラ560はまた、所望の流れ設定点を受け取り、所望の流れ設定点を流量センサにより測定されるような流体の実際の流量と比較するように形状づけられる。実際の流量が所望の設定点に等しくない場合、弁コントローラは、実際の流量が所望の設定点と実質上等しくなるまで、弁の位置を調整する。弁コントローラ560はさらに、弁が閉位置へ移動するように所望の設定点が非ゼロからゼロに変化したときにのみ、次の運転のための更新される弁クラッキング電流を適応的に習得するように形状づけられる。
【0036】
要約すると、MFC内の弁クラッキング電流を更新するためのシステム及び方法を説明した。このようなシステム及び方法は異なる入口流体圧力のような異なる作動状態でのMFCの制御性能を大幅に改善する。さらに、このようなシステム及び方法は、MFC弁の長期にわたるドリフトが自動的に修正されるのを許容する。
【0037】
これらの実施の形態において暗示された構想は他の実施の形態において同様に使用できることを理解すべきである。この出願の保護は以下の特許請求の範囲にのみ限定される。
特許請求の範囲においては、単数として参照する素子は、特記しない限り「1つ及び単一」を意味する意図はなく、むしろ、「1又はそれ以上」を意味するものとする。当業者にとって既知であるか又は後に既知となるようなこの開示全体を通して説明した種々の実施の形態の素子に対する構造上及び機能上の等価物は、参照として表現的にここに組み込まれ、特許請求の範囲により包含されることを意図する。さらに、ここで開示しなかったものは、そのような開示が特許請求の範囲に明確に述べられていると否とに拘わらず、公共に献呈することを意図するものである。特許請求の範囲の素子は、その素子が「ための手段」という語法を使用して明確に述べられない限り、または、特許請求の範囲における方法の場合は、素子が「ための工程」という語法を使用して述べられない限り、35U.S.C.112章、第6節の規定の下に解釈すべきでない。
【符号の説明】
【0038】
110 コア
120 コイル
130 弁囲い
140 アーマチュア
150 バネ
160 プラグ
170 オリフィス
180 弁座
210 弁
220 コントローラ
230 流れセンサ
500 MFC
510 流れ本体
520 入口
530 出口
540 マスフローセン
550 弁
560 弁コントローラ

【特許請求の範囲】
【請求項1】
流体の流量を制御するように形状づけられたマスフローコントローラの弁クラッキング電流の更新を許容する弁システムにおいて、
流体の流量を所望の設定点に調整するように開位置と閉位置との間を移動することができる弁であって、同弁を通る弁電流が弁クラッキング電流に実質上等しくなったときに上記開位置への移動を開始するように形状づけられた弁と;
流体の実際の測定された流量が所望の設定点に等しくなるまで、流体の流量を調整するように形状づけられ弁コントローラと;
を有し、
上記弁コントローラがさらに、
上記弁が上記閉位置へ移動しており、かつ、弁電流及び流量が共に減少している間に、弁電流及び流体の流量を監視し;
流体がほぼゼロの流量を有するときの弁電流の値を測定し;
更新する弁クラッキング電流をほぼゼロの流量における弁電流の値に設定することにより、上記マスフローコントローラの次の運転のための弁クラッキング電流を更新する;
ように形状づけられる、
ことを特徴とする弁システム。
【請求項2】
上記弁コントローラがさらに、所望の設定点を受け取り、上記マスフローコントローラ内の流量センサから実際の測定された流量を受け取り、所望の設定点を流体の実際の測定された流量と比較し、実際の測定された流量が所望の設定点に等しくない場合に、実際の流量が所望の設定点に実質上等しくなるまで、上記弁の位置を調整するように、形状づけられることを特徴とする請求項1に記載の弁システム。
【請求項3】
上記弁コントローラはさらに、上記弁が上記閉位置へ移動するように所望の設定点が非ゼロからゼロへ変化したこと、受け取った設定点が全規模の値の所定の百分率となったこと、及び、流量が受け取った設定点を達成したことを決定した後にのみ、次の運転のための更新される弁クラッキング電流を適応的に習得するように、形状づけられることを特徴とする請求項2に記載の弁システム。
【請求項4】
上記弁アクチュエータが、ソレノイドアクチュエータ、圧電アクチュエータ、ステップモータアクチュエータ及びリニアモータアクチュエータのうちの少なくとも1つであることを特徴とする請求項1に記載の弁システム。
【請求項5】
流体の流量を制御し、開位置と閉位置との間で移動できる弁と、流体の流量を所望の設定点に調整するために上記弁の位置を制御するように形状づけられた弁コントローラとを有するマスフローコントローラにおける弁クラッキング電流を更新する方法において、
流体の流量、及び、上記弁が上記閉位置の方へ移動しているときの当該弁を通る、上記弁コントローラにより送られた弁電流を監視する工程と;
流体がほぼゼロの流量を有するときの弁電流の値を決定する工程と;
上記マスフローコントローラの次の運転のための弁クラッキング電流をほぼゼロの流量における弁電流の値に設定することにより、弁クラッキング電流を更新する工程と;
を有することを特徴とする方法。
【請求項6】
所望の設定点を受け取る行為と;
上記弁が上記閉位置へ移動するように所望の設定点が非ゼロからゼロへ変化したか否かを決定する行為と;
受け取った設定点が全規模の値の所定の百分率であるか否か、及び、実際の流量が受け取った設定点を達成したか否かを決定する行為と;
所望の設定点が非ゼロからゼロに変化し、全規模の値の所定の百分率となり、かつ達成された場合にのみ、弁クラッキング電流をほぼゼロの流量での弁電流の値に設定することにより、弁クラッキング電流を更新する行為と;
をさらに有することを特徴とする請求項5に記載の方法。
【請求項7】
プロセッサのためのコンピュータで使用可能なインストラクションをその中に記憶したコンピュータで使用可能な媒体において、
上記プロセッサにより実行された場合の上記インストラクションが、当該プロセッサに対して:
マスフローコントローラ内の流体の流量、及び、弁が閉位置の方へ移動しているときの上記マスフローコントローラの上記弁を通る弁電流を監視させ;
流体がほぼゼロの流量を有するときの弁電流の値を決定させ;
上記マスフローコントローラの次の運転のための弁クラッキング電流をほぼゼロの流量での弁電流の値に設定することにより、弁クラッキング電流を更新させる;
ことを特徴とする媒体。
【請求項8】
圧力情報を必要とせずに弁クラッキング電流を更新するように形状づけられたマスフローコントローラにおいて、
流体の流量を測定するように形状づけられた流量センサと;
流体の流量を所望の設定点に調整するように作動でき、弁を通る弁電流が弁クラッキング電流に等しくなったときに、閉位置から開位置へ移動するように形状づけられた弁と;
上記流量センサにより測定されたような実際の流量が所望の設定点に実質上等しくなるまで、流体の流量を調整するために上記弁の位置を制御するように形状づけられた弁コントローラと;
を有し、
上記弁コントローラがさらに:
上記弁が上記閉位置へ移動しているときに、弁電流及び流体の流量を監視し;
流体がほぼゼロの流量を有するときの弁電流を決定し;
更新される弁クラッキング電流をほぼゼロの流量での弁電流の値に設定することにより、上記マスフローコントローラの次の運転のための電破壊電流を更新する;
ように形状づけられる、
ことを特徴とするマスフローコントローラ。
【請求項9】
上記弁コントローラがさらに、所望の設定点を受け取り、所望の設定点を上記流量センサにより測定されたような流体の実際の流量と比較し、実際の流量が所望の設定点に等しくない場合に、実際の流量が所望の設定点に実質上等しくなるまで、上記弁の位置を調整するように形状づけられることを特徴とする請求項8に記載のマスフローコントローラ。
【請求項10】
上記弁コントローラはさらに、上記弁が上記閉位置へ移動するように所望の設定点が非ゼロからゼロへ変化し、受け取った設定点が全規模の値の所定の百分率となり、かつ、実際の流量が受け取った設定点を達成したときにのみ、次の運転のための更新される弁クラッキング電流を適応的に習得するように、形状づけられることを特徴とする請求項9に記載のマスフローコントローラ。
【請求項11】
上記弁アクチュエータが、ソレノイドアクチュエータ、圧電アクチュエータ、ステップモータアクチュエータ及びリニアモータアクチュエータのうちの少なくとも1つであることを特徴とする請求項8に記載のマスフローコントローラ。
【請求項12】
入口及び出口を備えた流れ本体をさらに有し、上記流れ本体が上記入口において流体を受け取り、当該入口と上記出口との間で流体のための流れ経路を提供するように形状づけられ;
上記流量センサが上記流れ経路を通る流体の流量を測定するように形状づけられる;
ことを特徴とする請求項8に記載のマスフローコントローラ。
【請求項13】
弁クラッキング電流を更新する前に、流体がほぼゼロの流量を有したときの弁電流の値を受け取る行為を更に有することを特徴とする請求項5に記載の方法。
【請求項14】
上記弁コントローラがフィードバック弁制御システムを有し、上記フィードバック弁制御システム内の更新される弁クラッキング電流をほぼゼロの流量での弁電流の値に設定することにより、上記マスフローコントローラの次の運転のための弁クラッキング電流を更新するように形状づけられることを特徴とする請求項1に記載の弁システム。

【図1】
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【図2】
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【図3】
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【図4】
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【図5】
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【公表番号】特表2011−524589(P2011−524589A)
【公表日】平成23年9月1日(2011.9.1)
【国際特許分類】
【出願番号】特願2011−514634(P2011−514634)
【出願日】平成21年1月21日(2009.1.21)
【国際出願番号】PCT/US2009/031498
【国際公開番号】WO2010/005601
【国際公開日】平成22年1月14日(2010.1.14)
【公序良俗違反の表示】
(特許庁注:以下のものは登録商標)
1.フロッピー
【出願人】(592053963)エム ケー エス インストルメンツ インコーポレーテッド (114)
【氏名又は名称原語表記】MKS INSTRUMENTS,INCORPORATED
【Fターム(参考)】