レジスト残渣回収機
【課題】 ドライフィルムレジストを確実に剥離液とレジスト残渣とに分離して、さらにこの分離されたレジスト残渣に含まれる剥離液分を確実に処理して完全に剥離液とレジスト残渣とに分離処理することができるレジスト残渣回収機を提供する。
【解決手段】 フレーム１１にレジスト残渣を剥離液から分離する分離プレート１８を水平方向に揺動自在に設け、分離プレート１８の搬入側にはレジスト残渣を剥離液から分離し剥離液を通過させる網状部材を設けるとともに、搬出側には剥離液から分離されたレジスト残渣を下方に落とす開口部を設け、分離プレート１８の搬出側に分離プレート１８に対して間欠的に衝撃を与える衝接機構３８を設けたことを特徴とする。
【解決手段】 フレーム１１にレジスト残渣を剥離液から分離する分離プレート１８を水平方向に揺動自在に設け、分離プレート１８の搬入側にはレジスト残渣を剥離液から分離し剥離液を通過させる網状部材を設けるとともに、搬出側には剥離液から分離されたレジスト残渣を下方に落とす開口部を設け、分離プレート１８の搬出側に分離プレート１８に対して間欠的に衝撃を与える衝接機構３８を設けたことを特徴とする。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レジスト残渣回収機に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、例えば回路基板の製造工程においては、ドライフィルムレジストを回路基板に貼り付け、所定のパターンをエッチングしている。このようなドライフィルムレジストは、この製造工程の最後に剥離除去する必要があるため、回路基板を特定の剥離液で洗浄して剥離されている。
ところで、このような剥離液は、近年における環境への配慮からできるだけ再利用して廃棄分を少なくする必要があるが、通常このようなドライフィルムレジストが混入しており、完全に分離することが困難である。そこで、この問題を解決するために、例えばベルトコンベアを用いて剥離液中に存在するレジスト残渣をベルトに付着させた状態で、剥離液およびレジスト残渣それぞれを個別に除去するレジスト残渣回収装置が提案されている（特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００３−１３１３９４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、このようなレジスト残渣回収装置において、レジスト残渣は粒子径が異なることでその一部が除去されずにベルトコンベアの搬出側から裏側に回りこみ、ベルトコンベアから再度剥離液に混入してしまう。その結果、レジスト残渣が剥離液に混入することにより剥離液の劣化を招くこととなる。
【０００４】
そこで本発明は、ドライフィルムレジストを確実に剥離液とレジスト残渣とに分離して、さらにこの分離されたレジスト残渣に含まれる剥離液分を確実に処理して完全に剥離液とレジスト残渣とに分離処理することができるレジスト残渣回収機を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、上記課題を解決するため、以下の手段を採用する。すなわち本発明のレジスト残渣回収機は、フレームにレジスト残渣を剥離液から分離する分離プレートを水平方向に揺動自在に設け、前記分離プレートの搬入側には前記レジスト残渣を剥離液から分離し前記剥離液を通過させる網状部材を設けるとともに、搬出側には前記剥離液から分離されたレジスト残渣を下方に落とす開口部を設け、前記分離プレートの搬出側に前記分離プレートに対して間欠的に衝撃を与える衝接機構を設けたことを特徴とする。
【０００６】
このような構成としたことで、レジスト残渣回収機に供給されレジスト残渣を含有する剥離液が分離プレートの網状部材で確実にレジスト残渣と分離されるため、レジスト残渣が下方の剥離液貯溜タンクに落下することはない。また、水平方向に揺動自在な分離プレートの搬出側に衝撃を与えることで、徐々に搬出側に移動していくレジスト残渣を開口部から下方に落下できる。
【０００７】
また、本発明のレジスト残渣回収機において、前記衝接機構が、前記分離プレートを搬出側に付勢する戻しばねと、前記分離プレートに当接しながら回転し、この回転によって前記分離プレートを搬入側に向かって変位させた後開放する回転部材と、前記分離プレートの搬出側端部を前記戻しばねによって前記搬出側に復帰する際、前記搬出側端部に衝接するストッパ部材とからなることを特徴とする。
【０００８】
このような構成としたことで、回転部材を回転させることで分離プレートを搬入側に対して所定間隔で押し出し、その後開放するタイミングでストッパに押し当てることにより、使用されるレジスト残渣に応じた最適な衝接タイミングを設定してスムーズにレジスト残渣を搬入側から搬出側に移動させることができる。
【０００９】
また、本発明のレジスト残渣回収機において、前記開口部の下方に前記開口部から落下するレジスト残渣に含まれる剥離液分を除去する剥離液除去機構を設けたことを特徴とする。
【００１０】
このような構成としたことで、剥離液が分離されたレジスト残渣に残っている僅かな剥離液分もこの剥離液除去機構により確実に除去し、完全に分離されたレジスト残渣には何ら剥離液分を残さなくすることができる。
【００１１】
また、本発明のレジスト残渣回収機において、前記分離プレートは、搬入側から搬出側に向かって上方に傾斜して配置されていることを特徴とする。
【００１２】
このような構成としたことで、レジスト残渣から分離した剥離液が搬出側に流れて開口部から落下するのを防止することができる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明のレジスト残渣回収機によれば、レジスト残渣と剥離液とを確実に分離でき、剥離液の使用寿命を延ばすとともに剥離液の劣化を防ぐことができる。また、レジスト残渣と剥離液とを確実に分離できるので、分離されたレジスト残渣および剥離液それぞれの処理を容易に行うことができる。
【００１４】
また、本発明のレジスト残渣回収機によれば、使用されるレジスト残渣に応じた最適な衝接タイミングを設定してスムーズにレジスト残渣を搬入側から搬出側に移動させることができるので、剥離液から分離されたレジスト残渣の処理を容易にかつ最適なタイミングで行うことができる。
【００１５】
また、本発明のレジスト残渣回収機によれば、剥離液を分離されたレジスト残渣に残っている僅かな剥離液分もこの剥離液除去機構により確実に除去し、完全に分離されたレジスト残渣には何ら剥離液分を残さなくすることができるので、分離されたレジスト残渣の処理の手間を著しく軽減することができる。
【００１６】
また、本発明のレジスト残渣回収機によれば、レジスト残渣から分離した剥離液が搬出側に流れて開口部から落下するのを防止することができるので、レジスト残渣を剥離液から完全に分離処理することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して説明する。
図１は、本発明の実施の形態のレジスト残渣回収機１０を側面からみた透視図である。また、図２は、レジスト残渣回収機１０の平面図である。
ベースフレーム１上には、下部に排出口１１ａを有し箱形に形成されたフレーム１１が設けられている。このフレーム１１の下側には、排出口１１ａから排出された剥離液を回収するためのタンク２が配置され、このベースフレーム１の横にはレジスト残渣回収用のペール缶３が配置されるような載置部４が設けられている。
【００１８】
前記フレーム１１の搬入側の側壁１２には開口部１３が形成され、この開口部１３にはレジスト残渣を含有した剥離液を排出する排出管（図示せず）が接続されるフランジ部１４が設けられている。このフランジ部１４から前述したフレーム１１の内部には、ホッパ１５が形成され、このホッパ１５の先端にヒンジ１６によって脱着可能に設けられたガイドプレート１７が回動自在に支持されている。
【００１９】
ホッパ１５の下方から前記フレーム１１の搬出側に向かって、分離プレート１８が水平方向に揺動自在に、すなわち分離プレート１８の搬入側から搬出側に揺動できるように支持されている。具体的には、図３に示すように、この分離プレート１８の搬入側と搬出側とにそれぞれブラケット１９が幅方向に一対に設けられ、このブラケット１９の上部を貫通してシャフト２０が幅方向に設けられている。このシャフト２０の先端に設けた支持ピン２１が前記フレーム１１の幅方向の両側壁２２に設けられたＵ字状の係止部２３に回動自在に支持されている。また、このブラケット１９の下部を貫通して、分離プレート１８の側部から外方に突出した揺動ピン２４が回動可能に支持されている。したがって、前述したブラケット１９の上部支持端を中心に下部支持端が搬入側と搬出側に揺動することで分離プレート１８が揺動できるようになっている。
【００２０】
この分離プレート１８は前述した搬入側のガイドプレート１７の近傍に複数の開口部２５を形成し、これら開口部２５を覆うようにして８０〜１００メッシュが貼り付けられた金網部２６（網状部材）が取り付けられている。また、この金網部２６の搬出側には、徐々に先細り状に配置された縦壁２７を持つガイド部２８が形成され、このガイド部２８の搬出側端部に前記分離プレート１８の底部を開放する開口部２９が設けられている。
また、分離プレート１８の搬出端には、後述するカム３０（回転部材）を受けるローラ３１が一対に設けられている。
【００２１】
前記フレーム１１の搬出側には、ブラケット３２を介して戻しばね３３の一端側が取り付けられ、この戻しばね３３の他端側は前記分離プレート１８の搬出端のフック３４に取り付けられている。したがって、この状態では、分離プレート１８は搬出端側に押し付けた状態となっている。
ところで、この分離プレート１８は、前述した支持ピン２１と揺動ピン２４によって揺動自在に支持されているが、この支持点は、水平方向に対して搬出端側が若干上側に位置するように傾斜して設けられている。
【００２２】
フレーム１１に取り付けられ戻しばね３３を支持するブラケット３２には、搬入側に向かって突出した棒状のストッパ部材３５が取り付けられている。このストッパ部材３５は、分離プレート１８の搬出端側に戻しばね３３に付勢された状態でこの搬出端側を規制する部材であり、ナット３６によりその位置を調整できるようになっている。これら戻しばね３３およびストッパ部材３５は、分離プレート１８の幅方向中央部分に配置されている。そして、これら戻しばね３３とストッパ部材３５とを挟むように、分離プレート１８の搬出側端部に設けられたローラ３１に対応して、カム３０がシャフト３０ａを介してモータ３７に回転自在に取り付けられている。ここで、カム３０と、戻しばね３３と、ストッパ部材３５とで衝接機構３８を構成する。
【００２３】
このカム３０は、図１および図４において右回りに回ることで徐々に中心からの距離が増加していくサイクロイドを１８０°の位置まで外周面３０ｂを形成したものであり、その外周面３０ｂは、１８０°の位置で切除されている。したがって、このカム３０が右回りで回転すると戻しばね３３によって搬出側に付勢された状態にある分離プレート１８がカム３０の外周面３０ｂに沿って押し付けられるようにして徐々に搬入側に変位し、その後、外周面３０ｂの終端で開放され、カム３０による押圧状態を解除される。その結果、戻しばね３３によって搬出側に戻り、前記ストッパ部材３５に当接して、衝撃力を与えられるようになっている。
【００２４】
分離プレート１８の開口部２９の下方には、剥離液除去機構３９が設けられている。この剥離液除去機構３９は、上側に設けた補助ローラ４０と、補助ローラ４０の下側に設けたメインローラ４１と、メインローラ４１に周設するブレード４２とからなっている。このメインローラ４１は、モータ４３に取り付けられるとともに、補助ローラ４０に外周面同士を当接している。
また、図５に示すように、これら補助ローラ４０およびメインローラ４１にはそれぞれシャフト４０ａ，４１ａが設けられており、これらシャフト４０ａ，４１ａの端部にはそれぞれ駆動伝達機構４０ｂ，４１ｂが設けられている。
【００２５】
また、フレーム１１において、分離プレート１８の開口部２９の下方には、開口部２９から落下したレジスト残渣をメインローラ４１に案内するガイド板４４が設けられている。また、剥離液除去機構３９の下方には、ブレード４２から落下したレジスト残渣を前述のペール缶３に案内するホッパ４５が設けられている。また、剥離液除去機構３９の搬入側には、上部でガイド板４４を支持する壁部４６が立設されており、この壁部４６の下部には、メインローラ４１から搬入側に流出する剥離液を通過できる開口部４７が設けられている。
【００２６】
このようなレジスト残渣回収機１０を用いて、レジスト残渣を含有した剥離液を以下の手順でレジスト残渣および剥離液に分離してそれぞれを回収する。
まず、モータ３７を稼動して、シャフト３０ａとともにカム３０を回転させる。このとき、分離プレート１８のローラ３１がカム３０の外周面３０ｂに接触しているため、分離プレート１８が、カム３０の回転とともに徐々に搬入側に変位する。そして、ローラ３１とカム３０の外周面３０ｂとの接触部位が外周面３０ｂの切除された部位に到達したとき、ローラ３１の搬入側への変位が解除され、戻しばね３３の付勢によって急激に搬出側に復帰する。このとき、分離プレート１８の端部とストッパ部材３５とが当接して分離プレート１８が衝撃を受ける。そして再び、ローラ３１は回転するカム３０の外周面３０ａに接触する。このようにして、カム３０が回転している間、これらの動きが所定間隔で繰り返されるため、分離プレート１８が間欠的に衝撃を受けることとなる。ここで、使用されるレジスト残渣に応じた最適な衝接タイミングを設定すれば、スムーズにレジスト残渣を搬入側から搬出側に移動させることができ、剥離液から分離されたレジスト残渣の処理を容易にかつ最適なタイミングで行うことができる。
【００２７】
また、モータ４３を稼動して、剥離液除去機構３９の補助ローラ４０およびメインローラ４１を同期して回転させる。すなわち、メインローラ４１がシャフト４１ａを介して一方向（図４における反時計回り）に回転するとともに、この回転による駆動力が駆動伝達機構４０ｂ，４１ｂに伝達される。そして、補助ローラ４０が、メインローラ４１に外周面同士を当接しながら、シャフト４０ａを介してメインローラ４１の回転方向と逆方向（図４における時計回り）に同期して回転する。
【００２８】
ところで、レジスト残渣を含有した剥離液は、前述の排出管からフレーム１１の搬入側の開口部１３に入り込んだ後、ホッパ１５を通過して、分離プレート１８の搬入側に落下する。そして、この剥離液は、分離プレート１８が間欠的に衝撃を受けるごとに、分離プレート１８上を搬出側に移動して、金網部２６が貼り付けられた開口部２５からレジスト残渣を残して剥離液のみが落下してタンク２に貯溜される。このタンク２に貯溜された剥離液は回収され再利用される。
【００２９】
一方、剥離液を分離されたレジスト残渣は、金網部２６上に残存するとともに、分離プレート１８が間欠的に衝撃を受けるたびに分離プレート１８上を搬出側に移動する。このとき、分離プレート１８は、搬入側から搬出側に向かって上方に傾斜しているため、分離された剥離液が金網部２６より搬出側に流れることなく開口部２５から下方に落下する。すなわち、金網部２６より搬出側には、レジスト残渣のみ残存することとなり、分離プレート１８上においてレジスト残渣と剥離液とを完全に分離することができる。
【００３０】
金網部２６より搬出側に移動したレジスト残渣は、分離プレート１８が間欠的に衝撃を受けて分離プレート１８上をさらに搬出側に移動し、ガイド部２８において縦壁２７に案内され、搬出側の開口部２９から下方へ落下する。このレジスト残渣は、開口部２９の下方に設けられたガイド板４４に案内されて、剥離液除去機構３９のメインローラ４１上に搭載される。その後、レジスト残渣がメインローラ４１の外周面に付着した状態で、メインローラ４１の回転とともに補助ローラ４０とメインローラ４１との間に挟まれることで、レジスト残渣に含まれる僅かな剥離液分を除去される。このとき、除去された剥離液分は、剥離液除去機構３９の搬入側に落下し、開口部４７を通過してタンク２に落下する。このタンク２に貯溜された剥離液は回収され再利用される。
【００３１】
この場合、この剥離液はレジスト残渣を含有しないため、レジスト残渣と確実に分離することができる。したがって、剥離液の使用寿命を延ばすとともに、剥離液の剥離性能、洗浄性能が損なわれる等の剥離液の劣化を防ぐことができる。また、タンク２に回収された剥離液からレジスト残渣を除去する手間が省略されるため、剥離液の処理を容易に行うことができる。
【００３２】
また、剥離液分を除去されたレジスト残渣は、メインローラ４１の外周面に付着した状態でメインローラ４１とともに回転し、このメインローラ４１に周設するブレード４２によってメインローラ４１の外周面から掻き取られ、そのままブレード４２に案内されて、ホッパ４５に案内されながらペール缶３に落下する。このペール缶３に蓄積されたレジスト残渣は、回収され廃棄される。この場合、レジスト残渣と剥離液とを確実に分離できるので、分離されたレジスト残渣の処理を容易に行うことができる。
【００３３】
なお、上記実施の形態において、カム３０は、分離プレート１８に当接しながら回転し、この回転によって分離プレートを搬入側に向かって変位させた後開放するものであれば、これに限るものではない。また、分離プレート１８を搬入側に向かって徐々に変位させ、その後搬出側に向かって急激に変位させるものであれば、回転部材に限らなくてもよい。
【００３４】
また、上記実施の形態において、レジスト残渣と剥離液とを確実に分離処理できれば、剥離液除去機構３９を設けなくてもよい。また、分離プレート１８が搬入側から搬出側に向かって上方に傾斜して配置されなくてもよい。ただしこの場合、搬出側に剥離液が流れないようにしておく必要がある。
また、上記実施の形態において、ストッパ部材３５は、分離プレート１８に対して間欠的に衝撃を与えることができれば、どのような形状であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】本発明における実施の形態に係るレジスト残渣回収機の透視図である。
【図２】上記レジスト残渣回収機の一部を透視した平面図である。
【図３】上記レジスト残渣回収機の分離プレートの平面図である。
【図４】図１の部分拡大図である。
【図５】上記レジスト残渣回収機の補助ローラおよびメインローラを説明する図である。
【符号の説明】
【００３６】
１０ レジスト残渣回収機
１１ フレーム
１８ 分離プレート
２５ 開口部
２６ 金網部（網状部材）
２９ 開口部
３０ カム（回転部材）
３３ 戻しばね
３５ ストッパ部材
３８ 衝接機構
３９ 剥離液除去機構
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レジスト残渣回収機に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、例えば回路基板の製造工程においては、ドライフィルムレジストを回路基板に貼り付け、所定のパターンをエッチングしている。このようなドライフィルムレジストは、この製造工程の最後に剥離除去する必要があるため、回路基板を特定の剥離液で洗浄して剥離されている。
ところで、このような剥離液は、近年における環境への配慮からできるだけ再利用して廃棄分を少なくする必要があるが、通常このようなドライフィルムレジストが混入しており、完全に分離することが困難である。そこで、この問題を解決するために、例えばベルトコンベアを用いて剥離液中に存在するレジスト残渣をベルトに付着させた状態で、剥離液およびレジスト残渣それぞれを個別に除去するレジスト残渣回収装置が提案されている（特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００３−１３１３９４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、このようなレジスト残渣回収装置において、レジスト残渣は粒子径が異なることでその一部が除去されずにベルトコンベアの搬出側から裏側に回りこみ、ベルトコンベアから再度剥離液に混入してしまう。その結果、レジスト残渣が剥離液に混入することにより剥離液の劣化を招くこととなる。
【０００４】
そこで本発明は、ドライフィルムレジストを確実に剥離液とレジスト残渣とに分離して、さらにこの分離されたレジスト残渣に含まれる剥離液分を確実に処理して完全に剥離液とレジスト残渣とに分離処理することができるレジスト残渣回収機を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、上記課題を解決するため、以下の手段を採用する。すなわち本発明のレジスト残渣回収機は、フレームにレジスト残渣を剥離液から分離する分離プレートを水平方向に揺動自在に設け、前記分離プレートの搬入側には前記レジスト残渣を剥離液から分離し前記剥離液を通過させる網状部材を設けるとともに、搬出側には前記剥離液から分離されたレジスト残渣を下方に落とす開口部を設け、前記分離プレートの搬出側に前記分離プレートに対して間欠的に衝撃を与える衝接機構を設けたことを特徴とする。
【０００６】
このような構成としたことで、レジスト残渣回収機に供給されレジスト残渣を含有する剥離液が分離プレートの網状部材で確実にレジスト残渣と分離されるため、レジスト残渣が下方の剥離液貯溜タンクに落下することはない。また、水平方向に揺動自在な分離プレートの搬出側に衝撃を与えることで、徐々に搬出側に移動していくレジスト残渣を開口部から下方に落下できる。
【０００７】
また、本発明のレジスト残渣回収機において、前記衝接機構が、前記分離プレートを搬出側に付勢する戻しばねと、前記分離プレートに当接しながら回転し、この回転によって前記分離プレートを搬入側に向かって変位させた後開放する回転部材と、前記分離プレートの搬出側端部を前記戻しばねによって前記搬出側に復帰する際、前記搬出側端部に衝接するストッパ部材とからなることを特徴とする。
【０００８】
このような構成としたことで、回転部材を回転させることで分離プレートを搬入側に対して所定間隔で押し出し、その後開放するタイミングでストッパに押し当てることにより、使用されるレジスト残渣に応じた最適な衝接タイミングを設定してスムーズにレジスト残渣を搬入側から搬出側に移動させることができる。
【０００９】
また、本発明のレジスト残渣回収機において、前記開口部の下方に前記開口部から落下するレジスト残渣に含まれる剥離液分を除去する剥離液除去機構を設けたことを特徴とする。
【００１０】
このような構成としたことで、剥離液が分離されたレジスト残渣に残っている僅かな剥離液分もこの剥離液除去機構により確実に除去し、完全に分離されたレジスト残渣には何ら剥離液分を残さなくすることができる。
【００１１】
また、本発明のレジスト残渣回収機において、前記分離プレートは、搬入側から搬出側に向かって上方に傾斜して配置されていることを特徴とする。
【００１２】
このような構成としたことで、レジスト残渣から分離した剥離液が搬出側に流れて開口部から落下するのを防止することができる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明のレジスト残渣回収機によれば、レジスト残渣と剥離液とを確実に分離でき、剥離液の使用寿命を延ばすとともに剥離液の劣化を防ぐことができる。また、レジスト残渣と剥離液とを確実に分離できるので、分離されたレジスト残渣および剥離液それぞれの処理を容易に行うことができる。
【００１４】
また、本発明のレジスト残渣回収機によれば、使用されるレジスト残渣に応じた最適な衝接タイミングを設定してスムーズにレジスト残渣を搬入側から搬出側に移動させることができるので、剥離液から分離されたレジスト残渣の処理を容易にかつ最適なタイミングで行うことができる。
【００１５】
また、本発明のレジスト残渣回収機によれば、剥離液を分離されたレジスト残渣に残っている僅かな剥離液分もこの剥離液除去機構により確実に除去し、完全に分離されたレジスト残渣には何ら剥離液分を残さなくすることができるので、分離されたレジスト残渣の処理の手間を著しく軽減することができる。
【００１６】
また、本発明のレジスト残渣回収機によれば、レジスト残渣から分離した剥離液が搬出側に流れて開口部から落下するのを防止することができるので、レジスト残渣を剥離液から完全に分離処理することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して説明する。
図１は、本発明の実施の形態のレジスト残渣回収機１０を側面からみた透視図である。また、図２は、レジスト残渣回収機１０の平面図である。
ベースフレーム１上には、下部に排出口１１ａを有し箱形に形成されたフレーム１１が設けられている。このフレーム１１の下側には、排出口１１ａから排出された剥離液を回収するためのタンク２が配置され、このベースフレーム１の横にはレジスト残渣回収用のペール缶３が配置されるような載置部４が設けられている。
【００１８】
前記フレーム１１の搬入側の側壁１２には開口部１３が形成され、この開口部１３にはレジスト残渣を含有した剥離液を排出する排出管（図示せず）が接続されるフランジ部１４が設けられている。このフランジ部１４から前述したフレーム１１の内部には、ホッパ１５が形成され、このホッパ１５の先端にヒンジ１６によって脱着可能に設けられたガイドプレート１７が回動自在に支持されている。
【００１９】
ホッパ１５の下方から前記フレーム１１の搬出側に向かって、分離プレート１８が水平方向に揺動自在に、すなわち分離プレート１８の搬入側から搬出側に揺動できるように支持されている。具体的には、図３に示すように、この分離プレート１８の搬入側と搬出側とにそれぞれブラケット１９が幅方向に一対に設けられ、このブラケット１９の上部を貫通してシャフト２０が幅方向に設けられている。このシャフト２０の先端に設けた支持ピン２１が前記フレーム１１の幅方向の両側壁２２に設けられたＵ字状の係止部２３に回動自在に支持されている。また、このブラケット１９の下部を貫通して、分離プレート１８の側部から外方に突出した揺動ピン２４が回動可能に支持されている。したがって、前述したブラケット１９の上部支持端を中心に下部支持端が搬入側と搬出側に揺動することで分離プレート１８が揺動できるようになっている。
【００２０】
この分離プレート１８は前述した搬入側のガイドプレート１７の近傍に複数の開口部２５を形成し、これら開口部２５を覆うようにして８０〜１００メッシュが貼り付けられた金網部２６（網状部材）が取り付けられている。また、この金網部２６の搬出側には、徐々に先細り状に配置された縦壁２７を持つガイド部２８が形成され、このガイド部２８の搬出側端部に前記分離プレート１８の底部を開放する開口部２９が設けられている。
また、分離プレート１８の搬出端には、後述するカム３０（回転部材）を受けるローラ３１が一対に設けられている。
【００２１】
前記フレーム１１の搬出側には、ブラケット３２を介して戻しばね３３の一端側が取り付けられ、この戻しばね３３の他端側は前記分離プレート１８の搬出端のフック３４に取り付けられている。したがって、この状態では、分離プレート１８は搬出端側に押し付けた状態となっている。
ところで、この分離プレート１８は、前述した支持ピン２１と揺動ピン２４によって揺動自在に支持されているが、この支持点は、水平方向に対して搬出端側が若干上側に位置するように傾斜して設けられている。
【００２２】
フレーム１１に取り付けられ戻しばね３３を支持するブラケット３２には、搬入側に向かって突出した棒状のストッパ部材３５が取り付けられている。このストッパ部材３５は、分離プレート１８の搬出端側に戻しばね３３に付勢された状態でこの搬出端側を規制する部材であり、ナット３６によりその位置を調整できるようになっている。これら戻しばね３３およびストッパ部材３５は、分離プレート１８の幅方向中央部分に配置されている。そして、これら戻しばね３３とストッパ部材３５とを挟むように、分離プレート１８の搬出側端部に設けられたローラ３１に対応して、カム３０がシャフト３０ａを介してモータ３７に回転自在に取り付けられている。ここで、カム３０と、戻しばね３３と、ストッパ部材３５とで衝接機構３８を構成する。
【００２３】
このカム３０は、図１および図４において右回りに回ることで徐々に中心からの距離が増加していくサイクロイドを１８０°の位置まで外周面３０ｂを形成したものであり、その外周面３０ｂは、１８０°の位置で切除されている。したがって、このカム３０が右回りで回転すると戻しばね３３によって搬出側に付勢された状態にある分離プレート１８がカム３０の外周面３０ｂに沿って押し付けられるようにして徐々に搬入側に変位し、その後、外周面３０ｂの終端で開放され、カム３０による押圧状態を解除される。その結果、戻しばね３３によって搬出側に戻り、前記ストッパ部材３５に当接して、衝撃力を与えられるようになっている。
【００２４】
分離プレート１８の開口部２９の下方には、剥離液除去機構３９が設けられている。この剥離液除去機構３９は、上側に設けた補助ローラ４０と、補助ローラ４０の下側に設けたメインローラ４１と、メインローラ４１に周設するブレード４２とからなっている。このメインローラ４１は、モータ４３に取り付けられるとともに、補助ローラ４０に外周面同士を当接している。
また、図５に示すように、これら補助ローラ４０およびメインローラ４１にはそれぞれシャフト４０ａ，４１ａが設けられており、これらシャフト４０ａ，４１ａの端部にはそれぞれ駆動伝達機構４０ｂ，４１ｂが設けられている。
【００２５】
また、フレーム１１において、分離プレート１８の開口部２９の下方には、開口部２９から落下したレジスト残渣をメインローラ４１に案内するガイド板４４が設けられている。また、剥離液除去機構３９の下方には、ブレード４２から落下したレジスト残渣を前述のペール缶３に案内するホッパ４５が設けられている。また、剥離液除去機構３９の搬入側には、上部でガイド板４４を支持する壁部４６が立設されており、この壁部４６の下部には、メインローラ４１から搬入側に流出する剥離液を通過できる開口部４７が設けられている。
【００２６】
このようなレジスト残渣回収機１０を用いて、レジスト残渣を含有した剥離液を以下の手順でレジスト残渣および剥離液に分離してそれぞれを回収する。
まず、モータ３７を稼動して、シャフト３０ａとともにカム３０を回転させる。このとき、分離プレート１８のローラ３１がカム３０の外周面３０ｂに接触しているため、分離プレート１８が、カム３０の回転とともに徐々に搬入側に変位する。そして、ローラ３１とカム３０の外周面３０ｂとの接触部位が外周面３０ｂの切除された部位に到達したとき、ローラ３１の搬入側への変位が解除され、戻しばね３３の付勢によって急激に搬出側に復帰する。このとき、分離プレート１８の端部とストッパ部材３５とが当接して分離プレート１８が衝撃を受ける。そして再び、ローラ３１は回転するカム３０の外周面３０ａに接触する。このようにして、カム３０が回転している間、これらの動きが所定間隔で繰り返されるため、分離プレート１８が間欠的に衝撃を受けることとなる。ここで、使用されるレジスト残渣に応じた最適な衝接タイミングを設定すれば、スムーズにレジスト残渣を搬入側から搬出側に移動させることができ、剥離液から分離されたレジスト残渣の処理を容易にかつ最適なタイミングで行うことができる。
【００２７】
また、モータ４３を稼動して、剥離液除去機構３９の補助ローラ４０およびメインローラ４１を同期して回転させる。すなわち、メインローラ４１がシャフト４１ａを介して一方向（図４における反時計回り）に回転するとともに、この回転による駆動力が駆動伝達機構４０ｂ，４１ｂに伝達される。そして、補助ローラ４０が、メインローラ４１に外周面同士を当接しながら、シャフト４０ａを介してメインローラ４１の回転方向と逆方向（図４における時計回り）に同期して回転する。
【００２８】
ところで、レジスト残渣を含有した剥離液は、前述の排出管からフレーム１１の搬入側の開口部１３に入り込んだ後、ホッパ１５を通過して、分離プレート１８の搬入側に落下する。そして、この剥離液は、分離プレート１８が間欠的に衝撃を受けるごとに、分離プレート１８上を搬出側に移動して、金網部２６が貼り付けられた開口部２５からレジスト残渣を残して剥離液のみが落下してタンク２に貯溜される。このタンク２に貯溜された剥離液は回収され再利用される。
【００２９】
一方、剥離液を分離されたレジスト残渣は、金網部２６上に残存するとともに、分離プレート１８が間欠的に衝撃を受けるたびに分離プレート１８上を搬出側に移動する。このとき、分離プレート１８は、搬入側から搬出側に向かって上方に傾斜しているため、分離された剥離液が金網部２６より搬出側に流れることなく開口部２５から下方に落下する。すなわち、金網部２６より搬出側には、レジスト残渣のみ残存することとなり、分離プレート１８上においてレジスト残渣と剥離液とを完全に分離することができる。
【００３０】
金網部２６より搬出側に移動したレジスト残渣は、分離プレート１８が間欠的に衝撃を受けて分離プレート１８上をさらに搬出側に移動し、ガイド部２８において縦壁２７に案内され、搬出側の開口部２９から下方へ落下する。このレジスト残渣は、開口部２９の下方に設けられたガイド板４４に案内されて、剥離液除去機構３９のメインローラ４１上に搭載される。その後、レジスト残渣がメインローラ４１の外周面に付着した状態で、メインローラ４１の回転とともに補助ローラ４０とメインローラ４１との間に挟まれることで、レジスト残渣に含まれる僅かな剥離液分を除去される。このとき、除去された剥離液分は、剥離液除去機構３９の搬入側に落下し、開口部４７を通過してタンク２に落下する。このタンク２に貯溜された剥離液は回収され再利用される。
【００３１】
この場合、この剥離液はレジスト残渣を含有しないため、レジスト残渣と確実に分離することができる。したがって、剥離液の使用寿命を延ばすとともに、剥離液の剥離性能、洗浄性能が損なわれる等の剥離液の劣化を防ぐことができる。また、タンク２に回収された剥離液からレジスト残渣を除去する手間が省略されるため、剥離液の処理を容易に行うことができる。
【００３２】
また、剥離液分を除去されたレジスト残渣は、メインローラ４１の外周面に付着した状態でメインローラ４１とともに回転し、このメインローラ４１に周設するブレード４２によってメインローラ４１の外周面から掻き取られ、そのままブレード４２に案内されて、ホッパ４５に案内されながらペール缶３に落下する。このペール缶３に蓄積されたレジスト残渣は、回収され廃棄される。この場合、レジスト残渣と剥離液とを確実に分離できるので、分離されたレジスト残渣の処理を容易に行うことができる。
【００３３】
なお、上記実施の形態において、カム３０は、分離プレート１８に当接しながら回転し、この回転によって分離プレートを搬入側に向かって変位させた後開放するものであれば、これに限るものではない。また、分離プレート１８を搬入側に向かって徐々に変位させ、その後搬出側に向かって急激に変位させるものであれば、回転部材に限らなくてもよい。
【００３４】
また、上記実施の形態において、レジスト残渣と剥離液とを確実に分離処理できれば、剥離液除去機構３９を設けなくてもよい。また、分離プレート１８が搬入側から搬出側に向かって上方に傾斜して配置されなくてもよい。ただしこの場合、搬出側に剥離液が流れないようにしておく必要がある。
また、上記実施の形態において、ストッパ部材３５は、分離プレート１８に対して間欠的に衝撃を与えることができれば、どのような形状であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】本発明における実施の形態に係るレジスト残渣回収機の透視図である。
【図２】上記レジスト残渣回収機の一部を透視した平面図である。
【図３】上記レジスト残渣回収機の分離プレートの平面図である。
【図４】図１の部分拡大図である。
【図５】上記レジスト残渣回収機の補助ローラおよびメインローラを説明する図である。
【符号の説明】
【００３６】
１０ レジスト残渣回収機
１１ フレーム
１８ 分離プレート
２５ 開口部
２６ 金網部（網状部材）
２９ 開口部
３０ カム（回転部材）
３３ 戻しばね
３５ ストッパ部材
３８ 衝接機構
３９ 剥離液除去機構
【特許請求の範囲】
【請求項１】
フレームにレジスト残渣を剥離液から分離する分離プレートを水平方向に揺動自在に設け、
前記分離プレートの搬入側には前記レジスト残渣を剥離液から分離し前記剥離液を通過させる網状部材を設けるとともに、搬出側には前記剥離液から分離されたレジスト残渣を下方に落とす開口部を設け、
前記分離プレートの搬出側に前記分離プレートに対して間欠的に衝撃を与える衝接機構を設けたことを特徴とするレジスト残渣回収機。
【請求項２】
前記衝接機構が、前記分離プレートを搬出側に付勢する戻しばねと、
前記分離プレートに当接しながら回転し、この回転によって前記分離プレートを搬入側に向かって変位させた後開放する回転部材と、
前記分離プレートの搬出側端部を前記戻しばねによって前記搬出側に復帰する際、前記搬出側端部に衝接するストッパ部材とからなることを特徴とする請求項１記載のレジスト残渣回収機。
【請求項３】
前記開口部の下方に前記開口部から落下するレジスト残渣に含まれる剥離液分を除去する剥離液除去機構を設けたことを特徴とする請求項１または２記載のレジスト残渣回収機。
【請求項４】
前記分離プレートは、搬入側から搬出側に向かって上方に傾斜して配置されていることを特徴とする請求項１から３に記載のレジスト残渣回収機。
【請求項１】
フレームにレジスト残渣を剥離液から分離する分離プレートを水平方向に揺動自在に設け、
前記分離プレートの搬入側には前記レジスト残渣を剥離液から分離し前記剥離液を通過させる網状部材を設けるとともに、搬出側には前記剥離液から分離されたレジスト残渣を下方に落とす開口部を設け、
前記分離プレートの搬出側に前記分離プレートに対して間欠的に衝撃を与える衝接機構を設けたことを特徴とするレジスト残渣回収機。
【請求項２】
前記衝接機構が、前記分離プレートを搬出側に付勢する戻しばねと、
前記分離プレートに当接しながら回転し、この回転によって前記分離プレートを搬入側に向かって変位させた後開放する回転部材と、
前記分離プレートの搬出側端部を前記戻しばねによって前記搬出側に復帰する際、前記搬出側端部に衝接するストッパ部材とからなることを特徴とする請求項１記載のレジスト残渣回収機。
【請求項３】
前記開口部の下方に前記開口部から落下するレジスト残渣に含まれる剥離液分を除去する剥離液除去機構を設けたことを特徴とする請求項１または２記載のレジスト残渣回収機。
【請求項４】
前記分離プレートは、搬入側から搬出側に向かって上方に傾斜して配置されていることを特徴とする請求項１から３に記載のレジスト残渣回収機。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【公開番号】特開２００６−２８１５２９（Ｐ２００６−２８１５２９Ａ）
【公開日】平成１８年１０月１９日（２００６．１０．１９）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００５−１０２５０８（Ｐ２００５−１０２５０８）
【出願日】平成１７年３月３１日（２００５．３．３１）
【出願人】（５９２００８２１７）株式会社協友機工 (2)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成１８年１０月１９日（２００６．１０．１９）
【国際特許分類】
【出願日】平成１７年３月３１日（２００５．３．３１）
【出願人】（５９２００８２１７）株式会社協友機工 (2)
【Ｆターム（参考）】
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