レプリカフィルム貼着装置及びレプリカフィルム貼着方法
【課題】作業員の技量にかかわらず効率良くレプリカフィルムを貼着可能なレプリカフィルム貼着装置及びレプリカフィルム貼着方法を提供する。
【解決手段】レプリカフィルム貼着装置１は、弾性体からなるローラ２と、ローラ２に巻き付けられたレプリカフィルム４と、ローラ２を転動可能に支持する取手６と、溶剤１１を被検体８の表面に滴下するノズル１０と、一端が取手６に、他端がノズル１０にそれぞれ接続されたフレキシブルアーム１２と、を備えている。取手６は、ローラ２を回動可能に支持する支持部６ｂと、支持部６ｂに接続され、操作者が把持可能な把持部６ａとから構成されている。把持部６ａを軽く押し潰すことにより、把持部６ａの内部容積が減少して把持部６ａ内の圧力が上昇するため、把持部６ａ内の溶剤１１をチューブ１３及びフレキシブルアーム１２を介してノズル１０に供給することができる。
【解決手段】レプリカフィルム貼着装置１は、弾性体からなるローラ２と、ローラ２に巻き付けられたレプリカフィルム４と、ローラ２を転動可能に支持する取手６と、溶剤１１を被検体８の表面に滴下するノズル１０と、一端が取手６に、他端がノズル１０にそれぞれ接続されたフレキシブルアーム１２と、を備えている。取手６は、ローラ２を回動可能に支持する支持部６ｂと、支持部６ｂに接続され、操作者が把持可能な把持部６ａとから構成されている。把持部６ａを軽く押し潰すことにより、把持部６ａの内部容積が減少して把持部６ａ内の圧力が上昇するため、把持部６ａ内の溶剤１１をチューブ１３及びフレキシブルアーム１２を介してノズル１０に供給することができる。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、構造物を構成する構成部材の表面性状をレプリカフィルムに転写させて構成部材の表面性状を観察する際に、レプリカフィルムを構成部材の表面に貼着するレプリカフィルム貼着装置及びレプリカフィルム貼着方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
発電所等の各種プラント設備を構成する配管等の構成部材（例えば、炭素鋼やステンレス鋼）の表面性状（凹凸や割れや付着物等の形態や分布等）を検査する場合には、構成部材の検査対象箇所の表面性状をレプリカフィルムに転写して複製し、当該レプリカフィルムを顕微鏡等で観察している。
【０００３】
具体的には、図１０に示すように、人間が検査対象箇所９の表面に酢酸メチルやアセトン等の溶剤１１を滴下し、溶剤１１が揮発してしまう前に検査対象箇所９にレプリカフィルム４を手作業で貼着する。そして、レプリカフィルム４の採取面を溶解させて検査対象箇所９の表面性状に沿うように変形させ、所要時間（約１分）放置することでレプリカフィルム４の採取面を乾燥させて当該採取面に検査対象箇所９の表面性状を転写する。その後、レプリカフィルム４を検査対象箇所９から剥がして、検査対象箇所９の表面性状のレプリカを採取する。検査対象箇所９に貼着するレプリカフィルム４は、薄い（約３０μｍ）ため、カール等の変形を起こしやすく取り扱いが難しい。
【０００４】
また、特許文献１には、レプリカフィルムを作成しながら検査対象箇所の表面性状を複製するレプリカ取得装置が開示されている。このレプリカ取得装置は、ローラと、当該ローラと検査対象箇所との間にレプリカフィルムの材料を供給するノズルと、を備えている。このレプリカ取得装置では、検査対象箇所に対向する位置にローラを配置し、その後、レプリカフィルムの材料を滴下しながらローラでその材料を拡げてレプリカフィルムを作成しつつ、レプリカフィルムを検査対象箇所に貼着している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００２−１３９４１０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上述した人間が検査対象箇所の表面に溶剤を滴下した後、検査対象箇所にレプリカフィルムを貼着する方法の場合、溶剤の入った容器を一方の手で持つとともに、レプリカフィルムを他方の手で持ちながら作業を行うため、作業効率が非常に悪いという問題点があった。
また、レプリカフィルムを貼着する際に、検査対象箇所とレプリカフィルムとの間にゴミや空気が入ると正確なレプリカを採取できないため、レプリカフィルムの貼着作業は訓練を受けた作業員でないと行う事ができなかった。
また、特許文献１には、レプリカフィルムを貼着する方法については記載されていない。
【０００７】
そこで、本発明は係る従来技術の問題点に鑑み、作業員の技量にかかわらず効率良くレプリカフィルムを貼着可能なレプリカフィルム貼着装置及びレプリカフィルム貼着方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上述した問題を解決する本発明に係るレプリカフィルム貼着装置は、構造物を構成する構成部材の表面性状をレプリカフィルムに転写させて前記構成部材の表面性状を観察する際に、当該レプリカフィルムを前記構成部材の表面に貼着するレプリカフィルム貼着装置であって、
前記レプリカフィルムの長さよりも長い周長を有するとともに、周面がレプリカフィルムを前記構成部材の表面に貼着させるための溶剤に対する耐性を有するローラと、
前記ローラの周面に巻き付けられた前記レプリカフィルムと、
前記溶剤を前記ローラの進行方向前方の前記構成部材の表面に供給する溶剤供給手段と、を備え、
前記ローラを前記進行方向に転動させながら、前記構成部材の表面に前記溶剤を供給して、前記レプリカフィルムを前記構成部材の表面に貼着するように構成されていることを特徴とする。
【０００９】
上記レプリカフィルム貼着装置によれば、構成部材の表面上にローラを転動させながら、構成部材の検査対象箇所に溶剤を供給した後、直ちにローラに巻き付けられたレプリカフィルムを貼着することができるので、作業効率を向上させることができる。
また、溶液を供給すると、直ちにレプリカフィルムを貼着するので、検査対象箇所とレプリカフィルムとの間にゴミや空気が入ることがなく、作業のやり直しを防止することができる。
さらに、ローラを構成部材の表面に沿って転動させるだけなので、作業員の技量にかかわらず、レプリカフィルムを失敗することなく、構成部材の表面に貼着することができる。
【００１０】
また、前記溶剤供給手段は、
前記ローラの周面から離間した位置に配置され、前記溶剤を前記構成部材の表面に供給するノズルと、
前記溶剤を貯留する貯留部と、
一端が前記貯留部に、他端が前記ノズルにそれぞれ接続され、前記貯留部内の溶剤を前記ノズルに送給する溶剤供給路と、を備えていてもよい。
【００１１】
このように、溶剤供給手段は、貯留部と、溶剤供給路と、ノズルとを備えているため、貯留部から溶剤供給路及びノズルを介して溶剤を構成部材の表面に供給することができる。また、ノズルを備えているため、構成部材の検査対象箇所に正確に溶剤を供給することができる。
【００１２】
また、前記ローラを転動可能に支持する支持部と、当該支持部に接続されるとともに、操作者が把持可能に構成された把持部とを更に備え、
前記貯留部の少なくとも一部が前記把持部の内部に形成されており、前記溶剤供給路の一端が前記把持部内の前記貯留部に接続されていてもよい。
【００１３】
このように、把持部の内部に貯留部の少なくとも一部が形成されているため、把持部から溶剤を供給することができる。
また、貯留部をすべて把持部の内部に設けた場合、貯留部のスペースを削減することができるため、レプリカフィルム貼着装置を小型化することができる。
さらに、把持部を片手で把持することにより、貼着作業を片手だけで行う事ができる。従来、即ち両手で貼着作業を行っていた際は、容易に近づけない場所に検査対象箇所が存在すると、レプリカフィルムを貼着することができなかった。しかしながら、本発明によれば、片手だけで貼着作業を行うことができるため、片手でレプリカフィルム貼着装置を把持した状態で当該片手を伸ばすことにより、検査可能となる。
【００１４】
また、前記ローラの周面に設けられ、変形自在な中空状の袋体と、
一端が袋体に、他端が前記貯留部にそれぞれ接続され、前記袋体の変形により生じる加圧流体を前記貯留部へ送給する加圧流体供給路と、を備え、
前記袋体の変形により生じる加圧流体が前記加圧流体供給路を介して前記貯留部内に送給されて、前記貯留部内の圧力が上昇することにより、前記貯留部内の溶剤が前記溶剤供給路を介して前記ノズルへと供給されてもよい。
【００１５】
このように、ローラの周面に袋体が設けられているため、構成部材の表面上にローラを転動させることにより、袋体を変形することができる。袋体の変形により生じる加圧流体が加圧流体供給路を介して貯留部内に送給されて、貯留部内の圧力が上昇することにより、貯留部内の溶剤が前記溶剤供給路を介してノズルへと供給される。したがって、レプリカフィルムを貼着する位置が目視できない場所でも、溶剤を正確なタイミングで供給して、レプリカフィルムを正確に貼着することができる。
なお、袋体内に封入する流体は、気体又は液体の何れを用いても良い。特に、液体を用いる場合には、溶剤を用いることが好ましい。
【００１６】
また、前記把持部は、中空棒状に形成されており、
前記把持部の内部に、軸方向に摺動可能に収容されたピストンと、
前記ピストンによって画成されるとともに、前記溶剤が充満された溶剤室と、
前記ピストンを押圧して前記ピストンを前記把持部の軸方向に摺動させる押圧手段と、を備え、前記溶剤室は前記貯留部の一部を構成しており、
前記押圧手段により前記ピストンを前記溶剤室側へ押圧することにより、前記溶剤室内の溶剤が前記溶剤供給路を介して前記ノズルへと供給されてもよい。
【００１７】
このように、把持部の内部に設けられた押圧手段で、把持部の内部に形成された溶剤室を押圧することにより、溶剤室内の溶剤をノズルに供給することができる。また、押圧手段を手動で操作することにより、操作者が溶剤の供給量を調整することができる。
【００１８】
また、前記ローラの周面には、周方向に沿って所定の角度ごとに、前記レプリカフィルムの端部を差込み可能な切欠部が形成されており、
前記切欠部に前記レプリカフィルムの端部を差込むことにより、前記レプリカフィルムは前記ローラに巻き付けられていてもよい。
【００１９】
このように、ローラの周面には、切欠部が形成されているため、レプリカフィルムの端部を差込むことで、レプリカフィルムをローラに巻き付けることができる。これにより、レプリカフィルムがローラから離れないように手で押さえる必要がなくなる。
【００２０】
また、前記把持部は、前記軸方向と直交する横断方向に収縮変形可能であることとしてもよい。
【００２１】
このように、把持部は、横断方向に収縮変形可能なので、把持部を手で軽く押し潰すことにより溶剤室内の溶剤を検査対象箇所に供給することができる。これにより、操作者が溶剤の供給量を調整することができる。
【００２２】
上述した問題を解決する本発明に係るレプリカフィルム貼着方法は、構造物を構成する構成部材の表面性状をレプリカフィルムに転写させて前記構成部材の表面性状を観察する際に、当該レプリカフィルムを前記構成部材の表面に貼着するレプリカフィルムの貼着方法であって、
前記レプリカフィルムの長さよりも長い周長を有するとともに、周面がレプリカフィルムを前記構成部材の表面に貼着させるための溶剤に対する耐性を有するローラと、前記ローラの周面に巻き付けられた前記レプリカフィルムと、前記溶剤を前記ローラの進行方向前方の前記構成部材の表面に供給する溶剤供給手段と、を備えたレプリカフィルム貼着装置を用いて、前記ローラを前記進行方向に転動させながら、前記ローラよりも前記進行方向前方の前記構成部材の表面に前記溶剤を供給して、前記レプリカフィルムを前記構成部材の表面に貼着することを特徴とする。
【００２３】
上記レプリカフィルム貼着方法によれば、構成部材の表面上にローラを転動させながら、構成部材の検査対象箇所に溶剤を供給した後、直ちにローラに巻き付けられたレプリカフィルムを貼着することができるので、作業効率を向上させることができる。
また、溶液を供給すると、直ちにレプリカフィルムを貼着するので、検査対象箇所とレプリカフィルムとの間にゴミや空気が入ることがなく、作業のやり直しを防止することができる。
さらに、ローラを構成部材の表面に沿って転動させるだけなので、作業員の技量にかかわらず、レプリカフィルムを失敗することなく、構成部材の表面に貼着することができる。
【発明の効果】
【００２４】
本発明によれば、持ち運びが容易で、作業員の技量にかかわらず効率良くレプリカフィルムを貼着可能なレプリカフィルム貼着装置及びレプリカフィルム貼着方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明の第一実施形態に係るレプリカフィルム貼着装置の斜視図である。
【図２】取手の断面図である。
【図３】レプリカフィルム貼着装置でレプリカフィルムを貼着している状態を示す図である。
【図４】レプリカフィルム貼着装置でレプリカフィルムを貼着している状態を示す図である。
【図５】本発明の第二実施形態に係るレプリカフィルム貼着装置の斜視図である。
【図６】レプリカフィルム貼着装置でレプリカフィルムを貼着している状態を示す図である。
【図７】レプリカフィルム貼着装置でレプリカフィルムを貼着している状態を示す図である。
【図８】本発明の第三実施形態に係るレプリカフィルム貼着装置の平面図である。
【図９】本発明の第三実施形態に係るレプリカフィルム貼着装置の一部断面図である。
【図１０】従来のレプリカフィルムを貼着する状態を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
以下、図面を参照して本発明の好適な実施形態を例示的に詳しく説明する。なお、以下の実施形態に記載されている構成部品の寸法、材質、形状、その相対的配置等は特に特定的な記載がない限りは、この発明の範囲をそれに限定する趣旨ではなく、単なる説明例に過ぎない。
【００２７】
図１は、本発明の第一実施形態に係るレプリカフィルム貼着装置の斜視図である。また、図２は、取手の断面図である。そして、図３及び図４は、レプリカフィルム貼着装置でレプリカフィルムを貼着している状態を示す図である。
図１〜図４に示すように、本実施形態に係るレプリカフィルム貼着装置１は、弾性体からなるローラ２と、ローラ２に巻き付けられたレプリカフィルム４と、ローラ２を転動可能に支持する取手６と、溶剤１１を被検体８の表面に滴下するノズル１０と、一端が取手６に、他端がノズル１０にそれぞれ接続されたフレキシブルアーム１２と、を備えている。
【００２８】
ローラ２は、帯状のレプリカフィルム４の長さよりも長い周長を有している。これにより、レプリカフィルム４を重ねることなく、ローラ２に巻き付けることができる。また、ローラ２は、その周面が溶剤１１に対する耐性を有している。本実施形態では、ローラ２の材料として、溶剤１１に対する耐性を有し、且つ弾性体であるブチルゴムを用いた。なお、ローラ２の材料はこれに限定されるものではなく、溶剤１１として用いられる酢酸メチルやアセトン等の有機溶剤に対する耐性を有する材料であればよい。さらに、弾性を有するものが好ましく、例えば、シリコーンゴムやチオコールを用いてもよい。
【００２９】
ローラ２の周面には、周方向に沿って所定の角度ごとに、レプリカフィルム４の端部を差込み可能な切欠部１４、１６が２箇所、形成されている。切欠部１４、１６は、ローラ２の回転軸２ａに沿って形成されている。各切欠部１４、１６内にアセチル系の樹脂からなる帯状のレプリカフィルム４の端部をそれぞれ差込むことにより、ローラ２の周面にレプリカフィルム４を巻き付けることができる。
本実施形態では、図３及び図４に示すように、切欠部１４は、切欠部１６よりも９０°、ローラ回転方向に形成されている。即ち切欠部１４、１６間の角度が９０°となるように形成したが、この角度に限定されるものではなく、レプリカフィルム４やローラ２の周長によって適宜、決定される。また、本実施形態では、切欠部１４、１６を２箇所形成したが、この数に限定されるものではなく、１箇所以上形成されていればよい。
【００３０】
また、図１に示すように、取手６は、ローラ２を回動可能に支持する支持部６ｂと、支持部６ｂに接続され、操作者が把持可能な把持部６ａとから構成されている。
取手６の把持部６ａは、図２に示すように、ボトル形状を有しており、把持部６ａの中にはレプリカフィルム４を軟化させるための酢酸メチルやアセトン等の溶剤１１が貯留されている。把持部６ａは、耐薬品性を有し、且つ横断方向に変形可能なフッ素樹脂から構成されている。
把持部６ａ内には、フレキシブルアーム１２に連通するチューブ１３が設けられている。チューブ１３のフレキシブルアーム１２と反対側の端部は溶剤１１内に配置されている。
把持部６ａを軽く押し潰すことにより、把持部６ａの内部容積が減少して把持部６ａ内の圧力が上昇するため、把持部６ａ内の溶剤１１をチューブ１３及びフレキシブルアーム１２を介してノズル１０に供給することができる。
【００３１】
再び、図１に示すように、ノズル１０は、ローラ２の進行方向前方で、且つローラ２の周面から離間した位置に配置されている。これにより、取手６の把持部６ａから供給された溶剤１１をローラ２の進行方向前方の被検体８の表面に滴下させることができる。
【００３２】
フレキシブルアーム１２は、中空形状を有しており、取手６の把持部６ａ内の溶剤１１をノズル１０に送給することができる。また、フレキシブルアーム１２は、屈曲変形自在なので、ノズル１０を所望の位置で支持することができる。
【００３３】
フレキシブルアーム１２と取手６との接続部分に第１逆止弁１８が介在している。第１逆止弁１８は、把持部６ａ内の圧力が所定値以上になると、溶剤１１が把持部６ａ側からフレキシブルアーム１２側へ流れることを許可する機能を有する。また、第１逆止弁１８は、溶剤１１や空気がフレキシブルアーム１２側から把持部６ａ側へ流れることを防止する機能も有する。これにより、溶剤１１を検査対象箇所９に滴下した後に、ノズル１０及びフレキシブルアーム１２内に空気が入ることを防止できる。したがって、次の溶剤供給時に、ノズル１０から溶剤１１のみを供給することができる。即ちノズル１０から溶剤１１が出ずに空気だけが出ることを防止できる。
【００３４】
また、取手６の上部には、第２逆止弁２０が設けられている。第２逆止弁２０は、把持部６ａ内の圧力が大気圧以下になると、大気が取手６内へ流入することを許可する機能を有する。また、第２逆止弁２０は、溶剤１１及び把持部６ａ内の空気や溶剤１１が把持部６ａ外へ流出することを防止する機能も有する。これにより、第１逆止弁１８を介してフレキシブルアーム１２側へ溶剤１１を供給した後に、第２逆止弁２０を介して把持部６ａ内に大気を流入させることができる。したがって、溶剤１１の減少により変形していた把持部６ａの形状を元に戻すことができる。
【００３５】
上述した構成からなるレプリカフィルム貼着装置１を用いたレプリカフィルム４の貼着方法について以下で説明する。
【００３６】
まず、ローラ２にレプリカフィルム４を巻き付けたレプリカフィルム貼着装置１を被検体８の表面上に載置する。そして、図３に示すように、切欠部１６に差し込まれているレプリカフィルム４の端部を切欠部１６から外して被検体８の表面に当接させる。
【００３７】
次に、被検体８の表面上にローラ２を転動させながら、ノズル１０が検査対象箇所９の直上付近に到達したら、取手６の把持部６ａを軽く押し潰して、検査対象箇所９に溶剤１１を滴下する。
【００３８】
続いて、図４に示すように、溶剤１１が揮発してしまう前にローラ２を被検体８に押し付けながら進行方向に転動させる。即ち、ローラ２でレプリカフィルム４を検査対象箇所９に密着させるとともに、溶剤１１を検査対象箇所９全体に拡げる。このように、ローラ２でレプリカフィルム４を被検体８に押圧することにより、レプリカフィルム４を被検体８に貼着することができる。
レプリカフィルム貼着装置１を被検体８上に載置してから、レプリカフィルム４を貼着するまでの作業は、片手で行う事ができる。
【００３９】
レプリカフィルム４を検査対象箇所９に押し付けると、溶剤１１によりレプリカフィルム４の接触面が溶解して、検査対象箇所９の表面性状に沿うように変形する。押し付けた状態を所定時間（約１分）保持し、溶剤１１が乾燥したら、レプリカフィルム４を被検体８から剥がすことで、レプリカフィルム４の接触面に検査対象箇所９の表面性状を転写してレプリカを採取することができる。
【００４０】
上述したように、本実施形態に係るレプリカフィルム貼着装置１によれば、被検体８の表面上にローラ２を転動させながら、被検体８の検査対象箇所９に溶剤１１を滴下した後、直ちにレプリカフィルム４を貼着することができるので、被検体８とレプリカフィルム４との間にゴミや空気が入ることがない。また、貼着作業を片手で行う事ができるため、作業効率が向上する。そして、貼着作業は作業員の技量にかかわらず失敗なく行う事ができる。
【００４１】
また、取手６の把持部６ａとフレキシブルアーム１２との間に第１逆止弁１８が設けられているため、溶剤１１を検査対象箇所９に滴下した後に、ノズル１０及びフレキシブルアーム１２内に空気が入ることを防止できる。したがって、次の溶剤供給時に、ノズル１０から溶剤１１のみを供給することができる。即ちノズル１０から溶剤１１が出ずに空気だけがでることを防止できる。
【００４２】
そして、取手６の把持部６ａは横断方向に変形可能なので、把持部６ａを軽く押し潰すことにより溶剤１１をノズル１０に送給することができる。溶剤１１の供給は、作業員の意思で行う事ができるため、溶剤１１の供給タイミングを調整することができる。そして、溶剤１１が取手６の把持部６ａ内に貯留されているため、レプリカフィルム貼着装置１を小型化することができる。
【００４３】
また、取手６の把持部６ａに第２逆止弁２０が設けられているため、溶剤１１をフレキシブルアーム１２側に供給した後に、第２逆止弁２０を介して把持部６ａ内に大気を流入させることができる。これにより、溶剤１１の減少により変形していた把持部６ａの形状を元に戻すことができる。
【００４４】
さらに、ローラ２の周面には、２つの切欠部１４、１６が形成されているため、レプリカフィルム４の端部を各切欠部１４、１６に差込むことで、レプリカフィルム４をローラ２に巻き付けることができる。これにより、レプリカフィルム４がローラ２から離れないように手で押さえる必要がなくなる。
【００４５】
次に、本発明の第二実施形態について説明する。以下の説明において、上述した実施形態に対応する部分には同一の符号を付して説明を省略し、主に相違点について説明する。第二実施形態のレプリカフィルム貼着装置は、ローラ２に袋体を設けたものである。
【００４６】
図５は、本発明の第二実施形態に係るレプリカフィルム貼着装置の斜視図である。また、図６及び図７は、レプリカフィルム貼着装置でレプリカフィルムを貼着している状態を示す図である。
図５〜図７に示すように、本実施形態に係るレプリカフィルム貼着装置２１は、ローラ２の周面に設けられた複数の袋体２２を備えている。
各袋体２２は、袋状のゴムから形成されており、内部が中空で変形自在である。また、袋体２２は、図６及び図７に示すように、切欠部１４に対してローラ２の周方向に１８０°離間した位置に設けられている。このように、袋体２２は、切欠部１４に対して１８０°離間した位置に設けられているため、貼着作業時に袋体２２を目視できなくても切欠部１４の位置を確認することにより、袋体２２の位置を推定することができる。これにより、溶剤１１の供給されるタイミングを概ね把握することができる。
【００４７】
また、図５〜図７に示すように、レプリカフィルム貼着装置２１は、袋体２２と把持部６ａとを連通して、袋体２２内の加圧流体を把持部６ａに送給する加圧流体供給路２４を備えている。
加圧流体供給路２４は、ローラ２内に設けられたローラ内連通管２５と、当該ローラ内連通管２５にスイベル継手２７を介して接続され、取手６の支持部６ｂに沿って設けられた外部連通管２９とを備えている。
ローラ内連通管２５は、一端側が２つに分岐されて各袋体２２に接続され、他端がローラ２の軸方向側面から突出するように配置されている。ローラ内連通管２５の他端は、スイベル継手２７に接続されている。即ちローラ内連通管２５は、スイベル継手２７を介して外部連通管２９に対して回転自在に接続されている。
また、外部連通管２９の端部は、取手６の把持部６ａを貫通し、把持部６ａ内に設けられている。
【００４８】
加圧流体供給路２４は、袋体２２の圧縮により生じた圧縮空気を把持部６ａへ送給する。袋体２２が押し潰されると、袋体２２内の圧縮空気が加圧流体供給路２４を介して把持部６ａ内に供給されて、把持部６ａ内の圧力が上昇する。把持部６ａ内の圧力の上昇によって、溶剤１１がフレキシブルアーム１２へ押し出され、ノズル１０を介して被検体８の表面に溶剤１１を供給することができる。
【００４９】
加圧流体供給路２４の外部連通管２９の途中には、第３逆止弁２６が設けられている。第３逆止弁２６は、加圧流体供給路２４内の圧力が大気圧以下になると、大気が加圧流体供給路２４へ流入することを許可する機能を有する。また、第３逆止弁２６は、加圧流体供給路２４内の圧縮空気が加圧流体供給路２４の途中から外部へ流出することを防止する機能も有する。これにより、袋体２２内で生じた圧縮空気を把持部６ａ内へ供給することができる。さらに、加圧流体供給後、加圧流体供給路２４内に大気が流入することにより、再び袋体２２を膨らますことができる。
【００５０】
また、加圧流体供給路２４の他端には第４逆止弁２８が接続されている。第４逆止弁２８は、加圧流体供給路２４内の圧力が所定値以上になると、加圧流体供給路２４内の圧縮空気が把持部６ａ側へ流れることを許可する機能を有する。また、第４逆止弁２８は、把持部６ａ側から袋体２２側へ溶剤１１が流入することを防止する機能も有する。これにより、圧縮空気を供給した後に、加圧流体供給路２４内に溶剤１１が流入することを防止できる。
【００５１】
上述した構成からなるレプリカフィルム貼着装置２１を用いたレプリカフィルの貼着方法について以下で説明する。
【００５２】
まず、第一実施形態と同様に、ローラ２にレプリカフィルム４を巻き付けたレプリカフィルム貼着装置２１を被検体８の表面上に載置する。そして、切欠部１６に差し込まれているレプリカフィルム４の端部を切欠部１６から外して被検体８の表面に当接させる。
【００５３】
次に、図６に示すように、被検体８の表面上にローラ２を転動させて袋体２２を押し潰すと、袋体２２内の空気が圧縮されて加圧流体供給路２４を介して把持部６ａ内に供給されるとともに、把持部６ａ内の溶剤１１がフレキシブルアーム１２へ押し出され、ノズル１０の先端から被検体８の検査対象箇所９に溶剤１１が滴下される。このとき、検査対象箇所９に滴下された溶剤１１の量が少ない場合には、第一実施形態と同様に、取手６の把持部６ａを軽く押し潰すと、ノズル１０の先端から被検体８の検査対象箇所９に溶剤１１を滴下できる。
【００５４】
続いて、図７に示すように、溶剤１１が揮発してしまう前にローラ２を被検体８に押し付けながら、ローラ２を進行方向に転動させる。このようにしてローラ２でレプリカフィルム４を被検体８に押圧することにより、被検体８の検査対象箇所９とレプリカフィルム４との間にゴミや空気を介在させることなく、レプリカフィルム４を貼着することができる。
【００５５】
上述したように、本実施形態に係るレプリカフィルム貼着装置２１によれば、ローラ２の周面に袋体２２が設けられているため、被検体８の表面上にローラ２を転動させることにより、自動的に溶剤１１を被検体８の検査対象箇所９に滴下することができる。このとき、溶剤１１の量が少ない場合には、取手６の把持部６ａを軽く押し潰すことで、更に溶剤１１を供給することができる。なお、本実施形態でも上述した第一実施形態と同様の効果を得ることができる。
【００５６】
なお、本実施形態においては、袋体２２内に封入する流体として空気を用いた場合について説明したが、空気に限定されるものではなく、窒素等を用いてもよい。また、気体に限定されるものではなく、液体を用いてもよい。液体を用いる場合には、溶剤を用いることが好ましい。
【００５７】
次に、本発明の第三実施形態について説明する。
図８は、本発明の第三実施形態に係るレプリカフィルム貼着装置の平面図である。また、図９は、本発明の第三実施形態に係るレプリカフィルム貼着装置の一部断面図である。
図８及び図９に示すように、本実施形態に係るレプリカフィルム貼着装置３１の取手３３の把持部３３ａには、レバー４６の操作により溶剤１１を供給可能な溶剤供給機構３２が設けられている。
【００５８】
溶剤供給機構３２は、中空棒状の把持部３３ａの内周面に当接しながら把持部３３ａ内を摺動可能なピストン３４と、把持部３３ａ内に、ローラ２とは反対側（以下、後端側という）の端部に設けられたバネ３６と、を備えている。また、バネ３６の一端を固定する固定材３８と、バネ３６の他端側に設けられてバネ３６を伸縮させる可動材４０と、一端がピストン３４に、他端が可動材４０に接続された連結材４２と、を更に備えている。さらに、連結材４２の突起部４４に係合して連結材４２を移動させるためのレバー４６と、を備えている。
また、把持部３３ａ内のローラ側端部には、ピストン３４によって画成され、溶剤１１が充満された溶剤室５０が形成されている。溶剤室５０は、第５逆止弁５１を介して溶剤１１を貯留するタンク４８と接続されている。
【００５９】
第５逆止弁５１は、溶剤室５０内の圧力が所定圧以下になると、タンク４８内の溶剤１１が溶剤室５０内へ流入することを許可する機能を有する。また、第５逆止弁５１は、溶剤１１がタンク４８へ流出することを防止する機能も有する。これにより、溶剤室５０内の溶剤１１をフレキシブルアーム１２側へ供給した後に、溶剤１１をタンク４８から供給することができる。したがって、溶剤室５０内を溶剤１１で充満した状態を維持することができる。また、溶剤室５０からタンク４８へ溶剤１１が逆流することを防止できる。
【００６０】
図９の矢印Ａ方向にレバー４６を回動させると、連結材４２がローラ２側に向かって（図中矢印Ｂ方向へ）移動するとともに、ピストン３４が溶剤室５０を押圧する。これにより、溶剤室５０内の圧力が上昇して、溶剤室５０内の溶剤１１がチューブ１３及びフレキシブルアーム１２を介してノズル１０へと供給される。
【００６１】
その後、レバー４６の操作を止めると、バネ３６の付勢力により連結材４２が後端側へ移動するとともに、ピストン３４も後端側へ移動して溶剤１１の供給を停止することができる。このとき、溶剤室５０内の圧力が低下するため、第５逆止弁が開いてタンク４８内から溶剤１１が溶剤室５０内へ供給される。
【００６２】
取手３３の把持部３３ａの上面には、レバー４６上端部の移動量を確認するための目印５２が複数記されている。目印５２間は等間隔に記されている。レバー４６の操作により、レバー４６の上端部が１目盛分移動すると、予め設定された所定量の溶剤１１が検査対象箇所９に滴下される。
【００６３】
レプリカフィルム貼着装置３１の取手３３は、ローラ２の進行方向側の端部を囲う略コの字型のガード部５４を備えている。ガード部５４の両端はローラ２の回転軸２ａに接続されており、回転軸２ａを中心に回動する（図中矢印Ｃ参照）ことができる。ガード部５４にはノズル１０が固定されており、ガード部５４を回動させることにより、ノズル１０の位置を変更することができる。
【００６４】
上述したように、本実施形態に係るレプリカフィルム貼着装置３１によれば、レバー４６の操作により溶剤１１を供給することができる。また、把持部３３ａに目印５２が記されているため、レバー４６上端部の移動量を確認することにより、溶剤１１の供給量を調整することができる。
また、ガード部５４を備えているため、被検体８の検査対象箇所９付近にケーブル等が存在していても、ケーブル等がレプリカフィルム４に接触することを防止できる。さらに、ガード部５４を回動させることにより、ノズル１０を所望の位置に容易に配置することができる。なお、本実施形態でも上述した第一実施形態と同様の効果を得ることができる。
【符号の説明】
【００６５】
１ レプリカフィルム貼着装置
２ ローラ
２ａ 回転軸
４ レプリカフィルム
６ 取手
６ａ 把持部
６ｂ 支持部
８ 被検体
９ 検査対象箇所
１０ ノズル
１１ 溶剤
１２ フレキシブルアーム
１３ チューブ
１４ 切欠部
１６ 切欠部
１８ 第１逆止弁
２０ 第２逆止弁
２１ レプリカフィルム貼着装置
２２ 袋体
２４ 加圧流体供給路
２５ ローラ内連通管
２６ 第３逆止弁
２７ スイベル継手
２８ 第４逆止弁
２９ 外部連通管
３１ レプリカフィルム貼着装置
３２ 溶剤供給機構
３３ 取手
３３ａ 把持部
３４ ピストン
３６ バネ
３８ 固定材
４０ 可動材
４２ 連結材
４４ 突起部
４６ レバー
４８ タンク
５０ 溶剤室
５２ 目印
５４ ガード部
【技術分野】
【０００１】
本発明は、構造物を構成する構成部材の表面性状をレプリカフィルムに転写させて構成部材の表面性状を観察する際に、レプリカフィルムを構成部材の表面に貼着するレプリカフィルム貼着装置及びレプリカフィルム貼着方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
発電所等の各種プラント設備を構成する配管等の構成部材（例えば、炭素鋼やステンレス鋼）の表面性状（凹凸や割れや付着物等の形態や分布等）を検査する場合には、構成部材の検査対象箇所の表面性状をレプリカフィルムに転写して複製し、当該レプリカフィルムを顕微鏡等で観察している。
【０００３】
具体的には、図１０に示すように、人間が検査対象箇所９の表面に酢酸メチルやアセトン等の溶剤１１を滴下し、溶剤１１が揮発してしまう前に検査対象箇所９にレプリカフィルム４を手作業で貼着する。そして、レプリカフィルム４の採取面を溶解させて検査対象箇所９の表面性状に沿うように変形させ、所要時間（約１分）放置することでレプリカフィルム４の採取面を乾燥させて当該採取面に検査対象箇所９の表面性状を転写する。その後、レプリカフィルム４を検査対象箇所９から剥がして、検査対象箇所９の表面性状のレプリカを採取する。検査対象箇所９に貼着するレプリカフィルム４は、薄い（約３０μｍ）ため、カール等の変形を起こしやすく取り扱いが難しい。
【０００４】
また、特許文献１には、レプリカフィルムを作成しながら検査対象箇所の表面性状を複製するレプリカ取得装置が開示されている。このレプリカ取得装置は、ローラと、当該ローラと検査対象箇所との間にレプリカフィルムの材料を供給するノズルと、を備えている。このレプリカ取得装置では、検査対象箇所に対向する位置にローラを配置し、その後、レプリカフィルムの材料を滴下しながらローラでその材料を拡げてレプリカフィルムを作成しつつ、レプリカフィルムを検査対象箇所に貼着している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００２−１３９４１０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上述した人間が検査対象箇所の表面に溶剤を滴下した後、検査対象箇所にレプリカフィルムを貼着する方法の場合、溶剤の入った容器を一方の手で持つとともに、レプリカフィルムを他方の手で持ちながら作業を行うため、作業効率が非常に悪いという問題点があった。
また、レプリカフィルムを貼着する際に、検査対象箇所とレプリカフィルムとの間にゴミや空気が入ると正確なレプリカを採取できないため、レプリカフィルムの貼着作業は訓練を受けた作業員でないと行う事ができなかった。
また、特許文献１には、レプリカフィルムを貼着する方法については記載されていない。
【０００７】
そこで、本発明は係る従来技術の問題点に鑑み、作業員の技量にかかわらず効率良くレプリカフィルムを貼着可能なレプリカフィルム貼着装置及びレプリカフィルム貼着方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上述した問題を解決する本発明に係るレプリカフィルム貼着装置は、構造物を構成する構成部材の表面性状をレプリカフィルムに転写させて前記構成部材の表面性状を観察する際に、当該レプリカフィルムを前記構成部材の表面に貼着するレプリカフィルム貼着装置であって、
前記レプリカフィルムの長さよりも長い周長を有するとともに、周面がレプリカフィルムを前記構成部材の表面に貼着させるための溶剤に対する耐性を有するローラと、
前記ローラの周面に巻き付けられた前記レプリカフィルムと、
前記溶剤を前記ローラの進行方向前方の前記構成部材の表面に供給する溶剤供給手段と、を備え、
前記ローラを前記進行方向に転動させながら、前記構成部材の表面に前記溶剤を供給して、前記レプリカフィルムを前記構成部材の表面に貼着するように構成されていることを特徴とする。
【０００９】
上記レプリカフィルム貼着装置によれば、構成部材の表面上にローラを転動させながら、構成部材の検査対象箇所に溶剤を供給した後、直ちにローラに巻き付けられたレプリカフィルムを貼着することができるので、作業効率を向上させることができる。
また、溶液を供給すると、直ちにレプリカフィルムを貼着するので、検査対象箇所とレプリカフィルムとの間にゴミや空気が入ることがなく、作業のやり直しを防止することができる。
さらに、ローラを構成部材の表面に沿って転動させるだけなので、作業員の技量にかかわらず、レプリカフィルムを失敗することなく、構成部材の表面に貼着することができる。
【００１０】
また、前記溶剤供給手段は、
前記ローラの周面から離間した位置に配置され、前記溶剤を前記構成部材の表面に供給するノズルと、
前記溶剤を貯留する貯留部と、
一端が前記貯留部に、他端が前記ノズルにそれぞれ接続され、前記貯留部内の溶剤を前記ノズルに送給する溶剤供給路と、を備えていてもよい。
【００１１】
このように、溶剤供給手段は、貯留部と、溶剤供給路と、ノズルとを備えているため、貯留部から溶剤供給路及びノズルを介して溶剤を構成部材の表面に供給することができる。また、ノズルを備えているため、構成部材の検査対象箇所に正確に溶剤を供給することができる。
【００１２】
また、前記ローラを転動可能に支持する支持部と、当該支持部に接続されるとともに、操作者が把持可能に構成された把持部とを更に備え、
前記貯留部の少なくとも一部が前記把持部の内部に形成されており、前記溶剤供給路の一端が前記把持部内の前記貯留部に接続されていてもよい。
【００１３】
このように、把持部の内部に貯留部の少なくとも一部が形成されているため、把持部から溶剤を供給することができる。
また、貯留部をすべて把持部の内部に設けた場合、貯留部のスペースを削減することができるため、レプリカフィルム貼着装置を小型化することができる。
さらに、把持部を片手で把持することにより、貼着作業を片手だけで行う事ができる。従来、即ち両手で貼着作業を行っていた際は、容易に近づけない場所に検査対象箇所が存在すると、レプリカフィルムを貼着することができなかった。しかしながら、本発明によれば、片手だけで貼着作業を行うことができるため、片手でレプリカフィルム貼着装置を把持した状態で当該片手を伸ばすことにより、検査可能となる。
【００１４】
また、前記ローラの周面に設けられ、変形自在な中空状の袋体と、
一端が袋体に、他端が前記貯留部にそれぞれ接続され、前記袋体の変形により生じる加圧流体を前記貯留部へ送給する加圧流体供給路と、を備え、
前記袋体の変形により生じる加圧流体が前記加圧流体供給路を介して前記貯留部内に送給されて、前記貯留部内の圧力が上昇することにより、前記貯留部内の溶剤が前記溶剤供給路を介して前記ノズルへと供給されてもよい。
【００１５】
このように、ローラの周面に袋体が設けられているため、構成部材の表面上にローラを転動させることにより、袋体を変形することができる。袋体の変形により生じる加圧流体が加圧流体供給路を介して貯留部内に送給されて、貯留部内の圧力が上昇することにより、貯留部内の溶剤が前記溶剤供給路を介してノズルへと供給される。したがって、レプリカフィルムを貼着する位置が目視できない場所でも、溶剤を正確なタイミングで供給して、レプリカフィルムを正確に貼着することができる。
なお、袋体内に封入する流体は、気体又は液体の何れを用いても良い。特に、液体を用いる場合には、溶剤を用いることが好ましい。
【００１６】
また、前記把持部は、中空棒状に形成されており、
前記把持部の内部に、軸方向に摺動可能に収容されたピストンと、
前記ピストンによって画成されるとともに、前記溶剤が充満された溶剤室と、
前記ピストンを押圧して前記ピストンを前記把持部の軸方向に摺動させる押圧手段と、を備え、前記溶剤室は前記貯留部の一部を構成しており、
前記押圧手段により前記ピストンを前記溶剤室側へ押圧することにより、前記溶剤室内の溶剤が前記溶剤供給路を介して前記ノズルへと供給されてもよい。
【００１７】
このように、把持部の内部に設けられた押圧手段で、把持部の内部に形成された溶剤室を押圧することにより、溶剤室内の溶剤をノズルに供給することができる。また、押圧手段を手動で操作することにより、操作者が溶剤の供給量を調整することができる。
【００１８】
また、前記ローラの周面には、周方向に沿って所定の角度ごとに、前記レプリカフィルムの端部を差込み可能な切欠部が形成されており、
前記切欠部に前記レプリカフィルムの端部を差込むことにより、前記レプリカフィルムは前記ローラに巻き付けられていてもよい。
【００１９】
このように、ローラの周面には、切欠部が形成されているため、レプリカフィルムの端部を差込むことで、レプリカフィルムをローラに巻き付けることができる。これにより、レプリカフィルムがローラから離れないように手で押さえる必要がなくなる。
【００２０】
また、前記把持部は、前記軸方向と直交する横断方向に収縮変形可能であることとしてもよい。
【００２１】
このように、把持部は、横断方向に収縮変形可能なので、把持部を手で軽く押し潰すことにより溶剤室内の溶剤を検査対象箇所に供給することができる。これにより、操作者が溶剤の供給量を調整することができる。
【００２２】
上述した問題を解決する本発明に係るレプリカフィルム貼着方法は、構造物を構成する構成部材の表面性状をレプリカフィルムに転写させて前記構成部材の表面性状を観察する際に、当該レプリカフィルムを前記構成部材の表面に貼着するレプリカフィルムの貼着方法であって、
前記レプリカフィルムの長さよりも長い周長を有するとともに、周面がレプリカフィルムを前記構成部材の表面に貼着させるための溶剤に対する耐性を有するローラと、前記ローラの周面に巻き付けられた前記レプリカフィルムと、前記溶剤を前記ローラの進行方向前方の前記構成部材の表面に供給する溶剤供給手段と、を備えたレプリカフィルム貼着装置を用いて、前記ローラを前記進行方向に転動させながら、前記ローラよりも前記進行方向前方の前記構成部材の表面に前記溶剤を供給して、前記レプリカフィルムを前記構成部材の表面に貼着することを特徴とする。
【００２３】
上記レプリカフィルム貼着方法によれば、構成部材の表面上にローラを転動させながら、構成部材の検査対象箇所に溶剤を供給した後、直ちにローラに巻き付けられたレプリカフィルムを貼着することができるので、作業効率を向上させることができる。
また、溶液を供給すると、直ちにレプリカフィルムを貼着するので、検査対象箇所とレプリカフィルムとの間にゴミや空気が入ることがなく、作業のやり直しを防止することができる。
さらに、ローラを構成部材の表面に沿って転動させるだけなので、作業員の技量にかかわらず、レプリカフィルムを失敗することなく、構成部材の表面に貼着することができる。
【発明の効果】
【００２４】
本発明によれば、持ち運びが容易で、作業員の技量にかかわらず効率良くレプリカフィルムを貼着可能なレプリカフィルム貼着装置及びレプリカフィルム貼着方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明の第一実施形態に係るレプリカフィルム貼着装置の斜視図である。
【図２】取手の断面図である。
【図３】レプリカフィルム貼着装置でレプリカフィルムを貼着している状態を示す図である。
【図４】レプリカフィルム貼着装置でレプリカフィルムを貼着している状態を示す図である。
【図５】本発明の第二実施形態に係るレプリカフィルム貼着装置の斜視図である。
【図６】レプリカフィルム貼着装置でレプリカフィルムを貼着している状態を示す図である。
【図７】レプリカフィルム貼着装置でレプリカフィルムを貼着している状態を示す図である。
【図８】本発明の第三実施形態に係るレプリカフィルム貼着装置の平面図である。
【図９】本発明の第三実施形態に係るレプリカフィルム貼着装置の一部断面図である。
【図１０】従来のレプリカフィルムを貼着する状態を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
以下、図面を参照して本発明の好適な実施形態を例示的に詳しく説明する。なお、以下の実施形態に記載されている構成部品の寸法、材質、形状、その相対的配置等は特に特定的な記載がない限りは、この発明の範囲をそれに限定する趣旨ではなく、単なる説明例に過ぎない。
【００２７】
図１は、本発明の第一実施形態に係るレプリカフィルム貼着装置の斜視図である。また、図２は、取手の断面図である。そして、図３及び図４は、レプリカフィルム貼着装置でレプリカフィルムを貼着している状態を示す図である。
図１〜図４に示すように、本実施形態に係るレプリカフィルム貼着装置１は、弾性体からなるローラ２と、ローラ２に巻き付けられたレプリカフィルム４と、ローラ２を転動可能に支持する取手６と、溶剤１１を被検体８の表面に滴下するノズル１０と、一端が取手６に、他端がノズル１０にそれぞれ接続されたフレキシブルアーム１２と、を備えている。
【００２８】
ローラ２は、帯状のレプリカフィルム４の長さよりも長い周長を有している。これにより、レプリカフィルム４を重ねることなく、ローラ２に巻き付けることができる。また、ローラ２は、その周面が溶剤１１に対する耐性を有している。本実施形態では、ローラ２の材料として、溶剤１１に対する耐性を有し、且つ弾性体であるブチルゴムを用いた。なお、ローラ２の材料はこれに限定されるものではなく、溶剤１１として用いられる酢酸メチルやアセトン等の有機溶剤に対する耐性を有する材料であればよい。さらに、弾性を有するものが好ましく、例えば、シリコーンゴムやチオコールを用いてもよい。
【００２９】
ローラ２の周面には、周方向に沿って所定の角度ごとに、レプリカフィルム４の端部を差込み可能な切欠部１４、１６が２箇所、形成されている。切欠部１４、１６は、ローラ２の回転軸２ａに沿って形成されている。各切欠部１４、１６内にアセチル系の樹脂からなる帯状のレプリカフィルム４の端部をそれぞれ差込むことにより、ローラ２の周面にレプリカフィルム４を巻き付けることができる。
本実施形態では、図３及び図４に示すように、切欠部１４は、切欠部１６よりも９０°、ローラ回転方向に形成されている。即ち切欠部１４、１６間の角度が９０°となるように形成したが、この角度に限定されるものではなく、レプリカフィルム４やローラ２の周長によって適宜、決定される。また、本実施形態では、切欠部１４、１６を２箇所形成したが、この数に限定されるものではなく、１箇所以上形成されていればよい。
【００３０】
また、図１に示すように、取手６は、ローラ２を回動可能に支持する支持部６ｂと、支持部６ｂに接続され、操作者が把持可能な把持部６ａとから構成されている。
取手６の把持部６ａは、図２に示すように、ボトル形状を有しており、把持部６ａの中にはレプリカフィルム４を軟化させるための酢酸メチルやアセトン等の溶剤１１が貯留されている。把持部６ａは、耐薬品性を有し、且つ横断方向に変形可能なフッ素樹脂から構成されている。
把持部６ａ内には、フレキシブルアーム１２に連通するチューブ１３が設けられている。チューブ１３のフレキシブルアーム１２と反対側の端部は溶剤１１内に配置されている。
把持部６ａを軽く押し潰すことにより、把持部６ａの内部容積が減少して把持部６ａ内の圧力が上昇するため、把持部６ａ内の溶剤１１をチューブ１３及びフレキシブルアーム１２を介してノズル１０に供給することができる。
【００３１】
再び、図１に示すように、ノズル１０は、ローラ２の進行方向前方で、且つローラ２の周面から離間した位置に配置されている。これにより、取手６の把持部６ａから供給された溶剤１１をローラ２の進行方向前方の被検体８の表面に滴下させることができる。
【００３２】
フレキシブルアーム１２は、中空形状を有しており、取手６の把持部６ａ内の溶剤１１をノズル１０に送給することができる。また、フレキシブルアーム１２は、屈曲変形自在なので、ノズル１０を所望の位置で支持することができる。
【００３３】
フレキシブルアーム１２と取手６との接続部分に第１逆止弁１８が介在している。第１逆止弁１８は、把持部６ａ内の圧力が所定値以上になると、溶剤１１が把持部６ａ側からフレキシブルアーム１２側へ流れることを許可する機能を有する。また、第１逆止弁１８は、溶剤１１や空気がフレキシブルアーム１２側から把持部６ａ側へ流れることを防止する機能も有する。これにより、溶剤１１を検査対象箇所９に滴下した後に、ノズル１０及びフレキシブルアーム１２内に空気が入ることを防止できる。したがって、次の溶剤供給時に、ノズル１０から溶剤１１のみを供給することができる。即ちノズル１０から溶剤１１が出ずに空気だけが出ることを防止できる。
【００３４】
また、取手６の上部には、第２逆止弁２０が設けられている。第２逆止弁２０は、把持部６ａ内の圧力が大気圧以下になると、大気が取手６内へ流入することを許可する機能を有する。また、第２逆止弁２０は、溶剤１１及び把持部６ａ内の空気や溶剤１１が把持部６ａ外へ流出することを防止する機能も有する。これにより、第１逆止弁１８を介してフレキシブルアーム１２側へ溶剤１１を供給した後に、第２逆止弁２０を介して把持部６ａ内に大気を流入させることができる。したがって、溶剤１１の減少により変形していた把持部６ａの形状を元に戻すことができる。
【００３５】
上述した構成からなるレプリカフィルム貼着装置１を用いたレプリカフィルム４の貼着方法について以下で説明する。
【００３６】
まず、ローラ２にレプリカフィルム４を巻き付けたレプリカフィルム貼着装置１を被検体８の表面上に載置する。そして、図３に示すように、切欠部１６に差し込まれているレプリカフィルム４の端部を切欠部１６から外して被検体８の表面に当接させる。
【００３７】
次に、被検体８の表面上にローラ２を転動させながら、ノズル１０が検査対象箇所９の直上付近に到達したら、取手６の把持部６ａを軽く押し潰して、検査対象箇所９に溶剤１１を滴下する。
【００３８】
続いて、図４に示すように、溶剤１１が揮発してしまう前にローラ２を被検体８に押し付けながら進行方向に転動させる。即ち、ローラ２でレプリカフィルム４を検査対象箇所９に密着させるとともに、溶剤１１を検査対象箇所９全体に拡げる。このように、ローラ２でレプリカフィルム４を被検体８に押圧することにより、レプリカフィルム４を被検体８に貼着することができる。
レプリカフィルム貼着装置１を被検体８上に載置してから、レプリカフィルム４を貼着するまでの作業は、片手で行う事ができる。
【００３９】
レプリカフィルム４を検査対象箇所９に押し付けると、溶剤１１によりレプリカフィルム４の接触面が溶解して、検査対象箇所９の表面性状に沿うように変形する。押し付けた状態を所定時間（約１分）保持し、溶剤１１が乾燥したら、レプリカフィルム４を被検体８から剥がすことで、レプリカフィルム４の接触面に検査対象箇所９の表面性状を転写してレプリカを採取することができる。
【００４０】
上述したように、本実施形態に係るレプリカフィルム貼着装置１によれば、被検体８の表面上にローラ２を転動させながら、被検体８の検査対象箇所９に溶剤１１を滴下した後、直ちにレプリカフィルム４を貼着することができるので、被検体８とレプリカフィルム４との間にゴミや空気が入ることがない。また、貼着作業を片手で行う事ができるため、作業効率が向上する。そして、貼着作業は作業員の技量にかかわらず失敗なく行う事ができる。
【００４１】
また、取手６の把持部６ａとフレキシブルアーム１２との間に第１逆止弁１８が設けられているため、溶剤１１を検査対象箇所９に滴下した後に、ノズル１０及びフレキシブルアーム１２内に空気が入ることを防止できる。したがって、次の溶剤供給時に、ノズル１０から溶剤１１のみを供給することができる。即ちノズル１０から溶剤１１が出ずに空気だけがでることを防止できる。
【００４２】
そして、取手６の把持部６ａは横断方向に変形可能なので、把持部６ａを軽く押し潰すことにより溶剤１１をノズル１０に送給することができる。溶剤１１の供給は、作業員の意思で行う事ができるため、溶剤１１の供給タイミングを調整することができる。そして、溶剤１１が取手６の把持部６ａ内に貯留されているため、レプリカフィルム貼着装置１を小型化することができる。
【００４３】
また、取手６の把持部６ａに第２逆止弁２０が設けられているため、溶剤１１をフレキシブルアーム１２側に供給した後に、第２逆止弁２０を介して把持部６ａ内に大気を流入させることができる。これにより、溶剤１１の減少により変形していた把持部６ａの形状を元に戻すことができる。
【００４４】
さらに、ローラ２の周面には、２つの切欠部１４、１６が形成されているため、レプリカフィルム４の端部を各切欠部１４、１６に差込むことで、レプリカフィルム４をローラ２に巻き付けることができる。これにより、レプリカフィルム４がローラ２から離れないように手で押さえる必要がなくなる。
【００４５】
次に、本発明の第二実施形態について説明する。以下の説明において、上述した実施形態に対応する部分には同一の符号を付して説明を省略し、主に相違点について説明する。第二実施形態のレプリカフィルム貼着装置は、ローラ２に袋体を設けたものである。
【００４６】
図５は、本発明の第二実施形態に係るレプリカフィルム貼着装置の斜視図である。また、図６及び図７は、レプリカフィルム貼着装置でレプリカフィルムを貼着している状態を示す図である。
図５〜図７に示すように、本実施形態に係るレプリカフィルム貼着装置２１は、ローラ２の周面に設けられた複数の袋体２２を備えている。
各袋体２２は、袋状のゴムから形成されており、内部が中空で変形自在である。また、袋体２２は、図６及び図７に示すように、切欠部１４に対してローラ２の周方向に１８０°離間した位置に設けられている。このように、袋体２２は、切欠部１４に対して１８０°離間した位置に設けられているため、貼着作業時に袋体２２を目視できなくても切欠部１４の位置を確認することにより、袋体２２の位置を推定することができる。これにより、溶剤１１の供給されるタイミングを概ね把握することができる。
【００４７】
また、図５〜図７に示すように、レプリカフィルム貼着装置２１は、袋体２２と把持部６ａとを連通して、袋体２２内の加圧流体を把持部６ａに送給する加圧流体供給路２４を備えている。
加圧流体供給路２４は、ローラ２内に設けられたローラ内連通管２５と、当該ローラ内連通管２５にスイベル継手２７を介して接続され、取手６の支持部６ｂに沿って設けられた外部連通管２９とを備えている。
ローラ内連通管２５は、一端側が２つに分岐されて各袋体２２に接続され、他端がローラ２の軸方向側面から突出するように配置されている。ローラ内連通管２５の他端は、スイベル継手２７に接続されている。即ちローラ内連通管２５は、スイベル継手２７を介して外部連通管２９に対して回転自在に接続されている。
また、外部連通管２９の端部は、取手６の把持部６ａを貫通し、把持部６ａ内に設けられている。
【００４８】
加圧流体供給路２４は、袋体２２の圧縮により生じた圧縮空気を把持部６ａへ送給する。袋体２２が押し潰されると、袋体２２内の圧縮空気が加圧流体供給路２４を介して把持部６ａ内に供給されて、把持部６ａ内の圧力が上昇する。把持部６ａ内の圧力の上昇によって、溶剤１１がフレキシブルアーム１２へ押し出され、ノズル１０を介して被検体８の表面に溶剤１１を供給することができる。
【００４９】
加圧流体供給路２４の外部連通管２９の途中には、第３逆止弁２６が設けられている。第３逆止弁２６は、加圧流体供給路２４内の圧力が大気圧以下になると、大気が加圧流体供給路２４へ流入することを許可する機能を有する。また、第３逆止弁２６は、加圧流体供給路２４内の圧縮空気が加圧流体供給路２４の途中から外部へ流出することを防止する機能も有する。これにより、袋体２２内で生じた圧縮空気を把持部６ａ内へ供給することができる。さらに、加圧流体供給後、加圧流体供給路２４内に大気が流入することにより、再び袋体２２を膨らますことができる。
【００５０】
また、加圧流体供給路２４の他端には第４逆止弁２８が接続されている。第４逆止弁２８は、加圧流体供給路２４内の圧力が所定値以上になると、加圧流体供給路２４内の圧縮空気が把持部６ａ側へ流れることを許可する機能を有する。また、第４逆止弁２８は、把持部６ａ側から袋体２２側へ溶剤１１が流入することを防止する機能も有する。これにより、圧縮空気を供給した後に、加圧流体供給路２４内に溶剤１１が流入することを防止できる。
【００５１】
上述した構成からなるレプリカフィルム貼着装置２１を用いたレプリカフィルの貼着方法について以下で説明する。
【００５２】
まず、第一実施形態と同様に、ローラ２にレプリカフィルム４を巻き付けたレプリカフィルム貼着装置２１を被検体８の表面上に載置する。そして、切欠部１６に差し込まれているレプリカフィルム４の端部を切欠部１６から外して被検体８の表面に当接させる。
【００５３】
次に、図６に示すように、被検体８の表面上にローラ２を転動させて袋体２２を押し潰すと、袋体２２内の空気が圧縮されて加圧流体供給路２４を介して把持部６ａ内に供給されるとともに、把持部６ａ内の溶剤１１がフレキシブルアーム１２へ押し出され、ノズル１０の先端から被検体８の検査対象箇所９に溶剤１１が滴下される。このとき、検査対象箇所９に滴下された溶剤１１の量が少ない場合には、第一実施形態と同様に、取手６の把持部６ａを軽く押し潰すと、ノズル１０の先端から被検体８の検査対象箇所９に溶剤１１を滴下できる。
【００５４】
続いて、図７に示すように、溶剤１１が揮発してしまう前にローラ２を被検体８に押し付けながら、ローラ２を進行方向に転動させる。このようにしてローラ２でレプリカフィルム４を被検体８に押圧することにより、被検体８の検査対象箇所９とレプリカフィルム４との間にゴミや空気を介在させることなく、レプリカフィルム４を貼着することができる。
【００５５】
上述したように、本実施形態に係るレプリカフィルム貼着装置２１によれば、ローラ２の周面に袋体２２が設けられているため、被検体８の表面上にローラ２を転動させることにより、自動的に溶剤１１を被検体８の検査対象箇所９に滴下することができる。このとき、溶剤１１の量が少ない場合には、取手６の把持部６ａを軽く押し潰すことで、更に溶剤１１を供給することができる。なお、本実施形態でも上述した第一実施形態と同様の効果を得ることができる。
【００５６】
なお、本実施形態においては、袋体２２内に封入する流体として空気を用いた場合について説明したが、空気に限定されるものではなく、窒素等を用いてもよい。また、気体に限定されるものではなく、液体を用いてもよい。液体を用いる場合には、溶剤を用いることが好ましい。
【００５７】
次に、本発明の第三実施形態について説明する。
図８は、本発明の第三実施形態に係るレプリカフィルム貼着装置の平面図である。また、図９は、本発明の第三実施形態に係るレプリカフィルム貼着装置の一部断面図である。
図８及び図９に示すように、本実施形態に係るレプリカフィルム貼着装置３１の取手３３の把持部３３ａには、レバー４６の操作により溶剤１１を供給可能な溶剤供給機構３２が設けられている。
【００５８】
溶剤供給機構３２は、中空棒状の把持部３３ａの内周面に当接しながら把持部３３ａ内を摺動可能なピストン３４と、把持部３３ａ内に、ローラ２とは反対側（以下、後端側という）の端部に設けられたバネ３６と、を備えている。また、バネ３６の一端を固定する固定材３８と、バネ３６の他端側に設けられてバネ３６を伸縮させる可動材４０と、一端がピストン３４に、他端が可動材４０に接続された連結材４２と、を更に備えている。さらに、連結材４２の突起部４４に係合して連結材４２を移動させるためのレバー４６と、を備えている。
また、把持部３３ａ内のローラ側端部には、ピストン３４によって画成され、溶剤１１が充満された溶剤室５０が形成されている。溶剤室５０は、第５逆止弁５１を介して溶剤１１を貯留するタンク４８と接続されている。
【００５９】
第５逆止弁５１は、溶剤室５０内の圧力が所定圧以下になると、タンク４８内の溶剤１１が溶剤室５０内へ流入することを許可する機能を有する。また、第５逆止弁５１は、溶剤１１がタンク４８へ流出することを防止する機能も有する。これにより、溶剤室５０内の溶剤１１をフレキシブルアーム１２側へ供給した後に、溶剤１１をタンク４８から供給することができる。したがって、溶剤室５０内を溶剤１１で充満した状態を維持することができる。また、溶剤室５０からタンク４８へ溶剤１１が逆流することを防止できる。
【００６０】
図９の矢印Ａ方向にレバー４６を回動させると、連結材４２がローラ２側に向かって（図中矢印Ｂ方向へ）移動するとともに、ピストン３４が溶剤室５０を押圧する。これにより、溶剤室５０内の圧力が上昇して、溶剤室５０内の溶剤１１がチューブ１３及びフレキシブルアーム１２を介してノズル１０へと供給される。
【００６１】
その後、レバー４６の操作を止めると、バネ３６の付勢力により連結材４２が後端側へ移動するとともに、ピストン３４も後端側へ移動して溶剤１１の供給を停止することができる。このとき、溶剤室５０内の圧力が低下するため、第５逆止弁が開いてタンク４８内から溶剤１１が溶剤室５０内へ供給される。
【００６２】
取手３３の把持部３３ａの上面には、レバー４６上端部の移動量を確認するための目印５２が複数記されている。目印５２間は等間隔に記されている。レバー４６の操作により、レバー４６の上端部が１目盛分移動すると、予め設定された所定量の溶剤１１が検査対象箇所９に滴下される。
【００６３】
レプリカフィルム貼着装置３１の取手３３は、ローラ２の進行方向側の端部を囲う略コの字型のガード部５４を備えている。ガード部５４の両端はローラ２の回転軸２ａに接続されており、回転軸２ａを中心に回動する（図中矢印Ｃ参照）ことができる。ガード部５４にはノズル１０が固定されており、ガード部５４を回動させることにより、ノズル１０の位置を変更することができる。
【００６４】
上述したように、本実施形態に係るレプリカフィルム貼着装置３１によれば、レバー４６の操作により溶剤１１を供給することができる。また、把持部３３ａに目印５２が記されているため、レバー４６上端部の移動量を確認することにより、溶剤１１の供給量を調整することができる。
また、ガード部５４を備えているため、被検体８の検査対象箇所９付近にケーブル等が存在していても、ケーブル等がレプリカフィルム４に接触することを防止できる。さらに、ガード部５４を回動させることにより、ノズル１０を所望の位置に容易に配置することができる。なお、本実施形態でも上述した第一実施形態と同様の効果を得ることができる。
【符号の説明】
【００６５】
１ レプリカフィルム貼着装置
２ ローラ
２ａ 回転軸
４ レプリカフィルム
６ 取手
６ａ 把持部
６ｂ 支持部
８ 被検体
９ 検査対象箇所
１０ ノズル
１１ 溶剤
１２ フレキシブルアーム
１３ チューブ
１４ 切欠部
１６ 切欠部
１８ 第１逆止弁
２０ 第２逆止弁
２１ レプリカフィルム貼着装置
２２ 袋体
２４ 加圧流体供給路
２５ ローラ内連通管
２６ 第３逆止弁
２７ スイベル継手
２８ 第４逆止弁
２９ 外部連通管
３１ レプリカフィルム貼着装置
３２ 溶剤供給機構
３３ 取手
３３ａ 把持部
３４ ピストン
３６ バネ
３８ 固定材
４０ 可動材
４２ 連結材
４４ 突起部
４６ レバー
４８ タンク
５０ 溶剤室
５２ 目印
５４ ガード部
【特許請求の範囲】
【請求項１】
構造物を構成する構成部材の表面性状をレプリカフィルムに転写させて前記構成部材の表面性状を観察する際に、当該レプリカフィルムを前記構成部材の表面に貼着するレプリカフィルム貼着装置であって、
前記レプリカフィルムの長さよりも長い周長を有するとともに、周面がレプリカフィルムを前記構成部材の表面に貼着させるための溶剤に対する耐性を有するローラと、
前記ローラの周面に巻き付けられた前記レプリカフィルムと、
前記溶剤を前記ローラの進行方向前方の前記構成部材の表面に供給する溶剤供給手段と、を備え、
前記ローラを前記進行方向に転動させながら、前記構成部材の表面に前記溶剤を供給して、前記レプリカフィルムを前記構成部材の表面に貼着するように構成されていることを特徴とするレプリカフィルム貼着装置。
【請求項２】
前記溶剤供給手段は、
前記ローラの周面から離間した位置に配置され、前記溶剤を前記構成部材の表面に供給するノズルと、
前記溶剤を貯留する貯留部と、
一端が前記貯留部に、他端が前記ノズルにそれぞれ接続され、前記貯留部内の溶剤を前記ノズルに送給する溶剤供給路と、を備えていることを特徴とする請求項１に記載のレプリカフィルム貼着装置。
【請求項３】
前記ローラを転動可能に支持する支持部と、当該支持部に接続されるとともに、操作者が把持可能に構成された把持部とを更に備え、
前記貯留部の少なくとも一部が前記把持部の内部に形成されており、前記溶剤供給路の一端が前記把持部内の前記貯留部に接続されていることを特徴とする請求項２に記載のレプリカフィルム貼着装置。
【請求項４】
前記ローラの周面に設けられ、変形自在な中空状の袋体と、
一端が袋体に、他端が前記貯留部にそれぞれ接続され、前記袋体の変形により生じる加圧流体を前記貯留部へ送給する加圧流体供給路と、を備え、
前記袋体の変形により生じる加圧流体が前記加圧流体供給路を介して前記貯留部内に送給されて、前記貯留部内の圧力が上昇することにより、前記貯留部内の溶剤が前記溶剤供給路を介して前記ノズルへと供給されることを特徴とする請求項２又は３に記載のレプリカフィルム貼着装置。
【請求項５】
前記把持部は、中空棒状に形成されており、
前記把持部の内部に、軸方向に摺動可能に収容されたピストンと、
前記ピストンによって画成されるとともに、前記溶剤が充満された溶剤室と、
前記ピストンを押圧して前記ピストンを前記把持部の軸方向に摺動させる押圧手段と、を備え、前記溶剤室は前記貯留部の一部を構成しており、
前記押圧手段により前記ピストンを前記溶剤室側へ押圧することにより、前記溶剤室内の溶剤が前記溶剤供給路を介して前記ノズルへと供給されることを特徴とする請求項３に記載のレプリカフィルム貼着装置。
【請求項６】
前記ローラの周面には、周方向に沿って所定の角度ごとに、前記レプリカフィルムの端部を差込み可能な切欠部が形成されており、
前記切欠部に前記レプリカフィルムの端部を差込むことにより、前記レプリカフィルムは前記ローラに巻き付けられていることを特徴とする請求項１〜５のうち何れか一項に記載のレプリカフィルム貼着装置。
【請求項７】
前記把持部は、前記軸方向と直交する横断方向に収縮変形可能であることを特徴とする請求項３又は４に記載のレプリカフィルム貼着装置。
【請求項８】
構造物を構成する構成部材の表面性状をレプリカフィルムに転写させて前記構成部材の表面性状を観察する際に、当該レプリカフィルムを前記構成部材の表面に貼着するレプリカフィルムの貼着方法であって、
前記レプリカフィルムの長さよりも長い周長を有するとともに、周面がレプリカフィルムを前記構成部材の表面に貼着させるための溶剤に対する耐性を有するローラと、前記ローラの周面に巻き付けられた前記レプリカフィルムと、前記溶剤を前記ローラの進行方向前方の前記構成部材の表面に供給する溶剤供給手段と、を備えたレプリカフィルム貼着装置を用いて、前記ローラを前記進行方向に転動させながら、前記ローラよりも前記進行方向前方の前記構成部材の表面に前記溶剤を供給して、前記レプリカフィルムを前記構成部材の表面に貼着することを特徴とするレプリカフィルム貼着方法。
【請求項１】
構造物を構成する構成部材の表面性状をレプリカフィルムに転写させて前記構成部材の表面性状を観察する際に、当該レプリカフィルムを前記構成部材の表面に貼着するレプリカフィルム貼着装置であって、
前記レプリカフィルムの長さよりも長い周長を有するとともに、周面がレプリカフィルムを前記構成部材の表面に貼着させるための溶剤に対する耐性を有するローラと、
前記ローラの周面に巻き付けられた前記レプリカフィルムと、
前記溶剤を前記ローラの進行方向前方の前記構成部材の表面に供給する溶剤供給手段と、を備え、
前記ローラを前記進行方向に転動させながら、前記構成部材の表面に前記溶剤を供給して、前記レプリカフィルムを前記構成部材の表面に貼着するように構成されていることを特徴とするレプリカフィルム貼着装置。
【請求項２】
前記溶剤供給手段は、
前記ローラの周面から離間した位置に配置され、前記溶剤を前記構成部材の表面に供給するノズルと、
前記溶剤を貯留する貯留部と、
一端が前記貯留部に、他端が前記ノズルにそれぞれ接続され、前記貯留部内の溶剤を前記ノズルに送給する溶剤供給路と、を備えていることを特徴とする請求項１に記載のレプリカフィルム貼着装置。
【請求項３】
前記ローラを転動可能に支持する支持部と、当該支持部に接続されるとともに、操作者が把持可能に構成された把持部とを更に備え、
前記貯留部の少なくとも一部が前記把持部の内部に形成されており、前記溶剤供給路の一端が前記把持部内の前記貯留部に接続されていることを特徴とする請求項２に記載のレプリカフィルム貼着装置。
【請求項４】
前記ローラの周面に設けられ、変形自在な中空状の袋体と、
一端が袋体に、他端が前記貯留部にそれぞれ接続され、前記袋体の変形により生じる加圧流体を前記貯留部へ送給する加圧流体供給路と、を備え、
前記袋体の変形により生じる加圧流体が前記加圧流体供給路を介して前記貯留部内に送給されて、前記貯留部内の圧力が上昇することにより、前記貯留部内の溶剤が前記溶剤供給路を介して前記ノズルへと供給されることを特徴とする請求項２又は３に記載のレプリカフィルム貼着装置。
【請求項５】
前記把持部は、中空棒状に形成されており、
前記把持部の内部に、軸方向に摺動可能に収容されたピストンと、
前記ピストンによって画成されるとともに、前記溶剤が充満された溶剤室と、
前記ピストンを押圧して前記ピストンを前記把持部の軸方向に摺動させる押圧手段と、を備え、前記溶剤室は前記貯留部の一部を構成しており、
前記押圧手段により前記ピストンを前記溶剤室側へ押圧することにより、前記溶剤室内の溶剤が前記溶剤供給路を介して前記ノズルへと供給されることを特徴とする請求項３に記載のレプリカフィルム貼着装置。
【請求項６】
前記ローラの周面には、周方向に沿って所定の角度ごとに、前記レプリカフィルムの端部を差込み可能な切欠部が形成されており、
前記切欠部に前記レプリカフィルムの端部を差込むことにより、前記レプリカフィルムは前記ローラに巻き付けられていることを特徴とする請求項１〜５のうち何れか一項に記載のレプリカフィルム貼着装置。
【請求項７】
前記把持部は、前記軸方向と直交する横断方向に収縮変形可能であることを特徴とする請求項３又は４に記載のレプリカフィルム貼着装置。
【請求項８】
構造物を構成する構成部材の表面性状をレプリカフィルムに転写させて前記構成部材の表面性状を観察する際に、当該レプリカフィルムを前記構成部材の表面に貼着するレプリカフィルムの貼着方法であって、
前記レプリカフィルムの長さよりも長い周長を有するとともに、周面がレプリカフィルムを前記構成部材の表面に貼着させるための溶剤に対する耐性を有するローラと、前記ローラの周面に巻き付けられた前記レプリカフィルムと、前記溶剤を前記ローラの進行方向前方の前記構成部材の表面に供給する溶剤供給手段と、を備えたレプリカフィルム貼着装置を用いて、前記ローラを前記進行方向に転動させながら、前記ローラよりも前記進行方向前方の前記構成部材の表面に前記溶剤を供給して、前記レプリカフィルムを前記構成部材の表面に貼着することを特徴とするレプリカフィルム貼着方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【公開番号】特開２０１３−９６８２４（Ｐ２０１３−９６８２４Ａ）
【公開日】平成２５年５月２０日（２０１３．５．２０）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−２３９５３３（Ｐ２０１１−２３９５３３）
【出願日】平成２３年１０月３１日（２０１１．１０．３１）
【出願人】（０００００６２０８）三菱重工業株式会社 (10,378)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２５年５月２０日（２０１３．５．２０）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年１０月３１日（２０１１．１０．３１）
【出願人】（０００００６２０８）三菱重工業株式会社 (10,378)
【Ｆターム（参考）】
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