レーザキャビティ
【課題】 レーザ光の出力の安定化を図り得るレーザキャビティを提供する。
【解決手段】 ＹＡＧロッド１と、ＹＡＧロッド１に励起光を照射する励起光源２と、ＹＡＧロッド１の端部に外嵌し且つ長手方向中間部分に大外径部を有するロッドホルダ３と、各ロッドホルダ３の大外径部に外接し且つロッドホルダ３のＹＡＧロッド１嵌着端寄り部分を周方向に取り囲む筒形状のスペーサ４と、両端部が各スペーサ４に内接し且つＹＡＧロッド１を略全長にわたって周方向に取り囲む長筒形状のフローチューブ５とを備え、スペーサ４にフローチューブ５端部外周面全周に密着するシール部材１６を設けて、フローチューブ５の内方の空間１４を流通する冷媒Ｓ１と外方の空間１５を流通する冷媒Ｓ２との混合を回避し、冷媒Ｓ１の温度を一定に保つ。
【解決手段】 ＹＡＧロッド１と、ＹＡＧロッド１に励起光を照射する励起光源２と、ＹＡＧロッド１の端部に外嵌し且つ長手方向中間部分に大外径部を有するロッドホルダ３と、各ロッドホルダ３の大外径部に外接し且つロッドホルダ３のＹＡＧロッド１嵌着端寄り部分を周方向に取り囲む筒形状のスペーサ４と、両端部が各スペーサ４に内接し且つＹＡＧロッド１を略全長にわたって周方向に取り囲む長筒形状のフローチューブ５とを備え、スペーサ４にフローチューブ５端部外周面全周に密着するシール部材１６を設けて、フローチューブ５の内方の空間１４を流通する冷媒Ｓ１と外方の空間１５を流通する冷媒Ｓ２との混合を回避し、冷媒Ｓ１の温度を一定に保つ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はレーザキャビティに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図２乃至図４は従来のレーザキャビティの一例であり、このレーザキャビティは、略水平に配置したＹＡＧロッド１と、該ＹＡＧロッド１の両側に平行に配置した励起光源２と、ＹＡＧロッド１の各端部にそれぞれ外嵌し且つ長手方向中間部分に大外径部を有する連続異径円筒形状のロッドホルダ３と、各ロッドホルダ３の大外径部に外接し且つ当該ロッドホルダ３のＹＡＧロッド１嵌着端寄り部分を周方向に取り囲む筒形状のスペーサ４と、両端部が各スペーサ４に内接し且つＹＡＧロッド１を略全長にわたり周方向に取り囲む長筒形状のフローチューブ５と、スペーサ４が嵌入され且つ該スペーサ４を介してロッドホルダ３を支持する前後のロッドホルダブロック６と、該ロッドホルダブロック６の両側に接し且つ励起光源２両端近傍部分を周方向に取り囲む流路ブロック７と、各ロッドホルダブロック６と流路ブロック７とに接し且つＹＡＧロッド１及び左右の励起光源２の長手方向中間部分を周方向に取り囲むリフレクタ８と、これらの各構成部材を内装するボックス構造のキャビティ本体９と、各ロッドホルダ３に接続され且つキャビティ本体９を貫通して外部へ突出する光路筒１０とを備えている。
【０００３】フローチューブ５は、励起光源２が発する励起光がＹＡＧロッド１の外周面に入射するように、ガラスによって形成されている。
【０００４】各ロッドホルダブロック６及びスペーサ４には、スペーサ４の内周面とロッドホルダ３の外周面の間の空隙からキャビティ本体９の底面へ向かって延びる流路１３が穿設されている。
【０００５】流路ブロック７は、励起光源２の外周面下側半分に空隙を隔てて対峙する下側ブロック７ａ、並びに励起光源２の外周面上側半分に空隙を隔てて対峙する上側ブロック７ｂで構成されている。
【０００６】リフレクタ８は、ＹＡＧロッド１と励起光源２の外周面下側半分に空隙を隔てて対峙する下側ブロック８ａ、並びにＹＡＧロッド１と励起光源２の外周面上側半分に空隙を隔てて対峙する上側ブロック８ｂで構成され、ＹＡＧロッド１軸線方向に見て２つの楕円が重なり合った閉断面形状の反射面Ｒを形成している。
【０００７】キャビティ本体９の底部には、各ロッドホルダブロック６の流路１３に連なる２つの開口１１と、各励起光源２の端部近傍を貫通する４つの開口１２とが穿設されている。
【０００８】図２乃至図４に示すレーザキャビティでは、励起光源２からＹＡＧロッド１へ励起光を照射すると、ＹＡＧロッド１の両端部から波長１０６４ｎｍの光が放出される。
【０００９】この波長１０６４ｎｍの光は、キャビティ本体９の外部に配置され且つＹＡＧロッド１の一端に正対するリアミラー、及びキャビティ本体９の外部に配置され且つＹＡＧロッド１の他端に正対するフロントミラーで構成される共振器（図示せず）により、ＹＡＧロッド１への入出射を繰り返した後、フロントミラーから基本波レーザ光として出射される。
【００１０】基本波レーザ光の出射にあたっては、キャビティ本体９のＹＡＧロッド１一端寄りに位置している開口１１，１２へ冷媒Ｓ１，Ｓ２を連続的に送給する。
【００１１】開口１１に送給される冷媒Ｓ１は、ロッドホルダブロック６の流路１３、及びスペーサ４内周面とロッドホルダ３外周面の間の空隙を経て、フローチューブ５内周面とＹＡＧロッド１外周面の間の空間１４へ流入し、ＹＡＧロッド１を冷却する。
【００１２】ＹＡＧロッド１を冷却した冷媒Ｓ１は、ＹＡＧロッド１他端寄りのスペーサ４内周面とロッドホルダ３外周面の間の空隙、及びロッドホルダブロック６の流路１３を経た後、キャビティ本体９のＹＡＧロッド１他端寄りに位置している開口１１から外部へ流出する。
【００１３】また、開口１２に送給される冷媒Ｓ２は、流路ブロック７と励起光源２外周面の間の空隙を経て、リフレクタ８の反射面Ｒとフローチューブ５外周面の間の空間１５に流入し、励起光源２を冷却する。
【００１４】励起光源２を冷却した冷媒Ｓ２は、ＹＡＧロッド１他端寄りの流路ブロック７と励起光源２外周面の間の空隙を経て、キャビティ本体９のＹＡＧロッド１他端寄りに位置している開口１２から外部に流出する。
【００１５】上記の冷媒Ｓ１，Ｓ２は、同一のポンプ（図示せず）からキャビティ本体９のＹＡＧロッド１一端寄りの開口１１，１２に対して送給される。
【００１６】また、キャビティ本体９のＹＡＧロッド１他端寄りの開口１１，１２から外部へ流出する冷媒Ｓ１，Ｓ２は、熱交換器により除熱されて、前記のポンプへ流入する。
【００１７】更に、冷媒Ｓ１，Ｓ２には、励起光源２の端子への通電が確保されるように、純水を用いている。
【００１８】このようなレーザキャビティを組み込んだ固体レーザ発生装置により得られる基本波レーザ光の出力の安定化を図るためには、ＹＡＧロッド１を冷却する冷媒Ｓ１の温度を、たとえば、２５℃程度に一体に保つ必要がある。
【００１９】
【発明が解決しようとする課題】ところが、図２乃至図４R>４に示すレーザキャビティにおいては、空間１４を流通してＹＡＧロッド１を冷却すべき冷媒Ｓ１、及び空間１５を流通して励起光源２を冷却すべき冷媒Ｓ２が、フローチューブ５端部外周面とスペーサ４の内周面との間隙を介して混ざり合い、空間１４での冷媒Ｓ１の温度が高くなる傾向を呈し、基本波レーザ光の出力が低下することがある。
【００２０】本発明は上述した実情に鑑みてなしたもので、レーザ光の出力の安定化を図り得るレーザキャビティを提供することを目的としている。
【００２１】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため、本発明の請求項１に記載のレーザキャビティでは、固体レーザ媒質ロッドと、該固体レーザ媒質ロッドに対して励起光を照射する励起光源と、固体レーザ媒質ロッドの各端部に外嵌し且つ長手方向中間部分に大外径部を有するロッドホルダと、各ロッドホルダの大外径部に外接し且つ当該ロッドホルダの固体レーザ媒質ロッド嵌着端寄り部分を周方向に取り囲む筒形状のスペーサと、両端部が各スペーサに内接し且つ固体レーザ媒質ロッドを略全長にわたり周方向に取り囲む長筒形状のフローチューブとを備え、フローチューブ内方、並びに外方にそれぞれ冷媒を流通させるようにしたレーザキャビティにおいて、各スペーサのそれぞれにフローチューブ端部外周面全周に密着するシール部材を設けている。
【００２２】本発明の請求項２に記載のレーザキャビティでは、本発明の請求項１に記載のレーザキャビティの構成に加えて、フローチューブ内方へ冷媒を送給する第１の冷媒供給源と、フローチューブ外方へ冷媒を送給する第２の冷媒供給源とを備えている。
【００２３】本発明の請求項１あるいは請求項２に記載のレーザキャビティのいずれにおいても、フローチューブ端部外周面と各スペーサ内周面との間に介在させたシール部材によりフローチューブ内方の冷媒流路とフローチューブ外方の冷媒流路との分離を図る。
【００２４】本発明の請求項２に記載のレーザキャビティにおいては、フローチューブ内方及び外方に、それぞれ異なる冷媒供給源から冷媒を送給させて、フローチューブ内方を流通する冷媒、並びにその供給源の熱負荷の軽減を図る。
【００２５】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を、図示例とともに説明する。
【００２６】図１は本発明のレーザキャビティの実施の形態の一例であり、図中、図２乃至図４と同一の符号を付した部分は同一物を表わしている。
【００２７】このレーザキャビティでは、スペーサ４のフローチューブ５嵌着部分に、当該フローチューブ５外周面に密着する環状のシール部材１６を設け、更に、ロッドホルダ３の大外径部に、スペーサ４内周面に密着する環状のシール部材１７を設けている。
【００２８】また、フローチューブ５内方の空間１４に冷媒Ｓ１を流通させるための第１の冷媒供給源２１、及びリフレクタ８の反射面Ｒ（図４参照）とフローチューブ５外周面の間の空間１５に冷媒Ｓ２を流通させるための第２の冷媒供給源２２を、キャビティ本体９（図３及び図４参照）の外部に設置している。
【００２９】第１の冷媒供給源２１は、キャビティ本体９のＹＡＧロッド１一端寄りに位置している開口１１（図３参照）へ冷媒Ｓ１を連続的に送給するポンプ２１ａと、キャビティ本体９のＹＡＧロッド１他端寄りに位置している開口１１から外部へ流出する冷媒Ｓ１を除熱したうえ、ポンプ２１ａへ送給する熱交換器２１ｂとで構成されている。
【００３０】第２の冷媒供給源２２は、キャビティ本体９のＹＡＧロッド１一端寄りに位置している開口１２（図３参照）へ冷媒Ｓ２を連続的に送給するポンプ２２ａと、キャビティ本体９のＹＡＧロッド１他端寄りに位置している開口１２から外部へ流出する冷媒Ｓ２を除熱したうえ、ポンプ２２ａへ送給する熱交換器２２ｂとで構成されている。
【００３１】基本波レーザ光の出射にあたっては、第１の冷媒供給源２１及び第２の冷媒供給源２２の双方を作動させる。
【００３２】ポンプ２１ａから送出される冷媒Ｓ１は、キャビティ本体９のＹＡＧロッド１一端寄りに位置している開口１１、ロッドホルダブロック６の流路１３、並びにスペーサ４内周面とロッドホルダ３外周面の間の空隙を経て、フローチューブ５内方の空間１４へ流入し、ＹＡＧロッド１を冷却する。
【００３３】ＹＡＧロッド１を冷却した冷媒Ｓ１は、ＹＡＧロッド１他端寄りのスペーサ４内周面とロッドホルダ３外周面の間の空隙、及びロッドホルダブロック６の流路１３を経た後、キャビティ本体９のＹＡＧロッド１他端寄りに位置している開口１１から外部へ流出し、熱交換器２１ｂにより除熱されたうえ、ポンプ２１ａに送給される。
【００３４】ポンプ２２ａから送出される冷媒Ｓ２は、キャビティ本体９のＹＡＧロッド１一端寄りに位置している開口１２、並びに流路ブロック７と励起光源２外周面の間の空隙を経て、リフレクタ８の反射面Ｒとフローチューブ５外周面の間の空間１５に流入し、励起光源２を冷却する。
【００３５】励起光源２を冷却した冷媒Ｓ２は、ＹＡＧロッド１他端寄りの流路ブロック７と励起光源２外周面の間の空隙を経て、キャビティ本体９のＹＡＧロッド１他端寄りに位置している開口１２から外部に流出し、熱交換器２２ｂにより除熱されたうえ、ポンプ２２ａに送給される。
【００３６】このとき、フローチューブ５端部外周面と各スペーサ４内周面の間に介在するシール部材１６、並びにロッドホルダ３の大外径部分外周面とスペーサ４内周面の間に介在するシール部材１７により、フローチューブ５内方の空間１４と外方の空間１５が完全に分離されているので、冷媒Ｓ１，Ｓ２が混ざり合わず、冷媒Ｓ１の温度を一定に保たれ、基本波レーザ光の出力の安定化が図られる。
【００３７】また、空間１４での冷媒Ｓ１の温度上昇が抑制され、冷媒Ｓ１及び第１の冷媒供給源２１の熱負荷の軽減が図られる。
【００３８】更に、冷媒Ｓ１が励起光源２の端子に触れないので、当該冷媒Ｓ１に純水以外のものを適用することが可能になる。
【００３９】なお、本発明のレーザキャビティは上述した実施の形態のみに限定されるものではなく、ＹＡＧロッド以外の他の固体レーザ媒質ロッドを用いた構成とすること、過大な熱負荷が想定されない場合において、フローチューブの内外の空間に単一の冷媒供給源から純水を冷媒として送給させる構成とすること、その他、本発明の要旨を逸脱しない範囲において変更を加え得ることは勿論である。
【００４０】
【発明の効果】以上述べたように、本発明のレーザキャビティによれば、下記のような種々の優れた効果を奏し得る。
【００４１】（１）本発明の請求項１あるいは請求項２に記載のレーザキャビティのいずれにおいても、フローチューブ端部外周面と各スペーサ内周面との間にシール部材を介在させ、フローチューブ内方を流通する冷媒とフローチューブ外方を流通する冷媒が混ざり合わないようにしているので、固体レーザ媒質ロッドを冷却するための冷媒の温度を一定に保つことができ、よって、レーザ光の出力の安定化を図ることが可能になる。
【００４２】（２）フローチューブの内外の冷媒流路が完全に分離しているので、両流路に種類の異なる冷媒を流通させることができる。
【００４３】（３）本発明の請求項２に記載のレーザキャビティにおいては、フローチューブ内方及び外方に、それぞれ異なる冷媒供給源から冷媒を送給させているので、フローチューブ内方を流通する冷媒、並びにその供給源の熱負荷の軽減を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のレーザキャビティの実施の形態の一例を示す平面図である。
【図２】従来のレーザキャビティの一例を示す平面図である。
【図３】図２のＩＩＩ−ＩＩＩ矢視図である。
【図４】図２のＩＶ−ＩＶ矢視図である。
【符号の説明】
１ ＹＡＧロッド（固体レーザ媒質ロッド）
２ 励起光源
３ ロッドホルダ
４ スペーサ
５ フローチューブ
１６ シール部材
２１ 第１の冷媒供給源
２２ 第２の冷媒供給源
Ｓ１ 冷媒
Ｓ２ 冷媒
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はレーザキャビティに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図２乃至図４は従来のレーザキャビティの一例であり、このレーザキャビティは、略水平に配置したＹＡＧロッド１と、該ＹＡＧロッド１の両側に平行に配置した励起光源２と、ＹＡＧロッド１の各端部にそれぞれ外嵌し且つ長手方向中間部分に大外径部を有する連続異径円筒形状のロッドホルダ３と、各ロッドホルダ３の大外径部に外接し且つ当該ロッドホルダ３のＹＡＧロッド１嵌着端寄り部分を周方向に取り囲む筒形状のスペーサ４と、両端部が各スペーサ４に内接し且つＹＡＧロッド１を略全長にわたり周方向に取り囲む長筒形状のフローチューブ５と、スペーサ４が嵌入され且つ該スペーサ４を介してロッドホルダ３を支持する前後のロッドホルダブロック６と、該ロッドホルダブロック６の両側に接し且つ励起光源２両端近傍部分を周方向に取り囲む流路ブロック７と、各ロッドホルダブロック６と流路ブロック７とに接し且つＹＡＧロッド１及び左右の励起光源２の長手方向中間部分を周方向に取り囲むリフレクタ８と、これらの各構成部材を内装するボックス構造のキャビティ本体９と、各ロッドホルダ３に接続され且つキャビティ本体９を貫通して外部へ突出する光路筒１０とを備えている。
【０００３】フローチューブ５は、励起光源２が発する励起光がＹＡＧロッド１の外周面に入射するように、ガラスによって形成されている。
【０００４】各ロッドホルダブロック６及びスペーサ４には、スペーサ４の内周面とロッドホルダ３の外周面の間の空隙からキャビティ本体９の底面へ向かって延びる流路１３が穿設されている。
【０００５】流路ブロック７は、励起光源２の外周面下側半分に空隙を隔てて対峙する下側ブロック７ａ、並びに励起光源２の外周面上側半分に空隙を隔てて対峙する上側ブロック７ｂで構成されている。
【０００６】リフレクタ８は、ＹＡＧロッド１と励起光源２の外周面下側半分に空隙を隔てて対峙する下側ブロック８ａ、並びにＹＡＧロッド１と励起光源２の外周面上側半分に空隙を隔てて対峙する上側ブロック８ｂで構成され、ＹＡＧロッド１軸線方向に見て２つの楕円が重なり合った閉断面形状の反射面Ｒを形成している。
【０００７】キャビティ本体９の底部には、各ロッドホルダブロック６の流路１３に連なる２つの開口１１と、各励起光源２の端部近傍を貫通する４つの開口１２とが穿設されている。
【０００８】図２乃至図４に示すレーザキャビティでは、励起光源２からＹＡＧロッド１へ励起光を照射すると、ＹＡＧロッド１の両端部から波長１０６４ｎｍの光が放出される。
【０００９】この波長１０６４ｎｍの光は、キャビティ本体９の外部に配置され且つＹＡＧロッド１の一端に正対するリアミラー、及びキャビティ本体９の外部に配置され且つＹＡＧロッド１の他端に正対するフロントミラーで構成される共振器（図示せず）により、ＹＡＧロッド１への入出射を繰り返した後、フロントミラーから基本波レーザ光として出射される。
【００１０】基本波レーザ光の出射にあたっては、キャビティ本体９のＹＡＧロッド１一端寄りに位置している開口１１，１２へ冷媒Ｓ１，Ｓ２を連続的に送給する。
【００１１】開口１１に送給される冷媒Ｓ１は、ロッドホルダブロック６の流路１３、及びスペーサ４内周面とロッドホルダ３外周面の間の空隙を経て、フローチューブ５内周面とＹＡＧロッド１外周面の間の空間１４へ流入し、ＹＡＧロッド１を冷却する。
【００１２】ＹＡＧロッド１を冷却した冷媒Ｓ１は、ＹＡＧロッド１他端寄りのスペーサ４内周面とロッドホルダ３外周面の間の空隙、及びロッドホルダブロック６の流路１３を経た後、キャビティ本体９のＹＡＧロッド１他端寄りに位置している開口１１から外部へ流出する。
【００１３】また、開口１２に送給される冷媒Ｓ２は、流路ブロック７と励起光源２外周面の間の空隙を経て、リフレクタ８の反射面Ｒとフローチューブ５外周面の間の空間１５に流入し、励起光源２を冷却する。
【００１４】励起光源２を冷却した冷媒Ｓ２は、ＹＡＧロッド１他端寄りの流路ブロック７と励起光源２外周面の間の空隙を経て、キャビティ本体９のＹＡＧロッド１他端寄りに位置している開口１２から外部に流出する。
【００１５】上記の冷媒Ｓ１，Ｓ２は、同一のポンプ（図示せず）からキャビティ本体９のＹＡＧロッド１一端寄りの開口１１，１２に対して送給される。
【００１６】また、キャビティ本体９のＹＡＧロッド１他端寄りの開口１１，１２から外部へ流出する冷媒Ｓ１，Ｓ２は、熱交換器により除熱されて、前記のポンプへ流入する。
【００１７】更に、冷媒Ｓ１，Ｓ２には、励起光源２の端子への通電が確保されるように、純水を用いている。
【００１８】このようなレーザキャビティを組み込んだ固体レーザ発生装置により得られる基本波レーザ光の出力の安定化を図るためには、ＹＡＧロッド１を冷却する冷媒Ｓ１の温度を、たとえば、２５℃程度に一体に保つ必要がある。
【００１９】
【発明が解決しようとする課題】ところが、図２乃至図４R>４に示すレーザキャビティにおいては、空間１４を流通してＹＡＧロッド１を冷却すべき冷媒Ｓ１、及び空間１５を流通して励起光源２を冷却すべき冷媒Ｓ２が、フローチューブ５端部外周面とスペーサ４の内周面との間隙を介して混ざり合い、空間１４での冷媒Ｓ１の温度が高くなる傾向を呈し、基本波レーザ光の出力が低下することがある。
【００２０】本発明は上述した実情に鑑みてなしたもので、レーザ光の出力の安定化を図り得るレーザキャビティを提供することを目的としている。
【００２１】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため、本発明の請求項１に記載のレーザキャビティでは、固体レーザ媒質ロッドと、該固体レーザ媒質ロッドに対して励起光を照射する励起光源と、固体レーザ媒質ロッドの各端部に外嵌し且つ長手方向中間部分に大外径部を有するロッドホルダと、各ロッドホルダの大外径部に外接し且つ当該ロッドホルダの固体レーザ媒質ロッド嵌着端寄り部分を周方向に取り囲む筒形状のスペーサと、両端部が各スペーサに内接し且つ固体レーザ媒質ロッドを略全長にわたり周方向に取り囲む長筒形状のフローチューブとを備え、フローチューブ内方、並びに外方にそれぞれ冷媒を流通させるようにしたレーザキャビティにおいて、各スペーサのそれぞれにフローチューブ端部外周面全周に密着するシール部材を設けている。
【００２２】本発明の請求項２に記載のレーザキャビティでは、本発明の請求項１に記載のレーザキャビティの構成に加えて、フローチューブ内方へ冷媒を送給する第１の冷媒供給源と、フローチューブ外方へ冷媒を送給する第２の冷媒供給源とを備えている。
【００２３】本発明の請求項１あるいは請求項２に記載のレーザキャビティのいずれにおいても、フローチューブ端部外周面と各スペーサ内周面との間に介在させたシール部材によりフローチューブ内方の冷媒流路とフローチューブ外方の冷媒流路との分離を図る。
【００２４】本発明の請求項２に記載のレーザキャビティにおいては、フローチューブ内方及び外方に、それぞれ異なる冷媒供給源から冷媒を送給させて、フローチューブ内方を流通する冷媒、並びにその供給源の熱負荷の軽減を図る。
【００２５】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を、図示例とともに説明する。
【００２６】図１は本発明のレーザキャビティの実施の形態の一例であり、図中、図２乃至図４と同一の符号を付した部分は同一物を表わしている。
【００２７】このレーザキャビティでは、スペーサ４のフローチューブ５嵌着部分に、当該フローチューブ５外周面に密着する環状のシール部材１６を設け、更に、ロッドホルダ３の大外径部に、スペーサ４内周面に密着する環状のシール部材１７を設けている。
【００２８】また、フローチューブ５内方の空間１４に冷媒Ｓ１を流通させるための第１の冷媒供給源２１、及びリフレクタ８の反射面Ｒ（図４参照）とフローチューブ５外周面の間の空間１５に冷媒Ｓ２を流通させるための第２の冷媒供給源２２を、キャビティ本体９（図３及び図４参照）の外部に設置している。
【００２９】第１の冷媒供給源２１は、キャビティ本体９のＹＡＧロッド１一端寄りに位置している開口１１（図３参照）へ冷媒Ｓ１を連続的に送給するポンプ２１ａと、キャビティ本体９のＹＡＧロッド１他端寄りに位置している開口１１から外部へ流出する冷媒Ｓ１を除熱したうえ、ポンプ２１ａへ送給する熱交換器２１ｂとで構成されている。
【００３０】第２の冷媒供給源２２は、キャビティ本体９のＹＡＧロッド１一端寄りに位置している開口１２（図３参照）へ冷媒Ｓ２を連続的に送給するポンプ２２ａと、キャビティ本体９のＹＡＧロッド１他端寄りに位置している開口１２から外部へ流出する冷媒Ｓ２を除熱したうえ、ポンプ２２ａへ送給する熱交換器２２ｂとで構成されている。
【００３１】基本波レーザ光の出射にあたっては、第１の冷媒供給源２１及び第２の冷媒供給源２２の双方を作動させる。
【００３２】ポンプ２１ａから送出される冷媒Ｓ１は、キャビティ本体９のＹＡＧロッド１一端寄りに位置している開口１１、ロッドホルダブロック６の流路１３、並びにスペーサ４内周面とロッドホルダ３外周面の間の空隙を経て、フローチューブ５内方の空間１４へ流入し、ＹＡＧロッド１を冷却する。
【００３３】ＹＡＧロッド１を冷却した冷媒Ｓ１は、ＹＡＧロッド１他端寄りのスペーサ４内周面とロッドホルダ３外周面の間の空隙、及びロッドホルダブロック６の流路１３を経た後、キャビティ本体９のＹＡＧロッド１他端寄りに位置している開口１１から外部へ流出し、熱交換器２１ｂにより除熱されたうえ、ポンプ２１ａに送給される。
【００３４】ポンプ２２ａから送出される冷媒Ｓ２は、キャビティ本体９のＹＡＧロッド１一端寄りに位置している開口１２、並びに流路ブロック７と励起光源２外周面の間の空隙を経て、リフレクタ８の反射面Ｒとフローチューブ５外周面の間の空間１５に流入し、励起光源２を冷却する。
【００３５】励起光源２を冷却した冷媒Ｓ２は、ＹＡＧロッド１他端寄りの流路ブロック７と励起光源２外周面の間の空隙を経て、キャビティ本体９のＹＡＧロッド１他端寄りに位置している開口１２から外部に流出し、熱交換器２２ｂにより除熱されたうえ、ポンプ２２ａに送給される。
【００３６】このとき、フローチューブ５端部外周面と各スペーサ４内周面の間に介在するシール部材１６、並びにロッドホルダ３の大外径部分外周面とスペーサ４内周面の間に介在するシール部材１７により、フローチューブ５内方の空間１４と外方の空間１５が完全に分離されているので、冷媒Ｓ１，Ｓ２が混ざり合わず、冷媒Ｓ１の温度を一定に保たれ、基本波レーザ光の出力の安定化が図られる。
【００３７】また、空間１４での冷媒Ｓ１の温度上昇が抑制され、冷媒Ｓ１及び第１の冷媒供給源２１の熱負荷の軽減が図られる。
【００３８】更に、冷媒Ｓ１が励起光源２の端子に触れないので、当該冷媒Ｓ１に純水以外のものを適用することが可能になる。
【００３９】なお、本発明のレーザキャビティは上述した実施の形態のみに限定されるものではなく、ＹＡＧロッド以外の他の固体レーザ媒質ロッドを用いた構成とすること、過大な熱負荷が想定されない場合において、フローチューブの内外の空間に単一の冷媒供給源から純水を冷媒として送給させる構成とすること、その他、本発明の要旨を逸脱しない範囲において変更を加え得ることは勿論である。
【００４０】
【発明の効果】以上述べたように、本発明のレーザキャビティによれば、下記のような種々の優れた効果を奏し得る。
【００４１】（１）本発明の請求項１あるいは請求項２に記載のレーザキャビティのいずれにおいても、フローチューブ端部外周面と各スペーサ内周面との間にシール部材を介在させ、フローチューブ内方を流通する冷媒とフローチューブ外方を流通する冷媒が混ざり合わないようにしているので、固体レーザ媒質ロッドを冷却するための冷媒の温度を一定に保つことができ、よって、レーザ光の出力の安定化を図ることが可能になる。
【００４２】（２）フローチューブの内外の冷媒流路が完全に分離しているので、両流路に種類の異なる冷媒を流通させることができる。
【００４３】（３）本発明の請求項２に記載のレーザキャビティにおいては、フローチューブ内方及び外方に、それぞれ異なる冷媒供給源から冷媒を送給させているので、フローチューブ内方を流通する冷媒、並びにその供給源の熱負荷の軽減を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のレーザキャビティの実施の形態の一例を示す平面図である。
【図２】従来のレーザキャビティの一例を示す平面図である。
【図３】図２のＩＩＩ−ＩＩＩ矢視図である。
【図４】図２のＩＶ−ＩＶ矢視図である。
【符号の説明】
１ ＹＡＧロッド（固体レーザ媒質ロッド）
２ 励起光源
３ ロッドホルダ
４ スペーサ
５ フローチューブ
１６ シール部材
２１ 第１の冷媒供給源
２２ 第２の冷媒供給源
Ｓ１ 冷媒
Ｓ２ 冷媒
【特許請求の範囲】
【請求項１】 固体レーザ媒質ロッドと、該固体レーザ媒質ロッドに対して励起光を照射する励起光源と、固体レーザ媒質ロッドの各端部に外嵌し且つ長手方向中間部分に大外径部を有するロッドホルダと、各ロッドホルダの大外径部に外接し且つ当該ロッドホルダの固体レーザ媒質ロッド嵌着端寄り部分を周方向に取り囲む筒形状のスペーサと、両端部が各スペーサに内接し且つ固体レーザ媒質ロッドを略全長にわたり周方向に取り囲む長筒形状のフローチューブとを備え、フローチューブ内方、並びに外方にそれぞれ冷媒を流通させるようにしたレーザキャビティにおいて、各スペーサのそれぞれにフローチューブ端部外周面全周に密着するシール部材を設けたことを特徴とするレーザキャビティ。
【請求項２】 フローチューブ内方へ冷媒を送給する第１の冷媒供給源と、フローチューブ外方へ冷媒を送給する第２の冷媒供給源とを備えた請求項１に記載のレーザキャビティ。
【請求項１】 固体レーザ媒質ロッドと、該固体レーザ媒質ロッドに対して励起光を照射する励起光源と、固体レーザ媒質ロッドの各端部に外嵌し且つ長手方向中間部分に大外径部を有するロッドホルダと、各ロッドホルダの大外径部に外接し且つ当該ロッドホルダの固体レーザ媒質ロッド嵌着端寄り部分を周方向に取り囲む筒形状のスペーサと、両端部が各スペーサに内接し且つ固体レーザ媒質ロッドを略全長にわたり周方向に取り囲む長筒形状のフローチューブとを備え、フローチューブ内方、並びに外方にそれぞれ冷媒を流通させるようにしたレーザキャビティにおいて、各スペーサのそれぞれにフローチューブ端部外周面全周に密着するシール部材を設けたことを特徴とするレーザキャビティ。
【請求項２】 フローチューブ内方へ冷媒を送給する第１の冷媒供給源と、フローチューブ外方へ冷媒を送給する第２の冷媒供給源とを備えた請求項１に記載のレーザキャビティ。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図２】
【図３】
【図４】
【公開番号】特開２００２−９３７１（Ｐ２００２−９３７１Ａ）
【公開日】平成１４年１月１１日（２００２．１．１１）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０００−１８５１９２（Ｐ２０００−１８５１９２）
【出願日】平成１２年６月２０日（２０００．６．２０）
【出願人】（０００００００９９）石川島播磨重工業株式会社 (5,014)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成１４年１月１１日（２００２．１．１１）
【国際特許分類】
【出願日】平成１２年６月２０日（２０００．６．２０）
【出願人】（０００００００９９）石川島播磨重工業株式会社 (5,014)
【Ｆターム（参考）】
[ Back to top ]