位置決め方法、位置決め装置、液滴塗布方法、液滴塗布装置及び基準板。
【課題】アライメントマークを備える基板の位置決めにおいて、アライメントマークの正確な位置が未知である場合においても、正確に基板の位置合せを行なう。
【解決手段】基板２におけるアライメントマークの位置と同じ位置にアライメントマークを備える基準板を位置決めし、前記位置決めされた前記基準板におけるアライメントマークの位置を測定し、前記測定された前記アライメントマークの位置と同じ位置に前記基板のアライメントマークが位置するよう該基板を位置決めする。
【解決手段】基板２におけるアライメントマークの位置と同じ位置にアライメントマークを備える基準板を位置決めし、前記位置決めされた前記基準板におけるアライメントマークの位置を測定し、前記測定された前記アライメントマークの位置と同じ位置に前記基板のアライメントマークが位置するよう該基板を位置決めする。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板を載置台に位置決めする技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、液滴塗布技術は紙媒体上に画像を形成するプリンター装置としてだけではなく、製造装置としての用途が期待されている。インクジェット技術を用いることで太陽電池セルの製造の他、液晶表示装置や有機ＥＬ表示装置等のカラーフィルタの製造、各種電子デバイスや光デバイス等の製造を行う。このような応用技術を考慮すると、インクジェットヘッド自体の性能に加え、処理対象試料の姿勢調整、つまりアライメント処理の機構・方法に高い精度が要求される。
【０００３】
上記アライメント処理においては、処理対象試料に付したアライメントマークが所定の位置となるよう姿勢調整する。そのため、処理対象試料にアライメントマークを付する必要がある。処理対象試料が太陽電池セルである場合、アライメントマークを処理対象試料である太陽電池セルの基板の対角に２つ設けることが望ましい。この場合、３つ以上のアライメントマークを設ける場合と比較して、アライメントマークを形成する面積を小さくすることができるため、発電可能な面積を広くすることができる。また、対角に位置する場合、アライメントマーク間の距離を長くとることができるので、基板を精度良く配置し、精度良く液滴塗布を行なうことができる。
【０００４】
一般的な位置合せ技術として、特許文献１に基準マスクを用いてアライメントスコープの位置校正を容易かつ精度良く行なう技術が開示されている。
【０００５】
図７は、特許文献１記載のプリント回路基板製造装置の概要説明に供する斜視図である。
【０００６】
基台１０１の上面には、一対のリニアガイド１０３が配設されており、それらのリニアガイド１０３の間には、サーボモータ１０７によって回転駆動される送りネジ１０９が配備されている。この送りネジ１０９には、描画ステージ１０５がその下部で螺合されている。描画ステージ１０５は、鉛直のｚ軸周りに載置テーブル１１５を回転させるための回転機構（図示せず）を備えている。載置テーブル１１５は、最上部にプリント回路基板Ｓ（処理対象物）を載置するためのものである。
【０００７】
載置テーブル１１５の上面に基準マスクＲＭが配設され、その上に吸着テーブル１１７が配設されている。基準マスクＲＭの上面には、全面にわたって格子状の基準パターンＰＲが形成されている。
【０００８】
描画ステージ１０５がサーボモータ１０７の駆動により移動されるｙ方向（副走査方向）には、処理位置ＥＰにて描画用のレーザービームＬＢをｘ方向（主走査方向）に偏向しながら下方に向けて照射する処理部１２１が配設されている。処理部１２１は門型フレームによって基台１０１の上部に配設されており、サーボモータ１０７が駆動されると描画ステージ１０５が処理部１２１に対して進退するようになっている。
【０００９】
基台１０１には、待機位置にある描画ステージ１０５の上方を覆うようにアライメントスコープユニット（図示せず）が配設されている。このアライメントスコープユニットは、水平面内でそれぞれ独立に移動可能な４台のアライメントスコープ１３３，１３５，１３７，１３９を備えている。各アライメントスコープ１３３，１３５，１３７，１３９は、ＣＣＤカメラとレンズ部とを備えている。
【００１０】
アライメントスコープのＣＣＤカメラで捉えた視野像の視野中心と、所定位置の基準パターンＰＲの交点とのずれをｘ方向（Δｘ）とｙ方向（Δｙ）について求める。つまりアライメントスコープの位置が何らかの原因により位置ずれした場合であっても、設計的に位置不変である基準マスクＲＭの基準パターンＰＲを基準として、その位置からのずれ量を記憶する。したがって、この『位置ずれ量』を読み取ってその分だけ補正すれば、アライメントスコープの視野中心にある実際の位置が正確に判る。
【００１１】
図示しないローダによってプリント回路基板Ｓが載置テーブル１１５に載置され、真空吸引によって基板Ｓが吸着保持される。各アライメントスコープ１３３，１３５，１３７，１３９が、基板ＳのＣＡＤデータに基づいて四隅に形成されている基準穴の上方に移動する。画像処理により四隅の基準穴の位置が計測され、それらの重心を求めてプリント回路基板Ｓの載置姿勢が計測され、それに応じてｚ軸周りの回転方向であるθ方向に載置テーブル１１５を回転させてレーザービームＬＢと平行にさせた後、処理部１２１に向けて移動させながら処理位置ＥＰにて描画処理を施す。
【００１２】
なお、基準マスクＲＭを載置テーブル１１５に位置固定で配設するのではなく、着脱自在にしてもよい。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１３】
【特許文献１】特開２０００−３２９５２３（平成１２年１１月３０日公開）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
特許文献１記載のプリント回路基板製造装置においては、アライメントマーク（特許文献１における基準穴）の位置がＣＡＤデータにおける位置と異なる場合、位置合せにおいて誤差を生じる。この場合、アライメントマークの位置に基づき、載置テーブル１１５を回転させたとしても、基板（特許文献１におけるプリント回路基板Ｓ）はレーザービームＬＢの走査方向と平行にはならず、位置ずれした状態で、加工処理を行なうこととなる。
【００１５】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、基板におけるアライメントマークの正確な位置が未知である場合においても、正確に基板の位置合せを行なう位置決め方法、位置決め装置および前記位置決め方法に供される基準板を提供するものである。
【００１６】
また、基板上の所望の位置に正確に液滴塗布を行なう液滴塗布方法および液滴塗布装置を提供するものである。
【００１７】
また、基板の対角２点にのみアライメントマークを有する場合、２つのアライメントマークを結ぶ直線方向と液滴塗布の走査方向とが一致しない。走査方向にアライメントマークが並んでいる場合は、アライメントカメラ（特許文献１におけるアライメントスコープ）と基板とを走査方向に相対的に移動させて、複数のアライメントマークがアライメントカメラの視野中心に順次捉えられるか否かでθ方向のずれを正確に検知することができる。しかしながら、基板の対角２点にのみアライメントマークがある場合、前記方法を用いることができず、θ方向のずれを正確に検知することができない。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
上記課題を解決するために、本発明の位置決め方法は、アライメントマークを備える基板を位置決めする位置決め方法であって、前記基板における前記アライメントマークの位置と同じ位置にアライメントマークを備える基準板を位置決めし、前記位置決めされた前記基準板におけるアライメントマークの位置を測定し、前記測定された前記アライメントマークの位置と同じ位置に前記基板のアライメントマークが位置するよう該基板を位置決めする。
【００１９】
また、本発明の液滴塗布方法は、アライメントマークを備える基板に液滴塗布を行う液滴塗布方法であって、前記基板における前記アライメントマークの位置と同じ位置にアライメントマークを備える基準板を位置決めし、前記位置決めされた前記基準板におけるアライメントマークの位置を測定し、前記測定された前記アライメントマークの位置と同じ位置に前記基板のアライメントマークが位置するよう該基板を位置決めし、前記位置決めされた基板に液滴塗布を行なう。
【００２０】
また、前記液滴塗布は、前記ワークに対する局所的な塗布を走査して行なう処理であって、前記液滴塗布方法に係る前記基準板の位置決めは、前記基準板が備える２つの特徴点が前記走査方向に並ぶように位置決めする。
【００２１】
また、前記基準板の位置決めは、観察部を用いて行なわれ、第１の特徴点の位置の検出における観察部の位置から第２の特徴点の位置の検出における観察部の位置までの観察部の移動を、前記走査に係る走査手段を用いて行なう。
【００２２】
また、本発明の位置決め装置は、アライメントマークを備える基板を位置決めする位置決め装置であって、基板および基準板を載置する載置台と、前記載置台の向きを調整する姿勢調整部と、前記基板および前記基準板が備えるアライメントマークの位置を検出するアライメントカメラと、前記基準板が備える特徴点の位置を検出する観察部と、を備える。
【００２３】
また、本発明の液滴塗布装置は、アライメントマークを備える基板に液滴塗布を施す液滴塗布装置であって、基板および基準板を載置する載置台と、前記載置台の向きを調整する姿勢調整部と、前記基板および前記基準板が備えるアライメントマークの位置を検出するアライメントカメラと、前記基準板が備える特徴点の位置を検出する観察部と、前記載置台に載置された基板に液滴塗布を行なう液滴吐出部とを備える。
【００２４】
また、本発明の基準板は、アライメントマークを備える基板に液滴塗布を施す液滴塗布方法に供される基準板であって、前記基板が備える前記アライメントマークと同じ位置にアライメントマークを備え、かつ２つ以上の特徴点を有する基準パターンを備える。
【発明の効果】
【００２５】
基板を正確に位置決めすることができる。また、基板の所望の位置に正確に液滴塗布を行なうことができる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】本実施の形態に係る液滴塗布装置の上面図。
【図２】本実施の形態に係る液滴塗布装置の側面図。
【図３】本実施の形態に係る基板の上面図。
【図４】本実施の形態に係る基準板の上面図。
【図５】本実施の形態に係る処理フロー図。
【図６】本実施の形態に係る処理フロー図。
【図７】従来技術のプリント回路基板製造装置の概要説明に供する斜視図。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
以下、本発明を実施する形態について詳細に説明する。
【実施例１】
【００２８】
本実施例に係る位置決め装置は、太陽電池セルに係る電極配線を液滴塗布によって形成する生産工程に供される液滴塗布装置である。
【００２９】
図１は、本実施例に係る液滴塗布装置の上面図である。
【００３０】
図２は、本実施例に係る液滴塗布装置の側面図である。本実施例の液滴塗布装置は、太陽電池セルである基板２を載置するための載置台５と、載置台５の上方に位置するガントリー６とを備える。ガントリー６の側面にはガイドレール７がＹ方向を長手として固定されている。ガイドレール７には、液滴吐出部である液滴吐出ユニット３と、アライメントカメラユニット８とが搭載されており、ガイドレール７に沿って、Ｙ方向に移動可能である。アライメントカメラユニット８は、アライメントカメラ９Ａ、アライメントカメラ９Ｂと、観察部である観察カメラ９Ｃと、を搭載する。観察カメラ９Ｃはアライメントカメラユニット８に対し、Ｘ方向に移動可能に構成される。本実施例においては、高さ方向をＺ方向、液滴吐出ユニット３およびアライメントカメラユニット８の移動方向をＹ方向、Ｚ方向およびＹ方向と直交する方向をＸ方向として表記する。
【００３１】
本実施例の液滴塗布装置は、基板２を載置台５に載置する基板搬送ロボット（図示せず）を備える。
【００３２】
載置台５は姿勢調整部５ａの上に設置されている。姿勢調整部５ａは、載置台５をＸ方向またはＹ方向に平行移動したり、Ｚ軸と平行な軸を中心とする回転移動であるθ回転をしたりすることができる。また、載置台５の上部は、吸着台５ｂであって、基板２および基準板２０（後述）を吸着固定することができる。
【００３３】
液滴吐出ユニット３は液滴吐出ヘッド１１を備える。液滴吐出ユニット３は、液滴吐出ヘッド１１から液滴を吐出し、液滴塗布を基板２に行なうことができる。本実施例の液滴塗布は、基板２に対する局所的な塗布であって、液滴吐出ユニット３と基板２とを相対的に移動して液滴を吐出することによって、基板２上の所望の位置に正確に塗布することを可能とする。前記移動は、液滴吐出ユニット３をガイドレール７に沿ってＹ方向に移動することで行なう。本明細書では、該移動を「走査」と呼ぶ。また、前記走査を実施する手段を「走査手段」と呼ぶ。本実施例では、ガイドレール７等が走査手段に該当する。
【００３４】
図３は、本実施例の液滴塗布装置によって処理される前の基板２の上面図である。図３において、ｙ方向は液滴吐出ユニット３の移動方向であるＹ方向と平行に配置すべき方向を示す。また、ｘ方向は上面図においてｙ方向と直交する方向である。基板２において、アライメントマーク２ａと２ｂとが、対角する２頂点付近に形成されている。アライメントマークは、２つより多くても良いが、図３に示すように対角２つであることが望ましい。２つとする場合、３つ以上である場合と比較して、アライメントマークを形成する面積を小さくすることができるため、基板２が太陽電池セルである本実施例においては、発電可能な面積を広くすることができる。また、対角に位置する場合、アライメントマーク間の距離を長くとることができるので、θ方向の検知精度を高くすることができ、基板２を精度良く配置し、精度良く液滴塗布を行なうことができる。
【００３５】
図４は、基準板２０の上面図である。図４におけるｙ方向・ｘ方向は、図３におけるｙ方向・ｘ方向と同じである。基準板２０は、アライメントマーク２０ａ、アライメントマーク２０ｂを備える。基準板２０におけるアライメントマーク２０ａ、アライメントマーク２０ｂの位置は基板２におけるアライメントマーク２ａ、アライメントマーク２ｂの位置と同じである。また、基準板２０は、観察カメラ９Ｃで観察可能な２つ以上の特徴点を有する基準パターン２０ｃを備える。基準パターン２０ｃは方眼状のパターンである。特徴点Ｐ１および特徴点Ｐ２は基準パターン２０ｃにおける交点であり、ｙ方向に並んで配置される。なお、アライメントマーク２０ａ、アライメントマーク２０ｂの位置をアライメントマーク２ａ、アライメントマーク２ｂの位置と同一とするために、アライメントマーク２０ａ、アライメントマーク２０ｂの形成方法とアライメントマーク２ａ、アライメントマーク２ｂの形成方法とを同じとすることが望ましい。また、基準板２０の材質を基板２の材質と同じとすることが望ましい。
【００３６】
図５は、本実施例に係る位置決め方法および液滴塗布方法である液滴塗布方法の処理フロー図である。図５に則り、本実施例の処理フローを説明する。
【００３７】
まず初めに、基板搬送ロボットが基準板２０を載置台５に載置する（Ｓ１）。基準板２０は、基板２と同形であることが望ましい。基準板２０が基板２と同形である場合、基板２を搬送する基板搬送ロボットを用いて基準板２０を搬送し、載置台５に載置することが容易にできる。載置された基準板２０は、吸着台５ｂにより、吸着固定される。
【００３８】
次に、基準板２０を位置決めする（Ｓ２）。具体的には、姿勢調整部５ａを稼動させて、液滴吐出ユニット３による液滴塗布の走査方向と基準パターン２０ｃにおける座標軸方向とを一致するように、基準板２０を移動させて位置決めする。
【００３９】
次に、基準板２０のアライメントマーク２０ａ、アライメントマーク２０ｂの位置を測定する（Ｓ３）。前記測定は、アライメントカメラ９Ａ、アライメントカメラ９Ｂを用いて行なう。
【００４０】
次に、基準板２０を搬出する（Ｓ４）。搬出は基板搬送ロボットが行なう。
【００４１】
次に、基板２を搬入し、載置台５に載置する（Ｓ５）。搬入および載置は基板搬送ロボットが行なう。載置された基板２は、吸着台５ｂにより吸着固定される。
【００４２】
次に、基板２を位置決めする（Ｓ６）。具体的には、姿勢調整部５ａを稼動させて、基板２のアライメントマーク２ａ、アライメントマーク２ｂの位置をＳ３において測定したアライメントマーク２０ａ、アライメントマーク２０ｂの位置と同じになるように、基板２を移動させる。
【００４３】
次に、液滴吐出ユニット３が液滴を吐出し、基板２に対し液滴塗布を行なう（Ｓ７）。
【００４４】
次に、基板搬送ロボットが基板２を搬出する（Ｓ８）。なお、複数の基板２に対し、液滴塗布を行なう場合は、Ｓ５〜Ｓ８の工程を繰り返し実施すればよい。
【００４５】
図６の処理フローを用いて、Ｓ２における基準板２０の位置決めについて、詳細に説明する。まず初めに、観察カメラ９Ｃを、特徴点Ｐ１を撮像可能な位置へ移動させて、観察カメラ９Ｃで基準板２０を撮像し、２値化やエッジ検出などの画像処理により、撮像画像中の特徴点Ｐ１の位置を検出する（Ｓ２１）。また、撮像画像を表示するディスプレイ等の表示部と、表示部に表示された画像における位置情報を取得するマウス等の入力部とを備え、本実施例の液滴塗布装置の利用者が表示部に表示された画像中の任意の位置を特徴点Ｐ１の位置として入力部から入力しても良い。また、撮像画像中に特徴点Ｐ１が撮像されていない場合は、観察カメラ９Ｃを移動させて別の位置を撮像することによって、特徴点Ｐ１を探索しても良い。
【００４６】
次に、アライメントカメラユニット８をガイドレール７に沿って移動させる（Ｓ２２）。移動距離は、特徴点Ｐ１と特徴点Ｐ２との距離とする。
【００４７】
この時点で、観察カメラ９Ｃは特徴点Ｐ２を撮像可能な位置へ移動している。観察カメラ９Ｃで基準板２０を撮像し、画像処理等により、撮像画像中の特徴点Ｐ２の位置を検出する（Ｓ２３）。
【００４８】
検出された特徴点Ｐ１の位置と、検出された特徴点Ｐ２の位置とが許容される範囲内に存在するかどうかを判定する（Ｓ２４）。許容される範囲に存在する場合、工程Ｓ２を終了する。
【００４９】
許容される範囲を超える場合、特徴点Ｐ１の位置と、特徴点Ｐ２の位置とを用いて位置決め量を算出し、前記位置決め量に応じて姿勢調整部５ａを稼動さ、載置台５を移動させる（Ｓ２５）。
【００５０】
具体的には、直線Ｐ１−Ｐ２とＹ軸とのなす角度を算出し、前記角度分だけ、載置台５をθ回転させる。次に、特徴点Ｐ１と特徴点Ｐ２との中点に関してθ回転後の位置を計算し、該位置と所望の位置との差分だけ、載置台５を平行移動させる。
【００５１】
Ｓ２５の処理によれば、理想的には位置決めは完了するはずであるが、実際は、Ｓ２２におけるアライメントカメラユニット８の移動距離誤差およびＳ２５における載置台５の移動誤差により、Ｓ２５の後も許容できない誤差が存在する可能性がある。その場合は、Ｓ２１に戻り、Ｓ２１〜Ｓ２５の処理をＳ２４で許容範囲と判定されるまで繰り返す。
【００５２】
以上、Ｓ２１〜Ｓ２５の処理フローによれば、載置台５を移動させて、液滴吐出ユニット３による液滴塗布の走査方向と基準パターン２０ｃにおける座標軸方向とを一致するように、基準板２０を位置決めさせることができる。従って、基準パターン２０ｃの格子の向きと液滴塗布の走査方向とが一致していないことを原因とする液滴塗布位置の誤差が許容範囲内であり、基板２上の所望の位置に正確に液滴塗布することができる。
【００５３】
また、Ｓ２１〜Ｓ２５の処理フローによれば、Ｓ２２、Ｓ２３の工程において、観察カメラ９Ｃを特徴点Ｐ１の位置の検出時の位置から特徴点Ｐ２の位置の検出時の位置まで移動させる際、観察カメラ９Ｃをアライメントカメラユニット８に対して移動させずに、液滴吐出ユニット３の走査に用いる走査手段であるガイドレール７を用いて行なう。そのため、特徴点Ｐ１から特徴点Ｐ２への移動において、アライメントカメラユニット８に対する観察カメラ９Ｃの移動による誤差が生じないため、正確な位置決めが可能となる。
【００５４】
なお、Ｓ２５の処理後においては、特徴点Ｐ２付近を撮像可能な位置に観察カメラ９Ｃがある確率が高いので、次回の処理ループにおいては、特徴点Ｐ１と特徴点Ｐ２との撮像順序を入れ換えて、まず先に特徴点Ｐ２を撮像して（Ｓ２３）から、アライメントカメラユニット８を移動させて（Ｓ２２、ただし逆方向）、特徴点Ｐ１を撮像した（Ｓ２１）方が、観察カメラ９Ｃの移動距離が短くて済み、短時間で処理を行なうことができる。
【００５５】
また、基板２におけるアライメントマーク２ａ、アライメントマーク２ｂの正確な位置が未知である場合においても、アライメントマーク２ａ、アライメントマーク２ｂと位置を同じくするアライメントマーク２０ａ、アライメントマーク２０ｂの位置に基づいて位置決めするので、基板２を正確に位置決めすることができ、正確に液滴塗布を行なうことができる。
【００５６】
従って、本実施例の液滴塗布装置および液滴塗布方法は、太陽電池セルの位置決めを高精度に行うことができるので、電極配線のエリア損失を抑え、歩留まりを向上させることができる。
【００５７】
なお、本実施例に係る基準パターン２０ｃは特徴点Ｐ１、特徴点Ｐ２の位置が特定できれば良いのであるから、方眼状の模様である必要はなく、特徴点Ｐ１、特徴点Ｐ２の位置を特定する十字、点、丸等を含む模様であっても良い。
【００５８】
また、本実施例の位置決め方法および基準板２０は、図３に示す対角２点にのみアライメントマークを有する場合等、液滴吐出ユニット３の基板２に対する走査方向と、アライメントマーク２ａと２ｂとを結ぶ直線方向とが異なる場合に特に有用である。なぜならば、アライメントマーク２ａと２ｂとを結ぶ直線が、液滴吐出ユニット３の基板２に対する走査方向とが一致する場合、基準板２０を用いずに、基板２上のアライメントマーク２ａと２ｂとをそれぞれ特徴点Ｐ１、特徴点Ｐ２と見なしてＳ２１〜Ｓ２５の処理を行なえば、基板２の位置決めを行なうことが可能であるからであるが、液滴吐出ユニット３の基板２に対する走査方向と、アライメントマーク２ａと２ｂとを結ぶ直線方向とが異なる場合には、前記処理は不可能であるからである。
【００５９】
また、液滴吐出ユニット３とアライメントカメラユニット８とを一体としてガイドレール７に沿って、Ｙ方向に移動可能するよう構成しても良い。この場合、液滴吐出ユニット３に対してアライメントカメラユニット８のＹ方向の移動に係る誤差が生じないため、より好ましい。
【産業上の利用可能性】
【００６０】
本発明の位置決め方法、液滴塗布方法、位置決め装置、液滴塗布装置および基準板は、太陽電池セル製造に限らず、液晶製造、ＩＣパターン製造などにも用いることができる。また、液滴塗布に限らず、レーザ光を走査しながら照射する場合等、走査を伴う加工処理において用いることができる。
【符号の説明】
【００６１】
３ 液滴吐出ユニット
５ 載置台
５ａ 姿勢調整部
５ｂ 吸着台
６ ガントリー
７ ガイドレール
８ アライメントカメラユニット
９Ａ アライメントカメラ
９Ｂ アライメントカメラ
９Ｃ 観察カメラ
１１ 液滴吐出ヘッド
２０ 基準板
２０ａ アライメントマーク
２０ｂ アライメントマーク
２０ｃ 基準パターン
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板を載置台に位置決めする技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、液滴塗布技術は紙媒体上に画像を形成するプリンター装置としてだけではなく、製造装置としての用途が期待されている。インクジェット技術を用いることで太陽電池セルの製造の他、液晶表示装置や有機ＥＬ表示装置等のカラーフィルタの製造、各種電子デバイスや光デバイス等の製造を行う。このような応用技術を考慮すると、インクジェットヘッド自体の性能に加え、処理対象試料の姿勢調整、つまりアライメント処理の機構・方法に高い精度が要求される。
【０００３】
上記アライメント処理においては、処理対象試料に付したアライメントマークが所定の位置となるよう姿勢調整する。そのため、処理対象試料にアライメントマークを付する必要がある。処理対象試料が太陽電池セルである場合、アライメントマークを処理対象試料である太陽電池セルの基板の対角に２つ設けることが望ましい。この場合、３つ以上のアライメントマークを設ける場合と比較して、アライメントマークを形成する面積を小さくすることができるため、発電可能な面積を広くすることができる。また、対角に位置する場合、アライメントマーク間の距離を長くとることができるので、基板を精度良く配置し、精度良く液滴塗布を行なうことができる。
【０００４】
一般的な位置合せ技術として、特許文献１に基準マスクを用いてアライメントスコープの位置校正を容易かつ精度良く行なう技術が開示されている。
【０００５】
図７は、特許文献１記載のプリント回路基板製造装置の概要説明に供する斜視図である。
【０００６】
基台１０１の上面には、一対のリニアガイド１０３が配設されており、それらのリニアガイド１０３の間には、サーボモータ１０７によって回転駆動される送りネジ１０９が配備されている。この送りネジ１０９には、描画ステージ１０５がその下部で螺合されている。描画ステージ１０５は、鉛直のｚ軸周りに載置テーブル１１５を回転させるための回転機構（図示せず）を備えている。載置テーブル１１５は、最上部にプリント回路基板Ｓ（処理対象物）を載置するためのものである。
【０００７】
載置テーブル１１５の上面に基準マスクＲＭが配設され、その上に吸着テーブル１１７が配設されている。基準マスクＲＭの上面には、全面にわたって格子状の基準パターンＰＲが形成されている。
【０００８】
描画ステージ１０５がサーボモータ１０７の駆動により移動されるｙ方向（副走査方向）には、処理位置ＥＰにて描画用のレーザービームＬＢをｘ方向（主走査方向）に偏向しながら下方に向けて照射する処理部１２１が配設されている。処理部１２１は門型フレームによって基台１０１の上部に配設されており、サーボモータ１０７が駆動されると描画ステージ１０５が処理部１２１に対して進退するようになっている。
【０００９】
基台１０１には、待機位置にある描画ステージ１０５の上方を覆うようにアライメントスコープユニット（図示せず）が配設されている。このアライメントスコープユニットは、水平面内でそれぞれ独立に移動可能な４台のアライメントスコープ１３３，１３５，１３７，１３９を備えている。各アライメントスコープ１３３，１３５，１３７，１３９は、ＣＣＤカメラとレンズ部とを備えている。
【００１０】
アライメントスコープのＣＣＤカメラで捉えた視野像の視野中心と、所定位置の基準パターンＰＲの交点とのずれをｘ方向（Δｘ）とｙ方向（Δｙ）について求める。つまりアライメントスコープの位置が何らかの原因により位置ずれした場合であっても、設計的に位置不変である基準マスクＲＭの基準パターンＰＲを基準として、その位置からのずれ量を記憶する。したがって、この『位置ずれ量』を読み取ってその分だけ補正すれば、アライメントスコープの視野中心にある実際の位置が正確に判る。
【００１１】
図示しないローダによってプリント回路基板Ｓが載置テーブル１１５に載置され、真空吸引によって基板Ｓが吸着保持される。各アライメントスコープ１３３，１３５，１３７，１３９が、基板ＳのＣＡＤデータに基づいて四隅に形成されている基準穴の上方に移動する。画像処理により四隅の基準穴の位置が計測され、それらの重心を求めてプリント回路基板Ｓの載置姿勢が計測され、それに応じてｚ軸周りの回転方向であるθ方向に載置テーブル１１５を回転させてレーザービームＬＢと平行にさせた後、処理部１２１に向けて移動させながら処理位置ＥＰにて描画処理を施す。
【００１２】
なお、基準マスクＲＭを載置テーブル１１５に位置固定で配設するのではなく、着脱自在にしてもよい。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１３】
【特許文献１】特開２０００−３２９５２３（平成１２年１１月３０日公開）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
特許文献１記載のプリント回路基板製造装置においては、アライメントマーク（特許文献１における基準穴）の位置がＣＡＤデータにおける位置と異なる場合、位置合せにおいて誤差を生じる。この場合、アライメントマークの位置に基づき、載置テーブル１１５を回転させたとしても、基板（特許文献１におけるプリント回路基板Ｓ）はレーザービームＬＢの走査方向と平行にはならず、位置ずれした状態で、加工処理を行なうこととなる。
【００１５】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、基板におけるアライメントマークの正確な位置が未知である場合においても、正確に基板の位置合せを行なう位置決め方法、位置決め装置および前記位置決め方法に供される基準板を提供するものである。
【００１６】
また、基板上の所望の位置に正確に液滴塗布を行なう液滴塗布方法および液滴塗布装置を提供するものである。
【００１７】
また、基板の対角２点にのみアライメントマークを有する場合、２つのアライメントマークを結ぶ直線方向と液滴塗布の走査方向とが一致しない。走査方向にアライメントマークが並んでいる場合は、アライメントカメラ（特許文献１におけるアライメントスコープ）と基板とを走査方向に相対的に移動させて、複数のアライメントマークがアライメントカメラの視野中心に順次捉えられるか否かでθ方向のずれを正確に検知することができる。しかしながら、基板の対角２点にのみアライメントマークがある場合、前記方法を用いることができず、θ方向のずれを正確に検知することができない。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
上記課題を解決するために、本発明の位置決め方法は、アライメントマークを備える基板を位置決めする位置決め方法であって、前記基板における前記アライメントマークの位置と同じ位置にアライメントマークを備える基準板を位置決めし、前記位置決めされた前記基準板におけるアライメントマークの位置を測定し、前記測定された前記アライメントマークの位置と同じ位置に前記基板のアライメントマークが位置するよう該基板を位置決めする。
【００１９】
また、本発明の液滴塗布方法は、アライメントマークを備える基板に液滴塗布を行う液滴塗布方法であって、前記基板における前記アライメントマークの位置と同じ位置にアライメントマークを備える基準板を位置決めし、前記位置決めされた前記基準板におけるアライメントマークの位置を測定し、前記測定された前記アライメントマークの位置と同じ位置に前記基板のアライメントマークが位置するよう該基板を位置決めし、前記位置決めされた基板に液滴塗布を行なう。
【００２０】
また、前記液滴塗布は、前記ワークに対する局所的な塗布を走査して行なう処理であって、前記液滴塗布方法に係る前記基準板の位置決めは、前記基準板が備える２つの特徴点が前記走査方向に並ぶように位置決めする。
【００２１】
また、前記基準板の位置決めは、観察部を用いて行なわれ、第１の特徴点の位置の検出における観察部の位置から第２の特徴点の位置の検出における観察部の位置までの観察部の移動を、前記走査に係る走査手段を用いて行なう。
【００２２】
また、本発明の位置決め装置は、アライメントマークを備える基板を位置決めする位置決め装置であって、基板および基準板を載置する載置台と、前記載置台の向きを調整する姿勢調整部と、前記基板および前記基準板が備えるアライメントマークの位置を検出するアライメントカメラと、前記基準板が備える特徴点の位置を検出する観察部と、を備える。
【００２３】
また、本発明の液滴塗布装置は、アライメントマークを備える基板に液滴塗布を施す液滴塗布装置であって、基板および基準板を載置する載置台と、前記載置台の向きを調整する姿勢調整部と、前記基板および前記基準板が備えるアライメントマークの位置を検出するアライメントカメラと、前記基準板が備える特徴点の位置を検出する観察部と、前記載置台に載置された基板に液滴塗布を行なう液滴吐出部とを備える。
【００２４】
また、本発明の基準板は、アライメントマークを備える基板に液滴塗布を施す液滴塗布方法に供される基準板であって、前記基板が備える前記アライメントマークと同じ位置にアライメントマークを備え、かつ２つ以上の特徴点を有する基準パターンを備える。
【発明の効果】
【００２５】
基板を正確に位置決めすることができる。また、基板の所望の位置に正確に液滴塗布を行なうことができる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】本実施の形態に係る液滴塗布装置の上面図。
【図２】本実施の形態に係る液滴塗布装置の側面図。
【図３】本実施の形態に係る基板の上面図。
【図４】本実施の形態に係る基準板の上面図。
【図５】本実施の形態に係る処理フロー図。
【図６】本実施の形態に係る処理フロー図。
【図７】従来技術のプリント回路基板製造装置の概要説明に供する斜視図。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
以下、本発明を実施する形態について詳細に説明する。
【実施例１】
【００２８】
本実施例に係る位置決め装置は、太陽電池セルに係る電極配線を液滴塗布によって形成する生産工程に供される液滴塗布装置である。
【００２９】
図１は、本実施例に係る液滴塗布装置の上面図である。
【００３０】
図２は、本実施例に係る液滴塗布装置の側面図である。本実施例の液滴塗布装置は、太陽電池セルである基板２を載置するための載置台５と、載置台５の上方に位置するガントリー６とを備える。ガントリー６の側面にはガイドレール７がＹ方向を長手として固定されている。ガイドレール７には、液滴吐出部である液滴吐出ユニット３と、アライメントカメラユニット８とが搭載されており、ガイドレール７に沿って、Ｙ方向に移動可能である。アライメントカメラユニット８は、アライメントカメラ９Ａ、アライメントカメラ９Ｂと、観察部である観察カメラ９Ｃと、を搭載する。観察カメラ９Ｃはアライメントカメラユニット８に対し、Ｘ方向に移動可能に構成される。本実施例においては、高さ方向をＺ方向、液滴吐出ユニット３およびアライメントカメラユニット８の移動方向をＹ方向、Ｚ方向およびＹ方向と直交する方向をＸ方向として表記する。
【００３１】
本実施例の液滴塗布装置は、基板２を載置台５に載置する基板搬送ロボット（図示せず）を備える。
【００３２】
載置台５は姿勢調整部５ａの上に設置されている。姿勢調整部５ａは、載置台５をＸ方向またはＹ方向に平行移動したり、Ｚ軸と平行な軸を中心とする回転移動であるθ回転をしたりすることができる。また、載置台５の上部は、吸着台５ｂであって、基板２および基準板２０（後述）を吸着固定することができる。
【００３３】
液滴吐出ユニット３は液滴吐出ヘッド１１を備える。液滴吐出ユニット３は、液滴吐出ヘッド１１から液滴を吐出し、液滴塗布を基板２に行なうことができる。本実施例の液滴塗布は、基板２に対する局所的な塗布であって、液滴吐出ユニット３と基板２とを相対的に移動して液滴を吐出することによって、基板２上の所望の位置に正確に塗布することを可能とする。前記移動は、液滴吐出ユニット３をガイドレール７に沿ってＹ方向に移動することで行なう。本明細書では、該移動を「走査」と呼ぶ。また、前記走査を実施する手段を「走査手段」と呼ぶ。本実施例では、ガイドレール７等が走査手段に該当する。
【００３４】
図３は、本実施例の液滴塗布装置によって処理される前の基板２の上面図である。図３において、ｙ方向は液滴吐出ユニット３の移動方向であるＹ方向と平行に配置すべき方向を示す。また、ｘ方向は上面図においてｙ方向と直交する方向である。基板２において、アライメントマーク２ａと２ｂとが、対角する２頂点付近に形成されている。アライメントマークは、２つより多くても良いが、図３に示すように対角２つであることが望ましい。２つとする場合、３つ以上である場合と比較して、アライメントマークを形成する面積を小さくすることができるため、基板２が太陽電池セルである本実施例においては、発電可能な面積を広くすることができる。また、対角に位置する場合、アライメントマーク間の距離を長くとることができるので、θ方向の検知精度を高くすることができ、基板２を精度良く配置し、精度良く液滴塗布を行なうことができる。
【００３５】
図４は、基準板２０の上面図である。図４におけるｙ方向・ｘ方向は、図３におけるｙ方向・ｘ方向と同じである。基準板２０は、アライメントマーク２０ａ、アライメントマーク２０ｂを備える。基準板２０におけるアライメントマーク２０ａ、アライメントマーク２０ｂの位置は基板２におけるアライメントマーク２ａ、アライメントマーク２ｂの位置と同じである。また、基準板２０は、観察カメラ９Ｃで観察可能な２つ以上の特徴点を有する基準パターン２０ｃを備える。基準パターン２０ｃは方眼状のパターンである。特徴点Ｐ１および特徴点Ｐ２は基準パターン２０ｃにおける交点であり、ｙ方向に並んで配置される。なお、アライメントマーク２０ａ、アライメントマーク２０ｂの位置をアライメントマーク２ａ、アライメントマーク２ｂの位置と同一とするために、アライメントマーク２０ａ、アライメントマーク２０ｂの形成方法とアライメントマーク２ａ、アライメントマーク２ｂの形成方法とを同じとすることが望ましい。また、基準板２０の材質を基板２の材質と同じとすることが望ましい。
【００３６】
図５は、本実施例に係る位置決め方法および液滴塗布方法である液滴塗布方法の処理フロー図である。図５に則り、本実施例の処理フローを説明する。
【００３７】
まず初めに、基板搬送ロボットが基準板２０を載置台５に載置する（Ｓ１）。基準板２０は、基板２と同形であることが望ましい。基準板２０が基板２と同形である場合、基板２を搬送する基板搬送ロボットを用いて基準板２０を搬送し、載置台５に載置することが容易にできる。載置された基準板２０は、吸着台５ｂにより、吸着固定される。
【００３８】
次に、基準板２０を位置決めする（Ｓ２）。具体的には、姿勢調整部５ａを稼動させて、液滴吐出ユニット３による液滴塗布の走査方向と基準パターン２０ｃにおける座標軸方向とを一致するように、基準板２０を移動させて位置決めする。
【００３９】
次に、基準板２０のアライメントマーク２０ａ、アライメントマーク２０ｂの位置を測定する（Ｓ３）。前記測定は、アライメントカメラ９Ａ、アライメントカメラ９Ｂを用いて行なう。
【００４０】
次に、基準板２０を搬出する（Ｓ４）。搬出は基板搬送ロボットが行なう。
【００４１】
次に、基板２を搬入し、載置台５に載置する（Ｓ５）。搬入および載置は基板搬送ロボットが行なう。載置された基板２は、吸着台５ｂにより吸着固定される。
【００４２】
次に、基板２を位置決めする（Ｓ６）。具体的には、姿勢調整部５ａを稼動させて、基板２のアライメントマーク２ａ、アライメントマーク２ｂの位置をＳ３において測定したアライメントマーク２０ａ、アライメントマーク２０ｂの位置と同じになるように、基板２を移動させる。
【００４３】
次に、液滴吐出ユニット３が液滴を吐出し、基板２に対し液滴塗布を行なう（Ｓ７）。
【００４４】
次に、基板搬送ロボットが基板２を搬出する（Ｓ８）。なお、複数の基板２に対し、液滴塗布を行なう場合は、Ｓ５〜Ｓ８の工程を繰り返し実施すればよい。
【００４５】
図６の処理フローを用いて、Ｓ２における基準板２０の位置決めについて、詳細に説明する。まず初めに、観察カメラ９Ｃを、特徴点Ｐ１を撮像可能な位置へ移動させて、観察カメラ９Ｃで基準板２０を撮像し、２値化やエッジ検出などの画像処理により、撮像画像中の特徴点Ｐ１の位置を検出する（Ｓ２１）。また、撮像画像を表示するディスプレイ等の表示部と、表示部に表示された画像における位置情報を取得するマウス等の入力部とを備え、本実施例の液滴塗布装置の利用者が表示部に表示された画像中の任意の位置を特徴点Ｐ１の位置として入力部から入力しても良い。また、撮像画像中に特徴点Ｐ１が撮像されていない場合は、観察カメラ９Ｃを移動させて別の位置を撮像することによって、特徴点Ｐ１を探索しても良い。
【００４６】
次に、アライメントカメラユニット８をガイドレール７に沿って移動させる（Ｓ２２）。移動距離は、特徴点Ｐ１と特徴点Ｐ２との距離とする。
【００４７】
この時点で、観察カメラ９Ｃは特徴点Ｐ２を撮像可能な位置へ移動している。観察カメラ９Ｃで基準板２０を撮像し、画像処理等により、撮像画像中の特徴点Ｐ２の位置を検出する（Ｓ２３）。
【００４８】
検出された特徴点Ｐ１の位置と、検出された特徴点Ｐ２の位置とが許容される範囲内に存在するかどうかを判定する（Ｓ２４）。許容される範囲に存在する場合、工程Ｓ２を終了する。
【００４９】
許容される範囲を超える場合、特徴点Ｐ１の位置と、特徴点Ｐ２の位置とを用いて位置決め量を算出し、前記位置決め量に応じて姿勢調整部５ａを稼動さ、載置台５を移動させる（Ｓ２５）。
【００５０】
具体的には、直線Ｐ１−Ｐ２とＹ軸とのなす角度を算出し、前記角度分だけ、載置台５をθ回転させる。次に、特徴点Ｐ１と特徴点Ｐ２との中点に関してθ回転後の位置を計算し、該位置と所望の位置との差分だけ、載置台５を平行移動させる。
【００５１】
Ｓ２５の処理によれば、理想的には位置決めは完了するはずであるが、実際は、Ｓ２２におけるアライメントカメラユニット８の移動距離誤差およびＳ２５における載置台５の移動誤差により、Ｓ２５の後も許容できない誤差が存在する可能性がある。その場合は、Ｓ２１に戻り、Ｓ２１〜Ｓ２５の処理をＳ２４で許容範囲と判定されるまで繰り返す。
【００５２】
以上、Ｓ２１〜Ｓ２５の処理フローによれば、載置台５を移動させて、液滴吐出ユニット３による液滴塗布の走査方向と基準パターン２０ｃにおける座標軸方向とを一致するように、基準板２０を位置決めさせることができる。従って、基準パターン２０ｃの格子の向きと液滴塗布の走査方向とが一致していないことを原因とする液滴塗布位置の誤差が許容範囲内であり、基板２上の所望の位置に正確に液滴塗布することができる。
【００５３】
また、Ｓ２１〜Ｓ２５の処理フローによれば、Ｓ２２、Ｓ２３の工程において、観察カメラ９Ｃを特徴点Ｐ１の位置の検出時の位置から特徴点Ｐ２の位置の検出時の位置まで移動させる際、観察カメラ９Ｃをアライメントカメラユニット８に対して移動させずに、液滴吐出ユニット３の走査に用いる走査手段であるガイドレール７を用いて行なう。そのため、特徴点Ｐ１から特徴点Ｐ２への移動において、アライメントカメラユニット８に対する観察カメラ９Ｃの移動による誤差が生じないため、正確な位置決めが可能となる。
【００５４】
なお、Ｓ２５の処理後においては、特徴点Ｐ２付近を撮像可能な位置に観察カメラ９Ｃがある確率が高いので、次回の処理ループにおいては、特徴点Ｐ１と特徴点Ｐ２との撮像順序を入れ換えて、まず先に特徴点Ｐ２を撮像して（Ｓ２３）から、アライメントカメラユニット８を移動させて（Ｓ２２、ただし逆方向）、特徴点Ｐ１を撮像した（Ｓ２１）方が、観察カメラ９Ｃの移動距離が短くて済み、短時間で処理を行なうことができる。
【００５５】
また、基板２におけるアライメントマーク２ａ、アライメントマーク２ｂの正確な位置が未知である場合においても、アライメントマーク２ａ、アライメントマーク２ｂと位置を同じくするアライメントマーク２０ａ、アライメントマーク２０ｂの位置に基づいて位置決めするので、基板２を正確に位置決めすることができ、正確に液滴塗布を行なうことができる。
【００５６】
従って、本実施例の液滴塗布装置および液滴塗布方法は、太陽電池セルの位置決めを高精度に行うことができるので、電極配線のエリア損失を抑え、歩留まりを向上させることができる。
【００５７】
なお、本実施例に係る基準パターン２０ｃは特徴点Ｐ１、特徴点Ｐ２の位置が特定できれば良いのであるから、方眼状の模様である必要はなく、特徴点Ｐ１、特徴点Ｐ２の位置を特定する十字、点、丸等を含む模様であっても良い。
【００５８】
また、本実施例の位置決め方法および基準板２０は、図３に示す対角２点にのみアライメントマークを有する場合等、液滴吐出ユニット３の基板２に対する走査方向と、アライメントマーク２ａと２ｂとを結ぶ直線方向とが異なる場合に特に有用である。なぜならば、アライメントマーク２ａと２ｂとを結ぶ直線が、液滴吐出ユニット３の基板２に対する走査方向とが一致する場合、基準板２０を用いずに、基板２上のアライメントマーク２ａと２ｂとをそれぞれ特徴点Ｐ１、特徴点Ｐ２と見なしてＳ２１〜Ｓ２５の処理を行なえば、基板２の位置決めを行なうことが可能であるからであるが、液滴吐出ユニット３の基板２に対する走査方向と、アライメントマーク２ａと２ｂとを結ぶ直線方向とが異なる場合には、前記処理は不可能であるからである。
【００５９】
また、液滴吐出ユニット３とアライメントカメラユニット８とを一体としてガイドレール７に沿って、Ｙ方向に移動可能するよう構成しても良い。この場合、液滴吐出ユニット３に対してアライメントカメラユニット８のＹ方向の移動に係る誤差が生じないため、より好ましい。
【産業上の利用可能性】
【００６０】
本発明の位置決め方法、液滴塗布方法、位置決め装置、液滴塗布装置および基準板は、太陽電池セル製造に限らず、液晶製造、ＩＣパターン製造などにも用いることができる。また、液滴塗布に限らず、レーザ光を走査しながら照射する場合等、走査を伴う加工処理において用いることができる。
【符号の説明】
【００６１】
３ 液滴吐出ユニット
５ 載置台
５ａ 姿勢調整部
５ｂ 吸着台
６ ガントリー
７ ガイドレール
８ アライメントカメラユニット
９Ａ アライメントカメラ
９Ｂ アライメントカメラ
９Ｃ 観察カメラ
１１ 液滴吐出ヘッド
２０ 基準板
２０ａ アライメントマーク
２０ｂ アライメントマーク
２０ｃ 基準パターン
【特許請求の範囲】
【請求項１】
アライメントマークを備える基板を位置決めする位置決め方法であって、
前記基板における前記アライメントマークの位置と同じ位置にアライメントマークを備える基準板を位置決めし、
前記位置決めされた前記基準板におけるアライメントマークの位置を測定し、
前記測定された前記アライメントマークの位置と同じ位置に前記基板のアライメントマークが位置するよう該基板を位置決めする
ことを特徴とする位置決め方法。
【請求項２】
アライメントマークを備える基板に液滴塗布を行う液滴塗布方法であって、
前記基板における前記アライメントマークの位置と同じ位置にアライメントマークを備える基準板を位置決めし、
前記位置決めされた前記基準板におけるアライメントマークの位置を測定し、
前記測定された前記アライメントマークの位置と同じ位置に前記基板のアライメントマークが位置するよう該基板を位置決めし、
前記位置決めされた基板に液滴塗布を行なう
ことを特徴とする液滴塗布方法。
【請求項３】
前記液滴塗布は、前記基板に対する局所的な塗布を走査して行なう処理であって、
前記基準板の位置決めは、前記基準板が備える２つの特徴点が前記走査方向に並ぶように位置決めする
ことを特徴とする請求項２記載の液滴塗布方法。
【請求項４】
前記基準板の位置決めは、観察部を用いて行なわれ、
第１の特徴点の位置の検出における観察部の位置から第２の特徴点の位置の検出における観察部の位置までの観察部の移動を、前記走査に係る走査手段を用いて行なうことを特徴とする請求項３記載の液滴塗布方法。
【請求項５】
アライメントマークを備える基板を位置決めする位置決め装置であって、
基板および基準板を載置する載置台と、
前記載置台の向きを調整する姿勢調整部と、
前記基板および前記基準板が備えるアライメントマークの位置を検出するアライメントカメラと、
前記基準板が備える特徴点の位置を検出する観察部と、
を備える位置決め装置。
【請求項６】
アライメントマークを備える基板に液滴塗布を行う液滴塗布装置であって、
基板および基準板を載置する載置台と、
前記載置台の向きを調整する姿勢調整部と、
前記基板および前記基準板が備えるアライメントマークの位置を検出するアライメントカメラと、
前記基準板が備える特徴点の位置を検出する観察部と、
前記載置台に載置された基板に液滴塗布を行なう液滴吐出部と
を備える液滴塗布装置。
【請求項７】
アライメントマークを備える基板に液滴塗布を施す液滴塗布方法に供される基準板であって、
前記基板が備える前記アライメントマークと同じ位置にアライメントマークを備え、かつ２つ以上の特徴点を有する基準パターンを備えること
を特徴とする基準板。
【請求項１】
アライメントマークを備える基板を位置決めする位置決め方法であって、
前記基板における前記アライメントマークの位置と同じ位置にアライメントマークを備える基準板を位置決めし、
前記位置決めされた前記基準板におけるアライメントマークの位置を測定し、
前記測定された前記アライメントマークの位置と同じ位置に前記基板のアライメントマークが位置するよう該基板を位置決めする
ことを特徴とする位置決め方法。
【請求項２】
アライメントマークを備える基板に液滴塗布を行う液滴塗布方法であって、
前記基板における前記アライメントマークの位置と同じ位置にアライメントマークを備える基準板を位置決めし、
前記位置決めされた前記基準板におけるアライメントマークの位置を測定し、
前記測定された前記アライメントマークの位置と同じ位置に前記基板のアライメントマークが位置するよう該基板を位置決めし、
前記位置決めされた基板に液滴塗布を行なう
ことを特徴とする液滴塗布方法。
【請求項３】
前記液滴塗布は、前記基板に対する局所的な塗布を走査して行なう処理であって、
前記基準板の位置決めは、前記基準板が備える２つの特徴点が前記走査方向に並ぶように位置決めする
ことを特徴とする請求項２記載の液滴塗布方法。
【請求項４】
前記基準板の位置決めは、観察部を用いて行なわれ、
第１の特徴点の位置の検出における観察部の位置から第２の特徴点の位置の検出における観察部の位置までの観察部の移動を、前記走査に係る走査手段を用いて行なうことを特徴とする請求項３記載の液滴塗布方法。
【請求項５】
アライメントマークを備える基板を位置決めする位置決め装置であって、
基板および基準板を載置する載置台と、
前記載置台の向きを調整する姿勢調整部と、
前記基板および前記基準板が備えるアライメントマークの位置を検出するアライメントカメラと、
前記基準板が備える特徴点の位置を検出する観察部と、
を備える位置決め装置。
【請求項６】
アライメントマークを備える基板に液滴塗布を行う液滴塗布装置であって、
基板および基準板を載置する載置台と、
前記載置台の向きを調整する姿勢調整部と、
前記基板および前記基準板が備えるアライメントマークの位置を検出するアライメントカメラと、
前記基準板が備える特徴点の位置を検出する観察部と、
前記載置台に載置された基板に液滴塗布を行なう液滴吐出部と
を備える液滴塗布装置。
【請求項７】
アライメントマークを備える基板に液滴塗布を施す液滴塗布方法に供される基準板であって、
前記基板が備える前記アライメントマークと同じ位置にアライメントマークを備え、かつ２つ以上の特徴点を有する基準パターンを備えること
を特徴とする基準板。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【公開番号】特開２０１１−２５５２９２（Ｐ２０１１−２５５２９２Ａ）
【公開日】平成２３年１２月２２日（２０１１．１２．２２）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１０−１３０７７７（Ｐ２０１０−１３０７７７）
【出願日】平成２２年６月８日（２０１０．６．８）
【出願人】（０００００５０４９）シャープ株式会社 (33,933)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２３年１２月２２日（２０１１．１２．２２）
【国際特許分類】
【出願日】平成２２年６月８日（２０１０．６．８）
【出願人】（０００００５０４９）シャープ株式会社 (33,933)
【Ｆターム（参考）】
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