光学測定用セル及び光学分析計
【課題】熱膨張による光導入面及び光導出面の間の拡縮を防止する。
【解決手段】被測定液が流れる流路５が内部に形成されたセルブロック６と、流路５に設けられてセルブロック６の外部からの光を流路に導入する光導入面７と、流路５において光導入面７に対向して設けられて流路５を通過した光をセルブロック６の外部に導出する光導出面８と、セルブロック６を対向方向から押圧する押圧機構１６と、光導入面７及び光導出面８の間に設けられたスペーサ１７とを有する。
【解決手段】被測定液が流れる流路５が内部に形成されたセルブロック６と、流路５に設けられてセルブロック６の外部からの光を流路に導入する光導入面７と、流路５において光導入面７に対向して設けられて流路５を通過した光をセルブロック６の外部に導出する光導出面８と、セルブロック６を対向方向から押圧する押圧機構１６と、光導入面７及び光導出面８の間に設けられたスペーサ１７とを有する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば吸光分析法等の光学測定に用いられる光学測定用セル及びこれを用いた光学分析計に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体製造装置等に用いられるオゾン（Ｏ３）を含む純水（以下、被測定液）中のオゾン濃度を測定するものとして、特許文献１や特許文献２に示すように、被測定液が流れる流路を有するセルブロックと、当該セルブロックの側壁に設けられて外部からの光を流路内に導入する光導入窓と、流路を通過した光を外部に導出するための光導出窓を備えた光学測定用セルを用いたものがある。そして、前記セルブロックは、被測定液に対する耐腐食性に優れた例えばフッ素系樹脂等の樹脂により形成されている。
【０００３】
しかしながら、この光学測定セルを用いたものでは、流路を流れる被測定液が高温の場合又は周囲温度が高温の場合などに、セルブロックが加熱されてしまい熱膨張してしまう。そうすると、セルブロックに設けられた光導入窓及び光導出窓の距離（セル長）が拡大してしまい、測定誤差を招くという問題がある。また、流路を流れる被測定液が低温の場合又は周囲温度が低温の場合などに、セルブロックが冷却されてしまい熱収縮してしまう。そうすると、セルブロックに設けられた光導入窓及び光導出窓の距離（セル長）が縮小してしまい、測定誤差を招くという問題がある。このように、従来の光学測定セルでは、被測定液の温度変化又は周囲温度の温度変化などに伴ってセル長が変化してしまい、測定誤差を招くという問題がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００２−２４３６３０号公報
【特許文献２】特開２００１−１０８６１０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
そこで本発明は、上記問題点を一挙に解決するためになされたものであり、光学測定用セルの熱膨張又は熱収縮によるセル長の拡縮を防止することをその主たる所期課題とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
すなわち本発明に係る光学測定用セルは、被測定液が流れる流路が内部に形成されたセルブロックと、前記セルブロックに設けられ、前記セルブロックの外部からの光を前記流路に導入する光導入面と、前記セルブロックにおいて前記光導入面に対向して設けられ、前記流路を通過した光を前記セルブロックの外部に導出する光導出面と、前記セルブロックを前記光導入面及び前記光導出面の対向方向から押圧する押圧機構と、前記光導入面及び前記光導出面の間に設けられたスペーサとを有することを特徴とする。
【０００７】
このようなものであれば、セルブロックを押圧機構により対向方向から押圧しているので、セルブロックが被測定液の温度又は周囲温度などによって加熱された場合でも、セルブロックの対向方向への熱膨張を防ぐことができる。これにより、光導入面及び光導出面の距離（セル長）が拡大することを防止できる。一方、光導入面及び光導出面の間にスペーサを設けているので、セルブロックが被測定液の温度又は周囲温度などによって冷却された場合でも、セルブロックの対向方向への熱収縮に伴って光導入面及び光導出面の距離（セル長）が縮小することを防止できる。なお、スペーサ自体が熱収縮しても、セルブロック全体の熱収縮に比べて小さいことから、光導入面及び光導出面の距離（セル長）の縮小を小さくすることができる。したがって、本発明によれば、温度が変化する被測定液や光学測定用セルの設置場所等によって温度が異なる被測定液を精度良く測定することができる。
【０００８】
また本発明によれば、セルブロックを押圧機構により対向方向から押圧しているので、流路内部が加圧状態になった場合であっても、光導入面及び光導出面の距離（セル長）が拡大することを防止できる。一方、光導入面及び光導出面の間にスペーサを設けているので、流路内部が負圧状態になった場合であっても、光導入面及び光導出面の距離（セル長）が縮小することを防止できる。
【０００９】
前記セルブロックにおいて、前記光導入面及び前記光導出面の対向方向に互いに向き合う一対の側面に設けられた一対の固定部材を備え、前記押圧機構が、前記一対の固定部材により前記対向方向から押圧するものであることが望ましい。これならば、押圧機構からの押圧力を固定部材を介してセルブロックの一対の側面に作用させることができ、セルブロックの対向方向への熱膨張をより一層防ぐことができる。また、流路内部が加圧状態になった場合における光導入面及び光導出面の距離（セル長）の拡大をより一層防止できる。
【００１０】
一対の固定部材を対向方向から押圧する具体的な構成としては、前記押圧機構が、一端が一方の固定部材に作用し他端が他方の固定部材に作用して、前記一対の固定部材を前記対向方向に締め付けるねじ部材を有しており、前記ねじ部材の熱膨張係数が、前記セルブロックの熱膨張係数よりも小さいことが望ましい。ここでねじ部材が固定部材に作用するとは、ねじ部材の頭部が固定部材に接触して作用することのほか、固定部材に形成しためねじ部にねじ部材のおねじ部が螺合して作用すること、又は、ねじ部材のおねじ部に螺合するナット部材を介して固定部材に作用することを含む。このようにねじ部材を用いることで押圧機構の構成を簡単にすることができる。また、ねじ部材の熱膨張係数をセルブロックの熱膨張係数よりも小さくしていることから、セルブロックの熱膨張量よりもねじ部材の熱膨張量を小さくでき、セルブロックの熱膨張を抑えることができる。
【００１１】
前記流路が、大流路部とこれに連続して並んで設けられた小流路部とを有し、前記光導入面及び前記光導出面が、前記小流路部又は前記大流路部と前記小経路部との間において対向して設けられていることが望ましい。この光学測定用セルは、例えば半導体製造装置の配管に設けられてインライン測定に用いられることから、当該光学測定用セルを設けることによる圧力損失は出来るだけ避けなければならない。ここでセルブロックの流路を大流路部と小流路部とに分けることで、配管を流れる被測定液の大部分を大流路部に流す構成とすることで、被測定液が流れやすくなり、圧力損失を防ぐことができる。また、小流路部にスペーサを設けるとともに、光導入面及び光導出面を小流路部又は大流路部と小流路部との間に設けることで、大流路部を確保しながらも、スペーサの加工容易性及び加工精度を向上することができる。
【００１２】
前記光導入面を有する光導入部材と、前記光導出面を有する光導出部材とを有し、前記光導入部材及び前記光導出部材が、前記セルブロックに設けられた固定孔に挿入されるとともに、前記固定部材に設けられた押さえ部材により位置決めされることが望ましい。これならば、光導入部材及び光導出部材が、固定部材に設けられた押さえ部材により位置決めされているので、セルブロックの熱膨張及び熱収縮に伴う光導入部材及び光導出部材の位置ずれを防止することができる。このとき、前記固定部材の熱膨張係数が、前記セルブロックの熱膨張係数よりも小さいことが望ましい。これにより光導入部材及び光導出部材を前記押さえ部材により位置決めすることによる位置ずれ防止の効果をより一層顕著にすることができる。
【００１３】
前記光導入面が先端面に形成された光導入部材と、前記光導出面が先端面に形成された光導出部材とを有し、前記光導入部材及び前記光導出部材が、前記セルブロックに設けられた固定孔に挿入されて、前記光導入面及び前記光導出面が前記スペーサに接触することで位置決めされることが望ましい。これならば、セルブロックを例えばフッ素系樹脂等の耐腐食性に優れた材料を用いることができ、光導入部材及び光導出部材を例えば紫外線の光透過率に優れた石英ガラス等の光透過率に優れた材料を用いることができる。また、光導入部材及び光導出部材を光導入面及び光導出面で位置決めしているので、セルブロックの位置決め構造を不要にすることができる。
【発明の効果】
【００１４】
このように構成した本発明によれば、光学測定用セルに押圧機構とスペーサとを設けることで、光学測定用セルの熱膨張又は熱収縮によるセル長の拡縮を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の一実施形態に係る枚葉式洗浄システムの模式的構成図。
【図２】同実施形態のオゾン濃度モニタの模式的構成図。
【図３】同実施形態の光学測定用セルの一部断面を示す斜視図。
【図４】同実施形態の光学測定用セルの流路直交方向の断面図。
【図５】同実施形態の光学測定用セルの流路方向の断面図。
【図６】同実施形態のスペーサ部分を主として示す一部断面斜視図。
【図７】同実施形態のスペーサ部分を主として示す流路方向の拡大断面図及び拡大平面図。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下に本発明に係る光学測定用セルの一実施形態について図面を参照して説明する。
【００１７】
本実施形態に係る光学測定用セル２は、例えば半導体製造プロセスにおける洗浄や酸化膜形成等に使用されるオゾン水中のオゾン濃度を測定するオゾン濃度モニタ１００に用いられるものである。
【００１８】
このオゾン濃度モニタ１００は、図１に示すように、例えば枚葉式洗浄装置に用いられるものであり、オゾン水発生装置の内部又は直後に設けられて当該オゾン水発生装置で製造されるオゾン水中のオゾン濃度や、オゾン水を例えば７０℃程度に加熱するヒータユニット（熱交換器）と処理チャンバとの間に設けられて、ヒータユニットを通過してウエハに噴き付けられる直前の高温オゾン水中のオゾン濃度を、例えばインライン測定するものである。このように本実施形態のオゾン濃度モニタ１００は、低温の被測定液及び高温の被測定液の両方のオゾン濃度が測定可能なものである。
【００１９】
そして、オゾン濃度モニタ１００は、例えば紫外線吸収法（ＵＶ吸収法）によりオゾン水中のオゾン濃度を測定するものであり、図２に示すように、配管Ｈ上に設けられて被測定液であるオゾン水が流れる光学測定用セル２と、当該光学測定用セル２に波長２５４ｎｍ又は波長３１３ｎｍの検査光を照射する例えば低圧水銀灯等の光源３と、前記光学測定用セル２を通過した透過光を検出する例えばシリコンフォトセル等の受光素子を有する光検出器４とを備える。なお、波長３１３ｎｍの光源３を用いた場合には、波長３１３ｎｍはオゾンへの吸収が少ない領域であるため、オゾン濃度変化に伴う透過光量の変化幅を抑制している。これにより、高濃度のオゾンを測定する用途において測定レンジを大きくとることができる。
【００２０】
具体的に光学測定用セル２は、図２〜図５に示すように、被測定液が流れる流路５が内部に形成されたセルブロック６と、流路５の内部に設けられて光源３からの光を流路５に導入する光導入面７と、流路５の内部において光導入面７に対向して設けられて流路５を通過した光を光検出器４に導出する光導出面８とを有する。
【００２１】
セルブロック６は、特に図３〜図５に示すように、概略直方体形状をなすものであり、前後方向に対向する２つの側面を直線状に貫通するように流路５が形成されている。このセルブロック６は、例えばポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）等のフッ素系樹脂といった耐腐食性に優れた樹脂から形成されている。なお、図４中の符号１８は、流路を流れる被測定液の温度を測定する温度センサを流路内に導入するためのガイド部材である。
【００２２】
流路５は、大流路部５１とこれに連続して並んで設けられた小流路部５２とを有する。大流路部５１は、セルブロック６に接続される配管Ｈの内径と略同一径を有する概略円形であり、配管Ｈを流れてきた被測定液の大部分をこの大流路部５１に流す構成としている。これにより、光学測定用セル２の流路５を被測定液が流れやすくして圧力損失を防いでいる。また小流路部５２には、後述するように光導入面７及び光導出面８が対向して設けられている。
【００２３】
光導入面７は、光導入部材９の先端面により形成された平面である。この光導入部材９は、石英ガラス（熱膨張係数：約１０−７／Ｋ）からなる概略円柱形状をなすものであり、具体的に等断面円形状をなすものである。また、光導入部材９の後端面は、光源３からの検査光を受光する受光面となる。そして、光導入部材９は、セルブロック６の側壁（図３等において上壁）に設けられた固定孔６Ａに挿入されることにより、セルブロック６に固定される。これにより、光導入部材９の光導入面７が流路５内に位置することになる。なお、固定孔６Ａは小流路部５２に連通して開口している。
【００２４】
また、光導入部材９の後端側とセルブロック６との間には、円環状のシール部材１０が設けられている。このシール部材１０は、固定孔６Ａの内側周面に設けられた凹溝６Ａ１に設けられており、光導入部材９が固定孔６Ａに挿入された状態で、固定リング１１が螺合されることによってシール部材１０が押圧される。凹溝６Ａ１の下面はテーパ面とされていて固定リング部材１１が螺合することによってシール部材１０が光導入部材側に押圧されるように構成されている。固定リング部材１１は、固定部材１５ｍに螺合するとともにシール部材１０に接触する第１リング部材１１１と、当該第１リング部材１１１に螺合して、光導入部材９の後端面に接触して光導入部材９をセルブロック６に位置決め固定する押さえ部材１１２を有する。この押さえ部材１１２を、第１リング部材１１１に螺合してその位置を調節することによって光導入部材９の上下方向の位置決めを行う。
【００２５】
光導出面８は、光導出部材１２の先端面により形成された平面である。この光導出部材１２は、前記光導入部材９と同様に、石英ガラスからなる円柱形状をなすものであり、具体的に等断面円形状をなすものである。また、光導出部材１２の御端面は、光検出器４に向かって透過光を発する発光面となる。そして、光導出部材１２は、セルブロック６の側壁（光導入部材９が設けられた上壁に対向する下壁）に設けられた固定孔６Ｂに挿入されることにより、セルブロック６に固定される。これにより、光導出部材１２の光導出面８が流路５内において光導入面７に対向して位置することになる。なお、固定孔６Ｂは小流路部５２に連通して開口している。
【００２６】
また、光導出部材１２の後端側とセルブロック６との間には、円環状のシール部材１３が設けられている。このシール部材１３は、固定孔６Ｂの内側周面に設けられた凹溝６Ｂ１に設けられており、光導出部材１２が固定孔６Ｂに挿入された状態で、固定リング１４が螺合されることによってシール部材１３が押圧される。凹溝６Ｂ１の上面はテーパ面とされていて固定リング部材１４が螺合されることによってシール部材１３が光導出部材側に押圧されるように構成されている。固定リング部材１４は、固定部材１５ｎに螺合するとともにシール部材１３に接触する第１リング部材１４１と、当該第１リング部材１４１に螺合して、光導出部材１２の後端面に接触して光導出部材１２をセルブロック６に位置決め固定する押さえ部材１４２を有する。この押さえ部材１４２を、第１リング部材１４１に螺合してその位置を調節することによって光導出部材１２の上下方向の位置決めを行う。
【００２７】
そして本実施形態の光学測定用セル２は、図３〜図５に示すように、セルブロック６における光導入面７及び光導出面８の対向方向に対向する一対の側面６ｍ、６ｎそれぞれに設けられた一対の固定部材１５ｍ、１５ｎと、一対の固定部材１５ｍ、１５ｎによりセルブロック６を対向方向から押圧する押圧機構１６とを備えている。本実施形態の光導入面７及び光導出面８の対向方向は、図４等に示すように上下方向であり、セルブロック６の上下方向に対向する面、つまり上面６ｍ及び下面６ｎにそれぞれ固定部材１５ｍ、１５ｎが設けられている。なお、上面６ｍ及び下面６ｎには固定部材１５ｍ、１５ｎを収容する凹部が形成されている。
【００２８】
一対の固定部材１５ｍ、１５ｎは、例えばステンレス鋼などの金属製からなる平板である。これら固定部材１５ｍ、１５ｎには、ねじ部材１６１が挿入される貫通孔１５１が形成されている。セルブロック６の上面６ｍの固定部材１５ｍは、光導入部材９（光導入面７）を覆うように設けられ、セルブロック６の下面６ｎの固定部材１５ｎは、光導出部材１２（光導出面８）を覆うように、上面６ｍの固定部材１５ｍに対向して設けられる。
【００２９】
押圧機構１６は、特に図３に示すように、一端が一方の固定部材１５ｍに作用し他端が他方の固定部材１５ｎに作用して、一対の固定部材１５ｍ、１５ｎを対向方向に締め付けるねじ部材１６１を有するものである。本実施形態では、セルブロック６の上面６ｍの固定部材１５ｍにねじ部材１６１の頭部１６１ａが接触して押圧力を作用するとともに、セルブロック６の下面６ｎの固定部材１５ｎの貫通孔１５１内面に形成されためねじ部１５１ａにねじ部材１６１のおねじ部１６１ｂが螺合して押圧力を作用する構成としている。なお、上面６ｍの固定部材においてねじ部材１６１の頭部１６１ａに対応する部分には座ぐりが形成されている。
【００３０】
この押圧機構１６は、４つのねじ部材１６１により一対の固定部材１５ｍ、１５ｎを押圧固定することで、セルブロック６を上下方向から押圧する構成としている。なお、４つのねじ部材１６１は、概略矩形状をなす固定部材１５ｍ、１５ｎの四隅に設けられて、上面視において光導入面７及び光導出面８を中心に同心円状となるように設けられている。これにより、セルブロック６において少なくとも光導入面７及び光導出面８を含む部分を均一に押圧するようにしている。
【００３１】
そして、ねじ部材１６１は、セルブロック６の材質の熱膨張係数よりも小さい熱膨張係数を有する材質から形成されている。本実施形態のセルブロック６の材質はＰＴＦＥであり、その熱膨張係数は、約１０×１０−５／Ｋである。一方、本実施形態のねじ部材１６１の材質は、チタン又はチタン合金であり、その熱膨張係数は、約８〜９×１０−６／Ｋである。このようにチタンの熱膨張係数はＰＦＴＥの熱膨張係数の１／１０である。その他、セルブロック６の材質の熱膨張係数よりも小さい熱膨張係数であれば、ねじ部材１６１の材質はチタン又はチタン合金に限られない。例えばセルブロック６がＰＴＦＥ等のフッ素系樹脂であれば、鉄、ステンレス鋼、アルミニウム、アルミニウム合金、マグネシウム合金等の金属を用いることができる。なお、押圧機構１６として単一のねじ部材１６１を用いた場合には、当該ねじ部材１６１の熱膨張係数の設定、管理がしやすい。
【００３２】
また光学測定用セル２は、光導入面７及び光導出面８の間に設けられたスペーサ１７を有する。このスペーサ１７は、図４及び図５に示すように、小流路部５２を形成する内壁において大流路部５１とは反対側の内壁に形成されている。本実施形態では、図６及び図７に示すように、セルブロック６の上壁及び下壁に固定孔６Ａ、６Ｂを形成する際に、当該固定孔６Ａ、６Ｂが小流路部５２に連通するとともに、小流路部５２を形成する内壁において大流路部５１とは反対側の内壁の一部を削って所定厚みを残すことによって形成されている。つまり、平面視において固定孔６Ａ、６Ｂの一部が小流路部５２から大流路部５１とは反対側にはみ出すように形成されることでスペーサ１７が形成される。
【００３３】
そして、このスペーサ１７の対向する上下面にそれぞれ光導入面７の周端部の一部及び光導出面８の周端部の一部が接触して設けられる。つまり、光導入部材９は、その先端面である光導入面７がスペーサ１７の上面に接触することでセルブロック６内に位置決めされる。一方、光導出部材１２は、その先端面である光導出面８がスペーサ１７の下面に接触することでセルブロック６内に位置決めされる。このように本実施形態では、光導入部材９及び光導出部材１２は、スペーサ１７により対向方向に位置決めが行われる。このスペーサ１７の上下の厚みは、光導入面７及び光導出面８の距離つまりセル長を決定するものであり、本実施形態では０．６ｍｍとしている。
【００３４】
上記のように固定孔６Ａ、６Ｂ及びスペーサ１７を設けることで、光導入面７及び光導出面８が小流路部５２の内部において対向するように設けられている。このように光導入面７及び光導出面８を小流路部５２に設けることで、大流路部５１には被測定液の流れを邪魔する構造を設けないようにし、大流路部５１において被測定液を流れやすくしている。なお、配管Ｈは、図４に示すように、大流路部５１及び小流路部５２を含む流路全体の中心部分に配管Ｈの中心部分が略一致するように接続されている。
【００３５】
このように構成した光学測定用セル２によれば、セルブロック６を一対の固定部材１５ｍ、１５ｎにより対向方向から押圧しているので、セルブロック６が被測定液の温度又は周囲温度などによって加熱された場合でも、セルブロック６の対向方向への熱膨張を防ぐことができる。これにより、光導入面７及び光導出面８の距離（セル長）が拡大することを防止できる。また、光導入面７及び光導出面８の間にスペーサ１７を設けているので、セルブロック６が被測定液の温度又は周囲温度などによって冷却された場合でも、セルブロック６の対向方向への熱収縮に伴って光導入面７及び光導出面８の距離（セル長）が縮小することを防止できる。なお、スペーサ１７自体が熱収縮しても、セルブロック６全体の熱収縮に比べて小さいことから、光導入面７及び光導出面８の距離（セル長）の縮小を小さくすることができる。したがって、この光学測定用セル２を用いたオゾン濃度モニタ１００によれば、温度が変化する被測定液や光学測定用セル２の設置場所等によって温度が異なる被測定液を精度良く測定することができる。
【００３６】
また本実施形態の光学測定用セル２によれば、セルブロック６を一対の固定部材１５ｍ、１５ｎにより対向方向から押圧しているので、流路５の内部が加圧状態になった場合であっても、光導入面７及び光導出面８の距離（セル長）が拡大することを防止できる。一方、光導入面７及び光導出面８の間にスペーサ１７を設けているので、流路５の内部が負圧状態になった場合であっても、光導入面７及び光導出面８の距離（セル長）が縮小することを防止できる。
【００３７】
なお、本発明は前記実施形態に限られるものではない。例えば、前記実施形態では、セルブロックとは別体の光導入部材及び光導出部材により光導入面及び光導出面を形成しているが、光導入面及び光導出面をセルブロックの側壁に一体に形成したものであっても良い。
【００３８】
また、押圧機構の構成は前記実施形態の他に、固定部材の貫通孔にめねじ部を形成することなくナット部材を螺合させる構成としても良いし、ねじ部材の両端部に設けたおねじ部それぞれにナット部材を螺合させることで押圧するように構成しても良い。なお、前記押圧機構をねじ部材を用いて構成するものの他、セルブロックを対向方向から押圧するものであれば、その他の構成であっても良い。例えば、蝶番やパチン錠を用いて一対の固定部材を締め付けるように構成しても良い。
【００３９】
また、前記実施形態では、光導入部材及び光導出部材の位置決めを押さえ部材及びスペーサにより行っているが、光導入面及び光導出面とスペーサを非接触として押さえ部材のみにより位置決めするように構成しても良い。このときは、押さえ部材の位置決めは、光導入面及び光導出面の間に位置決め用スペーサ部材を挿入し、押さえ部材を螺合して光導入面及び光導出面を位置決め用スペーサに接触させ、その後位置決め用スペーサを取り除くことによって行う。
【００４０】
さらに、前記実施形態では、加工容易性及び加工精度の観点からスペーサを小流路部の内壁を削ることにより形成しているが、小流路部の内周面から大流路部側に突出して形成しても良い。また、光導入面又は光導出面に一体に形成しても良い。あるいは、別体として形成したスペーサを光導入面又は光導出面に接合して構成しても良い。
【００４１】
その上、光導入面及び光導出面を、大流路部及び小経路部の間において対向して設けられても良い。このように構成することで、流路全体を見たときに、光導入面及び光導出面を流路の中央部側に寄せて設けることができ、光導入面及び光導出面の間の液の置換効率を向上させることが期待できる。
【００４２】
加えて、圧力損失等の不具合を無視できる用途等においては、流路が大流路部及び小流路部を有するものでなくても良く、断面円形や矩形の流路に光導入面及び光導出面を設けるようにしても良い。
【００４３】
また、前記実施形態では、一対の固定部材を介して押圧機構による押圧力をセルブロックに作用させているが、固定部材を介することなく、直接押圧機構による押圧力をセルブロックに作用させるように構成しても良い。
【００４４】
その他、本発明は前記実施形態に限られず、その趣旨を逸脱しない範囲で種々の変形が可能であるのは言うまでもない。
【符号の説明】
【００４５】
１００・・・オゾン濃度モニタ（光学分析計）
Ｈ・・・配管
２・・・光学測定用セル
３・・・光源
４・・・光検出器
５・・・流路
５１・・・大流路部
５２・・・小流路部
６・・・セルブロック
６ｍ、６ｎ・・・一対の側面
６Ａ、６Ｂ・・・固定孔
７・・・光導入面
８・・・光導出面
９・・・光導入部材
１２・・・光導出部材
１５ｍ、１５ｎ・・・一対の固定部材
１６・・・押圧機構
１６１・・・ねじ部材
１７・・・スペーサ
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば吸光分析法等の光学測定に用いられる光学測定用セル及びこれを用いた光学分析計に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体製造装置等に用いられるオゾン（Ｏ３）を含む純水（以下、被測定液）中のオゾン濃度を測定するものとして、特許文献１や特許文献２に示すように、被測定液が流れる流路を有するセルブロックと、当該セルブロックの側壁に設けられて外部からの光を流路内に導入する光導入窓と、流路を通過した光を外部に導出するための光導出窓を備えた光学測定用セルを用いたものがある。そして、前記セルブロックは、被測定液に対する耐腐食性に優れた例えばフッ素系樹脂等の樹脂により形成されている。
【０００３】
しかしながら、この光学測定セルを用いたものでは、流路を流れる被測定液が高温の場合又は周囲温度が高温の場合などに、セルブロックが加熱されてしまい熱膨張してしまう。そうすると、セルブロックに設けられた光導入窓及び光導出窓の距離（セル長）が拡大してしまい、測定誤差を招くという問題がある。また、流路を流れる被測定液が低温の場合又は周囲温度が低温の場合などに、セルブロックが冷却されてしまい熱収縮してしまう。そうすると、セルブロックに設けられた光導入窓及び光導出窓の距離（セル長）が縮小してしまい、測定誤差を招くという問題がある。このように、従来の光学測定セルでは、被測定液の温度変化又は周囲温度の温度変化などに伴ってセル長が変化してしまい、測定誤差を招くという問題がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００２−２４３６３０号公報
【特許文献２】特開２００１−１０８６１０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
そこで本発明は、上記問題点を一挙に解決するためになされたものであり、光学測定用セルの熱膨張又は熱収縮によるセル長の拡縮を防止することをその主たる所期課題とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
すなわち本発明に係る光学測定用セルは、被測定液が流れる流路が内部に形成されたセルブロックと、前記セルブロックに設けられ、前記セルブロックの外部からの光を前記流路に導入する光導入面と、前記セルブロックにおいて前記光導入面に対向して設けられ、前記流路を通過した光を前記セルブロックの外部に導出する光導出面と、前記セルブロックを前記光導入面及び前記光導出面の対向方向から押圧する押圧機構と、前記光導入面及び前記光導出面の間に設けられたスペーサとを有することを特徴とする。
【０００７】
このようなものであれば、セルブロックを押圧機構により対向方向から押圧しているので、セルブロックが被測定液の温度又は周囲温度などによって加熱された場合でも、セルブロックの対向方向への熱膨張を防ぐことができる。これにより、光導入面及び光導出面の距離（セル長）が拡大することを防止できる。一方、光導入面及び光導出面の間にスペーサを設けているので、セルブロックが被測定液の温度又は周囲温度などによって冷却された場合でも、セルブロックの対向方向への熱収縮に伴って光導入面及び光導出面の距離（セル長）が縮小することを防止できる。なお、スペーサ自体が熱収縮しても、セルブロック全体の熱収縮に比べて小さいことから、光導入面及び光導出面の距離（セル長）の縮小を小さくすることができる。したがって、本発明によれば、温度が変化する被測定液や光学測定用セルの設置場所等によって温度が異なる被測定液を精度良く測定することができる。
【０００８】
また本発明によれば、セルブロックを押圧機構により対向方向から押圧しているので、流路内部が加圧状態になった場合であっても、光導入面及び光導出面の距離（セル長）が拡大することを防止できる。一方、光導入面及び光導出面の間にスペーサを設けているので、流路内部が負圧状態になった場合であっても、光導入面及び光導出面の距離（セル長）が縮小することを防止できる。
【０００９】
前記セルブロックにおいて、前記光導入面及び前記光導出面の対向方向に互いに向き合う一対の側面に設けられた一対の固定部材を備え、前記押圧機構が、前記一対の固定部材により前記対向方向から押圧するものであることが望ましい。これならば、押圧機構からの押圧力を固定部材を介してセルブロックの一対の側面に作用させることができ、セルブロックの対向方向への熱膨張をより一層防ぐことができる。また、流路内部が加圧状態になった場合における光導入面及び光導出面の距離（セル長）の拡大をより一層防止できる。
【００１０】
一対の固定部材を対向方向から押圧する具体的な構成としては、前記押圧機構が、一端が一方の固定部材に作用し他端が他方の固定部材に作用して、前記一対の固定部材を前記対向方向に締め付けるねじ部材を有しており、前記ねじ部材の熱膨張係数が、前記セルブロックの熱膨張係数よりも小さいことが望ましい。ここでねじ部材が固定部材に作用するとは、ねじ部材の頭部が固定部材に接触して作用することのほか、固定部材に形成しためねじ部にねじ部材のおねじ部が螺合して作用すること、又は、ねじ部材のおねじ部に螺合するナット部材を介して固定部材に作用することを含む。このようにねじ部材を用いることで押圧機構の構成を簡単にすることができる。また、ねじ部材の熱膨張係数をセルブロックの熱膨張係数よりも小さくしていることから、セルブロックの熱膨張量よりもねじ部材の熱膨張量を小さくでき、セルブロックの熱膨張を抑えることができる。
【００１１】
前記流路が、大流路部とこれに連続して並んで設けられた小流路部とを有し、前記光導入面及び前記光導出面が、前記小流路部又は前記大流路部と前記小経路部との間において対向して設けられていることが望ましい。この光学測定用セルは、例えば半導体製造装置の配管に設けられてインライン測定に用いられることから、当該光学測定用セルを設けることによる圧力損失は出来るだけ避けなければならない。ここでセルブロックの流路を大流路部と小流路部とに分けることで、配管を流れる被測定液の大部分を大流路部に流す構成とすることで、被測定液が流れやすくなり、圧力損失を防ぐことができる。また、小流路部にスペーサを設けるとともに、光導入面及び光導出面を小流路部又は大流路部と小流路部との間に設けることで、大流路部を確保しながらも、スペーサの加工容易性及び加工精度を向上することができる。
【００１２】
前記光導入面を有する光導入部材と、前記光導出面を有する光導出部材とを有し、前記光導入部材及び前記光導出部材が、前記セルブロックに設けられた固定孔に挿入されるとともに、前記固定部材に設けられた押さえ部材により位置決めされることが望ましい。これならば、光導入部材及び光導出部材が、固定部材に設けられた押さえ部材により位置決めされているので、セルブロックの熱膨張及び熱収縮に伴う光導入部材及び光導出部材の位置ずれを防止することができる。このとき、前記固定部材の熱膨張係数が、前記セルブロックの熱膨張係数よりも小さいことが望ましい。これにより光導入部材及び光導出部材を前記押さえ部材により位置決めすることによる位置ずれ防止の効果をより一層顕著にすることができる。
【００１３】
前記光導入面が先端面に形成された光導入部材と、前記光導出面が先端面に形成された光導出部材とを有し、前記光導入部材及び前記光導出部材が、前記セルブロックに設けられた固定孔に挿入されて、前記光導入面及び前記光導出面が前記スペーサに接触することで位置決めされることが望ましい。これならば、セルブロックを例えばフッ素系樹脂等の耐腐食性に優れた材料を用いることができ、光導入部材及び光導出部材を例えば紫外線の光透過率に優れた石英ガラス等の光透過率に優れた材料を用いることができる。また、光導入部材及び光導出部材を光導入面及び光導出面で位置決めしているので、セルブロックの位置決め構造を不要にすることができる。
【発明の効果】
【００１４】
このように構成した本発明によれば、光学測定用セルに押圧機構とスペーサとを設けることで、光学測定用セルの熱膨張又は熱収縮によるセル長の拡縮を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の一実施形態に係る枚葉式洗浄システムの模式的構成図。
【図２】同実施形態のオゾン濃度モニタの模式的構成図。
【図３】同実施形態の光学測定用セルの一部断面を示す斜視図。
【図４】同実施形態の光学測定用セルの流路直交方向の断面図。
【図５】同実施形態の光学測定用セルの流路方向の断面図。
【図６】同実施形態のスペーサ部分を主として示す一部断面斜視図。
【図７】同実施形態のスペーサ部分を主として示す流路方向の拡大断面図及び拡大平面図。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下に本発明に係る光学測定用セルの一実施形態について図面を参照して説明する。
【００１７】
本実施形態に係る光学測定用セル２は、例えば半導体製造プロセスにおける洗浄や酸化膜形成等に使用されるオゾン水中のオゾン濃度を測定するオゾン濃度モニタ１００に用いられるものである。
【００１８】
このオゾン濃度モニタ１００は、図１に示すように、例えば枚葉式洗浄装置に用いられるものであり、オゾン水発生装置の内部又は直後に設けられて当該オゾン水発生装置で製造されるオゾン水中のオゾン濃度や、オゾン水を例えば７０℃程度に加熱するヒータユニット（熱交換器）と処理チャンバとの間に設けられて、ヒータユニットを通過してウエハに噴き付けられる直前の高温オゾン水中のオゾン濃度を、例えばインライン測定するものである。このように本実施形態のオゾン濃度モニタ１００は、低温の被測定液及び高温の被測定液の両方のオゾン濃度が測定可能なものである。
【００１９】
そして、オゾン濃度モニタ１００は、例えば紫外線吸収法（ＵＶ吸収法）によりオゾン水中のオゾン濃度を測定するものであり、図２に示すように、配管Ｈ上に設けられて被測定液であるオゾン水が流れる光学測定用セル２と、当該光学測定用セル２に波長２５４ｎｍ又は波長３１３ｎｍの検査光を照射する例えば低圧水銀灯等の光源３と、前記光学測定用セル２を通過した透過光を検出する例えばシリコンフォトセル等の受光素子を有する光検出器４とを備える。なお、波長３１３ｎｍの光源３を用いた場合には、波長３１３ｎｍはオゾンへの吸収が少ない領域であるため、オゾン濃度変化に伴う透過光量の変化幅を抑制している。これにより、高濃度のオゾンを測定する用途において測定レンジを大きくとることができる。
【００２０】
具体的に光学測定用セル２は、図２〜図５に示すように、被測定液が流れる流路５が内部に形成されたセルブロック６と、流路５の内部に設けられて光源３からの光を流路５に導入する光導入面７と、流路５の内部において光導入面７に対向して設けられて流路５を通過した光を光検出器４に導出する光導出面８とを有する。
【００２１】
セルブロック６は、特に図３〜図５に示すように、概略直方体形状をなすものであり、前後方向に対向する２つの側面を直線状に貫通するように流路５が形成されている。このセルブロック６は、例えばポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）等のフッ素系樹脂といった耐腐食性に優れた樹脂から形成されている。なお、図４中の符号１８は、流路を流れる被測定液の温度を測定する温度センサを流路内に導入するためのガイド部材である。
【００２２】
流路５は、大流路部５１とこれに連続して並んで設けられた小流路部５２とを有する。大流路部５１は、セルブロック６に接続される配管Ｈの内径と略同一径を有する概略円形であり、配管Ｈを流れてきた被測定液の大部分をこの大流路部５１に流す構成としている。これにより、光学測定用セル２の流路５を被測定液が流れやすくして圧力損失を防いでいる。また小流路部５２には、後述するように光導入面７及び光導出面８が対向して設けられている。
【００２３】
光導入面７は、光導入部材９の先端面により形成された平面である。この光導入部材９は、石英ガラス（熱膨張係数：約１０−７／Ｋ）からなる概略円柱形状をなすものであり、具体的に等断面円形状をなすものである。また、光導入部材９の後端面は、光源３からの検査光を受光する受光面となる。そして、光導入部材９は、セルブロック６の側壁（図３等において上壁）に設けられた固定孔６Ａに挿入されることにより、セルブロック６に固定される。これにより、光導入部材９の光導入面７が流路５内に位置することになる。なお、固定孔６Ａは小流路部５２に連通して開口している。
【００２４】
また、光導入部材９の後端側とセルブロック６との間には、円環状のシール部材１０が設けられている。このシール部材１０は、固定孔６Ａの内側周面に設けられた凹溝６Ａ１に設けられており、光導入部材９が固定孔６Ａに挿入された状態で、固定リング１１が螺合されることによってシール部材１０が押圧される。凹溝６Ａ１の下面はテーパ面とされていて固定リング部材１１が螺合することによってシール部材１０が光導入部材側に押圧されるように構成されている。固定リング部材１１は、固定部材１５ｍに螺合するとともにシール部材１０に接触する第１リング部材１１１と、当該第１リング部材１１１に螺合して、光導入部材９の後端面に接触して光導入部材９をセルブロック６に位置決め固定する押さえ部材１１２を有する。この押さえ部材１１２を、第１リング部材１１１に螺合してその位置を調節することによって光導入部材９の上下方向の位置決めを行う。
【００２５】
光導出面８は、光導出部材１２の先端面により形成された平面である。この光導出部材１２は、前記光導入部材９と同様に、石英ガラスからなる円柱形状をなすものであり、具体的に等断面円形状をなすものである。また、光導出部材１２の御端面は、光検出器４に向かって透過光を発する発光面となる。そして、光導出部材１２は、セルブロック６の側壁（光導入部材９が設けられた上壁に対向する下壁）に設けられた固定孔６Ｂに挿入されることにより、セルブロック６に固定される。これにより、光導出部材１２の光導出面８が流路５内において光導入面７に対向して位置することになる。なお、固定孔６Ｂは小流路部５２に連通して開口している。
【００２６】
また、光導出部材１２の後端側とセルブロック６との間には、円環状のシール部材１３が設けられている。このシール部材１３は、固定孔６Ｂの内側周面に設けられた凹溝６Ｂ１に設けられており、光導出部材１２が固定孔６Ｂに挿入された状態で、固定リング１４が螺合されることによってシール部材１３が押圧される。凹溝６Ｂ１の上面はテーパ面とされていて固定リング部材１４が螺合されることによってシール部材１３が光導出部材側に押圧されるように構成されている。固定リング部材１４は、固定部材１５ｎに螺合するとともにシール部材１３に接触する第１リング部材１４１と、当該第１リング部材１４１に螺合して、光導出部材１２の後端面に接触して光導出部材１２をセルブロック６に位置決め固定する押さえ部材１４２を有する。この押さえ部材１４２を、第１リング部材１４１に螺合してその位置を調節することによって光導出部材１２の上下方向の位置決めを行う。
【００２７】
そして本実施形態の光学測定用セル２は、図３〜図５に示すように、セルブロック６における光導入面７及び光導出面８の対向方向に対向する一対の側面６ｍ、６ｎそれぞれに設けられた一対の固定部材１５ｍ、１５ｎと、一対の固定部材１５ｍ、１５ｎによりセルブロック６を対向方向から押圧する押圧機構１６とを備えている。本実施形態の光導入面７及び光導出面８の対向方向は、図４等に示すように上下方向であり、セルブロック６の上下方向に対向する面、つまり上面６ｍ及び下面６ｎにそれぞれ固定部材１５ｍ、１５ｎが設けられている。なお、上面６ｍ及び下面６ｎには固定部材１５ｍ、１５ｎを収容する凹部が形成されている。
【００２８】
一対の固定部材１５ｍ、１５ｎは、例えばステンレス鋼などの金属製からなる平板である。これら固定部材１５ｍ、１５ｎには、ねじ部材１６１が挿入される貫通孔１５１が形成されている。セルブロック６の上面６ｍの固定部材１５ｍは、光導入部材９（光導入面７）を覆うように設けられ、セルブロック６の下面６ｎの固定部材１５ｎは、光導出部材１２（光導出面８）を覆うように、上面６ｍの固定部材１５ｍに対向して設けられる。
【００２９】
押圧機構１６は、特に図３に示すように、一端が一方の固定部材１５ｍに作用し他端が他方の固定部材１５ｎに作用して、一対の固定部材１５ｍ、１５ｎを対向方向に締め付けるねじ部材１６１を有するものである。本実施形態では、セルブロック６の上面６ｍの固定部材１５ｍにねじ部材１６１の頭部１６１ａが接触して押圧力を作用するとともに、セルブロック６の下面６ｎの固定部材１５ｎの貫通孔１５１内面に形成されためねじ部１５１ａにねじ部材１６１のおねじ部１６１ｂが螺合して押圧力を作用する構成としている。なお、上面６ｍの固定部材においてねじ部材１６１の頭部１６１ａに対応する部分には座ぐりが形成されている。
【００３０】
この押圧機構１６は、４つのねじ部材１６１により一対の固定部材１５ｍ、１５ｎを押圧固定することで、セルブロック６を上下方向から押圧する構成としている。なお、４つのねじ部材１６１は、概略矩形状をなす固定部材１５ｍ、１５ｎの四隅に設けられて、上面視において光導入面７及び光導出面８を中心に同心円状となるように設けられている。これにより、セルブロック６において少なくとも光導入面７及び光導出面８を含む部分を均一に押圧するようにしている。
【００３１】
そして、ねじ部材１６１は、セルブロック６の材質の熱膨張係数よりも小さい熱膨張係数を有する材質から形成されている。本実施形態のセルブロック６の材質はＰＴＦＥであり、その熱膨張係数は、約１０×１０−５／Ｋである。一方、本実施形態のねじ部材１６１の材質は、チタン又はチタン合金であり、その熱膨張係数は、約８〜９×１０−６／Ｋである。このようにチタンの熱膨張係数はＰＦＴＥの熱膨張係数の１／１０である。その他、セルブロック６の材質の熱膨張係数よりも小さい熱膨張係数であれば、ねじ部材１６１の材質はチタン又はチタン合金に限られない。例えばセルブロック６がＰＴＦＥ等のフッ素系樹脂であれば、鉄、ステンレス鋼、アルミニウム、アルミニウム合金、マグネシウム合金等の金属を用いることができる。なお、押圧機構１６として単一のねじ部材１６１を用いた場合には、当該ねじ部材１６１の熱膨張係数の設定、管理がしやすい。
【００３２】
また光学測定用セル２は、光導入面７及び光導出面８の間に設けられたスペーサ１７を有する。このスペーサ１７は、図４及び図５に示すように、小流路部５２を形成する内壁において大流路部５１とは反対側の内壁に形成されている。本実施形態では、図６及び図７に示すように、セルブロック６の上壁及び下壁に固定孔６Ａ、６Ｂを形成する際に、当該固定孔６Ａ、６Ｂが小流路部５２に連通するとともに、小流路部５２を形成する内壁において大流路部５１とは反対側の内壁の一部を削って所定厚みを残すことによって形成されている。つまり、平面視において固定孔６Ａ、６Ｂの一部が小流路部５２から大流路部５１とは反対側にはみ出すように形成されることでスペーサ１７が形成される。
【００３３】
そして、このスペーサ１７の対向する上下面にそれぞれ光導入面７の周端部の一部及び光導出面８の周端部の一部が接触して設けられる。つまり、光導入部材９は、その先端面である光導入面７がスペーサ１７の上面に接触することでセルブロック６内に位置決めされる。一方、光導出部材１２は、その先端面である光導出面８がスペーサ１７の下面に接触することでセルブロック６内に位置決めされる。このように本実施形態では、光導入部材９及び光導出部材１２は、スペーサ１７により対向方向に位置決めが行われる。このスペーサ１７の上下の厚みは、光導入面７及び光導出面８の距離つまりセル長を決定するものであり、本実施形態では０．６ｍｍとしている。
【００３４】
上記のように固定孔６Ａ、６Ｂ及びスペーサ１７を設けることで、光導入面７及び光導出面８が小流路部５２の内部において対向するように設けられている。このように光導入面７及び光導出面８を小流路部５２に設けることで、大流路部５１には被測定液の流れを邪魔する構造を設けないようにし、大流路部５１において被測定液を流れやすくしている。なお、配管Ｈは、図４に示すように、大流路部５１及び小流路部５２を含む流路全体の中心部分に配管Ｈの中心部分が略一致するように接続されている。
【００３５】
このように構成した光学測定用セル２によれば、セルブロック６を一対の固定部材１５ｍ、１５ｎにより対向方向から押圧しているので、セルブロック６が被測定液の温度又は周囲温度などによって加熱された場合でも、セルブロック６の対向方向への熱膨張を防ぐことができる。これにより、光導入面７及び光導出面８の距離（セル長）が拡大することを防止できる。また、光導入面７及び光導出面８の間にスペーサ１７を設けているので、セルブロック６が被測定液の温度又は周囲温度などによって冷却された場合でも、セルブロック６の対向方向への熱収縮に伴って光導入面７及び光導出面８の距離（セル長）が縮小することを防止できる。なお、スペーサ１７自体が熱収縮しても、セルブロック６全体の熱収縮に比べて小さいことから、光導入面７及び光導出面８の距離（セル長）の縮小を小さくすることができる。したがって、この光学測定用セル２を用いたオゾン濃度モニタ１００によれば、温度が変化する被測定液や光学測定用セル２の設置場所等によって温度が異なる被測定液を精度良く測定することができる。
【００３６】
また本実施形態の光学測定用セル２によれば、セルブロック６を一対の固定部材１５ｍ、１５ｎにより対向方向から押圧しているので、流路５の内部が加圧状態になった場合であっても、光導入面７及び光導出面８の距離（セル長）が拡大することを防止できる。一方、光導入面７及び光導出面８の間にスペーサ１７を設けているので、流路５の内部が負圧状態になった場合であっても、光導入面７及び光導出面８の距離（セル長）が縮小することを防止できる。
【００３７】
なお、本発明は前記実施形態に限られるものではない。例えば、前記実施形態では、セルブロックとは別体の光導入部材及び光導出部材により光導入面及び光導出面を形成しているが、光導入面及び光導出面をセルブロックの側壁に一体に形成したものであっても良い。
【００３８】
また、押圧機構の構成は前記実施形態の他に、固定部材の貫通孔にめねじ部を形成することなくナット部材を螺合させる構成としても良いし、ねじ部材の両端部に設けたおねじ部それぞれにナット部材を螺合させることで押圧するように構成しても良い。なお、前記押圧機構をねじ部材を用いて構成するものの他、セルブロックを対向方向から押圧するものであれば、その他の構成であっても良い。例えば、蝶番やパチン錠を用いて一対の固定部材を締め付けるように構成しても良い。
【００３９】
また、前記実施形態では、光導入部材及び光導出部材の位置決めを押さえ部材及びスペーサにより行っているが、光導入面及び光導出面とスペーサを非接触として押さえ部材のみにより位置決めするように構成しても良い。このときは、押さえ部材の位置決めは、光導入面及び光導出面の間に位置決め用スペーサ部材を挿入し、押さえ部材を螺合して光導入面及び光導出面を位置決め用スペーサに接触させ、その後位置決め用スペーサを取り除くことによって行う。
【００４０】
さらに、前記実施形態では、加工容易性及び加工精度の観点からスペーサを小流路部の内壁を削ることにより形成しているが、小流路部の内周面から大流路部側に突出して形成しても良い。また、光導入面又は光導出面に一体に形成しても良い。あるいは、別体として形成したスペーサを光導入面又は光導出面に接合して構成しても良い。
【００４１】
その上、光導入面及び光導出面を、大流路部及び小経路部の間において対向して設けられても良い。このように構成することで、流路全体を見たときに、光導入面及び光導出面を流路の中央部側に寄せて設けることができ、光導入面及び光導出面の間の液の置換効率を向上させることが期待できる。
【００４２】
加えて、圧力損失等の不具合を無視できる用途等においては、流路が大流路部及び小流路部を有するものでなくても良く、断面円形や矩形の流路に光導入面及び光導出面を設けるようにしても良い。
【００４３】
また、前記実施形態では、一対の固定部材を介して押圧機構による押圧力をセルブロックに作用させているが、固定部材を介することなく、直接押圧機構による押圧力をセルブロックに作用させるように構成しても良い。
【００４４】
その他、本発明は前記実施形態に限られず、その趣旨を逸脱しない範囲で種々の変形が可能であるのは言うまでもない。
【符号の説明】
【００４５】
１００・・・オゾン濃度モニタ（光学分析計）
Ｈ・・・配管
２・・・光学測定用セル
３・・・光源
４・・・光検出器
５・・・流路
５１・・・大流路部
５２・・・小流路部
６・・・セルブロック
６ｍ、６ｎ・・・一対の側面
６Ａ、６Ｂ・・・固定孔
７・・・光導入面
８・・・光導出面
９・・・光導入部材
１２・・・光導出部材
１５ｍ、１５ｎ・・・一対の固定部材
１６・・・押圧機構
１６１・・・ねじ部材
１７・・・スペーサ
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被測定液が流れる流路が内部に形成されたセルブロックと、
前記セルブロックに設けられ、前記セルブロックの外部からの光を前記流路に導入する光導入面と、
前記セルブロックにおいて前記光導入面に対向して設けられ、前記流路を通過した光を前記セルブロックの外部に導出する光導出面と、
前記セルブロックを前記光導入面及び前記光導出面の対向方向から押圧する押圧機構と、
前記光導入面及び前記光導出面の間に設けられたスペーサとを有する光学測定用セル。
【請求項２】
前記セルブロックにおいて、前記光導入面及び前記光導出面の対向方向に互いに向き合う一対の側面に設けられた一対の固定部材を備え、
前記押圧機構が、前記一対の固定部材により前記対向方向から押圧するものである請求項１記載の光学測定用セル。
【請求項３】
前記押圧機構が、一端が一方の固定部材に作用し他端が他方の固定部材に作用して、前記一対の固定部材を前記対向方向に締め付けるねじ部材を有しており、
前記ねじ部材の熱膨張係数が、前記セルブロックの熱膨張係数よりも小さい請求項２記載の光学測定用セル。
【請求項４】
前記光導入面を有する光導入部材と、前記光導出面を有する光導出部材とを有し、
前記光導入部材及び前記光導出部材が、前記セルブロックに設けられた固定孔に挿入されるとともに、前記固定部材に設けられた押さえ部材により位置決めされる請求項２又は３記載の光学測定用セル。
【請求項５】
前記流路が、大流路部とこれに連続して並んで設けられた小流路部とを有し、
前記光導入面及び前記光導出面が、前記小流路部又は前記大流路部と前記小経路部との間において対向して設けられている請求項１又は２記載の光学測定用セル。
【請求項６】
請求項１乃至５の何れかに記載の光学測定用セルと、
前記光学測定用セルに対して光を照射する光源と、
前記光学測定用セルを透過した光を検出する光検出器とを有する光学分析計。
【請求項１】
被測定液が流れる流路が内部に形成されたセルブロックと、
前記セルブロックに設けられ、前記セルブロックの外部からの光を前記流路に導入する光導入面と、
前記セルブロックにおいて前記光導入面に対向して設けられ、前記流路を通過した光を前記セルブロックの外部に導出する光導出面と、
前記セルブロックを前記光導入面及び前記光導出面の対向方向から押圧する押圧機構と、
前記光導入面及び前記光導出面の間に設けられたスペーサとを有する光学測定用セル。
【請求項２】
前記セルブロックにおいて、前記光導入面及び前記光導出面の対向方向に互いに向き合う一対の側面に設けられた一対の固定部材を備え、
前記押圧機構が、前記一対の固定部材により前記対向方向から押圧するものである請求項１記載の光学測定用セル。
【請求項３】
前記押圧機構が、一端が一方の固定部材に作用し他端が他方の固定部材に作用して、前記一対の固定部材を前記対向方向に締め付けるねじ部材を有しており、
前記ねじ部材の熱膨張係数が、前記セルブロックの熱膨張係数よりも小さい請求項２記載の光学測定用セル。
【請求項４】
前記光導入面を有する光導入部材と、前記光導出面を有する光導出部材とを有し、
前記光導入部材及び前記光導出部材が、前記セルブロックに設けられた固定孔に挿入されるとともに、前記固定部材に設けられた押さえ部材により位置決めされる請求項２又は３記載の光学測定用セル。
【請求項５】
前記流路が、大流路部とこれに連続して並んで設けられた小流路部とを有し、
前記光導入面及び前記光導出面が、前記小流路部又は前記大流路部と前記小経路部との間において対向して設けられている請求項１又は２記載の光学測定用セル。
【請求項６】
請求項１乃至５の何れかに記載の光学測定用セルと、
前記光学測定用セルに対して光を照射する光源と、
前記光学測定用セルを透過した光を検出する光検出器とを有する光学分析計。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【公開番号】特開２０１３−２４７８０（Ｐ２０１３−２４７８０Ａ）
【公開日】平成２５年２月４日（２０１３．２．４）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−１６１３５７（Ｐ２０１１−１６１３５７）
【出願日】平成２３年７月２２日（２０１１．７．２２）
【出願人】（５９２１８７５３４）株式会社 堀場アドバンスドテクノ (26)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２５年２月４日（２０１３．２．４）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年７月２２日（２０１１．７．２２）
【出願人】（５９２１８７５３４）株式会社 堀場アドバンスドテクノ (26)
【Ｆターム（参考）】
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