処理装置
【課題】装置の大型化および複雑化や消費電力の増大などを回避しつつ検査等の処理に要求される環境を得る。
【解決手段】ＦＰＤ検査装置１は、ワークＷを搬送する搬送ステージ１４〜１６と、搬送ステージ１４〜１６上を移動するワークＷに検査ラインＬ１５（処理部）で検査する検査ユニット１０と、搬送ステージ１４〜１６と検査ユニット１０とを収容する搬送部外装１７および１９ならびに検査部外装１８と、外装（１７〜１９）内にクリーンエアを送出するＦＦＵ１０１と、ＦＦＵ１０１から送出されたクリーンエアを検査ユニット１０に導く風洞Ｃと、を備える。
【解決手段】ＦＰＤ検査装置１は、ワークＷを搬送する搬送ステージ１４〜１６と、搬送ステージ１４〜１６上を移動するワークＷに検査ラインＬ１５（処理部）で検査する検査ユニット１０と、搬送ステージ１４〜１６と検査ユニット１０とを収容する搬送部外装１７および１９ならびに検査部外装１８と、外装（１７〜１９）内にクリーンエアを送出するＦＦＵ１０１と、ＦＦＵ１０１から送出されたクリーンエアを検査ユニット１０に導く風洞Ｃと、を備える。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、処理装置に関し、特にフラットパネルディスプレイ用のガラス基板や半導体基板やプリント基板などの処理対象基板における処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
通常、フラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）基板や半導体ウエハなどの欠陥検査は、空間内のクリーン度が高い、いわゆるクリーンルーム内で行われる。一般的に、クリーンルームは、立方体をした検出空間の天井に略等間隔に配置された複数のファンフィルターユニット（Ｆａｎ Ｆｉｌｔｅｒ Ｕｎｉｔ：ＦＦＵ）を備える。このＦＦＵが送出するクリーンなエアによって検出空間内にダウンフローが形成されることで、クリーンルーム内がパーティクルなどのダストの少ないクリーンな状態に保たれる。また、たとえば以下に示す特許文献１には、床側に複数の気流調整ファンを設けることで、クリーンルーム内の気流を制御する技術が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平８−１１４３４２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記した従来のクリーンルームでは、検査等の処理に要求される環境を得るためには、検出空間全体にダウンフローを形成することで、検出空間内全体をクリーンな状態に保つ必要があった。このため、同時に複数のＦＦＵを稼働しなければならず、結果、装置の大型化および複雑化や消費電力の増大などの問題が存在した。
【０００５】
そこで本発明は、上記の問題に鑑みてなされたものであり、装置の大型化および複雑化や消費電力の増大などを回避しつつ検査等の処理に要求される環境を得ることが可能な処理装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
かかる目的を達成するために、本発明の一態様による処理装置は、対象基板を搬送する搬送ステージと、該搬送ステージ上を移動する前記対象基板に所定の処理を施す処理ユニットと、を備えた処理装置であって、前記搬送ステージと前記処理ユニットとを収容する外装と、前記外装内に集塵処理後の空気を送出する送風部と、前記送風部から送出された前記空気を前記処理ユニットに導く風洞と、を備えたことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、送風部から送出されるクリーンな空気を処理ユニット近傍に集中して流すことで特に高いクリーン度が要求される処理ユニット近傍を効率的にクリーンな状態とすることが可能となるため、装置の大型化および複雑化や消費電力の増大などを回避しつつ検査等の処理に要求される環境を得ることが可能な処理装置を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】図１は、本発明の実施の形態１によるフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）検査装置の概略構成を示す斜視図である。
【図２】図２は、本発明の実施の形態１において搬送経路上にワークが載置されていない場合のクリーンルーム内での空気の流れを示す模式図である。
【図３】図３は、本発明の実施の形態１において搬送経路上にワークが載置されている場合のクリーンルーム内での空気の流れを示す模式図である。
【図４】図４は、図１に示すＦＰＤ検査装置の搬送部外装の天井部分にスライドすることで開閉する扉を設けた場合の例を示す模式図である。
【図５】図５は、本発明の実施の形態２によるＦＰＤ検査装置の概略構成を示す模式断面図であって、本実施の形態２において上流の搬送空間から検査空間にかけての搬送経路上にワークが存在する場合のクリーンルーム内での空気の流れを示す模式図である。
【図６】図６は、本発明の実施の形態２によるＦＰＤ検査装置の概略構成を示す模式断面図であって、本実施の形態２において検査空間から下流の搬送空間にかけての搬送経路上にワークが存在する場合のクリーンルーム内での空気の流れを示す模式図である。
【図７】図７は、本発明の実施の形態３によるＦＰＤ検査装置の概略構成を示す模式断面図である。
【図８】図８は、本発明の実施の形態４によるＦＰＤ検査装置の概略構成を示す模式断面図であって、本実施の形態４において上流の搬送空間から検査空間にかけての搬送経路上にワークが存在する場合のクリーンルーム内での空気の流れを示す模式図である。
【図９】図９は、本発明の実施の形態４によるＦＰＤ検査装置の概略構成を示す模式断面図であって、本実施の形態４において検査空間から下流の搬送空間にかけての搬送経路上にワークが存在する場合のクリーンルーム内での空気の流れを示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本発明を実施するための形態を図面と共に詳細に説明する。なお、以下の説明において、各図は本発明の内容を理解でき得る程度に形状、大きさ、および位置関係を概略的に示してあるに過ぎず、従って、本発明は各図で例示された形状、大きさ、および位置関係のみに限定されるものではない。また、各図では、構成の明瞭化のため、断面におけるハッチングの一部が省略されている。さらに、後述において例示する数値は、本発明の好適な例に過ぎず、従って、本発明は例示された数値に限定されるものではない。
【００１０】
（実施の形態１）
まず、本発明の実施の形態１による処理装置について、図面を参照して詳細に説明する。なお、以下の説明では、ＦＰＤ用のガラス基板や半導体基板やプリント基板などの処理対象基板（以下、ワークという）がインライン型の検査装置を例に挙げて説明する。ただし、これに限定されず、オフライン型の検査装置であってもよい。
【００１１】
図１は、本実施の形態１によるフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）検査装置の概略構成を示す斜視図である。図１に示すように、ＦＰＤ検査装置１は、ワークを搬送する搬送ステージ１４〜１６と、搬送ステージ１４〜１６上を移動するワークの欠陥を検出する検査ユニット１０と、を備える。なお、検査ユニット１０は、たとえばワークの欠陥部分に対して行うレーザ照射修復や塗布修正等の修復ユニット、観察・画像保存する撮像ユニット、配線等の寸法測定、膜厚測定、色測定などを行う測定ユニットなどの処理を所定の位置（処理部）で施す他の処理ユニットに置き替えることもできる。すなわち、処理ユニットには、検査ユニット、修復ユニット、撮像ユニット、測定ユニット等が含まれる。
【００１２】
搬送ステージ１４〜１６は、たとえば長方形の板がワークの搬送方向Ｄと垂直な方向にすのこ状に組み合わされた構造を有する。この搬送ステージ１４〜１６を搬送方向Ｄに並べることで、ワークの搬送経路が形成される。ワークの搬送方法としては、搬送ステージに浮上プレートを設けて基板をエア浮上させるとともに基板の端部を吸着保持して搬送させる吸着搬送や、搬送ステージに複数のローラを設けてローラの回転により基板を搬送するローラ搬送等がある。
【００１３】
検査ユニット１０は、搬送ステージ１４〜１６が形成する搬送経路上に設定された検査ラインＬ１５（処理部）を通過するワークを撮像する。この検査ユニット１０によって取得された画像を解析することで、ワークに欠陥が存在するか否かを検出することができる。検査ラインＬ１５は、たとえば搬送ステージ１５に設けられる。検査ユニット１０は、検査ラインＬ１５を上方から撮像するように設けられる。本説明では、検査ユニット１０が設けられる領域を検査空間ＰＲという。また、検査空間ＰＲ以外の領域を搬送空間ＴＲという。
【００１４】
搬送ステージ１４〜１６および検査ユニット１０は、たとえば架台１１に固定される。架台１１は、たとえばブロック状の大理石やスチール材を組み合わせたフレームなど、耐震性の高い部材によって構成される。加えて、架台１１と設置面（たとえば床）との間には、たとえばスプリングや油圧ダンパなどで構成された振動吸収機構１２が設けられる。これにより、搬送ステージ１４〜１６および検査ユニット１０の振動がさらに防止される。
【００１５】
また、ＦＰＤ検査装置１は、検査空間ＰＲを囲む検査部外装１８と、上流および下流の搬送空間ＴＲをそれぞれ囲む搬送部外装１７および１９と、を備える。検査部外装１８ならびに搬送部外装１７および１９は、組み合わされることで１つの空間（クリーンルーム）を形成する。すなわち、搬送ステージと検査ユニットとを収容する外装を形成する。このクリーンルームは、ワークの搬入口および搬出口ならびに下部のダクト以外、密閉された空間である。
【００１６】
上記構成において、搬送部外装１７および１９ならびに検査部外装１８の一部は、ＦＦＵ１０１から送出されたクリーンエアを検査ユニット１０近傍および検査ラインＬ１５周辺に導く風洞Ｃを形成する。この風洞Ｃは、開口が検査ユニット１０へ向く、もしくは、検査ユニット１０の一部を上方から覆う形状であればよい。本実施の形態１では、検査部外装１８の天井を搬送部外装１７および１９の天井に対して突出させることで、検査ユニット１０の一部を上方から覆う風洞Ｃが形成されている。したがって、風洞Ｃは、搬送部外装１７および１９ならびに検査部外装１８が形成する天井における突出した部分の側壁によって構成される。また、この突出した部分、すなわち検査部外装１８の天井には、パーティクルなどのダストが除去されたクリーンな空気（以下、クリーンエアという）を送出するＦＦＵ１０１が設けられる。すなわち、ＦＦＵ１０１は、集塵処理後の空気（クリーンエア）を送出する送風部として機能する。したがって、ＦＦＵ１０１から送出されたクリーンエアは、風洞Ｃによって流れが制限されることで、検査ユニット１０に向けて集中して流れ、その後、検査ユニット１０近傍および検査ラインＬ１５周辺に集中して流れる。この結果、検査空間ＰＲの特に検査ユニット１０近傍および検査ラインＬ１５周辺を、ダストの少ないクリーンな状態とすることができる。また、検査ユニット１０近傍および検査ラインＬ１５周辺に集中して送出されたクリーンな空気は、クリーンルーム内でダウンフローを形成したのち、主に下部の排気口から排気される。
【００１７】
ここで、検査部外装１８と搬送部外装１７および１９とが形成するクリーンルーム内での空気の流れを、図面を参照して詳細に説明する。図２は、本実施の形態１において搬送経路上にワークが載置されていない場合のクリーンルーム内での空気の流れを示す模式図である。図３は、本実施の形態１において搬送経路上にワークが載置されている場合のクリーンルーム内での空気の流れを示す模式図である。
【００１８】
図２に示すように、搬送ステージ１４〜１６上にワークＷが載置されていない場合、ＦＦＵ１０１から送出されたクリーンエアは、まず、風洞Ｃによって集中的に検査ユニット１０へ流れるダウンフローＦＬ０を形成する。つづいて、クリーンエアは、検査ユニット１０を包み込むようにダウンフローＦＬ１を形成する。これにより、検査ユニット１０近傍および検査ラインＬ１５周辺にクリーンエアが行き渡り、この領域の高いクリーン度が得られる。なお、ダウンフローＦＬ１を形成するクリーンエアは、その後、すのこ状の搬送ステージ１５のすき間を抜けて、クリーンルーム内の下側へ流れ込む。また、ダウンフローＦＬ１を形成するクリーンエアの一部は、検査部外装１８内から搬送部外装１７または１９内に流れ込む。流れ込んだクリーンエアは、同じくすのこ状の搬送ステージ１４または１５および１６のすき間を抜けるダウンフローＦＬ２を形成して、クリーンルーム内の下側へ流れ込む。ダウンフローＦＬ１およびＦＬ２によってクリーンルームの下側に流れ込んだクリーンエアは、図２のダウンフローＦＬ３に示すように、その後、クリーンルーム、すなわち検査部外装１８の床面ならびに搬送部外装１７および１９の床面にそれぞれ形成されたダクトを介して外部へ排気される。ただし、クリーンエアの一部がワークＷの搬入口または搬出口から排気されるような構成であってもよい。
【００１９】
一方、図３に示すように、搬送ステージ１４〜１６上にワークＷが載置されている場合、ＦＦＵ１０１から送出されたクリーンエアは、まず、風洞Ｃによって集中的に検査ユニット１０へ流れるダウンフローＦＬ０を形成する。つづいて、クリーンエアは、検査ユニット１０を包み込むようにダウンフローＦＬ４を形成し、搬送ステージ１４〜１６上のワークＷに吹きかけられる。その後、ワークＷによって下方への流れが遮られたクリーンエアは、ワークＷの上面に沿って端部まで向かうフローＦＬ５を形成する。これにより、検査ユニット１０近傍および検査ラインＬ１５周辺だけでなく、ワークＷの上面側も、ダストの少ないクリーンな状態とすることができる。その後、ワークＷの上面に沿って流れたクリーンエアは、ワークＷの端部でワークＷの下方へ流れ込むフローＦＬ６を形成した後、図３のダウンフローＦＬ３に示すように、検査部外装１８の床面ならびに搬送部外装１７および１９の床面にそれぞれ形成されたダクトを介して外部へ排気される。
【００２０】
以上のように、本実施の形態１では、ＦＦＵ１０１から送出されたクリーンエアが特に高いクリーン度が要求される検査ユニット１０近傍および検査ラインＬ１５周辺に集中して流れるように構成される。この結果、本実施の形態１では、特に高いクリーン度が要求される領域を少ないＦＦＵ（１つのＦＦＵ）を使用して効率的にクリーンな状態とすることが可能となるため、装置の大型化および複雑化や消費電力の増大などを回避しつつ検査等に要求される環境を得ることが可能となる。
【００２１】
また、検査ユニット１０が設けられていない領域、すなわち搬送空間ＴＲでは、搬送ステージ１４〜１６上のワークＷの上面と搬送部外装１７および１９の天井との間の空間を狭くしておくことで、検査ユニット１０近傍および検査ラインＬ１５周辺に流れたクリーンエアが効率的にワークＷ上面を伝ってワークＷ端部まで流れる。この結果、搬送時の発塵などによるワークＷ表面へのダストの付着を効率的に防ぐことが可能となる。すなわち、検査ユニット１０近傍および検査ラインＬ１５周辺のみならず、ワークＷ上の空間までも効率的にクリーンな状態に保つことが可能となる。
【００２２】
また、メンテナンス時に装置内部に入るために外装部に扉を設けてもよい。この扉は、例えば搬送部外装１７および１９の天井部分を開閉可能にする扉であってもよい。図４は、図１に示すＦＰＤ検査装置の搬送部外装の天井部分にスライドすることで開閉する扉を設けた場合の例を示す模式図である。図４に示すように、搬送部外装１７の天井部分に設けられた扉は、シート状のシャッタ１１２と、シャッタ１１２を巻き取ることで収容する巻取り機構１１１と、を備える。同様に、搬送部外装１９の天井部分に設けられた扉は、シート状のシャッタ１１４と、シャッタ１１４を巻き取ることで収容する巻取り機構１１３と、を備える。巻取り機構１１１／１１３が回転することで、シャッタ１１２／１１４が搬送部外装１７／１９の天井部分を矢印Ｄ１／Ｄ２方向に移動する。これにより、搬送部外装１７／１９の天井部分が開閉される。この他、例えば、外部駆動により開閉できる構造の扉や、その他蛇腹方式や、ロール方式の扉を採用してもよい。このような構成にすることで、ゴミの除去や搬送中に破損したワークの始末等のメンテナンスが行い易くなる。
【００２３】
また、外装部の強度には、ＦＦＵ１０１が取り付けられる処理部周辺の外装部分にのみ高い強度が要求される。それ以外の外装部については、高い強度が必要とされない。すなわち、検査部外装１８に対して搬送部外装１７および１９の強度は低いものでよい。搬送部外装１７および１９に用いる材料としては、伸縮・弾性部材であってもよい。このような構成にすることで、装置の簡易化・軽量化を図ることが可能になる。
【００２４】
（実施の形態２）
つぎに、本発明の実施の形態２による検査装置について、図面を参照して詳細に説明する。なお、以下の説明において、上述の実施の形態１と同様の構成については、同一の符号を付し、重複する説明を省略する。
【００２５】
図５および図６は、本実施の形態２によるＦＰＤ検査装置の概略構成を示す模式断面図である。なお、図５では、本実施の形態２において上流の搬送空間から検査空間にかけての搬送経路上にワークが存在する場合のクリーンルーム内での空気の流れを示す。また、図６では、本実施の形態２において検査空間から下流の搬送空間にかけての搬送経路上にワークが存在する場合のクリーンルーム内での空気の流れを示す。
【００２６】
図５および図６に示すように、本実施の形態２によるＦＰＤ検査装置２は、図１〜図３に示すＦＰＤ検査装置１と同様の構成において、上流の搬送空間ＴＲにおける搬送ステージ１４下側に、クリーンルーム内のエアを能動的に外部へ排気する排気口として例えば排気ファン２１ａを備えるとともに、下流の搬送空間ＴＲにおける搬送ステージ１６下側に、クリーンルーム内のエアを能動的に外部へ排気する排気ファン２１ｂを備える。また、ＦＰＤ検査装置２は、上流の搬送空間ＴＲ側と下流の搬送空間ＴＲとのいずれの側にワークＷが存在するかを検知するセンサ２２ａおよび２２ｂを備える。
【００２７】
センサ２２ａおよび２２ｂは、たとえば光学センサまたは赤外線センサによって構成され、自身の上方にワークＷが存在するか否かを検出する。このセンサ２２ａおよび２２ｂは、ワークＷの搬送経路上であって、たとえば検査空間ＰＲもしくはＦＦＵ１０１の送風口の中心を通り且つ搬送方向Ｄと垂直な面と搬送経路との交点を中心とした点対称の位置に配置される。ただし、これに限らず、上流の搬送空間ＴＲ側と下流の搬送空間ＴＲとのいずれの側にワークＷが存在するかを検知できればよい。また、センサ２２ａおよび２２ｂの検出結果は、不図示の制御部に入力される。制御部は、入力された検出結果に基づいて、排気ファン２１ａおよび２１ｂを制御する。
【００２８】
たとえばセンサ２２ａによって上方のワークＷが検出された場合、すなわち上流の搬送空間ＴＲ側にワークＷが存在することが検出された場合、図５に示すように、制御部は、排気ファン２１ａを駆動する。これにより、ＦＦＵ１０１からダウンフローＦＬ０およびＦＬ４を形成して検査ユニット１０近傍に流れたクリーンエアが、ワークＷの上面に沿うフローＦＬ５およびワークＷの下方へ流れ込むフローＦＬ６を形成した後、排気ファン２１ａによって積極的にダウンフローＦＬ７を形成してクリーンルームから排気される。なお、この際、ワークＷが存在しない下流の搬送空間ＴＲ側の排気ファン２１ｂは、駆動されない。このため、ＦＦＵ１０１からダウンフローＦＬ０を形成して検査ユニット１０に吹きかけられたクリーンエアは、実施の形態１と同様に、すのこ状の搬送ステージ１５および１６それぞれのすき間を抜けるダウンフローＦＬ１およびＦＬ２を形成して搬送ステージ１４〜１６の下側へ流れた後、ダクトを介するダウンフローＦＬ３を形成してクリーンルームから排気される。
【００２９】
一方、センサ２２ｂによって上方のワークＷが検出された場合、すなわち下流の搬送空間ＴＲ側にワークＷが存在することが検出された場合、図６に示すように、制御部は、排気ファン２１ｂを駆動する。これにより、ＦＦＵ１０１からダウンフローＦＬ０およびＦＬ４を形成して検査ユニット１０近傍および検査ラインＬ１５周辺に流れたクリーンエアが、ワークＷの上面に沿うフローＦＬ５およびワークＷの下方へ流れ込むフローＦＬ６を形成した後、排気ファン２１ｂによって積極的にダウンフローＦＬ８を形成してクリーンルームから排気される。この際、ワークＷが存在しない上流の搬送空間ＴＲ側の排気ファン２１ａは、駆動されないため、ＦＦＵ１０１からダウンフローＦＬ０を形成して検査ユニット１０に吹きかけられたクリーンエアは、図５と同様に、すのこ状の搬送ステージ１４のすき間を抜けるダウンフローＦＬ１およびＦＬ２を形成して搬送ステージ１４〜１６の下側へ流れた後、ダクトを介するダウンフローＦＬ３を形成してクリーンルームから排気される。
【００３０】
なお、センサ２２ａとセンサ２２ｂとの間の距離は、たとえばワークＷの搬送方向Ｄにおける長さに対して長くても短くてもよい。２つのセンサ２２ａおよび２２ｂ間の距離をワークＷの搬送方向Ｄの長さよりも長くした場合、制御部は、たとえば２つのセンサ２２ａおよび２２ｂの間にワークＷが存在するのであれば、排気ファン２１ａおよび２１ｂの双方を駆動するようにしてもよい。一方、２つのセンサ２２ａおよび２２ｂ間の距離をワークＷの搬送方向Ｄの長さよりも短くした場合、制御部は、たとえば２つのセンサ２２ａよび２２ｂの双方でワークＷを検出している期間、排気ファン２１ａおよび２１ｂの双方を駆動するようにしてもよい。
【００３１】
以上のように、本実施の形態２は、排気ファン２１ａまたは２１ｂを駆動してワークＷが存在する側に多くクリーンエアを流すことが可能な構成を備える。これにより、本実施の形態２では、特に高いクリーン度が要求される検査ユニット１０近傍および検査ラインＬ１５周辺のみならず、ワークＷの位置に応じてワークＷの上面にも効率的にクリーンエアを流すことが可能となる。この結果、搬送時の発塵などによるワークＷ表面へのダストの付着を的確且つ効率的に防ぐことが可能となる。すなわち、検査ユニット１０近傍および検査ラインＬ１５周辺のみならず、ワークＷ上の空間までも的確且つ効率的にクリーンな状態に保つことが可能となる。
【００３２】
なお、上述では、２つのセンサ２２ａおよび２２ｂを用いてワークＷの存在を検出する場合を例に挙げたが、これに限定されず、たとえば不図示の位置センサによってワークＷの位置を常時監視する場合、この位置センサによって検出された位置に基づいて排気ファン２１ａおよび２１ｂを駆動するように構成してもよい。なお、上述のセンサ以外にも、ワーク搬送駆動の制御部（ＰＬＣ）からワーク位置を特定してもよい。なお、本実施の形態２の検査ユニット１０は、たとえばワークの欠陥部分に対して行うレーザ照射修復や塗布修正等の修復ユニット、観察・画像保存する撮像ユニット、配線等の寸法測定、膜厚測定、色測定などを行う測定ユニットなどの処理を所定の位置（処理部）で施す他の処理ユニットに置き替えることもできる。すなわち、処理ユニットとして検査ユニット、修復ユニット、撮像ユニット、測定ユニット等が含まれる。また、その他の構成および効果は、上述の実施の形態１と同様であるため、ここでは重複する説明を省略する。
【００３３】
（実施の形態３）
つぎに、本発明の実施の形態３による検査装置について、図面を参照して詳細に説明する。なお、以下の説明において、上述の実施の形態１と同様の構成については、同一の符号を付し、重複する説明を省略する。
【００３４】
図７は、本実施の形態３によるＦＰＤ検査装置の概略構成を示す模式断面図である。図７に示すように、本実施の形態３によるＦＰＤ検査装置３は、図１〜図３に示すＦＰＤ検査装置１と同様の構成において、検査空間ＰＲを形成する検査部外装１８が、検査部外装２８に置き替えられている。検査部外装２８は、開口が検査ユニット１０へ向く、もしくは、検査ユニット１０の一部を上方から覆う風洞Ｃ１が、クリーンエアの送出口に対して胴部がくびれた、絞り部ＣＣを備えた形状を備えている。風洞Ｃ１に絞り部ＣＣを設けることで、検査ユニット１０付近でのクリーンエアの風速を大きくすることが可能となる。これにより、検査ユニット１０近傍および検査ラインＬ１５周辺において風速の大きなダウンフローＦＬ９が形成されるため、特に高いクリーン度が要求される検査ユニット１０近傍および検査ラインＬ１５周辺を、より効率的にクリーンな状態に保つことが可能となる。なお、実施例３の検査ユニット１０は、たとえばワークの欠陥部分に対して行うレーザ照射修復や塗布修正等の修復ユニット、観察・画像保存する撮像ユニット、配線等の寸法測定、膜厚測定、色測定などを行う測定ユニットなどの処理を所定の位置で施す他の処理ユニットに置き替えることもできる。すなわち、処理ユニットとして検査ユニット、修復ユニット、撮像ユニット、測定ユニット等が含まれる。なお、その他の構成および効果は、上述の実施の形態１または２と同様であるため、ここでは重複する説明を省略する。
【００３５】
（実施の形態４）
つぎに、本発明の実施の形態４による検査装置について、図面を参照して詳細に説明する。なお、以下の説明において、上述の実施の形態１〜３のいずれかと同様の構成については、同一の符号を付し、重複する説明を省略する。
【００３６】
図８および図９は、本実施の形態４によるＦＰＤ検査装置の概略構成を示す模式断面図である。なお、図８では、本実施の形態４において上流の搬送空間から検査空間にかけての搬送経路上にワークが存在する場合のクリーンルーム内での空気の流れを示す。また、図９では、本実施の形態４において検査空間から下流の搬送空間にかけての搬送経路上にワークが存在する場合のクリーンルーム内での空気の流れを示す。
【００３７】
図８および図９に示すように、本実施の形態４によるＦＰＤ検査装置４は、図１〜図３に示すＦＰＤ検査装置１と同様の構成において、ＦＦＵ１０１から送出されたクリーンエアがダウンフローＦＬ０を形成した後に流れる導風路を選択的に制限する導風路制御弁４１ａおよび４１ｂを備える。また、ＦＰＤ検査装置４は、図５および図６に示すＦＰＤ検査装置２と同様に、上流の搬送空間ＴＲ側と下流の搬送空間ＴＲとのいずれの側にワークＷが存在するかを検知するセンサ２２ａおよび２２ｂを備える。
【００３８】
この構成において、導風路制御弁４１ａおよび４１ｂは、通常、検査部外装１８の風洞Ｃにおける内壁面に沿った位置に収容される。ここで、たとえばセンサ２２ａによって上方のワークＷが検出された場合、すなわち上流の搬送空間ＴＲ側にワークＷが存在することが検出された場合、図８に示すように、制御部は、不図示の駆動部を制御することで、下流側の導風路制御弁４１ａを制御する。これにより、ＦＦＵ１０１からダウンフローＦＬ０を形成して検査ユニット１０に吹きかけられたクリーンエアの下流への流れ込みが制限される。この結果、ＦＦＵ１０１から送出された大部分のクリーンエアが、ダウンフローＦＬ４およびフローＦＬ５を形成して上流に位置するワークＷの上面を流れた後、ワークＷの端部でワークＷの下方へ流れ込むフローＦＬ６を形成して、搬送ステージ１４〜１６の下側へ流れ込む。その後、図８のダウンフローＦＬ３に示すように、検査部外装１８の床面ならびに搬送部外装１７および１９の床面にそれぞれ形成されたダクトを介して外部へ排気される。
【００３９】
一方、たとえばセンサ２２ｂによって上方のワークＷが検出された場合、すなわち下流の搬送空間ＴＲ側にワークＷが存在することが検出された場合、図９に示すように、制御部は、不図示の駆動部を制御することで、上流側の導風路制御弁４１ｂを制御する。これにより、ＦＦＵ１０１からダウンフローＦＬ０を形成して検査ユニット１０に吹きかけられたクリーンエアの上流への流れ込みが制限される。この結果、ＦＦＵ１０１から送出された大部分のクリーンエアが、ダウンフローＦＬ４およびフローＦＬ５を形成して下流に位置するワークＷの上面を流れた後、ワークＷの端部でワークＷの下方へ流れ込むフローＦＬ６を形成して、搬送ステージ１４〜１６の下側へ流れ込む。その後、図９のダウンフローＦＬ３に示すように、検査部外装１８の床面ならびに搬送部外装１７および１９の床面にそれぞれ形成されたダクトを介して外部へ排気される。
【００４０】
以上のように、本実施の形態４は、導風路制御弁４１ａおよび４１ｂを開閉してワークＷが存在する側に多くクリーンエアを流すことが可能な構成を備える。これにより、本実施の形態４では、特に高いクリーン度が要求される検査ユニット１０近傍および検査ラインＬ１５周辺のみならず、ワークＷの位置に応じてワークＷの上面にも効率的にクリーンエアを流すことが可能となる。この結果、搬送時の発塵などによるワークＷ表面へのダストの付着を的確且つ効率的に防ぐことが可能となる。すなわち、検査ユニット１０近傍および検査ラインＬ１５周辺のみならず、ワークＷ上の空間までも的確且つ効率的にクリーンな状態に保つことが可能となる。なお、実施例４の検査ユニット１０は、たとえばワークの欠陥部分に対して行うレーザ照射修復や塗布修正等の修復ユニット、観察・画像保存する撮像ユニット、配線等の寸法測定、膜厚測定、色測定などを行う測定ユニットなどの処理を所定の位置で施す他の処理ユニットに置き替えることもできる。すなわち、処理ユニットとして検査ユニット、修復ユニット、撮像ユニット、測定ユニット等が含まれる。なお、その他の構成および効果は、上述の実施の形態１〜３のいずれかと同様であるため、ここでは重複する説明を省略する。
【００４１】
また、上記実施の形態は本発明を実施するための例にすぎず、本発明はこれらに限定されるものではなく、仕様等に応じて種々変形することは本発明の範囲内であり、更に本発明の範囲内において、他の様々な実施の形態が可能であることは上記記載から自明である。例えば各実施の形態に対して適宜例示した変形例は、他の実施の形態に対して適用することも可能であることは言うまでもない。
【符号の説明】
【００４２】
１、２、３、４ ＦＰＤ検査装置
１０ 検査ユニット
１１ 架台
１２ 振動吸収機構
１４〜１６ 搬送ステージ
１７、１９ 搬送部外装
１８、２８ 検査部外装
２１ａ、２１ｂ 排気ファン
２２ａ、２２ｂ センサ
４１ａ、４１ｂ 導風路制御弁
１０１ ＦＦＵ
１１１、１１３ シャッタ
１１２、１１４ 巻取り機構
Ｃ、Ｃ１ 風洞
ＣＣ 絞り部
Ｄ 搬送方向
ＦＬ０、ＦＬ１、ＦＬ２、ＦＬ３、ＦＬ４、ＦＬ７、ＦＬ８、ＦＬ９ ダウンフロー
ＦＬ５、ＦＬ６ フロー
Ｌ１５ 検査ライン
ＰＲ 検査空間
ＴＲ 搬送空間
Ｗ ワーク
【技術分野】
【０００１】
本発明は、処理装置に関し、特にフラットパネルディスプレイ用のガラス基板や半導体基板やプリント基板などの処理対象基板における処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
通常、フラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）基板や半導体ウエハなどの欠陥検査は、空間内のクリーン度が高い、いわゆるクリーンルーム内で行われる。一般的に、クリーンルームは、立方体をした検出空間の天井に略等間隔に配置された複数のファンフィルターユニット（Ｆａｎ Ｆｉｌｔｅｒ Ｕｎｉｔ：ＦＦＵ）を備える。このＦＦＵが送出するクリーンなエアによって検出空間内にダウンフローが形成されることで、クリーンルーム内がパーティクルなどのダストの少ないクリーンな状態に保たれる。また、たとえば以下に示す特許文献１には、床側に複数の気流調整ファンを設けることで、クリーンルーム内の気流を制御する技術が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平８−１１４３４２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記した従来のクリーンルームでは、検査等の処理に要求される環境を得るためには、検出空間全体にダウンフローを形成することで、検出空間内全体をクリーンな状態に保つ必要があった。このため、同時に複数のＦＦＵを稼働しなければならず、結果、装置の大型化および複雑化や消費電力の増大などの問題が存在した。
【０００５】
そこで本発明は、上記の問題に鑑みてなされたものであり、装置の大型化および複雑化や消費電力の増大などを回避しつつ検査等の処理に要求される環境を得ることが可能な処理装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
かかる目的を達成するために、本発明の一態様による処理装置は、対象基板を搬送する搬送ステージと、該搬送ステージ上を移動する前記対象基板に所定の処理を施す処理ユニットと、を備えた処理装置であって、前記搬送ステージと前記処理ユニットとを収容する外装と、前記外装内に集塵処理後の空気を送出する送風部と、前記送風部から送出された前記空気を前記処理ユニットに導く風洞と、を備えたことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、送風部から送出されるクリーンな空気を処理ユニット近傍に集中して流すことで特に高いクリーン度が要求される処理ユニット近傍を効率的にクリーンな状態とすることが可能となるため、装置の大型化および複雑化や消費電力の増大などを回避しつつ検査等の処理に要求される環境を得ることが可能な処理装置を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】図１は、本発明の実施の形態１によるフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）検査装置の概略構成を示す斜視図である。
【図２】図２は、本発明の実施の形態１において搬送経路上にワークが載置されていない場合のクリーンルーム内での空気の流れを示す模式図である。
【図３】図３は、本発明の実施の形態１において搬送経路上にワークが載置されている場合のクリーンルーム内での空気の流れを示す模式図である。
【図４】図４は、図１に示すＦＰＤ検査装置の搬送部外装の天井部分にスライドすることで開閉する扉を設けた場合の例を示す模式図である。
【図５】図５は、本発明の実施の形態２によるＦＰＤ検査装置の概略構成を示す模式断面図であって、本実施の形態２において上流の搬送空間から検査空間にかけての搬送経路上にワークが存在する場合のクリーンルーム内での空気の流れを示す模式図である。
【図６】図６は、本発明の実施の形態２によるＦＰＤ検査装置の概略構成を示す模式断面図であって、本実施の形態２において検査空間から下流の搬送空間にかけての搬送経路上にワークが存在する場合のクリーンルーム内での空気の流れを示す模式図である。
【図７】図７は、本発明の実施の形態３によるＦＰＤ検査装置の概略構成を示す模式断面図である。
【図８】図８は、本発明の実施の形態４によるＦＰＤ検査装置の概略構成を示す模式断面図であって、本実施の形態４において上流の搬送空間から検査空間にかけての搬送経路上にワークが存在する場合のクリーンルーム内での空気の流れを示す模式図である。
【図９】図９は、本発明の実施の形態４によるＦＰＤ検査装置の概略構成を示す模式断面図であって、本実施の形態４において検査空間から下流の搬送空間にかけての搬送経路上にワークが存在する場合のクリーンルーム内での空気の流れを示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本発明を実施するための形態を図面と共に詳細に説明する。なお、以下の説明において、各図は本発明の内容を理解でき得る程度に形状、大きさ、および位置関係を概略的に示してあるに過ぎず、従って、本発明は各図で例示された形状、大きさ、および位置関係のみに限定されるものではない。また、各図では、構成の明瞭化のため、断面におけるハッチングの一部が省略されている。さらに、後述において例示する数値は、本発明の好適な例に過ぎず、従って、本発明は例示された数値に限定されるものではない。
【００１０】
（実施の形態１）
まず、本発明の実施の形態１による処理装置について、図面を参照して詳細に説明する。なお、以下の説明では、ＦＰＤ用のガラス基板や半導体基板やプリント基板などの処理対象基板（以下、ワークという）がインライン型の検査装置を例に挙げて説明する。ただし、これに限定されず、オフライン型の検査装置であってもよい。
【００１１】
図１は、本実施の形態１によるフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）検査装置の概略構成を示す斜視図である。図１に示すように、ＦＰＤ検査装置１は、ワークを搬送する搬送ステージ１４〜１６と、搬送ステージ１４〜１６上を移動するワークの欠陥を検出する検査ユニット１０と、を備える。なお、検査ユニット１０は、たとえばワークの欠陥部分に対して行うレーザ照射修復や塗布修正等の修復ユニット、観察・画像保存する撮像ユニット、配線等の寸法測定、膜厚測定、色測定などを行う測定ユニットなどの処理を所定の位置（処理部）で施す他の処理ユニットに置き替えることもできる。すなわち、処理ユニットには、検査ユニット、修復ユニット、撮像ユニット、測定ユニット等が含まれる。
【００１２】
搬送ステージ１４〜１６は、たとえば長方形の板がワークの搬送方向Ｄと垂直な方向にすのこ状に組み合わされた構造を有する。この搬送ステージ１４〜１６を搬送方向Ｄに並べることで、ワークの搬送経路が形成される。ワークの搬送方法としては、搬送ステージに浮上プレートを設けて基板をエア浮上させるとともに基板の端部を吸着保持して搬送させる吸着搬送や、搬送ステージに複数のローラを設けてローラの回転により基板を搬送するローラ搬送等がある。
【００１３】
検査ユニット１０は、搬送ステージ１４〜１６が形成する搬送経路上に設定された検査ラインＬ１５（処理部）を通過するワークを撮像する。この検査ユニット１０によって取得された画像を解析することで、ワークに欠陥が存在するか否かを検出することができる。検査ラインＬ１５は、たとえば搬送ステージ１５に設けられる。検査ユニット１０は、検査ラインＬ１５を上方から撮像するように設けられる。本説明では、検査ユニット１０が設けられる領域を検査空間ＰＲという。また、検査空間ＰＲ以外の領域を搬送空間ＴＲという。
【００１４】
搬送ステージ１４〜１６および検査ユニット１０は、たとえば架台１１に固定される。架台１１は、たとえばブロック状の大理石やスチール材を組み合わせたフレームなど、耐震性の高い部材によって構成される。加えて、架台１１と設置面（たとえば床）との間には、たとえばスプリングや油圧ダンパなどで構成された振動吸収機構１２が設けられる。これにより、搬送ステージ１４〜１６および検査ユニット１０の振動がさらに防止される。
【００１５】
また、ＦＰＤ検査装置１は、検査空間ＰＲを囲む検査部外装１８と、上流および下流の搬送空間ＴＲをそれぞれ囲む搬送部外装１７および１９と、を備える。検査部外装１８ならびに搬送部外装１７および１９は、組み合わされることで１つの空間（クリーンルーム）を形成する。すなわち、搬送ステージと検査ユニットとを収容する外装を形成する。このクリーンルームは、ワークの搬入口および搬出口ならびに下部のダクト以外、密閉された空間である。
【００１６】
上記構成において、搬送部外装１７および１９ならびに検査部外装１８の一部は、ＦＦＵ１０１から送出されたクリーンエアを検査ユニット１０近傍および検査ラインＬ１５周辺に導く風洞Ｃを形成する。この風洞Ｃは、開口が検査ユニット１０へ向く、もしくは、検査ユニット１０の一部を上方から覆う形状であればよい。本実施の形態１では、検査部外装１８の天井を搬送部外装１７および１９の天井に対して突出させることで、検査ユニット１０の一部を上方から覆う風洞Ｃが形成されている。したがって、風洞Ｃは、搬送部外装１７および１９ならびに検査部外装１８が形成する天井における突出した部分の側壁によって構成される。また、この突出した部分、すなわち検査部外装１８の天井には、パーティクルなどのダストが除去されたクリーンな空気（以下、クリーンエアという）を送出するＦＦＵ１０１が設けられる。すなわち、ＦＦＵ１０１は、集塵処理後の空気（クリーンエア）を送出する送風部として機能する。したがって、ＦＦＵ１０１から送出されたクリーンエアは、風洞Ｃによって流れが制限されることで、検査ユニット１０に向けて集中して流れ、その後、検査ユニット１０近傍および検査ラインＬ１５周辺に集中して流れる。この結果、検査空間ＰＲの特に検査ユニット１０近傍および検査ラインＬ１５周辺を、ダストの少ないクリーンな状態とすることができる。また、検査ユニット１０近傍および検査ラインＬ１５周辺に集中して送出されたクリーンな空気は、クリーンルーム内でダウンフローを形成したのち、主に下部の排気口から排気される。
【００１７】
ここで、検査部外装１８と搬送部外装１７および１９とが形成するクリーンルーム内での空気の流れを、図面を参照して詳細に説明する。図２は、本実施の形態１において搬送経路上にワークが載置されていない場合のクリーンルーム内での空気の流れを示す模式図である。図３は、本実施の形態１において搬送経路上にワークが載置されている場合のクリーンルーム内での空気の流れを示す模式図である。
【００１８】
図２に示すように、搬送ステージ１４〜１６上にワークＷが載置されていない場合、ＦＦＵ１０１から送出されたクリーンエアは、まず、風洞Ｃによって集中的に検査ユニット１０へ流れるダウンフローＦＬ０を形成する。つづいて、クリーンエアは、検査ユニット１０を包み込むようにダウンフローＦＬ１を形成する。これにより、検査ユニット１０近傍および検査ラインＬ１５周辺にクリーンエアが行き渡り、この領域の高いクリーン度が得られる。なお、ダウンフローＦＬ１を形成するクリーンエアは、その後、すのこ状の搬送ステージ１５のすき間を抜けて、クリーンルーム内の下側へ流れ込む。また、ダウンフローＦＬ１を形成するクリーンエアの一部は、検査部外装１８内から搬送部外装１７または１９内に流れ込む。流れ込んだクリーンエアは、同じくすのこ状の搬送ステージ１４または１５および１６のすき間を抜けるダウンフローＦＬ２を形成して、クリーンルーム内の下側へ流れ込む。ダウンフローＦＬ１およびＦＬ２によってクリーンルームの下側に流れ込んだクリーンエアは、図２のダウンフローＦＬ３に示すように、その後、クリーンルーム、すなわち検査部外装１８の床面ならびに搬送部外装１７および１９の床面にそれぞれ形成されたダクトを介して外部へ排気される。ただし、クリーンエアの一部がワークＷの搬入口または搬出口から排気されるような構成であってもよい。
【００１９】
一方、図３に示すように、搬送ステージ１４〜１６上にワークＷが載置されている場合、ＦＦＵ１０１から送出されたクリーンエアは、まず、風洞Ｃによって集中的に検査ユニット１０へ流れるダウンフローＦＬ０を形成する。つづいて、クリーンエアは、検査ユニット１０を包み込むようにダウンフローＦＬ４を形成し、搬送ステージ１４〜１６上のワークＷに吹きかけられる。その後、ワークＷによって下方への流れが遮られたクリーンエアは、ワークＷの上面に沿って端部まで向かうフローＦＬ５を形成する。これにより、検査ユニット１０近傍および検査ラインＬ１５周辺だけでなく、ワークＷの上面側も、ダストの少ないクリーンな状態とすることができる。その後、ワークＷの上面に沿って流れたクリーンエアは、ワークＷの端部でワークＷの下方へ流れ込むフローＦＬ６を形成した後、図３のダウンフローＦＬ３に示すように、検査部外装１８の床面ならびに搬送部外装１７および１９の床面にそれぞれ形成されたダクトを介して外部へ排気される。
【００２０】
以上のように、本実施の形態１では、ＦＦＵ１０１から送出されたクリーンエアが特に高いクリーン度が要求される検査ユニット１０近傍および検査ラインＬ１５周辺に集中して流れるように構成される。この結果、本実施の形態１では、特に高いクリーン度が要求される領域を少ないＦＦＵ（１つのＦＦＵ）を使用して効率的にクリーンな状態とすることが可能となるため、装置の大型化および複雑化や消費電力の増大などを回避しつつ検査等に要求される環境を得ることが可能となる。
【００２１】
また、検査ユニット１０が設けられていない領域、すなわち搬送空間ＴＲでは、搬送ステージ１４〜１６上のワークＷの上面と搬送部外装１７および１９の天井との間の空間を狭くしておくことで、検査ユニット１０近傍および検査ラインＬ１５周辺に流れたクリーンエアが効率的にワークＷ上面を伝ってワークＷ端部まで流れる。この結果、搬送時の発塵などによるワークＷ表面へのダストの付着を効率的に防ぐことが可能となる。すなわち、検査ユニット１０近傍および検査ラインＬ１５周辺のみならず、ワークＷ上の空間までも効率的にクリーンな状態に保つことが可能となる。
【００２２】
また、メンテナンス時に装置内部に入るために外装部に扉を設けてもよい。この扉は、例えば搬送部外装１７および１９の天井部分を開閉可能にする扉であってもよい。図４は、図１に示すＦＰＤ検査装置の搬送部外装の天井部分にスライドすることで開閉する扉を設けた場合の例を示す模式図である。図４に示すように、搬送部外装１７の天井部分に設けられた扉は、シート状のシャッタ１１２と、シャッタ１１２を巻き取ることで収容する巻取り機構１１１と、を備える。同様に、搬送部外装１９の天井部分に設けられた扉は、シート状のシャッタ１１４と、シャッタ１１４を巻き取ることで収容する巻取り機構１１３と、を備える。巻取り機構１１１／１１３が回転することで、シャッタ１１２／１１４が搬送部外装１７／１９の天井部分を矢印Ｄ１／Ｄ２方向に移動する。これにより、搬送部外装１７／１９の天井部分が開閉される。この他、例えば、外部駆動により開閉できる構造の扉や、その他蛇腹方式や、ロール方式の扉を採用してもよい。このような構成にすることで、ゴミの除去や搬送中に破損したワークの始末等のメンテナンスが行い易くなる。
【００２３】
また、外装部の強度には、ＦＦＵ１０１が取り付けられる処理部周辺の外装部分にのみ高い強度が要求される。それ以外の外装部については、高い強度が必要とされない。すなわち、検査部外装１８に対して搬送部外装１７および１９の強度は低いものでよい。搬送部外装１７および１９に用いる材料としては、伸縮・弾性部材であってもよい。このような構成にすることで、装置の簡易化・軽量化を図ることが可能になる。
【００２４】
（実施の形態２）
つぎに、本発明の実施の形態２による検査装置について、図面を参照して詳細に説明する。なお、以下の説明において、上述の実施の形態１と同様の構成については、同一の符号を付し、重複する説明を省略する。
【００２５】
図５および図６は、本実施の形態２によるＦＰＤ検査装置の概略構成を示す模式断面図である。なお、図５では、本実施の形態２において上流の搬送空間から検査空間にかけての搬送経路上にワークが存在する場合のクリーンルーム内での空気の流れを示す。また、図６では、本実施の形態２において検査空間から下流の搬送空間にかけての搬送経路上にワークが存在する場合のクリーンルーム内での空気の流れを示す。
【００２６】
図５および図６に示すように、本実施の形態２によるＦＰＤ検査装置２は、図１〜図３に示すＦＰＤ検査装置１と同様の構成において、上流の搬送空間ＴＲにおける搬送ステージ１４下側に、クリーンルーム内のエアを能動的に外部へ排気する排気口として例えば排気ファン２１ａを備えるとともに、下流の搬送空間ＴＲにおける搬送ステージ１６下側に、クリーンルーム内のエアを能動的に外部へ排気する排気ファン２１ｂを備える。また、ＦＰＤ検査装置２は、上流の搬送空間ＴＲ側と下流の搬送空間ＴＲとのいずれの側にワークＷが存在するかを検知するセンサ２２ａおよび２２ｂを備える。
【００２７】
センサ２２ａおよび２２ｂは、たとえば光学センサまたは赤外線センサによって構成され、自身の上方にワークＷが存在するか否かを検出する。このセンサ２２ａおよび２２ｂは、ワークＷの搬送経路上であって、たとえば検査空間ＰＲもしくはＦＦＵ１０１の送風口の中心を通り且つ搬送方向Ｄと垂直な面と搬送経路との交点を中心とした点対称の位置に配置される。ただし、これに限らず、上流の搬送空間ＴＲ側と下流の搬送空間ＴＲとのいずれの側にワークＷが存在するかを検知できればよい。また、センサ２２ａおよび２２ｂの検出結果は、不図示の制御部に入力される。制御部は、入力された検出結果に基づいて、排気ファン２１ａおよび２１ｂを制御する。
【００２８】
たとえばセンサ２２ａによって上方のワークＷが検出された場合、すなわち上流の搬送空間ＴＲ側にワークＷが存在することが検出された場合、図５に示すように、制御部は、排気ファン２１ａを駆動する。これにより、ＦＦＵ１０１からダウンフローＦＬ０およびＦＬ４を形成して検査ユニット１０近傍に流れたクリーンエアが、ワークＷの上面に沿うフローＦＬ５およびワークＷの下方へ流れ込むフローＦＬ６を形成した後、排気ファン２１ａによって積極的にダウンフローＦＬ７を形成してクリーンルームから排気される。なお、この際、ワークＷが存在しない下流の搬送空間ＴＲ側の排気ファン２１ｂは、駆動されない。このため、ＦＦＵ１０１からダウンフローＦＬ０を形成して検査ユニット１０に吹きかけられたクリーンエアは、実施の形態１と同様に、すのこ状の搬送ステージ１５および１６それぞれのすき間を抜けるダウンフローＦＬ１およびＦＬ２を形成して搬送ステージ１４〜１６の下側へ流れた後、ダクトを介するダウンフローＦＬ３を形成してクリーンルームから排気される。
【００２９】
一方、センサ２２ｂによって上方のワークＷが検出された場合、すなわち下流の搬送空間ＴＲ側にワークＷが存在することが検出された場合、図６に示すように、制御部は、排気ファン２１ｂを駆動する。これにより、ＦＦＵ１０１からダウンフローＦＬ０およびＦＬ４を形成して検査ユニット１０近傍および検査ラインＬ１５周辺に流れたクリーンエアが、ワークＷの上面に沿うフローＦＬ５およびワークＷの下方へ流れ込むフローＦＬ６を形成した後、排気ファン２１ｂによって積極的にダウンフローＦＬ８を形成してクリーンルームから排気される。この際、ワークＷが存在しない上流の搬送空間ＴＲ側の排気ファン２１ａは、駆動されないため、ＦＦＵ１０１からダウンフローＦＬ０を形成して検査ユニット１０に吹きかけられたクリーンエアは、図５と同様に、すのこ状の搬送ステージ１４のすき間を抜けるダウンフローＦＬ１およびＦＬ２を形成して搬送ステージ１４〜１６の下側へ流れた後、ダクトを介するダウンフローＦＬ３を形成してクリーンルームから排気される。
【００３０】
なお、センサ２２ａとセンサ２２ｂとの間の距離は、たとえばワークＷの搬送方向Ｄにおける長さに対して長くても短くてもよい。２つのセンサ２２ａおよび２２ｂ間の距離をワークＷの搬送方向Ｄの長さよりも長くした場合、制御部は、たとえば２つのセンサ２２ａおよび２２ｂの間にワークＷが存在するのであれば、排気ファン２１ａおよび２１ｂの双方を駆動するようにしてもよい。一方、２つのセンサ２２ａおよび２２ｂ間の距離をワークＷの搬送方向Ｄの長さよりも短くした場合、制御部は、たとえば２つのセンサ２２ａよび２２ｂの双方でワークＷを検出している期間、排気ファン２１ａおよび２１ｂの双方を駆動するようにしてもよい。
【００３１】
以上のように、本実施の形態２は、排気ファン２１ａまたは２１ｂを駆動してワークＷが存在する側に多くクリーンエアを流すことが可能な構成を備える。これにより、本実施の形態２では、特に高いクリーン度が要求される検査ユニット１０近傍および検査ラインＬ１５周辺のみならず、ワークＷの位置に応じてワークＷの上面にも効率的にクリーンエアを流すことが可能となる。この結果、搬送時の発塵などによるワークＷ表面へのダストの付着を的確且つ効率的に防ぐことが可能となる。すなわち、検査ユニット１０近傍および検査ラインＬ１５周辺のみならず、ワークＷ上の空間までも的確且つ効率的にクリーンな状態に保つことが可能となる。
【００３２】
なお、上述では、２つのセンサ２２ａおよび２２ｂを用いてワークＷの存在を検出する場合を例に挙げたが、これに限定されず、たとえば不図示の位置センサによってワークＷの位置を常時監視する場合、この位置センサによって検出された位置に基づいて排気ファン２１ａおよび２１ｂを駆動するように構成してもよい。なお、上述のセンサ以外にも、ワーク搬送駆動の制御部（ＰＬＣ）からワーク位置を特定してもよい。なお、本実施の形態２の検査ユニット１０は、たとえばワークの欠陥部分に対して行うレーザ照射修復や塗布修正等の修復ユニット、観察・画像保存する撮像ユニット、配線等の寸法測定、膜厚測定、色測定などを行う測定ユニットなどの処理を所定の位置（処理部）で施す他の処理ユニットに置き替えることもできる。すなわち、処理ユニットとして検査ユニット、修復ユニット、撮像ユニット、測定ユニット等が含まれる。また、その他の構成および効果は、上述の実施の形態１と同様であるため、ここでは重複する説明を省略する。
【００３３】
（実施の形態３）
つぎに、本発明の実施の形態３による検査装置について、図面を参照して詳細に説明する。なお、以下の説明において、上述の実施の形態１と同様の構成については、同一の符号を付し、重複する説明を省略する。
【００３４】
図７は、本実施の形態３によるＦＰＤ検査装置の概略構成を示す模式断面図である。図７に示すように、本実施の形態３によるＦＰＤ検査装置３は、図１〜図３に示すＦＰＤ検査装置１と同様の構成において、検査空間ＰＲを形成する検査部外装１８が、検査部外装２８に置き替えられている。検査部外装２８は、開口が検査ユニット１０へ向く、もしくは、検査ユニット１０の一部を上方から覆う風洞Ｃ１が、クリーンエアの送出口に対して胴部がくびれた、絞り部ＣＣを備えた形状を備えている。風洞Ｃ１に絞り部ＣＣを設けることで、検査ユニット１０付近でのクリーンエアの風速を大きくすることが可能となる。これにより、検査ユニット１０近傍および検査ラインＬ１５周辺において風速の大きなダウンフローＦＬ９が形成されるため、特に高いクリーン度が要求される検査ユニット１０近傍および検査ラインＬ１５周辺を、より効率的にクリーンな状態に保つことが可能となる。なお、実施例３の検査ユニット１０は、たとえばワークの欠陥部分に対して行うレーザ照射修復や塗布修正等の修復ユニット、観察・画像保存する撮像ユニット、配線等の寸法測定、膜厚測定、色測定などを行う測定ユニットなどの処理を所定の位置で施す他の処理ユニットに置き替えることもできる。すなわち、処理ユニットとして検査ユニット、修復ユニット、撮像ユニット、測定ユニット等が含まれる。なお、その他の構成および効果は、上述の実施の形態１または２と同様であるため、ここでは重複する説明を省略する。
【００３５】
（実施の形態４）
つぎに、本発明の実施の形態４による検査装置について、図面を参照して詳細に説明する。なお、以下の説明において、上述の実施の形態１〜３のいずれかと同様の構成については、同一の符号を付し、重複する説明を省略する。
【００３６】
図８および図９は、本実施の形態４によるＦＰＤ検査装置の概略構成を示す模式断面図である。なお、図８では、本実施の形態４において上流の搬送空間から検査空間にかけての搬送経路上にワークが存在する場合のクリーンルーム内での空気の流れを示す。また、図９では、本実施の形態４において検査空間から下流の搬送空間にかけての搬送経路上にワークが存在する場合のクリーンルーム内での空気の流れを示す。
【００３７】
図８および図９に示すように、本実施の形態４によるＦＰＤ検査装置４は、図１〜図３に示すＦＰＤ検査装置１と同様の構成において、ＦＦＵ１０１から送出されたクリーンエアがダウンフローＦＬ０を形成した後に流れる導風路を選択的に制限する導風路制御弁４１ａおよび４１ｂを備える。また、ＦＰＤ検査装置４は、図５および図６に示すＦＰＤ検査装置２と同様に、上流の搬送空間ＴＲ側と下流の搬送空間ＴＲとのいずれの側にワークＷが存在するかを検知するセンサ２２ａおよび２２ｂを備える。
【００３８】
この構成において、導風路制御弁４１ａおよび４１ｂは、通常、検査部外装１８の風洞Ｃにおける内壁面に沿った位置に収容される。ここで、たとえばセンサ２２ａによって上方のワークＷが検出された場合、すなわち上流の搬送空間ＴＲ側にワークＷが存在することが検出された場合、図８に示すように、制御部は、不図示の駆動部を制御することで、下流側の導風路制御弁４１ａを制御する。これにより、ＦＦＵ１０１からダウンフローＦＬ０を形成して検査ユニット１０に吹きかけられたクリーンエアの下流への流れ込みが制限される。この結果、ＦＦＵ１０１から送出された大部分のクリーンエアが、ダウンフローＦＬ４およびフローＦＬ５を形成して上流に位置するワークＷの上面を流れた後、ワークＷの端部でワークＷの下方へ流れ込むフローＦＬ６を形成して、搬送ステージ１４〜１６の下側へ流れ込む。その後、図８のダウンフローＦＬ３に示すように、検査部外装１８の床面ならびに搬送部外装１７および１９の床面にそれぞれ形成されたダクトを介して外部へ排気される。
【００３９】
一方、たとえばセンサ２２ｂによって上方のワークＷが検出された場合、すなわち下流の搬送空間ＴＲ側にワークＷが存在することが検出された場合、図９に示すように、制御部は、不図示の駆動部を制御することで、上流側の導風路制御弁４１ｂを制御する。これにより、ＦＦＵ１０１からダウンフローＦＬ０を形成して検査ユニット１０に吹きかけられたクリーンエアの上流への流れ込みが制限される。この結果、ＦＦＵ１０１から送出された大部分のクリーンエアが、ダウンフローＦＬ４およびフローＦＬ５を形成して下流に位置するワークＷの上面を流れた後、ワークＷの端部でワークＷの下方へ流れ込むフローＦＬ６を形成して、搬送ステージ１４〜１６の下側へ流れ込む。その後、図９のダウンフローＦＬ３に示すように、検査部外装１８の床面ならびに搬送部外装１７および１９の床面にそれぞれ形成されたダクトを介して外部へ排気される。
【００４０】
以上のように、本実施の形態４は、導風路制御弁４１ａおよび４１ｂを開閉してワークＷが存在する側に多くクリーンエアを流すことが可能な構成を備える。これにより、本実施の形態４では、特に高いクリーン度が要求される検査ユニット１０近傍および検査ラインＬ１５周辺のみならず、ワークＷの位置に応じてワークＷの上面にも効率的にクリーンエアを流すことが可能となる。この結果、搬送時の発塵などによるワークＷ表面へのダストの付着を的確且つ効率的に防ぐことが可能となる。すなわち、検査ユニット１０近傍および検査ラインＬ１５周辺のみならず、ワークＷ上の空間までも的確且つ効率的にクリーンな状態に保つことが可能となる。なお、実施例４の検査ユニット１０は、たとえばワークの欠陥部分に対して行うレーザ照射修復や塗布修正等の修復ユニット、観察・画像保存する撮像ユニット、配線等の寸法測定、膜厚測定、色測定などを行う測定ユニットなどの処理を所定の位置で施す他の処理ユニットに置き替えることもできる。すなわち、処理ユニットとして検査ユニット、修復ユニット、撮像ユニット、測定ユニット等が含まれる。なお、その他の構成および効果は、上述の実施の形態１〜３のいずれかと同様であるため、ここでは重複する説明を省略する。
【００４１】
また、上記実施の形態は本発明を実施するための例にすぎず、本発明はこれらに限定されるものではなく、仕様等に応じて種々変形することは本発明の範囲内であり、更に本発明の範囲内において、他の様々な実施の形態が可能であることは上記記載から自明である。例えば各実施の形態に対して適宜例示した変形例は、他の実施の形態に対して適用することも可能であることは言うまでもない。
【符号の説明】
【００４２】
１、２、３、４ ＦＰＤ検査装置
１０ 検査ユニット
１１ 架台
１２ 振動吸収機構
１４〜１６ 搬送ステージ
１７、１９ 搬送部外装
１８、２８ 検査部外装
２１ａ、２１ｂ 排気ファン
２２ａ、２２ｂ センサ
４１ａ、４１ｂ 導風路制御弁
１０１ ＦＦＵ
１１１、１１３ シャッタ
１１２、１１４ 巻取り機構
Ｃ、Ｃ１ 風洞
ＣＣ 絞り部
Ｄ 搬送方向
ＦＬ０、ＦＬ１、ＦＬ２、ＦＬ３、ＦＬ４、ＦＬ７、ＦＬ８、ＦＬ９ ダウンフロー
ＦＬ５、ＦＬ６ フロー
Ｌ１５ 検査ライン
ＰＲ 検査空間
ＴＲ 搬送空間
Ｗ ワーク
【特許請求の範囲】
【請求項１】
対象基板を搬送する搬送ステージと、該搬送ステージ上を移動する前記対象基板に所定の処理を施す処理ユニットと、を備えた処理装置であって、
前記搬送ステージと前記処理ユニットとを収容する外装と、
前記外装内に集塵処理後の空気を送出する送風部と、
前記送風部から送出された前記空気を前記処理ユニットに導く風洞と、
を備えたことを特徴とする処理装置。
【請求項２】
前記風洞は、前記送風部から送出された前記空気を前記処理ユニットが処理を施す処理部に導くことを特徴とする請求項１に記載の処理装置。
【請求項３】
前記風洞は、前記空気の送出口が前記処理ユニットへ向く、または、前記処理ユニットの少なくとも一部を覆うことを特徴とする請求項１または２に記載の処理装置。
【請求項４】
前記風洞は、前記空気の送出口に対して胴部がくびれていることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一つに記載の処理装置。
【請求項５】
前記外装は、一部が突出した天井を備え、
前記送風部は、前記天井の前記突出した部分に設けられ、
前記風洞は、前記突出した部分の側壁によって構成されていることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一つに記載の処理装置。
【請求項６】
前記外装の内部は、前記処理ユニットが配置された検査空間と、該検査空間以外の搬送空間と、からなり、
前記突出した部分は、前記外装の前記天井のうち前記検査空間に位置する部分であることを特徴とする請求項５に記載の処理装置。
【請求項７】
前記搬送空間から前記空気を前記外装外へ排気する排気部をさらに備え、
前記排気部は、前記対象基板の少なくとも一部が前記搬送空間内に位置する場合、前記搬送空間から前記空気を排気することを特徴とする請求項６に記載の処理装置。
【請求項８】
前記送風部から送出された前記空気の流れる方向を制御する導風路制御弁をさらに備え、
前記搬送空間は、前記対象基板を前記検出空間内へ搬入する側の上流搬送空間と、前記検出空間内を通過した前記対象基板を搬出する下流搬送空間と、を含み、
前記導風路制御弁は、前記対象基板の少なくとも一部が前記上流搬送空間内に位置し且つ前記下流搬送空間内に位置しない場合、前記空気が前記上流搬送空間へ流れるように制御し、前記対象基板の少なくとも一部が前記下流搬送空間内に位置し且つ前記上流搬送空間内に位置しない場合、前記空気が前記下流搬送空間へ流れるように制御することを特徴とする請求項６に記載の処理装置。
【請求項９】
前記処理ユニットは、前記対象基板の欠陥を検査する検査ユニットであることを特徴とする請求項１〜８のいずれか一つに記載の処理装置。
【請求項１０】
前記外装の前記搬送ステージ上面部に開閉式の扉を設けたことを特徴とする請求項１に記載の処理装置。
【請求項１】
対象基板を搬送する搬送ステージと、該搬送ステージ上を移動する前記対象基板に所定の処理を施す処理ユニットと、を備えた処理装置であって、
前記搬送ステージと前記処理ユニットとを収容する外装と、
前記外装内に集塵処理後の空気を送出する送風部と、
前記送風部から送出された前記空気を前記処理ユニットに導く風洞と、
を備えたことを特徴とする処理装置。
【請求項２】
前記風洞は、前記送風部から送出された前記空気を前記処理ユニットが処理を施す処理部に導くことを特徴とする請求項１に記載の処理装置。
【請求項３】
前記風洞は、前記空気の送出口が前記処理ユニットへ向く、または、前記処理ユニットの少なくとも一部を覆うことを特徴とする請求項１または２に記載の処理装置。
【請求項４】
前記風洞は、前記空気の送出口に対して胴部がくびれていることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一つに記載の処理装置。
【請求項５】
前記外装は、一部が突出した天井を備え、
前記送風部は、前記天井の前記突出した部分に設けられ、
前記風洞は、前記突出した部分の側壁によって構成されていることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一つに記載の処理装置。
【請求項６】
前記外装の内部は、前記処理ユニットが配置された検査空間と、該検査空間以外の搬送空間と、からなり、
前記突出した部分は、前記外装の前記天井のうち前記検査空間に位置する部分であることを特徴とする請求項５に記載の処理装置。
【請求項７】
前記搬送空間から前記空気を前記外装外へ排気する排気部をさらに備え、
前記排気部は、前記対象基板の少なくとも一部が前記搬送空間内に位置する場合、前記搬送空間から前記空気を排気することを特徴とする請求項６に記載の処理装置。
【請求項８】
前記送風部から送出された前記空気の流れる方向を制御する導風路制御弁をさらに備え、
前記搬送空間は、前記対象基板を前記検出空間内へ搬入する側の上流搬送空間と、前記検出空間内を通過した前記対象基板を搬出する下流搬送空間と、を含み、
前記導風路制御弁は、前記対象基板の少なくとも一部が前記上流搬送空間内に位置し且つ前記下流搬送空間内に位置しない場合、前記空気が前記上流搬送空間へ流れるように制御し、前記対象基板の少なくとも一部が前記下流搬送空間内に位置し且つ前記上流搬送空間内に位置しない場合、前記空気が前記下流搬送空間へ流れるように制御することを特徴とする請求項６に記載の処理装置。
【請求項９】
前記処理ユニットは、前記対象基板の欠陥を検査する検査ユニットであることを特徴とする請求項１〜８のいずれか一つに記載の処理装置。
【請求項１０】
前記外装の前記搬送ステージ上面部に開閉式の扉を設けたことを特徴とする請求項１に記載の処理装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【公開番号】特開２０１１−２２０６３１（Ｐ２０１１−２２０６３１Ａ）
【公開日】平成２３年１１月４日（２０１１．１１．４）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１０−９１６０８（Ｐ２０１０−９１６０８）
【出願日】平成２２年４月１２日（２０１０．４．１２）
【出願人】（００００００３７６）オリンパス株式会社 (11,466)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２３年１１月４日（２０１１．１１．４）
【国際特許分類】
【出願日】平成２２年４月１２日（２０１０．４．１２）
【出願人】（００００００３７６）オリンパス株式会社 (11,466)
【Ｆターム（参考）】
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