分子ポンプ装置
【課題】分子ポンプとその制御装置とからなる分子ポンプ装置において、これら分子ポンプと制御装置を共に冷却できるような簡単な構造の冷却装置を持った分子ポンプ装置を提供する。
【解決手段】分子ポンプ２と制御装置３とを外側面に具備する接続装置５において互いに接続させると共に、冷却水を循環させて冷却したベース体４の上面にこれら分子ポンプ２と制御装置３とを並設し、前記ベース体４との熱交換によってこれら分子ポンプ２及び制御装置３の冷却を行なうように形成した。
【解決手段】分子ポンプ２と制御装置３とを外側面に具備する接続装置５において互いに接続させると共に、冷却水を循環させて冷却したベース体４の上面にこれら分子ポンプ２と制御装置３とを並設し、前記ベース体４との熱交換によってこれら分子ポンプ２及び制御装置３の冷却を行なうように形成した。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は半導体の製造設備等に使用される分子ポンプ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来この種のターボ分子ポンプ装置として、ロータの回転軸の軸受等の発生熱を冷却して長時間の回転を可能とするために、図５に示す如く上方のターボ分子ポンプ部ａとその下方のねじ溝ポンプ部ｂとからなる複合分子ポンプにおいて、ロータｃの回転軸ｄの軸受ｅを支持固定する内部ハウジングｆのベース部ｇに冷却水管ｈを埋設したものが知られている（例えば特許文献１参照。）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００５−３６６６５号公報（図１）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
前記分子ポンプ装置によれば、前記冷却水管ｈの冷却水によりベース部ｇと内部ハウジングｆを介して前記軸受ｅ等を冷却するようにしているが、分子ポンプと該分子ポンプを制御する制御装置とからなる分子ポンプ装置においては、前記分子ポンプと共に制御装置についても電気機器部からの発熱があるので、該制御装置も冷却する必要があり、このため分子ポンプと制御装置にそれぞれ別個に冷却手段を設けると構造が複雑となる問題点があった。
【０００５】
本発明はこのような問題点を解消し、分子ポンプと該分子ポンプの制御装置とを共通のベース体上に並べて設置して共に冷却されるように構造を簡単にした分子ポンプ装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は上記の目的を達成すべく、上面を冷却する冷却手段を具備するベース体の該上面に、分子ポンプと該分子ポンプを制御する制御装置を並設し、これら分子ポンプと制御装置をそれぞれ下面より冷却するように形成した。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、簡単な構造の冷却システムを有していて、特にクリーンルームでの使用に適した分子ポンプ装置を提供できる効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の実施例１の分子ポンプ装置の側面図である。
【図２】同上分子ポンプ装置の平面図である。
【図３】同上分子ポンプ装置の一部、ベース体の平面図である。
【図４】同上分子ポンプ装置の一部、接続装置の接続状態を示す説明図である。
【図５】従来の複合分子ポンプの一例の縦断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
本発明を実施するための形態の実施例を以下に示す。
【実施例１】
【００１０】
本発明の分子ポンプ装置の実施例１を図１乃至図４により説明する。
【００１１】
図１は本実施例の分子ポンプ装置１の側面図を示し、図２に前記分子ポンプ装置１の平面図を示す。
【００１２】
２は分子ポンプ、３は該分子ポンプ２をコントロールする制御装置、４は共通のベース体を示す。
【００１３】
該ベース体４は大小の方形を連設した形状の平板に形成され、その上面に前記分子ポンプ２と前記制御装置３とを後述する接続装置５で接続して載置固定している。
【００１４】
尚、４ａはこれら分子ポンプ２と制御装置３をベース体４に固定するためのスタッドボルトとナットを示す。
【００１５】
図３はベース体４の平面図を示し、該ベース体４は熱伝達性の良い金属、例えばアルミ合金鋳物等からなり、該ベース体４にステンレス製等の冷却液配管４ｂを鋳込んで形成しており、該冷却液配管４ｂに冷却水を流すことにより前記ベース体４の上面を常に低温に保持するようにした。
【００１６】
尚、４ｃは冷却水の供給口、４ｄは該冷却水の排出口、４ｅは前記スタッドボルト４ａを挿通する透孔を示す。
【００１７】
図４は前記接続装置５の接続状態を示す。
【００１８】
図４に示すように、前記分子ポンプ２と前記制御装置３との接続装置５は、分子ポンプ２の側部から突出する係止突部２ａと、該係止突部２ａに係合する制御装置３側の受け部３ａとからなり、これら係止突部２ａと受け部３ａとは係脱可能に形成され、更にこれら係止突部２ａ及び受け部３ａ内に電気系統のコネクタ（図示せず）を内蔵させていて、前記係止突部２ａと前記受け部３ａとが接続したときに該コネクタも接続をして、制御装置３から分子ポンプ２を駆動する電力と該分子ポンプ２を制御する制御信号とが供給されるようになっている。
【００１９】
次に本発明の分子ポンプ装置１の作動及びその効果について説明する。
【００２０】
分子ポンプ装置１は分子ポンプ２とその制御装置３とが共通のベース体４の上に設置されているので、その据え付けや運転が簡単である。
【００２１】
分子ポンプ装置１の運転中は、別に設けた冷却水供給装置より冷却水をベース体４の供給口４ｃへ供給して排出口４ｄより回収する循環により、該ベース体４を冷却する。
【００２２】
そして、冷却されるベース体４の上面に底面を接して載置固定されている分子ポンプ２及び制御装置３は、該ベース体４の熱交換によって冷却され、これら分子ポンプ２と制御装置３のオーバーヒートが防止される。
【００２３】
このように、制御装置３を空冷ではなく、ベース体４との熱交換により冷却するようにしたので、分子ポンプ装置１は無塵の環境が必要なクリーンルームで無塵の空気の供給量が少なくて済み、クリーンルームでの真空排気作業に最適となる効果を有している。
【００２４】
尚、本実施例では、円筒状の分子ポンプ２と四角形の制御装置３とが１か所の当接部を有してそこに接続装置５を設置した例を示したが、これは分子ポンプ及び制御装置の形状を変えて、両者が複数か所で当接するようにしてもよい。
【００２５】
又本実施例では、冷却液配管４ｂをベース体４に鋳込んだ例を示したが、該ベース体４に溝を形成して、該溝にステンレス製の冷却液配管４ｂを嵌め込んでもよい。
【産業上の利用可能性】
【００２６】
本発明は小型の分子ポンプを使用した真空排気装置、特にクリーンルーム内で使用される分子ポンプ装置に利用される。
【符号の説明】
【００２７】
１ 分子ポンプ装置
２ 分子ポンプ
３ 制御装置
４ ベース体
５ 接続装置
【技術分野】
【０００１】
本発明は半導体の製造設備等に使用される分子ポンプ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来この種のターボ分子ポンプ装置として、ロータの回転軸の軸受等の発生熱を冷却して長時間の回転を可能とするために、図５に示す如く上方のターボ分子ポンプ部ａとその下方のねじ溝ポンプ部ｂとからなる複合分子ポンプにおいて、ロータｃの回転軸ｄの軸受ｅを支持固定する内部ハウジングｆのベース部ｇに冷却水管ｈを埋設したものが知られている（例えば特許文献１参照。）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００５−３６６６５号公報（図１）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
前記分子ポンプ装置によれば、前記冷却水管ｈの冷却水によりベース部ｇと内部ハウジングｆを介して前記軸受ｅ等を冷却するようにしているが、分子ポンプと該分子ポンプを制御する制御装置とからなる分子ポンプ装置においては、前記分子ポンプと共に制御装置についても電気機器部からの発熱があるので、該制御装置も冷却する必要があり、このため分子ポンプと制御装置にそれぞれ別個に冷却手段を設けると構造が複雑となる問題点があった。
【０００５】
本発明はこのような問題点を解消し、分子ポンプと該分子ポンプの制御装置とを共通のベース体上に並べて設置して共に冷却されるように構造を簡単にした分子ポンプ装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は上記の目的を達成すべく、上面を冷却する冷却手段を具備するベース体の該上面に、分子ポンプと該分子ポンプを制御する制御装置を並設し、これら分子ポンプと制御装置をそれぞれ下面より冷却するように形成した。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、簡単な構造の冷却システムを有していて、特にクリーンルームでの使用に適した分子ポンプ装置を提供できる効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の実施例１の分子ポンプ装置の側面図である。
【図２】同上分子ポンプ装置の平面図である。
【図３】同上分子ポンプ装置の一部、ベース体の平面図である。
【図４】同上分子ポンプ装置の一部、接続装置の接続状態を示す説明図である。
【図５】従来の複合分子ポンプの一例の縦断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
本発明を実施するための形態の実施例を以下に示す。
【実施例１】
【００１０】
本発明の分子ポンプ装置の実施例１を図１乃至図４により説明する。
【００１１】
図１は本実施例の分子ポンプ装置１の側面図を示し、図２に前記分子ポンプ装置１の平面図を示す。
【００１２】
２は分子ポンプ、３は該分子ポンプ２をコントロールする制御装置、４は共通のベース体を示す。
【００１３】
該ベース体４は大小の方形を連設した形状の平板に形成され、その上面に前記分子ポンプ２と前記制御装置３とを後述する接続装置５で接続して載置固定している。
【００１４】
尚、４ａはこれら分子ポンプ２と制御装置３をベース体４に固定するためのスタッドボルトとナットを示す。
【００１５】
図３はベース体４の平面図を示し、該ベース体４は熱伝達性の良い金属、例えばアルミ合金鋳物等からなり、該ベース体４にステンレス製等の冷却液配管４ｂを鋳込んで形成しており、該冷却液配管４ｂに冷却水を流すことにより前記ベース体４の上面を常に低温に保持するようにした。
【００１６】
尚、４ｃは冷却水の供給口、４ｄは該冷却水の排出口、４ｅは前記スタッドボルト４ａを挿通する透孔を示す。
【００１７】
図４は前記接続装置５の接続状態を示す。
【００１８】
図４に示すように、前記分子ポンプ２と前記制御装置３との接続装置５は、分子ポンプ２の側部から突出する係止突部２ａと、該係止突部２ａに係合する制御装置３側の受け部３ａとからなり、これら係止突部２ａと受け部３ａとは係脱可能に形成され、更にこれら係止突部２ａ及び受け部３ａ内に電気系統のコネクタ（図示せず）を内蔵させていて、前記係止突部２ａと前記受け部３ａとが接続したときに該コネクタも接続をして、制御装置３から分子ポンプ２を駆動する電力と該分子ポンプ２を制御する制御信号とが供給されるようになっている。
【００１９】
次に本発明の分子ポンプ装置１の作動及びその効果について説明する。
【００２０】
分子ポンプ装置１は分子ポンプ２とその制御装置３とが共通のベース体４の上に設置されているので、その据え付けや運転が簡単である。
【００２１】
分子ポンプ装置１の運転中は、別に設けた冷却水供給装置より冷却水をベース体４の供給口４ｃへ供給して排出口４ｄより回収する循環により、該ベース体４を冷却する。
【００２２】
そして、冷却されるベース体４の上面に底面を接して載置固定されている分子ポンプ２及び制御装置３は、該ベース体４の熱交換によって冷却され、これら分子ポンプ２と制御装置３のオーバーヒートが防止される。
【００２３】
このように、制御装置３を空冷ではなく、ベース体４との熱交換により冷却するようにしたので、分子ポンプ装置１は無塵の環境が必要なクリーンルームで無塵の空気の供給量が少なくて済み、クリーンルームでの真空排気作業に最適となる効果を有している。
【００２４】
尚、本実施例では、円筒状の分子ポンプ２と四角形の制御装置３とが１か所の当接部を有してそこに接続装置５を設置した例を示したが、これは分子ポンプ及び制御装置の形状を変えて、両者が複数か所で当接するようにしてもよい。
【００２５】
又本実施例では、冷却液配管４ｂをベース体４に鋳込んだ例を示したが、該ベース体４に溝を形成して、該溝にステンレス製の冷却液配管４ｂを嵌め込んでもよい。
【産業上の利用可能性】
【００２６】
本発明は小型の分子ポンプを使用した真空排気装置、特にクリーンルーム内で使用される分子ポンプ装置に利用される。
【符号の説明】
【００２７】
１ 分子ポンプ装置
２ 分子ポンプ
３ 制御装置
４ ベース体
５ 接続装置
【特許請求の範囲】
【請求項１】
上面を冷却する冷却手段を具備するベース体の該上面に、分子ポンプと該分子ポンプを制御する制御装置を並設し、これら分子ポンプと制御装置をそれぞれ下面より冷却するように形成した分子ポンプ装置。
【請求項２】
前記分子ポンプと制御装置とが外側面において当接している請求項１に記載の分子ポンプ装置。
【請求項３】
前記分子ポンプと前記制御装置との当接部に係脱可能に係合する接続装置を具備しており、該接続装置は一方に設けた係止突部と、他方に設けた受け部とからなる請求項２に記載の分子ポンプ装置。
【請求項４】
前記係止突部と受け部とからなる接続装置に電気系統のコネクタを内蔵させて、前記係止突部と受け部とを互いに係合させたときに該コネクタも電気的に接続して、前記制御装置から前記分子ポンプを制御可能となるように形成した請求項３に記載の分子ポンプ装置。
【請求項５】
前記ベース体は、前記冷却手段のステンレス製の冷却液配管を内部に鋳込んで形成したアルミ合金鋳物からなる請求項１乃至請求項４のいずれか１に記載の分子ポンプ装置。
【請求項６】
前記ベース体を熱伝達性の良い金属により形成し、該ベース体に溝を形成して、該溝に前記冷却手段の冷却液配管を嵌め込んで形成した請求項１乃至請求項４のいずれか１に記載の分子ポンプ装置。
【請求項１】
上面を冷却する冷却手段を具備するベース体の該上面に、分子ポンプと該分子ポンプを制御する制御装置を並設し、これら分子ポンプと制御装置をそれぞれ下面より冷却するように形成した分子ポンプ装置。
【請求項２】
前記分子ポンプと制御装置とが外側面において当接している請求項１に記載の分子ポンプ装置。
【請求項３】
前記分子ポンプと前記制御装置との当接部に係脱可能に係合する接続装置を具備しており、該接続装置は一方に設けた係止突部と、他方に設けた受け部とからなる請求項２に記載の分子ポンプ装置。
【請求項４】
前記係止突部と受け部とからなる接続装置に電気系統のコネクタを内蔵させて、前記係止突部と受け部とを互いに係合させたときに該コネクタも電気的に接続して、前記制御装置から前記分子ポンプを制御可能となるように形成した請求項３に記載の分子ポンプ装置。
【請求項５】
前記ベース体は、前記冷却手段のステンレス製の冷却液配管を内部に鋳込んで形成したアルミ合金鋳物からなる請求項１乃至請求項４のいずれか１に記載の分子ポンプ装置。
【請求項６】
前記ベース体を熱伝達性の良い金属により形成し、該ベース体に溝を形成して、該溝に前記冷却手段の冷却液配管を嵌め込んで形成した請求項１乃至請求項４のいずれか１に記載の分子ポンプ装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【公開番号】特開２０１１−２７０３１（Ｐ２０１１−２７０３１Ａ）
【公開日】平成２３年２月１０日（２０１１．２．１０）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００９−１７３９１２（Ｐ２００９−１７３９１２）
【出願日】平成２１年７月２７日（２００９．７．２７）
【出願人】（０００１４９１７０）株式会社大阪真空機器製作所 (38)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２３年２月１０日（２０１１．２．１０）
【国際特許分類】
【出願日】平成２１年７月２７日（２００９．７．２７）
【出願人】（０００１４９１７０）株式会社大阪真空機器製作所 (38)
【Ｆターム（参考）】
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