分析対象物質抽出装置および表面分析方法
【課題】分析対象物質を含む被測定面から分析対象物質を抽出する抽出時間を短縮し、迅速な分析を実現する分析対象物質抽出装置を提供する。
【解決手段】分析対象物質を含む被測定面から分析対象物質を抽出する抽出液を収容するための容器と、容器に設けられた、被測定面と抽出液とを接触させるための開口部と、容器内の抽出液を循環する循環手段と容器内の抽出液を振動させる振動手段とのうち少なくとも１つと、を備える分析対象物質抽出装置である。
【解決手段】分析対象物質を含む被測定面から分析対象物質を抽出する抽出液を収容するための容器と、容器に設けられた、被測定面と抽出液とを接触させるための開口部と、容器内の抽出液を循環する循環手段と容器内の抽出液を振動させる振動手段とのうち少なくとも１つと、を備える分析対象物質抽出装置である。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、分析対象物質抽出装置および表面分析方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
物質表面の分析方法には、いろいろな方法が知られている。例えば、物質表面のイオン成分の定量方法としては、被測定物質を抽出液に浸漬させ、抽出液中に溶出してくるイオン成分をイオンクロマトグラフ法、キャピラリ電気泳動法等によって定量することが一般的に用いられている。
【０００３】
例えば、特許文献１には、周囲環境からの汚染を防止し、目的とするイオン成分の定量精度を向上させるために、抽出液を送液、回収できる注吸水口を有したカバーで平滑な試料表面を密閉し、抽出液を送液、回収する方法が提案されている。
【０００４】
特許文献２には、超純水に含まれるイオン成分など、低濃度領域での高精度の検量線の作成を行うため、標準液のゼロ水のばらつきや標準液調製時の外部汚染を低減することでｐｐｔオーダの低濃度領域の定量を行う方法が提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００１−５９８３４号公報
【特許文献２】特開平５−２２３７９７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明の課題は、分析対象物質を含む被測定面から分析対象物質を抽出する抽出時間を短縮し、迅速な分析を実現する分析対象物質抽出装置および表面分析方法を得ることである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題は、以下の本発明によって達成される。すなわち、請求項１に係る発明は、分析対象物質を含む被測定面から前記分析対象物質を抽出する抽出液を収容するための容器と、前記容器に設けられた、前記被測定面と前記抽出液とを接触させるための開口部と、前記容器内の抽出液を循環する循環手段と前記容器内の抽出液を振動させる振動手段とのうち少なくとも１つと、を備える分析対象物質抽出装置である。
【０００８】
請求項２に係る発明は、前記容器が樹脂素材を含んで構成される請求項１に記載の分析対象物質抽出装置である。
【０００９】
請求項３に係る発明は、前記循環手段が、抽出液循環流路と、抽出液送液回収流路と、前記抽出液循環流路と前記抽出液送液回収流路とを切り替える流路切り替え手段と、を備える請求項１または２に記載の分析対象物質抽出装置である。
【００１０】
請求項４に係る発明は、分析対象物質を含む被測定面を、開口部を有する容器により前記開口部を前記被測定面に対向させて覆う覆い工程と、前記容器内に前記分析対象物質を抽出する抽出液を送液する抽出液送液工程と、前記抽出液を前記容器内に循環させる方法または前記抽出液を前記容器内で振動させる方法のうちの少なくとも１つにより、前記開口部を通して前記分析対象物質を抽出する抽出工程と、前記抽出液を回収する抽出液回収工程と、前記回収された回収液に含まれる分析対象物質を分析する分析工程と、を含む表面分析方法である。
【００１１】
請求項５に係る発明は、前記分析対象物質が、前記被測定面に付着している陽イオン、陰イオン、有機酸類、アミン類からなる群から選択される少なくとも１つである請求項４に記載の表面分析方法である。
【００１２】
請求項６に係る発明は、前記分析が、イオンクロマトグラフ法およびキャピラリ電気泳動法のうちの少なくとも１つである請求項４または５に記載の表面分析方法である。
【００１３】
請求項７に係る発明は、前記被測定面が、平滑な平面および平滑な曲面のうちの少なくとも１つである請求項４〜６のいずれか１項に記載の表面分析方法である。
【００１４】
請求項８に係る発明は、前記被測定面が、電子工業分野で使用される装置部品表面および原材料表面のうちの少なくとも１つである請求項４〜７のいずれか１項に記載の表面分析方法である。
【発明の効果】
【００１５】
本発明の請求項１によると、容器内の抽出液を循環する循環手段と容器内の抽出液を振動させる振動手段とのうち少なくとも１つを備えない場合に比較すると、分析対象物質を含む被測定面から分析対象物質を抽出する抽出時間を短縮し、迅速な分析を実現する分析対象物質抽出装置を提供する。
【００１６】
本発明の請求項２によると、容器が樹脂素材を含んで構成されない場合に比較すると、分析する被測定物質の形状の制限が少ない分析対象物質抽出装置を提供する。
【００１７】
本発明の請求項３によると、循環手段が、抽出液循環流路と、抽出液送液回収流路と、抽出液循環流路と抽出液送液回収流路とを切り替える流路切り替え手段とを備えない場合に比較すると、迅速な分析を実現する分析対象物質抽出装置を提供する。
【００１８】
本発明の請求項４によると、抽出液を容器内に循環させる方法または抽出液を容器内で振動させる方法のうちの少なくとも１つにより分析対象物質を抽出する抽出工程を含まない場合に比較すると、分析対象物質を含む被測定面から分析対象物質を抽出する抽出時間を短縮し、迅速な分析を実現する表面分析方法を提供する。
【００１９】
本発明の請求項５によると、分析対象物質が被測定面に付着している陽イオン、陰イオン、有機酸類、アミン類からなる群から選択される少なくとも１つである場合に好適に用いられる表面分析方法を提供する。
【００２０】
本発明の請求項６によると、分析がイオンクロマトグラフ法およびキャピラリ電気泳動法のうちの少なくとも１つである場合に好適に用いられる表面分析方法を提供する。
【００２１】
本発明の請求項７によると、被測定面が平滑な平面および平滑な曲面のうちの少なくとも１つである場合に好適に用いられる表面分析方法を提供する。
【００２２】
本発明の請求項８によると、被測定面が電子工業分野で使用される装置部品表面および原材料表面のうちの少なくとも１つである場合に好適に用いられる表面分析方法を提供する。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】（ａ）本発明の実施形態に係る分析対象物質抽出装置の構成の一例を示す概略上面図である。（ｂ）図１（ａ）におけるＡ−Ａ’断面図である。
【図２】（ａ）本発明の実施形態に係る分析対象物質抽出装置の構成の他の例を示す概略上面図である。（ｂ）図２（ａ）におけるＡ−Ａ’断面図である。
【図３】（ａ）本発明の実施形態に係る分析対象物質抽出装置の構成の他の例を示す概略上面図である。（ｂ）図３（ａ）におけるＡ−Ａ’断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
本発明の実施の形態について以下説明する。本実施形態は本発明を実施する一例であって、本発明は本実施形態に限定されるものではない。
【００２５】
図１（ａ）は、本発明の実施形態に係る分析対象物質抽出装置の構成の一例を示す概略上面図であり、図１（ｂ）は、図１（ａ）におけるＡ−Ａ’断面図である。図１の分析対象物質抽出装置１は、開口部２０を有する容器１０と、容器１０内の抽出液を振動させる振動手段である振動装置１２とを備える。容器１０には、容器１０内へ抽出液を送液する抽出液送液手段である抽出液送液流路１４と、容器１０内から抽出液を回収する抽出液回収手段である抽出液回収流路１６とが接続されており、抽出液送液流路１４にはポンプ１８が接続されている。また、容器１０の外側面には、振動装置１２が設置されている。図１の分析対象物質抽出装置１において、容器１０は、開口部２０を有し、抽出液送液流路１４と抽出液回収流路１６とが接続されているが、それ以外は密閉された構造を有している。
【００２６】
図１の分析対象物質抽出装置１を用いた表面分析方法について説明する。まず、分析対象物質を含む被測定面２４を有する被測定物質２２を、開口部２０を有する容器１０により、開口部２０を被測定面２４に対向させて覆う（覆い工程）。容器１０は密着面２６を有し、密着面２６により被測定面２４と密着され、被測定面２４の少なくとも一部は周囲環境からの汚染が防止される。
【００２７】
次に、容器１０内に分析対象物質を抽出する抽出液を送液する（抽出液送液工程）。例えば、抽出液は、図示しない抽出液タンクからポンプ１８により抽出液送液流路１４を通って送液される。
【００２８】
容器１０内を抽出液で満たした後、容器１０内の抽出液を振動装置１２により振動させて、開口部２０を通して被測定面２４から分析対象物質を抽出する（抽出工程）。抽出工程において、容器１０内に予め定めた量の抽出液を充填した後、振動装置１２により容器１０を振動させて分析対象物質を抽出する。また、後述するように、容器１０内の抽出液を循環しながら、振動装置１２により振動させて分析対象物質を抽出してもよい。
【００２９】
抽出工程の後、容器１０内の抽出液を回収する（抽出液回収工程）。例えば、抽出液は、ポンプ１８により抽出液回収流路１６を通って回収される。
【００３０】
抽出液回収工程の後、回収された回収液に含まれる分析対象物質を分析する（分析工程）。本装置および本方法により、サンプリングするための容器１０に、振動装置１２を設置したことにより、抽出液に振動が与えられて効率的な抽出操作が行われ、抽出時間が短縮され、迅速な分析が実現される。また、本装置および本方法により、被測定物質の表面に付着した分析対象物質に対する、周囲環境からの汚染が防止され、目的とする分析対象物質の正確な定量が行われる。あらかじめユニット化された抽出装置を用いることで、装置の構成時間の短縮と繰り返し再現性が確保される。また、被測定物質２２を全て抽出液中に浸漬させてしまうこともなく、任意の被測定面２４における分析対象物質の定量が行われる。さらに、被測定物質２２の表面と裏面の両面から等、被測定物質２２の表面全体の分析対象物質の総和として定量されることもない。
【００３１】
図２（ａ）は、本発明の実施形態に係る分析対象物質抽出装置の構成の他の例を示す概略上面図であり、図２（ｂ）は、図２（ａ）におけるＡ−Ａ’断面図である。図２の分析対象物質抽出装置１は、開口部２０を有する容器１０と、容器１０内の抽出液を循環させる循環手段である抽出液循環流路２８と、抽出液送液回収流路３０とを備える。容器１０には、抽出液循環流路２８が接続されており、抽出液循環流路２８の任意の場所にはポンプ１８が接続され、ポンプ１８には、抽出液送液回収流路３０が接続されている。図２の分析対象物質抽出装置１において、容器１０は、開口部２０を有し、抽出液循環流路２８が接続されているが、それ以外は密閉された構造を有している。
【００３２】
図２の分析対象物質抽出装置１を用いた表面分析方法について説明する。まず、分析対象物質を含む被測定面２４を有する被測定物質２２を、開口部２０を有する容器１０により、開口部２０を被測定面２４に対向させて覆う（覆い工程）。容器１０は、密着面２６を有し、密着面２６により被測定面２４と密着され、被測定面２４は、周囲環境からの汚染が防止される。
【００３３】
次に、容器１０内に分析対象物質を抽出する抽出液を送液する（抽出液送液工程）。例えば、抽出液は、図示しない抽出液タンクからポンプ１８により抽出液送液回収流路３０を通って送液される。
【００３４】
容器１０内を抽出液で満たした後、ポンプ１８等の流路を切り替えて、容器１０内の抽出液を循環させて、開口部２０を通して被測定面２４から分析対象物質を抽出する（抽出工程）。
【００３５】
抽出工程の後、容器１０内の抽出液を回収する（抽出液回収工程）。例えば、抽出液は、ポンプ１８等の流路を切り替えて、ポンプ１８により抽出液送液回収流路３０を通って回収される。
【００３６】
抽出液回収工程の後、回収された回収液に含まれる分析対象物質を分析する（分析工程）。本装置および本方法により、サンプリングするための容器１０に、抽出液を循環させるための抽出液送液流路２８を設置したことにより、抽出液が静止した状態で抽出するよりも効率的に分析対象物質が抽出され、効率的な抽出操作が行われ、抽出時間が短縮され、迅速な分析が実現される。
【００３７】
図３（ａ）は、本発明の実施形態に係る分析対象物質抽出装置の構成の一例を示す概略上面図であり、図３（ｂ）は、図３（ａ）におけるＡ−Ａ’断面図である。図３の分析対象物質抽出装置１は、開口部２０を有する容器１０と、容器１０内の抽出液を振動させる振動手段である振動装置１２と、容器１０内の抽出液を循環させる循環手段である抽出液循環流路２８と、抽出液送液回収流路３０とを備える。容器１０には、抽出液循環流路２８が接続されており、抽出液循環流路２８の任意の場所にはポンプ１８が接続され、ポンプ１８には、抽出液送液回収流路３０が接続されている。また、容器１０の外側面には、振動装置１２が設置されている。図３の分析対象物質抽出装置１において、容器１０は、開口部２０を有し、抽出液循環流路２８が接続されているが、それ以外は密閉された構造を有している。
【００３８】
図３の分析対象物質抽出装置１を用いた表面分析方法について説明する。まず、分析対象物質を含む被測定面２４を有する被測定物質２２を、開口部２０を有する容器１０により、開口部２０を被測定面２４に対向させて覆う（覆い工程）。容器１０は、密着面２６を有し、密着面２６により被測定面２４と密着され、被測定面２４は、周囲環境からの汚染が防止される。
【００３９】
次に、容器１０内に分析対象物質を抽出する抽出液を送液する（抽出液送液工程）。例えば、抽出液は、図示しない抽出液タンクからポンプ１８により抽出液送液回収流路３０を通って送液される。
【００４０】
容器１０内を抽出液で満たした後、ポンプ１８等の流路を切り替えて、容器１０内の抽出液を循環させて、かつ容器１０内で振動装置１２により振動させて、開口部２０を通して被測定面２４から分析対象物質を抽出する（抽出工程）。
【００４１】
抽出工程の後、容器１０内の抽出液を回収する（抽出液回収工程）。例えば、抽出液は、ポンプ１８等の流路を切り替えて、ポンプ１８により抽出液送液回収流路３０を通って回収される。
【００４２】
抽出液回収工程の後、回収された回収液に含まれる分析対象物質を分析する（分析工程）。本装置および本方法により、サンプリングするための容器１０に、抽出液を循環させるための抽出液送液流路２８と抽出液を振動させるための振動装置１２とを設置したことにより、抽出液が静止した状態で抽出するよりも効率的に分析対象物質が抽出され、かつ振動が与えられるため、より効率的な抽出操作が行われ、抽出時間がより短縮され、より迅速な分析が実現される。
【００４３】
本実施形態における被測定物質２２としては、特に制限はないが、例えば、電子工業分野で使用される装置部品、原材料、ウェーハ等である。被測定面２４は、特に制限はないが、例えば、電子工業分野で使用される装置部品表面、原材料表面、ウェーハ表面等である。本装置および本方法は、これらのうち、被測定面に存在している物質のみを測定する点等から、被測定面２４が電子工業分野で使用される装置部品表面および原材料表面のうちの少なくとも１つである場合に好ましく用いられる。本装置および本方法は、例えば、電子写真用感光体の表面分析、液晶表示装置、有機ＥＬ素子、半導体等の電子デバイスの表面分析等に好ましく用いられる。
【００４４】
被測定面２４の形状としては、特に制限はないが、例えば、平滑な平面、平滑な曲面等である。本装置および本方法は、これらのうち、接触面積を多く確保する点等から、平滑な平面および平滑な曲面のうちの少なくとも１つである場合に好ましく用いられる。本装置および本方法によれば、被測定面２４が曲面であっても容易に測定が行われる。
【００４５】
本実施形態における分析対象物質としては、特に制限はないが、例えば、被測定面２４に付着している陽イオン、陰イオン、有機酸類、アミン類からなる群から選択される少なくとも１つである。本装置および本方法は、これらのうち、対象物質の定性、定量性等から、被測定面２４に付着している陽イオン、陰イオン、有機酸類、アミン類からなる群から選択される少なくとも１つである場合に好ましく用いられる。
【００４６】
分析対象物質の分析方法としては、特に制限はないが、例えば、イオンクロマトグラフ法、キャピラリ電気泳動法、液体クロマトグラフ法等である。本装置および本方法は、これらのうち、分析対象物質としてイオン成分を扱うことが多い点等から、イオンクロマトグラフ法、キャピラリ電気泳動法に好ましく用いられる。
【００４７】
容器１０の材質は、容器からの汚染を防ぐ必要があるため、樹脂が好ましく、樹脂の中でもポリエチレンやポリプロピレン、テフロン（登録商標）等を含んで構成されることがより好ましい。また、これらの樹脂でコートしたＳＵＳ等の金属製のものを用いてもよい。容器１０が、柔軟性を有する樹脂を含んで構成されていると、容易に変形され、密着面２６も変形する。したがって、表面が平坦な平面だけでなく、電子写真感光体のような表面が曲面であるような対象曲面にも密着させて抽出作業が行われるため、分析対象となる被測定物質２２の形状の制限があまりない。
【００４８】
容器１０は、密着面２６に密着性の高い素材を用いる方法、密着面２６に吸盤を設ける方法、発泡性材料、樹脂等のシール材を介する方法等により被測定面２４へ密着させてもよいし、被測定物質２２の任意の被測定面２４にクランプ、もしくは手によって容器１０を押圧し、被測定面２４へ密着させて、外部環境から切り離して汚染を防止してもよい。被測定物質２２の任意の被測定面２４との密着性がよいと、分析対象物質の抽出する方向が従来の鉛直方向に限定されず、全方位で抽出される。また、抽出液送液流路１４、抽出液回収流路１６、抽出液送液回収流路３０を伸ばすことで、容器１０を例えば聴診器のように抽出、測定したい場所に密着させてもよい。
【００４９】
容器１０の開口部２０の形状は、特に制限はなく、例えば、四角形状、円形状等が挙げられる。端部での分析対象物質等の付着が少ない等の点で角部を有さない円形状が好ましい。
【００５０】
振動装置１２としては、直接的または間接的に容器１０内の抽出液を振動させるものであればよく、特に制限はないが、例えば、超音波振動装置、振盪器等を用いればよい。振動装置１２の設置位置は、直接的または間接的に容器１０内の抽出液を振動させるように設置すればよく、特に制限はないが、振動装置１２の方式等に応じて決めればよい。振動装置１２が超音波振動装置等の場合は、例えば、容器１０の外側面に設置すればよい。
【００５１】
抽出液を送液、回収、循環させるための抽出液送液流路１４、抽出液回収流路１６、抽出液循環流路２８、抽出液送液回収流路３０の材質は、汚染防止等のため、樹脂等が挙げられる。これらのうち、フレキシブルなテフロン（登録商標）製等の樹脂製のチューブであることが好ましい。また、これらの流路は、容器１０、ポンプ１８等と自由に着脱されるように接続されることが好ましい。
【００５２】
図２，図３の分析対象物質抽出装置において、抽出液循環流路２８と抽出液送液回収流路３０とを切り替える流路切り替え手段を備えることが好ましい。例えば、ポンプ１８に、抽出液送液流路２８と抽出液送液回収流路３０とを切り替えるスイッチを具備すればよく、容器１０内に抽出液を送液し、循環させ、分析を行うために抽出液を回収することがスイッチ１つで切り替えられるようにしてもよい。流路切り替え手段として、バルブ等を別途設けてもよい。
【００５３】
本実施形態に係る分析対象物質抽出装置は、容器１０の構成に対して、部品を個別ではなく一体化してもよい。これにより、測定ごとに容器１０を構成する時間が必ずしも必要なく、繰り返し再現性が向上する。
【００５４】
本実施形態に係る分析対象物質抽出装置は、ポータブル化することで、聴診器のように容器１０を扱うことにより、分析対象物質を抽出する場所の自由度が上がり、鉛直方向だけに限定されずに全方位で抽出作業が行われる。
【実施例】
【００５５】
以下、実施例および比較例を挙げ、本発明をより具体的に詳細に説明するが、本発明は、以下の実施例に限定されるものではない。
【００５６】
＜実施例１＞
曲面（８４φ）のアルミニウム素管上に形成された表面が光電導層から構成された誘電体の縦２０ｍｍ、横が４００ｍｍの領域に放電テスト装置で６０分間放電を行い、放電により発生したイオン性生成物を表面に付着させたものを被測定物質とした。この被測定物質に対して、放電テスト装置からはずすことなく、図３に示す抽出装置を用いて、前述した領域の表面を容器１０（２０ｍｍ×１００ｍｍの開口部２０を有する）の密着面２６と手で押さえつけることによって密着させた。容器１０としてはポリテトラフルオロエチレン樹脂製のものやポリテトラフルオロエチレン樹脂コートしたＳＵＳ等の金属性のもの（大きさ３０ｍｍ×１２０ｍｍ）、抽出液送液流路２８と抽出液送液回収流路３０にはテフロン（登録商標）製のチューブ（φ４ｍｍ）を用いた。振動装置１２としては市販の超音波振動装置を用いた。抽出液として２５℃の純水を送液し、振動装置１２を作動させながら抽出液を１５分間循環させた。その後、抽出液を回収し、イオンクロマトグラフ装置（ダイオネクス製、ＤＸ−３２０Ｊ）を用いてカラム濃縮イオンクロマトグラフ法にて分析を実施したところ、放電生成物であるアンモニウムイオンが４ｎｇ／ｃｍ２、硝酸イオンが１５ｎｇ／ｃｍ２検出された。
【００５７】
＜実施例２＞
実施例１と同じ実験を実施して作製したサンプルを被測定物質とした。この被測定物質に対して、放電テスト装置からはずすことなく、図１に示す抽出装置を用いて、前述した領域の表面を容器１０の密着面２６と手で押さえつけることによって密着させた。容器１０、振動装置１２としては実施例１と同様のものを用い、抽出液送液流路１４と抽出液回収流路１６には実施例１と同様のチューブを用いた。抽出液として２５℃の純水を送液し、抽出液を容器１０内に満たした後、振動装置１２を作動させながら抽出作業を１５分間行った。その後、抽出液を回収し、実施例１と同様にしてイオンクロマトグラフ法にて分析を実施したところ、放電生成物であるアンモニウムイオンが２ｎｇ／ｃｍ２、硝酸イオンが６ｎｇ／ｃｍ２検出された。
【００５８】
＜実施例３＞
実施例１と同じ実験を実施して作製したサンプルを被測定物質とした。この被測定物質に対して、放電テスト装置からはずすことなく、図２に示す抽出装置を用いて、前述した領域の表面を容器１０の密着面２６と手で押さえつけることによって密着させた。容器１０としては実施例１と同様のものを用い、抽出液送液流路２８と抽出液送液回収流路３０には実施例１と同様のチューブを用いた。抽出液として２５℃の純水を送液し、抽出液を１５分間循環させた。その後、抽出液を回収し、実施例１と同様にしてイオンクロマトグラフ法にて分析を実施したところ、放電生成物であるアンモニウムイオンが１ｎｇ／ｃｍ２、硝酸イオンが５ｎｇ／ｃｍ２検出された。
【００５９】
＜比較例１＞
実施例１と同じ実験を実施して作製したサンプルを被測定物質とした。この被測定物質に対して、放電テスト装置からはずすことなく、図３に示す抽出装置を用いて、前述した領域の表面を容器１０の密着面２６と手で押さえつけることによって密着させた。抽出液として純水を送液し、抽出液を容器１０内に満たした後、振動装置１２を作動させずに、さらに抽出液の循環も行わないで、１５分間抽出作業を行った。その後、抽出液を回収し、実施例１と同様にしてイオンクロマトグラフ法にて分析を実施したところ、アンモニウムイオンも硝酸イオンも未検出レベル（検出限界０．２ｎｇ／ｃｍ２以下）であった。
【００６０】
＜比較例２＞
実施例１と同じ実験を実施して作製したサンプルを被測定物質とした。この被測定物質に対して、放電テスト装置からはずすことなく、図３に示す抽出装置を用いて、前述した領域の表面を容器１０の密着面２６と手で押さえつけることによって密着させた。抽出液として純水を送液し、抽出液を容器１０内に満たした後、振動装置１２を作動させずに、さらに抽出液の循環も行わないで、１２０分間抽出作業を行った。その後、抽出液を回収し、実施例１と同様にしてイオンクロマトグラフ法にて分析を実施したところ、放電生成物であるアンモニウムイオンが２ｎｇ／ｃｍ２、硝酸イオンが６ｎｇ／ｃｍ２検出された。
【００６１】
このように、実施例１から３の方法により、分析対象物質を含む被測定面から分析対象物質を抽出する抽出時間を短縮し、迅速な分析が実現された。
【符号の説明】
【００６２】
１ 分析対象物質抽出装置、１０ 容器、１２ 振動装置、１４ 抽出液送液流路、１６ 抽出液回収流路、１８ ポンプ、２０ 開口部、２２ 被測定物質、２４ 被測定面、２６ 密着面、２８ 抽出液循環流路、３０ 抽出液送液回収流路。
【技術分野】
【０００１】
本発明は、分析対象物質抽出装置および表面分析方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
物質表面の分析方法には、いろいろな方法が知られている。例えば、物質表面のイオン成分の定量方法としては、被測定物質を抽出液に浸漬させ、抽出液中に溶出してくるイオン成分をイオンクロマトグラフ法、キャピラリ電気泳動法等によって定量することが一般的に用いられている。
【０００３】
例えば、特許文献１には、周囲環境からの汚染を防止し、目的とするイオン成分の定量精度を向上させるために、抽出液を送液、回収できる注吸水口を有したカバーで平滑な試料表面を密閉し、抽出液を送液、回収する方法が提案されている。
【０００４】
特許文献２には、超純水に含まれるイオン成分など、低濃度領域での高精度の検量線の作成を行うため、標準液のゼロ水のばらつきや標準液調製時の外部汚染を低減することでｐｐｔオーダの低濃度領域の定量を行う方法が提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００１−５９８３４号公報
【特許文献２】特開平５−２２３７９７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明の課題は、分析対象物質を含む被測定面から分析対象物質を抽出する抽出時間を短縮し、迅速な分析を実現する分析対象物質抽出装置および表面分析方法を得ることである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題は、以下の本発明によって達成される。すなわち、請求項１に係る発明は、分析対象物質を含む被測定面から前記分析対象物質を抽出する抽出液を収容するための容器と、前記容器に設けられた、前記被測定面と前記抽出液とを接触させるための開口部と、前記容器内の抽出液を循環する循環手段と前記容器内の抽出液を振動させる振動手段とのうち少なくとも１つと、を備える分析対象物質抽出装置である。
【０００８】
請求項２に係る発明は、前記容器が樹脂素材を含んで構成される請求項１に記載の分析対象物質抽出装置である。
【０００９】
請求項３に係る発明は、前記循環手段が、抽出液循環流路と、抽出液送液回収流路と、前記抽出液循環流路と前記抽出液送液回収流路とを切り替える流路切り替え手段と、を備える請求項１または２に記載の分析対象物質抽出装置である。
【００１０】
請求項４に係る発明は、分析対象物質を含む被測定面を、開口部を有する容器により前記開口部を前記被測定面に対向させて覆う覆い工程と、前記容器内に前記分析対象物質を抽出する抽出液を送液する抽出液送液工程と、前記抽出液を前記容器内に循環させる方法または前記抽出液を前記容器内で振動させる方法のうちの少なくとも１つにより、前記開口部を通して前記分析対象物質を抽出する抽出工程と、前記抽出液を回収する抽出液回収工程と、前記回収された回収液に含まれる分析対象物質を分析する分析工程と、を含む表面分析方法である。
【００１１】
請求項５に係る発明は、前記分析対象物質が、前記被測定面に付着している陽イオン、陰イオン、有機酸類、アミン類からなる群から選択される少なくとも１つである請求項４に記載の表面分析方法である。
【００１２】
請求項６に係る発明は、前記分析が、イオンクロマトグラフ法およびキャピラリ電気泳動法のうちの少なくとも１つである請求項４または５に記載の表面分析方法である。
【００１３】
請求項７に係る発明は、前記被測定面が、平滑な平面および平滑な曲面のうちの少なくとも１つである請求項４〜６のいずれか１項に記載の表面分析方法である。
【００１４】
請求項８に係る発明は、前記被測定面が、電子工業分野で使用される装置部品表面および原材料表面のうちの少なくとも１つである請求項４〜７のいずれか１項に記載の表面分析方法である。
【発明の効果】
【００１５】
本発明の請求項１によると、容器内の抽出液を循環する循環手段と容器内の抽出液を振動させる振動手段とのうち少なくとも１つを備えない場合に比較すると、分析対象物質を含む被測定面から分析対象物質を抽出する抽出時間を短縮し、迅速な分析を実現する分析対象物質抽出装置を提供する。
【００１６】
本発明の請求項２によると、容器が樹脂素材を含んで構成されない場合に比較すると、分析する被測定物質の形状の制限が少ない分析対象物質抽出装置を提供する。
【００１７】
本発明の請求項３によると、循環手段が、抽出液循環流路と、抽出液送液回収流路と、抽出液循環流路と抽出液送液回収流路とを切り替える流路切り替え手段とを備えない場合に比較すると、迅速な分析を実現する分析対象物質抽出装置を提供する。
【００１８】
本発明の請求項４によると、抽出液を容器内に循環させる方法または抽出液を容器内で振動させる方法のうちの少なくとも１つにより分析対象物質を抽出する抽出工程を含まない場合に比較すると、分析対象物質を含む被測定面から分析対象物質を抽出する抽出時間を短縮し、迅速な分析を実現する表面分析方法を提供する。
【００１９】
本発明の請求項５によると、分析対象物質が被測定面に付着している陽イオン、陰イオン、有機酸類、アミン類からなる群から選択される少なくとも１つである場合に好適に用いられる表面分析方法を提供する。
【００２０】
本発明の請求項６によると、分析がイオンクロマトグラフ法およびキャピラリ電気泳動法のうちの少なくとも１つである場合に好適に用いられる表面分析方法を提供する。
【００２１】
本発明の請求項７によると、被測定面が平滑な平面および平滑な曲面のうちの少なくとも１つである場合に好適に用いられる表面分析方法を提供する。
【００２２】
本発明の請求項８によると、被測定面が電子工業分野で使用される装置部品表面および原材料表面のうちの少なくとも１つである場合に好適に用いられる表面分析方法を提供する。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】（ａ）本発明の実施形態に係る分析対象物質抽出装置の構成の一例を示す概略上面図である。（ｂ）図１（ａ）におけるＡ−Ａ’断面図である。
【図２】（ａ）本発明の実施形態に係る分析対象物質抽出装置の構成の他の例を示す概略上面図である。（ｂ）図２（ａ）におけるＡ−Ａ’断面図である。
【図３】（ａ）本発明の実施形態に係る分析対象物質抽出装置の構成の他の例を示す概略上面図である。（ｂ）図３（ａ）におけるＡ−Ａ’断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
本発明の実施の形態について以下説明する。本実施形態は本発明を実施する一例であって、本発明は本実施形態に限定されるものではない。
【００２５】
図１（ａ）は、本発明の実施形態に係る分析対象物質抽出装置の構成の一例を示す概略上面図であり、図１（ｂ）は、図１（ａ）におけるＡ−Ａ’断面図である。図１の分析対象物質抽出装置１は、開口部２０を有する容器１０と、容器１０内の抽出液を振動させる振動手段である振動装置１２とを備える。容器１０には、容器１０内へ抽出液を送液する抽出液送液手段である抽出液送液流路１４と、容器１０内から抽出液を回収する抽出液回収手段である抽出液回収流路１６とが接続されており、抽出液送液流路１４にはポンプ１８が接続されている。また、容器１０の外側面には、振動装置１２が設置されている。図１の分析対象物質抽出装置１において、容器１０は、開口部２０を有し、抽出液送液流路１４と抽出液回収流路１６とが接続されているが、それ以外は密閉された構造を有している。
【００２６】
図１の分析対象物質抽出装置１を用いた表面分析方法について説明する。まず、分析対象物質を含む被測定面２４を有する被測定物質２２を、開口部２０を有する容器１０により、開口部２０を被測定面２４に対向させて覆う（覆い工程）。容器１０は密着面２６を有し、密着面２６により被測定面２４と密着され、被測定面２４の少なくとも一部は周囲環境からの汚染が防止される。
【００２７】
次に、容器１０内に分析対象物質を抽出する抽出液を送液する（抽出液送液工程）。例えば、抽出液は、図示しない抽出液タンクからポンプ１８により抽出液送液流路１４を通って送液される。
【００２８】
容器１０内を抽出液で満たした後、容器１０内の抽出液を振動装置１２により振動させて、開口部２０を通して被測定面２４から分析対象物質を抽出する（抽出工程）。抽出工程において、容器１０内に予め定めた量の抽出液を充填した後、振動装置１２により容器１０を振動させて分析対象物質を抽出する。また、後述するように、容器１０内の抽出液を循環しながら、振動装置１２により振動させて分析対象物質を抽出してもよい。
【００２９】
抽出工程の後、容器１０内の抽出液を回収する（抽出液回収工程）。例えば、抽出液は、ポンプ１８により抽出液回収流路１６を通って回収される。
【００３０】
抽出液回収工程の後、回収された回収液に含まれる分析対象物質を分析する（分析工程）。本装置および本方法により、サンプリングするための容器１０に、振動装置１２を設置したことにより、抽出液に振動が与えられて効率的な抽出操作が行われ、抽出時間が短縮され、迅速な分析が実現される。また、本装置および本方法により、被測定物質の表面に付着した分析対象物質に対する、周囲環境からの汚染が防止され、目的とする分析対象物質の正確な定量が行われる。あらかじめユニット化された抽出装置を用いることで、装置の構成時間の短縮と繰り返し再現性が確保される。また、被測定物質２２を全て抽出液中に浸漬させてしまうこともなく、任意の被測定面２４における分析対象物質の定量が行われる。さらに、被測定物質２２の表面と裏面の両面から等、被測定物質２２の表面全体の分析対象物質の総和として定量されることもない。
【００３１】
図２（ａ）は、本発明の実施形態に係る分析対象物質抽出装置の構成の他の例を示す概略上面図であり、図２（ｂ）は、図２（ａ）におけるＡ−Ａ’断面図である。図２の分析対象物質抽出装置１は、開口部２０を有する容器１０と、容器１０内の抽出液を循環させる循環手段である抽出液循環流路２８と、抽出液送液回収流路３０とを備える。容器１０には、抽出液循環流路２８が接続されており、抽出液循環流路２８の任意の場所にはポンプ１８が接続され、ポンプ１８には、抽出液送液回収流路３０が接続されている。図２の分析対象物質抽出装置１において、容器１０は、開口部２０を有し、抽出液循環流路２８が接続されているが、それ以外は密閉された構造を有している。
【００３２】
図２の分析対象物質抽出装置１を用いた表面分析方法について説明する。まず、分析対象物質を含む被測定面２４を有する被測定物質２２を、開口部２０を有する容器１０により、開口部２０を被測定面２４に対向させて覆う（覆い工程）。容器１０は、密着面２６を有し、密着面２６により被測定面２４と密着され、被測定面２４は、周囲環境からの汚染が防止される。
【００３３】
次に、容器１０内に分析対象物質を抽出する抽出液を送液する（抽出液送液工程）。例えば、抽出液は、図示しない抽出液タンクからポンプ１８により抽出液送液回収流路３０を通って送液される。
【００３４】
容器１０内を抽出液で満たした後、ポンプ１８等の流路を切り替えて、容器１０内の抽出液を循環させて、開口部２０を通して被測定面２４から分析対象物質を抽出する（抽出工程）。
【００３５】
抽出工程の後、容器１０内の抽出液を回収する（抽出液回収工程）。例えば、抽出液は、ポンプ１８等の流路を切り替えて、ポンプ１８により抽出液送液回収流路３０を通って回収される。
【００３６】
抽出液回収工程の後、回収された回収液に含まれる分析対象物質を分析する（分析工程）。本装置および本方法により、サンプリングするための容器１０に、抽出液を循環させるための抽出液送液流路２８を設置したことにより、抽出液が静止した状態で抽出するよりも効率的に分析対象物質が抽出され、効率的な抽出操作が行われ、抽出時間が短縮され、迅速な分析が実現される。
【００３７】
図３（ａ）は、本発明の実施形態に係る分析対象物質抽出装置の構成の一例を示す概略上面図であり、図３（ｂ）は、図３（ａ）におけるＡ−Ａ’断面図である。図３の分析対象物質抽出装置１は、開口部２０を有する容器１０と、容器１０内の抽出液を振動させる振動手段である振動装置１２と、容器１０内の抽出液を循環させる循環手段である抽出液循環流路２８と、抽出液送液回収流路３０とを備える。容器１０には、抽出液循環流路２８が接続されており、抽出液循環流路２８の任意の場所にはポンプ１８が接続され、ポンプ１８には、抽出液送液回収流路３０が接続されている。また、容器１０の外側面には、振動装置１２が設置されている。図３の分析対象物質抽出装置１において、容器１０は、開口部２０を有し、抽出液循環流路２８が接続されているが、それ以外は密閉された構造を有している。
【００３８】
図３の分析対象物質抽出装置１を用いた表面分析方法について説明する。まず、分析対象物質を含む被測定面２４を有する被測定物質２２を、開口部２０を有する容器１０により、開口部２０を被測定面２４に対向させて覆う（覆い工程）。容器１０は、密着面２６を有し、密着面２６により被測定面２４と密着され、被測定面２４は、周囲環境からの汚染が防止される。
【００３９】
次に、容器１０内に分析対象物質を抽出する抽出液を送液する（抽出液送液工程）。例えば、抽出液は、図示しない抽出液タンクからポンプ１８により抽出液送液回収流路３０を通って送液される。
【００４０】
容器１０内を抽出液で満たした後、ポンプ１８等の流路を切り替えて、容器１０内の抽出液を循環させて、かつ容器１０内で振動装置１２により振動させて、開口部２０を通して被測定面２４から分析対象物質を抽出する（抽出工程）。
【００４１】
抽出工程の後、容器１０内の抽出液を回収する（抽出液回収工程）。例えば、抽出液は、ポンプ１８等の流路を切り替えて、ポンプ１８により抽出液送液回収流路３０を通って回収される。
【００４２】
抽出液回収工程の後、回収された回収液に含まれる分析対象物質を分析する（分析工程）。本装置および本方法により、サンプリングするための容器１０に、抽出液を循環させるための抽出液送液流路２８と抽出液を振動させるための振動装置１２とを設置したことにより、抽出液が静止した状態で抽出するよりも効率的に分析対象物質が抽出され、かつ振動が与えられるため、より効率的な抽出操作が行われ、抽出時間がより短縮され、より迅速な分析が実現される。
【００４３】
本実施形態における被測定物質２２としては、特に制限はないが、例えば、電子工業分野で使用される装置部品、原材料、ウェーハ等である。被測定面２４は、特に制限はないが、例えば、電子工業分野で使用される装置部品表面、原材料表面、ウェーハ表面等である。本装置および本方法は、これらのうち、被測定面に存在している物質のみを測定する点等から、被測定面２４が電子工業分野で使用される装置部品表面および原材料表面のうちの少なくとも１つである場合に好ましく用いられる。本装置および本方法は、例えば、電子写真用感光体の表面分析、液晶表示装置、有機ＥＬ素子、半導体等の電子デバイスの表面分析等に好ましく用いられる。
【００４４】
被測定面２４の形状としては、特に制限はないが、例えば、平滑な平面、平滑な曲面等である。本装置および本方法は、これらのうち、接触面積を多く確保する点等から、平滑な平面および平滑な曲面のうちの少なくとも１つである場合に好ましく用いられる。本装置および本方法によれば、被測定面２４が曲面であっても容易に測定が行われる。
【００４５】
本実施形態における分析対象物質としては、特に制限はないが、例えば、被測定面２４に付着している陽イオン、陰イオン、有機酸類、アミン類からなる群から選択される少なくとも１つである。本装置および本方法は、これらのうち、対象物質の定性、定量性等から、被測定面２４に付着している陽イオン、陰イオン、有機酸類、アミン類からなる群から選択される少なくとも１つである場合に好ましく用いられる。
【００４６】
分析対象物質の分析方法としては、特に制限はないが、例えば、イオンクロマトグラフ法、キャピラリ電気泳動法、液体クロマトグラフ法等である。本装置および本方法は、これらのうち、分析対象物質としてイオン成分を扱うことが多い点等から、イオンクロマトグラフ法、キャピラリ電気泳動法に好ましく用いられる。
【００４７】
容器１０の材質は、容器からの汚染を防ぐ必要があるため、樹脂が好ましく、樹脂の中でもポリエチレンやポリプロピレン、テフロン（登録商標）等を含んで構成されることがより好ましい。また、これらの樹脂でコートしたＳＵＳ等の金属製のものを用いてもよい。容器１０が、柔軟性を有する樹脂を含んで構成されていると、容易に変形され、密着面２６も変形する。したがって、表面が平坦な平面だけでなく、電子写真感光体のような表面が曲面であるような対象曲面にも密着させて抽出作業が行われるため、分析対象となる被測定物質２２の形状の制限があまりない。
【００４８】
容器１０は、密着面２６に密着性の高い素材を用いる方法、密着面２６に吸盤を設ける方法、発泡性材料、樹脂等のシール材を介する方法等により被測定面２４へ密着させてもよいし、被測定物質２２の任意の被測定面２４にクランプ、もしくは手によって容器１０を押圧し、被測定面２４へ密着させて、外部環境から切り離して汚染を防止してもよい。被測定物質２２の任意の被測定面２４との密着性がよいと、分析対象物質の抽出する方向が従来の鉛直方向に限定されず、全方位で抽出される。また、抽出液送液流路１４、抽出液回収流路１６、抽出液送液回収流路３０を伸ばすことで、容器１０を例えば聴診器のように抽出、測定したい場所に密着させてもよい。
【００４９】
容器１０の開口部２０の形状は、特に制限はなく、例えば、四角形状、円形状等が挙げられる。端部での分析対象物質等の付着が少ない等の点で角部を有さない円形状が好ましい。
【００５０】
振動装置１２としては、直接的または間接的に容器１０内の抽出液を振動させるものであればよく、特に制限はないが、例えば、超音波振動装置、振盪器等を用いればよい。振動装置１２の設置位置は、直接的または間接的に容器１０内の抽出液を振動させるように設置すればよく、特に制限はないが、振動装置１２の方式等に応じて決めればよい。振動装置１２が超音波振動装置等の場合は、例えば、容器１０の外側面に設置すればよい。
【００５１】
抽出液を送液、回収、循環させるための抽出液送液流路１４、抽出液回収流路１６、抽出液循環流路２８、抽出液送液回収流路３０の材質は、汚染防止等のため、樹脂等が挙げられる。これらのうち、フレキシブルなテフロン（登録商標）製等の樹脂製のチューブであることが好ましい。また、これらの流路は、容器１０、ポンプ１８等と自由に着脱されるように接続されることが好ましい。
【００５２】
図２，図３の分析対象物質抽出装置において、抽出液循環流路２８と抽出液送液回収流路３０とを切り替える流路切り替え手段を備えることが好ましい。例えば、ポンプ１８に、抽出液送液流路２８と抽出液送液回収流路３０とを切り替えるスイッチを具備すればよく、容器１０内に抽出液を送液し、循環させ、分析を行うために抽出液を回収することがスイッチ１つで切り替えられるようにしてもよい。流路切り替え手段として、バルブ等を別途設けてもよい。
【００５３】
本実施形態に係る分析対象物質抽出装置は、容器１０の構成に対して、部品を個別ではなく一体化してもよい。これにより、測定ごとに容器１０を構成する時間が必ずしも必要なく、繰り返し再現性が向上する。
【００５４】
本実施形態に係る分析対象物質抽出装置は、ポータブル化することで、聴診器のように容器１０を扱うことにより、分析対象物質を抽出する場所の自由度が上がり、鉛直方向だけに限定されずに全方位で抽出作業が行われる。
【実施例】
【００５５】
以下、実施例および比較例を挙げ、本発明をより具体的に詳細に説明するが、本発明は、以下の実施例に限定されるものではない。
【００５６】
＜実施例１＞
曲面（８４φ）のアルミニウム素管上に形成された表面が光電導層から構成された誘電体の縦２０ｍｍ、横が４００ｍｍの領域に放電テスト装置で６０分間放電を行い、放電により発生したイオン性生成物を表面に付着させたものを被測定物質とした。この被測定物質に対して、放電テスト装置からはずすことなく、図３に示す抽出装置を用いて、前述した領域の表面を容器１０（２０ｍｍ×１００ｍｍの開口部２０を有する）の密着面２６と手で押さえつけることによって密着させた。容器１０としてはポリテトラフルオロエチレン樹脂製のものやポリテトラフルオロエチレン樹脂コートしたＳＵＳ等の金属性のもの（大きさ３０ｍｍ×１２０ｍｍ）、抽出液送液流路２８と抽出液送液回収流路３０にはテフロン（登録商標）製のチューブ（φ４ｍｍ）を用いた。振動装置１２としては市販の超音波振動装置を用いた。抽出液として２５℃の純水を送液し、振動装置１２を作動させながら抽出液を１５分間循環させた。その後、抽出液を回収し、イオンクロマトグラフ装置（ダイオネクス製、ＤＸ−３２０Ｊ）を用いてカラム濃縮イオンクロマトグラフ法にて分析を実施したところ、放電生成物であるアンモニウムイオンが４ｎｇ／ｃｍ２、硝酸イオンが１５ｎｇ／ｃｍ２検出された。
【００５７】
＜実施例２＞
実施例１と同じ実験を実施して作製したサンプルを被測定物質とした。この被測定物質に対して、放電テスト装置からはずすことなく、図１に示す抽出装置を用いて、前述した領域の表面を容器１０の密着面２６と手で押さえつけることによって密着させた。容器１０、振動装置１２としては実施例１と同様のものを用い、抽出液送液流路１４と抽出液回収流路１６には実施例１と同様のチューブを用いた。抽出液として２５℃の純水を送液し、抽出液を容器１０内に満たした後、振動装置１２を作動させながら抽出作業を１５分間行った。その後、抽出液を回収し、実施例１と同様にしてイオンクロマトグラフ法にて分析を実施したところ、放電生成物であるアンモニウムイオンが２ｎｇ／ｃｍ２、硝酸イオンが６ｎｇ／ｃｍ２検出された。
【００５８】
＜実施例３＞
実施例１と同じ実験を実施して作製したサンプルを被測定物質とした。この被測定物質に対して、放電テスト装置からはずすことなく、図２に示す抽出装置を用いて、前述した領域の表面を容器１０の密着面２６と手で押さえつけることによって密着させた。容器１０としては実施例１と同様のものを用い、抽出液送液流路２８と抽出液送液回収流路３０には実施例１と同様のチューブを用いた。抽出液として２５℃の純水を送液し、抽出液を１５分間循環させた。その後、抽出液を回収し、実施例１と同様にしてイオンクロマトグラフ法にて分析を実施したところ、放電生成物であるアンモニウムイオンが１ｎｇ／ｃｍ２、硝酸イオンが５ｎｇ／ｃｍ２検出された。
【００５９】
＜比較例１＞
実施例１と同じ実験を実施して作製したサンプルを被測定物質とした。この被測定物質に対して、放電テスト装置からはずすことなく、図３に示す抽出装置を用いて、前述した領域の表面を容器１０の密着面２６と手で押さえつけることによって密着させた。抽出液として純水を送液し、抽出液を容器１０内に満たした後、振動装置１２を作動させずに、さらに抽出液の循環も行わないで、１５分間抽出作業を行った。その後、抽出液を回収し、実施例１と同様にしてイオンクロマトグラフ法にて分析を実施したところ、アンモニウムイオンも硝酸イオンも未検出レベル（検出限界０．２ｎｇ／ｃｍ２以下）であった。
【００６０】
＜比較例２＞
実施例１と同じ実験を実施して作製したサンプルを被測定物質とした。この被測定物質に対して、放電テスト装置からはずすことなく、図３に示す抽出装置を用いて、前述した領域の表面を容器１０の密着面２６と手で押さえつけることによって密着させた。抽出液として純水を送液し、抽出液を容器１０内に満たした後、振動装置１２を作動させずに、さらに抽出液の循環も行わないで、１２０分間抽出作業を行った。その後、抽出液を回収し、実施例１と同様にしてイオンクロマトグラフ法にて分析を実施したところ、放電生成物であるアンモニウムイオンが２ｎｇ／ｃｍ２、硝酸イオンが６ｎｇ／ｃｍ２検出された。
【００６１】
このように、実施例１から３の方法により、分析対象物質を含む被測定面から分析対象物質を抽出する抽出時間を短縮し、迅速な分析が実現された。
【符号の説明】
【００６２】
１ 分析対象物質抽出装置、１０ 容器、１２ 振動装置、１４ 抽出液送液流路、１６ 抽出液回収流路、１８ ポンプ、２０ 開口部、２２ 被測定物質、２４ 被測定面、２６ 密着面、２８ 抽出液循環流路、３０ 抽出液送液回収流路。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
分析対象物質を含む被測定面から前記分析対象物質を抽出する抽出液を収容するための容器と、
前記容器に設けられた、前記被測定面と前記抽出液とを接触させるための開口部と、
前記容器内の抽出液を循環する循環手段と前記容器内の抽出液を振動させる振動手段とのうち少なくとも１つと、
を備えることを特徴とする分析対象物質抽出装置。
【請求項２】
前記容器が樹脂素材を含んで構成されることを特徴とする請求項１に記載の分析対象物質抽出装置。
【請求項３】
前記循環手段が、抽出液循環流路と、抽出液送液回収流路と、前記抽出液循環流路と前記抽出液送液回収流路とを切り替える流路切り替え手段と、を備えることを特徴とする請求項１または２に記載の分析対象物質抽出装置。
【請求項４】
分析対象物質を含む被測定面を、開口部を有する容器により前記開口部を前記被測定面に対向させて覆う覆い工程と、
前記容器内に前記分析対象物質を抽出する抽出液を送液する抽出液送液工程と、
前記抽出液を前記容器内に循環させる方法または前記抽出液を前記容器内で振動させる方法のうちの少なくとも１つにより、前記開口部を通して前記分析対象物質を抽出する抽出工程と、
前記抽出液を回収する抽出液回収工程と、
前記回収された回収液に含まれる分析対象物質を分析する分析工程と、
を含むことを特徴とする表面分析方法。
【請求項５】
前記分析対象物質が、前記被測定面に付着している陽イオン、陰イオン、有機酸類、アミン類からなる群から選択される少なくとも１つであることを特徴とする請求項４に記載の表面分析方法。
【請求項６】
前記分析が、イオンクロマトグラフ法およびキャピラリ電気泳動法のうちの少なくとも１つであることを特徴とする請求項４または５に記載の表面分析方法。
【請求項７】
前記被測定面が、平滑な平面および平滑な曲面のうちの少なくとも１つであることを特徴とする請求項４〜６のいずれか１項に記載の表面分析方法。
【請求項８】
前記被測定面が、電子工業分野で使用される装置部品表面および原材料表面のうちの少なくとも１つであることを特徴とする請求項４〜７のいずれか１項に記載の表面分析方法。
【請求項１】
分析対象物質を含む被測定面から前記分析対象物質を抽出する抽出液を収容するための容器と、
前記容器に設けられた、前記被測定面と前記抽出液とを接触させるための開口部と、
前記容器内の抽出液を循環する循環手段と前記容器内の抽出液を振動させる振動手段とのうち少なくとも１つと、
を備えることを特徴とする分析対象物質抽出装置。
【請求項２】
前記容器が樹脂素材を含んで構成されることを特徴とする請求項１に記載の分析対象物質抽出装置。
【請求項３】
前記循環手段が、抽出液循環流路と、抽出液送液回収流路と、前記抽出液循環流路と前記抽出液送液回収流路とを切り替える流路切り替え手段と、を備えることを特徴とする請求項１または２に記載の分析対象物質抽出装置。
【請求項４】
分析対象物質を含む被測定面を、開口部を有する容器により前記開口部を前記被測定面に対向させて覆う覆い工程と、
前記容器内に前記分析対象物質を抽出する抽出液を送液する抽出液送液工程と、
前記抽出液を前記容器内に循環させる方法または前記抽出液を前記容器内で振動させる方法のうちの少なくとも１つにより、前記開口部を通して前記分析対象物質を抽出する抽出工程と、
前記抽出液を回収する抽出液回収工程と、
前記回収された回収液に含まれる分析対象物質を分析する分析工程と、
を含むことを特徴とする表面分析方法。
【請求項５】
前記分析対象物質が、前記被測定面に付着している陽イオン、陰イオン、有機酸類、アミン類からなる群から選択される少なくとも１つであることを特徴とする請求項４に記載の表面分析方法。
【請求項６】
前記分析が、イオンクロマトグラフ法およびキャピラリ電気泳動法のうちの少なくとも１つであることを特徴とする請求項４または５に記載の表面分析方法。
【請求項７】
前記被測定面が、平滑な平面および平滑な曲面のうちの少なくとも１つであることを特徴とする請求項４〜６のいずれか１項に記載の表面分析方法。
【請求項８】
前記被測定面が、電子工業分野で使用される装置部品表面および原材料表面のうちの少なくとも１つであることを特徴とする請求項４〜７のいずれか１項に記載の表面分析方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図２】
【図３】
【公開番号】特開２０１１−６４５０２（Ｐ２０１１−６４５０２Ａ）
【公開日】平成２３年３月３１日（２０１１．３．３１）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００９−２１３４５５（Ｐ２００９−２１３４５５）
【出願日】平成２１年９月１５日（２００９．９．１５）
【出願人】（０００００５４９６）富士ゼロックス株式会社 (21,908)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２３年３月３１日（２０１１．３．３１）
【国際特許分類】
【出願日】平成２１年９月１５日（２００９．９．１５）
【出願人】（０００００５４９６）富士ゼロックス株式会社 (21,908)
【Ｆターム（参考）】
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