説明

加熱及び冷却機能を備えたコンベア

【目的】ワーク基板の縦横サイズの変更に対応して自らの縦横サイズの変更を極めて柔軟に且つ低コストで行うことができ、搬送中のワーク基板に対してワーク基板全体を均一に加熱及び冷却することができる、ワーク基板への加熱及び冷却機能を備えたコンベアを提供する。
【構成】ワーク基板の搬送方向に延びる支持フレームと、アルミ押出材が所望の長さで切断されて成る切断済み押出材と、前記複数個の各切断済み押出材の間にそれぞれ配置され、前記ワーク基板の下面に接触して前記ワーク基板を移動させるための回転体とを備えており、前記各切断済み押出材には、その内部の空洞部内に、その長手方向と平行な方向に延びる筒状パイプであって棒状ヒーター又は冷却水等供給部を備えることが可能な一つ又は複数の筒状パイプが一体に形成されている。

【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、液晶表示装置や有機EL表示装置などに使用されるガラス製又は樹脂製のワーク基板を加熱しながら搬送及び冷却するための、加熱及び冷却機能を備えたコンベアに関する。
【背景技術】
【0002】
従来より、テレビやパソコン用のディスプレイに使用されるガラス製又は樹脂製のワーク基板を搬送するためのコンベアが利用されている。例えば、特許文献1は、ガラス製などの大型のワーク基板の下方にワーク基板を乾燥や焼成などの目的で加熱するためのヒーターなどを含む下加熱板を配置し、この下加熱板の側方に前記ワーク基板を搬送するためのローラを備えた加熱乾燥装置を開示している。なお、この特許文献1の装置においては、前記ワーク基板の上方にも上加熱板を配置しているので、この特許文献1の装置によれば、ワーク基板を搬送しながら、同時にワーク基板の上下両面を加熱することができるようになっている。特許文献2もほぼ同様である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特開平7−225080号公報
【特許文献2】特開平11−152575号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
しかしながら、特許文献1などに示す従来のワーク基板を加熱しながら搬送する装置においては、前記下加熱板をヒーターで加熱された「一個の金属板」により構成し、この加熱された1個の金属板から放射される熱によりワーク基板を加熱するようにしていたので、技術革新などに伴ってワーク基板の縦横サイズが変更されたときは、その度に、前記のサイズが変更されたワーク基板に対応する縦横サイズの1個の金属板を別個に新しく製造する必要があった。そして、その場合は、前述のような金属板は縦横サイズが異なる毎に新規に特注する必要があったため、全体として加熱及び冷却機能付きコンベアの製造コストが高くなってしまう、という問題があった。
【0005】
また、前記の従来の加熱機能を備えたコンベアにおいては、前述のように下加熱板を1個の金属板により構成していたため、前記1個の金属板をヒーターなどで加熱するとき、その金属板に反りや撓みなどの変形が生じてしまい、その結果、ワーク基板全体への均一な加熱が難しくなってしまう、という問題があった。
【0006】
また、前記の従来の加熱機能を備えたコンベアにおいては、前述のように下加熱板を1個の金属板により構成していたため、下加熱板の重量が大きくなってしまうので、加熱及び冷却機能付きコンベアの設置などの際に作業者に大きな負担を掛けてしまう、という問題があった。
【0007】
また、前記の従来の加熱機能を備えたコンベアにおいては、前述のように下加熱板を1個の金属板により構成していたため、前記1個の金属板を加熱するために多くの熱量を必要とし、ヒーターの駆動電力が多量に消費されてしまう、という問題があった。
【0008】
また、前記の従来の加熱機能を備えたコンベアにおいては、同じガラス基板を加熱及び冷却する場合、加熱のためだけに使用する加熱専用の加熱板と冷却のためだけに使用する冷却専用の冷却板とをそれぞれ別個に用意しておく必要があるため、ガラス基板を搬送しながら加熱及び冷却するためのコストが増大してしまうという問題があった。
【0009】
さらに、前記の従来のコンベアにおけるように、加熱のためだけに使用する加熱板と冷却のためだけに使用する冷却板とをそれぞれ別個に設ける場合は、加熱工程から冷却工程に移行するときガラス基板を加熱板から冷却板へ移載するための移載装置が必要となりコストが増大してしまう、加熱板と冷却板との双方を設置するため床面積が増大してしまうなどの問題があった。
【0010】
本発明はこのような従来技術の問題点に着目してなされたものであって、ワーク基板を乾燥や熱処理などのために加熱しながら搬送及び冷却する加熱及び冷却機能付きコンベアにおいて、ワーク基板の縦横サイズの変更に対応するための加熱及び冷却機能付きコンベアの縦横サイズの変更を、極めて柔軟に且つ低コストで行うことができ、搬送中のワーク基板に対してその全体を均一に加熱することができ、前記加熱及び冷却機能付きコンベア全体の重量を軽量化して作業者の負担を軽減することができ、前記加熱及び冷却機能付きコンベア全体の消費電力を節減することができ、さらにワーク基板を搬送しながら加熱及び冷却するための装置のコストや装置の床面積を大幅に低減することができる、加熱及び冷却機能を備えたコンベアを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0011】
以上のような課題を解決するための本発明による加熱及び冷却機能を備えたコンベアは、ガラス製又は樹脂製のワーク基板(ロール状基板を含む)を所定の搬送方向に移動させるためのコンベアであって、前記搬送方向と平行に延びる支持フレームと、前記ワーク基板の加熱を行うための加熱機構であって、「アルミ押出材が所定の長さに切断されて成り、その内部が空洞部となっており、前記空洞部内には、その長手方向と平行な方向に延びる複数の筒状パイプと、前記筒状パイプと略平行に延びており前記各筒状パイプと前記空洞部を囲む外側枠体とをそれぞれ接続する帯状の接続部と、が一体に形成されており、前記外側枠体はその前記切断された面が略長方形状となっている、複数個の切断済み押出材」が、それぞれの長手方向が前記搬送方向と直交するように且つそれぞれが互いに所定の間隔を介して並べられるように前記支持フレームの上に配置されて成り、前記各切断済み押出材は、前記複数個の筒状パイプの少なくとも一つの中に棒状ヒーターなどの全体が細長い形状の細長ヒーターが挿入されることにより加熱機能を付与されている、加熱機構と、前記ワーク基板の冷却を行うための冷却機構であって、「アルミ押出材が所定の長さに切断されて成り、その内部が空洞部となっており、前記空洞部内には、その長手方向と平行な方向に延びる複数の筒状パイプと、前記筒状パイプと略平行に延びており前記各筒状パイプと前記空洞部を囲む外側枠体とをそれぞれ接続する帯状の接続部と、が一体に形成されており、前記外側枠体はその前記切断された面が略長方形状となっている、複数個の切断済み押出材」が、それぞれの長手方向が前記搬送方向と直交するように且つそれぞれが互いに所定の間隔を介して並べられるように前記支持フレームの上に配置されて成り、前記各切断済み押出材は、前記複数個の筒状パイプの少なくとも一つに前記各筒状パイプの中に冷却水又は冷媒を流通させるための冷却水等供給部が備えられることにより冷却機能を付与されている、冷却機構と、前記各切断済み押出材の間にそれぞれ配置され、前記切断済み押出材の上方に位置する前記ワーク基板の下面に接触して前記ワーク基板を移動させるための回転体と、を備えたものである。
【0012】
また、本発明による加熱及び冷却機能を備えたコンベアにおいては、前記ワーク基板が前記冷却機構の上に移動したとき、前記ワーク基板が、所定の距離だけ前記搬送方向に移動した後に所定の距離だけ前記搬送方向と逆方向に移動する動作を、所定の回数又は所定の時間だけ繰り返すように、前記回転体を制御するための冷却制御手段を備えることが望ましい。
【0013】
また、本発明による加熱及び冷却機能を備えたコンベアにおいては、前記ワーク基板が前記加熱機構の上に移動したとき、前記ワーク基板が、所定の距離だけ前記搬送方向に移動した後に所定の距離だけ前記搬送方向と逆方向に移動する動作を、所定の回数又は所定の時間だけ繰り返すように、前記回転体を制御するための加熱制御手段を備えることが望ましい。
【0014】
また、本発明による加熱及び冷却機能を備えたコンベアにおいては、前記各回転体は、前記搬送方向と直交する方向に延びる回転軸とこの回転軸の複数箇所に突設されているローラとを備えており、前記各切断済み押出材の間の隙間の前記ワーク基板と対向する側(上側)には、前記隙間であって前記ローラが突出している部分を除く隙間の上方を塞ぐための上カバーが備えられており、前記各切断済み押出材の外側枠体の前記切断面から見て左右の各上端部には、前記各切断済み押出材の長手方向と直交する方向に突出し且つ前記各切断済み押出材の長手方向と平行に延びる上カバー支持用突出片であって前記上カバーの一端を載置するための上カバー支持用突出片が一体に形成されている、ことが望ましい。
【0015】
また、本発明による加熱及び冷却機能を備えたコンベアにおいては、前記各切断済み押出材の間の隙間の前記ワーク基板と反対の側(下側)には、前記隙間の下方を塞ぐための断面略円弧状の下カバーが備えられており、前記各切断済み押出材の外側枠体の前記切断面から見て左右の各下端部には、前記各切断済み押出材の長手方向と直交する方向に突出し且つ前記各切断済み押出材の長手方向と平行に延びる下カバー支持用突出片であって前記下カバーの一端を載置するための下カバー支持用突出片が一体に形成されている、ことが望ましい。
【0016】
また、本発明による加熱及び冷却機能を備えたコンベアにおいては、前記各切断済み押出材の各切断面には、前記各切断面の開口部を塞ぐための切断面用カバーが取り付けられている、ことが望ましい。
【0017】
さらに、本発明による加熱及び冷却機能を備えたコンベアにおいては、前記各切断済み押出材の前記外側枠体の前記切断面から見て左右の各側板部の上下方向の途中部分には、前記各切断済み押出材の長手方向と平行な方向に延びる外側筒状パイプであって前記細長ヒーターが挿入可能又は前記冷却水等供給部が取り付け可能な外側筒状パイプが、前記各切断済み押出材と一体に形成されている、ことが望ましい。
【発明の効果】
【0018】
本発明においては、同じ構造の安価な複数のアルミ押出材に対して細長ヒーターを挿入するか又は冷却水等供給部を備えるかだけにより、各アルミ押出材に加熱機能又は冷却機能を持たせるようにしているので、搬送しながら加熱及び冷却するための装置を、全体として極めて低コストで構成することができる。
【0019】
また、本発明においては、ワーク基板を加熱又は冷却するとき、ワーク基板が、前記加熱機構又は冷却機構の上で、所定の距離だけ前記搬送方向に移動した後に所定の距離だけ前記搬送方向と逆方向に移動する動作を、所定の回数又は所定の時間だけ繰り返すように、前記制御装置により前記回転体を制御するようにしているので、ワーク基板の全体をより一層、均一に加熱又は冷却できるようになる。
【0020】
また、本発明においては、従来より一般的に極めて安価に製造されているアルミ押出材が所望の長さで切断されて成る、複数の切断済み押出材と、各切断済み押出材の間にそれぞれ配置された回転体と、により加熱及び冷却機能付きコンベアを構成している。よって、本発明によれば、ワーク基板の縦横サイズが技術革新などにより変更する必要が生じたために加熱及び冷却機能付きコンベアの縦横サイズも変更する必要が生じた場合でも、「前述のようなアルミ押出材を切断して前記切断済み押出板を形成するときの前記切断する長さを変更すると共にこのようにして切断されて成る切断済み押出板の個数を増減する」という極めて低コストの部品調達や作業を行うだけで、加熱及び冷却機能付きコンベアの縦横サイズの変更を行うことができる(従来より前記アミ押出材は極めて低コストで製造でき前記切断作業なども極めて低コストで行うことができる)。よって、本発明によれば、ワーク基板の縦横サイズが変更された場合にそれに対応するための前記加熱及び冷却機能付きコンベアの縦横サイズの変更を、極めて柔軟に且つ低コストで行うことができるようになる。
【0021】
また、本発明においては、加熱及び冷却機能付きコンベアを、「アルミ押出材が所望の長さで切断されて成る切断済み押出材を、複数個、所定の間隔を介して並べること」により構成しているので、加熱及び冷却機能付きコンベアの全体を軽量化することができ、コンベア設置時の作業員の負担を軽減させることができる。
【0022】
また、本発明においては、加熱及び冷却機能付きコンベアを、「アルミ押出材が所望の長さで切断されて成る切断済み押出材を、複数個、所定の間隔を介して並べること」により構成し、前記細長ヒーターにより前記各切断済み押出板を加熱することができるようにし、また前記冷却水等供給部からの冷却水等により前記各切断済み押出板を冷却することができるようにしている。したがって、本発明によれば、従来のコンベアにおけるようにワーク基板の加熱機構又は冷却機構をそれぞれ1個の金属板により構成する場合と異なって、加熱機構の全体又は冷却機構の全体に反りや撓みなどの変形が生じてしまうことが抑制されるので、加熱機構及び冷却機構に対向しながら移動するワーク基板の全体を均一に加熱及び冷却することができる。
【0023】
また、本発明によれば、従来のコンベアにおけるような加熱のためだけに使用する加熱板と冷却のためだけに使用する冷却板とをそれぞれ別個に備えることが不要になるので装置全体の軽量化・低コスト化が可能になる、前記の従来のコンベアにおいて必要であった加熱工程から冷却工程に移行するときのガラス基板を加熱板から冷却板へ移載するための移載装置が不要になるので装置全体の簡素化・低コスト化が可能になる、前記の従来のコンベアにおけるように加熱板と冷却板とを別々に備えることが不要になるので装置全体の床面積を節減することができる、などの効果を得ることができる。
【0024】
また、本発明において、前記筒状パイプと前記外側枠体とを接続する帯状の接続部を前記切断済み押出材と一体に形成しているときは、前記細長ヒーターの熱は前記帯状の接続部を介して前記アルミ押出材の前記空洞部を囲んでいる外側枠体の上側に伝熱されて前記外側枠体の上面全体から熱が放射されて前記ワーク基板を面状に加熱するので、前記細長ヒーターにより直接にワーク基板を加熱する場合(この場合はワーク基板の中の前記細長ヒーターに対向する線状部分だけが他の部分より強く加熱されてしまうので加熱にムラが生じてしまう)と比較して、ワーク基板全体をより均一に加熱できるようになる。
【0025】
また、本発明において、前記各切断済み押出材の空洞部内に一つ又は複数の前記筒状パイプを一体に形成すると共に、前記各切断済み押出材の外側枠体の左右の各側板部の途中部分に前記筒状パイプを一体に形成したときは、少なくとも3本以上の細長ヒーターを内部に含ませて前記外側枠体の上面から面状に且つ効率的に前記ワーク基板を加熱することができる。また、このように前記左右の各側板部の途中部分に前記筒状パイプを形成するときは、前記各側板部を介して前記細長ヒーターの熱が前記外側枠体の上面に伝導されるので、いちいち帯状の接続部を形成する必要がなく製造コストを低減できる。
【0026】
また、本発明において、前記各切断済み押出材の前記外側枠体の左右各上端部に上カバー支持用突出片を一体に形成し、この上カバー支持用突出片を利用して、前記各切断済み押出材の間の隙間の前記ワーク基板に対向する側(上側)に、前記隙間(前記の突出しているローラの部分を除く隙間)の上方を塞ぐための上カバーを備えるようにしたときは、前記細長ヒーターからの熱が前記隙間から逃げることを防止できるので、前記ワーク基板への加熱がより効率的に行えるようになる。
【0027】
また、本発明において、前記各切断済み押出材の前記外側枠体の左右各下端部に下カバー支持用突出片を一体に形成し、この下カバー支持用突出片を利用して、前記各切断済み押出材の間の隙間の前記ワーク基板と反対側(下側)に、前記隙間の下方を塞ぐための下カバーを備えるようにしたときは、前記細長ヒーターからの熱が前記隙間から逃げることを防止できるので、前記ワーク基板への加熱がより効率的に行えるようになる。
【0028】
また、本発明において、前記各切断済み押出材の前記各切断面に切断面用カバーを取り付けるようにしたときは、前記細長ヒーターからの熱が前記切断面の開口部から逃げることを防止できるので、前記ワーク基板への加熱がより効率的に行えるようになる。
【図面の簡単な説明】
【0029】
【図1】図1(a)は本実施例1を構成する切断済み押出材の切断面を示す正面図、図1(b)はその斜視図である。
【図2】本実施例1における支持フレームと切断済み押出材を説明するための斜視図である。
【図3】本実施例1における切断済み押出材と回転軸及びローラとの位置関係を説明するための正面図(切断済み押出材の切断面の方向から見たときの図)である。
【図4】本実施例1における切断済み押出材と回転軸及びローラとの位置関係を説明するための平面図である。
【図5】本実施例1における切断済み押出材と切断面用カバーとを説明するための斜視図である。
【図6】図6(a)は本実施例1によるコンベアの一部を示す部分平面図、図6(b)はそのA−A線断面図である。
【図7】ワーク基板Wが搬送されているときの状態を示す本実施例1の側面図である。
【図8】図8(a)は本実施例1によるワーク基板Wの加熱と搬送の動作を模式的に示す図、図8(b)は比較例によるワーク基板Wの加熱と搬送の動作を模式的に示す図である。
【図9】本実施例1の電気的構成の一部を示すブロック図である。
【図10】本実施例1において各アルミ押出材の筒状パイプ内に冷却水を供給するための機構を説明するための模式図である。
【図11】本実施例1における前記加熱ゾーン(加熱ポジション)と冷却ゾーン(冷却ポジション)の全体を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【0030】
本発明を実施するための最良の形態は、以下の実施例1について述べるような形態である。
【実施例1】
【0031】
以下、本発明の実施例1による加熱及び冷却機能付きコンベアを説明する。図1(a)は本実施例1を構成する部品の一つである切断済み押出材の切断面を示す正面図、図1(b)は前記切断済み押出材の斜視図である。
【0032】
図1において、1は切断済み押出材を示している。この切断済み押出材1は、断面が略長方形状に形成され内部が空洞になっているアルミ押出材(長手方向の両端が開口された細長い箱状体)が、所定の長さ(例えば約6mなど)で切断されて成るものである。
【0033】
また図1において、2は前記切断済み押出材1の内部の空洞部(この空洞部2は、後述の各筒状パイプ6,6aと各帯状接続部7により複数に仕切られている)、3は前記切断済み押出材1の図示上側の面を構成する上板部であってワーク基板(図示せず)との対向面を構成する上板部、4は前記切断済み押出材1の図示下側の面を構成する下板部、5は前記切断済み押出材1の図示右側及び左側の側部をそれぞれ構成する側板部、6,6aは前記空洞部2内に前記切断済み押出材1の長手方向と平行に延びるように一体的に形成された筒状パイプ、7,7aは前記筒状パイプ6,6aの図示上側部分と前記上板部3とを接続するために前記切断済み押出材1の長手方向と平行に延びるように帯状に形成された上側接続部、8,8aは前記筒状パイプ6,6aの図示下側部分と前記下板部4とを接続するために前記切断済み押出材1の長手方向と平行に延びるように帯状に形成された下側接続部、9は前記切断済み押出材1の図示左右の各側板部5の途中部分に一体的に形成された筒状パイプ、10は前記切断済み押出材1の図示左右各下端部にそれぞれ一体的に形成され後述の下カバーを支持するための下カバー支持用の下側突出片、11は前記切断済み押出材1の図示左右各上端部にそれぞれ一体的に形成され後述の上カバーを支持するための上カバー支持用の上側突出片、である。
【0034】
本実施例1では、前記各切断済み押出材1と一体に形成されている図1の計5個の筒状パイプ6,6a,9の中の中央の筒状パイプ6の中に、棒状ヒーター(図示せず)が挿入されている。また、本実施例1では、図1の計5個の筒状パイプ6,6a,9の中の前記筒状パイプ6(棒状ヒーターが挿入されるもの)の両側の2つ筒状パイプ6aに、前記筒状パイプ6aの中に冷却水(又は冷媒)を供給し流通させるための冷却水供給部((図示せず。後述)が取り付けられている。
【0035】
また、本実施例1では、図2に示すように、複数の前記切断済み押出材1は、ワーク基板の搬送方向(矢印P参照)と平行に延びるように配置された支持フレーム20の上に、前記搬送方向Pと直交する方向に、互いに所定間隔を介して並べられている。また、前記各切断済み押出材1の間には後述のローラ(後述)が配置されている。
【0036】
図3は複数の前記切断済み押出材1とローラとを使用した本実施例1による加熱及び冷却機能付きコンベアの一部を示す部分正面図、図4は前記切断済み押出材1とローラとを上方から示す平面図、である。なお、図3,図4においては、図2の支持フレームは図示を省略している。
【0037】
本実施例1においては、図3に示すように、各切断済み押出材1の間に図示しないモーターにより駆動される回転軸21とこの回転軸21の複数箇所に突設・固定されたローラ22が配置されている。前記ローラ22は、図3に示すように、前記切断済み押出材1の上面よりも所定距離だけ上方(ワーク基板Wに近づく方向)に突出するように配置されている。
【0038】
また、本実施例1においては、図3に示すように、前記切断済み押出材1の間の隙間(空間)の上方(ワーク基板Wの側)であって前記ローラ22が突出していない部分の隙間の上方を塞ぐための例えば金属製の板状の上カバー(蓋)23が配置されている。この上カバー23は、図3に示すように、その両端部がそれぞれ前記切断済み押出材1の前記上側突出片11の上に載置・支持されることにより、前述のように配置されている。前記上カバー23は、前記棒状ヒーターからの熱(又は前記冷却水からの冷熱)が前記隙間から逃げないようにして前記ワーク基板Wへの加熱及び冷却の効率を向上させるために設置されている。
【0039】
また、本実施例1においては、図3に示すように、前記切断済み押出材1の間の隙間(空間)の下方(ワーク基板Wと反対の側)を塞ぐための例えば金属製の断面略円弧状の下カバー24が配置されている。この下カバー24は、図3に示すように、その両端部がそれぞれ前記切断済み押出材1の前記下側突出片10上に載置・支持されることにより、前述のように配置されている。前記下カバー24は、前記棒状ヒーターからの熱(又は前記冷却水からの冷熱)が前記隙間から逃げないようにして前記ワーク基板Wへの加熱及び冷却の効率を向上させるために設置されている。
【0040】
また、前記切断済み押出材1の両端部(前記アルミ押出材の各切断面)には、前述のように、前記の空洞部2や筒状パイプ6,6a,9などの開口部が存在している(図1参照)。そこで、本実施例1では、図5に示すように、前記の各開口部を塞ぐための例えば金属製の切断面用カバー25が前記各両端部(切断面)にネジ(図示せず)などで固定されている。前記切断面用カバー25は、前記棒状ヒーターからの熱(又は前記冷却水からの冷熱)が前記両端部(切断面)の開口部から逃げないようにして前記ワーク基板Wへの加熱の(又は冷却の)効率を向上させるためのものである。また、前記切断面用カバー25には、前記棒状ヒーターを前記筒状パイプ6の中に通過させたり前記冷却水等供給部を前記筒状パイプ6aに取り付るための抜き穴25aが形成されている。
【0041】
また、図6(a)は本実施例1による加熱及び冷却機能付きコンベアの一部を示す部分平面図、図6(b)はそのA−A線断面図である。本実施例1では、図6(b)に示すように、前記ワーク基板Wの上面を加熱するための上側加熱板26が、前記切断済み押出材1の上方に並べて配置されている。図6(b)では、前記上側加熱板26は1個のみしか図示されているが、実際には前記上側加熱板26が、複数個、ワーク基板Wの全体に対向するように並べて配置されている。前記上側加熱板26は、例えば金属製の内部が空洞に形成された板状部材であって内部に棒状ヒーターが挿入されている。
【0042】
次に、本実施例1の動作を説明する。まず、図7を参照して、本実施例1による前記ワーク基板Wの搬送及び加熱の動作について説明する。図7はワーク基板Wが搬送されているときの状態を示す本実施例1の側面図である(図7では図6の上側加熱板26は図示を省略している)。本実施例1では、図7に示すように、ワーク基板Wの搬送方向Pと平行に、前記切断済み押出材1とローラ22とが交互に配置されている。そして、前記切断済み押出材1の内部に挿入されている棒状ヒーターの熱が伝導されて前記切断済み押出材1の上面から面状に放射される。よって、本実施例1によれば、複数のワーク基板Wが、順次、前記切断済み押出材1により加熱されながら同時に前記ローラ22により搬送される。この場合、技術革新などにより前記ワーク基板Wの縦横サイズを変更する必要が生じた場合でも、前記切断済み押出材1のアルミ押出材からの切断長さを変更すると共に前記切断済み押出材1の配置個数を変更するだけで、極めて柔軟に且つ安価に、前記変更に対応することができる(この点は後述の切断済み押出材1を冷却用に使用する場合も同様)。
【0043】
次に、図8の模式図を参照して、本実施例1によるワーク基板Wの加熱と搬送の動作を説明する。図8(a)において、符号27は前記切断済み押出材1の各筒状パイプ6又は9内に挿入される棒状ヒーターを模式的に示すものである。図8(a)では、前記計5つの筒状パイプの中の中央の筒状パイプ6と前記左右の各側板5の途中部分に形成された各筒状パイプ9との計3個の筒状パイプ6,9の中に、棒状ヒーター27が挿入されている。
【0044】
本実施例1を使用してワーク基板Wを搬送するときは、前記棒状ヒーター27からの熱が前記帯状の上側接続部(図1の符号7参照)などを介して前記切断済み押出材1の上面に伝導されるので、ワーク基板Wは前記切断済み押出材1の上面から面状に加熱され、ワーク基板Wの全体が均一に加熱されるようになる。これに対して図8(b)に示すような比較例においては、各ローラ22の間に棒状ヒーター27がそのまま配置されているだけであり、前記棒状ヒーター27からの熱は線状にワーク基板Wを加熱するだけでなので、ワーク基板Wに加熱ムラが生じてしまう恐れがある(ワーク基板Wに反りや歪みが生じてしまう原因となってしまう恐れがある)。
【0045】
また、本実施例1においては、図9のブロック図に示すように、前記各ローラ22を回転させる回転軸21を駆動する駆動部31(図示しないモータにより構成される)を制御する制御装置32が備えられている。前記制御装置32は、図示しないパソコンなどにより構成されている。前記制御装置32には、各ワーク基板Wの種類などに応じた加熱時間と、この各ワーク基板Wに適した加熱時間を実現するために必要な前記ローラ回転軸21の駆動態様を実現するためのプログラムが予め記録されている。前記制御装置32は、前記プログラムにしたがって、前記駆動部31を制御する。例えば、前記制御装置32は、ワーク基板Wを10分間だけ加熱する必要がある場合は、ワーク基板Wが前記加熱機能を備えた複数のアルミ押出材1が並べられて成る加熱ゾーン(加熱機構)の上に移動した後、ワーク基板Wを、前記加熱ゾーンの上で、前記10分間だけ、例えば100〜200mmくらいずつ図8の左右方向に揺動させる(左方向への例えば100〜200mmの移動と右左方向への例えば100〜200mmの移動とを所定回数だけ繰り返す)。このような揺動により、ワーク基板Wの全体が均一に加熱されるようになる。そして、前記の必要な加熱時間が経過したら、前記制御装置32は、ワーク基板Wを前記加熱ゾーン(加熱機構)から次の冷却ゾーン(冷却機構)へ移動させる(後述の図11参照)。
【0046】
次に、本実施例1における冷却機構(冷却水等供給部など)の構成について図10を参照して説明する。この冷却機構は、前記加熱機構と同様に、前記の複数のアルミ押出材1が前記支持フレーム20上に所定間隔を介して並べられることにより、構成されている。図10において、33は外部の冷却水源(図示せず)からの冷却水(符号B参照)を前記各アルミ押出材1の前記各筒状パイプ6a内に供給するための冷却水供給管、34は前記冷却水供給管33からの冷却水を受け入れるために前記各アルミ押出材1内の各筒状パイプ6aの図示下端部に取り付けられた受水口部、33aは前記冷却水供給管33からの冷却水の一部を前記各受水口部34に供給するための支管である。前記各受水口部34から前記各筒状パイプ6a内に受け入れられた冷却水は前記接続部7a(図1参照)を介して前記各アルミ押出材1を冷却し、これにより冷却された前記各アルミ押出材1は自らと近接した位置に配置されているワーク基板Wを冷却する(なお、本実施例1において、前記ワーク基板Wを冷却するためには、前記ワーク基板Wを前記アルミ押出材1に近接させるだけでもよいが、例えばワーク基板Wが冷却機構の上にあるとき、周知の昇降機構により前記ローラを前記各アルミ押出材1よりも下降させることにより、前記ワーク基板Wを前記各アルミ押出材1に接触させるようにしてもよい)。
【0047】
他方、図10において、35は、前記冷却水供給管33からの冷却水であって前記各筒状パイプ6a内での熱交換に使用された後の水を、前記各筒状パイプ6aの外に流出させるために前記各筒状パイプ6aの図示上端部に取り付けられた流出口部である。また、36は、前記各流出口部35から流出された水を各支管36aを介して受け入れて冷却水源(図示せず)に戻す(符号C参照)ための排水管、である。
【0048】
なお、本実施例1における前記各受水口部34(又は、前記各受水口部34、前記冷却水供給管33、前記流出口部35、及び前記排水管36)は、本発明における「筒状パイプの中に冷却水又は冷媒を流通させるための冷却水等供給部」の一具体例である。
【0049】
本実施例1においては、図9で示す前記制御装置32に、各ワーク基板Wの種類などに応じた冷却時間と、この各ワーク基板Wに適した冷却時間を実現するために必要な前記ローラ回転軸21の駆動態様を実現するためのプログラムが予め記録されている。前記制御装置32は、前記プログラムにしたがって、前記駆動部31を制御する。例えば、前記制御装置32は、ワーク基板Wを10分間だけ冷却する必要がある場合は、ワーク基板Wが前記冷却機能を備えた複数のアルミ押出材1が並べられて成る冷却ゾーン(冷却機構)の上に移動した後、ワーク基板Wを、前記冷却ゾーンの上で、前記10分間だけ、例えば100〜200mmくらいずつ図8の左右方向に揺動させる(左方向への例えば100〜200mmの移動と右左方向への例えば100〜200mmの移動とを所定回数だけ繰り返す)。このような揺動により、ワーク基板Wの全体が均一に冷却されるようになる。そして、前記の必要な冷却時間が経過したら、前記制御装置32は、ワーク基板Wを前記冷却ゾーン(冷却機構)から他へ移動させる。
【0050】
図11は本実施例1における前記加熱ゾーン(加熱ポジション)と冷却ゾーン(冷却ポジション)を示す模式図である。図11において、41は前記各筒状パイプ6にそれぞれ棒状ヒーターが挿入されている複数個のアルミ押出材1から構成される加熱機構が配置されている加熱ゾーン(加熱ポジション)、42は前記各筒状パイプ6aにそれぞれ前記冷却水用の受水口部34が取り付けられている複数個のアルミ押出材1から構成される加熱機構が配置されている冷却ゾーン(冷却ポジション)、Pはワーク基板Wの搬送方向を示している。なお、図11では、加熱ゾーン(加熱ポジション)からそのまま冷却ゾーン(冷却ポジション)へ連続的に移行するようにしているが、工場のレイアウトによっては、加熱ゾーン(加熱ポジション)と冷却ゾーン(冷却ポジション)との間に、通常の(加熱及び冷却機能を有していない)コンベアを介在させるようにしてもよい。
【0051】
以上のように、本実施例1においては、前記切断済み押出材1と各ローラ22(及び回転軸21)とにより加熱及び冷却機能付きコンベアを構成しているので、ワーク基板Wの縦横サイズが変更されために加熱機能及び冷却機能付きコンベアの縦横サイズを変更する必要が生じた場合でも、前記アルミ押出材を切断して前記切断済み押出板1を形成するときの切断する長さを変更すると共にこのようにして切断されて成る切断済み押出板1の個数を増減するだけで、前記加熱機能及び冷却機能付きコンベアの縦横サイズの変更を行うことができる(しかも従来から前記アミ押出材は極めて低コストで製造でき前記切断作業なども極めて低コストで行うことができる)ので、前記ワーク基板Wの縦横サイズの変更に対して、極めて容易に且つ低コストで対応することができる。
【0052】
また、本実施例1においては、加熱機能及び冷却機能付きコンベアを、複数の切断済み押出材1を所定の間隔を介して並べることにより構成するようにし、前記棒状ヒーターからの熱(又は冷却水からの冷熱)は前記帯状の上側接続部7を介して前記上板部3に伝熱されて前記上板部3の全体から熱(又は冷熱)が面状に放射されて前記ワーク基板Wを面状に加熱(又は冷却)するようにしている。したがって、本実施例1によれば、前記棒状ヒーターにより直接ワーク基板Wを加熱する場合(この場合はワーク基板Wの中の前記棒状ヒーターに対向する線状部分だけが他の部分より強く加熱されてしまうのでワーク基板Wに加熱ムラなどが生じてしまう)などと比較して、ワーク基板W全体をより均一に加熱(又は冷却)できるようになる。
【0053】
また、本実施例1によれば、従来のコンベアにおけるような加熱のためだけに使用する加熱板と冷却のためだけに使用する冷却板とをそれぞれ別個に備えることが不要になるので装置全体の軽量化・低コスト化が可能になる、前記の従来のコンベアにおいて必要であった加熱工程から冷却工程に移行するときのガラス基板を加熱板から冷却板へ移載するための移載装置が不要になるので装置全体の簡素化・低コスト化が可能になる、前記の従来のコンベアにおけるように加熱板と冷却板とを別々に備えることが不要になるので装置全体の床面積を節減することができる、などの効果を得ることができる。
【0054】
また、本実施例1においては、ワーク基板Wを前記加熱又は冷却ゾーン(加熱又は冷却機構)の上で加熱又は冷却するとき、前記制御装置32が前記駆動部31を制御することにより、ワーク基板Wが、前記加熱又は冷却ゾーン(加熱又は冷却機構)の上で、例えば100〜200mmくらいずつ図8の左右方向に揺動させる(左方向への例えば100〜200mmの移動と右左方向への例えば100〜200mmの移動とを所定回数だけ繰り返す)ようにしているので、ワーク基板Wの全体をより一層、均一に加熱又は冷却できるようになる。
【0055】
また、本実施例1において、前記各切断済み押出材1の側板部5の途中部分に前記筒状パイプ9を一体に形成したときは、前記側板部5の途中部分の筒状パイプ9の中に棒状ヒーターを挿入することにより、前記ワーク基板Wを加熱することができる。
【0056】
また、本実施例1において、前記各切断済み押出材1の左右各上端部に上側突出片11を一体に形成し、この上側突出片11を利用して、前記各切断済み押出材1の間の隙間(前記ローラ22が突出している部分を除く)のワーク基板W側(上側)を塞ぐための上カバー23を備えるようにしたときは、前記棒状ヒーターからの熱(又は冷却水からの冷熱)が前記隙間から逃げることを防止できるので、前記ワーク基板Wへの加熱(又は冷却)がより効率的に行えるようになる。
【0057】
また、本実施例1において、前記各切断済み押出材1の左右各下端部に下側突出片10を一体に形成し、この下側突出片10を利用して、前記各切断済み押出材1の間の隙間の前記ワーク基板Wと反対側(下側)を塞ぐための下カバー24を備えるようにしたときは、前記棒状ヒーターからの熱(又は冷却水からの冷熱)が前記隙間から逃げることを防止できるので、前記ワーク基板Wへの加熱(又は冷却)がより効率的に行えるようになる。
【0058】
さらに、本実施例1において、前記各切断済み押出材1の各切断面に切断面用カバー25を取り付けるようにしたときは、前記棒状ヒーターからの熱(又は冷却水からの冷熱)が前記切断面の開口部(空洞部2や筒状パイブ6,9の開口部など)から逃げることを防止できるので、前記ワーク基板Wへの加熱(又は冷却)がより効率的に行えるようになる。
【0059】
また、本実施例1によれば、加熱機構及び冷却機構付きコンベアを前記切断済み押出材1を複数個並べることにより構成しているので、加熱機構及び冷却機構付きコンベアの全体を軽量化することができると共に、加熱機構及び冷却機構付きコンベアによるワーク基板Wの加熱(又は冷却)のための消費電力を節減することができる。
【0060】
以上、本発明の各実施例について説明したが、本発明は前記の各実施例として述べたものに限定されるものではなく、様々な修正及び変更が可能である。例えば、前記実施例1においては前記各切断済み押出材1の空洞部2内に計3個の筒状パイプ6,6aを一体に形成するようにしている(前記各切断済み押出材1の側板部5の途中部分には他の筒状パイプ9も形成している)が、前記空洞部2内にはより多数の又は1個の筒状パイプを一体に形成するようにしてもよい。また、逆に、前記実施例1においては前記各切断済み押出材1の空洞部2内に3個の筒状パイプ6,6aを形成すると共に前記各切断済み押出材1の左右の各側板部5の途中部分に筒状パイプ9を形成することにより前記各切断済み押出材1に全体として計5個の筒状パイプを形成するようにしているが、前記各切断済み押出材1に全体として少なくとも一つの筒状パイプを形成するものでもよい。また、前記実施例1においては、前記筒状パイプ6などに挿入する細長ヒーターとして棒状ヒーターを使用しているが、本発明においては、前記筒状パイプ6などに挿入できるヒーターであればどのような形状でもよく、例えばコイル状のニクロム線を前記筒状パイプ6などに挿入できるように全体を細長く形成したものなどでもよいことはもちろんである。
【符号の説明】
【0061】
1 切断済み押出材
2 空洞部
3 上板部
4 下板部
5 側板部
6,6a,9 筒状パイプ
7 上側接続部
8 下側接続部
10 下側突出片
11 上側突出片
20 支持フレーム
21 回転軸
22 ローラ
23 上カバー
24 下カバー
25 切断面用カバー
25a,25b 抜き穴
26 上側加熱板
27 棒状ヒーター
31 駆動部
32 制御装置
33 冷却水供給管
34 受水口部
35 流出口部
36 排水管
33a,36a 支管
P 搬送方向
W ワーク基板

【特許請求の範囲】
【請求項1】
ガラス製又は樹脂製のワーク基板(ロール状基板を含む)を所定の搬送方向に移動させるためのコンベアであって、
前記搬送方向と平行に延びる支持フレームと、
前記ワーク基板の加熱を行うための加熱機構であって、「アルミ押出材が所定の長さに切断されて成り、その内部が空洞部となっており、前記空洞部内には、その長手方向と平行な方向に延びる複数の筒状パイプと、前記筒状パイプと略平行に延びており前記各筒状パイプと前記空洞部を囲む外側枠体とをそれぞれ接続する帯状の接続部と、が一体に形成されており、前記外側枠体はその前記切断された面が略長方形状となっている、複数個の切断済み押出材」が、それぞれの長手方向が前記搬送方向と直交するように且つそれぞれが互いに所定の間隔を介して並べられるように前記支持フレームの上に配置されて成り、前記各切断済み押出材は、前記複数個の筒状パイプの少なくとも一つの中に棒状ヒーターなどの全体が細長い形状の細長ヒーターが挿入されることにより加熱機能を付与されている、加熱機構と、
前記ワーク基板の冷却を行うための冷却機構であって、「アルミ押出材が所定の長さに切断されて成り、その内部が空洞部となっており、前記空洞部内には、その長手方向と平行な方向に延びる複数の筒状パイプと、前記筒状パイプと略平行に延びており前記各筒状パイプと前記空洞部を囲む外側枠体とをそれぞれ接続する帯状の接続部と、が一体に形成されており、前記外側枠体はその前記切断された面が略長方形状となっている、複数個の切断済み押出材」が、それぞれの長手方向が前記搬送方向と直交するように且つそれぞれが互いに所定の間隔を介して並べられるように前記支持フレームの上に配置されて成り、前記各切断済み押出材は、前記複数個の筒状パイプの少なくとも一つに前記各筒状パイプの中に冷却水又は冷媒を流通させるための冷却水等供給部が備えられることにより冷却機能を付与されている、冷却機構と、
前記各切断済み押出材の間にそれぞれ配置され、前記切断済み押出材の上方に位置する前記ワーク基板の下面に接触して前記ワーク基板を移動させるための回転体と、
を備えた加熱及び冷却機能を備えたコンベア。
【請求項2】
請求項1において、
前記ワーク基板が前記冷却機構の上に移動したとき、前記ワーク基板が、所定の距離だけ前記搬送方向に移動した後に所定の距離だけ前記搬送方向と逆方向に移動する動作を、所定の回数又は所定の時間だけ繰り返すように、前記回転体を制御するための冷却制御手段、
を備えた、ことを特徴とする、加熱及び冷却機能を備えたコンベア。
【請求項3】
請求項1において、
前記ワーク基板が前記加熱機構の上に移動したとき、前記ワーク基板が、所定の距離だけ前記搬送方向に移動した後に所定の距離だけ前記搬送方向と逆方向に移動する動作を、所定の回数又は所定の時間だけ繰り返すように、前記回転体を制御するための加熱制御手段、
を備えた、ことを特徴とする、加熱及び冷却機能を備えたコンベア。

【図1】
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【図2】
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【図3】
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【図4】
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【図5】
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【図6】
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【図7】
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【図8】
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【図9】
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【図10】
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【図11】
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【公開番号】特開2010−215324(P2010−215324A)
【公開日】平成22年9月30日(2010.9.30)
【国際特許分類】
【出願番号】特願2009−62454(P2009−62454)
【出願日】平成21年3月16日(2009.3.16)
【特許番号】特許第4370363号(P4370363)
【特許公報発行日】平成21年11月25日(2009.11.25)
【出願人】(501341163)株式会社幸和 (4)
【Fターム(参考)】