加熱式圧力変換器用の熱取り付け板
センサハウジングと、センサハウジング内に配置されたヒータ殻体と、ヒータ殻体に作用可能に連結されたヒータと、ヒータ殻体内に受容されたセンサと、ヒータ殻体の外側にてセンサハウジング内に配置され且つ、センサから信号を受け取り得るようにされたエレクトロニクス組立体とを含む変換器組立体である。組立体は、また、ヒータ殻体の外側にてセンサハウジング内に配置された取り付け板４００も含む。取り付け板４００は、該取り付け板から伸びるアーム４０２と、エレクトロニクス組立体が取り付け板４００に固定される箇所である少なくとも１つの取り付け箇所４０４とを有している。アーム４０２は、センサハウジングに固定され、また、取り付け板４００は、アーム４０２と取り付け箇所４０４との間の熱伝導を妨害し得るようアーム４０２に隣接する開口４０６を含む。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、全体として、圧力変換器組立体に関する。より具体的には、本発明は、熱特徴が改良された圧力変換器組立体に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、半導体製品の製造時に色々な蒸着過程が有用であることが知られている。これらの過程は、典型的に、導電性、半導性及び絶縁性材料を含む色々な物質の極めて薄い層を基板上に堆積させるため使用されている。蒸着過程は、典型的に、堆積させた材料の各々を気体状態又は蒸気相にて堆積室まで搬送し、その堆積室内にて、その材料は加工中の加工物上に凝結させることを必要とする。
【０００３】
かかる堆積過程が効率良く作用するためには、その過程にて使用される気体又は蒸気の圧力を正確に制御する必要がある。その蒸気相にて堆積材料が比較的低い凝結温度（すなわち、室温よりも十分に低い温度）を有する場合、材料の圧力は、室温にて作動する圧力変換器を使用して制御することができる。しかし、堆積材料の気体状態又は蒸気相が凝結を防止するため、比較的高い温度、すなわち室温以上の温度を有する場合、かかる材料は、加熱され且つ、それらの凝結温度以上に維持され、従って、これらの熱した気体及び蒸気の圧力を測定するため、通常、加熱式変換器が必要とされる。加熱式圧力変換器は、固体材料の昇華又は析出を防止するために加熱されることも多々ある。例えば、周知であるように、塩化アンモニア（ＮＨ４Ｃｌ）は、窒化ケイ素（Ｓｉ３Ｎ４）の層を堆積させる過程の化学的副産物であり、圧力及び温度が過度に降下した場合、ＮＨ４Ｃｌは昇華し、このため、露出した冷たい表面上に固体塩が形成される。このようなＮＨ４Ｃｌの昇華を防止するため、これらの過程は１５０℃にて実施されることが多々ある。
【０００４】
図９には、典型的に比較的高温度の蒸着過程と関連して使用される型式の先行技術の加熱式圧力変換器組立体の一部分の断面図が示されている。変換器１００は、外部殻体１１０、ヒータ殻体１２０、ヒータ１３０、静電容量型圧力センサ１４０、フロントエンドエレクトロニクス組立体１６０、ヒータ制御エレクトロニクス組立体１７０、入力／出力（Ｉ／Ｏ）エレクトロニクス組立体１８０のような幾つかの主要な構成要素を含む。以下により詳細に説明するように、変換器１００は、センサ１４０により測定された圧力を表示する出力信号を発生させる。
【０００５】
説明の便宜のため、図９にて、センサ１４０の構造、サンサ１４０及びエレクトロニクス組立体１６０、１７０、１８０の取り付けのような変換器１００の多くの機械的詳細は省略されている。しかし、変換器１００のような加熱式静電容量型圧力変換器は、周知であり、米国特許第５，６２５，１５２号明細書（パンドロフ（Ｐａｎｄｏｒｆ））、米国特許第５，９１１，１６２号明細書（デナー（Ｄｅｎｎｅｒ））及び、米国特許第６，０２９，５２５号明細書（グルジエン（Ｇｒｕｄｚｉｅｎ））に記載されている。
【０００６】
簡単に説明すれば、外部殻体１１０は、下側閉塞体１１２と、上側エレクトロニクス閉塞体１１４と、閉塞体１１２、１１４を互いに保持する接続具１１６とを有している。ヒータ殻体１２０は、下側閉塞体１１２内に配設されており、また、下側閉塞体又は缶１２２と、カバー１２４とを含む。センサ１４０及びフロントエンドエレクトロニクス組立体１６０は、ヒータ殻体１２０内に配設される一方、ヒータ制御エレクトロニクス組立体１７０及びＩ／Ｏエレクトロニクス組立体１８０は、上側エレクトロニクス閉塞体１１４内に配設される。
【０００７】
ヒータ１３０は、缶１２２の回りに巻かれた筒形ヒータ１３２と、缶の底部に固定され且つ、線１３６を介して筒形ヒータ１３２と電気的に接続された端部ヒータ１３４とを含む。温度センサ（例えば、サーミスタ）１９０がヒータ殻体１２０の内面に固定されている。
【０００８】
センサ１４０は、金属製の可撓性隔膜１４２と、ヒータ殻体１２０及び下側センサ閉塞体１１２を通って隔膜の基端側の領域から伸びる圧力管１４４とを含む。管１４４の下端すなわち外端は、全体として、流体源（図示せず）と連結されている。流体源中の流体の圧力は、管１４４を介して隔膜１４２の下面に伝達され、また、隔膜１４２は、管１４４内の圧力の変化に応答して上方又は下方に撓む。隔膜１４２及びセンサ１４０の参照導電性板は、その静電容量が隔膜の動き又は撓みに従って変化するキャパシタを形成する。従って、その静電容量は管１４４内の圧力を表示する。フロントエンドエレクトロニクス組立体１６０及びＩ／Ｏエレクトロニクス組立体１８０は、協働して、センサ１４０の静電容量を表示する出力信号を発生させ、その静電容量は、勿論、管１４４内の圧力も表示する。Ｉ／Ｏエレクトロニクス組立体１８０は、その出力信号をエレクトロニクスコネクタ１８２を介して変換器１００の外部環境にて利用できるようにする。
【０００９】
図１０には、静電容量型圧力センサ１４０を製造する方法の一例が示されている。図１０に示した型式の静電容量型圧力センサは、米国特許第６，０２９，５２５号明細書（グルジエン）により詳細に記載されている。図１０に示したセンサ１４０は、円形の導電性、金属製の可撓性隔膜１４２と、圧力管１４４と、電極２４６とを含む。電極２４６及び隔膜１４２は、ハウジング２４８内に取り付けられている。電極２４６は、セラミックブロック２５０と、導電性板２５２とを含む。セラミックブロック２５０は、ブロック２５０の底面が隔膜１４２に対し全体として平行で且つ隔膜１４２から隔てられるように、ハウジング２４８に堅固に取り付けられている。ブロック２５０の底面は、通常、平坦で且つ円形である。導電性板２５２は、ブロック２５０の底面上に配設され且つ、隔膜１４２に対し全体として平行であり且つ隔膜１４２から隔てられている。導電性板２５２及び隔膜１４２は、可変キャパシタ２５４の２つの板を形成する。キャパシタ２５４の静電容量は、一部分、隔膜１４２と導電性板２５２との間の空隙又は間隔により決まる。隔膜は、管１４４内の圧力の変化に応答して上方及び下方に撓み（これにより、隔膜１４２と導電性板２５２との間の間隔を変化させる）から、キャパシタ２５４の静電容量は管１４４内の圧力を表示する。
【００１０】
図１０には、静電容量型圧力センサ１４０を形成する多くの既知の方法の１つのみが示されている。しかし、静電容量型圧力センサ１４０は、全体として、可撓性の導電性隔膜に対し隔てた関係に保持された１つ又はより多くの導体を含む。隔膜及び導体は、その静電容量が管１４４内の圧力の関数に従って変化する、１つ又はより多くの可変キャパシタの板を形成する。
【００１１】
図９を参照すると、理想的には、変換器１００の出力信号は、管１４４内の流体の圧力の変化に従ってのみ変化するものとする。しかし、変換器１００の温度又は変換器１００内の温度勾配の変化は、出力信号に影響を与える可能性がある。これは、主として、センサ１４０を製造するために使用される異なる材料の熱膨張係数が相違するためである。二次的効果は、フロントエンドエレクトロニクス１６０の温度感受性の性能に関するものである。従って、変換器１００の精度は、零囲気環境内の温度変化により悪影響を受ける可能性がある。
【００１２】
変化する零囲気温度による悪影響を最小にするため、変換器１００の温度感受性の構成要素（すなわち、センサ１４０及びフロントエンドエレクトロニクス１６０）は、ヒータ殻体１２０内に配設され、また、作動時、ヒータ１３０は、ヒータ殻体１２０を制御された一定の温度まで加熱する。ヒータ１３０及びヒータ殻体１２０は、実質的に、温度感受性構成要素の温度を一定の予め選んだ値に維持する温度制御式加熱炉を形成する。
【００１３】
作動時、ヒータ制御のエレクトロニクス組立体１７０は、線１７２を介してヒータ１３０に電気信号を付与する。ヒータ制御のエレクトロニクス組立体１７０は、通常、温度センサ１９０を介してヒータ殻体１２０の温度を監視し且つ、殻体１２０を一定の温度に維持し得るようヒータ１３０に付与される信号を調節する構成要素を含む。
【００１４】
センサ１４０を加熱する必要がある一方、エレクトロニクス組立体１６０、１７０、１８０の全てではないにしてもその幾つかを比較的低温度に維持して、それらの故障率を低くすることが好ましい。図９に示した実施例において、ヒータ制御のエレクトロニクス組立体１７０及びＩ／Ｏエレクトロニクス組立体１８０は、比較的低温度に維持される。このため、下側閉塞体１１２を上側閉塞体１１４に対し保持する接続具１１６は、アルミニウムのような熱伝導性材料にて出来ており、ヒータ１３０及びヒータ殻体１２０から且つ、ヒータ制御のエレクトロニクス組立体１７０及びＩ／Ｏエレクトロニクス組立体から熱を発散させる。これと代替的に、又はこれに加えて、変換器には、下側閉塞体１１２と上側閉塞体１１４との間にて対流冷却を可能にし得るよう換気口及び熱分路が設けられている。換気口及び熱分路の例は、米国特許第５，６２５，１５２号明細書（パンドロフその他の者）に示されている。上側閉塞体１１４を冷却する別の例は、上側閉塞体１１４を下側閉塞体１１２から物理的に隔て又は分離するステップを含む。ファン又は熱電冷却器を使用するアクティブな冷却方法を採用することもできる。
【特許文献１】米国特許第５，６２５，１５２号明細書
【特許文献２】米国特許第５，９１１，１６２号明細書
【特許文献３】米国特許第６，０２９，５２５号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１５】
エレクトロニクス組立体を比較的低温度に維持してそれらの故障率を低くすることを許容する改良された熱特徴を有する新規な加熱式圧力変換器が依然として望まれる。好ましくは、変換器は、比較的小型であり、ハウジング閉塞体は緊密に連結されるものとする。更に、変換器は、アクティブな冷却装置又は換気口を使用することを必要とせずに、ハウジング閉塞体内に保持されたエレクトロニクス組立体上にて直接的な空気流を許容することが好ましい。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
本発明は、センサハウジングと、センサハウジング内に配置されたヒータ殻体と、ヒータ殻体に作用可能に連結されたヒータ殻体と、ヒータ殻体内に受容されたセンサと、センサ殻体の外側にてセンサハウジング内に配設され、且つセンサから信号を受信し得るようにされたエレクトロニクス組立体とを含む変換器組立体を提供する。組立体は、また、ヒータ殻体の外側にて、センサハウジング内に配置された取り付け板も含む。取り付け板は、該取り付け板から伸びるアームと、エレクトロニクス組立体が取り付け板に固定される箇所である少なくとも１つの取り付け点とを有している。アームは、センサハウジングに固定され、また、取り付け板は、アームと取り付け板との間の熱伝導を妨害するためアームに隣接する開口を含む。
【００１７】
その他の形態及び有利な効果の内、新規且つ改良された変換器組立体は、改良された熱特徴を有しており、エレクトロニクス組立体は、取り付け板により加熱されたセンサから熱的に隔離されて、エレクトロニクス組立体が比較的低温度に維持されるようにする。
【００１８】
本発明の１つの形態に従い、センサは、静電容量型圧力センサを備え、また、組立体は、圧力センサと接続され且つヒータ殻体から伸びる管と、流体源と接続されるセンサハウジングとを更に含む。
【００１９】
本発明の上記及びその他の特徴並びに有利な点は、添付図面に示した、一例としての実施の形態に関する以下の詳細な説明を読むことにより、当該技術の当業者により明らかになるであろう。
【００２０】
幾つかの図面の全体を通じて同様の参照番号は同一の又は相応する構成要素及びユニットを示す。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
本発明は、新規且つ改良された加熱式圧力変換器組立体１０に関する。組立体１０の一例としての実施の形態が図１ないし図５に示されている。組立体１０は、全体として、センサハウジング１２と、センサハウジング１２内に配置されたヒータ殻体１４と、ヒータ殻体１４に作用可能に連結されたヒータ１６と、ヒータ殻体１４内に受容されたセンサ１８と、ヒータ殻体１４の外側にてセンサハウジング１２内に配置され且つ、センサ１８から信号を受け取り得るようにされたエレクトロニクス組立体２０とを含む。組立体は、また、ヒータ殻体１４の外側にて、センサハウジング１２内に配置された取り付け板４００も含む。取り付け板４００は、該取り付け板から伸びるアーム４０２と、エレクトロニクス組立体２０が取り付け板４００に固定される箇所である、少なくとも１つの取り付け箇所４０４とを有している。アーム４０２は、センサハウジング１２に固定され、また、取り付け板４００は、アーム４０２と取り付け箇所４０４との間の熱伝導を妨害する開口４０６を有している。
【００２２】
本発明のその他の形態及び有利な効果の内、新規且つ改良された変換器組立体１０は、改良された熱特徴を有し、エレクトロニクス組立体２０は、取り付け板４００及び絶縁体６０により加熱式センサ１８から熱的に絶縁されており、このため、エレクトロニクス組立体２０は比較的低温度に維持される。このことは、エレクトロニクス組立体２０及びその構成要素の寿命及び信頼性を向上させるのに役立つ。
【００２３】
図１ないし、図５に示した一例としての実施の形態において、センサは、静電容量型圧力センサ１８であり、また、組立体１０は、圧力センサ１８と接続され且つ、流体源と接続し得るようにヒータ殻体１４及びセンサハウジング１２から伸びる管２２を更に含む。しかし、本発明は、圧力センサ１８と共に使用することにのみ限定されず、その他の型式の加熱式センサ内のエレクトロニクスを熱的に隔離するため使用することができることを理解すべきである。
【００２４】
図６及び図７には、変換器組立体１０から除去した取り付け板４００の斜視図も示されている。取り付け板４００は、取り付けられたエレクトロニクス組立体２０の振動を減少させ得るように、適した材料にて、及び適した寸法、剛性及び強度にて製造されている。一例としての実施の形態に従い、取り付け板４００は、ステンレス鋼にて出来ており且つ、円形である。しかし、本発明の取り付け板４００は、その他の形状及びその他の材料にて提供することができる。
【００２５】
図５ないし図８に示したように、取り付け板４００は、３つのアーム４０２を含むが、また、２つのアームのみ、又は３つ以上のアームを含むことができる。図示した一例としての実施の形態において、アーム４０２は円形の取り付け板４００から半径方向外方に伸び且つ曲げられ、このため、アームの各々は、曲がり部の前方の第一の部分４０８と、曲がり部の後方の第二の部分４１０とを含む。アームの各々は直角に曲げられている。取り付け板４００のアーム４０２は、センサハウジング１２の側壁に固定され、これにより、取り付け板４００を変換器組立体１０内にて固定する。図示した一例としての実施の形態において、アーム４０２の各々の第二の部分４１０は、ねじ付き穴４１２を有し、アーム４０２は、ハウジングの穴を通って伸び且つ、アーム４０２のねじ付き穴４１２内に螺着可能に受け入れられたねじ２４によりハウジング１２に固定されている。
【００２６】
図５ないし図７に図示したように、取り付け板４００の開口４０６は、円形である。更に、円形の開口４０６は、アーム４０２の各々の前方にて変位した２列に配置されている。図示した一例としての実施の形態において、取り付け板４００は、アーム４０２の各々に対し合計５つの開口４０６を含む。上述したように、開口４０６は、アーム４０２と取り付け板４００の取り付け箇所４０４との間にて熱伝導を妨害し又は熱抵抗を増大させ、取り付け箇所４０４を通じて取り付け板４００と接続された温度感受性構成要素が熱的に絶縁されるようにする。開口４０６の位置及び分配は、取り付け板４００における取り付け箇所４０４の位置に依存する。すなわち、取り付け箇所４０４の位置は、随意的であり、熱抵抗開口４０６の分配及び設計を決定することになろう。しかし、熱抵抗開口４０６の分配及び設計は、また、取り付け板４００に望まれる剛性にも依存する。大きい連続的な開口４０６は、また、より大きい熱抵抗を提供するものとして望ましいであろうが、かかる大きい開口４０６は、取り付け板４００の安定性を低下させることになろう。
【００２７】
取り付け板４００の増大した熱抵抗は、エレクトロニクス組立体２０が零囲気温度の変化に反応する時間を長くするため使用される。１つの特定の用途において、温度補償するエレクトロニクスがエレクトロニクス組立体２０上に配置されている。取り付け板４００の熱抵抗、従って、補償回路の零囲気の変化に対する応答時間の増大は、零囲気温度の変化に対するセンサ出力の変化の時間的補償を改良することになる。
【００２８】
図８には、図１の変換器組立体１０と共に使用される、本発明に従った構造とした取り付け板５００の別の一例としての実施の形態が示されている。図８の取り付け板５００は、図５ないし図７の取り付け板４００と同様であり、このため、同様の要素は、同一の参照番号を有する。しかし、図８の取り付け板５００は、細長で且つ取り付け板５００の中心の回りにて同心円状に配置された熱抵抗開口５０６を有している。更に、細長い熱抵抗開口５０６は、連続的な円にて変位され、取り付け板５００に対しより大きい強度及び剛性を提供する。
【００２９】
何れかのイベントにて、本発明の熱抵抗開口は、該開口が板の強度及び剛性を許容し得ない程、低下させない限り、多くの形態をとることができる。熱抵抗開口は、取り付け板を製造する通常の押抜き過程の間、形成して、開口を追加することが板のコストの増加とならないようにすることができる。アーム４０２と取り付け箇所４０４との間の熱伝導率を低下させるため開口を追加することは、アーム４０２を長く且つ（又は）より狭小に形成するため好ましく、それは、より長く且つ狭小なアーム４０２は、増大した量の衝撃及び振動が接続されたエレクトロニクス組立体に伝導されることを許容することができるからである。
【００３０】
図３ないし図５及び図７を再度、参照すると、エレクトロニクス組立体２０と取り付け板４００の間に熱絶縁性の分離板２６が設けられている。締結具２８は、取り付け板４００の取り付け箇所４０４の穴を通って伸びて、エレクトロニクス組立体２０及び取り付け板４００を固定する。図示した実施例において、取り付け板４００には、２つの取り付け箇所４０４が設けられており、締結具は、図３に最も良く示したように、分離板２６内に螺着可能に受容されるねじ２８を備えている。
【００３１】
図示した、一例としての実施の形態において、エレクトロニクス組立体は、センサ１８から信号を受け取るため少なくとも１本の線３０を介してセンサ１８と電気的に接続された構成要素を有するセンサエレクトロニクス組立体２０を備えている。図４及び図５に図示したように、２本の線３０は、センサ１８から取り付け板４００を通って伸び且つ、センサエレクトロニクス組立体２０と接続される。
【００３２】
図３及び図４に最も良く示したように、変換器組立体１０は、センサハウジング１２に固定されていて、例えば線４６を介してヒータ殻体１４のヒータ１６に連結され且つヒータ１６を制御する構成要素を含むヒータエレクトロニクス組立体４２を保持する、エレクトロニクスハウジング４０と、エレクトロニクスハウジング４０内に配置され且つ、センサエレクトロニクス組立体２０と電気的に接続された入力−出力エレクトロニクス組立体４４と、を含む。センサエレクトロニクス組立体２０は、圧力センサ１８から信号を受け取り且つ、管２２を通して圧力センサ１８に加えられた圧力に基づいて、例えば、線４８を介してエレクトロニクスハウジング４０内の入力−出力エレクトロニクス組立体４４に測定信号を提供する。温度センサ（図示せず）は、ヒータ殻体１４内に配置され且つ、例えば、線（図示せず）を介してエレクトロニクスハウジング４０内のヒータエレクトロニクス組立体４２と接続されており、このため、ヒータエレクトロニクス組立体４２は、ヒータ殻体１４を適正に加熱することができる。入力−出力エレクトロニクス組立体４４は、コネクタポート６２と、エレクトロニクスハウジング４０から伸びる状況ライト６４とを含む。
【００３３】
入力−出力エレクトロニクス組立体４４は、ねじ５０のような締結具によりヒータエレクトロニクス組立体４２に固定され、また、入力−出力エレクトロニクス組立体４４とヒータエレクトロニクス組立体４２との間に分離板５２が設けられる。エレクトロニクスハウジング４０は、エレクトロニクスハウジング４０とセンサハウジング１２との間に配置された壁５６を有する接続具５４によりセンサハウジング１２に固定されている。ねじ５５のような締結具は、ハウジング１２、４０を接続具５４に固定する。熱絶縁層５８が接続具５４の壁５６とヒータエレクトロニクス組立体４２との間に配置されている。
【００３４】
図３及び図４に最も良く示したように、変換器組立体１０は、ヒータ１６及びヒータ殻体１４を取り囲む熱絶縁性ブランケット６０を更に含む。エレクトロニクス組立体２０及び取り付け板４００は、熱絶縁性ブランケット６０の外側に配置されている。
【００３５】
本発明の特定の実施の形態に関して図示し且つ説明したが、当該技術の当業者には多数の変更及び改変例が案出可能であることが理解されよう。従って、特許請求の範囲は、本発明の範囲に属するこうした変更及び改変例の全てを包含することを意図するものである。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】本発明に従って製造された変換器組立体の一例としての実施の形態を示す側面図である。
【図２】図１の変換器組立体の頂面図である。
【図３】図２の線３−３に沿った図１の変換器組立体の断面図である。
【図４】図２の線４−４に沿った図１の変換器組立体の断面図である。
【図５】本発明に従って製造された取り付け板の一例としての実施の形態の頂面図を示す、図３の線５−５に沿った図１の変換器組立体の断面図である。
【図６】図１の変換器組立体の取り付け板の頂面及び側面斜視図である。
【図７】図１の変換器組立体のエレクトロニクス組立体及び取り付け板の分解頂面及び側面斜視図である。
【図８】図１の変換器組立体と共に使用し得るよう本発明に従って製造された取り付け板の別の一例としての実施の形態を示す頂面及び側面斜視図である。
【図９】先行技術に従って製造された圧力変換器組立体の一例としての実施の形態を示す断面図である。
【図１０】図９の組立体用の静電容量型圧力センサの断面図である。
【技術分野】
【０００１】
本発明は、全体として、圧力変換器組立体に関する。より具体的には、本発明は、熱特徴が改良された圧力変換器組立体に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、半導体製品の製造時に色々な蒸着過程が有用であることが知られている。これらの過程は、典型的に、導電性、半導性及び絶縁性材料を含む色々な物質の極めて薄い層を基板上に堆積させるため使用されている。蒸着過程は、典型的に、堆積させた材料の各々を気体状態又は蒸気相にて堆積室まで搬送し、その堆積室内にて、その材料は加工中の加工物上に凝結させることを必要とする。
【０００３】
かかる堆積過程が効率良く作用するためには、その過程にて使用される気体又は蒸気の圧力を正確に制御する必要がある。その蒸気相にて堆積材料が比較的低い凝結温度（すなわち、室温よりも十分に低い温度）を有する場合、材料の圧力は、室温にて作動する圧力変換器を使用して制御することができる。しかし、堆積材料の気体状態又は蒸気相が凝結を防止するため、比較的高い温度、すなわち室温以上の温度を有する場合、かかる材料は、加熱され且つ、それらの凝結温度以上に維持され、従って、これらの熱した気体及び蒸気の圧力を測定するため、通常、加熱式変換器が必要とされる。加熱式圧力変換器は、固体材料の昇華又は析出を防止するために加熱されることも多々ある。例えば、周知であるように、塩化アンモニア（ＮＨ４Ｃｌ）は、窒化ケイ素（Ｓｉ３Ｎ４）の層を堆積させる過程の化学的副産物であり、圧力及び温度が過度に降下した場合、ＮＨ４Ｃｌは昇華し、このため、露出した冷たい表面上に固体塩が形成される。このようなＮＨ４Ｃｌの昇華を防止するため、これらの過程は１５０℃にて実施されることが多々ある。
【０００４】
図９には、典型的に比較的高温度の蒸着過程と関連して使用される型式の先行技術の加熱式圧力変換器組立体の一部分の断面図が示されている。変換器１００は、外部殻体１１０、ヒータ殻体１２０、ヒータ１３０、静電容量型圧力センサ１４０、フロントエンドエレクトロニクス組立体１６０、ヒータ制御エレクトロニクス組立体１７０、入力／出力（Ｉ／Ｏ）エレクトロニクス組立体１８０のような幾つかの主要な構成要素を含む。以下により詳細に説明するように、変換器１００は、センサ１４０により測定された圧力を表示する出力信号を発生させる。
【０００５】
説明の便宜のため、図９にて、センサ１４０の構造、サンサ１４０及びエレクトロニクス組立体１６０、１７０、１８０の取り付けのような変換器１００の多くの機械的詳細は省略されている。しかし、変換器１００のような加熱式静電容量型圧力変換器は、周知であり、米国特許第５，６２５，１５２号明細書（パンドロフ（Ｐａｎｄｏｒｆ））、米国特許第５，９１１，１６２号明細書（デナー（Ｄｅｎｎｅｒ））及び、米国特許第６，０２９，５２５号明細書（グルジエン（Ｇｒｕｄｚｉｅｎ））に記載されている。
【０００６】
簡単に説明すれば、外部殻体１１０は、下側閉塞体１１２と、上側エレクトロニクス閉塞体１１４と、閉塞体１１２、１１４を互いに保持する接続具１１６とを有している。ヒータ殻体１２０は、下側閉塞体１１２内に配設されており、また、下側閉塞体又は缶１２２と、カバー１２４とを含む。センサ１４０及びフロントエンドエレクトロニクス組立体１６０は、ヒータ殻体１２０内に配設される一方、ヒータ制御エレクトロニクス組立体１７０及びＩ／Ｏエレクトロニクス組立体１８０は、上側エレクトロニクス閉塞体１１４内に配設される。
【０００７】
ヒータ１３０は、缶１２２の回りに巻かれた筒形ヒータ１３２と、缶の底部に固定され且つ、線１３６を介して筒形ヒータ１３２と電気的に接続された端部ヒータ１３４とを含む。温度センサ（例えば、サーミスタ）１９０がヒータ殻体１２０の内面に固定されている。
【０００８】
センサ１４０は、金属製の可撓性隔膜１４２と、ヒータ殻体１２０及び下側センサ閉塞体１１２を通って隔膜の基端側の領域から伸びる圧力管１４４とを含む。管１４４の下端すなわち外端は、全体として、流体源（図示せず）と連結されている。流体源中の流体の圧力は、管１４４を介して隔膜１４２の下面に伝達され、また、隔膜１４２は、管１４４内の圧力の変化に応答して上方又は下方に撓む。隔膜１４２及びセンサ１４０の参照導電性板は、その静電容量が隔膜の動き又は撓みに従って変化するキャパシタを形成する。従って、その静電容量は管１４４内の圧力を表示する。フロントエンドエレクトロニクス組立体１６０及びＩ／Ｏエレクトロニクス組立体１８０は、協働して、センサ１４０の静電容量を表示する出力信号を発生させ、その静電容量は、勿論、管１４４内の圧力も表示する。Ｉ／Ｏエレクトロニクス組立体１８０は、その出力信号をエレクトロニクスコネクタ１８２を介して変換器１００の外部環境にて利用できるようにする。
【０００９】
図１０には、静電容量型圧力センサ１４０を製造する方法の一例が示されている。図１０に示した型式の静電容量型圧力センサは、米国特許第６，０２９，５２５号明細書（グルジエン）により詳細に記載されている。図１０に示したセンサ１４０は、円形の導電性、金属製の可撓性隔膜１４２と、圧力管１４４と、電極２４６とを含む。電極２４６及び隔膜１４２は、ハウジング２４８内に取り付けられている。電極２４６は、セラミックブロック２５０と、導電性板２５２とを含む。セラミックブロック２５０は、ブロック２５０の底面が隔膜１４２に対し全体として平行で且つ隔膜１４２から隔てられるように、ハウジング２４８に堅固に取り付けられている。ブロック２５０の底面は、通常、平坦で且つ円形である。導電性板２５２は、ブロック２５０の底面上に配設され且つ、隔膜１４２に対し全体として平行であり且つ隔膜１４２から隔てられている。導電性板２５２及び隔膜１４２は、可変キャパシタ２５４の２つの板を形成する。キャパシタ２５４の静電容量は、一部分、隔膜１４２と導電性板２５２との間の空隙又は間隔により決まる。隔膜は、管１４４内の圧力の変化に応答して上方及び下方に撓み（これにより、隔膜１４２と導電性板２５２との間の間隔を変化させる）から、キャパシタ２５４の静電容量は管１４４内の圧力を表示する。
【００１０】
図１０には、静電容量型圧力センサ１４０を形成する多くの既知の方法の１つのみが示されている。しかし、静電容量型圧力センサ１４０は、全体として、可撓性の導電性隔膜に対し隔てた関係に保持された１つ又はより多くの導体を含む。隔膜及び導体は、その静電容量が管１４４内の圧力の関数に従って変化する、１つ又はより多くの可変キャパシタの板を形成する。
【００１１】
図９を参照すると、理想的には、変換器１００の出力信号は、管１４４内の流体の圧力の変化に従ってのみ変化するものとする。しかし、変換器１００の温度又は変換器１００内の温度勾配の変化は、出力信号に影響を与える可能性がある。これは、主として、センサ１４０を製造するために使用される異なる材料の熱膨張係数が相違するためである。二次的効果は、フロントエンドエレクトロニクス１６０の温度感受性の性能に関するものである。従って、変換器１００の精度は、零囲気環境内の温度変化により悪影響を受ける可能性がある。
【００１２】
変化する零囲気温度による悪影響を最小にするため、変換器１００の温度感受性の構成要素（すなわち、センサ１４０及びフロントエンドエレクトロニクス１６０）は、ヒータ殻体１２０内に配設され、また、作動時、ヒータ１３０は、ヒータ殻体１２０を制御された一定の温度まで加熱する。ヒータ１３０及びヒータ殻体１２０は、実質的に、温度感受性構成要素の温度を一定の予め選んだ値に維持する温度制御式加熱炉を形成する。
【００１３】
作動時、ヒータ制御のエレクトロニクス組立体１７０は、線１７２を介してヒータ１３０に電気信号を付与する。ヒータ制御のエレクトロニクス組立体１７０は、通常、温度センサ１９０を介してヒータ殻体１２０の温度を監視し且つ、殻体１２０を一定の温度に維持し得るようヒータ１３０に付与される信号を調節する構成要素を含む。
【００１４】
センサ１４０を加熱する必要がある一方、エレクトロニクス組立体１６０、１７０、１８０の全てではないにしてもその幾つかを比較的低温度に維持して、それらの故障率を低くすることが好ましい。図９に示した実施例において、ヒータ制御のエレクトロニクス組立体１７０及びＩ／Ｏエレクトロニクス組立体１８０は、比較的低温度に維持される。このため、下側閉塞体１１２を上側閉塞体１１４に対し保持する接続具１１６は、アルミニウムのような熱伝導性材料にて出来ており、ヒータ１３０及びヒータ殻体１２０から且つ、ヒータ制御のエレクトロニクス組立体１７０及びＩ／Ｏエレクトロニクス組立体から熱を発散させる。これと代替的に、又はこれに加えて、変換器には、下側閉塞体１１２と上側閉塞体１１４との間にて対流冷却を可能にし得るよう換気口及び熱分路が設けられている。換気口及び熱分路の例は、米国特許第５，６２５，１５２号明細書（パンドロフその他の者）に示されている。上側閉塞体１１４を冷却する別の例は、上側閉塞体１１４を下側閉塞体１１２から物理的に隔て又は分離するステップを含む。ファン又は熱電冷却器を使用するアクティブな冷却方法を採用することもできる。
【特許文献１】米国特許第５，６２５，１５２号明細書
【特許文献２】米国特許第５，９１１，１６２号明細書
【特許文献３】米国特許第６，０２９，５２５号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１５】
エレクトロニクス組立体を比較的低温度に維持してそれらの故障率を低くすることを許容する改良された熱特徴を有する新規な加熱式圧力変換器が依然として望まれる。好ましくは、変換器は、比較的小型であり、ハウジング閉塞体は緊密に連結されるものとする。更に、変換器は、アクティブな冷却装置又は換気口を使用することを必要とせずに、ハウジング閉塞体内に保持されたエレクトロニクス組立体上にて直接的な空気流を許容することが好ましい。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
本発明は、センサハウジングと、センサハウジング内に配置されたヒータ殻体と、ヒータ殻体に作用可能に連結されたヒータ殻体と、ヒータ殻体内に受容されたセンサと、センサ殻体の外側にてセンサハウジング内に配設され、且つセンサから信号を受信し得るようにされたエレクトロニクス組立体とを含む変換器組立体を提供する。組立体は、また、ヒータ殻体の外側にて、センサハウジング内に配置された取り付け板も含む。取り付け板は、該取り付け板から伸びるアームと、エレクトロニクス組立体が取り付け板に固定される箇所である少なくとも１つの取り付け点とを有している。アームは、センサハウジングに固定され、また、取り付け板は、アームと取り付け板との間の熱伝導を妨害するためアームに隣接する開口を含む。
【００１７】
その他の形態及び有利な効果の内、新規且つ改良された変換器組立体は、改良された熱特徴を有しており、エレクトロニクス組立体は、取り付け板により加熱されたセンサから熱的に隔離されて、エレクトロニクス組立体が比較的低温度に維持されるようにする。
【００１８】
本発明の１つの形態に従い、センサは、静電容量型圧力センサを備え、また、組立体は、圧力センサと接続され且つヒータ殻体から伸びる管と、流体源と接続されるセンサハウジングとを更に含む。
【００１９】
本発明の上記及びその他の特徴並びに有利な点は、添付図面に示した、一例としての実施の形態に関する以下の詳細な説明を読むことにより、当該技術の当業者により明らかになるであろう。
【００２０】
幾つかの図面の全体を通じて同様の参照番号は同一の又は相応する構成要素及びユニットを示す。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
本発明は、新規且つ改良された加熱式圧力変換器組立体１０に関する。組立体１０の一例としての実施の形態が図１ないし図５に示されている。組立体１０は、全体として、センサハウジング１２と、センサハウジング１２内に配置されたヒータ殻体１４と、ヒータ殻体１４に作用可能に連結されたヒータ１６と、ヒータ殻体１４内に受容されたセンサ１８と、ヒータ殻体１４の外側にてセンサハウジング１２内に配置され且つ、センサ１８から信号を受け取り得るようにされたエレクトロニクス組立体２０とを含む。組立体は、また、ヒータ殻体１４の外側にて、センサハウジング１２内に配置された取り付け板４００も含む。取り付け板４００は、該取り付け板から伸びるアーム４０２と、エレクトロニクス組立体２０が取り付け板４００に固定される箇所である、少なくとも１つの取り付け箇所４０４とを有している。アーム４０２は、センサハウジング１２に固定され、また、取り付け板４００は、アーム４０２と取り付け箇所４０４との間の熱伝導を妨害する開口４０６を有している。
【００２２】
本発明のその他の形態及び有利な効果の内、新規且つ改良された変換器組立体１０は、改良された熱特徴を有し、エレクトロニクス組立体２０は、取り付け板４００及び絶縁体６０により加熱式センサ１８から熱的に絶縁されており、このため、エレクトロニクス組立体２０は比較的低温度に維持される。このことは、エレクトロニクス組立体２０及びその構成要素の寿命及び信頼性を向上させるのに役立つ。
【００２３】
図１ないし、図５に示した一例としての実施の形態において、センサは、静電容量型圧力センサ１８であり、また、組立体１０は、圧力センサ１８と接続され且つ、流体源と接続し得るようにヒータ殻体１４及びセンサハウジング１２から伸びる管２２を更に含む。しかし、本発明は、圧力センサ１８と共に使用することにのみ限定されず、その他の型式の加熱式センサ内のエレクトロニクスを熱的に隔離するため使用することができることを理解すべきである。
【００２４】
図６及び図７には、変換器組立体１０から除去した取り付け板４００の斜視図も示されている。取り付け板４００は、取り付けられたエレクトロニクス組立体２０の振動を減少させ得るように、適した材料にて、及び適した寸法、剛性及び強度にて製造されている。一例としての実施の形態に従い、取り付け板４００は、ステンレス鋼にて出来ており且つ、円形である。しかし、本発明の取り付け板４００は、その他の形状及びその他の材料にて提供することができる。
【００２５】
図５ないし図８に示したように、取り付け板４００は、３つのアーム４０２を含むが、また、２つのアームのみ、又は３つ以上のアームを含むことができる。図示した一例としての実施の形態において、アーム４０２は円形の取り付け板４００から半径方向外方に伸び且つ曲げられ、このため、アームの各々は、曲がり部の前方の第一の部分４０８と、曲がり部の後方の第二の部分４１０とを含む。アームの各々は直角に曲げられている。取り付け板４００のアーム４０２は、センサハウジング１２の側壁に固定され、これにより、取り付け板４００を変換器組立体１０内にて固定する。図示した一例としての実施の形態において、アーム４０２の各々の第二の部分４１０は、ねじ付き穴４１２を有し、アーム４０２は、ハウジングの穴を通って伸び且つ、アーム４０２のねじ付き穴４１２内に螺着可能に受け入れられたねじ２４によりハウジング１２に固定されている。
【００２６】
図５ないし図７に図示したように、取り付け板４００の開口４０６は、円形である。更に、円形の開口４０６は、アーム４０２の各々の前方にて変位した２列に配置されている。図示した一例としての実施の形態において、取り付け板４００は、アーム４０２の各々に対し合計５つの開口４０６を含む。上述したように、開口４０６は、アーム４０２と取り付け板４００の取り付け箇所４０４との間にて熱伝導を妨害し又は熱抵抗を増大させ、取り付け箇所４０４を通じて取り付け板４００と接続された温度感受性構成要素が熱的に絶縁されるようにする。開口４０６の位置及び分配は、取り付け板４００における取り付け箇所４０４の位置に依存する。すなわち、取り付け箇所４０４の位置は、随意的であり、熱抵抗開口４０６の分配及び設計を決定することになろう。しかし、熱抵抗開口４０６の分配及び設計は、また、取り付け板４００に望まれる剛性にも依存する。大きい連続的な開口４０６は、また、より大きい熱抵抗を提供するものとして望ましいであろうが、かかる大きい開口４０６は、取り付け板４００の安定性を低下させることになろう。
【００２７】
取り付け板４００の増大した熱抵抗は、エレクトロニクス組立体２０が零囲気温度の変化に反応する時間を長くするため使用される。１つの特定の用途において、温度補償するエレクトロニクスがエレクトロニクス組立体２０上に配置されている。取り付け板４００の熱抵抗、従って、補償回路の零囲気の変化に対する応答時間の増大は、零囲気温度の変化に対するセンサ出力の変化の時間的補償を改良することになる。
【００２８】
図８には、図１の変換器組立体１０と共に使用される、本発明に従った構造とした取り付け板５００の別の一例としての実施の形態が示されている。図８の取り付け板５００は、図５ないし図７の取り付け板４００と同様であり、このため、同様の要素は、同一の参照番号を有する。しかし、図８の取り付け板５００は、細長で且つ取り付け板５００の中心の回りにて同心円状に配置された熱抵抗開口５０６を有している。更に、細長い熱抵抗開口５０６は、連続的な円にて変位され、取り付け板５００に対しより大きい強度及び剛性を提供する。
【００２９】
何れかのイベントにて、本発明の熱抵抗開口は、該開口が板の強度及び剛性を許容し得ない程、低下させない限り、多くの形態をとることができる。熱抵抗開口は、取り付け板を製造する通常の押抜き過程の間、形成して、開口を追加することが板のコストの増加とならないようにすることができる。アーム４０２と取り付け箇所４０４との間の熱伝導率を低下させるため開口を追加することは、アーム４０２を長く且つ（又は）より狭小に形成するため好ましく、それは、より長く且つ狭小なアーム４０２は、増大した量の衝撃及び振動が接続されたエレクトロニクス組立体に伝導されることを許容することができるからである。
【００３０】
図３ないし図５及び図７を再度、参照すると、エレクトロニクス組立体２０と取り付け板４００の間に熱絶縁性の分離板２６が設けられている。締結具２８は、取り付け板４００の取り付け箇所４０４の穴を通って伸びて、エレクトロニクス組立体２０及び取り付け板４００を固定する。図示した実施例において、取り付け板４００には、２つの取り付け箇所４０４が設けられており、締結具は、図３に最も良く示したように、分離板２６内に螺着可能に受容されるねじ２８を備えている。
【００３１】
図示した、一例としての実施の形態において、エレクトロニクス組立体は、センサ１８から信号を受け取るため少なくとも１本の線３０を介してセンサ１８と電気的に接続された構成要素を有するセンサエレクトロニクス組立体２０を備えている。図４及び図５に図示したように、２本の線３０は、センサ１８から取り付け板４００を通って伸び且つ、センサエレクトロニクス組立体２０と接続される。
【００３２】
図３及び図４に最も良く示したように、変換器組立体１０は、センサハウジング１２に固定されていて、例えば線４６を介してヒータ殻体１４のヒータ１６に連結され且つヒータ１６を制御する構成要素を含むヒータエレクトロニクス組立体４２を保持する、エレクトロニクスハウジング４０と、エレクトロニクスハウジング４０内に配置され且つ、センサエレクトロニクス組立体２０と電気的に接続された入力−出力エレクトロニクス組立体４４と、を含む。センサエレクトロニクス組立体２０は、圧力センサ１８から信号を受け取り且つ、管２２を通して圧力センサ１８に加えられた圧力に基づいて、例えば、線４８を介してエレクトロニクスハウジング４０内の入力−出力エレクトロニクス組立体４４に測定信号を提供する。温度センサ（図示せず）は、ヒータ殻体１４内に配置され且つ、例えば、線（図示せず）を介してエレクトロニクスハウジング４０内のヒータエレクトロニクス組立体４２と接続されており、このため、ヒータエレクトロニクス組立体４２は、ヒータ殻体１４を適正に加熱することができる。入力−出力エレクトロニクス組立体４４は、コネクタポート６２と、エレクトロニクスハウジング４０から伸びる状況ライト６４とを含む。
【００３３】
入力−出力エレクトロニクス組立体４４は、ねじ５０のような締結具によりヒータエレクトロニクス組立体４２に固定され、また、入力−出力エレクトロニクス組立体４４とヒータエレクトロニクス組立体４２との間に分離板５２が設けられる。エレクトロニクスハウジング４０は、エレクトロニクスハウジング４０とセンサハウジング１２との間に配置された壁５６を有する接続具５４によりセンサハウジング１２に固定されている。ねじ５５のような締結具は、ハウジング１２、４０を接続具５４に固定する。熱絶縁層５８が接続具５４の壁５６とヒータエレクトロニクス組立体４２との間に配置されている。
【００３４】
図３及び図４に最も良く示したように、変換器組立体１０は、ヒータ１６及びヒータ殻体１４を取り囲む熱絶縁性ブランケット６０を更に含む。エレクトロニクス組立体２０及び取り付け板４００は、熱絶縁性ブランケット６０の外側に配置されている。
【００３５】
本発明の特定の実施の形態に関して図示し且つ説明したが、当該技術の当業者には多数の変更及び改変例が案出可能であることが理解されよう。従って、特許請求の範囲は、本発明の範囲に属するこうした変更及び改変例の全てを包含することを意図するものである。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】本発明に従って製造された変換器組立体の一例としての実施の形態を示す側面図である。
【図２】図１の変換器組立体の頂面図である。
【図３】図２の線３−３に沿った図１の変換器組立体の断面図である。
【図４】図２の線４−４に沿った図１の変換器組立体の断面図である。
【図５】本発明に従って製造された取り付け板の一例としての実施の形態の頂面図を示す、図３の線５−５に沿った図１の変換器組立体の断面図である。
【図６】図１の変換器組立体の取り付け板の頂面及び側面斜視図である。
【図７】図１の変換器組立体のエレクトロニクス組立体及び取り付け板の分解頂面及び側面斜視図である。
【図８】図１の変換器組立体と共に使用し得るよう本発明に従って製造された取り付け板の別の一例としての実施の形態を示す頂面及び側面斜視図である。
【図９】先行技術に従って製造された圧力変換器組立体の一例としての実施の形態を示す断面図である。
【図１０】図９の組立体用の静電容量型圧力センサの断面図である。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
変換器組立体において、
センサハウジングと、
センサハウジング内に配置されたヒータ殻体と、
ヒータ殻体に作用可能に連結されたヒータと、
ヒータ殻体内に受容されたセンサと、
ヒータ殻体の外側にてセンサハウジング内に配置され且つ、センサから信号を受け取り得るようにされたエレクトロニクス組立体と、
ヒータ殻体の外側にてセンサハウジング内に配置された取り付け板であって、前記取り付け板から伸びるアームと、エレクトロニクス組立体が取り付け板に固定される箇所である少なくとも１つの取り付け箇所とを有し、アームは、センサハウジングに固定され、取り付け板は、アームと取り付け箇所との間の熱伝導を防害し得るようにアームに隣接する開口を含む前記取り付け板とを備える、変換器組立体。
【請求項２】
請求項１に記載の変換器組立体において、センサハウジングは、側壁を有し、ねじは、取り付け板のアームをセンサハウジングの側壁に固定する、変換器組立体。
【請求項３】
請求項２に記載の変換器組立体において、取り付け板は３つのアームを有する、変換器組立体。
【請求項４】
請求項１に記載の変換器組立体において、取り付け板の開口は円形である、変換器組立体。
【請求項５】
請求項１に記載の変換器組立体において、取り付け板の開口は細長である、変換器組立体。
【請求項６】
請求項１に記載の変換器組立体において、エレクトロニクス組立体と取り付け板との間に熱絶縁性分離板が設けられる、変換器組立体。
【請求項７】
請求項１に記載の変換器組立体において、ヒータ及びヒータ殻体を取り囲む熱絶縁性ブランケットを更に備え、エレクトロニクス組立体及び取り付け板は、熱絶縁性ブランケットの外側に配置される、変換器組立体。
【請求項８】
請求項１に記載の変換器組立体において、エレクトロニクス組立体は、センサから信号を受け取るよう少なくとも１本の線を介してセンサと電気的に接続された構成要素を有するセンサエレクトロニクス組立体である、変換器組立体。
【請求項９】
請求項８に記載の変換器組立体において、センサハウジングに固定されたエレクトロニクスハウジングであって、ヒータを制御し得るようヒータ殻体のヒータに連結された構成要素を含むヒータエレクトロニクス組立体を保持する前記エレクトロニクスハウジングを更に備える、変換器組立体。
【請求項１０】
請求項９に記載の変換器組立体において、エレクトロニクスハウジング内に配置され且つ、ヒータエレクトロニクス組立体及びセンサエレクトロニクス組立体と電気的に接続された入力−出力エレクトロニクス組立体を更に備え、入力−出力エレクトロニクス組立体は、エレクトロニクスハウジングから伸びるコネクタポートを含む、変換器組立体。
【請求項１１】
請求項１０に記載の変換器組立体において、エレクトロニクスハウジングは、エレクトロニクスハウジングとセンサハウジングとの間に配置された壁を有する接続具によりセンサハウジングに固定される、変換器組立体。
【請求項１２】
請求項１１に記載の変換器組立体において、接続具の壁とヒータエレクトロニクス組立体との間に配置された熱絶縁層を更に備える、変換器組立体。
【請求項１３】
請求項１に記載の変換器組立体において、センサは、静電容量型圧力センサであり、組立体は、圧力センサと接続され且つ、ヒータ殻体及びセンサハウジングから伸びて流体源と接続される管を更に含む、変換器組立体。
【請求項１４】
請求項１に記載の変換器組立体において、アームは、取り付け板から半径方向外方に伸び且つ曲げられて、アームの各々は、曲がり部の前方の第一の部分と、曲がり部の後方の第二の部分とを含む、変換器組立体。
【請求項１５】
請求項１４に記載の変換器組立体において、アームは、直角に曲げられる、変換器組立体。
【請求項１６】
請求項１４に記載の変換器組立体において、アームの各々の第二の部分は、ねじ付き穴を有し、アームは、側壁の穴を通って伸び且つアームのねじ付き穴内に螺着可能に受容されたねじによりセンサハウジングの側壁に固定される、変換器組立体。
【請求項１７】
請求項１に記載の変換器組立体において、取り付け板の開口は、円形であり且つ、アームの各々の前方にて変位した２列に配置される、変換器組立体。
【請求項１８】
請求項１に記載の変換器組立体において、開口は、細長であり、取り付け板の中心の回りにて同心円に配置され且つ、連続的な円にて変位される、変換器組立体。
【請求項１９】
請求項１に記載の変換器組立体において、取り付け板は円形である、変換器組立体。
【請求項２０】
請求項１に記載の変換器組立体において、取り付け板はステンレス鋼にて出来ている、変換器組立体。
【請求項１】
変換器組立体において、
センサハウジングと、
センサハウジング内に配置されたヒータ殻体と、
ヒータ殻体に作用可能に連結されたヒータと、
ヒータ殻体内に受容されたセンサと、
ヒータ殻体の外側にてセンサハウジング内に配置され且つ、センサから信号を受け取り得るようにされたエレクトロニクス組立体と、
ヒータ殻体の外側にてセンサハウジング内に配置された取り付け板であって、前記取り付け板から伸びるアームと、エレクトロニクス組立体が取り付け板に固定される箇所である少なくとも１つの取り付け箇所とを有し、アームは、センサハウジングに固定され、取り付け板は、アームと取り付け箇所との間の熱伝導を防害し得るようにアームに隣接する開口を含む前記取り付け板とを備える、変換器組立体。
【請求項２】
請求項１に記載の変換器組立体において、センサハウジングは、側壁を有し、ねじは、取り付け板のアームをセンサハウジングの側壁に固定する、変換器組立体。
【請求項３】
請求項２に記載の変換器組立体において、取り付け板は３つのアームを有する、変換器組立体。
【請求項４】
請求項１に記載の変換器組立体において、取り付け板の開口は円形である、変換器組立体。
【請求項５】
請求項１に記載の変換器組立体において、取り付け板の開口は細長である、変換器組立体。
【請求項６】
請求項１に記載の変換器組立体において、エレクトロニクス組立体と取り付け板との間に熱絶縁性分離板が設けられる、変換器組立体。
【請求項７】
請求項１に記載の変換器組立体において、ヒータ及びヒータ殻体を取り囲む熱絶縁性ブランケットを更に備え、エレクトロニクス組立体及び取り付け板は、熱絶縁性ブランケットの外側に配置される、変換器組立体。
【請求項８】
請求項１に記載の変換器組立体において、エレクトロニクス組立体は、センサから信号を受け取るよう少なくとも１本の線を介してセンサと電気的に接続された構成要素を有するセンサエレクトロニクス組立体である、変換器組立体。
【請求項９】
請求項８に記載の変換器組立体において、センサハウジングに固定されたエレクトロニクスハウジングであって、ヒータを制御し得るようヒータ殻体のヒータに連結された構成要素を含むヒータエレクトロニクス組立体を保持する前記エレクトロニクスハウジングを更に備える、変換器組立体。
【請求項１０】
請求項９に記載の変換器組立体において、エレクトロニクスハウジング内に配置され且つ、ヒータエレクトロニクス組立体及びセンサエレクトロニクス組立体と電気的に接続された入力−出力エレクトロニクス組立体を更に備え、入力−出力エレクトロニクス組立体は、エレクトロニクスハウジングから伸びるコネクタポートを含む、変換器組立体。
【請求項１１】
請求項１０に記載の変換器組立体において、エレクトロニクスハウジングは、エレクトロニクスハウジングとセンサハウジングとの間に配置された壁を有する接続具によりセンサハウジングに固定される、変換器組立体。
【請求項１２】
請求項１１に記載の変換器組立体において、接続具の壁とヒータエレクトロニクス組立体との間に配置された熱絶縁層を更に備える、変換器組立体。
【請求項１３】
請求項１に記載の変換器組立体において、センサは、静電容量型圧力センサであり、組立体は、圧力センサと接続され且つ、ヒータ殻体及びセンサハウジングから伸びて流体源と接続される管を更に含む、変換器組立体。
【請求項１４】
請求項１に記載の変換器組立体において、アームは、取り付け板から半径方向外方に伸び且つ曲げられて、アームの各々は、曲がり部の前方の第一の部分と、曲がり部の後方の第二の部分とを含む、変換器組立体。
【請求項１５】
請求項１４に記載の変換器組立体において、アームは、直角に曲げられる、変換器組立体。
【請求項１６】
請求項１４に記載の変換器組立体において、アームの各々の第二の部分は、ねじ付き穴を有し、アームは、側壁の穴を通って伸び且つアームのねじ付き穴内に螺着可能に受容されたねじによりセンサハウジングの側壁に固定される、変換器組立体。
【請求項１７】
請求項１に記載の変換器組立体において、取り付け板の開口は、円形であり且つ、アームの各々の前方にて変位した２列に配置される、変換器組立体。
【請求項１８】
請求項１に記載の変換器組立体において、開口は、細長であり、取り付け板の中心の回りにて同心円に配置され且つ、連続的な円にて変位される、変換器組立体。
【請求項１９】
請求項１に記載の変換器組立体において、取り付け板は円形である、変換器組立体。
【請求項２０】
請求項１に記載の変換器組立体において、取り付け板はステンレス鋼にて出来ている、変換器組立体。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【公表番号】特表２００９−５０１３３８（Ｐ２００９−５０１３３８Ａ）
【公表日】平成２１年１月１５日（２００９．１．１５）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００８−５２１４１１（Ｐ２００８−５２１４１１）
【出願日】平成１８年６月２３日（２００６．６．２３）
【国際出願番号】ＰＣＴ／ＵＳ２００６／０２４７６７
【国際公開番号】ＷＯ２００７／００８３８８
【国際公開日】平成１９年１月１８日（２００７．１．１８）
【出願人】（５９２０５３９６３）エム ケー エス インストルメンツ インコーポレーテッド (114)
【氏名又は名称原語表記】ＭＫＳ ＩＮＳＴＲＵＭＥＮＴＳ，ＩＮＣＯＲＰＯＲＡＴＥＤ
【Ｆターム（参考）】
【公表日】平成２１年１月１５日（２００９．１．１５）
【国際特許分類】
【出願日】平成１８年６月２３日（２００６．６．２３）
【国際出願番号】ＰＣＴ／ＵＳ２００６／０２４７６７
【国際公開番号】ＷＯ２００７／００８３８８
【国際公開日】平成１９年１月１８日（２００７．１．１８）
【出願人】（５９２０５３９６３）エム ケー エス インストルメンツ インコーポレーテッド (114)
【氏名又は名称原語表記】ＭＫＳ ＩＮＳＴＲＵＭＥＮＴＳ，ＩＮＣＯＲＰＯＲＡＴＥＤ
【Ｆターム（参考）】
[ Back to top ]