説明

半導体化合物

【課題】新規半導体化合物並びに該半導体化合物とポリマー結合剤とを含む半導体組成物の提供。
【解決手段】特定の置換基により置換されたテトラヒドロアクリジノアクリジン化合物。例としては式6で表される化合物が挙げられる。


化合物は、空気安定性、良好な溶解度および高い移動度を確実にするように設計される。

【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本開示は、半導体層を含む薄膜トランジスタ(TFT)および/または他の電子デバイスに関する。この半導体層は、本明細書に記載されるような半導体組成物から形成される。この組成物がデバイスの半導体層に使用される場合、高い移動度および優れた安定性が達成され得る。
【背景技術】
【0002】
TFTは一般に、基板上に、電気伝導性ゲート電極、ソースおよびドレイン電極、ゲート電極をソースおよびドレイン電極と分離する電気絶縁ゲート誘電体層、およびゲート誘電体層と接触し、ソースおよびドレイン電極を架橋する半導体層を含む。それらの性能は、電界効果移動度およびトランジスタ全体の電流オン/オフ比によって決定できる。高い移動度および高いオン/オフ比が望ましい。
【0003】
有機薄膜トランジスタ(OTFT)は、速いスイッチ操作速度および/または高い密度は重要でない場合に、電波による個体識別(RFID)タグおよびディスプレイ、例えば看板、読取機および液晶ディスプレイ用のバックプレーンスイッチ操作回路のような用途に使用できる。有機薄膜トランジスタはまた、魅力的な機械的特性、例えば物理的に小型、軽量および可撓性であるような特性を有する。
【0004】
有機薄膜トランジスタは、低コストの溶液に基づくパターニングおよび堆積技術、例えばスピンコーティング、溶液キャスティング、浸漬コーティング、ステンシル/スクリーン印刷、フレキソ印刷、グラビア印刷、オフセット印刷、インクジェット印刷、ミクロ接触印刷などを用いて製作できる。そのため、薄膜トランジスタ回路を製作する際にこれらの溶液に基づくプロセスを使用可能にするためには、溶液処理可能な材料が必要である。しかし、溶液処理によって形成される有機半導体またはポリマー半導体は、限られた溶解度、空気感受性、および特に低電界効果移動度が問題となる傾向がある。この不十分な性能は、小分子の不十分なフィルム形成性質に起因し得る。
【0005】
高い電界効果移動度、空気安定性および良好な溶解性を示す半導体化合物を開発することが所望される。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0006】
本願は、種々の実施形態において、式(I)のアクリジノアクリジン化合物を開示する:
【化1】

式中、RおよびRは、独立に、水素、アルキル基、置換されたアルキル基、アリール基および置換されたアリール基からなる群から選択され、式中、RからR12は、独立に、水素、アルキル基、置換されたアルキル基、アルコキシ基、アルキルチオ基、アルケニル基、置換されたアルケニル基、エチニル基、置換されたエチニル基、アリール基、置換されたアリール基、ヘテロアリール基、置換されたヘテロアリール基、トリアルキルシリル基、フルオロ炭化水素基、シアノ基、およびハロゲンからなる群から選択され;ここで式(I)の半導体は、主に結晶性または液晶である。化合物は、空気安定性、良好な溶解度および高い移動度を確実にするように設計される。
【0007】
一部の実施形態において、RおよびRは同一であり、RからR12の少なくとも1つは水素ではない。RおよびR10は通常は同一である。さらなる実施形態において、RおよびRは同一であり、水素ではない。追加の実施形態において、RおよびRは同一であり、水素ではなく;R、R、R、R、R、R、R11およびR12は水素であり;RおよびR10は同一である。こうした実施形態において、RおよびR10は同様に水素でない場合がある。
【0008】
一部の実施形態において、RおよびRは、独立に、アルキル基、アリール基、および置換されたアリール基からなる群から選択され;RからR12は水素である。
【0009】
場合により、RおよびRは同一であり、さらなる実施形態においては、独立にアルキルまたはアリールであってもよい。
【0010】
実施形態において、RおよびRはアルキルであり、RからR12の少なくとも1つは水素ではない。
【0011】
電界効果トランジスタ用途に関して、式(I)のアクリジノアクリジン化合物は、結晶性または液晶であるのが望ましい。
【0012】
ポリマー結合剤;および式(I)の半導体化合物を含む半導体組成物も開示される:
【化2】

式中、RおよびRは、独立に、水素、アルキル基、置換されたアルキル基、アリール基および置換されたアリール基からなる群から選択され;式中、RからR12は、独立に、水素、アルキル基、置換されたアルキル基、アルコキシ基、アルキルチオ基、アルケニル基、置換されたアルケニル基、エチニル基、置換されたエチニル基、アリール基、置換されたアリール基、ヘテロアリール基、置換されたヘテロアリール基、トリアルキルシリル基、フルオロ炭化水素基、シアノ基、およびハロゲンからなる群から選択される。
【0013】
ポリマー結合剤は、ポリメチルメタクリレート、ポリスチレン、ポリ(α−メチルスチレン)、ポリ(4−メチルスチレン)、ポリ(α−メチルスチレン−co−ビニルトルエン)、ポリ(スチレン−ブロック−ブタジエン−ブロック−スチレン)、ポリ(スチレン−ブロック−イソペン−ブロック−スチレン)、ポリ(ビニルトルエン)、ポリ(ビニルナフタレン)、ポリ(ビニルピリジン)、テルペン樹脂、ポリ(スチレン−co−2,4−ジメチルスチレン)、ポリ(クロロスチレン)、ポリ(スチレン−co−a−メチルスチレン)、ポリ(スチレン−co−ブタジエン)、ポリカルバゾール、ポリトリアリールアミン、ポリ(N−ビニルカルバゾール)、ポリチオフェン、およびこれらの混合物からなる群から選択されてもよい。
【0014】
ポリマー結合剤は、スチレン系ポリマーであってもよい。スチレン系ポリマーは、約40,000〜約2,000,000の重量平均分子量を有していてもよい。
【0015】
一部の実施形態において、小分子半導体とポリマー結合剤との重量比は、5:1〜2:3である。
【0016】
一部の実施形態において、RおよびRは水素ではなく;R、R、R、R、R、R、R11およびR12は水素であり;RおよびR10は同一である。
【0017】
他の実施形態において、半導体層を含む電子デバイスが開示され、ここで半導体層は、式(I)の小分子半導体を含む:
【化3】

式中、RおよびRは、独立に、水素、アルキル基、置換されたアルキル基、アリール基および置換されたアリール基からなる群から選択され、式中、RからR12は、独立に、水素、アルキル基、置換されたアルキル基、アルコキシ基、アルキルチオ基、アルケニル基、置換されたアルケニル基、エチニル基、置換されたエチニル基、アリール基、置換されたアリール基、ヘテロアリール基、置換されたヘテロアリール基、トリアルキルシリル基、フルオロ炭化水素基、シアノ基、およびハロゲンからなる群から選択され;ここで式(I)の半導体は、主に結晶性または液晶である。
【0018】
半導体層はさらに、ポリマー結合剤を含んでいてもよい。ポリマー結合剤は、ポリスチレン、ポリ(α−メチルスチレン)、ポリ(4−メチルスチレン)、ポリ(α−メチルスチレン−co−ビニルトルエン)、ポリ(スチレン−ブロック−ブタジエン−ブロック−スチレン)、ポリ(スチレン−ブロック−イソプレン−ブロック−スチレン)、ポリ(ビニルトルエン)、テルペン樹脂、ポリ(スチレン−co−2,4−ジメチルスチレン)、ポリ(クロロスチレン)、ポリ(スチレン−co−a−メチルスチレン)、ポリ(スチレン−co−ブタジエン)、ポリカルバゾール、ポリトリアリールアミン、ポリ(N−ビニルカルバゾール)、またはこれらの混合物であってもよい。
【0019】
一部の実施形態において、ポリマー結合剤はスチレン系ポリマーである。スチレン系ポリマーは、約40,000〜約2,000,000の重量平均分子量を有していてもよい。
【0020】
電子デバイスはさらに、誘電体層を含んでいてもよい。誘電体層は、改質された表面を含んでいてもよく、半導体層は、改質された表面に直接接触してもよい。一部の実施形態において、改質された表面は、オルガノシランで改質されている。
【図面の簡単な説明】
【0021】
【図1】本開示に従うTFTの第1の実施形態の図である。
【図2】本開示に従うTFTの第2の実施形態の図である。
【図3】本開示に従うTFTの第3の実施形態の図である。
【図4】本開示に従うTFTの第4の実施形態の図である。
【図5】6,12−ジヘキシル−アクリジノアクリジンの平衡配置および結晶構造のカラーモデルを示す。
【発明を実施するための形態】
【0022】
本明細書に開示される構成要素、プロセスおよび装置のより完全な理解は、添付の図面を参照することによって得ることができる。これらの図は、本開示を例証する便宜および容易さに基づいて概略的に示されているにすぎず、そのためデバイスまたはそれらの構成要素の相対的なサイズおよび寸法を示すことは意図されておらず、および/または例示的な実施形態の範囲を規定または限定することは意図されていない。
【0023】
明瞭性のために特定の用語が次の説明において使用されるが、これらの用語は、図面での例示のために選択された実施形態の特定構造だけを指すことを意図し、開示の範囲を規定または限定することを意図しない。図面および以下の次の説明において、同様の数字による指定は、同様の機能を有する構成要素を指すことを理解すべきである。
【0024】
量に関連して使用される修飾語「約」は、記載される値を含み、内容によって指定される意味を有する(例えば、特定量の測定に関連した程度の誤差を少なくとも含む)。範囲の内容において使用される場合、修飾語「約」はまた、2つの端点の絶対値によって規定される範囲を開示すると考えられるべきである。例えば、「約2〜約10」の範囲はまた、「2〜10」の範囲を開示する。
【0025】
用語「含む」は、指名された構成要素の存在を必要とし、他の構成要素の存在を可能にするように本明細書で使用される。用語「含む」は、指名された構成要素の製造から生じ得るいずれかの不純物と共に、指名された構成要素だけの存在を可能にする用語「からなる」を含むように解釈されるべきである。
【0026】
用語「主に」とは、50%を超える値を指す。
【0027】
本開示は、本明細書に開示されるように、小分子の半導体化合物を指す。小分子化合物は、良好な溶解度を示す。ポリマー結合剤および小分子半導体を含む組成物も開示される。この組成物から形成された半導体層は、空気中で非常に安定であり、高い移動度を有する。これらの半導体組成物は、電子デバイス、例えば薄膜トランジスタ(TFT)の層を形成するのに有用である。
【0028】
図1は、本開示に従うボトムゲート型のボトムコンタクト型TFT構成を例示する。TFT10は、ゲート電極18およびゲート誘電体層14と接触した基板16を含む。ゲート電極18は、ここでは基板16の頂上に記載されているが、ゲート電極は基板内のくぼみの中に位置することもできる。ゲート誘電体層14は、ゲート電極18とソース電極20、ドレイン電極22、および半導体層12とを分離することが重要である。半導体層12は、ソースおよびドレイン電極20および22の間に延びる。半導体は、ソースとドレイン電極20および22との間のチャンネル長さを有する。
【0029】
図2は、本開示に従う別のボトムゲート型のトップコンタクト型TFT構成を例示する。TFT30は、ゲート電極38およびゲート誘電体層34と接触した基板36を含む。半導体層32は、ゲート誘電体層34の頂部上に配置され、ソースおよびドレイン電極40および42と分離する。
【0030】
図3は、本開示に従うボトムゲート型のボトムコンタクト型TFT構成を例示する。TFT50は、ゲート電極としても作用し、ゲート誘電体層54と接触する基板56を含む。ソース電極60、ドレイン電極62、および半導体層52は、ゲート誘電体層54の頂上部に位置する。
【0031】
図4は、本開示に従うトップゲート型のトップコンタクト型TFT構成を例示する。TFT70は、ソース電極80、ドレイン電極82、および半導体層72と接触した基板76を含む。半導体層72は、ソースおよびドレイン電極80および82の間に延びる。ゲート誘電体層74は、半導体層72の頂部上にある。ゲート電極78は、ゲート誘電体層74の頂部上にあり、半導体層72と接触しない。
【0032】
小分子半導体は、式(I)の構造を有する。
【化4】

式中、RおよびRは、独立に、水素、アルキル基、置換されたアルキル基、アリール基および置換されたアリール基からなる群から選択され;式中、RからR12は、独立に、水素、アルキル基、置換されたアルキル基、アルコキシ基、アルキルチオ基、アルケニル基、置換されたアルケニル基、エチニル基、置換されたエチニル基、アリール基、置換されたアリール基、ヘテロアリール基、置換されたヘテロアリール基、トリアルキルシリル基、フルオロ炭化水素基、シアノ基、およびハロゲンからなる群から選択される。
【0033】
式(I−A)は、番号付けされた炭素原子を用いて式(I)の化合物を示す。
【化5】

この化合物は、R、R、RおよびRがいずれも水素でない場合に、3,6,9,12−四置換アクリジノアクリジンとしても既知である。アクリジノアクリジンコアは、「AA」として本明細書で略記されてもよい。例えば、式(I)の小分子半導体は、R、R、RおよびR10がいずれも水素でない場合に、3,6,9,12−四置換−AAと称することができる。
【0034】
用語「アルキル」は、全体として完全に飽和した炭素原子および水素原子を含むラジカルを指す。アルキルラジカルは、線状、分岐、または環状であってもよい。
【0035】
用語「アルケニル」とは、アリールまたはヘテロアリール構造の一部ではない少なくとも1つの炭素−炭素二重結合を含有する、全体として炭素原子および水素原子を含む芳香族ラジカルを指す。アルケニルラジカルは、線状、分岐または環状であってもよい。
【0036】
用語「エチニル」は、式−C≡CHを有するラジカルを指す。
【0037】
用語「アリール」は、全体として炭素原子および水素原子を含む芳香族ラジカルを指す。アリールは、炭素原子の数値範囲と関連して記載される場合、置換された芳香族ラジカルを含むように解釈されるべきではない。例えば、「6〜10個の炭素原子を含有するアリール」という語句は、フェニル基(6個の炭素原子)またはナフチル基(10個の炭素原子)だけを指すように解釈されるべきであり、メチルフェニル基(7個の炭素原子)を含むように解釈されるべきではない。
【0038】
用語「ヘテロアリール」は、炭素原子、水素原子およびヘテロ原子を、ラジカル環内に含む環状ラジカルを指し、この環状ラジカルは芳香族である。ヘテロ原子は、窒素、硫黄または酸素であってもよい。例示的なヘテロアリール基としては、チエニル(水素原子をチオフェンから除去することによって形成される式−CSの芳香族ラジカル)、ピリジニル、およびキノリニルが挙げられる。ヘテロアリールが炭素原子の数値範囲と関連して記載される場合、置換されたヘテロ芳香族ラジカルを含むように解釈されるべきでない。
【0039】
用語「アルコキシ」は、酸素原子に結合したアルキルラジカル、すなわち−O−C2n+1を指す。
【0040】
用語「アルキルチオ」は、硫黄原子に結合するアルキルラジカル、すなわち−S−C2n+1を指す。
【0041】
用語「トリアルキルシリル」は、ケイ素原子に結合した3つのアルキルラジカルを有する四価のケイ素原子を含むラジカル、すなわち−Si(R)を指す。3つのアルキルラジカルは、同一または異なっていてもよい。3つのアルキルラジカルは、置換されてもよい。
【0042】
用語「フルオロ炭化水素」は、全体として、フッ素、水素および炭素原子を含むラジカルを指す。少なくとも1つのフッ素原子が存在しなければならない。ラジカルは、直鎖または分岐鎖であることができ、普通は飽和されている。
【0043】
用語「置換された」とは、指名されたラジカルの少なくとも1つの水素原子が、別の官能基、例えばハロゲン、−CN、−NO、−COOHおよび−SOHで置換されていることを指す。例示的な置換されたアルキル基は、ペルハロアルキル基であり、ここでアルキル基中の1つ以上の水素原子は、ハロゲン原子、例えばフッ素、塩素、ヨウ素および臭素で置換される。上述の官能基の他、アルキル、アルケニル、またはエチニル基はまた、アリールまたはヘテロアリール基で置換されてもよい。例示的な置換されたアルケニル基はフェニルエテニル(−CH=CH−C)である。例示的な置換されたエチニル基はフェニルエチニル(−C≡C−C)である。アリールまたはヘテロアリール基はまた、アルキルまたはアルコキシで置換されてもよい。例示的な置換されたアリール基としては、メチルフェニルおよびメトキシフェニルが挙げられる。例示的な置換されたヘテロアリール基としては、3−メチルチエニルが挙げられる。
【0044】
一般に、アルキルおよびアルコキシ基は、それぞれ独立に、1〜30個の炭素原子を含有する。同様に、アリール基は、6〜30個の炭素原子を含有してもよい。ヘテロアリール基は、5〜25個の炭素原子を含有してもよい。
【0045】
上記で記述されるように、RからR12は同一または異なっていてもよい。一部の実施形態において、RおよびRは同一であり、またはRおよびR10は同一である。特定の実施形態において、RおよびRは同一または異なるアルキルであってもよい。より詳細な実施形態において、RおよびRは同じC−C16アルキルであり、特にCアルキル、すなわちヘキシルである。実施形態において、RおよびR10は同一または異なるアリールであってもよい。より詳細な実施形態において、RおよびR10は両方ともフェニルである。
【0046】
式(I)の化合物は、好ましくは主に結晶性または液晶である。化合物またはこの化合物から形成された半導体層は、約50%を超える結晶化度を示し得る。実施形態において、化合物または半導体層は、約80%を超える、または約90%を超える結晶化度を有していてもよい。半導体層の結晶化度は、いずれかの好適な方法、例えばX線回折方法を用いて決定できる。
【0047】
用語液晶とは、少なくとも2つの融点を有する化合物を指す。相転移温度は、いずれかの好適な方法を用いて、例えば示差走査熱量測定法によって決定できる。反対に、結晶性化合物は1つだけの融点を有する。
【0048】
実施形態において、小分子半導体は、約1.8〜約3.2eVのバンドギャップを有する。このバンドギャップは、通常、小分子半導体が、ペンタセン系半導体と比較した場合に、良好な空気中での安定性を有することを意味する。小分子半導体は、結晶性または液晶構造を有する。
【0049】
式(I)の小分子半導体を製造する方法は、一般にアクリジノアクリジン(AA)化合物の合成から始める。AA化合物の3−、6−、9−および/または12−位置における水素原子は、この場合に所望の置換基で置換されることができることが考えられる。AA化合物は、番号付けされた置換基位置を用いて以下に示される:
【化6】

【0050】
AAコアは、以下に例示される3工程スキームから形成されてもよい。第1の工程において、N−(7−ヒドロキシナフタレン−1−イル)アセトアミド1は、二量化され、ビナフトール誘導体2を生じる。
【化7】

【0051】
次に、ビナフトール誘導体2は、酸性条件下で脱保護を行い、アセチル基を水素原子で置換して、化合物3を生じる。
【化8】

【0052】
次いで化合物3は、Cu(II)が介する二重環化を行い、AAコアを生じる。
【化9】

【0053】
AAコア化合物は、3−、6−、9−および/または12−位置にて種々の方法によって官能化でき、すなわち置換できると考えられている。1つのこうした方法を以下に開示する。
【0054】
AAコア化合物は、ヘキシルブロミドを用いてまずN−アルキル化され、可溶性ジヘキシル誘導体4を得る。
【化10】

【0055】
可溶性のジヘキシル誘導体4は、二原子臭素および/またはN−ブロモスクシンイミドで臭素化され、化合物5を形成する。
【化11】

【0056】
化合物5は、アリールボロン酸で鈴木−宮浦クロスカップリングを行い、四置換された誘導体6を生じる。
【化12】

【0057】
例示的な小分子半導体が四置換される一方で、一置換、二置換、三置換、五置換、六置換された化合物も同様の反応を介して製造できる。
【0058】
図5は、6,12−ジヘキシルAAのカラー分子モデル、すなわちRおよびRがヘキシルである式(I)の化合物を例示する。モデルは、化合物の平衡配置および結晶構造を示す。Materials Studio 5.0にてDMol3パッケージを用いて形成されたモデルおよび結晶構造予測を、Polymorphモジュールを用いて行った。理論に束縛されないが、窒素ヘテロ原子が安定性を補助すると考えられ、拡張されたヘテロアセンコアは軌道の重なりを向上させ、6−位および12−位での置換が溶解度を補助し、固相充填を向上させる。化合物は、空気安定性、良好な溶解度および高い移動度を確実にするように設計される。化合物を含む半導体層を含む電子デバイスは、周囲条件下、低コストで製造できる。
【0059】
小分子半導体自体は、不十分なフィルム形成特性を有していてもよい。故に、半導体組成物は、式(I)の小分子半導体およびポリマー結合剤を含むように形成されてもよい。これにより、均一なフィルムを得ることができ、デバイス性能を大きく改善する。ポリマー結合剤は、小分子半導体が分散されたマトリックスを形成すると考えられ得る。
【0060】
いずれかの好適なポリマーは、半導体組成物のためのポリマー結合剤として使用できる。一部の実施形態において、ポリマーは非晶質ポリマーである。非晶質ポリマーは、小分子半導体の融点温度未満のガラス転移温度を有していてもよい。実施形態において、ポリマーは、室温にて60Hzで測定される場合、4.5未満、好ましくは3.5未満(3.0未満を含む)の誘電率を有する。
【0061】
実施形態において、ポリマーは、C、H、F、Clおよび/またはN原子のみを含有するポリマーから選択される。一部の実施形態において、ポリマーは、極性基を有していない低極性ポリマー、例えば炭化水素ポリマーまたはフルオロカーボンポリマーである。例えば、ポリスチレンは、非晶質ポリマーであり、約2.6の誘電率を有する。他の低極性ポリマーのリストとしては、次のもの:フルオロポリアリールエーテル、ポリ(p−キシリレン)、ポリ(ビニルトルエン)、ポリ(α−メチルスチレン)、ポリ(ビニルナフタレン)、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリイソプレン、ポリ(テトラフルオロエチレン)、ポリ(クロロトリフルオロエチレン)、ポリ(2−メチル−1,3−ブタジエン)、ポリ(シクロヘキシルメタクリレート)、ポリ(クロロスチレン)、ポリ(4−メチルスチレン)、ポリ(ビニル、シクロヘキサン)、ポリフェニレン、ポリ−p−フェニルビニリデン、ポリ(アリーレンエーテル)、ポリイソブチレン、ポリ(2,6−ジメチル−1,4−フェニレンエーテル)、ポリ〔1,1−(2−メチルプロパン)ビス−(4−フェニル)カーボネート〕、ポリ(a−a−a’−a’テトラフルオロ−p−キシリレン)、フッ素化ポリイミド、ポリ(エチレン/テトラフルオロエチレン)、ポリ(エチレン/クロロトリフルオロエチレン)、フッ素化エチレン/プロピレンコポリマー、ポリ(スチレン−co−α−メチルスチレン)、ポリ(スチレン/ブタジエン)、ポリ(スチレン/2,4−ジメチルスチレン)、CYTOP、ポリ(プロピレン−co−1−ブテン)、ポリ(スチレン−co−ビニルトルエン)、ポリ(スチレン−ブロック−ブタジエン−ブロック−スチレン)、ポリ(スチレン−ブロック−イソプレン−ブロック−スチレン)、テルペン樹脂、ポリ(N−ビニルカルバゾール)、ポリカルバゾール、ポリトリアリールアミンなどが挙げられるが、これらに限定されない。
【0062】
一部の実施形態において、ポリマー結合剤は、ポリメチルメタクリレート、ポリスチレン、ポリ(α−メチルスチレン)、ポリ(4−メチルスチレン)、ポリ(α−メチルスチレン−co−ビニルトルエン)、ポリ(スチレン−ブロック−ブタジエン−ブロック−スチレン)、ポリ(スチレン−ブロック−イソペン−ブロック−スチレン)、ポリ(ビニルトルエン)、ポリ(ビニルナフタレン)、ポリ(ビニルピリジン)、テルペン樹脂、ポリ(スチレン−co−2,4−ジメチルスチレン)、ポリ(クロロスチレン)、ポリ(スチレン−co−α−メチルスチレン)、ポリ(スチレン−co−ブタジエン)、ポリカルバゾール、ポリトリアリールアミン、ポリ(N−ビニルカルバゾール)、ポリチオフェン、およびこれらの混合物から選択される。
【0063】
一部の実施形態において、ポリマー結合剤はスチレン系ポリマーである。スチレン系ポリマーは、式(II)のスチレンモノマーから誘導される繰り返し単位を含有する。
【化13】

式中、R、R、RおよびRは、独立に、水素、ハロゲン、およびC−C20アルキルであり;nは0〜5の整数である。スチレンモノマーは、スチレン(R、RおよびRはすべて水素であり、n=0)、α−メチルスチレン(Rはメチルであり、RおよびRは水素であり、n=0)、または4−メチルスチレン(R、RおよびRはすべて水素であり、n=1、Rは4位のメチルである)であることができる。
【0064】
スチレン系ポリマーは、約40,000〜約2,000,000の重量平均分子量を有していてもよい。
【0065】
小分子半導体とポリマー結合剤との重量比は、5:1〜2:3であってもよい。
【0066】
半導体組成物はさらに、小分子半導体およびポリマー結合剤が可溶性である溶媒を含んでいてもよい。溶液中に使用される例示的な溶媒としては、塩素化溶媒、例えばクロロベンゼン、クロロトルエン、ジクロロベンゼン、ジクロロエタンなど;アルコールおよびジオール、例えばプロパノール、ブタノール、ヘキサノール、ヘキサンジオールなど;炭化水素、または芳香族炭化水素、例えばヘキサン、ヘプタン、トルエン、キシレン、エチルベンゼンなど;ケトン、例えばアセトン、メチルエチルケトンなど;アセテート、例えばエチルアセテート;ピリジン、テトラヒドロフランなどを挙げることができる。
【0067】
実施形態において、小分子半導体およびポリマー結合剤を含む半導体組成物は、約1.5センチポイズ(cps)〜約100cps(約2〜約20cpsを含む)の粘度を有していてもよい。
【0068】
半導体層は、当該技術分野において既知の従来のプロセスを用いて電子デバイスに形成されてもよい。実施形態において、半導体層は、溶液堆積技術を用いて形成される。例示的な溶液堆積技術としては、スピンコーティング、ブレードコーティング、ロッドコーティング、浸漬コーティング、スクリーン印刷、インクジェット印刷、スタンプ印刷、ステンシル印刷、スクリーン印刷、グラビア印刷、フレキソ印刷などが挙げられる。
【0069】
半導体組成物を用いて形成される半導体層は、約5ナノメートル〜約1000ナノメートル深さ(約20〜約100ナノメートル深さを含む)であることができる。特定構成、例えば図1および図4に示される構成において、半導体層は、完全にソースおよびドレイン電極を覆う。
【0070】
TFTの性能は、移動度によって測定できる。移動度は、cm/V・secの単位で測定され;より高い移動度が望ましい。本開示の半導体組成物を用いて得られたTFTは、少なくとも約0.01cm/V・secの電界効果移動度を有していてもよい。本開示のTFTは、少なくとも約10の電流オン/オフ比を有していてもよい。
【0071】
薄膜トランジスタは、半導体層に加えて、一般に基板、任意のゲート電極、ソース電極、ドレイン電極、および誘電体層を含む。
【0072】
基板は、ケイ素、ガラスプレート、プラスチックフィルムまたはシートが挙げられるが、これらに限定されない材料を含み得る。構造的に可撓性のデバイスのために、プラスチック基板、例えばポリエステル、ポリカーボネート、ポリイミドシートなどが好ましい場合がある。基板厚さは、約10マイクロメートルから10ミリメートルを超えてもよく、例示的な厚さは特に可撓性プラスチック基板について約50〜約100マイクロメートル、硬質基板、例えばガラスまたはケイ素については約0.5〜約10ミリメートルである。
【0073】
誘電体層は、一般に、無機材料フィルム、有機ポリマーフィルム、または有機−無機複合フィルムであることができる。誘電体層として好適な無機材料の例としては、酸化ケイ素、窒化ケイ素、酸化アルミニウム、チタン酸バリウム、チタン酸バリウムジルコニウムなどが挙げられる。好適な有機ポリマーの例としては、ポリエステル、ポリカーボネート、ポリ(ビニルフェノール)、ポリイミド、ポリスチレン、ポリメタクリレート、ポリアクリレート、エポキシ樹脂などが挙げられる。誘電体層の厚さは、使用される材料の誘電率に依存し、例えば約10ナノメートル〜約500ナノメートルであることができる。誘電体層は、例えばセンチメートルあたり約10−12ジーメンス(S/cm)未満の伝導率を有していてもよい。誘電体層は、当該技術分野において既知の従来のプロセス(ゲート電極を形成する際に記載されたプロセスを含む)を用いて形成される。
【0074】
本開示において、誘電体層は、表面改質剤を用いて表面改質されてもよい。例示的な表面改質剤としては、オルガノシラン、例えばヘキサメチルジシラザン(HMDS)、オクチルトリクロロシラン(OTS−8)、オクタデシルトリクロロシラン(ODTS−18)およびフェニルトリクロロシラン(PTS)が挙げられる。半導体層は、この改質された誘電体層表面と直接接触し得る。接触は、完全または部分的であってもよい。この表面改質はまた、誘電体層と半導体層との間の界面層を形成するものとして考えられ得る。
【0075】
ゲート電極は、電気伝導性材料を含む。ゲート電極は、金属薄膜、伝導性ポリマーフィルム、伝導性インクまたはペーストから製造される伝導性フィルム、または基板自体、例えば重ドープされたケイ素であることができる。ゲート電極材料の例としては、これらに限定されないが、アルミニウム、金、銀、クロム、酸化インジウムスズ、伝導性ポリマー、例えばポリスチレンスルホネートドープされたポリ(3,4−エチレンジオキシチオフェン)(PSS−PEDOT)、およびカーボンブラック/グラファイトを含む伝導性インク/ペーストが挙げられる。ゲート電極は、真空蒸着、金属または伝導性金属酸化物のスパッタリング、従来のリソグラフィおよびエッチング、化学蒸着、スピンコーティング、キャスティングまたは印刷または他の堆積プロセスによって調製できる。ゲート電極の厚さは、例えば金属フィルムでは約10〜約200ナノメートル、伝導性ポリマーでは約1〜約10マイクロメートルの範囲である。ソースおよびドレイン電極として使用するのに好適な典型的な材料としては、ゲート電極材料の材料、例えばアルミニウム、金、銀、クロム、亜鉛、インジウム、伝導性金属酸化物、例えば酸化亜鉛ガリウム、酸化インジウムスズ、酸化インジウムアンチモン、伝導性ポリマーおよび伝導性インクが挙げられる。ソースおよびドレイン電極の典型的な厚さは、例えば約40ナノメートル〜約1マイクロメートル(より詳細な厚さは約100〜約400ナノメートルを含む)である。
【0076】
ソースおよびドレイン電極として使用するのに好適な典型的な材料としては、ゲート電極材料の材料、例えば金、銀、ニッケル、アルミニウム、白金、伝導性ポリマー、および伝導性インクが挙げられる。特定実施形態において、電極材料は、半導体に対して低接触抵抗を与える。典型的な厚さは、例えば約40ナノメートル〜約1マイクロメートルであり、より詳細な厚さは、約100〜約400ナノメートルである。本開示のOTFTデバイスは、半導体チャンネルを含有する。半導体チャンネル幅は、例えば約5マイクロメートル〜約5ミリメートルであってもよく、特定のチャンネル幅は約100マイクロメートル〜約1ミリメートルである。半導体チャンネル長さは、例えば約1マイクロメートル〜約1ミリメートルであってもよく、より詳細にはチャンネル長さは約5マイクロメートル〜約100マイクロメートルであってもよい。
【0077】
ソース電極は、接地され、例えば約0ボルト〜約80ボルトのバイアス電圧が、ドレイン電極に印加され、例えば約+10ボルト〜約−80ボルトの電圧がゲート電極に印加される場合に、半導体チャンネルにわたって輸送された電荷キャリアが回収される。電極は、当該技術分野において既知の従来のプロセスを用いて形成または堆積されてもよい。
【0078】
所望により、バリア層はまた、電気的特性を劣化させ得る環境条件、例えば光、酸素および湿気などから保護するために、TFTの頂部上に堆積されてもよい。こうしたバリア層は、当該技術分野において既知であり、ポリマーだけからなってもよい。
【0079】
OTFTの種々の構成要素は、いずれかの順序で基板上に堆積されてもよい。しかし、一般に、ゲート電極および半導体層は両方とも、ゲート誘電体層と接触すべきである。加えて、ソースおよびドレイン電極は両方とも、半導体層と接触すべきである。「いずれかの順序で」という語句は、連続した形成および同時形成を含む。例えば、ソース電極およびドレイン電極は、同時または連続的に形成できる。基板「上(on)」または「上(upon)」という用語は、種々の層および構成要素が頂部上にあり、これらの底部または支持体であるような基板に対して種々の層および構成要素を言及する。換言すれば、構成要素のすべては、それらすべてが基板と直接接触しない場合であっても、基板上にある。例えば、誘電体層および半導体層の両方は、1つの層が他の層よりも基板に近くても、基板上にある。得られたTFTは、良好な移動度および良好な電流オン/オフ比を有する。

【特許請求の範囲】
【請求項1】
式(I)の小分子半導体:
【化1】

式中、RおよびRは、独立に、水素、アルキル基、置換されたアルキル基、アリール基および置換されたアリール基からなる群から選択され;式中、RからR12は、独立に、水素、アルキル基、置換されたアルキル基、アルコキシ基、アルキルチオ基、アルケニル基、置換されたアルケニル基、エチニル基、置換されたエチニル基、アリール基、置換されたアリール基、ヘテロアリール基、置換されたヘテロアリール基、トリアルキルシリル基、フルオロ炭化水素基、シアノ基、およびハロゲンからなる群から選択され;ここで式(I)の半導体は、主に結晶性または液晶である。
【請求項2】
ポリマー結合剤および式(I)の半導体化合物を含む半導体組成物:
【化2】

式中、RおよびRは、独立に、水素、アルキル基、置換されたアルキル基、アリール基および置換されたアリール基からなる群から選択され;式中、RからR12は、独立に、水素、アルキル基、置換されたアルキル基、アルコキシ基、アルキルチオ基、アルケニル基、置換されたアルケニル基、エチニル基、置換されたエチニル基、アリール基、置換されたアリール基、ヘテロアリール基、置換されたヘテロアリール基、トリアルキルシリル基、フルオロ炭化水素基、シアノ基、およびハロゲンからなる群から選択される。
【請求項3】
半導体層を含む電子デバイスであって、半導体層が式(I)の小分子半導体を含む、デバイス:
【化3】

式中、RおよびRは、独立に、水素、アルキル基、置換されたアルキル基、アリール基および置換されたアリール基からなる群から選択され;式中、RからR12は、独立に、水素、アルキル基、置換されたアルキル基、アルコキシ基、アルキルチオ基、アルケニル基、置換されたアルケニル基、エチニル基、置換されたエチニル基、アリール基、置換されたアリール基、ヘテロアリール基、置換されたヘテロアリール基、トリアルキルシリル基、フルオロ炭化水素基、シアノ基、およびハロゲンからなる群から選択され;ここで式(I)の半導体は、主に結晶性または液晶である。

【図1】
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【図2】
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【図3】
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【図4】
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【図5】
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【公開番号】特開2012−167086(P2012−167086A)
【公開日】平成24年9月6日(2012.9.6)
【国際特許分類】
【出願番号】特願2012−14212(P2012−14212)
【出願日】平成24年1月26日(2012.1.26)
【出願人】(596170170)ゼロックス コーポレイション (1,961)
【氏名又は名称原語表記】XEROX CORPORATION
【Fターム(参考)】