半導体装置
【課題】酸化物半導体膜の被形成面近傍に含まれる不純物の濃度を低減する。また、酸化物半導体膜の結晶性を向上させる。該酸化物半導体膜を用いることにより、安定した電気特性を有する半導体装置を提供する。
【解決手段】ゲート電極と、ゲート電極を覆い、シリコンを含む酸化物を含むゲート絶縁膜と、ゲート絶縁膜と接し、少なくとも前記ゲート電極と重畳する領域に設けられた酸化物半導体膜と、酸化物半導体膜と接続するソース電極およびドレイン電極と、を有し、酸化物半導体膜における、ゲート絶縁膜との界面からの厚さが５ｎｍ以下の第１の領域において、シリコンの濃度が１．０原子％以下であり、酸化物半導体膜の第１の領域以外の領域に含まれるシリコンの濃度は、第１の領域に含まれるシリコンの濃度より小さく、少なくとも第１の領域内に、結晶部を含む半導体装置である。
【解決手段】ゲート電極と、ゲート電極を覆い、シリコンを含む酸化物を含むゲート絶縁膜と、ゲート絶縁膜と接し、少なくとも前記ゲート電極と重畳する領域に設けられた酸化物半導体膜と、酸化物半導体膜と接続するソース電極およびドレイン電極と、を有し、酸化物半導体膜における、ゲート絶縁膜との界面からの厚さが５ｎｍ以下の第１の領域において、シリコンの濃度が１．０原子％以下であり、酸化物半導体膜の第１の領域以外の領域に含まれるシリコンの濃度は、第１の領域に含まれるシリコンの濃度より小さく、少なくとも第１の領域内に、結晶部を含む半導体装置である。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
半導体装置及び半導体装置の作製方法に関する。
【０００２】
なお、本明細書中において半導体装置とは、半導体特性を利用することで機能しうる装置全般を指し、電気光学装置、半導体回路および電子機器は全て半導体装置である。
【背景技術】
【０００３】
絶縁表面を有する基板上に形成された半導体薄膜を用いてトランジスタを構成する技術が注目されている。該トランジスタは集積回路（ＩＣ）や画像表示装置（表示装置）のような電子デバイスに広く応用されている。トランジスタに適用可能な半導体薄膜としてシリコン系半導体材料が広く知られているが、その他の材料として酸化物半導体が注目されている。
【０００４】
例えば、トランジスタの活性層として、インジウム（Ｉｎ）、ガリウム（Ｇａ）、及び亜鉛（Ｚｎ）を含む非晶質酸化物を用いたトランジスタが開示されている（特許文献１参照）。
【０００５】
酸化物半導体を用いたトランジスタは、アモルファスシリコンを用いたトランジスタよりも高いオン特性（オン電流など）を有する。酸化物半導体を用いたトランジスタを、高機能デバイスに応用するために、さらなる特性の向上が求められており、酸化物半導体の結晶化の技術が進められている（特許文献２）。特許文献２では、酸化物半導体を熱処理することによって、結晶化する技術が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００６−１６５５２８号公報
【特許文献２】特開２００８−３１１３４２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
トランジスタに用いられる酸化物半導体膜は、スパッタリング法を用いて成膜されることが多い。しかしながら、酸化物半導体膜のスパッタリングの際に、イオン化された希ガス元素やターゲット表面からはじき飛ばされた粒子が、ゲート絶縁膜などの酸化物半導体膜の被形成面となる膜の粒子をはじき飛ばしてしまうことがある。このようにして被形成面となる膜からはじき飛ばされた粒子は、酸化物半導体膜に不純物元素として取り込まれてしまい、特に酸化物半導体膜の被形成面近傍には不純物元素が高い濃度で取り込まれるおそれがある。また、不純物元素が、酸化物半導体膜の被形成面近傍に残存すると、トランジスタの特性に影響を与える要因になる。
【０００８】
また、酸化物半導体膜の被形成面近傍に不純物元素が取り込まれていると、不純物元素によって酸化物半導体膜の結晶化が阻害されてしまう。そのため、酸化物半導体膜の被形成面近傍において非晶質領域が残存してしまう。
【０００９】
そこで、酸化物半導体膜を厚くして表層の結晶領域を使用することも考えられる。しかし、寄生容量を低減し、低消費電力でトランジスタを動作させるためには、酸化物半導体膜を薄くすることが望ましく、その場合、チャネル形成領域は酸化物半導体膜の被形成面近傍に形成されるため、酸化物半導体膜の被形成面近傍まで結晶化されることが望ましい。
【００１０】
このような問題に鑑み、酸化物半導体膜の被形成面近傍に含まれる不純物の濃度を低減することを目的の一とする。また、酸化物半導体膜の結晶性を向上させることを目的の一とする。また、該酸化物半導体膜を用いることにより、安定した電気特性を有する半導体装置を提供することを目的の一とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
開示する発明の一態様は、ゲート電極と、ゲート電極を覆い、シリコンを含む酸化物を含むゲート絶縁膜と、ゲート絶縁膜と接し、少なくともゲート電極と重畳する領域に設けられた酸化物半導体膜と、酸化物半導体膜と電気的に接続するソース電極およびドレイン電極と、を有し、酸化物半導体膜は、ゲート絶縁膜との界面から酸化物半導体膜に向けてシリコンが１．０原子％以下の濃度で分布する第１の領域を有し、少なくとも第１の領域内に、結晶部を含む半導体装置である。
【００１２】
また、開示する発明の一態様は、ゲート電極と、ゲート電極を覆い、シリコンを含む酸化物を含むゲート絶縁膜と、ゲート絶縁膜と接し、少なくともゲート電極と重畳する領域に設けられた酸化物半導体膜と、酸化物半導体膜に接して設けられたチャネル保護膜と、チャネル保護膜上に設けられ、酸化物半導体膜と電気的に接続するソース電極およびドレイン電極と、を有し、酸化物半導体膜は、ゲート絶縁膜との界面から酸化物半導体膜に向けてシリコンが１．０原子％以下の濃度で分布する第１の領域を有し、少なくとも第１の領域内に、結晶部を含む半導体装置である。
【００１３】
上記各構成において、第１の領域は、ゲート絶縁膜との界面からの厚さが５ｎｍ以下の範囲に存在し、第１の領域以外に含まれるシリコンの濃度は、第１の領域に含まれるシリコンの濃度より小さいことが好ましい。
【００１４】
上記各構成において、酸化物半導体膜の第１の領域以外の領域に、結晶部を含むことが好ましい。
【００１５】
また、開示する発明の一態様は、ゲート電極と、ゲート電極を覆い、シリコンを含む酸化物を含むゲート絶縁膜と、ゲート絶縁膜と接し、少なくともゲート電極と重畳する領域に設けられた酸化物半導体膜と、酸化物半導体膜と電気的に接続するソース電極およびドレイン電極と、酸化物半導体膜、ソース電極およびドレイン電極を覆い、シリコンを含む酸化物を含む保護絶縁膜と、を有し、酸化物半導体膜は、ゲート絶縁膜との界面から酸化物半導体膜に向けてシリコンが１．０原子％以下の濃度で分布する第１の領域を有し、酸化物半導体膜は、保護絶縁膜との界面から酸化物半導体膜に向けてシリコンが１．０原子％以下の濃度で分布する第２の領域を有し、少なくとも第１の領域内および第２の領域内に、結晶部を含む半導体装置である。
【００１６】
上記構成において、第１の領域は、ゲート絶縁膜との界面からの厚さが５ｎｍ以下の範囲に存在し、第２の領域は、保護絶縁膜との界面からの厚さが５ｎｍ以下の範囲に存在し、第１の領域及び第２の領域以外に含まれるシリコンの濃度は、第１の領域及び第２の領域に含まれるシリコンの濃度より小さいことが好ましい。
【００１７】
また、上記構成において、酸化物半導体膜の第１の領域および第２の領域以外の領域に、結晶部を含むことが好ましい。
【００１８】
また、上記各構成において、結晶部は、ｃ軸が、酸化物半導体膜とゲート絶縁膜との界面に対して垂直な方向に揃うことが好ましい。
【００１９】
また、上記各構成において、第１の領域に含まれるシリコンの濃度が０．１原子％以下であることが好ましい。
【００２０】
また、上記各構成において、ゲート絶縁膜は炭素を含み、第１の領域において、炭素濃度が１．０×１０２０ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以下となることが好ましい。
【発明の効果】
【００２１】
開示する発明の一態様によれば、酸化物半導体膜の被形成面近傍に含まれる不純物の濃度を低減することができる。また、酸化物半導体膜の結晶性を向上させることができる。そして、該酸化物半導体膜を用いることにより、安定した電気特性を有する半導体装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】半導体装置の一態様を示す平面図及び断面図。
【図２】半導体装置の一態様を示す平面図及び断面図。
【図３】半導体装置の一態様を示す平面図及び断面図。
【図４】半導体装置の作製工程の一例を示す断面図。
【図５】半導体装置の作製工程の一例を示す断面図。
【図６】計算に用いたモデル図。
【図７】計算結果を示す図。
【図８】計算結果を示す図。
【図９】半導体装置の一形態を説明する図。
【図１０】半導体装置の一形態を説明する図。
【図１１】半導体装置の一形態を説明する図。
【図１２】半導体装置の一形態を説明する図。
【図１３】電子機器を示す図。
【図１４】本発明の一実施例に係る測定結果を示すグラフ。
【図１５】本発明の一実施例に係るサンプルの構造を示す図。
【図１６】本発明の一実施例に係る測定結果を示すグラフ。
【図１７】本発明の一実施例に係るサンプルの構造を示す図。
【図１８】本発明の一実施例に係る測定結果を示すグラフ。
【図１９】本発明の一実施例に係るサンプルの構造を示す図。
【図２０】本発明の一実施例に係る測定結果を示すグラフ。
【図２１】計算に用いたモデル図。
【図２２】計算に用いたモデル図。
【図２３】計算結果を示す図。
【図２４】計算に用いたモデル図。
【図２５】計算結果を示す図。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下では、本明細書に開示する発明の実施の形態について図面を用いて詳細に説明する。但し、本発明は以下の説明に限定されず、本発明の趣旨およびその範囲から逸脱することなくその形態および詳細を様々に変更し得ることは当業者であれば容易に理解される。従って、本発明は以下に示す実施の形態の記載内容に限定して解釈されるものではない。
【００２４】
なお、図面等において示す各構成の、位置、大きさ、範囲などは、理解の簡単のため、実際の位置、大きさ、範囲などを表していない場合がある。このため、開示する発明は、必ずしも、図面等に開示された位置、大きさ、範囲などに限定されない。
【００２５】
なお、本明細書等における「第１」、「第２」、「第３」などの序数は、構成要素の混同を避けるために付すものであり、数的に限定するものではないことを付記する。
【００２６】
なお、本明細書等において「上」や「下」の用語は、構成要素の位置関係が「直上」または「直下」であることを限定するものではない。例えば、「ゲート絶縁層上のゲート電極」の表現であれば、ゲート絶縁層とゲート電極との間に他の構成要素を含むものを除外しない。
【００２７】
また、本明細書等において「電極」や「配線」の用語は、これらの構成要素を機能的に限定するものではない。例えば、「電極」は「配線」の一部として用いられることがあり、その逆もまた同様である。さらに、「電極」や「配線」の用語は、複数の「電極」や「配線」が一体となって形成されている場合なども含む。
【００２８】
また、「ソース」や「ドレイン」の機能は、異なる極性のトランジスタを採用する場合や、回路動作において電流の方向が変化する場合などには入れ替わることがある。このため、本明細書等においては、「ソース」や「ドレイン」の用語は、入れ替えて用いることができるものとする。
【００２９】
なお、本明細書等において、「電気的に接続」には、「何らかの電気的作用を有するもの」を介して接続されている場合が含まれる。ここで、「何らかの電気的作用を有するもの」は、接続対象間での電気信号の授受を可能とするものであれば、特に制限を受けない。例えば、「何らかの電気的作用を有するもの」には、電極や配線をはじめ、トランジスタなどのスイッチング素子、抵抗素子、インダクタ、キャパシタ、その他の各種機能を有する素子などが含まれる。
【００３０】
（実施の形態１）
本実施の形態では、半導体装置及び半導体装置の作製方法の一形態を、図１乃至図５を用いて説明する。
【００３１】
〈半導体装置の構成例〉
図１（Ａ）および図１（Ｂ）に、半導体装置の例として、ボトムゲート構造の一つであるチャネルエッチ型のトランジスタの平面図および断面図を示す。図１（Ａ）は平面図であり、図１（Ｂ）は、図１（Ａ）におけるＡ−Ｂ断面に係る断面図である。なお、図１（Ａ）では、煩雑になることを避けるため、トランジスタ１１０の構成要素の一部（例えば、保護絶縁膜１０９など）を省略している。
【００３２】
図１（Ａ）および図１（Ｂ）に示すトランジスタ１１０は、絶縁表面を有する基板１００上に、ゲート電極１０１、ゲート電極１０１を覆うゲート絶縁膜１０２、ゲート絶縁膜１０２と接し、少なくともゲート電極１０１と重畳する領域に設けられた酸化物半導体膜１０３、酸化物半導体膜１０３と電気的に接続するソース電極１０５ａおよびドレイン電極１０５ｂ、酸化物半導体膜１０３、ソース電極１０５ａおよびドレイン電極１０５ｂを覆う保護絶縁膜１０９を含む。
【００３３】
酸化物半導体膜１０３の膜厚は、５ｎｍより大きく２００ｎｍ以下とし、好ましくは１０ｎｍ以上３０ｎｍ以下とする。また、酸化物半導体膜１０３は、単結晶、または微結晶などの結晶性を有する構造とすることが好ましい。
【００３４】
本実施の形態において、酸化物半導体膜１０３は、ＣＡＡＣ−ＯＳ（Ｃ Ａｘｉｓ Ａｌｉｇｎｅｄ Ｃｒｙｓｔａｌｌｉｎｅ Ｏｘｉｄｅ Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ）膜であることが好ましい。
【００３５】
ＣＡＡＣ−ＯＳ膜は、完全な単結晶ではなく、完全な非晶質でもない。ＣＡＡＣ−ＯＳ膜は、非晶質相に結晶部を有する結晶−非晶質混相構造の酸化物半導体膜である。なお、当該結晶部は、一辺が１００ｎｍ未満の立方体内に収まる大きさであることが多い。また、透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ：Ｔｒａｎｓｍｉｓｓｉｏｎ Ｅｌｅｃｔｒｏｎ Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ）による観察像では、ＣＡＡＣ−ＯＳ膜に含まれる非晶質領域と結晶部との境界は明確ではない。また、ＴＥＭによってＣＡＡＣ−ＯＳ膜には粒界（グレインバウンダリーともいう）は確認できない。そのため、ＣＡＡＣ−ＯＳ膜は、粒界に起因する電子移動の低下が抑制される。
【００３６】
ＣＡＡＣ−ＯＳ膜に含まれる結晶部は、ｃ軸がＣＡＡＣ−ＯＳ膜の被形成面または表面に垂直な方向に揃い、かつａｂ面に垂直な方向から見て三角形状または六角形状の原子配列を有し、ｃ軸に垂直な方向から見て金属原子が層状または金属原子と酸素原子とが層状に配列している。なお、異なる結晶部間で、それぞれａ軸及びｂ軸の向きが異なっていてもよい。本明細書等において、単に垂直と記載する場合、８５°以上９５°以下の範囲も含まれることとする。
【００３７】
なお、ＣＡＡＣ−ＯＳ膜において、結晶部の分布が一様でなくてもよい。例えば、ＣＡＡＣ−ＯＳ膜の形成過程において、酸化物半導体膜の表面側から結晶成長させる場合、表面の近傍では結晶部の占める割合が高くなることがある。
【００３８】
ＣＡＡＣ−ＯＳ膜に含まれる結晶部のｃ軸は、ＣＡＡＣ−ＯＳ膜の被形成面または表面に垂直な方向に揃うため、ＣＡＡＣ−ＯＳ膜の形状（被形成面の断面形状または表面の断面形状）によっては互いに異なる方向を向くことがある。なお、結晶部のｃ軸の方向は、ＣＡＡＣ−ＯＳ膜が形成されたときの被形成面または表面に垂直な方向となる。結晶部は、成膜することにより、または成膜後に加熱処理などの結晶化処理を行うことにより形成される。
【００３９】
ＣＡＡＣ−ＯＳ膜を用いたトランジスタは、可視光や紫外光の照射によるトランジスタの電気特性の変動を低減することが可能である。また、しきい値の変動及びバラツキを抑制できる。よって。当該トランジスタは信頼性が高い。
【００４０】
また、結晶性を有する酸化物半導体では、よりバルク内欠陥を低減することができる。さらに、結晶性を有する酸化物半導体膜表面の平坦性を高めることによって、該酸化物半導体を用いたトランジスタは、アモルファス状態の酸化物半導体を用いたトランジスタ以上の電界効果移動度を得ることができる。酸化物半導体膜表面の平坦性を高めるためには、平坦な表面上に酸化物半導体を形成することが好ましく、具体的には、平均面粗さ（Ｒａ）が０．１５ｎｍ以下、好ましくは０．１ｎｍ以下の表面上に形成するとよい。
【００４１】
なお、Ｒａとは、ＪＩＳ Ｂ０６０１：２００１（ＩＳＯ４２８７：１９９７）で定義されている算術平均粗さを曲面に対して適用できるよう三次元に拡張したものであり、「基準面から指定面までの偏差の絶対値を平均した値」と表現でき、以下の式にて定義される。
【００４２】
【数１】
【００４３】
ここで、指定面とは、粗さ計測の対象となる面であり、座標（（ｘ１，ｙ１，ｆ（ｘ１，ｙ１））、（ｘ１，ｙ２，ｆ（ｘ１，ｙ２））、（ｘ２，ｙ１，ｆ（ｘ２，ｙ１））、（ｘ２，ｙ２，ｆ（ｘ２，ｙ２））の４点で表される四角形の領域とし、指定面をｘｙ平面に投影した長方形の面積をＳ０、基準面の高さ（指定面の平均の高さ）をＺ０とする。Ｒａは原子間力顕微鏡（ＡＦＭ：Ａｔｏｍｉｃ Ｆｏｒｃｅ Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ）にて測定可能である。
【００４４】
また、図１（Ｂ）に示すように、酸化物半導体膜１０３は端部に２０°乃至５０°のテーパーを有していることが好ましい。酸化物半導体膜１０３の端部が垂直であると酸化物半導体膜１０３から酸素が抜けやすく酸素欠損を生じやすいが、酸化物半導体膜１０３の端部にテーパーを有することで酸素欠損の発生を抑制し、トランジスタ１１０のリーク電流の発生を低減することができる。
【００４５】
酸化物半導体膜１０３に用いる酸化物半導体としては、少なくともインジウム（Ｉｎ）あるいは亜鉛（Ｚｎ）を含むことが好ましい。特に、ＩｎとＺｎを含むことが好ましい。また、該酸化物半導体を用いたトランジスタの電気特性のばらつきを減らすためのスタビライザーとして、それらに加えてガリウム（Ｇａ）、スズ（Ｓｎ）、ハフニウム（Ｈｆ）、ジルコニウム（Ｚｒ）、チタン（Ｔｉ）、スカンジウム（Ｓｃ）、イットリウム（Ｙ）、ランタノイド（例えば、セリウム（Ｃｅ）、ネオジム（Ｎｄ）、ガドリニウム（Ｇｄ））から選ばれた一種又は複数種が含まれていることが好ましい。
【００４６】
例えば、酸化物半導体として、酸化インジウム、酸化スズ、酸化亜鉛、二元系金属の酸化物であるＩｎ−Ｚｎ系酸化物、Ｓｎ−Ｚｎ系酸化物、Ａｌ−Ｚｎ系酸化物、Ｚｎ−Ｍｇ系酸化物、Ｓｎ−Ｍｇ系酸化物、Ｉｎ−Ｍｇ系酸化物、Ｉｎ−Ｇａ系酸化物、三元系金属の酸化物であるＩｎ−Ｇａ−Ｚｎ系酸化物（ＩＧＺＯとも表記する）、Ｉｎ−Ａｌ−Ｚｎ系酸化物、Ｉｎ−Ｓｎ−Ｚｎ系酸化物、Ｓｎ−Ｇａ−Ｚｎ系酸化物、Ａｌ−Ｇａ−Ｚｎ系酸化物、Ｓｎ−Ａｌ−Ｚｎ系酸化物、Ｉｎ−Ｈｆ−Ｚｎ系酸化物、Ｉｎ−Ｚｒ−Ｚｎ系酸化物、Ｉｎ−Ｔｉ−Ｚｎ系酸化物、Ｉｎ−Ｓｃ−Ｚｎ系酸化物、Ｉｎ−Ｙ−Ｚｎ系酸化物、Ｉｎ−Ｌａ−Ｚｎ系酸化物、Ｉｎ−Ｃｅ−Ｚｎ系酸化物、Ｉｎ−Ｐｒ−Ｚｎ系酸化物、Ｉｎ−Ｎｄ−Ｚｎ系酸化物、Ｉｎ−Ｓｍ−Ｚｎ系酸化物、Ｉｎ−Ｅｕ−Ｚｎ系酸化物、Ｉｎ−Ｇｄ−Ｚｎ系酸化物、Ｉｎ−Ｔｂ−Ｚｎ系酸化物、Ｉｎ−Ｄｙ−Ｚｎ系酸化物、Ｉｎ−Ｈｏ−Ｚｎ系酸化物、Ｉｎ−Ｅｒ−Ｚｎ系酸化物、Ｉｎ−Ｔｍ−Ｚｎ系酸化物、Ｉｎ−Ｙｂ−Ｚｎ系酸化物、Ｉｎ−Ｌｕ−Ｚｎ系酸化物、四元系金属の酸化物であるＩｎ−Ｓｎ−Ｇａ−Ｚｎ系酸化物、Ｉｎ−Ｈｆ−Ｇａ−Ｚｎ系酸化物、Ｉｎ−Ａｌ−Ｇａ−Ｚｎ系酸化物、Ｉｎ−Ｓｎ−Ａｌ−Ｚｎ系酸化物、Ｉｎ−Ｓｎ−Ｈｆ−Ｚｎ系酸化物、Ｉｎ−Ｈｆ−Ａｌ−Ｚｎ系酸化物を用いることができる。
【００４７】
ここで、Ｉｎ−Ｇａ−Ｚｎ系酸化物とは、ＩｎとＧａとＺｎを主成分として有する酸化物という意味であり、ＩｎとＧａとＺｎの比率は問わない。また、ＩｎとＧａとＺｎ以外の金属元素が入っていてもよい。
【００４８】
また、酸化物半導体として、ＩｎＭＯ３（ＺｎＯ）ｍ（ｍ＞０、且つ、ｍは整数でない）で表記される材料を用いてもよい。なお、Ｍは、Ｇａ、Ｆｅ、Ｍｎ及びＣｏから選ばれた一の金属元素または複数の金属元素、若しくは上記のスタビライザーとしての元素を示す。また、酸化物半導体として、Ｉｎ２ＳｎＯ５（ＺｎＯ）ｎ（ｎ＞０、且つ、ｎは整数）で表記される材料を用いてもよい。
【００４９】
例えば、Ｉｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝１：１：１、Ｉｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝３：１：２、あるいはＩｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝２：１：３の原子数比のＩｎ：Ｇａ：Ｚｎ系酸化物やその組成の近傍の酸化物を用いるとよい。
【００５０】
ゲート絶縁膜１０２は、十分な耐圧および絶縁性を有する酸化物絶縁膜を用いることが好ましい。ゲート絶縁膜１０２を単層構造とする場合には、例えば、酸化シリコンのようなシリコンを含む酸化物を含む絶縁膜を用いればよい。
【００５１】
また、ゲート絶縁膜１０２を積層構造としても良い。ゲート絶縁膜１０２を積層構造とする場合、酸化ガリウム、酸化アルミニウム、窒化シリコン、酸化窒化シリコン、酸化窒化アルミニウム、酸化イットリウム、酸化ランタンまたは窒化酸化シリコンなどの上に酸化シリコンを積層すればよい。また、酸化ハフニウム、ハフニウムシリケート（ＨｆＳｉｘＯｙ（ｘ＞０、ｙ＞０））、窒素が添加されたハフニウムシリケート（ＨｆＳｉＯｘＮｙ（ｘ＞０、ｙ＞０））、ハフニウムアルミネート（ＨｆＡｌｘＯｙ（ｘ＞０、ｙ＞０））などのｈｉｇｈ−ｋ材料の上に酸化シリコンを積層すればよい。また、ｈｉｇｈ−ｋ材料を用いることでゲートリーク電流を低減することができる。
【００５２】
ゲート絶縁膜１０２として酸化物絶縁膜を用いることにより、当該酸化物絶縁膜を加熱することにより酸素の一部を脱離させることができるので、酸化物半導体膜１０３に酸素を供給し、酸化物半導体膜１０３中の酸素欠損を補填することができる。特に、ゲート絶縁膜１０２中（バルク中）に少なくとも化学量論比を超える量の酸素が存在することが好ましく、例えば、ゲート絶縁膜１０２として、ＳｉＯ２＋α（ただし、α＞０）で表される酸化シリコン膜を用いることが好ましい。このような酸化シリコン膜をゲート絶縁膜１０２として用いることで、酸化物半導体膜１０３に酸素を供給することができ、当該酸化物半導体膜１０３を用いたトランジスタ１１０のトランジスタ特性を良好にすることができる。
【００５３】
しかしながら、ゲート絶縁膜１０２として酸化シリコン膜を用いる場合、ゲート絶縁膜１０２中のシリコンが不純物として酸化物半導体膜１０３に取り込まれるおそれがある。酸化物半導体膜１０３にシリコンなどが不純物として取り込まれることにより、トランジスタの特性に影響を与える要因になる。また、酸化物半導体膜１０３の被形成面近傍に不純物元素が取り込まれると、不純物元素によって酸化物半導体膜の結晶化が阻害されてしまう。そのため、酸化物半導体膜の被形成面近傍において非晶質領域が残存してしまう。また、酸化物半導体膜１０３をＣＡＡＣ−ＯＳ膜とする場合には、被形成面近傍において、結晶部を形成することが困難となる。
【００５４】
特に、酸化物半導体膜１０３とゲート絶縁膜１０２が接する、酸化物半導体膜１０３の被形成面近傍においてはシリコンなどの不純物が取り込まれやすい。酸化物半導体膜１０３の被形成面近傍にトランジスタ１１０のチャネル形成領域が形成されるため、被形成面近傍にシリコンなどの不純物が取り込まれると、トランジスタ１１０の特性を変動させてしまうおそれがある。
【００５５】
ここで、酸化物半導体膜１０３に、不純物としてシリコンを含む酸化物であるＳｉＯ２が添加されると、どのような構造変化が起こるかについて、古典分子動力学計算により調査した結果について、図２１乃至図２５を用いて説明する。なお、上記計算を行うため、古典分子動力学計算ソフトウェアとして、富士通株式会社製ＳＣＩＧＲＥＳＳ ＭＥを用いた。古典分子動力学法では、原子間相互作用を特徴づける経験的ポテンシャルを定義することで、各原子に働く力を評価する。ニュートンの運動方程式を数値的に解くことにより、各原子の運動（時間発展）を決定論的に追跡できる。
【００５６】
以下に、計算モデルと計算条件を述べる。なお、本計算においては、Ｂｏｒｎ−Ｍａｙｅｒ−Ｈｕｇｇｉｎｓポテンシャルを用いた。
【００５７】
計算モデルとして、１６８０原子のＩｎＧａＺｎＯ４の単結晶構造（図２１（Ａ）参照）と、１６８０原子のＩｎＧａＺｎＯ４のＩｎ、Ｇａ、Ｚｎのそれぞれ２０原子ずつをシリコン（Ｓｉ）原子で置換した構造（図２１（Ｂ）参照）を作製した。図２１（Ｂ）に示すシリコン（Ｓｉ）置換モデルにおいて、シリコン（Ｓｉ）は、３．５７ａｔｏｍ％（２．３４重量％）である。また、図２１（Ａ）に示す単結晶モデルの密度は、６．３６ｇ／ｃｍ３であり、図２１（Ｂ）に示すシリコン（Ｓｉ）置換モデルの密度は、６．０８ｇ／ｃｍ３である。
【００５８】
図２１（Ａ）及び図２１（Ｂ）に示す計算モデルに対して、ＩｎＧａＺｎＯ４の単結晶の融点（古典分子動力学計算による見積もりでは、約２０００℃）より低い１７２７℃において、圧力一定（１ａｔｍ）で、１５０ｐｓｅｃ間（時間刻み幅０．２ｆｓｅｃ×７５万ステップ）の古典分子動力学計算により、構造緩和を行った。また、これら２つの構造に対して、動径分布関数ｇ（ｒ）を求めた。なお、動径分布関数ｇ（ｒ）とは、ある原子から距離ｒ離れた位置において、他の原子が存在する確率密度を表す関数である。原子同士の相関がなくなっていくと、ｇ（ｒ）は１に近づく。
【００５９】
上記、２つの計算モデルを、１５０ｐｓｅｃ間の古典分子動力学計算を行うことにより得られた最終構造をそれぞれ図２２（Ａ）及び図２２（Ｂ）に示す。また、それぞれの構造における動径分布関数ｇ（ｒ）を、図２３に示す。
【００６０】
図２２（Ａ）に示す単結晶モデルは安定で、最終構造においても結晶構造を保っているが、図２２（Ｂ）に示すシリコン（Ｓｉ）置換モデルは不安定で、時間経過とともに結晶構造が崩れていき、アモルファス構造へと変化することが確認できる。また、図２３において、各構造モデルの動径分布関数ｇ（ｒ）を比較すると、単結晶モデルでは、長距離でもピークがあり、長距離秩序があることがわかる。一方、シリコン（Ｓｉ）置換モデルでは、０．６ｎｍ近傍でピークが消え、長距離秩序がないことがわかる。
【００６１】
これらの計算結果により、ＩｎＧａＺｎＯ４にシリコン（Ｓｉ）が含まれることにより、ＩｎＧａＺｎＯ４のアモルファス化が起こりやすくなることが示唆された。また、ＩｎＧａＺｎＯ４にシリコン（Ｓｉ）が含まれた状態で高温加熱を行っても、ＩｎＧａＺｎＯ４は結晶化しないことが確認された。
【００６２】
次に、酸化物半導体膜１０３に炭素原子（Ｃ）が添加されると、どのような構造変化が起こるかについて、古典分子動力学計算により調査した結果について、図２１（Ａ）、図２４、及び図２５を用いて説明する。なお、上記計算を行うため、古典分子動力学計算ソフトウェアとして、富士通株式会社製ＳＣＩＧＲＥＳＳ ＭＥを用いた。
【００６３】
以下に、計算モデルと計算結果を述べる。なお、本計算においては、Ｂｏｒｎ−Ｍａｙｅｒ−Ｈｕｇｇｉｎｓポテンシャルを用いた。また、炭素原子（Ｃ）との原子間相互作用にはＬｅｎｎａｒｄ−Ｊｏｎｅｓポテンシャルを用いた。
【００６４】
計算モデルとして、１６８０原子のＩｎＧａＺｎＯ４の単結晶構造（図２１（Ａ）参照）と、１６８０原子のＩｎＧａＺｎＯ４のＩｎ、Ｇａ、Ｚｎのそれぞれ２０原子ずつを炭素原子（Ｃ）で置換し、酸素（Ｏ）の８０原子を炭素原子（Ｃ）で置換した構造（図２４（Ａ）参照）を作製した。図２４（Ａ）に示す炭素（Ｃ）置換モデルにおいて、炭素原子（Ｃ）は、８．３３ａｔｏｍ％である。また、図２１（Ａ）に示す単結晶モデルの密度は、６．３６ｇ／ｃｍ３であり、図２４（Ａ）に示す炭素（Ｃ）置換モデルの密度は、５．８９ｇ／ｃｍ３である。
【００６５】
図２１（Ａ）及び図２４（Ａ）に示す計算モデルに対して、ＩｎＧａＺｎＯ４の単結晶の融点（古典分子動力学計算による見積もりでは約２０００℃）より低い１７２７℃において、圧力一定（１ａｔｍ）で、１４０ｐｓｅｃ間（時間刻み幅０．２ｆｓｅｃ×７５万ステップ）の古典分子動力学計算により、構造緩和を行った。また、これら２つの構造に対して、動径分布関数ｇ（ｒ）を求めた。なお、動径分布関数ｇ（ｒ）とは、ある原子から距離ｒ離れた位置において、他の原子が存在する確率密度を表す関数である。原子同士の相関がなくなっていくと、ｇ（ｒ）は１に近づく。
【００６６】
上記の２つの計算モデルを、１５０ｐｓｅｃ間の古典分子動力学計算を行うことにより得られた最終構造をそれぞれ、図２２（Ａ）及び図２４（Ｂ）に示す。また、それぞれの構造における動径分布関数ｇ（ｒ）を図２５に示す。
【００６７】
図２２（Ａ）に示す単結晶モデルは安定で、最終構造においても結晶構造を保っているが、図２４（Ｂ）に示す炭素（Ｃ）置換モデルは不安定で、時間経過とともに結晶構造が崩れていき、アモルファス構造へと変化することが確認できる。また、図２５において、各構造モデルの動径分布関数ｇ（ｒ）を比較すると、単結晶モデルでは、長距離でもピークがあり、長距離秩序があることがわかる。一方、炭素（Ｃ）置換モデルでは、０．６ｎｍ近傍でピークが消え、長距離秩序がないことがわかる。
【００６８】
これらの計算結果により、ＩｎＧａＺｎＯ４に炭素（Ｃ）が含まれることによって、ＩｎＧａＺｎＯ４のアモルファス化が起こりやすくなることが示唆された。また、ＩｎＧａＺｎＯ４に炭素（Ｃ）が含まれた状態で高温加熱を行っても、ＩｎＧａＺｎＯ４は結晶化しないことが確認された。
【００６９】
以上、説明したように、酸化物半導体膜に不純物が取り込まれることは、酸化物半導体膜の結晶性が低下する要因となる。そこで、本実施の形態に示す半導体装置においては、酸化物半導体膜の被形成面近傍にシリコンなどの不純物が取り込まれることを抑制する。その結果、酸化物半導体膜１０３において、ゲート絶縁膜１０２との界面から酸化物半導体膜１０３に向けてシリコンが１．０原子％以下の濃度で分布する領域が形成される。該領域を、領域１０３ａと示す。また、領域１０３ａに含まれるシリコンの濃度は、０．１原子％以下であるとより好ましい。また、領域１０３ａは、ゲート絶縁膜１０２との界面からの厚さが５ｎｍ以下の範囲に存在する。
【００７０】
なお、酸化物半導体膜１０３の領域１０３ａ以外の領域を領域１０３ｂと示す。また、領域１０３ｂに含まれるシリコンの濃度は、領域１０３ａに含まれるシリコンの濃度より小さくなる。
【００７１】
また、ゲート絶縁膜１０２に炭素などの不純物が含まれる場合、これも上記のシリコンと同様に酸化物半導体膜１０３に不純物として取り込まれるおそれがある。そこで、領域１０３ａに含まれる炭素濃度は１．０×１０２０ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以下、より好ましくは１．０×１０１９ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以下とする。
【００７２】
このように、酸化物半導体膜１０３の領域１０３ａに取り込まれるシリコンなどの不純物の濃度を低減することにより、トランジスタ１１０の特性の変動を抑制することができる。また、酸化物半導体膜１０３の被形成面近傍まで結晶化させることができる。また、酸化物半導体膜１０３をＣＡＡＣ−ＯＳ膜とする場合には、被形成面近傍まで結晶部を形成することができる。このような酸化物半導体膜を用いてトランジスタを作製することにより、安定した電気特性を有する半導体装置とすることができる。
【００７３】
なお、その他の構成要素の詳細については、後述するトランジスタ１１０の作製方法において、図４（Ａ）乃至図４（Ｅ）を用いて説明する。
【００７４】
なお、トランジスタ１１０上には、さらに平坦化絶縁膜が設けられていても良い。また、ソース電極１０５ａやドレイン電極１０５ｂと配線とを電気的に接続させるために、ゲート絶縁膜１０２、保護絶縁膜１０９、などには開口が形成されていても良い。また、酸化物半導体膜１０３の上方のゲート電極１０１と重畳する領域に、さらに、第２のゲート電極を有していても良い。
【００７５】
また、図２（Ａ）および図２（Ｂ）に図１（Ａ）および図１（Ｂ）に示すトランジスタ１１０とは異なる構成のトランジスタ１２０を示す。図２（Ａ）は平面図であり、図２（Ｂ）は、図２（Ａ）におけるＣ−Ｄ断面に係る断面図である。なお、図２（Ａ）では、煩雑になることを避けるため、トランジスタ１２０の構成要素の一部（例えば、保護絶縁膜１０９など）を省略している。
【００７６】
図２（Ａ）および図２（Ｂ）に示すトランジスタ１２０は、絶縁表面を有する基板１００上に、ゲート電極１０１、ゲート電極１０１を覆うゲート絶縁膜１０２、ゲート絶縁膜１０２と接し、少なくともゲート電極１０１と重畳する領域に設けられた酸化物半導体膜１０３、酸化物半導体膜１０３と電気的に接続するソース電極１０５ａおよびドレイン電極１０５ｂ、酸化物半導体膜１０３、ソース電極１０５ａおよびドレイン電極１０５ｂを覆う保護絶縁膜１０９を含む。ここで、トランジスタ１２０のトランジスタ１１０との相違点は、保護絶縁膜１０９として上記ゲート絶縁膜１０２と同様にシリコンを含む酸化物を含む絶縁膜を用いている点と、酸化物半導体膜１０３と保護絶縁膜１０９が接する界面近傍に領域１０３ｃを有する点である。
【００７７】
トランジスタ１２０の酸化物半導体膜１０３は、領域１０３ａ乃至領域１０３ｃを有する。領域１０３ａは、酸化物半導体膜１０３において、ゲート絶縁膜１０２との界面から酸化物半導体膜１０３に向けてシリコンが１．０原子％以下の濃度で分布する領域である。領域１０３ａは、ゲート絶縁膜１０２との界面からの厚さが５ｎｍ以下の範囲に存在することが好ましい。また、領域１０３ｃは、酸化物半導体膜１０３において、保護絶縁膜１０９との界面から酸化物半導体膜１０３に向けてシリコンが１．０原子％以下の濃度で分布する領域である。領域１０３ｃは、保護絶縁膜１０９との界面からの厚さが５ｎｍ以下の範囲に存在することが好ましい。また、酸化物半導体膜１０３の領域１０３ａおよび領域１０３ｃ以外の領域を領域１０３ｂとする。
【００７８】
なお、領域１０３ｂに含まれるシリコンの濃度は、領域１０３ａに含まれるシリコンの濃度より小さくなる。また、領域１０３ａに含まれるシリコンの濃度は、０．１原子％以下であるとより好ましい。
【００７９】
ここで、領域１０３ａに含まれるシリコンの濃度を１．０原子％以下、好ましくは０．１原子％以下とし、領域１０３ｃに含まれるシリコンの濃度も１．０原子％以下、好ましくは０．１原子％以下とする。また、このとき、領域１０３ｂに含まれるシリコンの濃度は、領域１０３ａ及び領域１０３ｃに含まれるシリコンの濃度より小さくなる。
【００８０】
このように、酸化物半導体膜１０３のバックチャネルに当たる領域１０３ｃにおいても、シリコンなどの不純物の濃度を低減させることにより、トランジスタ１２０の電気特性の変動を抑制することができる。
【００８１】
その他の構成要素については、図１（Ａ）および図１（Ｂ）に示す半導体装置と同様である。詳細は、図１（Ａ）および図１（Ｂ）に関する記載を参酌することができる。
【００８２】
また、図１および図２に示すトランジスタは所謂チャネルエッチ型のトランジスタであるが、本実施の形態に示す半導体装置はこれに限られるものではない。図３（Ａ）および図３（Ｂ）に、図１および図２に示すトランジスタとは異なるチャネルストップ型のトランジスタ１３０の構成例を示す。図３（Ａ）は平面図であり、図３（Ｂ）は、図３（Ａ）におけるＥ−Ｆ断面に係る断面図である。なお、図３（Ａ）では、煩雑になることを避けるため、トランジスタ１３０の構成要素の一部（例えば、保護絶縁膜１０９など）を省略している。また、図３（Ａ）では、理解が容易になるようにチャネル保護膜１０８の形状を立体的に示している。
【００８３】
図３（Ａ）および図３（Ｂ）に示すトランジスタ１３０は、絶縁表面を有する基板１００上に、ゲート電極１０１、ゲート電極１０１を覆うゲート絶縁膜１０２、ゲート絶縁膜１０２と接し、少なくともゲート電極１０１と重畳する領域に設けられた酸化物半導体膜１０３、酸化物半導体膜１０３上に接して設けられたチャネル保護膜１０８、チャネル保護膜１０８上に設けられて酸化物半導体膜１０３と電気的に接続するソース電極１０５ａおよびドレイン電極１０５ｂ、そして、酸化物半導体膜１０３、ソース電極１０５ａおよびドレイン電極１０５ｂを覆う保護絶縁膜１０９を含む。また、酸化物半導体膜１０３は、トランジスタ１１０と同様に領域１０３ａおよび領域１０３ｂを有する。つまり、トランジスタ１３０のトランジスタ１１０との相違点はチャネル保護膜１０８を有する点である。
【００８４】
チャネル保護膜１０８としては、酸素を含む無機絶縁膜を用いることが好ましく、例えば、酸化シリコン膜、酸化窒化シリコン膜、酸化アルミニウム膜、酸化窒化アルミニウム膜、酸化ガリウム膜、酸化ハフニウム膜などの絶縁膜を用いることができる。また、チャネル保護膜１０８の膜厚としては５ｎｍ以上３００ｎｍ以下とすることが好ましい。
【００８５】
このように、酸化物半導体膜１０３上に接してチャネル保護膜１０８を設けることにより、ソース電極１０５ａおよびドレイン電極１０５ｂのエッチングによる酸化物半導体膜１０３のバックチャネル側へのダメージ（例えば、エッチング時のプラズマまたはエッチング剤によるダメージ）を防ぐことができる。これにより、トランジスタ１３０の電気特性を安定したものにすることができる。
【００８６】
また、図３（Ｂ）に示すように、チャネル保護膜１０８は端部に１０°以上６０°以下のテーパーを有していることが好ましい。チャネル保護膜１０８をこのような形状とすることにより、チャネル保護膜１０８の下端部近傍における電界集中を緩和することができる。
【００８７】
その他の構成要素については、図１（Ａ）および図１（Ｂ）に示す半導体装置と同様である。詳細は、図１（Ａ）および図１（Ｂ）に関する記載を参酌することができる。
【００８８】
〈トランジスタの作製工程の例〉
以下、図４または図５を用いて、図１乃至図３に示すトランジスタの作製工程の例について説明する。
【００８９】
〈トランジスタ１１０の作製工程〉
図４（Ａ）乃至図４（Ｅ）を用いて、図１に示すトランジスタ１１０の作製工程の一例について説明する。
【００９０】
まず、絶縁表面を有する基板１００を準備する。絶縁表面を有する基板１００に使用することができる基板に大きな制限はないが、少なくとも、後の熱処理に耐えうる程度の耐熱性を有していることが必要となる。例えば、バリウムホウケイ酸ガラスやアルミノホウケイ酸ガラスなどのガラス基板、セラミック基板、石英基板、サファイア基板などの基板を用いることができる。また、絶縁表面を有していれば、シリコンや炭化シリコンなどの単結晶半導体基板、多結晶半導体基板、シリコンゲルマニウムなどの化合物半導体基板、ＳＯＩ基板などを適用することも可能である。
【００９１】
また、基板１００として、可撓性基板を用いてもよい。可撓性基板を用いる場合、可撓性基板上に酸化物半導体膜１０３を含むトランジスタを直接作製してもよいし、他の作製基板に酸化物半導体膜１０３を含むトランジスタを作製し、その後可撓性基板に剥離、転置してもよい。なお、作製基板から可撓性基板に剥離、転置するために、作製基板と酸化物半導体膜１０３を含むトランジスタとの間に剥離層を設けるとよい。
【００９２】
下地膜となる絶縁膜を基板１００とゲート電極１０１との間に設けてもよい。下地膜は、基板１００からの水素、水分などの不純物元素の拡散を防止する機能があり、窒化シリコン膜、酸化シリコン膜、窒化酸化シリコン膜、又は酸化窒化シリコン膜から選ばれた一又は複数の膜による積層構造により形成することができる。
【００９３】
次いで、基板１００上に、ゲート電極（これと同じ層で形成される配線を含む）を形成するための導電膜を形成する。ゲート電極に用いる導電膜としては、例えば、モリブデン、チタン、タンタル、タングステン、アルミニウム、銅、ネオジム、スカンジウム等の金属材料又はこれらを主成分とする合金材料を用いることができる。また、ゲート電極に用いる導電膜としては、導電性の金属酸化物を用いて形成しても良い。導電性の金属酸化物としては酸化インジウム（Ｉｎ２Ｏ３）、酸化スズ（ＳｎＯ２）、酸化亜鉛（ＺｎＯ）、インジウムスズ酸化物（Ｉｎ２Ｏ３−ＳｎＯ２、ＩＴＯと略記する場合がある）、インジウム亜鉛酸化物（Ｉｎ２Ｏ３−ＺｎＯ）、または、これらの金属酸化物材料にシリコン若しくは酸化シリコンを含有させたものを用いることができる。ゲート電極は、上記の材料を用いて単層で又は積層して形成することができる。形成方法も特に限定されず、蒸着法、ＣＶＤ法、スパッタリング法、スピンコート法などの各種成膜方法を用いることができる。
【００９４】
次いで、フォトリソグラフィ工程により導電膜上にレジストマスクを形成し、選択的にエッチングを行って、ゲート電極１０１を形成した後、レジストマスクを除去する。また、ゲート電極１０１を形成するためのレジストマスクをインクジェット法で形成してもよい。レジストマスクをインクジェット法で形成するとフォトマスクを使用しないため、製造コストを低減できる。なお、ゲート電極１０１のエッチングは、ドライエッチングでもウェットエッチングでもよく、両方を用いてもよい。
【００９５】
次いで、ゲート電極１０１を覆ってゲート絶縁膜１０２を形成する（図４（Ａ）参照）。ここで、ゲート絶縁膜１０２の膜厚は、例えば１ｎｍ以上５００ｎｍ以下とすることができる。また、ゲート絶縁膜１０２の作製方法に特に限定はないが、例えば、スパッタリング法、ＭＢＥ法、ＣＶＤ法、パルスレーザ堆積法、ＡＬＤ法等を適宜用いてゲート絶縁膜１０２を作製することができる。
【００９６】
ゲート絶縁膜１０２は、十分な耐圧および絶縁性を有する酸化物絶縁膜を用いることが好ましい。ゲート絶縁膜１０２を単層構造とする場合には、例えば、酸化シリコンのようなシリコンを含む酸化物を含む絶縁膜を用いればよい。
【００９７】
また、ゲート絶縁膜１０２を積層構造としても良い。ゲート絶縁膜１０２を積層構造とする場合、酸化ガリウム、酸化アルミニウム、窒化シリコン、酸化窒化シリコン、酸化窒化アルミニウム、酸化イットリウム、酸化ランタンまたは窒化酸化シリコンなどの上に酸化シリコンを積層すればよい。また、酸化ハフニウム、ハフニウムシリケート（ＨｆＳｉｘＯｙ（ｘ＞０、ｙ＞０））、窒素が添加されたハフニウムシリケート（ＨｆＳｉＯｘＮｙ（ｘ＞０、ｙ＞０））、ハフニウムアルミネート（ＨｆＡｌｘＯｙ（ｘ＞０、ｙ＞０））などのｈｉｇｈ−ｋ材料の上に酸化シリコンを積層すればよい。また、ｈｉｇｈ−ｋ材料を用いることでゲートリーク電流を低減することができる。
【００９８】
ゲート絶縁膜１０２として酸化物絶縁膜を用いることにより、後述する熱処理によって当該酸化物絶縁膜の酸素の一部を脱離させることができるので、酸化物半導体膜１０３に酸素を供給し、酸化物半導体膜１０３中の酸素欠損を補填することができる。特に、ゲート絶縁膜１０２中（バルク中）に少なくとも化学量論比を超える量の酸素が存在することが好ましく、例えば、ゲート絶縁膜１０２として、ＳｉＯ２＋α（ただし、α＞０）で表される酸化シリコン膜を用いることが好ましい。このような酸化シリコン膜をゲート絶縁膜１０２として用いることで、酸化物半導体膜１０３に酸素を供給することができ、当該酸化物半導体膜１０３を用いたトランジスタ１１０のトランジスタ特性を良好にすることができる。
【００９９】
また、酸化物半導体膜１０３を成膜する前に、ゲート絶縁膜１０２に平坦化処理を行ってもよい。平坦化処理としては、特に限定されないが、ドライエッチング処理、プラズマ処理、研磨処理（例えば、化学的機械研磨法）などを用いることができる。
【０１００】
プラズマ処理としては、例えば、アルゴンガスを導入してプラズマを発生させる逆スパッタリングを行うことができる。逆スパッタリングとは、アルゴン雰囲気下で基板側にＲＦ電源を用いて電圧を印加して基板近傍にプラズマを形成して表面を改質する方法である。なお、アルゴン雰囲気に代えて窒素、ヘリウム、酸素などを用いてもよい。逆スパッタリングを行うと、酸化物半導体膜１０３の成膜表面に付着している粉状物質（パーティクル、ごみともいう）を除去することができる。
【０１０１】
平坦化処理として、ドライエッチング処理、プラズマ処理、研磨処理を複数回行ってもよく、それらを組み合わせて行ってもよい。また、組み合わせて行う場合、工程順も特に限定されず、酸化物半導体膜１０３の被形成面の凹凸状態に合わせて適宜設定すればよい。
【０１０２】
また、酸化物半導体膜１０３の成膜工程において、酸化物半導体膜１０３に水素、又は水がなるべく含まれないようにするために、酸化物半導体膜１０３の成膜工程の前処理として、スパッタリング装置の予備加熱室でゲート絶縁膜１０２が成膜された基板１００を予備加熱し、基板１００及びゲート絶縁膜１０２に吸着した水素、水分などの不純物を脱離し排気することが好ましい。なお、予備加熱室に設ける排気手段はクライオポンプが好ましい。
【０１０３】
次いで、ゲート絶縁膜１０２上に、膜厚５ｎｍより大きく２００ｎｍ以下、好ましくは１０ｎｍ以上３０ｎｍ以下の酸化物半導体膜１０３を成膜する（図４（Ｂ）参照）。酸化物半導体膜１０３は、単結晶または微結晶などの結晶性を有する構造とすることが好ましい。また、酸化物半導体膜１０３は、ＣＡＡＣ−ＯＳ膜とすることが好ましい。なお、ゲート絶縁膜１０２および酸化物半導体膜１０３は、大気に触れさせることなく連続して成膜するのが好ましい。
【０１０４】
本実施の形態では、酸化物半導体膜１０３としてＩｎ−Ｇａ−Ｚｎ系酸化物ターゲットを用いてスパッタリング法により成膜する。また、酸化物半導体膜１０３は、希ガス（代表的にはアルゴン）雰囲気下、酸素雰囲気下、又は希ガスと酸素の混合雰囲気下においてスパッタ法により形成することができる。
【０１０５】
酸化物半導体膜１０３としてＩｎ−Ｇａ−Ｚｎ−Ｏ膜をスパッタリング法で作製するためのターゲットとしては、例えば、原子数比がＩｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝１：１：１の酸化物ターゲットや、原子数比がＩｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝３：１：２の酸化物ターゲットや、原子数比がＩｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝２：１：３の酸化物ターゲットを用いることができる。ただし、酸化物半導体膜１０３をスパッタリング法で作製するためのターゲットは、これらのターゲットの材料及び組成に限定されるものではない。
【０１０６】
また、酸化物ターゲットの相対密度は９０％以上１００％以下、好ましくは９５％以上９９．９％以下である。相対密度の高い酸化物ターゲットを用いることにより、成膜した酸化物半導体膜１０３は緻密な膜とすることができる。
【０１０７】
酸化物半導体膜１０３を成膜する際に用いるスパッタガスとしては、水素、水、水酸基又は水素化物などの不純物が除去された高純度ガスを用いることが好ましい。
【０１０８】
酸化物半導体膜１０３として、ＣＡＡＣ−ＯＳ膜を適用する場合、該ＣＡＡＣ−ＯＳ膜を形成するための熱処理方法としては、三つ挙げられる。一つめは、成膜温度を２００℃以上４５０℃以下として酸化物半導体膜の成膜を行うことで、酸化物半導体膜の被形成面または表面に対してｃ軸が垂直な方向に揃った結晶部を形成する方法である。二つめは、酸化物半導体膜を薄い膜厚で成膜した後、２００℃以上７００℃以下の熱処理を行うことで、酸化物半導体膜の被形成面または表面に対してｃ軸が垂直な方向に揃った結晶部を形成する方法である。三つめは、一層目の酸化物半導体膜を薄く成膜した後、２００℃以上７００℃以下の熱処理を行い、さらに二層目の酸化物半導体膜の成膜を行うことで、酸化物半導体膜の被形成面または表面に対してｃ軸が垂直な方向に揃った結晶部を形成する方法である。
【０１０９】
また、基板１００を加熱しながら成膜することにより、成膜した酸化物半導体膜１０３に含まれる水素や水などの不純物濃度を低減することができる。また、スパッタリングによる損傷が軽減されるため好ましい。
【０１１０】
なお、酸化物半導体膜１０３として、ＣＡＡＣ−ＯＳ膜以外の結晶性を有する酸化物半導体膜（単結晶または微結晶）を成膜する場合には、成膜温度は特に限定されない。
【０１１１】
酸化物半導体膜１０３として、ＣＡＡＣ−ＯＳ膜を用いる場合、例えば、多結晶である酸化物半導体スパッタリング用ターゲットを用い、スパッタリング法によって成膜する。当該スパッタリング用ターゲットにイオンが衝突すると、スパッタリング用ターゲットに含まれる結晶領域がａ−ｂ面から劈開し、ａ−ｂ面に平行な面を有する平板状またはペレット状のスパッタリング粒子として剥離することがある。この場合、当該平板状のスパッタリング粒子が、結晶状態を維持したまま基板に到達することで、ＣＡＡＣ−ＯＳ膜を成膜することができる。
【０１１２】
また、ＣＡＡＣ−ＯＳ膜を成膜するために、以下の条件を適用することが好ましい。
【０１１３】
成膜時の不純物混入を低減することで、不純物によって結晶状態が崩れることを抑制できる。例えば、成膜室内に存在する不純物濃度（水素、水、二酸化炭素および窒素など）を低減すればよい。また、成膜ガス中の不純物濃度を低減すればよい。具体的には、露点が−８０℃以下、好ましくは−１００℃以下である成膜ガスを用いる。
【０１１４】
また、成膜時の基板加熱温度を高めることで、基板到達後にスパッタリング粒子のマイグレーションが起こる。具体的には、基板加熱温度を１００℃以上７４０℃以下、好ましくは２００℃以上５００℃以下として成膜する。成膜時の基板加熱温度を高めることで、平板状のスパッタリング粒子が基板に到達した場合、基板上でマイグレーションが起こり、スパッタリング粒子の平らな面が基板に付着する。
【０１１５】
また、成膜ガス中の酸素割合を高め、電力を最適化することで成膜時のプラズマダメージを軽減すると好ましい。成膜ガス中の酸素割合は、３０体積％以上、好ましくは１００体積％とする。
【０１１６】
スパッタリング用ターゲットの一例として、多結晶のＩｎ−Ｇａ−Ｚｎ系酸化物ターゲットについて以下に示す。
【０１１７】
多結晶のＩｎ−Ｇａ−Ｚｎ系酸化物ターゲットは、ＩｎＯＸ粉末、ＧａＯＹ粉末およびＺｎＯＺ粉末を所定のｍｏｌ数で混合し、加圧処理後、１０００℃以上１５００℃以下の温度で加熱処理をすることで得られる。なお、Ｘ、ＹおよびＺは任意の正数である。ここで、ＩｎＯＸ粉末、ＧａＯＹ粉末およびＺｎＯＺ粉末のｍｏｌ数比は、例えば、２：２：１、８：４：３、３：１：１、１：１：１、４：２：３または３：１：２とする。なお、粉末の種類、およびその混合するｍｏｌ数比は、作製するスパッタリング用ターゲットによって適宜変更すればよい。
【０１１８】
そして、成膜室内の残留水分を除去しつつ水素及び水分が除去されたスパッタガスを導入し、上記ターゲットを用いて基板１００上に酸化物半導体膜１０３を成膜する。成膜室内の残留水分を除去するためには、吸着型の真空ポンプ、例えば、クライオポンプ、イオンポンプ、チタンサブリメーションポンプを用いることが好ましい。また、排気手段は、ターボポンプにコールドトラップを加えたものであってもよい。クライオポンプを用いて排気した成膜室は、例えば、水素原子、水（Ｈ２Ｏ）など水素原子を含む化合物（より好ましくは炭素原子を含む化合物も）等が排気されるため、当該成膜室で成膜した酸化物半導体膜１０３に含まれる水素、水分などの不純物の濃度を低減できる。
【０１１９】
なお、スパッタリング法を用いて酸化物半導体膜１０３を成膜する場合、酸化物半導体膜１０３を構成する粒子などがゲート絶縁膜１０２に対して衝突すると、ゲート絶縁膜１０２を構成する元素が酸化物半導体膜１０３中に混入してしまう（ミキシング、ミキシング効果とも言われる。）。当該混入現象は、ゲート絶縁膜１０２との界面近傍の酸化物半導体膜１０３中、具体的には、上述の領域１０３ａにおいて、特に顕著に生じる。本実施の形態等に記載するトランジスタでは、ゲート絶縁膜１０２近傍の酸化物半導体膜１０３中にチャネル領域が形成されるため、ゲート絶縁膜１０２を構成する元素が当該領域に不純物として混入することにより、トランジスタのオン特性（例えば、オン電流など）を低下させる要因となり得る。
【０１２０】
ここで、ゲート絶縁膜１０２上に酸化物半導体膜１０３を成膜する際に、ゲート絶縁膜１０２と酸化物半導体膜１０３との界面近傍においてミキシングが起こる可能性について、古典分子動力学計算により調査した結果について説明する。なお、上記計算を行うため古典分子動力学計算ソフトウェアとして、富士通株式会社製ＳＣＩＧＲＥＳＳ ＭＥを用いた。
【０１２１】
ゲート絶縁膜としてアモルファス酸化シリコン膜（以下、ａ−ＳｉＯ２と記す。）を用いて、図６に示すモデルを作製した。計算に係る単位胞（計算単位胞）のサイズは、ｘ軸方向に３ｎｍ、ｙ軸方向に３ｎｍ、ｚ軸方向に７．５ｎｍとした。ここで、ｘ軸及びｙ軸は、ａ−ＳｉＯ２膜に平行な方向であり、ｚ軸は、ａ−ＳｉＯ２膜の膜厚方向である。なお、計算に当たって、ｘ軸方向及びｙ軸方向に周期境界条件を適用することで、ｘ軸方向及びｙ軸方向に十分広い膜を想定することとした。
【０１２２】
次に、ａ−ＳｉＯ２膜上に、１ｅＶのエネルギーをもつインジウム原子、ガリウム原子、亜鉛原子、酸素原子を、１：１：１：４の割合（合計８４０原子）で、上方（図６中、原子発生）から下方に向かって入射させ、温度を３００℃、時間を２ｎｓｅｃ（時間刻み幅を０．２ｆｓ、ステップ数を１０００万回）として古典分子動力学計算を行った。
【０１２３】
図７及び図８に、上記計算の結果を示す。図７（Ａ）に、０ｓｅｃにおける酸素原子及びシリコン原子の配置を示し、図７（Ｂ）に、１ｎｓｅｃ後の酸素原子、シリコン原子、ガリウム原子、及び亜鉛原子の配置を示し、図７（Ｃ）に、２ｎｓｅｃ後の酸素原子、シリコン原子、ガリウム原子、及び亜鉛原子の配置を示す。また、図８（Ａ）は、２ｎｓｅｃ後の酸素原子、シリコン原子、ガリウム原子、及び亜鉛原子の配置を示し、図８（Ｂ）に、２ｎｓｅｃ後のシリコン原子のみの配置を示し、図８（Ｃ）に、２ｎｓｅｃ後のインジウム原子、ガリウム原子、及び亜鉛原子の配置を示す。
【０１２４】
図８（Ｂ）に示すシリコン原子のみの配置と、図８（Ｃ）に示すインジウム原子、ガリウム原子、及び亜鉛原子の配置とを比較することによって、シリコン原子の層に、インジウム原子、ガリウム原子、及び亜鉛原子が浸入していることが確認された。
【０１２５】
上記計算の結果から、１ｅＶのエネルギーをもつインジウム原子、ガリウム原子、亜鉛原子、および酸素原子を、ａ−ＳｉＯ２膜に入射させることより、ａ−ＳｉＯ２膜とＩＧＺＯ膜との間に、シリコン原子、インジウム原子、ガリウム原子、亜鉛原子、および酸素原子とが混合した層が形成されることが示された。
【０１２６】
以上の結果から、酸化物半導体膜１０３とゲート絶縁膜１０２とが混合した層を形成させないためには、酸化物半導体膜１０３を構成する粒子がゲート絶縁膜１０２に衝突する勢いを弱くすることが有効であり、例えば、酸化物半導体膜１０３の成膜電力を低くする、成膜圧力を高くする方法がある。または、ターゲットと被成膜基板間の距離（以下、Ｔ−Ｓ間距離とも記載する。）を広げてもよい。
【０１２７】
なお、上述のようにスパッタリングによるミキシングは、ゲート絶縁膜１０２との界面近傍の酸化物半導体膜１０３中において発生しうる。よって、酸化物半導体膜１０３を構成する粒子がゲート絶縁膜１０２に衝突する勢いを弱くしてスパッタリングを行って、ミキシング効果を低減して当該界面近傍の酸化物半導体膜を成膜してしまえば、その後は衝突する勢いを強くしてもよい。例えば、酸化物半導体膜１０３の成膜電力を低くして当該界面近傍の酸化物半導体膜を成膜し、それから成膜電力を高くして酸化物半導体膜を成膜してもよい。また、酸化物半導体膜１０３の成膜圧力を高くして当該界面近傍の酸化物半導体膜を成膜し、それから成膜圧力を低くして酸化物半導体膜を成膜してもよい。また、酸化物半導体膜１０３のＴ−Ｓ間距離を広くして当該界面近傍の酸化物半導体膜を成膜し、それからＴ−Ｓ間距離を狭くして酸化物半導体膜を成膜してもよい。
【０１２８】
成膜電力の具体的な数値としては、５ｋＷ以下、好ましくは１ｋＷ以下、より好ましくは５００Ｗ以下、更に好ましくは２００Ｗ以下とすることが望ましい。なお、成膜電力を下げるほど酸化物半導体膜１０３の成膜レートが低下してしまう。また、成膜電力が非常に低いと、スパッタリング装置内でプラズマが発生しにくくなり、正常に成膜処理が行えなくなる可能性が高まる。このため、成膜電力は、使用するスパッタ装置で印加することのできる最大電力の５％以上とすることが望ましい。成膜電力をどの程度まで下げるかについては、スパッタリング装置の性能や酸化物半導体膜１０３の膜厚などを鑑み、成膜を正常に行うことができ、かつ、成膜時間がトランジスタ１１０の作製工程（タクトタイム）に対して重大な影響を及ぼさない範囲で、実施者が適宜最適な電力値を選択すればよい。
【０１２９】
また、成膜圧力の具体的な数値としては、０．４Ｐａ以上、好ましくは１．０Ｐａ以上、より好ましくは２．０Ｐａ以上、更に好ましくは５．０Ｐａ以上とすることが望ましい。なお、成膜圧力を高くするほど、成膜される膜の膜質が悪化する（例えば、膜質が疎になる。）傾向がある。このため、成膜圧力は１００Ｐａ以下とすることが望ましい。成膜圧力をどの程度まで高めるかについては、酸化物半導体膜１０３に必要とされる特性（例えば、電界効果移動度など）を鑑み、実施者が適宜最適な圧力値を選択すればよい。
【０１３０】
また、Ｔ−Ｓ間距離の具体的な数値としては、３０ｍｍ以上、好ましくは５０ｍｍ以上、より好ましくは１００ｍｍ以上、更に好ましくは３００ｍｍ以上とすることが望ましい。なお、Ｔ−Ｓ間距離を広くするほど酸化物半導体膜１０３の成膜レートが低下してしまう。このため、Ｔ−Ｓ間距離は５００ｍｍ以下とすることが望ましい。Ｔ−Ｓ間距離をどの程度まで広げるかについては、成膜時間がトランジスタ１１０の作製工程（タクトタイム）に対して重大な影響を及ぼさない範囲で、実施者が適宜最適なＴ−Ｓ間距離を選択すればよい。
【０１３１】
なお、酸化物半導体膜１０３を構成する粒子がゲート絶縁膜１０２に衝突する勢いを弱くするためには、成膜電力、成膜圧力またはＴ−Ｓ間距離のいずれか一つの条件を上述の範囲として酸化物半導体膜１０３を成膜してもよいし、複数の条件を上述の範囲として酸化物半導体膜１０３を成膜してもよい。
【０１３２】
なお、スパッタリング装置として、ターゲットと被成膜基板が略平行に設置されたマグネトロン方式スパッタ装置（単に、マグネトロンスパッタ装置とも言われる。）を用いた場合、ゲート絶縁膜１０２には、酸化物半導体膜１０３を構成する粒子以外にもプラズマや二次電子なども衝突するため、ゲート絶縁膜１０２を構成する元素が酸化物半導体膜１０３中に非常に混入しやすい状態にあると言える。このため、酸化物半導体膜１０３を成膜するスパッタリング装置としては、対向ターゲット式スパッタ装置（ミラートロンスパッタ装置とも言われる。）を用いてもよい。当該装置は、２枚のターゲットが対向する状態に設置され、被成膜基板は２枚のターゲットに挟まれた空間以外の場所に、ターゲットに対して概垂直な状態に設置されている。そして、対向する２枚のターゲット間に高密度のプラズマを生成し、当該プラズマによりターゲット（酸化物半導体膜１０３の成膜に用いるターゲット。）表面がスパッタリングされることで、被成膜基板に酸化物半導体膜１０３が成膜される。このため、被成膜基板はプラズマや二次電子に直接晒されることがない（または非常に少ない）。
【０１３３】
また、酸化物半導体膜１０３のスパッタリング成膜を希ガス雰囲気で行う場合、アルゴンの代わりにヘリウムを用いてもよい。アルゴンより原子量の小さいヘリウムを用いることにより、酸化物半導体膜１０３を構成する粒子がゲート絶縁膜１０２に衝突する勢いを弱くすることができる。さらに、酸化物半導体膜１０３のゲート絶縁膜１０２との界面近傍の成膜をヘリウム雰囲気で行った後、成膜室内をアルゴン雰囲気に切り替えることにより、酸化物半導体膜１０３の成膜スピードを向上させることができる。
【０１３４】
また、酸化物半導体膜１０３を、ＡＬＤ（Ａｔｏｍｉｃ Ｌａｙｅｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法、蒸着法、塗布法などのゲート絶縁膜１０２への衝撃が弱い方法で成膜してもよい。
【０１３５】
以上のように、酸化物半導体膜１０３を構成する粒子がゲート絶縁膜１０２に衝突する勢いを弱くして酸化物半導体膜１０３を成膜することで、上述のように酸化物半導体膜１０３において、ゲート絶縁膜１０２との界面から酸化物半導体膜１０３に向けてシリコンが１．０原子％以下の濃度で分布する領域１０３ａと、領域１０３ａより含有されるシリコン濃度が小さい領域１０３ｂが形成される。ここで、領域１０３ｂとは、酸化物半導体膜１０３の領域１０３ａ以外の領域のことである。また、領域１０３ａに含まれるシリコンの濃度は、０．１原子％以下であるとより好ましい。
【０１３６】
また、このようにして酸化物半導体膜１０３を成膜することでゲート絶縁膜１０２中に含まれる炭素などの不純物が酸化物半導体膜１０３に混入することも低減されるので、上述のように領域１０３ａに含まれる炭素濃度は１．０×１０２０ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以下、より好ましくは１．０×１０１９ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以下となる。
【０１３７】
また、酸化物半導体膜１０３としてＣＡＡＣ−ＯＳ膜を加熱しながら成膜する（一つめの方法）場合、領域１０３ａに取り込まれるシリコンなどの不純物の量を低減することにより、ＣＡＡＣ−ＯＳ膜の被形成面近傍においても、酸化物半導体膜の被形成面または表面に対してｃ軸が垂直な方向に揃った結晶部を形成することができる。
【０１３８】
また、酸化物半導体膜１０３を構成する粒子がゲート絶縁膜１０２に衝突する勢いを弱くして酸化物半導体膜１０３を成膜することにより、ゲート絶縁膜１０２中に酸化物半導体膜１０３を構成する元素が混入することも抑制できる。これにより、ゲート絶縁膜１０２中に酸化物半導体膜１０３を構成する金属元素などの導電性の高い元素が混入することを抑制できるので、ゲート絶縁膜１０２の抵抗率の低減を防ぐことができる。
【０１３９】
また、酸化物半導体膜１０３の成膜後、酸化物半導体膜１０３に対して、熱処理を行ってもよい。当該熱処理の温度は、２００℃以上７００℃以下、または基板の歪み点未満とする。当該熱処理を行うことで、過剰な水素（水や水酸基を含む）を除去することが可能である。
【０１４０】
また、二つめの方法または三つめの方法を用いて、ＣＡＡＣ−ＯＳ膜を形成する場合には、当該熱処理を行うことにより、酸化物半導体膜の被形成面または表面に対してｃ軸が垂直な方向に揃った結晶部を形成することができる。また、酸化物半導体膜１０３の領域１０３ａにおいて、シリコンなどの不純物の濃度が低減されているため、酸化物半導体膜１０３の被形成面近傍まで該結晶部を形成させることができる。
【０１４１】
当該熱処理は、例えば、抵抗発熱体などを用いた電気炉に被処理物を導入し、窒素雰囲気下、４５０℃、１時間の条件で行うことができる。この間、酸化物半導体膜１０３は大気に触れさせず、水や水素の混入が生じないようにする。
【０１４２】
熱処理装置は電気炉に限られず、加熱されたガスなどの媒体からの熱伝導、または熱輻射によって、被処理物を加熱する装置を用いても良い。例えば、ＧＲＴＡ（Ｇａｓ Ｒａｐｉｄ Ｔｈｅｒｍａｌ Ａｎｎｅａｌ）装置、ＬＲＴＡ（Ｌａｍｐ Ｒａｐｉｄ Ｔｈｅｒｍａｌ Ａｎｎｅａｌ）装置等のＲＴＡ（Ｒａｐｉｄ Ｔｈｅｒｍａｌ Ａｎｎｅａｌ）装置を用いることができる。ＬＲＴＡ装置は、ハロゲンランプ、メタルハライドランプ、キセノンアークランプ、カーボンアークランプ、高圧ナトリウムランプ、高圧水銀ランプなどのランプから発する光（電磁波）の輻射により、被処理物を加熱する装置である。ＧＲＴＡ装置は、高温のガスを用いて熱処理を行う装置である。ガスとしては、アルゴンなどの希ガス、または窒素のような、熱処理によって被処理物と反応しない不活性気体が用いられる。
【０１４３】
例えば、当該熱処理として、熱せられた不活性ガス雰囲気中に被処理物を投入し、数分間加熱した後、当該不活性ガス雰囲気から被処理物を取り出すＧＲＴＡ処理を行ってもよい。ＧＲＴＡ処理を用いると短時間での高温熱処理が可能となる。また、被処理物の耐熱温度を超える温度条件であっても適用が可能となる。なお、処理中に、不活性ガスを、酸素を含むガスに切り替えても良い。
【０１４４】
なお、不活性ガス雰囲気としては、窒素、または希ガス（ヘリウム、ネオン、アルゴン等）を主成分とする雰囲気であって、水、水素などが含まれない雰囲気を適用するのが望ましい。例えば、熱処理装置に導入する窒素や、ヘリウム、ネオン、アルゴン等の希ガスの純度を、６Ｎ（９９．９９９９％）以上、好ましくは７Ｎ（９９．９９９９９％）以上（すなわち、不純物濃度が１ｐｐｍ以下、好ましくは０．１ｐｐｍ以下）とする。
【０１４５】
また、当該熱処理で酸化物半導体膜１０３を加熱した後、同じ炉に高純度の酸素ガス、一酸化二窒素ガス、高純度の一酸化二窒素ガス、又は超乾燥エア（ＣＲＤＳ（キャビティリングダウンレーザー分光法）方式の露点計を用いて測定した場合の水分量が２０ｐｐｍ（露点換算で−５５℃）以下、好ましくは１ｐｐｍ以下、より好ましくは１０ｐｐｂ以下の空気）を導入してもよい。酸素ガスまたは一酸化二窒素ガスに、水、水素などが含まれないことが好ましい。または、熱処理装置に導入する酸素ガスまたは一酸化二窒素ガスの純度を、６Ｎ以上好ましくは７Ｎ以上（即ち、酸素ガスまたは一酸化二窒素ガス中の不純物濃度を１ｐｐｍ以下、好ましくは０．１ｐｐｍ以下）とすることが好ましい。酸素ガス又は一酸化二窒素ガスの作用により、上記熱処理によって同時に減少してしまった酸化物半導体を構成する主成分材料である酸素を供給することによって、酸化物半導体膜を高純度化及びｉ型（真性）化することができる。
【０１４６】
また、三つめの方法を用いて、ＣＡＡＣ−ＯＳ膜を形成する場合には、さらに酸化物半導体膜を成膜すればよい。これにより、酸化物半導体膜の被形成面または表面に対してｃ軸が垂直な方向に揃った結晶部を種として、その上に成膜された酸化物半導体膜も、該結晶部を有する酸化物半導体膜とすることができる。
【０１４７】
なお、ＣＡＡＣ−ＯＳ膜以外の結晶性を有する酸化物半導体膜（単結晶または微結晶）を形成する場合、当該熱処理を行うことにより、酸化物半導体膜を結晶化させることができる。また、酸化物半導体膜１０３の領域１０３ａにおいて、シリコンなどの不純物の濃度が低減されているため、酸化物半導体膜の被形成面まで結晶化させることができる。
【０１４８】
なお、ここでは、酸化物半導体膜を島状に加工する前に、熱処理を行う構成について説明したが、開示する発明の一態様はこれに限定して解釈されない。酸化物半導体膜を島状に加工した後に、当該熱処理を行ってもよい。
【０１４９】
次いで、酸化物半導体膜１０３をフォトリソグラフィ工程により島状の酸化物半導体膜１０３に加工するのが好ましい（図４（Ｃ）参照）。また、島状の酸化物半導体膜１０３を形成するためのレジストマスクをインクジェット法で形成してもよい。レジストマスクをインクジェット法で形成するとフォトマスクを使用しないため、製造コストを低減できる。なお、酸化物半導体膜１０３のエッチングは、ドライエッチングでもウェットエッチングでもよく、両方を用いてもよい。
【０１５０】
ここで、図４（Ｃ）に示すように、酸化物半導体膜１０３は端部に２０°乃至５０°のテーパーを有していることが好ましい。酸化物半導体膜１０３の端部が垂直であると酸化物半導体膜１０３から酸素が抜けやすく酸素欠損を生じやすいが、酸化物半導体膜１０３の端部にテーパーを有することで酸素欠損の発生を抑制し、トランジスタ１１０のリーク電流の発生を低減することができる。
【０１５１】
次いで、酸化物半導体膜１０３上に、ソース電極及びドレイン電極（これと同じ層で形成される配線を含む）に用いる導電膜を成膜する。ソース電極及びドレイン電極に用いる導電膜としては、例えば、アルミニウム、クロム、銅、タンタル、チタン、モリブデン、タングステンから選ばれた元素を含む金属膜、または上述した元素を成分とする金属窒化物膜（窒化チタン膜、窒化モリブデン膜、窒化タングステン膜）等を用いることができる。また、アルミニウム、銅などの金属膜の下側又は上側の一方または双方にチタン、モリブデン、タングステンなどの高融点金属膜またはそれらの金属窒化物膜（窒化チタン膜、窒化モリブデン膜、窒化タングステン膜）を積層させた構成としても良い。また、ソース電極及びドレイン電極に用いる導電膜は、導電性の金属酸化物で形成しても良い。導電性の金属酸化物としては酸化インジウム（Ｉｎ２Ｏ３）、酸化スズ（ＳｎＯ２）、酸化亜鉛（ＺｎＯ）、インジウムスズ酸化物（Ｉｎ２Ｏ３−ＳｎＯ２、ＩＴＯと略記する）、インジウム亜鉛酸化物（Ｉｎ２Ｏ３−ＺｎＯ）を用いることができる。ソース電極及びドレイン電極に用いる導電膜は、上記の材料を用いて単層で又は積層して成膜することができる。形成方法も特に限定されず、蒸着法、ＣＶＤ法、スパッタリング法、スピンコート法などの各種成膜方法を用いることができる
【０１５２】
フォトリソグラフィ工程により導電膜上にレジストマスクを形成し、選択的にエッチングを行ってソース電極１０５ａ、ドレイン電極１０５ｂを形成した後、レジストマスクを除去する（図４（Ｄ）参照）。当該フォトリソグラフィ工程におけるレジストマスク形成時の露光には、紫外線やＫｒＦレーザ光やＡｒＦレーザ光を用いることが好ましい。ここで、酸化物半導体膜１０３上で隣り合うソース電極１０５ａの下端部とドレイン電極１０５ｂの下端部との間隔幅によって、後に形成されるトランジスタのチャネル長Ｌが決定される。よって、チャネル長Ｌ＝２５ｎｍ未満の露光を行う場合には、例えば、数ｎｍ〜数１０ｎｍと極めて波長が短い超紫外線（Ｅｘｔｒｅｍｅ Ｕｌｔｒａｖｉｏｌｅｔ）を用いてフォトリソグラフィ工程でのレジストマスク形成時の露光を行うとよい。超紫外線による露光は、解像度が高く焦点深度も大きい。従って、後に形成されるトランジスタのチャネル長Ｌを微細化することが可能であり、回路の動作速度を高速化できる。
【０１５３】
また、フォトリソグラフィ工程で用いるフォトマスク数及び工程数を削減するため、透過した光が複数の強度となる露光マスクである多階調マスクによって形成されたレジストマスクを用いてエッチング工程を行ってもよい。多階調マスクを用いて形成したレジストマスクは複数の膜厚を有する形状となり、エッチングを行うことでさらに形状を変形することができるため、異なるパターンに加工する複数のエッチング工程に用いることができる。よって、一枚の多階調マスクによって、少なくとも二種類以上の異なるパターンに対応するレジストマスクを形成することができる。よって露光マスク数を削減することができ、対応するフォトリソグラフィ工程も削減できるため、工程の簡略化が可能となる。
【０１５４】
なお、導電膜のエッチングの際に、酸化物半導体膜１０３がエッチングされ、分断することのないようエッチング条件を最適化することが望まれる。しかしながら、導電膜のみをエッチングし、酸化物半導体膜１０３を全くエッチングしないという条件を得ることは難しく、導電膜のエッチングの際に酸化物半導体膜１０３は一部のみがエッチングされ、例えば、酸化物半導体膜１０３の膜厚の５％乃至５０％がエッチングされ、溝部（凹部）を有する酸化物半導体膜１０３となることもある。
【０１５５】
次いで、ソース電極１０５ａ、及びドレイン電極１０５ｂを覆い、且つ酸化物半導体膜１０３の一部と接する保護絶縁膜１０９を形成する（図４（Ｅ）参照）。保護絶縁膜１０９としては、無機絶縁膜を用いることが好ましく、酸化シリコン膜、酸化窒化シリコン膜、酸化アルミニウム膜、酸化窒化アルミニウム膜、酸化ガリウム膜、酸化ハフニウム膜などの酸化物絶縁膜を単層、或いは積層して用いればよい。また、上述の酸化物絶縁膜上に、窒化シリコン膜、窒化酸化シリコン膜、窒化アルミニウム膜、窒化酸化アルミニウム膜などの窒化物絶縁膜の単層、或いは積層をさらに形成してもよい。例えば、スパッタリング法を用いて、ソース電極１０５ａ及びドレイン電極１０５ｂ側から順に酸化シリコン膜及び酸化アルミニウム膜の積層を形成する。
【０１５６】
なお、当該工程において、保護絶縁膜１０９を、スパッタリング法を用いて成膜する場合、酸化物半導体膜１０３を成膜する場合と同様に、保護絶縁膜１０９を構成する粒子が酸化物半導体膜１０３に衝突する勢いを弱くすることが有効である。これにより、酸化物半導体膜１０３と保護絶縁膜１０９が接する界面近傍に領域１０３ｃが形成される。これにより、図２（Ａ）および図２（Ｂ）に示すトランジスタ１２０が形成される。ここで、領域１０３ｃは、酸化物半導体膜１０３において、保護絶縁膜１０９との界面から酸化物半導体膜１０３に向けてシリコンが１．０原子％以下の濃度で分布する領域である。領域１０３ｃは、保護絶縁膜１０９との界面からの厚さが５ｎｍ以下の範囲に存在することが好ましい。
【０１５７】
ここで、保護絶縁膜１０９としては、ゲート絶縁膜１０２と同様の絶縁膜を用いることができる。また、シリコンなどの不純物を酸化物半導体膜１０３に混入させないためには、酸化物半導体膜１０３と保護絶縁膜１０９の界面近傍においてミキシングを抑制させればよいため、スパッタリングの時に保護絶縁膜１０９を構成するシリコンが酸化物半導体膜１０３に衝突する勢いを弱くすればよい。例えば、保護絶縁膜１０９の成膜電力を低くする、保護絶縁膜１０９の成膜圧力を高くする、またはＴ−Ｓ間距離を長くする等の方法がある。
【０１５８】
このように、酸化物半導体膜１０３のバックチャネルに当たる領域１０３ｃにおいても、シリコンなどの不純物の濃度を低減させることができる。
【０１５９】
以下、トランジスタ１１０の作製方法と同様の工程でトランジスタ１２０を作製することができる。
【０１６０】
保護絶縁膜１０９の成膜後、酸化物半導体膜１０３に対して熱処理を行うのが好ましい。当該熱処理の温度は、３００℃以上７００℃以下、または基板の歪み点未満とする。
【０１６１】
当該熱処理は、窒素、酸素、超乾燥空気（水の含有量が２０ｐｐｍ以下、好ましくは１ｐｐｍ以下、好ましくは１０ｐｐｂ以下の空気）、または希ガス（アルゴン、ヘリウムなど）の雰囲気下で行えばよいが、上記窒素、酸素、超乾燥空気、または希ガス等の雰囲気に水、水素などが含まれないことが好ましい。また、熱処理装置に導入する窒素、酸素、または希ガスの純度を、６Ｎ（９９．９９９９％）以上好ましくは７Ｎ（９９．９９９９９％）以上（即ち不純物濃度を１ｐｐｍ以下、好ましくは０．１ｐｐｍ以下）とすることが好ましい。
【０１６２】
酸化物半導体膜成膜後の熱処理によって、酸化物半導体を構成する主成分材料の一つである酸素が同時に減少してしまう可能性がある。しかし、当該熱処理において、シリコンを含む酸化物を含む絶縁膜を用いて形成されるゲート絶縁膜１０２より、酸素を酸化物半導体膜１０３へ供給することができるので、酸化物半導体膜１０３の酸素欠損を補完することができる。
【０１６３】
上述のような熱処理を行うことで、酸化物半導体膜１０３を、その主成分以外の不純物が極力含まれないように高純度化することができる。高純度化された酸化物半導体膜１０３中にはドナーに由来するキャリアが極めて少なく（ゼロに近い）、キャリア濃度は１×１０１４／ｃｍ３未満、好ましくは１×１０１２／ｃｍ３未満、さらに好ましくは１×１０１１／ｃｍ３未満である。このようにして、ｉ型（真性）化された酸化物半導体膜１０３を形成することができる。
【０１６４】
以上の工程でトランジスタ１１０が形成される（図４（Ｅ）参照）。トランジスタ１１０は、酸化物半導体膜１０３の領域１０３ａに取り込まれるシリコンなどの不純物の濃度が低減されている。これにより、トランジスタ１１０を、安定した電気特性を有するものとすることができる。
【０１６５】
また、トランジスタ１１０上に平坦化絶縁膜を設けても良い。平坦化絶縁膜としては、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂、ベンゾシクロブテン系樹脂、ポリアミド樹脂、エポキシ樹脂等の、耐熱性を有する有機材料を用いることができる。また上記有機材料の他に、低誘電率材料（ｌｏｗ−ｋ材料）、シロキサン系樹脂、ＰＳＧ（リンガラス）、ＢＰＳＧ（リンボロンガラス）等を用いることができる。なお、これらの材料で形成される絶縁膜を複数積層させてもよい。
【０１６６】
〈トランジスタ１３０の作製工程〉
次に、図５（Ａ）乃至図５（Ｅ）を用いて、図３に示すトランジスタ１３０の作製工程の一例について説明する。
【０１６７】
まず、図４（Ｃ）に示す工程までトランジスタ１１０と同様の方法で、基板１００上にゲート電極１０１、ゲート絶縁膜１０２および、領域１０３ａおよび領域１０３ｂを有する酸化物半導体膜１０３を形成する（図５（Ａ）参照）。基板１００、ゲート電極１０１、ゲート絶縁膜１０２および酸化物半導体膜１０３の詳細については、図４（Ａ）乃至図４（Ｃ）に関する記載を参酌することができる。
【０１６８】
次に、チャネル保護膜に用いる絶縁膜１０７を膜厚５ｎｍ以上３００ｎｍ以下として成膜する（図５（Ｂ）参照）。絶縁膜１０７としては、酸素を含む無機絶縁膜を用いることが好ましく、例えば、酸化シリコン膜、酸化窒化シリコン膜、酸化アルミニウム膜、酸化窒化アルミニウム膜、酸化ガリウム膜、酸化ハフニウム膜などの絶縁膜を用いることができる。また、絶縁膜１０７の作製方法に特に限定はないが、例えば、スパッタリング法、ＭＢＥ法、ＣＶＤ法、パルスレーザ堆積法、ＡＬＤ法等を適宜用いて成膜することができる。
【０１６９】
次に、フォトリソグラフィ工程により絶縁膜１０７上にレジストマスクを形成し、エッチングを行ってチャネル保護膜１０８を形成した後、レジストマスクを除去する（図５（Ｃ）参照）。また、チャネル保護膜１０８を形成するためのレジストマスクをインクジェット法で形成してもよい。レジストマスクをインクジェット法で形成するとフォトマスクを使用しないため、製造コストを低減できる。ここでのチャネル保護膜１０８のエッチングは、ドライエッチングでもウェットエッチングでもよく、両方を用いてもよい。
【０１７０】
ここで、図５（Ｃ）に示すように、チャネル保護膜１０８は端部に１０°以上６０°以下のテーパーを有していることが好ましい。チャネル保護膜１０８をこのような形状とすることにより、チャネル保護膜１０８の下端部近傍における電界集中を緩和することができる。
【０１７１】
このように、酸化物半導体膜１０３上に接してチャネル保護膜１０８を設けることにより、ソース電極１０５ａおよびドレイン電極１０５ｂのエッチングによる酸化物半導体膜１０３のバックチャネル側へのダメージ（例えば、エッチング時のプラズマまたはエッチング剤によるダメージ）を防ぐことができる。これにより、安定した電気特性を有する、酸化物半導体を用いた半導体装置を提供することができる。
【０１７２】
次に、チャネル保護膜１０８および酸化物半導体膜１０３上に、ソース電極及びドレイン電極（これと同じ層で形成される配線を含む）に用いる導電膜を成膜し、フォトリソグラフィ工程により当該導電膜を選択的にエッチングしてソース電極１０５ａおよびドレイン電極１０５ｂを形成する（図５（Ｄ）参照）。当該工程は図４（Ｄ）に示す工程と同様の方法を用いて行うことができるので、ソース電極１０５ａおよびドレイン電極１０５ｂの詳細については、図４（Ｄ）に関する記載を参酌することができる。
【０１７３】
次いで、ソース電極１０５ａ、及びドレイン電極１０５ｂおよびチャネル保護膜１０８を覆って保護絶縁膜１０９を形成する（図５（Ｅ）参照）。当該工程は図４（Ｅ）に示す工程と同様の方法を用いて行うことができるので、保護絶縁膜１０９の詳細については、図４（Ｅ）に関する記載を参酌することができる。
【０１７４】
以上のようにして、酸化物半導体膜を成膜することにより、酸化物半導体膜の被形成面近傍に含まれる不純物の濃度を低減することができる。また、酸化物半導体膜１０３の被形成面近傍まで結晶化させることができるため、酸化物半導体膜１０３の結晶性を向上させることができる。また、酸化物半導体膜１０３をＣＡＡＣ−ＯＳ膜とする場合には、被形成面近傍まで結晶部を形成することができる。なお、結晶部は、酸化物半導体膜１０３とゲート絶縁膜１０２との界面、または酸化物半導体膜１０３と保護絶縁膜１０９との界面に対してｃ軸が垂直な方向に揃っている。このような酸化物半導体膜を用いることにより、安定した電気特性を有する半導体装置を提供することができる。
【０１７５】
以上、本実施の形態に示す構成、方法などは、他の実施の形態に示す構成、方法などと適宜組み合わせて用いることができる。
【０１７６】
（実施の形態２）
実施の形態１で例示したトランジスタを用いて表示機能を有する半導体装置（表示装置ともいう）を作製することができる。また、トランジスタを含む駆動回路の一部または全体を、画素部と同じ基板上に一体形成し、システムオンパネルを形成することができる。
【０１７７】
図９（Ａ）において、第１の基板４００１上に設けられた画素部４００２を囲むようにして、シール材４００５が設けられ、第２の基板４００６によって封止されている。図９（Ａ）においては、第１の基板４００１上のシール材４００５によって囲まれている領域とは異なる領域に、別途用意された基板上に単結晶半導体膜又は多結晶半導体膜で形成された走査線駆動回路４００４、信号線駆動回路４００３が実装されている。また、別途形成された信号線駆動回路４００３と、走査線駆動回路４００４または画素部４００２に与えられる各種信号及び電位は、ＦＰＣ（Ｆｌｅｘｉｂｌｅ ｐｒｉｎｔｅｄ ｃｉｒｃｕｉｔ）４０１８ａ、４０１８ｂから供給されている。
【０１７８】
図９（Ｂ）及び図９（Ｃ）において、第１の基板４００１上に設けられた画素部４００２と、走査線駆動回路４００４とを囲むようにして、シール材４００５が設けられている。また画素部４００２と、走査線駆動回路４００４の上に第２の基板４００６が設けられている。よって画素部４００２と、走査線駆動回路４００４とは、第１の基板４００１とシール材４００５と第２の基板４００６とによって、表示素子と共に封止されている。図９（Ｂ）及び図９（Ｃ）においては、第１の基板４００１上のシール材４００５によって囲まれている領域とは異なる領域に、別途用意された基板上に単結晶半導体膜又は多結晶半導体膜で形成された信号線駆動回路４００３が実装されている。図９（Ｂ）及び図９（Ｃ）においては、別途形成された信号線駆動回路４００３と、走査線駆動回路４００４または画素部４００２に与えられる各種信号及び電位は、ＦＰＣ４０１８から供給されている。
【０１７９】
また、図９（Ｂ）及び図９（Ｃ）においては、信号線駆動回路４００３を別途形成し、第１の基板４００１に実装している例を示しているが、この構成に限定されない。走査線駆動回路を別途形成して実装しても良いし、信号線駆動回路の一部または走査線駆動回路の一部のみを別途形成して実装しても良い。
【０１８０】
なお、別途形成した駆動回路の接続方法は、特に限定されるものではなく、ＣＯＧ（Ｃｈｉｐ Ｏｎ Ｇｌａｓｓ）方法、ワイヤボンディング方法、或いはＴＡＢ（Ｔａｐｅ Ａｕｔｏｍａｔｅｄ Ｂｏｎｄｉｎｇ）方法などを用いることができる。図９（Ａ）は、ＣＯＧ方法により信号線駆動回路４００３、走査線駆動回路４００４を実装する例であり、図９（Ｂ）は、ＣＯＧ方法により信号線駆動回路４００３を実装する例であり、図９（Ｃ）は、ＴＡＢ方法により信号線駆動回路４００３を実装する例である。
【０１８１】
また、表示装置は、表示素子が封止された状態にあるパネルと、該パネルにコントローラを含むＩＣ等を実装した状態にあるモジュールとを含む。
【０１８２】
なお、本明細書中における表示装置とは、画像表示デバイス、表示デバイス、もしくは光源（照明装置含む）を指す。
【０１８３】
また、コネクター、例えばＦＰＣもしくはＴＡＢテープもしくはＴＣＰが取り付けられたモジュール、ＴＡＢテープやＴＣＰの先にプリント配線板が設けられたモジュール、または表示素子にＣＯＧ方式によりＩＣ（集積回路）が直接実装されたモジュールも全て表示装置に含むものとする。
【０１８４】
また、第１の基板上に設けられた画素部及び走査線駆動回路は、トランジスタを複数有しており、実施の形態１に例示したトランジスタを適用することができる。
【０１８５】
表示装置に設けられる表示素子としては液晶素子（液晶表示素子ともいう）、発光素子（発光表示素子ともいう）、を用いることができる。発光素子は、電流または電圧によって輝度が制御される素子をその範疇に含んでおり、具体的には無機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）、有機ＥＬ等が含まれる。また、電子インクなど、電気的作用によりコントラストが変化する表示媒体も適用することができる。
【０１８６】
半導体装置の一形態について、図１０乃至図１２を用いて説明する。図１０乃至図１２は、図９（Ｂ）のＭ−Ｎにおける断面図に相当する。
【０１８７】
図１０乃至図１２で示すように、半導体装置は接続端子電極４０１５及び端子電極４０１６を有しており、接続端子電極４０１５及び端子電極４０１６はＦＰＣ４０１８が有する端子と異方性導電膜４０１９を介して、電気的に接続されている。
【０１８８】
接続端子電極４０１５は、第１の電極層４０３０と同じ導電膜から形成され、端子電極４０１６は、トランジスタ４０１０、トランジスタ４０１１のソース電極及びドレイン電極と同じ導電膜で形成されている。
【０１８９】
また、第１の基板４００１上に設けられた画素部４００２と、走査線駆動回路４００４は、トランジスタを複数有しており、図１０乃至図１２では、画素部４００２に含まれるトランジスタ４０１０と、走査線駆動回路４００４に含まれるトランジスタ４０１１とを例示している。
【０１９０】
本実施の形態では、トランジスタ４０１０、トランジスタ４０１１として、実施の形態１で示したトランジスタを適用することができる。トランジスタ４０１０、トランジスタ４０１１は、電気的特性変動が抑制されており、電気的に安定である。よって、図１０乃至図１２で示す本実施の形態の半導体装置として信頼性の高い半導体装置を提供することができる。
【０１９１】
走査線駆動回路４００４に含まれるトランジスタ４０１１は、絶縁膜４０３４上に第２のゲート電極を設ける構造である。第２のゲート電極に印加される電圧を制御することにより、トランジスタ４０１１のしきい値電圧を制御することができる。
【０１９２】
画素部４００２に設けられたトランジスタ４０１０は表示素子と電気的に接続し、表示パネルを構成する。表示素子は表示を行うことができれば特に限定されず、様々な表示素子を用いることができる。
【０１９３】
図１０に表示素子として液晶素子を用いた液晶表示装置の例を示す。図１０において、表示素子である液晶素子４０１３は、第１の電極層４０３０、第２の電極層４０３１、及び液晶層４００８を含む。なお、液晶層４００８を挟持するように配向膜として機能する絶縁膜４０３２、絶縁膜４０３３が設けられている。第２の電極層４０３１は第２の基板４００６側に設けられ、第１の電極層４０３０と第２の電極層４０３１とは液晶層４００８を介して積層する構成となっている。
【０１９４】
また、４０３５は絶縁膜を選択的にエッチングすることで得られる柱状のスペーサであり、液晶層４００８の膜厚（セルギャップ）を制御するために設けられている。なお、球状のスペーサを用いていても良い。
【０１９５】
表示素子として、液晶素子を用いる場合、サーモトロピック液晶、低分子液晶、高分子液晶、高分子分散型液晶、強誘電性液晶、反強誘電性液晶等を用いることができる。これらの液晶材料は、条件により、コレステリック相、スメクチック相、キュービック相、カイラルネマチック相、等方相等を示す。
【０１９６】
また、配向膜を用いないブルー相を示す液晶を用いてもよい。ブルー相は液晶相の一つであり、コレステリック液晶を昇温していくと、コレステリック相から等方相へ転移する直前に発現する相である。ブルー相は狭い温度範囲でしか発現しないため、温度範囲を改善するために数重量％以上のカイラル剤を混合させた液晶組成物を用いて液晶層に用いる。ブルー相を示す液晶とカイラル剤とを含む液晶組成物は、応答速度が１ｍｓｅｃ以下と短く、光学的等方性であるため配向処理が不要であり、視野角依存性が小さい。また、配向膜を設けなくてもよいのでラビング処理も不要となるため、ラビング処理によって引き起こされる静電破壊を防止することができ、作製工程中の液晶表示装置の不良や破損を軽減することができる。よって、液晶表示装置の生産性を向上させることが可能となる。
【０１９７】
また、液晶材料の固有抵抗率は、１×１０９Ω・ｃｍ以上であり、好ましくは１×１０１１Ω・ｃｍ以上であり、さらに好ましくは１×１０１２Ω・ｃｍ以上である。なお、本明細書における固有抵抗率の値は、２０℃で測定した値とする。
【０１９８】
液晶表示装置に設けられる保持容量の大きさは、画素部に配置されるトランジスタのリーク電流等を考慮して、所定の期間の間電荷を保持できるように設定される。高純度の酸化物半導体膜を有するトランジスタを用いることにより、各画素における液晶容量に対して１／３以下、好ましくは１／５以下の容量の大きさを有する保持容量を設ければ充分である。
【０１９９】
本実施の形態で用いる高純度化された酸化物半導体膜を用いたトランジスタは、オフ状態における電流値（オフ電流値）を低くすることができる。よって、画像信号等の電気信号の保持時間を長くすることができ、電源オン状態では書き込み間隔も長く設定できる。よって、リフレッシュ動作の頻度を少なくすることができるため、消費電力を抑制する効果を奏する。
【０２００】
また、本実施の形態で用いる高純度化された酸化物半導体膜を用いたトランジスタは、比較的高い電界効果移動度が得られるため、高速駆動が可能である。よって、液晶表示装置の画素部に上記トランジスタを用いることで、高画質な画像を提供することができる。また、上記トランジスタは、同一基板上に駆動回路部または画素部に作り分けて作製することができるため、液晶表示装置の部品点数を削減することができる。
【０２０１】
液晶表示装置には、ＴＮ（Ｔｗｉｓｔｅｄ Ｎｅｍａｔｉｃ）モード、ＩＰＳ（Ｉｎ−Ｐｌａｎｅ−Ｓｗｉｔｃｈｉｎｇ）モード、ＦＦＳ（Ｆｒｉｎｇｅ Ｆｉｅｌｄ Ｓｗｉｔｃｈｉｎｇ）モード、ＡＳＭ（Ａｘｉａｌｌｙ Ｓｙｍｍｅｔｒｉｃ ａｌｉｇｎｅｄ Ｍｉｃｒｏ−ｃｅｌｌ）モード、ＯＣＢ（Ｏｐｔｉｃａｌ Ｃｏｍｐｅｎｓａｔｅｄ Ｂｉｒｅｆｒｉｎｇｅｎｃｅ）モード、ＦＬＣ（Ｆｅｒｒｏｅｌｅｃｔｒｉｃ Ｌｉｑｕｉｄ Ｃｒｙｓｔａｌ）モード、ＡＦＬＣ（ＡｎｔｉＦｅｒｒｏｅｌｅｃｔｒｉｃ Ｌｉｑｕｉｄ Ｃｒｙｓｔａｌ）モードなどを用いることができる。
【０２０２】
また、ノーマリーブラック型の液晶表示装置、例えば垂直配向（ＶＡ）モードを採用した透過型の液晶表示装置としてもよい。ここで、垂直配向モードとは、液晶表示パネルの液晶分子の配列を制御する方式の一種であり、電圧が印加されていないときにパネル面に対して液晶分子が垂直方向を向く方式である。垂直配向モードとしては、いくつか挙げられるが、例えば、ＭＶＡ（Ｍｕｌｔｉ−Ｄｏｍａｉｎ Ｖｅｒｔｉｃａｌ Ａｌｉｇｎｍｅｎｔ）モード、ＰＶＡ（Ｐａｔｔｅｒｎｅｄ Ｖｅｒｔｉｃａｌ Ａｌｉｇｎｍｅｎｔ）モード、ＡＳＶモード（Ａｄｖａｎｃｅｄ Ｓｕｐｅｒ−Ｖｉｅｗ）などを用いることができる。また、画素（ピクセル）をいくつかの領域（サブピクセル）に分け、それぞれ別の方向に分子を倒すよう工夫されているマルチドメイン化あるいはマルチドメイン設計といわれる方法を用いることができる。
【０２０３】
また、表示装置において、ブラックマトリクス（遮光層）、偏光部材、位相差部材、反射防止部材などの光学部材（光学基板）などは適宜設ける。例えば、偏光基板及び位相差基板による円偏光を用いてもよい。また、光源としてバックライト、サイドライトなどを用いてもよい。
【０２０４】
また、バックライトとして複数の発光ダイオード（ＬＥＤ）を用いて、時間分割表示方式（フィールドシーケンシャル駆動方式）を行うことも可能である。フィールドシーケンシャル駆動方式を適用することで、カラーフィルタを用いることなく、カラー表示を行うことができる。
【０２０５】
また、画素部における表示方式は、プログレッシブ方式やインターレース方式等を用いることができる。また、カラー表示する際に画素で制御する色要素としては、ＲＧＢ（Ｒは赤、Ｇは緑、Ｂは青を表す）の三色に限定されない。例えば、ＲＧＢＷ（Ｗは白を表す）、又はＲＧＢに、イエロー、シアン、マゼンタ等を一色以上追加したものがある。なお、色要素のドット毎にその表示領域の大きさが異なっていてもよい。ただし、本発明の一態様はカラー表示の表示装置に限定されるものではなく、モノクロ表示の表示装置に適用することもできる。
【０２０６】
また、表示装置に含まれる表示素子として、エレクトロルミネッセンスを利用する発光素子を適用することができる。エレクトロルミネッセンスを利用する発光素子は、発光材料が有機化合物であるか、無機化合物であるかによって区別され、一般的に、前者は有機ＥＬ素子、後者は無機ＥＬ素子と呼ばれている。
【０２０７】
有機ＥＬ素子は、発光素子に電圧を印加することにより、一対の電極から電子および正孔がそれぞれ発光性の有機化合物を含む層に注入され、電流が流れる。そして、それらキャリア（電子および正孔）が再結合することにより、発光性の有機化合物が励起状態を形成し、その励起状態が基底状態に戻る際に発光する。このようなメカニズムから、このような発光素子は、電流励起型の発光素子と呼ばれる。
【０２０８】
無機ＥＬ素子は、その素子構成により、分散型無機ＥＬ素子と薄膜型無機ＥＬ素子とに分類される。分散型無機ＥＬ素子は、発光材料の粒子をバインダ中に分散させた発光層を有するものであり、発光メカニズムはドナー準位とアクセプター準位を利用するドナー−アクセプター再結合型発光である。薄膜型無機ＥＬ素子は、発光層を誘電体層で挟み込み、さらにそれを電極で挟んだ構造であり、発光メカニズムは金属イオンの内殻電子遷移を利用する局在型発光である。なお、ここでは、発光素子として有機ＥＬ素子を用いて説明する。
【０２０９】
発光素子は発光を取り出すために少なくとも一対の電極の一方が透明であればよい。そして、基板上にトランジスタ及び発光素子を形成し、基板とは逆側の面から発光を取り出す上面射出や、基板側の面から発光を取り出す下面射出や、基板側及び基板とは反対側の面から発光を取り出す両面射出構造の発光素子があり、どの射出構造の発光素子も適用することができる。
【０２１０】
図１１に表示素子として発光素子を用いた発光装置の例を示す。表示素子である発光素子４５１３は、画素部４００２に設けられたトランジスタ４０１０と電気的に接続している。なお発光素子４５１３の構成は、第１の電極層４０３０、電界発光層４５１１、第２の電極層４０３１の積層構造であるが、示した構成に限定されない。発光素子４５１３から取り出す光の方向などに合わせて、発光素子４５１３の構成は適宜変えることができる。
【０２１１】
隔壁４５１０は、有機絶縁材料、又は無機絶縁材料を用いて形成する。特に感光性の樹脂材料を用い、第１の電極層４０３０上に開口部を形成し、その開口部の側壁が連続した曲率を持って形成される傾斜面となるように形成することが好ましい。
【０２１２】
電界発光層４５１１は、単数の層で構成されていても、複数の層が積層されるように構成されていてもどちらでも良い。
【０２１３】
発光素子４５１３に酸素、水素、水分、二酸化炭素等が侵入しないように、第２の電極層４０３１及び隔壁４５１０上に保護膜を形成してもよい。保護膜としては、窒化シリコン膜、窒化酸化シリコン膜、ＤＬＣ膜等を形成することができる。また、第１の基板４００１、第２の基板４００６、及びシール材４００５によって封止された空間には充填材４５１４が設けられ密封されている。このように外気に曝されないように気密性が高く、脱ガスの少ない保護フィルム（貼り合わせフィルム、紫外線硬化樹脂フィルム等）やカバー材でパッケージング（封入）することが好ましい。
【０２１４】
充填材４５１４としては窒素やアルゴンなどの不活性な気体の他に、紫外線硬化樹脂または熱硬化樹脂を用いることができ、ＰＶＣ（ポリビニルクロライド）、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂、エポキシ樹脂、シリコーン樹脂、ＰＶＢ（ポリビニルブチラル）またはＥＶＡ（エチレンビニルアセテート）を用いることができる。例えば充填材として窒素を用いればよい。
【０２１５】
また、必要であれば、発光素子の射出面に偏光板、又は円偏光板（楕円偏光板を含む）、位相差板（λ／４板、λ／２板）、カラーフィルタなどの光学フィルムを適宜設けてもよい。また、偏光板又は円偏光板に反射防止膜を設けてもよい。例えば、表面の凹凸により反射光を拡散し、映り込みを低減できるアンチグレア処理を施すことができる。
【０２１６】
また、表示装置として、電子インクを駆動させる電子ペーパーを提供することも可能である。電子ペーパーは、電気泳動表示装置（電気泳動ディスプレイ）とも呼ばれており、紙と同じ読みやすさ、他の表示装置に比べ低消費電力、薄くて軽い形状とすることが可能という利点を有している。
【０２１７】
電気泳動表示装置は、様々な形態が考えられ得るが、プラスの電荷を有する第１の粒子と、マイナスの電荷を有する第２の粒子とを含むマイクロカプセルが溶媒または溶質に複数分散されたものであり、マイクロカプセルに電界を印加することによって、マイクロカプセル中の粒子を互いに反対方向に移動させて一方側に集合した粒子の色のみを表示するものである。なお、第１の粒子または第２の粒子は染料を含み、電界がない場合において移動しないものである。また、第１の粒子の色と第２の粒子の色は異なるもの（無色を含む）とする。
【０２１８】
このように、電気泳動表示装置は、誘電定数の高い物質が高い電界領域に移動する、いわゆる誘電泳動的効果を利用したディスプレイである。
【０２１９】
上記マイクロカプセルを溶媒中に分散させたものが電子インクと呼ばれるものであり、この電子インクはガラス、プラスチック、布、紙などの表面に印刷することができる。また、カラーフィルタや色素を有する粒子を用いることによってカラー表示も可能である。
【０２２０】
なお、マイクロカプセル中の第１の粒子および第２の粒子は、導電体材料、絶縁体材料、半導体材料、磁性材料、液晶材料、強誘電性材料、エレクトロルミネセント材料、エレクトロクロミック材料、磁気泳動材料から選ばれた一種の材料、またはこれらの複合材料を用いればよい。
【０２２１】
また、電子ペーパーとして、ツイストボール表示方式を用いる表示装置も適用することができる。ツイストボール表示方式とは、白と黒に塗り分けられた球形粒子を表示素子に用いる電極層である第１の電極層及び第２の電極層の間に配置し、第１の電極層及び第２の電極層に電位差を生じさせての球形粒子の向きを制御することにより、表示を行う方法である。
【０２２２】
図１２に、半導体装置の一形態としてアクティブマトリクス型の電子ペーパーを示す。図１２の電子ペーパーは、ツイストボール表示方式を用いた表示装置の例である。
【０２２３】
トランジスタ４０１０と接続する第１の電極層４０３０と、第２の基板４００６に設けられた第２の電極層４０３１との間には黒色領域４６１５ａ及び白色領域４６１５ｂを有し、周りに液体で満たされているキャビティ４６１２を含む球形粒子４６１３が設けられており、球形粒子４６１３の周囲は樹脂等の充填材４６１４で充填されている。第２の電極層４０３１が共通電極（対向電極）に相当する。第２の電極層４０３１は、共通電位線と電気的に接続される。
【０２２４】
なお、図１０乃至図１２において、第１の基板４００１、第２の基板４００６としては、ガラス基板の他、可撓性を有する基板も用いることができ、例えば透光性を有するプラスチック基板などを用いることができる。プラスチックとしては、ＦＲＰ（Ｆｉｂｅｒｇｌａｓｓ−Ｒｅｉｎｆｏｒｃｅｄ Ｐｌａｓｔｉｃｓ）板、ＰＶＦ（ポリビニルフルオライド）フィルム、ポリエステルフィルムまたはアクリル樹脂フィルムを用いることができる。また、アルミニウムホイルをＰＶＦフィルムやポリエステルフィルムで挟んだ構造のシートを用いることもできる。
【０２２５】
絶縁層４０２１は、無機絶縁材料又は有機絶縁材料を用いて形成することができる。なお、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂、ベンゾシクロブテン樹脂、ポリアミド樹脂、エポキシ樹脂等の、耐熱性を有する有機絶縁材料を用いると、平坦化絶縁膜として好適である。また、上記有機絶縁材料の他に、低誘電率材料（ｌｏｗ−ｋ材料）、シロキサン系樹脂、ＰＳＧ（リンガラス）、ＢＰＳＧ（リンボロンガラス）等を用いることができる。なお、これらの材料で形成される絶縁膜を複数積層させることで、絶縁層を形成してもよい。
【０２２６】
絶縁層４０２１の形成法は、特に限定されず、その材料に応じて、スパッタリング法、スピンコート法、ディッピング法、スプレー塗布、液滴吐出法（インクジェット法等）、印刷法（スクリーン印刷、オフセット印刷等）、ロールコーティング、カーテンコーティング、ナイフコーティング等を用いることができる。
【０２２７】
表示装置は光源又は表示素子からの光を透過させて表示を行う。よって、光が透過する画素部に設けられる基板、絶縁膜、導電膜などの薄膜はすべて可視光の波長領域の光に対して透光性とする。
【０２２８】
表示素子に電圧を印加する第１の電極層４０３０及び第２の電極層４０３１（画素電極層、共通電極層、対向電極層などともいう）においては、取り出す光の方向、電極層が設けられる場所、及び電極層のパターン構造によって透光性、反射性を選択すればよい。
【０２２９】
第１の電極層４０３０、第２の電極層４０３１は、酸化タングステンを含むインジウム酸化物、酸化タングステンを含むインジウム亜鉛酸化物、酸化チタンを含むインジウム酸化物、酸化チタンを含むインジウム錫酸化物、インジウム錫酸化物（以下、ＩＴＯと示す。）、インジウム亜鉛酸化物、酸化ケイ素を添加したインジウム錫酸化物などの透光性を有する導電性材料を用いることができる。
【０２３０】
また、第１の電極層４０３０、第２の電極層４０３１はタングステン（Ｗ）、モリブデン（Ｍｏ）、ジルコニウム（Ｚｒ）、ハフニウム（Ｈｆ）、バナジウム（Ｖ）、ニオブ（Ｎｂ）、タンタル（Ｔａ）、クロム（Ｃｒ）、コバルト（Ｃｏ）、ニッケル（Ｎｉ）、チタン（Ｔｉ）、白金（Ｐｔ）、アルミニウム（Ａｌ）、銅（Ｃｕ）、銀（Ａｇ）等の金属、又はその合金、若しくはその窒化物から一つ、又は複数種を用いて形成することができる。
【０２３１】
また、第１の電極層４０３０、第２の電極層４０３１として、導電性高分子（導電性ポリマーともいう）を含む導電性組成物を用いて形成することができる。導電性高分子としては、いわゆるπ電子共役系導電性高分子が用いることができる。例えば、ポリアニリンまたはその誘導体、ポリピロールまたはその誘導体、ポリチオフェンまたはその誘導体、若しくはアニリン、ピロールおよびチオフェンの２種以上からなる共重合体またはその誘導体などがあげられる。
【０２３２】
また、トランジスタは静電気などにより破壊されやすいため、駆動回路保護用の保護回路を設けることが好ましい。保護回路は、非線形素子を用いて構成することが好ましい。
【０２３３】
以上のように実施の形態１で例示したトランジスタを適用することで、信頼性の高い半導体装置を提供することができる。なお、実施の形態１で例示したトランジスタは上述の表示機能を有する半導体装置のみでなく、電源回路に搭載されるパワーデバイス、ＬＳＩ等の半導体集積回路、対象物の情報を読み取るイメージセンサ機能を有する半導体装置など様々な機能を有する半導体装置に適用することが可能である。
【０２３４】
以上、本実施の形態に示す構成、方法などは、他の実施の形態に示す構成、方法などと適宜組み合わせて用いることができる。
【０２３５】
（実施の形態３）
本明細書等に開示する半導体装置は、さまざまな電子機器（遊技機も含む）に適用することができる。電子機器としては、例えば、テレビジョン装置（テレビ、またはテレビジョン受信機ともいう）、コンピュータ用などのモニタ、デジタルカメラ、デジタルビデオカメラ等のカメラ、デジタルフォトフレーム、携帯電話機（携帯電話、携帯電話装置ともいう）、携帯型ゲーム機、携帯情報端末、音響再生装置、パチンコ機などの大型ゲーム機などが挙げられる。上記実施の形態で説明した液晶表示装置を具備する電子機器の例について説明する。
【０２３６】
図１３（Ａ）は、ノート型のパーソナルコンピュータであり、本体３００１、筐体３００２、表示部３００３、キーボード３００４などによって構成されている。実施の形態１または２で示した半導体装置を適用することにより、信頼性の高いノート型のパーソナルコンピュータとすることができる。
【０２３７】
図１３（Ｂ）は、携帯情報端末（ＰＤＡ）であり、本体３０２１には表示部３０２３と、外部インターフェイス３０２５と、操作ボタン３０２４等が設けられている。また操作用の付属品としてスタイラス３０２２がある。実施の形態１または２で示した半導体装置を適用することにより、信頼性の高い携帯情報端末（ＰＤＡ）とすることができる。
【０２３８】
図１３（Ｃ）は、電子書籍の一例を示している。例えば、電子書籍２７００は、筐体２７０１および筐体２７０３の２つの筐体で構成されている。筐体２７０１および筐体２７０３は、軸部２７１１により一体とされており、該軸部２７１１を軸として開閉動作を行うことができる。このような構成により、紙の書籍のような動作を行うことが可能となる。
【０２３９】
筐体２７０１には表示部２７０５が組み込まれ、筐体２７０３には表示部２７０７が組み込まれている。表示部２７０５および表示部２７０７は、続き画面を表示する構成としてもよいし、異なる画面を表示する構成としてもよい。異なる画面を表示する構成とすることで、例えば右側の表示部（図１３（Ｃ）では表示部２７０５）に文章を表示し、左側の表示部（図１３（Ｃ）では表示部２７０７）に画像を表示することができる。実施の形態１または２で示した半導体装置を適用することにより、信頼性の高い電子書籍２７００とすることができる。
【０２４０】
また、図１３（Ｃ）では、筐体２７０１に操作部などを備えた例を示している。例えば、筐体２７０１において、電源２７２１、操作キー２７２３、スピーカー２７２５などを備えている。操作キー２７２３により、頁を送ることができる。なお、筐体の表示部と同一面にキーボードやポインティングデバイスなどを備える構成としてもよい。また、筐体の裏面や側面に、外部接続用端子（イヤホン端子、ＵＳＢ端子など）、記録媒体挿入部などを備える構成としてもよい。さらに、電子書籍２７００は、電子辞書としての機能を持たせた構成としてもよい。
【０２４１】
また、電子書籍２７００は、無線で情報を送受信できる構成としてもよい。無線により、電子書籍サーバから、所望の書籍データなどを購入し、ダウンロードする構成とすることも可能である。
【０２４２】
図１３（Ｄ）は、スマートフォンであり、筐体２８００と、ボタン２８０１と、マイクロフォン２８０２と、タッチパネルを備えた表示部２８０３と、スピーカー２８０４と、カメラ用レンズ２８０５と、を具備し、携帯型電話機としての機能を有する。実施の形態１または２で示した半導体装置を適用することにより、信頼性の高いスマートフォンとすることができる。
【０２４３】
表示部２８０３は、使用形態に応じて表示の方向が適宜変化する。また、表示部２８０３と同一面上にカメラ用レンズ２８０５を備えているため、テレビ電話が可能である。スピーカー２８０４及びマイクロフォン２８０２は音声通話に限らず、テレビ電話、録音、再生などが可能である。
【０２４４】
また、外部接続端子２８０６はＡＣアダプタ及びＵＳＢケーブルなどの各種ケーブルと接続可能であり、充電及びパーソナルコンピュータなどとのデータ通信が可能である。また、外部メモリスロット（図示せず）に記録媒体を挿入し、より大量のデータ保存及び移動に対応できる。
【０２４５】
また、上記機能に加えて、赤外線通信機能、テレビ受信機能などを備えたものであってもよい。
【０２４６】
図１３（Ｅ）は、デジタルビデオカメラであり、本体３０５１、表示部（Ａ）３０５７、接眼部３０５３、操作スイッチ３０５４、表示部（Ｂ）３０５５、バッテリー３０５６などによって構成されている。実施の形態１または２で示した半導体装置を適用することにより、信頼性の高いデジタルビデオカメラとすることができる。
【０２４７】
図１３（Ｆ）は、テレビジョン装置の一例を示している。テレビジョン装置９６００は、筐体９６０１に表示部９６０３が組み込まれている。表示部９６０３により、映像を表示することが可能である。また、ここでは、スタンド９６０５により筐体９６０１を支持した構成を示している。実施の形態１または２で示した半導体装置を適用することにより、信頼性の高いテレビジョン装置９６００とすることができる。
【０２４８】
テレビジョン装置９６００の操作は、筐体９６０１が備える操作スイッチや、別体のリモコン操作機により行うことができる。また、リモコン操作機に、当該リモコン操作機から出力する情報を表示する表示部を設ける構成としてもよい。
【０２４９】
なお、テレビジョン装置９６００は、受信機やモデムなどを備えた構成とする。受信機により一般のテレビ放送の受信を行うことができ、さらにモデムを介して有線または無線による通信ネットワークに接続することにより、一方向（送信者から受信者）または双方向（送信者と受信者間、あるいは受信者間同士など）の情報通信を行うことも可能である。
【０２５０】
以上、本実施の形態に示す構成、方法などは、他の実施の形態に示す構成、方法などと適宜組み合わせて用いることができる。
【実施例１】
【０２５１】
本実施例では、酸化物ターゲット中に含まれるシリコンの濃度について、ＳＩＭＳ測定を行った結果について説明する。
【０２５２】
まず、本実施例で用いた酸化物ターゲットについて説明する。
【０２５３】
サンプルＡとして、Ｉｎ−Ｇａ−Ｚｎ系酸化物ターゲット（原子数比がＩｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝２：１：３）を用い、サンプルＢとしてＩｎ−Ｇａ−Ｚｎ系酸化物ターゲット（原子数比がＩｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝３：１：２）、サンプルＣとして、Ｉｎ−Ｓｎ−Ｚｎ系酸化物（原子数比がＩｎ：Ｓｎ：Ｚｎ＝２：１：３）を用いた。また、標準サンプルＤとして、シリコンが添加されたＩｎ−Ｇａ−Ｚｎ系酸化物ターゲット（原子数比がＩｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝１：１：１）を用いた。
【０２５４】
サンプルＡ、サンプルＢ、サンプルＣ、及び標準サンプルＤに対して、ＳＩＭＳ測定を行うことにより、各サンプルに含まれるシリコンの濃度を調べた。
【０２５５】
図１４に、サンプルＡ乃至サンプルＣ、及び標準サンプルＤのＳＩＭＳ測定の結果を示す。
【０２５６】
図１４に示すように、サンプルＡのシリコンの濃度は、４×１０１８ａｔｏｍｓ／ｃｍ３、サンプルＢのシリコンの濃度は、３×１０１７ａｔｏｍｓ／ｃｍ３、サンプルＣのシリコンの濃度は、２×１０１７ａｔｏｍｓ／ｃｍ３、標準サンプルＤのシリコンの濃度は、２×１０１８ａｔｏｍｓ／ｃｍ３であることがわかった。なお、サンプルＡ乃至サンプルＣのＳＩＭＳ測定結果は、標準サンプルＤにより定量した結果である。
【０２５７】
上述のデータは、サンプルＡ乃至サンプルＣ、及び標準サンプルＤのターゲットを用いて酸化物半導体膜を成膜した際に、ターゲット中に含まれるシリコン以外のシリコン（例えば、ミキシングにより混入した絶縁膜中のシリコン）が酸化物半導体膜中に含まれるか否かを判断する材料として用いることができる。
【０２５８】
例えば、ターゲットとしてサンプルＡ（Ｉｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝２：１：３（原子数比）である酸化物ターゲット）を用いて成膜した酸化物半導体膜において、膜中のシリコン濃度が４×１０１８ａｔｏｍｓ／ｃｍ３より高い場合、ターゲット以外の部分からシリコンが混入されていると判断できる。
【実施例２】
【０２５９】
上述の実施の形態において、酸化物半導体膜中への絶縁膜構成元素の混入は、酸化物半導体膜を成膜する際に生じるミキシングが原因であると記載したが、酸化物半導体膜を成膜後に基板を加熱処理することで、絶縁膜構成元素が酸化物半導体中に拡散している可能性も考えられる。そこで、本実施例では、酸化物半導体膜中への絶縁膜構成元素の混入が熱拡散に起因するかを調査した実験についての説明を行う。
【０２６０】
実験内容は、まず、基板上に絶縁膜および酸化物半導体膜を形成した構造の基板を３つ準備した後、熱処理を行わないサンプル（以下、サンプルＥと呼称する。）、４５０℃の熱処理を行ったサンプル（以下、サンプルＦと呼称する。）、６５０℃の熱処理を行ったサンプル（以下、サンプルＧと呼称する。）を作製した。そして、各サンプルについて、飛行時間型二次イオン質量分析法（ＴｏＦ−ＳＩＭＳ：Ｔｉｍｅ−ｏｆ−Ｆｌｉｇｈｔ Ｓｅｃｏｎｄａｒｙ Ｉｏｎ Ｍａｓｓ Ｓｐｅｃｔｒｏｍｅｔｅｒ）を用いて、酸化物半導体膜中のゲート絶縁膜との界面近傍におけるシリコン濃度を測定した。
【０２６１】
まず、ＴｏＦ−ＳＩＭＳ測定に用いたサンプルの構造を図１５に示す。
【０２６２】
図１５に示すサンプルは、シリコン基板２００上に酸化シリコン膜２０２を成膜し、化学機械研磨（ＣＭＰ：Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｐｏｌｉｓｈｉｎｇ）装置を用いて表面の平坦性を高め、ＩＧＺＯ膜２０４を成膜し、最後に熱処理を行ったものである。
【０２６３】
酸化シリコン膜２０２は、スパッタリング装置を用いて成膜した。酸化シリコン膜２０２の成膜条件は、基板温度：１００℃、ガス流量：Ａｒ／Ｏ２＝２５ｓｃｃｍ／２５ｓｃｃｍ、成膜電力：１．５ｋＷ（ＲＦ電源）、成膜圧力：０．４Ｐａ、膜厚：３００ｎｍとした。なお、スパッタリングターゲットとしては、酸化シリコンターゲットを用いた。なお、酸化シリコン膜２０２を形成する前に、希弗酸にてシリコン基板２００表面に形成された酸化膜を除去した。
【０２６４】
ＩＧＺＯ膜２０４は、スパッタリング装置を用いて成膜した。ＩＧＺＯ膜２０４の成膜条件は、基板温度：２００℃、ガス流量：Ａｒ／Ｏ２＝３０ｓｃｃｍ／１５ｓｃｃｍ、成膜電力：０．５ｋＷ（ＤＣ電源）、成膜圧力：０．４Ｐａ、膜厚：１５ｎｍとした。なお、スパッタリングターゲットとしては、Ｉｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝３：１：２［原子数比］の酸化物ターゲットを用いた。
【０２６５】
熱処理は、抵抗発熱体などを用いた電気炉に基板を導入して加熱処理を行った。処理条件は、サンプルＦについては、加熱温度：４５０℃、加熱時間：１時間とし、サンプルＧについては、加熱温度：６５０℃、加熱時間：１時間とした。なお、加熱雰囲気は、両サンプルとも窒素および酸素の混合雰囲気とした。また、サンプルＥは、加熱処理を行っていない。
【０２６６】
次に、サンプルＥ乃至サンプルＧに対して、基板表面側（ＩＧＺＯ膜２０４側）からＴｏＦ−ＳＩＭＳ測定を行い、酸化シリコン膜との界面近傍におけるＩＧＺＯ膜中のシリコン濃度を測定した。結果を図１６に示す。
【０２６７】
図１６より、全てのサンプルにおいて、酸化シリコン膜界面近傍の酸化物半導体膜中のシリコン濃度は、実施例１にて記載したＩｎ−Ｇａ−Ｚｎ系酸化物ターゲット（原子数比がＩｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝３：１：２）中に含まれるシリコン濃度である３×１０１７ａｔｏｍｓ／ｃｍ３よりも高くなっていることが確認できる。したがって、酸化シリコン膜界面近傍の酸化物半導体膜中にて測定されたシリコンは、Ｉｎ−Ｇａ−Ｚｎ系酸化物ターゲット起因のシリコンではないと言える。
【０２６８】
また、図１６より、加熱処理を行っていないサンプル（サンプルＥ）および、加熱処理を行ったサンプル（サンプルＦおよびサンプルＧ）において、酸化シリコン膜界面近傍における、ＩＧＺＯ膜中のシリコン濃度の傾き（シリコン濃度勾配とも言える。）に、特異な差は確認されない。したがって、酸化物半導体膜中への絶縁膜構成元素の混入は、熱拡散に起因するものではなくミキシングに起因するものであると言える。
【実施例３】
【０２６９】
本実施例では、ミキシングによって生じる酸化物半導体膜中への絶縁膜構成元素の混入を、酸化物半導体膜の成膜電力を弱くすることで抑制できるかを調査した実験についての説明を行う。
【０２７０】
実験内容は、まず、基板上に絶縁膜を成膜し、絶縁膜上に酸化物半導体膜を４種類の電力条件（１ｋＷ、５ｋＷ、９ｋＷおよび１ｋＷ＋５ｋＷ）で成膜した後に、各基板に対して熱処理を行い４種類のサンプルを作製した。そして、各サンプルについて、酸化物半導体膜中のゲート絶縁膜との界面近傍におけるシリコン濃度を、ＴｏＦ−ＳＩＭＳ法を用いて測定した。
【０２７１】
まず、ＴｏＦ−ＳＩＭＳ測定に用いたサンプルの構造を図１７に示す。
【０２７２】
図１７に示すサンプルは、ガラス基板３００上に酸化窒化シリコン膜３０２を成膜した後に、ＩＧＺＯ膜３０４を成膜し、最後に熱処理を行ったものである。
【０２７３】
酸化窒化シリコン膜３０２は、高密度プラズマＣＶＤ装置を用いて成膜した。酸化窒化シリコン膜３０２の成膜条件は、基板温度：３２５℃、ガス流量：ＳｉＨ４／Ｎ２Ｏ／Ａｒ＝２５０ｓｃｃｍ／２５００ｓｃｃｍ／２５００ｓｃｃｍ、成膜電力：５ｋＷ×４台（マイクロ波電源）、成膜圧力：３０Ｐａ、膜厚：１００ｎｍとした。なお、酸化窒化シリコン膜３０２を形成する前に、ガラス基板３００表面を洗浄してパーティクル等を除去した。
【０２７４】
ＩＧＺＯ膜３０４は、スパッタリング装置を用いて成膜した。ＩＧＺＯ膜３０４の成膜条件は、基板温度：１７０℃、ガス流量：Ａｒ／Ｏ２＝１００ｓｃｃｍ／１００ｓｃｃｍ、成膜圧力：０．６Ｐａ、膜厚：３５ｎｍとし、１ｋＷ、５ｋＷ、９ｋＷおよび１ｋＷ＋５ｋＷの４条件の電力で成膜を行った（共に、ＡＣ電源使用）。なお、スパッタリングターゲットとしては、Ｉｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝１：１：１［原子数比］の酸化物ターゲットを用いた。
【０２７５】
なお、上述成膜電力の「１ｋＷ＋５ｋＷ」とは、最初の５ｎｍの成膜を１ｋＷの電力で、その後の３０ｎｍの成膜を５ｋＷの電力で成膜したことを表す。また、以下では、酸化物半導体膜を９ｋＷで成膜したサンプルをサンプルＨ、５ｋＷで成膜したサンプルをサンプルＩ、１ｋＷで成膜したサンプルをサンプルＪ、１ｋＷ＋５ｋＷで成膜したサンプルをサンプルＫと呼称する。
【０２７６】
熱処理は、抵抗発熱体などを用いた電気炉に基板を導入して加熱処理を行った。処理条件は、まず、加熱温度：４５０℃、加熱雰囲気：Ｎ２の条件で１時間の加熱を行った後、加熱温度：６５０℃、加熱雰囲気：Ｎ２＋Ｏ２の条件で、１時間の加熱を行った。
【０２７７】
次に、サンプルＨ乃至サンプルＫに対して、基板表面側（ＩＧＺＯ膜３０４側）からＴｏＦ−ＳＩＭＳ測定を行い、酸化窒化シリコン膜との界面近傍におけるＩＧＺＯ膜中のシリコン濃度を測定した。結果を図１８に示す。なお、図１８（Ｂ）は図１８（Ａ）の一部分を拡大した図である。
【０２７８】
図１８より、全てのサンプルにおいて、酸化窒化シリコン膜界面近傍のＩＧＺＯ膜中のシリコン濃度は、実施例１にて記載したＩｎ−Ｇａ−Ｚｎ系酸化物ターゲット（原子数比がＩｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝１：１：１）中に含まれるシリコン濃度である２×１０１８ａｔｏｍｓ／ｃｍ３よりも高くなっていることが確認できる。したがって、酸化窒化シリコン膜界面近傍の酸化物半導体膜中にて測定されたシリコンは、Ｉｎ−Ｇａ−Ｚｎ系酸化物ターゲット起因のシリコンではないと言える。
【０２７９】
また、図１８より、酸化窒化シリコン膜界面近傍におけるＩＧＺＯ膜中のシリコン濃度は、成膜電力を弱くするに従い低下する傾向が確認された。したがって、酸化物半導体膜の成膜電力を弱くすることにより、ミキシングによって生じる酸化物半導体膜中への絶縁膜構成元素の混入を抑制できることが確認された。
【０２８０】
加えて、サンプルＪとサンプルＫのシリコン濃度が略一致していることより、成膜初期段階は弱い電力で酸化物半導体膜を成膜し、その後、成膜電力を高めて酸化物半導体膜を成膜しても、ミキシングによって生じる酸化物半導体膜中への絶縁膜構成元素の混入を抑制できることが確認された。
【実施例４】
【０２８１】
本実施例では、酸化物半導体膜中に絶縁膜構成元素が混入することにより生じる、酸化物半導体膜中における結晶状態について調査した結果についての説明を行う。
【０２８２】
まず、基板上に組成の異なるターゲットを用いて酸化物半導体膜を成膜した２枚の基板を準備し、各々の基板を三分割した。その後、三分割した基板に対して異なる条件で熱処理を行うことで、合計６枚の異なる条件のサンプルを作製した。そして各サンプルについて、酸化物半導体膜の結晶状態を、Ｘ線回折法（ＸＲＤ：Ｘ−ｒａｙ Ｄｉｆｆｒａｃｔｉｏｎ）を用いて測定した。
【０２８３】
まず、ＸＲＤ測定に用いたサンプルの構造を図１９（Ａ）に示す。
【０２８４】
図１９（Ａ）に示すサンプルは、ガラス基板４００上にＳｉＯ２が添加されたＩＧＺＯ（Ｉｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝１：１：１［原子数比］）ターゲットを用いてＩＧＺＯ膜４０２を成膜した後に、熱処理を行ったものである。
【０２８５】
ＩＧＺＯ膜４０２は、スパッタリング装置を用いて成膜した。ＩＧＺＯ膜４０２の成膜条件は、基板温度：２００℃、成膜電力：１００Ｗ、成膜圧力：０．４Ｐａ、ガス流量：Ｏ２＝１０ｓｃｃｍ、膜厚：１００ｎｍとした。なお、スパッタリングターゲットとしては、Ｉｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝１：１：１［原子数比］に２ｗｔ％のＳｉＯ２を添加したターゲット、およびＩｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝１：１：１［原子数比］に５ｗｔ％のＳｉＯ２を添加したターゲットを用いた。なお、ＩＧＺＯ膜４０２を形成する前に、ガラス基板４００表面を洗浄してパーティクル等を除去した。
【０２８６】
熱処理は、抵抗発熱体などを用いた電気炉に基板を導入して熱処理を行った。ＩＧＺＯ膜成膜後に三分割した基板の一枚は、６５０℃のＮ２雰囲気で１時間の熱処理を行った後、６５０℃のＯ２雰囲気で１時間の熱処理を行った。また、三分割した基板の一枚は、４５０℃のＮ２雰囲気で１時間の加熱を行った後、４５０℃のＯ２雰囲気で１時間の加熱を行った。また、三分割した基板の一枚は、熱処理を行っていない。
【０２８７】
上述の、使用ターゲットおよび加熱条件振りを行うことで、表１に示すサンプルＬ乃至サンプルＱの６種類のサンプルを準備した。
【０２８８】
【表１】
【０２８９】
次に、サンプルＬ乃至サンプルＱのＩＧＺＯ膜に対してＸＲＤ測定を行い、各々の膜の結晶状態を測定した。結果を図２０（Ａ）および図２０（Ｂ）に示す。図２０（Ａ）は、サンプルＬ乃至サンプルＮのＸＲＤ測定結果であり、図２０（Ｂ）は、サンプルＯ乃至サンプルＱのＸＲＤ測定結果である。
【０２９０】
図２０（Ａ）より、上述の実施の形態に記載された温度範囲内の６５０℃の熱処理を行ったサンプルＬにおいて、２θ＝３１°近傍に結晶に起因するピークが見られた。これに対し図２０（Ｂ）では、全てのサンプルで結晶に起因するピークが見られなかった。したがって、ＩＧＺＯ膜は、不純物として過剰なシリコンが含まれることにより、熱処理による結晶化が阻害されることが確認された。
【０２９１】
次に、２ｗｔ％のシリコンが添加されたターゲットを用いて成膜したＩＧＺＯ膜に、どの程度のシリコンが含有されているかを調査するため、Ｘ線光電子分光法（ＸＰＳ：Ｘ−ｒａｙ ｐｈｏｔｏｅｌｅｃｔｒｏｎ ｓｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ）を用いて、ＩＧＺＯ膜中に含まれる元素の組成を測定した。
【０２９２】
ＸＰＳ測定に用いたサンプルは、図１９（Ｂ）に示すように、シリコン基板５００上にＩＧＺＯ膜５０２を成膜した構造である。
【０２９３】
ＩＧＺＯ膜５０２は、スパッタリング装置を用いて成膜した。ＩＧＺＯ膜５０２の成膜条件は、基板温度：２００℃、成膜電力：１００Ｗ、成膜圧力：０．４Ｐａ、ガス流量：Ｏ２＝１０ｓｃｃｍ、膜厚：１５ｎｍとした。なお、スパッタリングターゲットとしては、Ｉｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝１：１：１［原子数比］に２ｗｔ％のＳｉＯ２を添加したターゲットを用いた。なお、ＩＧＺＯ膜５０２を形成する前に、希弗酸にてシリコン基板５００表面に形成された酸化膜を除去した。
【０２９４】
ＸＰＳ測定の結果、２ｗｔ％のシリコンが添加されたターゲットを用いて成膜したＩＧＺＯ膜は、膜中に１．１ａｔｏｍ％のシリコンが含有されていることが確認された。
【０２９５】
上述のように、ミキシングなどによって酸化物半導体膜のゲート絶縁膜との界面近傍にシリコンなどの不純物が混入すると、酸化物半導体膜のチャネル形成領域の結晶化が阻害されるおそれがあることがわかった。よって、酸化物半導体膜のゲート絶縁膜との界面近傍において、上記のようにシリコンの濃度を低減させることが重要であることが実施例によって示された。
【符号の説明】
【０２９６】
１００ 基板
１０１ ゲート電極
１０２ ゲート絶縁膜
１０３ 酸化物半導体膜
１０３ａ 領域
１０３ｂ 領域
１０３ｃ 領域
１０５ａ ソース電極
１０５ｂ ドレイン電極
１０７ 絶縁膜
１０８ チャネル保護膜
１０９ 保護絶縁膜
１１０ トランジスタ
１２０ トランジスタ
１３０ トランジスタ
２００ シリコン基板
２０２ 酸化シリコン膜
２０４ ＩＧＺＯ膜
３００ ガラス基板
３０２ 酸化窒化シリコン膜
３０４ ＩＧＺＯ膜
４００ ガラス基板
４０２ ＩＧＺＯ膜
５００ シリコン基板
５０２ ＩＧＺＯ膜
２７００ 電子書籍
２７０１ 筐体
２７０３ 筐体
２７０５ 表示部
２７０７ 表示部
２７１１ 軸部
２７２１ 電源
２７２３ 操作キー
２７２５ スピーカー
２８００ 筐体
２８０１ ボタン
２８０２ マイクロフォン
２８０３ 表示部
２８０４ スピーカー
２８０５ カメラ用レンズ
２８０６ 外部接続端子
３００１ 本体
３００２ 筐体
３００３ 表示部
３００４ キーボード
３０２１ 本体
３０２２ スタイラス
３０２３ 表示部
３０２４ 操作ボタン
３０２５ 外部インターフェイス
３０５１ 本体
３０５３ 接眼部
３０５４ 操作スイッチ
３０５６ バッテリー
４００１ 基板
４００２ 画素部
４００３ 信号線駆動回路
４００４ 走査線駆動回路
４００５ シール材
４００６ 基板
４００８ 液晶層
４０１０ トランジスタ
４０１１ トランジスタ
４０１３ 液晶素子
４０１５ 接続端子電極
４０１６ 端子電極
４０１９ 異方性導電膜
４０２１ 絶縁層
４０３０ 電極層
４０３１ 電極層
４０３２ 絶縁膜
４０３３ 絶縁膜
４０３４ 絶縁膜
４５１０ 隔壁
４５１１ 電界発光層
４５１３ 発光素子
４５１４ 充填材
４６１２ キャビティ
４６１３ 球形粒子
４６１４ 充填材
４６１５ａ 黒色領域
４６１５ｂ 白色領域
９６００ テレビジョン装置
９６０１ 筐体
９６０３ 表示部
９６０５ スタンド
【技術分野】
【０００１】
半導体装置及び半導体装置の作製方法に関する。
【０００２】
なお、本明細書中において半導体装置とは、半導体特性を利用することで機能しうる装置全般を指し、電気光学装置、半導体回路および電子機器は全て半導体装置である。
【背景技術】
【０００３】
絶縁表面を有する基板上に形成された半導体薄膜を用いてトランジスタを構成する技術が注目されている。該トランジスタは集積回路（ＩＣ）や画像表示装置（表示装置）のような電子デバイスに広く応用されている。トランジスタに適用可能な半導体薄膜としてシリコン系半導体材料が広く知られているが、その他の材料として酸化物半導体が注目されている。
【０００４】
例えば、トランジスタの活性層として、インジウム（Ｉｎ）、ガリウム（Ｇａ）、及び亜鉛（Ｚｎ）を含む非晶質酸化物を用いたトランジスタが開示されている（特許文献１参照）。
【０００５】
酸化物半導体を用いたトランジスタは、アモルファスシリコンを用いたトランジスタよりも高いオン特性（オン電流など）を有する。酸化物半導体を用いたトランジスタを、高機能デバイスに応用するために、さらなる特性の向上が求められており、酸化物半導体の結晶化の技術が進められている（特許文献２）。特許文献２では、酸化物半導体を熱処理することによって、結晶化する技術が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００６−１６５５２８号公報
【特許文献２】特開２００８−３１１３４２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
トランジスタに用いられる酸化物半導体膜は、スパッタリング法を用いて成膜されることが多い。しかしながら、酸化物半導体膜のスパッタリングの際に、イオン化された希ガス元素やターゲット表面からはじき飛ばされた粒子が、ゲート絶縁膜などの酸化物半導体膜の被形成面となる膜の粒子をはじき飛ばしてしまうことがある。このようにして被形成面となる膜からはじき飛ばされた粒子は、酸化物半導体膜に不純物元素として取り込まれてしまい、特に酸化物半導体膜の被形成面近傍には不純物元素が高い濃度で取り込まれるおそれがある。また、不純物元素が、酸化物半導体膜の被形成面近傍に残存すると、トランジスタの特性に影響を与える要因になる。
【０００８】
また、酸化物半導体膜の被形成面近傍に不純物元素が取り込まれていると、不純物元素によって酸化物半導体膜の結晶化が阻害されてしまう。そのため、酸化物半導体膜の被形成面近傍において非晶質領域が残存してしまう。
【０００９】
そこで、酸化物半導体膜を厚くして表層の結晶領域を使用することも考えられる。しかし、寄生容量を低減し、低消費電力でトランジスタを動作させるためには、酸化物半導体膜を薄くすることが望ましく、その場合、チャネル形成領域は酸化物半導体膜の被形成面近傍に形成されるため、酸化物半導体膜の被形成面近傍まで結晶化されることが望ましい。
【００１０】
このような問題に鑑み、酸化物半導体膜の被形成面近傍に含まれる不純物の濃度を低減することを目的の一とする。また、酸化物半導体膜の結晶性を向上させることを目的の一とする。また、該酸化物半導体膜を用いることにより、安定した電気特性を有する半導体装置を提供することを目的の一とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
開示する発明の一態様は、ゲート電極と、ゲート電極を覆い、シリコンを含む酸化物を含むゲート絶縁膜と、ゲート絶縁膜と接し、少なくともゲート電極と重畳する領域に設けられた酸化物半導体膜と、酸化物半導体膜と電気的に接続するソース電極およびドレイン電極と、を有し、酸化物半導体膜は、ゲート絶縁膜との界面から酸化物半導体膜に向けてシリコンが１．０原子％以下の濃度で分布する第１の領域を有し、少なくとも第１の領域内に、結晶部を含む半導体装置である。
【００１２】
また、開示する発明の一態様は、ゲート電極と、ゲート電極を覆い、シリコンを含む酸化物を含むゲート絶縁膜と、ゲート絶縁膜と接し、少なくともゲート電極と重畳する領域に設けられた酸化物半導体膜と、酸化物半導体膜に接して設けられたチャネル保護膜と、チャネル保護膜上に設けられ、酸化物半導体膜と電気的に接続するソース電極およびドレイン電極と、を有し、酸化物半導体膜は、ゲート絶縁膜との界面から酸化物半導体膜に向けてシリコンが１．０原子％以下の濃度で分布する第１の領域を有し、少なくとも第１の領域内に、結晶部を含む半導体装置である。
【００１３】
上記各構成において、第１の領域は、ゲート絶縁膜との界面からの厚さが５ｎｍ以下の範囲に存在し、第１の領域以外に含まれるシリコンの濃度は、第１の領域に含まれるシリコンの濃度より小さいことが好ましい。
【００１４】
上記各構成において、酸化物半導体膜の第１の領域以外の領域に、結晶部を含むことが好ましい。
【００１５】
また、開示する発明の一態様は、ゲート電極と、ゲート電極を覆い、シリコンを含む酸化物を含むゲート絶縁膜と、ゲート絶縁膜と接し、少なくともゲート電極と重畳する領域に設けられた酸化物半導体膜と、酸化物半導体膜と電気的に接続するソース電極およびドレイン電極と、酸化物半導体膜、ソース電極およびドレイン電極を覆い、シリコンを含む酸化物を含む保護絶縁膜と、を有し、酸化物半導体膜は、ゲート絶縁膜との界面から酸化物半導体膜に向けてシリコンが１．０原子％以下の濃度で分布する第１の領域を有し、酸化物半導体膜は、保護絶縁膜との界面から酸化物半導体膜に向けてシリコンが１．０原子％以下の濃度で分布する第２の領域を有し、少なくとも第１の領域内および第２の領域内に、結晶部を含む半導体装置である。
【００１６】
上記構成において、第１の領域は、ゲート絶縁膜との界面からの厚さが５ｎｍ以下の範囲に存在し、第２の領域は、保護絶縁膜との界面からの厚さが５ｎｍ以下の範囲に存在し、第１の領域及び第２の領域以外に含まれるシリコンの濃度は、第１の領域及び第２の領域に含まれるシリコンの濃度より小さいことが好ましい。
【００１７】
また、上記構成において、酸化物半導体膜の第１の領域および第２の領域以外の領域に、結晶部を含むことが好ましい。
【００１８】
また、上記各構成において、結晶部は、ｃ軸が、酸化物半導体膜とゲート絶縁膜との界面に対して垂直な方向に揃うことが好ましい。
【００１９】
また、上記各構成において、第１の領域に含まれるシリコンの濃度が０．１原子％以下であることが好ましい。
【００２０】
また、上記各構成において、ゲート絶縁膜は炭素を含み、第１の領域において、炭素濃度が１．０×１０２０ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以下となることが好ましい。
【発明の効果】
【００２１】
開示する発明の一態様によれば、酸化物半導体膜の被形成面近傍に含まれる不純物の濃度を低減することができる。また、酸化物半導体膜の結晶性を向上させることができる。そして、該酸化物半導体膜を用いることにより、安定した電気特性を有する半導体装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】半導体装置の一態様を示す平面図及び断面図。
【図２】半導体装置の一態様を示す平面図及び断面図。
【図３】半導体装置の一態様を示す平面図及び断面図。
【図４】半導体装置の作製工程の一例を示す断面図。
【図５】半導体装置の作製工程の一例を示す断面図。
【図６】計算に用いたモデル図。
【図７】計算結果を示す図。
【図８】計算結果を示す図。
【図９】半導体装置の一形態を説明する図。
【図１０】半導体装置の一形態を説明する図。
【図１１】半導体装置の一形態を説明する図。
【図１２】半導体装置の一形態を説明する図。
【図１３】電子機器を示す図。
【図１４】本発明の一実施例に係る測定結果を示すグラフ。
【図１５】本発明の一実施例に係るサンプルの構造を示す図。
【図１６】本発明の一実施例に係る測定結果を示すグラフ。
【図１７】本発明の一実施例に係るサンプルの構造を示す図。
【図１８】本発明の一実施例に係る測定結果を示すグラフ。
【図１９】本発明の一実施例に係るサンプルの構造を示す図。
【図２０】本発明の一実施例に係る測定結果を示すグラフ。
【図２１】計算に用いたモデル図。
【図２２】計算に用いたモデル図。
【図２３】計算結果を示す図。
【図２４】計算に用いたモデル図。
【図２５】計算結果を示す図。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下では、本明細書に開示する発明の実施の形態について図面を用いて詳細に説明する。但し、本発明は以下の説明に限定されず、本発明の趣旨およびその範囲から逸脱することなくその形態および詳細を様々に変更し得ることは当業者であれば容易に理解される。従って、本発明は以下に示す実施の形態の記載内容に限定して解釈されるものではない。
【００２４】
なお、図面等において示す各構成の、位置、大きさ、範囲などは、理解の簡単のため、実際の位置、大きさ、範囲などを表していない場合がある。このため、開示する発明は、必ずしも、図面等に開示された位置、大きさ、範囲などに限定されない。
【００２５】
なお、本明細書等における「第１」、「第２」、「第３」などの序数は、構成要素の混同を避けるために付すものであり、数的に限定するものではないことを付記する。
【００２６】
なお、本明細書等において「上」や「下」の用語は、構成要素の位置関係が「直上」または「直下」であることを限定するものではない。例えば、「ゲート絶縁層上のゲート電極」の表現であれば、ゲート絶縁層とゲート電極との間に他の構成要素を含むものを除外しない。
【００２７】
また、本明細書等において「電極」や「配線」の用語は、これらの構成要素を機能的に限定するものではない。例えば、「電極」は「配線」の一部として用いられることがあり、その逆もまた同様である。さらに、「電極」や「配線」の用語は、複数の「電極」や「配線」が一体となって形成されている場合なども含む。
【００２８】
また、「ソース」や「ドレイン」の機能は、異なる極性のトランジスタを採用する場合や、回路動作において電流の方向が変化する場合などには入れ替わることがある。このため、本明細書等においては、「ソース」や「ドレイン」の用語は、入れ替えて用いることができるものとする。
【００２９】
なお、本明細書等において、「電気的に接続」には、「何らかの電気的作用を有するもの」を介して接続されている場合が含まれる。ここで、「何らかの電気的作用を有するもの」は、接続対象間での電気信号の授受を可能とするものであれば、特に制限を受けない。例えば、「何らかの電気的作用を有するもの」には、電極や配線をはじめ、トランジスタなどのスイッチング素子、抵抗素子、インダクタ、キャパシタ、その他の各種機能を有する素子などが含まれる。
【００３０】
（実施の形態１）
本実施の形態では、半導体装置及び半導体装置の作製方法の一形態を、図１乃至図５を用いて説明する。
【００３１】
〈半導体装置の構成例〉
図１（Ａ）および図１（Ｂ）に、半導体装置の例として、ボトムゲート構造の一つであるチャネルエッチ型のトランジスタの平面図および断面図を示す。図１（Ａ）は平面図であり、図１（Ｂ）は、図１（Ａ）におけるＡ−Ｂ断面に係る断面図である。なお、図１（Ａ）では、煩雑になることを避けるため、トランジスタ１１０の構成要素の一部（例えば、保護絶縁膜１０９など）を省略している。
【００３２】
図１（Ａ）および図１（Ｂ）に示すトランジスタ１１０は、絶縁表面を有する基板１００上に、ゲート電極１０１、ゲート電極１０１を覆うゲート絶縁膜１０２、ゲート絶縁膜１０２と接し、少なくともゲート電極１０１と重畳する領域に設けられた酸化物半導体膜１０３、酸化物半導体膜１０３と電気的に接続するソース電極１０５ａおよびドレイン電極１０５ｂ、酸化物半導体膜１０３、ソース電極１０５ａおよびドレイン電極１０５ｂを覆う保護絶縁膜１０９を含む。
【００３３】
酸化物半導体膜１０３の膜厚は、５ｎｍより大きく２００ｎｍ以下とし、好ましくは１０ｎｍ以上３０ｎｍ以下とする。また、酸化物半導体膜１０３は、単結晶、または微結晶などの結晶性を有する構造とすることが好ましい。
【００３４】
本実施の形態において、酸化物半導体膜１０３は、ＣＡＡＣ−ＯＳ（Ｃ Ａｘｉｓ Ａｌｉｇｎｅｄ Ｃｒｙｓｔａｌｌｉｎｅ Ｏｘｉｄｅ Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ）膜であることが好ましい。
【００３５】
ＣＡＡＣ−ＯＳ膜は、完全な単結晶ではなく、完全な非晶質でもない。ＣＡＡＣ−ＯＳ膜は、非晶質相に結晶部を有する結晶−非晶質混相構造の酸化物半導体膜である。なお、当該結晶部は、一辺が１００ｎｍ未満の立方体内に収まる大きさであることが多い。また、透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ：Ｔｒａｎｓｍｉｓｓｉｏｎ Ｅｌｅｃｔｒｏｎ Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ）による観察像では、ＣＡＡＣ−ＯＳ膜に含まれる非晶質領域と結晶部との境界は明確ではない。また、ＴＥＭによってＣＡＡＣ−ＯＳ膜には粒界（グレインバウンダリーともいう）は確認できない。そのため、ＣＡＡＣ−ＯＳ膜は、粒界に起因する電子移動の低下が抑制される。
【００３６】
ＣＡＡＣ−ＯＳ膜に含まれる結晶部は、ｃ軸がＣＡＡＣ−ＯＳ膜の被形成面または表面に垂直な方向に揃い、かつａｂ面に垂直な方向から見て三角形状または六角形状の原子配列を有し、ｃ軸に垂直な方向から見て金属原子が層状または金属原子と酸素原子とが層状に配列している。なお、異なる結晶部間で、それぞれａ軸及びｂ軸の向きが異なっていてもよい。本明細書等において、単に垂直と記載する場合、８５°以上９５°以下の範囲も含まれることとする。
【００３７】
なお、ＣＡＡＣ−ＯＳ膜において、結晶部の分布が一様でなくてもよい。例えば、ＣＡＡＣ−ＯＳ膜の形成過程において、酸化物半導体膜の表面側から結晶成長させる場合、表面の近傍では結晶部の占める割合が高くなることがある。
【００３８】
ＣＡＡＣ−ＯＳ膜に含まれる結晶部のｃ軸は、ＣＡＡＣ−ＯＳ膜の被形成面または表面に垂直な方向に揃うため、ＣＡＡＣ−ＯＳ膜の形状（被形成面の断面形状または表面の断面形状）によっては互いに異なる方向を向くことがある。なお、結晶部のｃ軸の方向は、ＣＡＡＣ−ＯＳ膜が形成されたときの被形成面または表面に垂直な方向となる。結晶部は、成膜することにより、または成膜後に加熱処理などの結晶化処理を行うことにより形成される。
【００３９】
ＣＡＡＣ−ＯＳ膜を用いたトランジスタは、可視光や紫外光の照射によるトランジスタの電気特性の変動を低減することが可能である。また、しきい値の変動及びバラツキを抑制できる。よって。当該トランジスタは信頼性が高い。
【００４０】
また、結晶性を有する酸化物半導体では、よりバルク内欠陥を低減することができる。さらに、結晶性を有する酸化物半導体膜表面の平坦性を高めることによって、該酸化物半導体を用いたトランジスタは、アモルファス状態の酸化物半導体を用いたトランジスタ以上の電界効果移動度を得ることができる。酸化物半導体膜表面の平坦性を高めるためには、平坦な表面上に酸化物半導体を形成することが好ましく、具体的には、平均面粗さ（Ｒａ）が０．１５ｎｍ以下、好ましくは０．１ｎｍ以下の表面上に形成するとよい。
【００４１】
なお、Ｒａとは、ＪＩＳ Ｂ０６０１：２００１（ＩＳＯ４２８７：１９９７）で定義されている算術平均粗さを曲面に対して適用できるよう三次元に拡張したものであり、「基準面から指定面までの偏差の絶対値を平均した値」と表現でき、以下の式にて定義される。
【００４２】
【数１】
【００４３】
ここで、指定面とは、粗さ計測の対象となる面であり、座標（（ｘ１，ｙ１，ｆ（ｘ１，ｙ１））、（ｘ１，ｙ２，ｆ（ｘ１，ｙ２））、（ｘ２，ｙ１，ｆ（ｘ２，ｙ１））、（ｘ２，ｙ２，ｆ（ｘ２，ｙ２））の４点で表される四角形の領域とし、指定面をｘｙ平面に投影した長方形の面積をＳ０、基準面の高さ（指定面の平均の高さ）をＺ０とする。Ｒａは原子間力顕微鏡（ＡＦＭ：Ａｔｏｍｉｃ Ｆｏｒｃｅ Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ）にて測定可能である。
【００４４】
また、図１（Ｂ）に示すように、酸化物半導体膜１０３は端部に２０°乃至５０°のテーパーを有していることが好ましい。酸化物半導体膜１０３の端部が垂直であると酸化物半導体膜１０３から酸素が抜けやすく酸素欠損を生じやすいが、酸化物半導体膜１０３の端部にテーパーを有することで酸素欠損の発生を抑制し、トランジスタ１１０のリーク電流の発生を低減することができる。
【００４５】
酸化物半導体膜１０３に用いる酸化物半導体としては、少なくともインジウム（Ｉｎ）あるいは亜鉛（Ｚｎ）を含むことが好ましい。特に、ＩｎとＺｎを含むことが好ましい。また、該酸化物半導体を用いたトランジスタの電気特性のばらつきを減らすためのスタビライザーとして、それらに加えてガリウム（Ｇａ）、スズ（Ｓｎ）、ハフニウム（Ｈｆ）、ジルコニウム（Ｚｒ）、チタン（Ｔｉ）、スカンジウム（Ｓｃ）、イットリウム（Ｙ）、ランタノイド（例えば、セリウム（Ｃｅ）、ネオジム（Ｎｄ）、ガドリニウム（Ｇｄ））から選ばれた一種又は複数種が含まれていることが好ましい。
【００４６】
例えば、酸化物半導体として、酸化インジウム、酸化スズ、酸化亜鉛、二元系金属の酸化物であるＩｎ−Ｚｎ系酸化物、Ｓｎ−Ｚｎ系酸化物、Ａｌ−Ｚｎ系酸化物、Ｚｎ−Ｍｇ系酸化物、Ｓｎ−Ｍｇ系酸化物、Ｉｎ−Ｍｇ系酸化物、Ｉｎ−Ｇａ系酸化物、三元系金属の酸化物であるＩｎ−Ｇａ−Ｚｎ系酸化物（ＩＧＺＯとも表記する）、Ｉｎ−Ａｌ−Ｚｎ系酸化物、Ｉｎ−Ｓｎ−Ｚｎ系酸化物、Ｓｎ−Ｇａ−Ｚｎ系酸化物、Ａｌ−Ｇａ−Ｚｎ系酸化物、Ｓｎ−Ａｌ−Ｚｎ系酸化物、Ｉｎ−Ｈｆ−Ｚｎ系酸化物、Ｉｎ−Ｚｒ−Ｚｎ系酸化物、Ｉｎ−Ｔｉ−Ｚｎ系酸化物、Ｉｎ−Ｓｃ−Ｚｎ系酸化物、Ｉｎ−Ｙ−Ｚｎ系酸化物、Ｉｎ−Ｌａ−Ｚｎ系酸化物、Ｉｎ−Ｃｅ−Ｚｎ系酸化物、Ｉｎ−Ｐｒ−Ｚｎ系酸化物、Ｉｎ−Ｎｄ−Ｚｎ系酸化物、Ｉｎ−Ｓｍ−Ｚｎ系酸化物、Ｉｎ−Ｅｕ−Ｚｎ系酸化物、Ｉｎ−Ｇｄ−Ｚｎ系酸化物、Ｉｎ−Ｔｂ−Ｚｎ系酸化物、Ｉｎ−Ｄｙ−Ｚｎ系酸化物、Ｉｎ−Ｈｏ−Ｚｎ系酸化物、Ｉｎ−Ｅｒ−Ｚｎ系酸化物、Ｉｎ−Ｔｍ−Ｚｎ系酸化物、Ｉｎ−Ｙｂ−Ｚｎ系酸化物、Ｉｎ−Ｌｕ−Ｚｎ系酸化物、四元系金属の酸化物であるＩｎ−Ｓｎ−Ｇａ−Ｚｎ系酸化物、Ｉｎ−Ｈｆ−Ｇａ−Ｚｎ系酸化物、Ｉｎ−Ａｌ−Ｇａ−Ｚｎ系酸化物、Ｉｎ−Ｓｎ−Ａｌ−Ｚｎ系酸化物、Ｉｎ−Ｓｎ−Ｈｆ−Ｚｎ系酸化物、Ｉｎ−Ｈｆ−Ａｌ−Ｚｎ系酸化物を用いることができる。
【００４７】
ここで、Ｉｎ−Ｇａ−Ｚｎ系酸化物とは、ＩｎとＧａとＺｎを主成分として有する酸化物という意味であり、ＩｎとＧａとＺｎの比率は問わない。また、ＩｎとＧａとＺｎ以外の金属元素が入っていてもよい。
【００４８】
また、酸化物半導体として、ＩｎＭＯ３（ＺｎＯ）ｍ（ｍ＞０、且つ、ｍは整数でない）で表記される材料を用いてもよい。なお、Ｍは、Ｇａ、Ｆｅ、Ｍｎ及びＣｏから選ばれた一の金属元素または複数の金属元素、若しくは上記のスタビライザーとしての元素を示す。また、酸化物半導体として、Ｉｎ２ＳｎＯ５（ＺｎＯ）ｎ（ｎ＞０、且つ、ｎは整数）で表記される材料を用いてもよい。
【００４９】
例えば、Ｉｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝１：１：１、Ｉｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝３：１：２、あるいはＩｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝２：１：３の原子数比のＩｎ：Ｇａ：Ｚｎ系酸化物やその組成の近傍の酸化物を用いるとよい。
【００５０】
ゲート絶縁膜１０２は、十分な耐圧および絶縁性を有する酸化物絶縁膜を用いることが好ましい。ゲート絶縁膜１０２を単層構造とする場合には、例えば、酸化シリコンのようなシリコンを含む酸化物を含む絶縁膜を用いればよい。
【００５１】
また、ゲート絶縁膜１０２を積層構造としても良い。ゲート絶縁膜１０２を積層構造とする場合、酸化ガリウム、酸化アルミニウム、窒化シリコン、酸化窒化シリコン、酸化窒化アルミニウム、酸化イットリウム、酸化ランタンまたは窒化酸化シリコンなどの上に酸化シリコンを積層すればよい。また、酸化ハフニウム、ハフニウムシリケート（ＨｆＳｉｘＯｙ（ｘ＞０、ｙ＞０））、窒素が添加されたハフニウムシリケート（ＨｆＳｉＯｘＮｙ（ｘ＞０、ｙ＞０））、ハフニウムアルミネート（ＨｆＡｌｘＯｙ（ｘ＞０、ｙ＞０））などのｈｉｇｈ−ｋ材料の上に酸化シリコンを積層すればよい。また、ｈｉｇｈ−ｋ材料を用いることでゲートリーク電流を低減することができる。
【００５２】
ゲート絶縁膜１０２として酸化物絶縁膜を用いることにより、当該酸化物絶縁膜を加熱することにより酸素の一部を脱離させることができるので、酸化物半導体膜１０３に酸素を供給し、酸化物半導体膜１０３中の酸素欠損を補填することができる。特に、ゲート絶縁膜１０２中（バルク中）に少なくとも化学量論比を超える量の酸素が存在することが好ましく、例えば、ゲート絶縁膜１０２として、ＳｉＯ２＋α（ただし、α＞０）で表される酸化シリコン膜を用いることが好ましい。このような酸化シリコン膜をゲート絶縁膜１０２として用いることで、酸化物半導体膜１０３に酸素を供給することができ、当該酸化物半導体膜１０３を用いたトランジスタ１１０のトランジスタ特性を良好にすることができる。
【００５３】
しかしながら、ゲート絶縁膜１０２として酸化シリコン膜を用いる場合、ゲート絶縁膜１０２中のシリコンが不純物として酸化物半導体膜１０３に取り込まれるおそれがある。酸化物半導体膜１０３にシリコンなどが不純物として取り込まれることにより、トランジスタの特性に影響を与える要因になる。また、酸化物半導体膜１０３の被形成面近傍に不純物元素が取り込まれると、不純物元素によって酸化物半導体膜の結晶化が阻害されてしまう。そのため、酸化物半導体膜の被形成面近傍において非晶質領域が残存してしまう。また、酸化物半導体膜１０３をＣＡＡＣ−ＯＳ膜とする場合には、被形成面近傍において、結晶部を形成することが困難となる。
【００５４】
特に、酸化物半導体膜１０３とゲート絶縁膜１０２が接する、酸化物半導体膜１０３の被形成面近傍においてはシリコンなどの不純物が取り込まれやすい。酸化物半導体膜１０３の被形成面近傍にトランジスタ１１０のチャネル形成領域が形成されるため、被形成面近傍にシリコンなどの不純物が取り込まれると、トランジスタ１１０の特性を変動させてしまうおそれがある。
【００５５】
ここで、酸化物半導体膜１０３に、不純物としてシリコンを含む酸化物であるＳｉＯ２が添加されると、どのような構造変化が起こるかについて、古典分子動力学計算により調査した結果について、図２１乃至図２５を用いて説明する。なお、上記計算を行うため、古典分子動力学計算ソフトウェアとして、富士通株式会社製ＳＣＩＧＲＥＳＳ ＭＥを用いた。古典分子動力学法では、原子間相互作用を特徴づける経験的ポテンシャルを定義することで、各原子に働く力を評価する。ニュートンの運動方程式を数値的に解くことにより、各原子の運動（時間発展）を決定論的に追跡できる。
【００５６】
以下に、計算モデルと計算条件を述べる。なお、本計算においては、Ｂｏｒｎ−Ｍａｙｅｒ−Ｈｕｇｇｉｎｓポテンシャルを用いた。
【００５７】
計算モデルとして、１６８０原子のＩｎＧａＺｎＯ４の単結晶構造（図２１（Ａ）参照）と、１６８０原子のＩｎＧａＺｎＯ４のＩｎ、Ｇａ、Ｚｎのそれぞれ２０原子ずつをシリコン（Ｓｉ）原子で置換した構造（図２１（Ｂ）参照）を作製した。図２１（Ｂ）に示すシリコン（Ｓｉ）置換モデルにおいて、シリコン（Ｓｉ）は、３．５７ａｔｏｍ％（２．３４重量％）である。また、図２１（Ａ）に示す単結晶モデルの密度は、６．３６ｇ／ｃｍ３であり、図２１（Ｂ）に示すシリコン（Ｓｉ）置換モデルの密度は、６．０８ｇ／ｃｍ３である。
【００５８】
図２１（Ａ）及び図２１（Ｂ）に示す計算モデルに対して、ＩｎＧａＺｎＯ４の単結晶の融点（古典分子動力学計算による見積もりでは、約２０００℃）より低い１７２７℃において、圧力一定（１ａｔｍ）で、１５０ｐｓｅｃ間（時間刻み幅０．２ｆｓｅｃ×７５万ステップ）の古典分子動力学計算により、構造緩和を行った。また、これら２つの構造に対して、動径分布関数ｇ（ｒ）を求めた。なお、動径分布関数ｇ（ｒ）とは、ある原子から距離ｒ離れた位置において、他の原子が存在する確率密度を表す関数である。原子同士の相関がなくなっていくと、ｇ（ｒ）は１に近づく。
【００５９】
上記、２つの計算モデルを、１５０ｐｓｅｃ間の古典分子動力学計算を行うことにより得られた最終構造をそれぞれ図２２（Ａ）及び図２２（Ｂ）に示す。また、それぞれの構造における動径分布関数ｇ（ｒ）を、図２３に示す。
【００６０】
図２２（Ａ）に示す単結晶モデルは安定で、最終構造においても結晶構造を保っているが、図２２（Ｂ）に示すシリコン（Ｓｉ）置換モデルは不安定で、時間経過とともに結晶構造が崩れていき、アモルファス構造へと変化することが確認できる。また、図２３において、各構造モデルの動径分布関数ｇ（ｒ）を比較すると、単結晶モデルでは、長距離でもピークがあり、長距離秩序があることがわかる。一方、シリコン（Ｓｉ）置換モデルでは、０．６ｎｍ近傍でピークが消え、長距離秩序がないことがわかる。
【００６１】
これらの計算結果により、ＩｎＧａＺｎＯ４にシリコン（Ｓｉ）が含まれることにより、ＩｎＧａＺｎＯ４のアモルファス化が起こりやすくなることが示唆された。また、ＩｎＧａＺｎＯ４にシリコン（Ｓｉ）が含まれた状態で高温加熱を行っても、ＩｎＧａＺｎＯ４は結晶化しないことが確認された。
【００６２】
次に、酸化物半導体膜１０３に炭素原子（Ｃ）が添加されると、どのような構造変化が起こるかについて、古典分子動力学計算により調査した結果について、図２１（Ａ）、図２４、及び図２５を用いて説明する。なお、上記計算を行うため、古典分子動力学計算ソフトウェアとして、富士通株式会社製ＳＣＩＧＲＥＳＳ ＭＥを用いた。
【００６３】
以下に、計算モデルと計算結果を述べる。なお、本計算においては、Ｂｏｒｎ−Ｍａｙｅｒ−Ｈｕｇｇｉｎｓポテンシャルを用いた。また、炭素原子（Ｃ）との原子間相互作用にはＬｅｎｎａｒｄ−Ｊｏｎｅｓポテンシャルを用いた。
【００６４】
計算モデルとして、１６８０原子のＩｎＧａＺｎＯ４の単結晶構造（図２１（Ａ）参照）と、１６８０原子のＩｎＧａＺｎＯ４のＩｎ、Ｇａ、Ｚｎのそれぞれ２０原子ずつを炭素原子（Ｃ）で置換し、酸素（Ｏ）の８０原子を炭素原子（Ｃ）で置換した構造（図２４（Ａ）参照）を作製した。図２４（Ａ）に示す炭素（Ｃ）置換モデルにおいて、炭素原子（Ｃ）は、８．３３ａｔｏｍ％である。また、図２１（Ａ）に示す単結晶モデルの密度は、６．３６ｇ／ｃｍ３であり、図２４（Ａ）に示す炭素（Ｃ）置換モデルの密度は、５．８９ｇ／ｃｍ３である。
【００６５】
図２１（Ａ）及び図２４（Ａ）に示す計算モデルに対して、ＩｎＧａＺｎＯ４の単結晶の融点（古典分子動力学計算による見積もりでは約２０００℃）より低い１７２７℃において、圧力一定（１ａｔｍ）で、１４０ｐｓｅｃ間（時間刻み幅０．２ｆｓｅｃ×７５万ステップ）の古典分子動力学計算により、構造緩和を行った。また、これら２つの構造に対して、動径分布関数ｇ（ｒ）を求めた。なお、動径分布関数ｇ（ｒ）とは、ある原子から距離ｒ離れた位置において、他の原子が存在する確率密度を表す関数である。原子同士の相関がなくなっていくと、ｇ（ｒ）は１に近づく。
【００６６】
上記の２つの計算モデルを、１５０ｐｓｅｃ間の古典分子動力学計算を行うことにより得られた最終構造をそれぞれ、図２２（Ａ）及び図２４（Ｂ）に示す。また、それぞれの構造における動径分布関数ｇ（ｒ）を図２５に示す。
【００６７】
図２２（Ａ）に示す単結晶モデルは安定で、最終構造においても結晶構造を保っているが、図２４（Ｂ）に示す炭素（Ｃ）置換モデルは不安定で、時間経過とともに結晶構造が崩れていき、アモルファス構造へと変化することが確認できる。また、図２５において、各構造モデルの動径分布関数ｇ（ｒ）を比較すると、単結晶モデルでは、長距離でもピークがあり、長距離秩序があることがわかる。一方、炭素（Ｃ）置換モデルでは、０．６ｎｍ近傍でピークが消え、長距離秩序がないことがわかる。
【００６８】
これらの計算結果により、ＩｎＧａＺｎＯ４に炭素（Ｃ）が含まれることによって、ＩｎＧａＺｎＯ４のアモルファス化が起こりやすくなることが示唆された。また、ＩｎＧａＺｎＯ４に炭素（Ｃ）が含まれた状態で高温加熱を行っても、ＩｎＧａＺｎＯ４は結晶化しないことが確認された。
【００６９】
以上、説明したように、酸化物半導体膜に不純物が取り込まれることは、酸化物半導体膜の結晶性が低下する要因となる。そこで、本実施の形態に示す半導体装置においては、酸化物半導体膜の被形成面近傍にシリコンなどの不純物が取り込まれることを抑制する。その結果、酸化物半導体膜１０３において、ゲート絶縁膜１０２との界面から酸化物半導体膜１０３に向けてシリコンが１．０原子％以下の濃度で分布する領域が形成される。該領域を、領域１０３ａと示す。また、領域１０３ａに含まれるシリコンの濃度は、０．１原子％以下であるとより好ましい。また、領域１０３ａは、ゲート絶縁膜１０２との界面からの厚さが５ｎｍ以下の範囲に存在する。
【００７０】
なお、酸化物半導体膜１０３の領域１０３ａ以外の領域を領域１０３ｂと示す。また、領域１０３ｂに含まれるシリコンの濃度は、領域１０３ａに含まれるシリコンの濃度より小さくなる。
【００７１】
また、ゲート絶縁膜１０２に炭素などの不純物が含まれる場合、これも上記のシリコンと同様に酸化物半導体膜１０３に不純物として取り込まれるおそれがある。そこで、領域１０３ａに含まれる炭素濃度は１．０×１０２０ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以下、より好ましくは１．０×１０１９ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以下とする。
【００７２】
このように、酸化物半導体膜１０３の領域１０３ａに取り込まれるシリコンなどの不純物の濃度を低減することにより、トランジスタ１１０の特性の変動を抑制することができる。また、酸化物半導体膜１０３の被形成面近傍まで結晶化させることができる。また、酸化物半導体膜１０３をＣＡＡＣ−ＯＳ膜とする場合には、被形成面近傍まで結晶部を形成することができる。このような酸化物半導体膜を用いてトランジスタを作製することにより、安定した電気特性を有する半導体装置とすることができる。
【００７３】
なお、その他の構成要素の詳細については、後述するトランジスタ１１０の作製方法において、図４（Ａ）乃至図４（Ｅ）を用いて説明する。
【００７４】
なお、トランジスタ１１０上には、さらに平坦化絶縁膜が設けられていても良い。また、ソース電極１０５ａやドレイン電極１０５ｂと配線とを電気的に接続させるために、ゲート絶縁膜１０２、保護絶縁膜１０９、などには開口が形成されていても良い。また、酸化物半導体膜１０３の上方のゲート電極１０１と重畳する領域に、さらに、第２のゲート電極を有していても良い。
【００７５】
また、図２（Ａ）および図２（Ｂ）に図１（Ａ）および図１（Ｂ）に示すトランジスタ１１０とは異なる構成のトランジスタ１２０を示す。図２（Ａ）は平面図であり、図２（Ｂ）は、図２（Ａ）におけるＣ−Ｄ断面に係る断面図である。なお、図２（Ａ）では、煩雑になることを避けるため、トランジスタ１２０の構成要素の一部（例えば、保護絶縁膜１０９など）を省略している。
【００７６】
図２（Ａ）および図２（Ｂ）に示すトランジスタ１２０は、絶縁表面を有する基板１００上に、ゲート電極１０１、ゲート電極１０１を覆うゲート絶縁膜１０２、ゲート絶縁膜１０２と接し、少なくともゲート電極１０１と重畳する領域に設けられた酸化物半導体膜１０３、酸化物半導体膜１０３と電気的に接続するソース電極１０５ａおよびドレイン電極１０５ｂ、酸化物半導体膜１０３、ソース電極１０５ａおよびドレイン電極１０５ｂを覆う保護絶縁膜１０９を含む。ここで、トランジスタ１２０のトランジスタ１１０との相違点は、保護絶縁膜１０９として上記ゲート絶縁膜１０２と同様にシリコンを含む酸化物を含む絶縁膜を用いている点と、酸化物半導体膜１０３と保護絶縁膜１０９が接する界面近傍に領域１０３ｃを有する点である。
【００７７】
トランジスタ１２０の酸化物半導体膜１０３は、領域１０３ａ乃至領域１０３ｃを有する。領域１０３ａは、酸化物半導体膜１０３において、ゲート絶縁膜１０２との界面から酸化物半導体膜１０３に向けてシリコンが１．０原子％以下の濃度で分布する領域である。領域１０３ａは、ゲート絶縁膜１０２との界面からの厚さが５ｎｍ以下の範囲に存在することが好ましい。また、領域１０３ｃは、酸化物半導体膜１０３において、保護絶縁膜１０９との界面から酸化物半導体膜１０３に向けてシリコンが１．０原子％以下の濃度で分布する領域である。領域１０３ｃは、保護絶縁膜１０９との界面からの厚さが５ｎｍ以下の範囲に存在することが好ましい。また、酸化物半導体膜１０３の領域１０３ａおよび領域１０３ｃ以外の領域を領域１０３ｂとする。
【００７８】
なお、領域１０３ｂに含まれるシリコンの濃度は、領域１０３ａに含まれるシリコンの濃度より小さくなる。また、領域１０３ａに含まれるシリコンの濃度は、０．１原子％以下であるとより好ましい。
【００７９】
ここで、領域１０３ａに含まれるシリコンの濃度を１．０原子％以下、好ましくは０．１原子％以下とし、領域１０３ｃに含まれるシリコンの濃度も１．０原子％以下、好ましくは０．１原子％以下とする。また、このとき、領域１０３ｂに含まれるシリコンの濃度は、領域１０３ａ及び領域１０３ｃに含まれるシリコンの濃度より小さくなる。
【００８０】
このように、酸化物半導体膜１０３のバックチャネルに当たる領域１０３ｃにおいても、シリコンなどの不純物の濃度を低減させることにより、トランジスタ１２０の電気特性の変動を抑制することができる。
【００８１】
その他の構成要素については、図１（Ａ）および図１（Ｂ）に示す半導体装置と同様である。詳細は、図１（Ａ）および図１（Ｂ）に関する記載を参酌することができる。
【００８２】
また、図１および図２に示すトランジスタは所謂チャネルエッチ型のトランジスタであるが、本実施の形態に示す半導体装置はこれに限られるものではない。図３（Ａ）および図３（Ｂ）に、図１および図２に示すトランジスタとは異なるチャネルストップ型のトランジスタ１３０の構成例を示す。図３（Ａ）は平面図であり、図３（Ｂ）は、図３（Ａ）におけるＥ−Ｆ断面に係る断面図である。なお、図３（Ａ）では、煩雑になることを避けるため、トランジスタ１３０の構成要素の一部（例えば、保護絶縁膜１０９など）を省略している。また、図３（Ａ）では、理解が容易になるようにチャネル保護膜１０８の形状を立体的に示している。
【００８３】
図３（Ａ）および図３（Ｂ）に示すトランジスタ１３０は、絶縁表面を有する基板１００上に、ゲート電極１０１、ゲート電極１０１を覆うゲート絶縁膜１０２、ゲート絶縁膜１０２と接し、少なくともゲート電極１０１と重畳する領域に設けられた酸化物半導体膜１０３、酸化物半導体膜１０３上に接して設けられたチャネル保護膜１０８、チャネル保護膜１０８上に設けられて酸化物半導体膜１０３と電気的に接続するソース電極１０５ａおよびドレイン電極１０５ｂ、そして、酸化物半導体膜１０３、ソース電極１０５ａおよびドレイン電極１０５ｂを覆う保護絶縁膜１０９を含む。また、酸化物半導体膜１０３は、トランジスタ１１０と同様に領域１０３ａおよび領域１０３ｂを有する。つまり、トランジスタ１３０のトランジスタ１１０との相違点はチャネル保護膜１０８を有する点である。
【００８４】
チャネル保護膜１０８としては、酸素を含む無機絶縁膜を用いることが好ましく、例えば、酸化シリコン膜、酸化窒化シリコン膜、酸化アルミニウム膜、酸化窒化アルミニウム膜、酸化ガリウム膜、酸化ハフニウム膜などの絶縁膜を用いることができる。また、チャネル保護膜１０８の膜厚としては５ｎｍ以上３００ｎｍ以下とすることが好ましい。
【００８５】
このように、酸化物半導体膜１０３上に接してチャネル保護膜１０８を設けることにより、ソース電極１０５ａおよびドレイン電極１０５ｂのエッチングによる酸化物半導体膜１０３のバックチャネル側へのダメージ（例えば、エッチング時のプラズマまたはエッチング剤によるダメージ）を防ぐことができる。これにより、トランジスタ１３０の電気特性を安定したものにすることができる。
【００８６】
また、図３（Ｂ）に示すように、チャネル保護膜１０８は端部に１０°以上６０°以下のテーパーを有していることが好ましい。チャネル保護膜１０８をこのような形状とすることにより、チャネル保護膜１０８の下端部近傍における電界集中を緩和することができる。
【００８７】
その他の構成要素については、図１（Ａ）および図１（Ｂ）に示す半導体装置と同様である。詳細は、図１（Ａ）および図１（Ｂ）に関する記載を参酌することができる。
【００８８】
〈トランジスタの作製工程の例〉
以下、図４または図５を用いて、図１乃至図３に示すトランジスタの作製工程の例について説明する。
【００８９】
〈トランジスタ１１０の作製工程〉
図４（Ａ）乃至図４（Ｅ）を用いて、図１に示すトランジスタ１１０の作製工程の一例について説明する。
【００９０】
まず、絶縁表面を有する基板１００を準備する。絶縁表面を有する基板１００に使用することができる基板に大きな制限はないが、少なくとも、後の熱処理に耐えうる程度の耐熱性を有していることが必要となる。例えば、バリウムホウケイ酸ガラスやアルミノホウケイ酸ガラスなどのガラス基板、セラミック基板、石英基板、サファイア基板などの基板を用いることができる。また、絶縁表面を有していれば、シリコンや炭化シリコンなどの単結晶半導体基板、多結晶半導体基板、シリコンゲルマニウムなどの化合物半導体基板、ＳＯＩ基板などを適用することも可能である。
【００９１】
また、基板１００として、可撓性基板を用いてもよい。可撓性基板を用いる場合、可撓性基板上に酸化物半導体膜１０３を含むトランジスタを直接作製してもよいし、他の作製基板に酸化物半導体膜１０３を含むトランジスタを作製し、その後可撓性基板に剥離、転置してもよい。なお、作製基板から可撓性基板に剥離、転置するために、作製基板と酸化物半導体膜１０３を含むトランジスタとの間に剥離層を設けるとよい。
【００９２】
下地膜となる絶縁膜を基板１００とゲート電極１０１との間に設けてもよい。下地膜は、基板１００からの水素、水分などの不純物元素の拡散を防止する機能があり、窒化シリコン膜、酸化シリコン膜、窒化酸化シリコン膜、又は酸化窒化シリコン膜から選ばれた一又は複数の膜による積層構造により形成することができる。
【００９３】
次いで、基板１００上に、ゲート電極（これと同じ層で形成される配線を含む）を形成するための導電膜を形成する。ゲート電極に用いる導電膜としては、例えば、モリブデン、チタン、タンタル、タングステン、アルミニウム、銅、ネオジム、スカンジウム等の金属材料又はこれらを主成分とする合金材料を用いることができる。また、ゲート電極に用いる導電膜としては、導電性の金属酸化物を用いて形成しても良い。導電性の金属酸化物としては酸化インジウム（Ｉｎ２Ｏ３）、酸化スズ（ＳｎＯ２）、酸化亜鉛（ＺｎＯ）、インジウムスズ酸化物（Ｉｎ２Ｏ３−ＳｎＯ２、ＩＴＯと略記する場合がある）、インジウム亜鉛酸化物（Ｉｎ２Ｏ３−ＺｎＯ）、または、これらの金属酸化物材料にシリコン若しくは酸化シリコンを含有させたものを用いることができる。ゲート電極は、上記の材料を用いて単層で又は積層して形成することができる。形成方法も特に限定されず、蒸着法、ＣＶＤ法、スパッタリング法、スピンコート法などの各種成膜方法を用いることができる。
【００９４】
次いで、フォトリソグラフィ工程により導電膜上にレジストマスクを形成し、選択的にエッチングを行って、ゲート電極１０１を形成した後、レジストマスクを除去する。また、ゲート電極１０１を形成するためのレジストマスクをインクジェット法で形成してもよい。レジストマスクをインクジェット法で形成するとフォトマスクを使用しないため、製造コストを低減できる。なお、ゲート電極１０１のエッチングは、ドライエッチングでもウェットエッチングでもよく、両方を用いてもよい。
【００９５】
次いで、ゲート電極１０１を覆ってゲート絶縁膜１０２を形成する（図４（Ａ）参照）。ここで、ゲート絶縁膜１０２の膜厚は、例えば１ｎｍ以上５００ｎｍ以下とすることができる。また、ゲート絶縁膜１０２の作製方法に特に限定はないが、例えば、スパッタリング法、ＭＢＥ法、ＣＶＤ法、パルスレーザ堆積法、ＡＬＤ法等を適宜用いてゲート絶縁膜１０２を作製することができる。
【００９６】
ゲート絶縁膜１０２は、十分な耐圧および絶縁性を有する酸化物絶縁膜を用いることが好ましい。ゲート絶縁膜１０２を単層構造とする場合には、例えば、酸化シリコンのようなシリコンを含む酸化物を含む絶縁膜を用いればよい。
【００９７】
また、ゲート絶縁膜１０２を積層構造としても良い。ゲート絶縁膜１０２を積層構造とする場合、酸化ガリウム、酸化アルミニウム、窒化シリコン、酸化窒化シリコン、酸化窒化アルミニウム、酸化イットリウム、酸化ランタンまたは窒化酸化シリコンなどの上に酸化シリコンを積層すればよい。また、酸化ハフニウム、ハフニウムシリケート（ＨｆＳｉｘＯｙ（ｘ＞０、ｙ＞０））、窒素が添加されたハフニウムシリケート（ＨｆＳｉＯｘＮｙ（ｘ＞０、ｙ＞０））、ハフニウムアルミネート（ＨｆＡｌｘＯｙ（ｘ＞０、ｙ＞０））などのｈｉｇｈ−ｋ材料の上に酸化シリコンを積層すればよい。また、ｈｉｇｈ−ｋ材料を用いることでゲートリーク電流を低減することができる。
【００９８】
ゲート絶縁膜１０２として酸化物絶縁膜を用いることにより、後述する熱処理によって当該酸化物絶縁膜の酸素の一部を脱離させることができるので、酸化物半導体膜１０３に酸素を供給し、酸化物半導体膜１０３中の酸素欠損を補填することができる。特に、ゲート絶縁膜１０２中（バルク中）に少なくとも化学量論比を超える量の酸素が存在することが好ましく、例えば、ゲート絶縁膜１０２として、ＳｉＯ２＋α（ただし、α＞０）で表される酸化シリコン膜を用いることが好ましい。このような酸化シリコン膜をゲート絶縁膜１０２として用いることで、酸化物半導体膜１０３に酸素を供給することができ、当該酸化物半導体膜１０３を用いたトランジスタ１１０のトランジスタ特性を良好にすることができる。
【００９９】
また、酸化物半導体膜１０３を成膜する前に、ゲート絶縁膜１０２に平坦化処理を行ってもよい。平坦化処理としては、特に限定されないが、ドライエッチング処理、プラズマ処理、研磨処理（例えば、化学的機械研磨法）などを用いることができる。
【０１００】
プラズマ処理としては、例えば、アルゴンガスを導入してプラズマを発生させる逆スパッタリングを行うことができる。逆スパッタリングとは、アルゴン雰囲気下で基板側にＲＦ電源を用いて電圧を印加して基板近傍にプラズマを形成して表面を改質する方法である。なお、アルゴン雰囲気に代えて窒素、ヘリウム、酸素などを用いてもよい。逆スパッタリングを行うと、酸化物半導体膜１０３の成膜表面に付着している粉状物質（パーティクル、ごみともいう）を除去することができる。
【０１０１】
平坦化処理として、ドライエッチング処理、プラズマ処理、研磨処理を複数回行ってもよく、それらを組み合わせて行ってもよい。また、組み合わせて行う場合、工程順も特に限定されず、酸化物半導体膜１０３の被形成面の凹凸状態に合わせて適宜設定すればよい。
【０１０２】
また、酸化物半導体膜１０３の成膜工程において、酸化物半導体膜１０３に水素、又は水がなるべく含まれないようにするために、酸化物半導体膜１０３の成膜工程の前処理として、スパッタリング装置の予備加熱室でゲート絶縁膜１０２が成膜された基板１００を予備加熱し、基板１００及びゲート絶縁膜１０２に吸着した水素、水分などの不純物を脱離し排気することが好ましい。なお、予備加熱室に設ける排気手段はクライオポンプが好ましい。
【０１０３】
次いで、ゲート絶縁膜１０２上に、膜厚５ｎｍより大きく２００ｎｍ以下、好ましくは１０ｎｍ以上３０ｎｍ以下の酸化物半導体膜１０３を成膜する（図４（Ｂ）参照）。酸化物半導体膜１０３は、単結晶または微結晶などの結晶性を有する構造とすることが好ましい。また、酸化物半導体膜１０３は、ＣＡＡＣ−ＯＳ膜とすることが好ましい。なお、ゲート絶縁膜１０２および酸化物半導体膜１０３は、大気に触れさせることなく連続して成膜するのが好ましい。
【０１０４】
本実施の形態では、酸化物半導体膜１０３としてＩｎ−Ｇａ−Ｚｎ系酸化物ターゲットを用いてスパッタリング法により成膜する。また、酸化物半導体膜１０３は、希ガス（代表的にはアルゴン）雰囲気下、酸素雰囲気下、又は希ガスと酸素の混合雰囲気下においてスパッタ法により形成することができる。
【０１０５】
酸化物半導体膜１０３としてＩｎ−Ｇａ−Ｚｎ−Ｏ膜をスパッタリング法で作製するためのターゲットとしては、例えば、原子数比がＩｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝１：１：１の酸化物ターゲットや、原子数比がＩｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝３：１：２の酸化物ターゲットや、原子数比がＩｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝２：１：３の酸化物ターゲットを用いることができる。ただし、酸化物半導体膜１０３をスパッタリング法で作製するためのターゲットは、これらのターゲットの材料及び組成に限定されるものではない。
【０１０６】
また、酸化物ターゲットの相対密度は９０％以上１００％以下、好ましくは９５％以上９９．９％以下である。相対密度の高い酸化物ターゲットを用いることにより、成膜した酸化物半導体膜１０３は緻密な膜とすることができる。
【０１０７】
酸化物半導体膜１０３を成膜する際に用いるスパッタガスとしては、水素、水、水酸基又は水素化物などの不純物が除去された高純度ガスを用いることが好ましい。
【０１０８】
酸化物半導体膜１０３として、ＣＡＡＣ−ＯＳ膜を適用する場合、該ＣＡＡＣ−ＯＳ膜を形成するための熱処理方法としては、三つ挙げられる。一つめは、成膜温度を２００℃以上４５０℃以下として酸化物半導体膜の成膜を行うことで、酸化物半導体膜の被形成面または表面に対してｃ軸が垂直な方向に揃った結晶部を形成する方法である。二つめは、酸化物半導体膜を薄い膜厚で成膜した後、２００℃以上７００℃以下の熱処理を行うことで、酸化物半導体膜の被形成面または表面に対してｃ軸が垂直な方向に揃った結晶部を形成する方法である。三つめは、一層目の酸化物半導体膜を薄く成膜した後、２００℃以上７００℃以下の熱処理を行い、さらに二層目の酸化物半導体膜の成膜を行うことで、酸化物半導体膜の被形成面または表面に対してｃ軸が垂直な方向に揃った結晶部を形成する方法である。
【０１０９】
また、基板１００を加熱しながら成膜することにより、成膜した酸化物半導体膜１０３に含まれる水素や水などの不純物濃度を低減することができる。また、スパッタリングによる損傷が軽減されるため好ましい。
【０１１０】
なお、酸化物半導体膜１０３として、ＣＡＡＣ−ＯＳ膜以外の結晶性を有する酸化物半導体膜（単結晶または微結晶）を成膜する場合には、成膜温度は特に限定されない。
【０１１１】
酸化物半導体膜１０３として、ＣＡＡＣ−ＯＳ膜を用いる場合、例えば、多結晶である酸化物半導体スパッタリング用ターゲットを用い、スパッタリング法によって成膜する。当該スパッタリング用ターゲットにイオンが衝突すると、スパッタリング用ターゲットに含まれる結晶領域がａ−ｂ面から劈開し、ａ−ｂ面に平行な面を有する平板状またはペレット状のスパッタリング粒子として剥離することがある。この場合、当該平板状のスパッタリング粒子が、結晶状態を維持したまま基板に到達することで、ＣＡＡＣ−ＯＳ膜を成膜することができる。
【０１１２】
また、ＣＡＡＣ−ＯＳ膜を成膜するために、以下の条件を適用することが好ましい。
【０１１３】
成膜時の不純物混入を低減することで、不純物によって結晶状態が崩れることを抑制できる。例えば、成膜室内に存在する不純物濃度（水素、水、二酸化炭素および窒素など）を低減すればよい。また、成膜ガス中の不純物濃度を低減すればよい。具体的には、露点が−８０℃以下、好ましくは−１００℃以下である成膜ガスを用いる。
【０１１４】
また、成膜時の基板加熱温度を高めることで、基板到達後にスパッタリング粒子のマイグレーションが起こる。具体的には、基板加熱温度を１００℃以上７４０℃以下、好ましくは２００℃以上５００℃以下として成膜する。成膜時の基板加熱温度を高めることで、平板状のスパッタリング粒子が基板に到達した場合、基板上でマイグレーションが起こり、スパッタリング粒子の平らな面が基板に付着する。
【０１１５】
また、成膜ガス中の酸素割合を高め、電力を最適化することで成膜時のプラズマダメージを軽減すると好ましい。成膜ガス中の酸素割合は、３０体積％以上、好ましくは１００体積％とする。
【０１１６】
スパッタリング用ターゲットの一例として、多結晶のＩｎ−Ｇａ−Ｚｎ系酸化物ターゲットについて以下に示す。
【０１１７】
多結晶のＩｎ−Ｇａ−Ｚｎ系酸化物ターゲットは、ＩｎＯＸ粉末、ＧａＯＹ粉末およびＺｎＯＺ粉末を所定のｍｏｌ数で混合し、加圧処理後、１０００℃以上１５００℃以下の温度で加熱処理をすることで得られる。なお、Ｘ、ＹおよびＺは任意の正数である。ここで、ＩｎＯＸ粉末、ＧａＯＹ粉末およびＺｎＯＺ粉末のｍｏｌ数比は、例えば、２：２：１、８：４：３、３：１：１、１：１：１、４：２：３または３：１：２とする。なお、粉末の種類、およびその混合するｍｏｌ数比は、作製するスパッタリング用ターゲットによって適宜変更すればよい。
【０１１８】
そして、成膜室内の残留水分を除去しつつ水素及び水分が除去されたスパッタガスを導入し、上記ターゲットを用いて基板１００上に酸化物半導体膜１０３を成膜する。成膜室内の残留水分を除去するためには、吸着型の真空ポンプ、例えば、クライオポンプ、イオンポンプ、チタンサブリメーションポンプを用いることが好ましい。また、排気手段は、ターボポンプにコールドトラップを加えたものであってもよい。クライオポンプを用いて排気した成膜室は、例えば、水素原子、水（Ｈ２Ｏ）など水素原子を含む化合物（より好ましくは炭素原子を含む化合物も）等が排気されるため、当該成膜室で成膜した酸化物半導体膜１０３に含まれる水素、水分などの不純物の濃度を低減できる。
【０１１９】
なお、スパッタリング法を用いて酸化物半導体膜１０３を成膜する場合、酸化物半導体膜１０３を構成する粒子などがゲート絶縁膜１０２に対して衝突すると、ゲート絶縁膜１０２を構成する元素が酸化物半導体膜１０３中に混入してしまう（ミキシング、ミキシング効果とも言われる。）。当該混入現象は、ゲート絶縁膜１０２との界面近傍の酸化物半導体膜１０３中、具体的には、上述の領域１０３ａにおいて、特に顕著に生じる。本実施の形態等に記載するトランジスタでは、ゲート絶縁膜１０２近傍の酸化物半導体膜１０３中にチャネル領域が形成されるため、ゲート絶縁膜１０２を構成する元素が当該領域に不純物として混入することにより、トランジスタのオン特性（例えば、オン電流など）を低下させる要因となり得る。
【０１２０】
ここで、ゲート絶縁膜１０２上に酸化物半導体膜１０３を成膜する際に、ゲート絶縁膜１０２と酸化物半導体膜１０３との界面近傍においてミキシングが起こる可能性について、古典分子動力学計算により調査した結果について説明する。なお、上記計算を行うため古典分子動力学計算ソフトウェアとして、富士通株式会社製ＳＣＩＧＲＥＳＳ ＭＥを用いた。
【０１２１】
ゲート絶縁膜としてアモルファス酸化シリコン膜（以下、ａ−ＳｉＯ２と記す。）を用いて、図６に示すモデルを作製した。計算に係る単位胞（計算単位胞）のサイズは、ｘ軸方向に３ｎｍ、ｙ軸方向に３ｎｍ、ｚ軸方向に７．５ｎｍとした。ここで、ｘ軸及びｙ軸は、ａ−ＳｉＯ２膜に平行な方向であり、ｚ軸は、ａ−ＳｉＯ２膜の膜厚方向である。なお、計算に当たって、ｘ軸方向及びｙ軸方向に周期境界条件を適用することで、ｘ軸方向及びｙ軸方向に十分広い膜を想定することとした。
【０１２２】
次に、ａ−ＳｉＯ２膜上に、１ｅＶのエネルギーをもつインジウム原子、ガリウム原子、亜鉛原子、酸素原子を、１：１：１：４の割合（合計８４０原子）で、上方（図６中、原子発生）から下方に向かって入射させ、温度を３００℃、時間を２ｎｓｅｃ（時間刻み幅を０．２ｆｓ、ステップ数を１０００万回）として古典分子動力学計算を行った。
【０１２３】
図７及び図８に、上記計算の結果を示す。図７（Ａ）に、０ｓｅｃにおける酸素原子及びシリコン原子の配置を示し、図７（Ｂ）に、１ｎｓｅｃ後の酸素原子、シリコン原子、ガリウム原子、及び亜鉛原子の配置を示し、図７（Ｃ）に、２ｎｓｅｃ後の酸素原子、シリコン原子、ガリウム原子、及び亜鉛原子の配置を示す。また、図８（Ａ）は、２ｎｓｅｃ後の酸素原子、シリコン原子、ガリウム原子、及び亜鉛原子の配置を示し、図８（Ｂ）に、２ｎｓｅｃ後のシリコン原子のみの配置を示し、図８（Ｃ）に、２ｎｓｅｃ後のインジウム原子、ガリウム原子、及び亜鉛原子の配置を示す。
【０１２４】
図８（Ｂ）に示すシリコン原子のみの配置と、図８（Ｃ）に示すインジウム原子、ガリウム原子、及び亜鉛原子の配置とを比較することによって、シリコン原子の層に、インジウム原子、ガリウム原子、及び亜鉛原子が浸入していることが確認された。
【０１２５】
上記計算の結果から、１ｅＶのエネルギーをもつインジウム原子、ガリウム原子、亜鉛原子、および酸素原子を、ａ−ＳｉＯ２膜に入射させることより、ａ−ＳｉＯ２膜とＩＧＺＯ膜との間に、シリコン原子、インジウム原子、ガリウム原子、亜鉛原子、および酸素原子とが混合した層が形成されることが示された。
【０１２６】
以上の結果から、酸化物半導体膜１０３とゲート絶縁膜１０２とが混合した層を形成させないためには、酸化物半導体膜１０３を構成する粒子がゲート絶縁膜１０２に衝突する勢いを弱くすることが有効であり、例えば、酸化物半導体膜１０３の成膜電力を低くする、成膜圧力を高くする方法がある。または、ターゲットと被成膜基板間の距離（以下、Ｔ−Ｓ間距離とも記載する。）を広げてもよい。
【０１２７】
なお、上述のようにスパッタリングによるミキシングは、ゲート絶縁膜１０２との界面近傍の酸化物半導体膜１０３中において発生しうる。よって、酸化物半導体膜１０３を構成する粒子がゲート絶縁膜１０２に衝突する勢いを弱くしてスパッタリングを行って、ミキシング効果を低減して当該界面近傍の酸化物半導体膜を成膜してしまえば、その後は衝突する勢いを強くしてもよい。例えば、酸化物半導体膜１０３の成膜電力を低くして当該界面近傍の酸化物半導体膜を成膜し、それから成膜電力を高くして酸化物半導体膜を成膜してもよい。また、酸化物半導体膜１０３の成膜圧力を高くして当該界面近傍の酸化物半導体膜を成膜し、それから成膜圧力を低くして酸化物半導体膜を成膜してもよい。また、酸化物半導体膜１０３のＴ−Ｓ間距離を広くして当該界面近傍の酸化物半導体膜を成膜し、それからＴ−Ｓ間距離を狭くして酸化物半導体膜を成膜してもよい。
【０１２８】
成膜電力の具体的な数値としては、５ｋＷ以下、好ましくは１ｋＷ以下、より好ましくは５００Ｗ以下、更に好ましくは２００Ｗ以下とすることが望ましい。なお、成膜電力を下げるほど酸化物半導体膜１０３の成膜レートが低下してしまう。また、成膜電力が非常に低いと、スパッタリング装置内でプラズマが発生しにくくなり、正常に成膜処理が行えなくなる可能性が高まる。このため、成膜電力は、使用するスパッタ装置で印加することのできる最大電力の５％以上とすることが望ましい。成膜電力をどの程度まで下げるかについては、スパッタリング装置の性能や酸化物半導体膜１０３の膜厚などを鑑み、成膜を正常に行うことができ、かつ、成膜時間がトランジスタ１１０の作製工程（タクトタイム）に対して重大な影響を及ぼさない範囲で、実施者が適宜最適な電力値を選択すればよい。
【０１２９】
また、成膜圧力の具体的な数値としては、０．４Ｐａ以上、好ましくは１．０Ｐａ以上、より好ましくは２．０Ｐａ以上、更に好ましくは５．０Ｐａ以上とすることが望ましい。なお、成膜圧力を高くするほど、成膜される膜の膜質が悪化する（例えば、膜質が疎になる。）傾向がある。このため、成膜圧力は１００Ｐａ以下とすることが望ましい。成膜圧力をどの程度まで高めるかについては、酸化物半導体膜１０３に必要とされる特性（例えば、電界効果移動度など）を鑑み、実施者が適宜最適な圧力値を選択すればよい。
【０１３０】
また、Ｔ−Ｓ間距離の具体的な数値としては、３０ｍｍ以上、好ましくは５０ｍｍ以上、より好ましくは１００ｍｍ以上、更に好ましくは３００ｍｍ以上とすることが望ましい。なお、Ｔ−Ｓ間距離を広くするほど酸化物半導体膜１０３の成膜レートが低下してしまう。このため、Ｔ−Ｓ間距離は５００ｍｍ以下とすることが望ましい。Ｔ−Ｓ間距離をどの程度まで広げるかについては、成膜時間がトランジスタ１１０の作製工程（タクトタイム）に対して重大な影響を及ぼさない範囲で、実施者が適宜最適なＴ−Ｓ間距離を選択すればよい。
【０１３１】
なお、酸化物半導体膜１０３を構成する粒子がゲート絶縁膜１０２に衝突する勢いを弱くするためには、成膜電力、成膜圧力またはＴ−Ｓ間距離のいずれか一つの条件を上述の範囲として酸化物半導体膜１０３を成膜してもよいし、複数の条件を上述の範囲として酸化物半導体膜１０３を成膜してもよい。
【０１３２】
なお、スパッタリング装置として、ターゲットと被成膜基板が略平行に設置されたマグネトロン方式スパッタ装置（単に、マグネトロンスパッタ装置とも言われる。）を用いた場合、ゲート絶縁膜１０２には、酸化物半導体膜１０３を構成する粒子以外にもプラズマや二次電子なども衝突するため、ゲート絶縁膜１０２を構成する元素が酸化物半導体膜１０３中に非常に混入しやすい状態にあると言える。このため、酸化物半導体膜１０３を成膜するスパッタリング装置としては、対向ターゲット式スパッタ装置（ミラートロンスパッタ装置とも言われる。）を用いてもよい。当該装置は、２枚のターゲットが対向する状態に設置され、被成膜基板は２枚のターゲットに挟まれた空間以外の場所に、ターゲットに対して概垂直な状態に設置されている。そして、対向する２枚のターゲット間に高密度のプラズマを生成し、当該プラズマによりターゲット（酸化物半導体膜１０３の成膜に用いるターゲット。）表面がスパッタリングされることで、被成膜基板に酸化物半導体膜１０３が成膜される。このため、被成膜基板はプラズマや二次電子に直接晒されることがない（または非常に少ない）。
【０１３３】
また、酸化物半導体膜１０３のスパッタリング成膜を希ガス雰囲気で行う場合、アルゴンの代わりにヘリウムを用いてもよい。アルゴンより原子量の小さいヘリウムを用いることにより、酸化物半導体膜１０３を構成する粒子がゲート絶縁膜１０２に衝突する勢いを弱くすることができる。さらに、酸化物半導体膜１０３のゲート絶縁膜１０２との界面近傍の成膜をヘリウム雰囲気で行った後、成膜室内をアルゴン雰囲気に切り替えることにより、酸化物半導体膜１０３の成膜スピードを向上させることができる。
【０１３４】
また、酸化物半導体膜１０３を、ＡＬＤ（Ａｔｏｍｉｃ Ｌａｙｅｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法、蒸着法、塗布法などのゲート絶縁膜１０２への衝撃が弱い方法で成膜してもよい。
【０１３５】
以上のように、酸化物半導体膜１０３を構成する粒子がゲート絶縁膜１０２に衝突する勢いを弱くして酸化物半導体膜１０３を成膜することで、上述のように酸化物半導体膜１０３において、ゲート絶縁膜１０２との界面から酸化物半導体膜１０３に向けてシリコンが１．０原子％以下の濃度で分布する領域１０３ａと、領域１０３ａより含有されるシリコン濃度が小さい領域１０３ｂが形成される。ここで、領域１０３ｂとは、酸化物半導体膜１０３の領域１０３ａ以外の領域のことである。また、領域１０３ａに含まれるシリコンの濃度は、０．１原子％以下であるとより好ましい。
【０１３６】
また、このようにして酸化物半導体膜１０３を成膜することでゲート絶縁膜１０２中に含まれる炭素などの不純物が酸化物半導体膜１０３に混入することも低減されるので、上述のように領域１０３ａに含まれる炭素濃度は１．０×１０２０ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以下、より好ましくは１．０×１０１９ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以下となる。
【０１３７】
また、酸化物半導体膜１０３としてＣＡＡＣ−ＯＳ膜を加熱しながら成膜する（一つめの方法）場合、領域１０３ａに取り込まれるシリコンなどの不純物の量を低減することにより、ＣＡＡＣ−ＯＳ膜の被形成面近傍においても、酸化物半導体膜の被形成面または表面に対してｃ軸が垂直な方向に揃った結晶部を形成することができる。
【０１３８】
また、酸化物半導体膜１０３を構成する粒子がゲート絶縁膜１０２に衝突する勢いを弱くして酸化物半導体膜１０３を成膜することにより、ゲート絶縁膜１０２中に酸化物半導体膜１０３を構成する元素が混入することも抑制できる。これにより、ゲート絶縁膜１０２中に酸化物半導体膜１０３を構成する金属元素などの導電性の高い元素が混入することを抑制できるので、ゲート絶縁膜１０２の抵抗率の低減を防ぐことができる。
【０１３９】
また、酸化物半導体膜１０３の成膜後、酸化物半導体膜１０３に対して、熱処理を行ってもよい。当該熱処理の温度は、２００℃以上７００℃以下、または基板の歪み点未満とする。当該熱処理を行うことで、過剰な水素（水や水酸基を含む）を除去することが可能である。
【０１４０】
また、二つめの方法または三つめの方法を用いて、ＣＡＡＣ−ＯＳ膜を形成する場合には、当該熱処理を行うことにより、酸化物半導体膜の被形成面または表面に対してｃ軸が垂直な方向に揃った結晶部を形成することができる。また、酸化物半導体膜１０３の領域１０３ａにおいて、シリコンなどの不純物の濃度が低減されているため、酸化物半導体膜１０３の被形成面近傍まで該結晶部を形成させることができる。
【０１４１】
当該熱処理は、例えば、抵抗発熱体などを用いた電気炉に被処理物を導入し、窒素雰囲気下、４５０℃、１時間の条件で行うことができる。この間、酸化物半導体膜１０３は大気に触れさせず、水や水素の混入が生じないようにする。
【０１４２】
熱処理装置は電気炉に限られず、加熱されたガスなどの媒体からの熱伝導、または熱輻射によって、被処理物を加熱する装置を用いても良い。例えば、ＧＲＴＡ（Ｇａｓ Ｒａｐｉｄ Ｔｈｅｒｍａｌ Ａｎｎｅａｌ）装置、ＬＲＴＡ（Ｌａｍｐ Ｒａｐｉｄ Ｔｈｅｒｍａｌ Ａｎｎｅａｌ）装置等のＲＴＡ（Ｒａｐｉｄ Ｔｈｅｒｍａｌ Ａｎｎｅａｌ）装置を用いることができる。ＬＲＴＡ装置は、ハロゲンランプ、メタルハライドランプ、キセノンアークランプ、カーボンアークランプ、高圧ナトリウムランプ、高圧水銀ランプなどのランプから発する光（電磁波）の輻射により、被処理物を加熱する装置である。ＧＲＴＡ装置は、高温のガスを用いて熱処理を行う装置である。ガスとしては、アルゴンなどの希ガス、または窒素のような、熱処理によって被処理物と反応しない不活性気体が用いられる。
【０１４３】
例えば、当該熱処理として、熱せられた不活性ガス雰囲気中に被処理物を投入し、数分間加熱した後、当該不活性ガス雰囲気から被処理物を取り出すＧＲＴＡ処理を行ってもよい。ＧＲＴＡ処理を用いると短時間での高温熱処理が可能となる。また、被処理物の耐熱温度を超える温度条件であっても適用が可能となる。なお、処理中に、不活性ガスを、酸素を含むガスに切り替えても良い。
【０１４４】
なお、不活性ガス雰囲気としては、窒素、または希ガス（ヘリウム、ネオン、アルゴン等）を主成分とする雰囲気であって、水、水素などが含まれない雰囲気を適用するのが望ましい。例えば、熱処理装置に導入する窒素や、ヘリウム、ネオン、アルゴン等の希ガスの純度を、６Ｎ（９９．９９９９％）以上、好ましくは７Ｎ（９９．９９９９９％）以上（すなわち、不純物濃度が１ｐｐｍ以下、好ましくは０．１ｐｐｍ以下）とする。
【０１４５】
また、当該熱処理で酸化物半導体膜１０３を加熱した後、同じ炉に高純度の酸素ガス、一酸化二窒素ガス、高純度の一酸化二窒素ガス、又は超乾燥エア（ＣＲＤＳ（キャビティリングダウンレーザー分光法）方式の露点計を用いて測定した場合の水分量が２０ｐｐｍ（露点換算で−５５℃）以下、好ましくは１ｐｐｍ以下、より好ましくは１０ｐｐｂ以下の空気）を導入してもよい。酸素ガスまたは一酸化二窒素ガスに、水、水素などが含まれないことが好ましい。または、熱処理装置に導入する酸素ガスまたは一酸化二窒素ガスの純度を、６Ｎ以上好ましくは７Ｎ以上（即ち、酸素ガスまたは一酸化二窒素ガス中の不純物濃度を１ｐｐｍ以下、好ましくは０．１ｐｐｍ以下）とすることが好ましい。酸素ガス又は一酸化二窒素ガスの作用により、上記熱処理によって同時に減少してしまった酸化物半導体を構成する主成分材料である酸素を供給することによって、酸化物半導体膜を高純度化及びｉ型（真性）化することができる。
【０１４６】
また、三つめの方法を用いて、ＣＡＡＣ−ＯＳ膜を形成する場合には、さらに酸化物半導体膜を成膜すればよい。これにより、酸化物半導体膜の被形成面または表面に対してｃ軸が垂直な方向に揃った結晶部を種として、その上に成膜された酸化物半導体膜も、該結晶部を有する酸化物半導体膜とすることができる。
【０１４７】
なお、ＣＡＡＣ−ＯＳ膜以外の結晶性を有する酸化物半導体膜（単結晶または微結晶）を形成する場合、当該熱処理を行うことにより、酸化物半導体膜を結晶化させることができる。また、酸化物半導体膜１０３の領域１０３ａにおいて、シリコンなどの不純物の濃度が低減されているため、酸化物半導体膜の被形成面まで結晶化させることができる。
【０１４８】
なお、ここでは、酸化物半導体膜を島状に加工する前に、熱処理を行う構成について説明したが、開示する発明の一態様はこれに限定して解釈されない。酸化物半導体膜を島状に加工した後に、当該熱処理を行ってもよい。
【０１４９】
次いで、酸化物半導体膜１０３をフォトリソグラフィ工程により島状の酸化物半導体膜１０３に加工するのが好ましい（図４（Ｃ）参照）。また、島状の酸化物半導体膜１０３を形成するためのレジストマスクをインクジェット法で形成してもよい。レジストマスクをインクジェット法で形成するとフォトマスクを使用しないため、製造コストを低減できる。なお、酸化物半導体膜１０３のエッチングは、ドライエッチングでもウェットエッチングでもよく、両方を用いてもよい。
【０１５０】
ここで、図４（Ｃ）に示すように、酸化物半導体膜１０３は端部に２０°乃至５０°のテーパーを有していることが好ましい。酸化物半導体膜１０３の端部が垂直であると酸化物半導体膜１０３から酸素が抜けやすく酸素欠損を生じやすいが、酸化物半導体膜１０３の端部にテーパーを有することで酸素欠損の発生を抑制し、トランジスタ１１０のリーク電流の発生を低減することができる。
【０１５１】
次いで、酸化物半導体膜１０３上に、ソース電極及びドレイン電極（これと同じ層で形成される配線を含む）に用いる導電膜を成膜する。ソース電極及びドレイン電極に用いる導電膜としては、例えば、アルミニウム、クロム、銅、タンタル、チタン、モリブデン、タングステンから選ばれた元素を含む金属膜、または上述した元素を成分とする金属窒化物膜（窒化チタン膜、窒化モリブデン膜、窒化タングステン膜）等を用いることができる。また、アルミニウム、銅などの金属膜の下側又は上側の一方または双方にチタン、モリブデン、タングステンなどの高融点金属膜またはそれらの金属窒化物膜（窒化チタン膜、窒化モリブデン膜、窒化タングステン膜）を積層させた構成としても良い。また、ソース電極及びドレイン電極に用いる導電膜は、導電性の金属酸化物で形成しても良い。導電性の金属酸化物としては酸化インジウム（Ｉｎ２Ｏ３）、酸化スズ（ＳｎＯ２）、酸化亜鉛（ＺｎＯ）、インジウムスズ酸化物（Ｉｎ２Ｏ３−ＳｎＯ２、ＩＴＯと略記する）、インジウム亜鉛酸化物（Ｉｎ２Ｏ３−ＺｎＯ）を用いることができる。ソース電極及びドレイン電極に用いる導電膜は、上記の材料を用いて単層で又は積層して成膜することができる。形成方法も特に限定されず、蒸着法、ＣＶＤ法、スパッタリング法、スピンコート法などの各種成膜方法を用いることができる
【０１５２】
フォトリソグラフィ工程により導電膜上にレジストマスクを形成し、選択的にエッチングを行ってソース電極１０５ａ、ドレイン電極１０５ｂを形成した後、レジストマスクを除去する（図４（Ｄ）参照）。当該フォトリソグラフィ工程におけるレジストマスク形成時の露光には、紫外線やＫｒＦレーザ光やＡｒＦレーザ光を用いることが好ましい。ここで、酸化物半導体膜１０３上で隣り合うソース電極１０５ａの下端部とドレイン電極１０５ｂの下端部との間隔幅によって、後に形成されるトランジスタのチャネル長Ｌが決定される。よって、チャネル長Ｌ＝２５ｎｍ未満の露光を行う場合には、例えば、数ｎｍ〜数１０ｎｍと極めて波長が短い超紫外線（Ｅｘｔｒｅｍｅ Ｕｌｔｒａｖｉｏｌｅｔ）を用いてフォトリソグラフィ工程でのレジストマスク形成時の露光を行うとよい。超紫外線による露光は、解像度が高く焦点深度も大きい。従って、後に形成されるトランジスタのチャネル長Ｌを微細化することが可能であり、回路の動作速度を高速化できる。
【０１５３】
また、フォトリソグラフィ工程で用いるフォトマスク数及び工程数を削減するため、透過した光が複数の強度となる露光マスクである多階調マスクによって形成されたレジストマスクを用いてエッチング工程を行ってもよい。多階調マスクを用いて形成したレジストマスクは複数の膜厚を有する形状となり、エッチングを行うことでさらに形状を変形することができるため、異なるパターンに加工する複数のエッチング工程に用いることができる。よって、一枚の多階調マスクによって、少なくとも二種類以上の異なるパターンに対応するレジストマスクを形成することができる。よって露光マスク数を削減することができ、対応するフォトリソグラフィ工程も削減できるため、工程の簡略化が可能となる。
【０１５４】
なお、導電膜のエッチングの際に、酸化物半導体膜１０３がエッチングされ、分断することのないようエッチング条件を最適化することが望まれる。しかしながら、導電膜のみをエッチングし、酸化物半導体膜１０３を全くエッチングしないという条件を得ることは難しく、導電膜のエッチングの際に酸化物半導体膜１０３は一部のみがエッチングされ、例えば、酸化物半導体膜１０３の膜厚の５％乃至５０％がエッチングされ、溝部（凹部）を有する酸化物半導体膜１０３となることもある。
【０１５５】
次いで、ソース電極１０５ａ、及びドレイン電極１０５ｂを覆い、且つ酸化物半導体膜１０３の一部と接する保護絶縁膜１０９を形成する（図４（Ｅ）参照）。保護絶縁膜１０９としては、無機絶縁膜を用いることが好ましく、酸化シリコン膜、酸化窒化シリコン膜、酸化アルミニウム膜、酸化窒化アルミニウム膜、酸化ガリウム膜、酸化ハフニウム膜などの酸化物絶縁膜を単層、或いは積層して用いればよい。また、上述の酸化物絶縁膜上に、窒化シリコン膜、窒化酸化シリコン膜、窒化アルミニウム膜、窒化酸化アルミニウム膜などの窒化物絶縁膜の単層、或いは積層をさらに形成してもよい。例えば、スパッタリング法を用いて、ソース電極１０５ａ及びドレイン電極１０５ｂ側から順に酸化シリコン膜及び酸化アルミニウム膜の積層を形成する。
【０１５６】
なお、当該工程において、保護絶縁膜１０９を、スパッタリング法を用いて成膜する場合、酸化物半導体膜１０３を成膜する場合と同様に、保護絶縁膜１０９を構成する粒子が酸化物半導体膜１０３に衝突する勢いを弱くすることが有効である。これにより、酸化物半導体膜１０３と保護絶縁膜１０９が接する界面近傍に領域１０３ｃが形成される。これにより、図２（Ａ）および図２（Ｂ）に示すトランジスタ１２０が形成される。ここで、領域１０３ｃは、酸化物半導体膜１０３において、保護絶縁膜１０９との界面から酸化物半導体膜１０３に向けてシリコンが１．０原子％以下の濃度で分布する領域である。領域１０３ｃは、保護絶縁膜１０９との界面からの厚さが５ｎｍ以下の範囲に存在することが好ましい。
【０１５７】
ここで、保護絶縁膜１０９としては、ゲート絶縁膜１０２と同様の絶縁膜を用いることができる。また、シリコンなどの不純物を酸化物半導体膜１０３に混入させないためには、酸化物半導体膜１０３と保護絶縁膜１０９の界面近傍においてミキシングを抑制させればよいため、スパッタリングの時に保護絶縁膜１０９を構成するシリコンが酸化物半導体膜１０３に衝突する勢いを弱くすればよい。例えば、保護絶縁膜１０９の成膜電力を低くする、保護絶縁膜１０９の成膜圧力を高くする、またはＴ−Ｓ間距離を長くする等の方法がある。
【０１５８】
このように、酸化物半導体膜１０３のバックチャネルに当たる領域１０３ｃにおいても、シリコンなどの不純物の濃度を低減させることができる。
【０１５９】
以下、トランジスタ１１０の作製方法と同様の工程でトランジスタ１２０を作製することができる。
【０１６０】
保護絶縁膜１０９の成膜後、酸化物半導体膜１０３に対して熱処理を行うのが好ましい。当該熱処理の温度は、３００℃以上７００℃以下、または基板の歪み点未満とする。
【０１６１】
当該熱処理は、窒素、酸素、超乾燥空気（水の含有量が２０ｐｐｍ以下、好ましくは１ｐｐｍ以下、好ましくは１０ｐｐｂ以下の空気）、または希ガス（アルゴン、ヘリウムなど）の雰囲気下で行えばよいが、上記窒素、酸素、超乾燥空気、または希ガス等の雰囲気に水、水素などが含まれないことが好ましい。また、熱処理装置に導入する窒素、酸素、または希ガスの純度を、６Ｎ（９９．９９９９％）以上好ましくは７Ｎ（９９．９９９９９％）以上（即ち不純物濃度を１ｐｐｍ以下、好ましくは０．１ｐｐｍ以下）とすることが好ましい。
【０１６２】
酸化物半導体膜成膜後の熱処理によって、酸化物半導体を構成する主成分材料の一つである酸素が同時に減少してしまう可能性がある。しかし、当該熱処理において、シリコンを含む酸化物を含む絶縁膜を用いて形成されるゲート絶縁膜１０２より、酸素を酸化物半導体膜１０３へ供給することができるので、酸化物半導体膜１０３の酸素欠損を補完することができる。
【０１６３】
上述のような熱処理を行うことで、酸化物半導体膜１０３を、その主成分以外の不純物が極力含まれないように高純度化することができる。高純度化された酸化物半導体膜１０３中にはドナーに由来するキャリアが極めて少なく（ゼロに近い）、キャリア濃度は１×１０１４／ｃｍ３未満、好ましくは１×１０１２／ｃｍ３未満、さらに好ましくは１×１０１１／ｃｍ３未満である。このようにして、ｉ型（真性）化された酸化物半導体膜１０３を形成することができる。
【０１６４】
以上の工程でトランジスタ１１０が形成される（図４（Ｅ）参照）。トランジスタ１１０は、酸化物半導体膜１０３の領域１０３ａに取り込まれるシリコンなどの不純物の濃度が低減されている。これにより、トランジスタ１１０を、安定した電気特性を有するものとすることができる。
【０１６５】
また、トランジスタ１１０上に平坦化絶縁膜を設けても良い。平坦化絶縁膜としては、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂、ベンゾシクロブテン系樹脂、ポリアミド樹脂、エポキシ樹脂等の、耐熱性を有する有機材料を用いることができる。また上記有機材料の他に、低誘電率材料（ｌｏｗ−ｋ材料）、シロキサン系樹脂、ＰＳＧ（リンガラス）、ＢＰＳＧ（リンボロンガラス）等を用いることができる。なお、これらの材料で形成される絶縁膜を複数積層させてもよい。
【０１６６】
〈トランジスタ１３０の作製工程〉
次に、図５（Ａ）乃至図５（Ｅ）を用いて、図３に示すトランジスタ１３０の作製工程の一例について説明する。
【０１６７】
まず、図４（Ｃ）に示す工程までトランジスタ１１０と同様の方法で、基板１００上にゲート電極１０１、ゲート絶縁膜１０２および、領域１０３ａおよび領域１０３ｂを有する酸化物半導体膜１０３を形成する（図５（Ａ）参照）。基板１００、ゲート電極１０１、ゲート絶縁膜１０２および酸化物半導体膜１０３の詳細については、図４（Ａ）乃至図４（Ｃ）に関する記載を参酌することができる。
【０１６８】
次に、チャネル保護膜に用いる絶縁膜１０７を膜厚５ｎｍ以上３００ｎｍ以下として成膜する（図５（Ｂ）参照）。絶縁膜１０７としては、酸素を含む無機絶縁膜を用いることが好ましく、例えば、酸化シリコン膜、酸化窒化シリコン膜、酸化アルミニウム膜、酸化窒化アルミニウム膜、酸化ガリウム膜、酸化ハフニウム膜などの絶縁膜を用いることができる。また、絶縁膜１０７の作製方法に特に限定はないが、例えば、スパッタリング法、ＭＢＥ法、ＣＶＤ法、パルスレーザ堆積法、ＡＬＤ法等を適宜用いて成膜することができる。
【０１６９】
次に、フォトリソグラフィ工程により絶縁膜１０７上にレジストマスクを形成し、エッチングを行ってチャネル保護膜１０８を形成した後、レジストマスクを除去する（図５（Ｃ）参照）。また、チャネル保護膜１０８を形成するためのレジストマスクをインクジェット法で形成してもよい。レジストマスクをインクジェット法で形成するとフォトマスクを使用しないため、製造コストを低減できる。ここでのチャネル保護膜１０８のエッチングは、ドライエッチングでもウェットエッチングでもよく、両方を用いてもよい。
【０１７０】
ここで、図５（Ｃ）に示すように、チャネル保護膜１０８は端部に１０°以上６０°以下のテーパーを有していることが好ましい。チャネル保護膜１０８をこのような形状とすることにより、チャネル保護膜１０８の下端部近傍における電界集中を緩和することができる。
【０１７１】
このように、酸化物半導体膜１０３上に接してチャネル保護膜１０８を設けることにより、ソース電極１０５ａおよびドレイン電極１０５ｂのエッチングによる酸化物半導体膜１０３のバックチャネル側へのダメージ（例えば、エッチング時のプラズマまたはエッチング剤によるダメージ）を防ぐことができる。これにより、安定した電気特性を有する、酸化物半導体を用いた半導体装置を提供することができる。
【０１７２】
次に、チャネル保護膜１０８および酸化物半導体膜１０３上に、ソース電極及びドレイン電極（これと同じ層で形成される配線を含む）に用いる導電膜を成膜し、フォトリソグラフィ工程により当該導電膜を選択的にエッチングしてソース電極１０５ａおよびドレイン電極１０５ｂを形成する（図５（Ｄ）参照）。当該工程は図４（Ｄ）に示す工程と同様の方法を用いて行うことができるので、ソース電極１０５ａおよびドレイン電極１０５ｂの詳細については、図４（Ｄ）に関する記載を参酌することができる。
【０１７３】
次いで、ソース電極１０５ａ、及びドレイン電極１０５ｂおよびチャネル保護膜１０８を覆って保護絶縁膜１０９を形成する（図５（Ｅ）参照）。当該工程は図４（Ｅ）に示す工程と同様の方法を用いて行うことができるので、保護絶縁膜１０９の詳細については、図４（Ｅ）に関する記載を参酌することができる。
【０１７４】
以上のようにして、酸化物半導体膜を成膜することにより、酸化物半導体膜の被形成面近傍に含まれる不純物の濃度を低減することができる。また、酸化物半導体膜１０３の被形成面近傍まで結晶化させることができるため、酸化物半導体膜１０３の結晶性を向上させることができる。また、酸化物半導体膜１０３をＣＡＡＣ−ＯＳ膜とする場合には、被形成面近傍まで結晶部を形成することができる。なお、結晶部は、酸化物半導体膜１０３とゲート絶縁膜１０２との界面、または酸化物半導体膜１０３と保護絶縁膜１０９との界面に対してｃ軸が垂直な方向に揃っている。このような酸化物半導体膜を用いることにより、安定した電気特性を有する半導体装置を提供することができる。
【０１７５】
以上、本実施の形態に示す構成、方法などは、他の実施の形態に示す構成、方法などと適宜組み合わせて用いることができる。
【０１７６】
（実施の形態２）
実施の形態１で例示したトランジスタを用いて表示機能を有する半導体装置（表示装置ともいう）を作製することができる。また、トランジスタを含む駆動回路の一部または全体を、画素部と同じ基板上に一体形成し、システムオンパネルを形成することができる。
【０１７７】
図９（Ａ）において、第１の基板４００１上に設けられた画素部４００２を囲むようにして、シール材４００５が設けられ、第２の基板４００６によって封止されている。図９（Ａ）においては、第１の基板４００１上のシール材４００５によって囲まれている領域とは異なる領域に、別途用意された基板上に単結晶半導体膜又は多結晶半導体膜で形成された走査線駆動回路４００４、信号線駆動回路４００３が実装されている。また、別途形成された信号線駆動回路４００３と、走査線駆動回路４００４または画素部４００２に与えられる各種信号及び電位は、ＦＰＣ（Ｆｌｅｘｉｂｌｅ ｐｒｉｎｔｅｄ ｃｉｒｃｕｉｔ）４０１８ａ、４０１８ｂから供給されている。
【０１７８】
図９（Ｂ）及び図９（Ｃ）において、第１の基板４００１上に設けられた画素部４００２と、走査線駆動回路４００４とを囲むようにして、シール材４００５が設けられている。また画素部４００２と、走査線駆動回路４００４の上に第２の基板４００６が設けられている。よって画素部４００２と、走査線駆動回路４００４とは、第１の基板４００１とシール材４００５と第２の基板４００６とによって、表示素子と共に封止されている。図９（Ｂ）及び図９（Ｃ）においては、第１の基板４００１上のシール材４００５によって囲まれている領域とは異なる領域に、別途用意された基板上に単結晶半導体膜又は多結晶半導体膜で形成された信号線駆動回路４００３が実装されている。図９（Ｂ）及び図９（Ｃ）においては、別途形成された信号線駆動回路４００３と、走査線駆動回路４００４または画素部４００２に与えられる各種信号及び電位は、ＦＰＣ４０１８から供給されている。
【０１７９】
また、図９（Ｂ）及び図９（Ｃ）においては、信号線駆動回路４００３を別途形成し、第１の基板４００１に実装している例を示しているが、この構成に限定されない。走査線駆動回路を別途形成して実装しても良いし、信号線駆動回路の一部または走査線駆動回路の一部のみを別途形成して実装しても良い。
【０１８０】
なお、別途形成した駆動回路の接続方法は、特に限定されるものではなく、ＣＯＧ（Ｃｈｉｐ Ｏｎ Ｇｌａｓｓ）方法、ワイヤボンディング方法、或いはＴＡＢ（Ｔａｐｅ Ａｕｔｏｍａｔｅｄ Ｂｏｎｄｉｎｇ）方法などを用いることができる。図９（Ａ）は、ＣＯＧ方法により信号線駆動回路４００３、走査線駆動回路４００４を実装する例であり、図９（Ｂ）は、ＣＯＧ方法により信号線駆動回路４００３を実装する例であり、図９（Ｃ）は、ＴＡＢ方法により信号線駆動回路４００３を実装する例である。
【０１８１】
また、表示装置は、表示素子が封止された状態にあるパネルと、該パネルにコントローラを含むＩＣ等を実装した状態にあるモジュールとを含む。
【０１８２】
なお、本明細書中における表示装置とは、画像表示デバイス、表示デバイス、もしくは光源（照明装置含む）を指す。
【０１８３】
また、コネクター、例えばＦＰＣもしくはＴＡＢテープもしくはＴＣＰが取り付けられたモジュール、ＴＡＢテープやＴＣＰの先にプリント配線板が設けられたモジュール、または表示素子にＣＯＧ方式によりＩＣ（集積回路）が直接実装されたモジュールも全て表示装置に含むものとする。
【０１８４】
また、第１の基板上に設けられた画素部及び走査線駆動回路は、トランジスタを複数有しており、実施の形態１に例示したトランジスタを適用することができる。
【０１８５】
表示装置に設けられる表示素子としては液晶素子（液晶表示素子ともいう）、発光素子（発光表示素子ともいう）、を用いることができる。発光素子は、電流または電圧によって輝度が制御される素子をその範疇に含んでおり、具体的には無機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）、有機ＥＬ等が含まれる。また、電子インクなど、電気的作用によりコントラストが変化する表示媒体も適用することができる。
【０１８６】
半導体装置の一形態について、図１０乃至図１２を用いて説明する。図１０乃至図１２は、図９（Ｂ）のＭ−Ｎにおける断面図に相当する。
【０１８７】
図１０乃至図１２で示すように、半導体装置は接続端子電極４０１５及び端子電極４０１６を有しており、接続端子電極４０１５及び端子電極４０１６はＦＰＣ４０１８が有する端子と異方性導電膜４０１９を介して、電気的に接続されている。
【０１８８】
接続端子電極４０１５は、第１の電極層４０３０と同じ導電膜から形成され、端子電極４０１６は、トランジスタ４０１０、トランジスタ４０１１のソース電極及びドレイン電極と同じ導電膜で形成されている。
【０１８９】
また、第１の基板４００１上に設けられた画素部４００２と、走査線駆動回路４００４は、トランジスタを複数有しており、図１０乃至図１２では、画素部４００２に含まれるトランジスタ４０１０と、走査線駆動回路４００４に含まれるトランジスタ４０１１とを例示している。
【０１９０】
本実施の形態では、トランジスタ４０１０、トランジスタ４０１１として、実施の形態１で示したトランジスタを適用することができる。トランジスタ４０１０、トランジスタ４０１１は、電気的特性変動が抑制されており、電気的に安定である。よって、図１０乃至図１２で示す本実施の形態の半導体装置として信頼性の高い半導体装置を提供することができる。
【０１９１】
走査線駆動回路４００４に含まれるトランジスタ４０１１は、絶縁膜４０３４上に第２のゲート電極を設ける構造である。第２のゲート電極に印加される電圧を制御することにより、トランジスタ４０１１のしきい値電圧を制御することができる。
【０１９２】
画素部４００２に設けられたトランジスタ４０１０は表示素子と電気的に接続し、表示パネルを構成する。表示素子は表示を行うことができれば特に限定されず、様々な表示素子を用いることができる。
【０１９３】
図１０に表示素子として液晶素子を用いた液晶表示装置の例を示す。図１０において、表示素子である液晶素子４０１３は、第１の電極層４０３０、第２の電極層４０３１、及び液晶層４００８を含む。なお、液晶層４００８を挟持するように配向膜として機能する絶縁膜４０３２、絶縁膜４０３３が設けられている。第２の電極層４０３１は第２の基板４００６側に設けられ、第１の電極層４０３０と第２の電極層４０３１とは液晶層４００８を介して積層する構成となっている。
【０１９４】
また、４０３５は絶縁膜を選択的にエッチングすることで得られる柱状のスペーサであり、液晶層４００８の膜厚（セルギャップ）を制御するために設けられている。なお、球状のスペーサを用いていても良い。
【０１９５】
表示素子として、液晶素子を用いる場合、サーモトロピック液晶、低分子液晶、高分子液晶、高分子分散型液晶、強誘電性液晶、反強誘電性液晶等を用いることができる。これらの液晶材料は、条件により、コレステリック相、スメクチック相、キュービック相、カイラルネマチック相、等方相等を示す。
【０１９６】
また、配向膜を用いないブルー相を示す液晶を用いてもよい。ブルー相は液晶相の一つであり、コレステリック液晶を昇温していくと、コレステリック相から等方相へ転移する直前に発現する相である。ブルー相は狭い温度範囲でしか発現しないため、温度範囲を改善するために数重量％以上のカイラル剤を混合させた液晶組成物を用いて液晶層に用いる。ブルー相を示す液晶とカイラル剤とを含む液晶組成物は、応答速度が１ｍｓｅｃ以下と短く、光学的等方性であるため配向処理が不要であり、視野角依存性が小さい。また、配向膜を設けなくてもよいのでラビング処理も不要となるため、ラビング処理によって引き起こされる静電破壊を防止することができ、作製工程中の液晶表示装置の不良や破損を軽減することができる。よって、液晶表示装置の生産性を向上させることが可能となる。
【０１９７】
また、液晶材料の固有抵抗率は、１×１０９Ω・ｃｍ以上であり、好ましくは１×１０１１Ω・ｃｍ以上であり、さらに好ましくは１×１０１２Ω・ｃｍ以上である。なお、本明細書における固有抵抗率の値は、２０℃で測定した値とする。
【０１９８】
液晶表示装置に設けられる保持容量の大きさは、画素部に配置されるトランジスタのリーク電流等を考慮して、所定の期間の間電荷を保持できるように設定される。高純度の酸化物半導体膜を有するトランジスタを用いることにより、各画素における液晶容量に対して１／３以下、好ましくは１／５以下の容量の大きさを有する保持容量を設ければ充分である。
【０１９９】
本実施の形態で用いる高純度化された酸化物半導体膜を用いたトランジスタは、オフ状態における電流値（オフ電流値）を低くすることができる。よって、画像信号等の電気信号の保持時間を長くすることができ、電源オン状態では書き込み間隔も長く設定できる。よって、リフレッシュ動作の頻度を少なくすることができるため、消費電力を抑制する効果を奏する。
【０２００】
また、本実施の形態で用いる高純度化された酸化物半導体膜を用いたトランジスタは、比較的高い電界効果移動度が得られるため、高速駆動が可能である。よって、液晶表示装置の画素部に上記トランジスタを用いることで、高画質な画像を提供することができる。また、上記トランジスタは、同一基板上に駆動回路部または画素部に作り分けて作製することができるため、液晶表示装置の部品点数を削減することができる。
【０２０１】
液晶表示装置には、ＴＮ（Ｔｗｉｓｔｅｄ Ｎｅｍａｔｉｃ）モード、ＩＰＳ（Ｉｎ−Ｐｌａｎｅ−Ｓｗｉｔｃｈｉｎｇ）モード、ＦＦＳ（Ｆｒｉｎｇｅ Ｆｉｅｌｄ Ｓｗｉｔｃｈｉｎｇ）モード、ＡＳＭ（Ａｘｉａｌｌｙ Ｓｙｍｍｅｔｒｉｃ ａｌｉｇｎｅｄ Ｍｉｃｒｏ−ｃｅｌｌ）モード、ＯＣＢ（Ｏｐｔｉｃａｌ Ｃｏｍｐｅｎｓａｔｅｄ Ｂｉｒｅｆｒｉｎｇｅｎｃｅ）モード、ＦＬＣ（Ｆｅｒｒｏｅｌｅｃｔｒｉｃ Ｌｉｑｕｉｄ Ｃｒｙｓｔａｌ）モード、ＡＦＬＣ（ＡｎｔｉＦｅｒｒｏｅｌｅｃｔｒｉｃ Ｌｉｑｕｉｄ Ｃｒｙｓｔａｌ）モードなどを用いることができる。
【０２０２】
また、ノーマリーブラック型の液晶表示装置、例えば垂直配向（ＶＡ）モードを採用した透過型の液晶表示装置としてもよい。ここで、垂直配向モードとは、液晶表示パネルの液晶分子の配列を制御する方式の一種であり、電圧が印加されていないときにパネル面に対して液晶分子が垂直方向を向く方式である。垂直配向モードとしては、いくつか挙げられるが、例えば、ＭＶＡ（Ｍｕｌｔｉ−Ｄｏｍａｉｎ Ｖｅｒｔｉｃａｌ Ａｌｉｇｎｍｅｎｔ）モード、ＰＶＡ（Ｐａｔｔｅｒｎｅｄ Ｖｅｒｔｉｃａｌ Ａｌｉｇｎｍｅｎｔ）モード、ＡＳＶモード（Ａｄｖａｎｃｅｄ Ｓｕｐｅｒ−Ｖｉｅｗ）などを用いることができる。また、画素（ピクセル）をいくつかの領域（サブピクセル）に分け、それぞれ別の方向に分子を倒すよう工夫されているマルチドメイン化あるいはマルチドメイン設計といわれる方法を用いることができる。
【０２０３】
また、表示装置において、ブラックマトリクス（遮光層）、偏光部材、位相差部材、反射防止部材などの光学部材（光学基板）などは適宜設ける。例えば、偏光基板及び位相差基板による円偏光を用いてもよい。また、光源としてバックライト、サイドライトなどを用いてもよい。
【０２０４】
また、バックライトとして複数の発光ダイオード（ＬＥＤ）を用いて、時間分割表示方式（フィールドシーケンシャル駆動方式）を行うことも可能である。フィールドシーケンシャル駆動方式を適用することで、カラーフィルタを用いることなく、カラー表示を行うことができる。
【０２０５】
また、画素部における表示方式は、プログレッシブ方式やインターレース方式等を用いることができる。また、カラー表示する際に画素で制御する色要素としては、ＲＧＢ（Ｒは赤、Ｇは緑、Ｂは青を表す）の三色に限定されない。例えば、ＲＧＢＷ（Ｗは白を表す）、又はＲＧＢに、イエロー、シアン、マゼンタ等を一色以上追加したものがある。なお、色要素のドット毎にその表示領域の大きさが異なっていてもよい。ただし、本発明の一態様はカラー表示の表示装置に限定されるものではなく、モノクロ表示の表示装置に適用することもできる。
【０２０６】
また、表示装置に含まれる表示素子として、エレクトロルミネッセンスを利用する発光素子を適用することができる。エレクトロルミネッセンスを利用する発光素子は、発光材料が有機化合物であるか、無機化合物であるかによって区別され、一般的に、前者は有機ＥＬ素子、後者は無機ＥＬ素子と呼ばれている。
【０２０７】
有機ＥＬ素子は、発光素子に電圧を印加することにより、一対の電極から電子および正孔がそれぞれ発光性の有機化合物を含む層に注入され、電流が流れる。そして、それらキャリア（電子および正孔）が再結合することにより、発光性の有機化合物が励起状態を形成し、その励起状態が基底状態に戻る際に発光する。このようなメカニズムから、このような発光素子は、電流励起型の発光素子と呼ばれる。
【０２０８】
無機ＥＬ素子は、その素子構成により、分散型無機ＥＬ素子と薄膜型無機ＥＬ素子とに分類される。分散型無機ＥＬ素子は、発光材料の粒子をバインダ中に分散させた発光層を有するものであり、発光メカニズムはドナー準位とアクセプター準位を利用するドナー−アクセプター再結合型発光である。薄膜型無機ＥＬ素子は、発光層を誘電体層で挟み込み、さらにそれを電極で挟んだ構造であり、発光メカニズムは金属イオンの内殻電子遷移を利用する局在型発光である。なお、ここでは、発光素子として有機ＥＬ素子を用いて説明する。
【０２０９】
発光素子は発光を取り出すために少なくとも一対の電極の一方が透明であればよい。そして、基板上にトランジスタ及び発光素子を形成し、基板とは逆側の面から発光を取り出す上面射出や、基板側の面から発光を取り出す下面射出や、基板側及び基板とは反対側の面から発光を取り出す両面射出構造の発光素子があり、どの射出構造の発光素子も適用することができる。
【０２１０】
図１１に表示素子として発光素子を用いた発光装置の例を示す。表示素子である発光素子４５１３は、画素部４００２に設けられたトランジスタ４０１０と電気的に接続している。なお発光素子４５１３の構成は、第１の電極層４０３０、電界発光層４５１１、第２の電極層４０３１の積層構造であるが、示した構成に限定されない。発光素子４５１３から取り出す光の方向などに合わせて、発光素子４５１３の構成は適宜変えることができる。
【０２１１】
隔壁４５１０は、有機絶縁材料、又は無機絶縁材料を用いて形成する。特に感光性の樹脂材料を用い、第１の電極層４０３０上に開口部を形成し、その開口部の側壁が連続した曲率を持って形成される傾斜面となるように形成することが好ましい。
【０２１２】
電界発光層４５１１は、単数の層で構成されていても、複数の層が積層されるように構成されていてもどちらでも良い。
【０２１３】
発光素子４５１３に酸素、水素、水分、二酸化炭素等が侵入しないように、第２の電極層４０３１及び隔壁４５１０上に保護膜を形成してもよい。保護膜としては、窒化シリコン膜、窒化酸化シリコン膜、ＤＬＣ膜等を形成することができる。また、第１の基板４００１、第２の基板４００６、及びシール材４００５によって封止された空間には充填材４５１４が設けられ密封されている。このように外気に曝されないように気密性が高く、脱ガスの少ない保護フィルム（貼り合わせフィルム、紫外線硬化樹脂フィルム等）やカバー材でパッケージング（封入）することが好ましい。
【０２１４】
充填材４５１４としては窒素やアルゴンなどの不活性な気体の他に、紫外線硬化樹脂または熱硬化樹脂を用いることができ、ＰＶＣ（ポリビニルクロライド）、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂、エポキシ樹脂、シリコーン樹脂、ＰＶＢ（ポリビニルブチラル）またはＥＶＡ（エチレンビニルアセテート）を用いることができる。例えば充填材として窒素を用いればよい。
【０２１５】
また、必要であれば、発光素子の射出面に偏光板、又は円偏光板（楕円偏光板を含む）、位相差板（λ／４板、λ／２板）、カラーフィルタなどの光学フィルムを適宜設けてもよい。また、偏光板又は円偏光板に反射防止膜を設けてもよい。例えば、表面の凹凸により反射光を拡散し、映り込みを低減できるアンチグレア処理を施すことができる。
【０２１６】
また、表示装置として、電子インクを駆動させる電子ペーパーを提供することも可能である。電子ペーパーは、電気泳動表示装置（電気泳動ディスプレイ）とも呼ばれており、紙と同じ読みやすさ、他の表示装置に比べ低消費電力、薄くて軽い形状とすることが可能という利点を有している。
【０２１７】
電気泳動表示装置は、様々な形態が考えられ得るが、プラスの電荷を有する第１の粒子と、マイナスの電荷を有する第２の粒子とを含むマイクロカプセルが溶媒または溶質に複数分散されたものであり、マイクロカプセルに電界を印加することによって、マイクロカプセル中の粒子を互いに反対方向に移動させて一方側に集合した粒子の色のみを表示するものである。なお、第１の粒子または第２の粒子は染料を含み、電界がない場合において移動しないものである。また、第１の粒子の色と第２の粒子の色は異なるもの（無色を含む）とする。
【０２１８】
このように、電気泳動表示装置は、誘電定数の高い物質が高い電界領域に移動する、いわゆる誘電泳動的効果を利用したディスプレイである。
【０２１９】
上記マイクロカプセルを溶媒中に分散させたものが電子インクと呼ばれるものであり、この電子インクはガラス、プラスチック、布、紙などの表面に印刷することができる。また、カラーフィルタや色素を有する粒子を用いることによってカラー表示も可能である。
【０２２０】
なお、マイクロカプセル中の第１の粒子および第２の粒子は、導電体材料、絶縁体材料、半導体材料、磁性材料、液晶材料、強誘電性材料、エレクトロルミネセント材料、エレクトロクロミック材料、磁気泳動材料から選ばれた一種の材料、またはこれらの複合材料を用いればよい。
【０２２１】
また、電子ペーパーとして、ツイストボール表示方式を用いる表示装置も適用することができる。ツイストボール表示方式とは、白と黒に塗り分けられた球形粒子を表示素子に用いる電極層である第１の電極層及び第２の電極層の間に配置し、第１の電極層及び第２の電極層に電位差を生じさせての球形粒子の向きを制御することにより、表示を行う方法である。
【０２２２】
図１２に、半導体装置の一形態としてアクティブマトリクス型の電子ペーパーを示す。図１２の電子ペーパーは、ツイストボール表示方式を用いた表示装置の例である。
【０２２３】
トランジスタ４０１０と接続する第１の電極層４０３０と、第２の基板４００６に設けられた第２の電極層４０３１との間には黒色領域４６１５ａ及び白色領域４６１５ｂを有し、周りに液体で満たされているキャビティ４６１２を含む球形粒子４６１３が設けられており、球形粒子４６１３の周囲は樹脂等の充填材４６１４で充填されている。第２の電極層４０３１が共通電極（対向電極）に相当する。第２の電極層４０３１は、共通電位線と電気的に接続される。
【０２２４】
なお、図１０乃至図１２において、第１の基板４００１、第２の基板４００６としては、ガラス基板の他、可撓性を有する基板も用いることができ、例えば透光性を有するプラスチック基板などを用いることができる。プラスチックとしては、ＦＲＰ（Ｆｉｂｅｒｇｌａｓｓ−Ｒｅｉｎｆｏｒｃｅｄ Ｐｌａｓｔｉｃｓ）板、ＰＶＦ（ポリビニルフルオライド）フィルム、ポリエステルフィルムまたはアクリル樹脂フィルムを用いることができる。また、アルミニウムホイルをＰＶＦフィルムやポリエステルフィルムで挟んだ構造のシートを用いることもできる。
【０２２５】
絶縁層４０２１は、無機絶縁材料又は有機絶縁材料を用いて形成することができる。なお、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂、ベンゾシクロブテン樹脂、ポリアミド樹脂、エポキシ樹脂等の、耐熱性を有する有機絶縁材料を用いると、平坦化絶縁膜として好適である。また、上記有機絶縁材料の他に、低誘電率材料（ｌｏｗ−ｋ材料）、シロキサン系樹脂、ＰＳＧ（リンガラス）、ＢＰＳＧ（リンボロンガラス）等を用いることができる。なお、これらの材料で形成される絶縁膜を複数積層させることで、絶縁層を形成してもよい。
【０２２６】
絶縁層４０２１の形成法は、特に限定されず、その材料に応じて、スパッタリング法、スピンコート法、ディッピング法、スプレー塗布、液滴吐出法（インクジェット法等）、印刷法（スクリーン印刷、オフセット印刷等）、ロールコーティング、カーテンコーティング、ナイフコーティング等を用いることができる。
【０２２７】
表示装置は光源又は表示素子からの光を透過させて表示を行う。よって、光が透過する画素部に設けられる基板、絶縁膜、導電膜などの薄膜はすべて可視光の波長領域の光に対して透光性とする。
【０２２８】
表示素子に電圧を印加する第１の電極層４０３０及び第２の電極層４０３１（画素電極層、共通電極層、対向電極層などともいう）においては、取り出す光の方向、電極層が設けられる場所、及び電極層のパターン構造によって透光性、反射性を選択すればよい。
【０２２９】
第１の電極層４０３０、第２の電極層４０３１は、酸化タングステンを含むインジウム酸化物、酸化タングステンを含むインジウム亜鉛酸化物、酸化チタンを含むインジウム酸化物、酸化チタンを含むインジウム錫酸化物、インジウム錫酸化物（以下、ＩＴＯと示す。）、インジウム亜鉛酸化物、酸化ケイ素を添加したインジウム錫酸化物などの透光性を有する導電性材料を用いることができる。
【０２３０】
また、第１の電極層４０３０、第２の電極層４０３１はタングステン（Ｗ）、モリブデン（Ｍｏ）、ジルコニウム（Ｚｒ）、ハフニウム（Ｈｆ）、バナジウム（Ｖ）、ニオブ（Ｎｂ）、タンタル（Ｔａ）、クロム（Ｃｒ）、コバルト（Ｃｏ）、ニッケル（Ｎｉ）、チタン（Ｔｉ）、白金（Ｐｔ）、アルミニウム（Ａｌ）、銅（Ｃｕ）、銀（Ａｇ）等の金属、又はその合金、若しくはその窒化物から一つ、又は複数種を用いて形成することができる。
【０２３１】
また、第１の電極層４０３０、第２の電極層４０３１として、導電性高分子（導電性ポリマーともいう）を含む導電性組成物を用いて形成することができる。導電性高分子としては、いわゆるπ電子共役系導電性高分子が用いることができる。例えば、ポリアニリンまたはその誘導体、ポリピロールまたはその誘導体、ポリチオフェンまたはその誘導体、若しくはアニリン、ピロールおよびチオフェンの２種以上からなる共重合体またはその誘導体などがあげられる。
【０２３２】
また、トランジスタは静電気などにより破壊されやすいため、駆動回路保護用の保護回路を設けることが好ましい。保護回路は、非線形素子を用いて構成することが好ましい。
【０２３３】
以上のように実施の形態１で例示したトランジスタを適用することで、信頼性の高い半導体装置を提供することができる。なお、実施の形態１で例示したトランジスタは上述の表示機能を有する半導体装置のみでなく、電源回路に搭載されるパワーデバイス、ＬＳＩ等の半導体集積回路、対象物の情報を読み取るイメージセンサ機能を有する半導体装置など様々な機能を有する半導体装置に適用することが可能である。
【０２３４】
以上、本実施の形態に示す構成、方法などは、他の実施の形態に示す構成、方法などと適宜組み合わせて用いることができる。
【０２３５】
（実施の形態３）
本明細書等に開示する半導体装置は、さまざまな電子機器（遊技機も含む）に適用することができる。電子機器としては、例えば、テレビジョン装置（テレビ、またはテレビジョン受信機ともいう）、コンピュータ用などのモニタ、デジタルカメラ、デジタルビデオカメラ等のカメラ、デジタルフォトフレーム、携帯電話機（携帯電話、携帯電話装置ともいう）、携帯型ゲーム機、携帯情報端末、音響再生装置、パチンコ機などの大型ゲーム機などが挙げられる。上記実施の形態で説明した液晶表示装置を具備する電子機器の例について説明する。
【０２３６】
図１３（Ａ）は、ノート型のパーソナルコンピュータであり、本体３００１、筐体３００２、表示部３００３、キーボード３００４などによって構成されている。実施の形態１または２で示した半導体装置を適用することにより、信頼性の高いノート型のパーソナルコンピュータとすることができる。
【０２３７】
図１３（Ｂ）は、携帯情報端末（ＰＤＡ）であり、本体３０２１には表示部３０２３と、外部インターフェイス３０２５と、操作ボタン３０２４等が設けられている。また操作用の付属品としてスタイラス３０２２がある。実施の形態１または２で示した半導体装置を適用することにより、信頼性の高い携帯情報端末（ＰＤＡ）とすることができる。
【０２３８】
図１３（Ｃ）は、電子書籍の一例を示している。例えば、電子書籍２７００は、筐体２７０１および筐体２７０３の２つの筐体で構成されている。筐体２７０１および筐体２７０３は、軸部２７１１により一体とされており、該軸部２７１１を軸として開閉動作を行うことができる。このような構成により、紙の書籍のような動作を行うことが可能となる。
【０２３９】
筐体２７０１には表示部２７０５が組み込まれ、筐体２７０３には表示部２７０７が組み込まれている。表示部２７０５および表示部２７０７は、続き画面を表示する構成としてもよいし、異なる画面を表示する構成としてもよい。異なる画面を表示する構成とすることで、例えば右側の表示部（図１３（Ｃ）では表示部２７０５）に文章を表示し、左側の表示部（図１３（Ｃ）では表示部２７０７）に画像を表示することができる。実施の形態１または２で示した半導体装置を適用することにより、信頼性の高い電子書籍２７００とすることができる。
【０２４０】
また、図１３（Ｃ）では、筐体２７０１に操作部などを備えた例を示している。例えば、筐体２７０１において、電源２７２１、操作キー２７２３、スピーカー２７２５などを備えている。操作キー２７２３により、頁を送ることができる。なお、筐体の表示部と同一面にキーボードやポインティングデバイスなどを備える構成としてもよい。また、筐体の裏面や側面に、外部接続用端子（イヤホン端子、ＵＳＢ端子など）、記録媒体挿入部などを備える構成としてもよい。さらに、電子書籍２７００は、電子辞書としての機能を持たせた構成としてもよい。
【０２４１】
また、電子書籍２７００は、無線で情報を送受信できる構成としてもよい。無線により、電子書籍サーバから、所望の書籍データなどを購入し、ダウンロードする構成とすることも可能である。
【０２４２】
図１３（Ｄ）は、スマートフォンであり、筐体２８００と、ボタン２８０１と、マイクロフォン２８０２と、タッチパネルを備えた表示部２８０３と、スピーカー２８０４と、カメラ用レンズ２８０５と、を具備し、携帯型電話機としての機能を有する。実施の形態１または２で示した半導体装置を適用することにより、信頼性の高いスマートフォンとすることができる。
【０２４３】
表示部２８０３は、使用形態に応じて表示の方向が適宜変化する。また、表示部２８０３と同一面上にカメラ用レンズ２８０５を備えているため、テレビ電話が可能である。スピーカー２８０４及びマイクロフォン２８０２は音声通話に限らず、テレビ電話、録音、再生などが可能である。
【０２４４】
また、外部接続端子２８０６はＡＣアダプタ及びＵＳＢケーブルなどの各種ケーブルと接続可能であり、充電及びパーソナルコンピュータなどとのデータ通信が可能である。また、外部メモリスロット（図示せず）に記録媒体を挿入し、より大量のデータ保存及び移動に対応できる。
【０２４５】
また、上記機能に加えて、赤外線通信機能、テレビ受信機能などを備えたものであってもよい。
【０２４６】
図１３（Ｅ）は、デジタルビデオカメラであり、本体３０５１、表示部（Ａ）３０５７、接眼部３０５３、操作スイッチ３０５４、表示部（Ｂ）３０５５、バッテリー３０５６などによって構成されている。実施の形態１または２で示した半導体装置を適用することにより、信頼性の高いデジタルビデオカメラとすることができる。
【０２４７】
図１３（Ｆ）は、テレビジョン装置の一例を示している。テレビジョン装置９６００は、筐体９６０１に表示部９６０３が組み込まれている。表示部９６０３により、映像を表示することが可能である。また、ここでは、スタンド９６０５により筐体９６０１を支持した構成を示している。実施の形態１または２で示した半導体装置を適用することにより、信頼性の高いテレビジョン装置９６００とすることができる。
【０２４８】
テレビジョン装置９６００の操作は、筐体９６０１が備える操作スイッチや、別体のリモコン操作機により行うことができる。また、リモコン操作機に、当該リモコン操作機から出力する情報を表示する表示部を設ける構成としてもよい。
【０２４９】
なお、テレビジョン装置９６００は、受信機やモデムなどを備えた構成とする。受信機により一般のテレビ放送の受信を行うことができ、さらにモデムを介して有線または無線による通信ネットワークに接続することにより、一方向（送信者から受信者）または双方向（送信者と受信者間、あるいは受信者間同士など）の情報通信を行うことも可能である。
【０２５０】
以上、本実施の形態に示す構成、方法などは、他の実施の形態に示す構成、方法などと適宜組み合わせて用いることができる。
【実施例１】
【０２５１】
本実施例では、酸化物ターゲット中に含まれるシリコンの濃度について、ＳＩＭＳ測定を行った結果について説明する。
【０２５２】
まず、本実施例で用いた酸化物ターゲットについて説明する。
【０２５３】
サンプルＡとして、Ｉｎ−Ｇａ−Ｚｎ系酸化物ターゲット（原子数比がＩｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝２：１：３）を用い、サンプルＢとしてＩｎ−Ｇａ−Ｚｎ系酸化物ターゲット（原子数比がＩｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝３：１：２）、サンプルＣとして、Ｉｎ−Ｓｎ−Ｚｎ系酸化物（原子数比がＩｎ：Ｓｎ：Ｚｎ＝２：１：３）を用いた。また、標準サンプルＤとして、シリコンが添加されたＩｎ−Ｇａ−Ｚｎ系酸化物ターゲット（原子数比がＩｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝１：１：１）を用いた。
【０２５４】
サンプルＡ、サンプルＢ、サンプルＣ、及び標準サンプルＤに対して、ＳＩＭＳ測定を行うことにより、各サンプルに含まれるシリコンの濃度を調べた。
【０２５５】
図１４に、サンプルＡ乃至サンプルＣ、及び標準サンプルＤのＳＩＭＳ測定の結果を示す。
【０２５６】
図１４に示すように、サンプルＡのシリコンの濃度は、４×１０１８ａｔｏｍｓ／ｃｍ３、サンプルＢのシリコンの濃度は、３×１０１７ａｔｏｍｓ／ｃｍ３、サンプルＣのシリコンの濃度は、２×１０１７ａｔｏｍｓ／ｃｍ３、標準サンプルＤのシリコンの濃度は、２×１０１８ａｔｏｍｓ／ｃｍ３であることがわかった。なお、サンプルＡ乃至サンプルＣのＳＩＭＳ測定結果は、標準サンプルＤにより定量した結果である。
【０２５７】
上述のデータは、サンプルＡ乃至サンプルＣ、及び標準サンプルＤのターゲットを用いて酸化物半導体膜を成膜した際に、ターゲット中に含まれるシリコン以外のシリコン（例えば、ミキシングにより混入した絶縁膜中のシリコン）が酸化物半導体膜中に含まれるか否かを判断する材料として用いることができる。
【０２５８】
例えば、ターゲットとしてサンプルＡ（Ｉｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝２：１：３（原子数比）である酸化物ターゲット）を用いて成膜した酸化物半導体膜において、膜中のシリコン濃度が４×１０１８ａｔｏｍｓ／ｃｍ３より高い場合、ターゲット以外の部分からシリコンが混入されていると判断できる。
【実施例２】
【０２５９】
上述の実施の形態において、酸化物半導体膜中への絶縁膜構成元素の混入は、酸化物半導体膜を成膜する際に生じるミキシングが原因であると記載したが、酸化物半導体膜を成膜後に基板を加熱処理することで、絶縁膜構成元素が酸化物半導体中に拡散している可能性も考えられる。そこで、本実施例では、酸化物半導体膜中への絶縁膜構成元素の混入が熱拡散に起因するかを調査した実験についての説明を行う。
【０２６０】
実験内容は、まず、基板上に絶縁膜および酸化物半導体膜を形成した構造の基板を３つ準備した後、熱処理を行わないサンプル（以下、サンプルＥと呼称する。）、４５０℃の熱処理を行ったサンプル（以下、サンプルＦと呼称する。）、６５０℃の熱処理を行ったサンプル（以下、サンプルＧと呼称する。）を作製した。そして、各サンプルについて、飛行時間型二次イオン質量分析法（ＴｏＦ−ＳＩＭＳ：Ｔｉｍｅ−ｏｆ−Ｆｌｉｇｈｔ Ｓｅｃｏｎｄａｒｙ Ｉｏｎ Ｍａｓｓ Ｓｐｅｃｔｒｏｍｅｔｅｒ）を用いて、酸化物半導体膜中のゲート絶縁膜との界面近傍におけるシリコン濃度を測定した。
【０２６１】
まず、ＴｏＦ−ＳＩＭＳ測定に用いたサンプルの構造を図１５に示す。
【０２６２】
図１５に示すサンプルは、シリコン基板２００上に酸化シリコン膜２０２を成膜し、化学機械研磨（ＣＭＰ：Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｐｏｌｉｓｈｉｎｇ）装置を用いて表面の平坦性を高め、ＩＧＺＯ膜２０４を成膜し、最後に熱処理を行ったものである。
【０２６３】
酸化シリコン膜２０２は、スパッタリング装置を用いて成膜した。酸化シリコン膜２０２の成膜条件は、基板温度：１００℃、ガス流量：Ａｒ／Ｏ２＝２５ｓｃｃｍ／２５ｓｃｃｍ、成膜電力：１．５ｋＷ（ＲＦ電源）、成膜圧力：０．４Ｐａ、膜厚：３００ｎｍとした。なお、スパッタリングターゲットとしては、酸化シリコンターゲットを用いた。なお、酸化シリコン膜２０２を形成する前に、希弗酸にてシリコン基板２００表面に形成された酸化膜を除去した。
【０２６４】
ＩＧＺＯ膜２０４は、スパッタリング装置を用いて成膜した。ＩＧＺＯ膜２０４の成膜条件は、基板温度：２００℃、ガス流量：Ａｒ／Ｏ２＝３０ｓｃｃｍ／１５ｓｃｃｍ、成膜電力：０．５ｋＷ（ＤＣ電源）、成膜圧力：０．４Ｐａ、膜厚：１５ｎｍとした。なお、スパッタリングターゲットとしては、Ｉｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝３：１：２［原子数比］の酸化物ターゲットを用いた。
【０２６５】
熱処理は、抵抗発熱体などを用いた電気炉に基板を導入して加熱処理を行った。処理条件は、サンプルＦについては、加熱温度：４５０℃、加熱時間：１時間とし、サンプルＧについては、加熱温度：６５０℃、加熱時間：１時間とした。なお、加熱雰囲気は、両サンプルとも窒素および酸素の混合雰囲気とした。また、サンプルＥは、加熱処理を行っていない。
【０２６６】
次に、サンプルＥ乃至サンプルＧに対して、基板表面側（ＩＧＺＯ膜２０４側）からＴｏＦ−ＳＩＭＳ測定を行い、酸化シリコン膜との界面近傍におけるＩＧＺＯ膜中のシリコン濃度を測定した。結果を図１６に示す。
【０２６７】
図１６より、全てのサンプルにおいて、酸化シリコン膜界面近傍の酸化物半導体膜中のシリコン濃度は、実施例１にて記載したＩｎ−Ｇａ−Ｚｎ系酸化物ターゲット（原子数比がＩｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝３：１：２）中に含まれるシリコン濃度である３×１０１７ａｔｏｍｓ／ｃｍ３よりも高くなっていることが確認できる。したがって、酸化シリコン膜界面近傍の酸化物半導体膜中にて測定されたシリコンは、Ｉｎ−Ｇａ−Ｚｎ系酸化物ターゲット起因のシリコンではないと言える。
【０２６８】
また、図１６より、加熱処理を行っていないサンプル（サンプルＥ）および、加熱処理を行ったサンプル（サンプルＦおよびサンプルＧ）において、酸化シリコン膜界面近傍における、ＩＧＺＯ膜中のシリコン濃度の傾き（シリコン濃度勾配とも言える。）に、特異な差は確認されない。したがって、酸化物半導体膜中への絶縁膜構成元素の混入は、熱拡散に起因するものではなくミキシングに起因するものであると言える。
【実施例３】
【０２６９】
本実施例では、ミキシングによって生じる酸化物半導体膜中への絶縁膜構成元素の混入を、酸化物半導体膜の成膜電力を弱くすることで抑制できるかを調査した実験についての説明を行う。
【０２７０】
実験内容は、まず、基板上に絶縁膜を成膜し、絶縁膜上に酸化物半導体膜を４種類の電力条件（１ｋＷ、５ｋＷ、９ｋＷおよび１ｋＷ＋５ｋＷ）で成膜した後に、各基板に対して熱処理を行い４種類のサンプルを作製した。そして、各サンプルについて、酸化物半導体膜中のゲート絶縁膜との界面近傍におけるシリコン濃度を、ＴｏＦ−ＳＩＭＳ法を用いて測定した。
【０２７１】
まず、ＴｏＦ−ＳＩＭＳ測定に用いたサンプルの構造を図１７に示す。
【０２７２】
図１７に示すサンプルは、ガラス基板３００上に酸化窒化シリコン膜３０２を成膜した後に、ＩＧＺＯ膜３０４を成膜し、最後に熱処理を行ったものである。
【０２７３】
酸化窒化シリコン膜３０２は、高密度プラズマＣＶＤ装置を用いて成膜した。酸化窒化シリコン膜３０２の成膜条件は、基板温度：３２５℃、ガス流量：ＳｉＨ４／Ｎ２Ｏ／Ａｒ＝２５０ｓｃｃｍ／２５００ｓｃｃｍ／２５００ｓｃｃｍ、成膜電力：５ｋＷ×４台（マイクロ波電源）、成膜圧力：３０Ｐａ、膜厚：１００ｎｍとした。なお、酸化窒化シリコン膜３０２を形成する前に、ガラス基板３００表面を洗浄してパーティクル等を除去した。
【０２７４】
ＩＧＺＯ膜３０４は、スパッタリング装置を用いて成膜した。ＩＧＺＯ膜３０４の成膜条件は、基板温度：１７０℃、ガス流量：Ａｒ／Ｏ２＝１００ｓｃｃｍ／１００ｓｃｃｍ、成膜圧力：０．６Ｐａ、膜厚：３５ｎｍとし、１ｋＷ、５ｋＷ、９ｋＷおよび１ｋＷ＋５ｋＷの４条件の電力で成膜を行った（共に、ＡＣ電源使用）。なお、スパッタリングターゲットとしては、Ｉｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝１：１：１［原子数比］の酸化物ターゲットを用いた。
【０２７５】
なお、上述成膜電力の「１ｋＷ＋５ｋＷ」とは、最初の５ｎｍの成膜を１ｋＷの電力で、その後の３０ｎｍの成膜を５ｋＷの電力で成膜したことを表す。また、以下では、酸化物半導体膜を９ｋＷで成膜したサンプルをサンプルＨ、５ｋＷで成膜したサンプルをサンプルＩ、１ｋＷで成膜したサンプルをサンプルＪ、１ｋＷ＋５ｋＷで成膜したサンプルをサンプルＫと呼称する。
【０２７６】
熱処理は、抵抗発熱体などを用いた電気炉に基板を導入して加熱処理を行った。処理条件は、まず、加熱温度：４５０℃、加熱雰囲気：Ｎ２の条件で１時間の加熱を行った後、加熱温度：６５０℃、加熱雰囲気：Ｎ２＋Ｏ２の条件で、１時間の加熱を行った。
【０２７７】
次に、サンプルＨ乃至サンプルＫに対して、基板表面側（ＩＧＺＯ膜３０４側）からＴｏＦ−ＳＩＭＳ測定を行い、酸化窒化シリコン膜との界面近傍におけるＩＧＺＯ膜中のシリコン濃度を測定した。結果を図１８に示す。なお、図１８（Ｂ）は図１８（Ａ）の一部分を拡大した図である。
【０２７８】
図１８より、全てのサンプルにおいて、酸化窒化シリコン膜界面近傍のＩＧＺＯ膜中のシリコン濃度は、実施例１にて記載したＩｎ−Ｇａ−Ｚｎ系酸化物ターゲット（原子数比がＩｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝１：１：１）中に含まれるシリコン濃度である２×１０１８ａｔｏｍｓ／ｃｍ３よりも高くなっていることが確認できる。したがって、酸化窒化シリコン膜界面近傍の酸化物半導体膜中にて測定されたシリコンは、Ｉｎ−Ｇａ−Ｚｎ系酸化物ターゲット起因のシリコンではないと言える。
【０２７９】
また、図１８より、酸化窒化シリコン膜界面近傍におけるＩＧＺＯ膜中のシリコン濃度は、成膜電力を弱くするに従い低下する傾向が確認された。したがって、酸化物半導体膜の成膜電力を弱くすることにより、ミキシングによって生じる酸化物半導体膜中への絶縁膜構成元素の混入を抑制できることが確認された。
【０２８０】
加えて、サンプルＪとサンプルＫのシリコン濃度が略一致していることより、成膜初期段階は弱い電力で酸化物半導体膜を成膜し、その後、成膜電力を高めて酸化物半導体膜を成膜しても、ミキシングによって生じる酸化物半導体膜中への絶縁膜構成元素の混入を抑制できることが確認された。
【実施例４】
【０２８１】
本実施例では、酸化物半導体膜中に絶縁膜構成元素が混入することにより生じる、酸化物半導体膜中における結晶状態について調査した結果についての説明を行う。
【０２８２】
まず、基板上に組成の異なるターゲットを用いて酸化物半導体膜を成膜した２枚の基板を準備し、各々の基板を三分割した。その後、三分割した基板に対して異なる条件で熱処理を行うことで、合計６枚の異なる条件のサンプルを作製した。そして各サンプルについて、酸化物半導体膜の結晶状態を、Ｘ線回折法（ＸＲＤ：Ｘ−ｒａｙ Ｄｉｆｆｒａｃｔｉｏｎ）を用いて測定した。
【０２８３】
まず、ＸＲＤ測定に用いたサンプルの構造を図１９（Ａ）に示す。
【０２８４】
図１９（Ａ）に示すサンプルは、ガラス基板４００上にＳｉＯ２が添加されたＩＧＺＯ（Ｉｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝１：１：１［原子数比］）ターゲットを用いてＩＧＺＯ膜４０２を成膜した後に、熱処理を行ったものである。
【０２８５】
ＩＧＺＯ膜４０２は、スパッタリング装置を用いて成膜した。ＩＧＺＯ膜４０２の成膜条件は、基板温度：２００℃、成膜電力：１００Ｗ、成膜圧力：０．４Ｐａ、ガス流量：Ｏ２＝１０ｓｃｃｍ、膜厚：１００ｎｍとした。なお、スパッタリングターゲットとしては、Ｉｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝１：１：１［原子数比］に２ｗｔ％のＳｉＯ２を添加したターゲット、およびＩｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝１：１：１［原子数比］に５ｗｔ％のＳｉＯ２を添加したターゲットを用いた。なお、ＩＧＺＯ膜４０２を形成する前に、ガラス基板４００表面を洗浄してパーティクル等を除去した。
【０２８６】
熱処理は、抵抗発熱体などを用いた電気炉に基板を導入して熱処理を行った。ＩＧＺＯ膜成膜後に三分割した基板の一枚は、６５０℃のＮ２雰囲気で１時間の熱処理を行った後、６５０℃のＯ２雰囲気で１時間の熱処理を行った。また、三分割した基板の一枚は、４５０℃のＮ２雰囲気で１時間の加熱を行った後、４５０℃のＯ２雰囲気で１時間の加熱を行った。また、三分割した基板の一枚は、熱処理を行っていない。
【０２８７】
上述の、使用ターゲットおよび加熱条件振りを行うことで、表１に示すサンプルＬ乃至サンプルＱの６種類のサンプルを準備した。
【０２８８】
【表１】
【０２８９】
次に、サンプルＬ乃至サンプルＱのＩＧＺＯ膜に対してＸＲＤ測定を行い、各々の膜の結晶状態を測定した。結果を図２０（Ａ）および図２０（Ｂ）に示す。図２０（Ａ）は、サンプルＬ乃至サンプルＮのＸＲＤ測定結果であり、図２０（Ｂ）は、サンプルＯ乃至サンプルＱのＸＲＤ測定結果である。
【０２９０】
図２０（Ａ）より、上述の実施の形態に記載された温度範囲内の６５０℃の熱処理を行ったサンプルＬにおいて、２θ＝３１°近傍に結晶に起因するピークが見られた。これに対し図２０（Ｂ）では、全てのサンプルで結晶に起因するピークが見られなかった。したがって、ＩＧＺＯ膜は、不純物として過剰なシリコンが含まれることにより、熱処理による結晶化が阻害されることが確認された。
【０２９１】
次に、２ｗｔ％のシリコンが添加されたターゲットを用いて成膜したＩＧＺＯ膜に、どの程度のシリコンが含有されているかを調査するため、Ｘ線光電子分光法（ＸＰＳ：Ｘ−ｒａｙ ｐｈｏｔｏｅｌｅｃｔｒｏｎ ｓｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ）を用いて、ＩＧＺＯ膜中に含まれる元素の組成を測定した。
【０２９２】
ＸＰＳ測定に用いたサンプルは、図１９（Ｂ）に示すように、シリコン基板５００上にＩＧＺＯ膜５０２を成膜した構造である。
【０２９３】
ＩＧＺＯ膜５０２は、スパッタリング装置を用いて成膜した。ＩＧＺＯ膜５０２の成膜条件は、基板温度：２００℃、成膜電力：１００Ｗ、成膜圧力：０．４Ｐａ、ガス流量：Ｏ２＝１０ｓｃｃｍ、膜厚：１５ｎｍとした。なお、スパッタリングターゲットとしては、Ｉｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝１：１：１［原子数比］に２ｗｔ％のＳｉＯ２を添加したターゲットを用いた。なお、ＩＧＺＯ膜５０２を形成する前に、希弗酸にてシリコン基板５００表面に形成された酸化膜を除去した。
【０２９４】
ＸＰＳ測定の結果、２ｗｔ％のシリコンが添加されたターゲットを用いて成膜したＩＧＺＯ膜は、膜中に１．１ａｔｏｍ％のシリコンが含有されていることが確認された。
【０２９５】
上述のように、ミキシングなどによって酸化物半導体膜のゲート絶縁膜との界面近傍にシリコンなどの不純物が混入すると、酸化物半導体膜のチャネル形成領域の結晶化が阻害されるおそれがあることがわかった。よって、酸化物半導体膜のゲート絶縁膜との界面近傍において、上記のようにシリコンの濃度を低減させることが重要であることが実施例によって示された。
【符号の説明】
【０２９６】
１００ 基板
１０１ ゲート電極
１０２ ゲート絶縁膜
１０３ 酸化物半導体膜
１０３ａ 領域
１０３ｂ 領域
１０３ｃ 領域
１０５ａ ソース電極
１０５ｂ ドレイン電極
１０７ 絶縁膜
１０８ チャネル保護膜
１０９ 保護絶縁膜
１１０ トランジスタ
１２０ トランジスタ
１３０ トランジスタ
２００ シリコン基板
２０２ 酸化シリコン膜
２０４ ＩＧＺＯ膜
３００ ガラス基板
３０２ 酸化窒化シリコン膜
３０４ ＩＧＺＯ膜
４００ ガラス基板
４０２ ＩＧＺＯ膜
５００ シリコン基板
５０２ ＩＧＺＯ膜
２７００ 電子書籍
２７０１ 筐体
２７０３ 筐体
２７０５ 表示部
２７０７ 表示部
２７１１ 軸部
２７２１ 電源
２７２３ 操作キー
２７２５ スピーカー
２８００ 筐体
２８０１ ボタン
２８０２ マイクロフォン
２８０３ 表示部
２８０４ スピーカー
２８０５ カメラ用レンズ
２８０６ 外部接続端子
３００１ 本体
３００２ 筐体
３００３ 表示部
３００４ キーボード
３０２１ 本体
３０２２ スタイラス
３０２３ 表示部
３０２４ 操作ボタン
３０２５ 外部インターフェイス
３０５１ 本体
３０５３ 接眼部
３０５４ 操作スイッチ
３０５６ バッテリー
４００１ 基板
４００２ 画素部
４００３ 信号線駆動回路
４００４ 走査線駆動回路
４００５ シール材
４００６ 基板
４００８ 液晶層
４０１０ トランジスタ
４０１１ トランジスタ
４０１３ 液晶素子
４０１５ 接続端子電極
４０１６ 端子電極
４０１９ 異方性導電膜
４０２１ 絶縁層
４０３０ 電極層
４０３１ 電極層
４０３２ 絶縁膜
４０３３ 絶縁膜
４０３４ 絶縁膜
４５１０ 隔壁
４５１１ 電界発光層
４５１３ 発光素子
４５１４ 充填材
４６１２ キャビティ
４６１３ 球形粒子
４６１４ 充填材
４６１５ａ 黒色領域
４６１５ｂ 白色領域
９６００ テレビジョン装置
９６０１ 筐体
９６０３ 表示部
９６０５ スタンド
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ゲート電極と、
前記ゲート電極を覆い、シリコンを含む酸化物を含むゲート絶縁膜と、
前記ゲート絶縁膜と接し、少なくとも前記ゲート電極と重畳する領域に設けられた酸化物半導体膜と、
前記酸化物半導体膜と電気的に接続するソース電極およびドレイン電極と、を有し、
前記酸化物半導体膜は、前記ゲート絶縁膜との界面から前記酸化物半導体膜に向けてシリコンの濃度が１．０原子％以下で分布する第１の領域を有し、
少なくとも前記第１の領域内に、結晶部を含む半導体装置。
【請求項２】
ゲート電極と、
前記ゲート電極を覆い、シリコンを含む酸化物を含むゲート絶縁膜と、
前記ゲート絶縁膜と接し、少なくとも前記ゲート電極と重畳する領域に設けられた酸化物半導体膜と、
前記酸化物半導体膜に接して設けられたチャネル保護膜と、
前記チャネル保護膜上に設けられ、前記酸化物半導体膜と電気的に接続するソース電極およびドレイン電極と、を有し、
前記酸化物半導体膜は、前記ゲート絶縁膜との界面から前記酸化物半導体膜に向けてシリコンの濃度が１．０原子％以下の濃度で分布する第１の領域を有し、
少なくとも前記第１の領域内に、結晶部を含む半導体装置。
【請求項３】
前記第１の領域は、前記ゲート絶縁膜との界面からの厚さが５ｎｍ以下の範囲に存在し、
前記第１の領域以外に含まれるシリコンの濃度は、前記第１の領域に含まれるシリコンの濃度より小さい請求項１又は２に記載の半導体装置。
【請求項４】
前記酸化物半導体膜の第１の領域以外の領域に、結晶部を含む、請求項１乃至３のいずれか一に記載の半導体装置。
【請求項５】
ゲート電極と、
前記ゲート電極を覆い、シリコンを含む酸化物を含むゲート絶縁膜と、
前記ゲート絶縁膜と接し、少なくとも前記ゲート電極と重畳する領域に設けられた酸化物半導体膜と、
前記酸化物半導体膜と電気的に接続するソース電極およびドレイン電極と、
前記酸化物半導体膜、前記ソース電極および前記ドレイン電極を覆い、シリコンを含む酸化物を含む保護絶縁膜と、を有し、
前記酸化物半導体膜は、前記ゲート絶縁膜との界面から前記酸化物半導体膜に向けてシリコンの濃度が１．０原子％以下の濃度で分布する第１の領域を有し、
前記酸化物半導体膜は、前記保護絶縁膜との界面から前記酸化物半導体膜に向けてシリコンの濃度が１．０原子％以下の濃度で分布する第２の領域を有し、
少なくとも前記第１の領域内および前記第２の領域内に、結晶部を含む半導体装置。
【請求項６】
前記第１の領域は、前記ゲート絶縁膜との界面からの厚さが５ｎｍ以下の範囲に存在し、
前記第２の領域は、前記保護絶縁膜との界面からの厚さが５ｎｍ以下の範囲に存在し、
前記第１の領域及び前記第２の領域以外に含まれるシリコンの濃度は、前記第１の領域及び前記第２の領域に含まれるシリコンの濃度より小さい、請求項５に記載の半導体装置。
【請求項７】
前記酸化物半導体膜の前記第１の領域および前記第２の領域以外の領域に、結晶部を含む、請求項５又は６に記載の半導体装置。
【請求項８】
前記結晶部は、ｃ軸が、前記酸化物半導体膜と前記ゲート絶縁膜との界面に対して垂直な方向に揃う請求項１乃至７のいずれか一に記載の半導体装置。
【請求項９】
前記第１の領域に含まれるシリコンの濃度が０．１原子％以下である、請求項１乃至８のいずれか一に記載の半導体装置。
【請求項１０】
前記ゲート絶縁膜は炭素を含み、
前記第１の領域において、炭素濃度が１．０×１０２０ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以下となる、請求項１乃至９のいずれか一に記載の半導体装置。
【請求項１】
ゲート電極と、
前記ゲート電極を覆い、シリコンを含む酸化物を含むゲート絶縁膜と、
前記ゲート絶縁膜と接し、少なくとも前記ゲート電極と重畳する領域に設けられた酸化物半導体膜と、
前記酸化物半導体膜と電気的に接続するソース電極およびドレイン電極と、を有し、
前記酸化物半導体膜は、前記ゲート絶縁膜との界面から前記酸化物半導体膜に向けてシリコンの濃度が１．０原子％以下で分布する第１の領域を有し、
少なくとも前記第１の領域内に、結晶部を含む半導体装置。
【請求項２】
ゲート電極と、
前記ゲート電極を覆い、シリコンを含む酸化物を含むゲート絶縁膜と、
前記ゲート絶縁膜と接し、少なくとも前記ゲート電極と重畳する領域に設けられた酸化物半導体膜と、
前記酸化物半導体膜に接して設けられたチャネル保護膜と、
前記チャネル保護膜上に設けられ、前記酸化物半導体膜と電気的に接続するソース電極およびドレイン電極と、を有し、
前記酸化物半導体膜は、前記ゲート絶縁膜との界面から前記酸化物半導体膜に向けてシリコンの濃度が１．０原子％以下の濃度で分布する第１の領域を有し、
少なくとも前記第１の領域内に、結晶部を含む半導体装置。
【請求項３】
前記第１の領域は、前記ゲート絶縁膜との界面からの厚さが５ｎｍ以下の範囲に存在し、
前記第１の領域以外に含まれるシリコンの濃度は、前記第１の領域に含まれるシリコンの濃度より小さい請求項１又は２に記載の半導体装置。
【請求項４】
前記酸化物半導体膜の第１の領域以外の領域に、結晶部を含む、請求項１乃至３のいずれか一に記載の半導体装置。
【請求項５】
ゲート電極と、
前記ゲート電極を覆い、シリコンを含む酸化物を含むゲート絶縁膜と、
前記ゲート絶縁膜と接し、少なくとも前記ゲート電極と重畳する領域に設けられた酸化物半導体膜と、
前記酸化物半導体膜と電気的に接続するソース電極およびドレイン電極と、
前記酸化物半導体膜、前記ソース電極および前記ドレイン電極を覆い、シリコンを含む酸化物を含む保護絶縁膜と、を有し、
前記酸化物半導体膜は、前記ゲート絶縁膜との界面から前記酸化物半導体膜に向けてシリコンの濃度が１．０原子％以下の濃度で分布する第１の領域を有し、
前記酸化物半導体膜は、前記保護絶縁膜との界面から前記酸化物半導体膜に向けてシリコンの濃度が１．０原子％以下の濃度で分布する第２の領域を有し、
少なくとも前記第１の領域内および前記第２の領域内に、結晶部を含む半導体装置。
【請求項６】
前記第１の領域は、前記ゲート絶縁膜との界面からの厚さが５ｎｍ以下の範囲に存在し、
前記第２の領域は、前記保護絶縁膜との界面からの厚さが５ｎｍ以下の範囲に存在し、
前記第１の領域及び前記第２の領域以外に含まれるシリコンの濃度は、前記第１の領域及び前記第２の領域に含まれるシリコンの濃度より小さい、請求項５に記載の半導体装置。
【請求項７】
前記酸化物半導体膜の前記第１の領域および前記第２の領域以外の領域に、結晶部を含む、請求項５又は６に記載の半導体装置。
【請求項８】
前記結晶部は、ｃ軸が、前記酸化物半導体膜と前記ゲート絶縁膜との界面に対して垂直な方向に揃う請求項１乃至７のいずれか一に記載の半導体装置。
【請求項９】
前記第１の領域に含まれるシリコンの濃度が０．１原子％以下である、請求項１乃至８のいずれか一に記載の半導体装置。
【請求項１０】
前記ゲート絶縁膜は炭素を含み、
前記第１の領域において、炭素濃度が１．０×１０２０ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以下となる、請求項１乃至９のいずれか一に記載の半導体装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【図１９】
【図２０】
【図２３】
【図２５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図２１】
【図２２】
【図２４】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【図１９】
【図２０】
【図２３】
【図２５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図２１】
【図２２】
【図２４】
【公開番号】特開２０１３−８４９４０（Ｐ２０１３−８４９４０Ａ）
【公開日】平成２５年５月９日（２０１３．５．９）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１２−２０９９４７（Ｐ２０１２−２０９９４７）
【出願日】平成２４年９月２４日（２０１２．９．２４）
【出願人】（０００１５３８７８）株式会社半導体エネルギー研究所 (5,264)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２５年５月９日（２０１３．５．９）
【国際特許分類】
【出願日】平成２４年９月２４日（２０１２．９．２４）
【出願人】（０００１５３８７８）株式会社半導体エネルギー研究所 (5,264)
【Ｆターム（参考）】
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